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KR20080105654A - 클린룸용 파티클 제거장치 - Google Patents

클린룸용 파티클 제거장치 Download PDF

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KR20080105654A
KR20080105654A KR1020070053500A KR20070053500A KR20080105654A KR 20080105654 A KR20080105654 A KR 20080105654A KR 1020070053500 A KR1020070053500 A KR 1020070053500A KR 20070053500 A KR20070053500 A KR 20070053500A KR 20080105654 A KR20080105654 A KR 20080105654A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
suction
clean room
main body
removal device
particle removal
Prior art date
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Withdrawn
Application number
KR1020070053500A
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English (en)
Inventor
성준경
조현태
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
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    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
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    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
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Abstract

본 발명은 클린룸용 파티클 제거장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 클린룸의 전체 기류를 제어하기 위한 메인 기류제어 시스템과는 별도로 클린룸에 설치된 생산설비 등의 국부적인 지역에서 발생하는 파티클을 용이하게 제거할 수 있고, 그와 동시에 환경에 대한 측정까지 함께 할 수 있는 클린룸용 파티클 제거장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치는, 클린룸 내부에 설치되어 일정한 경로를 형성하는 가이드레일과, 상기 가이드레일에 설치되어 상기 경로를 따라 이동하는 본체와, 상기 본체 내부에 설치되고 필터가 내장된 흡입펌프와, 일단이 상기 흡입펌프와 연결되고 타단이 상기 본체 외부로 돌출된 흡입관과, 상기 흡입관의 타단과 연결되고 클린룸 내부의 파티클을 흡입할 수 있는 흡입프로브를 포함하여 이루어진다.
클린룸, 파티클, 가이드레일, 흡입프로브, 제어부, 펌프, 센서

Description

클린룸용 파티클 제거장치{APPARATUS FOR ELIMINATING PARTICLES IN CLEAN ROOM}
도 1은 본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치의 바람직한 실시예의 개략적인 구성을 보인 구성도이고,
도 2는 도 1의 실시예의 제어부를 중심으로 한 작동라인을 나타낸 블럭도이고,
도 3은 본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치의 흡입관 및 흡입프로브의 일실시예를 나타낸 사시도이며,
도 4는 도 1의 실시예의 사용상태도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 파티클 제거장치 10 : 가이드레일
100 : 본체 200 : 흡입펌프
300 : 흡입관 350 : 구동부
400 : 흡입프로브 500 : 제어부
520 : 파티클측정기 540 : 환경측정수단
550 : 프로브위치센서 560 : 본체위치센서
600 : 수신기 700 : 송신기
800 : 디스플레이부 900 : 클린룸
본 발명은 클린룸용 파티클 제거장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 클린룸의 전체 기류를 제어하기 위한 메인 기류제어 시스템과는 별도로 클린룸에 설치된 생산설비 등의 국부적인 지역에서 발생하는 파티클을 용이하게 제거할 수 있고, 그와 동시에 환경에 대한 측정까지 함께 할 수 있는 클린룸용 파티클 제거장치에 관한 것이다.
일반적으로 클린룸(Clean Room)은 어떠한 구획의 내부에 먼지나 이물질이 전혀 없는 방을 의미하기 때문에 청정실이라고도 하며, 이러한 클린룸은 초고정밀 직접회로나 유전자 조작 및 청정한 상태에서 약품이나 화학물질을 취급하는 곳에서와 같이 오염에 의하여 품질에 상당한 영향을 미치는 경우에 설치한다.
상기와 같은 클린룸의 경우 깨끗한 상태로 작업장에 진입할 수 있도록 작업자의 피복이나 신체 또는 외부에서 함께 유입되는 먼지를 제거하기 위하여 클린룸의 입구에 클리닝장치를 설치한다. 또한, 클린룸의 내부에도 지속적으로 쾌적하면서도 깨끗한 공기를 공급하고, 공급된 공기를 신속하게 외부로 배출하기 위한 기류제어 시스템을 적용하고 있다.
또한, 상기와 같은 클린룸은 청정도에 따라 여러 등급으로 구분되어지는데, 청정도는 단위 면적당 존재하는 일정 크기의 파티클의 개수에 의해 구분되며, 일정 수준의 청정도를 유지하기 위해 수시로 파티클의 측정 및 제거가 이루어져야 한다. 또한, 파티클 뿐만 아니라 온도, 습도, 압력 및 케미컬을 일정하게 유지하는 것도 클린룸의 관리를 위해서는 대단히 중요한 문제이다. 특히, 우발적인 사고가 예상되어 청정도에 영향을 줄 수 있는 지점을 파악하여 항상 파티클의 측정 및 제거가 이루어져야 하고, 부유하는 파티클을 제거하기 위하여 클린룸 내부를 이동하면서 지속적인 청정도의 측정 및 유지가 요구된다.
이러한 클린룸의 청정도 및 환경에 대한 적절한 관리를 위하여 종래의 클린룸용 기류제어 시스템 및 환경측정 시스템 등이 있다. 통상의 기류제어 시스템의 경우에는 클린룸의 상부에 설치되는 유입팬에 의하여 외부공기가 클린룸 내부로 공급되는데 클린룸의 상부에 설치되는 필터를 경유하여 청정한 상태로 외부공기가 유입되고, 유입된 공기는 클린룸의 외부로 배출되어지는 구성이다. 또한, 통상의 환경측정 시스템의 경우에는 호스트컴퓨터에 케이블을 통해 연결된 센서, 카운터 및 분석기가 클린룸의 환경을 측정하여 호스트컴퓨터로 측정된 신호를 전송한다.
그러나, 종래의 기류제어 시스템은 단순히 클린룸으로 외부공기를 필터링하여 청정한 상태로 공급하고, 공급된 공기를 다시 외부로 배출하는 구성이기 때문에 생산설비 자체에서 발생하는 이물질이나 생산설비에서 생산되는 제품으로부터 발생하는 이물질을 용이하게 제거하지 못하게 됨으로써 클린룸의 청정도를 저하시키는 원인이 된다.
또한, 종래의 환경측정 시스템은 센서 및 분석기 등이 대부분 고정형으로 사용되므로 클린룸의 국부적인 지역에 대해서는 정확한 측정이 어렵고, 이를 위하여 작업자가 직접 이동하여 측정해야 하는 문제가 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명의 목적은, 클린룸의 전체 기류를 제어하기 위한 메인 기류제어 시스템과는 별도로 클린룸에 설치된 생산설비 등의 국부적인 지역에서 발생하는 파티클을 용이하게 제거할 수 있고, 그와 동시에 환경에 대한 측정까지 함께 할 수 있는 클린룸용 파티클 제거장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관된 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 클린룸용 파티클 제거장치는, 클린룸 내부에 설치되어 일정한 경로를 형성하는 가이드레일과, 상기 가이드레일에 설치되어 상기 경로를 따라 이동하는 본체와, 상기 본체 내부에 설치되고, 필터가 내장된 흡입펌프와, 일단이 상기 흡입펌프와 연결되고, 타단이 상기 본체 외부로 돌출된 흡입관과, 상기 흡입관의 타단과 연결되고, 클린룸 내부의 파티클을 흡입할 수 있는 흡입프로브를 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 흡입펌프에 설치되어 상기 흡입프로브로부터 흡입된 파티클을 측정할 수 있는 파티클측정기와, 상기 파티클측정기로부터 신호를 입력받고, 미리 설정된 기준과 입력된 상기 신호를 비교하여 상기 흡입펌프의 흡입량을 조절할 수 있는 제어부와, 상기 제어부로부터 신호를 수신하여 상기 파티클의 양을 외부에 보여 주는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡입프로브는 각각의 일단이 상기 흡입관의 타단과 연결되고, 각각의 타단이 상기 흡입관의 타단으로부터 방사형으로 일정한 각도로 배열되고, 중공관 형상으로 된 복수의 흡입튜브인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 복수의 흡입튜브는, 각각 일단으로부터 타단으로 갈수록 내경이 확장된 깔때기 형상인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡입관은 복수가 구비되고, 상기 흡입프로브는 상기 복수의 흡입관과 동수가 구비되어 각각이 상기 복수의 흡입관 각각과 연결된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡입관은, 상기 흡입프로브가 상기 본체 내부로 수용될 수 있도록 길이조절이 가능한 텔레스코픽 형상인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡입프로브에 설치되어 상기 흡입관의 길이방향선에 위치한 사물을 감지할 수 있는 프로브위치센서와, 상기 본체에 설치되어 상기 흡입관의 길이를 조절할 수 있는 구동부와, 상기 본체에 설치되어 상기 프로브위치센서로부터 신호를 입력받아 상기 구동부를 구동시키는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 본체에 설치되어 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 적어도 어느 하나 이상을 측정할 수 있는 환경측정수단과, 상기 본체에 설치되어 상기 본체의 위치를 알려주는 본체위치센서와, 상기 환경측정수단 및 상기 본체위치센서로부터 신호를 수신하여 상기 본체의 위치 및 상기 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 선택된 어느 하나 이상을 외부에 보여주는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 사용자의 조작에 의해 무선으로 신호를 전송하는 송신기와, 상기 몸체에 설치되어 상기 송신기로부터 상기 신호를 무선으로 수신하는 수신기와, 상기 수신기로부터 상기 신호를 입력받아 상기 몸체, 상기 흡입펌프 및 상기 흡입관의 구동부를 작동시키는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가이드레일은, 복수가 구비되어 각각이 서로 다른 경로를 형성하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가이드레일은, 상기 클린룸의 상층부에 설치된 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치의 바람직한 실시예의 개략적인 구성을 보인 구성도이고, 도 2는 도 1의 실시예의 제어부를 중심으로 한 작동라인을 나타낸 블럭도이고, 도 3은 본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치의 흡입관 및 흡입프로브의 일실시예를 나타낸 사시도이며, 도 4는 도 1의 실시예의 사용상태도이다.
도 1에 나타낸 바와 같이 본 발명의 클린룸용 파티클 제거장치(1)는 클린룸(900) 내부에 설치되는 가이드레일(10)을 따라 이동하는 본체(100)와 상기 본 체(100)에 설치되는 흡입펌프(200), 흡입관(300), 구동부(350), 흡입프로브(400), 제어부(500), 파티클측정기(520), 환경측정수단(540), 프로브위치센서(550), 본체위치센서(560) 및 수신기(600)를 포함하여 구성된다.
본체(100)는 클린룸(900) 내부에 설치되어 일정한 경로를 형성하는 가이드레일(10)에 설치되고, 상기 경로를 따라 이동한다. 본체(100)가 가이드레일(10)을 따라 이동하기 위해서는 구동수단이 필요하고, 구동수단은 본체에 제공된 바퀴와 상기 바퀴를 회전시킬 수 있는 전기모터일 수 있다. 어떠한 구동수단이든 본체(100)가 가이드레일(10)을 따라 이동할 수 있으면 족하다. 또한, 본체(100)는 내부에 후술할 흡입펌프(200), 제어부(500) 등이 구비되므로 충분한 크기이면 족하고, 어떠한 형태라도 무방하다.
흡입펌프(200)는 상기 본체(100) 내부에 설치되고, 필터가 내장된다. 흡입펌프(200)는 일반적인 진공펌프를 말하며, 클린룸(900) 내부의 파티클을 진공으로 흡입하기 위한 것이다. 흡입펌프(200)를 구동시키기 위해서 전기모터가 사용될 수 있다. 흡입펌프(200)에 흡입된 파티클을 함유한 공기는 흡입펌프(200)에 내장된 필터를 거쳐 파티클이 여과된 후에 청정한 상태로 배출된다.
흡입관(300)은 일단이 상기 흡입펌프(200)와 연결되고, 타단이 상기 본체(100) 외부로 돌출된다. 흡입관(300)의 일단은 흡입펌프(200)가 진공 흡입되는 입구와 연결된 것이고, 흡입관(300)의 타단은 본체(100)의 외부로 돌출되어 클린룸(900) 내부의 파티클을 용이하게 흡입하기 위한 것이다. 또한, 흡입관(300)은 복수가 구비될 수 있고, 그에 따라 여러 방향을 통해 파티클을 보다 효과적으로 제 거할 수 있다. 이 경우, 흡입관(300)의 일단과 연결된 흡입펌프(200)는 복수의 흡입관(300) 각각과 연결된 복수의 흡입펌프(200)가 설치될 수 있고, 하나의 흡입펌프(200)를 통하여 복수의 흡입관(300)을 연결할 수도 있다. 또한, 흡입관(300)은 후술할 흡입프로브(400)가 본체(100) 내부로 수용될 수 있도록 길이 조절이 가능한 텔레스코픽 형상일 수 있고, 흡입관(300)의 길이를 조절할 수 있는 구동부(350)가 본체(100)에 설치될 수 있다. 이를 통하여, 흡입관(300)의 길이를 임의로 조절할 수 있어 본체(100)의 이동시나 흡입시 생산설비 등에 간섭되지 않고, 보다 용이하게 파티클을 제거할 수 있다. 흡입관(300)의 길이조절 방식인 텔레스코픽 타입은 종래의 구현기술로 구현 가능하므로 그 상세한 설명은 생략한다.
흡입프로브(400)는 상기 흡입관(300)의 타단과 연결되고, 클린룸(900) 내부의 파티클을 흡입할 수 있다. 흡입프로브(400)는 도 1에 나타낸 바와 같이 단순한 형상일 수도 있고, 도 3에 나타낸 바와 같이 복수의 흡입튜브(450)로 구성되어 각각의 일단이 상기 흡입관(400)의 타단과 연결되고, 각각의 타단이 상기 흡입관(400)의 타단으로부터 방사형으로 일정한 각도로 배열된 중공관 형상일 수 있다. 흡입프로브(400)는 클린룸(900) 내부의 파티클을 보다 용이하게 흡입하기 위한 것으로서, 상기 복수의 흡입튜브(450)는 각각 일단으로부터 타단으로 갈수록 내경이 확장된 깔때기 형상을 가지는 것이 더욱 바람직하다. 복수의 흡입튜브(450)가 일정한 각도로 방사상 배열된 것은 클린룸(900)의 내부 공기를 흡입시 이상 기류가 발생하여 오히려 파티클이 비산되는 것을 방지하기 위한 것이다. 또한, 흡입관(300)이 복수가 구비된 경우 흡입프로브(400)는 상기 복수의 흡입관(300)과 동수 가 구비되어 각각이 상기 복수의 흡입관(300) 각각과 연결된다.
제어부(500)는 도 2에 나타낸 바와 같이, 본체(100), 진공펌프(200), 구동부(350)를 제어하고, 각종 센서와 연결되어 각각의 신호를 송수신하여 처리한다.
파티클측정기(520)는 상기 흡입펌프(200)에 설치되어 흡입프로브(400)로부터 흡입된 파티클을 측정할 수 있다. 즉, 흡입프로브(400)에 흡입된 파티클이 흡입관(300)을 거쳐 흡입펌프(200)로 이동하여 흡입펌프(200)에 내장된 필터를 거치기 전에 파티클측정기(520)에 의해서 파티클의 양이 측정되는 것이다. 파티클측정기(520)의 파티클 측정기술은 일반적인 파티클카운터 등에 의하여 구현가능하므로 그 상세한 설명은 생략한다. 여기서 제어부(500)는 상기 파티클측정기(520)로부터 신호를 입력받고, 미리 설정된 기준과 입력된 상기 신호를 비교하여 상기 흡입펌프(200)의 흡입량을 조절할 수 있다. 즉, 파티클측정기(520)가 흡입펌프(200)에 흡입된 파티클의 양을 측정하여 제어부(500)로 신호를 전달하고, 제어부(500)에서는 파티클의 양에 따라 흡입펌프(200)의 흡입량을 조절한다. 예컨대, 파티클의 양이 적을 때는 흡입펌프(200)의 흡입량을 적게, 파티클의 양이 많을 때는 흡입펌프(200)의 흡입량을 많게 조절하는 것이다. 한편, 후술할 디스플레이부(800)는 상기 제어부(500)로부터 신호를 수신하여 상기 파티클의 양을 외부에 보여줄 수 있다.
프로브위치센서(550)는 상기 흡입프로브(400)에 설치되어 상기 흡입관(300)의 길이방향선에 위치한 사물을 감지할 수 있다. 즉, 흡입관(300)이 길이를 조절 할 수 있는 텔레스코픽 형상인 경우 구동부(350)에 의해 흡입관(300)의 길이가 조절될 수 있고, 프로브위치센서(550)가 흡입관(300)의 길이방향선에 위치한 사물을 감지하여 흡입관(300)의 길이를 조절하게 된다. 또한, 제어부(500)는 상기 프로브위치센서(550)로부터 신호를 입력받아 상기 구동부(350)를 구동시킨다. 즉, 흡입프로브(400)에 설치된 프로브위치센서(550)가 흡입관(300)의 길이방향선에 위치한 사물을 감지하여 제어부(500)에 신호를 전달한다. 상기 신호를 수신한 제어부(500)는 흡입프로브(400)가 사물에 간섭되지 않도록 흡입관(300)의 길이를 조절하기 위하여 구동부(350)를 구동시키는 것이다.
환경측정수단(540)은 상기 본체에 설치되어 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 적어도 어느 하나 이상을 측정할 수 있고, 본체위치센서(560)는 상기 본체(100)에 설치되어 상기 본체(100)의 위치를 알려준다. 환경측정수단(540)은 하나 또는 둘 이상의 센서가 결합된 것으로서, 본체위치센서(560)와 함께 일반적인 센서 기술로 구현 가능하므로 그 상세한 설명은 생략한다. 여기서, 상기 측정된 본체(100)의 위치 및 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 선택된 어느 하나 이상을 외부에 보여주는 디스플레이부(800)를 더 포함할 수 있다. 디스플레이부(800)는 본체(100)에 설치될 수도 있고, 사용자가 용이하게 파악할 수 있는 위치라면 어디라도 설치될 수도 있다. 한편, 제어부(500)는 상기 환경측정수단(540) 및 상기 본체위치센서(560)로부터 상기 본체(100)의 위치 및 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 선택된 어느 하나 이상의 신호를 수신할 수 있다. 상기 신호를 수신한 제어부(500)는 디스플레이부(800)에 상기 신호를 전달할 수도 있다.
송신기(700)는 사용자의 조작에 의해 무선으로 신호를 송신하고, 수신기(600)는 상기 몸체에 설치되어 상기 송신기(700)로부터 상기 신호를 무선으로 수신한다. 이 경우 제어부(500)는 상기 수신기(600)로부터 상기 신호를 입력받아 상기 몸체(100), 흡입펌프(200) 및 구동부(350)를 작동시킨다. 그에 따라, 미리 설정된 경로를 본체(100)가 따라가지 않고, 사용자가 원하는 지점으로 본체(100)를 이동시킬 수 있으며, 파티클의 흡입량을 임의로 조절할 수 있고, 흡입관(300)의 길이도 환경에 맞게 조절할 수 있다. 한편, 송신기(700) 및 수신기(600) 모두 송수신 기능을 구비함으로써, 각각의 센서의 신호를 제어부(500)를 거쳐 수신기(600)에서 송신기(700)로 신호가 전달될 수도 있다. 사용자의 송신기(700)에 디스플레이부(800)를 설치하여 송신기(700)에 전달된 신호를 보여줄 수 있어 사용자가 용이하게 클린룸(900)의 환경을 파악할 수도 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 가이드레일(10)은 일정한 경로를 따라 파티클 제거장치(1)를 이동시키기 위한 것으로 클린룸(900) 내부에 설치되어 일정한 경로를 형성한다. 일정한 경로는 생산설비에 의해 파티클이 많이 발생하는 지점이나 국부적인 지역 등을 말하며, 사용자가 임의적으로 상기 경로를 미리 형성할 수 있다. 또한, 가이드레일(10)은 복수가 구비되어 각각이 서로 다른 경로를 형성할 수 있으며, 상기 클린룸(900)의 상층부에 설치될 수도 있다. 가이드레일(10)을 클린룸(900)의 상층부에 설치하여 클린룸(900) 내에서 작업하는 사용자 등에게 불편을 줄일 수 있으며, 클린룸 내부의 공간 활용을 극대화할 수도 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는, 본 발명의 기술적 사 상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 클린룸용 파티클 제거장치는, 가이드레일을 따라 일정한 경로를 자동적으로 이동함으로써 클린룸에 설치된 생산설비 등의 국부적인 지역에서 발생하는 파티클을 용이하게 제거할 수 있고, 그와 동시에 환경에 대한 측정까지 함께 할 수 있다.
또한, 파티클측정기에서 측정된 파티클의 양에 따라 제어부에서 흡입펌프의 흡입량을 조절할 수 있으며, 제어부가 구동부를 제어하여 흡입관의 길이를 환경에 맞게 조절할 수 있다.
또한, 무선으로 작동하는 송신기 및 수신기를 구비하여 각각의 센서에 의한 신호를 송수신하여 디스플레이부에 표출할 수 있고, 사용자의 조작에 의하여 파티클측정기를 작동시킬 수 있다.

Claims (11)

  1. 클린룸 내부에 설치되어 일정한 경로를 형성하는 가이드레일과,
    상기 가이드레일에 설치되어 상기 경로를 따라 이동하는 본체와,
    상기 본체 내부에 설치되고, 필터가 내장된 흡입펌프와,
    일단이 상기 흡입펌프와 연결되고, 타단이 상기 본체 외부로 돌출된 흡입관과,
    상기 흡입관의 타단과 연결되고, 클린룸 내부의 파티클을 흡입할 수 있는 흡입프로브를 포함하여 이루어진 클린룸용 파티클 제거장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 흡입펌프에 설치되어 상기 흡입프로브로부터 흡입된 파티클을 측정할 수 있는 파티클측정기와,
    상기 파티클측정기로부터 신호를 입력받고, 미리 설정된 기준과 입력된 상기 신호를 비교하여 상기 흡입펌프의 흡입량을 조절할 수 있는 제어부와,
    상기 제어부로부터 신호를 수신하여 상기 파티클의 양을 외부에 보여주는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 흡입프로브는 각각의 일단이 상기 흡입관의 타단과 연결되고, 각각의 타단이 상기 흡입관의 타단으로부터 방사형으로 일정한 각도로 배열되고, 중공관 형상으로 된 복수의 흡입튜브인 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 복수의 흡입튜브는, 각각 일단으로부터 타단으로 갈수록 내경이 확장된 깔때기 형상인 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 흡입관은 복수가 구비되고,
    상기 흡입프로브는 상기 복수의 흡입관과 동수가 구비되어 각각이 상기 복수의 흡입관 각각과 연결된 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 흡입관은, 상기 흡입프로브가 상기 본체 내부로 수용될 수 있도록 길이조절이 가능한 텔레스코픽 형상인 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 흡입프로브에 설치되어 상기 흡입관의 길이방향선에 위치한 사물을 감지할 수 있는 프로브위치센서와,
    상기 본체에 설치되어 상기 흡입관의 길이를 조절할 수 있는 구동부와,
    상기 본체에 설치되어 상기 프로브위치센서로부터 신호를 입력받아 상기 구동부를 구동시키는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 본체에 설치되어 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 적어도 어느 하나 이상을 측정할 수 있는 환경측정수단과,
    상기 본체에 설치되어 상기 본체의 위치를 알려주는 본체위치센서와,
    상기 환경측정수단 및 상기 본체위치센서로부터 신호를 수신하여 상기 본체의 위치 및 상기 온도, 습도, 압력 또는 케미컬 중 선택된 어느 하나 이상을 외부에 보여주는 디스플레이부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.
  9. 제1항에 있어서,
    사용자의 조작에 의해 무선으로 신호를 송수신하는 송신기와,
    상기 몸체에 설치되어 상기 제1 송수신기로부터 상기 신호를 무선으로 송수신하는 수신기와,
    상기 수신기로부터 상기 신호를 입력받아 상기 몸체, 상기 흡입펌프 및 상기 구동부 작동시키는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가이드레일은, 복수가 구비되어 각각이 서로 다른 경로를 형성하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.
  11. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가이드레일은, 상기 클린룸의 상층부에 설치된 것을 특징으로 하는 클린룸용 파티클 제거장치.
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