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KR20090040001A - Powder trap device for semiconductor or LCD production equipment - Google Patents

Powder trap device for semiconductor or LCD production equipment Download PDF

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KR20090040001A
KR20090040001A KR1020070105541A KR20070105541A KR20090040001A KR 20090040001 A KR20090040001 A KR 20090040001A KR 1020070105541 A KR1020070105541 A KR 1020070105541A KR 20070105541 A KR20070105541 A KR 20070105541A KR 20090040001 A KR20090040001 A KR 20090040001A
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KR
South Korea
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powder
collector module
semiconductor
line
exhaust
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KR1020070105541A
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Korean (ko)
Inventor
김영훈
문종한
정영문
Original Assignee
김영훈
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Publication date
Application filed by 김영훈 filed Critical 김영훈
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Abstract

본 발명은 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 소정 단위 공정이 이루어지는 공정챔버로부터 배출되는 폐가스나 폐화학물질 내에 포함되어 있는 파우더를 트랩시키는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a powder trap device for semiconductor or LCD production equipment, and more particularly, to a device for trapping powder contained in waste gas or waste chemical discharged from a process chamber in which a predetermined unit process is performed.

본 발명에 따른 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치는 배기라인의 도중에 설치되어 배기가스가 통과하는 파우더 컬렉터 모듈과, 상기 파우더 컬렉터 모듈의 내부 공간에 설치되어 배기가스와 열교환 함으로써 파우더가 파우더 컬렉터 모듈에 포집되도록 하는 냉각라인과, 상기 냉각라인의 입구측에 연결되어 외부에서 유입되는 압축기체를 고온기체와 저온기체로 분리한 후 상기 저온기체를 냉각라인에 공급되는 냉기공급수단과, 상기 파우더 컬렉터 모듈의 일측과 타측 배기라인에 각각 구비되어 배기라인 상의 배기가스 흐름을 허용 또는 차단하기 위해 개폐동작하는 진공밸브와, 상기한 각 구성요소의 작동을 제어하는 컨트롤러로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The powder trap device for semiconductor or LCD production equipment according to the present invention is installed in the middle of the exhaust line, the powder collector module through which the exhaust gas passes, and the powder collector module is installed in the inner space of the powder collector module to exchange heat with the exhaust gas powder collector module A cooling line for collecting the cold air, and a cold air supply means connected to the inlet side of the cooling line and separating the compressor body introduced from the outside into a high temperature gas and a low temperature gas, and supplying the low temperature gas to the cooling line, and the powder collector. A vacuum valve which is provided at one side and the other side exhaust line of the module and is opened and closed to allow or block the flow of exhaust gas on the exhaust line, and a controller for controlling the operation of each of the above components.

Description

반도체 또는 엘씨디 생산장비용 파우더 트랩장치{Power Trap for Semiconductor or LCD Equipment}Powder trap device for semiconductor or LCD production equipment {Power Trap for Semiconductor or LCD Equipment}

본 발명은 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 소정 단위 공정이 이루어지는 공정챔버로부터 배출되는 폐가스나 폐화학물질 내에 포함되어 있는 파우더를 트랩시키는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a powder trap device for semiconductor or LCD production equipment, and more particularly, to a device for trapping powder contained in waste gas or waste chemical discharged from a process chamber in which a predetermined unit process is performed.

일반적으로 반도체 소자는 공정챔버 내에서 이온주입 공정, 막 증착 공정, 식각 공정, 확산 공정, 사진 공정 등과 같은 다수의 공정들을 거쳐 제조된다.In general, a semiconductor device is manufactured through a plurality of processes such as an ion implantation process, a film deposition process, an etching process, a diffusion process, a photo process, and the like in a process chamber.

이러한 공정들에는 여러 가지 가스나 화학물질이 사용되는데 공정에 따라 공정 후에 폐가스 또는 폐화학물질(이하 '배기가스'로 총칭함)이 생성되는데 이 배기가스는 진공펌프에 의해 배기라인을 통해 세정기(Scrubber)로 이동되어 정제된다.In these processes, various gases or chemicals are used. Depending on the process, waste gas or waste chemicals (hereinafter collectively referred to as 'exhaust gas') are produced after the process, and the exhaust gas is washed through the exhaust line by a vacuum pump. Scrubber) to be purified.

이때 배기가스는 공정챔버와 배기라인의 온도차로 인해 파우더 형태로 고상화되어 배기라인에 싸이거나 진공펌프 내로 유입될 수 있다.At this time, the exhaust gas may be solidified in a powder form due to the temperature difference between the process chamber and the exhaust line, and may be enclosed in the exhaust line or introduced into the vacuum pump.

이 파우더는 배기라인의 막힘에 원인이 되거나 진공펌프에 충격을 주어 공정 불량을 야기하므로 배기라인에는 상기한 파우더를 트랩시키는 파우더 트랩장치가 설치된다.Since the powder causes clogging of the exhaust line or impacts the vacuum pump, causing a process defect, a powder trap device for trapping the powder is installed in the exhaust line.

종래 파우더 트랩장치의 경우 트랩장치 내부에 필터를 장착하여 파우더를 걸러주거나, 파우더의 응결 유도를 위해 PCW 또는 냉매를 사용하는 냉각기(Chiller)를 이용하여 파우더의 포집이 이루어지고, 파우더 트랩장치의 세척시나 교체시 배기라인에 설치된 파우더 트랩장치를 분리하여 세척하거나 교체한다. In the case of the conventional powder trap device, the powder is filtered by installing a filter inside the trap device, or powder is collected by using a PCW or a chiller using a refrigerant to induce condensation of the powder. Remove or clean the powder trap installed in the exhaust line when replacing or cleaning.

따라서 반도체 생산 공정의 중단이 필수이며, 이로 인한 생산 수율의 저하가 야기되었다.Therefore, the interruption of the semiconductor production process is mandatory, resulting in a decrease in production yield.

또한, 프레온, 암모니아, R4O4, CFC(chlorofluorocarbon) 등의 초저온 냉매를 사용하는 경우에 환경 유해물질인 냉매의 사용으로 인체 유해의 우려가 있으며, 이러한 냉매의 유출로 인한 오존층 파괴와 같은 문제점이 있었다.In addition, when using cryogenic refrigerants such as freon, ammonia, R 4 O 4, and chlorofluorocarbon (CFC), there is a risk of harm to humans due to the use of refrigerants, which are environmentally harmful substances, and problems such as destruction of the ozone layer due to the leakage of the refrigerant.

또한, 종래 파우더 트랩장치의 경우 지속적인 유지관리 비용과 고가의 제조비용으로 경제적이지 못하다는 문제점이 있었다.In addition, the conventional powder trap device has a problem that it is not economical due to the continuous maintenance cost and expensive manufacturing cost.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 압축기체를 사용하는 보텍스 튜브를 이용하여 파우더의 응결을 유도함으로써 인체에 무해한 공기의 사용으로 작업자의 안전이 보장되고, 파우더 컬렉터 모듈의 세척시나 교체시에 바이패스 라인을 이용하여 배기가스를 배기하므로 반도체 생산 공정을 중단할 필요가 없어 공정 수율을 향상시킬 수 있는 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, by inducing powder condensation using a vortex tube using a compressor body to ensure the safety of the operator by the use of air harmless to the human body, It is an object of the present invention to provide a powder trap device for semiconductor or LCD production equipment that can improve the process yield by eliminating the interruption of the semiconductor production process by exhausting the exhaust gas by using a bypass line at the time of replacement.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치는, 공정챔버와 진공펌프 사이의 배기라인 도중에 설치되어 배기라인을 통과하는 배기가스에 포함된 파우더를 포집하는 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치에 있어서;Powder trap apparatus for semiconductor or LCD production equipment according to the present invention for achieving the above object, is installed in the middle of the exhaust line between the process chamber and the vacuum pump to collect the powder contained in the exhaust gas passing through the exhaust line or In the powder trap device for LCD production equipment;

상기 배기라인의 도중에 설치되어 배기가스가 통과하는 파우더 컬렉터 모듈과, 상기 파우더 컬렉터 모듈의 내부 공간에 설치되어 배기가스와 열교환 함으로써 파우더가 파우더 컬렉터 모듈에 포집되도록 하는 냉각라인과, 상기 냉각라인의 입구측에 연결되어 외부에서 유입되는 압축기체를 고온기체와 저온기체로 분리한 후 상기 저온기체를 냉각라인에 공급되는 냉기공급수단과, 상기 파우더 컬렉터 모듈의 일측과 타측 배기라인에 각각 구비되어 배기라인 상의 배기가스 흐름을 허용 또는 차단하기 위해 개폐동작하는 진공밸브와, 상기한 각 구성요소의 작동을 제어하는 컨트롤러로 이루어지는 것을 특징으로 한다.A powder collector module installed in the middle of the exhaust line, through which the exhaust gas passes, a cooling line installed in the inner space of the powder collector module, and heat-exchanging with the exhaust gas to collect powder in the powder collector module, and an inlet of the cooling line The compressor body connected to the side is separated into a high temperature gas and a low temperature gas, and the cold gas supply means for supplying the low temperature gas to the cooling line, and one side and the other exhaust line of the powder collector module are provided on the exhaust line. It is characterized by consisting of a vacuum valve for opening and closing operation to allow or block the exhaust gas flow in the phase, and a controller for controlling the operation of each of the above components.

상술한 과제 해결 수단에 의하면 압축기체만을 사용하여 파우더의 응결을 유도함으로써 유해가스나 화학물질의 사용을 배제하여 작업자의 안전을 보장할 수 있으며, 반도체 장비나 진공펌프를 멈추지 않고 세척이나 교체와 같은 파우더 컬렉터 모듈의 유지 보수 작업을 수행할 수 있어 공정 수율을 향상시킬 수 있다.According to the problem solving means described above, by inducing the condensation of the powder using only the compressor body, it is possible to ensure the safety of the operator by eliminating the use of harmful gases or chemicals, and to clean or replace without stopping the semiconductor equipment or the vacuum pump. Maintenance of the powder collector module can be performed to improve process yield.

이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참고로 그 구성 및 작용을 설명하기로 한다.Hereinafter, the configuration and operation of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 파우더 트랩장치의 구성을 나타내는 블록도이다.1 is a block diagram showing the configuration of a powder trap apparatus according to the present invention.

도시된 바와 같이 공정챔버(100)와 진공펌프(300) 사이에 배관된 배기라인(10)에 파우더를 포집하는 파우더 컬렉터 모듈(260)을 포함하는 파우더 트랩장치(200)가 마련된다.As shown, a powder trap device 200 including a powder collector module 260 for collecting powder in an exhaust line 10 piped between the process chamber 100 and the vacuum pump 300 is provided.

상기 파우더 트랩장치(200)의 후술하는 각 구성부는 컨트롤러(290)에 의해 작동이 제어되며 상기 컨트롤러(290)는 외부에서 조작할 수 있도록 파우더 트랩장치(200)의 외측에 노출되게 설치되고, 디스플레이부(292)가 구비되어 압축기체의 압력이나 파우더 컬렉터 모듈(260)에 포집되는 파우더의 무게나 양이 표시된다.Each component described later of the powder trap device 200 is controlled to be operated by the controller 290, and the controller 290 is installed to be exposed to the outside of the powder trap device 200 so as to be operated from the outside, and the display is displayed. The unit 292 is provided to display the pressure of the compressor body or the weight or amount of powder collected in the powder collector module 260.

본 발명에서는 압축된 기체를 제공받아 고온기체와 저온기체로 분리하는 보텍스 튜브(240)를 통과시킴으로써 저온기체를 파우더 컬렉터 모듈(260)에 공급한다.In the present invention, the low temperature gas is supplied to the powder collector module 260 by passing the vortex tube 240 which receives the compressed gas and separates the high temperature gas and the low temperature gas.

상기 파우더 컬렉터 모듈(260)의 일측과 타측 배기라인(10)에는 진공밸브(250,270)가 각각 구비되며, 상기 파우더 컬렉터 모듈(260)을 통하지 않고 배기가스가 우회할 수 있도록 배기라인(10)에는 바이패스 밸브(280)가 구비된 바이패스 라인(20)이 형성된다.One side and the other side exhaust line 10 of the powder collector module 260 are provided with vacuum valves 250 and 270, respectively, and the exhaust line 10 may bypass the powder collector module 260 to bypass the exhaust gas. The bypass line 20 with the bypass valve 280 is formed.

상기 진공밸브(250,270)는 배기라인(10) 상에서 배기가스의 흐름을 허용 또는 차단하기 위해 개폐동작되고, 상기 바이패스 밸브(280)는 평상시에 닫힘 상태에 있다가 파우더 컬렉터 모듈(260)의 세척시나 교체시에 바이패스 라인(20)을 통한 배기가스의 흐름을 허용하기 위해 열림 동작한다.The vacuum valves 250 and 270 are opened and closed to allow or block the flow of the exhaust gas on the exhaust line 10, and the bypass valve 280 is normally closed to clean the powder collector module 260. Open operation to allow the flow of exhaust gas through the bypass line 20 at the time of replacement or replacement.

상기 파우더 컬렉터 모듈(260)에는 냉기가 주입되는 냉기입구와 상기 냉기입구로 주입된 냉기가 순환하여 배출되는 냉기출구가 형성되어 상기 파우더 컬렉터 모듈(260)을 통과하는 배기가스와 열교환을 이루는 냉각라인(40)이 형성되고 파우더 컬렉터 모듈(260)에 포집된 파우더의 무게나 양을 측정하는 파우더 센서(262)가 구비된다.The powder collector module 260 is provided with a cold air inlet through which cold air is injected and a cold air outlet through which cold air injected into the cold air inlet is circulated and discharged to form heat exchange with the exhaust gas passing through the powder collector module 260. 40 is formed and is provided with a powder sensor 262 for measuring the weight or amount of powder collected in the powder collector module 260.

상기 파우더 센서(262)는 파우더의 무게나 양을 측정하여 컨트롤러(290)에 입력하고 상기 컨트롤러(290)는 측정된 파우더의 무게나 양이 기설정된 기준무게나 기준양보다 많은 경우에 경보음을 출력하거나 경보램프를 점멸하여 파우더 컬렉터 모듈(260)을 교체하거나 세척할 수 있도록 한다. The powder sensor 262 measures the weight or amount of powder and inputs it to the controller 290. The controller 290 alarms when the weight or amount of the measured powder is greater than a predetermined reference weight or reference amount. Output or flash the alarm lamp to replace or clean the powder collector module 260.

상기 냉각라인(40)에는 냉기공급수단(202)을 통하여 생성된 냉기가 냉기입구를 통하여 공급되되, 상기 냉기공급수단(202)은 압축기체 포트나 컴프레서 등과 같은 외부의 압축기체 제공수단에 연결된 압축기체 라인(30)에 구비되고 레귤레이 터(210)와 압축기체 밸브(220)와, 압력센서(230)와 보텍스 튜브(240)를 포함하여 구성된다.Cold air generated through the cold air supply means 202 is supplied to the cooling line 40 through the cold air inlet, and the cold air supply means 202 is compressed to be connected to an external compressor body supply means such as a compressor body port or a compressor. The gas line 30 is provided and includes a regulator 210, a compressor valve 220, a pressure sensor 230, and a vortex tube 240.

상기 레귤레이터(210)는 외부에서 유입되는 압축기체의 압력을 파우더 컬렉터 모듈(260)에 필요한 범위에 맞도록 조정하고, 상기 압축기체 밸브(220)는 레귤레이터를 통해 압력이 조정된 압축기체의 흐름을 허용 또는 차단하기 위해서 개폐동작한다.The regulator 210 adjusts the pressure of the compressor body flowing in from the outside to match the range required for the powder collector module 260, and the compressor valve 220 controls the flow of the compressed compressor body through the regulator. Open or close to allow or block.

상기 압축기체 밸브(220), 진공밸브(250,270) 또는 바이패스 밸브(280)로는 솔레노이드 밸브와 같이 컨트롤러(290)의 전기신호로 제어할 수 있는 밸브인 것이 바람직하다.The compressor valve 220, the vacuum valves 250, 270 or the bypass valve 280 may be a valve which can be controlled by an electric signal of the controller 290, such as a solenoid valve.

상기 압력센서(230)는 레귤레이터(210)와 압축기체 밸브(220)를 통해 공급되는 압력이 조정된 압축기체의 압력을 감지하여 컨트롤러(290)에 입력하고 상기 컨트롤러(290)는 감지된 압력이 기설정된 기준압력 범위를 벗어난 경우에 경보음을 출력하거나 경보램프를 점멸한다.The pressure sensor 230 senses the pressure of the compressed compressor body, the pressure supplied through the regulator 210 and the compressor valve 220, is input to the controller 290. The alarm sound or alarm lamp flashes when the preset pressure range is out of range.

본 발명에서 상기 압력센서(230)를 이용하여 압축기체의 압력이 기준범위 압력 이내에 있도록 조정하는 것은, 보일-샤를의 법칙에 의한 압력과 온도의 비례 관계식에 의거하여 압력을 조정함으로써 파우더 컬렉터 모듈(260) 내부의 냉각라인(40)에 공급되는 냉기의 온도 조정에 의해 파우더 컬렉터 모듈(260)이 과냉각 되는 것을 방지하기 위해서이다.Adjusting the pressure of the compressor body within the reference range pressure by using the pressure sensor 230 in the present invention, the powder collector module (by adjusting the pressure based on a proportional relationship between pressure and temperature according to Boyle-Charles' law) In order to prevent the powder collector module 260 from being overcooled by adjusting the temperature of the cold air supplied to the cooling line 40 inside the 260.

상기 압축기체 라인(30)의 출구에 연결되는 보텍스 튜브(240)는 유입되는 압축기체를 고속회전에 의해 저온기체와 고온기체로 분리시켜 고온기체는 외부로 배 기시키고 저온기체는 냉각라인(40)의 냉기입구로 공급한다.The vortex tube 240 connected to the outlet of the compressor body line 30 separates the incoming compressor body into a low temperature gas and a high temperature gas by high-speed rotation, exhausting the high temperature gas to the outside, and the low temperature gas to the cooling line 40. To the cold air inlet.

도 2는 도 1에 나타낸 보텍스 튜브의 원리를 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining the principle of the vortex tube shown in FIG.

상기 보텍스 튜브(240)는 유체 역학적 원리를 이용하여 냉매나 전기 또는 화학 약품을 일체 사용하지 않고, 단지 압축기체(3∼10Kg/Cm2)가 공급되면 매우 짧은 시간에 저온기체(-65℃까지)를 발생시킨다.The vortex tube 240 does not use any refrigerant, electricity, or chemicals by using a hydrodynamic principle. When the compressor body (3-10 Kg / Cm 2 ) is supplied, the low temperature gas (-65 ° C.) is very short. ).

도시된 바와 같이 상기 보텍스 튜브(240)는 압축기체가 유입되는 원통체 형상의 케이스(241)의 일측에 다소 직경이 작은 제1유동관(242)이 형성되고 타측에 다소 직경이 큰 제2유동관(243)이 형성된다.As shown in the vortex tube 240, a first flow tube 242 having a smaller diameter is formed at one side of the cylindrical case 241 into which the compressor body is introduced, and the second flow tube having a larger diameter at the other side ( 243).

압축기체가 압축기체 라인(30)을 통하여 원통체 형상의 케이스(241)로 공급되면, 일차로 보텍스 회전실(244)에 투입되어 고속 회전을 하게 된다.When the compressor body is supplied to the cylindrical case 241 through the compressor body line 30, the compressor body is first introduced into the vortex rotating chamber 244 to perform high speed rotation.

이 회전공기는 원통체 내의 제2유동관(243)을 따라 타측방향으로 향하다가 일부의 공기는 스핀들에서 회송되어 제1유동관(242) 쪽의 일측방향으로 향하여 나가게 되는데, 이때 타측방향(제2유동관) 공기의 흐름은 일측방향(제1유동관) 공기의 흐름에 안쪽에 위치하게 되어 더욱 낮은 압력의 지역을 통과하면서 열량을 잃으면서 냉기를 발생하게 된다.The rotating air is directed in the other direction along the second flow tube 243 in the cylindrical body, and some air is returned from the spindle and exits in one direction toward the first flow tube 242, where the other direction (the second flow tube ) The flow of air is located inward to the flow of air in one direction (first flow tube), which causes cold air while losing heat while passing through the region of lower pressure.

즉 회전하는 두 개의 공기 흐름(동일 방향, 동일 각속도 회전)에 있어서, 내부 흐름의 공기 입자는 바깥 흐름의 공기 입자와 1회전하는 시간이 동일(동일 각속도)하므로 실제 운동 속도는 바깥 흐름보다 낮게 된다.That is, in two rotating air streams (same direction, same angular velocity rotation), the air particles in the inner stream have the same rotational time as the air particles in the outer stream (same angular velocity), so the actual movement speed is lower than the outer flow. .

이러한 운동 속도의 차이는 운동에너지가 줄었음을 의미하며 이 상실된 운동 에너지는 열로 변환되어 바깥 흐름의 공기의 온도를 상승시키고 내부 흐름은 더욱더 온도가 내려간다.This difference in kinetic speed means that the kinetic energy is reduced, and this lost kinetic energy is converted to heat, raising the temperature of the air in the outer stream and lowering the temperature in the inner stream.

상기와 같은 원리로 동작하는 보텍스 튜브(240)는 유입되는 압축기체 중 내부를 선회하면서 냉각된 저온기체를 파우더 컬렉터 모듈(260)의 냉각라인(40)에 공급하고, 온도가 상승한 고온기체는 외부로 배기시키게 된다.The vortex tube 240 operating on the same principle as described above supplies the cooled low temperature gas to the cooling line 40 of the powder collector module 260 while turning the inside of the compressed compressor body. Will be exhausted.

상기와 같은 파우더 트랩장치(200)의 작동을 살펴보면 공정챔버(100)에서 소정의 반도체 제조공정이 수행되고, 이 제조공정에 투입된 후 생성된 배기가스는 진공밸브(250,270)가 열린 상태에서 진공펌프(300)의 작동에 의해 배기라인(10)과 배기라인(10)에 설치된 파우더 컬렉터 모듈(260)을 통해 진공펌프(300) 쪽으로 배기된다.Looking at the operation of the powder trap apparatus 200 as described above, a predetermined semiconductor manufacturing process is performed in the process chamber 100, and the exhaust gas generated after being injected into the manufacturing process is a vacuum pump in a state in which the vacuum valves 250 and 270 are opened. By the operation of the 300 is exhausted toward the vacuum pump 300 through the exhaust collector 10 and the powder collector module 260 installed in the exhaust line (10).

동시에 레귤레이터(210)에 의해 압력이 조정된 압축기체는 압축기체 밸브(220)의 열림 동작에 의해 압축기체 라인(30)에 유입되는데, 이때 압력센서(230)에 의해서 파우더 컬렉터 모듈(260)에 사용될 압축기체의 압력이 기준압력 범위를 벗어났을 경우에 컨트롤러(290)가 경보음을 출력하거나 경보램프를 점멸한다.At the same time, the compressor body whose pressure is adjusted by the regulator 210 is introduced into the compressor body line 30 by the opening operation of the compressor body valve 220, and at this time, the pressure sensor 230 enters the powder collector module 260. When the pressure of the compressor to be used is out of the reference pressure range, the controller 290 outputs an alarm sound or flashes the alarm lamp.

압축기체 밸브(220)를 통과한 압축기체는 보텍스 튜브(240)로 투입되어 고온기체와 저온기체로 나누어져서 고온기체는 외부로 배기되고 저온기체는 파우더 컬렉터 모듈(260) 내부의 냉각라인(40)에 공급된다.The compressed gas passing through the compressed gas valve 220 is introduced into the vortex tube 240, and is divided into a high temperature gas and a low temperature gas so that the high temperature gas is exhausted to the outside, and the low temperature gas is cooled within the powder collector module 260. Is supplied.

상기 냉각라인(40)의 저온기체는 파우더 컬렉터 모듈(260)의 내부를 냉각하면서, 파우더 컬렉터 모듈(260)을 지나는 배기가스와 열교환을 하며, 이에 의해 배기가스의 파우더가 파우더 컬렉터 모듈(260)에 포집되는 것이다.The low temperature gas of the cooling line 40 cools the inside of the powder collector module 260 and heat exchanges with the exhaust gas passing through the powder collector module 260, whereby the powder of the exhaust gas is powder collector module 260. To be captured.

상기 파우더 컬렉터 모듈(260)에 포집되는 파우더의 무게나 양은 파우더 센서(262)에 의해 측정되어 컨트롤러(290)에 입력되고, 컨트롤러(290)는 이 측정무게나 측정양을 기준무게나 기준양과 비교하여 기준무게나 측정양보다 많은 경우에 경보음을 출력하거나 경보램프를 점멸한다.The weight or amount of powder collected in the powder collector module 260 is measured by the powder sensor 262 and input to the controller 290, and the controller 290 compares the measured weight or measured amount with the reference weight or reference amount. If it exceeds the standard weight or measured volume, the alarm sound or alarm lamp will flash.

상기 냉각라인(40)에 공급되어 열교환을 수행한 저온기체는 냉기출구를 통해 외부로 배기된다.The low temperature gas supplied to the cooling line 40 to perform heat exchange is exhausted to the outside through the cold air outlet.

상기한 파우더 트랩장치(200)의 작동은 컨트롤러(290)에 의해 제어되며, 압축기체의 압력이나 포집된 파우더의 무게나 양은 컨트롤러(290)의 디스플레이부(292)에 표시된다.The operation of the powder trap device 200 is controlled by the controller 290, and the pressure of the compressor body or the weight or amount of the collected powder is displayed on the display 292 of the controller 290.

도 1은 본 발명에 따른 파우더 트랩장치의 구성을 나타내는 블록도,1 is a block diagram showing the configuration of a powder trap apparatus according to the present invention;

도 2는 도 1에 나타낸 보텍스 튜브의 원리를 설명하기 위한 도면2 is a view for explaining the principle of the vortex tube shown in FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10: 배기라인 20: 바이패스 라인10: exhaust line 20: bypass line

30: 압축기체 라인 40: 냉각라인30: compressor body line 40: cooling line

100: 공정챔버 200: 파우더 트랩장치100: process chamber 200: powder trap device

210: 레귤레이터 220,250,270,280: 밸브210: regulator 220,250,270,280: valve

230: 압력센서 240: 보텍스 튜브230: pressure sensor 240: vortex tube

260: 파우더 컬렉터 모듈 262: 파우더 센서260: powder collector module 262: powder sensor

290: 컨트롤러 300: 진공펌프290: controller 300: vacuum pump

Claims (8)

공정챔버와 진공펌프 사이의 배기라인 도중에 설치되어 배기라인을 통과하는 배기가스에 포함된 파우더를 포집하는 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치에 있어서;A powder trap device for semiconductor or LCD production equipment installed in an exhaust line between a process chamber and a vacuum pump to collect powder contained in exhaust gas passing through the exhaust line; 상기 배기라인의 도중에 설치되어 배기가스가 통과하는 파우더 컬렉터 모듈과, 상기 파우더 컬렉터 모듈의 내부 공간에 설치되어 배기가스와 열교환 함으로써 파우더가 파우더 컬렉터 모듈에 포집되도록 하는 냉각라인과, 상기 냉각라인의 입구측에 연결되어 외부에서 유입되는 압축기체를 고온기체와 저온기체로 분리한 후 상기 저온기체를 냉각라인에 공급되는 냉기공급수단과, 상기 파우더 컬렉터 모듈의 일측과 타측 배기라인에 각각 구비되어 배기라인 상의 배기가스 흐름을 허용 또는 차단하기 위해 개폐동작하는 진공밸브와, 상기한 각 구성요소의 작동을 제어하는 컨트롤러로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치.A powder collector module installed in the middle of the exhaust line and through which exhaust gas passes, a cooling line installed in an inner space of the powder collector module to exchange powder with the exhaust gas, and to collect powder in the powder collector module, and an inlet of the cooling line The compressor body connected to the side is separated into a high temperature gas and a low temperature gas, and the cold gas supply means for supplying the low temperature gas to the cooling line, and one side and the other exhaust line of the powder collector module are provided on the exhaust line. Powder trap device for semiconductor or LCD production equipment, characterized in that the vacuum valve for opening and closing operation to allow or block the exhaust gas flow on the bed, and a controller for controlling the operation of each of the above components. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 배기라인에는 배기가스가 파우더 컬렉터 모듈을 통하지 않고 우회할 수 있도록 바이패스 라인이 형성되며, 상기 바이패스 라인에는 바이패스 라인을 통한 배기가스의 흐름을 허용하거나 차단하기 위해 개폐동작하는 바이패스 밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치.A bypass line is formed in the exhaust line so that the exhaust gas can bypass the powder collector module without passing through the powder collector module, and the bypass line has a bypass valve that opens and closes to allow or block the flow of the exhaust gas through the bypass line. Powder trap device for semiconductor or LCD production equipment characterized in that the installation. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 냉기공급수단은 외부에서 유입되는 압축기체의 압력을 파우더 컬렉터 모듈에 필요한 범위에 맞도록 조정하는 레귤레이터와, 레귤레이터를 통해 압력이 조정된 압축기체의 흐름을 허용 또는 차단하기 위해서 개폐동작하는 압축기체 밸브와, 상기 압축기체 밸브를 통과한 압축기체의 압력을 감지하여 컨트롤러에 입력하는 압력센서와, 상기 압축기체 밸브를 통과한 압축기체를 고속회전에 의해 저온기체와 고온기체로 분리시켜 고온기체는 외부로 배기시키고 저온기체는 냉각라인에 공급하는 보텍스 튜브로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치.The cold air supply means is a regulator for adjusting the pressure of the compressor body flowing from the outside to meet the range required for the powder collector module, and the compressor body to open and close to allow or block the flow of the pressure-adjusted compressor body through the regulator A valve, a pressure sensor that senses the pressure of the compressor body passing through the compressor valve and inputs it to the controller, and the compressor body passed through the compressor valve are separated into a low temperature gas and a high temperature gas by high speed rotation. Exhaust to the outside and the low-temperature gas powder trap device for semiconductor or LCD production equipment, characterized in that consisting of a vortex tube to supply to the cooling line. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 컨트롤러는 압력센서에서 입력된 압축기체의 압력이 기설정된 기준압력 범위를 벗어난 경우에 경보음을 출력하거나 경보램프를 점멸하는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치.And the controller outputs an alarm sound or flashes an alarm lamp when the pressure of the compressor body input from the pressure sensor is outside the preset reference pressure range. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 진공밸브, 바이패스 밸브, 압축기체 밸브는 컨트롤러의 전기신호로 제어할 수 있는 솔레노이드 밸브인 것을 특징으로 하는 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치.The vacuum valve, the bypass valve, the compressor valve is a powder trap device for semiconductor or LCD production equipment, characterized in that the solenoid valve that can be controlled by the electric signal of the controller. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 파우더 컬렉터 모듈에는 파우더 컬렉터 모듈에 포집된 파우더의 무게나 양을 측정하여 컨트롤러에 입력하는 파우더 센서가 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치.The powder collector module is a powder trap device for a semiconductor or LCD production equipment, characterized in that the powder sensor for measuring the weight or amount of powder collected in the powder collector module is input to the controller. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 컨트롤러는 파우더 센서에서 입력된 파우더의 무게나 양을 기설정된 기준무게나 기준양과 비교하여 기준무게나 기준양보다 많은 경우에 경보음을 출력하거나 경보램프를 점멸하는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치.The controller produces a semiconductor or LCD, which outputs an alarm sound or flashes an alarm lamp when the weight or amount of powder input from the powder sensor is greater than the reference weight or reference amount. Powder trap device for equipment. 제 3 항 또는 제 6 항에 있어서,The method according to claim 3 or 6, wherein 상기 컨트롤러에는 디스플레이부가 구비되어 압력센서에서 측정한 압축기체의 압력이나 파우더 센서에서 측정한 파우더의 무게나 양이 표시되는 것을 특징으로 하는 반도체 또는 LCD 생산장비용 파우더 트랩장치.The controller is provided with a display unit is a powder trap device for semiconductor or LCD production equipment, characterized in that the pressure of the compressor body measured by the pressure sensor or the weight or amount of the powder measured by the powder sensor is displayed.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101218002B1 (en) * 2012-04-26 2013-01-02 류재현 Apparatus for powder accumulating with chiller
KR20200044500A (en) * 2018-10-19 2020-04-29 삼성전자주식회사 Trap device for semiconductor facilities
WO2024196206A1 (en) * 2023-03-21 2024-09-26 주성엔지니어링(주) Collecting apparatus and collecting method

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