[go: up one dir, main page]

KR20120133768A - Light emitting device - Google Patents

Light emitting device Download PDF

Info

Publication number
KR20120133768A
KR20120133768A KR1020110052588A KR20110052588A KR20120133768A KR 20120133768 A KR20120133768 A KR 20120133768A KR 1020110052588 A KR1020110052588 A KR 1020110052588A KR 20110052588 A KR20110052588 A KR 20110052588A KR 20120133768 A KR20120133768 A KR 20120133768A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
light emitting
conductive semiconductor
emitting device
semiconductor layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
KR1020110052588A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101785646B1 (en
Inventor
정환희
Original Assignee
엘지이노텍 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지이노텍 주식회사 filed Critical 엘지이노텍 주식회사
Priority to KR1020110052588A priority Critical patent/KR101785646B1/en
Publication of KR20120133768A publication Critical patent/KR20120133768A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101785646B1 publication Critical patent/KR101785646B1/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10HINORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/80Constructional details
    • H10H20/84Coatings, e.g. passivation layers or antireflective coatings
    • H10H20/841Reflective coatings, e.g. dielectric Bragg reflectors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10HINORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/80Constructional details
    • H10H20/81Bodies
    • H10H20/819Bodies characterised by their shape, e.g. curved or truncated substrates
    • H10H20/82Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10HINORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/80Constructional details
    • H10H20/83Electrodes

Landscapes

  • Led Devices (AREA)

Abstract

본 발명의 실시예는 발광소자에 관한 것이다. 실시예의 발광소자는, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물; 상기 제2 도전형 반도체층 아래에 배치되고, 상기 제2 도전형 반도체층과 접촉하는 절연층; 상기 제2 도전형 반도체층 아래에 배치되고, 상기 제2 도전형 반도체층 및 상기 절연층과 접촉하는 오믹층; 상기 오믹층 아래에 배치되고, 상기 오믹층 및 상기 절연층과 접촉하는 반사층; 및 상기 제2 도전형 반도체층 또는 상기 반사층의 아래에 배치되고, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 절연층 및 상기 반사층과 접촉하는 금속 재질의 배리어층; 을 포함한다.
실시예에 따르면, 신뢰성을 향상시킬 수 있는 발광소자를 제공한다.
An embodiment of the present invention relates to a light emitting device. The light emitting device of the embodiment includes a light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, an active layer and a second conductive semiconductor layer; An insulating layer disposed under the second conductive semiconductor layer and in contact with the second conductive semiconductor layer; An ohmic layer disposed under the second conductive semiconductor layer and in contact with the second conductive semiconductor layer and the insulating layer; A reflective layer disposed under the ohmic layer and in contact with the ohmic layer and the insulating layer; And a barrier layer formed of a metal material disposed under the second conductive semiconductor layer or the reflective layer and in contact with the second conductive semiconductor layer, the insulating layer, and the reflective layer. .
According to an embodiment, there is provided a light emitting device capable of improving reliability.

Description

발광소자 {Light emitting device}Light emitting device

본 발명의 실시예는 발광소자에 관한 것이다.An embodiment of the present invention relates to a light emitting device.

발광 다이오드(Light Emitting Diode : LED)는 화합물 반도체의 특성을 이용하여 전기를 적외선 또는 빛으로 변환시켜서 신호를 주고 받거나, 광원으로 사용되는 반도체 소자의 일종이다.A light emitting diode (LED) is a kind of semiconductor device that transmits and receives a signal by converting electricity into infrared light or light using characteristics of a compound semiconductor.

Ⅲ-Ⅴ족 질화물 반도체(group Ⅲ-Ⅴ nitride semiconductor)는 물리적, 화학적 특성으로 인해 발광 다이오드(LED) 또는 레이저 다이오드(LD) 등의 발광소자의 핵심 소재로 각광을 받고 있다.Group III-V nitride semiconductors are spotlighted as core materials of light emitting devices such as light emitting diodes (LEDs) or laser diodes (LDs) due to their physical and chemical properties.

이러한 발광 다이오드는 백열등과 형광등 등의 기존 조명기구에 사용되는 수은(Hg)과 같은 환경 유해물질이 포함되어 있지 않아 우수한 친환경성을 가지며, 긴 수명, 저전력 소비특성 등과 같은 장점이 있기 때문에 기존의 광원들을 대체하고 있다.These light emitting diodes do not contain environmentally harmful substances such as mercury (Hg) used in existing lighting equipment such as incandescent lamps and fluorescent lamps, and thus have excellent eco-friendliness and have advantages such as long life and low power consumption. It is replacing them.

실시예는 신뢰성을 향상시킬 수 있는 발광소자를 제공한다. The embodiment provides a light emitting device capable of improving reliability.

실시예의 발광소자는, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물; 상기 제2 도전형 반도체층 아래에 배치되고, 상기 제2 도전형 반도체층과 접촉하는 절연층; 상기 제2 도전형 반도체층 아래에 배치되고, 상기 제2 도전형 반도체층 및 상기 절연층과 접촉하는 오믹층; 상기 오믹층 아래에 배치되고, 상기 오믹층 및 상기 절연층과 접촉하는 반사층; 및 상기 제2 도전형 반도체층 또는 상기 반사층의 아래에 배치되고, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 절연층 및 상기 반사층과 접촉하는 금속 재질의 배리어층; 을 포함한다. The light emitting device of the embodiment includes a light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, an active layer and a second conductive semiconductor layer; An insulating layer disposed under the second conductive semiconductor layer and in contact with the second conductive semiconductor layer; An ohmic layer disposed under the second conductive semiconductor layer and in contact with the second conductive semiconductor layer and the insulating layer; A reflective layer disposed under the ohmic layer and in contact with the ohmic layer and the insulating layer; And a barrier layer formed of a metal material disposed under the second conductive semiconductor layer or the reflective layer and in contact with the second conductive semiconductor layer, the insulating layer, and the reflective layer. .

또한, 상기 절연층은 80% 이상의 광투과도를 갖는다.In addition, the insulating layer has a light transmittance of 80% or more.

또한, 상기 절연층의 상면은 상기 제2 도전형 반도체층과 접촉되고, 측면은 상기 배리어층 및 상기 오믹층과 접촉되고, 하면은 상기 배리어층, 상기 오믹층 및 상기 반사층과 접촉된다.In addition, an upper surface of the insulating layer contacts the second conductive semiconductor layer, a side surface contacts the barrier layer and the ohmic layer, and a lower surface contacts the barrier layer, the ohmic layer, and the reflective layer.

또한, 상기 절연층의 두께는 2 내지 2000nm이다.In addition, the thickness of the insulating layer is 2 to 2000nm.

또한, 상기 절연층은 SiO2, Si3N4, TiOx, Al2O3 중 하나 이상을 포함한다. In addition, the insulating layer includes at least one of SiO 2 , Si 3 N 4 , TiOx, Al 2 O 3 .

또한, 상기 배리어층은 Ni, Pt, Ti, W, V, Fe, Mo 중 하나 이상을 포함한다. In addition, the barrier layer includes at least one of Ni, Pt, Ti, W, V, Fe, and Mo.

또한, 상기 발광 구조물 상에 형성되고 상기 제1 도전형 반도체층과 접하는 제1 전극; 을 더 포함하고, 상기 절연층은 상기 제1 전극과 적어도 일부 영역이 수직적으로 중첩된다. In addition, a first electrode formed on the light emitting structure and in contact with the first conductive semiconductor layer; The insulating layer further includes at least a portion of the insulating layer and vertically overlaps the first electrode.

또한, 상기 오믹층은 In, Zn, Sn, Ni, Pt, Ag 중 하나 이상을 포함한다.In addition, the ohmic layer includes one or more of In, Zn, Sn, Ni, Pt, and Ag.

또한, 상기 반사층은 Ag, Al, Pt, Rh 중 하나 이상을 포함한다. In addition, the reflective layer includes at least one of Ag, Al, Pt, and Rh.

또한, 상기 배리어층 하부의 본딩층과, 상기 본딩층 하부의 지지 부재를 포함한다. The method may further include a bonding layer under the barrier layer and a support member under the bonding layer.

또한, 상기 오믹층과 상기 반사층 사이에 배치되고, 투광성의 절연물질로 이루어진 확산 방지층; 을 더 포함한다. In addition, the diffusion barrier layer disposed between the ohmic layer and the reflective layer, made of a transparent insulating material; .

또한, 상기 반사층은 이격된 2이상의 반사층으로 구성된다. In addition, the reflective layer is composed of two or more reflective layers spaced apart.

또한, 상기 반사층의 양 단부는 각각 상기 절연층과 접촉된다.In addition, both ends of the reflective layer are in contact with the insulating layer, respectively.

또한, 상기 발광 구조물의 측면에 배치되는 패시베이션층; 을 더 포함한다. In addition, a passivation layer disposed on the side of the light emitting structure; .

또한, 상기 제1 도전형 반도체층의 상면에는 러프니스가 형성된다.In addition, roughness is formed on an upper surface of the first conductivity-type semiconductor layer.

실시예의 발광소자 패키지는, 패키지 몸체; 상기 패키지 몸체 상에 구비되는 상기 발광 소자; 상기 패키지 몸체에 구비되고, 상기 발광 소자와 전기적으로 연결되는 리드 프레임; 및 상기 발광 소자를 포위하는 수지층; 을 포함한다. The light emitting device package of the embodiment includes a package body; The light emitting device provided on the package body; A lead frame provided in the package body and electrically connected to the light emitting device; And a resin layer surrounding the light emitting element. .

실시예에 따르면, 신뢰성을 향상시킬 수 있는 발광소자를 제공한다.According to an embodiment, there is provided a light emitting device capable of improving reliability.

도 1은 실시예에 따른 발광 소자를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 발광 소자의 AA' 방향으로 절단한 단면도이다.
도 3은 다른 실시예에 따른 발광 소자를 나타내는 단면도이다.
도 4는 다른 실시예에 따른 발광 소자를 나타내는 단면도이다.
도 5는 실시예에 따른 발광소자 패키지를 나타내는 도면이다.
도 6은 발광모듈을 갖는 조명 장치의 일 실시예를 도시하는 도면이다.
1 is a plan view illustrating a light emitting device according to an embodiment.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the AA ′ direction of the light emitting device illustrated in FIG. 1.
3 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to another embodiment.
4 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to another embodiment.
5 is a view showing a light emitting device package according to the embodiment.
6 is a view showing an embodiment of a lighting device having a light emitting module.

본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. Preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

상기의 실시예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "위(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "위(on)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여(indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the above embodiments, each layer (region), region, pattern or structures may be "on" or "under" the substrate, each layer (layer), region, pad or pattern. When described as being formed, "on" and "under" include both being formed "directly" or "indirectly". In addition, the criteria for above or below each layer will be described with reference to the drawings.

도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.The thickness and size of each layer in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. In addition, the size of each component does not necessarily reflect the actual size.

도 1은 실시예에 따른 발광 소자를 나타내는 평면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 발광 소자를 AA' 방향으로 절단한 단면도이다.1 is a plan view illustrating a light emitting device according to an embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view of the light emitting device illustrated in FIG. 1 taken along the AA ′ direction.

발광소자(100)는 복수의 화합물 반도체층, 예컨대, 3족-5족 원소의 화합물 반도체층을 이용한 LED를 포함하며, LED는 청색, 녹색, 또는 적색 등과 같은 광을 방출하는 유색 LED이거나 UV LED일 수 있다. LED의 방출 광은 다양한 반도체를 이용하여 구현될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. The light emitting device 100 includes a LED using a plurality of compound semiconductor layers, for example, a compound semiconductor layer of Group 3-5 elements, and the LED is a colored LED or a UV LED that emits light such as blue, green, or red. Can be. The emitted light of the LED may be implemented using various semiconductors, but is not limited thereto.

도 2를 참조하면, 발광 소자(100)는 지지 부재(support assembly, 110), 본딩층(bonding layer, 120), 배리어층(barrier layer, 130), 반사층(reflector layer, 140), 오믹층(ohmic layer, 150), 절연층(155), 발광 구조물(160), 제1 전극(170)을 포함한다.Referring to FIG. 2, the light emitting device 100 may include a support assembly 110, a bonding layer 120, a barrier layer 130, a reflector layer 140, and an ohmic layer. ohmic layer 150, an insulating layer 155, a light emitting structure 160, and a first electrode 170.

지지 부재(110), 본딩층(120), 배리어층(130), 반사층(140) 및 오믹층(150)은 발광 구조물(160)에 전원을 공급하는 제2 전극을 구성할 수 있다.The support member 110, the bonding layer 120, the barrier layer 130, the reflective layer 140, and the ohmic layer 150 may constitute a second electrode for supplying power to the light emitting structure 160.

지지 부재(110)는 전도성 부재 또는 절연 부재일 수 있으며, 발광 구조물(160)을 지지한다. 예를 들어, 지지 부재(110)는 Mo, W, Ni, Cu, Si 등의 금속 또는 Al2O3, SiO2 등의 절연 물질로 이루어질 수 있다. The support member 110 may be a conductive member or an insulating member, and supports the light emitting structure 160. For example, the support member 110 may be made of a metal such as Mo, W, Ni, Cu, Si, or an insulating material such as Al 2 O 3 , SiO 2, or the like.

본딩층(120)은 지지 부재(110)와 배리어층(130) 사이에 배치된다. 본딩층(120)은 지지 부재(110)가 금속층인 배리어층(130)에 접합되도록 한다. 예를 들어, 본딩층(120)은 In, Sn, Ag, Nb, Pd, Ni, Au, Cu 중의 적어도 하나를 포함할 수 있다. The bonding layer 120 is disposed between the support member 110 and the barrier layer 130. The bonding layer 120 allows the support member 110 to be bonded to the barrier layer 130 which is a metal layer. For example, the bonding layer 120 may include at least one of In, Sn, Ag, Nb, Pd, Ni, Au, and Cu.

배리어층(130)은 본딩층(120)의 금속 이온이 반사층(140)과 오믹층(150) 및 발광 구조물(160)로 확산되는 것을 방지한다. 또한, 배리어층(130)은 금속 재질로 이루어져, 발광 구조물(160)과 제2 전극 사이의 접착력을 향상시키고 계면이 깨어지는 것을 방지하여 발광 소자(100)의 신뢰성이 저하되는 것을 방지한다. 배리어층(130)은 반사층(140) 아래에 배치되어, 제2 도전형 반도체층(162), 절연층(155) 및 반사층(140)과 접촉된다. 예컨대, 배리어층(130)은 Ni, Pt, Ti, W, V, Fe, Mo 중 적어도 하나를 포함하며, 단일층(single layer) 또는 멀티층(multilayer)일 수 있다. The barrier layer 130 prevents the metal ions of the bonding layer 120 from diffusing into the reflective layer 140, the ohmic layer 150, and the light emitting structure 160. In addition, the barrier layer 130 is made of a metal material to improve the adhesion between the light emitting structure 160 and the second electrode and to prevent the interface from being broken, thereby preventing the reliability of the light emitting device 100 from being lowered. The barrier layer 130 is disposed under the reflective layer 140 to contact the second conductive semiconductor layer 162, the insulating layer 155, and the reflective layer 140. For example, the barrier layer 130 includes at least one of Ni, Pt, Ti, W, V, Fe, and Mo, and may be a single layer or a multilayer.

반사층(140)은 배리어층(130) 상에 배치된다. 반사층(140)은 이격된 2이상의 반사층으로 구성되고, 반사층(140)의 양 단부는 각각 절연층(155)과 접촉될 수 있다. 반사층(140)은 발광 구조물(160)로부터 입사되는 광을 반사시켜, 발광 소자(100)의 광 추출 효율을 향상시킨다. 예컨대, 반사층(140)은 Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하는 금속 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있다.The reflective layer 140 is disposed on the barrier layer 130. The reflective layer 140 may include two or more reflective layers spaced apart from each other, and both ends of the reflective layer 140 may be in contact with the insulating layer 155. The reflective layer 140 reflects light incident from the light emitting structure 160, thereby improving light extraction efficiency of the light emitting device 100. For example, the reflective layer 140 may be formed of a metal including at least one of Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, and Hf or an alloy thereof.

또한, 반사층(140)은 금속 또는 합금과 IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide) 등의 투광성 전도성 물질을 이용하여 다층으로 형성할 수 있다. 예를 들어, 반사층(140)은 IZO/Ni, AZO/Ag, IZO/Ag/Ni, AZO/Ag/Ni 등으로 형성할 수 있다. 반사층(140)은 광 추출 효율을 증가시키기 위한 것으로 반드시 형성되어야 하는 것은 아니다.In addition, the reflective layer 140 may include a metal or an alloy, indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IAZO), indium gallium zinc oxide (IGZO), indium gallium tin oxide (IGTO), It may be formed in a multi-layer using a transparent conductive material such as aluminum zinc oxide (AZO), antimony tin oxide (ATO). For example, the reflective layer 140 may be formed of IZO / Ni, AZO / Ag, IZO / Ag / Ni, AZO / Ag / Ni, or the like. The reflective layer 140 is to increase the light extraction efficiency and does not have to be formed.

오믹층(150)은 반사층(140)과 발광 구조물(160) 사이에 배치된다. 오믹층(150)은 발광 구조물(160), 예컨대, 제2 도전형 반도체층(162)에 오믹 접촉(ohmic contact)되어 제2 전극으로부터 발광 구조물(160)로 전원이 원활히 공급되도록 한다. The ohmic layer 150 is disposed between the reflective layer 140 and the light emitting structure 160. The ohmic layer 150 is ohmic contacted to the light emitting structure 160, for example, the second conductivity type semiconductor layer 162, so that power is smoothly supplied from the second electrode to the light emitting structure 160.

예컨대, 오믹층(150)은 In, Zn, Sn, Ni, Pt 및 Ag 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 오믹층(150)은 투광성 전도층과 금속을 선택적으로 사용할 수 있다. 예컨대, 오믹층(150)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni, Ag, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO 중 하나 이상을 포함하며, 단층 또는 다층으로 구현할 수 있다.For example, the ohmic layer 150 may include at least one of In, Zn, Sn, Ni, Pt, and Ag. In addition, the ohmic layer 150 may selectively use a light transmissive conductive layer and a metal. For example, the ohmic layer 150 may include indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IAZO), indium gallium zinc oxide (IGZO), and indium gallium (IGTO). tin oxide), aluminum zinc oxide (AZO), antimony tin oxide (ATO), gallium zinc oxide (GZO), IrOx, RuOx, RuOx / ITO, Ni, Ag, Ni / IrOx / Au, and Ni / IrOx / Au / It includes one or more of ITO and can be implemented in a single layer or multiple layers.

절연층(155)은 제2 도전형 반도체층(162) 아래에 배치되고, 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉된다. 절연층(155)의 상면은 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉되고, 측면은 배리어층(130) 및 오믹층(150)과 접촉되고, 하면은 배리어층(130), 오믹층(150) 및 반사층(140)과 접촉될 수 있다. 절연층(155)의 두께는 2 내지 2000nm 일 수 있다. The insulating layer 155 is disposed under the second conductivity type semiconductor layer 162 and is in contact with the second conductivity type semiconductor layer 162. The top surface of the insulating layer 155 is in contact with the second conductivity-type semiconductor layer 162, the side surface is in contact with the barrier layer 130 and the ohmic layer 150, and the bottom surface thereof is the barrier layer 130 and the ohmic layer 150. ) And the reflective layer 140. The thickness of the insulating layer 155 may be 2 to 2000 nm.

절연층(155)은 오믹층(150) 아래에 배치되는 반사층(140)이 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉되는 것을 차단하여 발광소자(100)의 신뢰성을 향상시킨다. 반사층(140)을 형성하는 Ag 등은 확산이 잘되는 물질로서, 반사층(140)의 물질이 제2 도전형 반도체층(162)으로 확산되어 활성층(164)과 닿으면 단락이 일어날 수 있다. The insulating layer 155 prevents the reflective layer 140 disposed under the ohmic layer 150 from contacting the second conductive semiconductor layer 162, thereby improving reliability of the light emitting device 100. Ag, which forms the reflective layer 140, is a material that diffuses well. When the material of the reflective layer 140 diffuses into the second conductive semiconductor layer 162 and contacts the active layer 164, a short circuit may occur.

절연층(155)은 제1 전극(170)과 적어도 일부 영역이 수직적으로 중첩되도록 배치되어 전류차단층으로 기능할 수 있다. 이 경우, 절연층(155)은 발광 구조물(160)의 특정 부분으로 전류가 집중되는 현상을 완화하여 발광 소자(100)의 발광 효율을 향상시킨다.The insulating layer 155 may be disposed to vertically overlap the first electrode 170 and may function as a current blocking layer. In this case, the insulating layer 155 may improve the luminous efficiency of the light emitting device 100 by alleviating the phenomenon in which current is concentrated to a specific portion of the light emitting structure 160.

절연층(155)은 전기 절연성 물질로 형성되어, 제2 도전형 반도체층(162)과 쇼트키 접촉(Schottky contact)을 형성할 수 있다. 예를 들어, 절연층(155)은 SiO2, Si3N4, TiOx, Al2O3 중 하나 이상을 포함할 수 있다.The insulating layer 155 may be formed of an electrically insulating material to form a Schottky contact with the second conductive semiconductor layer 162. For example, the insulating layer 155 may include one or more of SiO 2 , Si 3 N 4 , TiOx, Al 2 O 3 .

절연층(155)은 광투과도가 80% 이상인 투과성 물질로 이루어질 수 있다. 그에 따라, 활성층(164)에서 발광되는 광이 절연층(155)에 흡수되지 않고, 반사층(140)에 의해 반사되도록 하여 발광 효율을 향상시킬 수 있다. The insulating layer 155 may be made of a transparent material having a light transmittance of 80% or more. Accordingly, the light emitted from the active layer 164 is not absorbed by the insulating layer 155, but is reflected by the reflective layer 140, thereby improving luminous efficiency.

발광 구조물(160)은 배리어층(130), 오믹층(150) 및 절연층(155) 상에 배치된다. 발광 구조물(160)의 측면은 단위 칩으로 구분하는 아이솔레이션(isolation) 에칭 과정에서 경사지게 형성될 수 있다. 즉, 발광 구조물(160)의 측면의 기울기는 지지 부재(110)를 기준으로 0°보다 크고 90°보다 작거나 같을 수 있다. 배리어층(130)의 상면의 일부는 아이솔레이션 에칭에 의해 노출될 수 있다.The light emitting structure 160 is disposed on the barrier layer 130, the ohmic layer 150, and the insulating layer 155. Sides of the light emitting structure 160 may be formed to be inclined during an isolation etching process divided into unit chips. That is, the inclination of the side surface of the light emitting structure 160 may be greater than 0 ° and less than or equal to 90 ° with respect to the support member 110. A portion of the top surface of the barrier layer 130 may be exposed by isolation etching.

발광 구조물(160)은 복수의 3족 내지 5족 원소의 화합물 반도체층들을 포함할 수 있다. 발광 구조물(160)은 배리어층(130), 오믹층(150) 및 절연층(155) 상에 순차적으로 적층되는 제2 도전형 반도체층(162), 활성층(164) 및 제1 도전형 반도체층(166)을 포함할 수 있다.The light emitting structure 160 may include compound semiconductor layers of a plurality of Group 3 to 5 elements. The light emitting structure 160 includes a second conductive semiconductor layer 162, an active layer 164, and a first conductive semiconductor layer sequentially stacked on the barrier layer 130, the ohmic layer 150, and the insulating layer 155. 166 may include.

제2 도전형 반도체층(162)은 배리어층(130), 오믹층(150) 및 절연층(155) 상에 배치되며, 제2 도전형 도펀트가 도핑된 3족-5족 원소의 화합물 반도체일 수 있다. 제2 도전형 반도체층(162)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료를 포함할 수 있다. 제2 도전형 반도체층(162)은 예를 들어, GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP 등에서 선택될 수 있으며, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등의 p형 도펀트가 도핑될 수 있다.The second conductive semiconductor layer 162 is disposed on the barrier layer 130, the ohmic layer 150, and the insulating layer 155, and is a compound semiconductor of a group 3 to group 5 element doped with the second conductive dopant. Can be. A second conductive semiconductor layer 162 may include semiconductor material having a compositional formula of In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1) can do. The second conductive semiconductor layer 162 may be selected from, for example, GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP, and the like, and Mg, Zn, Ca, and Sr. P-type dopants, such as Ba, may be doped.

활성층(164)은 제2 도전형 반도체층(162) 상에 배치되며, 제2 도전형 반도체층(162) 및 제1 도전형 반도체층(166)으로부터 제공되는 전자(electron)와 정공(hole)의 재결합(recombination) 과정에서 발생하는 에너지에 의해 광을 생성할 수 있다. 활성층(164)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 가지는 반도체 재료를 포함할 수 있다. 활성층(164)은 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW), 양자점 구조 또는 양자선 구조 중 어느 하나를 포함할 수 있다. The active layer 164 is disposed on the second conductivity type semiconductor layer 162, and electrons and holes provided from the second conductivity type semiconductor layer 162 and the first conductivity type semiconductor layer 166. Light may be generated by energy generated during the recombination process of. The active layer 164 may include semiconductor material having a compositional formula of In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1). The active layer 164 may include any one of a single quantum well structure, a multiple quantum well structure (MQW), a quantum dot structure, or a quantum line structure.

제1 도전형 반도체층(166)은 활성층(164) 상에 배치되며, 제1 도전형 도펀트가 도핑된 3족-5족 원소의 화합물 반도체일 수 있다. 제1 도전형 반도체층(166)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료를 포함할 수 있다. 제1 도전형 반도체층(166)은 예를 들어, GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP 등에서 선택될 수 있으며, Si, Ge, Sn, Se, Te 등의 n형 도펀트가 도핑될 수 있다. 제1 도전형 반도체층(166)의 상면은 광 추출 효율을 증가시키기 위해 러프니스 패턴(166a)이 형성될 수 있다. The first conductivity type semiconductor layer 166 may be disposed on the active layer 164 and may be a compound semiconductor of a group III-V group element doped with the first conductivity type dopant. The first conductivity type semiconductor layer 166 may include a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ x + y ≦ 1). have. The first conductive semiconductor layer 166 may be selected from, for example, GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP, and the like, and Si, Ge, Sn, Se, and the like. N-type dopants such as Te and the like may be doped. The roughness pattern 166a may be formed on the top surface of the first conductive semiconductor layer 166 to increase light extraction efficiency.

활성층(164)과 제1 도전형 반도체층(166) 사이, 또는 활성층(164)과 제2 도전형 반도체층(162) 사이에는 도전형 클래드층(clad layer)이 형성될 수도 있으며, 도전형 클래드층은 AlGaN계 반도체로 형성될 수 있다.A conductive clad layer may be formed between the active layer 164 and the first conductive semiconductor layer 166, or between the active layer 164 and the second conductive semiconductor layer 162. The layer may be formed of an AlGaN-based semiconductor.

제1 전극(170)은 발광 구조물(160)의 상면에 배치되어, 제1 도전형 반도체층(166)으로 전원을 공급한다. 제1 전극(170)은 소정의 패턴 형상일 수 있다. 또한, 광 추출 효율을 증가시키기 위하여 제1 전극(170)의 상면에도 러프니스 패턴(미도시)이 형성될 수 있다. The first electrode 170 is disposed on the upper surface of the light emitting structure 160 to supply power to the first conductive semiconductor layer 166. The first electrode 170 may have a predetermined pattern shape. In addition, a roughness pattern (not shown) may be formed on the top surface of the first electrode 170 to increase light extraction efficiency.

패시베이션층(180)은 발광 구조물(160)을 전기적으로 보호하기 위해 발광 구조물(160)의 측면에 배치될 수 있다. 예컨대, 패시베이션층(180)은 제2 도전형 반도체층(162), 활성층(164), 및 제1 도전형 반도체층(166)의 측면을 감싸도록 배치될 수 있다. 패시베이션층(180)은 절연 물질, 예를 들어, SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, Al2O3 로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다. The passivation layer 180 may be disposed on the side of the light emitting structure 160 to electrically protect the light emitting structure 160. For example, the passivation layer 180 may be disposed to surround side surfaces of the second conductive semiconductor layer 162, the active layer 164, and the first conductive semiconductor layer 166. The passivation layer 180 is an insulating material, for example, SiO 2 , SiO x , SiO x N y , Si 3 N 4 , to be formed of Al 2 O 3 But it is not limited thereto.

도 1 및 도 2를 참조하면, 제1 전극(170)은 제1 도전형 반도체층(166) 위에 소정의 패턴을 형성하고 있다. 제1 전극(170)은 제1 도전형 반도체층(166)의 상면 가장 자리를 따라 배치되는 외부전극(171a 내지 171d)과, 외부전극(171a 내지 171d)의 내부에 배치되는 내부전극(172a, 172b)과, 패드부(173a, 173b)를 포함한다.1 and 2, the first electrode 170 forms a predetermined pattern on the first conductive semiconductor layer 166. The first electrode 170 may include the external electrodes 171a through 171d disposed along the top edge of the first conductive semiconductor layer 166, and the internal electrodes 172a disposed inside the external electrodes 171a through 171d; 172b and pad portions 173a and 173b.

외부전극(171a 내지 171d)은 제1 도전형 반도체층(166)의 외곽을 따라서 4개의 변을 갖는 사각형 형태로 배치될 수 있다. 내부전극(172a, 172b)은 외부전극(171a 내지 171d)의 내부에 배치되어 외부전극(171a 내지 171d)의 각각의 변과 연결될 수 있다. 내부전극(172a, 172b)은 외부전극(171a 내지 171d)에 의해 형성되는 공간을 다수의 구획으로 분할할 수 있고, 각각의 구획의 넓이는 동일할 수도 있고, 다를 수도 있다.The external electrodes 171a to 171d may be disposed in a quadrangular shape having four sides along the outer side of the first conductivity type semiconductor layer 166. The internal electrodes 172a and 172b may be disposed inside the external electrodes 171a to 171d to be connected to respective sides of the external electrodes 171a to 171d. The internal electrodes 172a and 172b may divide the space formed by the external electrodes 171a to 171d into a plurality of sections, and the widths of the sections may be the same or different.

외부전극(171a 내지 171d)에는 패드부(173a, 173b)가 배치될 수 있다. 예를 들어, 패드부(173a, 173b)는 외부전극(171a 내지 171d)에 의해 형성되는 사각형의 꼭지점에 배치될 수 있다. 패드부(173a, 173b)는 전원을 공급하기 위한 와이어와 연결된다.Pad portions 173a and 173b may be disposed on the external electrodes 171a to 171d. For example, the pad parts 173a and 173b may be disposed at vertices of a rectangle formed by the external electrodes 171a to 171d. The pad portions 173a and 173b are connected to a wire for supplying power.

상술한 바와 같이, 본 실시예에서 배리어층(130)은 제2 도전형 반도체층(162)과 일부 영역에서 접촉되어, 발광 구조물(160)과 제2 전극 사이의 접착력을 향상시키고 계면이 깨어지는 것을 방지하여 발광 소자(100)의 신뢰성이 저하되는 현상을 감소시킬 수 있다. 또한, 절연층(155)은 반사층(140)의 물질이 제2 도전형 반도체층(162)으로 확산되는 것을 방지하고, 투광성의 절연 물질로 형성되어 발광 효율을 향상시킨다.As described above, in this embodiment, the barrier layer 130 is in contact with the second conductivity-type semiconductor layer 162 in some regions, thereby improving adhesion between the light emitting structure 160 and the second electrode and breaking the interface. It can prevent the phenomenon that the reliability of the light emitting device 100 is lowered by preventing the. In addition, the insulating layer 155 prevents the material of the reflective layer 140 from being diffused into the second conductive semiconductor layer 162 and is formed of a light-transmitting insulating material to improve luminous efficiency.

도 3은 다른 실시예에 따른 발광 소자를 나타내는 단면도이다. 도 2에 도시된 발광소자와 동일 부분에 대해서는 동일부호로 처리하고, 중복 설명은 생략하기로 한다.3 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to another embodiment. The same parts as those of the light emitting device shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

배리어층(230)은 반사층(140) 아래에 배치되어, 제2 도전형 반도체층(162), 절연층(255) 및 반사층(140)과 접촉된다.The barrier layer 230 is disposed under the reflective layer 140 to contact the second conductive semiconductor layer 162, the insulating layer 255, and the reflective layer 140.

절연층(255)은 제2 도전형 반도체층(162) 아래에 배치되고, 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉된다. 절연층(255)의 상면은 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉되고, 측면은 배리어층(230) 및 오믹층(150)과 접촉되고, 하면은 배리어층(230), 오믹층(150) 및 반사층(140)과 접촉될 수 있다. 절연층(255)의 두께는 2 내지 2000nm 일 수 있다.The insulating layer 255 is disposed under the second conductive semiconductor layer 162 and is in contact with the second conductive semiconductor layer 162. The top surface of the insulating layer 255 is in contact with the second conductivity-type semiconductor layer 162, the side surface is in contact with the barrier layer 230 and the ohmic layer 150, and the bottom surface thereof is the barrier layer 230 and the ohmic layer 150. ) And the reflective layer 140. The thickness of the insulating layer 255 may be 2 to 2000 nm.

절연층(255)은 오믹층(150) 아래에 배치되는 반사층(140)이 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉되는 것을 차단하여 발광소자(200)의 신뢰성을 향상시킨다. 반사층(140)을 형성하는 Ag 등은 확산이 잘되는 물질로서, 반사층(140)의 물질이 제2 도전형 반도체층(162)으로 확산되어 활성층(164)과 닿으면 단락이 일어날 수 있다.The insulating layer 255 prevents the reflective layer 140 disposed under the ohmic layer 150 from contacting the second conductive semiconductor layer 162, thereby improving reliability of the light emitting device 200. Ag, which forms the reflective layer 140, is a material that diffuses well. When the material of the reflective layer 140 diffuses into the second conductive semiconductor layer 162 and contacts the active layer 164, a short circuit may occur.

절연층(255)은 제1 전극(170)과 적어도 일부 영역이 수직적으로 중첩되도록 배치되어 전류차단층으로 기능할 수 있다. 이 경우, 절연층(255)은 발광 구조물(160)의 특정 부분으로 전류가 집중되는 현상을 완화하여 발광 소자(100)의 발광 효율을 향상시킨다.The insulating layer 255 may be disposed to vertically overlap the first electrode 170 and at least a portion of the insulating layer 255 to function as a current blocking layer. In this case, the insulating layer 255 improves the luminous efficiency of the light emitting device 100 by alleviating the phenomenon in which current is concentrated to a specific portion of the light emitting structure 160.

절연층(255)은 전기 절연성 물질로 형성되어, 제2 도전형 반도체층(162)과 쇼트키 접촉(Schottky contact)을 형성할 수 있다. 예를 들어, 절연층(255)은 SiO2, Si3N4, TiOx, Al2O3 중 하나 이상을 포함할 수 있다.The insulating layer 255 may be formed of an electrically insulating material to form a schottky contact with the second conductive semiconductor layer 162. For example, the insulating layer 255 may include one or more of SiO 2 , Si 3 N 4 , TiOx, Al 2 O 3 .

절연층(255)은 광투과도가 80% 이상인 투과성 물질로 이루어질 수 있다. 그에 따라, 활성층(164)에서 발광되는 광이 절연층(255)에 흡수되지 않고, 반사층(140)에 의해 반사되도록 하여 발광 효율을 향상시킬 수 있다.The insulating layer 255 may be made of a transparent material having a light transmittance of 80% or more. Accordingly, the light emitted from the active layer 164 is not absorbed by the insulating layer 255, but is reflected by the reflective layer 140, thereby improving light emission efficiency.

본 실시예에서, 발광소자의 가운데에 배치된 절연층(255)은 이격된 2부분으로 형성되고, 절연층(255)의 사이로 배리어층(230)이 관통하여 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉될 수 있다.In the present exemplary embodiment, the insulating layer 255 disposed in the center of the light emitting device is formed in two parts spaced apart, and the barrier layer 230 penetrates between the insulating layers 255 so that the second conductive semiconductor layer 162 is formed. Can be contacted with.

배리어층(230)은 제1 전극(170)과 적어도 일부 영역이 수직적으로 중첩되도록 배치될 수 있다. 배리어층(230)은 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉되는 부분이 오믹 접촉 또는 쇼트키 접촉이 가능하다. 배리어층(230)이 제2 도전형 반도체층(162)과 쇼트키 접촉할 경우에는, 배리어층(230)은 전류차단층의 기능을 하게 된다.The barrier layer 230 may be disposed to vertically overlap the first electrode 170 with at least a portion of the region. The barrier layer 230 may be in ohmic contact or schottky contact with a portion of the barrier layer 230 contacting the second conductivity-type semiconductor layer 162. When the barrier layer 230 is in Schottky contact with the second conductivity-type semiconductor layer 162, the barrier layer 230 functions as a current blocking layer.

배리어층(230)은 본딩층(120)의 금속 이온이 반사층(140)과 오믹층(150)으로 확산되는 것을 방지한다. 또한, 배리어층(230)은 발광 구조물(160)과 제2 전극 사이의 접착력을 향상시키고 계면이 깨어지는 것을 방지하여 발광 소자(100)의 신뢰성이 저하되는 현상을 감소시킬 수 있다. 예컨대, 배리어층(230)은 Ni, Pt, Ti, W, V, Fe, Mo 중 적어도 하나를 포함하며, 단일층(single layer) 또는 멀티층(multilayer)일 수 있다.The barrier layer 230 prevents the metal ions of the bonding layer 120 from diffusing into the reflective layer 140 and the ohmic layer 150. In addition, the barrier layer 230 may reduce the phenomenon that the reliability of the light emitting device 100 is lowered by improving the adhesion between the light emitting structure 160 and the second electrode and preventing the interface from being broken. For example, the barrier layer 230 includes at least one of Ni, Pt, Ti, W, V, Fe, and Mo, and may be a single layer or a multilayer.

도 4는 다른 실시예에 따른 발광 소자를 나타내는 단면도이다. 도 2에 도시된 발광소자와 동일 부분에 대해서는 동일부호로 처리하고, 중복 설명은 생략하기로 한다.4 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to another embodiment. The same parts as those of the light emitting device shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

절연층(355)은 제2 도전형 반도체층(162) 아래에 배치되고, 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉된다. 절연층(355)의 상면은 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉되고, 측면은 배리어층(330) 및 오믹층(350)과 접촉되고, 하면은 배리어층(330), 오믹층(350) 및 반사층(340)과 접촉될 수 있다. 절연층(355)의 두께는 2 내지 2000nm 일 수 있다.The insulating layer 355 is disposed under the second conductive semiconductor layer 162 and is in contact with the second conductive semiconductor layer 162. The top surface of the insulating layer 355 is in contact with the second conductivity-type semiconductor layer 162, the side surface is in contact with the barrier layer 330 and the ohmic layer 350, and the bottom surface thereof is the barrier layer 330 and the ohmic layer 350. ) And the reflective layer 340. The thickness of the insulating layer 355 may be 2 to 2000 nm.

절연층(355)은 오믹층(350) 아래에 배치되는 반사층(340)이 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉되는 것을 차단하여 발광소자(300)의 신뢰성을 향상시킨다. 반사층(340)을 형성하는 Ag 등은 확산이 잘되는 물질로서, 반사층(340)의 물질이 제2 도전형 반도체층(162)으로 확산되어 활성층(164)과 닿으면 단락이 일어날 수 있다. The insulating layer 355 prevents the reflective layer 340 disposed under the ohmic layer 350 from contacting the second conductive semiconductor layer 162, thereby improving reliability of the light emitting device 300. Ag, which forms the reflective layer 340, is a material that diffuses well. When the material of the reflective layer 340 diffuses into the second conductive semiconductor layer 162 and contacts the active layer 164, a short circuit may occur.

절연층(355)은 제1 전극(170)과 적어도 일부 영역이 수직적으로 중첩되도록 배치되어 전류차단층으로 기능할 수 있다. 이 경우, 절연층(355)은 발광 구조물(160)의 특정 부분으로 전류가 집중되는 현상을 완화하여 발광 소자(300)의 발광 효율을 향상시킨다.The insulating layer 355 may be disposed to vertically overlap the first electrode 170 and at least some regions to function as a current blocking layer. In this case, the insulating layer 355 may improve the luminous efficiency of the light emitting device 300 by alleviating the phenomenon that current is concentrated in a specific portion of the light emitting structure 160.

절연층(355)은 전기 절연성 물질로 형성되어, 제2 도전형 반도체층(162)과 쇼트키 접촉(Schottky contact)을 형성할 수 있다. 예를 들어, 절연층(355)은 SiO2, Si3N4, TiOx, Al2O3 중 하나 이상을 포함할 수 있다.The insulating layer 355 may be formed of an electrically insulating material to form a Schottky contact with the second conductive semiconductor layer 162. For example, the insulating layer 355 may include one or more of SiO 2 , Si 3 N 4 , TiOx, Al 2 O 3 .

절연층(355)은 광투과도가 80% 이상인 투과성 물질로 이루어질 수 있다. 그에 따라, 활성층(164)에서 발광되는 광이 절연층(355)에 흡수되지 않고, 반사층(140)에 의해 반사되도록 하여 발광 효율을 향상시킬 수 있다. The insulating layer 355 may be made of a transparent material having a light transmittance of 80% or more. Accordingly, light emitted from the active layer 164 is not absorbed by the insulating layer 355, but is reflected by the reflective layer 140, thereby improving light emission efficiency.

발광소자의 가운데에 배치된 절연층(355)은 이격된 2부분으로 형성되고, 절연층(355)의 사이로 배리어층(330)이 관통하여 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉될 수 있다.The insulating layer 355 disposed in the middle of the light emitting device may be formed in two parts spaced apart from each other, and the barrier layer 330 may pass through the insulating layer 355 to be in contact with the second conductive semiconductor layer 162. .

배리어층(330)은 반사층(340) 아래에 배치되어, 제2 도전형 반도체층(162), 절연층(355) 및 반사층(340)과 접촉된다. 본 실시예에서, 배리어층(330)은 절연층(355)의 사이를 관통하여 제2 도전형 반도체층(162)과 접촉되는 것으로 도시되지만, 도 2에 도시된 것처럼 절연층(155)의 하면과 접촉될 수도 있다.The barrier layer 330 is disposed under the reflective layer 340 and is in contact with the second conductive semiconductor layer 162, the insulating layer 355, and the reflective layer 340. In this embodiment, the barrier layer 330 is shown to be in contact with the second conductivity-type semiconductor layer 162 through the insulating layer 355, but as shown in FIG. 2, the bottom surface of the insulating layer 155 is shown. It may also be in contact with.

배리어층(330)은 본딩층(120)의 금속 이온이 반사층(340)과 오믹층(350)으로 확산되는 것을 방지한다. 또한, 배리어층(330)은 발광 구조물(160)과 제2 전극 사이의 접착력을 향상시키고 계면이 깨어지는 것을 방지하여 발광 소자(300)의 신뢰성이 저하되는 현상을 감소시킬 수 있다. 예컨대, 배리어층(330)은 Ni, Pt, Ti, W, V, Fe, Mo 중 적어도 하나를 포함하며, 단일층(single layer) 또는 멀티층(multilayer)일 수 있다.The barrier layer 330 prevents the metal ions of the bonding layer 120 from diffusing into the reflective layer 340 and the ohmic layer 350. In addition, the barrier layer 330 may reduce the phenomenon that the reliability of the light emitting device 300 is reduced by improving the adhesion between the light emitting structure 160 and the second electrode and preventing the interface from being broken. For example, the barrier layer 330 includes at least one of Ni, Pt, Ti, W, V, Fe, and Mo, and may be a single layer or a multilayer.

반사층(340)은 배리어층(330) 상에 배치된다. 반사층(340)은 발광 구조물(160)로부터 입사되는 광을 반사시켜 주어, 발광 소자(100)의 광 추출 효율을 향상시킨다. 예컨대, 반사층(340)은 Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하는 금속 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있다.The reflective layer 340 is disposed on the barrier layer 330. The reflective layer 340 reflects light incident from the light emitting structure 160, thereby improving light extraction efficiency of the light emitting device 100. For example, the reflective layer 340 may be formed of a metal including at least one of Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, and Hf or an alloy thereof.

오믹층(350)은 반사층(340)과 발광 구조물(160) 사이에 배치된다. 오믹층(350)은 발광 구조물(160), 예컨대, 제2 도전형 반도체층(162)에 오믹 접촉(ohmic contact)되어 제2 전극으로부터 발광 구조물(160)로 전원이 원활히 공급되도록 한다. The ohmic layer 350 is disposed between the reflective layer 340 and the light emitting structure 160. The ohmic layer 350 is in ohmic contact with the light emitting structure 160, for example, the second conductive semiconductor layer 162, so that power is smoothly supplied from the second electrode to the light emitting structure 160.

예컨대, 오믹층(350)은 In, Zn, Sn, Ni, Pt 및 Ag 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 오믹층(350)은 투광성 전도층과 금속을 선택적으로 사용할 수 있다. 예컨대, 오믹층(350)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni, Ag, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO 중 하나 이상을 포함하며, 단층 또는 다층으로 구현할 수 있다.For example, the ohmic layer 350 may include at least one of In, Zn, Sn, Ni, Pt, and Ag. In addition, the ohmic layer 350 may selectively use a transparent conductive layer and a metal. For example, the ohmic layer 350 may include indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IAZO), indium gallium zinc oxide (IGZO), and indium gallium (IGTO). tin oxide), aluminum zinc oxide (AZO), antimony tin oxide (ATO), gallium zinc oxide (GZO), IrOx, RuOx, RuOx / ITO, Ni, Ag, Ni / IrOx / Au, and Ni / IrOx / Au / It includes one or more of ITO and can be implemented in a single layer or multiple layers.

본 실시예에서, 반사층(340)과 오믹층(350) 사이에 확산방지층(357)이 배치된다. 확산방지층(357)은 투광성을 갖는 절연 물질, 예를 들어, ZnO, SiO2, SiON, Si3N4, Al2O3, TiO2 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 확산방지층(357)은 반사층(340)의 이온(예컨대, Ag 이온)이 오믹층(350)을 통과하여 제2 도전형 반도체층(162)으로 침투하는 것을 감소시켜, 발광 소자(100)의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In this embodiment, the diffusion barrier layer 357 is disposed between the reflective layer 340 and the ohmic layer 350. The diffusion barrier layer 357 may be formed of a light transmissive insulating material, for example, ZnO, SiO 2 , SiON, Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , TiO 2 Or the like. The diffusion barrier layer 357 reduces the penetration of the ions (eg, Ag ions) of the reflective layer 340 into the second conductive semiconductor layer 162 through the ohmic layer 350, thereby increasing the reliability of the light emitting device 100. Can improve.

확산방지층(357)은 다수의 이격된 도트 형태일 수 있으며, 그 형상은 다각형, 원형, 타원형 등과 같이 다양한 형태일 수 있다. 확산방지층(357)은 반사층(340)과 오믹층(350) 사이의 접착력을 향상시킬 수 있다. 확산방지층(357)의 두께는 0.5nm ~ 1000nm일 수 있다.The diffusion barrier layer 357 may be in the form of a plurality of spaced dots, the shape may be a variety of shapes, such as polygonal, circular, oval. The diffusion barrier layer 357 may improve adhesion between the reflective layer 340 and the ohmic layer 350. The diffusion barrier layer 357 may have a thickness of about 0.5 nm to about 1000 nm.

도 5는 실시예에 따른 발광소자 패키지를 나타낸다.5 shows a light emitting device package according to an embodiment.

상기 발광소자 패키지(400)는 패키지 몸체(410), 리드 프레임(412, 414), 발광소자(420), 반사판(425), 와이어(430) 및 수지층(440)을 포함한다.The light emitting device package 400 includes a package body 410, lead frames 412 and 414, a light emitting device 420, a reflecting plate 425, a wire 430, and a resin layer 440.

패키지 몸체(410)의 상면에는 캐비티(cavity)가 형성될 수 있다. 상기 캐비티의 측벽은 경사지게 형성될 수 있다. 패키지 몸체(410)는 실리콘 기반의 웨이퍼 레벨 패키지(wafer level package), 실리콘 기판, 실리콘 카바이드(SiC), 질화알루미늄(aluminum nitride, AlN) 등과 같이 절연성 또는 열전도도가 좋은 기판으로 형성될 수 있으며, 복수 개의 기판이 적층되는 구조일 수 있다. 실시예는 패키지 몸체(310)의 재질, 구조 및 형상으로 한정되지 않는다.A cavity may be formed on an upper surface of the package body 410. The side wall of the cavity may be formed obliquely. The package body 410 may be formed of a substrate having good insulation or thermal conductivity, such as a silicon-based wafer level package, a silicon substrate, silicon carbide (SiC), aluminum nitride (AlN), or the like. It may have a structure in which a plurality of substrates are stacked. Embodiments are not limited to the material, structure, and shape of the package body 310.

리드 프레임(412, 414)은 열 배출이나 발광소자의 장착을 고려하여 서로 전기적으로 분리되도록 패키지 몸체(410)에 배치된다. 발광소자(420)는 리드 프레임(412, 414)과 전기적으로 연결된다. 발광소자(420)는 도 1 내지 도 4의 실시예에 도시된 발광소자일 수 있다.The lead frames 412 and 414 are disposed on the package body 410 to be electrically separated from each other in consideration of heat dissipation or mounting of light emitting devices. The light emitting element 420 is electrically connected to the lead frames 412 and 414. The light emitting device 420 may be the light emitting device shown in the embodiment of FIGS. 1 to 4.

반사판(425)은 발광소자에서 방출된 빛을 소정의 방향으로 지향시키도록 패키지 몸체(410)의 캐비티 측벽에 형성된다. 반사판(425)은 광반사 물질로 이루어지며, 예컨대, 금속 코팅이거나 금속 박편일 수 있다.The reflective plate 425 is formed on the side wall of the cavity of the package body 410 to direct light emitted from the light emitting element in a predetermined direction. The reflector plate 425 is made of a light reflective material and may be, for example, a metal coating or a metal flake.

수지층(440)은 패키지 몸체(410)의 캐비티 내에 위치하는 발광소자(420)를 포위하여 발광소자(420)를 외부 환경으로부터 보호한다. 수지층(440)은 에폭시 또는 실리콘과 같은 무색 투명한 고분자 수지 재질로 이루어질 수 있다. 수지층(440)에는 발광소자(420)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있도록 형광체가 포함될 수 있다.The resin layer 440 surrounds the light emitting device 420 located in the cavity of the package body 410 to protect the light emitting device 420 from the external environment. The resin layer 440 may be made of a colorless transparent polymer resin material such as epoxy or silicon. The resin layer 440 may include a phosphor to change the wavelength of the light emitted from the light emitting element 420.

실시예에 따른 발광소자 패키지는 복수 개가 기판 상에 배열되며, 발광소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다.A plurality of light emitting device packages according to the embodiment may be arranged on a substrate, and a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, or the like, which is an optical member, may be disposed on an optical path of the light emitting device package.

또 다른 실시예는 상술한 실시예들에 기재된 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함하는 표시 장치, 지시 장치, 조명 시스템으로 구현될 수 있으며, 예를 들어, 조명 시스템은 램프, 가로등을 포함할 수 있다.Yet another embodiment may be implemented as a display device, an indicator device, or a lighting system including the light emitting device or the light emitting device package described in the above embodiments, for example, the lighting system may include a lamp, a street lamp. .

도 6은 발광모듈을 갖는 조명 장치의 일 실시예를 도시하는 도면이다.6 is a view showing an embodiment of a lighting device having a light emitting module.

이러한 조명 장치는, 발광모듈(20)과, 발광모듈(20)에서 발광된 빛의 출사 지향각을 안내하는 광가이드(30)를 포함하여 구성될 수 있다.The lighting device may include a light emitting module 20 and a light guide 30 for guiding the emission directivity angle of the light emitted from the light emitting module 20.

발광모듈(20)은 인쇄회로기판(printed circuit board; PCB)(21) 상에 구비되는 적어도 하나의 발광소자(22)를 포함할 수 있으며, 다수의 발광소자(22)가 인쇄회로기판(21) 상에 이격되어 배열될 수 있다. 발광소자는 예를 들어, LED(light emitting diode)일 수 있다.The light emitting module 20 may include at least one light emitting device 22 provided on a printed circuit board (PCB) 21, and the plurality of light emitting devices 22 may include a printed circuit board 21. May be spaced apart). The light emitting device may be, for example, a light emitting diode (LED).

광가이드(30)는 발광모듈(20)에서 발광되는 광을 집속하여 일정 지향각을 가지고 개구부를 통하여 출사될 수 있도록 하며, 내측면에는 미러면을 가질 수 있다. 여기서, 발광모듈(20)과 광가이드는 일정 간격(d)만큼 이격되어 설치될 수 있다.The light guide 30 focuses the light emitted from the light emitting module 20 so that the light guide 30 may be emitted through the opening with a predetermined direction angle, and may have a mirror surface on the inner surface. Here, the light emitting module 20 and the light guide may be installed spaced apart by a predetermined interval (d).

이와 같은 조명 장치는 상술한 바와 같이, 다수의 발광소자(22)를 집속하여 빛을 얻는 조명등으로 사용될 수 있는 것으로서, 특히 건물의 천장이나 벽체 내에 매입되어 광가이드(30)의 개구부 측이 노출되는 매입등(다운라이트)으로 이용할 수 있다.As described above, the lighting apparatus may be used as an illumination lamp that focuses a plurality of light emitting elements 22 to obtain light, and is particularly embedded in a ceiling or a wall of the building to expose the opening side of the light guide 30. It is available by purchase light (downlight).

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Features, structures, effects, and the like described in the above embodiments are included in at least one embodiment of the present invention, and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects, and the like illustrated in each embodiment may be combined or modified with respect to other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.

110 : 지지 부재 120 : 본딩층
130 : 배리어층 140 : 반사층
150 : 오믹층 155 : 절연층
160 : 발광 구조물 162 : 제2 도전형 반도체층
164 : 활성층 166 : 제1 도전형 반도체층
166a : 러프니스 170 : 제1 전극
171a, 171b, 171c, 171d : 외부전극 172a, 172b : 내부전극
173a, 173b : 패드부 180 : 패시베이션층
230 : 배리어층 255 : 절연층
330 : 배리어층 340 : 반사층
350 : 오믹층 355 : 절연층
357 : 확산방지층 400: 발광소자 패키지
410: 패키지 몸체 412, 414: 리드 프레임
420 : 발광소자 425: 반사판
430 : 와이어 440: 충전재
110: support member 120: bonding layer
130: barrier layer 140: reflective layer
150: ohmic layer 155: insulating layer
160: light emitting structure 162: second conductive semiconductor layer
164: active layer 166: first conductive semiconductor layer
166a: Roughness 170: First Electrode
171a, 171b, 171c, 171d: external electrode 172a, 172b: internal electrode
173a, 173b: Pad portion 180: Passivation layer
230: barrier layer 255: insulating layer
330: barrier layer 340: reflective layer
350: ohmic layer 355: insulating layer
357: diffusion barrier layer 400: light emitting device package
410: package body 412, 414: lead frame
420: light emitting element 425: reflector
430 wire 440: filling material

Claims (16)

제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물;
상기 제2 도전형 반도체층 아래에 배치되고, 상기 제2 도전형 반도체층과 접촉하는 절연층;
상기 제2 도전형 반도체층 아래에 배치되고, 상기 제2 도전형 반도체층 및 상기 절연층과 접촉하는 오믹층;
상기 오믹층 아래에 배치되고, 상기 오믹층 및 상기 절연층과 접촉하는 반사층; 및
상기 제2 도전형 반도체층 또는 상기 반사층의 아래에 배치되고, 상기 제2 도전형 반도체층, 상기 절연층 및 상기 반사층과 접촉하는 금속 재질의 배리어층;
을 포함하는 발광소자.
A light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer;
An insulating layer disposed under the second conductive semiconductor layer and in contact with the second conductive semiconductor layer;
An ohmic layer disposed under the second conductive semiconductor layer and in contact with the second conductive semiconductor layer and the insulating layer;
A reflective layer disposed under the ohmic layer and in contact with the ohmic layer and the insulating layer; And
A barrier layer formed of a metal material disposed under the second conductive semiconductor layer or the reflective layer and in contact with the second conductive semiconductor layer, the insulating layer, and the reflective layer;
Light emitting device comprising a.
제1항에 있어서,
상기 절연층은 80% 이상의 광투과도를 갖는 발광소자.
The method of claim 1,
The insulating layer has a light transmittance of 80% or more.
제1항에 있어서,
상기 절연층의 상면은 상기 제2 도전형 반도체층과 접촉되고, 측면은 상기 배리어층 및 상기 오믹층과 접촉되고, 하면은 상기 배리어층, 상기 오믹층 및 상기 반사층과 접촉되는 발광소자.
The method of claim 1,
The upper surface of the insulating layer is in contact with the second conductive semiconductor layer, the side surface is in contact with the barrier layer and the ohmic layer, the lower surface is in contact with the barrier layer, the ohmic layer and the reflective layer.
제2항에 있어서,
상기 절연층의 두께는 2 내지 2000nm인 발광소자.
The method of claim 2,
The insulating layer has a thickness of 2 to 2000nm.
제2항에 있어서,
상기 절연층은 SiO2, Si3N4, TiOx, Al2O3 중 하나 이상을 포함하는 발광소자.
The method of claim 2,
The insulating layer comprises at least one of SiO 2 , Si 3 N 4 , TiOx, Al 2 O 3 .
제1항에 있어서,
상기 배리어층은 Ni, Pt, Ti, W, V, Fe, Mo 중 하나 이상을 포함하는 발광소자.
The method of claim 1,
The barrier layer includes at least one of Ni, Pt, Ti, W, V, Fe, Mo.
제1항에 있어서,
상기 발광 구조물 상에 형성되고 상기 제1 도전형 반도체층과 접하는 제1 전극;
을 더 포함하고,
상기 절연층은 상기 제1 전극과 적어도 일부 영역이 수직적으로 중첩되는 발광소자.
The method of claim 1,
A first electrode formed on the light emitting structure and in contact with the first conductive semiconductor layer;
More,
The insulating layer has a light emitting device in which at least a portion of the insulating layer and the first electrode vertically overlap.
제2항에 있어서,
상기 오믹층은 In, Zn, Sn, Ni, Pt, Ag 중 하나 이상을 포함하는 발광소자.
The method of claim 2,
The ohmic layer includes at least one of In, Zn, Sn, Ni, Pt, Ag.
제2항에 있어서,
상기 반사층은 Ag, Al, Pt, Rh 중 하나 이상을 포함하는 발광소자.
The method of claim 2,
The reflective layer includes at least one of Ag, Al, Pt, Rh.
제2항에 있어서,
상기 배리어층 하부의 본딩층과, 상기 본딩층 하부의 지지 부재를 포함하는 발광소자.
The method of claim 2,
A light emitting device comprising a bonding layer below the barrier layer and a support member below the bonding layer.
제1항에 있어서,
상기 오믹층과 상기 반사층 사이에 배치되고, 투광성의 절연물질로 이루어진 확산 방지층;
을 더 포함하는 발광소자.
The method of claim 1,
A diffusion barrier layer disposed between the ohmic layer and the reflective layer and made of a light-transmitting insulating material;
Light emitting device further comprising.
제1항에 있어서,
상기 반사층은 이격된 2이상의 반사층으로 구성되는 발광소자.
The method of claim 1,
The reflective layer is composed of two or more reflective layers spaced apart.
제12항에 있어서,
상기 반사층의 양 단부는 각각 상기 절연층과 접촉되는 발광소자.
The method of claim 12,
Both ends of the reflective layer are in contact with the insulating layer.
제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 발광 구조물의 측면에 배치되는 패시베이션층;
을 더 포함하는 발광소자.
The method according to any one of claims 1 to 13,
A passivation layer disposed on a side of the light emitting structure;
Light emitting device further comprising.
제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체층의 상면에는 러프니스가 형성된 발광소자.
The method according to any one of claims 1 to 13,
A light emitting device having roughness formed on an upper surface of the first conductive semiconductor layer.
패키지 몸체;
상기 패키지 몸체 상에 구비되는 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 따른 발광 소자;
상기 패키지 몸체에 구비되고, 상기 발광 소자와 전기적으로 연결되는 리드 프레임; 및
상기 발광 소자를 포위하는 수지층;
을 포함하는 발광소자 패키지.
Package body;
The light emitting device according to any one of claims 1 to 13 provided on the package body;
A lead frame provided in the package body and electrically connected to the light emitting device; And
A resin layer surrounding the light emitting element;
Emitting device package.
KR1020110052588A 2011-06-01 2011-06-01 Light emitting device Expired - Fee Related KR101785646B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110052588A KR101785646B1 (en) 2011-06-01 2011-06-01 Light emitting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110052588A KR101785646B1 (en) 2011-06-01 2011-06-01 Light emitting device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120133768A true KR20120133768A (en) 2012-12-11
KR101785646B1 KR101785646B1 (en) 2017-10-16

Family

ID=47517075

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110052588A Expired - Fee Related KR101785646B1 (en) 2011-06-01 2011-06-01 Light emitting device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101785646B1 (en)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4999696B2 (en) * 2004-10-22 2012-08-15 ソウル オプト デバイス カンパニー リミテッド GaN-based compound semiconductor light emitting device and manufacturing method thereof
KR100675202B1 (en) * 2006-02-02 2007-01-29 삼성전기주식회사 Vertical structure gallium nitride-based light emitting diode device and method of manufacturing the same
KR100986353B1 (en) * 2009-12-09 2010-10-08 엘지이노텍 주식회사 Light emitting device, method for fabricating the light emitting device and light emitting device package

Also Published As

Publication number Publication date
KR101785646B1 (en) 2017-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101154320B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and lighting device with the same
US8643042B2 (en) Light emitting device
KR101756333B1 (en) A light emitting device and a light emitting device package
KR101799451B1 (en) A light emitting device
US10892390B2 (en) Light-emitting element and light-emitting element package including the same
US9929327B2 (en) Light-emitting device package and light-emitting module including the same
KR20110107665A (en) Light emitting diodes and light emitting device packages including the same
KR101669122B1 (en) The light-
KR102407329B1 (en) Light source module and lighting apparatus
KR20150142327A (en) Light Emitting Device and light emitting device package
KR20120030761A (en) A light emitting device package and a light emitting module
KR102569249B1 (en) Light emitting device package
KR102413447B1 (en) Light emitting device
KR101734541B1 (en) Light emitting device, light emitting device package
KR102408617B1 (en) Light emitting device package, and light emitting apparatus including the package
KR102464028B1 (en) Light emitting device package, and light emitting apparatus including the package
KR101826979B1 (en) Light emitting device and light emitting device package
KR20120040855A (en) A light emitting device
KR20120014972A (en) Light emitting device, light emitting device manufacturing method, light emitting device package, and lighting system
KR102455091B1 (en) Light emitting device and light emitting device package including the device
KR101679760B1 (en) A light emitting device
KR102087948B1 (en) Light emitting device package
KR101785646B1 (en) Light emitting device
KR20140049690A (en) Light emitting device and light emitting device package
KR101710889B1 (en) Light Emitting Device

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

R17-X000 Change to representative recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R17-oth-X000

A201 Request for examination
PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

E13-X000 Pre-grant limitation requested

St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-5-5-R10-R14-asn-PN2301

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 6

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903

Not in force date: 20230930

Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903

Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

Not in force date: 20230930

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000