KR20080056845A - Nonvolatile Semiconductor Memory Device Reduces Erasing Stress and Erasing Time - Google Patents
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Abstract
본 발명은 소거 동작에 따른 전기적 스트레스와 소거 타임을 최소화 또는 줄일 수 있는 플래쉬 메모리 등과 같은 불휘발성 반도체 메모리를 개시한다. 본 발명에 따라, 메모리 셀 어레이를 구비한 불휘발성 반도체 메모리는, 상기 메모리 셀 어레이의 각 소거 블록단위로 이전의 소거 동작모드에서 최후의 소거전압으로서 인가되었던 소거전압에 관한 정보를 현재의 소거 동작모드에서 참조하여 소거를 행하는 소거 회로를 구비함에 의해, 종래의 소거 방식에 비해 메모리 셀 트랜지스터에 가해지는 전기적 스트레스와 소거 타임이 줄어드는 효과가 있다. 따라서, 불휘발성 반도체 메모리 장치의 소거 동작에 대한 신뢰성 특성 및 소거 성능이 개선되는 장점이 있다. The present invention discloses a nonvolatile semiconductor memory, such as a flash memory, which can minimize or reduce the electrical stress and erase time resulting from an erase operation. According to the present invention, a nonvolatile semiconductor memory having a memory cell array includes a current erase operation for information on an erase voltage that has been applied as a last erase voltage in a previous erase operation mode in each erase block unit of the memory cell array. By providing an erasing circuit for erasing with reference in the mode, the electrical stress and the erasing time applied to the memory cell transistor are reduced as compared with the conventional erasing method. Accordingly, there is an advantage in that the reliability characteristics and the erase performance of the erase operation of the nonvolatile semiconductor memory device are improved.
Description
도 1은 종래의 불휘발성 반도체 메모리의 소거 동작모드에서 소거전압의 인가레벨을 보여주는 도면1 is a diagram illustrating an application level of an erase voltage in an erase operation mode of a conventional nonvolatile semiconductor memory.
도 2는 도 1에 따른 소거 동작모드의 소거 동작 흐름도2 is a flowchart illustrating an erase operation of the erase operation mode according to FIG. 1.
도 3은 도 1에 따라 프로그램 및 소거 사이클의 증가에 따라 인가되는 전압 펄스의 증가를 보여주는 도면3 shows an increase in the voltage pulse applied with an increase in program and erase cycles according to FIG.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 불휘발성 반도체 메모리의 소거 동작모드에서 소거전압 인가방식을 보여주는 도면4 is a diagram illustrating an erase voltage application method in an erase operation mode of a nonvolatile semiconductor memory according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 5는 도 4에 따른 소거 동작모드의 소거 동작 흐름도5 is a flowchart illustrating an erase operation of the erase operation mode according to FIG. 4.
도 6은 도 4에 따라 스페어 비트 영역에 소거 전압에 관한 정보를 저장하는 것을 보여주는 도면6 is a diagram illustrating storing information regarding an erase voltage in a spare bit area according to FIG. 4.
도 7은 도 4에 따라 프로그램 및 소거 사이클의 증가에 따라 인가되는 전압 펄스의 증가를 보여주는 도면FIG. 7 shows an increase in the voltage pulse applied with an increase in program and erase cycles according to FIG.
본 발명은 불휘발성 반도체 메모리에 관한 것으로, 특히 플로팅 게이트에 전하를 주입하거나 방출하는 것에 의해 데이터를 저장하는 불휘발성 반도체 메모리에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
근래에 컴퓨터 등과 같은 정보처리 장치의 급속한 발전에 따라 정보처리 장치의 중요 부품으로서 채용되는 반도체 메모리 장치도 고속 동작화 및 대용량화되는 추세이다. In recent years, with the rapid development of information processing apparatuses such as computers, semiconductor memory devices employed as important components of information processing apparatuses have also become high-speed operation and large capacity.
통상적으로, 반도체 메모리 장치는 크게 휘발성 반도체 메모리 장치와 불휘발성 반도체 메모리 장치로 나뉘어진다. 휘발성 반도체 메모리 장치는 다시 다이나믹 랜덤 억세스 메모리(dynamic random access memory)와 스태틱 랜덤 억세스 메모리 (static random access memory)로 분류될 수 있다. 그러한 휘발성 반도체 메모리 장치는 읽고 쓰는 속도 면에서는 빠르지만 외부 전원 공급이 끊기면 메모리 셀에 저장된 내용이 사라져 버리게 되는 단점을 갖는다. 한편, 불휘발성 반도체 메모리 장치는 마스크 롬(mask read only memory: MROM), 프로그래머블 리드 온리 메모리(programmable read only memory:PROM), 소거 및 프로그램 가능한 리드 온리 메모리(erasable programmable read only memory:EPROM), 전기적으로 소거 및 프로그램 가능한 리드 온리 메모리(electrically erasable programmable read only memory:EEPROM) 등으로 분류된다. In general, semiconductor memory devices are largely divided into volatile semiconductor memory devices and nonvolatile semiconductor memory devices. Volatile semiconductor memory devices may be further classified into dynamic random access memory and static random access memory. Such a volatile semiconductor memory device is fast in terms of read and write speed, but has a disadvantage in that contents stored in a memory cell are lost when the external power supply is cut off. The nonvolatile semiconductor memory device may include a mask read only memory (MROM), a programmable read only memory (PROM), an erasable and programmable read only memory (EPROM), and an electrical device. And erasable programmable read only memory (EEPROM).
상기한 종류의 불휘발성 반도체 메모리 장치는 외부의 전원 공급이 중단되더라도 메모리 셀내에 그 내용을 영구적으로 보존할 수 있기 때문에 전원 공급의 여하에 관계없이 보존되어야 할 내용을 기억시키는데 주로 쓰여진다. 그렇지만, 상기 MROM, PROM, EPROM의 경우에는 일반 사용자들이 전자적 시스템을 통해 자체적으로 소거와 쓰기(또는 프로그램)를 행하는 작업이 자유롭지 않다. 즉, 온-보오드(on-board)상태에서 프로그램된 내용을 소거하거나 재프로그램 하는 것이 용이하지 않은 것이다. 이와는 달리, 상기 EEPROM의 경우에는 전기적으로 소거와 쓰기를 행하는 작업이 시스템 자체적으로 가능하므로 계속적인 내용 갱신이 필요한 시스템 프로그램 저장장치나 보조기억장치로의 응용이 지속적으로 확대되고 있는 실정이다. The nonvolatile semiconductor memory device of this kind is mainly used to store contents to be preserved regardless of the power supply since the contents can be permanently stored in the memory cell even when the external power supply is interrupted. However, in the case of the MROM, PROM, and EPROM, general users are not free to erase and write (or program) themselves through an electronic system. In other words, it is not easy to erase or reprogram the programmed contents on-board. On the other hand, in the case of the EEPROM, since the operation of electrically erasing and writing is possible by the system itself, the application to the system program storage device or the auxiliary memory device requiring continuous contents update is continuously expanding.
최근의 컴퓨터 또는 마이크로 프로세서에 의해 제어되는 여러 전자적 장치들은 고밀도의 전기적으로 소거 및 프로그램 가능한 상기 EEPROM의 개발을 더욱 요구하고 있는 것이다. 더우기, 디지털 카메라 등의 데이터 저장장치는 사이즈가 컴팩트할 것이 요구되며, 또한 휴대용 컴퓨터 또는 노트북 크기의 바테리 전원 컴퓨터 시스템에서 보조 메모리 장치로써 회전 자기 디스크를 가지는 하드 디스크 장치를 사용하는 것은 상대적으로 넓은 면적을 점유하기 때문에, 그러한 시스템의 설계자들은 보다 작은 면적을 점유하는 고밀도, 고성능의 EEPROM의 개발에 큰 흥미를 가진다. Many electronic devices controlled by modern computers or microprocessors have further demanded the development of high density electrically erasable and programmable EEPROMs. Moreover, data storage devices, such as digital cameras, are required to be compact in size, and the use of a hard disk device having a rotating magnetic disk as a secondary memory device as a secondary memory device in a portable computer or notebook-sized battery-powered computer system is also required. Designers of such systems are very interested in the development of high density, high performance EEPROMs that occupy smaller areas.
EEPROM 설계 및 제조기술이 진보됨에 따라 출현된 플래쉬 소거기능을 가지는 낸드타입 플래쉬(Flash) EEPROM은 통상의 EEPROM에 비해 집적도가 높아 대용량 보조기억장치로의 응용에 매우 유리하다. 상기 플래쉬 EEPROM은 단위 메모리 셀 어레 이 구성을 어떤 형태로 가지느냐에 따라 NAND 타입(type), NOR 타입, 또는 AND 타입으로 구별되는데, NAND 타입(type)이 NOR나 AND 타입에 비해 높은 집적도를 갖는다는 것은 본 분야에서 널리 알려져 있다. NAND-type flash EEPROMs with flash erase function, which have emerged with the advancement of EEPROM design and manufacturing technology, have a high degree of integration compared to conventional EEPROMs, which is very advantageous for application to large capacity auxiliary storage devices. The flash EEPROM is classified into a NAND type, a NOR type, or an AND type according to the type of a unit memory cell array configuration. The NAND type has a higher density than the NOR or AND type. It is widely known in the art.
통상적인 불휘발성 반도체 메모리 장치블록의 구성 및 메모리 셀 어레이내의 메모리 셀들에 대한 제조단면은 예를 들어, 2001년 9월 25일자로 미국에서 등록된 미국 특허번호 US 6,295,227호에 개시되어 있다. The construction of a conventional nonvolatile semiconductor memory device block and a cross-section of the memory cells in a memory cell array are disclosed, for example, in US Pat. No. US 6,295,227, registered September 25, 2001 in the United States.
상기 선행 특허에서 데이터 입출력 버퍼, 워드라인들을 선택하기 위한 로우 디코더, 컬럼 디코더, 컬럼 게이트, 메모리 셀 트랜지스터들의 입출력 데이터를 감지하고 저장하기 위해 센스앰프 회로, 부스팅 전압을 생성하는 부스터 회로, 메모리 장치의 동작을 제어하는 콘트롤 회로, 및 메모리 셀 어레이는 NAND 타입 EEPROM을 구성한다. In the above patent, a data input / output buffer, a row decoder for selecting word lines, a column decoder, a column gate, a sense amplifier circuit, a booster circuit for generating a boosting voltage for sensing and storing input / output data of memory cell transistors, and a memory device. The control circuit that controls the operation, and the memory cell array, constitute a NAND type EEPROM.
상기 메모리 셀 어레이는 낸드 셀 유닛(또는 셀 스트링)내의 메모리 셀 트랜지스터에 데이터를 주고 받기 위한 비트라인들과, 상기 비트라인들과 교차하며 상기 낸드 셀 유닛내의 메모리 셀 트랜지스터들 및 상기 선택 트랜지스터들의 게이트를 제어하기 위한 워드라인들을 포함한다. The memory cell array includes bit lines for transmitting and receiving data to memory cell transistors in a NAND cell unit (or cell string), gates of the memory cell transistors in the NAND cell unit and the select transistors while crossing the bit lines. It includes word lines for controlling the.
메모리 셀 어레이내에서, n타입 웰의 상부에 형성된 p타입 웰에 낸드 셀 유닛(NAND cell unit)이 형성된다. 하나의 스트링 단위을 이루는 낸드 셀 유닛은 드레인이 비트라인에 접속된 제1선택 트랜지스터(SST)와, 소오스가 공통소오스라인에 접속된 제2선택 트랜지스터(ST)와, 상기 제1선택 트랜지스터(SST)의 소오스와 상기 제2선택 트랜지스터(ST)의 드레인 사이에 채널들이 직렬로 접속된 16개 또는32의 메모리 트랜지스터들로 구성되어 있다. 낸드 셀 유닛을 구성하는 각각의 메모리 셀 트랜지스터는 그 소오스와 드레인 영역 사이의 채널 영역상에 게이트 산화막을 개재하여 형성된 플로팅 게이트와, 층간 절연막을 통하여 이 플로팅 게이트 상에 형성된 제어 게이트를 가지고 있다. 상기 플로팅 게이트(FG)에는 상기 콘트롤 게이트(CG)에 인가되는 프로그램 전압에 의해 프로그램 데이터로서 기능하는 전하가 축적된다. In a memory cell array, a NAND cell unit is formed in a p-type well formed on top of an n-type well. The NAND cell unit forming one string unit includes a first selection transistor SST having a drain connected to a bit line, a second selection transistor ST having a source connected to a common source line, and the first selection transistor SST. And 16 or 32 memory transistors connected in series between the source and the drain of the second selection transistor ST. Each memory cell transistor constituting the NAND cell unit has a floating gate formed on the channel region between its source and drain regions via a gate oxide film, and a control gate formed on the floating gate through an interlayer insulating film. Charges that function as program data are accumulated in the floating gate FG by a program voltage applied to the control gate CG.
NAND 타입 EEPROM의 동작 중 소거, 쓰기, 및 읽기 동작을 설명하면 다음과 같다. 소거와 프로그램(또는 쓰기)동작은 공지의 F-N터널링 전류(tunneling current)를 이용함으로써 달성된다. 예컨대, 소거 시에는 기판에 매우 높은 전위를 인가하고 상기 CG에 낮은 전위를 인가한다. 이 경우에 CG와 FG사이의 커패시턴스와 FG와 기판사이의 커패시턴스와의 커플링 비에 의해 결정된 전위가 상기 FG에 인가된다. 상기 FG에 인가된 플로팅 게이트 전압 Vfg와 기판에 인가된 기판전압 Vsub간의 전위차가 F-N 터널링을 일으킬 수 있는 전위차보다 크면 상기 FG에 모여 있던 전자들이 FG에서 기판으로 이동하게 된다. 이와 같은 동작이 일어나면 CG, FG와 소오스 및 드레인으로 구성된 메모리 셀 트랜지스터의 문턱전압 Vt가 낮아지게 된다. 상기 Vt가 충분히 낮아져서 CG와 소오스에 0 V를 인가하더라도 드레인에 적당히 높은 양의 전압을 가했을 때 전류가 흐르게 되면 우리는 이것을 "ERASE"되었다 라고 하고, 논리적으로(logically) "1" 로서 흔히 표시한다. The erase, write, and read operations of the NAND type EEPROM are described as follows. Erase and program (or write) operations are accomplished by using known F-N tunneling currents. For example, during erasing, a very high potential is applied to the substrate and a low potential is applied to the CG. In this case, a potential determined by the capacitance between CG and FG and the coupling ratio between the FG and the capacitance between the substrate is applied to the FG. If the potential difference between the floating gate voltage Vfg applied to the FG and the substrate voltage Vsub applied to the substrate is greater than the potential difference that may cause F-N tunneling, electrons collected in the FG move from the FG to the substrate. When such an operation occurs, the threshold voltage Vt of the memory cell transistor including CG, FG, source, and drain is lowered. Even when the Vt is sufficiently low and 0 V is applied to the CG and the source, when the current flows when a moderately high voltage is applied to the drain, we say that it is "ERASE" and logically denoted as "1". .
한편, 쓰기 시에는 소오스와 드레인에 0 V를 인가하고 CG에 매우 높은 전압을 인가하게 된다. 이 때 채널 영역엔 반전층(inversion layer)이 형성되면서 소오 스와 드레인이 모두 0 V의 전위를 갖게 된다. CG와 FG사이 그리고 FG와 채널 영역사이의 커패시턴스의 비에 의해 결정된 Vfg와 Vchannel (0 V)사이에 인가된 전위차가 F-N 터널링을 일으킬 수 있을 만큼 충분히 커지면 전자가 채널영역에서 FG로 이동하게 된다. 이 경우 Vt가 증가하게 되며 미리 설정한 양의 전압을 CG에 가하고 소오스에는 0 V를 가하고 드레인에 적당한 양의 전압을 가했을 때 전류가 흐르지 않게 되면 우리는 이것을 "PROGRAM" 되었다 라고 하고 논리적으로 "0" 으로 흔히 표시한다.On the other hand, during writing, 0 V is applied to the source and drain, and a very high voltage is applied to CG. At this time, an inversion layer is formed in the channel region so that both the source and the drain have a potential of 0V. If the potential difference applied between Vfg and Vchannel (0 V), determined by the ratio of capacitances between CG and FG and between the FG and channel regions, is large enough to cause F-N tunneling, electrons move from the channel region to FG. In this case, Vt increases, and if the current is not flowing when a preset positive voltage is applied to CG, 0 V is applied to the source, and a proper voltage is applied to the drain, we call it "PROGRAM." "Is often indicated.
상기 메모리 셀 어레이의 구성에서 페이지 단위는 하나의 워드라인에 콘트롤 게이트가 공통으로 연결된 메모리 셀 트랜지스터들을 말한다. 복수개의 메모리 셀 트랜지스터들을 포함하는 복수개의 페이지들은 셀 블록이라고 칭해지며, 하나의 셀 블럭의 단위는 통상적으로 비트라인 당 한개 또는 복수개의 셀 스트링들을 포함한다. 상기 한 낸드 플래쉬 메모리는 고속프로그래밍을 위하여 페이지 프로그램 모우드를 가지고 있다. 페이지 프로그램 동작은 데이터 로딩동작과 프로그램 동작으로 구성된다. 데이터 로딩동작은 입출력 단자들로부터 바이트 크기의 데이터를 순차적으로 데이터 레지스터들에 래치 및 저장하는 동작이다. 데이터 레지스터는 각 비트라인에 대응할 수 있게 제공되어 있다. 프로그램 동작은 상기 데이터 레지스터들에 저장된 데이터를 비트라인들을 통해 선택된 워드라인상의 메모리 트랜지스터들로 일시에 기입하는 동작이다. In the configuration of the memory cell array, a page unit refers to memory cell transistors in which a control gate is commonly connected to one word line. A plurality of pages including a plurality of memory cell transistors is called a cell block, and a unit of one cell block typically includes one or a plurality of cell strings per bit line. The NAND flash memory has a page program mode for high speed programming. The page program operation consists of a data loading operation and a program operation. The data loading operation sequentially latches and stores byte sized data from the input / output terminals in the data registers. Data registers are provided to correspond to each bit line. A program operation is an operation of temporarily writing data stored in the data registers into memory transistors on a selected word line through bit lines.
상기한 바와 같은 NAND 타입 EEPROM은 일반적으로 리드(read, 읽기), 프로그램(program, 쓰기)동작을 페이지 단위로 수행하고, 소거(erase)동작을 블록 단위로 수행한다. 실제적으로, 상기 메모리 셀 트랜지스터의 FG와 채널간에 전자가 이동되는 현상은 프로그램과 소거동작에서만 일어나며, 리드동작에서는 상기 동작들이 종료된 후 메모리 셀 트랜지스터에 저장된 데이터를 해침이 없이 그대로 읽기만 하는 동작이 일어난다.The NAND type EEPROM as described above generally performs read (read), program (write) operations in units of pages, and erase operations in units of blocks. In practice, the electron movement between the FG and the channel of the memory cell transistor occurs only in a program and erase operation, and in the read operation, an operation of only reading data stored in the memory cell transistor without harmless after the operations are terminated occurs. .
리드(read )동작에서 메모리 셀 트랜지스터의 비선택된 CG에는 선택된 메모리 셀 트랜지스터의 CG에 인가되는 전압(통상적으로 그라운드 전압)보다 더 높은 전압(통상적으로 리드전압)이 인가된다. 그러면 선택된 메모리 셀 트랜지스터의 프로그램 상태에 따라 대응되는 비트라인 상에는 전류가 흐르거나 흐르지 않게 된다. 정해진 전압조건에서 프로그램된 메모리 셀의 문턱전압(threshold voltage)이 기준치보다 높으면 그 메모리 셀은 오프셀(off-cell)로 판독되어 대응되는 비트라인 상에는 높은 레벨의 전압이 충전된다. 반대로, 프로그램된 메모리 셀의 문턱전압이 기준치보다 낮으면 그 메모리 셀은 온셀(on-cell)로 판독되어 해당하는 비트라인은 낮은 레벨로 방전된다. 이러한 비트라인의 상태는 상기 페이지 버퍼라고 불리우는 센스앰프를 통하여 "0" 이나 "1"로 최종적으로 판독되는 것이다.In a read operation, a voltage (typically a read voltage) higher than a voltage (usually a ground voltage) applied to the CG of the selected memory cell transistor is applied to the unselected CG of the memory cell transistor. Then, current may or may not flow on the corresponding bit line according to the program state of the selected memory cell transistor. If a threshold voltage of a programmed memory cell is higher than a reference value under a predetermined voltage condition, the memory cell is read off-cell and a high level voltage is charged on a corresponding bit line. On the contrary, if the threshold voltage of the programmed memory cell is lower than the reference value, the memory cell is read on-cell and the corresponding bit line is discharged to a low level. This bit line state is finally read as "0" or "1" through the sense amplifier called the page buffer.
상기한 바와 같은 불휘발성 반도체 메모리에서, 소거 동작모드에서 종래의 소거전압의 인가방식은 도 1에서 보여진다. In the nonvolatile semiconductor memory as described above, the conventional method of applying the erase voltage in the erase operation mode is shown in FIG.
도 1은 종래의 불휘발성 반도체 메모리의 소거 동작모드에서 소거전압의 인가레벨을 보여주는 도면이다. 또한, 도 2는 도 1에 따른 소거 동작모드의 소거 동작 흐름도이고, 도 3은 도 1에 따라 프로그램 및 소거 사이클의 증가에 따라 인가되는 전압 펄스의 증가를 보여주는 도면이다. 1 is a view illustrating an application level of an erase voltage in an erase operation mode of a conventional nonvolatile semiconductor memory. 2 is a flowchart illustrating an erase operation of the erase operation mode according to FIG. 1, and FIG. 3 is a diagram illustrating an increase in a voltage pulse applied according to an increase in a program and an erase cycle according to FIG. 1.
도 1을 참조하면, 첫 번째 소거 동작 사이클 #1에서 미리 설정된 초기 소거전압이 레벨(L1)만큼 인가되고, 해당 소거 블록에 대한 소거가 성공되었는지를 검증하는 베리파이가 실시된다. 상기 초기 소거전압의 인가에 의해 선택된 메모리 셀 트랜지스터의 문턱전압이 약 -3V가 되어야 정상적이라고 하면, -2V 로 판명되어 오차범위를 벗어난 경우에 베리파이 결과는 실패가 된다. 여기서, 상기 소거 전압의 초기(Initial)전압은 메모리 제조 후에, 레이저 커팅이나 전기적 블로잉 가능한 퓨즈(Fuse)에 의해 결정될 수 있다. Referring to FIG. 1, in the first erase
따라서, 두 번째 소거 동작 사이클 #2이 베리파이 실패한 소거 블록에 대하여 진행된다. 두 번째 사이클 #2에서는 상기 소거전압 레벨(L1)보다 소정레벨(△VISEP)만큼 증가된 전압(L2)이 소거전압으로서 인가된다. 상기한 전압은 고전압 펌프에서 제공된 것이다. 상기 두 번째 사이클 #2의 수행결과 베리파이가 실패하였다면, 세 번째 소거 동작 사이클 #3이 실시된다. 세 번째 소거 동작 사이클 #3의 경우에도 상기 전압(L2)보다 한단계 증가된 전압(L3)가 인가된다. 이와 같이, 베리파이 실패가 거듭될수록 이후에 인가되는 소거 전압의 레벨도 점차로 높아지는 것을 알 수 있다. Thus, the second erase
결국, 종래의 소거 동작에 있어서도 프로그램 동작의 프로그램 전압 인가방식과 동일하게, 복수 사이클의 소거 전압 인가동작과 복수 사이클의 소거 베리파이(Erase Verify)동작이 있게 됨을 알 수 있으며, 상기한 설명을 플로우챠트로서 나타낸 도 2와 같이 소거 동작 시퀀스(Sequence)가 소거동작의 구현을 위해 수행된다. As a result, in the conventional erasing operation, similarly to the program voltage application method of the program operation, the erase voltage application operation of multiple cycles and the erase verify operation of multiple cycles are performed. An erase operation sequence is performed to implement the erase operation as shown in FIG. 2 as a chart.
즉, 도 2를 참조하면, 블록 소거 코멘드를 S20단계에서 받으면, S21단계에서 초기 소거 전압 및 횟수를 설정하고, S22단계에서 소거전압을 인가하여 블록단위의 소거를 진행한다. S23단계에서 베리파이를 실시하고, S24단계의 베리파이 체크결과 성공이면 소거동작을 종료한다. 그러나, S24단계에서 실패이면 S25단계에서 횟수를 1증가시키고, S26단계로 이행한다. 상기 S26단계는 초기 소거전압에서 소정 단위 스텝 전압을 증가시킨 전압을 다음 사이클에서의 소거전압으로서 결정하는 단계이다. 상기 S26단계의 수행이 완료되면 S22단계가 다시 시작되어 다음 사이클에서의 소거전압 인가 및 소거 베리파이가 실시된다. That is, referring to FIG. 2, when the block erase command is received in step S20, an initial erase voltage and the number of times are set in step S21, and the erase voltage is applied in block S22 by applying an erase voltage in step S22. Verify is performed in step S23, and the erase operation is terminated if the result of the verify check in step S24 is successful. However, if it fails in step S24, the number is increased by one in step S25, and the process proceeds to step S26. In step S26, the voltage of which the predetermined unit step voltage is increased from the initial erase voltage is determined as the erase voltage in the next cycle. When the execution of the step S26 is completed, the step S22 is restarted to apply the erase voltage and the erase verifier in the next cycle.
가로축(X)을 사이클링 수로, 세로축(Y)을 소거 전압으로 표시한 도 3에서와 같이, 메모리 디바이스의 P/E(프로그램/소거) 사이클링(Cycling)이 진행됨에 따라, 메모리 셀내의 전자 트랩(Electron Trap)발생도 증가하기 때문에, 메모리 셀을 일정한 소거 문턱전압(Erase Vth) 이하의 전압으로 낮추어야 하는 소거 동작에서 인가되어야 하는 소거 전압은 증가될 것이 요구된다. 그러므로, 소거 동작에 걸리는 소거 타임도 증가되어진다. As shown in FIG. 3 in which the horizontal axis X is represented by the cycling number and the vertical axis Y is represented by the erase voltage, the P / E (program / erase) cycling of the memory device proceeds. Since the occurrence of electron traps also increases, the erase voltage that must be applied in an erase operation in which the memory cell must be lowered to a voltage below a certain erase threshold voltage (Erase Vth) is required to be increased. Therefore, the erase time required for the erase operation is also increased.
결국, 종래의 경우에는, 설정된 초거 소거 전압을 인가하여 베리파이가 실패할 경우, 초기 소거 전압으로부터 소정의 전압 (ΔVISEP : Incremental Step Erase Pulse)만큼을 증가시킨 소거 전압을 추가로 다시 인가하여 다시 베리파이 동작을 수행하여왔다. 이와 같은 동작으로, 도 3에서와 같이, P/E 사이클링이 증가될수록 인가되는 소거 전압펄스의 횟수도 증가하게 되는 것이다. As a result, in the conventional case, when VeriFi fails by applying the set super erase voltage, the erase voltage which is increased by a predetermined voltage (ΔVISEP: Incremental Step Erase Pulse) from the initial erase voltage is additionally applied again. Pi has been performing the action. In this manner, as shown in FIG. 3, as the P / E cycling increases, the number of erase voltage pulses applied increases.
상기한 바와 같은 종래의 소거동작에 대한 문제점은 다음과 같다. The problem with the conventional erase operation as described above is as follows.
첫째로, P/E 사이클링의 증가에 따른 소거 펄스의 횟수증가로 인해 메모리 셀 트랜지스터가 받게 되는 전기적 스트레스가 증가하게 된다. 결국, 메모리 셀의 신뢰성 특성이 열화되는 문제점을 초래한다. First, an increase in the number of erase pulses due to an increase in P / E cycling causes an increase in electrical stress applied to the memory cell transistor. As a result, the reliability characteristics of the memory cells are deteriorated.
둘째로, 소거 타임의 증가 문제가 발생하는 것이다. 결국, 소거 타임의 증가는 반도체 메모리 장치의 성능저하를 야기하는 요인이 된다.Second, there is a problem of increasing erase time. As a result, an increase in erase time becomes a factor causing performance degradation of the semiconductor memory device.
따라서, 불휘발성 반도체 메모리의 소거 동작모드에서 메모리 셀 트랜지스터가 받게 되는 소거 전압 스트레스를 줄이고 소거 타임도 줄일 수 있는 확실한 대책이 본 분야에서 요망되는 실정이다. Accordingly, there is a need in the art for certain measures to reduce the erase voltage stress and the erase time that a memory cell transistor receives in an erase operation mode of a nonvolatile semiconductor memory.
따라서, 본 발명의 목적은 종래 기술의 문제점을 극복할 수 있는 불휘발성 반도체 메모리를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a nonvolatile semiconductor memory that can overcome the problems of the prior art.
본 발명의 다른 목적은 소거 동작에 따른 전기적 스트레스를 최소화 또는 줄일 수 있는 불휘발성 반도체 메모리를 제공함에 있다. Another object of the present invention is to provide a nonvolatile semiconductor memory capable of minimizing or reducing electrical stress caused by an erase operation.
본 발명의 또 다른 목적은 소거 동작모드에서 소거에 걸리는 소거 타임을 최소화 또는 줄일 수 있는 플래쉬 메모리 등과 같은 불휘발성 반도체 메모리에서의 소거동작 수행방법을 제공함에 있다. It is still another object of the present invention to provide a method of performing an erase operation in a nonvolatile semiconductor memory such as a flash memory capable of minimizing or reducing an erase time required for erase in an erase operation mode.
상기한 기술적 과제들을 달성하기 위한 본 발명의 양상(aspect)에 따른 불휘발성 반도체 메모리는, 상기 메모리 셀 어레이의 각 소거 블록단위로 이전의 소거 동작모드에서 최후의 소거전압으로서 인가되었던 소거전압에 관한 정보를 현재의 소거 동작모드에서 참조하여 소거를 행하는 소거 회로를 구비한다.A nonvolatile semiconductor memory according to an aspect of the present invention for achieving the above technical problem relates to an erase voltage applied as a last erase voltage in a previous erase operation mode in each erase block unit of the memory cell array. And an erase circuit for erasing by referring to the information in the current erase operation mode.
바람직하기로, 상기 소거전압에 관한 정보는 상기 각 소거 블록의 스페어 셀 영역에 저장될 수 있으며, 상기 최후의 소거전압으로서 인가되었던 소거전압은 소거 베리파이 패스를 초래한 소거 전압이다. 상기 소거회로는 바람직하기로, 상기 각 소거 블록의 스페어 셀 영역에 저장된 정보를 참조하여, 상기 최후의 소거전압을 현재의 소거 동작모드에서 최초 소거전압으로서 인가되도록 할 수 있다. 사안이 다른 경우에, 상기 소거회로는, 상기 각 소거 블록의 스페어 셀 영역에 저장된 정보를 참조하여, 상기 최후의 소거전압보다 한 단계 낮거나 높은 전압을 현재의 소거 동작모드에서 최초 소거전압으로서 인가되도록 할 수 있다. Preferably, the information about the erase voltage can be stored in the spare cell area of each erase block, and the erase voltage that was applied as the last erase voltage is the erase voltage that caused the erase verification pass. The erase circuit may be configured to apply the last erase voltage as the first erase voltage in the current erase operation mode by referring to information stored in the spare cell area of each erase block. If the matter is different, the erase circuit applies a voltage one step lower or higher than the last erase voltage as the first erase voltage in the current erase operation mode by referring to the information stored in the spare cell area of each erase block. You can do that.
본 발명의 다른 양상에 따라, 메모리 셀 어레이를 구비한 불휘발성 반도체 메모리에서의 소거동작 수행방법은,According to another aspect of the invention, a method of performing an erase operation in a nonvolatile semiconductor memory having a memory cell array,
제1 소거동작 모드에서 메모리 셀 어레이의 소거 블록단위로 초기 소거전압을 인가하고 소거 베리파이를 실행하는 단계와;Applying an initial erase voltage in units of erase blocks of a memory cell array in a first erase operation mode and executing erase verification;
상기 소거 베리파이의 실패시 상기 초기 소거전압에서 소정 레벨 단계만큼 점차적으로 증가시킨 전압을 인가하고 그 때마다 소거 베리파이를 실행하는 단계와;Applying a voltage gradually increased from the initial erase voltage by a predetermined level when the erase verifier fails, and performing an erase verifier every time;
상기 소거 베리파이의 성공시 그 베리파이의 성공단계에서 인가되었던 소거 전압에 대한 정보를 상기 소거 블록단위로 저장하는 단계와;Storing information on the erase voltage applied in the success step of the verify in the erase block unit upon success of the erase verify;
상기 제1 소거동작 모드의 종료 이후에 행해지는 제2 소거동작 모드에서, 상기 저장된 소거전압에 관한 정보를 리드하고 현재 인가해야할 소거전압을 결정하는 단계와;In a second erase operation mode performed after the end of the first erase operation mode, reading information on the stored erase voltage and determining an erase voltage to be currently applied;
상기 결정된 소거전압을 메모리 셀 어레이의 소거 블록단위로 새로운 초기 소거전압으로서 인가하는 단계를 가진다. And applying the determined erase voltage as a new initial erase voltage in units of erase blocks of a memory cell array.
상기한 본 발명의 장치적 방법적 구성에 따르면, 종래의 소거 방식에 비해 메모리 셀 트랜지스터에 가해지는 전기적 스트레스와 소거 타임이 줄어드는 효과가 있다. 따라서, 불휘발성 반도체 메모리 장치의 소거 동작에 대한 신뢰성 특성 및 소거 성능이 개선되는 장점이 있다. According to the device method configuration of the present invention described above, the electrical stress and the erase time applied to the memory cell transistors are reduced compared to the conventional erase method. Accordingly, there is an advantage in that the reliability characteristics and the erase performance of the erase operation of the nonvolatile semiconductor memory device are improved.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시 예가, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서, 본 발명의 철저한 이해를 제공할 의도 외에는 다른 의도 없이, 도 4 내지 도 7을 참조로 설명되어질 것이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 7 without any intention other than to provide a thorough understanding of the present invention by those skilled in the art. .
먼저, 종래의 소거 방식에 비해 메모리 셀 트랜지스터에 가해지는 전기적 스트레스(Stress)와 소거 타임(Erase Time)을 줄이기 위해, 본 발명의 경우에는 메모리 셀 어레이의 각 소거 블록단위로 이전의 소거 동작모드에서 최후의 소거전압으로서 인가되었던 소거전압에 관한 정보를 현재의 소거 동작모드에서 참조하여 소거를 행하는 소거 회로를 구비한다. First, in order to reduce the electrical stress and erasure time applied to the memory cell transistors compared to the conventional erasing method, in the case of the present invention, each erase block of the memory cell array is used in the previous erase operation mode. And an erase circuit for performing erasure by referring to information on the erase voltage that has been applied as the last erase voltage in the current erase operation mode.
상기 소거 회로는 소거 동작 모드에서 소거 블록(Erase Block)별 최적화된 소거 전압(Erase Voltage)을 설정할 수 있는 비트(Bit)정보를 참조하여, 선택된 블록에 대응되는 소거 전압을 인가한다. 결국, 메모리 셀의 신뢰성 특성 및 소거 성 능을 개선하는 이점이 본 발명을 통해 이루어진다. The erase circuit applies an erase voltage corresponding to the selected block with reference to bit information for setting an optimized erase voltage for each erase block in an erase operation mode. As a result, an advantage of improving reliability characteristics and erase performance of the memory cell is achieved through the present invention.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 불휘발성 반도체 메모리의 소거 동작모드에서 소거전압 인가방식을 보여주는 도면이다. 또한, 도 5는 도 4에 따른 소거 동작모드의 소거 동작 흐름도이다. 그리고, 도 6은 도 4에 따라 스페어 비트 영역에 소거 전압에 관한 정보를 저장하는 것을 보여주는 도면이며, 도 7은 도 4에 따라 프로그램 및 소거 사이클의 증가에 따라 인가되는 전압 펄스의 증가를 보여주는 도면이다. 4 is a diagram illustrating an erase voltage application method in an erase operation mode of a nonvolatile semiconductor memory according to an exemplary embodiment of the present invention. 5 is a flowchart of an erase operation of the erase operation mode according to FIG. 4. FIG. 6 is a diagram illustrating storing information about an erase voltage in a spare bit area according to FIG. 4, and FIG. 7 is a diagram illustrating an increase of a voltage pulse applied according to an increase in program and erase cycles according to FIG. 4. to be.
먼저, 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 소거전압 인가방식이 잘 나타나 있다. 어떤 소거 블록에 대하여 처음으로 소거동작이 진행될 경우 즉, 초기상태에서는 종래의 소거전압 인가방식과 동일하게, 초기 소거전압이 인가되고 베리파이가 실시된다. 화살부호 AR1과 같이 베리파이가 실패이면 다시 일정레벨(△VISEP) 만큼 증가시킨 전압을 다음 사이클의 소거전압으로 인가하고 베리파이를 실시한다. 결국, 1회의 소거전압 인가로 소거 베리파이가 실패할 경우, 소정의 전압 ΔVISEP 만큼을 누적적으로 증가시켜 베리파이가 성공할 때 까지 소거동작을 수행하는 것이다. 이와 같은 방식으로 하여, 어떤 사이클에서 베리파이가 성공되었다면, 이 때 사용한 소거 전압에 관한 정보를 소거된 블록에 대응하여 메모리 셀 어레이의 스페어 영역에 저장한다.First, referring to FIG. 4, the erase voltage application method according to the present invention is well illustrated. When the erase operation is performed for a certain erase block for the first time, that is, in the initial state, the initial erase voltage is applied and the verification is performed in the same manner as the conventional erase voltage application method. As shown by arrow AR1, if Verify is unsuccessful, a voltage increased by a predetermined level (ΔVISEP) is applied as the erase voltage of the next cycle and Verify is performed. As a result, when the erase verifier fails due to one erase voltage application, the erase operation is cumulatively increased by a predetermined voltage ΔVISEP and the erase operation is performed until the successful verification. In this way, if the verification is successful in a cycle, information about the erase voltage used at this time is stored in the spare area of the memory cell array corresponding to the erased block.
소거 베리파이가 성공된 이후에, 프로그램 및 리드동작을 거친 후 다음의 소거 동작이 다시 진행되는 경우에, 이제는 더 이상 퓨즈 등에 의해 미리 설정된 초기 소거전압이 인가되지 않는다. 즉, 이제부터는 이전의 소거 동작모드에서 최후의 소거전압으로서 인가되었던 소거전압에 관한 정보를 참조(혹은 리드)하여 현재의 소거 동작모드에서는 한번에 소거 베리파이가 성공될 수 있도록 하는 소거전압을 다이렉트로 인가하는 것이다. 매우 중요하게 때문에, 다시 강조하면, 두 번째 소거동작 모드의 도래 이후 부터는 한방에 소거 베리파이의 성공을 가져올 수 있는 그러한 소거 전압을 처음부터 인가하는 것이다. 결국, 이러한 스킴은 소거 타임을 확실하게 단축하고, 선택된 메모리 셀 트랜지스터들이 받게 되는 소거 전압 스트레스를 경감해준다. After the erase verification is successful, in the case where the next erase operation is performed again after the program and read operations, the initial erase voltage preset by the fuse or the like is no longer applied. That is, from now on, the erase voltage is directly referenced to (or read) information about the erase voltage applied as the last erase voltage in the previous erase operation mode so that the erase verification can be successful at one time in the current erase operation mode. It is authorized. Because of great importance, it is emphasized again that after the arrival of the second erase mode of operation, such an erase voltage is applied from the beginning, which can bring the success of the erase verifier in one shot. As a result, this scheme significantly shortens the erase time and reduces the erase voltage stress that the selected memory cell transistors are subjected to.
도 4의 화살부호 AR2를 따라 가면, 다음 소거 동작에서는 새롭게 보정된 소거 전압이 최초의 사이클에서 바로 인가되는 것이 나타나 있다. 여태까지의 설명을 이해한 자에게 있어서는 더 이상의 설명은 첨족이 될 수도 있을 것이지만, 본 발명에 대한 보다 철저한 이해를 도모하기 위하여 도 5 이하의 설명이 계속될 것이다. Following arrow AR2 of FIG. 4, it is shown that in the next erase operation, the newly corrected erase voltage is applied immediately in the first cycle. For those who understand the description so far, further explanation may be pointed out, but the description of FIG. 5 will be continued in order to provide a more thorough understanding of the present invention.
도 5를 참조하면, 본 발명의 고유한 기술적 사상에 따라 불필요한 소거 펄스의 인가 및 시간을 줄이기 위하여, 소거 블록에 저장해 둔 소거 전압에 관한 정보를 읽고 바로 이전의 소거시에 사용된 소거 전압 또는 그 전압을 근거로 새롭게 디파인한 소거 전압을 사용하여 현재의 소거동작을 행하는 시퀀스가 S50단계 내지 S59단계로서 나타나 있다. Referring to FIG. 5, in order to reduce an application and time of an unnecessary erase pulse according to an inherent technical concept of the present invention, an erase voltage used for reading the information about the erase voltage stored in the erase block and immediately before erasing, or the like. A sequence of performing the current erase operation using the newly defined erase voltage based on the voltage is shown as steps S50 to S59.
도 5의 S52단계의 소거 전압을 인가하기 전, 이전 소거 전압의 정보를 나타내는 과거 소거 값인 m 값(value)를 S51단계에서 먼저 리드하게 된다. 처음의 소거동작 모드에서는 과거 소거 값이 저장되어 있지 않으므로, m값은 0이된다. 결국, 초기 소거전압은 퓨즈에 의해 설정된 소거 전압 레벨이 된다. 결국, 제1 소거동작 모드에서는 메모리 셀 어레이의 소거 블록단위로 초기 소거전압을 S53단계에서 인가하고 S54단계에서 소거 베리파이를 실행한다. 상기 소거 베리파이의 실패시(S55단계), S58 단계 및 S59단계를 실행하여 상기 초기 소거전압에서 소정 레벨 단계만큼 점차적으로 증가시킨 전압을 인가하고 그 때마다 소거 베리파이를 실행하게 된다. 이후에 S55단계에서, 상기 소거 베리파이의 성공시 그 베리파이의 성공단계에서 인가되었던 소거 전압에 대한 정보를 상기 소거 블록단위로 저장 및 갱신하는 S56단계 및 S57단계가 실행된다. Before applying the erase voltage of step S52 of FIG. 5, an m value, which is a past erase value representing information of a previous erase voltage, is first read in step S51. In the first erasing operation mode, since the past erasing value is not stored, the m value becomes zero. As a result, the initial erase voltage becomes the erase voltage level set by the fuse. As a result, in the first erase operation mode, an initial erase voltage is applied in units of erase blocks of the memory cell array in step S53, and erase erase is performed in step S54. When the erase verifier fails (step S55), steps S58 and S59 are executed to apply a voltage gradually increased from the initial erase voltage by a predetermined level step, and erase erase is performed every time. Subsequently, in step S55, steps S56 and S57 are executed to store and update information on the erase voltage applied in the erase block in the erase block unit upon success of the erase verifier.
상기 제1 소거동작 모드의 종료 이후에 행해지는 제2 소거동작 모드에서, 상기 저장된 소거전압에 관한 정보는 S51단계에서 리드되고 현재 인가해야할 소거전압은 S52단계에서 결정된다. S53단계에서 상기 결정된 소거전압을 메모리 셀 어레이의 소거 블록단위로 초기 소거전압으로서 인가하고 소거 베리파이를 S54단계에서 실행한다. S55단계에서 상기 소거 베리파이의 실패시에는 상기 초기 소거전압에서 소정 레벨 단계만큼 점차적으로 증가시킨 전압을 인가하고 그 때마다 소거 베리파이를 실행하는 단계들(S58,S59단계)이 실시된다. 그러나, 상기 소거 베리파이의 성공시에는 이전에 저장된 상기 정보를 베리파이의 성공단계에서 인가되었던 소거 전압에 대한 정보로 갱신하는 단계(S57단계)가 수행된다. In the second erase operation mode performed after the end of the first erase operation mode, the information on the stored erase voltage is read in step S51 and the erase voltage to be applied currently is determined in step S52. In operation S53, the determined erase voltage is applied as an initial erase voltage in units of erase blocks of the memory cell array, and an erase verifier is executed in step S54. In the case where the erase verifier fails in step S55, steps (S58 and S59) are performed to apply a voltage gradually increased from the initial erase voltage by a predetermined level step and perform an erase verifier every time. However, upon the success of the erase verifier, a step (S57) of updating the previously stored information with information on the erase voltage applied in the success stage of the verify is performed.
결국, 소거 베리파이 결과가 일단 성공으로 종료되면, 그 때의 m value를 각 소거 블록(Erase Block)마다 대응적으로 저장하여 두고, 다음 소거동작 모드에서는 그 저장된 정보를 참조로 베리파이가 한번에 성공될 수 있는 전압이 소거전압으로서 인가된다. As a result, once the erase verifier result is successful, the m value at that time is stored correspondingly for each erase block, and in the next erase operation mode, the verifier succeeds at once with reference to the stored information. A voltage that can be applied is applied as the erase voltage.
상기의 m value 를 저장하는 방법 예로서, 도 6에서 보여지는 바와 같이 메모리 셀 어레이를 구성하는 각 블록(Block)의 스페어 비트(spare Bit)에 저장하는 방법이 있을 수 있다. 참조부호 60은 매 블록에 대한 최적 소거전압이 스페어 비트 영역에 세트되는 것을 나타내고 있다. As an example of a method of storing the m value, there may be a method of storing the spare value of each block constituting the memory cell array as shown in FIG. 6.
본 발명의 효과는 다음과 같다. The effects of the present invention are as follows.
본 발명의 기술을 사용함으로써, 도 3과 대조되는 도 7에서 보여지는 바와 같이 소거 펄스가 기본적으로 1 회씩만 인가되기 때문에, 메모리 셀에 가해지는 전압 스트레스가 연속적이 아닌 단발식 이므로 소거 동작시에 받는 메모리 셀 트랜지스터의 전압 스트레스가 크게 줄어든다. 결국, 메모리 셀의 신뢰성특성이 향상되는 장점이 있다. 그리고, 소거 동작에서의 소거 타임이 단축되면서도 일정한 타임을 평균적으로 유지할 수 있다. 따라서, 낸드 플래시 메모리의 성능개선이 이루어진다. By using the technique of the present invention, since the erase pulse is basically applied only once, as shown in FIG. 7 as opposed to FIG. 3, since the voltage stress applied to the memory cell is not continuous, The voltage stress of the memory cell transistors is greatly reduced. As a result, the reliability characteristics of the memory cell are improved. And while the erase time in the erase operation is shortened, a constant time can be maintained on average. Thus, the performance of the NAND flash memory is improved.
한편, 입력 어드레스에 대응되는 노말 메모리 셀들을 선택하고 선택된 노말 메모리 셀들로부터 데이터를 소거 전압을 인가하여 소거하는 소거회로는, 데이터 입출력 버퍼, 로우 디코더, 컬럼 디코더, 컬럼 게이트, 고전압 발생 회로, 및 콘트롤 회로를 포함하여 이루어진다. Meanwhile, an erase circuit for selecting normal memory cells corresponding to an input address and erasing data by applying an erase voltage from the selected normal memory cells includes a data input / output buffer, a row decoder, a column decoder, a column gate, a high voltage generation circuit, and a control. It consists of a circuit.
상기한 실시 예에서의 설명은 본 발명의 더욱 철저한 이해를 위하여 도면을 참조로 예를 든 것에 불과하므로, 본 발명을 한정하는 의미로 해석되어서는 안될 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 본 발명의 기본적 원리를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 변경이 가능함은 명백하다 할 것이다. 예컨대, 사안이 다른 경우에 후기 소거동작 사이클에서 인가되는 초기 소거전압의 레벨을 다르게 설정하거나, 소거회로의 구성이나 동작을 다르게 변경할 수 있음은 물론이다. The description in the above embodiments is only given by way of example with reference to the drawings for a more thorough understanding of the present invention, it should not be construed as limiting the present invention. In addition, it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the basic principles of the present invention. For example, when the case is different, the level of the initial erase voltage applied in the late erase operation cycle may be set differently, or the configuration or operation of the erase circuit may be changed differently.
상기한 바와 같은 본 발명의 불휘발성 반도체 메모리 및 소거동작 방법에 따르면, 상기 메모리 셀 어레이의 각 소거 블록단위로 이전의 소거 동작모드에서 최후의 소거전압으로서 인가되었던 소거전압에 관한 정보를 현재의 소거 동작모드에서 참조하여 소거를 행하는 소거 회로를 구비하기 때문에, 종래의 소거 방식에 비해 메모리 셀 트랜지스터에 가해지는 전기적 스트레스와 소거 타임이 줄어드는 효과가 있다. 따라서, 불휘발성 반도체 메모리 장치의 소거 동작에 대한 신뢰성 특성 및 소거 성능이 개선되는 이점이 있다. According to the nonvolatile semiconductor memory and the erase operation method of the present invention as described above, information about the erase voltage that has been applied as the last erase voltage in the previous erase operation mode in each erase block unit of the memory cell array may be erased. Since an erase circuit for performing an erase with reference in the operation mode is provided, an electrical stress and an erase time applied to the memory cell transistor are reduced as compared with the conventional erase scheme. Therefore, there is an advantage in that the reliability characteristics and the erase performance of the erase operation of the nonvolatile semiconductor memory device are improved.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20061219 |
|
| PG1501 | Laying open of application | ||
| PC1203 | Withdrawal of no request for examination | ||
| WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |