KR20160067666A - Structure of a multi-layered transparent electrode - Google Patents
Structure of a multi-layered transparent electrode Download PDFInfo
- Publication number
- KR20160067666A KR20160067666A KR1020140173342A KR20140173342A KR20160067666A KR 20160067666 A KR20160067666 A KR 20160067666A KR 1020140173342 A KR1020140173342 A KR 1020140173342A KR 20140173342 A KR20140173342 A KR 20140173342A KR 20160067666 A KR20160067666 A KR 20160067666A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- titanium oxide
- transparent electrode
- layer
- thickness
- electrode structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
- G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 다층 투명 전극 구조물에 관한 것이다. 보다 상세하게는 기판 상에 광학적으로 투명한 특성 및 전기적으로 우수한 전기전도도를 갖는 다층 투명 전극 구조물에 관한 것이다.The present invention relates to a multilayer transparent electrode structure. To a multi-layer transparent electrode structure having optically transparent characteristics on a substrate and electrically excellent electrical conductivity.
ITO 투명 전극은 우수한 전기전도도 및 높은 광투과도를 갖는 전극 재료로서 현재까지 광범위하게 사용되고 있다. 하지만, 상기 ITO 투명 전극을 형성하기 위하여 고온 열처리를 통한 결정화 공정이 요구된다. 하지만 기판이 플렉서블한 고분자로 이루어질 경우, 상기 고온 열처리 공정이 어려운 문제가 있다.ITO transparent electrodes are widely used as electrode materials having excellent electrical conductivity and high light transmittance. However, a crystallization process through a high temperature heat treatment is required to form the ITO transparent electrode. However, when the substrate is made of a flexible polymer, the high-temperature heat treatment process is difficult.
따라서, ITO 투명 전극을 대체하고자 많은 연구가 진행되고 있다. 일 예로서, 옥사이드/메탈/옥사이드 (OMO 다층 구조의 투명 전극이 개시되어 있다. 고온 열처리가 필요한 ITO 투명 전극에 비해 상기 다층구조의 투명 전극은 열처리가 필요하지 않아서 플렉서블한 폴리머 기판을 사용할 수 있으며, 경제적인 측면에서도 열처리 공정을 줄이고, ITO에 비해 생산 가격을 낮출 수 있는 경쟁력을 지니고 있다. Therefore, much research has been conducted to replace the ITO transparent electrode. As an example, a transparent electrode of oxide / metal / oxide (OMO) multilayer structure is disclosed. Since the transparent electrode of the multilayer structure does not require heat treatment as compared with an ITO transparent electrode requiring high temperature heat treatment, a flexible polymer substrate can be used In terms of economy, it also has the competitiveness to reduce the heat treatment process and lower the production cost compared with ITO.
이러한 많은 장점을 지니고 있는 다층 구조의 투명 전극도 단점이 하나 있는데, 기존의 투명 전극으로 사용되는 ITO에 비해서 낮은 면저항을 지니고 있음에도 불구하고 중간에 삽입 된 금속 박막으로 인해 광투과도가 낮아서 유기태양전지의 효율이 낮다는 문제점을 지니고 있다. The transparent electrode of the multi-layered structure has many disadvantages. Although it has a lower sheet resistance than the ITO used in the conventional transparent electrode, the light transmittance is low due to the metal thin film inserted in the middle, And the efficiency is low.
본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 일 목적은 상대적으로 낮은 면저항 및 높은 광투과도를 갖는 다층 투명 전극 구조물을 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a multilayer transparent electrode structure having a relatively low sheet resistance and high light transmittance.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 다층 투명 전극 구조물은 기판, 상기 기판 상에 형성되며, 티타늄 산화물로 이루어진 제1 티타늄 산화물층, 상기 제1 티타늄 산화물층 상에 형성되고, 18 내지 22 nm의 두께를 갖는 실버(Ag)층 및 상기 실버(Ag)층 상에 형성되며, 티타늄 산화물로 이루어진 제2 티타늄 산화물층을 포함하고, 상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층들 각각은 상기 실버(Ag)층에 대하여 1.50 내지 2.25배의 두께 비를 가진다.In order to accomplish one object of the present invention, a multilayered transparent electrode structure according to an embodiment of the present invention includes a substrate, a first titanium oxide layer formed on the substrate, the first titanium oxide layer being made of titanium oxide, A silver (Ag) layer having a thickness of 18 to 22 nm and a second titanium oxide layer formed on the silver (Ag) layer and made of titanium oxide, wherein the first and second titanium oxide layers Each having a thickness ratio of 1.50 to 2.25 times with respect to the silver (Ag) layer.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층은 35 내지 45 nm 의 두께를 각각 가질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first and second titanium oxide layers may each have a thickness of 35 to 45 nm.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판은 플렉서블 재질로 이루어질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the substrate may be made of a flexible material.
본 발명의 실시예에 따른 다층 투명 전극 구조물은 제1 및 제2 티타늄 산화물층 사이에 개재되고 18 내지 22 nm의 두께를 갖는 실버(Ag)층 및 상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층들 각각은 상기 실버(Ag)층에 대하여 1.50 내지 2.25배의 두께 비를 갖도록 형성됨에 따라 개선된 투과도 및 면저항을 갖는 다층 투명 전극 구조물이 형성될 수 있다. 이로써 다층 투명 전극 구조물은 기존 ITO 투명전극을 대체할 수 있다. A multilayer transparent electrode structure according to an embodiment of the present invention includes a silver (Ag) layer interposed between first and second titanium oxide layers and having a thickness of 18 to 22 nm and a first electrode And a thickness ratio of 1.50 to 2.25 times the silver (Ag) layer, a multilayer transparent electrode structure having improved transmittance and sheet resistance can be formed. As a result, the multilayer transparent electrode structure can replace the conventional ITO transparent electrode.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 투명 전극 구조물을 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 도 1의 다층 투명 전극 구조물에 대한 투자 전자 현미경 사진이다.
도 3은 도 1의 다층 투명 전극 구조물의 광파장에 따른 광투과도를 나타내는 그래프이다.
도 4는 도 1의 다층 투명 전극 구조물에 포함된 제1 및 제2 티타늄 산화물층들 각각의 두께 변화에 따른 저항 및 면저항을 나타내는 그래프이다.
도 5는 도 1의 다층 투명 전극 구조물에 포함된 제1 및 제2 티타늄 산화물층들 각각의 두께 변화에 따른 성능 지수를 나타내는 그래프이다. 1 is a cross-sectional view illustrating a multilayered transparent electrode structure according to an embodiment of the present invention.
2 is an investment electron micrograph of the multilayer transparent electrode structure of FIG.
3 is a graph showing light transmittance according to a light wavelength of the multilayer transparent electrode structure of FIG.
FIG. 4 is a graph showing resistance and sheet resistance of each of the first and second titanium oxide layers included in the multilayered transparent electrode structure of FIG. 1 according to the thickness variation; FIG.
FIG. 5 is a graph showing a figure of merit according to changes in the thickness of each of the first and second titanium oxide layers included in the multilayer transparent electrode structure of FIG. 1;
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 첨부된 도면에 있어서, 대상물들의 크기와 양은 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대 또는 축소하여 도시한 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. In the accompanying drawings, the sizes and the quantities of objects are shown enlarged or reduced from the actual size for the sake of clarity of the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "구비하다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 단계, 기능, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 다른 특징들이나 단계, 기능, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprise", "comprising", and the like are intended to specify that there is a feature, step, function, element, or combination of features disclosed in the specification, Quot; or " an " or < / RTI > combinations thereof.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
On the other hand, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.
다층 투명 전극 구조물Multilayer transparent electrode structure
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 투명 전극 구조물을 설명하기 위한 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a multilayered transparent electrode structure according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 투명 전극 구조물(100)은 기판(110), 제1 티타늄 산화물층(121), 실버(Ag)층(130) 및 제2 티타늄 산화물층(122)을 포함한다. 상기 다층 투명 전극 구조물(100)은 상대적으로 우수한 광투과도 및 전도성을 가짐에 따라 태양전자, 유기발광다이오드, 액정표시장치의 전극으로서 적용될 수 있다.Referring to FIG. 1, a multi-layer
상기 기판(110)은 광학적으로 투명한 성질을 갖는다. The
상기 기판(110)은 기판(110) 위에 제조되는 투명 전극을 지지하기 위한 모재 기판으로, 유연성이 없는 유리 기판, 사파이어 기판과 같은 투명 기판이 사용되거나 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리카보네이트(PC), 폴리에틸렌술폰(PES), 폴리이미드(PI), 폴리아릴레이트(PAR), 폴리싸이클릭올레핀(PCO), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 가교형 에폭시(crosslinking type epoxy), 가교형 우레탄 필름(crosslinking type urethane)와 같은 플렉시블 투명 기판이 사용될 수 있다. 바람직하게 본 발명에 따The
상기 제1 티티늄 산화물층(121)은 상기 기판(110) 상에 형성된다. 상기 제1 티타늄 산화물층(121)은 티타늄 산화물로 이루어짐에 따라 상대적으로 우수한 고굴절율, 가시광선 영역에 대한 우수한 광투과도 및 화학적 안전성을 가질 수 있다.The first
상기 실버(Ag)층(130)은 상기 제1 티타늄 산화물층(121)에 형성된다. 상기 실버(Ag)층(130)은 상대적으로 높은 전기 전도도를 갖는 반면에 광학적으로 상대적으로 낮은 광투과도를 가지는 문제가 있다. 따라서, 상대적은 낮은 광투과도를 갖는 상기 실버(Ag)층(130)은 가능한 한 얇은 두께, 예를 들면 10 nm 이하의 두께를 가지도록 요구되고 있다. 하지만, 상기 실버(Ag)층(130)은 상대적으로 높은 전기 전도도를 가짐에 따라 상기 다층 투명 전극 구조물(100)의 면저항을 감소시키는 기능을 할 수 있다.The silver (Ag)
상기 제2 티타늄 산화물층(122)은 상기 실버(Ag)층(130) 상에 형성된다. 상기 제2 티타늄 산화물층(122)은 상기 제1 티타늄 산화물층(121)과 실질적으로 동일한 물질로 이루어 질 수 있다. 상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층들(121, 122)은 상호 동일한 두께를 가질 수 있도록 구비될 수 있다.The second
하지만 본 발명의 실시예들에 따른 상기 실버(Ag)층(130)은 18 내지 22 nm 의 두께를 가진다. 이 경우, 상기 실버(Ag)층(130)이 단독으로 투명 전극으로 사용될 경우 상술한 바와 같이 낮은 광투과도를 가짐에 따라 투명 전극으로 사용되기에는 적합하지 않은 문제를 갖니다. However, the silver (Ag)
하지만, 본 발명의 실시예들에 따른 다층 투명 전극 구조물(100)은 상기 실버(Ag)층(130)이 상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층들(121, 122) 사이에 샌드위치 방식으로 개재된다. 상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층들(121, 122) 각각은 상기 실버(Ag)층(130)에 대하여 1.50 내지 2.25배의 두께 비를 가질 수 있다. 이로써 상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층들(121, 122) 및 상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층들(121, 122) 사이에 샌드위치 방식으로 개재된 실버(Ag)층(130)을 포함하는 다층 투명 전극 구조물(100)은 상기 실버(Ag)층(130)의 상대적인 높은 두께를 가짐에 따라 전기 전도성이 개선될 수 있다. 나아가, 상기 실버(Ag)층(130)이 상대적인 높은 두께를 가짐에도 불구하고, 제1 및 제2 티타늄 산화물층들(121, 122) 각각은 상기 실버(Ag)층(130)에 대하여 1.50 내지 2.25배의 두께 비(thickness ratio)를 가짐에 따라 상기 다층 투명 전극 구조물(100)이 개선된 광투과도를 가질 수 있다.However, the multi-layer
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 실버(Ag)층(130)은 18 내지 22 nm 의 두께를 가질 경우, 상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층들(121, 122)은 35 내지 45 nm 의 두께를 각각 가질 수 있다.
In one embodiment of the present invention, when the silver (Ag)
다층 투명 전극 구조물에 대한 평가Evaluation of multilayer transparent electrode structure
유리 기판(1.5×1.5 cm2) 상에 RF 스퍼터링 공정을 통하여 제1 티타늄 산화물층, 실버층 및 제2 티타늄 산화물층이 순차적으로 형성되었다. 세라믹 티타늄산화물 타겟(순도 99.999%) 및 실버 타겟(순도 99.99%)이 상온에서 1×10-6 의 압력 조건에서 이용되었다. 90W RF 전력 및 30W RF 전력이 각각 티타늄 산화물 및 실버층을 형성하는 데 적용되었다. 상기 실버층은 19 nm 의 두께로 고정되었으며, 제1 및 제2 티타늄 산화물층 각각의 두께가 10 내지 50 nm 로 변경함으로써 다층 투명 전극 구조물들이 각각 형성되었다. 이에 대하여 아래의 표1로 정리하였다.A first titanium oxide layer, a silver layer and a second titanium oxide layer were sequentially formed on a glass substrate (1.5 x 1.5 cm 2 ) through an RF sputtering process. A ceramic titanium oxide target (purity 99.999%) and a silver target (purity 99.99%) were used at a pressure of 1 x 10 -6 at room temperature. A 90W RF power and 30W RF power were applied to form the titanium oxide and silver layer, respectively. The silver layer was fixed to a thickness of 19 nm and multilayer transparent electrode structures were formed by changing the thickness of each of the first and second titanium oxide layers to 10 to 50 nm. This is summarized in Table 1 below.
면저항을 측정하기 위하여 4 포인트 프로브 기술이 적용되었으며, UV/visible spectrometer (UV-1800, Shimadzu 社)를 이용하여 가시광선 영역에 대한 광투과도를 측정하였다. The 4-point probe technique was applied to measure the sheet resistance and the light transmittance was measured in the visible region using a UV / visible spectrometer (UV-1800, Shimadzu).
도 2는 도 1의 다층 투명 전극 구조물에 대한 투자 전자 현미경 사진이다.2 is an investment electron micrograph of the multilayer transparent electrode structure of FIG.
도 2를 참조하면, 상기 공정들을 통하여 유리 기판 상에 제1 티타늄 산화물층/실버층/제2 티타늄 산화물층이 순차적으로 형성됨으로써 다층 투명 전극 구조물이 형성됨을 확인할 수 있다. Referring to FIG. 2, it can be seen that a multilayer transparent electrode structure is formed by sequentially forming the first titanium oxide layer / silver layer / second titanium oxide layer on the glass substrate through the above processes.
도 3은 도 1의 다층 투명 전극 구조물의 광파장에 따른 광투과도를 나타내는 그래프이다.3 is a graph showing light transmittance according to a light wavelength of the multilayer transparent electrode structure of FIG.
도 3을 참조하면, 제1 및 제2 티타늄 산화물층 각각의 두께가 변화함에도 불구하고, 광투과도는 전반적으로 최대값에 도달한 후 파장이 증가함에 따라 점차적으로 감소함을 확인할 수 있다. 또한 상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층 각각의 두께가 증가함에 따라 투과창의 넓어지며, 점점 작은 에너지를 향하여 이동되어진다. 특히, 50nm 두께를 갖도록 제1 및 제2 티타늄 산화물층 각각이 형성될 경우 375nm 이하의 파장의 빛에 대하여 가장 넓은 투과 최저값을 나타냄을 확인할 수 있다. Referring to FIG. 3, although the thickness of each of the first and second titanium oxide layers varies, the light transmittance gradually decreases as the wavelength increases after reaching the maximum value. Also, as the thickness of each of the first and second titanium oxide layers increases, the transmission window widens and is moved toward smaller energy. In particular, when each of the first and second titanium oxide layers is formed to have a thickness of 50 nm, it can be confirmed that the transmittance and the minimum transmittance are the largest for the light having a wavelength of 375 nm or less.
도 4는 도 1의 다층 투명 전극 구조물에 포함된 제1 및 제2 티타늄 산화물층들 각각의 두께 변화에 따른 저항 및 면저항을 나타내는 그래프이다.FIG. 4 is a graph showing resistance and sheet resistance of each of the first and second titanium oxide layers included in the multilayered transparent electrode structure of FIG. 1 according to the thickness variation; FIG.
도 4를 참조하면, 모든 경우 3.9 내지 4.4 Ω cm 범위의 면저항 값을 가짐을 확인할 수 있다. 또한 제1 및 제2 티타늄 산화물층들 각각이 10 nm 의 두께를 가질 경우 1.3×10- 5 의 저항을 가지며, 50 nm 의 두께를 가질 경우 5.0×10- 5 의 저항을 가짐을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 4, it can be seen that the sheet resistance value in all cases is in the range of 3.9 to 4.4 Ω cm. In addition, the first and second titanium oxide layers in each case the have a thickness of 10 nm 1.3 × 10 - can be identified by having a resistance of 5 - has a resistance of 5, if having a thickness of 50 nm 5.0 × 10.
도 5는 도 1의 다층 투명 전극 구조물에 포함된 제1 및 제2 티타늄 산화물층들 각각의 두께 변화에 따른 성능 지수를 나타내는 그래프이다. FIG. 5 is a graph showing a figure of merit according to changes in the thickness of each of the first and second titanium oxide layers included in the multilayer transparent electrode structure of FIG. 1;
상기 성능 지수(φTC)는 아래의 식으로 정의될 수 있다.The figure of merit? TC can be defined by the following equation.
φTC = Tav 10/Rsh φ TC = T av 10 / R sh
여기서, Tav는 평균 광투과도를 나타내며, Rsh 는 면저항을 나타낸다.
Here, T av represents the average light transmittance and R sh represents the sheet resistance.
상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층들 각각이 40 nm 의 두께를 가질 경우 가장높은 성능 지수를 가짐을 확인할 수 있다. 이와 다르게, 상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층들 각각이 10 nm, 20 nm 및 50 nm의 두께를 가질 경우, 성능 지수는 급격하게 감소함을 확인할 수 있다.It can be confirmed that each of the first and second titanium oxide layers has the highest figure of merit when each of the first and second titanium oxide layers has a thickness of 40 nm. Alternatively, when each of the first and second titanium oxide layers has a thickness of 10 nm, 20 nm, and 50 nm, the figure of merit decreases sharply.
본 발명의 실시예들에 따른 다층 투명 전극 구조물은 플렉서블한 폴리머 기판에도 사용가능하며, 비틀림과 꺾임 속에서도 전기적 특성을 유지할 수 있다. 또한 ITO 기반의 투명 전극 소재를 대체할 수 있으며 이를 통하여 제조 단가를 낮추는 효과까지 얻을 수 있다. 스마트폰 이후 시계 및 안경 속에 삽입되는 디스플레이 외에 입는 의류에도 사용 가능한 투명전극으로 활용할 수 있다. 보다 상세하게는, 본 발명의 실시예들에 따른 다층 투명 전극 구조물은 유기태양전지 투명 전극, 버퍼 일체형 유기태양전지의 투명 전극, 플렉서블 염료감응 태양전지의 일체형 투명 전극, 유기발광다이오드(OLED)의 투명전극, 투명 디스플레이용 투명 전극, 웨어러블 디스플레이용 투명 전극 및 플렉서블 디스플레이용 투명 전극 등에 적용될 수 있다.The multilayered transparent electrode structure according to embodiments of the present invention can be used for a flexible polymer substrate, and can maintain electrical characteristics even during twisting and bending. In addition, it is possible to replace the ITO-based transparent electrode material, thereby lowering the manufacturing cost. It can be used as a transparent electrode that can be used for wearing clothing as well as a display inserted in a watch or a spectacle after a smart phone. More specifically, the multilayered transparent electrode structure according to embodiments of the present invention may include a transparent electrode of an organic solar cell, a transparent electrode of a buffer-integrated organic solar cell, a transparent electrode of a flexible dye-sensitized solar cell, an organic light emitting diode (OLED) A transparent electrode, a transparent electrode for a transparent display, a transparent electrode for a wearable display, and a transparent electrode for a flexible display.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.
Claims (4)
상기 기판 상에 형성되며, 티타늄 산화물로 이루어진 제1 티타늄 산화물층;
상기 제1 티타늄 산화물층 상에 형성되고, 18 내지 22 nm의 두께를 갖는 실버(Ag)층; 및
상기 실버(Ag)층 상에 형성되며, 티타늄 산화물로 이루어진 제2 티타늄 산화물층을 포함하고,
상기 제1 및 제2 티타늄 산화물층들 각각은 상기 실버(Ag)층에 대하여 1.50 내지 2.25배의 두께비를 갖는 것을 특징으로 하는 다층 투명 전극 구조물.Board;
A first titanium oxide layer formed on the substrate, the first titanium oxide layer being made of titanium oxide;
A silver (Ag) layer formed on the first titanium oxide layer and having a thickness of 18 to 22 nm; And
A second titanium oxide layer formed on the silver (Ag) layer and made of titanium oxide,
Wherein each of the first and second titanium oxide layers has a thickness ratio of 1.50 to 2.25 times the silver (Ag) layer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140173342A KR20160067666A (en) | 2014-12-04 | 2014-12-04 | Structure of a multi-layered transparent electrode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140173342A KR20160067666A (en) | 2014-12-04 | 2014-12-04 | Structure of a multi-layered transparent electrode |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20160067666A true KR20160067666A (en) | 2016-06-14 |
Family
ID=56191868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020140173342A Ceased KR20160067666A (en) | 2014-12-04 | 2014-12-04 | Structure of a multi-layered transparent electrode |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20160067666A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180028601A (en) * | 2016-09-09 | 2018-03-19 | 주식회사 엘지화학 | Method for Screening a Conductive Laminate in Roll to Roll process |
| KR20180086604A (en) * | 2017-01-23 | 2018-08-01 | 동우 화인켐 주식회사 | High performance film type touch sensor and manufacturing method thereof |
-
2014
- 2014-12-04 KR KR1020140173342A patent/KR20160067666A/en not_active Ceased
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180028601A (en) * | 2016-09-09 | 2018-03-19 | 주식회사 엘지화학 | Method for Screening a Conductive Laminate in Roll to Roll process |
| KR20180086604A (en) * | 2017-01-23 | 2018-08-01 | 동우 화인켐 주식회사 | High performance film type touch sensor and manufacturing method thereof |
| US10685203B2 (en) | 2017-01-23 | 2020-06-16 | Dongwoo Fine-Chem Co., Ltd. | High-performance film-type touch sensor and method of fabricating the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10826004B2 (en) | Flexible display panel and display apparatus | |
| TWI637307B (en) | Touch window and touch device including the same | |
| CN108110028B (en) | OLED integrated touch sensor and OLED image display device comprising same | |
| CN107705883B (en) | Transparent electrode, touch sensor comprising same and image display device | |
| CN103295668A (en) | Coating type transparent conductive film structure and application thereof | |
| US10170712B2 (en) | Articles having flexible substrates | |
| KR101145916B1 (en) | Method for manufacturing flexible multilayer transparent eletrode | |
| US20160268479A1 (en) | Multi-layered transparent electrode having metal nano hole pattern layer | |
| WO2014073666A1 (en) | Capacitive touch sensor, manufacturing method therefor, and display device | |
| US20160320872A1 (en) | Touch sensor device and manufacturing method thereof | |
| US20090051668A1 (en) | Touch Panel Structure | |
| Faraco et al. | Ecological biosubstrates obtained from onion pulp (Allium cepa L.) for flexible organic light-emitting diodes | |
| KR101980728B1 (en) | Conductive structure body, method for manufacturing thereof, touch panel comprising thereof and display device comprising thereof | |
| KR20160067666A (en) | Structure of a multi-layered transparent electrode | |
| US20140131065A1 (en) | Touch electrode device | |
| CN104571721B (en) | A kind of transparent conductive oxide pattern blanking structure, touch panel and display device | |
| JP2014198423A (en) | Transparent electrode-fitted substrate | |
| US20140293143A1 (en) | Touch panel and electronic device | |
| KR101712261B1 (en) | Multi-layered electrode structure | |
| KR101465071B1 (en) | A flexible transparent electrode using cesium and a flexible transparent electrode produced thereby | |
| CN104637573B (en) | Conductive film structure | |
| KR101816972B1 (en) | Transparent electrode with TiO2/Ag/TiO2 multilayered structure and method for preparing the same | |
| KR101892542B1 (en) | Transparent electrode | |
| KR101782691B1 (en) | Transparent electrode with IGZO/Ag/IGZO multilayered structure and method for preparing the same | |
| Guo et al. | High-quality-factor flexible and transparent capacitors with Cr–Au nanomeshes as bottom electrodes |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20141204 |
|
| PA0201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20160520 Patent event code: PE09021S01D |
|
| PG1501 | Laying open of application | ||
| E601 | Decision to refuse application | ||
| PE0601 | Decision on rejection of patent |
Patent event date: 20161226 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20160520 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |