RU127476U1 - CATHODE-MODULATOR SYSTEM FOR THE CONTROL OF NANO MOVEMENTS - Google Patents
CATHODE-MODULATOR SYSTEM FOR THE CONTROL OF NANO MOVEMENTS Download PDFInfo
- Publication number
- RU127476U1 RU127476U1 RU2012151370/28U RU2012151370U RU127476U1 RU 127476 U1 RU127476 U1 RU 127476U1 RU 2012151370/28 U RU2012151370/28 U RU 2012151370/28U RU 2012151370 U RU2012151370 U RU 2012151370U RU 127476 U1 RU127476 U1 RU 127476U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- signal
- cathodes
- output
- cathode
- sensing element
- Prior art date
Links
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 2
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000003658 microfiber Substances 0.000 description 1
- 239000002121 nanofiber Substances 0.000 description 1
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
1. Катодно-модуляторное устройство, содержащее автоэмиссионные катоды, чувствительный элемент для измерения силы воздействия, закрепленный над катодами с помощью упругого подвеса и выполненного из электропроводного материала или имеющий покрытие из электропроводного материала, источник постоянного напряжения, положительный вывод которого подключен к чувствительному элементу, а отрицательный вывод к катодам, отличающееся тем, что по меньшей мере два катода расположены под различными областями чувствительного элемента, имеющего высокую механическую добротность, таким образом, что из предварительного расчета известны ожидаемые сдвиги фазы и соотношение амплитуд токового сигнала отдельных катодов, при этом каждый катод имеет отдельные цепи для измерения электрического тока, выходы которых соединены с предусилителями, которые, в свою очередь, присоединены к устройству усреднения или к медианному фильтру, выход которого соединен с дифференциальным усилителем, к которому также присоединен исходный сигнал с предусилителя и полученный разностный сигнал соединен с интегратором ошибки (соответствующего канала), выходное напряжение которого присоединено к входу управления коэффициентом усиления предусилителя (соответствующего канала), при этом в качестве выходного сигнала устройства используют выход устройства усреднения или медианного фильтра.2. Катодно-модуляторное устройство по п.1, отличающееся тем, что чувствительный элемент выполнен в виде балки, к которой присоединен источник переменного электрического тока (возбуждающий сигнал), частота которого управляется внешним сигналом, а сигнал с выход1. A cathode-modulator device containing field emission cathodes, a sensing element for measuring the force of action, mounted above the cathodes using an elastic suspension and made of an electrically conductive material or having a coating of an electrically conductive material, a constant voltage source, the positive output of which is connected to the sensitive element, and negative conclusion to the cathodes, characterized in that at least two cathodes are located under different regions of the sensing element having a high mechanical Q factor, so that the expected phase shifts and the ratio of the amplitudes of the current signal of the individual cathodes are known from a preliminary calculation, with each cathode having separate circuits for measuring electric current, the outputs of which are connected to preamplifiers, which, in turn, are connected to the device averaging or to the median filter, the output of which is connected to a differential amplifier, to which the original signal from the preamplifier is also connected, and the resulting difference signal is connected to gratorom errors (corresponding to the channel), the output voltage of which is connected to the gain control input of a preamplifier (corresponding to the channel), while in use averaging or median output device filtra.2 a device output signal. The cathode-modulator device according to claim 1, characterized in that the sensing element is made in the form of a beam to which an alternating electric current source (excitation signal) is connected, the frequency of which is controlled by an external signal, and the output signal
Description
Полезная модель относится к измерительной технике и может быть использована для контроля наноперемещений объектов, что, в свою очередь, может быть использовано для измерения ускорений, вибраций, магнитных полей.The utility model relates to measuring technique and can be used to control nanoscale movements of objects, which, in turn, can be used to measure accelerations, vibrations, and magnetic fields.
Известен интегральный микромеханический акселерометр на основе туннельного эффекта [RU 2289822 С1 (Рындин Е.А., Приступите Н.K.), 19.07.2005], содержащий подложку, неподвижный электрод, инерционную массу, расположенную с зазором относительно неподвижного электрода, выполненную в виде пластины из полупроводникового материала, подвижный электрод, расположенный на инерционной массе и образующий с неподвижным электродом туннельный контакт, используемый в качестве преобразователя перемещений, упругую балку, которая одним концом жестко соединена с инерционной массой, а другим жестко закреплена относительно подложки, металлический нагревательный элемент.Known integrated micromechanical accelerometer based on the tunnel effect [RU 2289822 C1 (Ryndin EA, Proceed N.K.), 07/19/2005] containing a substrate, a fixed electrode, an inertial mass located with a gap relative to the fixed electrode, made in the form plates of semiconductor material, a movable electrode located on an inertial mass and forming a tunnel contact with a fixed electrode used as a displacement transducer, an elastic beam, which is rigidly connected to one end of metal mass, and the other is rigidly fixed relative to the substrate, a metal heating element.
Хотя известный акселерометр решает задачу прецизионного измерения ускорения вдоль оси, он обладает такими недостатками, как низкий динамический диапазон из-за использования туннельной считывающей системы и относительно высокие требования к вакууму.Although the known accelerometer solves the problem of precision measurement of acceleration along the axis, it has disadvantages such as a low dynamic range due to the use of a tunnel reading system and relatively high vacuum requirements.
Известен датчик ускорения с алмазным автоэмиттером [US 5679895], содержащий алмазный катод, один подвижный электрод и один неподвижный электрод.Known acceleration sensor with a diamond emitter [US 5679895], containing a diamond cathode, one movable electrode and one stationary electrode.
Недостатками данной конструкции являются высокие требования к вакууму и сильное влияние нестабильности автоэмиссионного тока на измерения.The disadvantages of this design are high requirements for vacuum and a strong influence of instability of field emission current on measurements.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому изобретению является патент [RU 2390031 С1 (Маринушкин, Левицкий), 24.02.2009], раскрывающий устройство, состоящее из крестообразного подвеса, центральная часть которого закреплена относительно якорной области, и опорной рамки, соединенной с крестообразным подвесом и закрепленной относительно инерционной массы, вспомогательных подвижных электродов закрепленных по углам опорной рамки. Эта схема обеспечивает расширение динамического диапазона измерений возбуждающей силы за счет приложения компенсирующей электростатической силы на чувствительный элемент через указанные вспомогательные электродыThe closest in technical essence to the claimed invention is a patent [RU 2390031 C1 (Marinushkin, Levitsky), 02.24.2009], disclosing a device consisting of a cross-shaped suspension, the central part of which is fixed relative to the anchor region, and a supporting frame connected to the cross-shaped suspension and fixed relative to the inertial mass, auxiliary movable electrodes fixed at the corners of the supporting frame. This scheme provides an extension of the dynamic range of measurements of the exciting force due to the application of compensating electrostatic forces on the sensitive element through these auxiliary electrodes
Недостатками данной конструкции являются высокие требования к вакууму и сильное влияние нестабильности автоэмиссионного тока на измерения. Кроме того такая схема компенсации оказывается эффективна только на низких частотах, ниже собственной резонансной частоты чувствительного элемента.The disadvantages of this design are high requirements for vacuum and a strong influence of instability of field emission current on measurements. In addition, such a compensation scheme is effective only at low frequencies, below the intrinsic resonant frequency of the sensing element.
Задача создания полезной модели состояла в увеличении точности измерения амплитуды высокочастотных (порядка нескольких килогерц) колебаний механического чувствительного элемента (модулятора).The task of creating a useful model was to increase the accuracy of measuring the amplitude of high-frequency (of the order of several kilohertz) vibrations of a mechanical sensitive element (modulator).
Указанная задача решается тем, что катодно-модуляторное устройство содержит автоэмиссионные катоды, чувствительный элемент для измерения силы воздействия, закрепленный над катодами с помощью упругого подвеса и выполненного из электропроводного материала или имеющий покрытие из электропроводного материала, источника постоянного напряжения, положительный вывод которого подключен к чувствительному элементу, а отрицательный вывод к катодам, согласно полезной модели, по меньшей мере два катода расположены под различными областями чувствительного элемента, имеющего высокую механическую добротность, таким образом, что из предварительного расчета известны ожидаемые сдвиги фазы и соотношение амплитуд токового сигнала отдельных катодов, при этом каждый катод имеет отдельные цепи для измерения электрического тока, выходы которых соединены с предусилителями, которые, в свою очередь, присоединены к устройству усреднения или к медианному фильтру, выход которого соединен с дифференциальным усилителем, к которому также присоединен исходный сигнал с предусилителя и полученный разностный сигнал соединен с интегратором ошибки (соответствующего канала), выходное напряжение которого присоединено к входу управления коэффициентом усиления предусилителя (соответствующего канала), при этом в качестве выходного сигнала устройства используют выход устройства усреднения или медианного фильтра.This problem is solved in that the cathode-modulator device contains field emission cathodes, a sensing element for measuring the force of action, mounted above the cathodes using an elastic suspension and made of an electrically conductive material or having a coating of an electrically conductive material, a constant voltage source, the positive output of which is connected to a sensitive element, and the negative output to the cathodes, according to the utility model, at least two cathodes are located under different regions of the senses a component having high mechanical quality factor, so that the expected phase shifts and the ratio of the amplitudes of the current signal of individual cathodes are known from a preliminary calculation, with each cathode having separate circuits for measuring electric current, the outputs of which are connected to preamplifiers, which, in turn, are connected to an averaging device or to a median filter, the output of which is connected to a differential amplifier, to which the original signal from the preamplifier is also connected and received the second difference signal is connected to the error integrator (corresponding channel), the output voltage of which is connected to the gain control input of the preamplifier (corresponding channel), and the output of the averaging device or median filter is used as the device output signal.
При этом, в катодно-модуляторном устройстве чувствительный элемент выполнен в виде балки, к которой присоединен источник переменного электрического тока (возбуждающий сигнал), частота которого управляется внешним сигналом, а сигнал с выхода устройства усреднения или медианного фильтра дополнительно присоединен к одному из входов фазового детектора, при этом второй вход фазового детектора присоединен к источнику возбуждающего сигнала, а выход фазового детектора присоединен ко входу управления частотой источника возбуждающего сигнала. Причем катод выполнен и углеродного материала, в частности из углеродных нанотрубок.Moreover, in the cathode-modulator device, the sensing element is made in the form of a beam to which an alternating electric current source (excitation signal) is connected, the frequency of which is controlled by an external signal, and the signal from the output of the averaging device or median filter is additionally connected to one of the inputs of the phase detector while the second input of the phase detector is connected to the source of the exciting signal, and the output of the phase detector is connected to the frequency control input of the source of the exciting signal . Moreover, the cathode is made of carbon material, in particular from carbon nanotubes.
Существенным отличием предложенной системы считывания является то, что токи автоэмиссии различных катодов оказываются взаимосвязаны друг с другом, но не обязательно идентичны, так как катоды расположены вблизи разных частей колеблющегося электрода (модулятора). Известная форма используемой моды колебания делает известной связь между отклонениями модулятора в различных его частях, а известное (на этапе проектирования) расположение катодов позволяет предсказать теоретически взаимосвязь их токов (соотношение амплитуды и фазы для различных катодов), что, при наличии достаточного числа катодов, позволяет корректировать их показания, учитывая тот факт, что нестабильность автоэмиссионного тока каждого из них является независимой случайной величиной.A significant difference of the proposed reading system is that the field emission currents of different cathodes are interconnected with each other, but not necessarily identical, since the cathodes are located near different parts of the oscillating electrode (modulator). The known form of the oscillation mode used makes the relationship between the deviations of the modulator in its various parts known, and the known (at the design stage) arrangement of the cathodes allows one to predict theoretically the relationship of their currents (amplitude to phase ratio for different cathodes), which, if there are a sufficient number of cathodes, allows to correct their readings, taking into account the fact that the instability of the field emission current of each of them is an independent random variable.
В качестве автоэмиссионных катодов используются катоды из углеродных материалов, таких, как углеродные микро- и нановолокна или нанотрубки, что позволяет повысить срок службы катода, а также стабильность эмиссионного тока. Повышение срока службы катода обусловлено присущей углеродным материалам «статистической» устойчивостью поверхности катода к ионной бомбардировке при повышенном давлении остаточных газов. Под этим понимается тот факт, что для углеродных материалов ионная бомбардировка (за счет ионов остаточных газов) не приводит к необратимому разрушению катода, а лишь увеличивает уровень флуктуации (шума) эмиссионного тока.As field emission cathodes, cathodes made of carbon materials, such as carbon micro- and nanofibers or nanotubes, are used, which allows to increase the cathode life and the stability of the emission current. The increase in cathode life is due to the “statistical” resistance of the cathode surface to ion bombardment inherent in carbon materials under increased residual gas pressure. This refers to the fact that for carbon materials, ion bombardment (due to the ions of residual gases) does not lead to irreversible destruction of the cathode, but only increases the level of fluctuation (noise) of the emission current.
Полезная модель поясняется чертежами. На фиг.1. изображена блок-схема фильтра сигнала. На фиг.2 изображена общая блок-схема.The utility model is illustrated by drawings. In figure 1. shows a block diagram of a signal filter. Figure 2 shows a General block diagram.
Схема одного из контуров корректирующей цепи для случая трех катодов показана на фиг.1. Сигнал, поступающий с катода, усиливается с помощью усилителя с переменным коэффициентом усиления. Затем вычисляется среднее значение или медиана предусиленных значений сигналов со всех катодов. Среднее значение сравнивается с предусиленным значением входного сигнала, и их разница воспринимается как сигнал ошибки, возникающей из-за нестабильности эмиссии. Этот сигнал ошибки поступает в усилитель ошибки, а затем в интегратор. Сигнал интегратора определяет усиление входного усилителя. Выходным сигналом считается среднее всех предусиленных входных сигналов.A diagram of one of the circuits of the correction circuit for the case of three cathodes is shown in figure 1. The signal from the cathode is amplified by a variable gain amplifier. Then, the average or median of the pre-determined values of the signals from all the cathodes is calculated. The average value is compared with the preassigned value of the input signal, and their difference is perceived as an error signal arising from the instability of the emission. This error signal goes to the error amplifier, and then to the integrator. The integrator signal determines the gain of the input amplifier. The output signal is the average of all preamplified input signals.
Такой подход позволяет избавиться от шума, возникающего из-за перестройки поверхностей автоэмиттеров под действием ионов остаточных газов, что понижает требования к вакууму в объеме прибора. При этом, в отличие от временного усреднения сигналов, такой подход не ухудшает временной отклик устройства, так как цепь компенсации работает на гораздо более высоких частотах, чем резонансная частота чувствительного элемента.This approach allows you to get rid of noise arising from the restructuring of the surfaces of auto emitters under the influence of residual gas ions, which reduces the requirements for vacuum in the volume of the device. In this case, in contrast to the temporal averaging of signals, this approach does not degrade the time response of the device, since the compensation circuit operates at much higher frequencies than the resonant frequency of the sensitive element.
Для использования устройства в качестве контактного виброметра механический чувствительный элемент выполняют в виде тонкой балки из проводящего материала или тонкой балки покрытой слоем проводящего материала. Собственная частота балки должна соответствовать частоте измеряемой вибрации. Чувствительность системы к ускорениям зависит от добротности балки и резонансной частоты.To use the device as a contact vibrometer, the mechanical sensitive element is made in the form of a thin beam of conductive material or a thin beam coated with a layer of conductive material. The natural frequency of the beam should correspond to the frequency of the measured vibration. The sensitivity of the system to accelerations depends on the quality factor of the beam and the resonant frequency.
При необходимости измерения вибраций на нескольких частотах используются несколько чувствительных элементов расположенных на одном кристалле (подложке), каждый из которых настроен на свою собственную частоту.If it is necessary to measure vibrations at several frequencies, several sensitive elements are used located on one crystal (substrate), each of which is tuned to its own frequency.
При необходимости измерения сигнала во временной области используют несколько чувствительных элементов, перекрывающих интересующий частотный диапазон. Опорными сигналами их квадратурных детекторов являются частоты, получаемые контурами фазовой автоподстройки частоты, работающими от общего опорного осциллятора. Это позволяет зафиксировать относительные фазы сигналов квадратурных детекторов, что позволяет использовать обратное преобразование Фурье для реконструкции сигнала во временной области.If necessary, signal measurement in the time domain uses several sensitive elements that overlap the frequency range of interest. The reference signals of their quadrature detectors are frequencies obtained by phase locked loops operating from a common reference oscillator. This allows us to fix the relative phases of the signals of quadrature detectors, which allows us to use the inverse Fourier transform to reconstruct the signal in the time domain.
Если добротности каждого из осцилляторов относительно низки, для минимизации спектрального уширения используется деконволюция Винера перед выполнением преобразования Фурье.If the Q factors of each of the oscillators are relatively low, the Wiener deconvolution before performing the Fourier transform is used to minimize spectral broadening.
Данный метод считывания можно использовать для измерения не только механических вибраций, но и других физических величин. В частности для измерения магнитного поля используется возбуждение колебаний балки чувствительного элемента за счет силы Лоренца. Для этого по балке чувствительного элемента пропускается переменный электрический ток на частоте близкой к резонансной частоте балки. Если сечение балки обладает значительной асимметрией, значительное отклонение под действием силы Лоренца будет возникать только в направлении, вдоль которого балка имеет меньшую толщину. Это позволяет регистрировать только одну компоненту вектора магнитного поля, а при необходимости располагая три взаимно перпендикулярные балки регистрировать вектор магнитного поля полностью.This reading method can be used to measure not only mechanical vibrations, but also other physical quantities. In particular, to measure the magnetic field, vibrational excitation of the sensor element due to the Lorentz force is used. To do this, an alternating electric current is passed through the beam of the sensing element at a frequency close to the resonant frequency of the beam. If the cross section of the beam has significant asymmetry, a significant deviation under the action of the Lorentz force will occur only in the direction along which the beam has a smaller thickness. This allows you to register only one component of the magnetic field vector, and if necessary having three mutually perpendicular beams to register the magnetic field vector completely.
Для того, чтобы поддерживать максимальную чувствительность датчика, несмотря на температурные дрейфы, приводящие к сдвигу резонансной частоты, частоту тока следует подстраивать. Для выполнения данной задачи используется система фазовой автоподстройки частоты. При отклонении частоты тока от резонансной, между колебаниями чувствительного элемента и током сдвиг фаз станет отличным от
Разность фаз между током и колебаниями чувствительного элемента измеряется квадратурным детектором. Отклонение ее от резонансной считается ошибкой, усиливается и интегрируется. Полученный сигнал подается на генератор, управляемый напряжением (ГУН), генерирующий ток возбуждения. Выходным сигналом считается отклонение балки. Для расширения динамического диапазона используется логарифмический усилитель с пиковым детектором.The phase difference between the current and the oscillations of the sensing element is measured by a quadrature detector. Its deviation from resonance is considered a mistake, amplified and integrated. The received signal is fed to a voltage controlled oscillator (VCO) that generates an excitation current. The output signal is the beam deflection. To expand the dynamic range, a logarithmic amplifier with a peak detector is used.
Таким образом, описанное катодно-модуляторное устройство может использоваться для детектирования любых физических величии, способных вызвать отклонение чувствительного элемента (модулятора). В частности, система может использоваться для прецизионного измерения вибраций, в том числе и во временной области, а также магнитных полей. Преимуществами являются малый размер, высокая точность и низкие требования к вакууму ввиду использования алгоритмов подавления нестабильностей за счет использования нескольких катодов и изготовления катодов из углеродных материалов.Thus, the described cathode-modulator device can be used to detect any physical greatness that can cause the deviation of the sensing element (modulator). In particular, the system can be used for precision measurement of vibrations, including in the time domain, as well as magnetic fields. The advantages are small size, high accuracy and low vacuum requirements due to the use of algorithms to suppress instabilities through the use of several cathodes and the manufacture of cathodes from carbon materials.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012151370/28U RU127476U1 (en) | 2012-11-30 | 2012-11-30 | CATHODE-MODULATOR SYSTEM FOR THE CONTROL OF NANO MOVEMENTS |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012151370/28U RU127476U1 (en) | 2012-11-30 | 2012-11-30 | CATHODE-MODULATOR SYSTEM FOR THE CONTROL OF NANO MOVEMENTS |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU127476U1 true RU127476U1 (en) | 2013-04-27 |
Family
ID=49154250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012151370/28U RU127476U1 (en) | 2012-11-30 | 2012-11-30 | CATHODE-MODULATOR SYSTEM FOR THE CONTROL OF NANO MOVEMENTS |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU127476U1 (en) |
-
2012
- 2012-11-30 RU RU2012151370/28U patent/RU127476U1/en not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8347718B2 (en) | Angular velocity sensors | |
| JP6143430B2 (en) | Vibration gyro with bias correction function | |
| KR101297654B1 (en) | Temperature compensation method and temperature and oscillation control loop system of parallel plate electrode type resonance sensor | |
| JP3536497B2 (en) | Vibration type angular velocity detector | |
| CN109728791B (en) | Microelectromechanical resonator system with improved stability against temperature changes | |
| US20100011857A1 (en) | Arrangement for measuring a rate of rotation using a vibration sensor | |
| CN108535511B (en) | FM accelerometer force balance detection method based on electrostatic negative stiffness frequency solution | |
| JP2014178195A (en) | Vibration type gyro having bias correcting function | |
| TW201809601A (en) | Continuous monitoring of drive amplitude in vibrating microelectromechanical gyroscopes | |
| US11811380B2 (en) | Micro-resonator design implementing internal resonance for MEMS applications | |
| GB2561889A (en) | High performance micro-electro-mechanical systems accelerometer with electrostatic control of proof mass | |
| US20130249630A1 (en) | Frequency Stabilization in Nonlinear MEMS and NEMS Oscillators | |
| CN105917242B (en) | Utilize the method for sensor as the sensor with mixing vibration and the motion sensitive element of swinging operation and control | |
| US9515608B2 (en) | Multimode oscillator enabling simultaneous monitoring of variations in several resonance frequencies of a resonator | |
| Zhang et al. | A mode-localized MEMS accelerometer in the modal overlap regime employing parametric pump | |
| US20060032307A1 (en) | Solid-state rotational rate sensor device and method | |
| US9252707B2 (en) | MEMS mass bias to track changes in bias conditions and reduce effects of flicker noise | |
| US11513135B2 (en) | Method for automatic frequency adaptation of a filter in a closed loop | |
| RU127476U1 (en) | CATHODE-MODULATOR SYSTEM FOR THE CONTROL OF NANO MOVEMENTS | |
| RU2344374C1 (en) | Electrode structure for micromechanical gyroscope and micromechanical gyroscope with such structure (versions) | |
| US9234907B2 (en) | Angular rate sensor with improved aging properties | |
| US11118906B2 (en) | Oscillator circuit including oscillator | |
| CN107979351B (en) | Coupling piezoresistive MEMS oscillator based on high-order synchronization | |
| EP2040032A1 (en) | Improvements in or relating to angular velocity sensors | |
| US9032797B2 (en) | Sensor device and method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM9K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20181201 |