KR20080081903A

KR20080081903A - 유체이송용 커플링 장치의 소켓

Info

Publication number: KR20080081903A
Application number: KR1020087012801A
Authority: KR
Inventors: 마사히로 하스누마
Original assignee: 사파스고교 가부시키가이샤
Priority date: 2005-12-05
Filing date: 2006-12-05
Publication date: 2008-09-10
Also published as: US8210204B2; DE112006003318T5; TW200730759A; DE112006003318B4; JPWO2007066791A1; WO2007066791A1; TWI404880B; US20090267346A1

Abstract

본 발명은, 소켓(10)과 플러그(70)를 서로 연결함으로써 소켓 및 플러그 각각의 유로를 서로 연결시키는 유체이송용 커플링 장치(5)의 소켓이, 플러그를 끼워넣기 위한 소켓 삽입구(19) 근방에 설치되어 있으며 소켓을 마운트 패널(18)에 설치하는 마운트 패널 설치부(17)와, 삽입구와 다른 위치에 설치되어 있으며 소켓을 지지하는 지지부(35)를 구비하고 있다. 이에 의해, 유체의 유량이 큰 경우에도 소켓을 마운트 패널에 안정적으로 지지시킬 수 있다. 소켓의 적어도 일부분이 포셋 형식으로 구성되어 있는 것이 바람직하다.

유체이송, 커플링 장치, 플러그, 소켓

Description

유체이송용 커플링 장치의 소켓{SOCKET FOR COUPLING DEVICE FOR TRANSFERRING FLUID}

본 발명은 유체 즉, 반도체 제조시에 사용하는 에칭액과 같은 고순도 약액(藥液) 등의 액체, 가스, 그 밖의 유동체를, 생산공장의 저장탱크로부터 수송트랙의 컨테이너로 이송할 때 등에 사용하는 유체이송용 커플링 장치의 소켓에 관한 것이다.

일본특허 제2921654호에는, 상기 용도에 사용되는 커플링 장치가 개시되어 있다. 이와 같은 커플링 장치는, 소켓(고정된 암형(雌形) 커플러)과 플러그(이동가능한 숫형(雄形) 커플러)를 포함하고 있다. 이 소켓 및 플러그에는 관로(管路)가 각각 접속된다.

소켓은 그 주위에 사이드 플랜지(side flange)를 구비하고 있으며, 이 사이드 플랜지를 마운트 패널에 설치함으로써 소켓이 관로에 접속된 상태로 고정된다. 이어서, 다른 관로에 접속되어 있는 플러그가 소켓의 삽입구에 삽입되고, 이 플러그 및 소켓이 동일 직선상에 배치된다. 그 후, 소켓에 미리 조립된 내부 기구부가 동작하여, 소켓 및 플러그 각각의 관로가 서로 연결되고 유체가 이송된다.

통상은, 마운트 패널의 외부로 돌출하는 소켓 부분을 작게 하기 위하여, 사 이드 플랜지는 삽입구 근방에 설치되어 있다. 이 때문에, 마운트 패널의 이면측에 위치하는 소켓 부분은 비교적 길어진다. 또한, 상술한 바와 같이 소켓에는 관로가 접속되어 있기 때문에, 마운트 패널에서 보아 먼 곳에 위치하는 소켓의 원위단(遠位端)에는 비교적 큰 모멘트가 발생하게 된다. 이에 의해, 마운트 패널과 사이드 플랜지 사이의 연결부에 실리는 부하가 커지기 때문에, 모멘트의 작용에 의해 밀봉성이 악화되는 경우가 발생한다.

특히, 커플링 장치를 유통하는 유체의 유량이 비교적 큰 경우에는, 마운트 패널에 실리는 부하도 커지기 때문에, 모멘트의 작용에 의해 커플링 장치의 중심이 흔들려, 이에 의해 밀봉성이 악화될 가능성이 더 커진다.

본 발명은 이와 같은 사정에 감안하여 이루어진 것으로, 유체의 유량이 비교적 큰 경우에도 안정적으로 마운트 패널에 지지할 수 있으며, 장기간에 걸쳐 밀봉성을 유지할 수 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 첫번째 태양에 따르면, 소켓과 플러그를 서로 연결함으로써, 상기 소켓 및 상기 플러그 각각의 유로를 서로 연결시키는 유체이송용 커플링 장치의 소켓에 있어서, 상기 플러그를 끼워넣기 위한 상기 소켓 삽입구 근방에 설치되어 있으며 상기 소켓을 마운트 패널에 설치하는 마운트 패널 설치부와, 상기 삽입구와 다른 위치에 설치되어 있으며 상기 소켓을 지지하는 지지부를 구비하는 유체이송용 커플링 장치의 소켓이 제공된다.

두번째 태양에 따르면, 하우징 내에, 벨로우즈(bellows)를 지지하는 벨로우즈 홀더와 상기 벨로우즈 홀더에 고정된 샤워링(showering)을 상기 하우징의 길이방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 설치하고, 상기 벨로우즈는 선단에 상기 샤워링 안에 배치되는 유통밸브기구를 가지며, 상기 샤워링은 선단에 상기 유통밸브기구에 대응하는 유통밸브기구를 구비한 커플링할 플러그의 머리부분이 진입하는 단면이 원형인 세정실을 구비하고, 상기 세정실의 도중에는 O-링 등의 밀봉수단을 배치하는 동시에, 상기 세정실의 측벽에 상기 세정실의 접선방향을 향하여 분사구를 뚫고, 상기 하우징에 상기 분사구로 세정수를 공급하는 샤워노즐을 설치하는 동시에, 배출구를 형성하고 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓에 있어서, 상기 플러그를 끼워넣기 위한 상기 소켓의 삽입구 근방에 설치되어 있으며 상기 소켓을 마운트 패널에 설치하는 마운트 패널 설치부와, 상기 삽입구와는 다른 위치에 설치되어 있으며 상기 소켓을 지지하는 지지부를 구비하는 유체이송용 커플링 장치의 소켓이 제공된다.

즉, 첫번째 및 두번째 태양에서는, 마운트 패널 설치부 예를 들어, 사이드 플랜지에 더하여, 소켓을 지지하는 지지부를 구비하는 구성으로 하고 있기 때문에, 유체의 유량이 비교적 큰 경우에도 소켓을 마운트 패널에 안정적으로 지지할 수 있으며, 또한 장기간에 걸쳐 밀봉성을 유지할 수 있다.

세번째 태양에 따르면, 첫번째 또는 두번째 태양에 있어서, 상기 소켓의 적어도 일부분이 포셋(faucet) 형식으로 구성되어 있다.

즉, 세번째 태양에서는, 소켓 조립시에 소켓을 구성하는 부품을 쉽게 센터링(centering)할 수 있고, 제조시간의 단축을 도모할 수 있다.

네번째 태양에 따르면, 두번째 또는 세번째 태양에 있어서, 또한 상기 벨로우즈 홀더의 위치를 검출하는 위치센서를 구비하고, 이 위치센서는 상기 벨로우즈 홀더의 슬라이딩 이동시에 압력이 변하지 않는 장소에 배치되어 있다.

즉, 네번째 태양에서는, 벨로우즈 홀더의 슬라이딩 이동시에 발생하는 압력에 의해 위치센서가 빠져나가는 것을 방지하는 동시에, 위치센서의 감도가 압력 등에 의해 떨어지는 것을 방지할 수 있다.

다섯번째 태양에 따르면, 소켓과 플러그를 서로 연결함으로써, 상기 소켓 및 상기 플러그의 각각의 유로를 서로 연결시키는 유체이송용 커플링 장치의 소켓에 있어서, 상기 소켓의 적어도 일부분이 포셋 형식으로 구성되어 있다.

여섯번째 태양에 따르면, 하우징 내에, 벨로우즈를 지지하는 벨로우즈 홀더와 상기 벨로우즈 홀더에 고정된 샤워링을 상기 하우징의 길이방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 설치하고, 상기 벨로우즈는 선단에 상기 샤워링 내에 배치되는 유통밸브기구를 가지며, 상기 샤워링은 선단에 상기 유통밸브기구에 대응하는 유통밸브기구를 구비한 커플링할 플러그의 머리부분이 진입하는 단면이 원형인 세정실을 구비하고, 상기 세정실의 도중에는 O-링 등의 밀봉수단을 배치하는 동시에, 상기 세정실의 측벽에 상기 세정실의 접선방향을 향하여 분사구를 뚫고, 상기 하우징에 상기 분사구로 세정수를 공급하는 샤워노즐을 설치하는 동시에, 배출구를 형성하고 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓에 있어서, 상기 소켓의 적어도 일부분이 포셋 형식으로 구성되어 있다.

즉, 다섯번째 및 여섯번째 태양에서는, 소켓 조립시에 소켓을 구성하는 부품을 쉽게 센터링할 수 있고, 제조시간의 단축을 도모할 수 있다.

일곱번째 태양에 따르면, 다섯번째 또는 여섯번째 태양에 있어서, 또한 상기 플러그를 끼워넣기 위한 상기 소켓의 삽입구 근방에 설치되어 있으며 상기 소켓을 마운트 패널에 설치하는 마운트 패널 설치부와, 상기 삽입구와 다른 위치에 설치되어 있으며 상기 소켓을 지지하는 지지부를 구비한다.

즉, 일곱번째 태양에서는, 마운트 패널 설치부 예를 들어, 사이드 플랜지에 더하여, 소켓을 지지하는 지지부를 구비하는 구성으로 하고 있기 때문에, 유체의 유량이 비교적 큰 경우에도 소켓을 마운트 패널에 안정적으로 지지할 수 있다.

여덟번째 태양에 따르면, 여섯번째 또는 일곱번째 태양에 있어서, 또한 상기 벨로우즈 홀더의 위치를 검출하는 위치센서를 구비하고, 이 위치센서는 상기 벨로우즈 홀더의 슬라이딩 이동시에 압력이 변하지 않는 장소에 배치되어 있다.

즉, 여덟번째 태양에서는, 벨로우즈 홀더의 슬라이딩 이동시에 발생하는 압력에 의해 위치센서가 빠져나가는 것을 방지하는 동시에, 위치센서의 감도가 압력 등에 의해 떨어지는 것을 방지할 수 있다.

아홉번째 태양에 따르면, 하우징 내에, 벨로우즈를 지지하는 벨로우즈 홀더와 상기 벨로우즈 홀더에 고정된 샤워링을 상기 하우징의 길이방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 설치하고, 상기 벨로우즈는 선단에 상기 샤워링 안에 배치되는 유통밸브기구를 가지고 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓에 있어서, 상기 벨로우즈 홀더의 위치를 검출하는 위치센서를 구비하고, 이 위치센서는 상기 벨로우즈 홀더의 슬라이딩 이동시에 압력이 변하지 않는 장소에 배치되어 있다.

즉, 아홉번째 태양에서는, 벨로우즈 홀더의 슬라이딩 이동시에 발생하는 압력에 의해 위치센서가 빠져나가는 것을 방지하는 동시에, 위치센서의 감도가 압력 등에 의해 떨어지는 것을 방지할 수 있다.

열번째 태양에 따르면, 아홉번째 태양에 있어서, 또한 상기 플러그를 끼워넣기 위한 상기 소켓 삽입구 근방에 설치되어 있으며 상기 소켓을 마운트 패널에 설치하는 마운트 패널 설치부와, 상기 삽입구와 다른 위치에 설치되어 있으며 상기 소켓을 지지하는 지지부를 구비한다.

즉, 열번째 태양에서는, 마운트 패널 설치부 예를 들어, 사이드 플랜지에 더하여, 소켓을 지지하는 지지부를 구비하는 구성으로 하고 있기 때문에, 유체의 유량이 비교적 큰 경우에도 소켓을 마운트 패널에 안정적으로 지지할 수 있다.

열한번째 태양에 따르면, 아홉번째 또는 열번째 태양에 있어서, 상기 소켓의 적어도 일부분이 포셋 형식으로 구성되어 있다.

즉, 열한번째 태양에서는, 소켓 조립시에 소켓을 구성하는 부품을 쉽게 센터링할 수 있고, 제조시간의 단축을 도모할 수 있다.

열두번째 태양에 따르면, 아홉번째 내지 열한번째 중 어느 한 태양에 있어서, 상기 샤워링은 선단에 상기 유통밸브기구에 대응하는 유통밸브기구를 구비한 커플링할 플러그의 머리부분이 진입하는 단면이 원형인 세정실을 구비하고, 상기 세정실의 도중에는 O-링 등의 밀봉수단을 배치하는 동시에, 상기 세정실의 측벽에 상기 세정실의 접선방향을 향하여 분사구를 뚫고, 상기 하우징에 상기 분사구로 세정수를 공급하는 샤워노즐을 설치하는 동시에, 배출구를 형성하고 있다.

즉, 열두번째 태양에서는, 플러그의 머리부분을 세정실 내의 중간까지 진입시킨 후에 샤워노즐로부터 세정수를 분사시키면, 세정수는 원형세정실의 내벽에 따라 나선형으로 흘러 플러그 머리부분의 외주면을 세정하기 때문에, 플러그 머리부분은 남김없이 확실하게 세정된다.

열세번째 태양에 따르면, 두번째, 여섯번째 또는 아홉번째 태양에 있어서, 또한 상기 커플링 장치에 의해 이송될 유체가 상기 벨로우즈 홀더가 슬라이딩 이동하는 슬라이딩 이동실로 새는 것을 검지하는 누설(leak)센서를 구비한다.

도 1은 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치의 소켓의 길이방향 단면도이다.

도 2는 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치의 소켓의 단면도이다.

도 3a는 하우징의 기단을 확대하여 나타내는 부분확대도이다.

도 3b는 코킹 구조를 상세히 나타내는 상세도이다.

도 4는 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치의 플러그의 길이방향 단면도이다.

도 5는 플러그의 일부를 확대하여 나타내는 부분확대도이다.

도 6은 플러그와 소켓이 연결된 상태를 나타내는 유체이송용 커플링 장치의 길이방향 단면도이다.

도 7은 유체가 유통할 수 있는 상태를 나타내는 유체이송용 커플링 장치의 길이방향 단면도이다.

도 8은 본 발명의 커플링 장치가 배치되는 흐름도이다.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 소켓의 길이방향 단면도이다.

도 10은 도 9에 나타내는 소켓의 배면도이다.

도 11은 도 9에 나타내는 소켓의 단면도이다.

**부호의 설명**

10: 소켓 11: 전면커버

12, 13, 14, 15: 하우징 구성부 14a: 단차부

15a: 고리형상 홈 15b: 선단

16: 후면커버 16a: 고리형상 돌기

16b: 구멍

17: 사이드 플랜지(마운트 패널 설치부)

18: 마운트 패널 19: 삽입구

20: 내부통로 21: 벨로우즈 홀더

21': 벨로우즈 홀더용 슬라이딩 이동실

22: 기단 어댑터 22a: 폭확장부분

23: 벨로우즈 24: 단차부

25: 샤워링 25a: 세정실

26: 피스톤 27: 슬라이딩 이동실

28: 급배기구 28, 29: 흡배기 노즐

31, 32: 볼트 33: 연접막대

35: 지지 플레이트(지지부) 38: 스프링

39: 제1 밸브체(유통밸브기구) 39c: 지지 샤프트(지지부)

40: 연결구멍(유통밸브기구) 41: 제1 밸브시트(유통밸브기구)

42: 배수로 43: 샤워노즐

46: 분사구 47: 밀봉부

50: 배출구멍 51, 52: 위치센서

55: 지표 58: 스프링

59: 제2 밸브체 60: 연결구멍

70: 플러그 71: 플러그 선단부

71a: 기단 72a, 72b: 더블너트

73: 플러그 칼라 73a: 기단 플랜지

74: 내부 스페이서 74a: 플랜지

74b: 기단 75: 플러그 플랜지

75a: 단차부 75b: 구멍

76: 볼트 77: 제2 밸브시트

78: 내부통로 81: 고리형상 돌기

82: 고리형상 오목부 105: 관통구멍

106, 107: 밀봉부재 142a: 누설센서

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 아래의 도면에서 같은 부재에는 같은 참조부호를 사용하였다. 이해를 쉽게 하기 위하여, 이 도면들은 축척을 적절히 변경하여 나타내고 있다.

도 1은 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치의 소켓의 길이방향 단면도(斷面圖)이고, 도 2는 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치의 소켓의 단면도(端面圖)이다. 소켓(10)의 하우징은 서로 일체로 조립되는 하우징 구성부(12, 13, 14, 15)를 주로 포함하고 있다. 도시하는 바와 같이, 하우징 구성부(12)의 일단에는 전면커버(11)가 고정되며, 또한 다른 하우징 구성부(15)의 일단에는 후면커버(16)가 고정된다. 본 발명에서는 전면커버(11), 하우징 구성부(12, 13, 14, 15) 및 후면커버(16)에 의해 소켓(10)의 하우징이 구성되어 있다. 이 하우징의 구성부품들은 내약품성을 가지는 수지재료 예를 들어, 불소계 수지로 형성되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 사이드 플랜지(17)가 하우징 구성부(12)와 하우징 구성부(13) 사이에 배치되어 있다. 사이드 플랜지(17)는 소켓(10)을 마운트 패널(18)에 고정하는 역할을 한다. 한편, 하우징 구성부(12) 및 전면커버(11) 등으로 형성되는 삽입구(19)에는, 후술하는 플러그(70)가 끼워져 들어간다.

각 하우징 구성부(12, 13, 14, 15)의 단면의 외주면 근방 및 사이드 플랜지(17)의 단면의 내주면 근방에는, 복수개의 구멍이 둘레방향으로 등간격으로 형성되어 있다. 소켓(10)의 하우징을 조립할 때는, 하우징 구성부(14, 15)의 포셋 부분을 맞추면서, 하우징 구성부(14, 15)의 복수개의 구멍 각각에 연접막대(連接棒; 33)를 삽입한다. 이어서, 볼트(34)를 사이드 플랜지(17) 및 하우징 구성부(13)의 구멍에 삽입하고 연접막대(33)의 일단에서 나사결합한다. 이어서, 볼트(31)를 후면커버(16) 및 하우징 구성부(15)의 구멍에 삽입하고 연접막대(33)의 타단에서 나사결합한다. 최종적으로, 볼트(32)를 하우징 구성부(12)의 구멍에 삽입하고 사이드 플랜지(17)에 나사결합한다. 이에 의해, 소켓(10)의 하우징을 조립한다.

연접막대는 금속으로 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 소켓(10) 전체의 강성이 높아지기 때문에, 소켓(10) 사용시에 조작자가 사이드 플랜지(17)에 비교적 큰 부하를 가했을 경우에도, 사이드 플랜지(17)가 회전하지 않고, 또한 밀봉성의 저하나 덜컥거림이 소켓의 하우징에 발생하는 것도 방지할 수 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 벨로우즈 홀더(21)가 하우징 구성부(14) 및 하우징 구성부(15)의 내주면에 따라 슬라이딩 이동 가능하게 배치되어 있다. 벨로우즈 홀더(21)의 내측에는 벨로우즈(23)가 배치되어 있다. 벨로우즈(23)의 일단은 후면커버(16)에 맞물리는 기단(基端) 어댑터(22)와 일체로 되어 있다. 도시하는 바와 같이, 기단 어댑터(22)의 폭확장부분(22a)이 후면커버(16)의 내주면에 형성된 오목부에 끼워져 들어가 있다. 폭확장부분(22a)은 하우징 구성부(15)의 단차부(24)에도 맞닿아 있기 때문에, 기단 어댑터(22)는 소켓(10) 내에 고정상태로 배치된다.

벨로우즈 홀더(21)의 선단측 외주면에는 플랜지 형상으로 형성된 피스톤(26)이 일체로 설치되어 있다. 도시하는 바와 같이, 하우징 구성부(15)의 선단(15b)과 하우징 구성부(14)의 단차부(14a) 사이에 슬라이딩 이동실(27)이 형성되어 있고, 벨로우즈 홀더(21)와 일체화된 피스톤(26)은 이 슬라이딩 이동실(27)을 슬라이딩 이동한다. 이 단차부(14a) 및 선단(15b)은 피스톤(26)의 스톱퍼로서의 역할을 하고 있으며, 단차부(14a)와 선단(15b) 사이의 거리로부터 피스톤(26)의 두께를 뺀 길이가 피스톤(26)의 스트로크(stroke)에 상당한다.

벨로우즈(23)의 타단은 샤워링(25)에 연결되어 있다. 불소계 수지 또는 염화비닐 등으로 형성되는 샤워링(25)은 벨로우즈 홀더(21)에 고정되어 있다. 피스톤(26)의 슬라이딩 이동시에, 샤워링(25)은 하우징 구성부(14) 및 하우징 구성부(13)의 내주면을 따라 슬라이딩 이동한다. 한편, 벨로우즈 홀더(21)는 피스톤(26)의 슬라이딩 이동시에, 하우징 구성부(15)의 내주면을 따라 슬라이딩 이동한다. 또한, 이 단차부(24) 근방에는 벨로우즈 홀더(21)의 슬라이딩 이동실(21')에 고여있는 유체를 배출하는 배수로(drain; 42)가 형성되어 있다.

또한, 흡배기구(28a, 29a)가 각각 슬라이딩 이동실(27)의 양단부로부터 하우징 구성부(14)의 외주면까지 뻗어 있으며, 흡배기 노즐(28, 29)에 각각 접속되어 있다. 도 1로부터 알 수 있는 바와 같이, 피스톤(26)은 슬라이딩 이동실(27)에 있어서 흡배기구(28a, 29a) 사이에 배치된다. 따라서, 도 1에 나타내는 상태에서 급배기구(28)로부터 슬라이딩 이동실(27) 내에 공기압이 공급되면, 피스톤(26)이 공기에 의해 밀려 단차부(14a)에 도달할 때까지 슬라이딩 이동한다. 이 때, 슬라이딩 이동실(27) 내의 공기는 급배기부(29)로부터 배출된다. 그리고, 급배기구(28, 29)에서의 공기압 출입관계가 바뀌면, 피스톤(26) 및 벨로우즈 홀더(21)가 각각 선단(15a) 및 단차부(24)에 도달할 때까지 소켓(10)의 기단을 향하여 이동한다.

샤워링(25)의 중앙 부근에는 내측으로 돌출하는 제1 밸브시트(41)가 형성되 어 있다. 그리고, 제1 밸브체(39)는 제1 밸브체(39)와 벨로우즈(23) 사이에 배치된 스프링(38)에 의해 제1 밸브시트(41)를 향하여 압착되고 있으며, 통상은 제1 밸브시트(41)의 개구부를 폐쇄하고 있다. 또한, 도시하는 바와 같이, 제1 밸브체(39)에는 연결구멍(40)이 형성되어 있다. 그리고, 제1 밸브체(39)가 스프링(38)의 압착작용에 반하여 밀리면, 연결구멍(40) 및 제1 밸브시트(41)의 개구부가 개방되도록 되어 있다.

샤워링(25)의 선단측 안쪽에는, 단면이 원형인 세정실(25a)이 형성되어 있다. 세정실(25a)의 내면에는 그 접선방향으로 개구되는 분사구(46)가 형성되어 있다. 이 분사구(46)는 샤워링(25)의 외주부에 고정된 샤워노즐(43)에 연결되어 있다. 또한, 세정실(25a)의 내주면에는 밀봉부(47) 예를 들어, O-링이 배치되어 있으며, 세정실(25a)은 밀봉부(47)로부터 선단측을 향하여 테이퍼 형상으로 확장되어 있다. 또한, 하우징 구성부(13)에는 내주면으로부터 외주면까지 뻗는 배출구멍(50)이 형성되어 있고, 분사구(46)로부터 분사된 세정액은 배출구멍(50)으로부터 배출된다.

그런데, 도 1에 나타내는 바와 같이, 벨로우즈 홀더(21)의 외주부에는 2개의 지표(55)가 서로 대향하는 위치에 형성되어 있다. 도시되는 실시예에서 지표(55)는 절결부이다. 단, 벨로우즈 홀더(21)의 슬라이딩 이동 작용을 방해하지 않는 한은, 절결부와 다른 별도의 지표(55)를 사용하여도 된다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 벨로우즈 홀더(21)의 위치를 검출하는 위치센서(51, 52)가 소켓(10) 하우징의 서로 대향하는 위치에 설치되어 있다. 엄밀히 말 하면, 이 위치센서(51, 52)는 하우징 구성부(15)에 설치되어 있고, 위치센서(51, 52)의 선단은 벨로우즈 홀더(21)의 슬라이딩 이동실(21')의 내주면까지 또는 이 내주면의 직전까지 뻗어 있다. 따라서, 벨로우즈 홀더(21)가 슬라이딩 이동할 때라도, 벨로우즈 홀더(2)의 둘레면이 위치센서(51, 52)의 선단에 접촉하지 않는다.

본 실시예에서 위치센서(51, 52)는 벨로우즈 홀더(21)에 설치된 지표(55)를 검출하는 광센서이다. 상술한 바와 같이 벨로우즈 홀더(21)와 피스톤(26)은 일체화되어 있기 때문에, 지표(55)를 통하여 벨로우즈 홀더(21)의 위치를 검출함으로써 피스톤(26)의 위치를 검출할 수 있다.

도시하지 않은 종래기술에서는, 피스톤(26)이 슬라이딩 이동하는 슬라이딩 이동실(27) 내에 피스톤(26)용 위치센서를 배치하였다. 그런데, 슬라이딩 이동실(27) 내에 위치센서를 배치하는 경우, 급배기구(28, 29)에 의해 슬라이딩 이동실(27)이 가압되면, 위치센서가 떨어져 나갈 위험이 있다. 또한, 위치센서가 떨어져 나가지 않는 경우에도, 이 위치센서의 설치구로부터 슬라이딩 이동실(27)의 공기가 누설되어, 슬라이딩 이동실(27)의 압력을 정밀하게 조정하기 어려워질 가능성도 있다. 또한, 슬라이딩 이동실(27) 내의 가압의 영향 등을 직접적으로 받음으로써, 위치센서의 감도저하도 염려된다.

이에 대하여, 본 발명에서는, 위치센서(51, 52)의 선단이 슬라이딩 이동실(27) 내의 압력의 영향을 받지 않는 장소 즉, 벨로우즈 홀더(21)용 슬라이딩 이동실(21')에 배치되어 있다. 또한, 벨로우즈 홀더(2)용 슬라이딩 이동실(21')에는 배수로(42)가 형성되어 있기 때문에, 벨로우즈 홀더(21)용 슬라이딩 이동실의 압력 은 피스톤 슬라이딩 이동시에 변하지 않는다. 이 때문에, 본 발명에서는, 피스톤(26)의 슬라이딩 이동시에도, 위치센서(51, 52)에는 슬라이딩 이동실(27)의 압력이 실리지 않는다. 따라서, 위치센서의 빠짐 및 위치센서의 감도저하가 발생하지 않는다. 또한, 본 발명에서는, 피스톤(26)의 슬라이딩 이동에 의해 위치센서(51, 52)의 설치장소로부터 공기가 누설되지 않아, 슬라이딩 이동실(27)의 압력을 정밀하게 제어할 수 있다. 한편, 도 2에 나타내는 바와 같이, 위치센서(51, 52)는 내부통로(20)에서 보았을 때 지지 플레이트(35)와 반대측에 설치되어 있다. 후술하는 소켓(10)의 사용시에, 이 위치센서(51, 52)는 소켓(10)의 위쪽에 위치하게 된다. 이 때문에, 벨로우즈 홀더(21)의 외주부에 설치된 지표(55)도 소켓(10)의 위쪽에 설치된다. 이와 같은 경우, 아래쪽을 향하여 유동할 수 있는 슬라이딩 이동실(21') 내의 그리스(grease)가 지표(55)(절결부)에 유입될 가능성, 및 유입한 그리스에 의해 위치센서(51, 52)가 오동작할 가능성도 적지 않다.

또한, 도 1 및 도 2로부터 알 수 있듯이, 후면커버(16)의 기단에는 지지 플레이트(35)가 2개의 볼트(37)에 의해 고정되어 있다. 지지 플레이트(35)에는 긴 원형의 2개의 개구부(36)가 형성되어 있다. 후술하는 바와 같이, 다른 볼트(39b)를 개구부(36)에 통과시켜, 지지 플레이트(35)에 지지 샤프트(39c)를 고정할 수 있도록 되어 있다. 이 때문에, 지지 플레이트(35)는 비교적 강성이 높은 재료로 형성되는 것이 바람직하다.

그런데, 본 발명에 따른 소켓(10)의 하우징을 구성하는 부품 중 적어도 일부는, 포셋 형식으로 조립되어 있다. 도 3a는 하우징의 기단을 확대하여 나타내는 부 분확대도이다. 도 3a에 나타내는 후면커버(16)의 주위부에는 고리형상 돌기(16a)가 미리 형성되어 있다. 한편, 후면커버(16)와 맞닿는 하우징 구성부(15)에는 고리형상 돌기(16a)에 끼워맞추는 고리형상 홈(15a)이 형성되어 있다.

그리고, 이 고리형상 돌기(15a, 16a)가 서로 맞물리도록 하우징 구성부(15)와 후면커버(16)를 조립한다. 이에 의해, 하우징의 센터링을 용이하게 할 수 있게 된다. 다른 부품 예를 들어, 하우징 구성부(13, 14)에도 마찬가지의 고리형상 돌기 또는 고리형상 홈이 형성되어 있다. 이 부품들의 센터링을 용이하게 할 수 있기 때문에, 이어서 이 부품(12, 13, 14, 15, 16)을 볼트(31, 32)로 나사결합함으로써 밀봉성을 높일 수 있는 동시에, 하우징 제조시간의 단축을 도모할 수 있다.

또한, 소켓(10) 내의 슬라이딩 이동부 예를 들어, 샤워링(25)과 피스톤(26) 사이도 마찬가지로 포셋 형식에 의해 조립되는 것으로 한다. 당연하겠지만, 소켓(10)의 고정된 모든 부품이 포셋 형식으로 조립되도록 하여도 된다.

한편, 상세하게 설명하지는 않았지만, 소켓(10)의 하우징과 슬라이딩 이동부 즉, 피스톤(26) 및 샤워링(25) 등과의 사이 및 삽입구(19)의 내측에는, 공기밀봉 및 물밀봉 유지를 위하여 밀봉부 예를 들어, O-링을 적절히 설치하는 것이 명백할 것이다.

또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 소켓(10)의 기단에는 플랜지(3)를 구비한 관로(2)가 접속된다. 소켓(10)과 관로(2)의 접속은 볼트(83)와 너트(89)에 의해 이루어진다. 본 발명에서 볼트(83)의 머리부분은 코킹(caulking)되어 있다. 즉, 도 3b에 상세도로서 나타내는 바와 같이, 볼트(83)는 조립전에 후면커버(16)의 구 멍(16b)에 삽입된 후, 그 머리부분(83a)이 구멍(16b) 안에서 눌려있다.

이와 같은 구성을 채용하지 않는 경우, 볼트의 머리가 플랜지(3)와 후면커버(16) 사이에 위치하게 되기 때문에, 플랜지(3)와 후면커버(16)는 볼트의 머리 만큼 이간(離間)된다. 이에 대하여, 본 발명에서는 볼트(83)의 머리부분(83a)이 후면커버(16) 안에 위치하는 동시에, 머리부분(83a)을 코킹하도록 하고 있다. 그 결과, 본 발명에서는 플랜지(3)와 후면커버(16) 사이의 거리를 가능한 한 근접시킬 수 있으며, 관로(2)를 설치한 소켓(10) 전체를 소형화할 수 있게 된다. 이와 같은 구성에 의해, 소켓(10)의 원위단에 발생하는 모멘트를 보다 줄일 수 있는 것이 명백할 것이다.

도 4는 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치의 플러그의 길이방향 단면도이다. 본 발명에서의 플러그(70)는, 내부통로(78)가 형성되어 있는 수지제 내부 스페이서(inner spacer; 74)와, 내부 스페이서(74)의 외주부를 피복하는 금속제 플러그 칼라(plug collar; 73)를 포함하고 있다. 도 4로부터 알 수 있듯이, 내부 스페이서(74)는 그 기단(74b)으로부터 소정의 거리만큼 떨어진 장소에 플랜지(74a)를 구비하고 있다. 또한, 플러그 칼라(73)도 그 기단에 기단 플랜지(73a)를 구비하고 있다. 또한, 플러그(70)는 금속제 플러그 플랜지(75)를 포함하고 있다. 플러그 플랜지(75)의 중심에 위치하는 개구부에는, 내부 스페이서(74)의 플랜지(74a)와 기단(74b)의 형상에 대응한 단차부(75a)가 형성되어 있다.

따라서, 내부 스페이서(74)가 플러그 칼라(73)에 삽입되면, 내부 스페이서(74)의 플랜지(74a)가 플러그 칼라(73)의 기단 플랜지(73a)에 맞닿아 정지한다. 이 때, 내부 스페이서(74)의 선단은 플러그 칼라(73)의 선단을 넘어 부분적으로 돌출한다. 이어서, 플러그 플랜지(75)를 기단측으로부터 플러그 칼라(73)를 향하여 끼워넣고, 볼트(76)에 의해 플러그 칼라(73)와 플러그 플랜지(75)를 결합시킨다. 이에 의해, 내부 스페이서(74)의 플랜지(74a)는 플러그 칼라(73)의 기단 플랜지(73a)와 플러그 플랜지(75)의 단차부(75a) 사이에 끼워져 들어가 고정된다. 이어서, 내부 스페이서(74)의 선단에는 플러그 선단부(71)가 삽입되고, 더블너트(72a, 72b)에 의해 고정된다.

도시하지 않은 종래기술에서는, 플러그 플랜지가 반달형의 2개의 부재를 조립함으로써 형성되었는데, 본 발명에서는 상술한 구성을 가지기 때문에, 플러그 플랜지(75)를 단일 부재로서 형성할 수 있다. 즉, 본 발명에서는 플러그 플랜지(75)를 2분할 구성으로 할 필요가 없고, 그 결과 플러그(70)의 제조비용도 절감할 수 있다. 또한, 본 발명에서는 상술한 구성을 가지기 때문에, 플러그 플랜지(75)가 파손되었을 때 등에 플러그 플랜지(75)를 쉽게 교체하고, 또한 규격(외경)이 상이한 다른 플러그 플랜지(75') 예를 들어, JIS·ANSI·DIN으로 교체하는 것도 용이하다.

또한, 본 발명에서는 금속제 플러그 칼라(73) 및 플러그 플랜지(75)에 의해, 특히 플러그 칼라(73)에 의해, 플러그(70)의 외주부가 보강된다. 이에 의해, 본 발명의 플러그(70)는 종래기술에서의 전체 수지제 플러그(도시하지 않음)와 비교하여 강성이 높다. 이 때문에, 후술하는 바와 같이 플러그(70)를 소켓(10)에 끼워넣은 후에 대유량으로 유체를 이송하는 경우에도, 플러그(70)가 소켓(10) 내에서 견고하게 지지되고, 또한 플러그(70)가 파손되는 것도 방지할 수 있다.

또한, 도 4에 나타내는 바와 같이, 플러그 선단부(71)의 선단은 내측으로 돌출하는 제2 밸브시트(77)로서 형성되어 있다. 제2 밸브체(59)는, 제2 밸브체(59)와 내부 스페이서(74)의 선단과의 사이에 배치된 스프링(58)에 의해 제2 밸브시트(77)를 향하여 눌려 있으며, 통상은 제2 밸브시트(77)의 개구부를 폐쇄하고 있다. 또한, 도시하는 바와 같이, 제2 밸브체(59)에는 연결구멍(60)이 형성되어 있다. 그리고, 제2 밸브체(59)가 스프링(58)의 압착작용에 반하여 밀리면, 연결구멍(60) 및 제2 밸브시트(77)의 개구부가 개방되도록 되어 있다.

한편, 플러그(70)의 기단에는 플랜지(4)를 구비한 관로(1)가 접속된다. 플러그(70)와 관로(1)의 접속은 볼트(84)와 너트(88)에 의해 이루어진다. 볼트(84)의 머리부분은 플러그 플랜지(75)의 구멍(75b) 안에 배치되어 있고, 도 3b를 참조하여 설명한 것과 마찬가지로 코킹되어 있다. 그 결과, 본 발명에서는 볼트(84)의 머리부분이 플러그 플랜지(75)의 표면으로부터 플러그(70)의 선단측으로 돌출하는 것이 방지되어, 조작자가 쉽게 플러그(70)를 쥘 수 있게 하고 있다.

도 5는 플러그의 일부를 확대하여 나타내는 부분확대도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 내부 스페이서(74)의 외주면에는 고리형상 오목부(85)가 형성되어 있고, 밀봉부(86) 예를 들어, O-링이 고리형상 오목부(85) 안에 배치되어 있다. 도시되는 바와 같이, 밀봉부(86)는 유체가 플러그 선단부(71)와 내부 스페이서(74)의 사이로부터 누설되는 것을 방지한다.

또한, 플러그 선단부(71)의 기단(71a)에는 축선방향으로 돌출하는 고리형상 돌기(81)가 둘레방향으로 형성되어 있다. 그리고, 고리형상 돌기(81)에 대응하는 내부 스페이서(74)의 부분에는, 고리형상 돌기(81)를 수용하는 고리형상 오목부(82)를 형성하여도 된다. 이와 같은 경우, 도시하는 바와 같이 이 고리형상 돌기(81) 및 고리형상 오목부(82)는, 밀봉부(86)보다 반경방향 바깥쪽에 형성되어 있다. 따라서, 유체가 밀봉부(86)를 넘어 누설되었을 경우에도, 고리형상 돌기(81) 및 고리형상 오목부(82)에 의해 유체가 외부로 누설되는 것이 방지된다.

이하, 본 발명에 따른 유체이송용 커플링 장치의 동작에 대하여 설명한다. 도 6 및 도 7은 유체이송용 커플링 장치의 길이방향 단면도이며, 각각 플러그와 소켓이 연결된 상태 및 유체가 유통 가능한 상태를 나타내고 있다.

먼저, 소켓(10)의 사이드 플랜지(17)를 마운트 패널(18)에 설치하고, 볼트/너트(18a)로 고정한다. 이어서, 후면커버(16)에 설치된 지지 플레이트(35)를 볼트/너트(39b)에 의해 지지 샤프트(39c)의 일단에 고정한다. 지지 샤프트(39c)는 약 L자 형상의 부재이며, 지지 샤프트(39c)의 타단을 볼트/너트(39a)로 마운트 패널(18)에 고정한다. 한편, 지지 샤프트(39c)의 타단을 도시하지 않은 다른 외부부재에 고정하는 구성으로 하여도 되고, 지지 샤프트(39c)가 다른 형상이어도 된다.

이어서, 관로(1)가 접속된 플러그(70)를 소켓(10)의 삽입구(19)에 끼워넣는다. 이에 의해, 도시하는 바와 같이, 플러그(70)의 더블너트(72a)의 선단이 하우징 구성부(13)의 단면과 맞닿고, 플러그(70)의 플러그 선단부(71)가 하우징 구성부(13) 및 샤워링(25) 안으로 돌출하게 된다.

도시하는 바와 같이, 플러그(70)가 소켓(10)에 끼워져 들어가면, 소켓(10)의 전면커버(11)와 플러그(70)의 플러그 플랜지(75) 사이에는 소정의 틈이 형성된다. 이 틈은 사람의 손가락을 충분히 삽입할 수 있을 정도로 크다. 따라서, 본 발명에서는 조작자가 플러그를 쉽게 쥘 수 있게 되기 때문에, 플러그(70)의 삽입작용 및 해제작용을 쉽게 할 수 있다.

이어서, 급배기구(28)로부터 공기가 슬라이딩 이동실(27) 안으로 공급되면, 피스톤(26) 그리고 이것과 일체로 된 벨로우즈 홀더(21) 및 샤워링(25)이 선단측을 향하여 슬라이딩 이동한다. 그리고, 플러그 선단부(71)의 외주면이 밀봉부(47)에 맞닿은 후, 제1 밸브체(39) 및 제2 밸브체(59)가 서로 스프링(38, 58)에 반하여 눌린다. 이에 의해, 제1 밸브시트(41)와 제2 밸브시트(77)가 서로 맞닿아 연결구멍(40) 및 연결구멍(60) 모두가 개방되게 된다. 그 결과, 관로(1)를 통과하여 공급되는 유체가, 기단 어댑터(22)의 내부통로(20)를 통과하여 관로(2)까지 이송되게 된다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 사이드 플랜지(17)를 마운트 패널(18)에 고정하는 동시에, 지지 플레이트(35) 및 지지 샤프트(39c)를 이용하여 소켓(10)을 지지하고 있다. 따라서, 이와 같은 유체이송시 특히, 유체의 유량이 비교적 큰 경우에도, 소켓(10)이 마운트 패널(18)에 안정적으로 지지된다. 이 때문에, 사이드 플랜지(17)와 마운트 패널(18) 사이에 실리는 부하에 의해 이것들이 장기간에 걸쳐 밀봉성을 유지할 수 있다.

유체를 원하는 양 만큼 이송하면, 공기가 급배기구(29)로부터 슬라이딩 이동실(27)로 공급됨으로써, 피스톤(26), 벨로우즈 홀더(21) 및 샤워링(25)이 소켓(10)의 기단을 향하여 슬라이딩 이동하여 초기위치로 되돌아간다. 그 결과, 제1 밸브 체(39) 및 제2 밸브체(59)가 서로 이간되고, 스프링(38, 58)의 압착작용에 의해 제1 밸브시트(41) 및 제2 밸브시트(77)에 착좌(着座)하게 된다. 이에 의해, 연결구멍(40) 및 연결구멍(60)은 폐쇄되고 유체의 이송이 종료된다.

또한, 피스톤(26) 등이 초기위치에 위치할 때에는, 샤워링(25)의 세정실(25a)을 세정하는 것도 가능하다. 샤워노즐(43)로부터 세정수가 제트 분사되면, 분사구(46)가 샤워링(25)의 내측면의 접선방향을 향해 있기 때문에, 세정수는 그 내측면을 따라 나선형으로 회전하면서 선단부로 향하고, 테이퍼면에 이르러 플러그(70)의 외주면에 따라 진행한다. 이에 의해 플러그(70)의 외주면은 강한 물의 세정력에 의해 남김없이 확실하게 세정된다. 그 후, 세정수는 테이퍼면을 따라 선단측으로 보내지고 배출구멍(50)으로 배출된다.

한편, 도 1로부터 알 수 있듯이, 피스톤(26)이 후퇴위치에 있을 때에도, 세정실(25a)은 슬라이딩 이동실(27)의 길이방향 위치로부터 어느 정도 떨어진 장소에 위치해 있다. 그리고, 피스톤(26)이 가장 먼쪽까지 슬라이딩 이동할 때(도 7 참조)에는, 세정실(25a)은 슬라이딩 이동실(27)로부터 더 이간된다. 그 때문에, 본 발명에서는 슬라이딩 이동실(27) 안에서 사용되는 윤활제 예를 들어, 그리스가 세정실(25a)까지 유입하지 않는다.

한편, 상술한 실시예에서는, 지지 플레이트(35)와 지지 샤프트(39c)가 별도의 부재인 것으로 기재하였는데, 지지 플레이트(35)와 지지 샤프트(39c)가 일체의 부재인 경우에도 본 발명의 범위에 포함된다.

도 8은 본 발명의 커플링 장치가 배치되는 흐름도이다. 도 8에서는 소켓(10) 으로부터 뻗은 관로(2)가 공급 밸브(supply valve; 2a)를 통하여 약액의 근원(source)에 접속되어 있다. 한편, 플러그(70)로부터 뻗은 관로(1)는 밸브를 통하여 수송탱크(99)에 접속되어 있다. 따라서, 플러그(70)가 소켓(10)에 접속된 커플링 장치의 사용시에, 약액은 소켓(10) 및 플러그(70)를 통과하여 수송탱크(99)까지 공급된다. 한편, 도시하는 바와 같이, 급배기구(28, 29)는 속도제어기, 실린더 조작용 밸브 및 압력 레귤레이터를 통하여 공기원(空氣源)에 접속되어 있다.

그런데, 샤워노즐(43)에는 압력센서(90a)를 구비한 배관(90)이 접속되어 있다. 도시하는 바와 같이, 배관(90)은 질소용 분기관(91) 및 순수(純水)용 분기관(92)으로 분기되어 있으며, 분기관(91, 92)에는 역지밸브(check valve; 95) 및 스톱밸브(93) 그리고 역지밸브(96) 및 스톱밸브(94)가 각각 설치되어 있다. 또한, 배출구멍(50)으로부터 뻗은 배관(90')에는 배수밸브(drain valve; 97)와 배수트랩(drain trap; 98)이 설치되어 있으며, 배관(90')은 세정수 배수로에 접속되어 있다.

소켓(10)의 샤워링(25)을 세정하는 경우에는, 스톱밸브(94)를 개방하고, 순수를 분기관(92) 및 배관(90)을 통하여 샤워노즐(43)로부터 샤워링(25)의 세정실(25a)까지 공급한다. 본 발명에서는 분기관(91, 92)의 양쪽에 역지밸브(95, 96)가 각각 설치되어 있기 때문에, 세정시에 분기관(92)을 흐르는 순수가 역지밸브(95)를 넘어 분기관(91)의 상류까지 유입되지 않는다.

순수가 세정실(25a) 및 플러그(70)의 외주면 등을 세정한 후에는, 순수는 배출구멍(50)으로부터 배관(90')을 통하여 배수트랩(98)까지 공급된다. 특정 약액을 이송하기 위하여 소켓(10)을 사용한 후에는, 이 약액이 세정실(25a)의 내벽이나 플러그(70)의 외주면 등에 찌꺼기로 고착하는 경우가 있다. 본 발명에서는 이와 같은 찌꺼기가 순수에 의해 밀려나가고, 찌꺼기를 포함한 폐액은 배수트랩(98)에 의해 트랩된다.

세정작용이 끝나면, 분기관(92)의 스톱밸브(94)가 폐쇄되고, 이어서 분기관(91)의 스톱밸브(93)가 개방된다. 그 후, 질소가스가 분기관(91) 및 배관(90)을 통하여 샤워노즐(43)로부터 세정실(25a)로 공급된다. 이 때에도, 분기관(92)의 역지밸브(96)에 의해 질소가스가 역지밸브(96)를 넘어 분기관(92)의 상류까지 유입하지 않는다. 세정실(25a) 안에 남을 수 있는 세정용 순수는 질소가스의 공급에 의해 배출구멍(50)을 통하여 밀려나가 배수트랩(98)에서 트랩되거나, 또는 세정실(25a) 내에서 증발한다. 그 후, 스톱밸브(93)를 폐쇄하면, 소켓(10)은 다시 사용가능한 상태가 된다. 한편, 수송탱크(99)로부터의 약액을 소켓(10) 및 소켓(10) 측 부재에 마찬가지로 공급할 수 있는 것이 명백하다.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 소켓의 길이방향 단면도이고, 도 10은 도 9에 나타내는 소켓의 배면도이며, 도 11은 도 9에 나타내는 소켓의 단면도이다. 이 도면들에 나타내는 소켓(10a)에서는, 도 1에 나타내는 배수로(42)의 위치에 누설센서(142a)가 배치되어 있다. 이 누설센서(142a)는, 피스톤(26)의 기단부분(26a)에 대응하는 슬라이딩 이동실(27)의 일부분(27a)으로 유입한 유체를 검출한다. 즉, 이 실시예에서는 내부통로(20)로부터 누출된 유체를 배수로(42)로부터 배출하는 대신, 이 유체를 누설센서(142a)에 의해 검출하도록 하고 있다.

또한, 도 9에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩 이동실(27)의 일부분(27a)에는 소켓(10a)의 외부로 통하는 관통구멍(105)이 형성되어 있다. 이 관통구멍(105)은, 피스톤(26)의 기단부분(26a)이 슬라이딩 이동실(27)의 일부분(27a)을 슬라이딩 이동할 때, 슬라이딩 이동실(27)의 일부분(27a)에서 공기가 압축되는 것을 방지한다. 바꿔말하면, 관통구멍(105)은 피스톤(27)의 일부분(27a)에서의 피스톤(26)의 기단부분(26a)의 슬라이딩 이동 작용을 돕는다.

더욱이 도 9 내지 도 11로부터 알 수 있듯이, 샤워노즐(43)의 분사구(46)가 소켓(10a)의 배면측에 위치결정되어 있다. 공지된 바와 같이, 통상 소켓(10a)은 내부통로(20)가 수평해지도록 배치되어 있다. 소켓(10a)이 그와 같이 배치되어 있는 경우, 샤워노즐(43)의 분사구(46)는 세정실(25a)에서 가로방향으로 개구되게 된다. 이와 같은 구성을 채용하는 경우, 분사구(46)가 위쪽을 향하여 개구하는 경우 등과 비교하여, 먼지 등의 이물이 분사구(46)로부터 샤워노즐(43)로 진입하는 것을 억제할 수 있다는 것을 알 수 있을 것이다.

또한, 도 9에 나타내는 바와 같이, 피스톤(26)의 외주면 및 하우징 구성부(15)의 내주면 각각에 밀봉부재(106, 107)가 설치되어 있다. 이 밀봉부재(106, 107)는 피스톤(26)이 슬라이딩 이동할 때의 공기의 누설을 방지하고 있다. 이 밀봉부재(106, 107)는 단면 X자 형상인 것이 바람직하다. 이와 같은 경우, 밀봉부재가 O-링인 경우와 비교하여, 피스톤(26)의 슬라이딩 이동성을 유지한 채로 공기의 누설을 방지할 수 있다.

본 명세서 내용 중에 포함되어 있음.

Claims

소켓과 플러그를 서로 연결함으로써, 상기 소켓 및 상기 플러그 각각의 유로를 서로 연결시키는 유체이송용 커플링 장치의 소켓에 있어서,

상기 플러그를 끼워넣기 위한 상기 소켓의 삽입구 근방에 설치되어 있으며 상기 소켓을 마운트 패널에 설치하는 마운트 패널 설치부; 및

상기 삽입구와 다른 위치에 설치되어 있으며 상기 소켓을 지지하는 지지부;를 구비하는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.
하우징 내에 벨로우즈를 지지하는 벨로우즈 홀더와 상기 벨로우즈 홀더에 고정된 샤워링을 상기 하우징의 길이방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 설치하고, 상기 벨로우즈는 선단에 상기 샤워링 안에 배치되는 유통밸브기구를 가지며, 상기 샤워링은 선단에 상기 유통밸브기구에 대응하는 유통밸브기구를 구비한 커플링할 플러그의 머리부분이 진입하는 단면이 원형인 세정실을 구비하고, 상기 세정실의 중간에는 O-링 등의 밀봉수단을 배치하는 동시에 상기 세정실의 측벽에 상기 세정실의 접선방향을 향하여 분사구를 뚫고, 상기 하우징에 상기 분사구로 세정수를 공급하는 샤워노즐을 설치하는 동시에 배출구를 형성하고 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓에 있어서,

상기 플러그를 끼워넣기 위한 상기 소켓의 삽입구 근방에 설치되어 있으며 상기 소켓을 마운트 패널에 설치하는 마운트 패널 설치부; 및

상기 삽입구와 다른 위치에 설치되어 있으며 상기 소켓을 지지하는 지지부;를 구비하는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 소켓의 적어도 일부분이 포셋 형식으로 구성되어 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

또한 상기 벨로우즈 홀더의 위치를 검출하는 위치센서를 구비하고, 상기 위치센서는 상기 벨로우즈 홀더의 슬라이딩 이동시에 압력이 변하지 않는 장소에 배치되어 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.
소켓과 플러그를 서로 연결함으로써, 상기 소켓 및 상기 플러그의 각각의 유로를 서로 연결시키는 유체이송용 커플링 장치의 소켓에 있어서,

상기 소켓의 적어도 일부분이 포셋 형식으로 구성되어 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.
하우징 내에 벨로우즈를 지지하는 벨로우즈 홀더와 상기 벨로우즈 홀더에 고정된 샤워링을 상기 하우징의 길이방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 설치하고, 상기 벨로우즈는 선단에 상기 샤워링 내에 배치되는 유통밸브기구를 가지며, 상기 샤 워링은 선단에 상기 유통밸브기구에 대응하는 유통밸브기구를 구비한 커플링할 플러그의 머리부분이 진입하는 단면이 원형인 세정실을 구비하고, 상기 세정실의 중간에는 O-링 등의 밀봉수단을 배치하는 동시에 상기 세정실의 측벽에 상기 세정실의 접선방향을 향하여 분사구를 뚫고, 상기 하우징에 상기 분사구로 세정수를 공급하는 샤워노즐을 설치하는 동시에 배출구를 형성하고 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓에 있어서,

상기 소켓의 적어도 일부분이 포셋 형식으로 구성되어 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.
제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,

또한 상기 플러그를 끼워넣기 위한 상기 소켓의 삽입구 근방에 설치되어 있으며 상기 소켓을 마운트 패널에 설치하는 마운트 패널 설치부; 및

상기 삽입구와 다른 위치에 설치되어 있으며 상기 소켓을 지지하는 지지부;를 구비하는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.
제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,

또한 상기 벨로우즈 홀더의 위치를 검출하는 위치센서를 구비하고, 상기 위치센서는 상기 벨로우즈 홀더의 슬라이딩 이동시에 압력이 변하지 않는 장소에 배치되어 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.
하우징 내에 벨로우즈를 지지하는 벨로우즈 홀더와 상기 벨로우즈 홀더에 고정된 샤워링을 상기 하우징의 길이방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 설치하고, 상기 벨로우즈는 선단에 상기 샤워링 안에 배치되는 유통밸브기구를 가지고 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓에 있어서,

상기 벨로우즈 홀더의 위치를 검출하는 위치센서를 구비하고, 상기 위치센서는 상기 벨로우즈 홀더의 슬라이딩 이동시에 압력이 변하지 않는 장소에 배치되어 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.
제 9 항에 있어서,

또한 상기 플러그를 끼워넣기 위한 상기 소켓의 삽입구 근방에 설치되어 있으며 상기 소켓을 마운트 패널에 설치하는 마운트 패널 설치부; 및

상기 삽입구와 다른 위치에 설치되어 있으며 상기 소켓을 지지하는 지지부;를 구비하는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.
제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,

상기 소켓의 적어도 일부분이 포셋 형식으로 구성되어 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.
제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 샤워링은, 선단에 상기 유통밸브기구에 대응하는 유통밸브기구를 구비 한 커플링할 플러그의 머리부분이 진입하는 단면이 원형인 세정실을 구비하고,

상기 세정실의 중간에는 O-링 등의 밀봉수단을 배치하는 동시에 상기 세정실의 측벽에 상기 세정실의 접선방향을 향하여 분사구를 뚫고, 상기 하우징에 상기 분사구로 세정수를 공급하는 샤워노즐을 설치하는 동시에 배출구를 형성하고 있는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.
제 2 항, 제 6 항 또는 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,

또한 상기 커플링 장치에 의해 이송될 유체가 상기 벨로우즈 홀더가 슬라이딩 이동하는 슬라이딩 이동실로 새는 것을 검지하는 누설센서를 구비하는 유체이송용 커플링 장치의 소켓.