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KR20160037056A - Ultraviolet lamp - Google Patents

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KR20160037056A
KR20160037056A KR1020150027131A KR20150027131A KR20160037056A KR 20160037056 A KR20160037056 A KR 20160037056A KR 1020150027131 A KR1020150027131 A KR 1020150027131A KR 20150027131 A KR20150027131 A KR 20150027131A KR 20160037056 A KR20160037056 A KR 20160037056A
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KR
South Korea
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amalgam
ultraviolet
tube
ultraviolet lamp
inner tube
Prior art date
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Ceased
Application number
KR1020150027131A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
고키 히노
아츠시 후지오카
아키히코 다우치
Original Assignee
도시바 라이텍쿠 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 도시바 라이텍쿠 가부시키가이샤 filed Critical 도시바 라이텍쿠 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 길이방향 단면에서의 둘레방향의 조도분포의 불균일을 억제한 자외선 램프를 제공한다.
실시형태에 따르면, 내직경이 13~17㎜이고 내부에 방전공간(12)이 설치되도록 양단이 봉지된 내부관(11)과, 방전공간(12)의 양단에 설치된 한쌍의 전극(16a, 16b)과, 방전공간(12)에 봉입된 수은을 포함하는 아말감(13)과, 양단으로부터 연장되어 형성된 플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)를 갖고, 제1 자외광을 방사하는 발광관(10)과; 발광관(10)과 공간(30)을 개재하여 설치되고, 플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)와 접속되며, 제1 자외광이 조사되고 제1 자외광보다 파장이 긴 제2 자외광을 방출하는 형광체층(20)을 갖는 외부관(21);을 구비하고, 단위길이당 램프입력밀도가 0.5~4W/㎝이다.
The present invention provides an ultraviolet lamp in which variations in the illuminance distribution in the circumferential direction in the longitudinal cross section are suppressed.
According to the embodiment, an inner tube 11 having an inner diameter of 13 to 17 mm and sealed at its both ends so as to have a discharge space 12 therein, and a pair of electrodes 16a and 16b An amalgam 13 containing mercury enclosed in the discharge space 12 and flare parts 15a, 15a, 15b and 15b extending from both ends, 10); 15a, 15b, and 15b, which are provided through the arc tube 10 and the space 30 and are connected to the flare portions 15a, 15a, 15b, and 15b. The second ultraviolet light, which is irradiated with the first ultraviolet light and has a wavelength longer than that of the first ultraviolet light And an outer tube (21) having a phosphor layer (20) that emits light, and the lamp input density per unit length is 0.5 to 4 W / cm.

Description

자외선 램프{ULTRAVIOLET LAMP}ULTRAVIOLET LAMP

본 발명은 자외선 램프에 관한 것이다.The present invention relates to an ultraviolet lamp.

예를 들어, 형광체가 양광주나 수은가스에 접촉되는 위치로부터 이격하여 설치된 이중관 구조의 형광램프가 개시되어 있다.For example, a fluorescent lamp having a double-tube structure is disclosed in which the fluorescent material is spaced apart from a position where the fluorescent material contacts the positive or negative mercury gas.

일본 공개특허공보 평10-112286호Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-112286

본 발명의 실시형태는 길이방향 단면에서의 둘레방향의 조도분포의 불균일을 억제한 자외선 램프를 제공한다.An embodiment of the present invention provides an ultraviolet lamp in which variations in the illuminance distribution in the circumferential direction in the longitudinal cross section are suppressed.

본 발명의 실시형태에 따르면, 내직경이 13~17㎜이고 내부에 방전공간이 설치되도록 양단이 봉지된 내부관, 방전공간의 양단에 설치된 한쌍의 전극, 방전공간에 봉입된 수은을 포함하는 아말감, 및 양단으로부터 연장되어 형성된 플레어부를 구비하고, 제1 자외광을 방사하는 발광관과; 발광관과 공간을 개재하여 설치되고 플레어부와 접속되며, 제1 자외광이 조사되고, 제1 자외광보다 파장이 긴 제2 자외광을 방출하는 형광체층을 갖는 외부관;을 구비하며, 단위길이당의 램프입력밀도가 0.5~4W/㎝이다.According to the embodiment of the present invention, there is provided an internal tube having an inner diameter of 13 to 17 mm and sealed at its both ends so as to have a discharge space therein, a pair of electrodes provided at both ends of the discharge space, an amalgam containing mercury And a flare part extending from both ends, the light emission tube radiating the first ultraviolet light; And an outer tube having a phosphor layer which is provided between the light emitting tube and the space and is connected to the flare section and which emits the first ultraviolet light and emits second ultraviolet light having a wavelength longer than that of the first ultraviolet light, The lamp input density per length is 0.5 to 4 W / cm.

발명의 실시형태에 따르면, 길이방향 단면에서의 둘레방향의 조도분포의 불균일을 억제한 자외선 램프를 제공할 수 있다.According to the embodiments of the present invention, it is possible to provide an ultraviolet lamp in which variations in the illuminance distribution in the circumferential direction in the longitudinal cross section are suppressed.

도 1의 (a) 및 (b)는 제1 실시형태에 관한 자외선 램프를 예시하는 모식도이다.
도 2는 제1 실시형태에 관한 자외선 램프를 예시하는 모식적 단면도이다.
도 3은 제1 실시형태에 관한 자외선 램프의 종래 예에 관한 자외선 램프를 예시하는 모식도이다.
도 4는 제1 실시형태에 관한 자외선 램프 및 종래 예에 관한 자외선 램프의 조도분포를 도시한 도면이다.
도 5는 제2 실시형태에 관한 자외선 램프를 예시하는 모식도이다.
도 6은 제3 실시형태에 관한 자외선 램프를 예시하는 모식도이다.
1 (a) and 1 (b) are schematic diagrams illustrating an ultraviolet lamp according to the first embodiment.
2 is a schematic cross-sectional view illustrating an ultraviolet lamp according to the first embodiment.
3 is a schematic diagram illustrating an ultraviolet lamp according to a conventional example of the ultraviolet lamp according to the first embodiment.
4 is a view showing the illuminance distribution of the ultraviolet lamp according to the first embodiment and the ultraviolet lamp according to the conventional example.
5 is a schematic diagram illustrating an ultraviolet lamp according to the second embodiment.
6 is a schematic diagram illustrating an ultraviolet lamp according to the third embodiment.

이하에서 설명하는 실시형태에 관한 자외선 램프(110, 120, 130)는 내직경이 13~17㎜이고, 내부에 방전공간(12)이 설치되도록 양단이 봉지된 내부관(11)과, 방전공간(12)의 양단에 설치된 한쌍의 전극(16a, 16b)과, 방전공간(12)에 봉입된 수은을 포함하는 아말감(13)과, 양단으로부터 연장되어 형성된 플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)를 갖고, 제1 자외광을 방사하는 발광관(10)과; 발광관(10)과 공간(3)을 개재하여 설치되고, 플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)와 접속되며, 제1 자외광이 조사되고 제1 자외광보다 파장이 긴 제2 자외광을 방출하는 형광체층(20)을 갖는 외부관(21);을 구비하고, 단위길이당 램프입력밀도가 0.5~4W/㎝이다.The ultraviolet lamps 110, 120, and 130 according to the embodiments to be described below have an internal tube 11 having an inner diameter of 13 to 17 mm and sealed at both ends so as to have a discharge space 12 therein, An amalgam 13 including mercury enclosed in the discharge space 12 and a pair of electrodes 16a and 16b provided at both ends of the flare part 15a, 15a, 15b and 15b An arc tube 10 for emitting the first ultraviolet light; 15a, 15b, and 15b, which are disposed through the arc tube 10 and the space 3 and are connected to the flare portions 15a, 15a, 15b, and 15b. The second ultraviolet light And an outer tube (21) having a phosphor layer (20) that emits light, and the lamp input density per unit length is 0.5 to 4 W / cm.

또한, 이하에서 설명하는 실시형태에 관한 자외선 램프(110, 120, 130)는 아말감(13)에서의 수은의 봉입량이 0.03~3중량%이다.In the ultraviolet lamps 110, 120, and 130 according to the embodiments described below, the amount of mercury enclosed in the amalgam 13 is 0.03 to 3% by weight.

또한, 이하에서 설명하는 실시형태에 관한 자외선 램프(110, 120, 130)는 아말감(13)에 티탄, 인듐, 주석, 비스무트, 아연 중 어느 하나를 포함한다.The ultraviolet lamps 110, 120, and 130 according to the embodiments described below include any one of titanium, indium, tin, bismuth, and zinc in the amalgam 13.

또한, 이하에서 설명하는 실시형태에 관한 자외선 램프(110, 120, 130)는 공간(30)에 봉입되는 가스가 네온, 아르곤, 질소 중 어느 것, 또는 2종 이상의 혼합가스가 97.1㎪ 이상 봉입된다.In the ultraviolet lamps 110, 120, and 130 according to the embodiments described below, the gas enclosed in the space 30 is filled with any one of neon, argon, nitrogen, .

이하에, 본 발명의 각 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.Hereinafter, each embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

(제1 실시형태)(First Embodiment)

도 1의 (a) 및 (b)는 제1 실시형태에 관한 자외선 램프를 예시하는 모식도이다. 도 1의 (a)는 자외선 램프(110)를 예시하고 있다. 도 1의 (b)는 도 1의 (a)의 파선부 A를 확대하여 예시하고 있다. 또한, 도 2는 도 1의 (a)의 B1-B2선 단면도이다.1 (a) and 1 (b) are schematic diagrams illustrating an ultraviolet lamp according to the first embodiment. Fig. 1 (a) illustrates the ultraviolet lamp 110. Fig. Fig. 1 (b) is an enlarged view of the wavefront A of Fig. 1 (a). 2 is a sectional view taken along the line B1-B2 in Fig. 1 (a).

도 1의 (a), (b) 및 도 2에 나타낸 바와 같이 본 실시형태에 관한 자외선 램프(110)는 발광관(10)과, 형광체층(20)을 포함한다.As shown in Figs. 1A and 1B and Fig. 2, the ultraviolet lamp 110 according to the present embodiment includes a light emitting tube 10 and a phosphor layer 20.

본 실시형태에서는 발광관(10)으로서 열음극 방전램프를 사용한 실시형태를 예시하고 있다.In the present embodiment, an embodiment using a hot cathode discharge lamp as the arc tube 10 is illustrated.

이 예에서 발광관(10)은 내부관(11)을 포함한다. 내부관(11)의 내부에 방전공간(12)이 설치된다. 방전공간(12)에는 예를 들어 수은의 합금인 아말감(13)이나 희가스(도시하지 않음)가 봉입된다.In this example, the arc tube 10 comprises an inner tube 11. A discharge space (12) is provided inside the inner tube (11). In the discharge space 12, for example, an amalgam 13, which is an alloy of mercury, or a rare gas (not shown) is sealed.

이 예에서 내부관(11)은 직관(直管)이다. 내부관(11)은 방전공간(12)을 기밀하게 유지한다. 내부관(11)은 자외선을 투과하는 재료로 구성되어 있고, 예를 들어 석영 유리로 구성되어 있다.In this example, the inner tube 11 is a straight tube. The inner tube 11 keeps the discharge space 12 airtight. The inner tube 11 is made of a material that transmits ultraviolet rays, and is made of, for example, quartz glass.

아말감(13)은 수은을 포함하는 합금이고, 아말감(13)의 일부가 용융함으로써 방전공간(12)으로 수은을 방출한다. 아말감(13)은 예를 들어 수은-주석-인듐-티탄의 4원소계이고, 수은이 0.3중량%, 주석이 1.2중량%, 인듐이 91.6중량%, 티탄이 6.9중량%이다. 아말감(13)의 봉입량은 예를 들어 0.05~10g이다. 아말감(13)은 제1 전극(16a)으로부터 방전공간(12)측으로 이격하여 배치되어 있다. 또한, 아말감(13)의 조성은 상기에 한정되지 않고, 예를 들어 수은에 티탄, 인듐, 비스무트, 주석, 아연 중 어느 것, 또는 2종 이상의 합금으로 설치되어 있어도 좋고, 조성비가 상기와 달라도 좋다.The amalgam 13 is an alloy containing mercury, and a part of the amalgam 13 melts and discharges mercury into the discharge space 12. The amalgam 13 is, for example, a tetrahedron system of mercury-tin-indium-titanium, and contains 0.3% by weight of mercury, 1.2% by weight of tin, 91.6% by weight of indium and 6.9% by weight of titanium. The amount of the amalgam 13 to be enclosed is, for example, 0.05 to 10 g. The amalgam 13 is disposed so as to be spaced apart from the first electrode 16a toward the discharge space 12 side. The composition of the amalgam 13 is not limited to the above. For example, the amalgam 13 may be formed of any one of titanium, indium, bismuth, tin and zinc, or two or more kinds of alloys in mercury, .

희가스는 자외선 램프(110)에 봉입된 아말감(13)을 구성하는 수은이 방전에 의해 발광할 때, 수은을 여기시키기 위해 사용된다. 희가스는 수은의 준안정전압보다도 약간 낮은 희가스(아르곤)를 첨가하여 램프의 시동전압을 저하시키는 것(페닝효과)에 의해 수은을 여기시켜 방전을 개시하고, 방전의 시동시에 방전을 촉진시켜 방전개시후에 방전유지에 기여한다. 희가스의 압력은 예를 들어 0.132~13.2㎪(0.1~10torr)이다. 또한, 희가스는 네온, 아르곤, 크립톤 중 어느 1종, 또는 2종 이상의 혼합가스이어도 좋다.The rare gas is used for exciting mercury when the mercury constituting the amalgam 13 enclosed in the ultraviolet lamp 110 emits light by discharge. The rare gas is discharged by initiating discharging by exciting mercury by decreasing the starting voltage of the lamp by adding rare gas (argon), which is slightly lower than the metastable voltage of mercury, and discharging is accelerated at the start of discharging, And contributes to discharge maintenance after initiation. The pressure of the rare gas is, for example, 0.132 to 13.2 kPa (0.1 to 10 torr). The rare gas may be any one of neon, argon, and krypton, or a mixture of two or more gases.

내부관(11)은 일단에 설치된 봉지부(14a)와, 타단에 설치된 봉지부(14b)를 갖는다. 봉지부(14a)에는 봉지부(14a)로부터 연장되어 플레어부(15a, 15a)가 설치된다. 또한, 봉지부(14b)에는 봉지부(14b)로부터 연장되어 플레어부(15b, 15b)가 설치된다. 또한, 봉지부(14a)에는 제1 전극(16a)이, 그 일부분이 매설되어 설치된다. 또한, 봉지부(14b)에는 제2 전극(16b)이, 그 일부분이 매설되어 설치된다.The inner tube 11 has an encapsulation portion 14a provided at one end and an encapsulation portion 14b provided at the other end. The sealing portion 14a is provided with flare portions 15a and 15a extending from the sealing portion 14a. The sealing portion 14b is provided with flare portions 15b and 15b extending from the sealing portion 14b. In addition, a first electrode 16a is embedded in the sealing portion 14a, and a part of the first electrode 16a is embedded. A second electrode 16b is embedded in the sealing portion 14b, and a part of the second electrode 16b is embedded in the sealing portion 14b.

봉지부(14a, 14b)에는 내부관(11)과 동일한 재료가 사용된다.The same material as the inner tube 11 is used for the sealing portions 14a and 14b.

플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)는 봉지부(14a, 14b)로부터 연장되어 형성된다. 플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)는 봉지부(14)와 동일한 재료, 즉 내부관(11)과 동일한 재료가 사용되고 있다.Flare portions 15a, 15a, 15b and 15b are formed extending from the sealing portions 14a and 14b. The flare parts 15a, 15a, 15b and 15b are made of the same material as the sealing part 14, that is, the same material as the inner tube 11 is used.

제1 전극(16a)은 예를 들어 필라멘트(17a), 리드선(18a, 18a), 금속박(19a, 19a)을 포함한다.The first electrode 16a includes, for example, a filament 17a, lead wires 18a and 18a, and metal foils 19a and 19a.

필라멘트(17a)는 예를 들어 코일을 3중으로 감은, 소위 트리플 코일이다. 필라멘트(17a)에는 예를 들어 텅스텐이 사용된다. 또한, 전자방사성을 좋게 하기 위해, 필라멘트(17a)의 코일의 간극에는 에미터(도시하지 않음)가 도포되어 있다. 에미터에는 예를 들어 칼슘, 바륨, 지르코늄 및 스트론튬 중 적어도 어느 하나의 탄산염 등이 사용된다.The filament 17a is, for example, a so-called triple coil in which the coil is wound in triplicate. For example, tungsten is used as the filament 17a. In addition, an emitter (not shown) is applied to the gap of the coil of the filament 17a in order to improve the electron radioactivity. As the emitter, for example, carbonates of at least one of calcium, barium, zirconium and strontium are used.

리드선(18a, 18a)은 일단에서 필라멘트(17a)를 지지하여 접속되고, 타단이 금속박(19a)과 접속된다. 리드선(18a, 18a)에는 예를 들어 몰리브덴봉이 사용된다.The lead wires 18a and 18a are connected at one end to support the filament 17a and at the other end to the metal foil 19a. For example, a molybdenum rod is used for the lead wires 18a and 18a.

금속박(19a, 19a)은 봉지부(14a)에 매설되고, 봉지부(14a)가 봉지됨으로써, 내부관(11)의 내부를 기밀하게 유지한다. 금속박(19a, 19a)의 일단에는 리드선(18a, 18a)이 접속되고, 금속박(19a, 19a)의 타단에는 후술하는 외부 리드선(31a, 31a)이 접속된다. 금속박(19a, 19a)에 의해 내부관(11)의 내부와 외부의 전기적 접속을 얻는다. 금속박(19a, 19a)의 선 팽창계수는 예를 들어 내부관(11)의 선팽창 계수와 실질적으로 동등하다. 금속박(19a, 19a)에는 예를 들어 몰리브덴이 사용된다.The metal foils 19a and 19a are buried in the sealing portion 14a and the sealing portion 14a is sealed so that the inside of the inner tube 11 is kept airtight. Lead wires 18a and 18a are connected to one ends of the metal foils 19a and 19a and outer lead wires 31a and 31a to be described later are connected to the other ends of the metal foils 19a and 19a. And the inside and outside of the inner tube 11 are electrically connected by the metal foils 19a and 19a. The linear expansion coefficients of the metal foils 19a and 19a are substantially equal to the linear expansion coefficient of the inner tube 11, for example. For example, molybdenum is used for the metal foils 19a and 19a.

제2 전극(16b)(제1 전극(16a)과 좌우 대칭이므로, 도시하지 않음)에는 제1 전극(16a)과 동일한 구성이 적용된다. 즉, 제2 전극(16b)은 필라멘트(17b), 리드선(18b, 18b), 금속박(19b, 19b)을 포함한다.The same configuration as that of the first electrode 16a is applied to the second electrode 16b (which is symmetrical with respect to the first electrode 16a, not shown). That is, the second electrode 16b includes a filament 17b, lead wires 18b and 18b, and metal foils 19b and 19b.

이와 같이, 발광관(10)은 방전공간(12)을 포함하고, 수은휘선을 포함하는 제1 자외광을 방사한다. 제1 자외광은 253.7㎚의 수은휘선을 포함한다.Thus, the arc tube 10 includes the discharge space 12 and emits the first ultraviolet ray including the mercury ray. The first ultraviolet light includes a mercury line of 253.7 nm.

형광체층(20)은 내부관(11)의 외측에 설치된다. 이 예에서는 방전공간(12)과 형광체층(20) 사이에, 내부관(11)의 벽부가 설치됨으로써, 방전공간(12)과 형광체층(20)은 서로 이격된다. 이 예에서는 형광체층(20)과 내부관(11) 사이에, 추가로 공간(30)이 설치된다. 공간(30)에는 불활성 가스(예를 들어 네온 가스, 아르곤 가스, 질소 가스)가 충전되어 있다.The phosphor layer 20 is provided outside the inner tube 11. In this example, the wall of the inner tube 11 is provided between the discharge space 12 and the phosphor layer 20, so that the discharge space 12 and the phosphor layer 20 are separated from each other. In this example, a space 30 is additionally provided between the phosphor layer 20 and the inner tube 11. The space 30 is filled with an inert gas (for example, neon gas, argon gas, or nitrogen gas).

이 예에서는 내부관(11) 주위에, 외부관(21)이 설치되어 있다. 외부관(21)의 내벽에, 형광체층(20)이 설치되어 있다. 외부관(21)에는 예를 들어 오존리스 석영이 사용된다.In this example, an outer tube 21 is provided around the inner tube 11. On the inner wall of the outer tube 21, a phosphor layer 20 is provided. For example, ozone-free quartz is used for the outer tube 21. [

형광체층(20)에는 발광관(10)으로부터 방사된 제1 자외광이 조사된다. 즉, 형광체층(20)은 253.7㎚의 수은휘선 중 적어도 일부를 흡수한다. 형광체층(20)은 제1 자외광과는 다른 제2 자외광을 방출한다. 제2 자외광의 파장은 제1 자외광의 파장보다 길다. 제2 자외광의 파장(피크 파장)은 예를 들어 280㎚ 이상 400㎚ 이하이다. 즉, 제2 자외광은 예를 들어 자외선이다. 이 예에서는 제2 자외광은 외부관(21)을 통과하여 외부에 방출된다. 이 예에서는 자외선의 투과율이 높은 석영을 외부관(21)에 사용함으로써, 외부관(21)에서의 자외선의 흡수를 억제할 수 있으므로 제2 자외광의 조도는 높다. 또한, 제2 자외광은 제1 자외광과 같이 단일파장의 자외광일 필요는 없고, 예를 들어 360㎚에 피크를 갖는, 280~400㎚의 넓은 분광분포를 가져도 좋다.The phosphor layer 20 is irradiated with the first ultraviolet light emitted from the light emitting tube 10. That is, the phosphor layer 20 absorbs at least a part of the mercury vapor line of 253.7 nm. The phosphor layer 20 emits second ultraviolet light different from the first ultraviolet light. The wavelength of the second ultraviolet light is longer than the wavelength of the first ultraviolet light. The wavelength (peak wavelength) of the second ultraviolet light is, for example, 280 nm or more and 400 nm or less. That is, the second ultraviolet light is, for example, ultraviolet light. In this example, the second ultraviolet light passes through the outer tube 21 and is emitted to the outside. In this example, since quartz having a high ultraviolet transmittance is used for the outer tube 21, the absorption of ultraviolet rays in the outer tube 21 can be suppressed, so that the illuminance of the second ultraviolet ray is high. The second ultraviolet light need not be a single wavelength ultraviolet light like the first ultraviolet light but may have a wide spectral distribution of 280 to 400 nm, for example, having a peak at 360 nm.

또한, 도 1의 (b)에는 본 실시형태에 관한 내부관(11)과, 외부관(21)의 접속양식, 및 외부관(21)의 밀봉을 예시하고 있다.1 (b) illustrates the connection form of the inner tube 11, the outer tube 21, and the sealing of the outer tube 21 according to the present embodiment.

도 1의 (b)에 도시한 바와 같이, 자외선 램프(110)에서 외부관(21)은 외부관 봉지부(21c, 21d)를 갖고 있다. 외부관 봉지부(21c, 21d)는 내부관(11)의 봉지부(14a, 14b)로부터 연장되어 형성된 플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)와, 외부관(21)이 봉지됨으로써 형성된다.As shown in Fig. 1 (b), in the ultraviolet lamp 110, the outer tube 21 has outer tube sealing portions 21c and 21d. The outer tubular sealing portions 21c and 21d are formed by sealing the outer tube 21 with flare portions 15a, 15a, 15b and 15b formed extending from the sealing portions 14a and 14b of the inner tube 11 .

공간(30)에는 네온 가스, 아르곤 가스, 질소 가스 중 어느 것이, 또는 2종 이상의 혼합가스가 97.1㎪ 이상 봉입된다. 또한, 공간(30)에 봉입되는 가스는, 열전도율이 0.016W/(m·K) 이상인 것이 바람직하다.At least one of neon gas, argon gas, and nitrogen gas, or two or more kinds of mixed gas is filled in space 30 at 97.1. Or more. Further, it is preferable that the gas enclosed in the space 30 has a thermal conductivity of 0.016 W / (mK) or more.

외부 리드선(31a, 31a)은 외부관(21) 내에 설치된 내부관(11)에, 자외선 램프(110)의 외부로부터 전력을 공급한다. 외부 리드선(31a, 31a)의 일단은 금속박(19a, 19a)과 접속된다. 외부 리드선(31a, 31a)의 타단은 외부관(21)의 외측에 노출되어 있다. 외부 리드선(31a, 31a)에는 예를 들어 몰리브덴이 사용된다.The external lead wires 31a and 31a supply electric power to the inner tube 11 provided in the outer tube 21 from the outside of the ultraviolet lamp 110. [ One ends of the external lead wires 31a and 31a are connected to the metal foils 19a and 19a. The other ends of the outer lead wires 31a and 31a are exposed to the outside of the outer tube 21. [ For example, molybdenum is used for the external lead wires 31a and 31a.

이와 같이, 본 실시형태에 관한 자외선 램프(110)는 2중관 구조를 갖는다. 2중관 구조에서는 내부관이 되는 발광관(10)의 외측에 외부관(21)이 설치된다. 발광관(10)의 방전공간 이외의 위치에, 형광체층(20)이 설치된다. 그리고, 내부관(11)의 주위는 예를 들어 네온 가스 등으로 밀폐된다.As described above, the ultraviolet lamp 110 according to the present embodiment has a double pipe structure. In the double pipe structure, the outer tube 21 is provided outside the arc tube 10, which is an inner tube. A phosphor layer 20 is provided at a position other than the discharge space of the arc tube 10. [ The periphery of the inner tube 11 is sealed with, for example, neon gas or the like.

자외선 램프는 예를 들어 액정패널의 제조공정에서 사용된다. 제조공정 중의 경화공정에서, 자외선 램프로부터 출사하는 광(예를 들어 자외선)이, 가공체에 조사된다. 이 광의 조도는 예를 들어 1mJ 이상 10,000mJ 이하이고, 광의 파장(예를 들어, 피크파장)은 예를 들어 300㎚ 이상 400㎚ 이하이다. 이와 같은 자외선을, 액정패널에 포함되는 부재가 되는 재료, 예를 들어 자외선 경화수지나 중합개시제에 조사하여 재료를 경화시키거나 분자를 중합시킴으로써, 액정패널이 제조된다.An ultraviolet lamp is used, for example, in a manufacturing process of a liquid crystal panel. In the curing step in the manufacturing process, light (for example, ultraviolet rays) emitted from an ultraviolet lamp is irradiated on the processed body. The light intensity of this light is, for example, 1 mJ or more and 10,000 mJ or less, and the wavelength of light (for example, peak wavelength) is, for example, 300 nm or more and 400 nm or less. A liquid crystal panel is produced by irradiating such ultraviolet rays to a material to be a member included in the liquid crystal panel, for example, a UV curable resin or a polymerization initiator to cure the material or polymerize the molecules.

여기에서, 열음극 자외선 램프(110)의 내부관(11)은 그 내직경이 13~17㎜인 것이 바람직하다. 이는 단위길이당 램프입력밀도(W/㎝)를 0.5~4의 범위에서 발광관(10)을 점등시킬 때, 내부관(11)의 내직경이 13~17㎜의 범위에 있으면, 수은의 증기압을 원하는 범위로 정리할 수 있어, 자외선의 발광강도를 적절하게 유지할 수 있기 때문이다.Here, the inner tube 11 of the thermostatic ultraviolet lamp 110 preferably has an inner diameter of 13 to 17 mm. This is because when the inner diameter of the inner tube 11 is in the range of 13 to 17 mm when the arc tube 10 is turned on in the range of the lamp input density (W / cm) per unit length of 0.5 to 4, Can be arranged in a desired range, and the emission intensity of ultraviolet light can be appropriately maintained.

또한, 열음극 자외선 램프(110)의 단위길이당의 입력밀도(W/㎝)는 0.5~4의 범위인 것이 바람직하다. 단위길이당의 입력밀도가 0.5W/㎝를 하회하면, 자외선 조도가 저하되므로 바람직하지 않다. 한편, 단위길이당 입력밀도가 4W/㎝를 상회하면, 발광관(10)을 점등시켰을 때 발광관(10) 내에 발생하는 양광주(도시하지 않음)로부터의 복사열이 많아지고, 안에 봉입하는 수은의 증기압의 제어가 곤란해지므로 바람직하지 않다. 따라서, 단위길이당의 입력밀도는 0.5~4W/㎝인 것이 바람직하다. 또한, 여기에서 말하는 「단위길이당 램프입력밀도(W/㎝)라는 것은 열음극 자외선 램프(110)에 투입되는 램프전력(W)을, 열음극 자외선 램프(110)에서의 제1 전극(14a)으로부터 제2 전극(14b)까지의 길이, 즉 전극간 거리(㎝)로 나눈 값이다.The input density (W / cm) per unit length of the thermionic ultraviolet lamp 110 is preferably in the range of 0.5 to 4. If the input density per unit length is less than 0.5 W / cm, the ultraviolet illuminance is lowered, which is undesirable. On the other hand, if the input density per unit length exceeds 4 W / cm, the radiant heat from the light bulb (not shown) generated in the arc tube 10 when the arc tube 10 is turned on increases, It is difficult to control the vapor pressure of the liquid. Therefore, the input density per unit length is preferably 0.5 to 4 W / cm. The term "lamp input density per unit length (W / cm)" as used herein means that the lamp power W supplied to the thermo-negative ultraviolet lamp 110 is changed from the first electrode 14a in the thermo-ultraviolet lamp 110 And the length to the second electrode 14b, that is, the distance (cm) between the electrodes.

또한, 수은은 아말감으로서 봉입되는 것이 바람직하다. 본 실시형태에 관한 자외선 램프를 제공하기 위해, 램프입력밀도가 0.5~4W/㎝의 조건을 만족하도록 수은 단체를 봉입하고자 해도, 발광관에 전력을 공급했을 때 형성되는 양광주로부터의 복사열의 영향으로, 수은의 증기압이 원하는 범위를 대폭 상회하여, 수은의 증기압을 제어하는 것이 곤란하다. 그 때문에, 수은 단체보다 증기압을 낮추는 것이 가능한 아말감으로 존재하는 것이 바람직하다.Further, mercury is preferably enclosed as an amalgam. Even if an attempt is made to enclose mercury so as to satisfy the condition of the lamp input density of 0.5 to 4 W / cm, in order to provide the ultraviolet lamp according to the present embodiment, the influence of the radiant heat from the positive photoresist , It is difficult to control the vapor pressure of mercury because the vapor pressure of mercury is greatly higher than the desired range. Therefore, it is preferable that the mercury exists in an amalgam that can lower the vapor pressure than the mercury group.

여기에서, 일반 조명에 사용되는 형광램프와 동일하게, 발광관의 방전공간내에 형광체층을 설치하는 참고예와 비교한다. 본 실시형태의 자외선 램프와, 참고예의 자외선 램프를 1A로 점등했을 때에는 형광체층의 특성이 열화되기 쉬운 것을 알았다. 그 이유는 본 실시형태와 참고예의 적절한 전류값이 다르기 때문이다. 참고예의 적절한 전류값은 0.8A 정도이다. 한편, 본 실시형태의 적절한 전류값은 1~4A이다. 전류값이 상승하면, 방전공간의 온도가 상승하므로 예를 들어, 가해진 온도에 의해 형광체가 열화된다. 또한, 방전공간의 온도가 상승하므로, 여기상태의 수은 또는 희가스 원소가 형광체로 보다 충돌하기 쉬워져 형광체가 열화되고, 형광체에서의 변환효율이 저하된다. 이들 요인에 의해 참고예에서는 조도가 저하되어 조도의 유지가 곤란하다.Here, like the fluorescent lamp used in the general illumination, the fluorescent lamp is compared with the reference example in which the fluorescent layer is provided in the discharge space of the arc tube. It has been found that when the ultraviolet lamp of this embodiment and the ultraviolet lamp of the reference example are turned on at 1A, the characteristics of the phosphor layer are liable to deteriorate. This is because the current values of the present embodiment and the reference example are different from each other. A suitable current value in the reference example is about 0.8A. On the other hand, the appropriate current value in this embodiment is 1 to 4A. When the current value rises, the temperature of the discharge space rises, and for example, the phosphor is deteriorated by the applied temperature. Further, since the temperature of the discharge space rises, the mercury or the rare gas element in the excited state tends to be more likely to collide with the phosphor, so that the phosphor is deteriorated and the conversion efficiency in the phosphor is lowered. Due to these factors, the illuminance is lowered in the reference example, and it is difficult to maintain the illuminance.

이와 같은 자외선을 출사하는 자외선 램프로서, 일반 조명용도의 열음극 형광램프에 사용되는, 밸브 내면에 도포되는 형광체를, 280㎚ 이상 400㎚ 이하의 파장범위에서 발광하는 형광체(UV 형광체)로 변경하는 구성이 있다. 그러나, 이 구성에서는 형광체가 일반 조명용 형광체에 비하여 열화되기 쉬운 것이, 발명자의 검토에 의해 판명되었다.As such an ultraviolet lamp that emits ultraviolet rays, a configuration in which a phosphor coated on the inner surface of a valve used in a hot-cathode fluorescent lamp for general illumination is changed to a phosphor (UV phosphor) that emits light in a wavelength range of 280 nm to 400 nm . However, it has been found by the inventor's investigation that the phosphor is liable to be deteriorated as compared with the general-purpose light-emitting phosphor in this configuration.

본 실시형태에서는 발광관(10)의 방전공간(12)과, 형광체층(20)을 이격시킨다. 이에 의해, 형광체층(20)에서의 열화를 억제할 수 있고 조도의 유지율이 높다.In this embodiment, the discharge space 12 of the arc tube 10 and the phosphor layer 20 are spaced apart from each other. Thus, deterioration in the phosphor layer 20 can be suppressed, and the maintenance ratio of the illuminance is high.

또한, 발명자가 여러가지 검토를 한 결과, 내부관(11)을 봉지부(14a, 14b)로부터 연장되어 형성된 플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)를 통하여 외부관(21)과 봉지함으로써 둘레방향의 조도분포의 불균일을 억제할 수 있는 것이 판명되었다. 그 이유로서 내부관(11)과 외부관(21)의 봉지를, 플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)를 통하여 실시함으로써 내부관(11)과 외부관(21)의 길이방향 중심축의 편심을 억제할 수 있기 때문이다.As a result of various studies by the inventors, the inner tube 11 is sealed with the outer tube 21 through the flared portions 15a, 15a, 15b, and 15b extending from the sealing portions 14a and 14b, It is possible to suppress the unevenness of the illuminance distribution of the light source. The reason for this is that the sealing of the inner tube 11 and the outer tube 21 is performed through the flare portions 15a, 15a, 15b and 15b so that the eccentricity of the longitudinal center axis of the inner tube 11 and the outer tube 21 Can be suppressed.

내부관(11)으로부터 방출된 제1 자외선은 내부관(11) 길이방향 단면에서 둘레방향으로 고르게 분포하고, 외부관(21)에 설치된 형광체층(20)에 조사된다. 이 때, 내부관(11)이 편심하여 외부관(21)에 봉지되어 있으면, 내부관(11)으로부터 방출된 제1 자외선이 내부관(11) 길이방향 단면에서 둘레방향으로 고르게 분포해도, 형광체층(20)에 조사되는 제1 자외선 분포가 고르지 않게 된다. 이 때문에, 형광체층(20)으로부터 방출되는 제2 자외선도 길이방향 단면에서의 둘레방향의 조도부포가 고르지 않게 된다. 이 때문에, 자외선 램프(110)의 장변방향 단면에서의 둘레방향의 조도분포가 고르지 않게 된다.The first ultraviolet rays emitted from the inner tube 11 are uniformly distributed in the circumferential direction in the longitudinal cross section of the inner tube 11 and irradiated to the phosphor layer 20 provided on the outer tube 21. [ At this time, if the inner tube 11 is eccentrically sealed in the outer tube 21, even if the first ultraviolet rays emitted from the inner tube 11 are uniformly distributed in the circumferential direction in the longitudinal cross section of the inner tube 11, The first ultraviolet ray distribution irradiated to the layer 20 becomes uneven. As a result, the second ultraviolet ray emitted from the phosphor layer 20 is not uniformly illuminated in the circumferential direction in the cross section in the longitudinal direction. Therefore, the illuminance distribution in the circumferential direction on the end face in the long-side direction of the ultraviolet lamp 110 becomes uneven.

한편, 내부관(11)과 외부관(21)을, 내부관(11)의 봉지부(14a, 14b)로부터 연장되어 형성된 플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)를 통하여 봉지함으로써, 내부관(11)과 외부관(21)의 길이방향 중심축의 편심을 억제할 수 있고, 상기 문제를 억제할 수 있다.Meanwhile, the inner tube 11 and the outer tube 21 are sealed through the flared portions 15a, 15a, 15b, and 15b extending from the sealing portions 14a and 14b of the inner tube 11, The eccentricity of the central axis in the longitudinal direction of the outer tube 11 and the outer tube 21 can be suppressed, and the above problem can be suppressed.

또한, 아말감(13)은 특히 수은-주석-인듐-티탄의 아말감에서의 수은의 중량%은 0.03~3.0의 범위인 것이 바람직하고, 특히 0.3중량%가 가장 좋다. 수은-주석-인듐-티탄의 아말감에서 수은이 0.3중량%이면 가장 자외선 조도가 높고, 0.03~3중량%의 범위에서는 0.5중량%일 때의 자외선 조도와 비교하여 90% 상대조도값이 얻어지기 때문이다. 또한, 램프 내부관에 포함되는 아말감의 조성은 예를 들어 열음극 자외선 램프를 액체질소로 냉각하고, 충분한 시간을 거친 후에 파괴하여 아말감을 취출하며, 아말감을 질산에 녹여 아말감이 녹은 질산 용액을 ICP(발광분광분석장치)로 정량분석을 실시함으로써 결정할 수 있다. 아말감에서의 수은의 봉입량을 0.03~3중량%로 함으로써, 또한 자외선 램프의 길이방향 단면에서의 둘레방향의 조도분포의 불균일을 억제할 수 있다.In addition, the weight percentage of mercury in the mercury-mercury-tin-indium-titanium amalgam is preferably in the range of 0.03 to 3.0, particularly 0.3 wt%. When mercury is 0.3% by weight in the mercury-tin-indium-titanium amalgam, the ultraviolet light intensity is the highest, and the 90% relative illuminance value is obtained as compared with the ultraviolet light intensity in the range of 0.03 to 3% by weight to be. In addition, the composition of the amalgam contained in the lamp inner tube can be obtained by, for example, cooling the thermoluminescent ultraviolet lamp with liquid nitrogen, breaking the amalgam after a sufficient time, extracting the amalgam, and dissolving the amalgam in the nitric acid, Emission spectrochemical analysis apparatus). By controlling the amount of mercury contained in the amalgam to be 0.03 to 3 wt.%, It is possible to suppress unevenness of the illuminance distribution in the circumferential direction in the longitudinal cross section of the ultraviolet lamp.

아말감(13)은 도 1의 (a)에 도시한 바와 같이, 자외선 램프(110)에서 발광관(10)의 내부관(11)에 설치되어 있다. 또한, 아말감(13)은 내부관(11)과 화학적인 상호 작용에 의해 결합되어 있다. 이는 아말감(13) 중에 포함되는 티탄이 영향을 주고 있다. 아말감(13) 중에 포함되는 티탄은 내부관(11)을 구성하는 석영 유리(SiO2)와 화학적으로 상호 작용하기 쉬우므로, 화학적으로 약하게 결합되어 있다. 즉, 아말감(13)은 내부관(11)과 접합되어 있다. 일반적으로 열음극 램프에서 아말감(13)은 최냉부에 설치되는 경우가 많지만, 본 실시형태와 같은 2중관의 열음극 램프에서는 외부관 내에 설치되는 내부관에 최냉부를 의도하여 설치하는 것은 곤란하다. 내부관으로부터 분기하여 최냉부를 설치하면, 외부관과의 봉지가 곤란해진다. 또한, 1중관에 아말감(13)을 설치할 때와 달리, 2중관의 내부관에 아말감(13)을 설치하면, 내부관은 외부로부터의 온도의 영향을 받기 어려워지고, 국소적으로 내부관의 일부를 냉각하기 곤란해진다. 따라서, 최냉부를 의도적으로 설치하기 곤란하다. 또한, 내부관과 상호 작용하기 쉬운 티탄 등의 금속을 아말감(13)에 넣지 않으면, 아말감(13)은 내부관에서 자유롭게 이동할 수 있고, 특히 이동의 충격 등에 의해 아말감(13)이 분산된다. 아말감(13)이 분산되면, 램프 점등시에 수은 증기압의 차이에 의한 자외선 강도가 편차가 있으므로, 바람직하지 않다. 따라서, 아말감(13)에는 내부관과 상호 작용하기 쉬운 티탄 등을 봉입하는 것이 바람직하다. 또한, 아말감(13)에서의 티탄의 중량%는 1~10중량%인 것이 바람직하다. 아말감(13)에서의 티탄의 중량%가 1.0을 하회하면, 아말감(13)이 내부관(11)과 결합하는 힘이 약화되고, 아말감(13)이 자유롭게 이동하기 때문이다. 한편, 아말감(13)에서의 티탄의 중량이 10을 상회하면, 아말감(13) 자체의 융점이 높아지므로, 수은 증기가 방전공간(12)으로 방출되는 양이 적어지고 수은 증기압이 저하되어 자외선 조도가 저하되기 때문이다. 또한, 아말감(13)에 포함되는 금속은 티탄에 한정되지 않고, 내부관(12)의 석영유리와 약한 상호작용을 하는 금속원소이면 어떠한 것이어도 좋고, 예를 들어 알루미늄이나 규소이어도 좋다. 아말감(13)에 포함되는 금속이 알루미늄인 경우에는 아말감(13)에서의 중량%가 0.5~3의 범위인 것이 바람직하고, 규소인 경우에는 아말감(13)에서의 중량%가 2~12의 범위인 것이 바람직하다.The amalgam 13 is installed in the inner tube 11 of the arc tube 10 in the ultraviolet lamp 110 as shown in Fig. In addition, the amalgam 13 is bonded to the inner tube 11 by chemical interaction. This is because the titanium contained in the amalgam 13 has an influence. The titanium contained in the amalgam 13 chemically interacts with the quartz glass (SiO 2 ) constituting the inner tube 11, so that it is chemically weakly bonded. That is, the amalgam 13 is bonded to the inner tube 11. Generally, the amalgam 13 is often installed in the coldest part of the hot cathode lamp. However, in the hot cathode lamp of the double tube as in the present embodiment, it is difficult to install the coldest part in the inner tube installed in the outer tube. If the coldest portion is provided by branching from the inner tube, it becomes difficult to seal the outer tube. In addition, unlike the case where the amalgam 13 is provided in the single pipe, when the amalgam 13 is provided in the inner pipe of the double pipe, the inner pipe is hardly affected by the temperature from the outside, Is difficult to cool. Therefore, it is difficult to intentionally install the coldest portion. In addition, if the metal such as titanium, which is easy to interact with the inner tube, is not inserted into the amalgam 13, the amalgam 13 can freely move in the inner tube, and the amalgam 13 is dispersed, When the amalgam 13 is dispersed, the intensity of ultraviolet rays due to the difference in mercury vapor pressure at the time of lamp lighting is uneven, which is not preferable. Therefore, the amalgam 13 is preferably filled with titanium or the like which is easy to interact with the inner tube. The weight percentage of titanium in the amalgam 13 is preferably 1 to 10% by weight. If the weight percentage of titanium in the amalgam 13 is less than 1.0, the strength of the amalgam 13 to bond with the inner tube 11 is weakened and the amalgam 13 moves freely. On the other hand, if the weight of the titanium in the amalgam 13 is more than 10, since the melting point of the amalgam 13 itself becomes high, the mercury vapor is released to the discharge space 12 in a small amount and the mercury vapor pressure decreases, . The metal included in the amalgam 13 is not limited to titanium and may be any metal element having a weak interaction with the quartz glass of the inner tube 12, and may be aluminum or silicon, for example. When the metal contained in the amalgam 13 is aluminum, the weight percentage in the amalgam 13 is preferably in the range of 0.5 to 3. In the case of silicon, the weight percentage in the amalgam 13 is in the range of 2 to 12 .

또한, 아말감(13)에 인듐, 주석, 비스무트, 아연 중 어느 하나를 포함함으로써 아말감(13)에 포함되는 수은의 증기압을 제어할 수 있으므로, 자외선 램프의 길이방향 단면에서의 둘레방향의 조도분포의 불균일을 억제할 수 있다.Since the vapor pressure of mercury contained in the amalgam 13 can be controlled by including any one of indium, tin, bismuth, and zinc in the amalgam 13, the vapor pressure of mercury contained in the amalgam 13 can be controlled, It is possible to suppress unevenness.

또한, 공간(30)에는 네온 가스, 아르곤 가스, 질소 가스 중 어느 것, 또는 2종 이상의 혼합 가스가 97.1㎪ 이상 봉입된다. 또한, 공간(30)에 봉입되는 가스는 열전도율이 0.016W/(m·K) 이상인 것이 바람직하다. 공간(30)에 봉입되는 가스의 열전도율이 0.016W/(m·K) 미만이면, 발광관(10)으로부터 방출되는 열이 공간(30)내에 고이고, 발광관(10)의 온도가 과잉으로 상승한다. 발광관(10)의 온도가 과잉으로 상승하면, 발광관(10)의 내부에 봉입된 아말감(13)으로부터 방출되는 수은의 증기압이 과잉으로 상승하여, 수은 자신에 의한 자외선의 자기 흡수가 발생하므로, 조도가 저하된다. 이 때문에, 공간(30)에 봉입되는 가스의 열전도율은 0.016W/(m·K) 이상인 것이 바람직하다. 단, 공간(30)에 봉입되는 가스의 열전도율이 0.016W/(m·K) 이상이어도, 예를 들어 헬륨과 같이, 원자 반경이 작은 것은 가스가 발광관(10)에 침입하므로 바람직하지 않다. 그 때문에, 공간(30)에 봉입되는 가스는 네온, 아르곤, 질소 중 어느 것 또는 2종 이상의 혼합가스가 충전되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 공간(30)에 봉입되는 가스의 압력은 97.1㎪(730torr) 이상인 것이 바람직하다. 공간(30)에 봉입되는 가스의 압력이 97.1㎪ 미만이면, 발광관(10)으로부터 방출되는 열이 공간(30)내에 고여, 발광관(10)의 온도가 과잉으로 상승한다. 발광관(10)의 온도가 과잉으로 상승하면, 발광관(10)의 내부에 봉입된 아말감(13)으로부터 방출되는 수은의 증기압이 과잉으로 상승하고, 수은 자신에 의한 자외선의 자기흡수가 발생하므로, 조도가 저하된다. 이 때문에, 공간(30)에 봉입되는 가스의 압력은 97.1㎪(730torr) 이상인 것이 바람직하다. 또한, 바람직하게는 공간(30)에 봉입되는 가스가 네온인 경우에는 97.1㎪(730torr) 이상 111㎪(833torr) 이하, 아르곤인 경우에는 97.1㎪(730torr) 이상 111㎪(833torr) 이하, 질소인 경우에는 99.8㎪(750torr) 이상 111㎪(833torr) 이하인 것이 바람직하다. 공간(30)에 네온 가스, 아르곤 가스, 질소 가스 중 어느 것, 또는 2종 이상의 혼합가스가 97.1㎪(730torr) 이상 봉입됨으로써, 자외선 램프의 길이방향 단면에서의 둘레방향의 조도 분포의 불균일을 억제한 자외선 램프를 제공할 수 있다.In addition, any of neon gas, argon gas, and nitrogen gas, or a mixture gas of two or more kinds is filled in the space 30 by 97.1. Or more. It is preferable that the gas enclosed in the space 30 has a thermal conductivity of 0.016 W / (m · K) or more. When the thermal conductivity of the gas enclosed in the space 30 is less than 0.016 W / (m · K), the heat emitted from the arc tube 10 is held in the space 30 and the temperature of the arc tube 10 rises excessively do. When the temperature of the arc tube 10 rises excessively, the vapor pressure of the mercury emitted from the amalgam 13 enclosed in the arc tube 10 excessively rises and self-absorption of ultraviolet rays by the mercury itself occurs , The illuminance decreases. Therefore, the thermal conductivity of the gas enclosed in the space 30 is preferably 0.016 W / (m · K) or more. However, even if the thermal conductivity of the gas enclosed in the space 30 is 0.016 W / (m 占 K) or more, a small atomic radius, such as, for example, helium is not preferable because the gas enters the arc tube 10. Therefore, it is preferable that the gas enclosed in the space 30 is filled with any one of neon, argon, nitrogen, or a mixture gas of two or more kinds. The pressure of the gas sealed in the space 30 is preferably at least 97.1 kPa (730 torr). If the pressure of the gas enclosed in the space 30 is less than 97.1 kPa, the heat emitted from the arc tube 10 accumulates in the space 30, and the temperature of the arc tube 10 rises excessively. If the temperature of the arc tube 10 rises excessively, the vapor pressure of the mercury emitted from the amalgam 13 enclosed in the arc tube 10 excessively increases and self-absorption of ultraviolet rays by the mercury itself occurs , The illuminance decreases. Therefore, the pressure of the gas sealed in the space 30 is preferably 97.1 kPa (730 torr) or more. Preferably, in the case where the gas enclosed in the space 30 is neon, it is not less than 730 torr and not more than 833 torr. In the case of argon, it is not less than 730 torr and not more than 813 torr. (750 torr) to 111 pounds (833 torr) or less. In the space 30, any of neon gas, argon gas, nitrogen gas, or a mixture of two or more gases is enclosed in a space of at least 97.1 kilograms (730 torr), thereby suppressing unevenness of the illuminance distribution in the circumferential direction in the longitudinal cross section of the ultraviolet lamp An ultraviolet lamp can be provided.

본 실시형태에 따르면, 길이방향 단면에서의 둘레방향의 조도 분포의 불균일을 억제한 자외선 램프를 제공할 수 있다.According to the present embodiment, it is possible to provide an ultraviolet lamp in which the unevenness of the illuminance distribution in the circumferential direction in the longitudinal cross section is suppressed.

또한, 일반 조명용도의 열음극 형광램프에서는 램프의 관의 재료로서, 예를 들어 소다석회유리 또는 소위 무연의 연질 유리가 사용된다. 이들 재료에서의 300㎚ 파장의 광에 대한 투과율은 낮다. 이 때문에, 일반 조명용도의 열음극 형광램프에 사용되는 형광체를 UV형광체로 변경하는 구성에서는, 얻어지는 자외선의 조도가 낮다. 조도가 낮으면, 예를 들어 상기의 제조공정에서 경화를 위한 시간이 길어지고 생산성이 낮다.Further, in a hot-cathode fluorescent lamp for general illumination, for example, soda lime glass or so-called lead-free soft glass is used as the material of the lamp tube. The transmittance of these materials to light with a wavelength of 300 nm is low. Therefore, in a configuration in which a phosphor used in a hot cathode fluorescent lamp for general illumination is changed to a UV phosphor, the illuminance of ultraviolet light obtained is low. When the roughness is low, for example, the time for curing in the above-described manufacturing process is prolonged and productivity is low.

본 실시형태에 관한 자외선 램프(110)에서는 외부관(21)으로서 자외선에 대한 투과율이 높은 재료(예를 들어 석영)를 사용함으로써, 높은 조도가 얻어진다. 이에 의해, 제조공정에서의 생산성은 높다.In the ultraviolet lamp 110 according to the present embodiment, a high illuminance can be obtained by using a material (for example, quartz) having a high transmittance with respect to ultraviolet rays as the outer tube 21. As a result, the productivity in the manufacturing process is high.

또한, 외부관(21)에 사용되는 재료는 석영에 한정되지 않는다. 예를 들어, 소다석회유리 또는 소위 무연의 연질유리를 사용해도 좋다. 요는 형광체층(20)에 의해 변환된 광을 투과하는 재료이면 어떠한 재료를 사용해도 좋다.Further, the material used for the outer tube 21 is not limited to quartz. For example, soda lime glass or so-called lead-free soft glass may be used. Any material may be used as long as it is a material that transmits the light converted by the phosphor layer 20.

여기에서, 실시형태에 관한 자외선 램프(110)와, 플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)를 설치하지 않고 제작한 자외선 램프(500)(외부관 봉지부의 확대도를 도 3에 도시함)의, 길이방향 단면에서의 둘레방향의 조도분포에 대해서 비교한 결과를 도 4에 도시한다. 또한, 이하에 도시하는 비교결과를 얻기 위한 측정에서는 조도계로서 ORC제 자외선 조도계 UV-M03A를 사용하여 자외선 램프(110, 500)의 중심으로부터 30㎜ 이격한 위치에서, 자외선 램프(110, 500)의 연직상을 0°로 정의하여 시계방향으로 45°씩 측정한 조도를 도시하고, 각각의 자외선 램프(110, 500)의 조도의 최대값을 100%로서 규격화했다. 또한, 상세한 사양은 이하와 같다.Here, an ultraviolet lamp 110 according to the embodiment and an ultraviolet lamp 500 (an enlarged view of an outer tubular bag portion shown in Fig. 3) produced without providing flare portions 15a, 15a, 15b, Fig. 4 shows the results of comparison of the illuminance distribution in the circumferential direction in the cross section in the longitudinal direction. In order to obtain the comparison results shown in the following, UV-M03A manufactured by ORC manufactured by ORC was used as an illuminometer, and the UV lamps 110 and 500 were placed at a position spaced 30 mm from the center of the ultraviolet lamps 110 and 500 The vertical angle is defined as 0 ° and the illuminance measured at 45 ° in the clockwise direction is shown. The maximum value of the illuminance of each of the ultraviolet lamps 110 and 500 is normalized to 100%. The detailed specifications are as follows.

실시형태에 관한 자외선 램프(110): 내직경 17㎜, 내부관(11)의 길이: 500㎜, 자외선 램프(110) 전체 길이 600㎜.The ultraviolet lamp 110 according to the embodiment has an inner diameter of 17 mm, a length of the inner tube 11: 500 mm, and an entire length of the ultraviolet lamp 110: 600 mm.

종래품인 자외선 램프(500): 내직경 17㎜, 내부관(51)의 길이: 300㎜, 내부관(11)과 외부관 봉지부(21)의 구성: 외부관 봉지부(21c)는 외부관(21)과 스템(22c)이 봉지됨으로써 봉지되고, 스템(22c)은 봉지부(24c)와 플레어부(26c)를 갖는다. 봉지부(24c)는 핀치시일 구조를 갖고 있다. 플레어부(26c)는 외부관(21)과 스템(22c)의 봉지부(봉착부)이다. 외부관 봉지부(21c)에서는 내부관(11)의 내부 리드선(27a, 27a)의 끝(금속박(19a, 19a)과 접속되어 있지 않은 측의 끝)과, 외부관 금속박(28a, 28a)과, 외부 리드선(31a, 31a)이 설치되어 있다. 외부관 금속박(28a, 28a)은 봉지부(24c)에 매설되고 봉지됨으로써, 외부관(21)의 내부를 기밀하게 유지한다. 또한, 외부관 금속박(28a, 28a)에 의해 외부관(21)의 내부와 외부의 전기적 접속을 얻는다. 외부관 금속박(28a, 28a)에는 예를 들어 몰리브덴이 사용된다.The outer tubular sealing portion 21c is made of an elastic material such as a silicone rubber or the like and has an outer diameter of 17 mm and a length of 300 mm. The tube 21 and the stem 22c are sealed by being sealed and the stem 22c has the sealing portion 24c and the flare portion 26c. The sealing portion 24c has a pinch seal structure. The flare portion 26c is an sealing portion (sealing portion) of the outer tube 21 and the stem 22c. In the outer pipe sealing portion 21c, the end of the inner lead wires 27a and 27a of the inner pipe 11 (the end on the side not connected to the metal foils 19a and 19a) and the outer pipe metal foils 28a and 28a And external lead wires 31a and 31a. The outer tubular metal foils 28a and 28a are buried in the sealing portion 24c and sealed, thereby keeping the inside of the outer tube 21 airtight. In addition, electrical connection between the inside and the outside of the outer tube 21 is obtained by the outer tube metal foils 28a and 28a. For example, molybdenum is used for the outer tubular metal foils 28a and 28a.

도 4로부터 명백한 바와 같이, 플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)를 설치하여 제작한 자외선 램프(110)쪽이, 플레어부(15a, 15a, 15b, 15b)를 설치하지 않고 제작한 자외선 램프(500)보다 길이방향 단면에서의 둘레방향의 조도분포가 고르다.4, the ultraviolet lamp 110 manufactured by installing the flare portions 15a, 15a, 15b and 15b is provided with the ultraviolet lamps 11a, 11b, 11c, The roughness distribution in the circumferential direction in the cross section in the longitudinal direction is more uniform than that in the longitudinal direction.

(제2 실시형태)(Second Embodiment)

도 5는 제2 실시형태에 관한 자외선 램프를 예시하는 모식적 단면도이다.5 is a schematic cross-sectional view illustrating an ultraviolet lamp according to the second embodiment.

도 5에 도시한 바와 같이, 본 실시형태에 관한 자외선 램프(120)에서는 발광관(10)의 내부관(11)은 U자 형상이다. 즉, 내부관(11)은 제1 부분(11a), 제2 부분(11b) 및 제3 부분(11c)을 포함한다. 제1 부분(11a) 및 제2 부분(11b)은 제1 방향을 따라서 연장된다. 제2 부분(11b)은 제1 방향에 대해서 교차(이 예에서는 직교)하는 제2 방향을 따라서 제1 부분(11a)과 늘어선다. 제3 부분(11c)은 제1 부분(11a)의 일단과 제2 부분(11b)의 일단을 접속한다. 이 예에서는 제1 부분(11a)의 타단에 제1 전극(16a)이 설치되고, 제2 부분(11b)의 타단에 제2 전극(16b)이 설치된다.As shown in Fig. 5, in the ultraviolet lamp 120 according to the present embodiment, the inner tube 11 of the arc tube 10 is U-shaped. That is, the inner tube 11 includes a first portion 11a, a second portion 11b, and a third portion 11c. The first portion 11a and the second portion 11b extend along the first direction. The second portion 11b is aligned with the first portion 11a along the second direction intersecting with the first direction (orthogonal in this example). The third portion 11c connects one end of the first portion 11a and one end of the second portion 11b. In this example, the first electrode 16a is provided at the other end of the first portion 11a and the second electrode 16b is provided at the other end of the second portion 11b.

제3 부분(11c)은 내부관(11)의 절곡부가 된다. 이와 같이, 실시형태에서 내부관(11)에 절곡부가 설치되어도 좋다. 절곡부의 수는 1이어도 좋고 2이상 이어도 좋다. 예를 들어, 내부관(11)은 S자 형상이나, W자 형상을 갖고 있어도 좋다. 이와 같이, 내부관(11)에 절곡부를 설치함으로써, 복수 개의 자외선 램프를 사용하지 않아도 보다 광범위하게 자외선을 조사하는 것이 가능해진다.And the third portion 11c is a bent portion of the inner tube 11. [ As described above, in the embodiment, the inner tube 11 may be provided with a bent portion. The number of bent portions may be one or two or more. For example, the inner tube 11 may have an S shape or a W shape. As described above, by providing the bent portion in the inner tube 11, it becomes possible to irradiate the ultraviolet rays more widely without using a plurality of ultraviolet lamps.

본 실시형태에서도 길이방향 단면에서의 둘레방향의 조도분포의 불균일을 억제한 자외선 램프를 제공할 수 있다.The present embodiment can also provide an ultraviolet lamp in which variations in the illuminance distribution in the circumferential direction in the longitudinal cross section are suppressed.

본 실시형태에 관한 구성은 제1 실시형태에 관한 자외선 램프 및 그 변형에 적용해도 좋다.The configuration according to the present embodiment may be applied to the ultraviolet lamp according to the first embodiment and its modifications.

(제3 실시형태)(Third Embodiment)

도 6은 제3 실시형태에 관한 자외선 램프를 예시하는 모식도이다.6 is a schematic diagram illustrating an ultraviolet lamp according to the third embodiment.

도 6에 도시한 바와 같이, 본 실시형태에 관한 자외선 램프(130)에서는 복수의 발광관(10)이 설치된다. 복수의 발광관(10)의 각각이 하나의 방향으로 연장되는 형상을 갖는 경우, 복수의 발광관(10)의 각각의 연장되는 방향은, 예를 들어 서로 평행으로 설정할 수 있다. 복수의 발광관(10) 중 적어도 2개에서의 연장방향이 서로 교차되어도 좋다. 이와 같이, 복수의 발광관(10)을 설치함으로써, 자외선 램프에 사용되는 발광관의 광량이 작아도, 발광관(10)을 복수 사용함으로써, 자외선 램프로서의 광량을 증대시키는 것이 가능해진다.As shown in Fig. 6, in the ultraviolet lamp 130 according to the present embodiment, a plurality of arc tubes 10 are provided. When each of the plurality of arc tubes 10 has a shape extending in one direction, the extending directions of each of the plurality of arc tubes 10 can be set, for example, parallel to each other. At least two of the plurality of arc tubes 10 may extend in the extending direction. As described above, by providing the plurality of arc tubes 10, it is possible to increase the amount of light as the ultraviolet lamp by using a plurality of arc tubes 10 even if the light amount of the arc tube used in the ultraviolet lamp is small.

본 실시형태에서도 길이방향 단면에서의 둘레방향의 조도분포의 불균일을 억제한 자외선 램프를 제공할 수 있다.The present embodiment can also provide an ultraviolet lamp in which variations in the illuminance distribution in the circumferential direction in the longitudinal cross section are suppressed.

본 실시형태에 관한 구성은 제1 및 제2 실시형태에 관한 자외선 램프 및 그 변형에 적용해도 좋다.The configuration according to the present embodiment may be applied to the ultraviolet lamps according to the first and second embodiments and modifications thereof.

또한, 자외선 램프(110, 120, 130)는 외부관(21)의 일단으로부터 급전되는, 소위 편측 급전의 자외선 램프이어도 좋다. 편측 급전의 구조를 채용함으로써, 자외선 램프에 전력을 공급할 때, 자외선 램프의 한쪽에 전력공급수단을 정리할 수 있어, 자외선 램프 길이방향의 공간을 짧게 하는 것이 가능해진다.The ultraviolet lamps 110, 120, and 130 may be ultraviolet lamps of a so-called unidirectional power feeding from one end of the external tube 21. By adopting the structure of unidirectional feeding, when power is supplied to the ultraviolet lamp, the power supply means can be arranged on one side of the ultraviolet lamp, and the space in the length direction of the ultraviolet lamp can be shortened.

또한, 본원 명세서에서 「수직」 및 「평행」은 엄밀한 수직 및 엄밀한 평행뿐만이 아니라, 예를 들어 제조공정에서의 편차 등을 포함하는 것이고, 실질적으로 수직 및 실질적으로 평행이면 좋다.Also, in the present specification, the terms "vertical" and "parallel" include not only strict vertical and strict parallelism but also deviation in the manufacturing process and the like, and may be substantially vertical and substantially parallel.

이상, 각 구체예를 참조하면서, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했다. 그러나, 본 발명은 이들 구체예에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 자외선 램프 및 조사장치에 포함되는 발광관, 수은 함유부, 관부, 전극, 형광체층, 도전층, 코바르 도전층, 유리판, 케이스체 및 반사층 등의 각 요소의 구체적인 구성에 관해서는, 당업자가 공지의 범위로부터 적절하게 선택함으로써 본 발명을 동일하게 실시하고, 동일한 효과를 얻을 수 있는 한, 본 발명의 범위에 포함된다.The embodiments of the present invention have been described above with reference to specific examples. However, the present invention is not limited to these specific examples. For example, with respect to the specific configuration of each element such as an arc tube, a mercury-containing portion, a tube portion, an electrode, a fluorescent layer, a conductive layer, a Kovar conductive layer, a glass plate, a housing, , And those skilled in the art can appropriately select the appropriate range from the publicly known ones, so long as the same effects can be obtained.

또한, 각 구체예 중 어느 2개 이상의 요소를 기술적으로 가능한 범위에서 조합시킨 것도 본 발명의 요지를 포함하는 한 본 발명의 범위에 포함된다.In addition, any combination of two or more of the embodiments in a technically feasible range is included in the scope of the present invention as long as the gist of the present invention is included.

그 밖에, 본 발명의 실시형태로서 전술한 자외선 램프 및 조사장치를 기초로 하여, 당업자가 적절하게 설계 변경하여 실시할 수 있는 모든 자외선 램프 및 조사장치도, 본 발명의 요지를 포함하는 한, 본 발명의 범위에 속한다.In addition, all the ultraviolet lamps and irradiation devices that can be appropriately designed and modified by those skilled in the art based on the above-described ultraviolet lamps and irradiation devices as the embodiments of the present invention are also included in the scope of the present invention. It falls within the scope of the invention.

그 밖에, 본 발명의 사상의 범주에서 당업자이면 각종 변경예 및 수정예를 생각해 낼 수 있는 것이고, 이들 변경예 및 수정예에 대해서도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해된다.It is to be understood that various changes and modifications may be devised by those skilled in the art in the spirit of the present invention, and these modifications and modifications are also within the scope of the present invention.

본 발명의 몇가지 실시형태를 설명했지만, 이들 실시형태는 예로서 제시한 것이고, 발명의 범위를 한정하려는 의도는 없다. 이들 신규의 실시형태는 그 밖의 여러가지 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서, 여러가지 생략, 치환, 변경을 실시할 수 있다. 이들 실시형태나 그 변형은 발명의 범위나 요지에 포함되고 또한 특허청구범위에 기재된 발명과 그 균등한 범위에 포함된다.Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are provided as examples and are not intended to limit the scope of the present invention. These new embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, substitutions, and alterations can be made without departing from the gist of the invention. These embodiments and their modifications fall within the scope and spirit of the invention and are included in the scope of the invention as defined in the claims and their equivalents.

10: 발광관 11: 내부관
11a, 11b, 11c: 제1, 제2, 제3 부분
12: 방전공간 13: 아말감
14a, 14b: 봉지부 15a, 15b: 플레어부
16a: 제1 전극 16b: 제2 전극
17a, 17b: 필라멘트 18a, 18b: 내부 리드선
19a, 19b: 금속박 20: 형광체층
21: 외부관 21c, 21d: 외부 봉지부
30: 공간 31a, 31b: 외부 리드선
110, 120, 130: 자외선 램프
10: arc tube 11: inner tube
11a, 11b, 11c: first, second, third portions
12: discharge space 13: amalgam
14a, 14b: sealing parts 15a, 15b: flare part
16a: first electrode 16b: second electrode
17a, 17b: filaments 18a, 18b: inner lead wire
19a, 19b: metal foil 20: phosphor layer
21: outer tube 21c, 21d: outer tube
30: space 31a, 31b: external lead wire
110, 120, 130: ultraviolet lamp

Claims (4)

내직경이 13~17㎜이고 내부에 방전공간이 설치되도록 양단이 봉지된 내부관과, 상기 방전공간의 양단에 설치된 한쌍의 전극과, 상기 방전공간에 봉입된 수은을 포함하는 아말감과, 상기 양단으로부터 연장되어 형성된 플레어부를 구비하고 제1 자외광을 방사하는 발광관; 및
상기 발광관과 공간을 개재하여 설치되고, 상기 플레어부와 접속되며, 상기 제1 자외광이 조사되고, 상기 제1 자외광보다 파장이 긴 제2 자외광을 방출하는 형광체층을 구비하는 외부관;을 구비하고,
단위길이당 램프입력밀도가 0.5~4W/㎝인, 자외선 램프.
An inner tube having an inner diameter of 13 to 17 mm and sealed at both ends so as to have a discharge space therein, a pair of electrodes provided at both ends of the discharge space, an amalgam containing mercury enclosed in the discharge space, A light emitting tube having a flared portion formed to extend from the light emitting tube and radiating first ultraviolet light; And
And a phosphor layer which is provided between the light emitting tube and the space and is connected to the flare section and emits second ultraviolet light having a wavelength longer than that of the first ultraviolet light, ; And,
An ultraviolet lamp having a lamp input density of 0.5 to 4 W / cm per unit length.
제 1 항에 있어서,
상기 아말감에서의 상기 수은의 봉입량은 0.03~3중량%인, 자외선 램프.
The method according to claim 1,
Wherein an amount of the mercury enclosed in the amalgam is 0.03 to 3 wt%.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 아말감은 티탄, 인듐, 주석, 비스무트, 아연 중 어느 하나를 포함하는, 자외선 램프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the amalgam comprises any one of titanium, indium, tin, bismuth, and zinc.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 공간에는 네온, 아르곤, 질소 중 어느 것 또는 2종 이상의 혼합 가스가 97.1㎪ 이상 봉입되는, 자외선 램프.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the space is filled with at least 97.1% of any one of neon, argon, and nitrogen or a mixture of two or more gases.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7115036B2 (en) * 2018-05-25 2022-08-09 ウシオ電機株式会社 excimer lamp
CN115283221A (en) * 2022-08-22 2022-11-04 优威赛斯光电技术(湖州)有限公司 Ultraviolet lamp tube, lamp shade and curing method for preparing micro-wrinkle paint surface

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0430763Y2 (en) * 1986-11-22 1992-07-24
JPH10112286A (en) * 1996-10-04 1998-04-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Fluorescent lamp
DE10106868A1 (en) * 2000-02-16 2001-10-04 Toshiba Lighting & Technology Circular fluorescent lamp for a lighting system has a fluorescent tube in which the two wires connecting the pins in the base to the filament in each end of the tube are separated from one another by a silicone rubber insulator
CN2678125Y (en) * 2003-12-24 2005-02-09 柴国生 High gas pressure discharge lamp with holder
JP2006092954A (en) * 2004-09-24 2006-04-06 Toshiba Lighting & Technology Corp Discharge lamp and lighting device
TWI337750B (en) * 2005-07-29 2011-02-21 Gs Yuasa Int Ltd Ultraviolet lamp and ultraviolet irradiating device
CN2877032Y (en) * 2005-12-12 2007-03-07 南皮亚明灯泡制造有限责任公司 Air cushion protection straight tube energy-saving lamp
JP2007328925A (en) * 2006-06-06 2007-12-20 Erebamu:Kk Duplex tube type discharge lamp
JP2011091002A (en) * 2009-10-26 2011-05-06 Nec Lighting Ltd Fluorescent lamp and lighting fixture
TWI497560B (en) * 2010-04-27 2015-08-21 Harison Toshiba Lighting Corp Ultraviolet ray irradiation apparatus, ultraviolet irradiation method, and ultraviolet ray irradiation apparatus
JP6233633B2 (en) * 2013-09-26 2017-11-22 岩崎電気株式会社 Direct water-cooled UV lamp

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