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KR20030093110A - 원격 보수시스템 및 원격 보수방법 - Google Patents

원격 보수시스템 및 원격 보수방법 Download PDF

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KR20030093110A
KR20030093110A KR10-2003-0033942A KR20030033942A KR20030093110A KR 20030093110 A KR20030093110 A KR 20030093110A KR 20030033942 A KR20030033942 A KR 20030033942A KR 20030093110 A KR20030093110 A KR 20030093110A
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이즈미다카시
이나바마사아키
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가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
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Abstract

본 발명은 산업용 기기의 사용자가 허가하는 범위내에서 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보를 보수원에 대하여 안전하게 공개할 수 있는 원격 보수시스템, 원격 보수방법을 제공하는 것이다.
이를 위하여 산업용 기기와 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템에 있어서, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하고, 암호화된 암호화 기기정보를 작업장치로부터의 요구에 따라 송신하고, 산업용 기기가 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 출력하여, 송신된 암호화 기기정보와 공통 키를 수신하고, 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화하고, 복호화된 기기정보를 출력한다.

Description

원격 보수시스템 및 원격 보수방법{REMOTE MAINTENANCE SYSTEM AND METHOD THERE OF}
본 발명은, 산업용 기기의 원격 보수시스템, 원격 보수방법에 관한 것이다.
제조장치, 검사장치, 분석장치 등의 산업용 기기는 제조회사에서 제작된 후, 이들 산업용 기기를 공급하는 회사(이하, 장치공급 판매자라 함)를 거쳐 고객에게 납입되나, 납입 후의 성능을 유지하기 위한 보수가 필수이다.
종래, 이들 산업용 기기와 장치공급 판매자의 보수센터를 인터넷을 거쳐 접속하여, 보수센터로부터 원격으로 산업용 기기를 보수하는 것이 행하여지고 있다. 일본국 특개평11-15520호 공보에는, 인터넷을 사용한 원격 보수시스템이 제안되어 있고, 이 시스템을 이용하면 산업용 기기의 설치지역을 불문하고 산업용 기기의 보수를 행할 수 있다.
계산기를 내장한 산업용 기기에서는, 산업용 기기의 사용이력을 나타내는 기기정보를 하나 하나의 산업용 기기에서 축적하는 것이 가능하다. 이와 같은 기기정보는, 고장의 원인을 특정하기 위하여 사용할 수 있기 때문에 보수를 행하는 데에 있어서 아주 가치가 있는 정보가 된다. 예를 들면, 어떠한 프로그램을 언제 실행하고, 산업용 기기의 각 부위가 어떻게 상태 천이하요, 어떠한 처리결과를 얻었는가라는 기기정보를 참조할 수 있으면, 고장의 원인이 프로그램의 내용에 있는지의 여부, 프로그램의 실행순서에 있는지의 여부, 장치의 특정부위에 있는지의 여부나, 처리의 결과가 원하는 것인지의 여부를 파악할 수 있다고 기대할 수 있다.
그러나 지금까지는, 기기정보에는 산업용 기기가 제조하는 제품의 제조계획이나 제품의 사양에 관한 기밀정보가 포함되는 것이 많기 때문에, 제 3자도 이용할 수 있는 인터넷을 거쳐 보수센터의 보수원에게 기기정보가 공개되는 일은 적어, 신속하게 고장에 대처하는 것은 반드시 용이한 것이 아니었다.
이 때문에, 인터넷을 사용한 원격 보수시스템에서는, 어떻게 기기정보를 안전하게 관리하여 보수에 활용할지가 큰 과제로 되어 있었다. 상기한 일본국 특개평 11-15520호 공보에 기재되어 있는 원격 보수시스템에 있어서도, 이와 같은 기기정보를 적극적으로 활용하는 방법에 대해서는 언급되어 있지 않다.
본 발명은, 산업용 기기의 사용자가 허가하는 범위내에서 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보를 보수원에 대하여 안전하게 공개할 수 있는 원격 보수시스템, 원격 보수방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태의 시스템의 구성을 나타내는 블록도,
도 2는 반도체제조검사장치의 구성을 나타내는 블록도,
도 3은 암호화 기기 데이터 패키지의 구성을 나타내는 도,
도 4는 공통 키 관리테이블의 구성을 나타내는 도,
도 5는 보수원 속성 관리테이블의 구성을 나타내는 도,
도 6은 분석상황 관리테이블의 구성을 나타내는 도,
도 7은 프로그램 실행이력 관리테이블의 구성을 나타내는 도,
도 8은 실행 권한 관리테이블과 프로그램 실행이력 관리테이블과 센서상태이력 관리테이블의 구성을 나타내는 도,
도 9는 지식 관리테이블의 구성을 나타내는 도,
도 10은 반도체제조검사장치와 작업장치의 사이에서 송수신하는 메시지 데이터의 구성을 나타내는 도,
도 11은 작업장치가 분석착수통지와 분석착수응답을 송수신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트,
도 12는 반도체제조검사장치의 통신부가 분석착수통지와 분석착수응답을 송수신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트,
도 13은 작업장치가 분석조작통지를 송신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트,
도 14는 반도체제조검사장치의 통신부가 분석조작통지를 수신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트,
도 15는 작업장치가 분석완료통지를 송신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트,
도 16은 반도체제조검사장치의 통신부가 분석완료통지를 수신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트,
도 17은 작업장치에 표시되는 분석작업화면을 나타내는 도,
도 18은 반도체제조검사장치에 표시되는 분석실적 출력화면을 나타내는 도,
도 19는 제조공장에 설치된 관리장치의 구성 블록도,
도 20은 본 발명의 제 3 실시형태를 나타내는 시스템 구성 블록도,
도 21은 반도체제조공장에 설치된 관리장치와 보수센터의 작업장치 사이에서 송수신하는 보수의뢰 데이터의 구성을 나타내는 도,
도 22는 분석상황 관리테이블의 구성을 나타내는 도,
도 23은 반도체제조검사장치의 통신부가 보수의뢰를 수신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
100 : 인터넷 110 : 보수센터
111, 121 : 인트라넷 112, 122 : 관리장치
113 : 작업장치 120 : 반도체제조공장
123 : 반도체제조검사장치 130 : 입출력부
131 : 통신부 132 : 제어부
133 : 부위
본 발명의 실시형태에 있어서는, 상기 목적을 달성하기 위하여, 산업용 기기와 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수방법에 있어서, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하고, 암호화된 암호화 기기정보를 작업장치로부터의 요구에 따라 송신하고, 산업용 기기가 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 출력하여, 송신된 암호화 기기정보와 공통 키를 수신하고, 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화하고, 복호화된 기기정보를 출력하는 것이다.
또, 산업용 기기와 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템에 있어서, 산업용 기기는 암호화 유닛과 통신유닛과 입출력 유닛을 구비하고, 암호화 유닛은 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하고, 통신유닛은 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 작업장치로부터의 요구에 따라 작업장치에 송신하고, 입출력 유닛은 산업용 기기가 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 출력하고, 작업장치는 통신유닛과 복호화 유닛과 입출력 유닛을 구비하고, 통신유닛은 산업용 기기의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보와 공통 키를 수신하고, 복호화 유닛은 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화하고, 입출력 유닛은 복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 출력하는 것이다.
또 작업장치에 의하여 기기정보에 의거하여 실시한 산업용 기기의 보수의 내용에 따른 대가를 연산하고, 연산된 대가를 송신하는 것이다.
본 발명의 제 1 실시형태를 상세하게 설명한다. 본 실시형태는, 본 발명을 적용한 반도체제조검사장치의 원격 보수시스템이다. 본 시스템은, 산업용 기기의 사용자가 허가하는 범위내에서, 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보를 보수원에 대하여 안전하게 공개하는 것을 가능하게 하는 것이다. 본 발명이 처리할 수 있는 산업용 기기에는 계산기를 내장하고 있는 것 이외에 제한은 없으나, 본 실시형태의 설명에서는 산업용 기기로서 반도체제조공장에서 사용하는 노광장치, 도포현상장치, 열처리장치, 조립장치, 검사장치 등의 반도체제조에 사용되는 각종 장치나 시스템을 상정한다. 이하에서는 이들 장치나 시스템을 반도체제조검사장치라 총칭한다. 또 본 발명이 처리할 수 있는 기기정보에는 산업용 기기의 상태를 나타내는 데이터인 것 이외에는 제한이 없으나, 본 실시형태의 설명에서는 프로그램, 프로그램의 실행이력, 센서의 상태이력, 웨이퍼의 처리결과를 기기정보로서 상정한다. 이하에서는 이들 정보를 나타내는 데이터를 기기 데이터라 총칭한다.
도 1은, 본 발명을 적용한 반도체제조검사장치의 원격 보수시스템의 구성의 일례를 나타내는 블록도이다. 110은, 반도체제조검사장치를 공급하는 회사(이하, 장치공급 판매자라 함)의 보수센터이다. 120은, 반도체제조검사장치를 사용하여 반도체장치를 제조하는 회사(이하, 반도체제조회사라 함)의 제조공장이다. 도 1에 나타낸 시스템에서는 2개의 제조공장(120)이 표시되어 있으나, 실제로는 2개 이상의 제조공장(120)이 있어도 상관없다. 또 제조공장(120)은, 서로 다른 반도체제조회사에 속하는 공장이어도, 동일한 반도체제조회사에 속하는 공장이어도 상관없다.
보수센터(110)에는, 반도체제조검사장치의 보수를 행하는 하나 이상의 작업장치(113)와, 보수센터(110)에 대한 통신을 관리하는 관리장치(112)가 설치되어 있다. 각 작업장치(113)와 관리장치(112)는, 인트라넷(111)을 거쳐 접속되어 있다.
각 제조공장(120)에는, 반도체장치를 제조하는 하나 이상의 반도체제조검사장치(123)와, 제조공장(120)에 대한 통신을 관리하는 관리장치(122)가 설치되어 있다. 각 반도체제조검사장치(123)와 관리장치(122)는, 인트라넷(121)을 거쳐 접속되어 있다. 보수센터(110)에 설치된 관리장치(112)는, 각 제조공장(120)에 설치된 관리장치(122)와 인터넷(100)을 거쳐 접속되어 있다.
도 1의 각 장치는 모두 단일의 계산기를 이용한 장치이나, 실제로는 단일의 장치를 복수대의 계산기로 구성하여도, 복수의 장치를 단일의 계산기를 이용하여 구성하여도 상관없다. 또 이들 계산기는, 중앙처리장치(이하, CUP라 함), 주 기억장치(이하, 메모리라 함), 하드 디스크 등의 고정형 기억매체를 사용하는 보조 기억장치와, 컴팩트 디스크, 광자기 디스크 등의 가반형 기억매체를 사용하는 보조 기억장치와, 키보드나 마우스 등의 입력장치와, 디스플레이 등의 표시장치 등의 출력장치를 구비하는 것으로 한다.
보수센터(110)에 설치된 작업장치(113)는, 보수센터(110)의 보수원이 원격으로 반도체제조검사장치(123)의 보수를 행하는 장치이다. 작업장치(113)는, 고장이 발생한 반도체제조검사장치(123)로부터 보수의 의뢰를 나타내는 메시지(이하, 보수의뢰라 함)를 수신하면, 보수의뢰에 저장되어 있는 데이터를 출력장치에 출력하는 기능을 가진다.
보수의뢰에 저장되어 있는 데이터에는, 반도체제조검사장치의 식별자를 나타내는 장치 ID와, 고장의 증상을 나타내는 에러코드가 있다. 출력장치에 출력된 데이터는, 고장에 대한 대처가 온라인에서 필요한지의 여부를 판단하기 위하여 보수원에 의하여 사용된다. 또한 보수의뢰에는, 고장이 발생한 일시를 나타내는 데이터, 반도체제조공장의 식별자를 나타내는 데이터, 해당 반도체제조검사장치의 종별을 나타내는 데이터 등을 저장하여도 좋다.
작업장치(113)는, 프로그램의 식별자를 나타내는 프로그램 ID와, 이 프로그램에 주어지는 파라미터를 저장한 메시지(이하, 보수조작이라 함)를 보수의뢰를 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 기능도 가진다. 또한 보수조작에는, 판독조작과 해결조작의 종별이 있는 것으로 한다. 판독조작은, 기기 데이터를 판독하는 프로그램의 식별자를 보수조작의 프로그램 ID로 지정하고 있는 것이고, 해결조작은, 반도체제조검사장치가 유지하는 프로그램을 생성, 편집, 삭제하는 프로그램의 식별자나, 관리 데이터를 생성, 편집, 삭제하는 프로그램의 식별자나, 반도체제조검사장치의 동작을 테스트하는 프로그램의 식별자를 보수조작의 프로그램 ID로 지정하고 있는 것이다. 이하의 설명에서는, 기기 데이터를 판독하는 프로그램과 이외의 프로그램을 각각 판독 프로그램과 해결 프로그램이라 총칭한다.
작업장치(113)는, 보수조작에 응답하여 반도체제조검사장치(123)로부터 송신되는 메시지(이하, 보수조작응답이라 함)를 수신하면, 보수조작응답에 저장되어 있는 데이터를 보수원이 지정한 외부 기억장치의 파일에 저장하고, 데이터를 파일에 저장한 것을 출력장치에 출력하는 기능도 가진다. 또한 보수조작응답에는, 판독조작응답과 해결조작응답의 종별이 있는 것으로 한다.
판독조작응답은, 판독조작에 대한 응답이며 기기 데이터 패키지를 저장하고 있다. 여기서 기기 데이터 패키지는, 기기 데이터 ID, 암호화 기기 데이터, 이벤트 송신규칙의 각 데이터로 구성된다. 또한 이벤트 송신규칙은, 기기 데이터를 암호화한 공통 키를 사용하여 암호화되어 있어도 된다. 해결조작응답은, 해결조작에 대한 응답이며 메시지 데이터를 저장하고 있다. 여기서 메시지 데이터는, 해결 프로그램이 출력한 데이터이다.
작업장치(113)는, 보수원의 식별자를 나타내는 보수원 ID, 보수원의 패스워드를 나타내는 보수원 패스워드, 분석대상의 기기 데이터 패키지에 있는 기기 데이터 ID를 저장한 메시지(이하, 분석착수통지라 함)를, 보수의뢰를 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 기능도 가진다. 또한 분석대상이 되는 암호화 기기 패키지는, 가반형의 기억매체를 거쳐 외부 기억장치의 파일에 저장된 것이어도 된다.
작업장치(113)는, 분석착수통지에 응답하여 반도체제조검사장치(123)로부터 송신되는 메시지(이하, 분석착수통지응답이라고 함)를 수신하면, 분석착수통지응답에 저장되어 있는 공통 키를 주 기억장치에 기억하는 기능도 가진다. 기억된 공통 키는, 분석착수통지에 저장한 기기 데이터 ID에 의하여 식별되는 기기 데이터를 복호화하기 위하여 보수원에 의하여 사용된다. 작업장치(113)는, 주 기억장치에 기억한 공통 키에 대한 조작을 제한하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 공통 키에 대한 조작을 제한하는 기능도 가진다. 기억한 공통 키에 대한 조작으로서는, 예를 들면 주 기억장치내에서의 복사나, 주 기억장치로부터 외부 기억장치로의 복사가 있다.
작업장치(113)는, 분석착수통지응답을 수신하였을 때에 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기 데이터를 복호화하고, 복호화한 기기 데이터를 주 기억장치에기억하는 기능도 가진다. 복호화된 기기 데이터는, 고장의 원인이 프로그램의 내용에 있는지의 여부, 프로그램의 실행순서에 있는지의 여부, 제어부의 통신에 있는지의 여부, 장치의 특정부위에 있는지의 여부라고 한 것이나, 처리의 결과가 원하는 것인지의 여부라고 한 것을 분석하기 위하여 보수원에 의하여 사용된다.
작업장치(113)는, 주 기억장치에 기억한 기기 데이터에 대한 조작을 제한하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 기기 데이터에 대한 조작을 제한하는 기능도 가진다. 기억한 기기 데이터에 대한 조작으로서는, 예를 들면 주 기억장치내에서의 복사나, 주 기억장치로부터 외부 기억장치로의 복사가 있다.
작업장치(113)는, 복호화한 기기 데이터에 대하여 보수원이 행한 조작의 이력을 나타내는 이벤트 데이터를 생성하고, 분석대상의 기기 데이터 패키지에 있는 이벤트 송신규칙을 사용하여, 생성한 이벤트 데이터를 저장하는 메시지(이하, 분석조작통지라고 함)를, 보수의뢰를 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 기능도 가진다. 이벤트 데이터는, 기기 데이터에 대하여 언제, 어떤 보수원이, 어떠한 조작을 행하였는가라는 것을 파악하기 위하여 반도체제조검사장치(123)의 사용자에 의하여 사용된다.
작업장치(113)는, 복호화한 기기 데이터를 동화상을 사용하여 출력장치에 출력(이하, 애니메이션표시라 함)하는 기능도 가진다. 표시된 동화상은, 직접 육안으로 볼 수 없는 반도체제조검사장치(123)의 동작을 시각적으로 분석하기 위하여 보수원에 의하여 사용된다.
또 작업장치(113)는, 복호화한 기기 데이터를 타이밍차트를 사용하여 출력장치에 출력(이하, 타이밍차트표시라 함)하는 기능도 가진다. 표시된 타이밍차트는, 직접 육안으로 볼 수 없는 반도체제조검사장치(123)의 동작을 동작의 타이밍의 관점에서 분석하기 위하여 보수원에 의하여 사용된다.
또 작업장치(113)는, 복호화한 기기 데이터와 미리 기록하여 둔 다른 기기 데이터를 타이밍차트의 위에서 겹쳐서 출력장치에 출력(이하, 오버레이표시라 함)하는 기능도 가진다. 표시된 타이밍차트는, 복수의 산업용 기기의 동작을 비교나, 동일산업용 기기의 다른 시각의 동작의 비교를 행하여 분석하기 위하여 보수원에 의하여 사용된다.
또 작업장치(113)는, 특정한 고장의 원인을 해당 고장의 원인으로서 판단한 이유를 나타내는 판단이유를 입력하는 기능도 가진다. 입력된 판단이유는, 분석작업의 정당성을 확인하기 위하여, 반도체제조검사장치의 사용자나 다른 보수원에 의하여 사용된다.
작업장치(113)는, 보수원의 조작에 따라 기기 데이터와 공통 키를 주 기억장치로부터 삭제하고, 이들 데이터를 삭제한 것을 나타내는 데이터를 저장한 메시지(이하, 분석완료통지라 함)를, 보수의뢰를 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 기능도 가진다. 분석완료통지는, 복호화된 기기 데이터와 배포한 공통 키가 작업장치(113)에서 확실하게 삭제된 것을 파악하기 위하여 반도체제조검사장치 (123)의 사용자에 의하여 사용된다. 또한 본 실시형태에서는, 분석착수통지를 송신하고 나서 분석완료통지를 송신할 때까지가 1회의 분석작업이다. 보수원은, 고장의 원인을 특정할 때까지 분석작업을 반복한다.
작업장치(113)는, 보수작업이 완료된 반도체제조검사장치(123)의 장치 ID, 해당 고장의 에러코드, 해당 고장의 원인을 특정하기 위하여 사용한 암호화 기기 패키지, 해당 고장의 원인을 분석한 이력(이하 보수실적이라 함)으로 구성되는 메시지(이하, 등록조작이라 함)를 보수센터(110)에 설치된 관리장치(112)에 송신하는 기능도 가진다.
작업장치(113)는, 장치 ID와 에러코드의 적어도 한쪽을 저장하는 메시지(이하, 검색조작이라 함)를 보수센터(11O)에 설치된 관리장치(112)에 송신하는 기능도 가진다. 작업장치(113)는, 검색조작에 응답하여 관리장치(112)로부터 송신되는 메시지(이하, 검색조작응답이라 함)를 수신하면, 검색조작응답에 저장되어 있는 데이터를 출력장치에 출력하는 기능도 가진다. 출력된 데이터는, 보수의뢰를 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 관하여 고장에 대한 대처가 온라인에서 필요한지의 여부, 동일한 증상이 과거에 발생한 적이 있는지의 여부, 증상에 취해진 대처방법은 어떠한 것이었는가를 확인하기 위하여 보수원에 의하여 사용된다. 검색조작응답에 저장되어 있는 암호화 기기 데이터의 표시방법은, 반도체제조검사장치(123)로부터 판독한 암호화 기기 데이터의 표시방법과 동일하므로 설명을 생략한다.
보수센터(110)에 설치된 관리장치(112)는, 보수센터(110)에 송수신되는 통신을 관리함과 동시에 보수에 관한 지식을 관리하는 장치이다. 관리장치(112)는, 각 제조공장(120)에 설치된 관리장치(122)로부터 보수의뢰를 수신하고 있는지의 여부를 정기적으로 감시하여, 보수의뢰를 수신하고 있는 것을 검출한 경우에는, 특정한 보수원이 사용하고 있는 관리장치(112)에 소정의 규칙에 따라 보수의뢰를 송신하는기능을 가진다.
관리장치(112)는, 보수의뢰에 응답하여 작업장치(113)로부터 송신되는 보수조작, 분석착수통지, 분석조작통지, 분석완료통지의 각 메시지를, 보수의뢰를 송신하여 온 제조공장(120)의 관리장치(122)에 송신하는 기능도 가진다. 관리장치(112)는, 작업장치(113)로부터 송신되는 등록조작을 수신하면, 등록조작에 저장되어 있는 장치 ID, 에러코드, 기기 데이터 패키지, 분석실적을 서로 관련지어 지식 관리테이블에 등록하는 기능도 가진다. 관리장치(112)는, 작업장치(113)로부터 송신되는 검색조작을 수신하면, 검색조작에 저장되어 있는 데이터를 키로 하여 지식 관리테이블을 검색하고, 검색된 데이터를 저장하는 검색조작응답을 검색조작을 송신하여 온 작업장치(113)에 송신하는 기능도 가진다.
관리장치(112)는, 작업장치(113)로부터 송신되는 보수조작, 분석착수통지, 분석조작통지, 분석완료통지의 각 메시지에 의거하여, 대가를 연산하는 기능도 가진다. 관리장치(112)는, 작업장치(113)로부터 송신되는 등록조작을 수신하면, 연산한 결과를 보수내용에 관련지어 지식 관리테이블에 등록하는 기능도 가진다. 관리장치 (112)는, 지식 관리테이블에 등록된 보수내용에 관련지어진 대가의 메시지를 제조공장(120)에 설치된 관리장치(122)에 송신하는 기능도 가진다.
제조공장(120)에 설치된 관리장치(122)는, 제조공장(120)에 대한 통신을 관리하는 장치이다. 관리장치(122)는, 각 반도체제조검사장치(123)로부터 보수의뢰를 수신하고 있는지의 여부를 정기적으로 감시하여, 보수의뢰를 수신하고 있는 것을 검출한 경우에는, 이 보수의뢰를 보수센터(110)의 관리장치(122)에 송신하는 기능을 가진다. 관리장치(122)는, 보수의뢰에 응답하여 보수센터(110)의 관리장치(112)로부터 송신되는 보수조작, 분석착수통지, 분석조작통지, 분석완료통지의 각 메시지를, 보수의뢰를 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 기능도 가진다.
제조공장(120)에 설치된 반도체제조검사장치(123)는, 제조공장(120)의 사용자가 반도체장치를 제조하는 장치이다. 도 2는, 반도체제조검사장치(123)의 구성을 나타내는 블록도이다. 반도체제조검사장치(123)는, 사용자가 반도체장치의 제조에 필요한 데이터(이하, 제조조작이라 함)를 입력하는 입출력부(130)와, 관리장치 (122)와의 사이에서 보수의뢰, 보수조작, 분석착수통지, 분석조작통지, 분석완료통지의 각 메시지를 송수신하는 통신부(131)와, 보수조작이나 제조조작에 따라 프로그램을 실행하는 제어부(132)와, 제어부(132)에 의하여 제어되는 부위(133)로 구성된다.
입출력부(130)는, 사용자가 입력하는 제조조작을 접수하면, 입력된 제조조작에서 지정된 프로그램 ID와, 이 프로그램에 주어지는 파라미터를 저장한 데이터(이하, 코맨드라 함)를 제어부(132)에 송신하고, 제어부(132)로부터 프로그램의 실행결과를 저장한 데이터(이하, 코맨드응답이라 함)를 수신하면, 수신한 코맨드응답으로부터 프로그램의 실행결과를 인출하여 출력장치에 출력하는 기능을 가진다.
입출력부(130)는, 통신부(131)로부터의 요구에 따라 분석착수통지를 수신하고 나서 분석완료통지를 수신하기까지의 사이에 기록한 데이터를 출력장치에 출력하는 기능도 가진다. 통신부(131)는, 반도체제조검사장치(123)의 가동상황을 정기적으로 감시하여, 고장이 발생하고 있는 것을 검지한 경우에는, 해당 반도체제조검사장치 (123)의 장치 ID와 해당 고장의 에러코드를 저장한 보수의뢰를 생성하고, 생성한 보수의뢰를 관리장치(122)를 거쳐 보수센터(110)의 관리장치(122)에 송신하는 기능을 가진다. 통신부(131)는, 보수의뢰에 응답하여 작업장치(113)로부터 송신되는 보수조작을 수신하면, 수신한 보수조작에 저장되어 있는 프로그램 ID와 파라미터를 저장하는 코맨드를 생성하고, 생성한 코맨드를 제어부(132)에 송신하는 기능도 가진다.
또한 코맨드에는, 판독 코맨드와 해결 코맨드의 종별이 있는 것으로 한다. 판독 코맨드는, 판독 프로그램의 식별자를 코맨드의 프로그램 ID로 지정하고 있는 것이고, 해결 코맨드는, 해결 프로그램의 식별자를 코맨드의 프로그램 ID로 지정하고 있는 것이다.
통신부(131)는, 코맨드에 응답하여 제어부(132)로부터 송신되는 코맨드응답을 수신하면, 수신한 코맨드응답에 저장되어 있는 데이터를 사용하여 보수조작응답에 저장하는 데이터를 생성하고, 생성한 데이터를 저장한 보수조작응답을, 보수조작을 송신하여 온 작업장치(113)에 송신하는 기능도 가진다. 통신부(131)는, 제어부 (132)로부터 송신되는 코맨드응답이 판독 코맨드에 대한 응답의 경우에는, 코맨드응답에 저장되어 있는 기기 데이터에 대하여, 기기 데이터를 식별하는 기기 데이터 ID와, 기기 데이터를 암호화할 때에 사용하는 공통 키와, 공통 키의 공개에 필요한 조건을 나타내는 공통 키 공개조건과, 조작의 이력을 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 생성하고, 이들 데이터를 서로 관련지어 공통 키 관리테이블에 등록하고, 등록한 공통 키를 사용하여 코맨드응답에 저장되어 있는 기기 데이터를 암호화하고, 생성한 기기 데이터 ID, 암호화 기기 데이터, 이벤트 송신규칙으로 구성되는 기기 데이터 패키지를 보수조작응답에 저장하는 데이터로 하는 기능도 가진다. 또 이벤트 송신규칙은, 암호화 기기 데이터를 암호화한 공통 키를 사용하여 암호화하여도 된다.
통신부(131)는, 제어부(132)로부터 송신되는 코맨드응답이 해결 코맨드에 대한 응답의 경우에는, 코맨드응답에 저장되어 있는 메시지 데이터를 보수조작응답에 저장하는 데이터로 하는 기능도 가진다. 통신부(131)는, 보수원의 속성을 나타내는 보수원 속성을 보수원 속성 관리테이블에 등록하는 기능도 가진다. 보수원 속성에 저장되어 있는 데이터에는, 보수원 패스워드와 보수원 종별이 있다. 보수원 속성은, 사용자에 의하여 미리 입력된다. 통신부(131)는, 작업장치(113)로부터 분석착수통지를 수신하면, 분석착수통지에 저장되어 있는 보수원 패스워드와 보수원 속성 관리테이블에 저장되어 있는 보수원 패스워드를 비교하여 보수원을 인증하는 기능도 가진다. 이 인증에 의하여 보수원은 독특한 식별자로 식별된다.
통신부(131)는, 작업장치(113)로부터 분석착수통지를 수신하면, 이 통지에 저장되어 있는 기기 데이터 ID를 키로 하여 공통 키 관리테이블로부터 공통 키 공개조건을 검색하고, 이 공통 키 공개조건에 있는 조건을 보수원의 속성이 만족하고 있는 경우에 한하여, 분석착수통지에 저장되어 있는 기기 데이터 ID를 키로 하여 공통 키 관리테이블로부터 공통 키를 검색하고, 이 공통 키를 저장한 분석착수통지응답을, 분석착수통지를 송신하여 온 작업장치(113)에 송신하는 기능도 가진다.
통신부(131)는, 작업장치(113)로부터 분석착수통지, 분석조작통지, 분석완료통지의 각 메시지를 수신하면, 각 메시지에 저장되어 있는 데이터를 분석상황 관리테이블에 기록하는 기능도 가진다. 통신부(131)는, 작업장치(113)로부터 분석완료통지를 수신하면, 분석착수통지를 수신하고 나서 분석완료통지를 수신하기까지의 사이에 기록한 데이터를 분석상황 관리테이블로부터 참조하여, 이 데이터를 출력장치에 출력하도록 제어부(132)를 거쳐 입출력부(130)에 요구하는 기능도 가진다.
제어부(132)는, 판독 프로그램과 해결 프로그램을 프로그램 관리테이블에 기억하는 기능을 가진다. 제어부(132)는, 통신부(131)로부터 코맨드를 수신하면, 코맨드로 지정되어 있는 프로그램을 이것에 대응지어져 있는 파라미터를 사용하여 실행하고, 프로그램의 실행결과를 저장한 코맨드응답을 통신부(131)에 송신하는 기능도 가진다. 제어부(132)는, 통신부(131)로부터 수신한 코맨드가 판독 코맨드인 경우에는, 판독한 기기 데이터를 프로그램의 실행결과로 하는 기능도 가진다. 제어부 (132)는, 통신부(131)로부터 수신한 코맨드가 해결 코맨드인 경우에는, 해결 프로그램이 출력한 메시지 데이터를 프로그램의 실행결과로 하는 기능도 가진다. 제어부 (132)는, 입출력부(130)가 송신한 코맨드의 이력을 나타내는 데이터(이하, 프로그램실행이력이라 함)를 프로그램 실행이력 관리테이블에 기록하는 기능도 가진다. 프로그램 실행이력에는, 언제, 어느 사용자가, 무슨 프로그램을, 어떤 파라미터를 사용하여 실행하였는가라는 정보를 저장한다.
제어부(132)는, 각 부위(133)의 상태가 어떻게 천이하였는가를 나타내는 데이터(이하, 센서상태 이력이라 함)를 센서상태 이력 관리테이블에 기록하는 기능도가진다. 센서상태 이력에는, 언제, 어떤 부위가, 어떤 상태로 천이하였는가라는 정보를 저장한다. 제어부(132)는, 각 부위(133)에 따라 처리된 웨이퍼의 상태를 나타내는 데이터(이하, 처리결과라 함)를 처리결과 관리테이블에 기록하는 기능도 가진다. 처리결과에는, 어떤 웨이퍼가, 어떠한 상태로 되었는가라는 정보를 저장한다.
계속해서, 작업장치(113)와 관리장치(112)에 의해 기억되는 기기 데이터 패키지의 구조에 대하여 설명한다. 도 3은, 기기 데이터 패키지의 예를 나타내고 있다. 기기 데이터 패키지(140)는, 기기 데이터 ID(141), 암호화 기기 데이터(142), 이벤트 송신규칙(143)으로 구성된다. 기기 데이터 ID(141)에는, 암호화 기기 데이터(142)에 암호화되어 저장되어 있는 기기 데이터의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 암호화 기기 데이터(142)에는, 판독한 기기 데이터를 공통 키로 암호화한 데이터를 저장한다. 이벤트 송신규칙(143)에는, 암호화 기기 데이터(142)에 암호화되어 저장되어 있는 기기 데이터에 대하여 보수원이 행하는 조작의 이력을 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 규칙을 나타내는 데이터를 저장한다.
계속해서, 반도체제조검사장치(123)가 관리하는 테이블의 구조에 대하여 설명한다. 도 4는, 반도체제조검사장치(123)의 통신부(131)가 관리하는 공통 키 관리테이블의 예를 나타내고 있다. 공통 키 관리테이블(150)의 각 행은, 각 기기 데이터의 공통 키와 공통 키 공개조건을 저장하는 것이고, 기기 데이터 ID(151), 공통 키(152), 공통 키 공개조건(153)으로 구성된다. 기기 데이터 ID(151)에는, 기기 데이터의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 공통 키(152)에는, 기기 데이터 ID(151)에 저장되어 있는 값에 의하여 식별되는 기기 데이터를 복호화할 때에 사용하는 공통 키를 나타내는 데이터를 저장한다. 공통 키 공개조건(153)에는, 공통 키 (152)에 저장된 값을 공개하기 위하여 필요한 보수원의 속성의 조건을 나타내는 데이터를 저장한다. 이 예에서는, 기기 데이터(D1)의 공통 키는, ABC …이고 상급 보수원에게만 공개되는 것을, 기기 데이터(D2)의 공통 키는, CBA …이고 상급 보수원과 중급 보수원에게만 공개되는 것을 나타내고 있다.
도 5는 반도체제조검사장치(123)의 통신부(131)가 관리하는 보수원 속성 관리테이블의 예를 나타내고 있다. 보수원 속성 관리테이블(160)의 각 행은, 각 보수원의 보수원 속성을 저장하는 것으로, 보수원 ID(161), 보수원 패스워드(162), 보수원 종별(163)로 구성된다. 보수원 ID(161)에는, 보수원의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 보수원 패스워드(162)에는, 보수원의 패스워드를 나타내는 데이터를 저장한다. 보수원 종별(163)에는, 보수원의 종별을 나타내는 데이터를 저장한다. 이 예에서는, 보수원(D1)의 패스워드는 1234이고, 보수원(D1)의 종별은 상급 보수원인 것, 보수원(D2)의 패스워드는 5678이고, 보수원(D2)의 종별은 중급 보수원인 것을 나타내고 있다.
도 6은, 반도체제조검사장치(123)의 통신부(131)가 관리하는 분석상황 관리테이블의 예를 나타내고 있다. 분석상황 관리테이블(170)의 각 행은, 해당 고장에 관하여 반도체제조검사장치(123)의 통신부(131)가 수신한 분석착수통지, 분석조작, 분석완료통지의 내용을 저장하는 것으로, 분석작업 ID(171), 기기 데이터 ID(172), 기록일시(173), 회사 ID(174), 보수원 ID(175), 내용(176)으로 구성된다. 분석작업 ID(171)에는, 분석작업의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 기기 데이터 ID (172)에는, 분석의 대상이 된 기기 데이터의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 기록일시(173)에는, 이력이 기록된 일시를 나타내는 데이터를 저장한다. 보수원 종별(174)에는, 분석작업을 행한 보수원의 종별을 나타내는 데이터를 저장한다. 보수원 ID(175)에는, 분석작업을 행한 분석원의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 내용(176)에는, 분석착수통지, 분석조작, 분석완료통지의 내용을 나타내는 데이터를 저장한다.
이 예에서는, 이 분석작업은 분석작업 101 이고, 분석의 대상이 된 암호화 데이터는 암호화 데이터 D1이고, 분석을 한 보수원은 상급 보수원인 보수원(A1)인 것을 나타내고 있다. 또 분석작업 101에서는 2001년 1월 3일 11시 10분 00초에 공통 키를 반도체제조검사장치(123)로부터 취득하고, 2001년 1월 3일 11시 10분 30초에 취득한 공통 키를 사용하여 암호화 기기 데이터를 복호화하고, 2001년 1월 3일 11시 11분 00초에 반송계의 동작을 애니메이션 표시하고, 2001년 1월 3일 11시 10분 30초에 배기계의 동작을 애니메이션 표시하고, 2001년 1월 3일 11시 12분 00초에 광학계의 동작을 애니메이션 표시하고, 2001년 1월 3일 11시 10분30초에 광학계의 동작을 타이밍차트 표시하고, 2001년 1월 3일 11시 13분 00초에 광학계의 동작을 오버레이표시하고, 2001년 1월 3일 11시 10분 30초에 광학계에 원인이 있는 것을 특정하고, 2001년 1월 3일 11시 14분 00초에 복호화한 기기 데이터를 삭제하고, 2001년 1월 3일 11시 10분 30초에 취득한 공통 키를 삭제한 것을 나타내고 있다.
도 7은, 반도체제조검사장치(123)의 제어부(132)가 관리하는 프로그램 관리테이블의 예를 나타내고 있다. 프로그램 관리테이블(180)의 각 행은, 제어부(132)가 실행하는 각 프로그램을 저장하는 것으로, 프로그램 ID(181), 프로그램 종별(182),명칭(183), 처리조건(184), 처리수속(185)으로 구성된다. 프로그램 ID(181)에는, 하나 하나의 프로그램마다 할당되는 독특한 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 프로그램 종별(182)에는, 프로그램의 종별을 나타내는 데이터를 저장한다. 명칭 (183)에는, 프로그램의 명칭을 나타내는 데이터를 저장한다. 처리조건(184)에는, 제어부(132)가 행하는 처리의 조건을 나타내는 데이터를 저장한다. 처리수속(185)에는, 제어부(132)가 행하는 처리의 수속을 나타내는 데이터를 저장한다. 또한 처리조건의 설정을 필요로 하지 않는 프로그램이 존재하여도 된다.
이 예에서는, 프로그램(P1)은, 프로그램을 판독하기 위한 프로그램으로, 판독 프로그램의 종별을 가지고, 프로그램 리드라는 명칭의 수속을 실행하는 것을 나타내고 있다. 프로그램(P2)은, 프로그램 실행이력을 판독하기 위한 프로그램으로, 판독 프로그램의 종별을 가지고, 프로그램 실행이력 리드라는 명칭의 수속을 실행하는 것을 나타내고 있다. 프로그램(P3)은, 센서상태 이력을 판독하기 위한 프로그램 으로, 판독 프로그램의 종별을 가지고, 센서상태 이력 리드라는 명칭의 수속을 실행하는 것을 나타내고 있다. 프로그램(P4)은, 처리결과를 판독하기 위한 프로그램으로, 판독 프로그램의 종별을 가지고, 처리결과 리드라는 명칭의 수속을 실행하는 것을 나타내고 있다. 프로그램(P5)은, 프로그램을 생성하기 위한 프로그램으로, 해결 프로그램의 종별을 가지고, 프로그램 크리에이트라는 명칭의 수속을 실행하는 것을 나타내고 있다. 프로그램(P6)은, 프로그램을 편집하기 위한 프로그램으로, 해결 프로그램의 종별을 가지고, 프로그램 에디트라는 명칭의 수속을 실행하는 것을 나타내고 있다. 프로그램(P7)은, 프로그램을 삭제하기 위한 프로그램으로, 해결 프로그램의 종별을 가지고, 프로그램 딜리트라는 명칭의 수속을 실행하는 것을 나타내고 있다. 프로그램(P8)은, 자동모드로 웨이퍼를 처리하기 위한 프로그램으로, 해결 프로그램의 종별을 가지고, 자동으로 웨이퍼의 처리를 행하고, 번호 1의 슬롯을 사용하여 웨이퍼 단위로 처리를 행하고, 측정한 웨이퍼 화상은 화상 1에 저장하는 것을 처리조건으로 하여, 웨이퍼 로드, 웨이퍼 얼라이먼트, 어드레싱, 측정, 웨이퍼 언로드라는 명칭의 수속을 순서대로 실행하는 것을 나타내고 있다. 프로그램(P9)은, 수동 모드로 웨이퍼를 처리하기 위한 프로그램으로, 해결 프로그램의 종별을 가지고, 번호 2의 슬롯을 사용하여, 카세트 단위로 처리를 행하고, 측정한 웨이퍼 화상은 화상 2에 저장하는 것을 처리조건으로 하여, 프로그램(P8)과 동일한 수속을 실행하는 것을 나타내고 있다.
도 8은, 반도체제조검사장치(123)의 제어부(132)가 관리하는 프로그램 실행이력 관리테이블, 센서상태 이력 관리테이블, 처리결과 관리테이블의 예를 나타내고 있다. 프로그램 실행이력 관리테이블(190)의 각 행은, 실행된 프로그램의 각 이력을 저장하는 것으로, 실행일시(191), 사용자 ID(192), 프로그램 ID(193), 파라미터 (194)로 구성된다. 실행일시(191)에는, 프로그램이 실행된 일시를 나타내는 데이터를 저장한다. 사용자 ID(192)에는, 프로그램을 실행한 반도체제조검사장치(123)의 사용자의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 프로그램 ID(193)에는, 실행된 프로그램의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 파라미터(194)에는, 실행된 프로그램에 주어진 파라미터를 나타내는 데이터를 저장한다.
이 예에서는, 2001년 1월 2일 10시 10분 10초에 사용자(U1)가 프로그램(P8)을 실행하고, 2001년 1월 2일 10시 15분 10초에 사용자(U1)가 프로그램(P9)을 실행한 것을 나타내고 있다. 센서상태 이력 관리테이블(200)의 각 행은, 각 시각에 있어서의 각 부위(133)의 상태의 이력을 저장하는 것으로, 기록일시(201), 센서(S1202), 센서(S2203, …)의 각 항목으로 구성된다. 기록일시(201)에는, 각 부위(127)의 상태값이 기록된 일시를 나타내는 데이터를 저장한다. 센서(S1202), 센서(S2203, …)에는, 각각 센서를 사용하여 측정한 각 부위(133)의 상태를 나타내는 데이터를 저장한다. 이 예에서는, 2001년 1월 2일 10시 10분 10초에 각 부위(133)의 상태값이 각각 0.01, 0.10, …이고, 2001년 1월 2일 10시 10분 11초에 각 부위(133)의 상태값이 각각 0.02, 0.20, …인 것을 나타내고 있다.
처리결과 관리테이블(210)의 각 행은, 각 웨이퍼의 처리결과를 저장하는 것으로, 웨이퍼 ID(211)와 웨이퍼 화상(212)으로 구성된다. 웨이퍼 ID(211)에는, 하나 하나의 웨이퍼마다 할당되는 독특한 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 웨이퍼화상(212)에는, 웨이퍼의 표면의 상태를 나타내는 화상 데이터를 저장한다. 이 예에서는, 웨이퍼(W1)의 표면의 상태는 정상 패턴이고, 웨이퍼(W2)의 표면의 상태는 이상 패턴인 것을 나타내고 있다.
도 9는, 보수센터(110)에 설치된 관리장치(112)가 관리하는 지식 관리테이블의 예를 나타내고 있다. 지식 관리테이블(220)의 각 행은, 각 분석작업에서 고장의 원인을 분석한 이력을 저장하는 것으로, 장치 ID(221), 에러코드(222), 기기 데이터 패키지(223), 분석실적(224)으로 구성된다. 장치 ID(221)에는, 해당 고장이 발생한 반도체제조검사장치(123)의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 에러코드 (222)에는, 해당 고장이 발생한 반도체제조검사장치(123)의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 기기 데이터 패키지(223)에는, 해당 고장의 원인을 특정할 때에 사용한 암호화 기기 데이터 패키지를 저장한다. 분석실적(224)에는, 해당 고장의 원인을 분석한 이력을 나타내는 데이터를 저장한다.
이 예에서는, 반도체제조검사장치(T1)에서 발생한 에러코드(E0123)의 고장의 원인은, 기기 데이터 패키지(P1)를 분석실적(R1)에 있도록 분석하는 것으로 특정하고, 반도체제조검사장치(T1)에서 발생한 에러코드(E0124)의 고장의 원인은, 기기 데이터 패키지(P2)를 분석실적(R2)에 있도록 분석하는 것으로 특정한 것을 나타내고 있다.
계속해서, 작업장치(113)와 반도체제조검사장치(123) 및 관리장치(112)의 사이에서 송수신하는 메시지의 구조에 대하여 설명한다. 도 10은, 작업장치(113)와 반도체제조검사장치(123)와의 사이에서 송수신하는 보수의뢰, 분석착수통지, 분석착수통지응답, 분석조작통지, 분석완료통지의 각 메시지의 예와, 작업장치(113)와 관리장치(112)와의 사이에서 송수신하는 등록조작, 검색조작, 검색조작응답의 각 메시지의 예를 나타내고 있다.
보수의뢰(230)는, 보수를 의뢰하기 위하여 반도체제조검사장치(123)가 작업장치(113)에 송신하는 메시지이고, 장치 ID(231)와 에러코드(232)로 구성된다. 장치 ID(231)에는, 고장의 발생을 검출한 반도체제조검사장치의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 에러코드(232)에는, 고장의 증상을 나타내는 데이터를 저장한다. 또 보수의뢰에는, 고장 검지일시, 반도체제조공장 ID, 반도체제조검사장치 종별 등의 항목을 부가하여도 좋다.
분석착수통지(240)는, 분석작업에 착수하는 것을 통지하기 위하여 작업장치 (113)가 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 메시지이고, 보수원 ID(241), 패스워드(242), 기기 데이터 ID(243)로 구성된다. 보수원 ID(241)에는, 분석작업을 행하는 보수원의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 패스워드(242)에는, 분석작업을 행하는 보수원의 패스워드를 나타내는 데이터를 저장한다. 기기 데이터 ID (243)에는, 분석작업을 행하는 암호화 기기 데이터의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다.
분석착수통지응답(250)은, 암호화 기기 데이터를 복호화할 때에 사용하는 공통 키를 건네 주기 위하여 반도체제조검사장치(123)가 작업장치(113)에 송신하는 메시지이고, 공통 키(251)로 구성된다. 공통 키(251)에는, 분석하는 암호화 기기 데이터를 복호화할 때에 사용하는 공통 키를 나타내는 데이터를 저장한다.
분석조작통지(260)는, 분석원이 기기 데이터에 대하여 행한 조작의 이력을 전달하기 위하여 작업장치(113)가 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 메시지이고, 이벤트(261)로 구성된다. 이벤트(261)에는, 보수원이 기기 데이터에 대하여 행한 조작의 이력을 나타내는 데이터를 저장한다.
분석완료통지(270)는, 분석작업을 완료하는 것을 전달하기 위하여 작업장치 (113)가 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 메시지이고, 기기 데이터 삭제 플래그 (271)와 공통 키 삭제 플래그(272)로 구성된다. 기기 데이터 삭제 플래그(271)에는, 복호화한 기기 데이터를 삭제한 것을 나타내는 데이터를 저장한다. 공통 키 삭제 플래그(272)에는, 공통 키를 삭제한 것을 나타내는 데이터를 저장한다. 등록조작(280)은, 보수에 관한 지식을 등록하기 위하여 작업장치(113)가 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 메시지이고, 장치 ID(281), 에러코드(282), 기기 데이터 패키지 (283), 분석실적(284)으로 구성된다.
장치 ID(281)에는, 분석을 행한 반도체제조검사장치의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 에러코드(282)에는, 분석을 행한 반도체제조검사장치의 고장의 증상을 나타내는 데이터를 저장한다. 기기 데이터 패키지(283)에는, 고장의 원인을 특정할 때에 사용한 기기 데이터 패키지를 저장한다. 분석실적(284)에는, 해당 고장의 원인을 분석한 이력을 나타내는 데이터를 저장한다.
검색조작(290)은, 보수에 관한 지식을 검색하기 위하여 작업장치(113)가 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 메시지이고, 검색 키(291)로 구성된다. 검색 키 (291)에는, 반도체제조검사장치의 식별자를 나타내는 데이터나, 고장의 증상을 특정하는 데이터를 저장한다.
검색조작응답(300)은, 검색한 보수에 관한 지식을 회신하기 위하여 반도체제조검사장치(123)가 작업장치(113)에 송신하는 메시지이고, 검색결과(301)의 항목으로 구성된다. 검색결과(301)의 항목은, 검색 키를 사용하여 검색된 데이터를 검색한다.
계속해서, 도 1의 작업장치(113), 반도체제조검사장치(123), 관리장치(112)의 처리플로우에 대하여 설명한다. 도 11은, 작업장치(113)가 분석착수통지(240)와 분석착수통지응답(250)을 송수신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트이다.
먼저, 작업장치(113)는, 분석착수통지(240)를 송신하는 지시를 보수원으로부터 접수한다(단계 311). 다음에, 작업장치(113)는, 보수원의 보수원 ID, 보수원의 보수원 패스워드, 기기 데이터 패키지(140)의 기기 데이터 ID를 저장한 분석착수통지(240)를 보수의뢰(230)를 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 송신한다(단계 312). 다음에, 작업장치(113)는, 분석착수통지(240)에 응답하여 반도체제조검사장치(123)로부터 송신되는 분석착수통지응답(250)을 수신한다(단계 313). 다음에, 작업장치(113)는, 분석착수통지응답(250)에 저장되어 있는 공통 키를 주 기억장치에 기억한다(단계 314). 다음에, 작업장치(113)는, 기억한 공통 키를 사용하여 기기 데이터 패키지(140)에 저장되어 있는 암호화 기기 데이터를 복호화한다(단계 315). 다음에, 작업장치(113)는, 복호화한 기기 데이터를 주 기억장치에 기억한다(단계 316). 다음에, 작업장치(113)는, 기기 데이터 패키지(140)에 저장되어 있는 이벤트 송신규칙을 주 기억장치에 기억한다(단계 317). 다음에, 작업장치(113)는, 복호화한 기기 데이터를 출력장치에 출력하고(단계 318), 처리를 종료한다(단계 319).
도 12는, 반도체제조검사장치(123)의 통신부(131)가 분석착수통지(240)와 분석착수통지응답(250)을 송수신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트이다. 먼저, 통신부(131)는, 작업장치(113)로부터 분석착수통지(240)를 수신한다(단계 321). 다음에, 통신부(131)는, 분석착수통지(240)에 저장되어 있는 보수원 패스워드와, 보수원 속성 관리테이블에 저장되어 있는 보수원 패스워드를 비교하여 보수원을 인증한다(단계 322). 다음에, 통신부(131)는, 분석착수통지(240)에 저장되어 있는 기기 데이터 ID를 키로 하여 공통 키 관리테이블로부터 공통 키 공개조건을 검색하고, 검색한 공통 키 공개조건에 있는 조건을 보수원의 속성이 만족하고 있는지의 여부를 확인하여(단계 323), 만족하고 있는 경우에 한하여, 분석착수통지(240)에 저장되어 있는 기기 데이터 ID를 키로 하여 공통 키 관리테이블로부터 공통 키를 검색하고 (단계 325), 만족하고 있지 않은 경우에는, 처리를 종료한다(단계 328). 다음에, 통신부(131)는, 검색한 공통 키를 저장한 분석착수통지응답(250)을 분석착수통지(240)를 송신하여 온 작업장치(113)에 송신하고(단계 326), 송신한 분석착수통지응답(250)의 내용을 분석상황 관리테이블에 기록하고(단계 327), 처리를 종료한다(단계 327).
도 13은, 작업장치(113)가 분석조작통지를 송신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트이다. 먼저, 작업장치(113)는, 출력장치에 출력한 기기 데이터에 대한 조작지시를 보수원으로부터 접수한다(단계 331). 다음에, 작업장치(113)는, 접수한 조작의 내용을 나타내는 이벤트 데이터를 생성한다(단계 332). 다음에, 작업장치 (113)는, 기억한 이벤트 송신규칙에 따라 생성한 이벤트 데이터를 저장하는 분석조작통지를 보수의뢰를 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 송신하고(단계 333), 처리를 종료한다(단계 334).
도 14는, 반도체제조검사장치(123)의 통신부(131)가 분석조작통지를 수신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트이다. 먼저, 통신부(131)는, 작업장치(113)로부터 분석조작통지(260)를 수신한다(단계 341). 다음에, 통신부(131)는, 분석조작통지(260)에 저장되어 있는 데이터를 분석상황 테이블에 기록하고(단계 342), 처리를 종료한다(단계 343).
도 15는, 작업장치(113)가 분석완료통지를 송신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트이다. 먼저, 작업장치(113)는, 분석완료통지를 송신하는 지시를 보수원으로부터 접수한다(단계 251). 다음에, 작업장치(113)는, 주 기억장치에 기억되어 있는 기기 데이터를 삭제한다(단계 252). 다음에, 작업장치(113)는, 주 기억장치에 기억되어 있는 공통 키를 삭제한다(단계 253). 다음에, 작업장치(113)는, 주 기억장치에 기억되어 있던 기기 데이터와 공통 키를 삭제한 것을 나타내는 데이터를 저장한 분석완료통지를 보수의뢰(230)를 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 송신하고(단계 254), 처리를 종료한다(단계 255).
도 16은, 반도체제조검사장치(123)의 통신부(131)가 분석완료통지를 수신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트이다. 먼저, 통신부(131)는, 작업장치(113)로부터 분석완료통지를 수신한다(단계 361). 다음에, 통신부(131)는, 수신한 분석완료통지의 내용을 분석상황 관리테이블에 기록한다(단계 362). 다음에, 통신부(131)는, 분석상황 관리테이블로부터 해당 분석작업에 관한 데이터를 판독하여, 판독한 데이터를 출력장치에 출력하고(단계 363), 처리를 종료한다(단계 364).
계속해서, 도 1의 반도체제조검사장치(123)와 작업장치(113)의 출력장치에출력하는 화면에 대하여 설명한다. 도 17은, 도 11에 나타낸 처리 플로우의 단계 (311, 318)와, 도 13에 나타낸 처리 플로우의 단계(331)와, 도 15에 나타낸 처리 플로우의 단계(351)로서, 작업장치(113)의 출력장치에 출력하는 분석작업화면의 예를 나타내고 있다.
보수작업화면(370)은, 보수원이 지정한 기기 데이터 패키지(140)에 저장되어 있는 기기 데이터 ID를 표시하고, 분석착수통지(240)의 송신지시, 분석조작통지 (260)의 송신지시, 분석완료통지(270)의 송신지시를 보수원으로부터 접수하는 화면 이고, 기기 데이터 패키지 저장파일 필드(371), 기기 데이터 ID 패널(372), 액션패널(373), 분석착수통지패널(381), 기기 데이터 표시패널(383), 코멘트 필드(389)로 구성된다.
기기 데이터 패키지 저장파일 필드(371)는, 분석하는 기기 데이터 패키지 (14O)가 저장되어 있는 파일명을 보수원이 입력하는 필드이다. 이 예에서는 분석하는 기기 데이터 패키지(140)는, C :￥results￥result 0123에 저장되어 있는 것을 나타내고 있다.
기기 데이터 ID 패널(372)은, 기기 데이터 패키지 저장파일 필드(371)에서 지정된 기기 데이터 패키지(140)에 저장되어 있는 기기 데이터 ID의 값을 분석원에게 나타내는 패널이다. 이 예에서는, 기기 데이터 ID의 값은, D1인 것을 나타내고 있다.
액션 패널(373)은, 분석착수통지(240)의 송신지시, 분석조작통지(260)의 송신지시, 분석완료통지(270)의 송신지시를 보수원이 지시하는 패널이고, 분석착수통지송신버튼(374), 분석조작통지 송신버튼(375, 376, 377, 378), 분석완료통지 송신버튼(379)으로 구성된다.
분석착수통지 송신버튼(374)은, 보수원이 분석착수통지(240)의 송신을 지시하는 버튼이고, 보수원이 마우스를 사용하여 이 버튼을 누르면, 보수원이 분석착수통지패널(378)에서 입력한 보수원 ID 및 보수원 패스워드와, 기기 데이터 ID 패널 (272)에 표시된 기기 데이터 ID를 저장한 분석착수통지(240)를 보수의뢰(230)를 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 송신한다.
분석조작통지 송신버튼(375, 376, 377, 378)은, 보수원이 보수조작통지(270)의 송신을 지시하는 버튼으로, 보수원이 마우스를 사용하여 이 버튼을 누르면, 각 분석조작통지 송신버튼(375, 376, 377, 378)에 관련지어져 있는 조작의 이력을 나타내는 이벤트 데이터를 생성하고, 기억하고 있는 이벤트 송신규칙에 따라 생성한 이벤트 데이터를 저장하는 분석조작통지(260)를 보수의뢰(230)를 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 송신한다. 이 예에서는, 분석조작통지 송신버튼(375)은, 기기 데이터를 애니메이션 표시(A 표시)하고, 애니메이션 표시를 한 것을 나타내는 이벤트 데이터를 생성하여 송신하는 것을 나타내고 있다.
또 분석조작통지 송신버튼(376)은, 기기 데이터를 타이밍차트 표시(T 표시)하고, 타이밍차트 표시를 한 것을 나타내는 이벤트 데이터를 생성하여 송신하는 것을 나타내고 있다.
또 분석조작통지 송신버튼(377)은, 기기 데이터를 오버레이 표시(O 표시)하고, 오버레이 표시를 한 것을 나타내는 이벤트 데이터를 생성하여 송신하는 것을나타내고 있다.
또, 분석조작통지 송신버튼(378)은, 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트 데이터를 생성하여 송신하는 것을 나타내고 있다. 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트 데이터에는, 보수원이 코멘트파일(389)로 입력한 판단 이유도 저장된다.
분석완료통지버튼(379)은, 보수원이 분석완료통지(270)의 송신을 지시하는 버튼으로, 보수원이 마우스를 사용하여 이 버튼을 누르면, 주 기억장치에 기억하고 있는 기기 데이터와 공통 키를 삭제하고, 삭제한 것을 나타내는 데이터를 저장한 분석완료통지를 보수의뢰(230)를 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 송신한다.
분석착수통지패널(380)은, 분석착수통지(240)에 저장하는 분석원의 식별자와 보수원 패스워드를 분석원이 입력하는 패널로서, 보수원 ID 필드(381)와 보수원 패스워드 필드(382)로 구성된다.
보수원 ID 필드(381)는, 보수원이 자기의 보수원 ID를 키보드를 사용하여 입력하는 필드로서, 이 예에서는 보수원 ID는 A1인 것을 나타내고 있다. 보수원 패스워드 필드(382)는, 보수원이 자기의 보수원 패스워드를 키보드를 사용하여 입력하는 필드이다. 이 예에서는, 보수원 패스워드는 1234인 것을 나타내고 있다. 기기 데이터 표시패널(383)은, 복호화한 기기 데이터를 보수원에게 표시하는 패널이다.
이 예는, 보수원이 분석조작통지버튼(375)을 누른 경우의 표시이고, 레일(384)의 위에 구비되어 있는 로봇팔(385)이 카세트(386)로부터 웨이퍼(387)를 인출하는 동작을 동화상으로 표시하고 있다. 보수원이 분석조작통지 송신버튼(376, 377)을 누른 경우에는, 기기 데이터를 타이밍차트를 사용하여 나타내는 것이나, 기기 데이터와 미리 기록하여 둔 다른 기기 데이터를 타이밍차트의 위에서 겹쳐서 표시하는 것이 가능하다.
코멘트필드(389)는, 고장의 원인을 특정한 경우에, 보수원이 판단한 이유를 키보드를 사용하여 입력하는 필드이다. 이 예에서는, 모터의 전류치가 갑자기 변동하기 때문에 레일에 덜거덕거림이 있다고 보수원이 판단한 것을 나타내고 있다.
도 18은, 도 16에 나타낸 처리플로우의 단계 363에서 반도체제조검사장치 (123)의 출력장치에 출력하는 분석상황 출력화면의 예를 나타내고 있다. 분석상황 출력화면(390)은, 분석착수통지(240)를 수신하고 나서 분석완료통지(270)를 수신하기까지 기록한 분석의 이력을 반도체제조검사장치(123)의 사용자에게 표시하는 화면 으로, 분석상황 리스트(391)로 구성된다. 분석상황 리스트(391)의 각 행은, 해당 고장에 관하여 반도체제조검사장치(123)의 통신부(131)가 수신한 분석착수통지 (240), 분석조작(260), 분석완료통지(270)의 내용을 표시하는 것으로, 분석작업 ID 필드(392), 기기 데이터 ID 필드(393), 기록일시 필드(394), 보수원 종별 필드 (395), 보수원 ID 필드(396), 내용 필드(397)로 구성된다. 각 필드가 표시하는 내용은, 분석상황 관리테이블(170)의 각 항목이 저장하는 데이터와 동일하므로, 설명을 생략한다.
이상과 같이, 본 실시형태의 시스템에 있어서는, 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기와 산업용 기기를 보수하는 작업장치를 인터넷을 거쳐 접속한다. 산업용 기기는, 암호화 유닛과 통신유닛과 입출력 유닛을 구비한다. 암호화 유닛은, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화한다. 통신유닛은, 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 작업장치로부터의 요구에 따라 작업장치에 송신하고, 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 암호화 기기정보를 수신한 작업장치로부터의 요구에 따라 송신한다. 입출력 유닛은, 산업용 기기가 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력한다. 작업장치는, 통신유닛과 복호화 유닛과 입출력 유닛을 구비한다. 통신유닛은, 산업용 기기의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보를 수신하고, 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 산업용 기기에 요구하여 수신한다. 복호화 유닛은, 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화한다. 입출력 유닛은, 복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력한다.
따라서, 산업용 기기의 사용자가 허가하는 범위내에서, 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보를 보수원에 대하여 안전하게 공개하는 것이 가능하게 된다. 또 산업용 기기의 입출력 유닛은, 암호화 기기정보를 기억매체에 출력하고, 작업장치의 입출력 유닛은, 산업용 기기의 입출력 유닛이 출력한 암호화 기기정보를 기억매체로부터 입력하도록 하였기 때문에, 암호화한 기기정보를 임의의 매체를 사용하여 작업장치에 입력하는 것이 가능하게 된다.
또 산업용 기기의 통신유닛은, 공통 키를 작업장치에 관련지어져 있는 공개 키를 사용하여 암호화하여 송신하고, 작업장치의 통신유닛은, 산업용 기기의 통신유닛으로부터 수신한 공통 키를 공개 키와 관련지어져 있는 비밀 키를 사용하여 복호화하도록 하였기 때문에, 공통 키를 안전하게 작업장치에 송신하는 것이 가능하게 된다.
또, 산업용 기기의 통신유닛은, 작업장치의 사용자의 속성을 나타내는 속성정보와, 공통 키를 송신하기 위하여 필요한 작업장치의 사용자의 속성의 조건을 나타내는 조건정보를 유지하고, 작업장치로부터 공통 키를 요구받은 경우에는, 사용자의 속성정보와 공통 키의 조건정보를 판독하여, 판독한 조건정보에 있는 조건을 판독한 속성정보에 있는 속성이 만족하고 있는 경우에 한하여 공통 키를 작업장치에 송신하도록 하였기 때문에, 특정한 보수원에 한정하여 공통 키를 송신하는 것이 가능하게 된다.
또 작업장치의 복호화 유닛은, 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키에 대한 조작을 제한하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키에 대한 조작을 제한하도록 하였기 때문에, 공통 키를 작업장치에서 안전하게 관리하는 것이 가능하게 된다.
또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 복호화 유닛이 복호화한 기기정보에 대한 조작을 제한하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 작업장치의 복호화 유닛이 복호화한 기기정보에 대한 조작을 제한하도록 하였기 때문에, 복호화한 기기정보를 작업장치에서 안전하게 관리하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 입출력 유닛은, 기억한 기기정보를 동화상을 사용하여 출력하도록 하였기 때문에, 직접 육안으로 볼 수 없는 산업용 기기의 동작을 시각적으로 분석하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 입출력 유닛은, 기억한 기기정보를 타이밍차트를 사용하여 출력하도록 하였기 때문에, 직접 육안으로 볼 수 없는 산업용 기기의 동작을 동작의 타이밍의 관점에서 분석하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 입출력 유닛은, 기억한 복수의 기기 데이터를 타이밍차트의 위에서 겹쳐서 출력장치에 출력하도록 하였기 때문에, 복수의 산업용 기기의 동작의 비교나, 동일 산업용 기기의 다른 시각의 동작의 비교를 행하여 분석하는 것이 가능하게 된다.
또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 입출력 유닛이 출력한 기기정보에 대하여 작업장치의 사용자가 행한 조작의 내용을 나타내는 이벤트정보를 생성하고, 작업장치의 통신유닛은, 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하고, 산업용 기기의 통신유닛은, 공통 키를 송신한 작업장치가 송신한 이벤트정보를 수신하고, 산업용 기기의 입출력 유닛은, 산업용 기기의 통신유닛이 수신한 이벤트정보의 전부 또는 일부를 출력하도록 하였기 때문에, 복호화한 기기정보에 대하여 작업장치의 사용자가 행한 조작의 내용을 산업용 기기의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다.
또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 사용자가 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하도록 하였기 때문에, 분석의 결과 고장의 결과를 특정할 수 있었는지의 여부를 산업용 기기의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 사용자가 특정한 사상을 고장의원인으로서 판단한 이유를 접수하고, 접수한 이유를 이벤트정보에 저장하도록 하였기 때문에, 고장의 원인의 판단이유를 산업용 기기의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 복호화 유닛이 기억하고 있는 공통 키를 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하도록 하였기 때문에, 작업장치에 송신한 공통 키가 삭제된 것을 산업용 기기의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 입출력 유닛이 기억하고 있는 기기정보를 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하도록 하였기 때문에, 작업장치에서 복호화된 기기정보가 삭제된 것을 산업용 기기의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다.
또 작업장치의 통신유닛은, 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하고, 기억한 이벤트 송신규칙에 따라 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 산업용 기기에 송신하도록 하였기 때문에, 특정한 이벤트정보를 송신하는 규칙을 유연하게 변경하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 통신유닛은, 작업장치의 사용자가 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트정보를 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하도록 하였기 때문에, 분석의 결과 고장의 결과를 특정할 수 있었는지의 여부를 산업용 기기의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 통신유닛은, 특정한 사상을 고장의 원인으로서 판단한 이유를 나타내는 이벤트정보를 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하도록 하였기 때문에, 고장의 원인의 판단이유를 산업용 기기의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 통신유닛은, 작업장치의 복호화 유닛이 기억하고 있는 공통 키를 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하도록 하였기 때문에, 작업장치에 송신한 공통 키가 삭제된 것을 산업용 기기의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다.
또, 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 입출력 유닛이 기억하고 있는 기기정보를 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하도록 하였기 때문에, 작업장치에서 복호화된 기기정보가 삭제된 것을 산업용 기기의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다.
또, 작업장치는, 산업용 기기를 식별하는 정보와, 고장의 원인을 특정하기위하여 사용한 암호화 기기정보와, 고장에 대한 대처방법을 관련지어 등록하는 등록유닛을 가지고, 작업장치의 입출력 유닛은, 등록유닛을 참조하여 해당하는 고장에 대한 대처법을 출력하도록 하였기 때문에, 고장의 원인을 분석하는 방법에 관한 지식을 작업장치의 사용자끼리 공유하는 것이 가능하게 된다.
이상, 제 1 실시형태를 설명하였으나, 이 외에도 본 발명은 변형이 가능하다. 제 2 실시형태는, 제 1 실시형태의 변형예이다. 제 1 실시형태는, 산업용 기기의 사용자가 허가하는 범위내에서, 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보를 보수원에 대하여 안전하게 공개하는 것을 가능하게 한다라는 것이었으나, 제 2실시형태는, 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보의 공개와, 기기정보의 안전성의 관리를 관리장치에 의해 일원적으로 행하는 것을 가능하게 한다라는 것이다. 본 발명을 적용한 시스템에서는, 제조공장(120)에 설치된 반도체제조검사장치(123)와 관리장치(122)의 구성을 변경하고 있으나, 보수센터(110)에 설치된 작업장치 (113)와 관리장치(112)의 구성은 제 1 실시형태에서 설명한 것과 동일하다.
도 19는, 제조공장(120)에 설치된 관리장치(122)의 구성을 나타내는 블록도이다. 관리장치(122)는, 제조공장(120)에 설치된 하나 하나의 반도체제조검사장치 (123)에서 축적된 기기 데이터를 일원적으로 관리하는 장치이고, 관리장치(122)의 사용자에게 분석의 상황에 관한 데이터를 출력하는 입출력부(400)와, 관리장치 (112) 및 반도체제조검사장치(123)와의 사이에서 메시지를 송수신하는 통신부(401)와, 입출력부(400)와 통신부(401)를 제어하는 제어부(402)로 구성된다.
입출력부(400)는, 분석착수통지를 수신하고 나서 분석완료통지를 수신하기까지의 사이에 기록한 데이터를 출력장치에 출력하는 기능을 가진다.
통신부(401)는, 반도체제조검사장치(123)의 가동상황을 정기적으로 감시하여, 고장이 발생하고 있는 것을 검지한 경우에는, 해당 반도체제조검사장치(123)의 장치 ID와, 해당 고장의 에러코드를 저장한 보수의뢰를 생성하고, 생성한 보수의뢰를 보수센터(110)의 관리장치(122)에 송신하는 기능을 가진다.
통신부(401)는, 보수의뢰에 응답하여 작업장치(113)로부터 송신되는 보수조작을 수신하면, 고장이 발생하고 있는 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 기능도가진다. 통신부(401)는, 보수조작에 응답하여 반도체제조검사장치(123)로부터 송신되는 보수조작응답을 수신하면, 수신한 보수조작응답에 저장되어 있는 데이터를 사용하여 보수조작을 송신하여 온 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 데이터를 생성하고, 이 데이터를 저장한 보수조작응답을 보수조작을 송신하여 온 작업장치(113)에 송신하는 기능도 가진다.
통신부(401)는, 반도체제조검사장치(123)로부터 송신된 보수조작응답이 판독조작응답인 경우에는, 보수조작응답에 저장되어 있는 기기 데이터에 대하여, 기기 데이터 ID, 공통 키, 공통 키 공개조건, 이벤트 송신규칙을 생성하고, 이들 데이터를 서로 관련지어 공통 키 관리테이블에 등록하고, 등록한 공통 키를 사용하여 보수조작응답에 저장되어 있는 기기 데이터를 암호화하고, 생성한 기기 데이터 ID, 암호화 기기 데이터, 이벤트 송신규칙으로 구성되는 기기 데이터 패키지를 보수조작응답에 저장하는 데이터로 하는 기능도 가진다. 또한 이벤트 송신규칙은, 암호화 기기 데이터를 암호화한 공통 키를 사용하여 암호화하여도 된다.
통신부(401)는, 반도체제조검사장치(123)로부터 송신되는 보수조작응답이 해결조작응답인 경우에는, 보수조작응답에 저장되어 있는 메시지 데이터를 보수조작응답에 저장하는 데이터로 하는 기능을 가진다. 통신부(401)는, 보수원의 속성을 나타내는 보수원 속성을 보수원 속성 관리테이블에 등록하는 기능도 가진다. 보수원 속성에 저장되어 있는 데이터에는, 보수원 패스워드와 보수원 종별이 있다. 보수원 속성은, 사용자에 의하여 미리 입력된다.
통신부(401)는, 작업장치(113)로부터 분석착수통지를 수신하면, 분석착수통지에 저장되어 있는 패스워드와 보수원 속성 관리테이블에 저장되어 있는 패스워드를 비교하여 보수원을 인증하는 기능도 가진다. 이 인증에 의하여 보수원은 독특한 식별자로 식별된다.
통신부(401)는, 작업장치(113)로부터 분석착수통지를 수신하면, 분석착수통지에 저장되어 있는 기기 데이터 ID를 키로 하여 공통 키 관리테이블로부터 공통 키 공개조건을 검색하고, 이 공통 키 공개조건에 있는 조건을 보수원의 속성이 만족하고 있는 경우에 한하여 분석착수통지에 저장되어 있는 기기 데이터 ID를 키로 하여 공통 키 관리테이블로부터 공통 키를 검색하고, 검색한 공통 키를 저장한 분석착수통지응답을, 분석착수통지를 송신하여 온 작업장치(113)에 송신하는 기능도 가진다.
통신부(401)는, 작업장치(113)로부터 분석착수통지, 분석조작통지, 분석완료통지의 각 메시지를 수신하면, 각 메시지에 저장되어 있는 데이터를 분석상황 관리테이블에 기록하는 기능도 가진다. 통신부(401)는, 작업장치(113)로부터 분석완료통지를 수신하면, 분석착수통지를 수신하고 나서 분석완료통지를 수신하기까지의 사이에 기록한 데이터를 분석상황 관리테이블로부터 참조하고, 참조한 데이터를 출력장치에 출력하도록 제어부(402)를 거쳐 입출력부(400)에 요구하는 기능도 가진다.
제조공장(120)에 설치된 반도체제조검사장치(123)는, 사용자가 제조조작을 입력하는 입출력부(130)와, 관리장치(122)로부터 보수조작을 수신하는 통신부(131)와, 수신한 보수조작에 따라 프로그램을 실행하는 제어부(132)와, 제어부(132)에의하여 제어되는 부위(134)로 구성된다. 제어부(132)와 부위(134)는 제 1 실시형태에서 설명한 것과 동일하므로, 이하에서는 입출력부(130)와 통신부(131)에 대하여 상세하게 설명한다.
입출력부(130)는, 사용자가 입력하는 제조조작을 접수하면, 입력된 제조조작에서 지정된 프로그램 ID와, 이 프로그램에 주어지는 파라미터를 저장한 코맨드를 제어부(132)에 송신하고, 제어부(132)로부터 프로그램의 실행결과를 저장한 코맨드응답을 수신하면, 수신한 코맨드응답으로부터 프로그램의 실행결과를 인출하여 출력장치에 출력하는 기능을 가진다.
통신부(131)는, 반도체제조검사장치(123)의 가동상황을 정기적으로 감시하여, 고장이 발생하고 있는 것을 검지한 경우에는, 해당 반도체제조검사장치(123)의 장치 ID와, 해당 고장의 에러코드를 저장한 보수의뢰를 생성하고, 이 보수의뢰를 관리장치(122)를 거쳐 보수센터(110)의 관리장치(122)에 송신하는 기능을 가진다. 통신부(131)는, 보수의뢰에 응답하여 작업장치(113)로부터 송신되는 보수조작을 수신하면, 수신한 보수조작에 저장되어 있는 프로그램 ID와 파라미터를 저장하는 코맨드를 생성하고, 생성한 코맨드를 제어부(132)에 송신하는 기능도 가진다. 통신부(131)는, 코맨드에 응답하여 제어부(132)로부터 송신되는 코맨드응답을 수신하면, 수신한 코맨드응답을 저장한 보수조작응답을 관리장치(122)에 송신하는 기능을 가진다.
기기 데이터 패키지의 구조와, 관리테이블의 구조, 메시지의 구조, 출력화면은, 제 1 실시형태에서 설명한 것과 동일하므로 설명을 생략한다.
관리장치(122)가 분석착수통지, 분석착수통지응답, 분석조작통지, 분석완료통지를 송수신하는 경우의 처리 플로우는, 제 1 실시형태에서 설명한 반도체제조검사장치(123)의 것과 동일하므로, 설명을 생략한다.
이상과 같이, 본 실시형태의 시스템에 있어서는, 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기와, 산업용 기기로부터 송신되는 정보를 관리하는 관리장치와, 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템으로서, 산업용 기기는, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 관리장치에 송신하는 통신유닛을 구비한다. 그리고 관리장치는, 암호화 유닛과 통신유닛과 입출력 유닛을 구비한다. 암호화 유닛은, 산업용 기기가 송신한 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화한다. 통신유닛은, 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 작업장치로부터의 요구에 따라 작업장치에 송신하고, 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 암호화 기기정보를 수신한 작업장치로부터의 요구에 따라 송신한다. 입출력 유닛은, 관리장치가 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력한다. 작업장치는, 통신유닛과 복호화 유닛과 입출력 유닛을 구비한다. 통신유닛은, 관리장치의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보를 수신하고, 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 관리장치에 요구하여 수신한다. 복호화 유닛은, 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화한다. 입출력 유닛은, 복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력한다.
따라서, 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보의 공개와, 기기정보의 안전성의 관리를 관리장치에서 일원적으로 행하는 것이 가능하게 된다.
또 관리장치의 입출력 유닛은, 암호화 기기정보를 기억매체에 출력하고, 작업장치의 입출력 유닛은, 관리장치의 입출력 유닛이 출력한 암호화 기기정보를 기억매체로부터 입력하도록 하였기 때문에, 암호화한 기기정보를 임의의 매체를 사용하여 작업장치에 입력하는 것이 가능하게 된다.
또 관리장치의 통신유닛은, 공통 키를 작업장치에 관련지어져 있는 공개 키를 사용하여 암호화하여 송신하고, 작업장치의 통신유닛은, 산업용 기기의 통신유닛으로부터 수신한 공통 키를 공개 키에 관련지어져 있는 비밀 키를 사용하여 복호화하 도록 하였기 때문에, 공통 키를 안전하게 작업장치에 송신하는 것이 가능하게 된다. 또 관리장치의 통신유닛은, 작업장치의 사용자의 속성을 나타내는 속성정보와, 공통 키를 송신하기 위하여 필요한 작업장치의 사용자의 속성의 조건을 나타내는 조건정보를 유지하고, 작업장치로부터 공통 키를 요구받은 경우에는, 사용자의 속성정보와 공통 키의 조건정보를 판독하고, 판독한 조건정보에 있는 조건을 판독한 속성정보에 있는 속성이 만족하고 있는 경우에 한하여 공통 키를 작업장치에 송신하 도록 하였기 때문에, 작업장치의 특정한 사용자에게 한정하여 공통 키를 송신하는 것이 가능하게 된다.
또 작업장치의 복호화 유닛은, 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키의 사용을 제한하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키의 사용을 제한하도록 하였기 때문에, 공통 키를 작업장치에서 안전하게관리하는 것이 가능하게 된다.
또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 복호화 유닛이 복호화한 기기정보의 사용을 제한하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 작업장치의 복호화 유닛이 복호화한 기기정보의 사용을 제한하도록 하였기 때문에, 복호화한 기기정보를 작업장치에서 안전하게 관리하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 입출력 유닛은, 기억한 기기정보를 동화상을 사용하여 출력하도록 하였기 때문에, 직접 육안으로 볼 수 없는 산업용 기기의 동작을 시각적으로 분석하는 것이 가능하게 된다. 또작업장치의 입출력 유닛은, 기억한 기기정보를 타이밍차트를 사용하여 출력하도록 하였기 때문에, 직접 육안으로 볼 수 없는 산업용 기기의 동작을 동작의 타이밍의 관점에서 분석하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 입출력 유닛은, 기억한 복수의 기기 데이터를 타이밍차트의 위에서 겹쳐서 출력장치에 출력하도록 하였기 때문에, 복수의 산업용 기기의 동작의 비교나, 동일 산업용 기기의 다른 시각의 동작의 비교를 행하여 분석하는 것이 가능하게 된다.
또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 입출력 유닛이 출력한 기기정보에 대하여 작업장치의 사용자가 행한 조작의 내용을 나타내는 이벤트정보를 생성하고, 작업장치의 통신유닛은, 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 공통 키를 송신한 관리장치에 송신하고, 관리장치의 통신유닛은, 공통 키를 송신한 작업장치가 송신한 이벤트정보를 수신하고, 관리장치의 입출력 유닛은, 관리장치의 통신유닛이 수신한 이벤트정보의 전부 또는 일부를 출력하도록 하였기 때문에, 복호화한 기기정보에 대하여 작업장치의 사용자가 행한 조작의 내용을 관리장치의 사용자가파악하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 사용자가 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하도록 하였기 때문에, 분석의 결과 고장의 결과를 특정할 수 있었는지의 여부를 관리장치의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다.
또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 사용자가 특정한 사상을 고장의 원인으로서 판단한 이유를 접수하고, 접수한 이유를 이벤트정보에 저장하도록 하였기 때문에, 고장의 원인의 판단이유를 관리장치의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 복호화 유닛이 기억하고 있는 공통 키를 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하도록 하였기 때문에, 작업장치에 송신한 공통 키가 삭제된 것을 관리장치의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 입출력 유닛이 기억하고 있는 기기정보를 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하도록 하였기 때문에, 작업장치에서 복호화된 기기정보가 삭제된 것을 관리장치의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다.
또 작업장치의 통신유닛은, 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 관리장치에 송신하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 관리장치에 송신하도록 하였기 때문에, 특정한 이벤트정보를 송신하는 규칙을 유연하게 변경하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 통신유닛은, 작업장치의 사용자가 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트정보를 공통 키를 송신한 관리장치에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하도록 하였기 때문에, 분석의 결과 고장의 결과를 특정할 수 있었는가의 여부를 관리장치의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 통신유닛은, 특정한 사상을 고장의 원인으로서 판단한 이유를 나타내는 이벤트정보를 공통 키를 송신한 관리장치에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하도록 하였기 때문에, 고장의 원인의 판단이유를 관리장치의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다. 또 작업장치의 통신유닛은, 작업장치의 복호화 유닛이 기억하고 있는 공통 키를 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 공통 키를 송신한 관리장치에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하도록 하였기 때문에, 작업장치에 송신한 공통 키가 삭제된 것을 관리장치의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다.
또 작업장치의 입출력 유닛은, 작업장치의 입출력 유닛이 기억하고 있는 기기정보를 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 공통 키를 송신한 관리장치에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하도록 하였기 때문에, 작업장치에서 복호화된 기기정보가 삭제된 것을 관리장치의 사용자가 파악하는 것이 가능하게 된다.
또 작업장치는, 산업용 기기를 식별하는 정보와, 고장의 원인을 특정하기 위하여 사용한 암호화 기기정보와, 고장에 대한 대처방법을 관련지어 등록하는 등록유닛을 가지도록 하고, 작업장치의 입출력 유닛은, 등록유닛을 참조하여 해당하는 고장에 대한 대처법을 출력하도록 하였기 때문에, 고장의 원인을 분석하는 방법에 관한 지식을 작업장치의 사용자끼리 공유하는 것이 가능하게 된다.
본 발명의 제 3 실시형태를 상세하게 설명한다. 도 20은, 본 발명을 적용한 반도체제조검사장치의 원격 보수시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 제 1 실시형태는, 반도체제조검사장치를 설치한 복수의 제조공장과, 작업장치를 설치한 보수센터를 인터넷을 거쳐 접속하고, 산업용 기기의 사용자가 허가하는 범위내에서, 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보를 보수원에게 안전하게 공개하는 것을 가능하게 하는 것이었으나, 제 3 실시형태는, 그것에 덧붙여 반도체제조검사장치를 설치한 제조공장과, 작업장치를 설치한 복수의 보수센터를 인터넷을 거쳐 접속하고, 반도체제조검사장치의 사용자가 허가하는 범위내에서, 하나 하나의 반도체제조검사장치에 축적된 기기정보를 고장이 발생한 반도체제조검사장치에 대응하는 보수원에 대하여 안전하게 공개하는 것을 가능하게 하는 것이다.
도 20에 나타낸 시스템에서는 각각 2개의 보수센터(110)가 나타나 있으나, 실제로는 2개 이상의 보수센터(110)가 있어도 된다. 또 보수센터(110)는 서로 다른 보수 판매자에 속하는 보수센터이어도, 동일한 보수 판매자에 속하는 보수센터이어도 된다.
본 발명을 적용한 시스템은, 제조공장(120)에 설치된 반도체제조검사장치 (123)의 통신부(131)에 다음에 설명하는 새로운 기능을 추가하고 있으나, 이 외의 각 장치의 구성에 대해서는 제 1 실시형태에서 설명한 것과 동일하다.
반도체제조검사장치(123)의 통신부(131)는, 반도체제조검사장치(123)의 가동상황을 정기적으로 감시하여, 고장이 발생하고 있는 것을 검지한 경우에는, 소정의 규칙에 따라 반도체제조검사장치(123)로부터 판독하는 하나 이상의 기기 데이터를선정하고, 선정한 기기 데이터를 판독하는 기능을 가진다. 통신부(131)는, 판독한 각 기기 데이터에 대하여, 기기 데이터 ID, 공통 키, 공통 키 공개조건을 생성하고, 이들 데이터를 서로 관련지어 공통 키 관리테이블에 등록하는 기능도 가진다. 통신부(131)는, 판독한 각 기기 데이터를, 생성한 공통 키를 사용하여 암호화하고, 생성한 기기 데이터 ID, 암호화 기기 데이터, 이벤트 송신규칙으로 구성되는 기기 데이터 패키지를 생성하는 기능도 가진다. 통신부(131)는, 반도체제조검사장치 (123)의 장치 ID, 해당 고장의 에러코드, 생성한 하나 이상의 기기 데이터 패키지를 저장한 보수의뢰를 생성하는 기능도 가진다. 통신부(131)는, 생성한 보수의뢰를 송신하는 보수센터(110)를 소정의 규칙에 따라 결정하고, 결정한 보수센터(110)의 관리장치(112)에 보수의뢰를 송신하는 기능도 가진다.
또한, 통신부(131)가 보수의뢰를 송신하는 작업장치를 결정하는 규칙에는 여러가지의 것을 생각할 수 있다. 예를 들면, 미리 상기 각 작업장치를 제공할 수 있는 보수작업의 품질을 나타내는 품질정보를 기억하고, 기억한 품질정보에 의거하여 보수의뢰를 송신하는 작업장치를 결정하는 규칙이나, 품질정보에 의거하여 보수의뢰를 송신하는 작업장치의 후보를 선정하고, 이 후보 중에서 반도체제조검사장치의 사용자가 선택한 작업장치를 보수의뢰를 송신하는 작업장치로 하여 결정하는 규칙 등이 있다.
통신부(131)로부터 보수의뢰를 수신한 작업장치(113)는, 판독조작응답을 수신한 경우와 마찬가지로, 보수원이 지정한 외부 기억장치의 파일에 보수의뢰를 저장하고, 저장한 보수의뢰에 저장되어 있는 각 기기 데이터 패키지에 대하여 표시를행한다.
계속해서, 반도체제조검사장치(123)로부터 작업장치(113)에 송신되는 보수의뢰의 구조에 대하여 설명한다. 도 21은, 보수의뢰의 데이터 구성예를 나타내고 있다. 보수의뢰(410)는, 보수를 의뢰하기 위하여 반도체제조검사장치(123)로부터 작업장치(113)에 송신되는 메시지이고, 장치 ID(411), 에러코드(412), 기기 데이터 패키지(413, …) 등으로 구성된다. 기기 데이터 패키지(413)의 항목은 복수이어도 된다.
장치 ID(411)에는, 고장의 발생을 검출한 반도체제조검사장치(123)의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 에러코드(412)에는, 고장의 증상을 나타내는 데이터를 저장한다. 기기 데이터 패키지(413)에는, 고장의 원인을 분석하기 위하여 사용하는 기기 데이터 패키지를 저장한다. 또한 보수의뢰에는, 고장 검지일시, 반도체제조공장 ID, 반도체제조검사장치 종별 등의 항목을 부가하여도 좋다.
도 22는, 도 6에 나타낸 분석상황 관리테이블에 보수내용에 의거하여 연산된 대가의 금액을 추가한 것으로, 보수센터(110)의 관리장치(112)로부터 반도체제조공장(120)의 관리장치(122)에 송신되고, 확인한 후 대가가 지불되게 된다.
분석상황 관리테이블(420)의 각 행은, 분석작업 ID(421), 기기 데이터 ID (422), 기록일시(423), 보수원 종별(424), 보수원 ID(425), 내용(426), 금액(427)으로 구성된다. 분석작업 ID(421)에는, 분석작업의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 기기 데이터 ID(422)에는, 분석의 대상이 된 기기 데이터의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 기록일시(423)에는, 이력이 기록된 일시를 나타내는데이터를 저장한다. 보수원 종별(424)에는, 분석작업을 행한 보수원의 종별을 나타내는 데이터를 저장한다. 보수원 ID(425)에는, 분석작업을 행한 분석원의 식별자를 나타내는 데이터를 저장한다. 내용(426)에는, 분석착수통지, 분석조작, 분석완료통지의 내용을 나타내는 데이터를 저장한다. 금액(427)에는, 분석내용에 따라 연산된 대가의 금액을 저장한다.
계속해서, 도 20에 나타낸 반도체제조검사장치(123)의 보수에 관한 처리 플로우에 대하여 설명한다. 도 23은, 반도체제조검사장치(123)가 보수의뢰를 작업장치 (113)에 송신하는 경우의 동작을 나타내는 플로우차트이다. 통신부(131)는, 이 플로우차트에 나타내는 처리를 정기적으로 실행함으로써, 반도체제조검사장치(123)의 가동상황을 정기적으로 감시한다.
먼저, 통신부(131)는, 반도체제조검사장치(123)에서 고장이 발생하고 있는 것을 검출하였는지의 여부를 확인하여(단계 431, 432), 고장이 발생하고 있는 것을 검출한 경우에는, 소정의 규칙에 따라 반도체제조검사장치(123)로부터 판독하는 기기 데이터를 선정하고(단계 433), 고장이 발생하고 있는 것을 검출하지 않은 경우에는 처리를 종료한다(단계 439).
고장이 발생하고 있는 것을 검출한 경우에는, 통신부(131)는, 선정한 하나 이상의 기기 데이터를 판독한다(단계 434). 다음에 통신부(131)는, 판독한 각 기기 데이터에 대하여, 기기 데이터 ID, 공통 키, 공통 키 공개조건을 생성하고, 이들 데이터를 서로 관련지어 공통 키 관리테이블에 등록한다(단계 435). 다음에 통신부 (131)는, 반도체제조검사장치(123)의 장치 ID, 해당 고장의 에러코드, 생성한하나 이상의 기기 데이터 패키지를 저장한 보수의뢰를 생성한다(단계 436). 통신부 (131)는, 생성한 보수의뢰를 송신하는 보수센터(110)를 소정의 규칙에 따라 결정한다(단계 437). 결정한 보수센터(110)의 관리장치(112)에 보수의뢰를 송신하고(단계 438), 처리를 종료한다(단계 439).
이상과 같이, 본 실시형태의 시스템에 있어서는, 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기와, 산업용 기기를 보수하는 하나 이상의 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템으로서, 산업용 기기는, 암호화 유닛과 결정유닛과 통신유닛과 입출력 유닛을 구비한다. 암호화 유닛은, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화한다. 결정유닛은, 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 송신하는 작업장치를 결정한다. 통신유닛은, 암호화 유닛이 암호화한 암호화 기기정보를 결정유닛이 결정한 작업장치에 송신하고, 암호화 기기정보를 수신한 작업장치로부터의 요구에 따라 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 송신한다. 입출력 유닛은, 산업용 기기가 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력한다. 작업장치는, 통신유닛과 복호화 유닛과 입출력 유닛을 구비한다. 통신유닛은 산업용 기기의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보를 수신하고, 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 산업용 기기에 요구하여 수신한다. 복호화 유닛은, 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화한다. 입출력 유닛은, 복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력한다.
따라서, 산업용 기기의 사용자가 허가하는 범위내에서, 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보를 고장이 발생한 산업용 기기에 대응하는 보수원에 대하여 안전하게 공개하는 것이 가능하게 된다.
또 산업용 기기의 결정 유닛은, 각 작업장치가 제공할 수 있는 보수작업의 품질을 나타내는 품질정보를 기억하고, 기억한 품질정보에 의거하여, 보수를 의뢰하는 것을 나타내는 보수의뢰를 송신하는 적어도 하나 이상의 작업장치를 결정하고, 산업용 기기의 통신유닛은, 산업용 기기의 결정 유닛이 결정한 작업장치에 보수의뢰와 암호화 기기정보를 송신하도록 하였기 때문에, 각 작업장치가 제공할 수 있는 보수작업의 품질에 따라 보수를 의뢰하는 것이 가능하게 된다.
또 산업용 기기의 결정 유닛은, 보수의뢰를 송신하는 적어도 하나의 작업장치의 후보를 생성하고, 산업용 기기의 입출력 유닛은, 산업용 기기의 결정유닛이 생성한 후보를 출력하고, 산업용 기기의 결정유닛은, 산업용 기기의 입출력 유닛이 출력한 후보 중에서 산업용 기기의 사용자가 선택한 작업장치를 보수의뢰를 송신하는 작업장치로 하여 결정하도록 하였기 때문에, 산업용 기기의 사용자의 판단에 따라 유연하게 보수를 의뢰하는 것이 가능하게 된다.
이상, 제 3 실시형태를 설명하였으나, 이 외에도 본 발명은 변형이 가능하다. 제 4 실시형태는, 제 3 실시형태를 변형한 것이다. 제 3 실시형태는, 산업용 기기의 사용자가 허가하는 범위내에서, 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보를 고장이 발생한 산업용 기기에 대응하는 보수원에 대하여 안전하게 공개하는 것을 가능하게 하는 것이었으나, 제 4 실시형태는, 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보가 대응하는 보수원에 대한 공개와, 기기정보의 안전성의 관리를 관리장치에서 일원적으로 행하는 것을 가능하게 하는 것이다. 본 발명을 적용한 시스템은, 제조공장(120)에 설치된 관리장치(122)에 다음에 설명하는 새로운 기능을 추가하고 있으나, 이 외의 각 장치의 구성에 대해서는 제 3 실시형태에서 설명한 것과 동일하다.
도 19에 있어서, 관리장치(122)의 통신부(401)는, 반도체제조검사장치(123)의 가동상황을 정기적으로 감시하여, 고장이 발생하고 있는 것을 검지한 경우에는, 소정의 규칙에 따라 해당 반도체제조검사장치(123)로부터 판독하는 기기 데이터를 선정하고, 이 기기 데이터를 판독하는 판독조작을 반도체제조검사장치(123)에 송신하는 기능을 가진다.
통신부(401)는, 판독조작에 응답하여 반도체제조검사장치(123)로부터 송신되는 각 판독조작응답을 수신하면, 수신한 판독조작응답에 저장되어 있는 기기 데이터에 대하여, 기기 데이터 ID, 공통 키, 공통 키 공개조건을 생성하고, 이들 데이터를 서로 관련지어 공통 키 관리테이블에 등록하는 기능도 가진다.
통신부(401)는, 생성한 공통 키를 사용하여 판독조작응답에 저장되어 있는 기기 데이터를 암호화하고, 생성한 기기 데이터 ID, 암호화 기기 데이터, 이벤트 송신규칙으로 구성되는 기기 데이터 패키지를 생성하고, 해당 반도체제조검사장치(123)의 장치 ID, 해당 고장의 에러코드, 하나 이상의 기기 데이터 패키지를 저장한 보수의뢰를 생성하는 기능도 가진다.
통신부(401)는, 소정의 규칙에 따라 생성한 보수의뢰를 송신하는 장치 판매자를 결정하고, 결정한 장치 판매자의 관리장치(112)에 보수의뢰를 송신하는 기능도 가진다.
또한 통신부(401)가 보수의뢰를 송신하는 작업장치를 선정하는 규칙에는 여러가지의 것을 생각할 수 있다. 예를 들면, 미리 상기 각 작업장치가 제공할 수 있는 보수작업의 품질을 나타내는 품질정보를 기억하고, 기억한 품질정보에 의거하여 보수의뢰를 송신하는 작업장치를 결정하는 규칙이나, 품질정보에 의거하여 보수의뢰를 송신하는 작업장치의 후보를 선정하고, 이 후보 중에서 관리장치의 사용자가 선택한 작업장치를 보수의뢰를 송신하는 작업장치로 하여 결정하는 규칙 등을 생각할 수 있다.
통신부(131)로부터 보수의뢰를 수신한 작업장치(113)는, 판독조작응답을 수신한 경우와 마찬가지로, 보수원이 지정한 외부 기억장치의 파일에 보수의뢰를 저장하고, 저장한 보수의뢰에 저장되어 있는 각 기기 데이터 패키지에 대하여 표시를 행한다.
관리장치(122)로부터 작업장치(113)에 송신되는 보수의뢰의 구조는, 제 3 실시형태에서 설명한 것과 동일하므로, 설명을 생략한다.
관리장치(122)가 보수의뢰를 작업장치(113)에 송신하는 경우의 동작은, 제 3 실시형태에서 설명한 반도체제조검사장치(123)의 것과 동일하므로, 설명을 생략한다.
이상과 같이, 본 실시형태의 시스템에 있어서는, 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기와, 산업용 기기로부터 송신되는 정보를 관리하는 관리장치와, 산업용 기기를 보수하는 하나 이상의 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템으로서, 산업용 기기는, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 관리장치에 송신하는 통신유닛을 구비한다. 관리장치는, 암호화 유닛과 결정유닛과 통신유닛과 입출력 유닛을 구비한다. 암호화 유닛은, 산업용 기기의 통신유닛이 송신한 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화한다. 결정유닛은, 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 송신하는 작업장치를 결정한다. 통신유닛은, 암호화 유닛이 암호화한 암호화 기기정보를 결정유닛이 결정한 작업장치에 송신하고, 암호화 기기정보를 수신한 작업장치로부터의 요구에 따라 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 송신한다. 입출력 유닛은, 관리장치가 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력한다. 작업장치는, 통신유닛과 복호화 유닛과 입출력 유닛을 구비한다. 통신유닛은, 관리장치의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보를 수신하고, 암호화 기기정보를 암호화한 공통 키를 관리장치에 요구하여 수신한다. 복호화 유닛은, 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화한다. 입출력 유닛은, 복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력한다.
따라서, 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보가 대응하는 보수원에 대한 공개와, 기기정보의 안전성의 관리를 관리장치에 의해 일원적으로 행하는 것이 가능하게 된다.
또 관리장치의 결정유닛은, 각 작업장치가 제공할 수 있는 보수작업의 품질을 나타내는 품질정보를 기억하고, 기억한 품질정보에 의거하여, 보수를 의뢰하는 것을 나타내는 보수의뢰를 송신하는 적어도 하나 이상의 작업장치를 결정하고, 관리장치의 통신유닛은, 관리장치의 결정유닛이 결정한 작업장치에 보수의뢰와 암호화 기기정보를 송신하도록 하였기 때문에, 각 작업장치가 제공할 수 있는 보수작업의 속성에 따라 보수를 의뢰하는 것이 가능하게 된다.
또 관리장치의 결정유닛은, 보수의뢰를 송신하는 적어도 하나의 작업장치의 후보를 생성하고, 관리장치의 입출력 유닛은, 관리장치의 결정유닛이 생성한 후보를 출력하고, 관리장치의 결정유닛은, 관리장치의 입출력 유닛이 출력한 후보 중으로부터 관리장치의 사용자가 선택한 작업장치를 보수의뢰를 송신하는 작업장치로 하여 결정하도록 하였기 때문에, 관리장치의 사용자의 판단에 따라 유연하게 보수를 의뢰하는 것이 가능하게 된다.
본 발명의 각 실시형태의 특징을 이하에 나타낸다.
(1) 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기와, 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템으로서, 상기 산업용 기기는, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과, 상기 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 상기 작업장치에 송신하고, 상기 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 암호화 기기정보를 수신한 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 송신하는 통신유닛과, 상기 산업용 기기가 상기 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지고, 상기 작업장치는, 상기 산업용 기기의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보를 수신하고, 상기 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 상기 산업용 기기에 요구하여 수신하는 통신유닛과, 상기 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화하는 복호화 유닛과, 상기 복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(2) (1)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 산업용 기기의 입출력 유닛은, 상기 암호화 기기정보를 기억매체에 출력하고, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 산업용 기기의 입출력 유닛이 출력한 암호화 기기정보를 기억매체로부터 입력하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(3) (1)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 산업용 기기의 통신유닛은, 공통 키를 상기 작업장치에 관련지어져 있는 공개 키를 사용하여 암호화하여 송신하고, 상기 작업장치의 통신유닛은, 상기 산업용 기기의 통신유닛으로부터 수신한 공통 키를 상기 공개 키에 관련지어져 있는 비밀 키를 사용하여 복호화하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(4) (1)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 산업용 기기의 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자의 속성을 나타내는 속성정보와, 공통 키를 송신하기 위하여 필요한 상기 작업장치의 사용자의 속성의 조건을 나타내는 조건정보를 유지하고, 상기 작업장치로부터 공통 키를 요구받은 경우에는, 상기 사용자의 속성정보와공통 키의 조건정보를 판독하여, 판독한 조건정보에 있는 조건을 판독한 속성정보에 있는 속성이 만족되어 있는 경우에 한하여 공통 키를 상기 작업장치에 송신하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(5) (1)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 복호화 유닛은, 상기 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키에 대한 조작을 제한하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 상기 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키에 대한 조작을 제한하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(6) (1)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 복호화 유닛이 복호화한 기기정보에 대한 조작을 제한하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 상기 작업장치의 복호화 유닛이 복호화한 기기정보에대한 조작을 제한하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(7) (1)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 기억한 상기 기기정보를 동화상을 사용하여 출력하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(8) (1)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 기억한 상기 기기정보를 타이밍차트를 사용하여 출력하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(9) (1)에 기재의 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 기억한 복수의 상기 기기 데이터를 타이밍차트의 위에서 겹쳐서 출력장치에 출력하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(10) (1)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 입출력 유닛이 출력한 기기정보에 대하여 상기 작업장치의 사용자가 행한 조작의 내용을 나타내는 이벤트정보를 생성하고, 상기 작업장치의 통신유닛은, 상기 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하고, 상기 산업용 기기의 통신유닛은, 공통 키를 송신한 작업장치가 송신한 이벤트정보를 수신하고, 상기 산업용 기기의 입출력 유닛은, 상기 산업용 기기의 통신유닛이 수신한 이벤트정보의 전부 또는 일부를 출력하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(11) (10)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(12) (11)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 특정한 사상을 고장의 원인으로서 판단한 이유를 접수하고, 접수한 이유를 이벤트정보에 저장하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(13) (11)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 복호화 유닛이 기억하고 있는 공통 키를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(14) (11)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 입출력 유닛이 기억하고 있는 기기정보를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(15) (10)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 통신유닛은, 상기 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하고, 기억한 이벤트 송신규칙에 따라 상기 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 산업용 기기에 송신하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(16) (15)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트정보를 상기공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(17) (16)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 통신유닛은, 특정한 사상을 고장의 원인으로서 판단한 이유를 나타내는 이벤트정보를 상기 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(18) (15)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 통신유닛은, 상기 작업장치의 복호화 유닛이 기억하고 있는 공통 키를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 상기 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(19) (15)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 입출력 유닛이 기억하고 있는 기기정보를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 상기 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(20) (1)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치는, 산업용 기기를 식별하는 정보와, 고장의 원인을 특정하기 위하여 사용한 암호화 기기정보와, 고장에 대한 대처방법을 관련지어 등록하는 등록유닛을 가지고, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 등록유닛을 참조하여 해당하는 고장에 대한 대처법을 출력하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(21) (1)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 산업용 기기는, 반도체제조검사장치인 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(22) 인터넷을 거쳐 접속된 작업장치로부터 원격으로 보수작업을 받는 산업용 기기로서, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과, 상기 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 상기 작업장치에 송신하고, 상기 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 암호화 기기정보를 수신한 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 송신하는 통신유닛과, 상기 산업용 기기가 상기 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지는 것을 특징으로 하는 산업용 기기.
(23) (22)에 기재된 산업용 기기로서, 상기 입출력 유닛은, 상기 작업장치에 입력시키는 암호화 기기정보를 기억매체에 출력하는 것을 특징으로 하는 산업용 기기.
(24) (22)에 기재된 산업용 기기로서, 상기 통신유닛은, 상기 공통 키를 상기 작업장치에 관련지어져 있는 공개 키를 사용하여 암호화하여 송신하는 것을 특징으로 하는 산업용 기기.
(25) (22)에 기재된 산업용 기기로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자의 속성을 나타내는 속성정보와, 공통 키를 송신하기 위하여 필요한 상기 작업장치의 사용자의 속성의 조건을 나타내는 조건정보를 유지하고, 상기 작업장치로부터 공통 키를 요구받은 경우에는, 상기 사용자의 속성정보와 공통 키의 조건정보를 판독하여, 판독한 조건정보에 있는 조건을 판독한 속성정보에 있는 속성이 만족되어 있는 경우에 한하여 공통 키를 상기 작업장치에 송신하는 것을 특징으로 하는 산업용 기기.
(26) (22)에 기재된 산업용 기기로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 기기정보에 대하여 행한 조작의 내용을 나타내는 이벤트정보를 공통 키를 송신한 작업장치로부터 수신하고, 상기 입출력 유닛은, 상기 통신유닛이 수신한 이벤트정보의 전부 또는 일부를 출력하는 것을 특징으로 하는 산업용 기기.
(27) (26)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트정보를 수신하는 것을특징으로 하는 산업용 기기.
(28) (27)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 특정한 사상을 고장의 원인으로서 판단한 이유를 나타내는 이벤트정보를 수신하는 것을 특징으로 하는 산업용 기기.
(29) (26)에 기재된 산업용 기기로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치가 기억하고 있는 공통 키를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 수신하는 것을 특징으로 하는 산업용 기기.
(30) (26)에 기재된 산업용 기기로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치가 기억하고 있는 기기정보를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 수신하는 것을 특징으로 하는 산업용 기기.
(31) 인터넷을 거쳐 접속된 산업용 기기를 원격으로 보수하는 작업장치로서, 상기 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화한 정보인 암호화 기기정보를 상기 산업용 기기로부터 수신하고, 상기 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 상기 산업용 기기에 요구하여 수신하는 통신유닛과, 상기 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화하는 복호화 유닛과, 상기 복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(32) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 입출력 유닛은, 상기 산업용 기기가 출력한 암호화 기기정보를 기억매체로부터 입력하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(33) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 통신유닛은, 상기 산업용 기기로부터 수신한 공통 키를 작업장치에 관련지어져 있는 비밀 키를 사용하여 복호화하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(34) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 복호화 유닛은, 상기 통신유닛이 수신한 공통 키에 대한 조작을 제한하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 상기 통신유닛이 수신한 공통 키에 대한 조작을 제한하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(35) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 입출력 유닛은, 상기 복호화 유닛이 복호화한 기기정보에 대한 조작을 제한하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 상기 복호화 유닛이 복호화한 기기정보에 대한 조작을 제한하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(36) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 입출력 유닛은, 기억한 상기 기기정보를 동화상을 사용하여 출력하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(37) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 입출력 유닛은, 기억한 상기 기기정보를 타이밍차트를 사용하여 출력하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(38) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 입출력 유닛은, 기억한 복수의 상기기기 데이터를 타이밍차트의 위에서 겹쳐서 출력장치에 출력하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(39) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 입출력 유닛은, 상기 입출력 유닛이 출력한 기기정보에 대하여 상기 작업장치의 사용자가 행한 조작의 내용을 나타내는 이벤트정보를 생성하고, 상기 통신유닛은, 상기 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(40) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(41) (4O)에 기재된 작업장치로서, 상기 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 특정한 사상을 고장의 원인으로서 판단한 이유를 접수하고, 접수한 이유를 이벤트정보에 저장하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(42) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 복호화 유닛이 기억하고 있는 공통 키를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(43) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 입출력 유닛이 기억하고 있는 기기정보를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(44) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 통신유닛은, 상기 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 산업용 기기에 송신하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 상기 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 산업용 기기에 송신하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(45) (44)에 기재된 작업장치로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트정보를 상기 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하는 것을 특징으로하는 작업장치.
(46) (45)에 기재된 작업장치로서, 상기 통신유닛은, 특정한 사상을 고장의 원인으로서 판단한 이유를 나타내는 이벤트정보를 상기 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(47) (45)에 기재된 작업장치로서, 상기 통신유닛은, 상기 복호화 유닛이 기억하고 있는 공통 키를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 상기 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(48) (45)에 기재된 작업장치로서, 상기 입출력 유닛은, 상기 입출력 유닛이 기억하고 있는 기기정보를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 상기 공통 키를 송신한 산업용 기기에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(49) (31)에 기재된 작업장치로서, 상기 작업장치는, 산업용 기기를 식별하는 정보와, 고장의 원인을 특정하기 위하여 사용한 암호화 기기정보와, 고장에 대한 대처방법을 관련지어 등록하는 등록유닛을 가지고, 상기 입출력 유닛은, 등록유닛을 참조하여 해당하는 고장에 대한 대처법을 출력하는 것을 특징으로 하는 작업장치.
(50) 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기와, 산업용 기기로부터 송신되는 정보를 관리하는 관리장치와, 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템으로서, 상기 산업용 기기는, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 상기 관리장치에 송신하는 통신유닛을 가지고, 상기 관리장치는, 상기 산업용 기기가 송신한 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과, 상기 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 상기 작업장치에 송신하고, 상기 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 암호화 기기정보를 수신한 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 송신하는 통신유닛과, 상기 관리장치가 상기 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지고, 상기 작업장치는, 상기 관리장치의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보를 수신하고, 상기암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 상기 관리장치에 요구하여 수신하는 통신유닛과, 상기 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화하는 복호화 유닛과, 상기 복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(51) (50)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 관리장치의 입출력 유닛은, 상기 암호화 기기정보를 기억매체에 출력하고, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 관리장치의 입출력 유닛이 출력한 암호화 기기정보를 기억매체로부터 입력하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(52) (50)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 관리장치의 통신유닛은, 공통 키를 상기 작업장치에 관련지어져 있는 공개 키를 사용하여 암호화하여 송신하고, 상기 작업장치의 통신유닛은, 상기 산업용 기기의 통신유닛으로부터 수신한 공통 키를 상기 공개 키에 관련지어져 있는 비밀 키를 사용하여 복호화하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(53) (50)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 관리장치의 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자의 속성을 나타내는 속성정보와, 공통 키를 송신하기 위하여 필요한 상기 작업장치의 사용자의 속성의 조건을 나타내는 조건정보를 유지하고, 상기 작업장치로부터 공통 키를 요구받은 경우에는, 상기 사용자의 속성정보와 공통 키의 조건정보를 판독하고, 판독한 조건정보에 있는 조건을 판독한 속성정보에 있는 속성이 만족되어 있는 경우에 한하여 공통 키를 상기 작업장치에 송신하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(54) (50)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 복호화 유닛은, 상기 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키에 대한 조작을 제한하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 상기 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키에 대한 조작을 제한하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(55) (50)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 복호화 유닛이 복호화한 기기정보에 대한 조작을 제한하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 상기 작업장치의 복호화 유닛이 복호화한 기기정보에 대한 조작을 제한하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(56) (50)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 기억한 상기 기기정보를 동화상을 사용하여 출력하는 것을 특징으로 하는 원격보수시스템.
(57) (50)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 기억한 상기 기기정보를 타이밍차트를 사용하여 출력하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(58) (50)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 기억한 복수의 상기 기기 데이터를 타이밍차트의 위에서 겹쳐서 출력장치에 출력하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(59) (50)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 입출력 유닛이 출력한 기기정보에 대하여 상기 작업장치의 사용자가 행한 조작의 내용을 나타내는 이벤트정보를 생성하고, 상기 작업장치의 통신유닛은, 상기 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 공통 키를 송신한 관리장치에 송신하고, 상기 관리장치의 통신유닛은, 공통 키를 송신한 작업장치가 송신한 이벤트정보를 수신하고, 상기 관리장치의 입출력 유닛은, 상기 관리장치의 통신유닛이 수신한 이벤트정보의 전부 또는 일부를 출력하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(60) (59)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(61) (59)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 특정한 사상을 고장의 원인으로서 판단한 이유를 접수하고, 접수한 이유를 이벤트정보에 저장하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(62) (59)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 복호화 유닛이 기억하고 있는 공통 키를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(63) (59)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 입출력 유닛이 기억하고 있는 기기정보를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(64) (59)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 통신유닛은, 상기 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 상기 관리장치에 송신하는 규칙을 기억하고, 기억한 규칙에 따라 상기 작업장치의 입출력 유닛이 생성한 이벤트정보를 관리장치에 송신하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(65) (64)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트정보를 상기공통 키를 송신한 관리장치에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(66) (64)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 통신유닛은, 특정의 사상을 고장의 원인으로서 판단한 이유를 나타내는 이벤트정보를 상기 공통키를 송신한 관리장치에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(67) (64)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 통신유닛은, 상기 작업장치의 복호화 유닛이 기억하고 있는 공통 키를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 상기 공통 키를 송신한 관리장치에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(68) (64)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 상기 작업장치의 입출력 유닛이 기억하고 있는 기기정보를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 상기 공통 키를 송신한 관리장치에 송신하는 규칙을 나타내는 이벤트 송신규칙을 기억하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(69) (50)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 작업장치는, 산업용 기기를 식별하는 정보와, 고장의 원인을 특정하기 위하여 사용한 암호화 기기정보와, 고장에 대한 대처방법을 관련지어 등록하는 등록유닛을 가지고, 상기 작업장치의 입출력 유닛은, 등록유닛을 참조하여 해당하는 고장에 대한 대처법을 출력하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(70) (50)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 산업용 기기는, 반도체제조검사장치인 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(71) 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기로부터 송신되는 정보를 관리하는 관리장치로서, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과, 인터넷을 거쳐 접속된 작업장치로부터의 요구에 따라 상기 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 상기 작업장치에 송신하고, 상기 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 암호화 기기정보를 수신한 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 송신하는 통신유닛과, 상기 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지는 것을 특징으로 하는 관리장치.
(72) (71)에 기재된 관리장치로서, 상기 입출력 유닛은, 상기 작업장치에 입력시키는 암호화 기기정보를 기억매체에 출력하는 것을 특징으로 하는 관리장치.
(73) (71)에 기재된 관리장치로서, 상기 통신유닛은, 공통 키를 상기 작업장치에 관련지어져 있는 공개 키를 사용하여 암호화하여 송신하는 것을 특징으로 하는 관리장치.
(74) (71)에 기재된 관리장치로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자의 속성을 나타내는 속성정보와, 공통 키를 송신하기 위하여 필요한 상기 작업장치의 사용자의 속성의 조건을 나타내는 조건정보를 유지하고, 상기 작업장치로부터 공통 키를 요구받은 경우에는, 상기 사용자의 속성정보와 공통 키의 조건정보를 판독하고, 판독한 조건정보에 있는 조건을 판독한 속성정보에 있는 속성이 만족되어 있는 경우에 한하여 공통 키를 상기 작업장치에 송신하는 것을 특징으로 하는 관리장치.
(75) (71)에 기재된 관리장치로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 기기정보에 대하여 행한 조작의 내용을 나타내는 이벤트정보를 공통 키를 송신한 작업장치로부터 수신하고, 상기 입출력 유닛은, 상기 통신유닛이 수신한 이벤트정보의 전부 또는 일부를 출력하는 것을 특징으로 하는 관리장치.
(76) (75)에 기재된 관리장치로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 고장의 원인을 특정한 것을 나타내는 이벤트정보를 수신하는 것을 특징으로 하는 관리장치.
(77) (75)에 기재된 관리장치로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치의 사용자가 특정한 사상을 고장의 원인으로서 판단한 이유를 나타내는 이벤트정보를 수신하는 것을 특징으로 하는 관리장치.
(78) (75)에 기재된 관리장치로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치가 기억하고 있는 공통 키를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 수신하는 것을 특징으로 하는 관리장치.
(79) (75)에 기재된 관리장치로서, 상기 통신유닛은, 상기 작업장치가 기억하고 있는 기기정보를 상기 작업장치의 사용자가 삭제한 것을 나타내는 이벤트정보를 수신하는 것을 특징으로 하는 관리장치.
(80) 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기와, 산업용 기기를 보수하는 하나 이상의 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템으로서, 상기산업용 기기는, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과, 상기 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 송신하는 작업장치를 결정하는 결정유닛과, 암호화 유닛이 암호화한암호화 기기정보를 상기 결정유닛이 결정한 작업장치에 송신하고, 상기 암호화 기기정보를 수신한 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 상기 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 송신하는 통신유닛과, 상기 산업용 기기가 상기 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지고, 상기 작업장치는, 상기 산업용 기기의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보를 수신하고, 상기 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 상기 산업용 기기에 요구하여 수신하는 통신유닛과, 상기 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화하는 복호화 유닛과, 상기 복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(81) (80)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 산업용 기기의 결정유닛은, 상기 각 작업장치가 제공할 수 있는 보수작업의 품질을 나타내는 품질정보를 기억하고, 기억한 품질정보에 의거하여 보수를 의뢰하는 것을 나타내는 보수의뢰를 송신하는 적어도 하나 이상의 작업장치를 결정하고, 상기 산업용 기기의 통신유닛은, 상기 산업용 기기의 결정유닛이 결정한 작업장치에 보수의뢰와 상기 암호화 기기정보를 송신하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(82) (80)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 산업용 기기의 결정유닛은, 보수의뢰를 송신하는 적어도 하나의 작업장치의 후보를 생성하고, 상기 산업용 기기의 입출력 유닛은, 상기 산업용 기기의 결정유닛이 생성한 후보를 출력하고,상기 산업용 기기의 결정유닛은, 상기 산업용 기기의 입출력 유닛이 출력한 후보 중으로부터 상기 산업용 기기의 사용자가 선택한 작업장치를 보수의뢰를 송신하는 작업장치로 하여 결정하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(83) (80)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 산업용 기기는, 반도체제조검사장치인 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(84) 인터넷을 거쳐 접속된 하나 이상의 작업장치로부터 원격으로 보수작업을 받는 산업용 기기로서, 상기 산업용 기기는, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과, 상기 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 송신하는 작업장치를 결정하는 결정유닛과, 암호화 유닛이 암호화한 암호화 기기정보를 상기 결정유닛이 결정한 작업장치에 송신하고, 암호화 기기정보를 수신한 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 상기 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 송신하는 통신유닛과, 상기 산업용 기기가 상기 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지는 것을 특징으로 하는 산업용 기기.
(85) (84)에 기재된 산업용 기기로서, 상기 결정유닛은, 상기 각 작업장치가 제공할 수 있는 보수작업의 품질을 나타내는 품질정보를 기억하고, 상기 산업용 기기의 통신유닛이 수신한 품질정보에 의거하여 보수를 의뢰하는 것을 나타내는 보수의뢰를 송신하는 적어도 하나 이상의 작업장치를 결정하고, 상기 통신유닛은, 상기 산업용 기기의 결정유닛이 결정한 작업장치에 보수의뢰와 상기 암호화 기기정보를 송신하는 것을 특징으로 하는 산업용 기기.
(86) (84)에 기재된 산업용 기기로서, 상기 결정유닛은, 보수의뢰를 송신하는 적어도 하나의 작업장치의 후보를 생성하고, 상기 산업용 기기의 입출력 유닛은, 상기 결정유닛이 생성한 후보를 출력하고, 상기 결정유닛은, 상기 입출력 유닛이 출력한 후보 중으로부터 상기 산업용 기기의 사용자가 선택한 산업용 기기를 보수의뢰를 송신하는 작업장치로 하여 결정하는 것을 특징으로 하는 산업용 기기.
(87) 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기와, 산업용 기기로부터 송신되는 정보를 관리하는 관리장치와, 산업용 기기를 보수하는 하나 이상의 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템으로서, 상기 산업용 기기는, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 상기 관리장치에 송신하는 통신유닛을 가지고, 상기 관리장치는, 상기 산업용 기기의 통신유닛이 송신한 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과, 상기 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 송신하는 작업장치를 결정하는 결정유닛과, 상기 암호화 유닛이 암호화한 암호화 기기정보를 결정유닛이 결정한 상기 작업장치에 송신하고, 암호화 기기정보를 수신한 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 상기 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 송신하는 통신유닛과, 상기 관리장치가 상기 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지고, 상기 작업장치는, 상기 관리장치의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보를 수신하고, 상기 암호화 기기정보를 암호화한 공통 키를 상기 관리장치에 요구하여 수신하는 통신유닛과, 상기 작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화하는 복호화 유닛과, 상기복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(88) (87)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 관리장치의 결정유닛은, 상기 각 작업장치가 제공할 수 있는 보수작업의 품질을 나타내는 품질정보를 기억하고, 기억한 품질정보에 의거하여 보수를 의뢰하는 것을 나타내는 보수의뢰를 송신하는 적어도 하나 이상의 작업장치를 결정하고, 상기 관리장치의 통신유닛은, 상기 관리장치의 결정유닛이 결정한 작업장치에 보수의뢰와 상기 암호화 기기정보를 송신하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(89) (87)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 관리장치의 결정유닛은, 보수의뢰를 송신하는 적어도 하나의 작업장치의 후보를 생성하고, 상기 관리장치의 입출력 유닛은, 상기 관리장치의 결정유닛이 생성한 후보를 출력하고, 상기 관리장치의 결정유닛은, 상기 관리장치의 입출력 유닛이 출력한 후보 중으로부터 상기 관리장치의 사용자가 선택한 작업장치를 보수의뢰를 송신하는 작업장치로 하여 결정하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(90) (87)에 기재된 원격 보수시스템으로서, 상기 산업용 기기는, 반도체제조검사장치인 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
(91) 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기로부터 송신되는 정보를 관리하는 관리장치로서, 상기 산업용 기기로부터 수신한 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과, 상기 암호화 유닛이 암호화한 기기정보 인 암호화 기기정보를 송신하는 작업장치를 결정하는 결정유닛과, 상기 암호화유닛이 암호화한 암호화 기기정보를 상기 결정유닛이 결정한 작업장치에 송신하고, 상기 암호화 기기정보를 수신한 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 상기 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 송신하는 통신유닛과, 상기 통신유닛이 상기 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 가지는 것을 특징으로 하는 관리장치.
(92) (91)에 기재된 관리장치로서, 상기 결정유닛은, 상기 각 작업장치가 제공할 수 있는 보수작업의 품질을 나타내는 품질정보를 기억하고, 기억한 품질정보에 의거하여 보수를 의뢰하는 것을 나타내는 보수의뢰를 송신하는 적어도 하나 이상의 작업장치를 결정하고, 상기 통신유닛은, 상기 결정유닛이 결정한 작업장치에 보수의뢰와 상기 암호화 기기정보를 송신하는 것을 특징으로 하는 관리장치.
(93) (91)에 기재된 관리장치로서, 상기 결정유닛은, 보수의뢰를 송신하는 적어도 하나의 작업장치의 후보를 생성하고, 상기 입출력 유닛은, 상기 관리장치의 결정유닛이 생성한 후보를 출력하고, 상기 결정유닛은, 상기 입출력 유닛이 출력한 후보 중으로부터 상기 관리장치의 사용자가 선택한 작업장치를 보수의뢰를 송신하는 작업장치로 하여 결정하는 것을 특징으로 하는 관리장치.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 산업용 기기의 사용자가 허가하는 범위내에서, 하나 하나의 산업용 기기에 축적된 기기정보를 보수원에 대하여 안전하게 공개하는 것이 가능하게 된다.

Claims (14)

  1. 산업용 기기와 그 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템에 있어서,
    상기 산업용 기기는 그 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과,
    상기 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 송신하는 통신유닛과,
    상기 산업용 기기가 상기 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 출력하는 입출력 유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
  2. 산업용 기기와 그 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템에 있어서,
    상기 작업장치는, 상기 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보가 암호화된 암호화 기기정보와 공통 키를 수신하는 통신유닛과,
    상기 공통 키를 사용하여 상기 암호화 기기정보를 복호화하는 복호화 유닛과,
    상기 복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 출력하는 입출력 유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
  3. 산업용 기기와 그 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템에 있어서,
    상기 산업용 기기는 그 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과,
    상기 암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 송신하는 통신유닛과,
    상기 산업용 기기가 상기 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 출력하는 입출력 유닛을 구비하고,
    상기 작업장치는, 상기 산업용 기기의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보와 공통 키를 수신하는 통신유닛과,
    상기 공통 키를 사용하여 상기 암호화 기기정보를 복호화하는 복호화 유닛과,
    상기 복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 출력하는 입출력 유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
  4. 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기와, 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템에 있어서,
    산업용 기기는, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과,
    암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 작업장치로부터의 요구에 따라 작업장치에 송신하고, 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 암호화 기기정보를 수신한 작업장치로부터의 요구에 따라 송신하는 통신유닛과,
    산업용 기기가 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 구비하고,
    작업장치는, 산업용 기기의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보를 수신하고, 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 산업용 기기에 요구하여 수신하는 통신유닛과,
    작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화하는 복호화 유닛과,
    복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
  5. 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기와, 산업용 기기로부터 송신되는 정보를 관리하는 관리장치와, 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템에 있어서,
    산업용 기기는, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 관리장치에 송신하는 통신유닛을 구비하고,
    관리장치는, 산업용 기기가 송신한 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과,
    암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 작업장치로부터의 요구에 따라 작업장치에 송신하고, 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 암호화 기기정보를 수신한 작업장치로부터의 요구에 따라 송신하는 통신유닛과,
    관리장치가 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 구비하고,
    작업장치는, 관리장치의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보를 수신하고, 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 관리장치에 요구하여 수신하는 통신유닛과,
    작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화하는 복호화 유닛과,
    복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
  6. 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기와, 산업용 기기를 보수하는 하나 이상의 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템에 있어서,
    산업용 기기는, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과,
    암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 송신하는 작업장치를 결정하는 결정유닛과,
    암호화 유닛이 암호화한 암호화 기기정보를 결정유닛이 결정한 작업장치에 송신하고, 암호화 기기정보를 수신한 작업장치로부터의 요구에 따라 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 송신하는 통신유닛과,
    산업용 기기가 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 구비하고,
    작업장치는, 산업용 기기의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보를 수신하고, 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 산업용 기기에 요구하여 수신하는 통신유닛과,
    작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화하는 복호화 유닛과,
    복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
  7. 특정의 처리를 실행하는 하나 이상의 산업용 기기와, 산업용 기기로부터 송신되는 정보를 관리하는 관리장치와, 산업용 기기를 보수하는 하나 이상의 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속된 원격 보수시스템에 있어서,
    산업용 기기는, 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 관리장치에 송신하는 통신유닛을 구비하고,
    관리장치는, 산업용 기기의 통신유닛이 송신한 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 암호화 유닛과,
    암호화 유닛이 암호화한 기기정보인 암호화 기기정보를 송신하는 작업장치를 결정하는 결정유닛과,
    암호화 유닛이 암호화한 암호화 기기정보를 결정 유닛이 결정한 작업장치에 송신하고, 암호화 기기정보를 수신한 작업장치로부터의 요구에 따라 암호화 기기정보를 암호화할 때에 사용한 공통 키를 송신하는 통신유닛과,
    관리장치가 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 나타내는 이력의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 구비하고,
    작업장치는, 상기 관리장치의 통신유닛이 송신한 암호화 기기정보를 수신하고, 암호화 기기정보를 암호화한 공통 키를 관리장치에 요구하여 수신하는 통신유닛과,
    작업장치의 통신유닛이 수신한 공통 키를 기억하고, 기억한 공통 키를 사용하여 암호화 기기정보를 복호화하는 복호화 유닛과,
    복호화 유닛이 복호화한 기기정보를 기억하고, 기억한 기기정보의 전부 또는 일부를 출력하는 입출력 유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
  8. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 산업용 기기는, 반도체제조검사장치인 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
  9. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기작업장치는, 상기 기기정보에 의거하여 실시한 상기 산업용 기기의 보수의 내용에 따른 대가를 연산하는 연산유닛을 구비하고, 상기 작업장치의 입출력 유닛은 상기 연산된 대가를 송신하는 것을 특징으로 하는 원격 보수시스템.
  10. 산업용 기기와 그 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속되어, 상기 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 단계와;
    암호화된 암호화 기기정보를 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 송신하는 단계와;
    상기 산업용 기기로부터 상기 작업장치에 공통 키가 송신된 것을 출력하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 원격 보수방법.
  11. 산업용 기기와 그 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속되어, 상기 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보가 암호화된 암호화 기기정보와 공통 키를 수신하는 단계와;
    상기 공통 키를 사용하여 상기 암호화 기기정보를 복호화하는 단계와;
    복호화된 기기정보를 출력하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 원격 보수방법.
  12. 산업용 기기와 그 산업용 기기를 보수하는 작업장치가 인터넷을 거쳐 접속되어, 상기 산업용 기기의 상태를 나타내는 기기정보를 특정한 공통 키를 사용하여 암호화하는 단계와;
    암호화된 암호화 기기정보를 상기 작업장치로부터의 요구에 따라 송신하는 단계와;
    상기 산업용 기기가 상기 작업장치에 공통 키를 송신한 것을 출력하는 단계와;
    송신된 암호화 기기정보와 공통 키를 수신하는 단계와;
    상기 공통 키를 사용하여 상기 암호화 기기정보를 복호화하는 단계와;
    복호화된 기기정보를 출력하는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 원격 보수방법.
  13. 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 산업용 기기는, 반도체제조검사장치인 것을 특징으로 하는 원격 보수방법.
  14. 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 작업장치에 의하여 상기 기기정보에 의거하여 실시한 상기 산업용 기기의 보수의 내용에 따른 대가를 연산하고, 그 연산된 대가를 송신하는 것을 특징으로 하는 원격 보수방법.
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