Claims (5)
1. Устройство для выращивания монокристалла кремния из расплава, содержащее камеру с отверстиями для эвакуации газового потока, в которой размещены тигель для расплава, расположенный в подставке на штоке, верхний газонаправляющий экран, формирующий газовый поток над расплавом, и нагреватель, отличающееся тем, что устройство снабжено нижним газонаправляющим кольцевым экраном с центральным отверстием для перемещения подставки, установленным над нагревателем, отверстия для эвакуации газового потока выполнены в камере между верхним и нижним газонаправляющими экранами, а пространство между корпусом, нижним газонаправляющим кольцевым экраном, нагревателем и штоком заполнено засыпкой.1. A device for growing a silicon single crystal from a melt, comprising a chamber with holes for evacuating the gas stream, in which a melt crucible is located in a stand on the rod, an upper gas guide screen forming a gas stream above the melt, and a heater, characterized in that the device equipped with a lower gas guide ring screen with a central hole for moving the stand mounted above the heater, holes for evacuating the gas stream are made in the chamber between the upper and lower gas-guiding screens, and the space between the housing, the lower gas-guiding annular screen, the heater and the rod is filled with backfill.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в качестве материала засыпки использован карбид кремния.2. The device according to claim 1, characterized in that silicon carbide is used as the backfill material.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что нагреватель выполнен секционным, при этом засыпка зафиксирована между секциями нагревателя при помощи уплотняющих вставок.3. The device according to claim 1, characterized in that the heater is made sectional, while the filling is fixed between sections of the heater using sealing inserts.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что засыпка зафиксирована вокруг штока при помощи уплотняющего кольца.4. The device according to claim 1, characterized in that the backfill is fixed around the stem using a sealing ring.
5. Устройство по п.3, отличающееся тем, что в качестве материала уплотняющих вставок использован графитовый войлок.5. The device according to claim 3, characterized in that graphite felt is used as the material of the sealing inserts.