KR20080081562A - Organic light emitting display device and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
표시품질을 향상시키기 위한 유기전계발광 표시 장치 및 이의 제조 방법이 개시된다. 유기전계발광 표시 장치는 기판, 제1 전극들, 유기전계발광층 및 제2 전극들을 포함한다. 기판에는 제1 방향 및 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 복수의 단위 화소들이 정의된다. 제1 전극들은 단위 화소에 대응하여 기판 상에 형성된다. 유기전계발광층은 단위 화소에 대응하여 제1 전극 상에 형성된다. 제2 전극들은 유기전계발광층이 형성된 기판 상에 형성되고, 제1 방향과 제2 방향 중 어느 한 방향으로 일렬로 나열된 단위 화소들을 커버하도록 연장된다. 제2 전극들이 단위 화소들의 열에 따라 분리 형성되므로 제2 전극들 각각에 독립적으로 전원을 인가할 수 있다. 이에 따라, 제2 전극들 각각에 인가되는 전원의 크기를 선택적으로 조절할 수 있으므로 영상의 표시품질을 향상시킬 수 있다.Disclosed are an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same for improving display quality. The organic light emitting display device includes a substrate, first electrodes, an organic light emitting layer, and second electrodes. In the substrate, a plurality of unit pixels are defined in a first direction and a second direction crossing the first direction. The first electrodes are formed on the substrate in correspondence with the unit pixels. The organic light emitting layer is formed on the first electrode corresponding to the unit pixel. The second electrodes are formed on the substrate on which the organic light emitting layer is formed, and extend to cover the unit pixels arranged in a line in either of the first direction and the second direction. Since the second electrodes are separately formed according to the columns of the unit pixels, power may be independently applied to each of the second electrodes. Accordingly, the size of the power applied to each of the second electrodes can be selectively adjusted, thereby improving the display quality of the image.
Description
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 개략도이다.1 is a schematic diagram of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1의 영역 A를 확대하여 도시한 확대도이다. FIG. 2 is an enlarged view illustrating an enlarged area A of FIG. 1.
도 3은 도 2의 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다. 3 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 2.
도 4는 유기전계발광 표시장치에 형성되는 구성요소 중 제2 전극, 제1 더미패턴 및 제2 더미패턴을 따로 분리하여 도시한 개략도이다. 4 is a schematic view illustrating a second electrode, a first dummy pattern, and a second dummy pattern separately among components formed in the organic light emitting display device.
도 5 내지 도 14는 도 3에 도시된 유기전계발광 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도들이다. 5 through 14 are process diagrams for describing a method of manufacturing the organic light emitting display device illustrated in FIG. 3.
도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치에 형성되는 구성요소 중 제2 전극, 제1 더미패턴 및 제2 더미패턴을 따로 분리하여 도시한 개략도이다. FIG. 15 is a schematic diagram separately illustrating a second electrode, a first dummy pattern, and a second dummy pattern among components formed in an organic light emitting display device according to another exemplary embodiment of the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
100 : 유기전계발광 표시장치 110 : 베이스 기판100 organic light
TFT1 : 스위칭 박막트랜지스터 TFT2 : 구동 박막트랜지스터TFT1: Switching Thin Film Transistor TFT2: Driving Thin Film Transistor
PE : 제1 전극 EL : 유기전계발광층PE: first electrode EL: organic light emitting layer
CE : 제2 전극 ELD : 유기전계발광소자CE: Second electrode ELD: Organic light emitting device
W : 격벽 U : 언더 컷부W: bulkhead U: undercut portion
DM1 : 제1 더미패턴 DM2 : 제2 더미패턴DM1: first dummy pattern DM2: second dummy pattern
본 발명은 유기전계발광 표시장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공통 전원(Vcom)을 복수의 독립라인으로 인가할 수 있는 유기전계발광 표시장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same can be applied to a plurality of independent power supply (Vcom).
일반적으로, 유기전계발광 표시장치는 적색 발광층이 형성되어 적색광을 출사하는 적색화소와, 청색 발광층이 형성되어 청색광을 출사하는 청색화소와, 녹색 발광층이 형성되어 녹색광을 출사하는 녹색화소를 포함한다. 이때, 상기 적색, 청색, 녹색의 화소들을 포함하는 전체 패널에는 하나의 패턴으로 형성된 공통 전극이 형성되며, 이에 따라 전체 패널에는 동일한 공통 전압이 인가된다. In general, an organic light emitting display device includes a red pixel in which a red light emitting layer is formed to emit red light, a blue pixel in which a blue light emitting layer is formed to emit blue light, and a green pixel in which a green light emitting layer is formed to emit green light. In this case, a common electrode formed in one pattern is formed on the entire panel including the red, blue, and green pixels, and the same common voltage is applied to the entire panel.
그러나, 실질적으로는 상기 적색화소, 청색화소 및 녹색화소의 컬러 효율이 동일하지 않기 때문에, 적색, 청색, 녹색화소들에 동일한 크기의 공통 전압이 인가될 경우, 표시 품질이 떨어지는 문제점이 발생된다. However, since the color efficiencies of the red, blue, and green pixels are not substantially the same, when the common voltage of the same magnitude is applied to the red, blue, and green pixels, the display quality is deteriorated.
이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 표시품질을 향상시키기 위한 유기전계발광 표시장치를 제공하는 것이다.Accordingly, the technical problem of the present invention is to solve such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide an organic light emitting display device for improving display quality.
본 발명의 다른 목적은 상기 유기전계발광 표시장치의 제조 방법을 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing the organic light emitting display device.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위하여 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는, 기판, 제1 전극들, 유기전계발광층 및 제2 전극들을 포함한다. 기판에는 제1 방향 및 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 복수의 단위 화소들이 정의된다. 상기 제1 전극들은 상기 단위 화소에 대응하여 상기 기판 상에 형성된다. 상기 유기전계발광층은 상기 단위 화소에 대응하여 상기 제1 전극 상에 형성된다. 상기 제2 전극들은 상기 유기전계발광층이 형성된 상기 기판 상에 형성되고, 상기 제1 방향과 제2 방향 중 어느 한 방향으로 일렬로 나열된 상기 단위 화소들을 커버하도록 연장된다. In order to achieve the above object of the present invention, an organic light emitting display device according to an embodiment includes a substrate, first electrodes, an organic light emitting layer, and second electrodes. In the substrate, a plurality of unit pixels are defined in a first direction and a second direction crossing the first direction. The first electrodes are formed on the substrate in correspondence with the unit pixels. The organic light emitting layer is formed on the first electrode corresponding to the unit pixel. The second electrodes are formed on the substrate on which the organic light emitting layer is formed, and extend to cover the unit pixels arranged in a line in either of the first direction and the second direction.
상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위하여 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 제조 방법은 단위 화소들에 대응하여 제1 전극들이 형성된 기판 상에 절연막 및 금속층을 순차적으로 형성하는 단계와, 상기 금속층 상에 상기 단위 화소들 간의 이격부에 대응하여 제1 방향으로 연장된 제1 패턴부들 및 상기 제1 패턴부들 사이에서 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 연장된 제2 패턴부들을 포함하는 격자 형상의 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와, 상기 포토레지스트 패턴 사이로 노출된 상기 금속층을 제1 식각하는 단계와, 상기 포토레지스트 패턴 사이로 노출된 상기 절연막을 식각하여 격자 형상의 격벽을 형성함과 동시에 상기 제2 패턴부들을 제거하는 단계와, 상기 제2 패턴부들이 제거되어 노출된 상기 금속층 을 제2 식각하여 상기 제1 방향으로 연장된 제1 더미패턴을 형성하는 단계와, 상기 격벽을 일부 식각하여 상기 제1 더미패턴과 상기 격벽 사이에 언더 컷부를 형성하는 단계와, 상기 단위 화소들 내에 유기전계발광층을 형성하는 단계 및 상기 유기전계발광층이 형성된 상기 기판 상에 도전성 물질층을 증착하여, 상기 제1 더미패턴 상에 형성되는 제2 더미패턴 및 상기 언더 컷부에 의해 상기 제2 더미패턴과 분리되는 제2 전극들을 형성하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display device, the method including sequentially forming an insulating film and a metal layer on a substrate on which first electrodes are formed corresponding to unit pixels; First pattern parts extending in a first direction corresponding to a spaced part between the unit pixels, and second pattern parts extending in a second direction crossing the first direction between the first pattern parts on a metal layer; Forming a lattice-shaped photoresist pattern, first etching the metal layer exposed between the photoresist patterns, and etching the insulating layer exposed between the photoresist patterns to form a grid-shaped partition wall; Simultaneously removing the second pattern portions, and second etching the exposed metal layer by removing the second pattern portions. Forming a first dummy pattern extending in a first direction, forming an undercut portion between the first dummy pattern and the partition by partially etching the partition, and forming an organic light emitting layer in the unit pixels And depositing a conductive material layer on the substrate on which the organic light emitting layer is formed, and separating the second dummy pattern from the second dummy pattern by the second dummy pattern and the undercut part formed on the first dummy pattern. Forming them.
이러한 유기전계발광 표시장치 및 이의 제조 방법에 의하면, 단위 화소들의 행 또는 열에 따라 인가하는 공통 전압의 크기를 선택적으로 조절할 수 있으므로 영상의 표시품질을 향상시킬 수 있다.According to the organic light emitting display device and a manufacturing method thereof, the display voltage of the image can be improved by selectively adjusting the magnitude of the common voltage according to the row or column of the unit pixels.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail the present invention.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 개략도이다.1 is a schematic diagram of an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1의 영역 A를 확대하여 도시한 확대도이다. FIG. 2 is an enlarged view illustrating an enlarged area A of FIG. 1.
도 3은 도 2의 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다. 3 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 2.
도 1 내지 도 3을 참조하면 유기전계발광 표시장치는 베이스 기판(110), 게이트 배선(GL), 게이트 절연층(120), 데이터 배선(DL), 전원 배선(VL), 스위칭 박막트랜지스터(TFT1), 구동 박막트랜지스터(TFT2), 스토리지 커패시터(SC), 패시베이션층(140), 제1 전극(PE), 격벽(W), 유기전계발광층(EL) 및 제2 전극(CE)을 포함한다.1 to 3, the organic light emitting display device includes a
베이스 기판(110)은 플레이트 형상을 갖고, 투명한 물질로 이루어진다. The
게이트 배선(GL)은 베이스 기판(110) 상에서 제1 방향(X)으로 길게 형성되고, 제2 방향(Y)을 따라 복수개가 병렬로 형성된다. 제2 방향(Y)은 일례로, 제1 방향(X)과 서로 수직하다.The gate lines GL are formed long on the
상기 게이트 배선(GL)이 형성된 베이스 기판(11) 상에는 상기 게이트 절연층(120)이 형성된다. 상기 게이트 절연층(120)은 일례로, 질화 실리콘(SiNx)으로 이루어진다. 상기 데이터 배선(DL)은 게이트 절연층(120) 상에서 게이트 배선(GL)과 교차되도록 제2 방향(Y)으로 길게 연장되어 형성되고, 제1 방향(X)을 따라 복수개가 병렬로 형성된다. The
이때, 데이터 배선(DL)들 및 게이트 배선(GL)들이 서로 교차되도록 형성됨에 따라, 상기 제1 방향(X) 및 상기 제2 방향(Y)으로 나열된 복수의 단위화소(P)들이 정의된다.In this case, as the data lines DL and the gate lines GL cross each other, a plurality of unit pixels P arranged in the first direction X and the second direction Y are defined.
상기 단위화소(P)들의 각각에는 스위칭 박막트랜지스터(TFT1), 구동 박막트랜지스터(TFT2), 스토리지 커패시터(SC) 및 유기전계발광소자(ELD)가 형성된다. Each of the unit pixels P includes a switching thin film transistor TFT1, a driving thin film transistor TFT2, a storage capacitor SC, and an organic light emitting diode ELD.
전원 배선(VL)은 게이트 절연층(120) 상에서 상기 데이터 배선(DL)과 평행하게 형성되며, 예를 들어 데이터 배선(DL)과 제1 방향(X)의 반대 방향으로 소정거리 이격되어 형성된다. 전원 배선(VL)은 구동 박막트랜지스터(TFT2)와 전기적으로 연결되어 구동전류를 인가한다.The power line VL is formed parallel to the data line DL on the
스위칭 박막트랜지스터(TFT1)는 스위칭 게이트전극(GE1), 스위칭 소스전극(SE1), 스위칭 드레인전극(DE1) 및 스위칭 액티브층(AT1)을 포함한다.The switching thin film transistor TFT1 includes a switching gate electrode GE1, a switching source electrode SE1, a switching drain electrode DE1, and a switching active layer AT1.
스위칭 게이트전극(GE1)은 게이트 배선(GL)으로부터 제2 방향(Y)으로 연장되 어 형성된다. 스위칭 소스전극(SE1)은 데이터 배선(DL)으로부터 제1 방향(X)으로 연장되어, 스위칭 게이트전극(GE1)의 일부와 중첩되도록 형성된다. The switching gate electrode GE1 extends in the second direction Y from the gate line GL. The switching source electrode SE1 extends from the data line DL in the first direction X and overlaps a part of the switching gate electrode GE1.
스위칭 드레인전극(DE1)은 상기 소스 전극(SE1)과 동일층에 형성되며, 스위칭 소스전극(SE1)과 마주보도록 스위칭 소스전극(SE1)으로부터 소정거리 이격되어 형성된다. 이때, 상기 스위칭 드레인전극(DE1)은 스위칭 게이트전극(GE1)의 일부와 중첩되도록 형성된다. The switching drain electrode DE1 is formed on the same layer as the source electrode SE1 and is spaced apart from the switching source electrode SE1 by a predetermined distance so as to face the switching source electrode SE1. In this case, the switching drain electrode DE1 is formed to overlap a part of the switching gate electrode GE1.
스위칭 드레인전극(DE1)은 제1 방향(X)으로 길게 연장되어 형성되고, 게이트 절연층(120) 내에 형성된 제1 콘택홀(122)을 통해 구동 박막트랜지스터(TFT2)의 구동 게이트전극(GE2)과 전기적으로 연결된다. The switching drain electrode DE1 is formed to extend in the first direction X, and the driving gate electrode GE2 of the driving thin film transistor TFT2 is formed through the
상기 스위칭 액티브층(AT1)은 상기 게이트 절연층(120)과 상기 스위칭 소스전극(SE1) 및 스위칭 드레인전극(DE1) 사이에 형성되며 상기 스위칭 게이트전극(GE1)과 중첩되게 형성된다. 상기 스위칭 액티브층(AT1)은 일례로, 다결정 실리콘으로 이루어진 반도체층(a) 및 이온 도핑된 다결정 실리콘으로 이루어진 오믹콘택층(b)이 적층된 구조로 형성된다. 이때, 상기 스위칭 소스전극(SE1)과 상기 스위칭 드레인전극(DE1)의 이격부에서는 상기 오믹콘택층(b)이 제거되어 상기 반도체층(a)출된다. The switching active layer AT1 is formed between the
한편, 상기 스위칭 액티브층(AT1)은 비정질 실리콘으로 이루어진 반도체층(a) 및 이온 도핑된 비정질 실리콘으로 이루어진 오믹콘택층(b)이 적층된 구조로 형성될 수도 있다. 또한, 상기 스위칭 액티브층(AT1)은 전체적으로 비정질 실리콘으로 이루어지고 전기적 채널이 주로 형성되는 국소 영역만 다결정 실리콘으로 이 루어질 수도 있다. The switching active layer AT1 may have a structure in which a semiconductor layer a made of amorphous silicon and an ohmic contact layer b made of ion doped amorphous silicon are stacked. In addition, the switching active layer AT1 may be entirely made of amorphous silicon, and only a local region where an electrical channel is mainly formed may be made of polycrystalline silicon.
구동 박막트랜지스터(TFT2)는 상기 단위화소(P) 내에 형성되며, 구동 게이트전극(GE2), 구동 소스전극(SE2), 구동 드레인전극(DE2) 및 구동 액티브층(AT2)을 포함한다.The driving thin film transistor TFT2 is formed in the unit pixel P and includes a driving gate electrode GE2, a driving source electrode SE2, a driving drain electrode DE2, and a driving active layer AT2.
구동 게이트전극(GE2)은 상기 스위칭 게이트전극(GE1)과 동일층에 형성되고, 상기 스위칭 드레인전극(DE1)과 제1 콘택홀(122)을 통해 전기적으로 연결되며, 제2 방향으로 연장되어 형성된다. The driving gate electrode GE2 is formed on the same layer as the switching gate electrode GE1, is electrically connected to the switching drain electrode DE1 through the
구동 소스전극(SE2)은 상기 전원 배선(VL)으로부터 제1 방향의 반대방향으로 연장되며, 상기 게이트 절연층(120) 상에서 상기 구동 게이트전극(GE2)의 일부와 중첩되도록 형성된다. The driving source electrode SE2 extends in a direction opposite to the first direction from the power line VL and overlaps a portion of the driving gate electrode GE2 on the
구동 드레인전극(DE2)은 상기 구동 소스전극(SE2)과 동일층에 형성되며 상기 구동 소스전극(SE2)과 마주보도록 구동 소스전극(SE2)으로부터 소정거리 이격되어 형성된다. 또한, 상기 구동 드레인전극(DE2)은 상기 구동 게이트전극(GE2)의 일부와 중첩되도록 형성되며, 제1 방향의 반대방향으로 길게 연장되어 형성된다. 이때, 상기 구동 드레인전극(DE2)은 제2 콘택홀(132)을 통해 유기전계발광소자(ELD)의 제1 전극(PE)과 전기적으로 연결된다.The driving drain electrode DE2 is formed on the same layer as the driving source electrode SE2 and is spaced apart from the driving source electrode SE2 by a predetermined distance so as to face the driving source electrode SE2. In addition, the driving drain electrode DE2 is formed to overlap with a portion of the driving gate electrode GE2 and extends in a direction opposite to the first direction. In this case, the driving drain electrode DE2 is electrically connected to the first electrode PE of the organic light emitting diode ELD through the
스토리지 커패시터(SC)는 상기 단위화소(P) 내에 형성되어, 구동 게이트전극(GE2)에 인가된 구동전압을 유지시킨다. 스토리지 커패시터(SC)는 일례로, 상기 게이트 절연층(120)을 사이에 두고 서로 중첩되는 하부 전극 및 상부 전극으로 이루어진다. 이때, 상기 하부 전극은 제1 방향(X)으로 연장된 구동 게이트전극(GE2) 이고, 상기 상부 전극은 전원 배선(VL)이다.The storage capacitor SC is formed in the unit pixel P to maintain a driving voltage applied to the driving gate electrode GE2. The storage capacitor SC includes, for example, a lower electrode and an upper electrode overlapping each other with the
상술한 배선들(GL,DL,VL), 스위칭 박막트랜지스터(TFT1), 구동 박막트랜지스터(TFT2) 및 스토리지 커패시터(SC)를 포함하는 화소층이 형성된 베이스 기판(110) 상에는 상기 패시베이션층(140)이 형성된다. The
상기 패시베이션층(140)은 일례로, 질화 실리콘(SiNx)으로 이루어진다. 상기 패시베이션층(140) 상에는 각 단위 화소(P)에 대응하는 제1 전극(PE)이 형성된다. The
구체적으로, 제1 전극(PE)은 구동 박막트랜지스터(TFT2)와 전기적으로 연결된다. 제1 전극(PE)은 구동 박막트랜지스터(TFT2)로부터 구동전류를 인가받는다.In detail, the first electrode PE is electrically connected to the driving thin film transistor TFT2. The first electrode PE receives a driving current from the driving thin film transistor TFT2.
상기 제1 전극(PE)이 형성된 베이스 기판(110) 상에는 상기 단위 화소(P) 내 공간을 입체적으로 공간을 구획하는 격자 형상의 격벽(W)이 형성된다. On the
상기 격벽(W) 상에는 상기 제1 방향(X)으로 인접하는 단위 화소(P)들 사이에 형성되며, 상기 제2 방향(Y)으로 길게 연장된 제1 더미패턴(DM1)이 형성된다. 상기 제1 더미패턴(DM1)은 일례로, 금속 재질로 형성되며 상기 제1 더미패턴(DM1) 하부에 형성된 격벽(W)의 폭보다 넓은 폭으로 형성된다. 이에 따라, 상기 제1 더미패턴(DM1)과 상기 격벽(W) 사이에는 상술한 폭 차이에 의한 언더 컷부(U)가 형성된다. The first dummy pattern DM1 is formed between the unit pixels P adjacent to each other in the first direction X and extends in the second direction Y. For example, the first dummy pattern DM1 may be formed of a metal material and have a width wider than the width of the partition wall W formed under the first dummy pattern DM1. Accordingly, an undercut portion U is formed between the first dummy pattern DM1 and the partition wall W due to the above-described width difference.
상기 격벽(W)에 의해 구획된 단위 화소 내(P)에는 유기 발광 물질로 이루어진 유기전계발광층(EL)이 형성된다. 상기 유기전계발광층(EL)은 일례로, 적색광을 발광하는 적색 발광층(R), 녹색광을 발광하는 녹색 발광층(G) 및 청색광을 발광하는 청색 발광층(B)을 포함하며 상기 적색, 녹색, 청색 발광층(R,G,B) 각각은 상기 제2 방향(Y)으로 일렬로 나열된다. 한편, 상기 유기전계발광층(EL)은 백색 발광층을 더 포함할 수도 있으며 상기 백색 발광층이 형성될 경우에도 상기 제2 방향(Y)으로 일렬로 나열되는 것이 바람직하다. An organic light emitting layer EL made of an organic light emitting material is formed in the unit P partitioned by the partition wall W. In FIG. The organic light emitting layer EL may include, for example, a red light emitting layer R emitting red light, a green light emitting layer G emitting green light, and a blue light emitting layer B emitting blue light, and the red, green, and blue light emitting layers. Each of (R, G, B) is arranged in a line in the second direction (Y). Meanwhile, the organic light emitting layer EL may further include a white light emitting layer, and even when the white light emitting layer is formed, the organic light emitting layer EL may be arranged in a line in the second direction (Y).
상기 유기전계발광층(EL)과 상기 제1 전극(PE) 사이에는 정공 주입층(151) 및 정공 수송층(152)이 더 형성될 수 있으며, 상기 유기전계발광층(EL) 상에는 전자 수송층(153) 및 전자 주입층(154)이 더 형성될 수 있다.A
이때, 상기 단위 화소(P)내에 형성되는 유기전계발광층(EL)과 달리, 상기 정공 주입층(151), 정공 수송층(152), 전자 주입층(153) 및 전자 수송층(154)은 상기 격벽(W) 상에도 순차적으로 적층되어 형성된다. 이때, 상기 단위 화소(P) 내에 형성되는 정공 주입층(151), 정공 수송층(152), 전자 수송층(153) 및 전자 주입층(154)과, 상기 격벽(W) 상에 형성되는 정공 주입층(151), 정공 수송층(152), 전자 수송층(153) 및 전자 주입층(1545)은 상기 언더 컷부(U)에 의해 물리적으로 분리 형성된다. In this case, unlike the organic light emitting layer EL formed in the unit pixel P, the
도 4는 유기전계발광 표시장치에 형성되는 구성요소 중 제2 전극, 제1 더미패턴 및 제2 더미패턴을 따로 분리하여 도시한 개략도이다. 4 is a schematic view illustrating a second electrode, a first dummy pattern, and a second dummy pattern separately among components formed in the organic light emitting display device.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 전자 주입층(154)이 형성된 베이스 기판(110) 상에는 제2 전극(CE)들이 형성된다. 상기 제2 전극(CE)은 상기 제2 방향(Y)으로 일렬로 나열된 복수의 단위 화소(P)들을 커버하도록 제2 방향(Y)으로 연장되며, 제2 전극(CE)들은 상기 제1 방향(X)으로 병렬로 나열된다. 2 to 4, second electrodes CE are formed on the
상기 제2 전극(CE)들에는 각각 독립적으로 전압이 인가되며, 일례로 동일한 색상의 유기전계발광층(EL) 상에 형성된 제2 전극(CE)들에는 동일한 전압을 인가할 수도 있다.Voltages are independently applied to the second electrodes CE. For example, the same voltages may be applied to the second electrodes CE formed on the organic light emitting layer EL having the same color.
또는, 두 가지 색상의 유기전계발광층(EL) 상에 형성된 제2 전극(CE)에는 동일한 전압을 인가하고, 나머지 색상의 유기전계발광층(EL) 상에 형성된 제2 전극(CE)에는 별도의 전압을 인가할 수도 있다. Alternatively, the same voltage is applied to the second electrode CE formed on the organic electroluminescent layer EL of two colors, and a separate voltage is applied to the second electrode CE formed on the organic electroluminescent layer EL of the remaining colors. May be applied.
상기 단위 화소(P) 내에 순차적으로 적층된 상기 제1 전극(PE), 유기전계발광층(EL) 및 제2 전극(CE)은 유기전계발광소자(ELD)를 구성하며, 상기 유기전계발광소자(ELD)는 상기 제1 전극(PE)과 제2 전극(CE)에 인가되는 전압에 의해 광을 발생시킨다.The first electrode PE, the organic light emitting layer EL, and the second electrode CE sequentially stacked in the unit pixel P constitute an organic light emitting diode ELD, and the organic light emitting diode ( The ELD generates light by the voltage applied to the first electrode PE and the second electrode CE.
상기 유기전계발광소자(ELD)에서 광이 발생되는 원리를 간단히 설명하면, 제1 전극(PE)은 구동 박막트랜지스터(TFT2)로부터 구동전류를 인가받고, 상기 제2 전극은 외부로부터 공통전압을 인가받는다. Briefly describing the principle that light is generated in the organic light emitting diode ELD, the first electrode PE receives a driving current from the driving thin film transistor TFT2 and the second electrode applies a common voltage from the outside. Receive.
구체적으로, 유기전계발광소자(ELD)의 양극 전극(ANODE)인 제1 전극(PE)은 상기 구동전류에 의해 정공(hole)을 공급받고, 음극 전극(CATHODE)인 상기 제2 전극(CE)은 상기 공통전압에 의해 전자(electron)를 공급받는다.Specifically, the first electrode PE, which is the anode electrode ANODE of the organic light emitting device ELD, receives a hole by the driving current, and the second electrode CE, which is the cathode electrode CATHODE. Is supplied with electrons by the common voltage.
제1 전극(PE)에 공급된 정공 및 상기 제2 전극(CE)에 공급된 전자는 두 전극 사이에서 발생된 전기장에 의해 유기전계발광층(EL) 내에서 서로 결합된다. 상기 정공 및 전자가 유기전계발광층(EL) 내에서 서로 결합되면, 여기상태(excited state)의 분자인 여기자(excitron)가 생성되고, 상기 여기자는 기저상태(ground state)로 떨어지면서 광을 발생한다. 이렇게해서 발생한 광은 표시화면으로 출사되 어 영상을 표시한다. Holes supplied to the first electrode PE and electrons supplied to the second electrode CE are coupled to each other in the organic light emitting layer EL by an electric field generated between the two electrodes. When the holes and the electrons are bonded to each other in the organic electroluminescent layer EL, excitons, which are molecules in an excited state, are generated, and the excitons fall to the ground state to generate light. . The light thus generated is emitted to the display screen to display an image.
본 발명의 실시예에 따르면, 제2 전극(CE)들 각각에 독립적으로 전원을 인가할 수 있으므로, 유기전계발광층(EL)의 색상에 따라 상기 제2 전극(CE)들 각각에 인가되는 전원의 크기를 조절할 수 있다. 이에 따라, 유기전계발광층(EL)의 색상에 따라 발광 세기를 조절할 수 있으므로, 특정 색상의 휘도를 높거나 낮게 조절할 수 있다. 따라서, 영상의 표시 품질을 향상시킬 수 있다. According to an embodiment of the present invention, since power may be independently applied to each of the second electrodes CE, power of each of the second electrodes CE may be applied according to the color of the organic light emitting layer EL. You can adjust the size. Accordingly, since the light emission intensity may be adjusted according to the color of the organic light emitting layer EL, the luminance of the specific color may be adjusted to be high or low. Therefore, the display quality of the image can be improved.
또한, 유기전계발광층(EL)의 색상별 수명 차이에 따라 성능 저하가 발생할 경우, 성능 저하가 발생한 색상의 유기전계발광층(EL) 상에 형성된 제2 전극(CE)에 인가되는 전원 세기를 별도로 조절하여 이와 같은 성능 저하를 보상할 수 있다. 이에 따라, 적색, 녹색, 청색 색상별 밸런스 유지가 가능하다. In addition, when the performance decreases according to the difference in lifespan of each organic electroluminescent layer EL, the power intensity applied to the second electrode CE formed on the organic electroluminescent layer EL of the color in which the performance is degraded is separately controlled. This can compensate for such degradation. Accordingly, it is possible to maintain a balance for each of the red, green, and blue colors.
한편, 상기 제2 전극(CE)들 사이에는 상기 제2 전극(CE)과 동일층으로 동시에 형성되며, 상기 제1 더미패턴(DM1)과 동일한 형상으로 패터닝된 제2 더미패턴(DM2)이 형성된다. Meanwhile, a second dummy pattern DM2 is formed between the second electrodes CE in the same layer as the second electrode CE and patterned in the same shape as the first dummy pattern DM1. do.
상기 제2 더미패턴(DM2)은 상기 제2 전극(CE)과 전기적, 물리적으로 분리된 패턴이며, 상기 제2 전극(CE)을 형성하기 위한 금속 증착 공정 중에 상기 격벽(W)과 상기 제1 더미패턴(DM1) 간의 언더 컷부(U)에 의해 자동적으로 형성되는 패턴이다. The second dummy pattern DM2 is a pattern electrically and physically separated from the second electrode CE, and the barrier rib W and the first layer are formed during a metal deposition process for forming the second electrode CE. The pattern is automatically formed by the undercut portions U between the dummy patterns DM1.
한편, 상기 제2 전극(CE) 및 제2 더미패턴(DM2)이 형성된 베이스 기판(110) 상에는 상기 유기전계발광소자(ELD)를 대기 중의 수분과 외부의 충격으로부터 보호하기 위하여 보호막을 더 형성할 수 있으며 상기 보호막 상에는 커버 기판을 결합 시킬 수도 있다.Meanwhile, a protective layer may be further formed on the
도 5 내지 도 14는 도 3에 도시된 유기전계발광 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도들이다. 5 through 14 are process diagrams for describing a method of manufacturing the organic light emitting display device illustrated in FIG. 3.
이하, 도 5 내지 도 14를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 제조 방법을 설명하도록한다.Hereinafter, a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 14.
도 2 및 도 5를 참조하면, 베이스 기판(110) 상에 제1 금속층(미도시)을 형성한다. 상기 제1 금속층은 예를들어, 크롬, 알루미늄, 탄탈륨, 몰리브덴, 티타늄, 텅스텐, 구리, 은 등의 금속 또는 이들의 합금 등으로 형성될 수 있으며, 물리적 성질이 다른 두 개 이상의 층으로 형성될 수 있다.2 and 5, a first metal layer (not shown) is formed on the
이어서, 사진-식각 공정으로 상기 제1 금속층을 패터닝하여, 게이트 배선(GL), 스위칭 게이트전극(GE1) 및 구동 게이트전극(GE2)을 포함하는 제1 금속패턴을 형성한다. Subsequently, the first metal layer is patterned by a photo-etching process to form a first metal pattern including a gate line GL, a switching gate electrode GE1, and a driving gate electrode GE2.
다음으로, 상기 제1 금속패턴이 형성된 베이스 기판(110) 상에 화학 기상 증착 방법을 이용하여 게이트 절연층(120), 반도체층(a) 및 오믹 콘택층(b)을 연속적으로 형성한다. Next, the
상기 게이트 절연층(120)은 예를들어, 질화 실리콘 내지는 산화 실리콘으로 이루어진다. 상기 반도체층(a)은 일례로, 비정질 실리콘으로 이루어진다. 상기 오믹 콘택층(b)은 일례로, 이온 도핑된 비정질 실리콘으로 이루어진다. The
이와 달리, 비정질 실리콘을 포함하는 상기 반도체층(a) 및 오믹 콘택층(b)의 전체 또는 일부를 결정화하여 다결정 실리콘을 포함하는 반도체층(a) 및 오믹 콘택층(b)을 형성할 수도 있다. Alternatively, all or part of the semiconductor layer (a) and the ohmic contact layer (b) including amorphous silicon may be crystallized to form the semiconductor layer (a) and ohmic contact layer (b) including polycrystalline silicon. .
이어서, 사진-식각 공정으로 상기 반도체층(a) 및 오믹 콘택층(b)을 패터닝하여 상기 스위칭 게이트전극(GE1)과 중첩되는 스위칭 액티브층(AT1) 및 상기 구동 게이트전극(GE2)과 중첩되는 구동 액티브층(AT2)을 형성한다.Subsequently, the semiconductor layer a and the ohmic contact layer b are patterned by a photo-etch process to overlap the switching active layer AT1 overlapping the switching gate electrode GE1 and the driving gate electrode GE2. The driving active layer AT2 is formed.
또한, 사진-식각 공정으로 상기 게이트 절연층(120)을 패터닝하여 상기 구동 게이트전극(GE1)의 일단부를 노출시키는 제1 콘택홀(122)을 형성한다. In addition, the
도 2 및 도 6을 참조하면, 상기 스위칭 액티브층(AT1), 구동 액티브층(AT2) 및 제1 콘택홀(122)이 형성된 베이스 기판(110) 상에 제2 금속층(미도시)을 형성한다. 상기 제2 금속층은 예를들어, 크롬, 알루미늄, 탄탈륨, 몰리브덴, 티타늄, 텅스텐, 구리, 은 등의 금속 또는 이들의 합금 등으로 형성될 수 있으며, 물리적 성질이 다른 두 개 이상의 층으로 형성될 수 있다. 2 and 6, a second metal layer (not shown) is formed on the
이어서, 사진-식각 공정으로 상기 제2 금속층을 패터닝하여 데이터 배선(DL), 전원 배선(VL), 스위칭 소스전극(SE1), 스위칭 드레인전극(DE1), 구동 소스전극(DE2), 구동 드레인전극(DE2)을 포함하는 제2 금속패턴을 형성한다. 이때, 상기 스위칭 드레인전극(DE2)과 상기 구동 게이트전극(GE2)은 상기 게이트 절연층(120) 내에 형성된 제1 콘택홀(122)을 통해 전기적으로 연결된다.Subsequently, the second metal layer is patterned by a photo-etching process so that the data line DL, the power line VL, the switching source electrode SE1, the switching drain electrode DE1, the driving source electrode DE2, and the driving drain electrode are formed. A second metal pattern including (DE2) is formed. In this case, the switching drain electrode DE2 and the driving gate electrode GE2 are electrically connected to each other through the
다음으로, 상기 스위칭 소스전극(SE1)과 상기 스위칭 드레인전극(DE1)의 이격부 및 상기 구동 소스전극(SE2)과 상기 구동 드레인 전극(DE2)의 이격부에서 노출된 상기 오믹 콘택층(b)을 식각한다.Next, the ohmic contact layer (b) exposed from a spaced portion of the switching source electrode SE1 and the switching drain electrode DE1 and a spaced portion of the driving source electrode SE2 and the driving drain electrode DE2. Etch
이에 따라, 스위칭 게이트전극(GE1), 스위칭 액티브층(AT1), 스위칭 소스전 극(SE1) 및 스위칭 드레인 전극(DE1)을 포함하는 스위칭 박막 트랜지스터(TFT1)와, 구동 게이트 전극(GE2), 구동 액티브층(AT2), 구동 소스 전극(SE2) 및 구동 드레인 전극(DE2)을 포함하는 구동 박막 트랜지스터(TFT2)가 형성된다.Accordingly, the switching thin film transistor TFT1 including the switching gate electrode GE1, the switching active layer AT1, the switching source electrode SE1, and the switching drain electrode DE1, the driving gate electrode GE2, and the driving The driving thin film transistor TFT2 including the active layer AT2, the driving source electrode SE2, and the driving drain electrode DE2 is formed.
도 2 및 도 7을 참조하면, 상기 스위칭 박막트랜지스터(TFT1) 및 구동 박막트랜지스터(TFT2)가 형성된 베이스 기판(100) 상에 패시베이션층(140)을 형성한다. 상기 패시베이션층(140)은 예를 들어, 질화 실리콘 내지는 산화 실리콘으로 이루어질 수 있으며 화학 기상 증착 방법으로 형성할 수 있다.2 and 7, the
이어서, 사진-식각 공정으로 상기 패시베이션층(140)을 패터닝하여 상기 구동 드레인전극(DE2)의 일단부를 노출시키는 제2 콘택홀(132)을 형성한다.Subsequently, the
다음으로, 상기 제2 콘택홀(132)이 형성된 패시베이션층 상에 제1 도전성 물질층(미도시)을 스퍼터링 방법으로 증착한다. 상기 제1 도전성 물질층(미도시)은 인듐 틴 옥사이드, 인듐 징크 옥사이드, 비정질 인듐 틴 옥사이드와 같은 투명한 재질로 형성될 수도 있고, 광을 반사시키는 금속 재질로 형성될 수도 있다. 이어서, 사진-식각 공정으로 상기 제1 도전성 물질층을 패터닝하여 상기 단위 화소(P)에 대응하는 제1 전극(PE)을 형성한다. 상기 제1 전극(PE)은 상기 제2 콘택홀(132)을 통해 상기 구동 박막트랜지스터(TFT2)와 전기적으로 접촉하며 상기 구동 박막트랜지스터(TFT2)로부터 화소 전압을 인가받는다.Next, a first conductive material layer (not shown) is deposited on the passivation layer on which the
도 8을 참조하면, 상기 제1 전극(PE)이 형성된 베이스 기판 상에 절연막(IS)을 형성한다. 상기 절연막(IS)은 SiO2, TiO2 등의 무기막 재료를 CVD법, 코팅법, 스퍼터링법, 증착법 등에 의해 형성할 수 있다. 또한, 아크릴 수지, 폴리이미드 수 지 등의 유기막 재료를 이용하여 형성할 수도 있다. Referring to FIG. 8, an insulating film IS is formed on a base substrate on which the first electrode PE is formed. The insulating film IS may form an inorganic film material such as SiO 2 or TiO 2 by CVD, coating, sputtering, vapor deposition, or the like. Moreover, it can also form using organic film materials, such as an acrylic resin and polyimide resin.
다음으로, 상기 절연막(IS) 상에 제3 금속층(ML3)을 형성한다. 상기 제3 금속층(ML3)은 예를들어, 크롬, 알루미늄, 탄탈륨, 몰리브덴, 티타늄, 텅스텐, 구리, 은 등의 금속 또는 이들의 합금 등으로 형성될 수 있다. 다음으로, 상기 제3 금속층(ML3) 상에 포토레지스트막을 도포하고, 사진 공정으로 패터닝하여 상기 단위 화소(P)들간의 이격부에 대응하는 격자 형상의 포토레지스트 패턴(PR)을 형성한다. Next, a third metal layer ML3 is formed on the insulating film IS. The third metal layer ML3 may be formed of, for example, a metal such as chromium, aluminum, tantalum, molybdenum, titanium, tungsten, copper, silver, or an alloy thereof. Next, a photoresist film is coated on the third metal layer ML3 and patterned by a photo process to form a lattice-shaped photoresist pattern PR corresponding to the spaced portion between the unit pixels P.
이때, 상기 사진 공정에서는 슬릿 마스크 내지는 하프톤 마스크과 같이 영역별로 노광량을 조절할 수 있는 마스크를 이용하여 상기 포토레지스트막을 노광하고, 현상한다. 이에 따라, 상기 포토레지스트 패턴(PR)은 제1 두께(t1)의 제1 패턴부(P1)들 및 상기 제1 두께(t1)의 절반 가량의 두께인 제2 두께(t2)의 제2 패턴부(P2)들을 포함하도록 형성된다.In this case, the photoresist film is exposed and developed by using a mask that can adjust the exposure amount for each region, such as a slit mask or a halftone mask. Accordingly, the photoresist pattern PR may have a first pattern portion P1 having a first thickness t1 and a second pattern having a second thickness t2 which is about half the thickness of the first thickness t1. It is formed to include the portions P2.
상기 제1 패턴부(P1)는 일례로, 상기 제1 방향(X)으로 인접하는 단위 화소들의 이격부에 형성되며 상기 제2 방향(Y)으로 길게 연장된다. 상기 제2 패턴부(P2)들은 상기 제2 방향(Y)으로 인접하는 단위 화소(P)들의 이격부에 형성되며, 상기 제1 패턴부(P1)들 사이에서 상기 제1 방향(X)으로 연장된다.For example, the first pattern part P1 may be formed in a spaced portion of the unit pixels adjacent to each other in the first direction X and extend in the second direction Y. The second pattern portions P2 are formed in the separation portions of the unit pixels P adjacent to each other in the second direction Y, and are disposed in the first direction X between the first pattern portions P1. Is extended.
도 9를 참조하면, 상기 포토레지스트 패턴(PR) 사이로 노출된 상기 제3 금속층(ML3)을 제1 식각한다. 상기 제1 식각은 습식 식각 공정으로 진행되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 상기 절연막(IS) 상에는 상기 포토레지스트 패턴(PR)과 마찬가지로 격자 형상의 제3 금속층(ML3)이 잔류한다. 이때, 상기 습식 식각 공정에서는 상기 제3 금속층(ML3)이 등방성 식각되므로, 상기 제3 금속층(ML3)이 상기 포토레 지스트 패턴(PR)의 측면보다 일부 함입될 수 있다.Referring to FIG. 9, the third metal layer ML3 exposed through the photoresist pattern PR is first etched. The first etching may be performed by a wet etching process. Accordingly, similar to the photoresist pattern PR, a lattice-shaped third metal layer ML3 remains on the insulating layer IS. In this case, since the third metal layer ML3 is isotropically etched in the wet etching process, the third metal layer ML3 may be partially embedded in a side surface of the photoresist pattern PR.
도 9 및 도 10을 참조하면, 건식 식각 공정으로 상기 포토레지스트 패턴(PR) 사이로 노출된 상기 절연막(IS)을 식각한다. 한편, 상기 절연막(IS)을 식각하는 건식 식각 공정 중에는 플라즈마의 충돌에 의해 상기 포토레지스트 패턴(PR)도 소정 두께 식각된다. 9 and 10, the insulating layer IS exposed between the photoresist patterns PR is etched by a dry etching process. Meanwhile, during the dry etching process of etching the insulating layer IS, the photoresist pattern PR is also etched by a predetermined thickness due to the collision of plasma.
구체적으로, 상기 절연막(IS)을 식각 하는 건식 식각 공정은 상기 제2 두께(t2)의 제2 패턴부(P2)가 모두 제거되고 상기 제1 두께(t1)였던 제1 패턴부(P1)는 소정 두께로 잔류할 때까지 진행된다.In detail, in the dry etching process of etching the insulating layer IS, all of the second pattern portions P2 of the second thickness t2 are removed, and the first pattern portions P1 that were the first thickness t1 may be formed. It proceeds until it remains to a predetermined thickness.
이에 따라, 상기 베이스 기판(110) 상에는 상기 절연막(IS)을 식각하여 형성되며 상기 단위 화소(P)들의 이격부에 대응하는 격자 형상의 격벽(W)이 형성된다. 상기 격벽(W)에 의해 상기 단위 화소(P)들 내에는 입체 공간이 구획된다.As a result, a lattice-shaped partition wall W is formed on the
한편, 본 발명에서는 상기 격벽(W)을 별도의 포토레지스트 패턴(PR)을 이용한 사진-식각 공정으로 패터닝하므로, 상기 격벽(W)의 재질로서 감광성 물질을 사용하지 않을 수 있다. 이에 따라, 상기 격벽(W)의 재료 선택의 폭이 넓어지므로 유기막 만이 아닌 무기막도 사용할 수 있으며, 수분으로 인한 열화에 강한 재료를 선택할 수 있으므로 유기전계발광 표시장치의 수명을 향상시킬 수 있다. Meanwhile, in the present invention, since the partition W is patterned by a photo-etching process using a separate photoresist pattern PR, a photosensitive material may not be used as a material of the partition W. As a result, the material selection of the partition W becomes wider, so that not only an organic layer but also an inorganic layer may be used, and a material resistant to deterioration due to moisture may be selected, thereby improving the lifespan of the organic light emitting display device. .
도 10 및 도 11을 참조하면, 상기 제2 패턴부(P2)가 제거되어 노출된 제3 금속층(ML3)을 제2 식각한다. 상기 제2 식각 역시 습식 식각으로 진행되는 것이 바람직하다. Referring to FIGS. 10 and 11, the second metal layer ML3 exposed by removing the second pattern portion P2 is secondly etched. It is preferable that the second etching is also performed by wet etching.
이에 따라, 상기 격벽(W) 상에는 상기 제3 금속층(ML3)으로 이루어지며, 상 기 제1 방향(X)으로 인접한 단위 화소(P)들 사이에 형성되며 상기 제2 방향(Y)으로 길게 연장된 제1 더미패턴(DM1)이 형성된다. Accordingly, the partition wall W is formed of the third metal layer ML3, and is formed between the unit pixels P adjacent to each other in the first direction X and extends in the second direction Y. First dummy pattern DM1 is formed.
도 12를 참조하면, 건식 식각 공정으로 상기 격벽(W)을 일부 식각하여 상기 제1 더미패턴(DM1)의 폭보다 상기 제1 더미패턴(DM1) 하부에 형성된 격벽(W)의 폭을 감소시킨다. 이에 따라, 상기 제1 더미패턴(DM1)과 상기 제1 더미패턴(DM1) 하부에 형성된 격벽(W) 사이에는 상술한 폭 차이에 의해 언더 컷부(U)가 형성된다. Referring to FIG. 12, a portion of the partition wall W is etched by a dry etching process to reduce the width of the partition wall W formed under the first dummy pattern DM1 rather than the width of the first dummy pattern DM1. . Accordingly, the undercut portion U is formed between the first dummy pattern DM1 and the partition wall W formed under the first dummy pattern DM1 by the above-described width difference.
한편, 상기 건식 식각 공정중에는 잔류하는 상기 제1 패턴부(P1)도 일부 식각 될 수 있다. 상기 건식 식각 공정 중에 잔류하는 상기 제1 패턴부(P1)가 모두 제거되지 않을 경우, 상기 제1 패턴부(P1)을 제거하기 위한 별도의 스트립 공정을 진행한다. Meanwhile, the first pattern portion P1 remaining in the dry etching process may be partially etched. When all of the first pattern portion P1 remaining during the dry etching process is not removed, a separate strip process for removing the first pattern portion P1 is performed.
도 13을 참조하면, 상기 제1 더미패턴(DM1)이 형성된 베이스 기판(110) 상에 정공 주입층(151) 및 정공 수송층(152), 유기전계발광층(EL), 전자 수송층(153) 및 전자 주입층(154)을 순차적으로 형성한다. 상기 정공 주입층(151), 정공 수송층(152), 유기전계발광층(EL), 전자 수송층(153) 및 전자 주입층(154)은 잉크젯 장치를 이용하여 형성할 수도 있고, 증착 공정에 의하여 형성할 수도 있다. 한편, 상기 유기전계발광층(EL)을 형성한 후에는 상기 전자 수송층(153)을 형성하기 이전에 상기 단위 화소(P)에 대응하도록 상기 유기전계발광층(EL)을 패터닝하는 공정이 더 수행될 수 있다.Referring to FIG. 13, a
한편, 상기 정공 주입층(151), 정공 수송층(152), 유기전계발광층(EL), 전자 수송층(153) 및 전자 주입층(154)을 형성하는 공정에서, 상기 정공 주입층(151), 정공 수송층(152), 유기전계발광층(EL), 전자 수송층(153) 및 전자 주입층(154)은 상기 언더 컷부(U)에 의해 상기 제1 더미패턴(DM1) 상에 형성되는 영역과 상기 단위 화소(P) 내에 형성되는 영역이 물리적으로 분리된다. Meanwhile, in the process of forming the
도 14를 참조하면, 상기 전자 주입층(154)이 형성된 베이스 기판(110) 상에 제2 도전성 물질층을 증착한다. 상기 제2 도전성 물질층은 인듐 틴 옥사이드, 인듐 징크 옥사이드, 비정질 인듐 틴 옥사이드와 같은 투명한 재질로 형성될 수도 있고, 광을 반사시키는 금속 재질로 형성될 수도 있다. 상기 제1 전극(PE)이 금속재질로 형성될 경우 상기 제2 도전성 물질층은 투명한 재질로 형성하는 것이 바람직하다. 마찬가지로, 상기 제1 전극이 투명한 재질로 형성될 경우, 상기 제2 도전성 물질층은 금속재질로 형성하는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 14, a second conductive material layer is deposited on the
한편, 상기 제2 도전성 물질층을 형성하는 증착 공정 중에는 상기 언더 컷부(U)에 의해 상기 제1 더미패턴(DM1) 상에 형성되는 제2 도전성 물질층과 상기 단위 화소(P) 내에 형성되는 제2 도전성 물질층이 물리적, 전기적으로 분리된다. Meanwhile, during the deposition process of forming the second conductive material layer, a second conductive material layer formed on the first dummy pattern DM1 and the second pixel formed in the unit pixel P by the undercut portion U. 2 The layer of conductive material is physically and electrically separated.
이에 따라, 상기 제1 더미패턴(DM1) 상에는 제2 도전성 물질층으로 이루어지며 상기 제1 더미패턴(DM1)과 동일한 형상의 제2 더미패턴(DM2)이 형성된다. 또한, 상기 제2 방향(Y)으로 일렬로 나열된 단위 화소들 상에는 상기 제2 도전성 물질층으로 이루어지며 상기 제2 방향(Y)으로 길게 연장된 제2 전극(CE)이 형성된다. 상기 제2 전극(CE)은 상기 베이스 기판 상에 복수개 형성되며, 각각의 제2 전극(CE)들은 상기 제1 방향(X)으로 병렬로 나열된다. 상기 제2 더미패턴(DM)은 상기 제2 전극(CE)들 사이에 형성된다. Accordingly, a second dummy pattern DM2 formed of a second conductive material layer and having the same shape as the first dummy pattern DM1 is formed on the first dummy pattern DM1. In addition, a second electrode CE made of the second conductive material layer and extending in the second direction Y is formed on the unit pixels arranged in a row in the second direction Y. The plurality of second electrodes CE is formed on the base substrate, and each of the second electrodes CE is arranged in parallel in the first direction X. The second dummy pattern DM is formed between the second electrodes CE.
본 발명에 따르면, 상기 제2 전극(CE)들이 단위 화소(P)들의 열에 따라 분리 형성되므로 상기 제2 전극(CE)들 각각에 독립적으로 전원을 인가할 수 있다. 이때, 상기 제2 전극(CE)의 하부에는 동일한 색상의 유기전계발광층(EL)이 상기 제2 전극(CE)의 연장방향과 동일한 상기 제2 방향(Y)으로 나열되므로, 상기 유기전계발광층(EL)의 색상에 따라 상기 제2 전극(CE)들 각각에 인가되는 전원의 크기를 조절할 수 있다. According to the present invention, since the second electrodes CE are separately formed according to the columns of the unit pixels P, power may be independently applied to each of the second electrodes CE. In this case, since the organic light emitting layer EL having the same color is arranged in the second direction Y which is the same as the extending direction of the second electrode CE, the organic light emitting layer ( The size of the power applied to each of the second electrodes CE may be adjusted according to the color of the EL).
따라서, 유기전계발광층(EL)의 색상에 따라 상기 유기전계발광층(EL)의 발광 세기를 조절할 수 있으므로, 특정 색상의 휘도를 높거나 낮게 조절할 수 있다. 이에 따라, 영상의 표시 품질을 향상시킬 수 있다. Therefore, since the light emission intensity of the organic light emitting layer EL may be adjusted according to the color of the organic light emitting layer EL, the luminance of a specific color may be adjusted high or low. Accordingly, the display quality of the image can be improved.
또한, 유기전계발광층(EL)의 색상별 수명 차이에 따라 성능 저하가 발생할 경우, 성능 저하가 발생한 색상의 유기전계발광층(EL) 상에 형성된 제2 전극(CE)의 전원 세기를 별도로 조절하여 이와 같은 성능 저하를 보상할 수 있다. 이에 따라, 적색, 녹색, 청색 색상별 밸런스 유지가 가능하다. In addition, when the performance decreases according to the difference in lifespan of each organic electroluminescent layer EL, the power intensity of the second electrode CE formed on the organic electroluminescent layer EL of the color in which the performance is degraded is adjusted separately. The same performance degradation can be compensated for. Accordingly, it is possible to maintain a balance for each of the red, green, and blue colors.
도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치에 형성되는 구성요소 중 제2 전극, 제1 더미패턴 및 제2 더미패턴을 따로 분리하여 도시한 개략도이다. FIG. 15 is a schematic diagram separately illustrating a second electrode, a first dummy pattern, and a second dummy pattern among components formed in an organic light emitting display device according to another exemplary embodiment of the present invention.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치는 제2 전극(CE), 제1 더미패턴(DM1) 및 제2 더미패턴(DM2)을 제외하면 본 발명의 실시예와 동일한 구성을 가지므로 동일한 구성 요소에 대한 중복 설명은 생략하도록 한다. 또한, 동일한 구성 요소에는 동일한 도면 번호를 부여하도록 한다. An organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention has the same configuration as the embodiment of the present invention except for the second electrode CE, the first dummy pattern DM1, and the second dummy pattern DM2. Duplicate descriptions of the same components will be omitted. In addition, the same reference numerals are assigned to the same components.
도 2 및 도 15를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계발광 표시장치의 제2 전극(CE)은 게이트 라인(GL)이 연장된 방향과 동일한 제1 방향(X)으로 연장된 복수의 단위 화소(P)들을 커버하도록 길게 연장되며, 상기 제2 방향(Y)으로 나열된다. 2 and 15, the second electrode CE of the organic light emitting display device according to another exemplary embodiment extends in the same first direction X as the direction in which the gate line GL extends. It extends long to cover the plurality of unit pixels P and is arranged in the second direction Y.
상기 제1 더미패턴(DM1) 및 상기 제2 더미패턴(DM2)은 상기 제2 전극(CE)들 사이에서 상기 제1 방향(X)으로 연장된다. The first dummy pattern DM1 and the second dummy pattern DM2 extend in the first direction X between the second electrodes CE.
이에 따라, 게이트 라인(GL) 별로 상기 제2 전극(CE)들에 공급되는 전원을 조절할 수 있으므로, 유기전계발광소자(ELD)에 역의 바이어스(reverse bias)를 인가할 수 있다. 이에 따라, 유기전계발광소자(ELD)의 열화를 일정 수준 복구할 수 있으므로, 유기전계발광 표시장치의 수명을 향상시킬 수 있다. Accordingly, since the power supplied to the second electrodes CE may be adjusted for each gate line GL, a reverse bias may be applied to the organic light emitting diode ELD. Accordingly, since the degradation of the organic light emitting diode ELD can be restored to a certain level, the lifespan of the organic light emitting display device can be improved.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 유기전계발광소자의 제2 전극을 단위 화소들의 열에 따라 분리 형성할 수 있으므로, 제2 전극들 각각에 독립적으로 전원을 인가할 수 있다. 이에 따라, 제2 전극 하부에 형성된 유기전계발광층의 색상에 따라, 제2 전극에 인가하는 전원의 세기를 조절함으로써 특정 색상의 휘도를 높거나 낮게 조절할 수 있다. 이에 따라, 영상의 표시 품질을 향상시킬 수 있다. As described above, according to the present invention, since the second electrode of the organic light emitting diode may be separated according to the columns of the unit pixels, power may be independently applied to each of the second electrodes. Accordingly, according to the color of the organic light emitting layer formed under the second electrode, the intensity of the power applied to the second electrode may be adjusted to adjust the luminance of the specific color higher or lower. Accordingly, the display quality of the image can be improved.
또한, 유기전계발광층의 색상별 수명 차에 의해 특정 색상의 유기전계발광층에 성능 저하가 발생할 경우, 성능 저하가 발생한 유기전계발광층 상에 형성된 제2 전극의 전원 세기를 별도로 조절함으로써 이와 같은 성능 저하를 보상할 수 있다. In addition, when a performance degradation occurs in the organic light emitting layer of a specific color due to the color life difference of the organic light emitting layer, such performance degradation may be controlled by separately controlling the power intensity of the second electrode formed on the organic light emitting layer in which the performance decreases. You can compensate.
또한, 유기전계발광소자의 제2 전극을 단위 화소들의 열에 따라 분리 형성할 수 있으므로, 게이트 라인별로 제2 전극에 인가되는 전원을 별도로 공급할 수 있다. 이에 따라, 유기전계발광소자에 역의 바이어스(reverse bias)를 인가할 수 있으므로, 유기전계발광소자의 수명을 향상시킬 수 있다. In addition, since the second electrode of the organic light emitting diode may be separately formed according to the columns of the unit pixels, power applied to the second electrode may be separately provided for each gate line. Accordingly, since a reverse bias can be applied to the organic light emitting diode, the lifespan of the organic light emitting diode can be improved.
이상에서는 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to the embodiments, those skilled in the art can be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below. I can understand.
Claims (17)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020070021720A KR20080081562A (en) | 2007-03-06 | 2007-03-06 | Organic light emitting display device and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1020070021720A KR20080081562A (en) | 2007-03-06 | 2007-03-06 | Organic light emitting display device and manufacturing method thereof |
Publications (1)
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| KR (1) | KR20080081562A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140147590A (en) * | 2013-06-20 | 2014-12-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | Back palne of flat panel display and method for manufacturing the same |
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2007
- 2007-03-06 KR KR1020070021720A patent/KR20080081562A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20070306 |
|
| PG1501 | Laying open of application | ||
| PC1203 | Withdrawal of no request for examination | ||
| WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |