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KR20160022441A - Transfer device for large area substrate - Google Patents

Transfer device for large area substrate Download PDF

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KR20160022441A
KR20160022441A KR1020140107772A KR20140107772A KR20160022441A KR 20160022441 A KR20160022441 A KR 20160022441A KR 1020140107772 A KR1020140107772 A KR 1020140107772A KR 20140107772 A KR20140107772 A KR 20140107772A KR 20160022441 A KR20160022441 A KR 20160022441A
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substrate
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이근호
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

본 발명은 대면적 기판의 반송장치에 관한 것으로, 양단에 베어링이 결합된 반송샤프트들과, 상기 반송샤프트들의 양단에 결합된 베어링을 고정하여, 상기 반송샤프트들을 회전가능한 상태로 고정하는 지지블록을 포함하는 대면적 기판의 반송장치에 있어서, 상기 베어링의 하부에 마련되어, 상기 베어링에서 발생하는 진동 또는 기판 선단부의 충돌시 충격을 완화하는 완충부를 더 포함한다. 본 발명은 베어링의 하부에 완충부를 두어 베어링의 회전시 발생되는 진동을 흡수하여, 기판의 손상을 방지함과 아울러 진동에 따른 공정 불량의 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a large-area substrate transporting apparatus, and more particularly, to a transporting apparatus for transporting large-area substrates, which comprises transport shafts having bearings at both ends thereof coupled to bearings coupled to both ends of the transport shafts, The substrate transfer apparatus may further include a buffer provided below the bearing to mitigate vibrations generated in the bearing or an impact upon collision of the front end of the substrate. According to the present invention, a buffer is provided at the lower part of the bearing to absorb vibrations generated during rotation of the bearing, thereby preventing damage to the substrate and preventing occurrence of a process failure due to vibration.

Description

대면적 기판의 반송장치{Transfer device for large area substrate}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001]

본 발명은 대면적 기판의 반송장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 진동에 의해 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 대면적 기판의 반송장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a large-area substrate carrying apparatus, and more particularly, to a large-area substrate carrying apparatus capable of preventing a substrate from being damaged by vibration.

일반적으로 대면적 기판의 반송장치는 기판을 정해진 이송방향으로 이송하면서 이동하는 기판의 표면을 처리할 수 있도록 한다.In general, a large-area substrate transfer apparatus is capable of processing a surface of a moving substrate while transferring the substrate in a predetermined transfer direction.

대면적 기판의 반송장치는 다양한 구동방식을 사용할 수 있으나, 기본적으로 기판의 저면에 접하며 각각 동일한 방향으로 회전하는 반송샤프트를 사용하고 있다.A large-area substrate transporting apparatus can use various driving methods, but basically, a transport shaft contacting the bottom surface of the substrate and rotating in the same direction is used.

이러한 반송샤프트들은 상호 등간격으로 이격되어, 기판의 반송방향을 따라 다수로 마련되어 있으며, 기판의 저면과 접촉면을 줄이면서 효과적으로 이송하기 위하여 그 반송샤프트에는 다수의 롤러가 결합되어 있으며, 그 반송샤프트의 양단은 베어링에 의해 회전 가능한 상태로 고정되어 있다.
The conveying shafts are spaced apart from one another at equal intervals and are provided along the conveying direction of the substrate. A plurality of rollers are coupled to the conveying shaft for effectively conveying while reducing the contact surface with the bottom surface of the substrate. Both ends are fixed in a rotatable state by bearings.

상기와 같은 구성의 대면적 기판 반송장치의 기본적인 구성은, 등록특허 10-0813617호(기판 이송 유닛 및 이를 이용한 기판 이송 방법, 등록일자 2008년 3월 7일) 등에 기재되어 있으며, The basic structure of the large-area substrate carrying apparatus having the above-described structure is disclosed in, for example, Japanese Patent No. 10-0813617 (a substrate transfer unit and a substrate transfer method using the same, date of registration March 7, 2008)

특히 본 발명과 관련이 있는 반송샤프트를 지지하는 구성에 대해서는 등록특허 10-2007-0037023호(기판 이송샤프트 지지장치, 2007년 4월 18일 등록)에 기재되어 있다.Particularly, the structure for supporting the conveying shaft related to the present invention is described in Patent Document 10-2007-0037023 (substrate conveying shaft supporting apparatus, registered on Apr. 18, 2007).

상기 등록특허 10-2007-0037023호에는 기존의 베어링을 반송샤프트의 양단에 결합하고, 그 양단에 결합된 베어링을 지지하는 지지블록을 두어 반송샤프트를 회전 가능한 상태로 단순히 지지하는 것에서 벗어나, 발생되는 파티클을 제거할 수 있는 수단을 포함하고 있다.
In the above-mentioned patent document, a conventional bearing is coupled to both ends of a conveying shaft, and a support block for supporting a bearing coupled to both ends of the bearing is provided to move the conveying shaft away from simply supporting the conveying shaft in a rotatable state. And means for removing particles.

이러한 파티클 제거의 여부와는 무관하게 모터의 힘을 전달받아 회전하는 반송샤프트들은 진동을 하게 된다. 이와 같은 진동은 베어링의 외륜이 고정된 상태에서 내륜이 회전하면서 볼과의 접촉에 따라 발생하게 된다.
Regardless of whether or not the particles are removed, the rotating transport shafts receiving the force of the motor are vibrated. Such vibration is caused by the contact of the inner ring with the ball while the outer ring of the bearing is fixed.

베어링에서 발생된 진동은 상기 반송샤프트를 통해 반송되는 기판에 전달되며, 기판이 반송되는 중에 손상을 입거나, 공정의 진행시 공정 불량이 발생할 수 있는 문제점이 있었다.
Vibration generated in the bearing is transmitted to the substrate conveyed through the conveyance shaft, and there is a problem that the substrate may be damaged while it is being conveyed, or a process failure may occur during the process.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 베어링과 반송샤프트를 사용하는 대면적 기판의 반송장치에서, 반송샤프트가 회전할 때 진동이 발생하는 것을 방지할 수 있는 대면적 기판의 반송장치를 제공함에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a large-area substrate transport apparatus using a bearing and a transport shaft, which can prevent vibration from occurring when the transport shaft rotates, Device.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 대면적 기판의 반송장치는, 양단에 베어링이 결합된 반송샤프트들과, 상기 반송샤프트들의 양단에 결합된 베어링을 고정하여, 상기 반송샤프트들을 회전가능한 상태로 고정하는 지지블록을 포함하는 대면적 기판의 반송장치에 있어서, 상기 베어링의 하부에 마련되어, 상기 베어링에서 발생하는 진동 또는 기판 선단부의 충돌시 충격을 완화하는 완충부를 더 포함한다.
According to an aspect of the present invention, there is provided a large-area substrate transfer apparatus including transfer shafts having bearings coupled to both ends thereof, bearings coupled to both ends of the transfer shafts, The substrate transfer apparatus of the present invention further includes a buffer provided below the bearing to mitigate vibrations occurring in the bearing or impact upon collision of the front end of the substrate.

본 발명 대면적 기판의 반송장치는, 베어링의 하부에 완충부를 두어 베어링의 회전시 발생되는 진동을 흡수하여, 기판의 손상을 방지함과 아울러 진동에 따른 공정 불량의 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.
The present invention relates to a transfer apparatus for large area substrates, in which a buffer is provided in a lower portion of a bearing to absorb vibrations generated during rotation of the bearing, thereby preventing damage to the substrate and preventing occurrence of process defects due to vibration have.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 반송장치의 구성도이다.
도 2는 도 1에서 A-A 단면 구성도이다.
도 3은 도 1에서 B-B 단면 구성도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 대면적 기판의 반송장치의 단면 구성도이다.1 is a configuration diagram of a large-area substrate transport apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in Fig.
Fig. 3 is a cross-sectional view taken along line BB in Fig.
4 is a cross-sectional view of a large-area substrate transport apparatus according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명 대면적 기판의 반송장치에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, a carrying apparatus for a large area substrate of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판 반송장치의 구성도이고, 도 2는 도 1에서 A-A 단면도이고, 도 3은 도 1에서 B-B 단면도이다.FIG. 1 is a configuration diagram of a large area substrate transfer apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line A-A in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line B-B in FIG.

도 1 내지 도 3을 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판 반송장치는, 다수의 반송샤프트(10)와, 상기 다수의 반송샤프트(10) 각각의 양단을 회전가능하게 고정하는 한 쌍의 지지블록(20)과, 상기 다수의 반송샤프트(10)를 동일한 방향으로 회전시키는 구동축(30)을 포함하는 대면적 기판의 반송장치에 있어서, 상기 다수의 반송샤프트(10) 각각의 양단에 결합되어, 상기 지지블록(20)에 고정되는 베어링(40)과, 상기 베어링(40)의 하부에 마련되어 진동을 감쇄하는 완충부(50)를 포함하여 구성된다.
1 to 3, the large-area substrate transport apparatus according to the preferred embodiment of the present invention includes a plurality of transport shafts 10, and a plurality of transport shafts 10, A transfer device for a large area substrate including a pair of support blocks (20) and a drive shaft (30) for rotating the plurality of transfer shafts (10) in the same direction, characterized in that each of the plurality of transfer shafts A bearing 40 coupled to both ends of the bearing block 40 and fixed to the support block 20 and a buffer 50 provided below the bearing 40 for attenuating vibrations.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판 반송장치의 구성과 작용에 대하여 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the structure and operation of the large-area substrate transport apparatus according to the preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

먼저, 다수의 반송샤프트(10)들은 기판의 반송방향을 따라 다수로 배치되어 있으며, 그 반송샤프트(10)들 각각에는 기판의 저면에 접촉되어 반송샤프트(10)의 회전력을 기판에 전달하는 다수의 롤러(11)들이 마련되어 있다.First, a plurality of conveying shafts 10 are arranged in a plurality of directions along the conveying direction of the substrate. Each of the conveying shafts 10 is provided with a plurality of conveying shafts 10 for conveying the rotational force of the conveying shaft 10 to the substrate, The rollers 11 are provided.

상기 반송샤프트(10)들 각각의 양단에는 베어링(40)이 결합되어 있으며, 그 베어링(40)은 상기 지지블록(20)에 삽입 고정된다.
Bearings 40 are coupled to both ends of each of the transport shafts 10 and the bearings 40 are inserted and fixed to the support block 20.

상기 지지블록(20)은 상기 베어링(40)이 삽입될 수 있는 삽입홈이 상면에서 하부측으로 형성되어 있으며, 그 지지블록(20)의 삽입홈을 덮어 베어링(40) 및 반송샤프트(10)의 이탈을 방지하는 커버부(21)를 포함한다.The supporting block 20 has an insertion groove into which the bearing 40 can be inserted and is formed from the upper side to the lower side so as to cover the insertion groove of the supporting block 20 and support the bearing 40 and the conveying shaft 10 And a cover portion 21 for preventing separation.

상기 지지블록(20)은 상호 나란하게 한 쌍이 마련되어 있으며, 한 쌍의 지지블록(20)에는 상기 반송샤프트(10) 양단에 결합된 베어링(40)이 각각 고정된다.
A pair of the support blocks 20 are provided in parallel to each other and a bearing 40 coupled to both ends of the conveyance shaft 10 is fixed to the pair of support blocks 20.

상기 베어링(40)은 외륜과 내륜을 포함하며, 외륜이 상기 지지블록(20)의 삽입홈과 커버부(21)에 의해 고정되어 내륜이 상기 반송샤프트(10)와 함께 회전할 수 있는 구성이다.
The bearing 40 includes an outer ring and an inner ring and is configured such that the outer ring is fixed by the insertion groove of the support block 20 and the cover portion 21 so that the inner ring can rotate together with the transport shaft 10 .

상기 베어링(40)은 반송샤프트(10)의 양단 끝에서 소정거리 내측에 결합되어 있으며, 그 반송샤프트(10)들의 양단에는 기어(12)가 마련되어 있으며, 그 기어(12)는 상기 한 쌍의 지지블록(20)의 외측으로 돌출되어 있다. The bearings 40 are coupled to the inside of the conveying shaft 10 at a predetermined distance from both ends of the conveying shaft 10 and have gears 12 at both ends of the conveying shafts 10, And protrudes outside the support block 20.

그 기어(12)에 맞물려 모터(도면 미도시)의 회전력을 전달하는 구동기어(31)들이 구동축(30)에 마련되어 있어, 구동축(30)의 회전에 따라 상기 다수의 반송샤프트(10)들은 동일한 방향, 동일한 속도로 회전하게 된다.
Drive shafts 31 for transmitting the rotational force of a motor (not shown) in engagement with the gear 12 are provided on the drive shaft 30 so that the plurality of transport shafts 10 Direction, and at the same speed.

이때, 상기 베어링(40)은 진동이 발생할 수 있으나, 상기 지지블록(20)의 삽입홈과 베어링(40) 사이에 위치하는 완충부(50)에 의하여 그 진동이 상쇄되며, 따라서 베어링(40)에서 발생된 진동이 반송샤프트(10)를 통해 기판에 전달되지 않게 된다.
At this time, the vibration of the bearing 40 may occur, but the vibration is canceled by the cushioning portion 50 located between the insertion groove of the support block 20 and the bearing 40, So that the vibration generated in the carrier shaft 10 is not transmitted to the substrate.

상기 완충부(50)는 고무, 실리콘 등의 탄성재질이며, 그 형상은 상부가 베어링(40)의 곡면이 안착될 수 있는 오목한 안착면을 갖는다. 이와 같은 완충부(50)는 베어링(40)의 진동을 상쇄할 수 있을 뿐만 아니라 이송되는 기판의 선단부가 상기 반송샤프트(10)의 롤러(11)에 접촉될 때 그 접촉에 의한 충격을 완화시키는 역할도 하게 되어 기판의 손상을 방지할 수 있다.
The buffer portion 50 is made of an elastic material such as rubber or silicone and has a recessed seating surface on which the curved surface of the bearing 40 can be seated. Such a buffering portion 50 not only can cancel the vibration of the bearing 40 but also relieves the impact caused by the contact when the leading end portion of the substrate to be conveyed comes into contact with the roller 11 of the conveying shaft 10 So that damage to the substrate can be prevented.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 완충부(50)의 단면 구성도이다.4 is a cross-sectional view of a buffer 50 according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 완충부(50)는 상기 지지블록(20)의 삽입홈(22)의 바닥면에 고정설치되는 스프링(51)과, 상기 스프링(51)의 상부에 고정되며, 상기 베어링(40)의 저면부에 밀착되는 밀착부(52)를 포함하여 구성될 수 있다.4, the cushioning part 50 according to another embodiment of the present invention includes a spring 51 fixed to the bottom surface of the insertion groove 22 of the support block 20, And a tight contact portion 52 fixed to the upper portion of the bearing 40 and closely contacting the bottom portion of the bearing 40.

상기 밀착부(52)는 고무, 실리콘 등의 탄성재질일 수 있으며, 금속이나 수지 등의 비탄성재질일 수 있으며, 상면이 상기 베어링(40)의 저면부에 밀착될 수 있도록 곡면인 특징이 있다.
The contact portion 52 may be made of an elastic material such as rubber, silicone, or the like, and may be a non-elastic material such as metal or resin, and is curved so that its upper surface can be closely attached to the bottom surface of the bearing 40.

이와 같은 구조에서 베어링(40)에서 발생된 진동을 상기 밀착부(52) 및 스프링(51)에서 상쇄되거나, 상기 밀착부(52)가 비탄성체일 때는 상기 스프링(51)의 탄성에 의해 상쇄된다.In this structure, the vibration generated in the bearing 40 is canceled by the tight contact portion 52 and the spring 51, or is canceled by the elasticity of the spring 51 when the tight contact portion 52 is a non-elastic body .

또한 앞서 설명한 바와 같이 기판이 이송되면서 그 선단부가 반송샤프트(10)의 롤러(11)에 충격되는 경우, 스프링(51)에 의해 충격을 완화시킬 수 있게 된다.
As described above, when the leading end of the substrate is transported while being impacted by the roller 11 of the transport shaft 10, the impact can be alleviated by the spring 51. [

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention will be.

10:반송샤프트 11:롤러
12:기어 20:지지블록
21:커버 22:삽입홈
30:구동축 31:구동기어
40:베어링 50:완충부
51:스프링 52:밀착부10: conveying shaft 11: roller
12: Gear 20: Support block
21: cover 22: insertion groove
30: drive shaft 31: drive gear
40: Bearing 50: Buffer
51: spring 52:

Claims (6)

양단에 베어링이 결합된 반송샤프트들과, 상기 반송샤프트들의 양단에 결합된 베어링을 고정하여, 상기 반송샤프트들을 회전가능한 상태로 고정하는 지지블록을 포함하는 대면적 기판의 반송장치에 있어서,
상기 베어링의 하부에 마련되어, 상기 베어링에서 발생하는 진동 또는 기판 선단부의 충돌시 충격을 완화하는 완충부를 더 포함하는 대면적 기판의 반송장치.
And a support block for fixing the bearings coupled to both ends of the conveying shafts and fixing the conveying shafts in a rotatable state, the conveying device comprising:
And a buffer provided at a lower portion of the bearing to mitigate a vibration generated in the bearing or an impact upon collision of the front end of the substrate.
제1항에 있어서,
상기 완충부는,
고무 또는 실리콘 재질인 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 반송장치.
The method according to claim 1,
The buffering portion
Characterized in that the substrate is made of rubber or silicon.
제2항에 있어서,
상기 완충부의 상면은,
상기 베어링의 하부가 밀착되도록 오목한 곡면인 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 반송장치.
3. The method of claim 2,
The upper surface of the cushioning portion,
And a bottom surface of the bearing is a curved surface concave to closely contact the bottom surface of the bearing.
제1항에 있어서,
상기 완충부는,
상기 지지블록의 삽입홈의 바닥면에 하단이 고정되는 스프링과,
상기 스프링의 상단에 고정되어, 상기 베어링의 저면에 밀착되는 밀착부를 더 포함하는 대면적 기판의 반송장치.
The method according to claim 1,
The buffering portion
A spring having a lower end fixed to the bottom surface of the insertion groove of the support block,
And a tight contact portion which is fixed to an upper end of the spring and closely contacts the bottom surface of the bearing.
제4항에 있어서,
상기 밀착부는,
고무 또는 실리콘인 탄성재질이거나, 금속 또는 수지인 비탄성재질인 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 반송장치.
5. The method of claim 4,
The tight-
Is made of an elastic material such as rubber or silicone, or is made of a non-elastic material such as a metal or a resin.
제5항에 있어서,
상기 밀착부의 상면은,
상기 베어링의 하부가 밀착되도록 오목한 곡면인 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 반송장치.
6. The method of claim 5,
The upper surface of the tightly-
And a bottom surface of the bearing is a curved surface concave to closely contact the bottom surface of the bearing.
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Cited By (4)

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