KR970016648A - 넓은 해상 영역을 갖는 주사 전자 현미경의 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 주사 현미경에 관한 것으로 특히 저배율에서부터 고배율에 이르기까지 우수한 해상력을 갖도록 한 넓은 해상영역을 갖는 광학현미경의 구조에 대한 것이다.

종래의 주사 현미경은 저비율(×10K 이하)에서는 전자빔이 시료에 조사된 영역이 좁아 관찰이 어려운(해상도가 급격히 떨어지는) 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점을 극복하기 위한 것으로 전자 총(Electron Gun)과, 자기 렌즈(Magnetic Lens)등을 구비한 컬럼(Column)을 포함하는 주사 전자 현미경에 있어서, 상기 주사 전자 현미경과 배율이 다른 전자 총 및 컬럼으로 형성된 주사 전자 현미경을 병렬로 구성하여 고배율과 저배율에서 동시에 사용할 수 있도록 한 것이다.

Description

넓은 해상 영역을 갖는 주사 전자 현미경의 구조

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1A도와 제1B도는 각각 본 발명 주사 현미경의 개략적 구성도,

제2A도와 제2B도는 각각 본 고안의 다른 실시예를 나타낸 개략적인 구성도.

Claims (5)

1. 전자 총(Electron Gun)과, 자기 렌즈(Magnetic Lens) 등을 구비한 컬럼(Column)을 포함하는 주사 전자현미경에 있어서, 상기 주사 전자 현미경과 배율이 다른 전자 총 및 컬럼으로 형성된 주사 전자 현미경을 병렬로 구성하여, 고배율과 저배율에서 동시에 사용할 수 있도록 형성한 것을 특징으로 하는 해상 영역을 갖는 주사 전자 현미경의 구조.
2. 제1항에 있어서, 상기 두개의 주사 전자 현미경은 시료를 향하여 소정의 각도를 갖도록 배치된 것을 특징으로 하는 해상 영역을 갖는 주사 전자 현미경의 구조.
3. 제1항에 있어서, 상기 두개의 주사 전자 현미경을 평행하게 수직으로 배치하고, 시료를 고정하는 스테이지가 관찰하고자 하는 배율에 따라 이송되도록 한 것을 특징으로 하는 넓은 해상 영역을 갖는 주사 전자 현미경의 구조.
4. 전자 총(Electron Gun)과, 자기 렌즈(Magnetic Lens) 등을 구비한 컬럼(Column)을 포함하는 주사 전자 현미경에 있어서, 단일의 컬럼을 기본으로 하고, 전자 총을 저배율과 고배율타입으로 이중으로 설치하여 필요에 따라 전자 총만 이동시켜 시료를 관찰하도록 구성한 것을 특징으로 하는 넓은 해상 영역을 갖는 주사 전자 현미경의 구조.
5. 전자 총(Electron Gun)과, 자기 렌즈(Magnetic Lens) 등을 구비한 컬럼(Column)을 포함하는 주사 전자 현미경에 있어서, 두개의 배율이 다른 컬럼을 시료를 향하여 소정의 각도를 갖도록 배치하고, 하나의 전자총이 양 컬럼으로 이동되도록 구성한 것을 특징으로 하는 해상 영역을 갖는 주사 전자 현미경의 구조.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.