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KR20170107406A - Maintenance apparatus - Google Patents

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KR20170107406A
KR20170107406A KR1020170032533A KR20170032533A KR20170107406A KR 20170107406 A KR20170107406 A KR 20170107406A KR 1020170032533 A KR1020170032533 A KR 1020170032533A KR 20170032533 A KR20170032533 A KR 20170032533A KR 20170107406 A KR20170107406 A KR 20170107406A
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KR
South Korea
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arm
maintenance device
maintenance
lifting
fork
Prior art date
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KR1020170032533A
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Korean (ko)
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KR102388699B1 (en
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안드레아스 비르크너
시몬 샤트
아른트 에버스
Original Assignee
인티그레이티드 다이나믹스 엔지니어링 게엠베하
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Publication date
Application filed by 인티그레이티드 다이나믹스 엔지니어링 게엠베하 filed Critical 인티그레이티드 다이나믹스 엔지니어링 게엠베하
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Abstract

본 발명은 특히 반도체 장치를 처리하기 위한 시스템의 부품을 들어올리고 이동시키는 유지보수 장치에 관한 것이다. 상기 장치는 빔과 부품을 들어올리는 수단을 구비한 암을 포함하며, 암은 수평면에서 선회 가능하도록 연결 유닛을 통해 빔에 장착되고, 연결 유닛은 빔을 따라 변위 가능하며, 암은 빔에 수직으로 변위 가능하고, 적재물 수용 수단은 선회 가능한 암 상에 제공된다.The present invention particularly relates to a maintenance apparatus for lifting and moving components of a system for processing semiconductor devices. The apparatus comprises an arm with means for lifting the beam and the part, the arm being mounted to the beam via a connecting unit so as to be pivotable in a horizontal plane, the connecting unit being displaceable along the beam, And the load receiving means is provided on the pivotable arm.

Description

유지보수 장치{MAINTENANCE APPARATUS}{MAINTENANCE APPARATUS}

본 발명은 특히 반도체 장치를 처리하기 위한 시스템의 부품을 들어올리고 이동시키는데 적합한 유지보수 장치에 관한 것으로, 특히 계측 시스템, 리소그래피 시스템의 부품 또는 프로세싱 시스템의 부품을 들어올리고 이동시키는데 적합한 유지보수 장치에 관한 것이다. 유지보수 장치는 이러한 부품을 들어올려 수평으로 변위시킨다. 상기 시스템은 특히 청정실에서 사용하기 위한 것이다.The present invention relates in particular to a maintenance apparatus suitable for lifting and moving parts of a system for processing semiconductor devices and, more particularly, to a maintenance apparatus suitable for lifting and moving components of a metrology system, a lithography system, will be. The maintenance device lifts these components and displaces them horizontally. The system is particularly intended for use in clean rooms.

반도체 산업에서, 기판은 점점 더 커지고 있으며, 예컨대, 리소그래피 시스템, 광학 검사 장치 등과 같이 기판을 처리하기 위한 시스템도 커지고 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION In the semiconductor industry, substrates are becoming larger and larger, for example, systems for processing substrates, such as lithography systems, optical inspection devices, and the like.

이는 기판 처리 부품, 광원 부품, 전자빔 소스 또는 측정 센서의 부품 또는 이러한 부품의 조합과 관련될 수 있다. 유지 보수 목적을 위해 장치 또는 그 장치의 아래에 위치된 부품에 액세스하거나 변위된 부품 자체를 검사하도록 각 시스템 부품을 들어올려 측면으로 변위시키는 것이 필요하다.This may relate to a substrate processing component, a light source component, an electron beam source or a component of a measurement sensor or a combination of such components. For maintenance purposes, it is necessary to lift each system component and laterally displace it to access the device or parts located underneath the device, or to inspect the displaced component itself.

이를 위해 모바일 유지보수 크레인이 주로 사용된다. 이러한 크레인은 작동하기가 번거롭기 때문에 종종 관련 시스템 부품을 액세스하기가 어렵다. 특히 아래에 있는 시스템 부품에 도달하기 위해 먼저 여러 시스템 부품을 멀리 이동해야하는 경우가 종종 있다.Mobile maintenance crane is mainly used for this purpose. These cranes are often cumbersome to operate and are therefore often difficult to access the relevant system components. Often it is necessary to first move several system components away, especially to reach the system components below.

따라서, 이는 시스템의 비용-집약적인 다운 타임(downtime)을 초래한다. 또한, 시스템 또는 부품의 오염 또는 손상의 위험이 있다. 또한 예를 들어 시스템 및 이동되는 시스템 부품의 중량, 형상 및 위치에 따라 작업을 수행하는 유지보수 인력의 안전 및 인체 공학 준수를 보장하기 위한 조치가 취해져야 한다.Thus, this leads to cost-intensive downtime of the system. There is also the risk of contamination or damage to the system or components. Measures should also be taken to ensure safety and ergonomic compliance of the maintenance personnel performing the work, for example, depending on the weight, shape and location of the system and the moving system components.

공개된 미국 특허공개공보 US 2013/0088702 A2호는 리소그래피 장치의 모듈을 위한 리프팅 어셈블리를 개시하고 있는데, 상기 어셈블리는 리소그래피 장치에 통합되어 있고, 이에 따라 유지보수 시간을 단축할 수 있다. 상기 어셈블리의 단점은 매우 유연하지 않고 시스템의 필수 부품이라는 것인데, 즉 상기 공보에 기술된 리프팅 어셈블리가 특정 리프팅 작업을 위해 개별적으로 제조되며 다른 시스템 부분을 리프팅하기 위해 이러한 어셈블리를 유연하게 채용하기가 어렵다는 것이다.Published U. S. Patent Publication No. US 2013/0088702 A2 discloses a lifting assembly for a module of a lithographic apparatus, which is integrated in a lithographic apparatus, thereby reducing maintenance time. The disadvantage of the assembly is that it is not very flexible and is a necessary part of the system, i.e. the lifting assembly described in the publication is manufactured separately for a particular lifting operation and it is difficult to flexibly employ such an assembly to lift other system parts will be.

이러한 배경기술에서, 본 발명은 종래 기술의 결점을 완화시키는 목적에 기초한다. 더욱 상세하게는, 무거운 적재물(load)을 이동시키는데 사용될 수 있고, 달리 유연하게 사용될 수 있으며, 단순하고 콤팩트한 구성의 유지보수 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In this background, the invention is based on the object of mitigating the shortcomings of the prior art. More particularly, it is an object of the present invention to provide a simple and compact maintenance apparatus that can be used to move heavy loads and can be used flexibly and flexibly.

특히, 본 발명은 짧은 시간에, 낮은 시스템 오염으로, 작업자에 관해서 안전하고 인체 공학적으로, 또한 시스템 및 시스템 부품에 대해 안전한 방식으로 시스템 부품를 이동시키는 것을 허용하는 유지보수 장치에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to a maintenance device that allows for moving system components in a short time, with low system contamination, safe and ergonomic with respect to the operator, and in a manner that is safe to the system and system components.

본 발명의 목적은 청구항 제1항에 따른 유지보수 장치에 의해 이미 달성된다.The object of the present invention is already achieved by a maintenance apparatus according to claim 1.

본 발명의 바람직한 실시예 및 추가적인 개선은 종속 청구항, 발명의 상세한 설명 및 도면의 요지로부터 명백해질 것이다.The preferred embodiments and further improvements of the present invention will become apparent from the dependent claims, the detailed description of the invention and the gist of the drawings.

본 발명은 특히 반도체 장치를 처리하기 위한 시스템의 부품을 들어올리고 이동시키는데 적합한 유지보수 장치에 관한 것이다. 본 발명의 유지보수 장치는 특히 청정실에 적합하다.The present invention is particularly directed to a maintenance device suitable for lifting and moving parts of a system for processing semiconductor devices. The maintenance apparatus of the present invention is particularly suitable for clean rooms.

상기 유지보수 장치는 특히 적어도 5kg, 바람직하게는 적어도 50kg, 가장 바람직하게는 적어도 500kg의 중량을 이동시키도록 설계된다. 이러한 목적을 위해, 유지보수 장치는 기기 또는 시스템에 영구적으로 또는 일시적으로 통합된 자동화 도구로서 제공된다.The maintenance device is specifically designed to move a weight of at least 5 kg, preferably at least 50 kg, most preferably at least 500 kg. To this end, the maintenance device is provided as an automated tool permanently or temporarily integrated into the device or system.

유지보수 장치는 빔 및 부품을 들어올리는 수단을 갖는 암을 포함한다. 암은 연결 유닛을 통해 수평면 내에서 선회 가능하도록 빔에 장착되고, 연결 유닛은 빔을 따라 변위 가능하며, 암은 수직 방향으로 빔에 수직으로 변위 가능하다.The maintenance apparatus includes an arm having means for lifting the beam and the component. The arm is mounted on the beam so as to be pivotable in a horizontal plane through the connecting unit, the connecting unit is displaceable along the beam, and the arm is vertically displaceable in the beam in the vertical direction.

따라서, 본 발명은 빔으로부터 수평 방향으로 선회될 수 있고 특히 힌지에 의해 빔에 연결되는 암에 관한 것이다.Thus, the present invention relates to an arm that can be pivoted horizontally from a beam and is connected to the beam, especially by a hinge.

상기 힌지는 특히 연결 유닛의 일부일 수 있다.The hinge may in particular be part of a connecting unit.

"수평 방향" 및 "수직 방향"은 설치된 상태에서 유지 보수 장치의 구성 부분의 방향을 나타낸다는 것을 알 수 있을 것이다.It will be appreciated that "horizontal" and "vertical" indicate the orientation of the component parts of the maintenance device in the installed state.

선회 이동을 통해 암은 일 측에서 시스템과 그 부품의 위로 이동될 수 있다.Through the swivel movement, the arm can be moved up the system and its parts on one side.

일 실시예에서, 이러한 선회 이동은 수동으로 수행된다. 다른 실시예에서, 액추에이터, 특히 모터가 선회 이동을 위해 제공된다.In one embodiment, such pivoting movement is performed manually. In another embodiment, an actuator, particularly a motor, is provided for pivotal movement.

바람직하게는, 빔에 대하여 적어도 90°의 선회 이동이 가능하다. 다른 실시예에 따르면, 180°의 선회 이동을 수행하는 것이 가능하다. 따라서 암은 어느 하나가 빔에 대해 대향하는 측을 갖는 2개의 방향으로 배치될 수 있다.Preferably, a pivotal movement of at least 90 [deg.] Relative to the beam is possible. According to another embodiment, it is possible to perform a turning movement of 180 degrees. Thus, the arms can be arranged in two directions, one of which has an opposite side to the beam.

임의의 소망하는 구성의 연결 유닛은 빔의 주 연장 방향을 따라 수평 방향으로 이동될 수 있다. 이는 예컨대 선형 모터, 직접 구동부, 자기(magnetic) 또는 공기 베어링 또는 나사산 스핀들을 사용하여 구현될 수 있다.The connection unit of any desired configuration can be moved horizontally along the main extension direction of the beam. This may be implemented using, for example, a linear motor, a direct drive, a magnetic or air bearing, or a threaded spindle.

또한, 암은 수직 방향으로 빔에 수직으로 이동될 수 있다.Also, the arm can be moved vertically in the beam.

이는 특히 연결 유닛에 암을 위한 암 시트 및 빔 시트를 제공함으로써 구현 될 수 있다. 암 시트는 수직 방향으로 빔 시트에 대해 직선으로 변위 가능하다. 이는 예를 들어, 나사 스핀들 또는 선형 구동부와 같은 전술한 부품을 사용하여 다시 구현될 수 있다.This can be realized especially by providing the connecting unit with an arm sheet and a beam seat for the arm. The armature sheet is linearly displaceable with respect to the beam sheet in the vertical direction. This can be reimplemented using the above-described components, for example, a threaded spindle or a linear drive.

수직 변위 능력은 암을 이용하여 각각의 시스템 부품을 들어올리는 역할을 한다. 이 목적을 위해, 약간 낮게 들어올리는 높이가 일반적으로 충분하고, 이는 암이 수직으로 이동될 수 있는 연결 유닛의 길이가 빔보다 짧음을 의미한다.The vertical displacement capability serves to lift each system component using the arm. For this purpose, a slightly lower lifting height is generally sufficient, which means that the length of the connecting unit in which the arm can be moved vertically is shorter than the beam.

암 및/또는 빔은 레일, 특히 금속 레일로서 제공되는 것이 바람직하다.The arms and / or beams are preferably provided as rails, in particular as metal rails.

대안적인 실시예에서, 탄소 섬유와 같은 섬유 복합 재료 부품은 유지보수 장치의 특히 경량 구성을 제공하기 위해 이용될 수 있다.In an alternative embodiment, a fiber composite material component, such as carbon fiber, can be used to provide a particularly lightweight construction of the maintenance device.

또한, 유지보수 장치는 부품을 위한 적재물 수용 수단을 갖는다.The maintenance device also has a means for receiving the load for the part.

적재물 수용 수단은 시스템 영역 안팎으로 이동되는 부품을 고정하고 들어올리기 위한 수단을 나타낸다. 이는 예를 들어 스크류 연결부, 그리퍼 또는 포크일 수 있다.The load receiving means represents means for fixing and lifting the parts moving into and out of the system area. This may be, for example, a screw connection, a gripper or a fork.

한편으로는, 본 발명의 유지보수 장치는 고도의 유연성을 시사하며, 특히 시스템의 거의 모든 부품이 빔 및 암의 적절한 치수가 주어지면 이동될 수 있다.On the one hand, the maintenance apparatus of the present invention suggests a high degree of flexibility, and in particular, almost all parts of the system can be moved if appropriate dimensions of the beam and arm are given.

다른 한편으로는, 유지보수 장치는 휴대용 유닛으로 함께 접혀질 수 있는 것이 바람직하다. 또한, 일 실시예에 따르면, 유지보수 장치는 시스템에서 최소 공간을 차지하도록 함께 접힐 수 있다.On the other hand, it is preferable that the maintenance apparatus can be folded together as a portable unit. Also, according to one embodiment, the maintenance device can be folded together to occupy the minimum space in the system.

특히, 무거운 적재물을 이동시키는데 사용될 수 있는 유지보수 장치를 제공할 수 있고, 동시에 한 사람에 의해 시스템에 이송 및 설치될 수 있다.In particular, it is possible to provide a maintenance device that can be used to move heavy loads, and at the same time be transported and installed in a system by one person.

일 실시예에서, 유지보수 장치는 예컨대 트롤리 케이스와 같은 케이스를 포함할 수 있고, 휴대용 유닛으로 접혀진 유지보수 장치는 케이스 내에 배치되며, 이에 따라 케이스를 사용하여 시스템으로 이송될 수 있다.In one embodiment, the maintenance device may include a case, such as a trolley case, and the maintenance device folded into the portable unit may be disposed within the case and thus be delivered to the system using the case.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 암 및/또는 적재물 수용 수단은 분리 가능하도록 구성된다. 따라서, 유지보수 장치는 암 및/또는 적재물 수용 수단을 교체함으로써 용이하게 구성될 수 있다. 상기 유지보수 장치는 상이한 부품을 들어올릴 수 있는 방식으로 구성될 수 있다.According to a preferred embodiment of the present invention, the arm and / or load receiving means are configured to be removable. Thus, the maintenance device can be easily configured by replacing the arm and / or load receiving means. The maintenance device can be configured in such a way that different parts can be lifted.

유지보수 장치는 청정실에 적합하도록 설계되는 것이 바람직하다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 유지보수 장치는 이러한 목적을 위해 무 윤활제(lubricant-free) 조인트, 레일 및/또는 베어링을 포함한다.The maintenance device is preferably designed to be suitable for a clean room. According to an embodiment of the invention, the maintenance device comprises a lubricant-free joint, a rail and / or a bearing for this purpose.

슬라이딩 표면을 갖는 무 윤활제 구성 부품 이외에, 예를 들어, 자기 베어링 또는 공기 베어링을 포함할 수 있다.In addition to non-lubricant components with sliding surfaces, for example, magnetic bearings or air bearings may be included.

"무 윤활제"는 액체, 특히 스프레드 제를 포함하는 그리스(grease) 또는 오일을 생략하는 것을 의미한다.By "no lubricant" is meant to omit a grease or oil that contains liquids, especially spreading agents.

슬라이딩 표면은 바람직하게는 슬라이딩 코팅을 갖는다. 엘라스토머 재료 이외에, 경질 재료 코팅 특히, 다이아몬드형 탄소(DLC)을 갖는 베어링 및 레일을 포함할 수 있다.The sliding surface preferably has a sliding coating. In addition to elastomeric materials, hard material coatings may be included, particularly bearings and rails having diamond-like carbon (DLC).

본 발명의 일 실시예에 따르면, 암은 적어도 2개의 연장 가능한 세그먼트를 포함한다.According to an embodiment of the invention, the arm comprises at least two extendable segments.

이들 세그먼트는 바람직하게는 함께 끼워질 수 있으며, 따라서 확대된 작용 반경을 제공함과 동시에 접힌 상태에서 작은 치수를 제공할 수 있다.These segments can preferably be sandwiched together, thus providing an enlarged working radius while providing a small dimension in the collapsed state.

본 발명의 바람직한 실시예에서, 암은 연결 유닛을 통해 회전 가능하도록 설계된다.In a preferred embodiment of the present invention, the arm is designed to be rotatable through the connecting unit.

이는 암이 빔에 수직으로 연장되는 수평축을 중심으로 회전될 수 있음을 의미한다.This means that the arm can be rotated about a horizontal axis extending perpendicular to the beam.

이는 한편으로는 암을 180°로 회전시켜 일부 시스템 부품에 대해 일 측에만 제공된 수용 수단을 다른 방향으로 향하게 할 수 있다.This allows the arm to be rotated 180 ° on the one hand to direct the receiving means provided on only one side to the other in respect of some system components.

다른 한편으로는 암이 수평 방향으로 시스템을 넘어서 선회될 수 있을 뿐만 아니라 하향 또는 상향의 수직 정렬로 배향될 수 있는 방식이 가능하다.On the other hand, it is possible that the arm can be turned not only in the horizontal direction but also in the downward or upward vertical alignment.

이러한 방식으로, 예를 들어, 컴팩트하게 구성된 유지보수 장치를 사용하여, 화강암 슬래브와 같은 매우 무거운 시스템 부품을 이동시킬 수 있는데, 이는 암의 수직 위치에서 암에 대한 상당한 레버리지 효과(leverage effect)가 없기 때문이다.In this way, for example, a compactly configured maintenance device can be used to move very heavy system components, such as granite slabs, because there is no significant leverage effect on the cancer in the vertical position of the arm Because.

무거운 적재물을 들어올리기 위해, 서로 직경 방향으로 반대쪽에 위치되고 부품을 넘어서 암을 선회할 필요없이 양측으로부터 관련 부품의 에지부에 접근하는 2개의 유지보수 장치를 사용하는 것이 특히 바람직하다.In order to lift the heavy load it is particularly preferred to use two maintenance devices which are located diametrically opposite one another and which approach the edge of the associated part from both sides without having to swing the arm over the part.

다른 한편으로는, 중량이 낮은 시스템 부품의 경우에는 단일 유지보수 장치로 충분하다. 암은 어디에서든 부품에 도달할 수 있도록 시스템을 넘어 수평으로 선회된다.On the other hand, for low-weight system components, a single maintenance device is sufficient. The arm is pivoted horizontally beyond the system to reach the part from anywhere.

시스템 부품을 들어올리기 위해, 바람직하게는 적재물 수용 수단은 바람직한 실시 예에 따라 고려되는 접이식(fold-out) 포크를 포함할 수 있다. 포크는 암에 연결된다.To lift the system components, preferably the load receiving means may comprise a fold-out fork considered in accordance with the preferred embodiment. The fork is connected to the arm.

본 발명의 일 실시예에서, 포크는 암을 따라 변위 가능하다. 특히, 포크는 낮은 중량의 시스템 부품를 들어올릴 수 있다. 바람직하게는, 포크는 또한 회전을 위해 암에 장착될 수 있어서 간단한 회전 이동에 의해 암에 평행하게 배치될 수 있고, 접혀진 상태에서 컴팩트한 크기의 모듈을 다시 제공하기 위해 함께 접힐 수 있다.In one embodiment of the invention, the fork is displaceable along the arm. In particular, the forks can lift low-weight system components. Preferably, the fork can also be mounted on the arm for rotation so that it can be placed parallel to the arm by a simple rotational movement, and folded together to provide a compact size module again in the folded state.

본 발명의 일 실시예에서, 암은 바람직하게는 포크에 반대인 암의 측 상에 배치되는, 부품을 위한 추가의 수용 수단을 구비한다.In one embodiment of the invention, the arm is provided with an additional receiving means for the part, which is preferably arranged on the side of the arm opposite the fork.

이는 특히 예를 들어 엘보와 같은 지지부 일 수 있다.This may in particular be a support, for example an elbow.

바람직하게는, 포크의 반대쪽에 있는 상기 수용 수단은 무거운 하중, 특히 들어올리는 중에 암이 수직으로 정렬되는 적재물을 들어올리기 위해 제공된다.Preferably, said receiving means on the opposite side of the fork is provided for lifting a heavy load, especially a load in which the arm is vertically aligned during lifting.

본 발명의 추가적인 실시예에서, 유지보수 장치 및 특히 유지보수 장치의 궤도는 시스템 측에 제공된 데이터 항목 또는 데이터 세트를 사용하여 프로그래밍 될 수 있다.In a further embodiment of the invention, the trajectory of the maintenance device and in particular the maintenance device can be programmed using a data item or data set provided on the system side.

특히, 시스템 측으로부터 각각의 장치에 개별 식별자를 할당하는 것이 고려된다.In particular, it is considered to assign a unique identifier to each device from the system side.

가장 단순한 경우, 이는 유지보수 장치의 제어기에 수동으로 입력되는 번호일 수 있다.In the simplest case, this may be a number manually entered into the controller of the maintenance device.

바람직하게는, 유지보수 장치에는 시스템 측에 제공된 데이터 세트를 판독하도록 구성된 리더가 구비된다. 이는 예를 들어 RFID 시스템의 형태로 또는 바코드의 형태로 구현될 수 있다.Preferably, the maintenance apparatus is provided with a reader configured to read the data set provided to the system side. This can be implemented, for example, in the form of an RFID system or in the form of a bar code.

이러한 방식으로, 예를 들어 메모리로부터 복구 가능한 개별 모션 프로파일을 업로드함으로써 시스템에 설치될 때 유지보수 장치는 그 자체가 각각의 시스템에 적합하게 된다.In this way, for example, when installed in a system by uploading a recoverable individual motion profile from the memory, the maintenance device itself is suitable for each system.

또한, 본 발명은 특히 반도체 장치를 처리하는데 적합한 시스템에 관한 것이다.The present invention also relates to a system particularly suitable for processing semiconductor devices.

시스템은 시스템에 장착될 수 있는 유지보수 장치를 포함한다. 유지보수 장치는 특히 시스템의 프레임에 장착 가능하다.The system includes a maintenance device that can be mounted to the system. The maintenance device is particularly mountable on the frame of the system.

또한, 유지보수 장치는 부품을 들어올리는 수단을 포함한다.The maintenance device also includes means for lifting the component.

시스템에 장착할 수 있다는 것은 유지보수 장치가 일시적으로 시스템에 연결될 수 있음을 의미한다.Being able to mount in the system means that the maintenance device can be temporarily connected to the system.

종래의 크레인과 대조적으로, 유지보수 장치는 장착된 상태의 시스템의 부품이지만 필요시에만 장착되도록 제거될 수 있다.In contrast to conventional cranes, the maintenance device is a part of the system in the mounted state, but can be removed for mounting only when necessary.

이러한 유지보수 장치를 제공하는 비용은 이러한 방식으로 실질적으로 감소된다.The cost of providing such a maintenance device is substantially reduced in this manner.

또한 시스템의 필수 부품인 장비는 대부분의 경우애 별도로 인증받을 필요가 없다.In addition, equipment, which is an integral part of the system, does not need to be authenticated separately in most cases.

상기 시스템은 바람직하게는 적어도 하나의 빔 및 시스템 영역에 위치된 부품을 들어올리도록 구성된 적어도 하나의 적재물 수용 수단을 포함하는 유지보수 장치를 포함한다.The system preferably includes at least one beam and at least one load receiving means configured to lift a component located in the system region.

적재물 수용 수단은 적어도 빔에 대해 수직 및 수평 이동을 수행할 수 있도록 구성된다.The load receiving means is configured to be able to perform vertical and horizontal movement at least with respect to the beam.

상기 유지보수 장치는 전술한 유지보수 장치인 것이 바람직하다.It is preferable that the maintenance apparatus is the maintenance apparatus described above.

바람직한 실시예에 따라 고려되는 바와 같이, 유지보수 장치는 시스템-측 수용 수단에 의해 장착된다.As is contemplated in accordance with the preferred embodiment, the maintenance device is mounted by the system-side receiving means.

특히, 상기 시스템은 빔이 고정될 수있는 프레임을 포함하는 것이 고려된다.In particular, it is contemplated that the system includes a frame to which the beam can be fixed.

이는 특히 신속-해제 클램프 기기에 의해 수행될 수 있다.This can be done in particular by a quick-release clamping device.

약간 무거운 적재물을 들어올리기 위해, 시스템은 2개의 대향하는 유지보수 장치를 포함할 수 있다.In order to lift a slightly heavy load, the system may include two opposing maintenance devices.

본 발명은 또한 부품, 특히 반도체 장치를 처리하기 위한 시스템의 부품을 들어올리고 이동시키는 방법에 관한 것이다. 이를 위해, 전술한 바와 같은 유지보수 장치 또는 시스템이 사용된다.The present invention also relates to a method of lifting and moving components, particularly components of a system for processing semiconductor devices. To this end, a maintenance device or system as described above is used.

본 발명의 추가적인 실시예에 따르면, 제어기를 사용하여 궤도를 따라 이동이 수행되는 것이 고려된다.According to a further embodiment of the invention, it is contemplated that movement is performed along the track using a controller.

특히, 제어기는 궤적을 저장하는 메모리를 포함하는 것이 고려된다. 이러한 방식으로, 이동되는 부품은 장애물을 지나서 쉽게 구동될 수 있다.In particular, it is contemplated that the controller includes a memory for storing the locus. In this way, the moving part can be easily driven past the obstacle.

또는, 제어기는 입력 장치를 포함할 수 있고, 상기 입력 장치에 의해 유지보수 장치가 직접 제어된다. 제어기는 특히 조이스틱 또는 키보드 또는 터치 스크린을 포함하도록 구성될 수 있다.Alternatively, the controller may include an input device, and the maintenance device is directly controlled by the input device. The controller may be specifically configured to include a joystick or keyboard or touch screen.

본 발명은 특히 유지보수 장치가 제어기를 포함하여 상기 제어기에 의해 적재물 수용 수단이 공간에서 두 수평 방향으로 이동될 수 있는 것을 고려한다.The present invention particularly contemplates that the maintenance device includes a controller such that the load receiving means can be moved in two horizontal directions in space.

적재물 수용 수단이 직선으로 이동되도록 의도되는 경우에, 제어기가 직접 제어되는 경우, 즉 제어시 회전 이동을 수행하는 경우, 적재물 수용 수단이 직선으로 이동되는 것은 어려울 것이다.In the case where the load receiving means is intended to be moved in a straight line, it will be difficult for the load receiving means to be moved in a straight line when the controller is directly controlled, that is, when performing a rotary movement in control.

따라서, 유지보수 장치는, 예를 들어 조이스틱을 어떤 방향으로 이동시킴으로써 어떤 방향의 병진 이동이 제어기를 통해 사전에 정해질 수 있도록, 그리고 사전에 프로그래밍 된 이동 프로파일을 통해 전체의 실질적인 병진 이동이 상기 암의 선회 이동 및 연결 유닛의 병진 이동과 같은 적어도 하나의 추가적인 선형 이동으로부터 초래되도록 구성된다.Thus, the maintenance device can be configured to move the joystick in any direction so that translational movement in any direction can be predetermined through the controller, and that a substantially total translational movement through the pre- And at least one additional linear movement, such as translational movement of the linking unit.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 유지보수 장치의 제어기는 특히 WiFi 또는 블루투스 연결을 통해 제어 유닛에 무선으로 연결될 수 있다. 상기 무선으로 연결된 제어 유닛은 예를 들어, 스마트 폰, 랩탑 컴퓨터 또는 태블릿 컴퓨터일 수 있다.According to one embodiment of the invention, the controller of the maintenance device can be wirelessly connected to the control unit, in particular via a WiFi or Bluetooth connection. The wirelessly connected control unit may be, for example, a smart phone, a laptop computer, or a tablet computer.

그러나 제어기는 유선 제어 장치에 연결될 수도 있다. 제어 유닛과 제어기를 별도로 제공하는 것은 유지보수 작업을 보다 용이하게 수행할 수 있다는 이점이 있다. 제어 유닛은 위치 센서 또는 가속도 센서를 구비할 수도 있어서, 유지보수 장치는 예컨대 제스처를 통해 제어될 수 있다.However, the controller may be connected to a wired control device. Providing the control unit and the controller separately provides an advantage that the maintenance work can be performed more easily. The control unit may have a position sensor or an acceleration sensor so that the maintenance device can be controlled, for example, via a gesture.

바람직하게는, 이미 존재하는 컴퓨터가 제어기로서 사용될 수 있으며, 특히 태블릿 컴퓨터 또는 스마트 폰으로서 제공될 수도 있다.Preferably, an already existing computer can be used as a controller, and in particular may be provided as a tablet computer or a smart phone.

본 발명의 요지는 예시적인 실시예에 의해 그리고 도 1 내지 도 40을 참조하여 더욱 상세하게 설명될 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 유지보수 장치의 예시적인 실시예의 사시도이다.
도 2는 도 1의 유지보수 장치의 접힌 상태를 도시한다.
도 3은 상세도이다.
도 4 내지 도 8은 유지보수 장치의 배치를 더욱 상세하게 설명하기 위한 것이다.
도 9 내지 도 15는 상이한 동작 상태의 유지보수 장치의 부품을 예시하는, 유지보수 장치의 상세도이다.
도 16 내지 도 24는 반도체 장치를 처리하는 시스템에서의 유지보수 장치의 다양한 적용 예를 도시하며, 도 22 및 도 24는 유지보수 장치의 상세도이다.
도 24는 도 23에서 사용된 유지보수 장치의 상세도이다.
도 25 내지 도 28은 본 발명에 따른 유지보수 장치의 설치를 더욱 상세하게 설명하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 유지보수 장치의 이러한 실시예는 단지 시스템에 일시적으로 장착된다.
도 29 내지 도 31은 신속-해제 클램프 기기를 이용한 유지보수 장치의 설치를 도시한다.
도 32 및 도 33은 신속-해제 클램프 기기의 상세도이다.
도 34는 유지보수 장치의 암의 각도를 평평하게 하기 위한 힌지를 갖는 유지보수 장치를 도시한다.
도 35는 도 34에 도시된 유지보수 장치의 상세도이다.
도 36은 2개의 수직 구동부를 포함하는, 선행 도면에 대한 대안으로서의 유지보수 장치의 실시예의 사시도이다.
도 37은 리더와 교시 데이터를 포함하는 메모리를 구비한 유지보수 장치의 상세도이다.
도 38 내지 도 40은 본 발명에 따른 유지보수 장치가 사용되는 부품을 이동시키기 위한 방법을 더욱 상세하게 설명하기 위한 것이다.The gist of the present invention will be explained in more detail by means of an exemplary embodiment and with reference to Figs.
1 is a perspective view of an exemplary embodiment of a maintenance device according to the present invention;
Fig. 2 shows the folded state of the maintenance apparatus of Fig.
3 is a detailed view.
Figures 4-8 are intended to further illustrate the arrangement of the maintenance device.
9 to 15 are detail views of a maintenance apparatus illustrating components of a maintenance apparatus in different operating states.
Figs. 16 to 24 show various application examples of the maintenance apparatus in the system for processing the semiconductor device, and Figs. 22 and 24 are detailed views of the maintenance apparatus.
24 is a detailed view of the maintenance apparatus used in Fig.
25 to 28 illustrate the installation of the maintenance apparatus according to the present invention in more detail. This embodiment of the maintenance device according to the invention is only temporarily mounted in the system.
29-31 illustrate the installation of a maintenance device using a quick-release clamping device.
32 and 33 are detailed views of the quick-release clamping device.
34 shows a maintenance device having a hinge for leveling the angle of the arm of the maintenance device.
Fig. 35 is a detailed view of the maintenance apparatus shown in Fig. 34. Fig.
36 is a perspective view of an embodiment of an alternative maintenance device for the preceding figures, including two vertical drive portions;
37 is a detailed view of a maintenance apparatus having a memory including a reader and teaching data.
38 to 40 are intended to explain in more detail a method for moving a part in which the maintenance apparatus according to the present invention is used.

도 1은 유지보수 장치(1)의 예시적인 제1 실시예를 도시한다. 유지보수 장치(1)는 예를 들어 반도체 장치들을 처리하기 위한 시스템에 장착되는 빔(2)을 포함한다.Fig. 1 shows an exemplary first embodiment of the maintenance device 1. Fig. The maintenance apparatus 1 comprises, for example, a beam 2 mounted in a system for processing semiconductor devices.

빔(2)은 레일형 구성이며 유지보수 장치의 설치 상태에서 수평으로 정렬될 수 있고, 이는 빔(2)의 주 연장 방향이 수평으로 놓이는 것을 의미한다. 좌표계가 표시된 상기 도면에서 빔은 x-y 평면에 있다. z로 표시된 공간 방향은 본 발명의 의미에서 공간상의 수직 방향이다.The beam 2 is of a rail type configuration and can be horizontally aligned in the installed state of the maintenance apparatus, meaning that the main extension direction of the beam 2 lies horizontally. In the above figure, where the coordinate system is indicated, the beam is in the x-y plane. The spatial direction denoted by z is the vertical direction in space in the sense of the present invention.

암(3)은 암 시트(7)에 대한 수직 구동부를 포함할 수 있는 연결 유닛(5)을 통해 빔(2)에 선회 가능하게 장착된다.The arm 3 is pivotally mounted on the beam 2 through a connecting unit 5 which may include a vertical drive for the arm 7.

상기 예시적인 실시예에서, 암(3)은 빔(2)에 수평으로 선회 가능하게, 즉 축선(4)을 중심으로 선회 가능하도록 장착된다. 이를 위해, 연결 유닛(5)은 힌지를 포함한다.In this exemplary embodiment, the arm 3 is mounted so as to be pivotable horizontally to the beam 2, i.e., pivotable about the axis 4. To this end, the connecting unit 5 comprises a hinge.

상기 예시적인 실시예에서, 암(3)은 180°로 선회 될 수 있으므로, 암(3)은 그 양측이 빔(2)에 대해 접촉하도록 선회될 수 있다.In this exemplary embodiment, the arm 3 can be pivoted 180 °, so that the arm 3 can be pivoted so that both sides thereof contact the beam 2.

연결 유닛(5)은 암 시트(7) 및 빔 시트(6)를 또한 포함한다.The connecting unit 5 also includes an arm sheet 7 and a beam sheet 6.

빔 시트(6)는 빔(2)을 따라 수평으로 이동될 수 있다. 대응하는 이동은 화살표(12)로 표시된다.The beam sheet 6 can be moved horizontally along the beam 2. [ The corresponding movement is indicated by arrow 12.

또한, 암 시트(7)는 화살표(l3)로 표시된 빔 시트(6)에 대해 수직으로 이동될 수 있다.Further, the arm sheet 7 can be moved vertically with respect to the beam sheet 6 indicated by the arrow 13.

암 시트(7)를 상승시킴으로써, 암(3) 및, 그에 따른 이동되는 부품이 들어 올려지며, 수평 이동에 의해 시스템 영역 밖으로 이동될 수 있다.By raising the arm sheath 7, the arm 3 and the parts to be moved thereby are lifted and can be moved out of the system area by horizontal movement.

상기 예시적인 실시예에서, 암(3)은 서로 끼워질 수 있는 세그먼트(3a, 3b) 즉, 암(3)을 짧게 또는 길게 하기 위해 세그먼트(3b)가 세그먼트(3a) 내로 슬라이딩될 수 있는 세그먼트(3a, 3b)로 구성된다.In this exemplary embodiment, the arms 3 are provided with segments 3a, 3b that can be fitted to each other, that is, segments that the segment 3b can slide into the segment 3a to shorten or lengthen the arm 3, (3a, 3b).

본 발명의 다른 실시예(본원 명세서에 도시되지 않음)에서, 암(3)은 이 경우에 포크(8)가 장착되는 세그먼트(3a)로만 구성될 수 있다.In another embodiment of the invention (not shown here), the arm 3 may consist solely of the segment 3a in which the fork 8 is mounted in this case.

부품을 픽업하기 위해, 암(3)은 그 일측에 포크(8)를 포함하며, 상기 포크(8)는 펼쳐진 상태로 도시되어 있다. 포크(8)는 상부의 리세스(10) 내에 수용되도록 접힐 수 있는 상부(8b) 및 하부(8a)로 구성된다.To pick up the part, the arm 3 includes a fork 8 on one side thereof, and the fork 8 is shown in an unfolded state. The fork 8 is composed of an upper portion 8b and a lower portion 8a which can be folded to be received in the upper recess 10.

그러나, 부품은 예를 들어 암(3a)에 직접 고정됨으로써 포크없이 픽업될 수 있다.However, the part can be picked up without a fork, for example, by being fixed directly to the arm 3a.

하나의 포크(8)는 세그먼트(3a)에 장착되고 다른 포크는 세그먼트(3b)에 장착된다.One fork 8 is mounted on the segment 3a and the other fork is mounted on the segment 3b.

상기 예시적인 실시예에서, 포크(8)는 화살표(14)로 표시된 바와 같이 암 (3)을 따라 또는 각각의 세그먼트(3a, 3b)를 따라 수평 방향으로 변위 가능하다.In this exemplary embodiment, the fork 8 is displaceable horizontally along the arms 3 or along the respective segments 3a, 3b, as indicated by the arrows 14.

이러한 방식으로 포크(8) 사이의 간격을 수정할 수 있다.In this way, the spacing between the forks 8 can be modified.

또한, 상기 실시예에서, 포크의 상부(8b)는 암(3)의 상부에 수직으로 연장되는 회전축(9)을 중심으로 회전하도록 암(3)에 장착된다.Further, in the above embodiment, the upper portion 8b of the fork is mounted on the arm 3 so as to rotate about a rotation axis 9 extending vertically to the upper portion of the arm 3. [

여기에 도시되지 않은 본 발명의 다른 실시예에서, 상부는 회전될 수 없다.In another embodiment of the invention not shown here, the top can not be rotated.

따라서, 포크(8)는 주 연장 방향이 암(3)의 주 연장 방향과 일치하도록 회전될 수 있다. 유지보수 장치(1)는 이러한 방식으로 컴팩트하게 될 수 있다.Thus, the fork 8 can be rotated so that the main extension direction coincides with the main extension direction of the arm 3. The maintenance apparatus 1 can be made compact in this way.

포크(8)에 반대인 암(3)의 측면 상에는, 상기 실시예에서 암(3) 또는 세그먼트(3b)의 단부에 수용 수단(11)이 제공되어서 무거운 적재물을 들어올리는 역할을 한다. 상기 예시적인 실시예에서, 수용 수단(11)은 단순한 엘보(elbow) 형태이다.On the side of the arm 3 opposite to the fork 8 there is provided a receiving means 11 at the end of the arm 3 or the segment 3b in the embodiment to serve to lift the heavy load. In this exemplary embodiment, the receiving means 11 is in the form of a simple elbow.

포크(8) 및 수용 수단(11)은 모두 운송 중에 부품을 고정하기 위한 추가의 잠금 수단을 포함할 수 있으며, 이는 도시되지 있지 않다.Both the fork 8 and the receiving means 11 may include additional locking means for securing the part during transport, which is not shown.

각각의 선회 위치에서 암(3)을 잠금시키고 서로에 대하여 세그먼트(3a, 3b)를 잠금하기 위한 선택적인 로킹 수단 또한 도시되지 있지 않다.Optional locking means for locking the arms 3 and locking the segments 3a, 3b with respect to each other in their respective pivot positions are also not shown.

일 실시예에서, 유지보수 장치(1)는 완전히 수동으로 작동된다. 연결 유닛(5)은 예컨대 크랭크 구동부에 의해 빔(2)을 따라 변위될 수 있다.In one embodiment, the maintenance apparatus 1 is fully operated manually. The connecting unit 5 can be displaced along the beam 2, for example by a crank drive.

바람직하게는, 암 시트(7)를 통해 암(3)을 수직 방향으로 구동시키는 크랭크 구동부가 또한 제공된다.Preferably, a crank drive portion for driving the arm 3 in the vertical direction through the armature 7 is also provided.

암(3)의 선회 및 세그먼트(3b)의 추출 및 포크(8)의 펼침은 수동으로 수행될 수 있다.The turning of the arm 3 and the extraction of the segment 3b and the spreading of the fork 8 can be performed manually.

본 발명의 대안적인 실시예에서, 화살표(12, 13)를 따른 병진 운동 및 선택적으로 세그먼트(3b)의 연장은 전동 방식으로 수행된다. 본 발명의 일 실시예에서, 암(3)의 선회 이동은 또한 전동 방식으로 수행된다.In an alternative embodiment of the invention, the translation along the arrows 12, 13 and optionally the extension of the segment 3b is carried out in a motorized manner. In one embodiment of the invention, the pivotal movement of the arm 3 is also carried out in a motorized manner.

제어기에서 키를 통해 또는 인터페이스와 외부 유닛 통해 제어가 이루어질 수 있다. 이러한 제어는 축선이 수동으로 제어되지 않고 유지보수 장치의 다른 액추에이터 또는 센서가 제어를 위해 요구되지 않는 경우에만 필요하다.Control can be done via the key in the controller or via the interface and the external unit. This control is only necessary if the axis is not manually controlled and no other actuators or sensors of the maintenance device are required for control.

선택적으로, 유지보수 장치(1)는 특히 들어 올려진 부품의 높이를 평평하게 하는 것을 허용하기 위해 센서를 추가로 포함할 수 있다.Optionally, the maintenance device 1 may further comprise a sensor, in particular to allow flattening of the height of the lifted component.

도 2는 유지보수 장치(1)가 접힌 상태를 도시한다.Fig. 2 shows a state in which the maintenance apparatus 1 is folded.

암(3)의 세그먼트는 함께 끼워지고, 암(3)은 이제 빔(2)에 기대어 있다는 것을 알 수 있다.It can be seen that the segments of the arm 3 are sandwiched together and the arm 3 is now leaning against the beam 2. [

포크(8)도 접혀서 암(3)에 안착한다.The fork 8 is also folded and rests on the arm 3. [

이러한 관점에서, 유지보수 장치(1)는 컴팩트한 휴대용 유닛으로 용이하게 접힐 수 있음이 명백할 것이다.From this point of view, it will be clear that the maintenance apparatus 1 can be easily folded into a compact portable unit.

연결 유닛(5)만이 빔으로부터 측 방향으로 돌출되어 있다. 그러나, 바람직하게는 빔(2)의 길이의 상당히 짧은 길이, 바람직하게는 빔(2)의 길이의 1/3보다 짧다. 유지보수 장치가 수직 구동 수단을 구비하는 경우에, 빔(2)을 넘어 측 방향으로 돌출하는 연결 유닛(5)은 변위되는 부품을 수직으로 들어올리는데 필요하다.Only the connecting unit 5 projects laterally from the beam. However, it is preferably shorter than the length of the beam 2, preferably one-third of the length of the beam 2. In the case where the maintenance device comprises vertical drive means, a connection unit 5 projecting laterally beyond the beam 2 is required to vertically lift the part to be displaced.

도 3은 연결 유닛(5)을 통해 빔(2)에 장착되어 있는, 도 2에 도시된 암(3)의 상세도이다.3 is a detailed view of the arm 3 shown in Fig. 2 mounted on the beam 2 via the connecting unit 5. Fig.

도 3에서는 암 시트(7)가 빔 시트(6)에 대해 회전될 수 있는 것을 알 수 있다.3, it can be seen that the arm sheet 7 can be rotated with respect to the beam sheet 6.

회전축(15)은 암(3)의 주 연장 방향을 따라 수평면에서 연장된다. 암(3)이 회전을 위해 장착된다는 사실로 인해, 암(3)은 도 3에 도시된 위치에 대해 90°로 회전될 수 있고, 이후에 암(3)의 주 연장 방향이 수직으로 정렬시키기 위해 상향 또는 하향으로 연장되도록 선회 될 수 있다.The rotary shaft (15) extends in a horizontal plane along the main extension direction of the arm (3). Due to the fact that the arm 3 is mounted for rotation, the arm 3 can be rotated 90 DEG relative to the position shown in FIG. 3, and then the main extension direction of the arm 3 is aligned vertically Or may be pivoted to extend upwardly or downwardly.

도 4 내지 도 8을 참조하여, 유지보수 장치(1)를 펼치는 것이 설명될 것이다.With reference to Figs. 4 to 8, the expansion of the maintenance apparatus 1 will be described.

도 4는 도 2와 마찬가지로 접은 상태의 유지보수 장치(1)를 도시한다.Fig. 4 shows a maintenance apparatus 1 in a folded state as in Fig.

도 5에서는 유지보수 장치(1)의 연결 유닛(5)이 암(3)의 좌측 단부에서 암(3)의 우측 단부로 이동되었다. 이제 사용자는 암(3) 및 본 실시예에 제공되며 암 상에 배치된 포크(8)에 양호하게 액세스할 수 있게 된다.In Fig. 5, the connection unit 5 of the maintenance apparatus 1 is moved from the left end of the arm 3 to the right end of the arm 3. The user now has good access to the arms 3 and the forks 8 provided in this embodiment and arranged on the arms.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 이제 포크(8)는 함께 접혀진 포크(8)의 주 연장 방향이 수직이 되도록 90°로 선회될 수 있다.As shown in Figs. 6 and 7, the fork 8 can now be pivoted by 90 degrees such that the main extension direction of the fork 8 folded together is perpendicular.

이어서, 도 8에 도시된 바와 같이, (이 실시예에서는 접힐 수 있는)포크의 하부(8a)는 접힐 수 있어서, 포크(8)가 L-형상 구성을 형성한다.Then, as shown in Fig. 8, the lower portion 8a of the fork (which can be folded in this embodiment) can be folded, so that the fork 8 forms an L-shaped configuration.

도 9는 예를 들어 올려지는 부품이 위치하는 시스템 영역 위에 위치되도록, 암(3)이 어떻게 수평으로 선회 되는지를 도시한다.Fig. 9 shows how the arm 3 is pivoted horizontally, for example so that it is above the system area where the part to be raised is located.

도 10에 도시된 바와 같이, (이 예시적인 실시예에서 연장 가능한 구성의)암(3)은 포크(8)가 서로 이격되도록 꺼내질 수 있다.As shown in FIG. 10, the arms 3 (of the extendible configuration in this exemplary embodiment) can be pulled out of the forks 8 apart from one another.

도 11에서 알 수 있는 바와 같이, 적어도 하나의 포크(8)는 이 예시적인 실시예에서 암(3)을 따라 수평 방향으로 변위 가능하다.As can be seen in Fig. 11, at least one fork 8 is displaceable in the horizontal direction along the arm 3 in this exemplary embodiment.

도 12는 포크(8) 및 시트(11)를 공간의 각각의 반대 방향을 향하게 배치하기 위해, 이 예시적인 실시예에서 암(3)이 회전되는 추가적인 상세도이다.Figure 12 is a further detail view in which the arm 3 is rotated in this exemplary embodiment in order to position the fork 8 and the seat 11 in opposite directions of the space.

또한, 도 13에 도시된 바와 같이, 암(3)은 더 이상 빔(2)에 대해 수평 방향으로 선회될 수 없도록 회전될 수 있지만, 상향 또는 하향으로 선회될 수 있다.Further, as shown in Fig. 13, the arm 3 can be rotated so that it can no longer be pivoted horizontally with respect to the beam 2, but can be pivoted upwardly or downwardly.

도 14는 암(3)이 완전히 하향으로 선회된 위치에 있는 것을 도시한다. 상기 위치에서, 암(3)은 시스템 영역 내로 측 방향으로 선회되지 않도록 되어있다. 오히려, 암은 연결 유닛을 통해 수평 방향으로 변위된다. 상기 위치에서, 무거운 적재물은 수용 수단(11)을 사용하여 측 방향으로 결합되고 들어올릴 수 있다.Fig. 14 shows that the arm 3 is in the fully downwardly pivoted position. In this position, the arm 3 is prevented from turning laterally into the system area. Rather, the arm is displaced horizontally through the connecting unit. In this position, the heavy load can be laterally coupled and lifted using the receiving means 11.

이러한 방식으로, 암(3)은 이제 빔(2)에 대해 긴 레버를 형성하지 않기 때문에, 상당히 무거운 적재물이 측 방향 선회 위치와 다른 위치로 이동될 수 있다.In this way, since the arm 3 does not now form a long lever with respect to the beam 2, a heavier load can be moved to a position different from the lateral pivot position.

도 15에 도시된 바와 같이, 암(3)은 상향으로 선회될 수 있어서, 수용 수단(11)이 이제 빔(2) 위에 위치된다.As shown in Fig. 15, the arm 3 can be pivoted upwardly, so that the receiving means 11 is now located above the beam 2. As shown in Fig.

도 16은 반도체 장치들을 처리하기 위한 시스템(16)의 사시도를 도시한다.16 shows a perspective view of a system 16 for processing semiconductor devices.

시스템(16)은 방진 장치(18) 상에 장착된 테이블(17)을 포함한다.The system 16 includes a table 17 mounted on an anti-vibration device 18.

화강암 슬래브로서 바람직하게 설계된 테이블(17) 상에는 반도체 장치를 처리하기 위한 시스템(16)의 구성 부분이고, 이 예에서는 계측 장치(21)를 포함하는 시스템(16)의 구성 부분인 이동식 스테이지(19)가 장착된다.On a table 17 that is preferably designed as a granite slab is a component part of a system 16 for processing semiconductor devices and in this example a movable stage 19 which is a component part of a system 16 including a metrology device 21, Respectively.

시스템(16)은 청정실에서 사용되는 것이 바람직하다.The system 16 is preferably used in a clean room.

시스템(16)은 또한 프레임(20)을 포함한다. 프레임(20)의 내부에는 계측 장치(21)의 센서가 배치된다.The system 16 also includes a frame 20. Inside the frame 20, a sensor of the measuring device 21 is disposed.

상기 도면에서 알 수 있는 바와 같이, 이전에 예시된 유지보수 장치(1)의 빔(2)은 프레임(20)에 장착된다.As can be seen in the figure, the beam 2 of the previously illustrated maintenance apparatus 1 is mounted to the frame 20. [

도 17에 도시된 바와 같이, 암(3)은 빔(2)으로부터 수평 방향으로 선회될 수 있고, 상기 예시적인 실시예에서는 예컨대, 광학 센서와 같은 센서(22)가 포크(8)에 의해 아래에서부터 파지될 수 있다. 상기 예시적인 실시예에서 광학 센서(22)인 부품은 임의의 진공 흡입 수단 또는 기계적 잠금 수단 또는 자기 잠금 수단에 의해 포크(8) 상에서 슬라이딩(미 도시)에 대해 고정될 수 있다.17, the arm 3 may be pivoted horizontally from the beam 2, and in the exemplary embodiment, the sensor 22, such as an optical sensor, for example, Lt; / RTI > In this exemplary embodiment, the component, which is the optical sensor 22, can be fixed relative to the slide (not shown) on the fork 8 by any vacuum suction means or mechanical locking means or magnetic locking means.

도 18에 도시된 바와 같이, 상기 예시적인 실시예에서 광학 센서(22)인 부품은 암(3)의 선회 이동에 의해 시스템 영역 밖으로 쉽게 이동될 수 있고, 제거되거나 유지보수 작업이 수행될 수 있다. 이를 위해, 연결 유닛(5)은 빔(2)을 따라 수평 방향으로 이동된다.As shown in FIG. 18, in this exemplary embodiment, the component, which is the optical sensor 22, can be easily moved out of the system area by pivotal movement of the arm 3, and can be removed or a maintenance operation can be performed . To this end, the connecting unit 5 is moved in the horizontal direction along the beam 2. [

이제 스테이지(19), 광학 센서(22) 또는 계측 시스템의 다른 부품이 유지보수 작업을 위해 액세스될 수 있다.The stage 19, the optical sensor 22, or other components of the metrology system can now be accessed for maintenance operations.

도 19에 도시된 바와 같이, 스테이지(l9)는 또한 포크(8)에 의해 시스템 영역 밖으로 선회될 수 있다.19, the stage 19 may also be pivoted out of the system area by the fork 8.

이를 위해, 상기 예시적인 실시예에서 암(3)은 세그먼트(3a)에서 세그먼트 (3b)를 부분적으로 추출함으로써 연장된다. 이제 포크(8)는 도 17에 도시된 조건에 비해 더 넓은 간격을 갖는다.To this end, in the exemplary embodiment, the arm 3 is extended by partially extracting the segment 3b from the segment 3a. The fork 8 now has a wider spacing than the condition shown in Fig.

도 20 내지 도 24를 참조하여 무거운 부품의 변위가 설명된다.The displacement of the heavy part is described with reference to Figs. 20-24.

도 20은 반도체 장치를 처리하기 위한 시스템(16)을 다시 도시한다.20 again shows a system 16 for processing semiconductor devices.

선행하는 도면과 대조적으로, 이제 서로 정반대로 배치된 시스템(16)의 프레임(20)에 2개의 유지보수 장치(1)가 장착된다.In contrast to the preceding figures, two maintenance devices 1 are now mounted on the frame 20 of the system 16, which are arranged opposite one another.

각각의 유지보수 장치(1)의 암(3)은 시스템 영역 내로 수평 방향으로 선회되지 않고, 암(3)이 하향으로 선회될 수 있는 위치로 90°로 회전되어서, 엘보-형상 수용 수단(11)이 암(3)의 하부 단부를 획정한다.The arm 3 of each maintenance device 1 is not pivoted horizontally into the system area and is rotated 90 ° to a position where the arm 3 can be pivoted downward so that the elbow- ) Defines a lower end of the arm (3).

다른 예시적인 실시예에서, 선회 가능한 암은 이동되는 부품(상기 예시적인 실시예에서는 테이블(17))을 유지보수 장치에 연결시키는 다른 특히 선회 불가능한 부품으로 대체될 수 있다.In another exemplary embodiment, the pivotable arm may be replaced by another particularly non-pivotable part that connects the moved part (the table 17 in the exemplary embodiment) to the maintenance device.

도 21에 도시된 바와 같이, 전체 테이블(17)은 암(3) 및 수용 수단(11)에 의해 들어 올려지고 빔(2)을 따라 암을 변위시킴으로써 암(3)에 의해 시스템 영역 밖으로 부분적으로 이동될 수 있다.The entire table 17 is lifted by the arm 3 and the receiving means 11 and is displaced partially out of the system area by the arm 3 by displacing the arm along the beam 2. [ Can be moved.

이를 위해, 유지보수 장치(1)는 동기화된 수평 및/또는 수직 구동부(미 도시)를 포함할 수 있다. 전동 수평 및/또는 수직 구동부의 경우에, 이러한 동기화는 구동 제어기를 통해 달성될 수 있으며, 특히 수동의 수평 및/또는 수직 구동부의 경우에, 예를 들어 이동축에 결합된 연결 샤프트인 기계적인 링크를 통해 달성될 수 있다.To this end, the maintenance device 1 may comprise synchronized horizontal and / or vertical drivers (not shown). In the case of an electric horizontal and / or vertical drive, this synchronization can be achieved through a drive controller, and in particular in the case of manual horizontal and / or vertical drives, for example a mechanical link Lt; / RTI >

도 22는 테이블을 들어올리기 위해 암 시트(7)를 통해 연결 유닛(5)을 따라 상향으로 구동될 수 있는 하향으로 선회되는 암(3)의 상세도이다.22 is a detailed view of the downwardly pivoted arm 3 which can be driven upwardly along the connecting unit 5 through the arm sheath 7 to raise the table.

도 23은 2개의 유지보수 장치(1)를 사용하여 유지보수 장치(1) 위에 배치된 무거운 적재물을 이동시키는 것도 가능함을 보여준다. 이를 위해, 암(3)은 수직 상향으로 선회되어서, 다른 구성 요소, 특히 상기 도면에 도시된 시스템(16)의 필터 모듈(23)을 들어올리고 빔(2)을 따라 측 방향으로 변위시킨다.Fig. 23 shows that it is also possible to move the heavy load placed on the maintenance apparatus 1 using the two maintenance apparatuses 1. To this end, the arm 3 is pivoted vertically upwardly to lift the filter module 23 of the other components, in particular the system 16 shown in the figure, and laterally displace along the beam 2.

도 24는 다시 암(3)의 상세도이다.24 is a detailed view of the arm 3 again.

암(3)은 수직 상향으로 선회되어서 수용 수단(11)이 암(3)의 상부 단부에 위치되는 것을 알 수 있다. 상기 적재물은 암 시트(7)를 이동시킴으로써 다시 들어올릴 수 있다.It can be seen that the arm 3 is pivoted vertically upward so that the receiving means 11 is located at the upper end of the arm 3. [ The load can be lifted again by moving the arm sheath 7.

도 25 내지 도 28을 참조하여, 본 발명에 따른 유지보수 장치의 설치가 이제 더욱 상세히 설명될 것이다.25 to 28, the installation of the maintenance apparatus according to the present invention will now be described in more detail.

도 25에 도시된 바와 같이, 접은 상태에서, 유지보수 장치는 사용자에 의해 시스템에 가져갈 수 있는 트롤리 케이스(24)에 수용될 수 있다.As shown in Fig. 25, in the folded state, the maintenance device can be received in a trolley case 24 that can be taken by the user into the system.

도 26은 유지보수 장치(1)가 접힌 상태로 수용되어 있는 개방된 트롤리 케이스를 도시한다.26 shows an opened trolley case in which the maintenance apparatus 1 is housed in a folded state.

다음으로, 도 27 및 도 28에 도시된 바와 같이, 유지보수 장치(1)의 빔(2)은 시스템(16)의 프레임(20)에 장착될 수 있다. 유지보수 장치(1)는 시스템의 상부 시스템 부품(23)와 시스템(16)의 테이블(17) 사이에 배치된다.27 and 28, the beam 2 of the maintenance apparatus 1 may be mounted to the frame 20 of the system 16. [ The maintenance apparatus 1 is disposed between the upper system component 23 of the system and the table 17 of the system 16. [

유지보수 장치(1)의 선택적으로 제공되는 제어기(미 도시)가 또한 트롤리 케이스(24)에 수용될 수 있다. 대안적인 실시예에 따르면, 제어기는 시스템 자체의 구성 부분이므로 시스템으로 이송될 필요가 없다.An optional controller (not shown) of the maintenance apparatus 1 may also be housed in the trolley case 24. [ According to an alternative embodiment, the controller is part of the system itself and need not be transported to the system.

설치는 예를 들어 프레임(20) 상의 나사 연결에 의해 수행될 수 있다.The installation can be carried out, for example, by a screw connection on the frame 20.

그러나, 바람직하게는 도 30 및 도 31을 참조하여 더욱 상세하게 설명되는 바와 같이, 신속-해제 클램핑 기기가 사용된다.However, a quick-release clamping device is preferably used, as will be described in more detail with reference to Figures 30 and 31.

도 29에 도시된 바와 같이, 유지보수 장치를 장착하기 위해 어댑터(25)가 사용될 수 있다.As shown in Fig. 29, an adapter 25 may be used to mount the maintenance device.

어댑터는 예를 들어 형상-맞춤(form-fitting) 및/또는 힘-잠금 방식으로 프레임(20)에 고정될 수 있다.The adapter may be secured to the frame 20, for example, in a form-fitting and / or force-locking manner.

일 실시예에 따르면, 달리 설계된 시스템 상에 설치될 수 있도록 몇몇 상이한 어댑터가 유지보수 도구로 둘러싸여 있다. 특히 상이한 시스템(16)의 프레임(20)의 각각의 시스템 프로파일에 적응되는 상이한 폭의 어댑터가 제공될 수 있다.According to one embodiment, several different adapters are surrounded by maintenance tools so that they can be installed on otherwise designed systems. Adapters of different widths may be provided that are particularly adapted to the respective system profile of the frame 20 of the different system 16.

도 30에 도시된 바와 같이, 어댑터(25)는 프레임(20)에 고정된다. 어댑터는 특히 클립형 구성을 가질 수 있고 힘-잠금 및/또는 형상- 맞춤 방식으로 프레임에 연결될 수 있다.As shown in Fig. 30, the adapter 25 is fixed to the frame 20. Fig. The adapter may have a particularly clip-like configuration and may be connected to the frame in a force-locking and / or shape-fitting manner.

유지보수 장치(1)의 빔(2)은 바람직하게는 신속-해제 클램핑 기기에 의해 어댑터(25)에 장착될 수 있다.The beam 2 of the maintenance device 1 can preferably be mounted to the adapter 25 by a quick-release clamping device.

이는 도 32 및 도 33에 상세히 도시된다.This is illustrated in detail in Figs. 32 and 33.

상기 예시적인 실시예에서, 어댑터(25)의 신속-해제 클램핑 기기는 캠(27)을 갖는 각각의 레버(26)를 포함한다. 빔(2)은 어댑터의 리세스(28)에 배치된다.In this exemplary embodiment, the quick-release clamping device of the adapter 25 includes a respective lever 26 having a cam 27. The beam 2 is disposed in the recess 28 of the adapter.

도 33에 도시된 바와 같이, 어댑터(25)의 신속-해제 클램핑 기기는 레버 (26)를 선회시킴으로써 잠금된다.33, the quick-release clamping device of the adapter 25 is locked by pivoting the lever 26. As shown in Fig.

그러나, 서로 다른 형상-맞춤 또는 힘-잠금 요소가 또한 사용될 수 있다는 것을 이해할 것이다.However, it will be understood that different shape-fitting or force-locking elements may also be used.

도 34는 유지보수 장치의 추가적인 실시예를 도시한다. 이 실시예에서, 연결 유닛(5)은 암 시트(7)와 빔 시트(6) 사이에 배치된 보상 조인트(30)를 포함한다.34 shows a further embodiment of a maintenance device. In this embodiment, the connecting unit 5 includes a compensating joint 30 disposed between the armature sheet 7 and the beam sheet 6.

화살표(29)로 나타낸 바와 같이, 수용된 적재물은 암(3)에 힘을 가하고, 이는 긴 레버 및 시스템의 유한한 강성으로 인해 암(3)이 각도(α)만큼 편향되도록 한다.As shown by the arrow 29, the loaded load exerts a force on the arm 3, which causes the arm 3 to deflect by an angle? Due to the long lever and the finite stiffness of the system.

이는 높이의 변경, 특히 적재물의 각도 위치의 변경을 초래한다.This results in a change in height, in particular a change in angular position of the load.

이러한 각도 위치의 변경은 센서(31)에 의해 검출되고 보상 조인트(30)를 통해 암(3)을 상향으로 선회함으로써 액추에이터(미 도시)를 사용하여 보상 조인트(30)를 통해 보상될 수 있다.This change in angular position can be compensated through compensating joint 30 using an actuator (not shown) by detecting the sensor 31 and pivoting the arm 3 upwardly through the compensating joint 30.

이는 바람직하게는 자동화되어있다.It is preferably automated.

전동 액추에이터가 액추에이터로 사용될 수 있다. 특히 피에조 액추에이터, 전기 모터 또는 공압식 수단의 사용이 권장된다. 수동적인 실시예도 가능하다.Electric actuators can be used as actuators. In particular, the use of piezo actuators, electric motors or pneumatic means is recommended. Passive embodiments are also possible.

도 35는 보상 조인트(30)의 상세도이며, 상기 예시적인 실시예에서는 굴곡 베어링으로서 구현된다.35 is a detail view of the compensating joint 30, which is embodied as a flexural bearing in the exemplary embodiment.

액추에이터(39)는 상기 굴곡 베어링의 2개의 절반 사이에 위치된다.The actuator 39 is positioned between two halves of the flexural bearing.

도 36은 특히 무거운 적재물을 들어올리기 위한 유지보수 장치(1)의 대안적인 실시예를 도시한다. 이를 위해, 유지보수 장치는 빔(2)이 장착되는 2개의 연결 유닛(5)을 포함한다.Fig. 36 shows an alternative embodiment of a maintenance device 1 for lifting a particularly heavy load. To this end, the maintenance device comprises two connection units 5 on which the beam 2 is mounted.

상기 예시된 실시예에서와 같이, 빔(2)은 연결 유닛(5)을 통해 상향으로 구동될 수 있고, 시스템에 위치된 부품은 이러한 방식으로 들어올려질 수 있다.As in the illustrated embodiment, the beam 2 can be driven upwards via the connecting unit 5, and the parts located in the system can be lifted in this way.

전술한 실시예에 대응하는 암(3)은 추가적인 연결 유닛(32)에 의해 빔에 선회가능하게 장착된다.The arm 3 corresponding to the above-described embodiment is pivotally mounted to the beam by an additional connecting unit 32. Fig.

연결 유닛(32)은 특히 전동 방식으로 수평 방향으로 변위 가능하다.The connecting unit 32 is horizontally displaceable, in particular in a motorized manner.

그러나, 수직 이동은 연결 유닛(5)을 통해 이루어진다.However, the vertical movement is made through the connecting unit 5.

또한, 상기 실시예에 도시된 암은 연결 유닛(32)를 통해 회전하도록 장착되어서, 시스템 영역 내로 선회되거나 또는 무거운 적재물을 들어올리기 위해 수직 상향 또는 하향으로 정렬될 수 있다.Further, the arm shown in the above embodiment can be mounted to rotate through the connecting unit 32, and can be aligned vertically upward or downward to pivot into the system area or lift the heavy load.

특히, 본 발명은 프로세싱 시스템의 부품 또는 프로세스 검사 시스템의 부품 (예를 들어, 측정 센서, 리소그래피 시스템의 부품, 특히 측정 장치, 리소그래피 장치, 계측 장치, 광학 검사 장치, 전자빔 기반의 검사 장치, 코팅 시스템 및 반도체 기판 처리 시스템)을 위한 유지보수 장치에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 반도체 처리용 마스크를 제조하는 시스템에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 전술한 시스템의 핸들링 시스템, 예를 들어 로봇을 핸들링하는 시스템에 관한 것이다. 또한, 제약 및 식품 산업의 청정실 내에서 시스템의 사용이 또한, 특히 제품 포장 및 충전 시스템에서 고려될 수 있다. 또한, 기계 공학 산업 시스템에서의 사용도 가능하다.In particular, the present invention relates to a method and system for the inspection of parts of a processing system or parts of a process inspection system (e.g., measuring sensors, parts of a lithography system, in particular measuring devices, lithographic apparatus, metrology apparatuses, optical inspection apparatuses, And a semiconductor substrate processing system). The present invention also relates to a system for manufacturing a mask for semiconductor processing. The invention also relates to a handling system of the aforementioned system, for example a system for handling a robot. In addition, the use of the system in the clean room of the pharmaceutical and food industries can also be considered, especially in product packaging and filling systems. It can also be used in mechanical engineering industrial systems.

도 37은 본 실시예에서 리더(33)와 메모리(34)인 서로 통신하는 2개의 부품을 포함하는 유지보수 장치의 상세도이다. 메모리(34)는 교시 데이터를 저장한다. 그 외에 유지보수 장치는 도 1에 도시된 유지 보수 장치와 같이 구성된다.37 is a detailed view of a maintenance apparatus including two components communicating with each other, the reader 33 and the memory 34 in the present embodiment. The memory 34 stores teaching data. In addition, the maintenance apparatus is configured as the maintenance apparatus shown in Fig.

상기 유지보수 장치는 특히 신속-해제 클램프를 사용하여 상기 시스템에 장착될 수 있는 빔(2)을 포함한다.The maintenance apparatus comprises a beam (2) which can be mounted to the system, in particular using a quick-release clamp.

상기 예시적인 실시예에서, 리더(33)는 빔(2) 상에 배치되고, 상기 빔(2)은 무선 방식으로 상기 예시적인 실시예에서 시스템의 프레임(20)에 장착된 시스템-측 메모리(34)를 판독할 수 있다. 메모리(34)는 특히 RFID칩으로 설계될 수 있다.In this exemplary embodiment, a reader 33 is disposed on the beam 2 and the beam 2 is transmitted wirelessly to the system-side memory (not shown) mounted in the frame 20 of the system in the exemplary embodiment 34 can be read. The memory 34 may be specifically designed as an RFID chip.

리더(33)를 통해, 이제 유지보수 장치가 교시 데이터로 프로그래밍 될 수 있다. 특히, 특정 시스템 부품을 시스템 영역 밖으로 이동시키는 모션 프로파일이 미리 프로그래밍 될 수 있다.Through the reader 33, the maintenance device can now be programmed with teaching data. In particular, a motion profile that moves certain system components out of the system area can be pre-programmed.

도 38 내지 도 40을 참조하여 본 발명의 유지보수 장치의 예시적인 실시예가 부품을 들어올리고 이를 시스템 영역 밖으로 이동시키는데 사용되는 방식으로 설명될 것이며, 상기 유지보수 장치는 특히 도 1에 도시된 유지보수 장치에 대응할 수 있고, 따라서 그 중에서도 빔에 장착된 선회 가능한 암을 포함한다.38-40, an exemplary embodiment of the maintenance apparatus of the present invention will be described in a manner that is used to lift the component and move it out of the system area, And therefore includes a pivotable arm mounted on the beam.

도 38에 개략적으로 도시된 바와 같이, 부품은 초기 위치(35)에서 최종 위치(36)로 이동된다.As shown schematically in Figure 38, the part is moved from the initial position 35 to the final position 36.

상기 부품은 상기 방향으로 위치한 장애물(37, 38)을 지나 이동되어야 한다.The part must be moved past an obstacle 37, 38 located in that direction.

알 수 있는 바와 같이, 초기 위치(35)에서 최종 위치(36)로의 이동은 2개의 직선, 즉 서로 둔각인 병진 이동으로 구성된다.As can be seen, the movement from the initial position 35 to the final position 36 consists of two straight lines, i.e. translational movement obtuse to each other.

상기 도면은 수평축 및 수직축에 의해 획정되는 평면, 즉 수직 평면 내의 이동에 관련된다. 또한, 궤적을 따르는 이동은 궤도 제어로의 선회 이동을 포함시킴으로써 제3 차원, 즉 수평면에서 수행될 수 있다.The figure relates to the movement defined in the plane defined by the horizontal and vertical axes, i.e., the vertical plane. Further, movement along the trajectory can be performed in the third dimension, i.e., the horizontal plane, by including the turning movement into the trajectory control.

궤도는 적어도 2개의 병진 이동으로 구성되는 것이 바람직하다.Preferably, the orbit is comprised of at least two translational movements.

도 39에 개략적으로 도시된 바와 같이, 초기 위치(35)에서 최종 위치(36)로의 이동은 서로 수직인 복수의 병진 이동으로 구성될 수도 있다.As schematically shown in Fig. 39, the movement from the initial position 35 to the final position 36 may consist of a plurality of translational movements perpendicular to each other.

그러나, 도 40에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따라, 초기 위치(35)에서 시작하여 회전 이동 또는 원 이동을 먼저 수행한 다음, 부품을 병진 이동으로 최종 위치(36)로 구동시킬 수 있다. 이러한 회전 이동 또는 원 이동은 예를 들어 실질적으로 둥근 장애물(37)을 피하기 위해 병진 이동의 조합에 의해 이루어질 수 있다.However, as shown in FIG. 40, in accordance with an embodiment of the present invention, the rotational movement or the circular movement is first performed starting from the initial position 35, and then the component is moved by translational movement to the final position 36 . This rotational movement or circular movement can be effected, for example, by a combination of translational movements to avoid a substantially rounded obstacle 37.

도 38 내지 도 40에 도시된 바와 같이 수직 평면, 즉 x-z 평면에서의 이동은 다른 공간 방향, 특히 수평면, 즉 x-y 평면에 동일하게 적용될 수 있다.As shown in Figs. 38 to 40, the movement in the vertical plane, that is, the x-z plane, can be equally applied to other spatial directions, especially the horizontal plane, i.e., the x-y plane.

수평면에서, 병진 이동은 부분적으로 암의 선회 운동 및 유지보수 장치의 연결 유닛의 병진 이동으로부터 구성될 수 있다.In the horizontal plane, the translational movement can be constituted in part from the swinging motion of the arm and the translational movement of the connecting unit of the maintenance device.

본 발명은 유연하게 적용될 수 있고 무거운 적재물을 이동시키는데 적합한 경량이고 휴대용 리프팅 장치를 제공할 수 있게 한다.The present invention makes it possible to provide a lightweight, portable lifting device that is flexible and suitable for transporting heavy loads.

1 유지보수 장치
2 빔
3 암
3a, 3b 세그먼트
4 축선
5 연결 유닛
6 빔 시트
7 암 시트
8 포크
8b 상부
8a 하부
9 회전축
10 리세스
11 수용 수단
12-14 화살표
15 회전축
16 반도체 장치를 처리하기 위한 시스템
17 테이블
18 방진 장치(vibration isolator)
19 스테이지
20 프레임
21 계측 장치
22 센서
23 필터 모듈
24 트롤리 케이스
25 어댑터
26 레버
27 캠
28 리세스
29 화살표
30 보상 조인트
31 센서
32 연결 유닛
33 리더
34 교시 데이터를 갖는 메모리
35 초기 위치
36 최종 위치
37 장애물
38 장애물
39 액추에이터1 Maintenance device
2 beam
3 Cancer
3a, 3b segment
4 axis
5 connecting unit
6 beam sheet
7 Arm Seat
8 forks
8b upper portion
8a Lower
9 Rotary shaft
10 recess
11 reception means
12-14 arrows
15 rotary shaft
16 System for processing semiconductor devices
17 Table
18 Vibration isolator
19 stages
20 frames
21 Measuring devices
22 sensor
23 Filter module
24 trolley cases
25 adapter
26 lever
27 Cam
28 recess
29 Arrow
30 compensation joint
31 sensor
32 connecting unit
33 Leaders
Memory with 34 teaching data
35 Initial Position
36 Final position
37 obstacles
38 obstacles
39 Actuator

Claims (15)

특히 반도체 장치를 처리하기 위한 시스템(16)의 부품을 들어올리고 이동시키는 유지보수 장치(1)로,
상기 유지보수 장치는 빔(2)과 부품을 들어올리기 위한 수단을 구비한 암(3)을 포함하며,
상기 암은 수평면에서 선회 가능하도록 연결 유닛(5)을 통해 빔에 연결되고, 상기 연결 유닛(5)은 상기 빔을 따라 변위 가능하며, 상기 암(3)은 빔에 수직으로 변위 가능하고, 부품을 위한 적재물 수용 수단은 선회 가능한 암(3) 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 유지보수 장치.In particular, as a maintenance device (1) for lifting and moving parts of a system (16) for processing semiconductor devices,
The maintenance device comprises an arm (3) with a beam (2) and means for lifting the part,
Said arm being connectable to a beam via a connecting unit (5) so as to be pivotable in a horizontal plane, said connecting unit (5) being displaceable along said beam, said arm (3) being vertically displaceable with respect to the beam, Is provided on the pivotable arm (3). ≪ Desc / Clms Page number 13 > 선행하는 항에 있어서,
상기 연결 유닛(5)은 암 시트(7) 및 빔 시트(6)를 구비하며, 상기 암 시트(7)는 빔 시트(6)에 대하여 직선으로 변위 가능한 것을 특징으로 하는 유지보수 장치.In the preceding paragraph,
Characterized in that said connection unit (5) comprises an armrest (7) and a beam seat (6), said armrests (7) being linearly displaceable with respect to the beam seat (6). 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
상기 암(3) 및/또는 적재물 수용 수단 및/또는 포크는 분리 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 유지보수 장치.10. A method according to any one of the preceding claims,
Characterized in that the arm (3) and / or the load receiving means and / or the fork are detachably configured. 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
상기 암(3)은 연결 유닛(5)을 통해 회전 가능하도록 설계되는 것을 특징으로 하는 유지보수 장치.10. A method according to any one of the preceding claims,
Characterized in that the arm (3) is designed to be rotatable through the connecting unit (5). 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적재물 수용 수단은 부품을 지지하는 접이식 포크(8), 특히, 회전 및/또는 수평 방향으로 변위 가능하도록 암에 장착되는 접이식 포크(8)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유지보수 장치.10. A method according to any one of the preceding claims,
Characterized in that said load receiving means comprises a foldable fork (8) for supporting the part, in particular a foldable fork (8) mounted on the arm for rotation and / or displacement in the horizontal direction. 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
상기 암(3)은 부품을 위한 추가적인 수용 수단(11)을 포함하며, 상기 수용 수단은 바람직하게는 상기 포크(8)에 반대인 암(3)의 측 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 유지보수 장치.10. A method according to any one of the preceding claims,
Characterized in that the arm (3) comprises an additional receiving means (11) for the part, the receiving means being preferably arranged on the side of the arm (3) opposite the fork (8) Device. 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유지보수 장치(1)는 휴대용 유닛으로 접혀질 수 있거나 및/또는 모바일 사용에 적합한 것을 특징으로 하는 유지보수 장치.10. A method according to any one of the preceding claims,
Characterized in that the maintenance device (1) can be folded into a portable unit and / or suitable for mobile use. 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유지보수 장치는 무 윤활제 조인트, 레일 및/또는 베어링, 특히, 공기 베어링 또는 자기 베어링을 구비하거나 및/또는 상기 유지보수 장치에는 입자 흡입 유닛이 구비되는 것을 특징으로 하는 유지보수 장치.10. A method according to any one of the preceding claims,
Characterized in that the maintenance device comprises a lubricantless joint, a rail and / or a bearing, in particular an air bearing or a magnetic bearing, and / or the maintenance device is provided with a particle suction unit. 시스템(16), 특히 반도체 장치를 처리하기 위한 시스템(16)으로,
상기 시스템은 시스템, 특히 시스템의 프레임에 장착될 수 있는 유지보수 장치(1)를 포함하며,
상기 유지보수 장치는 부품을 들어올리는 수단을 구비하며, 특히, 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 따른 유지보수 장치인 것을 특징으로 하는 시스템.With the system 16, particularly a system 16 for processing semiconductor devices,
The system comprises a maintenance device (1) which can be mounted to a system, in particular a frame of the system,
Characterized in that the maintenance device comprises means for lifting the component, in particular a maintenance device according to any one of the preceding claims. 선행하는 청구항에 있어서,
상기 시스템은 상기 유지보수 장치(1)의 빔(2)을 위한 시트를 구비하는 것을 특징으로 하는 시스템.In the preceding claim,
Characterized in that the system comprises a seat for the beam (2) of the maintenance device (1). 두 선행하는 청구항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유지보수 장치(1)는 신속-해제 클램프 기기에 의해 시스템에 장착될 수 있으며, 상기 신속-해제 클램프 기기는 바람직하게는 시스템(16)의 프레임(20) 상에 장착되는 어댑터(25)를 특히 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.The method according to any one of the preceding claims,
The quick-release clamping device preferably comprises an adapter 25 mounted on the frame 20 of the system 16, ≪ / RTI > 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
서로 정반대로 배치된 2개의 유지보수 장치(1)를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.10. A method according to any one of the preceding claims,
Characterized in that it comprises two maintenance devices (1) arranged opposite one another. 부품을 들어올리고 이동시키는 방법으로,
상기 방법은 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 따른 유지보수 장치 및/또는 시스템을 사용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.By lifting and moving parts,
Characterized in that the method comprises using a maintenance device and / or system according to any one of the preceding claims. 선행하는 청구항에 있어서,
상기 이동은 제어기를 사용하여 적어도 2개의 다른 이동 방향을 포함하는 궤적을 따라 이동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.In the preceding claim,
Wherein the movement comprises using a controller to move along a locus comprising at least two different directions of movement. 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
유지보수 장치를 이용하여 적어도 2개의 다른 부품 또는 시스템 부품을 들어올리고 이동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.10. A method according to any one of the preceding claims,
And lifting and moving at least two other components or system components using the maintenance device.
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