KR20080026644A - 집적패널과 유체장치와의 접속구조 - Google Patents

Abstract

체결증대를 거의 행하지않고도 양호한 밀봉성이 유지될 수 있슴과 동시에 그 조립작업성도 개선되는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공한다.

집적패널(1)과 밸브(2)를 환상가스켓(G)을 사용해서 단일의 원관형상의 유체통로(3)(7)를 밀봉상태로 연통접속하는데 있어서, 제1 및제2유체급배구부(1A)(2A)에 환상돌기(11)(21)를 형성하고, 가스켓(G)에는 환상돌기(11)(21)의 각각에 끼워맞추어지도록 유체경로(W)의 외경측부분에 형성된 한 쌍의 환상홈(51)(51)을 갖는 불소수지제의 것으로 구성하고, 집적패널(1)과 밸브(2)를 끌어당겨서 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 환상돌기(11)(21)와 가스켓(G)의 환상홈(51)이 각각 끼워맞 추어져서 끼워맞춤밀봉부가 형성되는 접합상태를 유지하는 유지수단(I)을 장비한다.

Description

집적패널과 유체장치와의 접속구조{CONNECTION STRUCTURE OF STACK PANEL TO FLUID DEVICE}

본 발명은 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 관한 것이며, 보다 상세하게는 반도체 제조나 의료.의약품제조 식품가공, 화학공업 등의 각종기술분야의 제조공정에서 취급되는 고순도액이나 초순수, 혹은 세정액의 배관계통 등에 있어서, 금후 수요가 예견되는 유체용의 집적패널과 펌프, 밸브, 축열기 등의 유체장치를 가스켓을 통해서 밀봉상태로 연통접속시키기 위한 접속구조에 관한 것이다.

상기한 접속구조로서 예를 들면 유체장치의 1예인 밸브와 유체통로가 내부형성된 집적패널과를 한 쌍의 급배유로끼리를 연통시켜서 접속연결하는 것이 있고, 특허문헌 1이나 특허문헌 2에 있어서 개시된 접속구조가 알려져 있다.

특허문헌 1에 개시된 접속구조는 한 쌍의 급배유로를 근접시켜서 배열하고 각각에 독립된 링형상의 가스켓을 통해서 복수의 볼트로 액체를 밀접하게 접속연결시키는것이며, 특허문헌 2에 개시된 접속구조는 한 쌍의 급배유로를 근접시켜서 배열하고, 그들 한 쌍의 급배유로에 대응하는 한 쌍의 유로구멍을 갖는 단일의 가스켓을 단일의 외부 나사너트를 사용해서 접속연결시키는 것이다.

특허문헌 1이나 2에 개시되어있는 접속구조는 어느 것이나 다수의 유체기기 를 유체블록으로 집적시켜서 부착시키는 구조, 소위 집적배관구조를 채택하는 것이며, 이것은 배관계통 전체의 콤팩트화나 모듈화가 가능하게 되는 점에서 유용한 것이다.

특허문헌1; 특개 2001-82609호공보

특허문헌2; 특개평 10-169859호공보

상기 특허문헌 1이나 2에 개시된 접속구조에 있어서는 가스켓이 끼워 넣어진 한 쌍의 플랜지부끼리를 소정의 면압에 달하기까지 볼트를 체결하므로서 유효한 밀봉성능을 내게 된다.

그러나 볼트의 체결력이 시간과 함께 저하하는 것은 피할 수 없기 때문에 체결력저하, 즉 토오크다운에 의한 접속부로부터의 누설을 방지하기 위해서는 정기적으로 체결증대를 행할 필요가 있었다.

가스켓을 사용해서 밀봉하는 경우에는 대단히 높은 체결력이 필요하기 때문에 집적패널이나 유체장치의 유체급배구부에는 높은 강도가 필요하게 됨과 동시에 그 접속연결 하기 위한 작업성의 점에서도 불리한 것이었다.

본 발명은 이와 같은 실정을 감안하여 이루어진 것으로서 그 목적으로 하는바는 유체의 배관계통에 있어서의 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 연구를 집중시킴으로서 체결증대를 거의 행하지않고도 양호한 밀봉성이 유지됨과 동시에 그 조립작업성도 개선되는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공하는 데 있다.

또 콤팩트화나 모듈화를 다시 또 촉진시키기 위해서는 유체장치 단일품의 소형화는 물론이지만 그 유체장치 자체의 콤팩트화가 실현된 그 다음에는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 콤팩트화 하는 것에 대한 요구가 생긴다고 예측된다.

여기서 본 발명의 제2의 목적은 상술한 이점을 갖는 집적패널을 사용하는 배관계통에 있어서의 집적화를 촉진시키기 위해 다시 또 콤팩트화가 가능하게 되는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제안하여 실현시키는 점이다.

청구항 1에 관한 발명은 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 관형상의 유체통로(3)(4)가 개구되는 제1유체급배구부(1A)를 구비한 집적패널(1)의 상기한 제1유체급배구부(1A)와 관형상의 유체통로(7)(8)가 개구되는 제2유체급배구부(2A)를 구비한 유체장치(2)의 상기한 제2유체급배구부(2A)를 이들 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)와의 사이에 개재되는 링형상의 가스켓(G)에 의해 상기한 유체통로(3)(4)(7)(8)를 밀봉하는 상태로 연통 접속하는데 있어서, 상기한 제1유체급배구부(1A)및 상기한 제2유체급배구부(2A)에는 각 단면에 개구되는 상기한 각 유체통로(3)(4)(7)(8)의 외경측부분에 환상돌기(11)(21)가 형성되고, 상기한 가스켓(G)은 상기한 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)의 상호 대응하는 상기한 유체통로(3)(4)(7)(8)끼리를 연통시키기 위해 형성된 유체경로(W)와 상기한 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 형성된 상기한 환상돌기(11)(21)의 각각에 끼워 맞추어지도록 상기한 유체경로(W)의 외경측부분에 형성된 한 쌍의 환상홈(51)(51)을 갖는 가요성을 구비한 재료로 구성되어있고, 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 상기한 가스켓(G)을 통해서 끌어당겨지는 것에 의해 상기한 제1유체급배구부(1A)의 상기한 환상돌기(11)와 상기한 가스켓(G)의 일단의 환상홈(51) 및 제2유체급배구부(2A)의 환상돌기(21)와 가스켓(G)의 타단의 환상홈(51)이 각각 끼워맞추어져서 끼워맞춤밀봉부(10)가 형성되고, 또한 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 있어서의 환상돌기(11)(21)의 내경측에 형성되는 환상누름부분(12)(22)과, 가스켓(G)에 있어서의 환상홈(51)을 형성하기 위해 축심방향으로 돌출형성된 내외의 원주벽단말부(52)(53)중의 내경측의 원주벽단말부(52)가 맞닿아서 내경측의 원주벽단말부(52)가 환상홈(51)과 환상돌기(11)(21)와의 끼워 맞추어짐에 의해 직경이 축소변형하는 것을 억제 또는 저지하는 확대축소변형방지수단(Y)이 형성되는 접합상태가 구성되고, 상기한 확대축소변형방지수단(Y)은 환상누름부분(12)(22)과 환상돌기(51)로 둘러싸인 골짜기부(14)(24)가 안쪽이 좁아지는 형상이 되도록 환상누름부분(12)(22)에 있어서의 환상돌기측의 측면원주면이 경사진 테이퍼원주면(12a)(22a)과 내경측의 원주벽단말부(52)에 형성된 테이퍼원주면(52a)과의 압축접촉에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 2에 관한 발명은 청구항1에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 환상누름부분(12)(22)의 테이퍼원주면(12a)(22a)과 내경측의 원주벽단말부(52)의 테이퍼원주면(52a)의 압축접촉에 의해 밀봉부(S2)를 형성하도록 구성되어있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 3에 관한 발명은 청구항 1 또는 2에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서,상기한 가스켓(G)의 단면형상이 대략 H자형의 형상을 나타내는 것으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 4에 관한 발명은 청구항1~3의 어느 것인가 한 항에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 환상홈(51)에 환상돌기(11)(21)를 넣기 쉽게 하기 위해 환상돌기(11)(21)가 그 선단의 내부원주각부 및/또는 외부원주각부를 모떼기한 단면의 끝이 가는 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 5에 관한 발명은 청구항1~4의 어느 것인가 한 항에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 상기한 끼워맞춤밀봉부(10) 및 상기한 확대축소변형방지수단(Y)이 형성되는 상기한 접합상태를 유지하는 유지수단(I)이 장비되어있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 6에 관한 발명은 청구항 5에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 상기한 유지수단(I)은 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)를 끌어당겨서 접합상태를 얻기 위한 끌어당김 기능을 발휘시키는 것으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 7에 관한 발명은 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서,관형상의 유체통로(3) 또는 환상의 유체통로와 하나 이상의 환상의 유체통로(4)가 동심원상으로 형성되어서 개구되는 제1유체급배구부(1A)를 구비한 집적패널(1)의 제1유체급배구부(1A)와 관형상의 유체통로(7) 또는 환상의 유체통로와 하나이상의 환상의 유체통로(8)가 동심원상으로 형성되어서 개구되는 제2유체급배구부(2A)를 구비한 유체장치(2)의 제2유체급배구부(2A)를 각각의 복수의 유체통로(3)(4)(7)(8)가 상호 대응하고, 또한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)의 사이에 개재되는 복수의 링형상의 가스켓(G1)(G2)에 의해 각 유체통로(3)(4)(7)(8)가 밀봉되는 상태로 연통접속되는데 있어서, 제1유체급배구부(1A) 및 제2유체급배구부(2A)에는 각 단면에 개구되는 상기한 각 유체통로(3)(4)(7)(8)의 외경측부분에 환상돌기(21) (11) (41)(31)가 형성되고, 상기한 각 가스켓(G1)(G2)은 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)의 상호 대응하는 유체통로(3)(4)(7)(8)끼리를 연통시키기 위해 형성된 유체경로(W1) (W2)와 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 형성된 환상돌기(21)(11) (41) (31)의 각각에 끼워맞추기 위해 유체경로(W1)(W2)의 외경측부분에 형성된 한 쌍의 환상홈(51)(61)을 갖는 가요성을 구비한 재료로 구성되어있고, 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 상기한 복수의 가스켓(G1)(G2)을 통해서 끌어 당겨지므로서 제1유체급배구부(1A)의 상기한 환상돌기(21)(41)과 상기한 각 가스켓(G1)(G2)의 일단의 환상홈(51)(61)및 상기 제2유체급배구부(2A)의 환상돌기(11)(31)와 상기한 각 가스켓(G1)(G2)의 타단의 환상홈(51)(61)이 각각 끼워 맞추어져서 끼워맞춤밀봉부(10)가 형성되고, 또한 상기한 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 있어서의 환상돌기(21)(11)(41)(31)의 내외경측에 형성되는 환상누름부분(22)(23)(12)(13)(42)(43)(32)(33)과 상기한 가스켓(G1)(G2)에 있어서의 상기한 환상홈(51)(61)을 형성하기 위해 축심방향으로 돌출형성된 내외경측의 원주벽단말부(52)(53)(62)(63)가 맞닿아서 상기한 내외경측의 원주벽단말부(52)(53)(62) (63)가 상기한 환상홈(51)(61)과 환상돌기(21)(11)(41)(31)의 끼워맞춤에 의해 직경확대 또는 직경축소 변형하는 것을 억제 또는 저지하는 확대축소변형방지수단(Y)이 형성되는 접합상태가 구성되고,상기한 확대축소변형방지수단(Y)은 환상누름부분(22)(23)(12)(13)(42)(43)(32)(33)과 상기한 환상돌기(21)(11)(41)(31)로 둘러싸인 골짜기부(24)(25)(14)(15)(44)(45)(34)(35)가 안쪽으로 좁아지는 형상이 되도록 상기한 환상누름부분(22)(23)(12)(13)(42)(43)(32)(33)에 있어서의 환상돌기측의 측면원주면이 경사진 테이퍼원주면(22a)(23a)(12a)(13a)(42a)(43a)(32a)(33a)와 상기한 내외경측의 원주벽단말부(52)(53)(62)(63)에 형성된 테이퍼원주면(52a)(53a)(62a)(63a)과의 압축접촉에 의해 구성됨과 동시에 상기한 복수의 가스켓(G1)(G2)중 상기한 접합상태에 있어서, 내경측 및 외경측의 쌍방에 상기한 유체경로(W1)(W2)가 존재하는 중간가스켓(G1)은 이것의 외부원주부(55a)가 중간가스켓(G1)의 외경측에 존재하는 상기한 제1유체급배구부(1A)의 상기한 환상의 유체통로(8) 및 상기한 제2유체급배구부(1A)의 상기한 환상의 유체통로(4)를 연통하는 환상의 유체경로(W2)를 형성하기위한 벽면이 되는 상태로 형성되어있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 8에 관한 발명은 청구항 7에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서,상기한 환상누름부분(22)(23)(12)(13)(42)(43)(32)(33)의 테이퍼원주면(22a)(23a)(12a)(13a)(42a)(43a)(32a)(33a)과 상기한 내외경측의 원주벽단말부(52)(53)(62)(63)의 테이퍼원주면(52a)(53a)(62a)(63a)과의 압축 접촉에 의해 밀봉부(S2)를 형성하도록 구성되어있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 9에 관한 발명은 청구항 7 또는 8에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 상기한 가스켓(G)의 단면형상이 대략 H자형의 형상을 나타내는 것으로 구성되어있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 10에 관한 발명은 청구항 7~9의 어느 것인가 한 항에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 상기한 환상홈(51)(61)에 상기한 환상돌기(21) (11)(41)(31)를 넣기 쉽게 하기 위해 상기한 환상돌기(21)(11)(41)(31)가 그 선단의 내부원주각부 및/또는 외부원주각부가 모떼기된 단면의 선단이 가느다란 형상으로 형성되어있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 11에 관한 발명은 청구항 7~10의 어느 것인가 한 항에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 상기한 끼워맞춤밀봉부(10) 및 상기한 확대축소변형방지수단(Y)이 형성되는 상기한 접합상태를 유지하는 유지수단(I)이 장비되어있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 12에 관한 발명은 청구항 11에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 상기한 유지수단(I)은 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)와를 끌어당겨서 상기한 접합상태를 얻기 위한 끌어당김기능을 발휘하는 것으로 구성되어있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 1의 발명에 의하면 제1,2유체급배구부에 각각 형성된 환상돌기와 가스켓의 일단면 및 타단면에 각각 형성된 환상홈이 축선방향의 상대이동에 의해 상호 끼워맞추어져서 끼워맞춤밀봉부를 형성하기 때문에 이들 양자가 다소 축선방향으로 어긋나 움직이는 일이 있어도 환상돌기와 환상홈에 의한 끼워맞춤밀봉부의 밀봉기능이 유지되고, 제1,2유체급배구부 간으로부터의 액의 누설을 저지하는 우수한 밀봉성을 계속 발휘하는 것이 가능하게 된다.

결국 제1,2유체급배구부끼리를 그 끌어 당겨지는 방향에 있어서 끼워맞추어지는 구조로 하는 것이며, 체결증대를 거의 행하지않아도 양호한 밀봉성이 유지됨과 동시에 그 조립작업성도 개선되는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공할 수가 있다.

예를 들면 반도체 제조설비에 있어서의 세정장치의 배관계통에 이와 같은 접속구조를 사용하면 양호한 밀봉성을 확보할 수 있으면서 장치의 점유면적을 감소할 수 있어서, 비용상 유리함과 동시에 대유로가 확보됨에 따라 순환유량을 많게 하고, 약액의 고순도화를 높여서 원료에 대한 제품의 비율의 향상에 기여할 수 있다고 하는 효과를 나타내는 것이 가능하게 된다.

그런데 오목한부에 볼록한부를 삽입해서의 끼워맞춤구조에 있어서는 예를 들면 이들 양자가 상호 동일한 재질의 것이라도 볼록한측의 부재는 거의 변화(압축변형)하지 않고, 오목한측의 부재가 확대변형하는 경향이 있는 것이 일반적으로 알려져 있다.

여기서 본 청구항 1에 있어서는 유체장치에 볼록한부인 환상돌기를 또한 가스켓에 오목한부인 환상홈을 형성하는 구성으로 하고 있기 때문에 변형이나 경시변화에 의해 변형하는 것은 집적패널이나 유체장치에 비해서 적은 부품인 가스켓측으로서 집적패널이나 유체장치측은 거의 변형하지 않기 때문에 가스켓을 교환하는 것으로 장기에 걸쳐서 양호한 밀봉성능을 유지할 수 있는 이점이 염가에 실현되는 효과도 있다.

전술한 바와 같이, 요철끼워맞춤에 있어서는 오목한측이 확대변형하기 쉬운 경향이 있기 때문에 그것은 즉, 본 발명에 있어서는 환상홈을 형성하기 위해 가스켓에 형성되는 내외의 원주벽단말부가 확대변형하는 것을 의미하고 있다.

여기서 이들 내외의 원주벽단말부중 유체경로가 존재하는 내경측의 원주벽단말부의 확대변형을 억제 또는 저지하는 내경측의 환상누름부분을 제1, 및 제2유체급배구부에 형성하고 있기 때문에 내경측의 원주벽단말부의 확대변형이 해소 또는 경감되어서 환상돌기의 내부원주면과 환상홈의 외부원주면이 강한 압축접촉력을 갖고 끼워 맞추어질 수가 있고, 이들 양자의 끼워 맞춤에 의한 우수한 밀봉기능을 소기대로 발휘시킬 수가 있다.

더구나 환상누름부분이 존재하는 것에 의해 내경측의 원주벽단말부의 강성부족을 보충할 수가 있기 때문에 이들이 존재하지않는 경우에 비해서 가스켓의 내경측의 원주벽단말부의 두께를 얇게 하는 것이 가능하기 때문에 가스켓의 폭의 치수를 적게해서 유체통로의 전체직경의 콤팩트화, 결국은 집적패널과 유체장치의 접속구조로서의 콤팩트화가 도모되는 이점도 있다.

그리고 접합상태에 있어서는 제1 및 제2유체급배구부의 환상돌기와 각 가스켓의 일단면 또는 타단면의 환상홈과의 끼워맞춤부분의 내경측에 제1 및 제2유체급배구부의 테이퍼원주면과 가스켓의 테이퍼원주면이 압축접촉되는 구성이 존재하고 있고, 그들 테이퍼원주면끼리의 맞닿음에 의해 접속구조부분을 콤팩트화 하는 것이 가능하다.

이에 추가해서 테이퍼원주면끼리를 압축접촉시키는 구조이기 때문에 집적패널이나 유체장치와 가스켓을 강하게 밀어붙이는데 따라 압축접촉력이 증대하고, 상기한 콤팩트화 및 환상돌기와 환상홈과의 끼워맞춤에 의한 밀봉성능 향상효과를 보다 강화할 수 있는 이점이 있다.

또, 그것에 의해 테이퍼원주면끼리의 사이에 있어서의 액의 체류가 생기지않는 접속구조로 하는 것이 가능해진다.

또, 확대축소 변형방지수단에 의해 접합상태에 있어서는 가스켓의 환상홈이 확대되지 않기 때문에 환상홈의 개구부부근의 부위(선단부)와 환상돌기의 뿌리부근의 부위(기초단말부)와의 강한 압축접촉상태 즉, 우수한 밀봉상태를 실현 및 유지할 수가 있다.

이 환상돌기의 뿌리부위에서의 확실한 밀봉기능에 의해 유체나 거기에 포함되는 혼합물, 이물질이 환상홈의 뿌리부분에 미치기 어렵게 또는 미치지 않도록 되며, 사용 후에 있어서 밀봉부에 유체 등이 잔류하는 일이 없고, 청결한 상황을 유지할 수 있는 이점도 얻어진다.

청구항 2의 발명에 의하면, 접합상태에 있어서는 제1 및 제2유체급배구부의 환상돌기와, 각 가스켓의 일단면 또는 타단면의 환상홈과의 끼워맞춤에 의한 끼워맞춤밀봉부가 형성되는데 추가해서 환상누름부분과 가스켓에 있어서의 내경측의 원주벽단말부와의 압축접촉에 의한 밀봉부가 형성되기 때문에 이들 복수의 밀봉부에 의해 밀봉성이 강화되게 되고, 보다 우수한 밀봉성능을 갖는 집적패널과 유체장치와의 접속구조로 할 수가 있다.

청구항 3의 발명에 의하면, 가스켓의 단면형상이 대략 H자형의 형상의 것으로 형성되어있기 때문에 예를 들면 전도된 T자형의 형상의 것에 비해서 가스켓이나 이것과 끼워 맞추어지는 부분인 제1,제2유체급배구부의 설계제작이 용이화 함과 동시에 집적패널이나 유체장치에 끼워 맞추어지는 경우의 균형(강도균형, 조립균형)이 우수한 것이 된다.

청구항 4의 발명에 의하면, 환상돌기의 내부원주각부 및/또는 외부원주각부를 모떼기한 선단이 가느다란 형상으로 해서 환상돌기가 환상홈에 들어가기 쉽게 했기 때문에 제1,제2유체급배구부와 가스켓의 상대위치가 다소 어긋난 상태라도 이들 양자가 끌어 당겨지는 것에 의한 환상돌기와 환상홈과의 끼워 맞춤이 확실히 행해지게 된다.

그 결과 가스켓을 거쳐서 제1,제2유체급배구부를 끌어당기는 조립조작이 다소 거친 것이라도 환상돌기와 환상홈이 확실히 끼워 맞추어져서 끼워맞춤밀봉부가 확실히 기능하는 바람직한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공할 수가 있다.

청구항 5의 발명에 의하면 유지수단에 의해 양 유체급배구부끼리가 상호 가스켓을 통해서 끌어 당겨진 접합상태를 유지할 수 있기 때문에 집적패널과 유체장치가 액의 누설 없이 양호한 밀봉성을 확보할 수 있는 상태를 장기에 걸쳐 유지가능하게 되고, 신뢰성이 우수한 집적패널과 유체장치의 접속구조를 제공할 수 있다.

그 결과 체결증대를 거의 행하지않아도 양호한 밀봉성이 유지될 수 있슴과 동시에 그 조립작업성도 개선되는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공할 수가 있다는 작용효과를 보다 강화하는 것이 가능하게 된다.

청구항 6의 발명에 의하면 유지수단은 제1유체급배구부와 제2유체급배구부와의 접합상태를 유지하는 것만이 아니고,제1유체급배구부와 제2유체급배구부와를 끌어당겨서 접합상태를 얻기 위한 끌어당김 기능도 발휘시킬 수가 있기 때문에 따로 끌어당김수단을 준비할 필요가 없게 되고, 전체로서의 조립 수고의 생략화나 비용절감이 가능하게 되는 이점이 있다.

청구항 7의 발명에 의하면, 2 이상의 유체통로를 동심원상으로 다중배관하므로서 복수의 유체통로를 독립해서 배열하는 구조에 비해서 접속구조부분의 콤팩트화를 도모하려고하는 수단이다.

제1,2유체급배구부에 각각 형성된 환상돌기와, 가스켓의 일단면 및 타단면에 각각 형성된 환상홈이 축선방향의 상대이동에 의해 상호 끼워 맞추어져서 끼워맞춤밀봉부를 형성하기 때문에 이들 양자가 다소 축선방향으로 어긋나 움직이는 일이 있어도 환상돌기와 환상홈에 의한 끼워맞춤밀봉부의 밀봉기능이 유지되어 제1,2유체급배구부 간으로부터의 액체누설을 저지하는 우수한 밀봉성을 계속 발휘하는 것이 가능하게 된다.

결국 제1,2유체급배구부끼리를 그 끌어 당겨지는 방향에 있어서, 끼워맞춤하는 구조로 하는 것이며, 체결증대를 거의 행하지않아도 양호한 밀봉성이 유지됨과 동시에 그 조립작업성도 개선되는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공할 수가 있다.

예를 들면 반도체제조설비에 있어서의 세정장치의 배관계통에 이와 같은 접속구조를 사용하면, 양호한 밀봉성을 확보할 수 있으면서 장치의 점유면적을 감소시킬 수가 있어서, 비용상 유리함과 동시에 대유로가 확보되므로서 순환유로를 많게 하고, 약액의 고순도화를 높여서 원료에 대한 제품의 비율의 향상에 기여할 수 있다고 하는 효과를 나타내는 것이 가능한 것이다.

그런데 오목한부에 볼록한부를 삽입해서의 끼워 맞춤구조에 있어서는 예를 들면 이들 양자가 상호 동일한 재질의 것이라도 볼록한측의 부재는 거의 변화(압축변형)하지 않고, 오목한측의 부재가 확대변형하는 경향이 있는 것이 일반적으로 알려져 있다.

여기서 본청구항 7에 있어서는 집적패널이나 유체장치에 볼록한부인 환상돌기를 또한 가스켓에 오목한부인 환상홈을 형성하는 구성으로 하고 있기 때문에 변형이나 경시변화에 의해 변형하는 것은 집적패널이나 유체장치에 비해서 적은 부품인 가스켓측이어서 집적패널이나 유체장치측은 거의 변형하지않기 때문에 가스켓을 교환하므로서 장기에 걸쳐 양호한 밀봉성능을 유지할 수 있는 이점이 염가에 실현되는 효과도 있다.

전술한 바와 같이 요철끼워맞춤에 있어서는 오목한측이 확대변형 하기 쉬운 경향이 있기 때문에 그것은 즉, 본 발명에 있어서는 화상홈을 형성하기 위해 가스켓에 형성되는 내외경측의 원주벽단말부가 직경확대 또는 직경축소변형 하는 것을 의미하고 있다.

여기서 내경측의 원주벽단말부의 직경축소변형, 및 외경측의 원주벽단말부의 직경확대변형을 억제 또는 저지하는 환상누름부분을 제1 및 제2유체급배구부에 형성하고있기 때문에 내외경측의 원주벽단말부가 직경확대 또는 직경축소변형하는 것을 해소 또는 경감시켜서 환상돌기의 내외원주면과 환상홈의 내외원주면과가 강한 압축접촉력을 갖고 끼워 맞추어질 수 있고, 이들 양자의 끼워 맞춤에 의한 우수한 밀봉기능을 소기대로 발휘시킬 수가 있다.

더구나 환상누름부분이 존재하는 것 때문에 원주벽단말부의 강성부족을 보충할 수가 있기 때문에 이들이 존재하지않는 경우에 비해서 가스켓의 원주벽단말부의 두께를 얇게 하는 것이 가능하기 때문에 가스켓의 폭의 치수를 적게 해서 유체통로의 전체 직경의 콤팩트화, 결국은 집적패널과 유체장치와의 접속구조로서의 콤팩트화가 도모되는 이점도 있다.

그리고 접합상태에 있어서는 제1 및 제2유체급배구부의 환상돌기와 각 가스켓의 일단면 또는 타단면의 환상홈과의 끼워 맞춤부분의 내경측에 제1 및 제2유체급배구부의 테이퍼원주면과 가스켓의 테이퍼원주면이 압축접촉되는 구성이 존재하고있고, 그들 테이퍼원주면끼리의 맞닿음에 의해 접속구조부분을 콤팩트화 하는 것이 가능하다.

이에 추가해서 테이퍼원주면끼리를 압축접촉시키는 구조이기 때문에 집적패널이나 유체장치와 가스켓을 강하게 밀어붙이는 것에 따라 압축 접촉력이 증대하고, 상기한 콤팩트화, 및 환상돌기와 환상홈과의 끼워 맞춤에 의한 밀봉성능 향상효과를 보다 강화시키는 이점이 있다.

또, 그것에 의해 테이퍼원주면끼리의 사이에 있어서의 액의 체류가 생기지않는 접속구조로 하는 것이 가능하다.

또, 확대축소변형방지수단에 의해 접합상태에 있어서는 가스켓의 환상홈이 확대하지 않게 되기 때문에 환상홈의 개구부부근의 부위(선단부)와 환상돌기의 뿌리부근의 부위(기초단말부)와의 강한 압축접촉상태 즉, 우수한 밀봉상태를 실현 및 유지할 수가 있다.

이 환상돌기의 뿌리부위에서의 확실한 밀봉기능에 의해 유체나 그에 포함되는 혼합물, 이물질이 환상홈의 뿌리부분에 미치기 어렵고 또는 미치지 않게 되어 사용후에 있어서 밀봉부에 유체 등이 잔류하는 일이 없고, 청결한 상황을 유지할 수 있는 이점도 얻어진다.

이에 추가해서 가스켓의 내외에 유체통로가 형성되게 되는 중간가스켓에 있어서는 그 내부원주부만이 아니고 외부원주부도 유체경로의 벽면으로 겸용되는 구조로 했기 때문에 내외에서 인접하는 유체통로의 간격은 중간가스켓의 두께만으로 되어서 복수의 유체통로를 극력 직경방향으로 근접시켜서 배치하는 것이 가능해지고, 집적패널과 유체장치와의 접속구조부분의 일층의 콤팩트화가 가능해지는 이점이 있다.

그 결과, 복수의 유체통로를 동심원상으로 배열해서 접속시키는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 실현한 것 때문에 모듈화나 콤팩트화에 유리한 유체장치의 집적화를 촉진하는데 기여함과 동시에 양호한 밀봉성능을 장기에 걸쳐서 유지할 수 있어서,신뢰성이 우수하고 더구나 다시 콤팩트화가 가능하게되는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공할 수가 있다.

청구항 8의 발명에 의하면 접합상태에 있어서는 제1 및 제2유체급배구부의 환상돌기와 각 가스켓의 일단면 또는 타단면의 환상홈과의 끼워맞춤에 의한 끼워맞춤밀봉부가 형성되는데 추가해서 내외경측의 환상누름부분과 가스켓에 있어서의 내외경측의 원주벽단말부와의 압축접촉에 의해 밀봉부가 형성되기 때문에 이들 복수의 밀봉부에 의해 밀봉성이 강화되게 되고, 보다 우수한 밀봉성능을 갖는 집적패널과 유체장치와의 접속구조로 할 수가 있다.

청구항 9의 발명에 의하면, 가스켓의 단면형상이 대략 H자형의 형상의 것으로 형성되어있기 때문에 예를 들면 전도된 T자형의 형상의것에 비해서 가스켓이나 이것과 끼워 맞추어지는 부분인 제1,제2유체급배구부의 설계제작이 용이화함과 동시에 집적패널이나 유체장치에 끼워 맞추어지는 경우의 균형(강도균형, 조립균형)이 우수한 것으로 할 수가 있다.

청구항 10의 발명에 의하면, 환상돌기의 내부원주각부 및/또는 외부원주각부를 모떼기한 선단이 가느다란 형상으로 해서 환상돌기가 환상홈에 들어가기 쉽게 했기 때문에 제1,제2유체급배구부와 가스켓의 상대위치가 다소 어긋난 상태라도 이들 양자가 끌어 당겨지는 것에 의한 환상돌기와 환상홈과의 끼워 맞춤이 확실히 행해지게 된다.

그 결과 복수의 가스켓을 통해서 제1,제2유체급배구부를 끌어당기는 조립조작이 다소 거친 것이라도 환상돌기와 환상홈이 확실히 끼워 맞추어져서 끼워맞춤밀봉부가 확실히 기능하는 바람직한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공할 수가 있다.

청구항 11의 발명에 의하면 유지수단에 의해 양 유체급배구부끼리가 상호 가스켓을 통해서 끌어 당겨진 접합상태를 유지할 수 있기 때문에 집적패널과 유체장치가 액의 누설 없이 양호한 밀봉성을 확보할 수 있는 상태를 장기에 걸쳐 유지 가능하게 되고, 신뢰성이 우수한 집적패널과 유체장치의 접속구조를 제공할 수 있다.

그 결과 체결증대를 거의 행하지않아도 양호한 밀봉성이 유지될 수 있슴과 동시에 그 조립작업성도 개선되는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공할 수가 있다는 작용효과를 보다 강화하는 것이 가능하게 된다.

청구항 12의 발명에 의하면 유지수단은 제1유체급배구부와 제2유체급배구부와의 접합상태를 유지하는 것만이 아니고,제1유체급배구부와 제2유체급배구부와를 끌어당겨서 접합상태를 얻기 위한 끌어 당김기능도 발휘시킬 수가 있기 때문에 따로 끌어당김수단을 준비할 필요가 없게되고, 전체로서의 조립수고의 생략화나 비용절감이 가능하게되는 이점이 있다.

도 1은 집적패널과 밸브와의 접속구조를 나타내는 단면도(실시예1).

도 2는 도1의 접속구조에 사용되는 가스켓과 유체급배구부의 요부의 단면도.

도 3은 가스켓과 유체장치와의 끼워맞춤구조의 상세를 나타내는 요부의 확대단면도.

도 4는 집적패널과 벨로스식밸브와의 접속구조를 나타내는 단면도(실시예2).

도 5는 집적패널과 필터와의 접속구조를 나타내는 단면도(실시예3).

도 6은 끌어당김 기능부착 유지수단의 제1별도 구조를 나타내는 요부의 단면도(실시예4).

도 7은 도 6의 유지수단을 갖는 접속구조의 접속수순을 나타내는 설명도.

도 8은 끌어당김 기능부착 유지수단의 제2별도 구조를 나타내는 요부의 단면도(실시예5).

도 9는 도 8의 유지수단을 갖는 접속구조의 접속수순을 나타내는 설명도.

도 10은 끌어당김 기능부착 유지수단의 제3별도 구조를 나타내는 요부의 단면도(실시예6).

도 11은 끌어당김 기능부착 유지수단의 제4별도 구조를 나타내는 요부의 단면도(실시예7).

도 12은 끌어당김 기능부착 유지수단의 제5별도 구조를 나타내는 요부의 단면도(실시예8).

도 13a,13b는 다같이 환상돌기의 별도형상을 나타내는 요부의 단면도.

도 14는 접적패널과 밸브와의 동심원상 다중유로접속구조를 나타내는 단면도(실시예9).

도 15는 도 14의 접속구조를 사용하는 가스켓과 유체급배구부의 요부의 단면도.

도 16은 가스켓과 유체장치와의 끼워 맞춤구조의 상세를 나타내는 요부의 확대단면도.

도 17은 플랜지배관을 개재한 집적패널과 펌프와의 동심원상 다중유로접속구조를 나타내는 단면도(실시예10).

도 18은 끌어당김 기능부착 유지수단의 제6별도 구조를 나타내는 요부의 단면도(실시예11).

도 19는 도 17의 유지수단을 갖는 접속구조의 접속수순을 나타내는 설명도.

도 20은 끌어당김 기능부착 유지수단의 제7별도 구조를 나타내는 요부의 단면도(실시예12).

도 21은 도 19의 유지수단을 갖는 접속구조의 접속수순을 나타내는 설명도.

도 22는 유지수단의 구조를 나타내는 요부의 단면도(실시예13).

도 23a,23b는 다같이 환상돌기의 별도형상을 나타내는 요부의 단면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 집적패널 1A 제1유체급배구부

1n 수나사부 2 유체장치

2A 제2유체급배구부 3,4 집적패널의유체통로

7,8 유체장치의유체통로 9a 관통구멍

10 끼워맞춤밀봉부 1,21,31,41 환상돌기

12,13,22,23,32,33,42,43 환상누름부분

12a,13a,22a,23a,32a,33a,42a,43a 테이퍼원주면

14,15,24,25,34,35,44,45 골짜기부 51,61 환상홈

52,53,62,63 원주벽단말부 52a,53a,62a,63a 테이퍼원주면

55a 중간가스켓의외부원주부 66 볼트

67 너트부 81 통상너트

81n 암나사부 82 할형링

83 내향플랜지 83a 개구부

G,G1,G2 가스켓 I 유지수단

P 축심 S1,S2 밀봉부

W,W1,W2 유체경로 X,Z 중심선

Y 확대축소변형방지수단

다음에 본 발명에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조의 실시의 형태를 도면을 참조해서 설명한다.

도 1 ~ 도 3은 실시예1에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 나타내고, 도 4,5는 각각 실시예 2,3에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 나타내고, 도 6~도 12는 유지수단의 별도 구조를 나타내고, 도 6은 제1별도 구조, 도 7, 8은 제2별도 구조, 도 9,10은 제3별도 구조, 도 11은 제4별도 구조, 도 12는 제5별도 구조,도 13은 환상돌기의 별도 구조이다.

도 14, 15는 실시예 9에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 나타내는 전체도면과 요부단면도, 도 16은 제1가스켓과 제1유체급배구부와의 상세한 끼워 맞춤구조를 나타내는 요부의 단면도, 도 17은 실시예 10에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 나타내는 전체도면, 도18,19는 제6별도 구조에 의한 유지수단의 반절단단면도와 조립설명도, 도 20,21는 제7별도 구조에 의한 유지수단의 반절단단면도와 조립설명도,도 22는 제8별도 구조에 의한 유지수단의 단면도이다.

또, 도 23은 환상돌기의 별도 구조이다.

[실시예1]

실시예 1에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 1, 도 2에 나타낸다.

이 접적패널과 유체장치와의 접속구조는 한 쌍의 원관형상이 유체통로(3)(4)가 내부형성된 집적패널(1)과 이것의 상면(1a)에 링형상의 가스켓(G)을 통해서 탑 재되는 밸브(개폐밸브, 스톱밸브등)(2)에 걸쳐서 구성된 가로로 향한 축심(P)을 공유하는 단일유로형의 것이다.

결국 급배용으로서의 한 쌍의 접속구조가 상호 동일한 것으로서 구성되어있다.

집적패널(1)은 도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, PFA 나 PTFE 등의 불소수지제의 패널재(또는 블록재)(5)의 내부에 패널상면(1a)으로 개구하는 상,하향의 세로통로(3a)(4a)와 가로로 향한 가로통로(3b)(4b)로 이루어지는 한 쌍의 원관형상의 공급측유체통로(3)(4)가 형성된 것이다.

이 집적패널(1)에 있어서의 급배유체통로(3)(4)가 개구하는 부분을 제1유체급배구부(1A)라 칭하는 것으로 하고, 이 제1유체급배구부(1A)에 있어서는 원관형상의 세로통로(3a)(4a)의 각각이 축심(P)을 갖는 통로에 형성되어있다.

또 제1유체급배구부(1A)에는 그 상단면에 개구하는 각 유체통로(3)(4)의 외경측부분의 각각에는 축심(P)을 중심으로 하는 환상으로서 또한 위쪽으로 돌출한 내외의 환상돌기(21)를 갖는 하측제1밀봉단말부(t21) 및 하측제2밀봉단말부(t22)가 형성되어있다.

밸브(유체장치의 1예)(2)는 도1, 도2에 나타내는 바와 같이, PFA나 PTFE 등의 불소수지제로 상,하방향으로보아 형상이 원형의 밸브케이스(6)를 갖고있고, 그 밸브케이스(6)의 하단부는 저면(6a)으로부터 아래쪽으로 돌출하는 상태로 세로방향으로 배치된 원관형상의 공급측유체통로(7)와 이 공급측유체통로(7)의 가로쪽으로 떨어져서 개구하는 상태로 세로방향으로 배치된 원관형상의 배출측유체통로(8)를 갖는 제2유체급배구부(2A)에 형성되어있다.

결국 이 제2유체급배구부(2A)에 있어서는 원관형상의 공급측유체통로(7)(8)의 각각이 축심(P)을 갖는 통로에 형성되어있다.

결국 밸브케이스(6)의 하단에는 한 쌍의 볼트삽입관통구멍(9a)을 갖는 PFA 나 PTFE 또는 기타의 재료에 의한 불소수지제의 부착플랜지(9)의 한 쌍이 아래쪽으로 돌출형성되어있고, 유체통로(7)(8)를 갖는 관부(9A)와 플랜지부(외향플랜지)(9B)로 각 부착플랜지(9)가 형성되어있다.

공급측의 부착플랜지(9)가 아래쪽으로 돌출하는 환상돌기(11)를 갖는 상측제1밀봉단말부(t11)에 형성되고, 배출측의 부착플랜지(9)가 위쪽으로 돌출하는 환상돌기(11)를 갖는 상측제2밀봉단말부(t12)에 형성되어있다.

한 쌍의 가스켓(G)은 상호 동일한 것이며, 그 구조를 공급측의가스켓(G)을 예로 들어서 설명한다.

그런데 가스켓(G)은 공급측의 상,하의 유체급배구부(1A)(2A)의 상호대응하는 유체통로인 세로통로(3a) 및 공급측유체통로(7)끼리를 연통시키기 위해 형성된 관형상의 유체경로(W1)와 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 형성된 상측제1밀봉단말부(t11)의 환상돌기(11)와, 상측제2밀봉단말부(t12)의 환상돌기(21)에 각각 끼워맞추도록 유체경로(W1)의 외경측부분에 형성된 상,하 한 쌍의 환상홈(51)(51)을 갖는 PFA 나 PTFE 등의 불소수지제의 것으로 구성되어있다

결국 가스켓(G)의 단면형상은 상,하 한 쌍의 환상홈(51)(51)과 이들 환상홈(51)(51)을 형성하기 위한 내부원주벽(54) 및 외부원주벽(55)을 가짐과 동시에 상,하의 환상홈(51)(51)은 깊이 및 폭이 동일하게 되는 상,하 대칭이며 또한 내 및 외부원주벽(54)(55)도 좌,우대칭으로서 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 축심(P)방향에 따르는 세로중심선(Z) 및 그 세로중심선(Z)에 직각으로 교차하는 가로중심선(X)의 쌍방에 대해서 선대칭(거의 선대칭이라도 된다)이되는 대략 H자 형상으로 형성되어있다.

내부원주벽(54)의 상,하단말부는 내부원주면(54a)인 유체경로(W1)의 상,하단말부가 선단확대형상으로 외향경사진 테이퍼내부원주면(52a)(52a)에 형성됨과 동시에 외부원주벽(55)의 상,하단말부도 그 외부원주면(55a)의 상,하단말부가 내향경사지는 테이퍼외부원주면(53a)(53a)에 형성되어있다.

집적패널(1)의 제1유체급배구부(1A)의 하측제1밀봉단말부(t21)의 환상돌기(21) 및 밸브(2)의 제2유체급배구부(2A)의 상측제1밀봉단말부(t11)에 있어서의 환상돌기(11)의 내 및 외경측에 가스켓(G)에 있어서의 환상홈(51)을 형성하기위해 축심(P)방향으로 돌출형성된 내외의 원주벽단말부(52)(53)가 환상홈(51)과 환상돌기(11)(21)와의 끼워맞춤에 의해 확대변형하는 것을 저지하는 환상누름돌기(환상누름부분의 1예)(12)(13)(22)(23)이 형성되어있다.

상기한 환상누름돌기에 관한 구조를 가스켓(G)과 상측제1밀봉단말부(t11)에 관해 설명한다.

내외의 환상누름돌기(12)(13)는 대칭의 것이며, 이들과 환상돌기(11)로 둘러싸인 골짜기부(14)(15)가 안쪽이 좁아지는 형상(위쪽이좁아지는 형상)이 되도록 환상돌기측의 측면원주면이 경사진 테이퍼외부원주면(12a) 및 테이퍼내부원주면(13a) 을 갖는 선단이 좁아지는 형상인 환상돌기에 형성되어있다.

결국 상측제1밀봉단말부(t11)는 환상돌기(11)와 그 내외의 양측에 형성되는 환상누름돌기(12)(13) 및 골짜기부(14)(15)의 총칭이다.

가스켓(G)의 내외의 원주벽(54)(55)의 상단부는 환상누름돌기(12)(13)의 테이퍼외부원주면(12a)과 테이퍼내부원주면(13a)의 각각에 맞닿는 테이퍼내부원주면(52a)과 테이퍼외부원주면(53a)을 갖고 (14)(15)에 들어가 자유로운 선단이 좁아지는 형상의 환상밀봉돌기(원주벽단말부의 1예)(52)(53)를 갖고, 접합상태(도1참조)에 있어서는 내외의 원주벽(54)(55)의 상단부인 환상밀봉돌기(52)(53)가 대응하는 골짜기부(14)(15)로 들어가서 상측제1밀봉단말부(t11)의 테이퍼외부원주면(12a)과 가스켓(G)의 테이퍼내부원주면(52a)이 압축접촉되고, 또한 상측제1밀봉단말부(t11)의 테이퍼내부원주면(13a)과 가스켓(G)의 테이퍼외부원주면(53a)이 압축접촉되도록 구성되어있다.

이렇게 해서 가스켓(G)의 상단부에는 환상홈(51)과 그 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)으로 상측밀봉부(g11)가 형성되고 같은 모양으로 하단부에는 하측밀봉부(g12)가 형성되어있다.

상측밀봉부(g11)는 상측제1밀봉단말부(t11)와 끼워 맞추어져서 끼워맞춤밀봉부(10)를 형성하고, 하측밀봉부(g12)는 하측제2밀봉단말부(t21)와 끼워 맞추어져서 끼워맞춤밀봉부(10)를 형성한다.

끼워맞춤밀봉부(10)의 끼워맞춤구조를 상측제1밀봉단말부(t11)와 가스켓(G)의 상측밀봉부(g11)에 대해서 상세히 설명하면 도 2, 도 3에 나타내는 바와 같이, 내외의 골짜기부(14)(15)끼리 및 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)끼리는 상호 대칭이어서 내외의 골짜기부(14)(15) 전체의 협각 α°와 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)전체의 대향각 β°와의 사이에는 α°＜ β°라고하는 관계가 설정되어있고, 바람직하게는 α°+(20∼40°)=β°라고 하는 관계가 설정되면 된다.

이 구성에 의해 상측제1밀봉단말부(t11)의 환상돌기(11)와 환상홈(51)이 끼워맞추어진 접합상태(후술)에서는 상측내부환상누름돌기(12)와 상측내부환상밀봉돌기(52)는 그들의 테이퍼외주원주면(12a)과 테이퍼내부원주면(52a)이 최내경측부분에서 압축접촉되는 상태가 되어 (도 3의 가상선을 참조) 유체경로(W1)를 통하는 유체가 이들 내외의 테이퍼원주면(12a)(52a)끼리의 사이에 들어가는 것도 저지하는 2차밀봉부(S2)로서 기능하는 이점이 얻어진다.

결국 유지수단(I)(후술)이 작동하는 등에 의해 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 가스켓(G)을 통해서 끌어 당겨지므로서 제1유체급배구부(1A)의 환상돌기(11)와 가스켓(G)의 일단의 환상홈(51) 및 제2유체급배구부(2A)의 환상돌기(21)와 가스켓(G)의 타단의 환상홈(51)이 각각 끼워맞추어져서 끼워맞춤밀봉부(10)가 형성되고, 또한 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 있어서의 환상돌기(11)(21)의 내 및 외경측에 형성되는 환상누름돌기(12)(13)(22)(23)와 가스켓(G)에 있어서의 환상홈(51)을 형성하기 위해 축심방향으로 돌출형성된 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)가 맞닿아서 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)가 환상홈(51)과 환상돌기(11)(21)와의 끼워맞춤에 의해 확대변형하는 것을 억제 또는 저지하는 확대축소변형방지수단(Y)이 형성되는 접합상태가 구성되어있다.

확대축소변형방지수단(Y)은 실질적으로는 각 환상누름돌기(12)(13)(22)(23)의 테이퍼외부원주면(12a)(22a),테이퍼내부원주면(13a)(23a)으로 구성되어있고,대응하는 가스켓(G)의 테이퍼내(외부)원주면(52a)(53a)이 이들 테이퍼 외 및 내부원주면(12a)(22a)(13a)(23a)에 맞닿는(압축접촉) 것에 의해 각 환상밀봉돌기(52)(53)가 환상홈(51)측으로 끌리는 방향으로 변형하려고하는 분력이 생기는 것이다.

결국 내측환상밀봉돌기(52)는 외경측으로 밀어 붙여지고, 외측환상돌기(53)는 내경측으로 밀어 붙여지기 때문에 환상홈(51)이 끼워지도록 즉, 환상돌기(11)(21)를 직경방향으로 체결하는 작용이 생기는 것이다.

이 경우, 각 환상밀봉돌기(52)(53)는 그들의 선단측일수록 분력이 강하게 작용하기 때문에 환상돌기(11)(21)의 뿌리측일수록 (환상밀봉돌기52,53의 선단측일수록)강하게 밀어 붙여지는 경향이 된다.

따라서 만약 유체가 2차밀봉부(S2)를 넘어서 1차밀봉부(S1)로 이르는 일이 생겨도 그 유체는 끼워맞춤밀봉부(10)의 입구부분에서 밀봉되게 되어 끼워맞춤밀봉부(10)의 속깊이 즉 끼워맞춤홈(51)의 안쪽속 부분에는 들어가지 않게 되어 끼워맞춤홈(51)의 안쪽 속에 혼합물, 이물질등이 남아 이후에 통과하는 유체의 순도나 성상에 악영향을 미치는 불합리함이 생기기 어려운 이점이있다.

그리고 상측환상돌기(11)의 폭d1과 환상홈(51)의 폭d2와의 사이에는 d1>d2 라고하는 관계가 설정되어있고, 바람직하게는 d1×(0.6~0.8)=d2 라고 하는 관계로 설정되면 된다.

그리고 상측환상돌기(11)의 돌출길이 h1과 상측환상홈(51)의 깊이 h2와의 사 이에는 h1<h2 라는 관계가 설정되어 있다.

이들의 구성에 의해 상측환상돌기(11)와 상측환상홈(51)이 상세하게는 상측환상돌기(11)의 내외의 양측원주면과 상호 대응하는 상측환상홈(51)의 내외의 측면원주면이 강하게 압축접촉되어 유체의 누설을 저지하는 우수한 밀봉성능을 발휘하는 1차밀봉부(S1)가 형성됨과 동시에 환상누름돌기(12)의 테이퍼외부원주면(12a)과 환상밀봉돌기(52)의 테이퍼내측원주면(52a)이 반드시 맞닿게 되고, 전술한 2차밀봉부(S2)가 양호하게 형성되는 이점이 있다.

끼워맞춤밀봉부(10)에 대해서는 도 3에 나타내는 바와 같이, 내경측의 1차밀봉부(S1)를 확실히 기능시키기 위해 환상돌기(11)(21) 및 환상홈(51)의 각각의 축심(P)에 대한 반경을 R1, R2로 했을때 R1<R2가 성립되도록 설정하면 된다.

또 환상누름돌기(12)(22)(13)(23)의 축심(P)방향에 따른 높이 h3와 환상돌기(11)(21)의 돌출길이h1과의 관계는 도 3에 나타내는 h1>h3 라는 관계이외에 h1=h3라는 관계의 경우나 h1<h3 라고 하는 관계의 경우라도 된다.

또 내측의 환상누름돌기(12)의 선단 및 환상밀봉돌기(52)(53)의 선단은 핀각이 되지않도록 절단된 형상, 즉 경사절단면(12b) 및 절단면(52b)(53b)에 형성되어있다.

이들의 구성에 의해 환상누름돌기(12)의 선단이 유체경로(W1)측으로 약간 확대변형했다해도, 본래 절단된 형상인 것 때문에 유체경로(W1)의 도중에 크게 개방된 단면이 3각형상의 오목한부가 생기는 것만이며, 그 오목한부에 존재하는 유체가 용이하게 유출되도록 되어서 실질적으로 액체의 체류가 생기지 않게 된다.

이에 추가해서 그 오목한부의 개방각도, 즉, 경사절단면(12b)과 테이퍼내부원주면(52a)과의 협각은 충분히 크고, 표면장력에 의한 액체의 체류의 우려도 회피된다.

또 환상돌기(11)의 선단의 내부원주각부 및 외부원주각부는 모떼기 가공된 모떼기형상부(11a)로 하고 있기 때문에 폭이 좁은 환상홈(51)에의 압입 이동을 긁힘 등의 불합리함이 없이 원활히 행할 수 있도록 되어있다.

또한 도 13(a)에 나타내는 바와 같이, 환상돌기(11)를 그 선단의 내부원주각부 및 외부원주각부의 모떼기형상부(11a)를 명확히 크게 한 단면선단이 가느다란 형상으로 형성하므로서 환상돌기(11)(21)가 환상홈(51)에 들어가기 쉬운 구성으로 해도된다.

이와 같이 구성하면, 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)와 가스켓(G)과의 조립시에 있어서의 상대위치가 소기의 적성상태로부터 다소 어긋나있는 일이 있어도, 테이퍼면형상의 내 또는 외의 모떼기형상부(11a)가 안내로되어 환상돌기(11)(21)가 확실히 환상홈(51)내로 도입되게 되는 것이다.

이 경우의 끼워맞춤밀봉부(10)는 환상돌기(11)(21)의 뿌리부와 환상홈(51)의 선단부와의 끼워맞춤부에 의해 형성되는 구성이된다.

또 도13(b)에 나타내는 바와 같이, 모떼기형상부(11a)를 다시 또 크게 해서 환상돌기(11)(21)의 내외의 측면원주면이 모두 경사진 테이퍼측면원주면 (11a)이되도록 극단으로 선단이 가느다란 형상화시킨 구성으로 해도 된다.

이 경우에는 환상돌기(11)(21)의 환상홈(51)으로의 들어가기 쉬운 것이 다시 또 용이하게 됨과 동시에 환상돌기(11)(21)가 환상홈(51)을 밀어 넓히는 쐐기효과가 생겨서 환상홈(51)의 선단부와 환상돌기(11)(21)의 뿌리부가 선접촉 또는 극히 적은 면적을 갖고 원주형상으로 압축접촉 되게 되어 보다 확실히 밀봉기능을 발생시키는 것이 가능해지는 이점이 있다.

외측의 환상누름돌기(13)는 환상누름돌기(13)의 테이퍼내부원주면(13a)에 계속되는 상태로 밸브케이스(6)의 하단부를 형성하기 위한 하단내부원주부(9b)가 존재하고 있고, 내측의 환상누름돌기(12)와는 전체로서의 형상은 다르다.

그리고 하측제1밀봉단말부(t21)에 관해서도 환상누름돌기(23)의 테이퍼내부원주면(23a)에 계속되는 상태로서 패널재(5)의 상단부를 형성하기 위한 상단내부원주부(5b)가 존재하고 있고, 역시 내측의 환상누름돌기(22)와는 전체로서 형상이 다르다.

이들 상 및 하단내부원주부(5b)(9b)는 가스켓(G)의 상 및 하측밀봉부(g11) (g12)를 상 및 하측제1밀봉단말부(t11)(t21)에 끼워맞추는 때의 안내로서 기능함과 동시에 테이퍼내부원주면(13a)(23a)과 함께 가스켓(G)의 외부원주벽(55)의 확대변형을 저지하는 기능도 발휘가능하다.

또한 도 6에 가상선으로 나타내는 바와 같이, 가스켓(G)의 외부원주벽(55)에 가로로 돌출하는 링형상의 탈착플랜지(1f)를 일체로 형성해두면 제1 또는 제2유체급배구부(1A)(2A)로부터 가스켓(G)을 빼내는 때에 공구나 손가락으로 플랜지(1f)를 잡아당기는 등해서 벗겨내기 쉽게 할 수가 있다고 하는 이점이 있다.

이 경우 탈착플랜지(1f)의 두께는 접합상태에 있어서의 제1 및 제2유체급배 구부(1A)(2A)끼리의 간격보다도 적은 값으로 한다.

끼워맞춤밀봉부(10)에 대해서 다시 상세히 설명한다.

도 2, 도 3에 나타내는 바와 같이 환상누름돌기(12)(13)의 테이퍼원주면(12a) (13a)의 개방각(골짜기부 14,15의 개방각)D는 50∼70도의 범위의 값(50°≤D°≤70°)로 설정됨과 동시에 환상밀봉돌기(원주벽단말부)(52)(53)의 테이퍼원주면(52a) (53a)의 첨예각 E 는 60∼80도의 범위의값(60°≤D°≤80°)로 설정되어있다.

그리고 개방각 D 와 첨예각 E 와는 개방각 D에 10∼20도를 가산한것이 첨예각 E가 되도록 [D°+ (10∼20°)=E°]로 설정되어있다.

보다 바람직한 값으로서는 개방각 D가 69∼71도(D°=70±1°)첨예각 E가 79∼81도(E°=80±1°)및 첨예각 E 는 개방각 D +9∼11도(E°- D°= 10 ±1°)로 설정하면 된다.

또 환상누름돌기(12)의 경사절단면(12b)의 절단각 Ds 는 49∼51도(Ds°=50°±1°)로 설정되어있고, 원주벽단말부(52)(53)의 선단절단면(52b)(53b)의 앙각 Es는 124∼126도(Es°=125°±1°)로 설정되어있다.

이와 같은 각도설정에 의해 테이퍼외부원주면(12a)과 테이퍼내부원주면(52a)과는 환상의 선접촉상태로 맞닿게 되고, 밀봉립효과가 2차밀봉부(S2)에 있어서 발휘되게 된다.

또 테이퍼내부원주면(13a)과 테이퍼외부원주면(53a)과의 사이에도 그들의 외경측단말부에 있어서, 밀봉작용이 생긴다.

또한 도시는 생략했지만 하부단말내부원주부(9b)가 존재하지않는 경우 (집적패널이나 유체장치에 있어서의 가스켓G 와의 끼워맞춤부의 단면형상이 좌,우대칭인경우)에는 외측의 환상누름돌기(13)에도 경사절단면(12b)과 같은 경사절단면이 형성되고, 상기한 밀봉립효과가 생긴다.

결국 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 끌어당겨지는 방향인 끌어당김 방향에 대한 환상밀봉돌기(원주벽단말부)(52)(53)의 테이퍼원주면(52a)(53a)(테이퍼내부원주면 52a, 테이퍼외부원주면 53a)의 첨예각 E 가 끌어당김 방향에 대한 환상누름돌기(12)(13)에 있어서의 환상돌기(11)측의 테이퍼원주면(12a)(13a)(테이퍼외부원주면 12a, 테이퍼내부원주면 13a)의 개방각 D 에 10∼20도 바람직하게는 10도 또는 거의 10도를 가산한 값으로 설정되어있다.

그리고 상기한 첨예각 E 가 60∼80도 바람직하게는 80도 또는 거의 80도로 설정되어있다.

이와 같이 첨예각 E 및 개방각 D를 90도에 가까운 둔각적인 값으로 설정하는 구성으로 하면 환상누름돌기(12)(13)는 그 직경방향 폭에 비해서 끌어당김 방향(축방향)의 돌출량이 적어져서 상대적으로 강도 강성이 향상되게 되어 환상밀봉돌기(52)(53)의 확대을 규제하면서도 자체(환상누름돌기12,13)가 직경방향으로 확대변형할 염려를 효과적으로 억제할 수가 있는 이점이 있다.

그리고 환상밀봉돌기(52)(53)의 골짜기부(14)(15)에의 삽입에 의해 테이퍼원주면(52a)(53a)이 환상누름돌기(12)(13)를 직경방향으로 밀어 넓히는 분력을 적게 할 수가 있고, 이점으로부터도 환상누름돌기(12)(13)의 직경방향으로의 확대변형을 억제할 수가 있다.

다음에 유지수단(I)에 대해 설명한다.

유지수단(I)은 도2 도 3에 나타내는 바와 같이, 집적패널(1)의 제1유체급배구부(1A)와 밸브(2)의 제2유체급배구부(2A)가 상호 가스켓(G)을 거쳐서 끌어당겨짐과 동시에 그 끌어당김 작용에 의해 제1유체급배구부(1A)의 상측제1밀봉단말부(t11)와 가스켓(G)의 상측밀봉부(g11) 및 제2유체급배구부(2A)의 하측제1밀봉단말부(t21)와 가스켓(G)의 하측밀봉부(g12)가 각각 끼워 맞추어져서 각 끼워맞춤밀봉부(10)가 형성되는 접합상태를 유지하는 것으로 구성되어있다.

즉, 제2유체급배구부(2A)의 환상돌기(11)와 가스켓(G)의 상측의 환상홈(51)이 및 제1유체급배구부(1A)의 환상돌기(21)와 가스켓(G)의 하측의 환상홈(51)이 각각 끼워 맞추어진다.

유지수단(I)의 구체구조는 제2유체급배구부(2A)의 플랜지부(9B)의 볼트삽입관통구멍(9a)에 삽입관통되는 한 쌍의 볼트(66)와 한 쌍의 볼트삽입관통구멍(9a)(9a)에 대응해서 제1유체급배구부(1A)(패널재5에)에 형성된 너트부(67)(67)로 구성되어있고, 볼트(66)를 너트(67)에 나사조임해서의 체결조작에 의해 밸브(2)를 집적패널(1)에 끌어당겨 또한 그 끌어당김 상태를 유지할 수가 있는 끌어당김 기능부착의 유지수단(I)으로 구성되어있다.

또 경시변화나 변형 등이 생겨서 각 끼워맞춤밀봉부(10)의 압축접촉력이 저하한 경우에는 볼트(66)를 체결증대 시키므로서 대처할 수가 있고, 양호한 밀봉성능을 유지하는 것이 가능하다.

[실시예2]

실시예 2에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 4에 나타낸다.

이것은 유체장치의 1예인 필터(2)와 집적패널(1)을 접속 연결시키는 구조이며, 접속구조 자체는 도 1 ~ 도 3에 나타내는 실시예 1에 의한 것과 동일하다.

따라서 동일개소에는 동일부호를 부여하는 것으로 하고 그 설명은 생략한다.

필터(2)는 본체케이스(2K)와 하부케이스(2B)와 여과체(2C)로 이루어지고 하부케이스(2B)에는 공급측의 유체통로(7)와 배출측의 유체통로(8) 및 이들 유체통로(7)(8)를 갖는 상태에서 가로로 달아내어 형성되는 한 쌍의 부착플랜지(9)(9)가 형성되어있다.

이들 부착플랜지(9)(9)와 집적패널(1)이 가스켓(G)을 통해서 접속연결된다.

[실시예3]

실시예 3에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조는 도 5에 나타내는 바와 같이 집적패널(1)과 유체장치의 1예인 조절기(2)와의 접속구조이다.

조절기(2)는 상부케이스, 중간케이스, 및 하부케이스로 된 케이싱(2C)를 갖고, 상부케이스와 중간케이스와의 사이에서 외부원주부가 끼워 갖게 되는 벨로스(도시생략), 중간케이스와 하부케이스와의 사이에서 외부원주부가 끼워 갖게 되는 밸브체(도시생략), 하부케이스에 수용되는 복귀용수철(도시생략) 등으로 구성되어있다.

케이싱(2C)에는 가로쪽으로 달아내어 형성되는 한 쌍의 부착플랜지(9)(9)가 일체적으로 장비되어있고, 이들 부착플랜지(9)(9)를 사용해서 조절기(2)가 집적패 널(1)의 상면(1a)에 가스켓(G)을 통해서 접속연결된다.

이 가스켓(G)을 통해서의 부착플랜지(9)와 집적패널(1)의 상면(1a)과의 접속구조는 도 1 ~ 도 3에 나타내는 실시예1에 의한 것과 동일하므로 그 상세설명은 생략한다.

[실시예4]

실시예 4에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 6, 7에 나타낸다.

이것은 실시예 1에 의한 것과 유지수단(I)이 다른 것만이며, 그 별도 구조의 유지수단(I)에 대해 설명한다.

또한 도 6,7에 있어서는 도 1~3에 나타내는 실시예 1과 대응하는 개소에는 대응하는 부호를 부여하고 있다.

제1별도 구조에 의한 유지수단(I)은 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이 집적패널(1)의 상면에 형성된 평면으로 보아 원형을 나타내는 돌기상의 제1유체급배구부(1A)의 외부원주부에 수나사(1n)를 형성하고, 그 수나사(1n)에 나사조임이 자유로운 암나사(81n)를 구비한 통상너트(81)와, 밸브(2)의 밸브케이스(6)의 하단부에 형성된 외향플랜지(9)에 환상의 유체통로(7)의 축심(P)방향에서 간섭하는 2분할 또는 3분할이상의 분할형링(82)으로 구성되어있다.

제1유체급배구부(1A)의 수나사(1n)에 암나사(81n)를 나사조임해서의 통상너트(81)의 체결조작에 의해 양 유체급배구부(1A)(2A)를 상호 가스켓(G)을 통해서 접근하는 방향으로 끌어당김이 가능하게 또한 끌어당김 상태를 유지가능한 끌어당김 기능부착의 유지수단(I)으로 구성되어있다.

통상너트(81)의 밸브(2)측(상측)에 형성되는 내향플랜지(83)의 개구부(83a)는 외향플랜지(9)의 통과를 허용하는데 족한 최소한의 내경치수로 설정되어있다.

분할형링(82)의 외경은 통상너트(81)에 들어가는 것이 자유롭도록 암나사(81n)의 내경보다도 근소하게 적은 치수로 설정되고 또한 내경은 밸브(2)의 원형의 제2유체급배구부(2A)의 외경부에 외부 끼움이 자유로운 최소한의 치수로 설정되어있다.

이 경우 분할형링(82)을 장비하기 위해서는 제2유체급배구부(2A)에 있어서의 외향플랜지(9)를 제외한 직경이 가는 부분의 축방향길이가 통상너트(81)의 축방향길이와 분할형링(82)의 두께와의 합을 상회하는 값으로 할 필요가 있다.

구체적으로는 도 7b에 나타내는 바와 같이, 밸브케이스(6)의 뿌리부(6t)에 맞닿게 한 상태의 통상너트(81)와 외향플랜지(9)와의 사이의 길이 d3가 분할형링(82)의 두께 d4보다도 큰 것(d3 > d4)이 조건이 된다.

또 통상너트(81)에 있어서의 암나사(81n)의 안쪽 단말부와 내향플랜지(83)와의 사이에 분할형링(82)에 축방향으로 슬라이드 이동이 자유롭고 또한 분할형링(82)의 폭치수를 커버하는 축심(P)방향 길이를 갖는 내부원주면부(81m)가 축심(P)과 동심으로 평평한 내부원주면에 형성되어있다.

즉 통상너트(81)의 암나사(81n)과 내향플랜지(83)와의 사이에 있어서의 내경부(81a)가 공급측유체통로(7)와 동심으로 평평한 내부원주면에 형성되고,또한 그 내부원주면부(81m)의 내경이 단면이 직4각형으로 형성된 분할형링(82)의 외경보다도 극히 근소하게 크게 한 끼워 맞춤 공차상태의 치수로 설정되는 한편 제2유체급 배구부(2A)의 외경부가 공급측유체통로(7)와 동심으로 평평한 외부원주면에 형성되고, 또한 그 외경부의 외경과 분할형링(82)의 내경이 거의 동일 직경으로 형성된다.

이것에 의해 통상너트(81)를 나사조임시킨 때에 분할형링(82)이 경사져서 기우는 상태가 되거나 외향플랜지(9)에 통상너트(81)의 나사 조임에 의한 축심(P)방향의 압압력이 잘 전달되지 않는다고 하는등의 불합리함이 생기는 것이 방지되고, 유효하게 외향플랜지(9)를 눌러서 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)를 상호 접근하는 방향으로 양호하게 끌어당길 수 있도록 되어있다.

제1별도 구조의 유지수단(I)을 사용해서 양유체급배구부(1A)(2A)끼리를 접속연결하는 조작 수순은 다음과 같다.

우선 도 7a에 나타내는 바와 같이, 외향플랜지(9)를 넘어서 통상너트(81)를 밸브(2)의 제2유체급배구부(2A)의 외부원주에 끼워 장착하고 그 최내측까지(뿌리부 6t에 맞닿을 때까지)이동시킨다.

이어서 도 7b에 나타내는 바와 같이 분할형링(82)을 외향플랜지(9)와 통상너트(81)의 선단과의 사이를 통해서 제2유체급배구부(2A)에 외부끼움으로 장비한다.

이때 또는 그전에 가스켓(G)을 어느 것인가의 유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 환상돌기(11)(21)(31)(41)와 환상홈(51)(61)의 임시 끼워 맞춤을 거쳐서 장착시켜 두어도 된다.

이어서 가스켓(G)을 통해서 제1유체급배구부(1A)를 제2유체급배구부(2A)에 맞대고 그 상태에서 통상너트(81)를 슬라이드 이동시키고나서 체결조작[도 7c참조] 하므로서 도 6에 나타내는 접속상태가 얻어진다.

또한, 도 7에 있어서는 상,하로 적층되는 집적패널(1)과 밸브(2)를 도면 기재 형편에 따라 가로로 누인 상태로 그리고 있다.

[실시예5]

실시예 5에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 8, 9에 나타낸다.

이것은 실시예1에 의한 것과 유지수단(I)이 다른 것만이며, 그 제2별도 구조의 유지수단(I)에 대해 설명한다.

또한, 도 8, 9에 있어서는 도 1~3에 나타내는 실시예 1과 대응하는 개소에는 대응하는 부호를 부여하고 있다.

제2별도 구조의 유지수단(I)은 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)를 그 단면측일수록 직경이 크게 되도록 직경확대해서 된 제1 및 제2원추대상단말부(1D)(2D)와 제1원추대상단말부(1D)의 테이퍼외부원주면(1d)에 맞닿는 제1테이퍼내부원주면(84a) 및 제2원추대상단말부(2D)의 테이퍼외부원주면(2d)에 맞닿는 제2테이퍼내부원주면(84b)에 의해 단면이 대략 く자 형상을 나타내는 내부원주면을 갖는 한 쌍의 반분할원호부재(84)(84)로 이루어지는 분할형누름링(85)과 반분할원호부재(84)(84)끼리를 끌어당기는 볼트(86) 및 한쪽의 반분할원호부재(84)에 형성된 너트(87)를 갖고 구성되어있다.

접합상태에 있어서의 제1원추대상단말부(1D)와 제2원추대상단말부(2D)에 걸터서 한 쌍의 반분할원호부재(84)를 씌운 상태에 있어서, 다른 쪽의 반분할원호부재(84)의 삽입관통구멍(84h)을 통한 볼트(86) 및 너트(87)의 체결에 의해 일단이 경첩형상으로 지지점(Q)으로 축지지 되어 있는 반분할원호부재(84)(84)끼리가 끌어당겨지는 것에 의한 테이퍼면끼리의 맞닿음에 의한 힘에 의해 각 유체급배구부(1A)(2A)끼리가 상호 끌어 당겨진다.

분할형누름링(85)은 불소수지재로 형성되는 것이 바람직하지만 알루미늄합금등 그 이외의 재료로 된 것이라도 된다.

제2별도 구조의 유지수단(I)을 사용해서 양 유체급배구부(1A)(2A)끼리를 접속연결하는 조작 수순은 다음과 같다.

우선 도 9a에 나타내는 바와 같이, 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)를 가스켓(G)을 통해서 가볍게 접속연결시키는 예비연결조작을 행한다.

다음에 도 9b에 나타내는 바와 같이, 그 예비연결된 제1 및 제2원추대상단말부(1D)(2D)에 분할형누름링(85)을 씌워서 볼트(86)에 의한 체결조작을 행한다.

이 볼트(86)의 체결에 의해 가스켓(G)이 각 유체급배구부(1A)(2A)에 깊게 끼워넣어져서 도 9c에 나타내는 바와 같이 집적패널(1)과 밸브(2)와의 접속연결상태가 얻어진다.

[실시예6]

실시예 6에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 10에 나타낸다.

이것은 실시예 1에 의한 것과 유지수단(I)이 다른 것만이며, 그 제3별도 구조의 유지수단(I)에 대해 설명한다.

또한 도 10에 있어서는 도 1~3에 나타내는 실시예1과 대응하는 개소에는 대응하는 부호를 부여하고 있다.

제3별도 구조의 유지수단(I)은 집적패널(1)의 상면에 외부원주부에 수나사(1n)를 갖는 상태로 형성된 평면으로보아 원형을 나타내는 돌기상의 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)에 있어서, 외부원주부에 수나사(9n)를 갖는상태로 밸브케이스(6)의 하단부에 형성된 플랜지부(9)와 이들 양 수나사(1n)(9n)에 나사조임이 자유로운 암나사(91n)(92n)를 갖는 제1 및 제2링너트(91)(92)와 이들 링너트(91)(92)의 외부원주홈(91m)(92m)에 끼워 맞춤 가능한 단면형상이 대략 コ자 형상의 걸어맞춤링(93)으로 구성되어있다.

양 링너트(91)(92) 및 걸어맞춤링(93)은 예를 들면 PFA 나 PTFE 등의 불소수지제이며, 어느 정도의 가요성을 갖고 있다.

여기서 제3별도 구조의 유지수단(I)을 사용해서 양 유체급배구부(1A)(2A)끼리를 접속연결하는 수순은 미리 각 링너트(91) (92)에 걸어맞춤링(93)을 걸어 맞추어서 일체화시킨 제1 및 제2링너트(91)(92)를 형성해두고 그 일체화된 제1,2링너트(91)(92)를 가스켓(G)을 통해서 상호 끌어 당겨져서 조립상태로 되어있는 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)에 나사장착하고 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 형성한다.

물론 이 경우는 각 수나사(1n)(9n)가 상호 동일한 나사인 것이 조건이며, 나사 장착 후에 각 링너트(91)(92)를 돌려서 강하게 체결하거나 혹은 후에 체결증대시키는 것이 행해진다.

또 다음과 같은 조립 수순도 가능하다.

즉 각각의 링너트(91)(92)를 대응하는 수나사(1n)(9n)에 나사 장착한 상태에 서 양유체급배구부(1A)(2A)를 가스켓(G)을 통해서 끌어당겨 가스켓(G)이 압축접촉되어서의 밀봉상태로 접속하는 끌어당김공정을 행한다.

이 끌어당김 공정은 유지수단(I)과는 별도의 전용의 끌어당김 수단을 사용해서 행한다.

그리고 각 수나사(1n)(9n)의 각각에 상호 인접하는 상태로 나사장착되어있는 제1 및 제2링너트(91)(92)의 외부원주홈(91m) (92m)에 걸어맞춤링(93)을 강제적으로 직경확대변형시키는 것으로 집어넣는 것에 의해 집적패널과 유체장치와의 접속구조가 형성된다.

결국 걸어맞춤링(93)을 무리하게 끼워 넣으므로서 양 링너트(91)(92)에 걸어맞춤 장착된다.

이 구성에 의한 유지수단(I)은 문자대로 제1 및제2유체급배구부(1A)(2A)의 가스켓(G)을 통해서의 밀봉접속상태를 유지하는 기능만을 갖는 것이다.

그러나 각 링너트(91)(92)와 걸어맞춤링(93)과는 상대회전이 가능하기 때문에 이들 링너트(91)(92)는 함께 단독으로의 회전이동이 가능하며, 경시변화나 변형등에 의해 밀봉압축접촉력이 저하한 경우에는 어느 것인가 혹은 쌍방의 링너트(91)(92)를 강제적으로 회전조작해서 체결증대조작을 행하는 것은 가능하다.

[실시예7]

실시예 7에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 11에 나타낸다.

이것은 실시예 1에 의한 것과 유지수단(I)이 다른 것만이며, 그 제4별도 구조의 유지수단(I)에 대해 설명한다.

제4별도 구조의 유지수단(I)은 도 11에 나타내는 바와 같이 집적패널(1)의 상면에 외부원주부에 수나사(1n)를 갖는 상태로 형성된 평면으로 보아 원형을 나타내는 돌기상의 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)에 있어서, 외부원주부에 수나사(9n)를 갖는 상태로 밸브케이스(6)의 하단부에 형성된 플랜지부(9)와 이들 양 수나사(1n)(9n)에 나사 조임이 자유로운 암나사(101n)를 갖는 통상너트(101)로 구성되어있다.

통상너트(101)는 선단측의 암나사(101n)와 기초단말측의 내향플랜지(102)와의 사이에 수나사(1n)(9n)보다도 큰 직경의 내부원주부(101a)가 형성되어있고, 내향플랜지(102)는 축심(P)방향에 있어서, 플랜지부(9)에 간섭하는 내경치수로 형성되어 있다.

도 11에 나타내는 조립상태에서는 유체장치(2)의 수나사(9n)은 내부원주부(101a)에 수용되어있고, 집적패널(1)의 수나사(1n)와 암나사(101n)만이 나사맞춤된 상태이며, 이것에 의해 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)끼리가 상호 끌어 당겨진 상태를 유지하고 있다.

조립하기 위해서는 우선 통상너트(101)의 암나사(101n)를 유체장치(2)의 플랜지부(9)의 수나사(9n)에 나사 조임해서 체결하고, 수나사(9n)를 지나쳐서 내부원주면(101a)에 회전이 자유롭게 수용하는 상태로 해두고, 그 상태에서 가스켓(G)을 통해서 집적패널(1)의 수나사(1n)에 암나사(101n)를 나사 맞춤해서 체결한다.

그러면 통상너트(101)는 플랜지부(9)의 수나사(9n)와 상대적으로 공회전하기 때문에 집적패널(1)만이 체결에 의해 나사조임되고, 그 결과 집적패널(1)과 유체장 치(2)가 끌어 당겨지고, 가스켓(G)에 의해 유체통로(3)(7)가 밀봉상태로 연통접속되는 끌어당김 상태가 유지되는 것이며, 끌어당김 기능부착의 유지수단(I)으로 구성되어있다.

[실시예8]

실시예 8에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 12에 나타낸다.

이것은 실시예 1에 의한 것과 유지수단(I)이 다른 것만이며, 그 제5별도 구조의 유지수단(I)에 대해 설명한다.

제5별도 구조의 유지수단(I)은 도 6에 나타내는 제1별도 구조의 유지수단(I)과 도 11에 나타내는 제4별도 구조의 유지수단(I)과의 절충안적인 구성의 것으로서 도 12에 나타내는 바와 같이, 집적패널(1)의 상면에 외부원주부에 수나사(1n)를 갖는 상태로 형성된 평면으로 보아 원형을 나타내는 돌기상의 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)에 있어서, 외부원주부에 수나사(9n)를 갖는 상태로 밸브케이스(6)의 하단부에 형성된 플랜지부(9)와 이들 양 수나사(1n)(9n)에 나사조임이 자유로운 암나사(111n)를 갖는 통상너트(111)와 분할형링(112)으로 구성되어있다.

통상너트(111)는 선단측의 암나사(111n)와 기초단말측의 내향플랜지(113)와의 사이에 수나사(1n)(9n)보다도 큰직경의 내부원주부(111a)가 형성되어있고, 내향플랜지(113)는 축심(P)방향에 있어서, 플랜지부(9)에 간섭하지않는 정도의 내경부(113a)를 갖는 것으로 형성되어있다.

분할형링(112)은 원형의 링이 3개이상으로 분단된 것과 같은 (예; 120도 미만의 부채꼴부재의 3개로 이루어진 것)것이며, 내향플랜지(113)나 암나사(111n)를 지나쳐서 외부로부터 내부원주면(111a)으로 들어가는 것 및 내부원주부(111a)에 있어서 링형상으로 조립하는 것이 자유이다.

또 분할형링(112)을 스냅링과 같이 직경방향으로 어느 정도 휘는 것으로 내부원주부(111a)로 들어갈 수 있는 가요성을 갖는 단일의 C자 형상체로 구성하는 것도 가능하다.

이 제5별도 구조에 의한 유지수단(I)을 사용한 조립은 다음과 같다.

상술한 요령에 의해 미리 분할형링(112)을 내부원주부(111a)에 넣은 상태로 해두고 그 이후의 공정은 전술한 제4별도 구조의 유지수단(I)의 경우와 동일하다.

따라서 이 이상의 조립 수순의 설명은 생략한다.

[실시예9]

실시예 9에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 14,15에 나타낸다.

이 집적패널과 유체장치와의 접속구조는 복수의 관형상의 유체통로(3)(4)가 내부형성된 집적패널(1)과 이것의 상면(1a)에 내외의 합계 2개의 링형상의 가스켓(G1)(G2)를 통해서 탑재되는 밸브(개폐밸브, 스톱밸브 등)(2)에 걸쳐서 구성된 세로방향의 축심(P)을 공유하는 동심원상 2중유로형의 것이다.

집적패널(1)은 도 14, 도 15에 나타내는 바와 같이,PFA 나 PTFE등의 불소수지제의 패널재(또는 블록재)(5)의 내부에 패널상면(1a)에 개구하는 상,하향의 세로통로(3a)와 가로방향의 가로통로(3b)로 이루어지는 관형상의 공급측유체통로(3)와 세로통로(3a)의 외경측에 형성되어서 패널상면(1a)에 개구되는 환상의 세로링통로(4a)와 이것의 저면부에 연통되는 가로방향의 가로통로(4b)로 이루어지는 배출측 유체통로(4)로 형성된 것이다.

이 집적패널(1)에 있어서의 급배유체통로(3)(4)가 2중배관형상으로 개구하는 부분을 제1유체급배구부(1A)라 칭하는 것으로 하고, 이 제1유체급배구부(1A)에 있어서는 관형상의 세로통로(3a)와 환상의 세로링통로(4a)가 상호 동일한 축심(P)을 갖는 동심원상의 통로로 형성되어있다.

또 제1유체급배구부(1A)에는 그 상단면에 개구하는 각 유체통로(3)(4)의 외경측부분의 각각에는 축심(P)을 중심으로 하는 환상으로 또한 위쪽으로 돌출한 내외의 환상돌기(21)(41)를 갖는 하측제1밀봉단말부(t21)및 하측제2밀봉단말부(t22)가 형성되어있다.

밸브(유체장치의 1예)(2)는 도 14, 도 15에 나타내는 바와 같이 PFA 나 PTFE 등의 불소수지제로 상,하방향으로 보아 형상이 원형의 밸브케이스(6)를 갖고 있고, 그 밸브케이스(6)의 하단부는 저면(6a)에 개구하는 상태로 그 중심에 세로방향으로 배치된 관형상의 공급측유체통로(7)와 이 공급측유체통로(7)가 외경측에 형성되어서 저면(6a)에 개구되는 상태로 세로방향으로 배치된 환상의 배출측유체통로(8)를 갖는 제2유체급배구부(2A)에 형성되어있다.

결국 이 제2유체급배구부(2A)에 있어서는 관형상의 공급측유체통로(7)와 환상의 배출측유체통로(8)가 상호 동일한 축심(P)을 갖는 동심원상의 통로에 형성되어있다.

그리고 밸브케이스(6)의 하단의 외부원주부에는 한 쌍의 볼트삽입관통구멍(9a)을 갖는 PFA 나 PTFE 등의 불소수지 또는 기타의 재료에 의한 부착플랜지(9) 가 융착에 의해 일체화되어 있다.

또한 밸브케이스(6)와 부착플랜지(9)는 절삭가공이나 성형가공에 의해 일체형성된 일체형인 것이라도 된다.

또 제2유체급배구부(2A)에는 그 하단부에 개구하는 각 유체통로(7)(8)의 외경측부분의 각각에는 축심(P)을 중심으로 하는 환상으로서 또한 위쪽으로 돌출한 내외의 환상돌기(11)(31)를 갖는 상측제1밀봉단말부(t11) 및 상측제2밀봉단말부(t12)가 형성되어있다.

내외의 가스켓(G1)(G2)은 직경이 다를 뿐으로 단면형상은 동일한 것으로 형성되어있다.

그 구조를 내측의 제1가스켓(G1)을 예로 들어 설명한다.

또한 설명을 생략하는 외측의 가스켓(G2)에는 제1가스켓(G1)에 대응하는 개소에는 대응하는 부호를 부여(예; 54a→64a)하는 것으로 한다.

그런데 제1가스켓(G1)은 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)의 상호 대응하는 유체통로인 세로통로(3a) 및 공급측유체통로(7)끼리를 연통시키기 위해 형성된 관형상의 유체경로(W1)와 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 형성된 상측제1밀봉단말부(t11)의 환상돌기(11)와 상측제2밀봉단말부(t12)의 환상돌기(31)의 각각에 끼워맞추기위해 유체경로(W1)의 외경측부분에 형성된 상,하 한 쌍의 환상홈(51)(51)을 갖는 PFA 나 PTFE등의 불소수지제의 것으로 구성되어있다.

결국 제1가스켓(G1)의 단면형상은 상,하 한 쌍의 환상홈(51) (51)과 이들 환상홈(51)(51)을 형성하기 위한 내부원주벽(54) 및 외부원주벽(55)을 가짐과 동시 에, 상,하의 환상홈(51)(51)은 깊이 및 폭이 동일하게 되는 상,하 대칭이며, 또한 내 및 외부원주벽(54) (55)도 좌,우대칭으로서 제1 및제2유체급배구부(1A)(2A)의 축심(P)방향에 따르는 세로중심선(Z) 및 그 세로중심선(Z)에 직각으로 교차하는 가로중심선(X)의 쌍방에 관해서 선대칭(거의 선대칭이라도 된다.)이되는 대략 H자 형상으로 형성되어있다.

내부원주벽(54)의 상,하단말부는 내부원주면(54a)인 유체경로(W1)의 상,하단말부가 선단확대형상으로 외향경사지는 테이퍼내부원주면(52a)(52a)에 형성됨과 동시에 외부원주벽(55)의 상,하단말부도 그 외부원주면(55a)의 상,하단말부가 내향경사지는 테이퍼외부원주면(53a)(53a)에 형성되어있다.

집적패널(1)의 제1유체급배구부(1A)의 하측제1 및 제2밀봉단말부(t21)(t22)의 환상돌기(21)(41) 및 밸브(2)의 제2유체급배구부(2A)의상측 제1 및 제2밀봉단말부(t11)(t12)에 있어서의 환상돌기(11)(31)의 내 및 외경측에 각 가스켓(G1)(G2)에 있어서의 환상홈(51)(61)을 형성하기 위해 축심(P)방향으로 돌출형성된 내외의 원주벽단말부(52a)(53a)(62a)(63a)가 상호 대응하는 환상홈(51)(61)과 상호 대응하는 환상돌기(11)(21)(31)(41)와의 끼워맞춤에 의해 확대변형하는 것을 저지하는 환상누름돌기(환상누름부분의 1예)(12)(13)(22)(23)(32)(33)(42)(43)가 형성되어있다.

상기한 환상누름돌기에 관한 구조를 제1가스켓(G1) 과 상측제1밀봉단말부(t11)에대해 설명한다.

내외의 환상누름돌기(12)(13)는 대칭의 것이며, 이들과 환상돌기(11)로 둘러싸인 골짜기부(14)(15) 가 안쪽으로 좁아지는 형상(위쪽으로 좁아지는 형상)이되도 록 환상돌기측의 측면원주면이 경사진 테이퍼외부원주면(12a) 및 테이퍼내부원주면(13a)을 갖는 선단이 좁아지는 형상의 환상돌기로 형성되어있다.

결국 상측제1밀봉단말부(t11)는 환상돌기(11)와 그 내외의 양측에 형성되는 환상누름돌기(12)(13) 및 골짜기부(14)(15)의 총칭이다.

제1가스켓(G1)의 내외의 원주벽(54)(55)의 상단부는 환상누름돌기(12)(13)의 테이퍼외부원주면(12a)과 테이퍼내부원주면(13a)의 각각에 맞닿는 테이퍼내부원주면(52a)과 테이퍼외부원주면(53a)을 갖고 (14)(15)에 들어가는 것이 자유로운 선단 이좁아지는 형상의 환상밀봉돌기(원주벽단말부의 1예)(52)(53)를 갖고, 접합상태(도14참조)에 있어서는 내외의 원주벽(54)(55)의 상단부인 환상밀봉돌기(52)(53)가 대응하는 골짜기부(14)(15)로 들어가서 상측제1밀봉단말부(t11)의 테이퍼외부원주면(12a)과 제1가스켓(G1)의 테이퍼내부원주면(52a)이 압축접촉되고, 또한 상측제1밀봉단말부(t11)의 테이퍼내부원주면(13a)과 제1가스켓(G1)의 테이퍼외부원주면(53a)이 압축접촉되도록 구성되어있다.

결국 제1가스켓(G1)의 상단부에는 환상홈(51)과 그 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)로 상측밀봉부(g11)가 형성되고 같은모양으로 하단부에는 하측밀봉부(g12)가 형성되어있다.

상측밀봉부(g11)는 상측제1밀봉단말부(t11)와 끼워 맞추어져서 끼워맞춤밀봉부(10)를 형성하고, 하측밀봉부(g12)는 하측제2밀봉단말부(t21)와 끼워 맞추어져서 끼워맞춤밀봉부(10)를 형성한다.

같은 모양으로 제2가스켓에도 상측밀봉부(g21)와 하측밀봉부(g22)가 형성되 어있고, 각각 상측제2밀봉단말부(t12)와 하측제2밀봉단말부(t22)에 끼워 맞추어져서 끼워맞춤밀봉부(10)를 형성한다.

끼워맞춤밀봉부(10)의 끼워맞춤구조를 상측제1밀봉단말부(t11)와 제1가스켓(G1)의 상측밀봉부(g11)에 대해서 상세히 설명하면 도15 도16에 나타내는 바와 같이, 내외의 골짜기부(14)(15)끼리 및 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)끼리는 상호 대칭이어서 내외의 골짜기부(14)(15)전체의 협각 α°와 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)전체의 대향각 β°와의 사이에는 α°＜ β°라고 하는 관계가 설정되어있고, 바람직하게는 α°+(20∼40°)=β°라고 하는 관계가 설정되면 좋다.

이 구성에 의해 상측제1밀봉단말부(t11)의 상측환상돌기(11)와 환상홈(51)이 끼워맞추어진 접합상태(후술)에서는 상측내부환상누름돌기(12)와 상측내부환상밀봉돌기(52)는 그들의 테이퍼외부원주면(12a)과 테이퍼내부원주면(52a)이 최내경측부분에서 압축접촉되는 상태가 되어(도 16의 가상선을 참조) 유체경로(W1)를 통하는 유체가 이들 내외의 테이퍼원주면(12a)(52a)끼리의 사이에 들어가는 것도 저지하는 2차밀봉부(S2)로서 기능하는 이점이 얻어진다.

결국 유지수단(I)(후술)이 작동하는 등에 의해 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 가스켓(G)을 통해서 끌어 당겨지므로서 제1유체급배구부(1A)의 환상돌기(21)(41)와 각 가스켓(G1)(G2)의 일단의 환상홈(51)(61)이 및 제2유체급배구부(2A)의 환상돌기(11)(31)와 각 가스켓(G1)(G2)의 타단의 환상홈(51)(61)이 각각 끼워 맞추어져서 끼워맞춤밀봉부(10)가 형성되고, 또한 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 있어서의 환상돌기(21)(41)(11)(31)의 내 및 외 경측에 형성되는 환상누름돌기(22)(23)(42)(43)(12)(13)(32)(33)와 각 가스켓(G1)(G2)에 있어서의 환상홈(51)(61)을 형성하기위해 축심방향으로 돌출형성된 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)(62)(63)가 맞닿아서 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)(62)(63)가 환상홈(51)(61)과 환상돌기(21)(41)(11)(31)와의 끼워맞춤에 의해 직경축소변형(내부환상밀봉돌기52,62) 및 직경확대변형(외부환상밀봉돌기53,63)하는 것을 억제 또는 저지하는 확대축소변형방지수단(Y)이 형성되는 접합상태가 구성되어있다.

확대축소변형방지수단(Y)은 실질적으로는 각 환상누름돌기(22)(23)(42)(43) (12)(13)(32)(33)의 테이퍼외부원주면(22a)(42a)(12a)(32a),테이퍼내부원주면(23a) (43a)(13a)(33a)로 구성되어있고,대응하는 각 가스켓(G1)(G2)의 테이퍼내(외부)원주면(52a) (53a)(62a)(63a)가 이들 테이퍼 외 및 내부원주면(22a)(42a)(12a)(32a) (23a)(43a)(13a)(33a)에 맞닿는(압축접촉)것에 의해 각 환상밀봉돌기(52)(53)(62) (63)가 환상홈(51)(61)측으로 끌리는 방향으로 변형하려고하는 분력이 생기는 것이다.

결국 내경측의 환상밀봉돌기(52)(62)는 외경측으로 밀어 붙여지고, 외측환상돌기(53)(63)는 내경측으로 밀어 붙여지기 때문에 환상홈(51)(61)이 끼워지도록 즉, 환상돌기(21)(41)(11)(31)를 직경방향으로 체결하는 작용이 생기는 것이다.

이 경우, 각 환상밀봉돌기(52)(53)(62)(63)는 그들의 선단측일수록 분력이 강하게 작용하기 때문에 환상돌기(21)(41)(11)(31)의 뿌리측일수록 (환상밀봉돌기52,53,62,63의 선단측일수록)강하게 밀어 붙여지는 경향이 된다.

따라서 만약 유체가 2차밀봉부(S2)를 넘어서 1차밀봉부(S1)로 이르는 일이 생겨도 그 유체는 끼워맞춤밀봉부(10)의 입구부분에서 밀봉되게 되어 끼워맞춤밀봉부(10)의 속깊이 즉 끼워맞춤홈(51)(61)의 안쪽속 부분에는 들어가지 않게 되어 끼워맞춤홈(51)(61)의 안쪽 속에 혼합물, 이물질 등이 남아 이후에 통과하는 유체의 순도나 성상에 악영향을 미치는 불합리함이 생기기 어려운 이점이 있다.

그리고 상측환상돌기(11)의 폭d1과 환상홈(51)의 폭d2와의 사이에는 d1>d2 라고하는 관계가 설정되어있고, 바람직하게는 d1×(0.75∼0.85)=d2라고 하는 관계로 설정되면 된다.

그리고 상측환상돌기(11)의 돌출길이 h1과 상측환상홈(51)의 깊이 h2와의 사이에는 h1<h2 라는 관계가 설정되어있다.

이들의 구성에 의해 상측환상돌기(11)와 상측환상홈(51)이 상세하게는 상측환상돌기(11)의 내외의 양측원주면과 상호 대응하는 상측환상홈(51)의 내외의 측면원주면이 강하게 압축접촉되어 유체의 누설을 저지하는 우수한 밀봉성능을 발휘하는 1차밀봉부(S1)가 형성됨과 동시에 환상누름돌기(12)의 테이퍼외부원주면(12a)과 환상밀봉돌기(52)의 테이퍼내부원주면(52a)이 반드시 맞닿게 되고, 전술한 2차밀봉부(S2)가 양호하게 형성되는 이점이 있다.

또한 이와 같은 관계는 하측환상돌기(21)와 하측환상홈(51)과의 사이나 제2가스켓(G2)의 환상홈(61)과 상,하의 환상돌기(31)(41)와의 사이에도 성립되면 좋다.

끼워맞춤밀봉부(10)에 대해서는 도 16에 나타내는 바와 같이, 내경측 및 외 경측의 각 1차밀봉부(S1)를 확실히 기능시키기 위해 환상돌기(11)(31)(21)(41) 및 환상홈(51)(61)의 각각의 축심(P)에 대한 내외경의 반경을 R1,R3,R2,R4 로 했을 때 R1<R2 또한 R3>R4가 성립되도록 설정하면 된다.

또 환상누름돌기(12)(22)(13)(23)(32)(33)(42)(43)의 축심(P)방향에 따른 높이 h3와 환상돌기(11)(21)(31)(41)의 돌출길이h1과의 관계는 도 16에 나타내는 h1>h3 라는 관계이외에 h1=h3라는 관계의 경우나 h1<h3라고 하는 관계의 경우라도 된다.

또 환상누름돌기(12)(13)의 선단 및 환상밀봉돌기(52)(53)의 선단은 핀각이 되지 않도록 절단된 형상, 즉 경사절단면(12b)(13b) 및 절단면(52b)(53b)으로 형성되어있다.

이들의 구성에 의해 환상누름돌기(12)의 선단이 유체경로(W1)측으로 약간 확대변형했다 해도, 본래 절단된 형상인것 때문에 유체경로(W1)도중에 크게 개방된 단면이 3각형상의 오목한부가 생기는 것만이며, 그 오목한부에 존재하는 유체가 용이하게 유출되도록 되어서 실질적으로 액체의 체류가 생기지 않게 된다.

이에 추가해서 그 오목한부의 개방각도, 즉, 경사절단면(12b)과 테이퍼내부원주면(52a)과의 협각은 충분히 크고, 표면장력에 의한 액체의 체류의 우려도 회피된다.

또 환상돌기(11)의 선단의 내부원주각부 및 외부원주각부는 모떼기가공된 모떼기형상부(11a)로 하고 있기 때문에 폭이 좁은 환상홈(51)에 의 압입이동을 긁힘등의 불합리함이 없이 원활히 행할 수 있도록 되어있다.

또한 도 23(a)에 나타내는 바와 같이, 환상돌기(11)를 그 선단의 내부원주각부 및 외부원주각부의 모떼기형상부(11a)를 명확히 크게한 단면의선단이 가느다란 형상으로 형성하므로서 환상돌기(11)가 환상홈(51)에 들어가기 쉬운 구성으로 해도된다.

이와 같이 구성하면, 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)와 제1가스켓(G1)과의 조립시에 있어서의 상대위치가 소기의 적성상태로부터 다소 어긋나있는 일이 있어도, 테이퍼면형상의 내 또는 외의 모떼기형상부(11a)가 안내로 되어 환상돌기(11)가 확실히 환상홈(51)내로 도입되게 되는 것이다.

이 경우의 끼워맞춤밀봉부(10)(1차밀봉부S1)는 환상돌기(11)의 뿌리부와 환상홈(51)의 선단부와의 끼워맞춤부에 의해 형성되는 구성이 된다.

이와 같은 구조는 다른 환상돌기(31)(21)(41)및 제2가스켓(G2)에 있어서도 같은모양으로 구성가능하다.

또 도 23b에 나타내는 바와 같이, 모떼기형상부(11a)를 다시 또 크게해서 환상돌기(11)의 내외의 측면원주면이 모두 경사진 테이퍼측면원주면 (11a)이 되도록 극단으로 선단이 가느다란 형상화시킨 구성으로 해도 된다.

이 경우에는 환상돌기(11)의 환상홈(51)으로의 들어가기 쉬운 것이 다시 또 용이하게 됨과 동시에 환상돌기(11)가 환상홈(51)을 밀어 넓히는 쐐기효과가 생겨서 환상홈(51)의 선단부와 환상돌기(11)의 뿌리부가 선접촉 또는 극히 적은 면적을 갖고 원주형상으로 압축접촉 되게 되어 보다 확실히 밀봉기능을 발생시키는 것이 가능해지는 이점이 있다.

이와 같은 구조는 다른 환상돌기(31)(21)(41) 및 제2가스켓(G2)에 있어서도 같은모양으로 구성가능하다.

끼워맞춤밀봉부(10)에 대해서 다시 상세히 설명한다.

도 15, 도 16에 나타내는 바와 같이 환상누름돌기(12)(13)에 있어서의 환상돌기측의 테이퍼원주면(12a)(13a)의 개방각(골짜기부 14,15의 개방각)D는 50∼70도의 범위의 값(50°≤D°≤70°)로 설정되어있고 환상밀봉돌기(52)(53)의 테이퍼원주면(52a)(53a)의 첨예각 E 는 60∼80도의 범위의값(60°≤D°≤80°)로 설정되어 있다.

그리고 개방각 D 와 첨예각 E 와는 개방각 D에 10∼20도를 가산한 것이 첨예각 E가 되도록 [D°+ (10∼20°)=E°] 설정되어있다.

보다 바람직한 값으로서는 개방각 D가 69∼71도(D°=70±1°)첨예각 E가 79∼81도(E°=80±1°)및 첨예각 E 는 개방각 D +9∼11도(E°-D°=10±1°)로 설정하면 된다.

또 환상누름돌기(12)(13)의 경사절단면(12b)(13b)의 절단각 Ds 는 49∼51도(Ds°=50°±1°)로 설정되어있고, 원주벽단말부(52)(53)의 선단절단면(52b) (53b)의 앙각 Es는 124∼126도(Es°=125°±1°)로 설정되어있다.

이와 같은 각도설정에 의해 테이퍼외부원주면(12a)과 테이퍼내부원주면(52a)및 테이퍼내부원주면(13a)과 테이퍼외부원주면(53a)의 각각은 환상의 선접촉상태로 맞닿게되고, 밀봉립효과가 2차밀봉부(S2)에 있어서 발휘되게 된다.

결국 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 끌어당겨지 는 방향인 끌어당김 방향에 대한 환상밀봉돌기(원주벽단말부)((52)(53)의 테이퍼원주면(52a)(53a)(테이퍼내부원주면 52a, 테이퍼외부원주면 53a)의 첨예각 E 가 끌어당김방향에 대한 환상누름돌기(12)(13)에 있어서의 환상돌기(11)측의 테이퍼원주면(12a)(13a)(테이퍼외부원주면 12a, 테이퍼내부원주면 13a)의 개방각 D 에 10∼20도 바람직하게는 10도 또는 거의 10도를 가산한 값으로 설정되어있다.

그리고 상기한 첨예각 E 가 60∼80도 바람직하게는 80도 또는 거의 80도로 설정되어 있다.

이와 같이 첨예각 E 및 개방각 D 를 90도에 가까운 둔각적인 값으로 설정하는 구성으로 하면 환상누름돌기(12)(13)는 그 직경방향의 폭에 비해서 끌어당김방향(축방향)의 돌출량이 적어져서 상대적으로 강도 강성이 향상되게되어 환상밀봉돌기(52)(53)의 확대를 규제하면서도 자체(환상누름돌기12,13)가 직경방향으로 확대변형할 염려를 효과적으로 억제할 수가 있는 이점이 있다.

그리고 환상밀봉돌기(52)(53)의 골짜기부(14)(15)에의 삽입에 의해 테이퍼원주면(52a)(53a)가 환상누름돌기(12)(13)를 직경방향으로 밀어 넓히는 분력을 적게 할 수가 있고, 이점으로부터도 환상누름돌기(12)(13)의 직경방향으로의 확대변형을 억제할 수가 있다.

이상 기술한 끼워맞춤밀봉부(10)의 구조는 제1가스켓(G1)의 하측 및 제2가스켓(G2)에 있어서도 같은 모양으로 구성되어있고, 대응하는 개소에는 대응하는 부호를 부여하는 것으로 한다.

제2가스켓(G2)은 직경이 다르나 단면형상에 대해서는 제1가스켓(G1)의 것과 전혀 동일하다.

단지 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 상측제2밀봉단말부(t12)와 하측제2밀봉단말부(t22)에 대해서는 그 외부원주측에 유체통로가 존재하지 않기 때문에 각각 상측제1밀봉단말부(t11)와 하측제2밀봉단말부(t21)와는 약간 형상이 다르다.

즉 상측제2밀봉단말부(t12)에 관해서는 환상누름돌기(33)의 테이퍼내부원주면(33a)에 계속되는 상태로 밸브케이스(6)의 하단부를 형성하기위한 하단내부원주부(6b)가 존재하고 있는 점이다.

이 하단 내부원주부(6b)는 제2가스켓(G2)의 상측밀봉부(g21)를 상측제2밀봉단말부(t12)에 끼워 맞추는 때에 안내로서 기능함과 동시에 테이퍼내부원주면(33a)과 함께 제2가스켓(G2)의 외부원주벽(65)의 확대변형을 저지하는 기능도 발휘가능하다.

그리고 하측제2밀봉단말부(t22)에 관해서는 외측의 환상누름돌기(43)의 외부원주측에 패널재(5)가 연속해서 존재하고있는 점이며, 하측밀봉부(g22)와 하측제2밀봉단말부(t22)와의 끼워맞춤시에 제2가스켓(G2)의 하측밀봉부(g22)의 환상밀봉돌기(63)의 확대변형이 테이퍼내부원주면(43a)에 의해 저지되는 작용효과가 강화되도록 된다.

한편 제1 및제2가스켓(G1)(G2)중 접합상태에 있어서, 내경측 및 외경측의 쌍방에 유체통로(7)(8)가 존재하는 중간가스켓인 제1가스켓(G1)은 이것의 외부원주부인 외부원주면(55a)이 제1가스켓(G1)의 외경측에 존재하는 제1유체급배구부(1A)의 환상의 유체통로(4a)와 제2유체급배구부(2A)의 환상의 유체통로(8)와를 연통하는 환상의 유체경로(W2)를 형성하기 위한 벽면이 되는 상태로 형성되어있다.

이와 같이 제1가스켓(G1)의 내외원주면(54a)(55a)의 쌍방이 유체경로(W1)(W2)를 형성하는 벽면을 겸하는 구성으로 하면 「제1가스켓G1의두께」=「환상유체통로3a,7과 관형상유체통로4a,8과의 간격」으로 되고, 제1 및제2유체급배구부(1A)(2A)의 접속부를 보다 콤팩트화하는 것이 가능해진다.

또한, 도 14에 가상선으로 나타내는 바와 같이, 제2가스켓(G2)의 외부원주벽(65)에 가로로 돌출하는 링형상의 탈착플랜지(1f)를 일체로 형성해두면 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)로부터 제2가스켓(G2)을 빼내는 때에 공구나 손가락으로 플랜지(1f)를 잡아 당기는 등해서 벗겨내기 쉽게 할 수 있다는 이점이 있다.

이 경우 탈착플랜지(1f)의 두께는 접합상태에 있어서의 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)끼리의 간격보다도 적은 값으로 한다.

다음에 유지수단(I)에 대해 설명한다.

유지수단(I)은 도 15 도 16에 나타내는 바와 같이, 집적패널(1)의 제1유체급배구부(1A)와 밸브(2)의 제2유체급배구부(2A)가 상호 제1 및제2가스켓(G1)(G2)을 통해서 끌어 당겨짐과 동시에 그 끌어당김 작용에 의해 제1유체급배구부(1A)의 상측제1밀봉단말부(t11) 및 상측제2밀봉단말부(t12)와 제1 및 제2가스켓(G1)(G2)의 상측밀봉부(g11)(g21) 및 제2유체급배구부(2A)의 하측 제1 및 제2밀봉단말부(t21)(t22)와 제1 및 제2 가스켓(G1)(G2)의 하측밀봉부(g12)(g22)가 각각 끼워 맞추어져서 각 끼워맞춤밀봉부(10)가 형성되는 접합상태를 유지하는 것으로 구성되어있다.

즉, 제2유체급배구부(2A)의 환상돌기(11)(31)와 제1및 제2가스켓(G1)(G2)의 상측의 환상홈(51)(61)이 및 제1유체급배구부(1A)의 환상돌기(21)(41)와 제1및 제2가스켓(G1)(G2)의 하측의 환상홈(51)(61)이 각각 끼워 맞추어진다.

유지수단(I)의 구체구조는 제2유체급배구부(2A)의 부착플랜지(9)의 볼트삽입관통구멍(9a)에 삽입관통되는 한 쌍의 볼트(66)와 한 쌍의 볼트삽입관통구멍(9a)(9a)에 대응해서 제1유체급배구부(1A)(패널재5에)에 형성된 너트부(67)(67)로 구성되어있고, 볼트(66)를 너트(67)에 나사조임해서의 체결조작에 의해 밸브(2)를 집적패널(1)에 끌어당겨 또한 그 끌어당김 상태를 유지할 수가 있다.

또 경시변화나 변형등이 생겨서 각 끼워맞춤밀봉부(10)의 압축접촉력이 저하한경우에는 볼트(66)를 체결증대시키므로서 대처할 수가 있고, 양호한 밀봉성능을 유지하는 것이 가능하다.

[실시예10]

실시예 10에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조는 도17에 나타내는 바와 같이, 집적패널(1)과 유체장치의 1예인 펌프(세정장치순환라인용의 벨로스펌프등)(2)를 플랜지배관(71)을 거쳐서 연통접속 시키는것이다.

내외의 가스켓(G1)(G2)을 통한 접속부자체의 구성은 실시예 9에 의한것과 동일하기 때문에 주요한 부호만을 부여하는 것으로 그 상세한 설명은 생략한다.

그런데 집적패널(1)에 대해서는 배출측의 유체통로(4)의 빼내는 방향이 실시예 9에 의한 집적패널(1)의 경우와 역으로 되어있는 것 이외는 기본적으로 동일한 구조이다.

단 실시예 9에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조는 집적패널의 상면에 구성되어 있는 것에 대해 이 실시예10에 의한 접속구조는 집적패널(1)의 가로측면에 구성되어있다.

펌프(2)의 급배용의 유체통로(7)(8)는 가로측면에 개구되는 구조이며, 집적패널(1)에서는 한 쌍의 유체통로(3)(4)가 2중관구조인것에 대해서 세로로 나란히 배치되어있는 독립형의 것이다.

플랜지배관 (71)은 전술한 부착플랜지(9)를 갖는 플랜지부(72)와 이에 계속되는 대략 2단형상의 관로부(73)로 이루어지고, 관로부(73)는 관형상의 공급측유체통로(74)를 갖는 공급측배관(73A)과 관형상의 배출측유체통로(75)를 갖는 배출측의 유체통로(73B)로 구성되어있다.

플랜지부(72)에 있어서는 공급측유체통로(74)가 축심(P)을 중심으로 하는 관형상의것으로서 집적패널(1)의 세로통로(3a)에 정대향해서 개구됨과 동시에 집적패널(1)의 세로링통로(4a)에 정대향해서 개구되는 환상통로부분(75a)이 배출측유체통로(75)에 연속하는 상태로 형성되어있다.

각 유체통로(74)(75)는 융착등의 수단에 의해 펌프(2)의 입구측포트(76) 및 출구측포트(77)에 연통상태로 접속연결되어있다.

이와 같이 2중배관구조의 플랜지부(72)와 독립한 2개의 배관부(73)를 갖는 플랜지배관(71)을 사용하므로서 집적패널(1)에 있어서의 2중배관구조의 제1유체급배구부(1A)와 병렬배치된 한 쌍의 입구 및 출구측포트(76)(77)로 이루어지는 제2유체급배구부(2A)를 즉, 집적패널(1)과 펌프(2)를 유체통로의 개구구조가 상호 다른 것끼리이면서도 상호 근접시켜서 무리없이 콤팩트하게 연통접속 시킬 수가 있다.

[실시예11]

실시예 11에 의한 집적패널과 유체장치의 접속구조를 도18, 도19에 나타낸다.

이것은 실시예9에 의한것과 유지수단(I)이 다른것만이며, 그 제6별도 구조의 유지수단(I)에대해 설명한다.

또한 도 18,19에 있어서는 도 14~16에 나타내는 실시예9와 대응하는 개소에는 대응하는 부호를 부여하고 있다.

제6별도 구조에 의한 유지수단(I)은 도 18 및 도 19에 나타내는 바와 같이 집적패널(1)의 상면에 형성된 평면으로보아 원형을 나타내는 돌기상의 제1유체급배구부(1A)의 외부원주부에 수나사(1n)을 형성하고, 그 수나사(1n)에 나사조임이 자유로운 암나사(81n)를 구비한 통상너트(81)와, 밸브(2)의 밸브케이스(6)의 하단부에 형성된 외향플랜지(9)에 환상의 유체통로(7)의 축심(P)방향에서 간섭하는 2분할 또는 3분할이상의 분할형링(82)으로 구성되어있다.

제1유체급배구부(1A)의 수나사(1n)에 암나사(81n)를 나사조임해서의 통상너트(81)의 체결조작에 의해 양 유체급배구부(1A)(2A)를 상호 2개의 가스켓(G1)(G2)을 통해서 접근하는 방향으로 끌어당김이 가능하게 또한 끌어당김상태를 유지가능한 끌어당김기능부착의 유지수단(I)으로 구성되어있다.

통상너트(81)의 밸브(2)측(상측)에 형성되는 내향플랜지(83)의 개구부(83a) 는 외향플랜지(9)의 통과를 허용하는데 족한 최소한의 내경치수로 설정되어있다.

분할형링(82)의 외경은 통상너트(81)에 들어가는 것이 자유롭도록 암나사(81n)의 내경보다도 근소하게 적은 치수로 설정되고 또한 내경은 밸브(2)의 원형의 제2유체급배구부(2A)의 외경부에 외부끼움이 자유로운 최소한의 치수로 설정되어있다.

이 경우 분할형링(82)을 장비하기위해서는 제2유체급배구부(2A)에 있어서의 외향플랜지(9)를 제외한 직경이 가는부분의 축방향길이가 통상너트(81)의 축방향길이와 분할형링(82)의 두께와의 합을 상회하는값으로 할 필요가있다.

구체적으로는 도 19b에 나타내는 바와 같이, 밸브케이스(6)의 뿌리부(6t)에 맞닿게한 상태의 통상너트(81)과 외향플랜지(9)와의 사이의 길이 d3가 분할형링(82)의 두께 d4보다도 큰 것(d3 > d4)이 조건이된다.

또 통상너트(81)에 있어서의 암나사(81n)의 안쪽 단말부와 내향플랜지(83)와의 사이에 분할형링(82)에 축방향으로 슬라이드이동이 자유롭고 또한 분할형링(82)의 폭치수를 커버하는 축심(P)방향길이를 갖는 내부원주면부(81m)가 축심(P)과 동심원으로 평평한 내부원주면에 형성되어있다.

즉 통상너트(81)의 암나사(81n)과 내향플랜지(83)와의 사이에 있어서의 내경부(81a)가 공급측유체통로(7)와 동심원으로 평평한 내부원주면에 형성되고,또한 그 내부원주면부(81m)의 내경이 단면이 직4각형으로 형성된 분할형링(82)의 외경보다도 극히 근소하게 크게한 끼워맞춤 공차상태의 치수로 설정되는 한편 제2유체급배구부(2A)의 외경부가 공급측유체통로(7)와 동심원으로 평평한 외부원주면에 형성되 고, 또한 그 외경부의 외경과 분할형링(82)의 내경이 거의 동일 직경으로 형성된다.

이것에 의해 통상너트(81)를 나사조임시킨때에 분할형링(82)이 경사져서 기우는 상태가되거나 외향플랜지(9)에 통상너트(81)의 나사조임에 의한 축심(P)방향의 압압력이 잘 전달되지 않는다고 하는등의 불합리함이 생기는 것이 방지되고, 유효하게 외향플랜지(9)를 눌러서 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)를 상호 접근하는 방향으로 양호하게 끌어 당길수 있도록 되어있다.

제6별도 구조의 유지수단(I)을 사용해서 양유체급배구부(1A) (2A)끼리를 접속연결하는 조작수순은 다음과같다.

우선 도 19a에 나타내는 바와 같이, 외향플랜지(9)를 넘어서 통상너트(81)를 밸브(2)의 제2유체급배구부(2A)의 외부원주에 끼워장착하고 그 최내측까지(뿌리부 6t에 맞닿을 때까지)이동시킨다.

이어서 도 19b에 나타내는 바와 같이 분할형링(82)을 외향플랜지(9)와 통상너트(81)의 선단과의 사이를 통해서 제2유체급배구부(2A)에 외부끼움으로 장비한다.

이때 또는 그전에 제1 및 제2가스켓(G1)(G2)을 어느 것인가의 유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 환상돌기(11)(21)(31)(41)와 환상홈(51)(61)의 임시 끼워 맞춤을 거쳐서 장착시켜 두어도 된다.

이어서 양 가스켓(G1)(G2)을 거쳐서 제1유체급배구부(1A)를 제2유체급배구부(2A)에 맞대고 그 상태에서 통상너트(81)를 슬라이드 이동시키고나서 체결조작 [도 19c참조]하므로서 도 18에 나타내는 접속상태가 얻어진다.

또한 도 19에 있어서는 상,하로 적층되는 집적패널(1)과 밸브(2)를 도면 기재 형편에 따라 가로로 누인 상태로 그리고 있다.

[실시예12]

실시예 12에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 20, 21에 나타낸다.

이것은 실시예 9에 의한 것과 유지수단(I)이 다른 것만이며, 그 제7별도 구조의 유지수단(I)에 대해 설명한다.

또한 도 20,21에 있어서는 도 14~16에 나타내는 실시예9와 대응하는 개소에는 대응하는 부호를 부여하고 있다.

제7별도 구조의 유지수단(I)은 제1 및 제2유체급배구부(1A) (2A)를 그 단면측일수록 직경이 크게 되도록 직경확대해서 된 제1 및 제2원추대상단말부(1D)(2D)와 제1원추대상단말부(1D)의 테이퍼외부원주면(1d)에 맞닿는 제1테이퍼내부원주면(84a) 및 제2원추대상단말부(2D)의 테이퍼외부원주면(2d)에 맞닿는 제2테이퍼내부원주면(84b)에 의해 단면이 대략 く자형상을 나타내는 내부원주면을 갖는 한 쌍의 반분할원호부재(84)(84)로 이루어지는 분할형누름링(85)과 반분할원호부재(84)(84)끼리를 끌어당기는 볼트(86) 및 한쪽의 반분할원호부재(84)에 형성된 너트(87)를 갖고 구성되어있다.

접합상태에 있어서의 제1원추대상단말부(1D)와 제2원추대상단말부(2D)에 걸터서 한 쌍의 반분할원호부재(84)를 씌운 상태에 있어서, 다른 쪽의 반분할원호부 재(84)의 삽입관통구멍(84h)을 통한 볼트(86) 및 너트(87)의 체결에 의해 일단이 경첩형상으로 지지점(Q)으로 축지지되어 있는 반분할원호부재(84)(84)끼리가 끌어당겨지는 것에 의한 테이퍼면끼리의 맞닿음에 의한 힘에 의해 각 유체급배구부(1A)(2A)끼리가 상호 끌어 당겨진다.

분할형누름링(85)은 불소수지재로 형성되는 것이 바람직하지만 알루미늄합금등 그 이외의 재료로 된 것이라도 된다.

제7별도 구조의 유지수단(I)을 사용해서 양 유체급배구부(1A)(2A)끼리를 접속연결하는 조작 수순은 다음과 같다.

우선 도 21a에 나타내는 바와 같이, 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)및 제1제2 가스켓(G1)(G2)을 거쳐서 가볍게 접속연결시키는 예비연결조작을 행한다.

다음에 도 21b에 나타내는 바와 같이, 그 예비연결된 제1 및 제2원추대상단말부(1D)(2D)에 분할형누름링(85)을 씌워서 볼트(86)에 의한 체결조작을 행한다.

이 볼트(86)의 체결에 의해 양 가스켓(G1)(G2)이 각 유체급배구부(1A)(2A)에 깊게 끼워 넣어져서 도 21c에 나타내는 바와 같이 집적패널(1)과 밸브(2)와의 접속연결상태가 얻어진다.

[실시예13]

실시예 13에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 22에 나타낸다.

이것은 실시예9에 의한 것과 유지수단(I)이 다른것 만이며, 그 제8별도 구조의 유지수단(I)에 대해 설명한다.

또한 도 22에 있어서는 도 14~16에 나타내는 실시예 9와 대응하는 개소에는 대응하는 부호를 부여하고 있다.

제8별도 구조의 유지수단(I)은 집적패널(1)의 상면에 외부원주부에 수나사(1n)를 갖는 상태로 형성된 평면으로 보아 원형을 나타내는 돌기상의 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)에 있어서, 외부원주부에 수나사(9n)를 갖는상태로 밸브케이스(6)의 하단부에 형성된 플랜지부(9)와 이들 양 수나사(1n)(9n)에 나사조임이 자유로운 암나사(91n)(92n)를 갖는 제1 및 제2링너트(91)(92)와 이들 링너트(91)(92)의 외부원주홈(91m)(92m)에 끼워 맞춤 가능한 단면형상이 대략 コ자형상의 걸어맞춤링(93)으로 구성되어있다.

양 링너트(91)(92) 및 걸어맞춤링(93)은 예를 들면 PFA 나 PTFE 등의 불소수지제이며, 어느 정도의 가요성을 갖고 있다.

여기서 제8별도 구조의 유지수단(I)을 사용해서 양 유체급배구부(1A)(2A)끼리를 접속연결하는 수순은 미리 각 링너트(91) (92)에 걸어맞춤링(93)을 걸어 맞추어서 일체화시킨 제1 및 제2링너트(91)(92)를 형성해두고 그 일체화된 제1,2링너트(91)(92)를 가스켓(G1)(G2)을 통해서 상호 끌어 당겨져서 조립상태로 되어있는 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)에 나사장착하고 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 형성한다.

물론 이 경우는 각 수나사(1n)(9n)가 상호 동일한 나사인 것이 조건이며, 나사 장착 후에 각 링너트(91)(92)를 돌려서 강하게 체결하거나 혹은 후에 체결증대시키는 것이 행해진다.

또 다음과 같은 조립 수순도 가능하다.

즉 각각의 링너트(91)(92)를 대응하는 수나사(1n)(9n)에 나사장착한 상태에서 양유체급배구부(1A)(2A)를 제1 및 제2가스켓(G1)(G2)을 통해서 끌어당겨 가스켓(G1)(G2)이 압축접촉되어서의 밀봉상태로 접속하는 끌어당김 공정을 행한다.

이 끌어당김 공정은 유지수단(I)과는 별도의 전용의 끌어당김 수단을 사용해서 행한다.

그리고 각 수나사(1n)(9n)의 각각에 상호 인접하는 상태로 나사장착되어있는 제1 및 제2링너트(91)(92)의 외부원주홈(91m) (92m)에 걸어맞춤링(93)을 강제적으로 직경확대변형시키는 것으로 집어넣는 것에 의해 집적패널과 유체장치와의 접속구조가 형성된다.

결국 걸어맞춤링(93)은 무리하게 끼워 넣으므로서 양 링너트(91)(92)에 걸어맞춤 장착된다.

이 구성에 의한 유지수단(I)은 문자 그대로 제1 및제2유체급배구부(1A)(2A)의 가스켓(G1)(G2)을 통해서의 밀봉접속상태를 유지하는 기능만을 갖는 것이다.

그러나 각 링너트(91)(92)와 걸어맞춤링(93)과는 상대회전이 가능하기 때문에 이들 링너트(91)(92)는 함께 단독으로의 회전이동이 가능하며, 경시변화나 변형등에 의해 밀봉압축접촉력이 저하한 경우에는 어느 것인가 혹은 쌍방의 링너트(91)(92)를 강제적으로 회전조작해서 체결증대조작을 행하는 것은 가능하다.

[기타의 실시예]

도 14∼16에 나타내는 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서는 외경측의 제2가스켓(G2)은 도시는 생략했지만 외부원주벽(63)의 상,하단말이 내부원주 벽(53)보다도 짧고, 또한 단순히 수평상으로 절단된 구조의 것이라도 된다.

2중배관 접속구조에서는 최외경측의 제2가스켓(G2)의 외부원주벽(63)에는 밀봉기능이 없어도 된다.

실시예 9∼13에 있어서의 가스켓(G1)(G2)은 상,하 및 좌,우로 대칭형상의 것이나 예를 들면 내외의 원주벽의 길이나 두께가 다른 것이나 상,하 비대칭의 것이라도 되고, 도시하는 형상에 한정되지 않는다.

또 외측의 환상유체통로(8)의 다시 또 외측에 하나 또는 복수의 환상의 유체통로를 갖는 3중 이상의 집적패널과 유체장치와의 접속구조도 가능하고, 최외측에 위치하는 가스켓 이외의 가스켓은 그 내외원주면의 쌍방이 유체경로를 겸하는 구성이 채택된다.

또한 본 발명에 있어서의 「유체장치」란 밸브, 펌프, 축열기, 유체저장용기, 열교환기, 조절기, 압력계, 유량계, 히터, 플랜지배관 등의 요는 집적패널 이외의 유체관계의 것의 총칭으로 정의한다.

다시 또 끌어당김 기능부착 유지수단으로서는 턴버클식(예 ; 도 10이나 도 22에 나타내는 구조에 있어서, 어느 것인가의 수나사 1n,9n을 역나사로 해서 이들 양 수나사 1n,9n 에 걸치는 턴버클너트를 나사장비하는 구조)의 것도 가능하다.

또 환상누름돌기(13)(23)(33)(43)에 대해는 환상누름벽부(13)(23)(33)(43)로 대체하는 것으로 하고, 이들 환상누름돌기 (12)(13)(22)(23)(32)(42)와 환상누름벽부(33)(43)와를 총칭해서 「환상누름부분」으로 정의하는 것으로 한다.

Claims (12)

1. 관형상의 유체통로가 개구되는 제1유체급배구부를 구비한 집적패널의 상기한 제1유체급배구부와 관형상의 유체통로가 개구되는 제2유체급배구부를 구비한 유체장치의 상기한 제2유체급배구부를 이들 제1유체급배구부와 제2유체급배구부와의 사이에 개재되는 링형상의 가스켓에 의해 상기한 유체통로를 밀봉하는 상태로 연통접속하는데 있어서, 상기한 제1유체급배구부 및 상기한 제2유체급배구부에는 각 단면에 개구되는 상기한 각 유체통로의 외경측부분에 환상돌기가 형성되고, 상기한 가스켓은 상기한 제1,제2유체급배구부의 상호 대응하는 상기한 유체통로끼리를 연통시키기위해 형성된 유체경로와 상기한 제1 및 제2유체급배구부의 단면에 형성된 상기한 환상돌기의 각각에 끼워 맞추어지도록 상기한 유체경로의 외경측부분에 형성된 한 쌍의 환상홈을 갖는 가요성을 구비한 재료로 구성되어 있고, 상기한 제1유체급배구부와 제2유체급배구부가 상호 상기한 가스켓을 통해서 끌어 당겨지는 것에 의해 상기한 제1유체급배구부의 상기한 환상돌기와 상기한 가스켓의 일단의 환상홈 및 제2유체급배구부의 환상돌기와 가스켓의 타단의 환상홈이 각각 끼워 맞추어져서 끼워맞춤밀봉부가 형성되고, 또한 제1 및 제2유체급배구부의 단면에 있어서의 환상돌기의 내경측에 형성되는 환상누름부분과, 가스켓에 있어서의 환상홈을 형성하기위해 축심방향으로 돌출형성된 내외의 원주벽단말부중의 내경측의 원주벽단말부가 맞닿아서 내경측의 원주벽단말부가 환상홈과 환상돌기와의 끼워 맞추어짐에 의해 직경이 축소변형하는 것을 억제 또는 저지하는 확대축소변형방지수단이 형성되는 접합상태가 구성되고, 상기한 확대축소변형방지수단은 환상누름부분과 환상돌기로 둘러싸인 골짜기부가 안쪽이 좁아지는 형상이 되도록 환상누름부분에 있어서의 환상돌기측의 측면원주면이 경사진 테이퍼원주면과 내경측의 원주벽단말부에 형성된 테이퍼원주면과의 압축접촉에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
2. 제1항에 있어서,

   환상누름부분의 테이퍼원주면과 내경측의 원주벽단말부의 테이퍼원주면의 압축접촉에 의해 밀봉부를 형성하도록 구성되어있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기한 가스켓의 단면형상이 대략 H자형의 형상을 나타내는 것으로 구성되어있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
4. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,

   환상홈에 환상돌기를 넣기 쉽게 하기 위해 환상돌기가 그 선단의 내부원주각부 및/또는 외부원주각부를 모떼기 한 단면이 끝이 가는 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
5. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,

   상기한 끼워맞춤밀봉부 및 상기한 확대축소변형방지수단이 형성되는 상기한 접합상태를 유지하는 유지수단이 장비되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
6. 제5항에 있어서,

   상기한 유지수단은 제1유체급배구부와 제2유체급배구부를 끌어당겨서 접합상태를 얻기 위한 끌어당김 기능을 발휘시키는 것으로 구성되어있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
7. 관형상의 유체통로 또는 환상의 유체통로와 하나 이상의 환상의 유체통로가 동심원상으로 형성되어서 개구되는 제1유체급배구부를 구비한 집적패널의 제1유체급배구부와 관형상의 유체통로 또는 환상의 유체통로와 하나 이상의 환상의 유체통로가 동심원상으로 형성되어서 개구되는 제2유체급배구부를 구비한 유체장치의 제2유체급배구부를 각각의 복수의 유체통로가 상호 대응하고, 또한 제1유체급배구부와 제2유체급배구부의 사이에 개재되는 복수의 링형상의 가스켓에 의해 각 유체통로가 밀봉되는상태로 연통접속되는데 있어서, 제1유체급배구부 및 제2유체급배구부에는 각 단면에 개구되는 상기한 각 유체통로의 외경측부분에 환상돌기가 형성되고, 상기한 각 가스켓은 제1,제2유체급배구부의 상호 대응하는 유체통로끼리를 연통시키기위해 형성된 유체경로와 제1 및 제2유체급배구부의 단면에 형성된 환상돌기의 각 각에 끼워맞추기 위해 유체경로의 외경측부분에 형성된 한 쌍의 환상홈을 갖는 가요성을 구비한 재료로 구성되어있고, 제1유체급배구부와 제2유체급배구부가 상호 상기한 복수의 가스켓을 통해서 끌어 당겨지므로서 제1유체급배구부의 상기한 환상돌기와 상기한 각 가스켓의 일단의 환상홈 및 상기한 제2유체급배구부의 환상돌기와, 상기한 각 가스켓의 타단의 환상홈이 각각 끼워 맞추어져서 끼워맞춤밀봉부가 형성되고, 또한 상기한 제1 및 제2유체급배구부의 단면에 있어서의 환상돌기의 내외경측에 형성되는 환상누름부분과 상기한 가스켓에 있어서의 상기한 환상홈을 형성하기 위해 축심방향으로 돌출형성된 내외경측의 원주벽단말부가 맞닿아서 상기한 내외경측의 원주벽단말부가 상기한 환상홈과 환상돌기의 끼워 맞춤에 의해 직경확대 또는 직경축소변형하는 것을 억제 또는 저지하는 확대축소변형방지수단이 형성되는 접합상태가 구성되고, 상기한 확대축소변형방지수단은 환상누름부분과 상기한 환상돌기로 둘러싸인 골짜기부가 안쪽으로 좁아지는 형상이 되도록 상기한 환상누름부분에 있어서의 환상돌기측의 측면원주면이 경사진 테이퍼원주면과 상기한 내외경측의 원주벽단말부에 형성된 테이퍼원주면과의 압축접촉에 의해 구성됨과 동시에 상기한 복수의 가스켓중 상기한 접합상태에 있어서, 내경측 및 외경측의 쌍방에 상기한 유체경로가 존재하는 중간가스켓은 이것의 외부원주부가 중간가스켓의 외경측에 존재하는 상기한 제1유체급배구부의 상기한 환상의 유체통로 및 상기한 제2유체급배구부의 상기한 환상의 유체통로를 연통하는 환상의 유체경로를 형성하기 위한 벽면이 되는 상태로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
8. 제7항에 있어서,

   상기한 환상누름부분의 테이퍼원주면과 상기한 내외경측의 원주벽단말부의 테이퍼원주면과의 압축접촉에 의해 밀봉부를 형성하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
9. 제7항 또는 제8항에 있어서,

   상기한 가스켓의 단면형상이 대략 H 자형의 형상을 나타내는 것으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
10. 제7항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서,

    상기한 환상홈에 상기한 환상돌기를 넣기 쉽게 하기 위해 상기한 환상돌기가 그 선단의 내부원주각부 및/또는 외부원주각부가 모떼기 된 단면의 선단이 가느다란 형상으로 형성되어있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
11. 제7항 내지 제10항 중의 어느 한 항에 있어서,

    상기한 끼워맞춤밀봉부 및 상기한 확대축소변형방지수단이 형성되는 상기한 접합상태를 유지하는 유지수단이 장비되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
12. 제11항에 있어서,

    상기한 유지수단은 상기한 제1유체급배구부와 제2유체급배구부를 끌어당겨서 상기한 접합상태를 얻기 위한 끌어당김 기능을 발휘하는 것으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.

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