KR20130054428A - Optical measuring system for determining distances - Google Patents
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Abstract
어떠한 종류의 측정 상황에서도 측정 가능한, 최고로 신뢰성있는 거리 측정을 고려하여 설계되고 개발된, 센서 장치(조사광 빔을 발생하는 광원과 피측정물의 표면에서 반사된 조사광 빔의 일부를 검출하는 검출기를 포함함)와 피측정물(적어도 가시광 파장 범위에 대해서 투명하게 설계됨) 사이의 거리를 결정하기 위한 측정 시스템으로서, 본 측정 시스템에서, 조사광 빔은 자색 또는 자외선 영역의 파장을 가지며, 피측정물은 조사광 빔이 피측정물의 표면에서 확산 반사되도록 설계된다. 아울러, 본 측정 시스템은 본질적으로 불투광성인 피측정물을 측정하는 데에 특정되어 있다. Sensor devices (designed and developed in consideration of the most reliable distance measurement, which can be measured in any kind of measurement situation, a detector that detects a light source generating an irradiated light beam and a portion of the irradiated light beam reflected from the surface of the object under test. A measurement system for determining the distance between the measured object and the object under test (designed to be transparent for at least the visible wavelength range), in which the irradiated light beam has a wavelength in the violet or ultraviolet region. The light beam is designed such that the irradiated light beam is diffusely reflected at the surface of the object under test. In addition, this measurement system is specific for measuring an object that is inherently opaque.
Description
본 발명은, 조사광 빔을 발생하는 광원과 피측정물의 표면에서 반사된 조사광 빔의 일부를 검출하는 검출기를 포함하는 센서 장치와 적어도 가시광 파장 범위에 대해서 투명하도록 설계된 피측정물 사이의 거리를 결정하기 위한 측정 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a sensor device comprising a light source for generating an irradiation light beam and a detector for detecting a portion of the irradiation light beam reflected from the surface of the object and at least a distance between the object being designed to be transparent to at least the visible light wavelength range. It relates to a measurement system for determining.
본 발명은 또한, 조사광 빔을 발생하는 광원과 피측정물의 표면에서 반사된 조사광 빔의 일부를 검출하는 검출기를 포함하는 센서 장치와 가시광이 직반사되도록 설계된 피측정물 사이의 거리를 결정하기 위한 측정 시스템에 관한 것이다. The present invention also provides a method for determining a distance between a sensor device comprising a light source for generating an irradiation light beam and a detector for detecting a portion of the irradiation light beam reflected from a surface of the object and a target under test designed so that visible light is reflected directly. To a measuring system.
광학식 측정 시스템은 실무상 광범위한 응용분야를 갖는다. 정확하며 또한 빠른 비접촉식 측정이, 피측정물과 센서 장치 사이의 거리를 비접촉 상태에서 측정하거나 피측정물의 훼손없이 피측정물을 측정할 많은 응용 분야를 열고 있다. 한 가지 중요한 응용 분야로서 가공물의 품질을 검사하기 위한 품질 보증(QA)이 있다. Optical measuring systems have a wide range of practical applications. Accurate and fast contactless measurement opens up many applications in which the distance between an object to be measured and a sensor device can be measured in a non-contact state or to be measured without damaging the object. One important application is quality assurance (QA) for inspecting the quality of workpieces.
광학식 측정 시스템에서는 피측정물에 조사광 빔(illumination light beam)(적색 또는 적외선 레이저 빔이 매우 빈번하게 사용됨)을 조사하고 피측정물에서 반사된 조사광 빔의 일부를 검출기(detector)로 검출한다. 이러한 센서 장치를 이용해서 센서 장치에서 피측정물까지의 거리가 얼마인지를 결정할 수 있는지에 따른 경험으로부터 다양한 방법이 공지되어 있다. 일례로서, 삼각 측량법을 참조한다.The optical measuring system irradiates an object with an illumination light beam (a red or infrared laser beam is used very frequently) and detects a part of the irradiation light beam reflected from the object under measurement by a detector. . Various methods are known from experience depending on how such a sensor device can be used to determine what is the distance from the sensor device to the object under test. As an example, reference is made to triangulation.
종래 기술에서 공지된 측정 시스템은, 투명하거나 부분적으로 투명한 경우의 피측정물에 대해 측정을 수행할 때에는 항상 문제가 있다. 본 맥락에서 투명하다는 것은, 가시광(파장 범위 400nm ~ 800nm)의 넓은 범위의 스펙트럼 영역이 피측정물을 통과할 수 있음을 의미한다. 통과하는 동안에, 해당 스펙트럼 영역이 약간 정도만 감쇠될 뿐이다. 부분적으로 투명하다는 것은, 가시광의 적어도 한 스펙트럼 영역은 피측정물을 통과할 수 있고 다른 스펙트럼 영역은 완전히 또는 무시할 수 없을 정도로 흡수되거나 반사되는 것을 의미한다. Measurement systems known in the prior art are always problematic when performing measurements on a workpiece under transparent or partially transparent conditions. Transparent in this context means that a wide range of spectral regions of visible light (wavelength range 400 nm to 800 nm) can pass through the object under test. During the pass, the spectral region is only slightly attenuated. Partially transparent means that at least one spectral region of visible light can pass through the object under test and the other spectral region is completely or negligibly absorbed or reflected.
조사광 빔이 이러한 유형의 피측정물에 닿으면 직반사(directly reflect)된다. 즉, 피측정물의 표면에서의 조사광 빔의 입사각이, 반사된 조사광 빔의 반사각과 같다. 그 밖의 공간 방향으로의 분산은 사실상 존재하지 않는다. 이 때문에, 센서 장치 및 피측정물은 최적 상태로 정렬되어 유용한 측정 결과를 얻을 수 있어야 한다. 피측정물의 표면이 최적의 위치에서 약간만 기울어져도 조사광 빔은 검출기로 반사되지 못하여, 측정 절차는 실패하고 상당히 불안정해진다. 특히 제조 환경에서의 품질 보증 시에, 센서 장치와 피측정물의 상호간 최적 정렬을 유지하는 것은 사실상 불가능하다. 이 정렬은 곡면 형성되거나 둥글게 제작된 피측정물의 경우에는 실제로 불가능하다. 이와 유사한 문제가, 표면 마감처리로 인해 광을 직반사하지 못하는 불투명 피측정물에서의 광학식 측정시에도 발생한다. 이러한 문제점들은 여기서 서로 필적한다. 일례로서 경면 표면을 참조한다. When the irradiated light beam hits this type of object under test, it is reflected directly. That is, the incident angle of the irradiation light beam on the surface of the object to be measured is equal to the reflection angle of the reflected irradiation light beam. There is virtually no dispersion in the spatial direction. For this reason, the sensor device and the object to be measured must be optimally aligned to obtain useful measurement results. Even if the surface of the object to be tilted only slightly at the optimum position, the irradiated light beam does not reflect to the detector, so the measurement procedure fails and becomes quite unstable. Especially during quality assurance in a manufacturing environment, it is virtually impossible to maintain optimal alignment between the sensor device and the object under test. This alignment is practically impossible with curved or rounded workpieces. Similar problems arise in optical measurements on opaque objects that do not reflect light directly due to surface finish. These problems are comparable here to each other. As an example, a mirror surface is referred to.
따라서 본 발명은, 직반사가 일어나는 표면의 피측정물에 대해서도 신뢰성 있게 광학식 거리측정을 수행할 수 있는, 투명한, 부분적으로 투명한, 또는 불투명한 피측정물에 대한, 서두에서 명명한 형식의 측정 시스템을 설계하고 아울러 개발하는 것을 목적으로 한다. Thus, the present invention provides a measurement system of the form named at the outset for a transparent, partially transparent, or opaque measurement object that can reliably perform optical distance measurements even on an object on the surface where direct reflection occurs. The objective is to design and develop a framework.
본 발명에 따르면, 투명 및 반투명의 피측정물에 대한 상기 목적은 청구항 1의 특징에 의해 달성된다. 이에 따르면, 이하 논의할 측정 시스템에 있어서, 조사광 빔은 자색 또는 자외선 영역역의 파장을 가지며, 피측정물은 조사광 빔이 피측정물의 표면에서 확산 반사(diffusely reflect)되도록 설계된 것을 특징으로 한다, According to the invention, this object for transparent and translucent objects is achieved by the features of claim 1. Accordingly, in the measurement system to be discussed below, the irradiated light beam has a wavelength in the violet or ultraviolet region, and the object to be measured is designed such that the irradiated light beam is diffusely reflected at the surface of the object. ,
불투명 피측정물에 대한 측정 시에, 상기 목적은 청구항 5의 특징에 의해 달성된다. 이에 따르면, 이하 논의할 측정 시스템에 있어서, 조사광 빔은 자색 또는 자외선 영역역의 파장을 가지며, 피측정물은 조사광 빔이 확산 반사되도록 하는 코팅이 표면에 형성되도록 설계된 것을 특징으로 한다. In measuring on an opaque to-be-measured object, this object is achieved by the features of claim 5. According to this, in the measurement system to be discussed below, the irradiated light beam has a wavelength in the violet or ultraviolet region, and the object to be measured is designed such that a coating is formed on the surface to diffusely reflect the irradiated light beam.
본 발명에 따른 방식에 있어서, 투명 또는 반투명 피측정물은 매우 빈번히, 자색 또는 자외선 파장대의 광에 대해서 불투광성으로 또는 광감쇠도가 크도록 설계된다는 특징을 갖고 있음을 가장 먼저 인식해야 한다. 보통, 이러한 특징은 보호 조치로서 의도적으로 시행된다. 특히, 플라스틱의 경우에는 자외선에 매우 장시간 동안 노출되면 그 투명성이 상실되는 경향이 있다. 이러한 효과를 방지하기 위해 플라스틱은, 자색 및/또는 자외선 광이 소재 내로 투과하지 못하도록 또는 거의 투과하지 못하도록 처리되고 있다. 도리어, 자색 및/또는 자외선 광은 소재의 표면에서 확산 반사된다. 이러한 피측정물의 불투광성 또는 큰 광감쇠도를 본 발명에 따른 측정 시스템에 이용하는 것이다. In the manner according to the invention, it should be recognized first of all that the transparent or translucent subject matter is very frequently designed to be opaque or to have a high degree of light attenuation for light in the violet or ultraviolet wavelength range. Usually this feature is intentionally implemented as a protective measure. In particular, plastics tend to lose their transparency when exposed to ultraviolet light for a very long time. In order to prevent this effect, plastics are treated such that purple and / or ultraviolet light is hardly or rarely transmitted into the material. Rather, purple and / or ultraviolet light is diffusely reflected at the surface of the material. The opacity or large degree of light attenuation of such an object is used in the measurement system according to the present invention.
본 발명에 따르면, 자색 또는 자외선 파장대의 광 빔을 조사광 빔으로서 사용한다. 지정된 피측정물과 조사광 빔을 결합시킴으로써, 직반사되지 않고 확산 반사되는 조사광 빔을, 의외로 단순한 방식으로 얻을 수 있다. 이 때문에, 투명 또는 반투명 피측정물에 대해서도, 가시광 영역에서의 피측정물의 광학적 특성에 영향을 주지 않으면서, 광학식 측정 시스템을 이용해서 측정을 수행할 수 있다. According to the present invention, the light beam of the violet or ultraviolet wavelength band is used as the irradiation light beam. The irradiation light beam that is diffusedly reflected without being directly reflected can be obtained in an unexpectedly simple manner by combining the object to be measured and the irradiation light beam. For this reason, even a transparent or translucent measurement object can be measured using an optical measurement system without affecting the optical properties of the measurement object in the visible light region.
본 발명에 따르면, 이러한 특징 결합을, 불투명한 피측정물, 즉, 사실상 가시광이 투과하지 못하며 그 표면에서 가시광이 직반사되는 피측정물에 대해서도 이용할 수 있다. 이를 위해, 본 발명에서는, 피측정물에, 자색 및/또는 자외선 광에 대한 불투광성을 갖거나 자색 또는 자외선 광을 무시하지 못할 정도로 감쇠시키는 코팅을 형성한다. 이로 인해 피측정물의 표면에서 자색 또는 자외선 조사 빔의 확산 반사가 일어난다.According to the present invention, this characteristic combination can be used for an opaque object to be measured, that is, a material which does not transmit visible light in fact and whose visible light is directly reflected from the surface thereof. To this end, in the present invention, a coating is formed on the object to be opaque to purple and / or ultraviolet light or to attenuate the purple or ultraviolet light to a degree that cannot be ignored. This causes diffuse reflection of the purple or ultraviolet radiation beam on the surface of the object under test.
피측정물(투명이든, 반투명이든, 불투명이든)의 표면에서의 조사광 빔의 확산 반사에 의해서, 조사광 빔은 하나의 공간 방향으로만 반사되지 않고 직반사 광 빔 주위의 소정 각도 범위로 반사된다. 이 때문에 피측정물과 센서 장치를 서로 정확하게 정렬할 필요가 더 이상 없고, 이 측정 시스템의 사용 분야가 확장됨이 분명해진다. 확실히 더 안정적인 측정 환경을 이룰 수 있다. By diffuse reflection of the irradiated light beam on the surface of the measurement object (either transparent, translucent, or opaque), the irradiated light beam is not reflected in only one spatial direction but reflected in a predetermined angle range around the direct reflected light beam do. This no longer necessitates precise alignment of the workpiece and the sensor device with each other and it becomes clear that the field of use of the measurement system is expanded. Clearly, a more stable measurement environment can be achieved.
조사광 빔이 반사되는 피측정물의 표면은, 피측정물의 센서 장치쪽을 향하고 있는 외부 표면인 것이 바람직하다. 원리적으로, 투명한 피측정물의 경우에는, 조사광 빔이 피측정물을 먼저 투과한 다음에 센서 장치를 등지고 있는 표면에서 반사되거나 또는 피측정물 내에 위치한 임의의 분리 평면에서 반사되어 검출기 방향으로 향하는 것도 생각해 볼 수 있다. 그러나 바람직하게는, 조사광 빔이 투과하지 못하거나 투과하더라도 아주 조금만 투과하는 피측정물을 사용하는 것이 좋다. It is preferable that the surface of the measured object on which the irradiation light beam is reflected is an outer surface facing the sensor device of the measured object. In principle, in the case of a transparent EUT, the irradiation light beam first penetrates the EUT and then either reflects off the surface facing away from the sensor device or on any separation plane located within the EUT and directed toward the detector. You can also think about it. Preferably, however, it is preferable to use a measurement object that transmits only a small amount even if the irradiated light beam does not or does not transmit.
투명 또는 반투명 피측정물의 경우에, 조사광 빔의 확산 반사가 피측정물 표면의 특수 코팅에서 일어날 수도 있다. 이에 적합한 코팅으로서 자색 및/또는 자외선 영역에서 불투광성이거나 광감쇠도가 큰 코팅은 경험적으로 공지되어 있다. 일례를 들자면(한정하고자 하는 것이 아님), 코팅된 플라스틱-글라스를 참조한다. In the case of a transparent or translucent object, the diffuse reflection of the irradiated light beam may occur in a special coating on the surface of the object. Suitable coatings for this are empirically known coatings which are opaque or high in light attenuation in the violet and / or ultraviolet region. As an example (but not by way of limitation), reference is made to coated plastic-glass.
그러나 피측정물은 그 재료 조성 때문에 이미 필요 특성을 갖고 있다는 것과, 자색 및/또는 자외선 광은 피측정물을 현저하게 투과할 수 없다는 것도 또한 생각할 수 있다. 가시광에 대해서 투명하고 자색 및/또는 자외선 영역에서 불투광성인 해당 재료는 경험을 통해 공지되어 있다. However, it is also conceivable that the object under test already has the necessary properties due to its material composition, and that purple and / or ultraviolet light cannot significantly transmit the object under test. Those materials which are transparent to visible light and opaque in the violet and / or ultraviolet region are known from experience.
본 발명에 따른 측정 시스템의 바람직한 예시적 실시예에서, 피측정물은 자동차 산업에 사용되는 투명 플라스틱 부품 또는 코팅된 유리를 포함한다. 특히 바람직한 방식으로서, 본 측정 시스템은 차량의 전조등 또는 후미등의 렌즈나 디스크 측정시에 사용된다.In a preferred exemplary embodiment of the measurement system according to the invention, the object to be measured comprises transparent plastic parts or coated glass for use in the automotive industry. As a particularly preferred method, the present measurement system is used when measuring a lens or a disc such as a headlight or a taillight of a vehicle.
불투명 피측정물의 경우의 바람직한 예시적 실시예는, 불투광성의 플라스틱, 연마처리한 금속판 또는 다양하게 설계된 금속제 물체 등에 관련된다. 그러나, 목재, 목질 재료, 종이 등도 불투명 물체로서 사용할 수 있다. 피측정물이 완전하게 불투광성일 필요는 없다. 원리적으로 볼 때 피측정물은 반투명일 수도 있는 것이다. Preferred exemplary embodiments in the case of opaque objects are related to opaque plastics, polished metal plates or various designed metal objects and the like. However, wood, wood materials, paper and the like can also be used as the opaque object. The object to be measured does not need to be completely opaque. In principle, the object to be measured may be translucent.
바람직하게는, 피측정물(투명이든, 반투명이든, 불투명이든)은 420nm 미만 파장의 광에 대해서 불투광성이거나 감쇠도가 크도록 설계된다. 특히 바람직하게는, 390nm 이하 파장의 광에 대해서 불투광성이거나 감쇠도가 크도록 설계된다. Preferably, the object under test (whether transparent, translucent, or opaque) is designed to be opaque or largely attenuated for light with a wavelength less than 420 nm. Particularly preferably, it is designed to be opaque or large in attenuation for light having a wavelength of 390 nm or less.
센서 장치의 특히 양호한 광학적 동작을 위하여, 광원은 레이저빔을 조사광 빔으로서 방출하는 레이저로 구성할 수 있다. 이 경우, 고체 레이저나 가스 레이저 뿐만 아니라 레이저 다이오드를 사용할 수 있다. 그러나, 특히 비용 효율적인 측정 시스템을 위해서는 광원을 LED로 구성할 수 있다. 많은 응용 분야에서는, 광 품질이 낮아도 충분하다. For a particularly good optical operation of the sensor device, the light source can consist of a laser which emits a laser beam as an irradiation light beam. In this case, not only a solid state laser or a gas laser but also a laser diode can be used. However, especially for cost-effective measurement systems, the light source can be constructed with LEDs. In many applications, low light quality is sufficient.
조사광 빔은 425nm 이하의 파장을 갖는 것이 바람직하다. 특별히 바람직한 방식으로서는, 405nm 이하 파장의 조사광 빔이 사용된다. 매우 특별히 바람직한 방식으로서는, 조사광 빔의 파장이 390nm 이하이다. 일반적으로는, 극히 짧은 파장의 UV 광까지 광원으로서 사용할 수 있다. 그러나, 이러한 유형의 광원은 매우 비싸고, 특별한 보호 조치가 필요하기 때문에 측정 시스템의 안전한 작동이 복잡해진다. 따라서 파장에 있어서의 한계가 정해져 있다. 현재로서 기술적으로 사용상 용인되는 최소 파장은 300nm이다.The irradiation light beam preferably has a wavelength of 425 nm or less. As a particularly preferable method, an irradiation light beam having a wavelength of 405 nm or less is used. As a very particularly preferable manner, the wavelength of the irradiation light beam is 390 nm or less. Generally, UV light of extremely short wavelength can be used as a light source. However, this type of light source is very expensive and requires special protective measures, which complicates the safe operation of the measuring system. Therefore, the limit in wavelength is decided. At present, the minimum wavelength that is technically acceptable for use is 300 nm.
조사광 빔은 점 형상 또는 선형으로 피측정물에 조사되는 것이 바람직하다. 점 또는 선을 결합하여 십자선이나 수 개의 평행선과 같은 패턴으로 만들 수도 있다. 조사 라인은 직선인 것이 바람직하다.The irradiation light beam is preferably irradiated to the object under test in a point shape or linearly. You can also combine points or lines to form patterns such as crosshairs or several parallel lines. It is preferable that a radiation line is a straight line.
조사광 빔의 빔 경로에는, 광원 이후에 집속(focusing) 장치를 설치하여, 조사광 빔을 집속하는 것이 바람직하다. 광원과 집속 장치가 함께 조사 유닛을 구성한다. 조사광 빔은 피측정물의 표면에 집속되는 것(초점을 맺는 것)이 바람직하다. 그러나, 무한점이나 광축 상의 다른 위치에 조사광 빔이 집속되는 것도 또한 생각해 볼 수 있을 것이다. In the beam path of the irradiation light beam, a focusing apparatus is provided after the light source to focus the irradiation light beam. The light source and the focusing apparatus together constitute an irradiation unit. The irradiation light beam is preferably focused (focusing) on the surface of the object under test. However, it is also conceivable that the irradiation light beam is focused at an infinite point or another position on the optical axis.
검출기로는, CMOS(complimentary metal oxide silicon) 배열체(어레이) 또는 CCD(charge coupled device) 배열체를 사용할 수 있다. 이 배열체는 선형 배열 또는 면 배열(즉, 2차원적 전개)인 것이 바람직하다. 예를 들어, 선형 배열은 점 형상의 거리 측정 시에 사용할 수 있으며, 면 배열은 격자 교차점 방식에 따른 거리 측정 시에 사용할 수 있다. 또한 일부의 경우에는, 기존의 라인 스캔 또는 매트릭스 카메라로도 검출기를 구성할 수 있다.As a detector, a complementary metal oxide silicon (CMOS) array (array) or a charge coupled device (CCD) array can be used. This arrangement is preferably a linear arrangement or a face array (ie two-dimensional development). For example, the linear arrangement may be used when measuring distances in a point shape, and the surface arrangement may be used when measuring distances according to a grid intersection method. In some cases, the detector can also be configured with an existing line scan or matrix camera.
점 형상의 거리 측정의 경우에는 PSD(위치 검출 다이오드) 또는 APD(애벌런치 포토다이오드)를 사용할 수 있다. 특히, APD는 광의 이동 시간(running time) 또는 위상 변위(phase shift) 측정을 이용한 거리 측정에 사용할 수 있다. PSD 또는 APD는 배열체로서 장착할 수 있다. In the case of point-shaped distance measurement, PSD (position detection diode) or APD (avalanche photodiode) can be used. In particular, the APD can be used for distance measurement using a running time or phase shift measurement of light. PSD or APD can be mounted as an array.
검출 채널(즉, 피측정물의 표면에서 반사된 조사광 빔의 일부의, 센서 장치 내에서의 빔 경로) 이외 영역의 복사파를 차단하기 위해, 검출기 앞에 파장 선택 요소를 설치할 수 있다. 파장 선택 요소에 의해서, 예를 들어, 광대역 검출 특성을 갖는 검출기를 위해서 그 주변 광을 차단할 수 있다. 이 파장 선택 요소를 필터(예를 들어, 간섭 필터) 또는 분산 요소(dispersive element)로 설계할 수 있다. 그러나 예를 들어, 센서 장치의 크기를 줄이기 위해서는 파장 선택 요소를 빔 편향(deflection)/휨(folding)용 분색 거울(dichroic mirror)로 설계할 수도 있다. 일반적으로는 전체 광학 채널(즉, 조사광 빔이 광원으로부터 나와 검출기로 가는 경로)을 조사광의 파장에 맞추는 것이 합리적이다.A wavelength selection element may be provided in front of the detector to block radiation in areas other than the detection channel (ie, the beam path in the sensor device, of the portion of the irradiation light beam reflected off the surface of the object to be measured). By means of the wavelength selection element it is possible to block the ambient light, for example for a detector with broadband detection characteristics. This wavelength selection element can be designed as a filter (for example, an interference filter) or a dispersive element. However, for example, to reduce the size of the sensor device, the wavelength selective element may be designed as a dichroic mirror for beam deflection / folding. In general, it makes sense to match the entire optical channel (ie, the path of the irradiated light beam from the light source to the detector) to the wavelength of the irradiated light.
파장 선택성을 보다 더 개선하기 위해 수 개의 파장 선택 요소를 결합하는 것도 또한 생각할 수 있다. 예를 들어, 수 개의 분산 요소를 연속적으로 배치할 수 있다. 그러나, 다양한 종류의 파장 선택 요소를 서로 결합하는 것이 바람직하다. 이는, 분색 거울과, 필터 또는 분산 요소를 결합하는 것이 가능하다는 것을 의미한다. It is also conceivable to combine several wavelength selection elements to further improve wavelength selectivity. For example, several dispersive elements can be placed consecutively. However, it is desirable to combine various kinds of wavelength selective elements with each other. This means that it is possible to combine a chromatic mirror with a filter or a dispersion element.
측정 시스템은, 센서 장치에 연결되어 센서 장치의 측정 신호를 수신하는 평가 유닛(evaluation unit)을 포함하는 것이 바람직하다. 이 평가 장치는, 예를 들어, 조사광 빔이 변조(modulate)된 경우, 조사광 빔에 관한 추가 정보를 수신할 수 있다. 평가 장치는, 수신된 광 빔(즉, 반사되어 검출기가 수신한 조사광 빔의 일부)을 이용하여, 그리고 가능한 경우, 조사광 빔 자체에 대한 기지의 정보를 이용하여, 센서 장치와 피측정물 사이의 거리를 결정한다. 거리의 결정은, 예를 들어, 계산에 의해서, 또는 교정 측정시에 결정되어 평가 유닛에 저장된 내용을 갖는 표에서 값을 독출하여 행할 수 있다. The measurement system preferably includes an evaluation unit connected to the sensor device and receiving a measurement signal of the sensor device. This evaluation apparatus can receive additional information about the irradiation light beam, for example, when the irradiation light beam is modulated. The evaluation device uses the received light beam (i.e. the part of the irradiation light beam reflected and received by the detector) and, if possible, using known information about the irradiation light beam itself, the sensor device and the object to be measured. Determine the distance between. The distance can be determined, for example, by reading a value from a table having contents determined by calculation or at the time of calibration measurement and stored in the evaluation unit.
조사광 빔에 관한 정보에 덧붙여, 또는 이에 대한 대안으로서, 평가 유닛은 피측정물에서 반사된 광의 강도에 관한 정보를 수신할 수 있고, 광원의 강도에 따라 제어 장치를 이용하여 검출기 및/또는 검출기 선로에 설치된 신호 증폭기의 적분(integration) 시간을 조정(regulate) 및/또는 조절(adjust)할 수 있다. In addition to or as an alternative to the information about the irradiated light beam, the evaluation unit may receive information about the intensity of the light reflected from the object under test, and using a control device according to the intensity of the light source, the detector and / or the detector It is possible to adjust and / or adjust the integration time of the signal amplifier installed in the line.
센서 장치 및 평가 유닛은, 삼각 측량법으로 거리 측정을 하도록 설계할 수 있다. 이를 위해, 광원 및 검출기를, 광원과, 피측정물 표면에 비춰지는 조사 점과, 검출기 상에 비춰지는 조사 점이 삼각형을 이루도록 배치한다. 센서 장치에 대해서는 알고 있으므로, 피측정물의 표면 상에 조사된 점의 거리를 센서 장치에 의해 계산할 수 있다.The sensor device and the evaluation unit can be designed to measure distance by triangulation. To this end, the light source and the detector are arranged so that the light source, the irradiation point shining on the surface of the object to be measured, and the irradiation point shining on the detector form a triangle. Since the sensor device is known, the distance of the point irradiated on the surface of the object to be measured can be calculated by the sensor device.
센서 장치 및 평가 유닛은 또한, 광의 이동 시간을 측정하여 거리를 결정하도록 설계할 수 있다. 이를 수행하기 위해, 광 빔이 광원에서부터 피측정물에까지 그리고 검출기까지 이동하는 데 얼마나 시간이 소요되었는지 측정한다. 광 속도를 알고 있으므로, 상기 시간으로부터 거리를 결정할 수 있다. The sensor device and the evaluation unit can also be designed to determine the distance by measuring the travel time of the light. To do this, it is measured how long it takes for the light beam to travel from the light source to the workpiece and to the detector. Since the speed of light is known, the distance can be determined from this time.
센서 장치 및 평가 유닛의 또다른 가능성있는 설계로서 위상 변위(phase shift)의 측정이 포함된다. 이를 수행하기 위해 조사광 빔의 밝기를 적정 주파수에 대해서 변조하고, 조사광 빔 및 수신된 광 빔의 밝기의 변화를 서로 비교한다. 상호간의 위상 위치로부터, 광의 이동 시간, 그리고 결과적으로 센서 장치와 피측정물 사이의 거리를 결정할 수 있다. Another possible design of the sensor device and the evaluation unit involves the measurement of phase shift. To do this, the brightness of the irradiated light beam is modulated with respect to an appropriate frequency, and the changes in the brightness of the irradiated light beam and the received light beam are compared with each other. From the mutual phase position, it is possible to determine the travel time of the light and consequently the distance between the sensor device and the object under test.
평가 유닛은 피측정물 및/또는 피측정물 부분의 윤곽(프로필)이 나타나도록 여러 번의 거리 측정치를 결합할 수 있다. 이를 수행하기 위해, 피측정물 상의 측정점 위치와 거리값들에 관련을 맺는다. 센서 장치가, 예를 들어 격자 교차점 방식에 따라 동작한다면, 한 번의 측정으로 선상의 윤곽을 결정할 수 있다. 피측정물 위에서 이 선을 지나가도록 하면, 피측정물 또는 피측정물 부분의 3차원 구조를 결정할 수 있게 된다. 윤곽 결정을 위해서, 센서 장치와 피측정물을 또한, 서로 이동할 수 있도록 설계할 수 있다. 그러나 편향 장치를 써서 조사광 빔을 피측정물 위에서 이동시키는 것도 또한 가능하다. 이에 적합한 스캐닝 장치가 경험적으로 공지되어 있다.The evaluation unit may combine several distance measurements such that the contour (profile) of the object and / or part of the object is shown. To do this, it relates to the measuring point position and distance values on the workpiece. If the sensor device is operated according to, for example, a grid crossing scheme, it is possible to determine the contour of the line in one measurement. Passing this line on the object under test allows the three-dimensional structure of the object or part of the object to be determined. For contour determination, the sensor device and the object under test can also be designed to move with each other. However, it is also possible to use a deflecting device to move the irradiated light beam over the object under test. Suitable scanning devices for this are known empirically.
특히 바람직한 예시적 실시예에 따르면, 본 발명은, 코팅이나 그 재료 조성 때문에 UV 광을 부분적으로는 흡수하고 부분적으로는 반사하는 물체와의 거리를 측정하는 데 사용되는 삼각 측량법에 따른 측정 시스템에 관한 것이다. 광조사 장치(예컨대, 집속 광학장치를 갖는 레이저 다이오드)는 UV 대역에서의 방출 파장을 갖는 집속된 광을 방출한다. 수신 빔 경로 상에서, 여러 파장들 중에서 이 파장을 선택하는 것은 광학 필터, 분산 요소(dispersive element), 및/또는 적합한 차광판(shade)이 설치된 분색 거울(dichroic mirror)을 이용하여 행할 수 있다. 방출되는 광의 일부는 물체의 표면에서 및/또는 수신 빔 경로에 있는 물체로부터 확산적으로 반사(diffusively reflect)된다 According to a particularly preferred exemplary embodiment, the present invention relates to a measurement system according to triangulation, which is used to measure the distance to an object that partially absorbs and partially reflects UV light because of the coating or its material composition. will be. A light irradiation apparatus (eg, a laser diode with focusing optics) emits focused light having an emission wavelength in the UV band. On the receive beam path, the selection of this wavelength among several wavelengths can be done using a dichroic mirror equipped with an optical filter, a dispersive element, and / or a suitable shading plate. Some of the light emitted is diffusely reflected at the surface of the object and / or from the object in the receive beam path.
이제, 본 발명의 사상을 유익한 방식으로 설계하고 나아가 개발하기 위한 다양한 가능성이 있다. 이러한 목적을 위해서, 한편으로는 청구항 1과 청구항 5의 종속 청구항들을 참조하고, 다른 한편으로는, 도면을 이용하여 설명한 이하의 바람직한 예시적 실시예를 참조한다. 도면을 이용하여 설명한 본 발명의 바람직한 예시적 실시예에 대한 설명과 관련하여 볼 때, 발명 사상의 전체적으로 바람직한 설계 및 개발에 대해서 설명한다.There are now various possibilities for designing and further developing the idea of the invention in an advantageous manner. For this purpose, reference is made to the dependent claims of claims 1 and 5 on the one hand, and on the other hand, the following preferred exemplary embodiments described with reference to the drawings. In connection with the description of the preferred exemplary embodiment of the present invention described with reference to the drawings, the overall preferred design and development of the inventive idea will be described.
본 발명에 따르면, 직반사가 일어나는 표면의 피측정물에 대해서도 신뢰성 있게 광학식 거리측정을 수행할 수 있는, 투명한, 부분적으로 투명한, 또는 불투명한 피측정물에 대한 측정 시스템이 제공된다. According to the present invention, there is provided a measurement system for a transparent, partially transparent, or opaque to-be-measured object, which can reliably perform optical distance measurement even on an object on a surface where direct reflection occurs.
도 1은 파장 670nm의 적색 조사광 빔을 사용하는 검출기에서의 강도 분포를 나타낸다.
도 2는 본 발명에 따른 측정 시스템에 있어서, 405nm 파장의 자색 조사광 빔을 사용하는 검출기에서의 강도 분포를 나타낸다. 1 shows the intensity distribution in a detector using a red irradiation light beam having a wavelength of 670 nm.
2 shows the intensity distribution in a detector using a violet irradiated light beam of 405 nm wavelength in the measurement system according to the invention.
도 1과 도 2, 두 도면은 동일한 측정 설비로 산정된 것이다. 렌즈와 함께 레이저는 두께 약 2mm의 플라스틱-글라스로 만든 차량 전조등 유리(피측정물)를 향해 편향되는 집속 레이저 빔을 발생한다. 레이저 빔은 피측정물의 표면에서 적어도 부분적으로 반사되어 다른 렌즈, 조사광 빔의 파장에 맞춰진 파장 선택 필터, 그리고 선형 검출기의 차광판을 통해 진행한다. 센서 장치는 삼각 측량법에 따라 측정을 실행한다. 피측정물의 센서 장치쪽을 향하고 있는 표면에는 자외선 광에 대해서 불투광성인 코팅이 형성된다. 1 and 2, both figures are calculated with the same measuring equipment. Together with the lens, the laser generates a focused laser beam that is deflected toward the vehicle headlight glass (object under test) made of plastic-glass about 2 mm thick. The laser beam is reflected at least partially from the surface of the object under test and passes through another lens, a wavelength selective filter adapted to the wavelength of the irradiated light beam, and a light shield plate of the linear detector. The sensor device performs the measurement according to the triangulation method. A surface that is opaque to ultraviolet light is formed on the surface facing the sensor device of the object under test.
도 1은 종래 기술에 있어서, 방출 파장 670nm의 적색 레이저를 사용 시의 강도 분포를 나타낸다. 한편으로는, 피측정물과 센서 장치의 상호간에 최적의 정렬이 필요하다. 다른 한편으로는, 강도 분포에 있어서 두 개의 뚜렷한 주된 피크(peak)가 존재한다. 도 1에서 왼쪽 피크는 피측정물의, 센서 장치쪽을 향하고 있는 표면에서 반사된 조사광 빔에 기인한 것이고, 오른쪽 피크는 조사광 빔이 피측정물을 투과하여 피측정물의 센서 장치를 등지고 있는 표면에서 반사된 것에 기인한다. 이 때문에 측정이 분명해지지 않는다. 또 다른 문제는 오른쪽 피크가 왼쪽 피크보다 더 높다는 점이다. 단순하게 가장 높은 피크를 이용해 강도 곡선을 평가한다면, 거리 계산의 결과치에 오류가 발생하게 된다. 만약 가장 높은 피크를 이용하여 조사광 빔의 강도와 조사 시간을 조절한다면, 측정이 불안정해질 수도 있다. 물체가 기울어지게 되면, 첫 번째 피크의 강도가 낮아져서 더 이상 센서 장치에 의해 평가되지 않게 될 것이며, 이에 따라 피측정물의 뒷면 또는 내부의 반사 점에 대해 측정이 되는 오류가 일어날 수 있다. 도 1의 강도 분포에서 보이는 작은 피크들은, 피측정물에서 일어나는 다중 반사에 의한 것이다. Fig. 1 shows the intensity distribution when using a red laser with an emission wavelength of 670 nm in the prior art. On the one hand, there is a need for optimal alignment between the object under test and the sensor device. On the other hand, there are two distinct main peaks in the intensity distribution. In FIG. 1, the left peak is due to the irradiation light beam reflected from the surface facing the sensor device of the object under test, and the right peak is the surface at which the irradiation light beam passes through the object and is facing the sensor device of the object under test. Due to reflections from This makes the measurement unclear. Another problem is that the right peak is higher than the left peak. If you simply evaluate the intensity curve using the highest peak, you will get errors in the results of the distance calculations. If the highest peak is used to adjust the intensity and irradiation time of the irradiated light beam, the measurement may become unstable. If the object is tilted, the intensity of the first peak will be lowered and will no longer be evaluated by the sensor device, which may result in a measurement error on the reflection point on the back or inside of the object under test. The small peaks seen in the intensity distribution of FIG. 1 are due to multiple reflections occurring in the object under test.
도 2는 본 발명에 따라 405nm 파장의 자색 레이저 조사광 빔을 사용시를 나타낸다. 피측정물 표면에서의 확산 반사 때문에, 센서 장치와 피측정물을 보다 더 자유롭게 배치할 수 있다. 또한, 도 2에 따른 강도 분포에서 보면, 하나의 피크만이 개별적으로 표시되어 있다. 추가적으로 보이는 작은 피크는, 조사광 빔의 작은 부분이 피측정물을 투과하여 센서 장치를 등지고 있는 표면에서 반사된 것을 나타낸다. 그러나 이 추가적인 피크의 강도는 낮기 때문에 중요하지 않다. 다중 반사도 일어나지 않는다. 2 shows the use of a purple laser irradiation light beam of 405 nm wavelength in accordance with the present invention. Because of the diffuse reflections on the surface of the object under test, the sensor device and the object under test can be placed more freely. In addition, in the intensity distribution according to FIG. 2, only one peak is individually displayed. Further visible small peaks indicate that a small portion of the irradiated light beam is reflected from the surface facing the sensor device through the object under test. However, the intensity of this additional peak is not important because it is low. Multiple reflections do not occur.
본 발명에 따른 장치의 추가적인 유용한 설계에 관해서는 반복을 피하기 위해, 상세한 설명의 전체적인 부분과 첨부된 청구범위를 참조한다.Further useful designs of the device according to the invention are referred to the entire part of the description and the appended claims in order to avoid repetition.
마지막으로, 본 발명에 따른 장치의 위에서 설명한 예시적 실시예들은 청구범위의 사상을 설명하기 위한 것에 불과하며, 본 발명의 사상이 예시적 실시예들에 의해 제한되는 것이 아님을 분명히 주목해야 한다. Finally, it should be clearly noted that the above-described exemplary embodiments of the apparatus according to the present invention are merely for explaining the spirit of the claims, and the spirit of the present invention is not limited by the exemplary embodiments.
Claims (18)
상기 조사광 빔은 자색 또는 자외선 영역의 파장을 가지며, 상기 피측정물은 조사광 빔이 피측정물의 표면에서 확산 반사되도록 설계된 것을 특징으로 하는, 센서 장치와 피측정물 사이의 거리를 결정하기 위한 측정 시스템.A sensor device comprising a light source for generating an irradiated light beam and a detector for detecting a portion of the irradiated light beam reflected from the surface of the object to be measured, and for determining a distance between an object being designed to be transparent for at least the visible light wavelength range. In the measurement system,
Wherein the irradiated light beam has a wavelength in the violet or ultraviolet region, and the object under test is designed such that the irradiated light beam is diffusely reflected at the surface of the object under test, for determining the distance between the sensor device and the object under test. Measuring system.
상기 조사광 빔은 자색 또는 자외선 영역의 파장을 가지며, 상기 피측정물의 표면에서 조사광 빔이 확산 반사되도록 하는 코팅이 피측정물의 표면에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 센서 장치와 피측정물 사이의 거리를 결정하기 위한 측정 시스템., A sensor device comprising a light source for generating an irradiation light beam and a detector for detecting a portion of the irradiation light beam reflected from the surface of the object, and a measurement system for determining a distance between the object under test and to which visible light is directly reflected. In
The irradiation light beam has a wavelength in the violet or ultraviolet region, and a coating for diffusing and reflecting the irradiation light beam on the surface of the object to be measured is formed between the sensor device and the object to be measured. Measurement system for determining the distance of,
18. The method of any one of claims 15 to 17, wherein the object under test and the sensor device can be moved relative to each other, and the evaluation unit is configured to determine the contour of the object or part of the object through multiple distance measurements. A measurement system for determining the distance between the sensor device and the object under test.
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