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KR20160119080A - Glass laminate - Google Patents

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KR20160119080A
KR20160119080A KR1020167020720A KR20167020720A KR20160119080A KR 20160119080 A KR20160119080 A KR 20160119080A KR 1020167020720 A KR1020167020720 A KR 1020167020720A KR 20167020720 A KR20167020720 A KR 20167020720A KR 20160119080 A KR20160119080 A KR 20160119080A
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KR
South Korea
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resin layer
glass substrate
glass
silicone resin
layer
Prior art date
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Withdrawn
Application number
KR1020167020720A
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Korean (ko)
Inventor
교코 야마모토
다카시 사사키
다카미치 시모사카
경훈 민
다이스케 우치다
다츠야 미야지마
유키 이시카와
Original Assignee
아사히 가라스 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 아사히 가라스 가부시키가이샤 filed Critical 아사히 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

고온 가열 처리 후에도 유리 기판을 용이하게 박리할 수 있고, 실리콘 수지층의 분해도 억제된 유리 적층체를 제공한다. 지지 기재의 층과 실리콘 수지층과 유리 기판의 층을 이 순서대로 구비하고, 실리콘 수지층 중의 실리콘 수지가, T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위를 갖고, 전체 오르가노실록시 단위에 대한 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위의 합계 비율이 80 내지 100몰%이고, T3 중의 R이 페닐기인 오르가노실록시 단위 (A-1)과, T3 중의 R이 메틸기인 오르가노실록시 단위 (B-1)의 몰비((A-1):(B-1))가 80 내지 20:20 내지 80이고, 소정의 박리 강도 관계를 만족하는, 유리 적층체.
T3: R-SiO3 /2(식 중, R은 페닐기 또는 메틸기를 나타냄)
A glass laminate capable of easily peeling off a glass substrate even after high-temperature heating treatment and suppressing decomposition of a silicon resin layer is provided. A silicone resin layer, and a glass substrate layer in this order, wherein the silicone resin in the silicone resin layer has an organosiloxy unit represented by T3, and a ratio of T3 to the total organosiloxy unit Wherein the organosiloxy unit (A-1) wherein the total proportion of the organosiloxy units to be displayed is 80 to 100 mol%, R in the T3 is a phenyl group, and the organosiloxy unit (B- (A-1): (B-1)) of 80 to 20: 20 to 80, and satisfies the predetermined peel strength relationship.
T3: R-SiO 3/2 ( wherein, R represents a phenyl group or a methyl group)

Description

유리 적층체 {GLASS LAMINATE}Glass laminate {GLASS LAMINATE}

본 발명은 유리 적층체에 관한 것이며, 특히 소정의 실리콘 수지층을 구비하는 유리 적층체에 관한 것이다.The present invention relates to a glass laminate, and more particularly to a glass laminate having a predetermined silicone resin layer.

최근, 태양 전지(PV), 액정 패널(LCD), 유기 EL 패널(OLED) 등의 디바이스(전자 기기)의 박형화, 경량화가 진행되고 있고, 이들 디바이스에 사용하는 유리 기판의 박판화가 진행되고 있다. 박판화에 의해 유리 기판의 강도가 부족하면, 디바이스의 제조 공정에 있어서, 유리 기판의 핸들링성이 저하된다.2. Description of the Related Art In recent years, thinner and lighter devices (electronic devices) such as a solar cell (PV), a liquid crystal panel (LCD), and an organic EL panel (OLED) have been made thinner. If the strength of the glass substrate is insufficient due to the thinning, the handling property of the glass substrate is lowered in the manufacturing process of the device.

최근에는, 상기 과제에 대응하기 위해, 박판 유리 기판과 보강판을 적층한 유리 적층체를 준비하고, 유리 적층체의 박판 유리 기판 상에 표시 장치 등의 전자 디바이스용 부재를 형성한 후, 박판 유리 기판으로부터 지지판을 분리하는 방법이 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 보강판은, 지지판과, 해당 지지판 상에 고정된 실리콘 수지층을 갖고, 실리콘 수지층과 박판 유리 기판이 박리 가능하게 밀착된다. 유리 적층체의 실리콘 수지층과 박판 유리 기판의 계면이 박리되고, 박판 유리 기판으로부터 분리된 보강판은, 새로운 박판 유리 기판과 적층되어, 유리 적층체로서 재이용하는 것이 가능하다.In recent years, in order to cope with the above-mentioned problem, a glass laminate in which a thin plate glass substrate and a reinforcing plate are laminated is prepared, an electronic device member such as a display device is formed on a thin plate glass substrate of a glass laminate, A method of separating a support plate from a substrate has been proposed (see, for example, Patent Document 1). The reinforcing plate has a support plate and a silicone resin layer fixed on the support plate, and the silicone resin layer and the thin plate glass substrate are brought into close contact with each other in a peelable manner. The interface between the silicon resin layer of the glass laminate and the thin plate glass substrate is peeled off and the reinforcing plate separated from the thin plate glass substrate is laminated with a new thin plate glass substrate and can be reused as a glass laminate.

국제 공개 제2007/018028호International Publication No. 2007/018028

특허문헌 1에 기재된 유리 적층체에 관하여, 최근 더 높은 내열성이 요구되어 왔다. 유리 적층체의 유리 기판 상에 형성되는 전자 디바이스용 부재의 고기능화나 복잡화에 수반하여, 전자 디바이스용 부재를 형성할 때의 온도가 더 고온으로 됨과 함께, 그 고온에 노출되는 시간도 장시간을 요하는 경우가 적지 않다.With respect to the glass laminate described in Patent Document 1, higher heat resistance has been required in recent years. As the electronic device member formed on the glass substrate of the glass laminate becomes more sophisticated and complicated, the temperature for forming the electronic device member becomes higher and the time for exposing to the higher temperature is also longer There are a few cases.

특허문헌 1에 기재된 유리 적층체는 대기 중 300℃, 1시간의 처리에 견딜 수 있다. 그러나, 본 발명자들의 검토에 따르면, 특허문헌 1에 기재된 유리 적층체에 대하여 450℃, 1시간의 처리를 행한 경우, 유리 기판과 지지 기판을 분리하려고 할 때, 유리 기판이 실리콘 수지층 표면으로부터 박리되지 않고, 무리하게 박리하려고 하면 유리 기판의 일부가 파괴되어, 결과로서 전자 디바이스의 생산성의 저하를 초래하는 경우가 있었다.The glass laminate described in Patent Document 1 can withstand treatment at 300 ° C for 1 hour in air. However, according to the study by the present inventors, when the glass laminate described in Patent Document 1 is subjected to the treatment at 450 ° C for 1 hour, when the glass substrate and the support substrate are to be separated from each other, And if it is forcibly peeled off, a part of the glass substrate is destroyed, and as a result, the productivity of the electronic device is deteriorated in some cases.

또한, 특허문헌 1에 기재된 유리 적층체 중의 실리콘 수지층은, 450℃에 있어서는 단시간 안에 분해가 일어나, 다량의 아웃 가스가 발생한다. 이러한 아웃 가스의 발생은, 유리 기판 상에 형성되는 전자 디바이스용 부재를 오염시켜, 결과로서 전자 디바이스의 생산성을 저하시키는 원인으로 된다.In addition, the silicon resin layer in the glass laminate described in Patent Document 1 decomposes at 450 캜 in a short time, and a large amount of out gas is generated. Such generation of outgas causes contamination of a member for an electronic device formed on a glass substrate, resulting in a deterioration in the productivity of the electronic device.

본 발명은 상기 과제에 비추어 이루어진 것이며, 고온 가열 처리 후에도 유리 기판을 용이하게 박리할 수 있고, 실리콘 수지층의 분해도 억제된 유리 적층체를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a glass laminate capable of easily peeling off a glass substrate even after high-temperature heating treatment and suppressing decomposition of a silicon resin layer.

본 발명자들은, 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토를 행한 결과, 본 발명을 완성하였다.Means for Solving the Problems The present inventors have intensively studied in order to solve the above problems, and as a result, have completed the present invention.

즉, 본 발명은 지지 기재의 층과 실리콘 수지층과 유리 기판의 층을 이 순서대로 구비하고, 실리콘 수지층 중의 실리콘 수지가, 후술하는 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위를 갖고, 전체 오르가노실록시 단위에 대한 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위의 합계 비율이 80 내지 100몰%이고, T3 중의 R이 페닐기인 오르가노실록시 단위 (A-1)과, T3 중의 R이 메틸기인 오르가노실록시 단위 (B-1)의 몰비((A-1)/(B-1))가 80/20 내지 20/80이고, 실리콘 수지층의 유리 기판의 층에 대한 계면의 박리 강도와 실리콘 수지층의 지지 기재의 층에 대한 계면의 박리 강도가 상이한, 유리 적층체이다.That is, the present invention relates to a silicone resin composition comprising a support substrate layer, a silicone resin layer and a glass substrate layer in this order, wherein the silicone resin in the silicone resin layer has an organosiloxy unit represented by T3 described later, An organosiloxy unit (A-1) wherein the total proportion of organosiloxy units represented by T3 to siloxy units is 80 to 100 mol%, R in T3 is a phenyl group, and an organosiloxy unit (A-1) / (B-1)) of the organosiloxane unit (B-1) is 80/20 to 20/80, the ratio of the peel strength of the interface to the layer of the glass substrate of the silicon resin layer And the peel strength of the interface with respect to the layer of the support substrate of the resin layer is different.

본 발명에 있어서, 실리콘 수지가, 또한 후술하는 Q로 표시되는 오르가노실록시 단위를 갖는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the silicone resin has an organosiloxy unit represented by Q described later.

본 발명에 있어서, 실리콘 수지가 경화성 오르가노폴리실록산의 경화물이고, 해당 경화성 오르가노폴리실록산이, 후술하는 T1 내지 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위를, 단위의 개수의 비율(몰량)로, T1:T2:T3=0 내지 5:20 내지 50:50 내지 80(단, T1+T2+T3=100의 관계를 만족함)의 비율로 포함하는 오르가노폴리실록산인 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the silicone resin is a cured product of a curable organopolysiloxane, and the curable organopolysiloxane has an organosiloxy unit represented by T1 to T3 described later in a ratio (molar amount) : T2: T3 = 0 to 5: 20 to 50: 50 to 80 (provided that the relationship of T1 + T2 + T3 = 100 is satisfied).

본 발명에 있어서, 경화성 오르가노폴리실록산의 수 평균 분자량이 500 내지 2000인 것이 바람직하다.In the present invention, the number average molecular weight of the curable organopolysiloxane is preferably 500 to 2,000.

본 발명에 있어서, 경화성 오르가노폴리실록산의 질량 평균 분자량/수 평균 분자량이 1.00 내지 2.00인 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the weight average molecular weight / number average molecular weight of the curable organopolysiloxane is 1.00 to 2.00.

본 발명에 있어서, 동적 광산란법에 의해 측정한 경화성 오르가노폴리실록산의 입자 직경이 0.5 내지 100nm인 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the particle diameter of the curable organopolysiloxane measured by the dynamic light scattering method is 0.5 to 100 nm.

본 발명에 있어서, 경화성 오르가노폴리실록산이, 페닐트리클로로실란 및 메틸트리클로로실란을 가수분해함으로써 얻어지는 오르가노폴리실록산인 것이 바람직하다. In the present invention, the curable organopolysiloxane is preferably an organopolysiloxane obtained by hydrolyzing phenyltrichlorosilane and methyltrichlorosilane.

본 발명에 있어서, 실리콘 수지층의 두께가 0.1 내지 30㎛인 것이 바람직하다.In the present invention, the thickness of the silicone resin layer is preferably 0.1 to 30 mu m.

본 발명에 있어서, 지지 기재가 유리판인 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the supporting substrate is a glass plate.

본 발명에 있어서, 실리콘 수지층의 유리 기판의 층에 대한 계면의 박리 강도가, 실리콘 수지층의 지지 기재의 층에 대한 계면의 박리 강도보다 낮은 것이 바람직하다. 이 형태의 본 발명을, 이하, 제1 형태라고도 한다.In the present invention, it is preferable that the peel strength at the interface with respect to the glass substrate layer of the silicone resin layer is lower than the peel strength at the interface with the support substrate layer of the silicon resin layer. The present invention in this form is hereinafter also referred to as a first embodiment.

또한, 본 발명에 있어서, 실리콘 수지층의 유리 기판의 층에 대한 계면의 박리 강도가, 실리콘 수지층의 지지 기재의 층에 대한 계면의 박리 강도보다 높은 것이 바람직하다. 이 형태의 본 발명을, 이하, 제2 형태라고도 한다.Further, in the present invention, it is preferable that the peel strength of the interface with respect to the layer of the glass substrate of the silicon resin layer is higher than the peel strength of the interface with respect to the layer of the support substrate of the silicon resin layer. The present invention in this form is hereinafter also referred to as a second form.

본 발명에 따르면, 고온 가열 처리 후에도 유리 기판을 용이하게 박리할 수 있고, 실리콘 수지층의 분해도 억제된 유리 적층체를 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to easily peel off a glass substrate even after high-temperature heating treatment, and to provide a glass laminate in which degradation of the silicon resin layer is suppressed.

도 1은 본 발명에 따른 유리 적층체의 제1 실시 형태의 모식적 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 부재를 갖는 유리 기판의 제조 방법의 일 실시 형태를 공정순으로 도시하는 모식적 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 유리 적층체의 제2 실시 형태의 모식적 단면도이다.
1 is a schematic cross-sectional view of a first embodiment of a glass laminate according to the present invention.
2 is a schematic cross-sectional view showing one embodiment of a method of manufacturing a glass substrate having a member according to the present invention in the order of the process.
3 is a schematic cross-sectional view of a second embodiment of the glass laminate according to the present invention.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시 형태에 제한되지 않으며, 본 발명의 범위를 일탈하지 않고, 이하의 실시 형태에 다양한 변형 및 치환을 가할 수 있다.Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following embodiments, and various modifications and substitutions may be made without departing from the scope of the present invention. .

본 발명의 유리 적층체의 특징점으로서는, 실리콘 수지층 중의 실리콘 수지가, 후술하는 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위를 소정량 포함함과 함께, T3 중의 R이 페닐기인 오르가노실록시 단위 (A-1)과, T3 중의 R이 메틸기인 오르가노실록시 단위 (B-1)의 몰비((A-1)/(B-1))가 소정의 범위인 점을 들 수 있다. 보다 구체적으로는, 실리콘 수지가 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위를 소정량 포함함으로써, 실리콘 수지층의 내열성이 향상된다.The characteristic feature of the glass laminate of the present invention is that the silicone resin in the silicone resin layer contains a predetermined amount of an organosiloxy unit represented by T3 described later and an organosiloxy unit in which R in the T3 is a phenyl group -1) and the molar ratio ((A-1) / (B-1)) of the organosiloxy unit (B-1) in which R is a methyl group in T3 is within a predetermined range. More specifically, by including a predetermined amount of the organosiloxy unit represented by T3 in the silicone resin, the heat resistance of the silicone resin layer is improved.

또한, 본 발명자들은 고온 가열 처리 후의 유리 적층체에 있어서 유리 기판과 지지 기판이 분리되기 어려워지는 이유에 대하여 검토를 행한 바, 실리콘 수지층 표면 상에 포함되는 관능기가 영향을 미치는 것을 알아냈다. 예를 들어, 실리콘 수지층 표면에 Si-Me기가 포함되어 있는 경우, 해당 기는 250℃ 이상의 고온 가열 처리 후에 비교적 Si-OH기로 되기 쉽다. 그로 인해, 실리콘 수지층 중에 포함되는 Si-Me기의 양이 지나치게 많으면, 고온 가열 처리 후에 많은 Si-OH기가 실리콘 수지층 표면에 나타나, 인접하는 기판(예를 들어, 유리 기판)과의 결합력이 증가하여, 결과로서 실리콘 수지층과 해당 실리콘 수지층에 인접하는 기판의 박리가 어려워진다. 한편, Si-Ph기는 비교적 Si-OH기로의 변환이 일어나기 어렵다. 그러나, Si-Ph기가 지나치게 많으면, 치환기의 입체 장해로 인해, 경화성 오르가노폴리실록산의 가교 경화가 충분히 진행되기 어렵고, 실리콘 수지층의 가교도가 저하된다. 그로 인해, 실리콘 수지층의 기계적 강도가 저하되거나, 실리콘 수지층의 표면에 오르가노폴리실록산 유래의 미반응 Si-OH기가 잔존하거나 하므로, 결과로서 유리 기판의 박리성이 떨어진다. 본 발명자는, 상기와 같은 지견을 바탕으로, 상기 몰비((A-1)/(B-1))를 조정함으로써, 고온 가열 처리 후에도 유리 기판이 박리되기 쉬운 실리콘 수지층의 조성을 알아냈다.The present inventors have also studied the reason why it is difficult to separate the glass substrate and the support substrate from each other in the glass laminate after the high-temperature heat treatment, and found out that the functional groups included in the surface of the silicone resin layer affect the glass substrate. For example, when the Si-Me group is contained in the surface of the silicone resin layer, the Si-OH group is liable to be relatively Si-OH after heating at a high temperature of 250 ° C or higher. Therefore, if the amount of Si-Me groups contained in the silicon resin layer is excessively large, many Si-OH groups appear on the surface of the silicon resin layer after the high-temperature heat treatment and the bonding force with the adjacent substrate (for example, As a result, separation of the silicon resin layer from the substrate adjacent to the silicon resin layer becomes difficult. On the other hand, the Si-Ph group is relatively unlikely to be converted into the Si-OH group. However, if the Si-Ph group is excessively large, cross-linking hardening of the curable organopolysiloxane hardly progresses due to steric hindrance of the substituent, and the degree of crosslinking of the silicone resin layer is lowered. As a result, the mechanical strength of the silicone resin layer is lowered or unreacted Si-OH groups derived from the organopolysiloxane remain on the surface of the silicone resin layer, resulting in deterioration of the releasability of the glass substrate. The present inventors have found out the composition of the silicone resin layer which is liable to peel off the glass substrate even after the high-temperature heat treatment by adjusting the molar ratio ((A-1) / (B-1)) based on the above knowledge.

또한, 유리 적층체에 있어서, 실리콘 수지층의 유리 기판의 층에 대한 계면의 박리 강도와, 실리콘 수지층의 지지 기재의 층에 대한 계면의 박리 강도는, 상이한 것을 특징으로 한다. 예를 들어, 제1 실시 형태에 있어서는, 실리콘 수지층의 유리 기판의 층에 대한 계면의 박리 강도가 실리콘 수지층의 지지 기재의 층에 대한 계면의 박리 강도보다 낮아, 실리콘 수지층과 유리 기판의 층이 박리되고, 실리콘 수지층과 지지 기재의 적층체와, 유리 기판으로 분리된다. 또한, 제2 실시 형태에 있어서는, 실리콘 수지층의 유리 기판의 층에 대한 계면의 박리 강도가 실리콘 수지층의 지지 기재의 층에 대한 계면의 박리 강도보다 높아, 실리콘 수지층과 지지 기재의 층이 박리되고, 유리 기판과 실리콘 수지층의 적층체와, 지지 기재로 분리된다.Further, in the glass laminate, the peel strength at the interface with respect to the glass substrate layer of the silicon resin layer is different from the peel strength at the interface with respect to the layer of the support base material of the silicon resin layer. For example, in the first embodiment, the peel strength of the interface with respect to the layer of the glass substrate of the silicon resin layer is lower than the peel strength of the interface with respect to the layer of the support substrate of the silicon resin layer, The layer is peeled off, the laminate of the silicon resin layer and the support substrate, and the glass substrate are separated. In the second embodiment, the peeling strength at the interface with respect to the glass substrate layer of the silicon resin layer is higher than the peeling strength at the interface with the support substrate layer of the silicon resin layer, and the silicon resin layer and the support substrate layer Peeled, separated into a laminate of a glass substrate and a silicone resin layer, and a support substrate.

이하에서는, 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태로 나누어 설명한다.Hereinafter, the first embodiment and the second embodiment will be described separately.

<제1 실시 형태>&Lt; First Embodiment >

도 1은, 본 발명에 따른 유리 적층체의 제1 실시 형태의 모식적 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view of a first embodiment of a glass laminate according to the present invention.

도 1에 도시하는 바와 같이, 유리 적층체(10)는, 지지 기재(12)의 층과 유리 기판(16)의 층과 그들 사이에 실리콘 수지층(14)이 존재하는 적층체이다. 실리콘 수지층(14)은, 그 한쪽 면이 지지 기재(12)의 층에 접함과 함께, 그 다른쪽 면이 유리 기판(16)의 제1 주면(16a)에 접하고 있다.As shown in Fig. 1, the glass laminate 10 is a laminate in which a layer of the supporting substrate 12, a layer of the glass substrate 16, and a silicon resin layer 14 are present therebetween. The silicon resin layer 14 has one side thereof contacting the layer of the supporting substrate 12 and the other side contacting the first main surface 16a of the glass substrate 16.

지지 기재(12)의 층 및 실리콘 수지층(14)을 포함하는 2층 부분은, 액정 패널 등의 전자 디바이스용 부재를 제조하는 부재 형성 공정에 있어서, 유리 기판(16)을 보강한다. 또한, 유리 적층체(10)의 제조를 위해 미리 제조되는 지지 기재(12)의 층 및 실리콘 수지층(14)을 포함하는 2층 부분을, 수지층을 갖는 지지 기재(18)라고 한다.The two-layer portion including the layer of the supporting substrate 12 and the silicon resin layer 14 reinforces the glass substrate 16 in the member forming step of manufacturing the electronic device member such as the liquid crystal panel. The two-layer portion including the layer of the supporting substrate 12 and the silicon resin layer 14 previously prepared for the production of the glass laminate 10 is referred to as a supporting substrate 18 having a resin layer.

이 유리 적층체(10)는, 후술하는 부재 형성 공정까지 사용된다. 즉, 이 유리 적층체(10)는, 그 유리 기판(16)의 제2 주면(16b) 표면 상에 액정 표시 장치 등의 전자 디바이스용 부재가 형성될 때까지 사용된다. 그 후, 전자 디바이스용 부재가 형성된 유리 적층체는, 지지 기재(12)와 부재를 갖는 유리 기판으로 분리되고, 수지층을 갖는 지지 기재(18)는 전자 디바이스를 구성하는 부분으로는 되지 않는다. 수지층을 갖는 지지 기재(18)는, 새로운 유리 기판(16)과 적층되어, 새로운 유리 적층체(10)로서 재이용할 수 있다.This glass laminate 10 is used until a member forming process described later. That is, this glass laminate 10 is used until a member for an electronic device such as a liquid crystal display device is formed on the surface of the second main surface 16b of the glass substrate 16. Thereafter, the glass laminate formed with the electronic device member is separated into the supporting substrate 12 and the glass substrate having the member, and the supporting substrate 18 having the resin layer does not constitute a part constituting the electronic device. The supporting base material 18 having a resin layer can be laminated with a new glass substrate 16 and reused as a new glass laminate 10. [

지지 기재(12)와 실리콘 수지층(14)의 계면은 박리 강도 (x)를 갖고, 지지 기재(12)와 실리콘 수지층(14)의 계면에 박리 강도 (x)를 초과하는 박리 방향의 응력이 가해지면, 지지 기재(12)와 실리콘 수지층(14)의 계면이 박리된다. 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 계면은 박리 강도 (y)를 갖고, 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 계면에 박리 강도 (y)를 초과하는 박리 방향의 응력이 가해지면, 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 계면이 박리된다.The interface between the supporting substrate 12 and the silicone resin layer 14 has a peeling strength x and a stress in the peeling direction exceeding the peeling strength x is applied to the interface between the supporting substrate 12 and the silicon resin layer 14 The interface between the supporting substrate 12 and the silicone resin layer 14 is peeled off. The interface between the silicon resin layer 14 and the glass substrate 16 has a peel strength y and a stress in the peeling direction exceeding the peel strength y is exerted on the interface between the silicon resin layer 14 and the glass substrate 16 The interface between the silicon resin layer 14 and the glass substrate 16 is peeled off.

유리 적층체(10)에 있어서는, 상기 박리 강도 (x)는 상기 박리 강도 (y)보다 높다. 따라서, 유리 적층체(10)에 지지 기재(12)와 유리 기판(16)을 박리하는 방향의 응력이 가해지면, 유리 적층체(10)는, 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 계면에서 박리되어, 유리 기판(16)과 수지층을 갖는 지지 기재(18)로 분리된다.In the glass laminate 10, the peel strength (x) is higher than the peel strength (y). The glass laminate 10 is bonded to the silicon resin layer 14 and the glass substrate 16 when stress is applied to the glass laminate 10 in the direction in which the supporting substrate 12 and the glass substrate 16 are peeled off, And is separated into a glass substrate 16 and a supporting substrate 18 having a resin layer.

박리 강도 (x)는, 박리 강도 (y)와 비교하여 충분히 높은 것이 바람직하다. 박리 강도 (x)를 높이는 것은, 지지 기재(12)에 대한 제1 실리콘 수지층(14)의 부착력을 높이고, 또한 가열 처리 후에 있어서 유리 기판(16)에 대하여 보다 상대적으로 높은 부착력을 유지할 수 있음을 의미한다.The peel strength (x) is preferably sufficiently high as compared with the peel strength (y). Raising the peel strength x can increase the adhesion of the first silicon resin layer 14 to the support substrate 12 and maintain a higher adhesion force with respect to the glass substrate 16 after the heat treatment .

지지 기재(12)에 대한 실리콘 수지층(14)의 부착력을 높이기 위해서는, 후술하는 경화성 오르가노폴리실록산을 지지 기재(12) 상에서 가교 경화시켜 실리콘 수지층을 형성하는 것이 바람직하다. 가교 경화 시의 접착력으로, 지지 기재(12)에 대하여 높은 결합력으로 결합한 실리콘 수지층(14)을 형성할 수 있다.In order to increase the adhesion of the silicone resin layer 14 to the support substrate 12, it is preferable that the silicone resin layer is formed by crosslinking and curing the curable organopolysiloxane described below on the support substrate 12. [ The silicone resin layer 14 bonded to the supporting substrate 12 with high bonding force can be formed by the adhesive force at the time of crosslinking curing.

한편, 가교 경화 후의 실리콘 수지의 유리 기판(16)에 대한 결합력은, 상기 가교 경화 시에 발생하는 결합력보다 낮은 것이 통례이다. 따라서, 지지 기재(12) 상에서 실리콘 수지층(14)을 형성하고, 그 후 실리콘 수지층(14)의 면에 유리 기판(16)을 적층함으로써, 유리 적층체(10)를 제조할 수 있다.On the other hand, it is usual that the bonding force of the silicone resin to the glass substrate 16 after the cross-linking curing is lower than the bonding force which occurs at the time of cross-link curing. The glass laminate 10 can be manufactured by forming the silicone resin layer 14 on the supporting substrate 12 and then laminating the glass substrate 16 on the surface of the silicone resin layer 14. [

이하에서, 우선, 유리 적층체(10)를 구성하는 각 층(지지 기재(12), 유리 기판(16), 실리콘 수지층(14))에 대하여 상세하게 설명하고, 그 후, 유리 적층체의 제조 방법에 대하여 상세하게 설명한다.First, each layer (supporting substrate 12, glass substrate 16, and silicone resin layer 14) constituting the glass laminate 10 will be described in detail, and then the glass laminate 10 The manufacturing method will be described in detail.

[지지 기재][Supporting substrate]

지지 기재(12)는, 유리 기판(16)을 지지하여 보강하고, 후술하는 부재 형성 공정(전자 디바이스용 부재를 제조하는 공정)에 있어서 전자 디바이스용 부재의 제조 시에 유리 기판(16)의 변형, 흠집 발생, 파손 등을 방지한다.The support substrate 12 supports the glass substrate 16 and reinforces the glass substrate 16 so that the glass substrate 16 is deformed during the manufacturing process of the electronic device member in the member forming process , Scratches, breakage, and the like.

지지 기재(12)로서는, 예를 들어 유리판, 플라스틱판, SUS판 등의 금속판 등이 사용된다. 통상, 부재 형성 공정이 열처리를 수반하기 때문에, 지지 기재(12)는 유리 기판(16)과의 선팽창 계수의 차가 작은 재료로 형성되는 것이 바람직하고, 유리 기판(16)과 동일 재료로 형성되는 것이 보다 바람직하며, 지지 기재(12)는 유리판인 것이 바람직하다. 특히, 지지 기재(12)는, 유리 기판(16)과 동일한 유리 재료를 포함하는 유리판인 것이 바람직하다.As the supporting substrate 12, for example, a metal plate such as a glass plate, a plastic plate, an SUS plate, or the like is used. It is preferable that the supporting substrate 12 is formed of a material having a smaller coefficient of linear expansion than that of the glass substrate 16 and that the supporting substrate 12 is formed of the same material as the glass substrate 16 And more preferably, the supporting substrate 12 is a glass plate. In particular, the supporting substrate 12 is preferably a glass plate containing the same glass material as the glass substrate 16.

또한, 후술하는 바와 같이, 지지 기재(12)는 2종 이상의 층을 포함하는 적층체여도 된다.Further, as described later, the supporting substrate 12 may be a laminate including two or more layers.

지지 기재(12)의 두께는, 유리 기판(16)보다 두꺼워도 되고, 얇아도 된다. 바람직하게는, 유리 기판(16)의 두께, 실리콘 수지층(14)의 두께 및 유리 적층체(10)의 두께에 기초하여, 지지 기재(12)의 두께가 선택된다. 예를 들어, 현행의 부재 형성 공정이 두께 0.5mm의 기판을 처리하도록 설계된 것이며, 유리 기판(16)의 두께와 실리콘 수지층(14)의 두께의 합이 0.1mm인 경우, 지지 기재(12)의 두께를 0.4mm로 한다. 지지 기재(12)의 두께는, 통상의 경우, 0.2 내지 5.0mm인 것이 바람직하다.The thickness of the supporting substrate 12 may be thicker or thinner than that of the glass substrate 16. Preferably, the thickness of the supporting substrate 12 is selected based on the thickness of the glass substrate 16, the thickness of the silicon resin layer 14, and the thickness of the glass laminate 10. For example, if the current member forming process is designed to process a substrate with a thickness of 0.5 mm and the sum of the thickness of the glass substrate 16 and the thickness of the silicon resin layer 14 is 0.1 mm, Is set to 0.4 mm. The thickness of the supporting substrate 12 is preferably 0.2 to 5.0 mm in general.

지지 기재(12)가 유리판인 경우, 유리판의 두께는, 취급하기 쉽고, 깨지기 어렵다는 등의 이유에서, 0.08mm 이상인 것이 바람직하다. 또한, 유리판의 두께는, 전자 디바이스용 부재 형성 후에 박리할 때, 깨지지 않고 적절하게 휘는 강성이 요망된다는 이유에서, 1.0mm 이하인 것이 바람직하다.When the supporting substrate 12 is a glass plate, the thickness of the glass plate is preferably 0.08 mm or more for ease of handling and difficulty in breaking. Further, it is preferable that the thickness of the glass plate is 1.0 mm or less, since it is desirable that the rigidity to bend properly and not bend when peeling off after formation of the electronic device member.

지지 기재(12)와 유리 기판(16)의 25 내지 300℃에서의 평균 선팽창 계수의 차는, 바람직하게는 500×10-7/℃ 이하이고, 보다 바람직하게는 300×10-7/℃ 이하이고, 더욱 바람직하게는 200×10-7/℃ 이하이다. 차가 지나치게 크면, 부재 형성 공정에서의 가열 냉각 시에, 유리 적층체(10)가 심하게 휘거나, 지지 기재(12)와 유리 기판(16)이 박리되거나 할 가능성이 있다. 지지 기재(12)의 재료가 유리 기판(16)의 재료와 동일한 경우, 이러한 문제가 발생하는 것을 억제할 수 있다.The difference in average coefficient of linear expansion between the support substrate 12 and the glass substrate 16 at 25 to 300 ° C is preferably 500 × 10 -7 / ° C or less, more preferably 300 × 10 -7 / ° C or less , More preferably 200 x 10 &lt; -7 &gt; / DEG C or less. If the tea is excessively large, there is a possibility that the glass laminate 10 is bent too much or the supporting substrate 12 and the glass substrate 16 are peeled off during heating and cooling in the member forming process. When the material of the supporting substrate 12 is the same as the material of the glass substrate 16, occurrence of such a problem can be suppressed.

[유리 기판][Glass Substrate]

유리 기판(16)은, 제1 주면(16a)이 실리콘 수지층(14)과 접하고, 실리콘 수지층(14)측과는 반대측의 제2 주면(16b)에 전자 디바이스용 부재가 설치된다.The glass substrate 16 is provided with the electronic device member on the second main surface 16b where the first main surface 16a contacts the silicon resin layer 14 and the opposite side from the side of the silicon resin layer 14. [

유리 기판(16)의 종류는 일반적인 것이어도 되며, 예를 들어 LCD, OLED와 같은 표시 장치용 유리 기판 등을 들 수 있다. 유리 기판(16)은 내약품성, 내투습성이 우수하고, 또한 열수축률이 낮다. 열수축률의 지표로서는, JIS R 3102(1995년 개정)에 규정되어 있는 선팽창 계수가 사용된다.The type of the glass substrate 16 may be a general one, and examples thereof include glass substrates for display devices such as LCDs and OLEDs. The glass substrate 16 is excellent in chemical resistance and moisture permeability, and has a low heat shrinkage rate. The coefficient of thermal expansion specified in JIS R 3102 (revised in 1995) is used as an index of the heat shrinkage ratio.

유리 기판(16)의 선팽창 계수가 크면, 부재 형성 공정은 가열 처리를 수반하는 일이 많으므로, 여러가지 문제가 발생하기 쉽다. 예를 들어, 유리 기판(16) 상에 TFT를 형성하는 경우, 가열 하에서 TFT가 형성된 유리 기판(16)을 냉각하면, 유리 기판(16)의 열수축에 의해, TFT의 위치 어긋남이 과대해질 우려가 있다.If the coefficient of linear expansion of the glass substrate 16 is large, the member forming process often involves heat treatment, and thus various problems are likely to occur. For example, in the case of forming the TFT on the glass substrate 16, if the glass substrate 16 on which the TFT is formed under heating is cooled, there is a fear that the positional deviation of the TFT becomes excessive due to heat shrinkage of the glass substrate 16 have.

유리 기판(16)은, 유리 원료를 용융하고, 용융 유리를 판형으로 성형하여 얻어진다. 이러한 성형 방법은 일반적인 것이어도 되며, 예를 들어 플로트법, 퓨전법, 슬롯 다운드로우법, 푸르콜법, 러버스법 등이 사용된다. 또한, 특히 두께가 얇은 유리 기판(16)은, 일단 판형으로 성형한 유리를 성형 가능 온도로 가열하고, 연신 등의 수단으로 잡아늘여 얇게 하는 방법(리드로우법)으로 성형하여 얻어진다.The glass substrate 16 is obtained by melting a glass raw material and molding the molten glass into a plate shape. Such a molding method may be a general one, and for example, a float method, a fusion method, a slot down draw method, a pull call method, a lubrication method, or the like is used. In particular, the glass substrate 16 having a small thickness can be obtained by heating the glass molded into a plate shape once at a moldable temperature and stretching it by stretching or the like (thinning method) (lead-row method).

유리 기판(16)의 유리의 종류는 특별히 한정되지 않지만, 무알칼리 붕규산 유리, 붕규산 유리, 소다석회 유리, 고실리카 유리, 그 밖의 산화규소를 주요 성분으로 하는 산화물계 유리가 바람직하다. 산화물계 유리로서는, 산화물 환산에 의한 산화규소의 함유량이 40 내지 90질량%인 유리가 바람직하다.The kind of the glass of the glass substrate 16 is not particularly limited, but is preferably an alkali-free borosilicate glass, borosilicate glass, soda lime glass, high silica glass, or other oxide-based glass containing silicon oxide as a main component. As the oxide-based glass, a glass having a silicon oxide content of 40 to 90 mass% in terms of an oxide is preferable.

유리 기판(16)의 유리로서는, 전자 디바이스용 부재의 종류나 그 제조 공정에 적합한 유리가 채용된다. 예를 들어, 액정 패널용 유리 기판은, 알칼리 금속 성분의 용출이 액정에 영향을 주기 쉽다는 점에서, 알칼리 금속 성분을 실질적으로 포함하지 않는 유리(무알칼리 유리)를 포함한다(단, 통상 알칼리 토류 금속 성분은 포함됨). 이와 같이, 유리 기판(16)의 유리는, 적용될 디바이스의 종류 및 그 제조 공정에 기초하여 적절히 선택된다.As the glass of the glass substrate 16, glass suitable for the kind of the electronic device member and the manufacturing process thereof is employed. For example, the glass substrate for a liquid crystal panel includes a glass (alkali-free glass) substantially free from an alkali metal component in that the elution of the alkali metal component tends to be affected by the liquid crystal Earth metal components are included). Thus, the glass of the glass substrate 16 is appropriately selected based on the kind of device to be applied and the manufacturing process thereof.

유리 기판(16)의 두께는, 유리 기판(16)의 박형화 및/또는 경량화의 관점에서, 0.3mm 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.15mm 이하이다. 0.3mm 이하인 경우, 유리 기판(16)에 양호한 플렉시블성을 부여하는 것이 가능하다. 0.15mm 이하인 경우, 유리 기판(16)을 롤형으로 권취하는 것이 가능하다.The thickness of the glass substrate 16 is preferably 0.3 mm or less, more preferably 0.15 mm or less, from the viewpoints of reducing the thickness and / or weight of the glass substrate 16. [ When the thickness is 0.3 mm or less, it is possible to impart good flexibility to the glass substrate 16. When the thickness is 0.15 mm or less, the glass substrate 16 can be rolled up in a roll form.

또한, 유리 기판(16)의 두께는, 유리 기판(16)의 제조가 용이하다는 점, 유리 기판(16)의 취급이 용이하다는 점 등의 이유로, 0.03mm 이상인 것이 바람직하다.The thickness of the glass substrate 16 is preferably 0.03 mm or more for ease of manufacturing the glass substrate 16, ease of handling of the glass substrate 16, and the like.

또한, 유리 기판(16)은 2층 이상을 포함해도 되며, 이 경우, 각각의 층을 형성하는 재료는 동종 재료여도 되고, 이종 재료여도 된다. 또한, 이 경우, 「유리 기판(16)의 두께」는 모든 층의 합계 두께를 의미하는 것으로 한다.The glass substrate 16 may include two or more layers. In this case, the materials for forming the respective layers may be the same or different materials. In this case, the "thickness of the glass substrate 16" means the total thickness of all the layers.

[실리콘 수지층][Silicone resin layer]

실리콘 수지층(14)은, 유리 기판(16)과 지지 기재(12)를 분리하는 조작이 행해질 때까지 유리 기판(16)의 위치 어긋남을 방지함과 함께, 유리 기판(16) 등이 분리 조작에 의해 파손되는 것을 방지한다. 실리콘 수지층(14)의 유리 기판(16)과 접하는 표면(14a)은, 유리 기판(16)의 제1 주면(16a)에 밀착된다. 실리콘 수지층(14)은 유리 기판(16)의 제1 주면(16a)에 약한 결합력으로 결합되어 있고, 그 계면의 박리 강도 (y)는, 실리콘 수지층(14)과 지지 기재(12)의 사이의 계면의 박리 강도 (x)보다 낮다. 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 계면의 결합력은, 유리 적층체(10)의 유리 기판(16)의 면(제2 주면(16b)) 상에 전자 디바이스용 부재를 형성하기 전후에 변화해도 된다. 그러나, 전자 디바이스용 부재를 형성한 후라도, 박리 강도 (y)는 박리 강도 (x)보다 낮은 것이 바람직하다.The silicon resin layer 14 prevents the positional deviation of the glass substrate 16 until the operation of separating the glass substrate 16 and the supporting substrate 12 is performed, Thereby preventing damage to the semiconductor device. The surface 14a of the silicon resin layer 14 in contact with the glass substrate 16 is in close contact with the first main surface 16a of the glass substrate 16. [ The peeling strength y of the interface between the silicon resin layer 14 and the supporting substrate 12 is set so that the peeling strength y of the interface between the silicon resin layer 14 and the supporting substrate 12 Is less than the peel strength (x) of the interface between the two layers. The bonding force of the interface between the silicone resin layer 14 and the glass substrate 16 is adjusted by the bonding force between before and after the surface of the glass substrate 16 of the glass laminate 10 (second main surface 16b) . However, even after forming the member for electronic devices, the peel strength (y) is preferably lower than the peel strength (x).

실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 층은, 약한 접착력이나 반데발스 힘에 기인하는 결합력으로 결합되어 있다고 생각된다. 실리콘 수지층(14)을 형성한 후 그 표면에 유리 기판(16)을 적층하는 경우, 실리콘 수지층(14)의 실리콘 수지가 접착력을 나타내지 않을 만큼 충분히 가교되어 있는 경우에는 반데발스 힘에 기인하는 결합력으로 결합되어 있다고 생각된다. 그러나, 실리콘 수지층(14)의 실리콘 수지는, 어느 정도의 약한 접착력을 갖는 일이 적지 않다. 가령 접착성이 극히 낮은 경우라도, 유리 적층체(10)의 제조 후 그 유리 적층체(10) 상에 전자 디바이스용 부재를 형성할 때에는, 가열 조작 등에 의해, 실리콘 수지층(14)의 실리콘 수지는 유리 기판(16)면에 접착되고, 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 층의 사이의 결합력은 상승한다고 생각된다.It is believed that the layers of the silicone resin layer 14 and the glass substrate 16 are bonded with a bonding force due to a weak adhesive force or a Bandezval force. In the case where the glass substrate 16 is laminated on the surface of the silicon resin layer 14 after the silicon resin layer 14 is formed, if the silicone resin of the silicone resin layer 14 is sufficiently crosslinked so as not to exhibit the adhesive force, It is believed that they are bonded together. However, the silicone resin of the silicone resin layer 14 often has a weak adhesive strength to some extent. Even when the adhesiveness is extremely low, when the electronic device member is formed on the glass laminate 10 after the production of the glass laminate 10, the silicone resin of the silicone resin layer 14 Is bonded to the surface of the glass substrate 16 and the bonding force between the silicon resin layer 14 and the glass substrate 16 is considered to increase.

경우에 따라, 적층 전의 실리콘 수지층(14)의 표면이나 적층 전의 유리 기판(16)의 제1 주면(16a)에 양자간의 결합력을 약화시키는 처리를 행하여 적층할 수도 있다. 적층하는 면에 비접착성 처리 등을 행하고, 그 후 적층함으로써, 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 층의 계면의 결합력을 약화시켜, 박리 강도 (y)를 낮게 할 수 있다.It is also possible to laminate the surface of the silicon resin layer 14 before lamination or the first main surface 16a of the glass substrate 16 before lamination by performing treatment to weaken the bonding force therebetween. The bonding strength between the interface of the silicon resin layer 14 and the layer of the glass substrate 16 can be weakened and the peeling strength y can be lowered by performing non-adhesive treatment or the like on the surface to be laminated.

실리콘 수지층(14)은, 접착력이나 점착력 등의 강한 결합력으로 지지 기재(12) 표면에 결합되어 있고, 양자의 밀착성을 높이는 방법으로서는, 공지된 방법을 채용할 수 있다. 예를 들어, 후술하는 바와 같이, 실리콘 수지층(14)을 지지 기재(12) 표면 상에서 형성(보다 구체적으로는, 소정의 실리콘 수지를 형성할 수 있는 경화성 오르가노폴리실록산을 지지 기재(12) 상에서 가교 경화)함으로써, 실리콘 수지층(14) 중의 실리콘 수지를 지지 기재(12) 표면에 접착시켜, 높은 결합력을 얻을 수 있다. 또한, 지지 기재(12) 표면과 실리콘 수지층(14)의 사이에 강한 결합력을 발생시키는 처리(예를 들어, 커플링제를 사용한 처리)를 실시하여 지지 기재(12) 표면과 실리콘 수지층(14)의 사이의 결합력을 높일 수 있다.The silicone resin layer 14 is bonded to the surface of the support base material 12 with strong bonding force such as an adhesive force or an adhesive force, and a known method can be adopted as a method for enhancing the adhesion between the two. For example, as will be described later, the silicone resin layer 14 is formed on the surface of the supporting substrate 12 (more specifically, a curable organopolysiloxane capable of forming a predetermined silicone resin on the supporting substrate 12) The silicone resin in the silicone resin layer 14 is adhered to the surface of the supporting substrate 12 to obtain a high bonding force. The surface of the supporting substrate 12 and the surface of the silicon resin layer 14 (for example, the surface of the supporting substrate 12) are subjected to a treatment (for example, a treatment using a coupling agent) Can be increased.

실리콘 수지층(14)과 지지 기재(12)의 층이 높은 결합력으로 결합되어 있는 것은, 양자의 계면의 박리 강도 (x)가 높음을 의미한다.The reason why the layer of the silicone resin layer 14 and the layer of the supporting substrate 12 are bonded with a high bonding force means that the peeling strength (x) at the interfaces between the layers is high.

실리콘 수지층(14)의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 상한은 30㎛(즉, 30㎛ 이하)인 것이 바람직하고, 20㎛인 것이 보다 바람직하고, 8㎛인 것이 더욱 바람직하다. 하한은 박리 가능한 두께이면 특별히 한정되지 않지만, 0.1㎛ 이상인 경우가 많다. 실리콘 수지층(14)의 두께가 이러한 범위이면, 실리콘 수지층(14)에 크랙이 발생하기 어렵고, 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 사이에 기포나 이물이 개재하는 경우가 있어도, 유리 기판(16)의 변형 결함의 발생을 억제할 수 있다.The thickness of the silicone resin layer 14 is not particularly limited, but the upper limit is preferably 30 占 퐉 (that is, 30 占 퐉 or less), more preferably 20 占 퐉, and even more preferably 8 占 퐉. The lower limit is not particularly limited as long as it is a peelable thickness, but it is often 0.1 占 퐉 or more. When the thickness of the silicon resin layer 14 is within this range, cracks are unlikely to occur in the silicon resin layer 14 and bubbles or foreign matter may be interposed between the silicon resin layer 14 and the glass substrate 16 , The occurrence of deformation defects of the glass substrate 16 can be suppressed.

상기 두께는 평균 두께를 의도하며, 5점 이상의 임의의 위치에서의 실리콘 수지층(14)의 두께를 접촉식 막 두께 측정 장치로 측정하고, 그것들을 산술 평균한 것이다.The thickness is intended to mean the average thickness, and the thickness of the silicone resin layer 14 at arbitrary positions of 5 points or more is measured with a contact type film thickness measuring apparatus and arithmetically averages them.

실리콘 수지층(14)의 유리 기판(16)측의 표면의 표면 조도 Ra는 특별히 제한되지 않지만, 유리 기판(16)의 적층성 및 박리성이 보다 우수하다는 점에서, 0.1 내지 20nm가 바람직하고, 0.1 내지 10nm가 보다 바람직하다.The surface roughness Ra of the surface of the silicon resin layer 14 on the glass substrate 16 side is not particularly limited but is preferably from 0.1 to 20 nm from the viewpoint of better lamination and releasability of the glass substrate 16, And more preferably 0.1 to 10 nm.

또한, 표면 조도 Ra의 측정 방법으로서는, JIS B 0601-2001에 준하여 행해지며, 임의의 5군데 이상의 점에 있어서 측정된 Ra를 산술 평균한 값이 상기 표면 조도 Ra에 해당된다.The surface roughness Ra is measured in accordance with JIS B 0601-2001, and the value obtained by arithmetically averaging the Ra measured at any five or more points corresponds to the surface roughness Ra.

또한, 실리콘 수지층(14)은 2층 이상을 포함해도 된다. 이 경우 「실리콘 수지층(14)의 두께」는 모든 실리콘 수지층의 합계 두께를 의미하는 것으로 한다.The silicone resin layer 14 may include two or more layers. In this case, "the thickness of the silicon resin layer 14" means the total thickness of all the silicone resin layers.

통상, 기재 상에 도포된 경화성 오르가노폴리실록산은, 상온 내지 기재의 열변형 온도 미만의 온도 조건 하에서 재료 중에 포함되는 용매를 건조, 제거한 후, 가열함으로써 열경화하여 실리콘 수지로 된다. 이러한 열경화 과정에서, 경화성 오르가노폴리실록산에 포함되는 실라놀기(-Si-OH)끼리 탈수 축합 반응을 일으켜 실록산 결합(-Si-O-Si-)을 형성하고, 가교함과 함께 경화하여 실리콘 수지로 된다. 승온 과정에서, 용매의 증발에 의해 발생하는 모관력과 막 내에서 진행되는 탈수 축합 반응에 의해 겔막은 치밀화되고, 막의 체적 감소율은 수십%에 달한다. 겔막은 완전 탄성체는 아니지만, 이것을 탄성체라고 근사시키면, 기재에 따라 면 내 방향으로 구속된 상태에서 막이 수축할 때, 막의 면 내 방향으로는 변형이 축적되게 된다. 그 결과, 막의 면 내 방향으로는 인장 응력(이하, "수축 응력"이라고도 함)이 발생한다.Usually, the curable organopolysiloxane coated on the substrate is dried and removed from the solvent contained in the material under a temperature condition of room temperature to below the thermal deformation temperature of the substrate, and then thermally cured by heating to obtain a silicone resin. In the thermal curing process, silanol groups (-Si-OH) contained in the curable organopolysiloxane undergo dehydration condensation reaction to form siloxane bonds (-Si-O-Si-), crosslinking and curing, . During the heating process, the gel film is densified by the capillary force generated by the evaporation of the solvent and the dehydration condensation reaction proceeding in the film, and the volume reduction rate of the film reaches several tens%. Although the gel film is not a completely elastic body, when it is approximated to an elastic body, deformation is accumulated in the in-plane direction of the film when the film is contracted in the in-plane restrained state along the base. As a result, tensile stress (hereinafter also referred to as "shrinkage stress") occurs in the in-plane direction of the film.

본 발명에서의 실리콘 수지층의 수축 응력이란, 주위 온도 25℃에서, 박막 응력 측정 장치에 의해 측정된, 해당 실리콘 수지층 형성 전후의 실리콘 웨이퍼의 곡률 반경의 값과, 해당 실리콘 수지층의 막 두께의 값을 사용하여 하기 식 (1)로 표시되는 식에 의해 산출되는 실리콘 수지층의 면 내 방향으로 작용하는 인장 응력값이다. 또한, 측정 수순은 실시예에 상세하게 설명한다.The shrinkage stress of the silicone resin layer in the present invention means the value of the radius of curvature of the silicon wafer before and after the formation of the silicon resin layer measured by a thin film stress measuring apparatus at an ambient temperature of 25 캜, In the in-plane direction of the silicone resin layer calculated by the formula shown by the following formula (1) using the value of the tensile stress. In addition, the measurement procedure will be described in detail in the embodiment.

Figure pct00001
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식 중, E/(1-ν)는 실리콘 웨이퍼의 2축 탄성 계수(결정면(100): 1.805×1011Pa)이고, h는 실리콘 웨이퍼의 두께[m]이고, t는 실리콘 수지층의 두께[m]이고, R은 실리콘 수지층을 형성하기 전의 실리콘 웨이퍼의 곡률 반경과, 실리콘 수지층을 형성한 후의 실리콘 웨이퍼의 곡률 반경의 차[m]이다.Wherein, E / (1-ν) is biaxially elastic modulus (crystal face (100): 1.805 × 10 11 Pa) of the silicon wafer and, h is the thickness [m] of the silicon wafer, t is a resin layer thickness of the silicon [m], and R is the difference [m] between the radius of curvature of the silicon wafer before the silicon resin layer is formed and the radius of curvature of the silicon wafer after the silicon resin layer is formed.

그리고, 실리콘 수지층을 형성하기 전후의 실리콘 웨이퍼의 곡률 반경의 차 R은, 실리콘 웨이퍼의 두께 h, 실리콘 웨이퍼의 탄성률 E, 실리콘 웨이퍼의 포와송비 ν, 막 두께 t, 인장 응력 σ에 의해 결정된다. 실리콘 웨이퍼의 편면에 형성된 막의 면 내 방향으로 인장 응력 σ가 발생하면, 상기 식 (1)로부터 판독할 수 있는 바와 같이, 막의 면 내 방향으로 발생하는 응력 σ가 클수록, 상기 곡률 반경의 차 R은 커지고, 즉 실리콘 웨이퍼의 휨이 커진다.The difference R in the radius of curvature of the silicon wafer before and after the silicon resin layer is formed is determined by the thickness h of the silicon wafer, the elastic modulus E of the silicon wafer, the film thickness ratio v of the silicon wafer, the film thickness t and the tensile stress? . When the tensile stress? Is generated in the in-plane direction of the film formed on one side of the silicon wafer, the larger the stress? Generated in the in-plane direction of the film, as can be read from the above equation (1) The warp of the silicon wafer becomes large.

따라서, 실리콘 수지층을 형성하기 전후의 실리콘 웨이퍼의 곡률 반경 R과, 실리콘 수지층의 막 두께 t를 조사하면, 실리콘 수지층의 수축 응력이 구해진다. 또한, 곡률 반경 R은, 단결정 실리콘 웨이퍼의 편면에 실리콘 수지층을 형성하고, 박막 응력 측정 장치를 사용하여, 실리콘 수지층이 형성된 실리콘 웨이퍼 표면 상에 레이저광을 주사하고, 반사광의 방향으로부터 R을 판독함으로써 구할 수 있다.Therefore, when the radius of curvature R of the silicon wafer before and after the silicon resin layer is formed and the film thickness t of the silicon resin layer are examined, the shrinkage stress of the silicon resin layer is obtained. The radius of curvature R is obtained by forming a silicon resin layer on one side of a single crystal silicon wafer and scanning the laser beam on the surface of the silicon wafer on which the silicon resin layer is formed by using a thin film stress measuring apparatus, .

실리콘 수지층(14)의 수축 응력의 크기는 특별히 제한되지 않지만, 경화성 오르가노폴리실록산을 가교 경화시켜 실리콘 수지층(14)을 형성하는 프로세스 후, 냉각하는 과정에서 균열이 생기는 것을 방지할 수 있고, 제작된 유리 적층체(10)의 휨을 보다 억제할 수 있다는 점에서, 50MPa 이하가 바람직하고, 45MPa 이하가 보다 바람직하다. 하한은 특별히 제한되지 않지만, 통상, 15MPa 이상인 경우가 많다.The size of the shrinkage stress of the silicone resin layer 14 is not particularly limited, but after the process of crosslinking and curing the curable organopolysiloxane to form the silicone resin layer 14, it is possible to prevent cracks from occurring during the cooling process, Is preferably 50 MPa or less, and more preferably 45 MPa or less in that the warpage of the manufactured glass laminate 10 can be further suppressed. The lower limit is not particularly limited, but is usually 15 MPa or more in many cases.

실리콘 수지층(14)은, 소정의 오르가노실록시 단위를 포함하는 실리콘 수지를 포함한다. 또한, 실리콘 수지는, 통상, 경화 처리에 의해 해당 실리콘 수지로 될 수 있는 경화성 오르가노폴리실록산을 가교 경화하여 얻어진다.The silicone resin layer 14 includes a silicone resin containing a predetermined organosiloxy unit. The silicone resin is usually obtained by crosslinking and curing a curable organopolysiloxane which can be made into a silicone resin by a curing treatment.

본 발명에서의 경화성 오르가노폴리실록산은, 단량체인 가수분해성 오르가노실란 화합물의 혼합물(단량체 혼합물)을 부분 가수분해 축합 반응시켜 얻어지는 부분 가수분해 축합물(오르가노폴리실록산)이다. 또한, 부분 가수분해 축합물은 미반응의 단량체를 함유하고 있어도 된다.The curable organopolysiloxane in the present invention is a partially hydrolyzed condensate (organopolysiloxane) obtained by a partial hydrolysis and condensation reaction of a mixture (monomer mixture) of a hydrolyzable organosilane compound as a monomer. In addition, the partial hydrolyzed condensate may contain an unreacted monomer.

경화성 오르가노폴리실록산을 가교 경화시키기 위해서는, 통상 가열에 의해 가교 반응을 진행시켜 경화시킨다(즉, 열경화시킴). 그리고, 경화성 오르가노폴리실록산을 열경화시킴으로써, 실리콘 수지가 얻어진다. 단, 경화에 반드시 가열을 필요로 하지 않는 경우도 있으며, 실온 경화시킬 수도 있다.In order to crosslink and cure the curable organopolysiloxane, the crosslinking reaction is usually conducted by heating to cure (i.e., heat cure). By thermosetting the curable organopolysiloxane, a silicone resin is obtained. However, there is a case in which heating is not necessarily required for curing, and it is also possible to cure at room temperature.

일반적인 실리콘 수지(오르가노폴리실록산)는, M 단위라고 불리는 1관능 오르가노실록시 단위나, D 단위라고 불리는 2관능 오르가노실록시 단위나, T 단위라고 불리는 3관능 오르가노실록시 단위나, Q 단위라고 불리는 4관능 오르가노실록시 단위로 구성되어 있다. 또한, Q 단위는 규소 원자에 결합한 유기기(규소 원자에 결합한 탄소 원자를 갖는 유기기)를 갖지 않는 단위이지만, 본 발명에 있어서는 오르가노실록시 단위(규소 함유 결합 단위)라고 간주한다. T 단위를 형성하는 단량체를 이하 T 단량체라고 한다. M 단위, D 단위, Q 단위를 형성하는 단량체도 마찬가지로 M 단량체, D 단량체, Q 단량체라고 한다.Typical silicone resins (organopolysiloxane) include monofunctional organosiloxy units called M units, bifunctional organosiloxy units called D units, trifunctional organosiloxy units called T units, and Q And a tetrafunctional organosiloxy unit called a &quot; unit &quot;. The Q unit is a unit which does not have an organic group bonded to a silicon atom (an organic group having a carbon atom bonded to a silicon atom), but is regarded as an organosiloxy unit (silicon-containing bonding unit) in the present invention. The monomer forming the T unit is hereinafter referred to as T monomer. Monomers forming M units, D units and Q units are likewise referred to as M monomers, D monomers and Q monomers.

오르가노실록시 단위에 있어서, 실록산 결합은 2개의 규소 원자가 하나의 산소 원자를 통하여 결합한 결합임으로써, 실록산 결합에서의 규소 원자 1개당 산소 원자는 1/2개라고 간주하고, 식 중 O1/2이라고 표현된다. 보다 구체적으로는, 예를 들어 하나의 D 단위에 있어서는, 그 하나의 규소 원자는 2개의 산소 원자와 결합하고, 각각의 산소 원자는 다른 단위의 규소 원자와 결합하고 있음으로써, 그 식은 -O1/2-(R)2Si-O1/2-로 된다. O1 / 2이 2개 존재함으로써, D 단위는 (R)2SiO2 /2라고 표현되는 것이 통상이다.In the organosiloxane unit, the siloxane bond is a bond in which two silicon atoms are bonded through one oxygen atom, and the oxygen atom per one silicon atom in the siloxane bond is regarded as 1/2, and O 1 / 2 &lt; / RTI &gt; More specifically, for example, in one D unit, one silicon atom is bonded to two oxygen atoms and each oxygen atom is bonded to another silicon atom, so that the formula is -O &lt; 1 &gt; / 2 - (R) 2 Si-O 1/2 -. O 1/2 by the presence of two, D units will normally be expressed as (R) 2 SiO 2/2 .

또한, 이하의 설명에 있어서, 다른 규소 원자에 결합한 산소 원자 O*은, 2개의 규소 원자간을 결합하는 산소 원자이며, Si-O-Si로 표시되는 결합 중의 산소 원자를 의도한다. 따라서, O*은, 2개의 오르가노실록시 단위의 규소 원자간에 하나 존재한다.In the following description, the oxygen atom O * bonded to another silicon atom is an oxygen atom which bonds two silicon atoms and is intended to be an oxygen atom in a bond represented by Si-O-Si. Thus, O * is present between the silicon atoms of the two organosiloxy units.

일반적으로, T 단위란, R-SiO3 /2(R은 수소 원자 또는 유기기를 나타냄)로 표시되는 오르가노실록시 단위를 의도한다. 즉, T 단위는, 하나의 규소 원자를 갖고, 그 규소 원자에 결합한 하나의 수소 원자 또는 1가의 유기기와, 다른 규소 원자에 결합한 산소 원자 O*를 3개 갖는 단위이다.In general, T unit is, R-SiO 3/2 is intended the organo siloxy units represented by (R represents a hydrogen atom or organic). That is, the T unit is a unit having one silicon atom, one hydrogen atom bonded to the silicon atom, or a monovalent organic group and three oxygen atoms O * bonded to another silicon atom.

그러나, 본 명세서에 있어서는, 다른 규소 원자에 결합한 산소 원자 O*의 일부 또는 전부 대신에, 다른 규소 원자에 결합할 수 있는 관능기를 갖는 경우도 T 단위라고 간주한다. 다른 규소 원자에 결합할 수 있는 관능기는, 수산기 또는 가수분해에 의해 수산기로 되는 기(이하, 가수분해성기라고 함)이다. 보다 구체적으로는, 본 명세서에 있어서, T 단위는, 다른 규소 원자에 결합한 산소 원자 O*과 다른 규소 원자에 결합할 수 있는 관능기의 합계가 3개이고, 다른 규소 원자에 결합한 산소 원자 O*과 다른 규소 원자에 결합할 수 있는 관능기의 수의 차이에 따라, T 단위는 T1 단위, T2 단위, T3 단위라고 불리는 3종의 단위로 분류된다. T1 단위는 다른 규소 원자에 결합한 산소 원자 O*의 수가 1개, T2 단위는 그 산소 원자 O*의 수가 2개, T3 단위는 그 산소 원자 O*의 수가 3개이다. 또한, 본 명세서에 있어서는, 다른 규소 원자에 결합할 수 있는 1가의 관능기를 Z로 나타낸다.However, in the present specification, a case in which a functional group capable of bonding to another silicon atom is substituted for a part or all of the oxygen atom O * bonded to another silicon atom is also regarded as a T unit. The functional group capable of bonding to the other silicon atom is a hydroxyl group or a group which becomes a hydroxyl group by hydrolysis (hereinafter referred to as a hydrolyzable group). More specifically, in this specification, T units, and the total of the functional group that can be bonded to the other silicon-oxygen atom O * and other silicon atoms bonded to atom 3 pieces, an oxygen atom O * and the other is bonded to another silicon atom Depending on the difference in the number of functional groups capable of bonding to the silicon atom, the T unit is classified into three types of units called T1 unit, T2 unit and T3 unit. T1 is one unit the number of the oxygen atom O * is bonded to two other silicon atoms, T2 units are in number of two atoms of oxygen O *, T3 unit of the oxygen atom O * number of the dog 3. In the present specification, Z represents a monovalent functional group capable of bonding to other silicon atoms.

단량체(가수분해성 오르가노실란 화합물)는, 통상, (R'-)aSi(-Z)4 -a로 표시된다. 단, a는 0 내지 3의 정수, R'는 수소 원자 또는 1가의 유기기, Z는 수산기 또는 가수분해성기를 나타낸다. 이 화학식에 있어서, a=3의 화합물이 M 단량체, a=2의 화합물이 D 단량체, a=1의 화합물이 T 단량체, a=0의 화합물이 Q 단량체이다. 단량체에 있어서, Z기는 통상 가수분해성기이다. 또한, R'가 2 또는 3개 존재하는 경우(a가 2 또는 3인 경우), 복수의 R'는 상이해도 된다.Monomer (hydrolysable organosilane compound) is represented by the normal, (R'-) a Si (-Z ) 4 -a. A represents an integer of 0 to 3, R 'represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and Z represents a hydroxyl group or a hydrolyzable group. In this formula, the compound of a = 3 is an M monomer, the compound of a = 2 is a D monomer, the compound of a = 1 is a T monomer, and the compound of a = 0 is a Q monomer. In the monomers, the Z group is usually a hydrolyzable group. When two or three R 's exist (when a is 2 or 3), plural R' s may be different.

부분 가수분해 축합물인 경화성 오르가노폴리실록산은, 단량체의 Z기의 일부를 산소 원자 O*로 변환하는 반응에 의해 얻어진다. 단량체의 Z기가 가수분해성기인 경우, Z기는 가수분해 반응에 의해 수산기로 변환되고, 계속해서 별개의 규소 원자에 결합한 2개의 수산기의 사이에서의 탈수 축합 반응에 의해, 2개의 규소 원자가 산소 원자 O*를 통하여 결합된다. 경화성 오르가노폴리실록산 중에는 수산기(또는 가수분해하지 않은 Z기)가 잔존하고, 경화성 오르가노폴리실록산의 경화 시에 이들 수산기나 Z기가 상기와 마찬가지로 반응하여 경화된다. 경화성 오르가노폴리실록산의 경화물은, 통상, 3차원적으로 가교된 중합체(실리콘 수지)로 된다. 경화 시, 경화성 오르가노폴리실록산의 Z기가 O*로 변환되지만, Z기(특히 수산기)의 일부는 잔존하고, 수산기를 갖는 경화물로 된다고 생각된다. 경화성 오르가노폴리실록산을 고온에서 경화시킨 경우에는 수산기가 거의 잔존하지 않는 경화물로 되는 경우도 있다.The curable organopolysiloxane which is a partially hydrolyzed condensate is obtained by a reaction of converting a part of the Z group of the monomer into an oxygen atom O * . When Z group is a hydrolyzable group of the monomer, Z groups singer is converted to a hydroxyl group by the reaction, and subsequently by the dehydration condensation reaction between the two hydroxyl groups bonded to separate silicon atoms, and two silicon atoms are oxygen atom O * Lt; / RTI &gt; In the curable organopolysiloxane, a hydroxyl group (or a group Z which is not hydrolyzed) remains, and when the curable organopolysiloxane is cured, these hydroxyl groups and Z groups are reacted and cured as described above. The cured product of the curable organopolysiloxane is usually a three-dimensionally crosslinked polymer (silicone resin). At the time of curing, it is considered that the Z group of the curable organopolysiloxane is converted into O * , but a part of the Z group (particularly hydroxyl group) remains, resulting in a cured product having a hydroxyl group. In the case where the curable organopolysiloxane is cured at a high temperature, the cured organopolysiloxane may be a cured product which hardly contains hydroxyl groups.

단량체의 Z기가 가수분해성기인 경우, 그 Z기로서는 알콕시기, 염소 원자, 아실옥시기, 이소시아네이트기 등을 들 수 있다. 대부분의 경우, 단량체로서는 Z기가 알콕시기인 단량체가 사용된다. 알콕시기는 염소 원자 등과 비교하면 반응성이 비교적 낮은 가수분해성기이며, Z기가 알콕시기인 단량체를 사용하여 얻어지는 경화성 오르가노폴리실록산 중에는 Z기로서 수산기와 함께 미반응의 알콕시기가 존재하는 경우가 많다. 단량체의 Z기가 반응성이 비교적 높은 가수분해성기(예를 들어 염소 원자)인 경우, 그 단량체를 사용하여 얻어지는 경화성 오르가노폴리실록산 중의 Z기는 그 대부분이 수산기로 된다. 따라서, 통상의 경화성 오르가노폴리실록산에 있어서는, 그것을 구성하는 각 단위에서의 Z기는, 수산기를 포함하거나 수산기와 알콕시기를 포함하는 경우가 많다.When the Z group of the monomer is a hydrolyzable group, examples of the Z group include an alkoxy group, a chlorine atom, an acyloxy group, and an isocyanate group. In most cases, a monomer in which the Z group is an alkoxy group is used as the monomer. In the curable organopolysiloxane obtained by using a monomer in which the Z group is an alkoxy group, the alkoxy group is a hydrolyzable group having relatively low reactivity as compared with a chlorine atom and the like. In many cases, an unreacted alkoxy group is present together with a hydroxyl group as an Z group. When the Z group of the monomer is a hydrolyzable group (e.g., a chlorine atom) having a relatively high reactivity, most of the Z groups in the curable organopolysiloxane obtained by using the monomer become a hydroxyl group. Therefore, in ordinary curable organopolysiloxanes, the Z group in each unit constituting the curing organopolysiloxane often contains a hydroxyl group or contains a hydroxyl group and an alkoxy group.

(실리콘 수지)(Silicone resin)

실리콘 수지층(14)을 구성하는 실리콘 수지는, T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위(이후, 간단히 T3 단위라고도 칭함)를 갖고, 전체 오르가노실록시 단위에 대한 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위의 합계 비율이 80 내지 100몰%이고, 얻어지는 실리콘 수지층(14)의 내열성이 우수하고, 유리 기판(16)의 박리가 보다 용이하게 진행된다는 점에서, 82 내지 100몰%가 바람직하고, 85 내지 100몰%가 보다 바람직하다. 즉, 실리콘 수지는, T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위를 주성분으로서 포함한다.The silicone resin constituting the silicone resin layer 14 is an organosiloxane having an organosiloxy unit represented by T3 (hereinafter simply referred to as T3 unit) and represented by T3 with respect to the total organosiloxy unit Is preferably from 82 to 100 mol% from the viewpoint that the total ratio of the units is 80 to 100 mol% and the resulting silicone resin layer 14 has excellent heat resistance and the peeling of the glass substrate 16 proceeds more easily. And more preferably 85 to 100 mol%. That is, the silicone resin contains, as a main component, an organosiloxy unit represented by T3.

T3: R-SiO3 /2 T3: R-SiO 3/2

식 중, R은 페닐기 또는 메틸기를 나타낸다.In the formulas, R represents a phenyl group or a methyl group.

또한, T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위는, 상술한 T 단위의 하나에 해당된다. 실리콘 수지는, T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위 외에 다른 단위를 포함해도 되며, 다른 단위로서는 M 단위, D 단위, T1 단위, T2 단위 및 Q 단위를 들 수 있다.Further, the organosiloxy unit represented by T3 corresponds to one of the T units described above. The silicone resin may contain other units besides the organosiloxy units represented by T3, and the other units include M units, D units, T1 units, T2 units and Q units.

그 중에서도, 박리 시에 실리콘 수지층(14)의 응집 파괴가 없고, 실리콘 수지층(14)의 기계적 강도가 우수하고, 유리 기판(16)의 박리성이 보다 우수하다는 점에서, 하기 Q로 표시되는 오르가노실록시 단위(소위, Q 단위)를 포함하는 것이 바람직하다. Q 단위의 함유량은 특별히 제한되지 않지만, 전체 오르가노실록시 단위에 대하여, 1몰% 이상이 바람직하고, 5몰% 이상이 보다 바람직하다. 상한은 특별히 제한되지 않지만, 가교도가 증가함으로써 실리콘 수지층(14)의 취성이 저하되고, 실리콘 수지층(14)이 박리 시에 응집 파괴를 수반하여 일으킬 우려가 있다는 점, 또한 경화 수축에 수반하는 수축 응력의 증대에 의한 유리 복합체의 휨이 야기될 우려가 있다는 점에서, 20몰% 이하가 바람직하다.Among them, in view of the fact that there is no cohesive failure of the silicone resin layer 14 at the time of peeling, the mechanical strength of the silicone resin layer 14 is excellent, and the peelability of the glass substrate 16 is excellent, (So-called &quot; Q unit &quot;). The content of the Q units is not particularly limited, but is preferably 1 mol% or more, more preferably 5 mol% or more, based on the total organosiloxy units. Although the upper limit is not particularly limited, there is a fear that the brittleness of the silicone resin layer 14 is lowered due to the increase of the degree of crosslinking, the silicone resin layer 14 may cause cohesive failure at the time of peeling, It is preferably 20 mol% or less from the viewpoint that there is a fear that warping of the glass composite is caused by an increase in shrinkage stress.

Q: SiO4 /2 Q: SiO 4/2

또한, 상기 전체 오르가노실록시 단위란, 실리콘 수지 중에 포함되는 M 단위, D 단위, T 단위 및 Q 단위의 합계를 의도한다. M 단위, D 단위, T 단위(T1 내지 T3 단위), Q 단위의 수(몰량)의 비율은, 29Si-NMR에 의한 피크 면적비의 값으로부터 계산할 수 있다.The total organosiloxy unit is intended to mean the sum of the M units, the D units, the T units and the Q units contained in the silicone resin. The ratio of the M unit, D unit, T unit (T1 to T3 unit) and Q unit (molar amount) can be calculated from the value of the peak area ratio by 29 Si-NMR.

실리콘 수지층(14) 중의 실리콘 수지에 있어서는, T3 중의 R이 페닐기인 오르가노실록시 단위 (A-1)과, T3 중의 R이 메틸기인 오르가노실록시 단위 (B-1)의 몰비((A-1)/(B-1))가 80/20 내지 20/80이다(또한, (A-1)+(B-1)=100의 관계를 만족함). 그 중에서도, 유리 기판을 보다 용이하게 박리할 수 있다는 점에서, 몰비((A-1)/(B-1))는 75/25 내지 20/80이 바람직하고, 70/30 내지 20/80이 보다 바람직하다.In the silicone resin in the silicone resin layer 14, the molar ratio of the organosiloxy unit (A-1) in which R in the T3 is a phenyl group and the organosiloxy unit (B-1) in which R in the T3 is a methyl group (A-1) / (B-1) = 100) is 80/20 to 20/80. Among them, the molar ratio ((A-1) / (B-1)) is preferably 75/25 to 20/80, more preferably 70/30 to 20/80 More preferable.

R이 페닐기인 오르가노실록시 단위 (A-1)이란, 이하 P-T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위를 의도한다. Ph는 페닐기를 나타낸다.The organosiloxy unit (A-1) wherein R is a phenyl group is an organosiloxy unit represented by P-T3. Ph represents a phenyl group.

P-T3: Ph-SiO3 /2 P-T3: Ph-SiO 3 /2

또한, R이 메틸기인 오르가노실록시 단위 (B-1)이란, 이하 M-T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위를 의도한다.The organosiloxy unit (B-1) in which R is a methyl group is intended to be an organosiloxy unit represented by M-T3.

M-T3: Me-SiO3 /2 M-T3: Me-SiO 3 /2

상기 실리콘 수지는, 공지된 재료를 사용하여 제조할 수 있다.The silicone resin can be produced by using a known material.

상술한 바와 같이, 경화 처리에 의해 상기 실리콘 수지로 될 수 있는 경화성 오르가노폴리실록산으로서는, 예를 들어 단량체인 가수분해성 오르가노실란 화합물의 혼합물을 부분 가수분해 축합 반응시켜 얻어지는 부분 가수분해 축합물(오르가노폴리실록산)이 사용된다. 해당 단량체로서는, 보다 구체적으로는 (Me-)Si(-Z)3으로 표시되는 가수분해성 오르가노실란 화합물과, (Ph-)Si(-Z)3으로 표시되는 가수분해성 오르가노실란 화합물이 사용된다. 또한, Z기는 수산기 또는 가수분해성기를 나타내고, 예를 들어 가수분해성기로서는 염소 원자 등의 할로겐 원자, 알콕시기, 아실기, 아미노기, 알콕시알콕시기 등을 들 수 있다.As described above, examples of the curable organopolysiloxane which can be made into a silicone resin by the curing treatment include a partial hydrolysis condensation product obtained by partial hydrolysis and condensation reaction of a mixture of a hydrolyzable organosilane compound as a monomer Organopolysiloxane) is used. More specifically, as the monomer, a hydrolyzable organosilane compound represented by (Me-) Si (-Z) 3 and a hydrolyzable organosilane compound represented by (Ph-) Si (-Z) 3 are used do. The Z group represents a hydroxyl group or a hydrolyzable group, and examples of the hydrolyzable group include a halogen atom such as a chlorine atom, an alkoxy group, an acyl group, an amino group, and an alkoxyalkoxy group.

또한, 가수분해 축합 반응은 T 단량체로부터 T1 단위가 생성되고, T1 단위로부터 T2 단위가 생성되고, T2 단위로부터 T3 단위가 생성되는 반응이다. 가수분해성기의 하나 이상이 수산기로 변환된 T 단량체로부터 T1 단위가 생성되는 축합 반응, T1 단위로부터 T2 단위가 생성되는 축합 반응, T2 단위로부터 T3 단위가 생성되는 축합 반응의 반응 속도는 이 순서대로 느려진다고 생각된다. 가수분해성기의 가수분해 반응을 고려해도, 반응이 진행됨에 따라 각 단위의 존재량의 피크는 T 단량체로부터 T3 단위로 이동해 간다고 생각된다. 반응 조건이 비교적 온화한 경우에는 존재량의 피크의 이동은 비교적 정연히 진행된다고 생각된다.In addition, the hydrolysis and condensation reaction is a reaction in which a T1 unit is generated from a T monomer, a T2 unit is generated from a T1 unit, and a T3 unit is generated from a T2 unit. The reaction rates of the condensation reaction in which T1 units are generated from T monomers in which at least one of the hydrolyzable groups are converted to hydroxyl groups, the condensation reaction in which T2 units are formed from T1 units, and the condensation reactions in which T3 units are formed in T2 units are carried out in this order It seems to be slow. Even considering the hydrolysis reaction of the hydrolyzable group, it is considered that as the reaction progresses, the peak of the abundance of each unit moves from the T monomer to the T3 unit. When the reaction conditions are relatively mild, it is considered that the shift of the peak of the abundance proceeds relatively smoothly.

상기 실리콘 수지로 될 수 있는 경화성 오르가노폴리실록산으로서는, 상술한 바와 같이, 반응의 제어나 취급 등의 면에서, 가수분해성 오르가노실란 화합물의 혼합물로부터 얻어지는 부분 가수분해 축합물(오르가노폴리실록산)이 사용된다. 부분 가수분해 축합물은, 가수분해성 오르가노실란 화합물을 상기 각 오르가노실록시 단위의 비율로 되도록 혼합한 단량체 혼합물을 부분적으로 가수분해 축합시켜 얻어진다. 부분적으로 가수분해 축합시키는 방법은, 특별히 한정되지 않는다. 통상은, 가수분해성 오르가노실란 화합물의 혼합물을 용매 중, 촉매 존재 하에서 반응시켜 제조된다. 촉매로서는, 산 촉매나 알칼리 촉매를 사용할 수 있다. 또한, 가수분해 반응에는, 통상, 물을 사용하는 것이 바람직하다. 본 발명에 사용하는 부분 가수분해 축합물은, 용매 중에서 가수분해성 오르가노실란 화합물의 혼합물을 산 또는 알칼리 수용액의 존재 하에서 반응시켜 제조된 것이 바람직하다.As the curable organopolysiloxane that can be used as the silicone resin, a partially hydrolyzed condensation product (organopolysiloxane) obtained from a mixture of hydrolysable organosilane compounds is used as the control and handling of the reaction as described above do. The partially hydrolyzed condensate is obtained by partial hydrolysis and condensation of a monomer mixture in which the hydrolyzable organosilane compound is mixed at a ratio of the respective organosiloxy units. The method of partial hydrolysis and condensation is not particularly limited. Generally, it is prepared by reacting a mixture of hydrolysable organosilane compounds in a solvent in the presence of a catalyst. As the catalyst, an acid catalyst or an alkali catalyst can be used. In addition, water is preferably used for the hydrolysis reaction. The partially hydrolyzed condensate used in the present invention is preferably prepared by reacting a mixture of hydrolysable organosilane compounds in a solvent in the presence of an acid or an aqueous alkali solution.

사용되는 가수분해성 오르가노실란 화합물로서는, 상술한 (Me-)Si(-Z)3으로 표시되는 가수분해성 오르가노실란 화합물과, (Ph-)Si(-Z)3으로 표시되는 가수분해성 오르가노실란 화합물을 들 수 있지만, 그 중에서도, 얻어지는 경화성 오르가노폴리실록산의 취급성이 우수하고, 내열성이 높고, 유리 기판(16)을 보다 용이하게 박리할 수 있다는 점에서, 페닐트리클로로실란(하기 식 (1)로 표시되는 화합물) 및 메틸트리클로로실란(하기 식 (2)로 표시되는 화합물)을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 식 (1) 중의 Ph는 페닐기를 나타낸다.As a singer used hydrolyzable organosilane compound, the above-described (Me-) Si (-Z) hydrolyzable represented by 3 organosilane compound and, (Ph-) Si (-Z) 3 hydrolyzable organosilane represented by the Among them, phenyltrichlorosilane (represented by the following formula ((1)) is more preferable in view of handling of the curable organopolysiloxane obtained, high heat resistance and more easily peeling off the glass substrate 16 1)) and methyltrichlorosilane (a compound represented by the following formula (2)) are preferably used. Ph in the formula (1) represents a phenyl group.

Figure pct00002
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또한, 후술하는 바와 같이, 경화성 오르가노폴리실록산의 층을 형성할 때에는, 경화성 오르가노폴리실록산을 포함하는 조성물이 사용되지만, 조성물 중에서의 경화성 오르가노폴리실록산의 안정성을 보다 높이는 점에서는, 경화 실리콘의 말단을 캡화할 수도 있다. 보다 구체적으로는, 경화성 오르가노폴리실록산 중의 말단 Si-OH를, 산 촉매 하(예를 들어, 아세트산 존재 하)에서, 알코올과 반응시키고, 물을 제거하면서 Si-OH를 보호 캡할 수 있다. 예를 들어, 메탄올을 사용한 경우, Si-OMe기가 형성된다. 또한, 사용되는 알코올의 종류는 특별히 제한되지 않으며, 메탄올, 에탄올, 1-프로판올, 1-부탄올 등의 저비점 알코올을 들 수 있다. 이들 중, Si-OH기와의 반응성과, 경화성 오르가노폴리실록산의 용해성이 양호하다는 점에서, 메탄올, 에탄올이 바람직하다.As described later, a composition containing a curable organopolysiloxane is used to form a layer of a curable organopolysiloxane. In order to further enhance the stability of the curable organopolysiloxane in the composition, the end of the cured silicone It can also be capped. More specifically, the terminal Si-OH in the curable organopolysiloxane can be reacted with an alcohol under acid catalysis (e.g., in the presence of acetic acid) to protect and cap the Si-OH while removing water. For example, when methanol is used, an Si-OMe group is formed. The type of alcohol used is not particularly limited, and low-boiling alcohols such as methanol, ethanol, 1-propanol, 1-butanol and the like can be mentioned. Of these, methanol and ethanol are preferable because they have good reactivity with the Si-OH group and good solubility of the curable organopolysiloxane.

(경화성 오르가노폴리실록산의 적합 형태)(A suitable form of the curable organopolysiloxane)

상기 경화성 오르가노폴리실록산의 적합 형태의 하나로서는, 하기 T1 내지 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위 중 적어도 어느 하나를 갖고, 전체 오르가노실록시 단위에 대한 하기 T1 내지 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위의 합계 비율이 80 내지 100몰%이고, 하기 T1 내지 T3 중의 R이 페닐기인 오르가노실록시 단위 (A-2)와, 하기 T1 내지 T3 중의 R이 메틸기인 오르가노실록시 단위 (B-2)의 몰비((A-2)/(B-2))가 80/20 내지 20/80인 오르가노폴리실록산(이후, 오르가노폴리실록산 X라고도 칭함)을 들 수 있다. 해당 오르가노폴리실록산이면, 용이하게 원하는 실리콘 수지가 얻어진다.One of the preferable forms of the curable organopolysiloxane includes organosiloxane units having at least any one of the following organosiloxy units represented by T1 to T3 and represented by the following T1 to T3 with respect to all the organosiloxy units (A-2) in which R in the following T1 to T3 is a phenyl group and an organosiloxy unit (B-2) in which R in the following T1 to T3 is a methyl group, 2) ((A-2) / (B-2)) of 80/20 to 20/80 (hereinafter also referred to as organopolysiloxane X). If it is the organopolysiloxane, a desired silicone resin is easily obtained.

T1: R-Si(-OX)2O1 /2 T1: R-Si (-OX) 2 O 1/2

T2: R-Si(-OX)O2 /2 T2: R-Si (-OX) O 2/2

T3: R-SiO3 /2 T3: R-SiO 3/2

또한, 식 중, R은 페닐기 또는 메틸기를 나타낸다. X는 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 6의 알킬기를 나타낸다.In the formula, R represents a phenyl group or a methyl group. X represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

상기 식에서의 R은 1종에 한정되지 않고, T1, T2, T3은 각각 R이 상이해도 된다.R in the above formula is not limited to one, and T1, T2, and T3 may be different from each other.

또한, -OX는 T1 단위 및 T2 단위의 사이에서 동일해도 되고 상이해도 된다. T1 단위에서의 2개의 -OX는 상이해도 되며, 예를 들어 한쪽이 수산기이고 다른쪽이 알콕시기여도 된다. 또한, 2개의 -OX가 모두 알콕시기인 경우, 그들 알콕시기는 상이한 알콕시기여도 된다.-OX may be the same or different between the T1 unit and the T2 unit. Two -OX in the T1 unit may be different, for example, one may be a hydroxyl group and the other may be an alkoxy group. Further, when two -OX are all alkoxy groups, they may be different alkoxy groups.

2개의 규소 원자를 결합하는 산소 원자(O*)를 갖지 않는, -OX만을 3개 갖는 T 단위를 이하 T0이라고 한다. T0은, 실제로는 미반응의 T 단량체에 상당하며, 오르가노실록시 단위(규소 함유 결합 단위)는 아니다. 이 T0은, T1 내지 T3의 단위의 해석에 있어서 T1 내지 T3과 마찬가지로 측정된다.A T unit having only three -OX, which does not have an oxygen atom (O * ) connecting two silicon atoms, is hereinafter referred to as T0. T0 actually corresponds to an unreacted T monomer, and is not an organosiloxy unit (silicon-containing bonding unit). This T0 is measured in the same manner as T1 to T3 in the analysis of the units of T1 to T3.

오르가노폴리실록산 X 중의 T1 내지 T3의 단위는, 핵자기 공명 분석(29Si-NMR)에 의해 규소 원자의 결합 상태를 측정하여 해석할 수 있다. T0 내지 T3의 단위의 수(몰량)의 비는, 29Si-NMR의 피크 면적비로부터 구한다.The unit of T1 to T3 in the organopolysiloxane X can be analyzed by measuring the bonding state of silicon atoms by nuclear magnetic resonance analysis ( 29 Si-NMR). The ratio of the number of units (molar amount) of T0 to T3 is determined from the peak area ratio of 29 Si-NMR.

또한, 오르가노폴리실록산 X의 질량 평균 분자량 Mw, 수 평균 분자량 Mn 및 분산도 Mw/Mn은, 겔 투과 크로마토그래피법에 의해, 폴리스티렌을 표준 물질로 하여 측정한 값을 말한다. 이러한 오르가노폴리실록산 X의 특성은, 분자 하나의 특성을 말하는 것이 아니라, 각 분자의 평균 특성으로서 구해지는 것이다.The mass-average molecular weight Mw, the number-average molecular weight Mn and the dispersion degree Mw / Mn of the organopolysiloxane X are values measured with gel permeation chromatography using polystyrene as a standard material. The properties of such an organopolysiloxane X are not one characteristic of a molecule but are obtained as an average characteristic of each molecule.

오르가노폴리실록산 X 중에서의 상기 T1 내지 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위의 합계 비율은, 상술한 바와 같이, 전체 오르가노실록시 단위에 대하여, 80 내지 100몰%인 것이 바람직하고, 얻어지는 실리콘 수지층(14)의 내열성이 우수하고, 유리 기판(16)의 박리가 보다 용이하게 진행된다는 점에서, 82 내지 100몰%가 바람직하고, 85 내지 100몰%가 보다 바람직하다.As described above, the total proportion of the organosiloxy units represented by T1 to T3 in the organopolysiloxane X is preferably 80 to 100 mol% based on the total organosiloxy unit, 82 to 100 mol% is preferable, and 85 to 100 mol% is more preferable because heat resistance of the paper layer 14 is excellent and peeling of the glass substrate 16 proceeds more easily.

또한, 오르가노폴리실록산 X에 있어서는, 취급성의 관점에서, 상기 T3 단위가 적어도 포함되는 것이 바람직하고, 상기 T2 단위 및 T3 단위가 적어도 포함되는 것이 보다 바람직하다. 여러가지 검토 결과, Ph기(페닐기)가 많아지면, T1 단위의 비율이 많아진다고 알려져 있다. T1 단위가 많아지면, 실리콘 수지층 제작 과정에서의 경화 시에 수축 응력이 크기 때문에, T1 단위가 적은 쪽이, 수축 응력을 저하시킬 수 있어 보다 바람직하다.From the viewpoint of handleability, the organopolysiloxane X preferably contains at least the T3 unit, and more preferably contains the T2 unit and the T3 unit. As a result of various studies, it is known that when the number of Ph groups (phenyl groups) increases, the proportion of T1 units increases. When the T1 unit is increased, since the shrinkage stress is large at the time of curing in the process of manufacturing the silicone resin layer, the smaller the T1 unit is, the more preferable the shrinkage stress can be lowered.

또한, 오르가노폴리실록산 X는, 상기 T1 내지 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위 이외에 다른 단위를 포함해도 되며, 다른 단위로서는 M 단위, D 단위 및 Q 단위를 들 수 있다.Further, the organopolysiloxane X may contain other units in addition to the organosiloxy units represented by T1 to T3, and other units may include M units, D units and Q units.

T체의 경화성 오르가노폴리실록산으로서는, 일반적으로 폴리페닐폴리실록산, 폴리메틸폴리실록산 등이 알려져 있는데, 실란올 말단 폴리페닐폴리실록산은 PhSiCl3을 가수분해하였을 때, 분자량 수백 내지 수천 정도의 올리고머로서 얻어진다. 이 올리고머를 사용하여 0.1mm 두께 이상의 경화물을 제작하면, 매우 취약하여 사용에 견디지 못한다. 그러나, 내열성이 우수한 실리콘 수지로 된다.As curable organopolysiloxanes of T-form, polyphenylpolysiloxane, polymethylpolysiloxane and the like are generally known. Silanol-terminated polyphenylpolysiloxane is obtained as an oligomer having a molecular weight of several hundred to several thousands upon hydrolysis of PhSiCl 3 . When these oligomers are used to produce cured products having a thickness of 0.1 mm or more, they are very fragile and can not withstand use. However, the silicone resin is excellent in heat resistance.

한편, 규소 원자 상의 치환기가 메틸기 등의 지방족 탄화수소기인 경우에는, 실란올 말단을 제공하는 RSiZ3 타입의 단량체의 반응성이 높고, 얻어지는 가수분해-축합물의 분자량은 대부분의 경우 1만 이상으로 되어 버린다. 그로 인해 용매에의 용해성이 나쁘며, 해당 축합물을 용해시키기 위해서는 대량의 용매가 필요하고, 코팅 용도 등의 박막은 얻어지지만, 어느 정도 두께를 가진 경화물은 크랙의 발생 등으로 인해 얻기가 곤란하다.On the other hand, when the substituent on the silicon atom is an aliphatic hydrocarbon group such as a methyl group, RSiZ 3 Type monomer is high, and the molecular weight of the obtained hydrolysis-condensation product is in most cases 10,000 or more. In order to dissolve the condensate, a large amount of solvent is required, and a thin film for coating application is obtained. However, a cured product having a certain thickness is difficult to obtain due to cracks or the like .

따라서, 내열성과 반응성을 양립시키고, 용해성을 향상시킨, 상기 경화성 오르가노폴리실록산 X의 사용이 바람직하다.Therefore, it is preferable to use the curable organopolysiloxane X that combines heat resistance and reactivity and improves solubility.

경화성 오르가노폴리실록산 X에 있어서는, T1 내지 T3 중의 R이 페닐기인 오르가노실록시 단위 (A-2)와, T1 내지 T3 중의 R이 메틸기인 오르가노실록시 단위 (B-2)의 몰비((A-2)/(B-2))가 80/20 내지 20/80인 것이 바람직하다(또한, (A-2)+(B-2)=100의 관계를 만족함). 그 중에서도, 당해 경화성 오르가노폴리실록산의 용해성이 우수하고, 세정된 유리 기판에 대하여 적당한 표면 장력을 갖는(즉 습윤성이 좋은) 도포 시공액을 조제할 수 있고, 경화 시의 수축 응력을 저감할 수 있다는 점에서, 몰비((A-2)/(B-2))는 75/25 내지 20/80이 바람직하고, 70/30 내지 20/80이 보다 바람직하다.In the curable organopolysiloxane X, the mole ratio of the organosiloxy unit (A-2) in which R in the T1 to T3 is a phenyl group and the organosiloxy unit (B-2) in which R in the T1 to T3 is a methyl group (A-2) / (B-2) = 100) is preferably 80/20 to 20/80. In particular, it is possible to prepare a coating solution having excellent solubility of the curable organopolysiloxane and having an appropriate surface tension (i.e., good wettability) with respect to the cleaned glass substrate, and to reduce the shrinkage stress upon curing , The molar ratio ((A-2) / (B-2)) is preferably 75/25 to 20/80, and more preferably 70/30 to 20/80.

R이 페닐기인 오르가노실록시 단위 (A-2)란, R이 페닐기인 T1 단위(이하의 P-T1), R이 페닐기인 T2 단위(이하의 P-T2), 및 R이 페닐기인 T3 단위(이하의 P-T3)를 포함하는 개념을 의도한다. 이하, 식 P-T1 내지 P-T3 중, Ph는 페닐기를 나타낸다.The organosiloxy unit (A-2) in which R is a phenyl group means a T1 unit (hereinafter referred to as P-T1) in which R is a phenyl group, a T2 unit in which R is a phenyl group (hereinafter referred to as P-T2) Unit (hereinafter referred to as &quot; P-T3 &quot;). In the formulas P-T1 to P-T3, Ph represents a phenyl group.

P-T1: Ph-Si(-OX)2O1 /2 T1-P: Si-Ph (-OX) 2 O 1/2

P-T2: Ph-Si(-OX)O2 /2 P-T2: Si-Ph (-OX) O 2/2

P-T3: Ph-SiO3 /2 P-T3: Ph-SiO 3 /2

따라서, 상기 오르가노실록시 단위 (A-2)의 함유량은, 상기 P-T1로 표시되는 단위의 함유량, 상기 P-T2로 표시되는 단위의 함유량, 및 상기 P-T3으로 표시되는 단위의 함유량의 합계량을 의도한다.Therefore, the content of the organosiloxy unit (A-2) is preferably such that the content of the units represented by P-T1, the units represented by P-T2, and the content of units represented by P-T3 Lt; / RTI &gt;

또한, R이 메틸기인 오르가노실록시 단위 (B-2)란, R이 메틸기인 T1 단위(이하의 M-T1), R이 메틸기인 T2 단위(이하의 M-T2), 및 R이 메틸기인 T3 단위(이하의 M-T3)를 포함하는 개념을 의도한다. 이하, 식 M-T1 내지 M-T3 중, Me는 메틸기를 나타낸다.Examples of the organosiloxy unit (B-2) in which R is a methyl group include a T1 unit (hereinafter referred to as M-T1) in which R is a methyl group, a T2 unit in which R is a methyl group (hereinafter referred to as M-T2) Gt; T3 &lt; / RTI &gt; units (M-T3 below). Herein, among the formulas M-T1 to M-T3, Me represents a methyl group.

M-T1: Me-Si(-OX)2O1 /2 M-T1: Me-Si ( -OX) 2 O 1/2

M-T2: Me-Si(-OX)O2 /2 M-T2: Me-Si ( -OX) O 2/2

M-T3: Me-SiO3 /2 M-T3: Me-SiO 3 /2

따라서, 상기 오르가노실록시 단위 (B-2)의 함유량은, 상기 M-T1로 표시되는 단위의 함유량, 상기 M-T2로 표시되는 단위의 함유량, 및 상기 M-T3으로 표시되는 단위의 함유량의 합계량을 의도한다.Therefore, the content of the organosiloxy unit (B-2) is preferably such that the content of the unit represented by M-T1, the content of the unit represented by M-T2, and the content of units represented by M-T3 Lt; / RTI &gt;

경화성 오르가노폴리실록산(특히, 상기 경화성 오르가노폴리실록산 X)은, 상기 T1 내지 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위를, 단위의 개수의 비율(몰량)로, T1:T2:T3=0 내지 5:20 내지 50:50 내지 80(또한, T1+T2+T3=100의 관계를 만족함)의 비율로 포함하는 것이 바람직하다. 상기 범위이면, 유리 기판(16)을 보다 용이하게 박리할 수 있다. 상기 T1:T2:T3의 비는, 바꾸어 말하면, T1 단위의 비율이 0 내지 5몰%이고, T2 단위의 비율이 20 내지 50몰%이고, T3 단위의 비율이 50 내지 80몰%라고도 할 수 있다.The curable organopolysiloxane (particularly, the curable organopolysiloxane X) is obtained by subjecting the organosiloxy units represented by T1 to T3 to a ratio (molar amount) of the number of units of T1: T2: T3 = 0 to 5: 20 to 50: 50 to 80 (also satisfying the relationship of T1 + T2 + T3 = 100). Within this range, the glass substrate 16 can be more easily peeled off. In other words, the ratio of T1: T2: T3 is 0 to 5 mol% in T1 units, 20 to 50 mol% in T2 units, and 50 to 80 mol% in T3 units have.

유리 기판(16)을 용이하게 박리할 수 있고, 유리 적층체(10)의 휨을 작게 할 수 있다는 점에서, 경화성 오르가노폴리실록산 X에서의 (A-2) 단위와 (B-2) 단위의 비((A-2)/(B-2))가 80/20 내지 20/80이고, 또한 T1 내지 T3 단위의 개수의 비율(몰량)로 T1:T2:T3=0 내지 5:20 내지 50:50 내지 80인 것이 바람직하다.(A-2) units and (B-2) units in the curable organopolysiloxane X from the viewpoint that the glass substrate 16 can be easily peeled off and warpage of the glass laminate 10 can be reduced T1: T2: T3 = 0 to 5: 20 to 50: 50 (molar ratio) in the range of from 80/20 to 20/80 (A-2) / (B- It is preferably 50 to 80. [

또한, 경화성 오르가노폴리실록산 X를 사용하여 실리콘 수지층을 형성할 때, 경화 조건에 따라, T1 내지 T3 중의 메틸기나 페닐기가 탈리되어, Q 단위가 형성되는 경우가 있다.Further, when the silicone resin layer is formed using the curable organopolysiloxane X, the methyl group and the phenyl group in T1 to T3 may be eliminated depending on the curing conditions to form a Q unit.

경화성 오르가노폴리실록산(특히, 상기 경화성 오르가노폴리실록산 X)의 수 평균 분자량은, 경화성 오르가노폴리실록산의 용해성이 우수하고, 이물 결함이 적은 실리콘 수지층(14)을 제작할 수 있거나, 또는 유리 기판(16)을 보다 용이하게 박리할 수 있다는 점에서, 그 GPC(겔 투과 크로마토그래피) 측정에 의한, 폴리스티렌 환산의 수 평균 분자량은 500 내지 2000인 것이 바람직하고, 600 내지 2000인 것이 보다 바람직하고, 800 내지 1800이 더욱 바람직하다.The number average molecular weight of the curable organopolysiloxane (in particular, the curable organopolysiloxane X) can be obtained by preparing a silicone resin layer 14 having excellent solubility of the curable organopolysiloxane and having few foreign matter defects, The number average molecular weight in terms of polystyrene by GPC (gel permeation chromatography) measurement is preferably from 500 to 2000, more preferably from 600 to 2000, 1800 is more preferable.

또한, 경화성 오르가노폴리실록산(특히, 상기 경화성 오르가노폴리실록산 X)의 질량 평균 분자량/수 평균 분자량은, 경화성 오르가노폴리실록산의 용해성이 우수하고, 이물 결함이 적은 실리콘 수지층(14)을 제작할 수 있거나, 또는 유리 기판(16)을 보다 용이하게 박리할 수 있다는 점에서, 1.00 내지 2.00이 바람직하고, 1.00 내지 1.70이 보다 바람직하고, 1.00 내지 1.50이 더욱 바람직하다.Further, the mass average molecular weight / number average molecular weight of the curable organopolysiloxane (particularly, the curable organopolysiloxane X) is not particularly limited so long as the silicone resin layer 14 having excellent solubility of the curable organopolysiloxane and little foreign matter defect can be prepared Is preferably from 1.00 to 2.00, more preferably from 1.00 to 1.70, and further preferably from 1.00 to 1.50 in that the glass substrate 16 can be easily peeled off.

경화성 오르가노폴리실록산(특히, 상기 경화성 오르가노폴리실록산 X)의 분자량의 조절은, 반응 조건을 제어함으로써 행할 수 있다. 예를 들어, 경화성 올리고머를 제조할 때의 용매량을 조절하여, 가수분해성 오르가노실란 화합물의 농도를 높게 하면 고분자량물이 얻어지고, 농도를 낮게 하면 저분자량물이 얻어진다.The molecular weight of the curable organopolysiloxane (particularly, the curable organopolysiloxane X) can be controlled by controlling the reaction conditions. For example, when the concentration of the hydrolyzable organosilane compound is increased by adjusting the amount of solvent when the curable oligomer is prepared, a high molecular weight material is obtained. When the concentration is low, a low molecular weight material is obtained.

경화성 오르가노폴리실록산(특히, 상기 경화성 오르가노폴리실록산 X)의 형상은 특별히 제한되지 않고, 입자형이어도 된다. 즉, 경화성 오르가노폴리실록산(특히, 상기 경화성 오르가노폴리실록산 X)을 용매 중에 첨가한 경우, 미립자로서 존재해도 된다.The shape of the curable organopolysiloxane (particularly, the curable organopolysiloxane X) is not particularly limited and may be a particle type. That is, when the curable organopolysiloxane (particularly the curable organopolysiloxane X) is added to a solvent, it may be present as fine particles.

이 경우, 동적 광산란법에 의해 측정한 경화성 오르가노폴리실록산(특히, 상기 경화성 오르가노폴리실록산 X)의 입자 직경은 특별히 제한되지 않지만, 이물 결함이 적은 당해 실리콘 수지층을 제작할 수 있거나, 또는 유리 기판(16)을 보다 용이하게 박리할 수 있다는 점에서, 0.5 내지 100nm가 바람직하고, 0.5nm 이상 40nm 미만이 보다 바람직하다.In this case, the particle diameter of the curable organopolysiloxane (in particular, the curable organopolysiloxane X) measured by the dynamic light scattering method is not particularly limited, but the silicone resin layer having few foreign matters can be produced, or the glass substrate 16 is more preferably 0.5 to 100 nm, and more preferably 0.5 to less than 40 nm in terms of being able to more easily peel off.

또한, 상기 동적 광산란법의 측정 방법으로서는, 경화성 오르가노폴리실록산(특히, 상기 경화성 오르가노폴리실록산 X)을 PEGMEA 용액(프로필렌글리콜-1-모노메틸에테르-2-아세테이트)에 20질량%로 되도록 조정하여 샘플을 제작하고, 농후계 입경 애널라이저(오쯔까 덴시사제, FPAR-1000)를 사용하여 히스토그램 평균 입자 직경(D50)을 구하여, 입자 직경으로 한다.As a measurement method of the dynamic light scattering method, a curable organopolysiloxane (particularly, the curable organopolysiloxane X) was adjusted to 20 mass% in a PEGMEA solution (propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate) A sample is prepared, and the histogram average particle diameter (D50) is obtained by using a dense particle size analyzer (FPAR-1000, manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd.) to obtain a particle diameter.

상술한 실리콘 수지층(14)의 제조 방법은 특별히 제한되지 않고, 공지된 방법을 채용할 수 있다. 실리콘 수지층(14)의 제조 방법으로서는, 후술하는 바와 같이, 지지 기재(12) 상에 상기 실리콘 수지로 되는 경화성 오르가노폴리실록산의 층을 형성하고, 그 경화성 오르가노폴리실록산을 가교 경화시켜 실리콘 수지층(14)으로 하는 것이 바람직하다. 지지 기재(12) 상에 경화성 오르가노폴리실록산의 층을 형성하기 위해서는, 경화성 오르가노폴리실록산을 용매에 용해시킨 용액(경화성 오르가노폴리실록산을 포함하는 조성물)을 사용하고, 이 용액을 지지 기재(12) 상에 도포하여 용액의 층을 형성하고, 계속해서 용매를 제거하여 경화성 오르가노폴리실록산의 층으로 하는 것이 바람직하다. 용액 농도의 조정 등에 의해 경화성 오르가노폴리실록산의 층의 두께를 제어할 수 있다. 그 중에서도, 취급성이 우수하고, 실리콘 수지층(14)의 막 두께의 제어가 보다 용이하다는 점에서, 경화성 오르가노폴리실록산을 포함하는 조성물 중에서의 경화성 오르가노폴리실록산의 함유량은, 조성물 전체 질량에 대하여, 1 내지 100질량%가 바람직하고, 1 내지 50질량%가 보다 바람직하다.The method of producing the above-described silicone resin layer 14 is not particularly limited, and a known method can be employed. As a method of producing the silicone resin layer 14, a layer of a curable organopolysiloxane that is the silicone resin is formed on the supporting substrate 12, and the curable organopolysiloxane is crosslinked and cured to form a silicone resin layer (14). In order to form a layer of the curable organopolysiloxane on the support substrate 12, a solution (a composition containing a curable organopolysiloxane) in which a curable organopolysiloxane is dissolved in a solvent is used, To form a layer of the solution, and then the solvent is removed to form a layer of the curable organopolysiloxane. The thickness of the layer of the curable organopolysiloxane can be controlled by adjusting the solution concentration or the like. Among them, the content of the curable organopolysiloxane in the composition containing the curable organopolysiloxane is preferably within a range from 1 to 10 parts by mass, , Preferably 1 to 100 mass%, and more preferably 1 to 50 mass%.

용매로서는, 작업 환경 하에서 경화성 오르가노폴리실록산을 용이하게 용해할 수 있고, 또한 용이하게 휘발 제거할 수 있는 용매이면, 특별히 한정되지 않는다. 구체적으로는, 예를 들어 아세트산 부틸, 2-헵타논, 1-메톡시-2-프로판올아세테이트 등을 예시할 수 있다.The solvent is not particularly limited as long as it is a solvent which can easily dissolve the curable organopolysiloxane in the working environment and can easily remove volatilization. Specific examples thereof include butyl acetate, 2-heptanone, 1-methoxy-2-propanol acetate and the like.

또한, 조성물 중에서의 경화성 오르가노폴리실록산의 안정성을 보다 높인다는 점에서, 조성물 중의 pH를 제어하는 것이 바람직하다. 일반적으로 실라놀기가 안정적으로 존재할 수 있는 pH에는 일정 범위가 있으며, 중성 부근에서는 겔화가 진행되기 쉽고, 산성측(pH2 내지 4) 혹은 염기성측(pH11 내지 14)에서 보다 안정적으로 존재함이 알려져 있다. 경화성 오르가노폴리실록산의 안정성을 보다 높이고, 또한 경화성 오르가노폴리실록산이 경화될 때의 경화 촉매로서 작용한다는 점에서, pH 제어에는 산이 바람직하게 사용된다. 첨가산으로서, 염산, 황산, 질산, 인산, 아질산, 과염소산, 설파민산 등의 무기산; 포름산, 아세트산, 프로피온산, 부티르산, 옥살산, 숙신산, 말레산, 락트산, p-톨루엔술폰산 등의 유기산을 들 수 있고, 아세트산이 바람직하다. 산의 사용량은, 경화성 오르가노폴리실록산 조성물 100질량부에 대하여, 0.1 내지 50질량부가 바람직하고, 1 내지 20질량부가 특히 바람직하다.It is also preferable to control the pH in the composition in order to further increase the stability of the curable organopolysiloxane in the composition. Generally, it is known that there is a certain range in the pH at which the silanol group can stably exist, and the gelation is easy to proceed at the vicinity of neutral, and is more stably existed on the acidic side (pH 2 to 4) or the basic side (pH 11 to 14) . In order to increase the stability of the curable organopolysiloxane and to act as a curing catalyst when the curable organopolysiloxane is cured, an acid is preferably used for pH control. Examples of the acid addition include inorganic acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid, nitrous acid, perchloric acid and sulfamic acid; And organic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, oxalic acid, succinic acid, maleic acid, lactic acid and p-toluenesulfonic acid. Acetic acid is preferable. The amount of the acid to be used is preferably 0.1 to 50 parts by mass, particularly preferably 1 to 20 parts by mass, per 100 parts by mass of the curable organopolysiloxane composition.

또한, 조성물 중에서의 경화성 오르가노폴리실록산의 안정성을 보다 높인다는 점에서, 도포 시공 용매보다 고비점의 알코올을 첨가할 수도 있다. 사용되는 알코올의 종류는 특별히 제한되지 않고, 1-부탄올, 1-메톡시-2-프로판올, 2-펜탄올, 3-메틸-1-부탄올, 1-펜탄올, 디아세톤알코올, 2-(2-에톡시에톡시)에탄올 등을 들 수 있다. 이들 중, 경화성 오르가노폴리실록산의 용해성이 양호하다는 점에서, 1-메톡시-2-프로판올, 디아세톤알코올, 2-(2-에톡시에톡시)에탄올이 바람직하다.Further, in order to further enhance the stability of the curable organopolysiloxane in the composition, alcohol having a higher boiling point than the coating solvent may be added. The kind of alcohol used is not particularly limited, and examples thereof include alcohols such as 1-butanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-pentanol, -Ethoxyethoxy) ethanol, and the like. Of these, 1-methoxy-2-propanol, diacetone alcohol and 2- (2-ethoxyethoxy) ethanol are preferable from the viewpoint of good solubility of the curable organopolysiloxane.

또한, 기재에의 도포 시공성 향상의 목적에서 소포제, 점성 조정제를 포함해도 되고, 기재에의 밀착성 향상의 목적에서 밀착성 부여제 등의 첨가제를 더 포함해도 되고, 도포 시공성 및 얻어지는 도막의 평활성을 향상시킬 목적에서 레벨링제를 배합해도 된다. 이들 첨가제의 배합량은 경화성 오르가노폴리실록산 100질량부에 대하여 각 성분 각각 0.01 내지 2질량부로 되는 양이 바람직하다. 또한, 본 발명의 목적을 손상시키지 않는 범위에서 필러 등을 첨가해도 된다.In addition, for the purpose of improving coatability on the base material, a defoaming agent and a viscosity adjusting agent may be contained. In addition, additives such as an adhesion promoter may be added for the purpose of improving adhesion to a base material and the coating workability and smoothness of the resulting coating film A leveling agent may be added for the purpose. The blending amount of these additives is preferably 0.01 to 2 parts by mass each of the components relative to 100 parts by mass of the curable organopolysiloxane. In addition, a filler or the like may be added within the range not impairing the object of the present invention.

또한, 경화성 오르가노폴리실록산을 사용하여 실리콘 수지층을 형성하는 수순에 관해서는, 후단에 있어서 상세하게 설명한다.The procedure for forming the silicone resin layer using the curable organopolysiloxane will be described later in detail.

[유리 적층체 및 그 제조 방법][Glass laminate and manufacturing method thereof]

본 발명의 유리 적층체(10)는, 상술한 바와 같이, 지지 기재(12)와 유리 기판(16)과 그들 사이에 실리콘 수지층(14)이 존재하는 적층체이다.The glass laminate 10 of the present invention is a laminate in which the supporting substrate 12, the glass substrate 16, and the silicon resin layer 14 are present therebetween as described above.

본 발명의 유리 적층체(10)의 제조 방법은 특별히 제한되지 않지만, 박리 강도 (x)가 박리 강도 (y)보다 높은 적층체를 얻기 위해, 지지 기재(12) 표면 상에서 실리콘 수지층(14)을 형성하는 방법이 바람직하다. 그 중에서도, 경화성 오르가노폴리실록산을 지지 기재(12)의 표면에 도포하고, 지지 기재(12) 표면 상에서 실리콘 수지층(14)을 형성하고, 계속해서, 실리콘 수지층(14)의 실리콘 수지면에 유리 기판(16)을 적층하여, 유리 적층체(10)를 제조하는 방법이 바람직하다.The method for producing the glass laminate 10 of the present invention is not particularly limited. However, in order to obtain a laminate having a peel strength x higher than the peel strength y, the glass laminate 14 is formed on the surface of the support substrate 12, Is preferable. Among them, a curable organopolysiloxane is applied to the surface of the supporting substrate 12 to form a silicone resin layer 14 on the surface of the supporting substrate 12, and subsequently, a silicone resin layer 14 A method of laminating the substrate 16 and manufacturing the glass laminate 10 is preferable.

경화성 오르가노폴리실록산을 지지 기재(12) 표면에서 경화시키면, 경화 반응 시의 지지 기재(12) 표면과의 상호 작용에 의해 접착되어, 실리콘 수지와 지지 기재(12) 표면의 박리 강도는 높아진다고 생각된다. 따라서, 유리 기판(16)과 지지 기재(12)가 동일한 재질을 포함하는 것이라도, 실리콘 수지층(14)과 양자간의 박리 강도에 차를 둘 수 있다.It is believed that when the curable organopolysiloxane is cured on the surface of the support substrate 12, it is bonded by interaction with the surface of the support substrate 12 during the curing reaction, and the peel strength of the surface of the silicone resin and the support substrate 12 is increased . Therefore, even if the glass substrate 16 and the supporting substrate 12 include the same material, the peeling strength between the silicon resin layer 14 and the both can be made different.

이하, 경화성 오르가노폴리실록산의 층을 지지 기재(12)의 표면에 형성하고, 지지 기재(12) 표면 상에서 실리콘 수지층(14)을 형성하는 공정을 수지층 형성 공정, 실리콘 수지층(14)의 실리콘 수지면에 유리 기판(16)을 적층하여 유리 적층체(10)로 하는 공정을 적층 공정이라고 하며, 각 공정의 수순에 대하여 상세하게 설명한다.The step of forming the layer of the curable organopolysiloxane on the surface of the supporting substrate 12 and forming the silicone resin layer 14 on the surface of the supporting substrate 12 is hereinafter referred to as a resin layer forming step, The step of laminating the glass substrate 16 on the silicone resin surface to form the glass laminate 10 is referred to as a lamination step, and the procedure of each step will be described in detail.

(수지층 형성 공정)(Resin layer forming step)

수지층 형성 공정에서는, 경화성 오르가노폴리실록산의 층을 지지 기재(12)의 표면에 형성하고, 지지 기재(12) 표면 상에서 실리콘 수지층(14)을 형성한다.In the resin layer forming step, a layer of a curable organopolysiloxane is formed on the surface of the supporting substrate 12, and a silicon resin layer 14 is formed on the surface of the supporting substrate 12. [

지지 기재(12) 상에 경화성 오르가노폴리실록산의 층을 형성하기 위해서는, 경화성 오르가노폴리실록산을 용매에 용해시킨 코팅용 조성물(상기 경화성 오르가노폴리실록산을 포함하는 조성물에 해당)을 사용하고, 이 조성물을 지지 기재(12) 상에 도포하여 용액의 층을 형성하고, 계속해서 경화 처리를 실시하여 실리콘 수지층(14)으로 하는 것이 바람직하다.In order to form a layer of the curable organopolysiloxane on the support substrate 12, a coating composition (corresponding to the composition containing the curable organopolysiloxane) in which a curable organopolysiloxane is dissolved in a solvent is used, It is preferable to coat the support substrate 12 to form a layer of the solution, and then to perform the curing treatment to form the silicone resin layer 14. [

지지 기재(12) 표면 상에 경화성 오르가노폴리실록산을 포함하는 조성물을 도포하는 방법은 특별히 한정되지 않고, 공지된 방법을 사용할 수 있다. 예를 들어, 스프레이 코트법, 다이 코트법, 스핀 코트법, 딥 코트법, 롤 코트법, 바 코트법, 스크린 인쇄법, 그라비아 코트법 등을 들 수 있다.The method of applying the composition containing the curable organopolysiloxane on the surface of the support substrate 12 is not particularly limited and a known method can be used. Examples of the coating method include a spray coating method, a die coating method, a spin coating method, a dip coating method, a roll coating method, a bar coating method, a screen printing method and a gravure coating method.

계속해서, 지지 기재(12) 상의 경화성 오르가노폴리실록산을 경화시켜, 실리콘 수지층(14)을 형성한다. 보다 구체적으로는, 도 2의 (A)에 도시하는 바와 같이, 해당 공정에서는 지지 기재(12)의 적어도 편면의 표면 상에 실리콘 수지층(14)이 형성된다.Subsequently, the curable organopolysiloxane on the supporting substrate 12 is cured to form the silicone resin layer 14. [ More specifically, as shown in Fig. 2A, the silicon resin layer 14 is formed on the surface of at least one surface of the supporting substrate 12 in this step.

경화 방법은 특별히 제한되지 않지만, 통상, 열경화 처리에 의해 행해진다.The curing method is not particularly limited, but is usually conducted by a heat curing treatment.

열경화시키는 온도 조건은, 실리콘 수지층(14)의 내열성을 향상시키고, 유리 기판(16)과 적층 후의 박리 강도 (y)를 상기와 같이 제어할 수 있는 범위 내에서 특별히 제한되지 않지만, 150 내지 550℃가 바람직하고, 200 내지 450℃가 보다 바람직하다. 또한, 가열 시간은, 통상, 10 내지 300분이 바람직하고, 20 내지 120분이 보다 바람직하다. 또한, 가열 조건은, 온도 조건을 바꾸어 단계적으로 실시해도 된다.The temperature condition for thermally curing is not particularly limited within a range in which the heat resistance of the silicone resin layer 14 is improved and the peeling strength y after lamination with the glass substrate 16 can be controlled as described above, Deg.] C, more preferably 200 to 450 [deg.] C. The heating time is usually 10 to 300 minutes, preferably 20 to 120 minutes. The heating conditions may be changed stepwise by changing the temperature conditions.

상기 온도 범위 및 가열 시간의 범위로 함으로써, T1 단위, T2 단위 및 T3 단위, 또한 250℃ 이상의 가열에 의해 생성되기 쉬운 Q 단위의 생성 비율을 제어할 수 있다.By controlling the temperature range and the heating time range, it is possible to control the production rate of the Q unit which is likely to be generated by heating by T1 unit, T2 unit and T3 unit, and 250 ° C or more.

또한, 열경화 처리에 있어서는, 프리큐어(예비경화)를 행한 후 경화(본경화)를 행하여 경화시키는 것이 바람직하다. 프리큐어를 행함으로써 내열성이 우수한 실리콘 수지층(14)을 얻을 수 있다. 프리큐어는 용매의 제거에 이어서 행하는 것이 바람직하며, 그 경우, 층으로부터 용매를 제거하여 가교물의 층을 형성하는 공정과 프리큐어를 행하는 공정은 특별히 구별되지 않는다. 용매의 제거는 100℃ 이상으로 가열하여 행하는 것이 바람직하며, 150℃ 이상으로 가열함으로써 계속해서 프리큐어를 행할 수 있다. 용매의 제거와 프리큐어를 행하는 온도 및 가열 시간은, 100 내지 420℃, 5 내지 60분이 바람직하고, 150 내지 300℃, 10 내지 30분이 보다 바람직하다. 420℃ 이하이면 박리 용이한 실리콘 수지층이 얻어진다.In the heat curing treatment, it is preferable to perform pre-curing (pre-curing) and then curing (final curing). Precured silicone resin layer 14 having excellent heat resistance can be obtained. Precure is preferably performed subsequent to the removal of the solvent. In this case, the step of removing the solvent from the layer to form the layer of crosslinked product and the step of performing pre-cure are not particularly distinguished. The removal of the solvent is preferably performed by heating to 100 DEG C or higher, and the precure can be continuously performed by heating to 150 DEG C or higher. The temperature and the heating time for removing the solvent and precuring are preferably 100 to 420 DEG C and 5 to 60 minutes, more preferably 150 to 300 DEG C for 10 to 30 minutes. When the temperature is lower than 420 DEG C, a silicone resin layer which is easy to peel off is obtained.

(적층 공정)(Lamination step)

적층 공정은, 상기 수지층 형성 공정에서 얻어진 실리콘 수지층(14)의 실리콘 수지면 상에 유리 기판(16)을 적층하고, 지지 기재(12)의 층과 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 층을 이 순서대로 구비하는 유리 적층체(10)를 얻는 공정이다. 보다 구체적으로는, 도 2의 (B)에 도시하는 바와 같이, 실리콘 수지층(14)의 지지 기재(12)측과는 반대측의 표면(14a)과, 제1 주면(16a) 및 제2 주면(16b)을 갖는 유리 기판(16)의 제1 주면(16a)을 적층면으로 하여, 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)을 적층하여, 유리 적층체(10)를 얻는다.In the laminating step, the glass substrate 16 is laminated on the silicone resin surface of the silicon resin layer 14 obtained in the resin layer forming step and the layer of the supporting substrate 12, the silicon resin layer 14 and the glass substrate 16 ) In this order on the glass laminate 10 in this order. More specifically, as shown in Fig. 2 (B), the surface 14a of the silicon resin layer 14 opposite to the side of the support base material 12 and the surface 14a of the first main surface 16a and the second main surface 16a, The glass laminate 10 is obtained by laminating the silicon resin layer 14 and the glass substrate 16 with the first main surface 16a of the glass substrate 16 having the first main surface 16b as the lamination surface.

유리 기판(16)을 실리콘 수지층(14) 상에 적층하는 방법은 특별히 제한되지 않으며, 공지된 방법을 채용할 수 있다.A method of laminating the glass substrate 16 on the silicon resin layer 14 is not particularly limited, and a known method can be employed.

예를 들어, 상압 환경 하에서 실리콘 수지층(14)의 표면 상에 유리 기판(16)을 겹치는 방법을 들 수 있다. 또한, 필요에 따라, 실리콘 수지층(14)의 표면 상에 유리 기판(16)을 겹친 후, 롤이나 프레스를 사용하여 실리콘 수지층(14)에 유리 기판(16)을 압착시켜도 된다. 롤 또는 프레스에 의한 압착에 의해, 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 층과의 사이에 혼입되어 있는 기포가 비교적 용이하게 제거되므로 바람직하다.For example, a method of overlapping the glass substrate 16 on the surface of the silicon resin layer 14 under atmospheric pressure can be mentioned. If necessary, the glass substrate 16 may be pressed against the silicon resin layer 14 by using a roll or a press after the glass substrate 16 is superimposed on the surface of the silicon resin layer 14. The bubbles mixed in between the silicone resin layer 14 and the glass substrate 16 are relatively easily removed by pressing by roll or press.

진공 라미네이트법이나 진공 프레스법에 의해 압착하면, 기포 혼입의 억제나 양호한 밀착의 확보가 행해지므로 보다 바람직하다. 진공 하에서 압착함으로써, 미소한 기포가 잔존한 경우라도, 가열에 의해 기포가 성장하는 일이 없고, 유리 기판(16)의 변형 결함으로 이어지기 어렵다고 하는 이점도 있다.The vacuum lamination method or the vacuum press method is more preferable because it suppresses the incorporation of air bubbles and secures good adhesion. Even when minute bubbles remain, there is an advantage that bubbles do not grow due to heating, and it is difficult to lead to deformation defects of the glass substrate 16.

유리 기판(16)을 적층할 때에는, 실리콘 수지층(14)에 접촉할 유리 기판(16)의 표면을 충분히 세정하고, 클린도가 높은 환경에서 적층하는 것이 바람직하다. 클린도가 높을수록, 유리 기판(16)의 평탄성은 양호해지므로 바람직하다.When the glass substrate 16 is laminated, it is preferable that the surface of the glass substrate 16 to be in contact with the silicon resin layer 14 is thoroughly cleaned and laminated in an environment with high cleanliness. The higher the cleanliness, the better the flatness of the glass substrate 16 is.

또한, 유리 기판(16)을 적층한 후, 필요에 따라, 프리어닐링 처리(가열 처리)를 행해도 된다. 해당 프리어닐링 처리를 행함으로써, 적층된 유리 기판(16)의 실리콘 수지층(14)에 대한 밀착성이 향상되고, 적절한 박리 강도 (y)로 할 수 있으며, 후술하는 부재 형성 공정 시에 전자 디바이스용 부재의 위치 어긋남 등이 발생하기 어려워져, 전자 디바이스의 생산성이 향상된다.Further, after the glass substrate 16 is laminated, a pre-annealing treatment (heat treatment) may be performed if necessary. By performing the pre-annealing process, the adhesion of the laminated glass substrate 16 to the silicon resin layer 14 can be improved and the peel strength (y) can be made suitable. In the member forming process described later, The positional deviation of the member is less likely to occur, and the productivity of the electronic device is improved.

프리어닐링 처리의 조건은 사용되는 실리콘 수지층(14)의 종류에 따라 적절히 최적의 조건이 선택되지만, 유리 기판(16)과 실리콘 수지층(14)의 사이의 박리 강도 (y)를 보다 적절한 것으로 한다는 점에서, 300℃ 이상(바람직하게는 300 내지 400℃)에서 5분간 이상(바람직하게는 5 내지 30분간) 가열 처리를 행하는 것이 바람직하다.The conditions of the pre-annealing process are appropriately selected according to the type of the silicon resin layer 14 to be used, but the peel strength (y) between the glass substrate 16 and the silicon resin layer 14 is more appropriate It is preferable to carry out the heat treatment at 300 占 폚 or higher (preferably 300 to 400 占 폚) for 5 minutes or longer (preferably 5 to 30 minutes).

또한, 유리 기판(16)의 제1 주면에 대한 박리 강도와 지지 기재(12)의 제1 주면에 대한 박리 강도에 차를 둔 실리콘 수지층(14)의 형성은, 상기 방법에 한정되는 것은 아니다.The formation of the silicone resin layer 14 having a difference in peel strength against the first major surface of the glass substrate 16 and peel strength with respect to the first major surface of the supporting substrate 12 is not limited to the above method .

예를 들어, 실리콘 수지층(14) 표면에 대한 밀착성이 유리 기판(16)보다 높은 재질의 지지 기재(12)를 사용하는 경우에는, 상기 경화성 오르가노폴리실록산을 어떠한 박리성 표면 상에서 경화하여 실리콘 수지의 필름을 제조하고, 이 필름을 유리 기판(16)과 지지 기재(12)의 사이에 개재시켜 동시에 적층할 수 있다.For example, when the support base material 12 having a higher adhesion to the surface of the silicone resin layer 14 than the glass substrate 16 is used, the curable organopolysiloxane is cured on any releasable surface, And this film is interposed between the glass substrate 16 and the supporting substrate 12 to be laminated at the same time.

또한, 경화성 오르가노폴리실록산의 경화에 의한 접착성이 유리 기판(16)에 대하여 충분히 낮고, 또한 그 접착성이 지지 기재(12)에 대하여 충분히 높은 경우에는, 유리 기판(16)과 지지 기재(12)의 사이에 가교물을 경화시켜 실리콘 수지층(14)을 형성할 수 있다.When the adhesion of the curable organopolysiloxane by curing is sufficiently low with respect to the glass substrate 16 and the adhesion thereof is sufficiently high with respect to the supporting substrate 12, the glass substrate 16 and the supporting substrate 12 The silicone resin layer 14 can be formed by curing the cross-linked product.

또한, 지지 기재(12)가 유리 기판(16)과 마찬가지의 유리 재료를 포함하는 경우라도, 지지 기재(12) 표면의 접착성을 높이는 처리를 실시하여 실리콘 수지층(14)에 대한 박리 강도를 높일 수도 있다. 예를 들어, 실란 커플링제와 같은 화학적으로 고정력을 향상시키는 화학적 방법(프라이머 처리)이나, 플레임(화염) 처리와 같이 표면 활성기를 증가시키는 물리적 방법, 샌드 블라스트 처리와 같이 표면의 조도를 증가시킴으로써 걸림을 증가시키는 기계적 처리 방법 등이 예시된다.Even in the case where the supporting substrate 12 includes the same glass material as the glass substrate 16, a treatment for increasing the adhesiveness of the surface of the supporting substrate 12 is carried out to improve the peeling strength to the silicon resin layer 14 . For example, chemical methods such as chemical methods (primer treatment) such as silane coupling agent, physical methods to increase the surface activation period such as flame (flame) treatment, increase in surface roughness such as sand blast treatment, And a mechanical treatment method for increasing the amount of the water-soluble polymer.

(유리 적층체)(Glass laminate)

본 발명의 제1 형태인 유리 적층체(10)는, 여러가지 용도로 사용할 수 있으며, 예를 들어 후술하는 표시 장치용 패널, PV, 박막 2차 전지, 표면에 회로가 형성된 반도체 웨이퍼 등의 전자 부품을 제조하는 용도 등을 들 수 있다. 또한, 해당 용도에서는, 유리 적층체(10)가 고온 조건(예를 들어, 450℃ 이상)에서 노출되는(예를 들어, 1시간 이상) 경우가 많다.The glass laminate 10 according to the first embodiment of the present invention can be used for various purposes. For example, the glass laminate 10 can be used as a display panel, a PV, a thin film secondary battery, a semiconductor wafer And the like. Further, in the intended use, the glass laminate 10 is often exposed (for example, 1 hour or more) under a high temperature condition (for example, 450 DEG C or more).

여기서, 표시 장치용 패널이란, LCD, OLED, 전자 페이퍼, 플라즈마 디스플레이 패널, 필드 에미션 패널, 양자 도트 LED 패널, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 셔터 패널 등이 포함된다.Here, the display device panel includes an LCD, an OLED, an electronic paper, a plasma display panel, a field emission panel, a quantum dot LED panel, a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) shutter panel, and the like.

<제2 실시 형태>&Lt; Second Embodiment >

도 3은, 본 발명에 따른 유리 적층체의 제2 실시 형태의 모식적 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view of a second embodiment of the glass laminate according to the present invention.

도 3에 도시하는 바와 같이, 유리 적층체(100)는, 지지 기재(12)의 층과 유리 기판(16)의 층과 그들 사이에 실리콘 수지층(14)이 존재하는 적층체이다.As shown in Fig. 3, the glass laminate 100 is a laminate in which a layer of the supporting substrate 12, a layer of the glass substrate 16, and a silicon resin layer 14 are present therebetween.

도 3에 도시하는 유리 적층체(100)에 있어서는, 상술한 도 1에 도시하는 유리 적층체(10)와는 달리, 실리콘 수지층(14)은 유리 기판(16) 상에 고정되어 있고, 수지층을 갖는 유리 기판(20)은, 수지층을 갖는 유리 기판(20) 중의 실리콘 수지층(14)이 지지 기재(12)에 직접 접하도록, 지지 기재(12) 상에 박리 가능하게 적층(밀착)된다. 해당 고정과 박리 가능한 밀착은 박리 강도(즉, 박리에 요하는 응력)에 차이가 있으며, 고정은 밀착에 비하여 박리 강도가 높음을 의미한다. 즉, 유리 적층체(100)에 있어서는, 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 계면의 박리 강도가, 실리콘 수지층(14)과 지지 기재(12)의 계면의 박리 강도보다 높다.In the glass laminate 100 shown in Fig. 3, unlike the glass laminate 10 shown in Fig. 1 described above, the silicon resin layer 14 is fixed on the glass substrate 16, The glass substrate 20 having the resin layer can be peelably laminated on the support substrate 12 so that the silicon resin layer 14 in the glass substrate 20 having the resin layer directly contacts the support substrate 12, do. The fixation and releasable adhesion have a difference in the peel strength (i.e., the stress required for peeling), and the fixation means that the peel strength is higher than the adhesion. That is, in the glass laminate 100, the peel strength at the interface between the silicon resin layer 14 and the glass substrate 16 is higher than the peel strength at the interface between the silicon resin layer 14 and the support base 12.

보다 구체적으로는, 유리 기판(16)과 실리콘 수지층(14)의 계면은 박리 강도 (z)를 갖고, 유리 기판(16)과 실리콘 수지층(14)의 계면에 박리 강도 (z)를 초과하는 박리 방향의 응력이 가해지면, 유리 기판(16)과 제1 실리콘 수지층(14)의 계면이 박리된다. 실리콘 수지층(14)과 지지 기재(12)의 계면은 박리 강도 (w)를 갖고, 실리콘 수지층(14)과 지지 기재(12)의 계면에 박리 강도 (w)를 초과하는 박리 방향의 응력이 가해지면, 실리콘 수지층(14)과 지지 기재(12)의 계면이 박리된다.More specifically, the interface between the glass substrate 16 and the silicone resin layer 14 has a peel strength z and the peel strength z is exceeded at the interface between the glass substrate 16 and the silicone resin layer 14 The interface between the glass substrate 16 and the first silicon resin layer 14 is peeled off. The interface between the silicone resin layer 14 and the supporting substrate 12 has a peeling strength w and a stress in the peeling direction exceeding the peeling strength w is applied to the interface between the silicon resin layer 14 and the supporting substrate 12 The interface between the silicone resin layer 14 and the supporting substrate 12 is peeled off.

유리 적층체(100)에 있어서는, 상기 박리 강도 (z)는 상기 박리 강도 (w)보다 높다. 따라서, 유리 적층체(100)에 지지 기재(12)와 유리 기판(16)을 박리하는 방향의 응력이 가해지면, 본 발명의 유리 적층체(100)는, 실리콘 수지층(14)과 지지 기재(12)의 계면에서 박리되어, 수지층을 갖는 유리 기판(20)과 지지 기재(12)로 분리된다.In the glass laminate 100, the peel strength z is higher than the peel strength w. The glass laminate 100 according to the present invention can be obtained by a method in which the stress is applied to the glass laminate 100 in the direction in which the supporting substrate 12 and the glass substrate 16 are peeled off, (12) and separated into a glass substrate (20) having a resin layer and a supporting substrate (12).

박리 강도 (z)는, 박리 강도 (w)와 비교하여, 충분히 높은 것이 바람직하다. 박리 강도 (z)를 높이는 것은, 유리 기판(16)에 대한 실리콘 수지층(14)의 부착력을 높이고, 또한 가열 처리 후에 있어서 지지 기재(12)에 대하여 보다 상대적으로 높은 부착력을 유지할 수 있음을 의미한다.The peel strength z is preferably sufficiently high as compared with the peel strength w. Increasing the peel strength z means that the adhesion force of the silicone resin layer 14 to the glass substrate 16 is increased and that a relatively higher adhesion force to the support substrate 12 can be maintained after the heat treatment do.

유리 기판(16)에 대한 실리콘 수지층(14)의 부착력을 높이기 위해서는, 상술한 경화성 오르가노폴리실록산을 유리 기판(16) 상에서 가교 경화시켜 실리콘 수지층(14)을 형성하는 것이 바람직하다. 가교 경화 시의 접착력으로, 유리 기판(16)에 대하여 높은 결합력으로 결합한 실리콘 수지층(14)을 형성할 수 있다.In order to increase the adhesion of the silicone resin layer 14 to the glass substrate 16, it is preferable to form the silicone resin layer 14 by crosslinking and curing the curable organopolysiloxane on the glass substrate 16. The silicone resin layer 14 bonded to the glass substrate 16 with high bonding force can be formed by the adhesive force at the time of crosslinking curing.

한편, 가교 경화 후의 실리콘 수지의 지지 기재(12)에 대한 결합력은, 상기 가교 경화 시에 발생하는 결합력보다 낮은 것이 통례이다. 따라서, 유리 기판(16) 상에서 실리콘 수지층(14)을 형성하고, 그 후 실리콘 수지층(14)의 면에 지지 기재(12)를 적층함으로써, 유리 적층체(100)를 제조할 수 있다.On the other hand, it is usual that the bonding force of the silicone resin to the support base material 12 after the cross-linking curing is lower than the bonding force that occurs at the time of cross-link curing. Therefore, the glass laminate 100 can be manufactured by forming the silicone resin layer 14 on the glass substrate 16 and then laminating the supporting substrate 12 on the surface of the silicone resin layer 14.

유리 적층체(100)를 구성하는 각 층(지지 기재(12), 유리 기판(16), 실리콘 수지층(14))은, 상술한 유리 적층체(10)를 구성하는 각 층과 동의이며, 여기서는 설명은 생략한다.The layers (supporting substrate 12, glass substrate 16, and silicone resin layer 14) constituting the glass laminate 100 are in agreement with the respective layers constituting the above-described glass laminate 10, A description thereof will be omitted here.

단, 실리콘 수지층(14)의 지지 기재(12)측의 표면의 표면 조도 Ra는 특별히 제한되지 않지만, 유리 기판(16)의 적층성 및 박리성이 보다 우수하다는 점에서, 0.1 내지 20nm가 바람직하고, 0.1 내지 10nm가 보다 바람직하다.Although the surface roughness Ra of the surface of the silicon resin layer 14 on the side of the supporting substrate 12 is not particularly limited, it is preferably 0.1 to 20 nm from the viewpoint of better laminating property and peeling property of the glass substrate 16 And more preferably 0.1 to 10 nm.

또한, 표면 조도 Ra의 측정 방법으로서는, JIS B 0601-2001에 준하여 행해지며, 임의의 5군데 이상의 점에 있어서 측정된 Ra를 산술 평균한 값이 상기 표면 조도 Ra에 해당된다.The surface roughness Ra is measured in accordance with JIS B 0601-2001, and the value obtained by arithmetically averaging the Ra measured at any five or more points corresponds to the surface roughness Ra.

유리 적층체(100)의 제조 방법은 특별히 제한되지 않지만, 상술한 유리 적층체(10)의 제조 방법에 있어서, 지지 기재(12) 대신에 유리 기판(16)을 사용하고, 유리 기판(16) 대신에 지지 기재(12)를 사용함으로써, 원하는 유리 적층체(100)를 제조할 수 있다. 보다 구체적으로는, 유리 기판(16) 상에서 실리콘 수지층(14)을 형성하고, 계속해서, 실리콘 수지층(14) 상에 지지 기재(12)를 적층하여, 유리 적층체(100)를 제조할 수 있다.The method for producing the glass laminate 100 is not particularly limited but a method may be used in which the glass substrate 16 is used in place of the supporting substrate 12 in the method for manufacturing the glass laminate 10 described above, By using the supporting substrate 12 instead, the desired glass laminate 100 can be produced. More specifically, the silicon resin layer 14 is formed on the glass substrate 16, and then the supporting substrate 12 is laminated on the silicon resin layer 14 to produce the glass laminate 100 .

[부재를 갖는 유리 기판 및 그 제조 방법][Glass Substrate Having Member and Method of Manufacturing the Same]

본 발명에 있어서는, 상술한 유리 적층체(유리 적층체(10) 또는 유리 적층체(100))를 사용하여 전자 디바이스를 제조할 수 있다.In the present invention, the above-described glass laminate (glass laminate 10 or glass laminate 100) can be used to manufacture an electronic device.

이하에서는, 상술한 유리 적층체(10)를 사용한 형태에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a mode of using the above-described glass laminate 10 will be described in detail.

유리 적층체(10)를 사용함으로써, 유리 기판과 전자 디바이스용 부재를 포함하는 부재를 갖는 유리 기판(전자 디바이스용 부재를 갖는 유리 기판)이 제조된다.By using the glass laminate 10, a glass substrate (a glass substrate having a member for an electronic device) having a member including a glass substrate and a member for an electronic device is manufactured.

해당 부재를 갖는 유리 기판의 제조 방법은 특별히 한정되지 않지만, 전자 디바이스의 생산성이 우수하다는 점에서, 상기 유리 적층체 중의 유리 기판 상에 전자 디바이스용 부재를 형성하여 전자 디바이스용 부재를 갖는 적층체를 제조하고, 얻어진 전자 디바이스용 부재를 갖는 적층체로부터 실리콘 수지층의 유리 기판측 계면 또는 수지층 내부를 박리면으로 하여 부재를 갖는 유리 기판과 수지층을 갖는 지지 기재로 분리하는 방법이 바람직하다. 또한, 필요에 따라, 계속해서, 부재를 갖는 유리 기판의 박리면을 청정화하는 것이 보다 바람직하다.The method of manufacturing the glass substrate having the member is not particularly limited, but it is preferable that the electronic device member is formed on the glass substrate in the glass laminate so that the laminate having the electronic device member It is preferable to separate the glass substrate side surface of the silicon resin layer or the inside of the resin layer from the laminate having the obtained electronic device member to a supporting substrate having a resin layer and a glass substrate having the member as a peeling surface. Further, if necessary, it is more preferable to subsequently clean the release surface of the glass substrate having the member.

이하, 상기 유리 적층체 중의 유리 기판 상에 전자 디바이스용 부재를 형성하여 전자 디바이스용 부재를 갖는 적층체를 제조하는 공정을 부재 형성 공정, 전자 디바이스용 부재를 갖는 적층체로부터 실리콘 수지층의 유리 기판측 계면을 박리면으로 하여 부재를 갖는 유리 기판과 수지층을 갖는 지지 기재로 분리하는 공정을 분리 공정, 부재를 갖는 유리 기판의 박리면을 청정화하는 공정을 청정화 처리 공정이라고 한다. 또한, 상술한 바와 같이, 청정화 처리 공정은, 필요에 따라 실시되는 임의의 공정이다.Hereinafter, a step of forming a member for an electronic device on a glass substrate in the glass laminate to produce a laminate having an electronic device member is referred to as a member forming step, a step of forming a glass substrate The step of separating the glass substrate having the member into the supporting substrate having the resin layer and the step of separating the glass substrate with the side interfacial surface separated is referred to as a separation process and the process of cleaning the separation surface of the glass substrate having the member is referred to as a purification process. Further, as described above, the purification treatment process is an optional process that is carried out as needed.

이하에, 각 공정에서 사용되는 재료 및 수순에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, materials and procedures used in each step will be described in detail.

(부재 형성 공정)(Member forming process)

부재 형성 공정은, 상기 적층 공정에 있어서 얻어진 유리 적층체(10) 중의 유리 기판(16) 상에 전자 디바이스용 부재를 형성하는 공정이다. 보다 구체적으로는, 도 2의 (C)에 도시하는 바와 같이, 유리 기판(16)의 제2 주면(16b)(노출 표면) 상에 전자 디바이스용 부재(22)를 형성하고, 전자 디바이스용 부재를 갖는 적층체(24)를 얻는다.The member forming step is a step of forming an electronic device member on the glass substrate 16 in the glass laminate 10 obtained in the laminating step. More specifically, as shown in Fig. 2C, the electronic device member 22 is formed on the second main surface 16b (exposed surface) of the glass substrate 16, Is obtained.

우선, 본 공정에서 사용되는 전자 디바이스용 부재(22)에 대하여 상세하게 설명하고, 그 후속 공정의 수순에 대하여 상세하게 설명한다.First, the electronic device member 22 used in this process will be described in detail and the procedure of the subsequent process will be described in detail.

(전자 디바이스용 부재(기능성 소자))(Member for electronic device (functional element))

전자 디바이스용 부재(22)는, 유리 적층체(10) 중의 유리 기판(16) 상에 형성되어 전자 디바이스의 적어도 일부를 구성하는 부재이다. 보다 구체적으로는, 전자 디바이스용 부재(22)로서는, 표시 장치용 패널, 태양 전지, 박막 2차 전지, 또는 표면에 회로가 형성된 반도체 웨이퍼 등의 전자 부품 등에 사용되는 부재(예를 들어, 표시 장치용 부재, 태양 전지용 부재, 박막 2차 전지용 부재, 전자 부품용 회로)를 들 수 있다.The member 22 for the electronic device is a member formed on the glass substrate 16 in the glass laminate 10 and constituting at least a part of the electronic device. More specifically, the electronic device member 22 may be a member used for a display device panel, a solar cell, a thin film secondary battery, or an electronic part such as a semiconductor wafer on which a circuit is formed on a surface (for example, A member for a solar cell, a member for a thin film secondary battery, and a circuit for an electronic component).

예를 들어, 태양 전지용 부재로서는, 실리콘형에서는, 정극의 산화주석 등 투명 전극, p층/i층/n층으로 표시되는 실리콘층, 및 부극의 금속 등을 들 수 있고, 그 밖에 화합물형, 색소 증감형, 양자 도트형 등에 대응하는 각종 부재 등을 들 수 있다.For example, as a member for a solar cell, in a silicon type, a transparent electrode such as a tin oxide of a positive electrode, a silicon layer represented by a p layer / an i layer / an n layer, and a metal of a negative electrode, Dye-sensitized type, quantum dot type, and the like.

또한, 박막 2차 전지용 부재로서는, 리튬 이온형에서는, 정극 및 부극의 금속 또는 금속 산화물 등의 투명 전극, 전해질층의 리튬 화합물, 집전층의 금속, 밀봉층으로서의 수지 등을 들 수 있고, 그 밖에 니켈 수소형, 중합체형, 세라믹스 전해질형 등에 대응하는 각종 부재 등을 들 수 있다.Examples of members for a thin film secondary battery include a transparent electrode such as a metal or a metal oxide of a positive electrode and a negative electrode, a lithium compound of an electrolyte layer, a metal of a current collecting layer, a resin as a sealing layer, and the like in the lithium ion type. Various members corresponding to nickel-nickel-plated, polymer-type, ceramics-electrolyte-type, and the like.

또한, 전자 부품용 회로로서는, CCD나 CMOS에서는, 도전부의 금속, 절연부의 산화규소나 질화규소 등을 들 수 있고, 그 밖에 압력 센서ㆍ가속도 센서 등 각종 센서나 리지드 프린트 기판, 플렉시블 프린트 기판, 리지드 플렉시블 프린트 기판 등에 대응하는 각종 부재 등을 들 수 있다.Examples of the circuit for electronic parts include a metal of a conductive portion and a silicon oxide and silicon nitride of an insulating portion in a CCD or a CMOS. In addition, various sensors such as a pressure sensor and an acceleration sensor, a rigid printed substrate, a flexible printed substrate, Various members corresponding to a printed board and the like.

(공정의 수순)(Process procedure)

상술한 전자 디바이스용 부재를 갖는 적층체(24)의 제조 방법은 특별히 한정되지 않고, 전자 디바이스용 부재의 구성 부재의 종류에 따라 종래 공지된 방법으로, 유리 적층체(10)의 유리 기판(16)의 제2 주면(16b) 표면 상에, 전자 디바이스용 부재(22)를 형성한다.The method of manufacturing the laminate 24 having the above-described electronic device member is not particularly limited and the glass substrate 16 of the glass laminate 10 may be formed by a conventionally known method depending on the type of the constituent member of the electronic device member On the surface of the second main surface 16b of the second substrate 16, the electronic device member 22 is formed.

또한, 전자 디바이스용 부재(22)는, 유리 기판(16)의 제2 주면(16b)에 최종적으로 형성되는 부재 전부(이하, 「전체 부재」라고 함)가 아니라, 전체 부재의 일부(이하, 「부분 부재」라고 함)여도 된다. 실리콘 수지층(14)으로부터 박리된 부분 부재를 갖는 유리 기판을, 그 후의 공정에서 전체 부재를 갖는 유리 기판(후술하는 전자 디바이스에 상당)으로 할 수도 있다.The electronic device member 22 is not a member entirely formed on the second main surface 16b of the glass substrate 16 (hereinafter, referred to as an "entire member"), Quot; partial member &quot;). A glass substrate having a partial member peeled off from the silicon resin layer 14 may be formed as a glass substrate (corresponding to an electronic device described later) having an entire member in a subsequent step.

또한, 실리콘 수지층(14)으로부터 박리된, 전체 부재를 갖는 유리 기판에는, 그 박리면(제1 주면(16a))에 다른 전자 디바이스용 부재가 형성되어도 된다. 또한, 전체 부재를 갖는 적층체를 조립하고, 그 후, 전체 부재를 갖는 적층체로부터 지지 기재(12)를 박리하여, 전자 디바이스를 제조할 수도 있다. 또한, 전체 부재를 갖는 적층체를 2매 사용하여 조립하고, 그 후, 전체 부재를 갖는 적층체로부터 2매의 지지 기재(12)를 박리하여, 2매의 유리 기판을 갖는 부재를 갖는 유리 기판을 제조할 수도 있다.Further, a glass substrate having an entire member, which is peeled off from the silicon resin layer 14, may be provided with another electronic device member on its peeling surface (first main surface 16a). Alternatively, the electronic device may be manufactured by assembling a laminate having an entire member, and thereafter peeling the supporting substrate 12 from the laminate having the entire member. Further, the two supporting substrates 12 were peeled from the laminate having the entire member by using two sheets of the laminate having the entire members, and then the glass substrate having the two glass substrates was peeled off, . &Lt; / RTI &gt;

예를 들어, OLED를 제조하는 경우를 예로 들면, 유리 적층체(10)의 유리 기판(16)의 실리콘 수지층(14)측과는 반대측의 표면 상(유리 기판(16)의 제2 주면(16b)에 해당)에 유기 EL 구조체를 형성하기 위해, 투명 전극을 형성하고, 또한 투명 전극을 형성한 면 위에 홀 주입층ㆍ홀 수송층ㆍ발광층ㆍ전자 수송층 등을 증착하고, 이면 전극을 형성하고, 밀봉판을 사용하여 밀봉하는 등의 각종 층 형성이나 처리가 행해진다. 이들 층 형성이나 처리로서, 구체적으로는, 예를 들어 성막 처리, 증착 처리, 밀봉판의 접착 처리 등을 들 수 있다.For example, in the case of manufacturing an OLED, the surface of the glass laminate 10 opposite to the side of the silicon resin layer 14 of the glass substrate 16 (the second main surface 16b), a transparent electrode is formed, a hole injection layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer and the like are deposited on the surface on which the transparent electrode is formed to form a back electrode, And various layers are formed and treated such as sealing with a sealing plate. Specific examples of such layer formation and treatment include film forming treatment, vapor deposition treatment, adhesion treatment of a sealing plate, and the like.

또한, 예를 들어 TFT-LCD를 제조하는 경우에는, 유리 적층체(10)의 유리 기판(16)의 제2 주면(16b) 상에, 레지스트액을 사용하여, CVD법 및 스퍼터링법 등, 일반적인 성막법에 의해 형성되는 금속막 및 금속 산화막 등으로 패턴 형성하여 박막 트랜지스터(TFT)를 형성하는 TFT 형성 공정과, 다른 유리 적층체(10)의 유리 기판(16)의 제2 주면(16b) 상에, 레지스트액을 패턴 형성에 사용하여 컬러 필터(CF)를 형성하는 CF 형성 공정과, TFT 형성 공정에서 얻어진 TFT를 갖는 적층체와 CF 형성 공정에서 얻어진 CF를 갖는 적층체를 적층하는 접합 공정 등의 각종 공정을 갖는다.For example, in the case of manufacturing a TFT-LCD, a resist solution may be used on the second main surface 16b of the glass substrate 16 of the glass laminate 10, and a general method such as a CVD method and a sputtering method, A TFT forming step of forming a thin film transistor (TFT) by patterning with a metal film and a metal oxide film formed by a film forming method and a step of forming a thin film transistor on the second main surface 16b of the glass substrate 16 of another glass laminate 10 , A CF forming step of forming a color filter (CF) by using a resist solution in pattern formation, a bonding step of laminating a laminate having CF obtained in the laminate having the TFT obtained in the TFT forming step and the CF forming step Respectively.

TFT 형성 공정이나 CF 형성 공정에서는, 주지의 포토리소그래피 기술이나 에칭 기술 등을 사용하여, 유리 기판(16)의 제2 주면(16b)에 TFT나 CF를 형성한다. 이때, 패턴 형성용 코팅액으로서 레지스트액이 사용된다.In the TFT forming step and the CF forming step, a TFT or CF is formed on the second main surface 16b of the glass substrate 16 by using a well-known photolithography technique or an etching technique. At this time, a resist solution is used as a coating liquid for pattern formation.

또한, TFT나 CF를 형성하기 전에, 필요에 따라, 유리 기판(16)의 제2 주면(16b)을 세정해도 된다. 세정 방법으로서는, 주지의 드라이 세정이나 웨트 세정을 사용할 수 있다.Further, the second main surface 16b of the glass substrate 16 may be cleaned before forming the TFT or the CF, if necessary. As the cleaning method, well-known dry cleaning or wet cleaning can be used.

접합 공정에서는, TFT를 갖는 적층체의 박막 트랜지스터 형성면과, CF를 갖는 적층체의 컬러 필터 형성면을 대향시켜, 시일제(예를 들어, 셀 형성용 자외선 경화형 시일제)를 사용하여 접합한다. 그 후, TFT를 갖는 적층체와 CF를 갖는 적층체로 형성된 셀 내에, 액정재를 주입한다. 액정재를 주입하는 방법으로서는, 예를 들어 감압 주입법, 적하 주입법이 있다.In the bonding step, the thin film transistor formation surface of the laminate having the TFT and the color filter formation surface of the laminate having CF are bonded to each other by using a sealing agent (for example, a UV-curable sealant for forming a cell) . Thereafter, the liquid crystal material is injected into the cell formed of the laminate having the TFT and CF. As a method of injecting the liquid crystal material, for example, there are a reduced pressure injection method and a dropping injection method.

(분리 공정)(Separation step)

분리 공정은, 상기 부재 형성 공정에서 얻어진 전자 디바이스용 부재를 갖는 적층체(24)로부터, 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 계면을 박리면으로 하여, 전자 디바이스용 부재(22)가 적층된 유리 기판(16)(부재를 갖는 유리 기판)과, 실리콘 수지층(14) 및 지지 기재(12)로 분리하여, 전자 디바이스용 부재(22) 및 유리 기판(16)을 포함하는 부재를 갖는 유리 기판(26)을 얻는 공정이다.The separation step is carried out in such a manner that the interface between the silicon resin layer 14 and the glass substrate 16 is peeled off from the layered product 24 having the electronic device member obtained in the member forming step, And a glass substrate 16 which is separated from the glass substrate 16 (the glass substrate having the member), the silicon resin layer 14 and the supporting substrate 12, Is obtained.

박리 시의 유리 기판(16) 상의 전자 디바이스용 부재(22)가, 필요한 전체 구성 부재의 형성의 일부인 경우에는, 분리 후, 나머지 구성 부재를 유리 기판(16) 상에 형성할 수도 있다.If the electronic device member 22 on the glass substrate 16 at the time of peeling is a part of the formation of all the necessary constituent members, the remaining constituent members may be formed on the glass substrate 16 after the detachment.

부재를 갖는 유리 기판(26)과 수지층을 갖는 지지 기재(18)를 박리하는 방법은, 특별히 한정되지 않는다. 구체적으로는, 예를 들어 유리 기판(16)과 실리콘 수지층(14)의 계면에 예리한 칼날형의 것을 찔러 넣어 박리의 계기를 부여한 후, 물과 압축 공기의 혼합 유체를 분사하거나 하여 박리할 수 있다. 바람직하게는, 전자 디바이스용 부재를 갖는 적층체(24)의 지지 기재(12)가 상측, 전자 디바이스용 부재(22)측이 하측으로 되도록 정반 상에 설치하고, 전자 디바이스용 부재(22)측을 정반 상에 진공 흡착하고(양면에 지지 기재가 적층되어 있는 경우에는 순차적으로 행함), 이 상태에서 우선 칼날을 유리 기판(16)-실리콘 수지층(14) 계면에 침입시킨다. 그리고, 그 후에 지지 기재(12)측을 복수의 진공 흡착 패드로 흡착하고, 칼날을 찔러 넣은 지점 부근부터 순서대로 진공 흡착 패드를 상승시킨다. 그렇게 하면 실리콘 수지층(14)과 유리 기판(16)의 계면에 공기층이 형성되고, 그 공기층이 계면 전체면으로 퍼져, 수지층을 갖는 지지 기재(18)를 용이하게 박리할 수 있다.The method of peeling the glass substrate 26 having the member and the supporting substrate 18 having the resin layer is not particularly limited. Concretely, for example, a sharp blade type is pushed into the interface between the glass substrate 16 and the silicone resin layer 14 to give a moment of peeling, and then a mixed fluid of water and compressed air is sprayed to peel off have. Preferably, the support member 12 of the layered product 24 having the electronic device member is disposed on the upper surface side and the electronic device member 22 side is disposed on the lower surface side, and the electronic device member 22 side Is vacuum-adsorbed on a platen (in the case where the supporting substrate is laminated on both surfaces thereof), the blade is first introduced into the interface between the glass substrate 16 and the silicone resin layer 14 in this state. Thereafter, the side of the supporting substrate 12 is adsorbed by the plurality of vacuum adsorption pads, and the vacuum adsorption pad is raised in order from the vicinity of the point where the blade is pierced. An air layer is formed at the interface between the silicon resin layer 14 and the glass substrate 16 and the air layer spreads over the whole surface of the interface so that the support base material 18 having the resin layer can be easily peeled off.

또한, 수지층을 갖는 지지 기재(18)는, 새로운 유리 기판과 적층하여, 본 발명의 유리 적층체(10)를 제조할 수 있다.Further, the supporting substrate 18 having a resin layer can be laminated with a new glass substrate to produce the glass laminate 10 of the present invention.

또한, 전자 디바이스용 부재를 갖는 적층체(24)로부터 부재를 갖는 유리 기판(26)을 분리할 때에는, 이오나이저에 의한 분사나 습도를 제어함으로써, 실리콘 수지층(14)의 조각이 부재를 갖는 유리 기판(26)에 정전 흡착하는 것을 보다 억제할 수 있다.When the glass substrate 26 having the member is separated from the laminate 24 having the electronic device member, the silicon substrate layer 14 is formed by controlling the injection and the humidity by the ionizer Electrostatically adsorbing the glass substrate 26 can be further suppressed.

[청정화 처리 공정][Purification process]

청정화 처리 공정은, 상기 분리 공정에서 얻어진 부재를 갖는 유리 기판(26) 중의 유리 기판(16)의 박리면(제1 주면(16a))에 청정화 처리를 실시하는 공정이다. 해당 공정을 실시함으로써, 박리면에 부착된 실리콘 수지나 실리콘 수지층, 박리면에 부착된 상기 부재 형성 공정에서 발생하는 금속편이나 먼지 등의 불순물을 제거할 수 있어, 박리면의 청정성을 유지할 수 있다. 결과로서, 유리 기판(16)의 박리면에 부착되는 위상차 필름이나 편광 필름 등의 점착성이 향상된다.The cleaning process is a process of performing a cleaning process on the release surface (first main surface 16a) of the glass substrate 16 in the glass substrate 26 having the members obtained in the above separation process. By carrying out the process, it is possible to remove impurities such as metal pieces and dust generated in the silicon resin layer or the silicone resin layer adhered to the release surface and the member forming process attached to the release surface, and the cleanliness of the release surface can be maintained . As a result, the tackiness of the retardation film or the polarizing film attached to the release surface of the glass substrate 16 is improved.

청정화 처리의 방법은, 박리면에 부착된 수지나 먼지 등을 제거할 수 있으면, 특별히 그 방법은 제한되지 않는다. 예를 들어, 부착물을 열적으로 분해하는 방법이나, 플라즈마 조사 또는 광 조사(예를 들어, UV 조사 처리)에 의해 박리면 상의 불순물을 제거하는 방법이나, 용매를 사용하여 세정 처리하는 방법 등을 들 수 있다.The method of the cleaning treatment is not particularly limited as long as it can remove the resin, dust, etc. adhering to the peeling surface. For example, there are a method of thermally decomposing deposits, a method of removing impurities on the release surface by plasma irradiation or light irradiation (for example, UV irradiation treatment), a method of cleaning treatment using a solvent, and the like .

상술한 부재를 갖는 유리 기판(26)의 제조 방법은, 휴대 전화나 PDA와 같은 모바일 단말기에 사용되는 소형 표시 장치의 제조에 적합하다. 표시 장치는 주로 LCD 또는 OLED이며, LCD로서는 TN형, STN형, FE형, TFT형, MIM형, IPS형, VA형 등을 포함한다. 기본적으로 패시브 구동형, 액티브 구동형의 어느 표시 장치의 경우에도 적용할 수 있다.The manufacturing method of the glass substrate 26 having the above-described members is suitable for manufacturing a small-sized display device used in a mobile terminal such as a cellular phone or a PDA. The display device is mainly an LCD or an OLED, and the LCD includes TN type, STN type, FE type, TFT type, MIM type, IPS type, VA type and the like. It is basically applicable to passive drive type and active drive type display devices.

상기 방법으로 제조된 부재를 갖는 유리 기판(26)으로서는, 유리 기판과 표시 장치용 부재를 갖는 표시 장치용 패널, 유리 기판과 태양 전지용 부재를 갖는 태양 전지, 유리 기판과 박막 2차 전지용 부재를 갖는 박막 2차 전지, 유리 기판과 전자 디바이스용 부재를 갖는 전자 부품 등을 들 수 있다. 표시 장치용 패널로서는, 액정 패널, 유기 EL 패널, 플라즈마 디스플레이 패널, 필드 에미션 패널 등을 포함한다.As the glass substrate 26 having the members manufactured by the above method, there are a display panel having a glass substrate and a display device member, a solar cell having a glass substrate and a solar cell member, a glass substrate and a member for a thin film secondary battery A thin film secondary battery, an electronic part having a glass substrate and a member for an electronic device, and the like. The display panel includes a liquid crystal panel, an organic EL panel, a plasma display panel, a field emission panel, and the like.

상기에 있어서는, 유리 적층체(10)를 사용한 형태에 대하여 상세하게 설명하였지만, 유리 적층체(100)를 사용하여 상기와 마찬가지 수순에 따라 전자 디바이스를 제조할 수도 있다.In the above, the mode of using the glass laminate 10 is described in detail. However, the electronic laminate 100 may be used to manufacture an electronic device according to the same procedure as described above.

또한, 유리 적층체(100)를 사용한 경우에는, 상기 분리 공정 시에, 지지 기재(12)와 실리콘 수지층(14)의 계면을 박리면으로 하여, 지지 기재(12)와, 실리콘 수지층(14), 유리 기판(16) 및 전자 디바이스용 부재(22)를 포함하는 전자 디바이스로 분리된다.When the glass laminate 100 is used, the supporting substrate 12 and the silicone resin layer 14 are formed by peeling off the interface between the supporting substrate 12 and the silicone resin layer 14 in the separating step 14, a glass substrate 16, and an electronic device member 22, as shown in Fig.

<실시예><Examples>

이하에, 실시예 등에 의해 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들 예에 의해 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 제조예에 있어서는, 경화성 오르가노폴리실록산의 평가를 이하에 나타내는 항목 및 방법에 의해 행하였다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by way of examples and the like, but the present invention is not limited to these examples. In this Production Example, the evaluation of the curable organopolysiloxane was carried out by the following items and methods.

(1) 경화성 오르가노폴리실록산 중의 규소 원자의 결합 상태의 해석(T 단위의 비율)(1) Analysis of bonding state of silicon atoms in the curable organopolysiloxane (ratio of T units)

핵자기 공명 분석 장치(용액 29Si-NMR: JEOL RESONANCE 가부시끼가이샤제, ECP400)를 사용하여 T1 내지 T3의 비를 구하였다.The ratio of T1 to T3 was determined using a nuclear magnetic resonance analyzer (solution 29 Si-NMR: ECP400, manufactured by JEOL RESONANCE CO., LTD.).

T1 내지 T3의 비는, 용액 29Si-NMR의 피크 면적비로부터 각각 구하였다. 측정 조건은, 펄스 폭 20μsec, 펄스 반복의 대기 시간 30sec, 적산 횟수 256scan으로 하였다. 용매에는 톨루엔을 사용하고, 농도 30wt%로 조제한 것에 완화 시약으로서 Cr(acac)3을 0.1wt% 첨가하였다. 화학 시프트의 기준은 TMS 유래의 피크를 0ppm으로 하였다.The ratio of T1 to T3 was determined from the peak area ratio of solution 29 Si-NMR, respectively. The measurement conditions were a pulse width of 20 microseconds, a waiting time of pulse repetition of 30 sec, and a cumulative number of times of 256 scans. Toluene was used as a solvent, and the concentration was adjusted to 30 wt%. Cr (acac) 3 was added as a relaxation reagent in an amount of 0.1 wt%. The standard of chemical shift was 0 ppm of TMS-derived peak.

각 구조의 적분 산출 범위는 이하와 같다.The integral calculation range of each structure is as follows.

T1(Me기): -44 내지 -49ppm, T1(Ph기): -60 내지 -61ppmT1 (Me group): -44 to -49 ppm, T1 (Ph group): -60 to -61 ppm

T2(Me기): -50 내지 -60ppm, T2(Ph기): -67 내지 -74ppmT2 (Me group): -50 to -60 ppm, T2 (Ph group): -67 to -74 ppm

T3(Me기): -61 내지 -67ppm, T3(Ph기): -74 내지 -83ppmT3 (Me group): -61 to -67 ppm, T3 (Ph group): -74 to -83 ppm

(2) 경화성 오르가노폴리실록산 중의 페닐기 몰%/메틸기 몰%(상기 (A-2)/(B-2)) 조성비의 해석(2) Analysis of mole percentage of phenyl groups / mole% of methyl groups in the curable organopolysiloxane ((A-2) / (B-2))

핵자기 공명 분석 장치(용액 1H-NMR: JEOL RESONANCE 가부시끼가이샤제, ECP400)를 사용하여 페닐기 몰%/메틸기 몰%(상기 (A-2)/(B-2)) 조성비를 구하였다.The mole fractions of phenyl group mole% / methyl methyl mole% ((A-2) / (B-2)) were determined using a nuclear magnetic resonance analyzer (solution 1 H-NMR: JEOL RESONANCE, ECP400).

페닐기 몰%/메틸기 몰%(상기 (A-2)/(B-2)) 조성비는, 1H-NMR의 피크 면적으로부터 각각 구하였다. 측정 조건은 펄스 폭 6.7μsec, 펄스 반복의 대기 시간 5sec, 적산 횟수 16scan으로 하였다. 용매에는 중수소화 클로로포름을 사용하고, 농도 1wt%로 조제하였다. 화학 시프트의 기준은 클로로포름 유래의 피크를 7.26ppm으로 하였다. 또한, 각 구조로부터 유래하는 1H-NMR의 화학 시프트는, 이하와 같다.The mole fractions of phenyl group mole / methyl group mole% ((A-2) / (B-2)) were determined from the peak areas of 1 H-NMR. The measurement conditions were a pulse width of 6.7 mu sec, a waiting time of pulse repetition of 5 sec, and a cumulative count of 16 scans. Deuterated chloroform was used as the solvent and the concentration was adjusted to 1 wt%. As a standard of the chemical shift, the peak derived from chloroform was 7.26 ppm. The chemical shift of 1 H-NMR derived from each structure is as follows.

A-2(Ph기): 8.2 내지 6.4ppmA-2 (Ph group): 8.2 to 6.4 ppm

B-2(Me기): 0.6 내지 -0.7ppmB-2 (Me group): 0.6 to -0.7 ppm

(3) 수 평균 분자량 Mn, 질량 평균 분자량 Mw 및 분산도 Mw/Mn의 평가(3) Evaluation of number-average molecular weight Mn, mass-average molecular weight Mw and dispersion degree Mw / Mn

겔 투과 크로마토그래피(GPC, 도소사제의 HLC8220, RI 검출, 칼럼: TSK-GEL SuperHZ, 용리액: 테트라히드로푸란)에 의해 구하였다.Was determined by gel permeation chromatography (GPC, HLC8220 manufactured by Tosoh Corporation, RI detection, column: TSK-GEL SuperHZ, eluent: tetrahydrofuran).

(4) 동적 광산란법에 의한 입자 직경의 평가(4) Evaluation of particle diameter by dynamic light scattering method

경화성 오르가노폴리실록산을 20질량%의 PGMEA(프로필렌글리콜-1-모노메틸에테르-2-아세테이트) 용액으로 하고, 농후계 입경 애널라이저(오쯔까 덴시사제, FPAR-1000)를 사용하여 히스토그램 평균 입자 직경(D50)을 구하고, 입자 직경으로 하였다.The curable organopolysiloxane was used as a 20 mass% PGMEA (propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate) solution and a histogram average particle diameter (D50) was determined to be the particle diameter.

이하의 실시예 1 내지 10, 비교예 1, 2에서는, 유리 기판으로서, 무알칼리 붕규산 유리를 포함하는 유리판(세로 274mm, 가로 274mm, 판 두께 0.2mm, 선팽창 계수 38×10-7/℃, 아사히 가라스사제 상품명 「AN100」)을 사용하였다. 또한, 지지판으로서는, 동일하게 무알칼리 붕규산 유리를 포함하는 유리판(세로 274mm, 가로 274mm, 판 두께 0.4mm, 선팽창 계수 38×10-7/℃, 아사히 가라스사제 상품명 「AN100」)을 사용하였다.In the following Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 and 2, a glass substrate, alkali-free borosilicate glass comprising a glass (length 274mm, width 274mm, thickness 0.2mm, the linear expansion coefficient 38 × 10 -7 / ℃, Asahi Trade name &quot; AN100 &quot; manufactured by Gallas Corporation) was used. As a supporting plate, a glass plate (274 mm in length, 274 mm in width, 0.4 mm in plate thickness, and a coefficient of linear expansion of 38 x 10 &lt; -7 &gt; / ° C; trade name "AN100", manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) containing glass-

<제조예 1: 경화성 오르가노폴리실록산의 제조>&Lt; Preparation Example 1: Preparation of curable organopolysiloxane >

환류 냉각관, 적하 깔때기 및 교반기를 구비한 반응 용기에, 탄산나트륨(12.7g, 0.12몰)과 물(80mL)을 넣어 교반하고, 그 후 메틸이소부틸케톤(80mL)을 더 첨가하여 반응 용액을 얻었다. 계속해서, 메틸트리클로로실란(7.5g, 0.05몰) 및 페닐트리클로로실란(10.6g, 0.05몰)을 적하 깔때기로부터 30분에 걸쳐 반응 용액에 적하하였다. 이때, 반응 용액의 온도를 40℃까지 상승시켰다. 이어서, 적하 종료 후, 60℃의 유욕에 반응 용기를 침지하고, 24시간 가열 교반하였다. 반응 종료 후, 유기상을 세정수가 중성으로 될 때까지 세정하고, 계속해서, 건조제를 사용하여 유기상을 건조하였다. 이어서, 건조제를 제거한 후, 용매를 감압으로 증류 제거하고, 또한 하룻밤 진공 건조를 행하여 백색의 고체(경화성 오르가노폴리실록산 (U1))를 얻었다.Sodium carbonate (12.7 g, 0.12 mol) and water (80 mL) were added to a reaction vessel equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, and then methyl isobutyl ketone (80 mL) was further added to obtain a reaction solution . Subsequently, methyltrichlorosilane (7.5 g, 0.05 mol) and phenyltrichlorosilane (10.6 g, 0.05 mol) were added dropwise from the dropping funnel over 30 minutes into the reaction solution. At this time, the temperature of the reaction solution was raised to 40 占 폚. Subsequently, after completion of the dropwise addition, the reaction vessel was immersed in an oil bath at 60 DEG C and the mixture was heated and stirred for 24 hours. After the completion of the reaction, the organic phase was washed until the wash water became neutral, and then the organic phase was dried using a desiccant. Subsequently, after removing the drying agent, the solvent was distilled off under reduced pressure, and vacuum drying was performed overnight to obtain a white solid (curable organopolysiloxane (U1)).

<제조예 2 내지 8>&Lt; Production Examples 2 to 8 &

경화성 오르가노폴리실록산 (U2) 내지 (U8)에 대하여, 제조예 1과 마찬가지로 하여, 표 1에 나타내는 조성비로 제조하였다. 또한, (U4)에 관해서는 반응 시간을 24시간에서 1시간으로, (U6)에 관해서는 반응 시간을 24시간에서 3시간으로 조정한 것 이외에는, 제조예 1과 마찬가지 수순으로 제조하였다. 또한, (U5)는, (U4)를 제조한 후, 50질량%의 메탄올 용액으로 하고, 고형분에 대하여 2질량%의 아세트산을 첨가한 후, 다시 용매를 감압에서 증류 제거하여 백색의 고체로서 얻은 것이다.The curable organopolysiloxanes (U2) to (U8) were prepared in the same manner as in Production Example 1 and in the composition ratios shown in Table 1. (U4) was prepared in the same procedure as in Production Example 1, except that the reaction time was changed from 24 hours to 1 hour, and (U6) was adjusted from 24 hours to 3 hours. (U5) was prepared by preparing (U4), adding 50% by mass of a methanol solution, adding 2% by mass of acetic acid to the solid content, and then distilling off the solvent under reduced pressure to obtain will be.

또한, 이하의 표 1 중, 「페닐기 몰%/메틸기 몰%」란은, 얻어진 경화성 오르가노폴리실록산 중에서의, T1 내지 T3 중의 R이 페닐기인 오르가노실록시 단위와, T1 내지 T3 중의 R이 메틸기인 오르가노실록시 단위의 몰비를 나타낸다.The term &quot; phenyl group mole / methyl group mole% &quot; in the following Table 1 refers to an organosiloxy unit in which R in T1 to T3 is a phenyl group in the obtained curable organopolysiloxane, and R in T1 to T3 is a methyl group Lt; / RTI &gt; units of organosiloxane units.

또한, 「T 단위의 비율」란에서는, 얻어진 경화성 오르가노폴리실록산 중에서의, T1 내지 T3의 각 단위의 개수의 비율(몰%)를 나타내고, T1 내지 T3 각 단위의 개수의 비율의 합계가 100으로 되도록 나타낸다.The term &quot; ratio of T units &quot; indicates the ratio (mol%) of the number of each of T1 to T3 units in the obtained curable organopolysiloxane, and the sum of the ratios of the numbers of T1 to T3 units is 100 Respectively.

「입자 직경」란은, 상술한 동적 광산란법에 의해 측정한 경화성 오르가노폴리실록산의 입경이며, 「<40」이란 입경이 40nm 미만임을 의도하고, 「>100」이란 입경이 100nm 초과임을 의도한다.The term &quot; particle diameter &quot; refers to the particle diameter of the curable organopolysiloxane measured by the above-described dynamic light scattering method. It is intended that the particle diameter &quot; &lt; 40 &quot;

또한, 상기 각 단위의 함유량은, 29Si-NMR이나 1H-NMR로부터 산출하였다.The content of each unit was calculated from 29 Si-NMR or 1 H-NMR.

Figure pct00003
Figure pct00003

<실시예 1>&Lt; Example 1 >

얻어진 경화성 오르가노폴리실록산 (U1)을 PEGMEA에 용해시켜 경화성 오르가노폴리실록산 (U1)을 포함하는 액상물(고형분 농도: 40질량%)을 제작하였다(또한, 경화성 오르가노폴리실록산은 표 1에 나타내는 입자 직경의 미립자로서 액상물 내에 존재하였다).The resulting curable organopolysiloxane (U1) was dissolved in PEGMEA to prepare a liquid material (solid content concentration: 40 mass%) containing the curable organopolysiloxane (U1) (the curable organopolysiloxane had a particle diameter Lt; / RTI &gt; in the liquid water).

지지 기재를 순수 세정한 후, 다시 UV 세정하여 청정화하였다.The support substrate was cleaned by pure washing and UV cleaning.

이어서, 지지 기재의 제1 주면 상에 세로 278mm 및 가로 278mm의 크기이고, 경화성 오르가노폴리실록산 (U1)을 포함하는 액상물을 스핀 코터로 도포 시공하였다(도포 시공량 30g/㎡).Subsequently, on the first main surface of the supporting substrate, a liquid material having a size of 278 mm in length and 278 mm in width and containing curable organopolysiloxane (U1) was applied by a spin coater (coating amount 30 g / m 2).

이어서, 이것을 350℃에서 30분간 대기 중에서 가열 경화하여, 지지 기재의 제1 주면에 두께 2.8㎛의 실리콘 수지층을 형성하고, 지지체 A(수지층을 갖는 지지 기재)를 얻었다.Subsequently, this was heated and cured in air at 350 DEG C for 30 minutes to form a 2.8 mu m-thick silicon resin layer on the first main surface of the supporting substrate to obtain a supporting body A (supporting substrate having a resin layer).

이어서, 지지체 A의 실리콘 수지층의 박리성 표면과, 해당 실리콘 수지층과 동일한 사이즈이고 두께 0.2mm의 유리 기판(「AN100」. 아사히 가라스 가부시끼가이샤제)의 제1 주면을 대향시켜, 실온 하, 대기압 하, 적층 장치에서 양쪽 기판의 무게 중심이 겹치도록 양쪽 기판을 중첩하여, 유리 적층체 S1을 얻었다.Subsequently, the releasable surface of the silicone resin layer of the support A and the first main surface of a glass substrate (&quot; AN100 &quot;, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) having the same size as the silicon resin layer and having a thickness of 0.2 mm were opposed to each other, Under the atmospheric pressure, both substrates were superposed on each other so that the centers of gravity of the two substrates overlapped each other in the laminating apparatus to obtain a glass laminate S1.

또한, 얻어진 유리 적층체 S1은 상술한 도 1의 유리 적층체(10)에 해당되고, 유리 적층체 S1에 있어서는, 지지 기재의 층과 실리콘 수지층의 계면의 박리 강도 (x)가, 실리콘 수지층과 유리 기판의 계면의 박리 강도 (y)보다 높았다.The obtained glass laminate S1 corresponds to the above-described glass laminate 10 of Fig. 1, and in the glass laminate S1, the peel strength (x) between the interface of the supporting substrate layer and the silicone resin layer is the silicon number (Y) of the interface between the layer and the glass substrate.

이어서, 얻어진 유리 적층체 S1을 사용한, 이하의 측정을 실시하였다. 이하의 평가 결과는, 후술하는 표 2에 정리하여 나타낸다.Then, the following measurements were made using the obtained glass laminate S1. The following evaluation results are summarized in Table 2 to be described later.

[박리성 평가][Evaluation of peelability]

유리 적층체 S1로부터 한 변이 50mm인 사각형의 샘플을 잘라내고, 이 샘플을 450℃(질소 분위기 하)로 가열한 열풍 오븐 내에 적재하고, 60분 방치한 후, 취출하였다. 계속해서, 유리 적층체 S1의 유리 기판의 제2 주면을 정반에 진공 흡착시킨 후, 유리 적층체 S1의 하나의 코너부의 유리 기판과 실리콘 수지층의 계면에, 두께 0.1mm의 스테인리스제 칼날을 찔러 넣고, 상기 유리 기판의 제1 주면과 상기 실리콘 수지층의 박리성 표면의 사이에 박리의 계기를 부여하였다. 그리고, 유리 적층체 S1의 지지 기재의 제2 주면을 90mm 피치로 복수의 진공 흡착 패드로 흡착한 후, 상기 코너부에 가까운 흡착 패드부터 순서대로 상승시킴으로써, 유리 기판의 제1 주면과 실리콘 수지층의 박리성 표면을 박리하였다.A rectangular sample having a side of 50 mm was cut out from the glass laminate S1. The sample was placed in a hot air oven heated at 450 DEG C (in a nitrogen atmosphere), allowed to stand for 60 minutes, and then taken out. Subsequently, after a second main surface of the glass substrate of the glass laminate S1 is vacuum-adsorbed on a surface plate, a stainless steel blade having a thickness of 0.1 mm is stuck to the interface between the glass substrate and the silicone resin layer at one corner of the glass laminate S1 And a peeling moment was given between the first main surface of the glass substrate and the peelable surface of the silicon resin layer. The second main surface of the support substrate of the glass laminate S1 is adsorbed by a plurality of vacuum adsorption pads at a pitch of 90 mm and then sequentially lifted from the adsorption pads close to the corner portions to form the first main surface of the glass substrate and the silicon resin layer Was peeled off.

상기 결과로부터, 고온 가열 처리 후에도 유리 기판을 박리할 수 있음이 확인되었다.From the above results, it was confirmed that the glass substrate could be peeled off even after the high-temperature heat treatment.

또한, 실리콘 수지층의 주요부는 지지 기재와 함께 유리 기판으로부터 분리되고, 해당 결과로부터, 지지 기재의 층과 수지층의 계면의 박리 강도 (x)가, 실리콘 수지층과 유리 기판의 계면의 박리 강도 (y)보다 높음이 확인되었다.The main part of the silicone resin layer is separated from the glass substrate together with the supporting substrate and the result shows that the peeling strength (x) between the supporting substrate layer and the resin layer at the interface is higher than the peeling strength at the interface between the silicon resin layer and the glass substrate (y).

[내열성 평가][Heat resistance evaluation]

유리 적층체 S1로부터 한 변이 50mm인 사각형의 샘플을 잘라내고, 이 샘플을 450℃(질소 분위기 하)로 가열한 열풍 오븐 내에 적재하고, 60분 방치한 후, 취출하여 샘플 내에 발포 또는 착색이 확인되었는지 여부를 평가하였다.A quadrangular sample with a side length of 50 mm was cut out from the glass laminate S1. The sample was placed in a hot air oven heated at 450 DEG C (under a nitrogen atmosphere), allowed to stand for 60 minutes, and then taken out, .

<실시예 2 내지 10>&Lt; Examples 2 to 10 >

경화성 오르가노폴리실록산 (U1)을 포함하는 액상물 대신에, 하기 표 2에 나타내는 경화성 오르가노폴리실록산 (U2) 내지 (U6)을 포함하는 액상물을 각각 사용하고, 열경화 처리 조건을 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지 수순에 따라 유리 적층체 S2 내지 S10을 제조하였다.Except that the liquid materials containing the curable organopolysiloxanes (U2) to (U6) shown in the following Table 2 were used in place of the liquid material containing the curable organopolysiloxane (U1) and the conditions of the heat curing treatment were changed , And the glass laminate S2 to S10 were produced according to the same procedure as in Example 1. [

하기 표 2에서는, 액상물을 제조할 때 사용한, 용매의 종류 및 고형분 농도 등을 나타낸다. 또한, 실시예 7 및 8에 관해서는, 가열 경화 시의 열경화 처리 조건을 「350℃, 30분」에서, 「150℃에서 30분간 대기 중에서 가열 경화하고, 그 후 350℃에서 60분간 대기 중에서 더 가열 경화」로 변경하였다. 또한, 실시예 9에 관해서는, 가열 경화 시의 열경화 처리 조건을 「350℃, 30분」에서, 「150℃에서 30분간 대기 중에서 가열 경화하고, 그 후 350℃에서 60분간 대기 중에서 더 가열 경화하고, 또한 500℃에서 60분간 대기 중에서 가열 경화」로 변경하였다.Table 2 shows the type of solvent and solid content concentration used in the production of the liquid material. With respect to Examples 7 and 8, the conditions of heat curing at the time of heat curing were set at 350 ° C for 30 minutes, and the heat curing was carried out at 150 ° C for 30 minutes in the air, Further heat curing ". In Example 9, the heat curing treatment condition at the time of heat curing was set to "350 ° C, 30 minutes", "heat cured at 150 ° C for 30 minutes in the air, then heated at 350 ° C for 60 minutes Cured at 500 ° C for 60 minutes in the atmosphere &quot;.

또한, 얻어진 유리 적층체 S2 내지 S10은 상술한 도 1의 유리 적층체(10)에 해당되고, 유리 적층체 S2 내지 S10에 있어서는, 지지 기재의 층과 실리콘 수지층의 계면의 박리 강도 (x)가, 실리콘 수지층과 유리 기판의 계면의 박리 강도 (y)보다 높았다.The obtained glass laminate S2 to S10 correspond to the glass laminate 10 of Fig. 1 described above. In the glass laminate S2 to S10, the peel strength (x) between the interface of the supporting substrate layer and the silicone resin layer Was higher than the peel strength (y) at the interface between the silicon resin layer and the glass substrate.

또한, 얻어진 유리 적층체 S2 내지 S10을 사용하여, 상기 [박리성 평가] 및 [내열성 평가]를 실시하였다. 결과를 표 2에 정리하여 나타낸다.The obtained laminated glass bodies S2 to S10 were subjected to the above evaluation of peelability and heat resistance evaluation. The results are summarized in Table 2.

<비교예 1>&Lt; Comparative Example 1 &

경화성 오르가노폴리실록산 (U1)을 포함하는 액상물 대신에, 하기 표 2에 나타내는 경화성 오르가노폴리실록산 (U8)을 포함하는 액상물을 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지 수순에 따라 유리 적층체 C1의 제조를 행하였다. 얻어진 유리 적층체 C1을 사용하여, 상기 [박리성 평가] 및 [내열성 평가]를 실시하였다. 결과를 표 2에 정리하여 나타낸다.A glass laminate C1 was obtained in the same procedure as in Example 1 except that a liquid material containing the curable organopolysiloxane (U8) shown in the following Table 2 was used in place of the liquid material containing the curable organopolysiloxane (U1) . [Evaluation of peelability and evaluation of heat resistance] were carried out using the obtained glass laminate C1. The results are summarized in Table 2.

<비교예 2>&Lt; Comparative Example 2 &

경화성 오르가노폴리실록산 (U1)을 포함하는 액상물 대신에, 무용매 부가 반응형 박리지용 실리콘(신에쯔 실리콘사제 상품명 KNS-320A) 100질량부와 백금계 촉매(신에쯔 실리콘사제 상품명 CAT-PL-56) 2질량부의 혼합물 (U9)를 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지 수순에 따라 유리 적층체 C2를 제조하였다. 얻어진 유리 적층체 C2를 사용하여, 상기 [박리성 평가] 및 [내열성 평가]를 실시하였다. 결과를 표 2에 정리하여 나타낸다.100 parts by mass of a silicone for reactive release material (trade name: KNS-320A, manufactured by Shinetsu Silicone Co., Ltd.) and a platinum-based catalyst (manufactured by Shinetsu Silicone Co., Ltd. under the trade name of CAT- A glass laminate C2 was produced in accordance with the same procedure as in Example 1 except that the mixture (U9) of 2 parts by mass was used. [Evaluation of peelability and heat resistance evaluation] were carried out using the obtained glass laminate C2. The results are summarized in Table 2.

또한, 상기 유리 적층체 C2의 형태는, 특허문헌 1에 기재되는 형태에 해당된다.Further, the form of the glass laminate C2 corresponds to the form described in Patent Document 1.

표 2 중, 「도포성 평가」란은, 경화성 오르가노폴리실록산을 포함하는 액상물을 도포하여, 실리콘 수지층이 형성 가능한 경우를 「○」, 실리콘 수지층이 형성 불가능한 경우를 「×」라고 하였다.In Table 2, &quot; evaluation of application property &quot; refers to a case where a liquid material containing a curable organopolysiloxane was applied to show that a silicone resin layer can be formed and a case where a silicone resin layer can not be formed is &quot; .

또한, 「박리성 평가」란에 있어서, 유리 기판과 실리콘 수지층의 계면에 스테인리스제 칼날을 찔러 넣고, 박리의 계기를 부여한 시점에서 유리 기판과 실리콘 수지층의 대부분이 박리되어, 유리 기판을 용이하게 박리할 수 있는 경우를 「◎」, 박리의 계기만으로는 유리 기판은 박리되지 않지만, 유리 기판을 박리할 수 있는 경우를 「○」, 유리 기판을 박리할 수 없거나, 또는 유리 기판이 파손되는 경우를 「×」로서 나타낸다.In the "evaluation of peelability", when a blade made of stainless steel is pierced at the interface between the glass substrate and the silicone resin layer, most of the glass substrate and the silicon resin layer are peeled off at the time when the peeling is given, Quot; indicates that the glass substrate can not be peeled off only by the peeling-off timing, &quot;? &Quot; when the glass substrate can be peeled off, the glass substrate can not be peeled off, or the glass substrate is broken Quot; x &quot;.

또한, 「내열성 평가」란에 있어서, 「착색」 「발포」가 없는 경우에는 「무」, 있는 경우에는 「유」라고 나타낸다.In the "heat resistance evaluation" column, when there is no "coloring" or "foaming", "no" is shown, and when there is "

또한, 표 2 중, 「실리콘 수지층」란에 있어서는, 29Si-NMR에 의한 피크 면적비로부터 산출한 T3 단위 및 Q 단위의 몰%를 나타낸다.In Table 2, in the "silicone resin layer", the term "T3 unit" and "mol% of Q unit" calculated from the peak area ratio by 29 Si-NMR are shown.

또한, 본 제조예 및 비교예에 있어서는, 실리콘 수지층의 해석을 이하에 나타내는 항목 및 방법에 의해 행하였다.In the present examples and comparative examples, analysis of the silicone resin layer was carried out by the following items and methods.

(1) 실리콘 수지층의 규소 원자의 결합 상태의 해석(1) Analysis of bonding state of silicon atoms in silicon resin layer

핵자기 공명 분석 장치(고체 29Si-NMR: JEOL RESONANCE 가부시끼가이샤제, ECP600)를 사용하여 T3 단위 및 Q 단위의 함유량(몰%)을 구하였다.The content (mol%) of T3 units and Q units was determined using a nuclear magnetic resonance analyzer (solid 29 Si-NMR: JEOL RESONANCE, ECP600).

T3 단위 및 Q 단위의 함유량(몰%)은, 고체 29Si-NMR의 피크 면적비로부터 각각 구하였다. 실리콘 수지층은, 유리 기재 상에 각 실시예 및 비교예에서 사용하는 경화성 오르가노폴리실록산을 포함하는 액상물을 스핀 코터로 도포 시공하고, 각 실시예 및 비교예의 가열 조건에서 가열 경화하여 유리 기재에 실리콘 수지층을 형성한 후, 해당 실리콘 수지층을 면도날로 깎아 취한 고체 샘플을 사용하였다. 측정법은 DDMAS법으로 하고, 측정 조건은 펄스 폭 1.9μsec, 펄스 반복의 대기 시간 300sec, 적산 횟수 300scan 이상, MAS 회전 속도 10KHz로 하였다. 화학 시프트의 기준은 디메틸실리콘 유래의 피크를 -22ppm으로 하였다. 또한, 각 구조로부터 유래하는 고체 29Si-NMR의 화학 시프트는, 이하와 같다.The content (mol%) of the T3 unit and the Q unit was respectively determined from the peak area ratio of solid 29 Si-NMR. The silicone resin layer was formed by applying a liquid material containing the curable organopolysiloxane used in each of the Examples and Comparative Examples on a glass substrate by a spin coater and heating and curing under the heating conditions of each of Examples and Comparative Examples to obtain a glass substrate After forming a silicone resin layer, a solid sample obtained by cutting the silicone resin layer with a razor blade was used. The measurement method was a DDMAS method, and the measurement conditions were 1.9 占 퐏 ec pulse width, 300 sec wait time of pulse repetition, 300 scans cumulative number of times, and MAS rotation speed of 10 KHz. The standard of the chemical shift was a peak of -22 ppm derived from dimethylsilicone. The chemical shifts of solid 29 Si-NMR derived from each structure are as follows.

T3: -48 내지 -88ppmT3: -48 to -88 ppm

Q: -96 내지 -116ppmQ: -96 to -116 ppm

(2) 실리콘 수지층의 (A-1)/(B-1)비의 해석(2) Analysis of the (A-1) / (B-1) ratio of the silicone resin layer

핵자기 공명 분석 장치(고체 1H-NMR: JEOL RESONANCE 가부시끼가이샤제, ECP600)를 사용하여 Ph기 및 Me기로부터 유래하는 피크 면적비로부터 구하였다. 실리콘 수지층은, 유리 기재 상에 각 실시예 및 비교예에서 사용하는 경화성 오르가노폴리실록산을 포함하는 액상물을 스핀 코터로 도포 시공하고, 각 실시예 및 비교예의 가열 조건에서 가열 경화하여 유리 기재에 실리콘 수지층을 형성한 후, 해당 실리콘 수지층을 면도날로 깎아낸 고체 샘플을 사용하였다. 측정법에는 Depth2를 사용하고, 측정 조건은 펄스 폭 2.3μsec, 펄스 반복의 대기 시간 15sec, 적산 횟수 16scan, MAS 회전 속도 22KHz로 하였다. 화학 시프트의 기준은 아다만탄 유래의 피크를 1.7ppm으로 하였다. 또한, 각 구조로부터 유래하는 고체 1H-NMR의 화학 시프트는, 이하와 같다.Was determined from the peak area ratio derived from the Ph group and the Me group using a nuclear magnetic resonance analyzer (solid 1 H-NMR: JEOL RESONANCE, ECP600). The silicone resin layer was formed by applying a liquid material containing the curable organopolysiloxane used in each of the Examples and Comparative Examples on a glass substrate by a spin coater and heating and curing under the heating conditions of each of Examples and Comparative Examples to obtain a glass substrate After forming a silicone resin layer, a solid sample obtained by cutting the silicon resin layer with a razor blade was used. Depth2 was used for the measurement, and the measurement conditions were a pulse width of 2.3 mu sec, a waiting time of pulse repetition of 15 sec, an integration frequency of 16 scans, and a MAS rotation speed of 22 KHz. The peak of the adamantane derived from the chemical shift was 1.7 ppm. The chemical shifts of solid 1 H-NMR derived from each structure are as follows.

A-1(Ph기): 18 내지 4ppmA-1 (Ph group): 18 to 4 ppm

B-1(Me기): 4 내지 -10ppmB-1 (Me group): 4 to -10 ppm

(3) 실리콘 수지층의 막 두께(3) Thickness of the silicon resin layer

실리콘 수지층의 막 두께는 접촉식 막압 장치의 표면 조도ㆍ윤곽 형상 측정기(도꾜 세미쯔사제 서프콤 1400G-12)를 사용하여 측정하였다.The film thickness of the silicone resin layer was measured using a surface roughness and contour shape measuring device (Surfcom 1400G-12 manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.) of the contact type pressure-sensitive device.

(4) 실리콘 수지층의 수축 응력(4) Shrinkage stress of the silicone resin layer

외경이 4인치, 두께가 525±25㎛인 실리콘 웨이퍼의 오리엔테이션 플랫을 기준으로 하고, 박막 응력 측정 장치 FLX-2320(KLA Tencor사제) 내의 소정 위치에 수용한 후, 주위 온도 25℃에서, 실리콘 웨이퍼의 곡률 반경을 계측하였다.The wafer was placed in a predetermined position in a thin film stress measuring device FLX-2320 (manufactured by KLA Tencor) with an orientation flat of a silicon wafer having an outer diameter of 4 inches and a thickness of 525 25 m as a reference, The radius of curvature was measured.

이어서, 실리콘 웨이퍼를 취출하고, 스핀 코트법을 사용하여, 실리콘 웨이퍼 상에 각 실시예 및 비교예에서 사용하는 경화성 오르가노폴리실록산을 포함하는 액상물을 도포한 후, 각 실시예 및 비교예의 가열 조건에서 가열 경화하여 실리콘 수지층을 형성하였다. 실리콘계 경화 피막을 형성하기 전과 마찬가지로 하여, 주위 온도 25℃에서, 실리콘 수지층이 형성된 실리콘 웨이퍼의 곡률 반경을 계측하였다.Subsequently, the silicon wafer was taken out and the liquid material containing the curable organopolysiloxane used in each of the examples and the comparative examples was coated on the silicon wafer using the spin coat method, To form a silicone resin layer. The curvature radius of the silicon wafer on which the silicon resin layer was formed was measured at an ambient temperature of 25 占 폚 in the same manner as before the silicone-based cured coating was formed.

Figure pct00004
Figure pct00004

(식 중, E/(1-ν)는 실리콘 웨이퍼의 2축 탄성 계수(결정면(100): 1.805×1011Pa)이고, h는 실리콘 웨이퍼의 두께[m]이고, t는 실리콘 수지층의 두께[m]이고, R은 실리콘 수지층을 형성하기 전의 실리콘 웨이퍼의 곡률 반경과 실리콘 수지층을 형성한 후의 실리콘 웨이퍼의 곡률 반경의 차[m]임)로부터, 실리콘 수지층의 25℃에서의 수축 응력을 산출하였다.(100): 1.805 x 10 &lt; 11 &gt; Pa), h is the thickness [m] of the silicon wafer, t is the thickness of the silicon resin layer Is the thickness [m], and R is the difference [m] between the radius of curvature of the silicon wafer before the silicon resin layer is formed and the radius of curvature of the silicon wafer after the silicon resin layer is formed) Shrinkage stress was calculated.

또한, 유리 복합체 S1 내지 S9 중의 실리콘 수지층의 오르가노실록시 단위는, Q 단위와 T3 단위로 구성되어 있었다. 상술한 실시예 10 및 비교예 1에 있어서는, Q 단위는 검출되지 않았다(측정 한계 이하였다).The organosiloxy units of the silicone resin layers in the glass composites S1 to S9 were composed of Q units and T3 units. In the above-described Example 10 and Comparative Example 1, the Q unit was not detected (the measurement limit was below).

Figure pct00005
Figure pct00005

상기 표 2에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 유리 적층체에 있어서는, 실리콘 수지층은 우수한 내열성을 나타냄과 함께, 유리 기판의 박리성(분리성)도 우수하였다. 특히, Q 단위를 포함하는 실시예 1 내지 9에 있어서는, 박리성이 보다 우수하였다.As shown in Table 2, in the glass laminate of the present invention, the silicone resin layer exhibited excellent heat resistance and also had excellent releasability (separability) of the glass substrate. In particular, in Examples 1 to 9 including Q units, the peelability was better.

한편, 비교예 1, 2에 나타내는 바와 같이, 소정의 조성비의 실리콘 수지층을 사용하지 않은 경우에는, 원하는 효과가 얻어지지 않았다.On the other hand, as shown in Comparative Examples 1 and 2, when a silicone resin layer having a predetermined composition ratio was not used, a desired effect was not obtained.

<실시예 11>&Lt; Example 11 >

본 예에서는, 실시예 1에서 얻은 유리 적층체 S1을 사용하여 OLED를 제조한다.In this example, an OLED is manufactured by using the glass laminate S1 obtained in the first embodiment.

우선, 유리 적층체 S1에서의 유리 기판의 제2 주면 상에, 플라즈마 CVD법에 의해 질화실리콘, 산화실리콘, 아몰퍼스 실리콘의 순서대로 성막한다. 이어서, 이온 도핑 장치에 의해 저농도의 붕소를 아몰퍼스 실리콘층에 주입하고, 가열 처리하여 탈수소 처리를 행한다. 이어서, 레이저 어닐링 장치에 의해 아몰퍼스 실리콘층의 결정화 처리를 행한다. 이어서, 포토리소그래피법을 사용한 에칭 및 이온 도핑 장치로부터, 저농도의 인을 아몰퍼스 실리콘층에 주입하고, N형 및 P형의 TFT 에리어를 형성한다. 이어서, 유리 기판의 제2 주면측에, 플라즈마 CVD법에 의해 산화실리콘막을 성막하여 게이트 절연막을 형성한 후에, 스퍼터링법에 의해 몰리브덴을 성막하고, 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해 게이트 전극을 형성한다. 이어서, 포토리소그래피법과 이온 도핑 장치에 의해, 고농도의 붕소와 인을 N형, P형 각각의 원하는 에리어에 주입하고, 소스 에리어 및 드레인 에리어를 형성한다. 이어서, 유리 기판의 제2 주면측에, 플라즈마 CVD법에 의한 산화실리콘의 성막으로 층간 절연막을, 스퍼터링법에 의해 알루미늄의 성막 및 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해 TFT 전극을 형성한다. 이어서, 수소 분위기 하, 가열 처리하여 수소화 처리를 행한 후, 플라즈마 CVD법에 의한 질소실리콘의 성막으로 패시베이션층을 형성한다. 이어서, 유리 기판의 제2 주면측에, 자외선 경화성 수지를 도포하고, 포토리소그래피법에 의해 평탄화층 및 콘택트 홀을 형성한다. 이어서, 스퍼터링법에 의해 산화인듐주석을 성막하고, 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해 화소 전극을 형성한다.First, a film of silicon nitride, silicon oxide, and amorphous silicon is formed in this order on the second main surface of the glass substrate in the glass laminate S1 by the plasma CVD method. Subsequently, low-concentration boron is implanted into the amorphous silicon layer by an ion doping apparatus, and heat treatment is performed to perform dehydrogenation treatment. Then, the amorphous silicon layer is crystallized by a laser annealing apparatus. Then, low-concentration phosphorus is injected into the amorphous silicon layer from an etching and ion-doping apparatus using a photolithography method to form N-type and P-type TFT areas. Subsequently, a silicon oxide film is formed on the second main surface side of the glass substrate by a plasma CVD method to form a gate insulating film, and then molybdenum is formed by a sputtering method, and a gate electrode is formed by etching using a photolithography method . Subsequently, boron and phosphorous at a high concentration are implanted into desired areas of N type and P type, respectively, by photolithography and ion doping apparatus to form a source area and a drain area. Subsequently, a TFT electrode is formed on the second main surface side of the glass substrate by the film formation of silicon oxide by the plasma CVD method, the interlayer insulating film by the sputtering method, and the aluminum film formation and the etching by the photolithography method. Subsequently, a heat treatment is performed in a hydrogen atmosphere to perform a hydrogenation treatment, and then a passivation layer is formed by film formation of nitrogen silicon by a plasma CVD method. Subsequently, a UV-curable resin is applied to the second main surface side of the glass substrate, and a planarization layer and a contact hole are formed by photolithography. Subsequently, indium tin oxide is formed by a sputtering method, and a pixel electrode is formed by etching using a photolithography method.

계속해서, 증착법에 의해, 유리 기판의 제2 주면측에, 정공 주입층으로서 4,4',4"-트리스(3-메틸페닐페닐아미노)트리페닐아민, 정공 수송층으로서 비스[(N-나프틸)-N-페닐]벤지딘, 발광층으로서 8-퀴놀리놀알루미늄 착체(Alq3)에 2,6-비스[4-[N-(4-메톡시페닐)-N-페닐]아미노스티릴]나프탈렌-1,5-디카르보니트릴(BSN-BCN)을 40체적% 혼합한 것, 전자 수송층으로서 Alq3을 이 순서대로 성막한다. 이어서, 스퍼터링법에 의해 알루미늄을 성막하고, 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해 대향 전극을 형성한다. 이어서, 유리 기판의 제2 주면측에, 자외선 경화형의 접착층을 개재하고 또 1매의 유리 기판을 접합하여 밀봉한다. 상기 수순에 의해, 유리 기판 상에 유기 EL 구조체를 형성한다. 유리 기판 상에 유기 EL 구조체를 갖는 유리 적층체 S1(이하, 패널 A라고 함)이, 본 발명의 전자 디바이스용 부재를 갖는 적층체이다.Subsequently, 4,4 ', 4 "-tris (3-methylphenylphenylamino) triphenylamine was used as a hole injecting layer and bis [(N-naphthyl) (4-methoxyphenyl) -N-phenyl] aminostyryl] naphthalene as a light emitting layer was added to an 8-quinolinol aluminum complex (Alq 3 ) (BSN-BCN), and Alq 3 as an electron transporting layer were formed in this order. [0100] Subsequently, aluminum was deposited by a sputtering method, and etching was performed by photolithography Next, another glass substrate is bonded and sealed with an ultraviolet curable adhesive layer on the second main surface side of the glass substrate. By the above procedure, the organic EL structure A glass laminate S1 having an organic EL structure on a glass substrate (hereinafter referred to as panel A) And a member for an electronic device of the present invention.

계속해서, 패널 A의 밀봉체측을 정반에 진공 흡착시킨 후, 패널 A의 코너부의 유리 기판과 수지층의 계면에, 두께 0.1mm의 스테인리스제 칼날을 찔러 넣어, 유리 기판과 수지층의 계면에 박리의 계기를 부여한다. 그리고, 패널 A의 지지 기재 표면을 진공 흡착 패드로 흡착한 후, 흡착 패드를 상승시킨다. 여기서 칼날의 찔러 넣기는, 이오나이저(키엔스사제)로부터 제전성 유체를 당해 계면에 분사하면서 행한다. 이어서, 형성한 공극을 향하여 이오나이저로부터는 계속해서 제전성 유체를 분사하면서, 또한 물을 박리 전선에 쏘면서 진공 흡착 패드를 끌어올린다. 그 결과, 정반 상에 유기 EL 구조체가 형성된 유리 기판만을 남기고, 수지층을 갖는 지지 기재를 박리할 수 있다.Subsequently, a stainless steel blade having a thickness of 0.1 mm was inserted into the interface between the glass substrate and the resin layer at the corner of the panel A to vacuum-adsorb the sealing member side of the panel A on the surface of the plate, Of course. After the surface of the support substrate of the panel A is adsorbed by the vacuum adsorption pad, the adsorption pad is raised. Here, the stabbing of the blade is carried out while spraying the antifungal fluid from the ionizer (manufactured by KYENS) to the interface. Then, the vacuum adsorbing pad is pulled up while spraying the water to the peeling wire while spraying the antistatic fluid continuously from the ionizer toward the formed gap. As a result, the supporting substrate having the resin layer can be separated while leaving only the glass substrate on which the organic EL structure is formed on the surface of the substrate.

계속해서, 분리된 유리 기판을 레이저 커터 또는 스크라이브-브레이크법을 사용하여 절단하고, 복수의 셀로 분단한 후, 유기 EL 구조체가 형성된 유리 기판과 대향 기판을 조립하여, 모듈 형성 공정을 실시하여 OLED를 제작한다. 이와 같이 하여 얻어지는 OLED는, 특성상 문제는 발생하지 않는다.Subsequently, the separated glass substrate is cut using a laser cutter or a scribe-break method, and is divided into a plurality of cells. Thereafter, the glass substrate on which the organic EL structure is formed and the counter substrate are assembled, And make them. The OLED thus obtained does not cause any problems due to its characteristics.

<실시예 12>&Lt; Example 12 >

본 예에서는, 실시예 1에서 얻은 유리 적층체 S1을 사용하여 LCD를 제조한다.In this example, an LCD is manufactured using the glass laminate S1 obtained in the first embodiment.

우선, 2매의 유리 적층체 S1을 준비하여, 한쪽 유리 적층체 S1-1에서의 유리 기판의 제2 주면 상에, 플라즈마 CVD법에 의해 질화실리콘, 산화실리콘, 아몰퍼스 실리콘의 순서대로 성막한다. 이어서, 이온 도핑 장치에 의해 저농도의 붕소를 아몰퍼스 실리콘층에 주입하고, 질소 분위기 하, 가열 처리하여 탈수소 처리를 행한다. 이어서, 레이저 어닐링 장치에 의해 아몰퍼스 실리콘층의 결정화 처리를 행한다. 이어서, 포토리소그래피법을 사용한 에칭 및 이온 도핑 장치로부터, 저농도의 인을 아몰퍼스 실리콘층에 주입하고, N형 및 P형의 TFT 에리어를 형성한다. 이어서, 유리 기판의 제2 주면측에, 플라즈마 CVD법에 의해 산화실리콘막을 성막하여 게이트 절연막을 형성한 후, 스퍼터링법에 의해 몰리브덴을 성막하고, 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해 게이트 전극을 형성한다. 이어서, 포토리소그래피법과 이온 도핑 장치에 의해, 고농도의 붕소와 인을 N형, P형 각각의 원하는 에리어에 주입하여, 소스 에리어 및 드레인 에리어를 형성한다. 이어서, 유리 기판의 제2 주면측에, 플라즈마 CVD법에 의한 산화실리콘의 성막으로 층간 절연막을, 스퍼터링법에 의해 알루미늄의 성막 및 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해 TFT 전극을 형성한다. 이어서, 수소 분위기 하, 가열 처리하여 수소화 처리를 행한 후, 플라즈마 CVD법에 의한 질소실리콘의 성막으로 패시베이션층을 형성한다. 이어서, 유리 기판의 제2 주면측에, 자외선 경화성 수지를 도포하고, 포토리소그래피법에 의해 평탄화층 및 콘택트 홀을 형성한다. 이어서, 스퍼터링법에 의해 산화인듐주석을 성막하고, 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해 화소 전극을 형성한다.First, two glass laminated bodies S1 are prepared, and a film of silicon nitride, silicon oxide, and amorphous silicon is formed in this order on the second main surface of the glass substrate in the one glass laminate S1-1 by the plasma CVD method. Subsequently, low-concentration boron is implanted into the amorphous silicon layer by an ion doping apparatus, and heat treatment is performed in a nitrogen atmosphere to perform dehydrogenation treatment. Then, the amorphous silicon layer is crystallized by a laser annealing apparatus. Then, low-concentration phosphorus is injected into the amorphous silicon layer from an etching and ion-doping apparatus using a photolithography method to form N-type and P-type TFT areas. Subsequently, a silicon oxide film is formed on the second main surface side of the glass substrate by a plasma CVD method to form a gate insulating film. Then, molybdenum is formed by a sputtering method, and a gate electrode is formed by etching using a photolithography method . Then, a high concentration of boron and phosphorus are implanted into each of the N-type and P-type desired areas by a photolithography method and an ion doping apparatus to form a source area and a drain area. Subsequently, a TFT electrode is formed on the second main surface side of the glass substrate by the film formation of silicon oxide by the plasma CVD method, the interlayer insulating film by the sputtering method, and the aluminum film formation and the etching by the photolithography method. Subsequently, a heat treatment is performed in a hydrogen atmosphere to perform a hydrogenation treatment, and then a passivation layer is formed by film formation of nitrogen silicon by a plasma CVD method. Subsequently, a UV-curable resin is applied to the second main surface side of the glass substrate, and a planarization layer and a contact hole are formed by photolithography. Subsequently, indium tin oxide is formed by a sputtering method, and a pixel electrode is formed by etching using a photolithography method.

이어서, 또 한쪽의 유리 적층체 S1-2를 대기 분위기 하, 가열 처리한다. 이어서, 유리 적층체 S1에서의 유리 기판의 제2 주면 상에, 스퍼터링법에 의해 크롬을 성막하고, 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해 차광층을 형성한다. 이어서, 유리 기판의 제2 주면측에, 다이 코트법에 의해 컬러 레지스트를 도포하고, 포토리소그래피법 및 열경화에 의해 컬러 필터층을 형성한다. 이어서, 스퍼터링법에 의해 산화인듐주석을 성막하고, 대향 전극을 형성한다. 이어서, 유리 기판의 제2 주면측에, 다이 코트법에 의해 자외선 경화 수지액을 도포하고, 포토리소그래피법 및 열경화에 의해 기둥형 스페이서를 형성한다. 이어서, 롤 코트법에 의해 폴리이미드 수지액을 도포하고, 열경화에 의해 배향층을 형성하고, 러빙을 행한다.Subsequently, the other glass laminate S1-2 is heat-treated in an air atmosphere. Then, chromium is deposited on the second main surface of the glass substrate in the glass laminate S1 by the sputtering method, and the light shielding layer is formed by etching using a photolithography method. Then, a color resist is applied to the second main surface side of the glass substrate by a die coating method, and a color filter layer is formed by photolithography and thermal curing. Subsequently, indium tin oxide is formed by a sputtering method, and an opposite electrode is formed. Subsequently, an ultraviolet curable resin liquid is applied to the second main surface side of the glass substrate by a die coating method, and a columnar spacer is formed by photolithography and thermal curing. Then, a polyimide resin solution is applied by a roll coating method, an orientation layer is formed by thermal curing, and rubbing is performed.

이어서, 디스펜서법에 의해 시일용 수지액을 프레임형으로 묘화하고, 프레임 내에 디스펜서법에 의해 액정을 적하한 후, 상기에서 화소 전극이 형성된 유리 적층체 S1-1을 사용하여, 2매의 유리 적층체 S1의 유리 기판의 제2 주면측끼리를 접합하고, 자외선 경화 및 열경화에 의해 LCD 패널을 얻는다.Subsequently, the sealing resin liquid was drawn in a frame shape by a dispenser method, liquid crystal was dropped by a dispenser method in the frame, and then the glass laminate S1-1 on which the pixel electrodes were formed was used to form two glass laminate The second main surface side of the glass substrate of the sieve S1 is bonded, and an LCD panel is obtained by ultraviolet curing and thermal curing.

계속해서, 유리 적층체 S1-1의 지지 기재의 제2 주면을 정반에 진공 흡착시키고, 유리 적층체 S1-2의 코너부의 유리 기판과 수지층의 계면에, 두께 0.1mm의 스테인리스제 칼날을 찔러 넣고, 유리 기판의 제1 주면과 수지층의 박리성 표면의 박리의 계기를 부여한다. 여기서 칼날의 찔러 넣기는, 이오나이저(키엔스사제)로부터 제전성 유체를 당해 계면에 분사하면서 행한다. 이어서, 형성한 공극을 향하여 이오나이저로부터는 계속해서 제전성 유체를 분사하면서, 물을 박리 전선에 쏘면서 진공 흡착 패드를 끌어올린다. 그리고, 유리 적층체 S1-2의 지지 기재의 제2 주면을 진공 흡착 패드로 흡착한 후, 흡착 패드를 상승시킨다. 그 결과, 정반 상에, 유리 적층체 S1-1의 지지 기재가 붙은 LCD의 빈 셀만을 남기고, 수지층을 갖는 지지 기재를 박리할 수 있다.Subsequently, a second main surface of the supporting substrate of the glass laminate S1-1 was vacuum-adsorbed on the surface plate, and a stainless steel blade having a thickness of 0.1 mm was stuck to the interface between the glass substrate and the resin layer at the corner of the glass laminate S1-2 And the peelable surface of the resin layer is peeled off from the first main surface of the glass substrate. Here, the stabbing of the blade is carried out while spraying the antifungal fluid from the ionizer (manufactured by KYENS) to the interface. Subsequently, the vacuum adsorption pad is pulled up while spraying the water on the peeling wire while spraying the antistatic fluid continuously from the ionizer toward the formed void. After the second main surface of the supporting substrate of the glass laminate S1-2 is adsorbed by the vacuum adsorption pad, the adsorption pad is raised. As a result, the supporting substrate having the resin layer can be peeled off, leaving only empty cells of the LCD with the supporting substrate of the glass laminate S1-1 on the surface of the substrate.

이어서, 제1 주면에 컬러 필터가 형성된 유리 기판의 제2 주면을 정반에 진공 흡착시키고, 유리 적층체 S1-1의 코너부의 유리 기판과 수지층의 계면에, 두께 0.1mm의 스테인리스제 칼날을 찔러 넣고, 유리 기판의 제1 주면과 수지층의 박리성 표면의 박리의 계기를 부여한다. 그리고, 유리 적층체 S1-1의 지지 기재의 제2 주면을 진공 흡착 패드로 흡착한 후, 유리 기판과 수지층의 사이에 물을 분사하면서, 흡착 패드를 상승시킨다. 그 결과, 정반 상에 LCD 셀만을 남기고, 수지층이 고정된 지지 기재를 박리할 수 있다. 이와 같이 하여 두께 0.1mm의 유리 기판으로 구성되는 복수의 LCD의 셀이 얻어진다.Subsequently, a second main surface of the glass substrate on which the color filter was formed on the first main surface was vacuum-adsorbed on the surface plate, and a stainless steel blade having a thickness of 0.1 mm was stuck to the interface between the glass substrate and the resin layer at the corner of the glass laminate S1-1 And the peelable surface of the resin layer is peeled off from the first main surface of the glass substrate. After the second main surface of the supporting substrate of the glass laminate S1-1 is adsorbed by the vacuum adsorption pad, the adsorption pad is raised while spraying water between the glass substrate and the resin layer. As a result, the supporting substrate on which the resin layer is fixed can be peeled off, leaving only the LCD cell on the surface of the substrate. In this manner, a plurality of LCD cells constituted by a glass substrate having a thickness of 0.1 mm are obtained.

계속해서, 절단하는 공정에 의해, 복수의 LCD의 셀로 분단한다. 완성된 각각의 LCD 셀에 편광판을 부착하는 공정을 실시하고, 계속해서 모듈 형성 공정을 실시하여 LCD를 얻는다. 이와 같이 하여 얻어지는 LCD는, 특성상 문제는 발생하지 않는다.Subsequently, by the cutting step, the cells are divided into a plurality of LCD cells. A process of attaching a polarizing plate to each completed LCD cell is performed, and then a module forming process is performed to obtain an LCD. The LCD thus obtained does not cause any problems due to its characteristics.

<실시예 13>&Lt; Example 13 >

본 예에서는, 실시예 1에서 얻은 유리 적층체 S1을 사용하여 OLED를 제조한다.In this example, an OLED is manufactured by using the glass laminate S1 obtained in the first embodiment.

우선, 유리 적층체 S1에서의 유리 기판의 제2 주면 상에, 스퍼터링법에 의해 몰리브덴을 성막하고, 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해 게이트 전극을 형성하였다. 이어서, 스퍼터링법에 의해, 유리 기판의 제2 주면측에 산화알루미늄을 더 성막하여 게이트 절연막을 형성하고, 계속해서 스퍼터링법에 의해 산화인듐갈륨아연을 성막하여 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해 산화물 반도체층을 형성하였다. 이어서, 스퍼터링법에 의해, 유리 기판의 제2 주면측에 산화알루미늄을 더 성막하여 채널 보호층을 형성하고, 계속해서 스퍼터링법에 의해 몰리브덴을 성막하여 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하였다.Molybdenum was first formed on the second main surface of the glass substrate in the glass laminate S1 by the sputtering method, and a gate electrode was formed by etching using a photolithography method. Subsequently, aluminum oxide is further formed on the second main surface side of the glass substrate by a sputtering method to form a gate insulating film. Subsequently, indium gallium zinc oxide is formed by a sputtering method and the oxide semiconductor is etched by photolithography Layer. Subsequently, aluminum oxide is further formed on the second main surface side of the glass substrate by a sputtering method to form a channel protective layer. Subsequently, molybdenum is deposited by a sputtering method, and the source electrode and the drain Electrodes were formed.

이어서, 대기 중에서 가열 처리를 행한다. 이어서, 유리 기판의 제2 주면측에 스퍼터링법에 의해 산화알루미늄을 더 성막하여 패시베이션층을 형성하고, 계속해서 스퍼터링법에 의해 산화인듐주석을 성막하여 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해, 화소 전극을 형성한다.Subsequently, heat treatment is performed in the air. Subsequently, aluminum oxide is further formed on the second main surface side of the glass substrate by a sputtering method to form a passivation layer. Subsequently, indium tin oxide is formed by a sputtering method and the pixel electrode is etched by photolithography .

계속해서, 증착법에 의해, 유리 기판의 제2 주면측에, 정공 주입층으로서 4,4',4"-트리스(3-메틸페닐페닐아미노)트리페닐아민, 정공 수송층으로서 비스[(N-나프틸)-N-페닐]벤지딘, 발광층으로서 8-퀴놀리놀알루미늄 착체(Alq3)에 2,6-비스[4-[N-(4-메톡시페닐)-N-페닐]아미노스티릴]나프탈렌-1,5-디카르보니트릴(BSN-BCN)을 40체적% 혼합한 것, 전자 수송층으로서 Alq3을 이 순서대로 성막한다. 이어서, 스퍼터링법에 의해 알루미늄을 성막하고, 포토리소그래피법을 사용한 에칭에 의해 대향 전극을 형성한다. 이어서, 유리 기판의 제2 주면측에, 자외선 경화형의 접착층을 개재하고 또 1매의 유리 기판을 접합하여 밀봉한다. 상기 수순에 의해, 유리 기판 상에 유기 EL 구조체를 형성한다. 유리 기판 상에 유기 EL 구조체를 갖는 유리 적층체 S1(이하, 패널 B라고 함)이, 본 발명의 전자 디바이스용 부재를 갖는 적층체(지지 기재를 갖는 표시 장치용 패널)이다.Subsequently, 4,4 ', 4 "-tris (3-methylphenylphenylamino) triphenylamine was used as a hole injecting layer and bis [(N-naphthyl) (4-methoxyphenyl) -N-phenyl] aminostyryl] naphthalene as a light emitting layer was added to an 8-quinolinol aluminum complex (Alq 3 ) (BSN-BCN), and Alq 3 as an electron transporting layer were formed in this order. [0100] Subsequently, aluminum was deposited by a sputtering method, and etching was performed by photolithography Next, another glass substrate is bonded and sealed with an ultraviolet curable adhesive layer on the second main surface side of the glass substrate. By the above procedure, the organic EL structure A glass laminate S1 having an organic EL structure on a glass substrate (hereinafter referred to as panel B) (A panel for a display device having a supporting substrate) having a member for an electronic device of the present invention.

계속해서, 패널 B의 밀봉체측을 정반에 진공 흡착시킨 후, 패널 B의 코너부의 유리 기판과 수지층의 계면에, 두께 0.1mm의 스테인리스제 칼날을 찔러 넣고, 유리 기판과 수지층의 계면에 박리의 계기를 부여한다. 그리고, 패널 B의 지지 기재 표면을 진공 흡착 패드로 흡착한 후, 흡착 패드를 상승시킨다. 여기서 칼날의 찔러 넣기는, 이오나이저(키엔스사제)로부터 제전성 유체를 당해 계면에 분사하면서 행한다. 이어서, 형성한 공극을 향하여 이오나이저로부터는 계속해서 제전성 유체를 분사하면서, 또한 물을 박리 전선에 쏘면서 진공 흡착 패드를 끌어올린다. 그 결과, 정반 상에 유기 EL 구조체가 형성된 유리 기판만을 남기고, 수지층을 갖는 지지 기재를 박리할 수 있다.Subsequently, a stainless steel blade having a thickness of 0.1 mm was stuck into the interface between the glass substrate and the resin layer at the corner of the panel B after the sealing member side of the panel B was vacuum-adsorbed on the surface of the panel, Of course. After the surface of the supporting substrate of the panel B is adsorbed by the vacuum adsorption pad, the adsorption pad is raised. Here, the stabbing of the blade is carried out while spraying the antifungal fluid from the ionizer (manufactured by KYENS) to the interface. Then, the vacuum adsorbing pad is pulled up while spraying the water to the peeling wire while spraying the antistatic fluid continuously from the ionizer toward the formed gap. As a result, the supporting substrate having the resin layer can be separated while leaving only the glass substrate on which the organic EL structure is formed on the surface of the substrate.

계속해서, 분리된 유리 기판을 레이저 커터 또는 스크라이브-브레이크법을 사용하여 절단하고, 복수의 셀로 분단한 후, 유기 EL 구조체가 형성된 유리 기판과 대향 기판을 조립하고, 모듈 형성 공정을 실시하여 OLED를 제작한다. 이와 같이 하여 얻어지는 OLED는, 특성상 문제는 발생하지 않는다.Subsequently, the separated glass substrate is cut using a laser cutter or a scribe-break method, and is divided into a plurality of cells. Thereafter, the glass substrate on which the organic EL structure is formed and the counter substrate are assembled, And make them. The OLED thus obtained does not cause any problems due to its characteristics.

또한, 2014년 2월 7일에 출원된 일본 특허 출원 제2014-022697호 명세서, 특허청구범위, 요약서 및 도면의 전체 내용을 여기에 인용하고, 본 발명의 명세서의 개시로서 도입한다.Also, Japanese Patent Application No. 2014-022697 filed on February 7, 2014, the entire contents of the specification, claims, abstract, and drawings are incorporated herein by reference and are incorporated herein by reference.

10, 100, 200: 유리 적층체
12: 지지 기재
14: 실리콘 수지층
16: 유리 기판
18: 수지층을 갖는 지지 기재
20: 수지층을 갖는 유리 기판
22: 전자 디바이스용 부재
24: 전자 디바이스용 부재를 갖는 적층체
26: 부재를 갖는 유리 기판
10, 100, 200: Glass laminate
12: support substrate
14: Silicone resin layer
16: glass substrate
18: Supporting substrate having a resin layer
20: glass substrate having a resin layer
22: member for electronic device
24: laminate having member for electronic device
26: glass substrate having members

Claims (11)

지지 기재의 층과 실리콘 수지층과 유리 기판의 층을 이 순서대로 구비하고,
상기 실리콘 수지층 중의 실리콘 수지가, 하기 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위를 갖고, 전체 오르가노실록시 단위에 대한 하기 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위의 합계 비율이 80 내지 100몰%이고,
하기 T3 중의 R이 페닐기인 오르가노실록시 단위 (A-1)과, 하기 T3 중의 R이 메틸기인 오르가노실록시 단위 (B-1)의 몰비((A-1)/(B-1))가 80/20 내지 20/80이고,
상기 실리콘 수지층의 상기 유리 기판의 층에 대한 계면의 박리 강도와 상기 실리콘 수지층의 상기 지지 기재의 층에 대한 계면의 박리 강도가 상이한, 유리 적층체.
T3: R-SiO3 /2
(식 중, R은 페닐기 또는 메틸기를 나타냄)
A layer of a supporting substrate, a layer of a silicone resin and a layer of a glass substrate are provided in this order,
Wherein the silicone resin in the silicone resin layer has an organosiloxy unit represented by T3 shown below and a total proportion of organosiloxy units represented by the following T3 to all the organosiloxy units is 80 to 100 mol% ,
(A-1) / (B-1) of the organosiloxy unit (A-1) in which R in the following T3 is a phenyl group and the organosiloxy unit (B- ) Is 80/20 to 20/80,
Wherein the peel strength of the interface between the silicon resin layer and the glass substrate layer is different from the peel strength of the interface between the silicon resin layer and the support substrate layer.
T3: R-SiO 3/2
(Wherein R represents a phenyl group or a methyl group)
제1항에 있어서, 상기 실리콘 수지가, 하기 Q로 표시되는 오르가노실록시 단위를 더 갖는, 유리 적층체.
Q: SiO4 /2
The glass laminate according to claim 1, wherein the silicone resin further has an organosiloxy unit represented by the following formula (Q).
Q: SiO 4/2
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 실리콘 수지가, 경화성 오르가노폴리실록산의 경화물이고,
상기 경화성 오르가노폴리실록산이, 하기 T1 내지 T3으로 표시되는 오르가노실록시 단위를, 상기 단위의 개수의 비율(몰량)로, T1:T2:T3=0 내지 5:20 내지 50:50 내지 80(단, T1+T2+T3=100의 관계를 만족함)의 비율로 포함하는 오르가노폴리실록산인, 유리 적층체.
T1: R-Si(-OX)2O1 /2
T2: R-Si(-OX)O2 /2
T3: R-SiO3 /2
(식 중, R은 페닐기 또는 메틸기를 나타냄. X는 수소 원자 또는 탄소수 1 내지 6의 알킬기를 나타냄)
The silicone resin composition according to claim 1 or 2, wherein the silicone resin is a cured product of a curable organopolysiloxane,
Wherein the curable organopolysiloxane has an organosiloxy unit represented by the following T1 to T3 in terms of the ratio (molar amount) of the units: T1: T2: T3 = 0 to 5: 20 to 50: 50 to 80 Wherein T1 + T2 + T3 = 100 is satisfied).
T1: R-Si (-OX) 2 O 1/2
T2: R-Si (-OX) O 2/2
T3: R-SiO 3/2
(Wherein R represents a phenyl group or a methyl group, and X represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms)
제3항에 있어서, 상기 경화성 오르가노폴리실록산의 수 평균 분자량이 500 내지 2000인, 유리 적층체.The glass laminate according to claim 3, wherein the curable organopolysiloxane has a number average molecular weight of 500 to 2000. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 경화성 오르가노폴리실록산의 질량 평균 분자량/수 평균 분자량이 1.00 내지 2.00인, 유리 적층체.The glass laminate according to claim 3 or 4, wherein the weight average molecular weight / number average molecular weight of the curable organopolysiloxane is 1.00 to 2.00. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 동적 광산란법에 의해 측정한 상기 경화성 오르가노폴리실록산의 입자 직경이 0.5 내지 100nm인, 유리 적층체.The glass laminate according to any one of claims 3 to 5, wherein a particle diameter of the curable organopolysiloxane measured by a dynamic light scattering method is 0.5 to 100 nm. 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 경화성 오르가노폴리실록산이 페닐트리클로로실란 및 메틸트리클로로실란을 공가수분해 축합함으로써 얻어지는 오르가노폴리실록산인, 유리 적층체.7. The glass laminate according to any one of claims 3 to 6, wherein the curable organopolysiloxane is an organopolysiloxane obtained by cohydrolytic condensation of phenyltrichlorosilane and methyltrichlorosilane. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 실리콘 수지층의 두께가 0.1 내지 30㎛인, 유리 적층체.The glass laminate according to any one of claims 1 to 7, wherein the thickness of the silicon resin layer is 0.1 to 30 占 퐉. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 지지 기재가 유리판인, 유리 적층체.The glass laminate according to any one of claims 1 to 8, wherein the supporting substrate is a glass plate. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 실리콘 수지층의 상기 유리 기판의 층에 대한 계면의 박리 강도가, 상기 실리콘 수지층의 상기 지지 기재의 층에 대한 계면의 박리 강도보다 낮은, 유리 적층체.The method according to any one of claims 1 to 9, wherein the peel strength of the interface of the silicon resin layer to the glass substrate layer is lower than the peel strength of the interface of the silicon resin layer to the support substrate layer , Glass laminate. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 실리콘 수지층의 상기 유리 기판의 층에 대한 계면의 박리 강도가, 상기 실리콘 수지층의 상기 지지 기재의 층에 대한 계면의 박리 강도보다 높은, 유리 적층체.The method according to any one of claims 1 to 9, wherein the peel strength of the interface of the silicon resin layer to the glass substrate layer is higher than the peel strength of the interface of the silicon resin layer to the support substrate layer , Glass laminate.
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10543662B2 (en) 2012-02-08 2020-01-28 Corning Incorporated Device modified substrate article and methods for making
TWI617437B (en) 2012-12-13 2018-03-11 康寧公司 Facilitated processing for controlling bonding between sheet and carrier
US9340443B2 (en) 2012-12-13 2016-05-17 Corning Incorporated Bulk annealing of glass sheets
US10086584B2 (en) 2012-12-13 2018-10-02 Corning Incorporated Glass articles and methods for controlled bonding of glass sheets with carriers
US10014177B2 (en) 2012-12-13 2018-07-03 Corning Incorporated Methods for processing electronic devices
US10510576B2 (en) 2013-10-14 2019-12-17 Corning Incorporated Carrier-bonding methods and articles for semiconductor and interposer processing
JP6770432B2 (en) 2014-01-27 2020-10-14 コーニング インコーポレイテッド Articles and methods for controlled binding of thin sheets to carriers
KR20160145062A (en) 2014-04-09 2016-12-19 코닝 인코포레이티드 Device modified substrate article and methods for making
KR102573207B1 (en) 2015-05-19 2023-08-31 코닝 인코포레이티드 Articles and methods for bonding sheets and carriers
EP3313799B1 (en) 2015-06-26 2022-09-07 Corning Incorporated Methods and articles including a sheet and a carrier
KR20190003461A (en) * 2016-04-28 2019-01-09 에이지씨 가부시키가이샤 Glass laminate and manufacturing method thereof
TWI892429B (en) 2016-08-30 2025-08-01 美商康寧公司 Siloxane plasma polymers for sheet bonding
TWI821867B (en) 2016-08-31 2023-11-11 美商康寧公司 Articles of controllably bonded sheets and methods for making same
CN111372772A (en) 2017-08-18 2020-07-03 康宁股份有限公司 Temporary bonding using polycationic polymers
CN111615567B (en) 2017-12-15 2023-04-14 康宁股份有限公司 Method for treating a substrate and method for producing an article comprising an adhesive sheet
KR102004091B1 (en) * 2018-03-30 2019-07-25 에스케이씨 주식회사 Multilayer film for laminating glasses, laminated glasses comprising of the same, manudacturing method for the same
CN111533464B (en) * 2020-05-07 2023-01-31 索菲立(福建)新材料科技有限公司 Preparation method of impact-resistant glass with coating

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007018028A1 (en) 2005-08-09 2007-02-15 Asahi Glass Company, Limited Thin sheet glass laminate and method for manufacturing display using thin sheet glass laminate

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2819162B2 (en) * 1989-08-11 1998-10-30 大三工業株式会社 Scratching agent for glass containers
WO2009111196A1 (en) * 2008-03-04 2009-09-11 Dow Corning Corporation Silicone composition, silicone adhesive, coated and laminated substrates
JP2001240800A (en) * 2000-02-25 2001-09-04 Nippon Sheet Glass Co Ltd Preparation process of article having predetermined surface form
US8277939B2 (en) * 2006-12-20 2012-10-02 Dow Corning Corporation Glass substrates coated or laminated with cured silicone resin compositions
JP4882854B2 (en) * 2007-04-27 2012-02-22 セントラル硝子株式会社 Glass coating composition
TW201004795A (en) * 2008-07-31 2010-02-01 Dow Corning Laminated glass
WO2011024690A1 (en) * 2009-08-27 2011-03-03 旭硝子株式会社 Multilayer structure with flexible base material and support, panel for use in electronic device provided with support and production method for panel for use in electronic device
JP5562597B2 (en) * 2009-08-28 2014-07-30 荒川化学工業株式会社 SUPPORT, GLASS SUBSTRATE LAMINATE, DISPLAY DEVICE PANEL WITH SUPPORT AND METHOD FOR PRODUCING DISPLAY DEVICE PANEL
US8742009B2 (en) * 2010-06-04 2014-06-03 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Temporary adhesive composition, and method of producing thin wafer
JP5684511B2 (en) * 2010-08-11 2015-03-11 三菱樹脂株式会社 Metal foil laminate, LED mounting substrate and light source device
WO2013058217A1 (en) * 2011-10-18 2013-04-25 旭硝子株式会社 Laminate, method for producing laminate, and method for producing glass substrate having member for electronic devices attached thereto
JP2015231668A (en) * 2012-09-27 2015-12-24 旭硝子株式会社 GLASS LAMINATE AND METHOD FOR PRODUCING SAME, AND SUPPORT SUBSTRATE WITH SILICONE RESIN LAYER AND METHOD FOR PRODUCING SAME
JP2015147376A (en) * 2014-02-07 2015-08-20 旭硝子株式会社 Glass composite

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007018028A1 (en) 2005-08-09 2007-02-15 Asahi Glass Company, Limited Thin sheet glass laminate and method for manufacturing display using thin sheet glass laminate

Also Published As

Publication number Publication date
CN105980150A (en) 2016-09-28
CN105980150B (en) 2018-01-30
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TWI647114B (en) 2019-01-11
JP6443350B2 (en) 2018-12-26
TW201534480A (en) 2015-09-16
WO2015119210A1 (en) 2015-08-13

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