KR20000050828A - Micro wave discharge light apparatus - Google Patents
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Abstract
개시된 내용은 공진공동(共振空胴) 내의 방전관구에서 발생되어 난 반사 영역으로 발산되는 빛을 평행광선으로 만들어 피조사면에 방사하도록 하는 마이크로파 방전광원 장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to a microwave discharge light source device for radiating light emitted into a reflection region generated in a discharge hole in a resonant cavity into parallel light to radiate to an irradiated surface.
개시된 마이크로파 방전광원 장치는, 공진공동과, 이 공진공동(共振空胴)내에 배치되어 마이크로파 에너지를 빛의 에너지로 바꾸는 방전관구와, 공진공동 밖에 설치되어 방전관구로부터의 빛을 반사시키는 광반사판과, 이 광반사판 내의 최소한의 벽면 일부에 설치되어 공진공동을 형성하는 광투과성재질의 금속망과, 방전관구의 초점과 소정의 각을 갖고 그 방전관구의 빛의 진행방향에 대향인 금속망의 전면에 일체로 형성되어 난 반사 영역을 지나는 빛을 광반사판의 표면에 반사시키는 반사부재를 포함하며;The disclosed microwave discharge light source device includes a resonant cavity, a discharge tube disposed in the resonant cavity for converting microwave energy into energy of light, a light reflector provided outside the resonant cavity to reflect light from the discharge tube, It is provided on a part of the minimum wall surface of the light reflecting plate, and is formed on a light-transmissive metal net that forms a resonance cavity, and integrally on the front of the metal net having a predetermined angle and a focal point of the discharge tube and opposing the direction of light of the discharge tube. A reflecting member for reflecting light passing through the formed reflecting region to the surface of the light reflecting plate;
이에 따라 공진공동 내에서 발산되어 난 반사 영역으로 통과되는 빛들이 완전한 평행광선으로 되어 피조사면에 방사됨으로써, 빛의 효율이 향상되고, 광반사판의 크기가 축소되는 이점이 있다.Accordingly, the light passing through the reflection region emitted in the resonant cavity becomes completely parallel light and radiates to the irradiated surface, thereby improving the efficiency of the light and reducing the size of the light reflector.
Description
본 발명은 벽면의 대부분을 광투과성부재로 형성하는 마이크로파의 공진공동(共振空胴)속에 무전극 방전관구(discharge Lamp : 放電官求)를 설치하고 그 방전관구와 광투과성부재 사이에 반사부재를 배치하여, 방전관구에서 발생되는 빛 중 광반사판을 경유하지 않은 난 반사의 빛을 재 반사시켜서 발광효율을 향상시키도록 하는 마이크로파 방전광원 장치에 관한 것이다.According to the present invention, an electrodeless discharge lamp is installed in a resonant cavity of a microwave that forms most of the wall as a light transmissive member, and a reflection member is disposed between the discharge tube and the light transmissive member. Accordingly, the present invention relates to a microwave discharge light source device for improving the luminous efficiency by re-reflecting light of an unreflected light that does not pass through a light reflector among light generated in a discharge tube.
근래에, 마이크로파 공진공동속에 배치된 무전극 방전관구를 가지는 무전극 마이크로파 방전광원 장치가 개발되고 있으며, 그 수명이 길고 발광효율이 좋기 때문에 주목을 끌고 있다.In recent years, an electrodeless microwave discharge light source device having an electrodeless discharge tube arranged in a microwave resonant cavity has been developed, and has attracted attention because of its long life and good luminous efficiency.
이와 같은 무전극 마이크로파 방전광원 장치는 공진공동 벽면의 대부분을 광투과성부재로 형성한 마이크로파 공진공동을 갖는 것으로서, 예를 들면, 일본국 공개특허공보 제 56-126250호에 의해 공지되어 있다.Such an electrodeless microwave discharge light source device has a microwave resonant cavity in which a large part of the resonant cavity wall surface is formed of a light transmitting member, and is known, for example, from Japanese Patent Laid-Open No. 56-126250.
도 1은 일본국 공개특허공보 제 56-126250호에 기재된 그와 같은 무전극 마이크로파 방전광원 장치의 하나를 표시한 것이다.Fig. 1 shows one such electrodeless microwave discharge light source device described in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 56-126250.
상기 장치에 있어서, 안테나(100a)를 가지는 마그네트론(100)은 마그네트론(100)에 의하여 발생된 마이크로파를 마이크로파공급포트(102a)를 통하여 공진공동(102)에 공급하는 환기공(101a)을 가지는 도파관(101)의 끝에 배치되어 있으며, 공진공동(102)은 광반사 회전 대칭내면을 가지는 포물선 형상의 광반사판(102b)과 마이크로파에는 불통하나 광선은 투과하며, 공진공동(102)의 전면을 형성하는 금속망(102c)으로 형성되어 있다.In the above apparatus, the magnetron 100 having the antenna 100a has a waveguide having a ventilation hole 101a for supplying microwaves generated by the magnetron 100 to the resonant cavity 102 through the microwave supply port 102a. The resonant cavity 102 is disposed at the end of the resonator cavity 101. The resonant cavity 102 has a parabolic light reflecting plate 102b having a light reflection rotationally symmetrical inner surface and a microwave, but transmits light and forms a front surface of the resonant cavity 102 It is formed of the metal mesh 102c.
공진공동(102) 내에 배치되어 플라즈마 발생매체가 그 속에 봉입된 구형(求刑) 무전극 방전관구(103)는 공진공동(102)의 전면, 즉 광반사판(102b)의 전면을 덮은 금속망(102c)을 통하여 광선을 방사하는데, 마이크로파가 방전관구(103)속으로 방사되면 먼저 관구속에 봉입된 가스가 공진공동(102) 속으로 방사된 마이크로파로 인하여 방전되며, 이와 같이하여 방전관구(103)의 내면이 가열되고, 방전관구(103)의 내면에 증착된 수은과 같은 금속이 가스로 증발되며, 결국 방전관구(103) 내의 방전이 금속가스의 방전으로 되어, 금속의 종류에 고유한 방출 스펙트럼을 가지는 광선이 방전금속가스로부터 방출된다. 방출된 광선은 공동벽, 즉 포물선 형상의 광반사판(102b)에 의하여 반사되어서 전면망, 즉 금속망(102c)의 전면을 통하여 피방사면으로 방사된다.The spherical electrodeless discharge tube 103 disposed in the resonant cavity 102 and the plasma generating medium is enclosed therein is a metal mesh 102c covering the entire surface of the resonant cavity 102, that is, the front surface of the light reflecting plate 102b. When the microwave is emitted into the discharge tube 103, the gas enclosed in the tube is first discharged due to the microwave radiated into the resonance cavity 102, and thus the discharge tube 103 The inner surface is heated, and a metal such as mercury deposited on the inner surface of the discharge tube 103 is evaporated into a gas, so that the discharge in the discharge tube 103 becomes the discharge of the metal gas, thereby producing an emission spectrum unique to the type of metal. The light beams are emitted from the discharge metal gas. The emitted light rays are reflected by the cavity wall, that is, the parabolic light reflecting plate 102b, and are radiated to the surface to be radiated through the front surface, that is, the front surface of the metal mesh 102c.
이 장치는 또한, 마그네트론(100)과 방전관구(103)를 냉각하기 위하여 하우징(105)의 말단 벽에 냉각팬(104)을 가진다.The apparatus also has a cooling fan 104 on the distal wall of the housing 105 to cool the magnetron 100 and the discharge port 103.
그러나, 이와 같은 무전극 마이크로파 방전광원 장치에서, 금속망(102c)에 금속 세선(細線)(이하, 소선(素線) 이라 약칭함)을 망으로 한 그물을 사용하여 공진공동(102)의 전면, 즉 광반사판(102d)의 전면을 덮은 형상으로 외부에 노출되어 있기 때문에 외력에 약하다는 결점을 가지고 있다.However, in the electrodeless microwave discharge light source device as described above, the front surface of the resonant cavity 102 is formed by using a mesh made of a fine metal wire (hereinafter, abbreviated as an element wire) as the metal network 102c. That is, since it is exposed to the outside in the shape which covered the front surface of the light reflection board 102d, it has a fault which is weak in external force.
또한, 이와 같은 그물망은 기계적으로 약하며, 외력이 가해졌을 경우 그물망이 파손 또는 찌그러짐이 발생되어 마이크로파 공진공동(102)이 변형되고, 이로 인하여 마이크로파 에너지가 공진공동(102)내에 입사되기 어려워지므로 방전관구(103)의 방전으로의 전력이 떨어질 염려도 있으며, 그 결과 발광효율이 저하되는 결점이 있다.In addition, such a net is mechanically weak, and when an external force is applied, the net is broken or crushed, and the microwave resonant cavity 102 is deformed, which makes it difficult for microwave energy to enter the resonant cavity 102 and thus discharge tube. There is a concern that the power to the discharge of (103) may drop, and as a result, there is a disadvantage that the luminous efficiency is lowered.
따라서, 상기와 같은 광반사판의 외부로의 노출에 의해 야기되는 외력에 의한 금속망의 파손, 찌그러짐 및 그로 인한 전력주입 효율의 저하와 발광효율의 저하를 회피하는 하나의 방법으로서, 금속망을 광반사판 내에 배치하여 공진공동을 형성하는 도 2와 같은 장치가 공개되어 있다.Therefore, as a method of avoiding the breakage, crushing and the lowering of the power injection efficiency and the lowering of the luminous efficiency by the external force caused by the exposure of the light reflection plate to the outside as described above, A device such as FIG. 2 is disclosed which is arranged in a reflector to form a resonant cavity.
도 2는 종래의 기술에 따른 마이크로파 방전광원 장치의 설명에 제공되는 개략적인 단면 구성도이다. 여기서 도 1과 같은 구성성분에 관해서는 동일한 번호를 부여하여 표시하고 그 중복되는 설명을 생략하는 것도 있다.2 is a schematic cross-sectional configuration diagram provided in the description of the microwave discharge light source device according to the prior art. 1, components similar to those shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and overlapping descriptions thereof may be omitted.
도 2에 따르면, 외부로부터 입력되는 가속용 고전압에 의해 발진하여 대략 2.45GHz의 마이크로파 에너지를 안테나(100a)를 통해 방사하는 마그네트론(100)과, 상기 방사된 마이크로파 에너지를 안내하는 환기공(101a)을 갖는 마이크로파 안내장치로서의 도파관(101)과, 도파관(101)의 단부에 설치되어 그 도파관(101)으로부터 마이크로파 공급포트(102a)를 통해 마이크로파 에너지를 공급받는 공진공동(102)과, 공진공동(102)내에 배치되며 플라즈마 발생매체가 그 속에 봉입되어 공진공동(102)에 공급된 마이크로파 에너지를 빛의 에너지로 바꾸는 투광체 재질을 갖는 구형의 방전관구(103)와, 이 방전관구(103)로부터 발산된 빛을 외부로 반사시키는 포물선 형상을 갖는 광반사판(102b)과, 광반사판(102b) 내의 최소한의 벽면 일부에 설치되어 공진공동(102)을 형성하는 공동벽(102d)을 갖는 광투과부재로서의 금속망(102c)과, 방전관구(103)를 광반사판(102b)에 고정나사(106)로 지지하여 주는 유전체 재질의 지지부재(103a)로 구성된다.2, the magnetron 100 oscillates by the high voltage for acceleration input from the outside to radiate microwave energy of about 2.45 GHz through the antenna 100a, and the ventilation hole 101a for guiding the emitted microwave energy. A waveguide 101 serving as a microwave guide device having a microwave guide device, a resonance cavity 102 installed at an end of the waveguide 101 and receiving microwave energy from the waveguide 101 through a microwave supply port 102a, and a resonance cavity ( A spherical discharge tube 103 having a light-transmitter material disposed in the chamber 102 and having a plasma generating medium sealed therein and converting microwave energy supplied to the resonant cavity 102 into energy of light; and from the discharge tube 103 A light reflecting plate 102b having a parabolic shape for reflecting the emitted light to the outside, and a cavity provided on a part of the minimum wall surface in the light reflecting plate 102b to form a resonance cavity 102. And (102d), the light transmitting metallic mesh (102c) as a member having a discharge vessel consists of a sphere 103, a support member (103a) of the dielectric material to the support by a fixing screw 106 to the light reflection plate (102b).
상기에서 광반사판(102b)의 마이크로파 공급포트(102a)는 공동벽(102d)의 도파관(101)과 접속되어 있는 부분에 형성된다.In the above, the microwave supply port 102a of the light reflection plate 102b is formed at the portion connected to the waveguide 101 of the cavity wall 102d.
이와 같이 구성된 종래의 기술에 따른 마이크로파 방전광원 장치를 도 3a, 3b 및 도 4를 통해 구체적으로 설명한다.The microwave discharge light source device according to the related art configured as described above will be described in detail with reference to FIGS. 3A, 3B, and 4.
먼저, 외부로부터의 가속용 고전압, 예컨대 4.2KV의 고전압이 입력되면 하우징(105) 내의 마그네트론(100)이 발진하여 그의 안테나(100a)를 통해 매우 높은 주파수, 예컨대 2.45GHz의 마이크로파 에너지를 환기공(101a)을 갖는 도파관(101) 및 공진공동(102)의 마이크로파 공급포트(102a)를 통해 공진공동(102) 내에 설치되고 플라즈마 발생매체가 봉입된 방전관구(103)에 전달한다. 이것에 수반하여 방전관구(103)는 전술한 바와 같이 마이크로파 에너지를 흡수하여 빛을 발생하게 되며 그 방전관구(103)로부터의 빛은 금속망(102c)을 통해 밖으로 방사된다.First, when a high voltage for acceleration from the outside, for example, 4.2KV, is inputted, the magnetron 100 in the housing 105 oscillates, and through the antenna 100a, microwave energy of very high frequency, for example, 2.45 GHz, is ventilated. A waveguide 101 having a 101a and a microwave supply port 102a of the resonant cavity 102 are installed in the resonant cavity 102 and delivered to the discharge tube 103 in which the plasma generating medium is sealed. With this, the discharge tube 103 absorbs microwave energy to generate light as described above, and the light from the discharge tube 103 is radiated out through the metal mesh 102c.
이때, 금속망(102c)을 통한 빛의 일부는 도 4에서와 같이 공진공동(102)의 밖에 배치되어 있으며, 포물선 형상을 갖는 광반사판(102b)의 표면에서 반사되어 방전관구(103)의 축과 평행하는 평행빔(PH2)으로 직진 방사되고, 일부는 광반사판(102b)에서의 반사 없이(난 반사로) 바로 퍼져나가는 빔(PH1)으로 하여 방사된다. 여기서, 광반사판(102b)은 공진공동(102)의 밖에 있기 때문에 마이크로파 특성에 영향을 미치지 않는다.At this time, a part of the light through the metal mesh 102c is disposed outside the resonant cavity 102 as shown in FIG. 4, and is reflected from the surface of the light reflecting plate 102b having a parabolic shape to prevent the axis of the discharge tube 103. Is radiated straight into the parallel beam PH2 parallel to and partially radiated as the beam PH1 which immediately spreads out (reflected path) without reflection from the light reflection plate 102b. Here, the light reflection plate 102b does not affect the microwave characteristics because it is outside the resonance cavity 102.
상기에서의 마이크로파 급전법은 저차(低次)의 공진 모드를 여진 시키는데 적합하며, 저차의 공진 모드는 광반사판(102b) 내에 형성되는 공진공동(102)의 크기를 작게 할 수 있다.The microwave feeding method is suitable for exciting a low-order resonant mode, and the low-order resonant mode can reduce the size of the resonant cavity 102 formed in the light reflection plate 102b.
도 3a는 도 2의 마이크로파 공진공동의 모드패턴을 나타내는 종단면도이고, 도 3b는 도 3a의 B-B선을 따라 본 횡단면도이다. 도 3a에는 도파관(101) 내에서의 전반모드에서 공진공동(102)의 공진 모드에의 결합이 상세히 도시되어 있다. 도 3a에 있어서, 실선 및 작은원 E는 전기력선, 즉 전계를 나타내며, 점선 H는 자력선, 즉 자계를 나타낸다. 도파관(101) 내의 모드는 4각형 TE10 모드이며, 공진공동(102) 내의 모드는 원통형의 TE111모드, 즉 어느 방향으로도 전자계의 산(山)이 하나 있는 모드로 여진되고 있다.3A is a longitudinal cross-sectional view illustrating a mode pattern of the microwave resonant cavity of FIG. 2, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG. 3A. 3A shows in detail the coupling of the resonant cavity 102 to the resonant mode in the propagation mode within the waveguide 101. In Fig. 3A, the solid line and the small circle E represent electric field lines, i.e., electric fields, and the dotted line H represents magnetic field lines, i.e., magnetic fields. The mode in waveguide 101 is a tetragonal TE10 Mode, the mode in the resonant cavity 102 is cylindrical TE111The mode, that is, the mode where one mountain of the electromagnetic field is excited in any direction.
이 모드는 도파관(101) 내와 공진공동(102) 내의 전계 및 자계의 방향이 일치하며, 결합이 용이하다.In this mode, the directions of the electric and magnetic fields in the waveguide 101 and the resonant cavity 102 coincide, and are easily coupled.
방전개시에서 정상으로 되기까지 방전관구(103)의 마이크로파 상수는 금속가스의 증발에 따라 변화한다.From the start of discharge to the normal state, the microwave constant of the discharge tube 103 changes as the metal gas evaporates.
마이크로파 에너지는 도파관(101)에서 공진공동(102) 내에, 나아가서는 방전관구(103)의 방전에 공급될 수 있다. 이것은 공진 조건에서 벗어나고 있지만, 공진공동(102)이 작기 때문에 비교적 강한 마이크로파 전계가 생기기 때문이다.Microwave energy may be supplied in the resonant cavity 102 in the waveguide 101 and further to the discharge of the discharge tube 103. This is because the resonance cavity 102 is small, but a relatively strong microwave field is generated because the resonance cavity 102 is small.
방전초기부터 방전관구(103)에 전자파 에너지를 공급할 수 있으므로, 금속의 증발도 빠르며, 짧은 시간으로 정상에 달한다. 즉 다시 말해서, 발광의 상승 시간이 짧다.Since the electromagnetic wave energy can be supplied to the discharge tube 103 from the beginning of the discharge, the evaporation of the metal is also fast, and reaches the top in a short time. In other words, the rise time of light emission is short.
결과적으로, 도 4에서와 같이, 마이크로파 에너지의 집중에 따른 방전관구(103)의 방전에 의해 발생된 빛이 광반사판(102b)내에 설치되어 공진공동(102)의 크기를 작게 하는 금속망(102c)을 통한 후에 그 빛의 일부가 바로 피조사면에 퍼지는 빔(PH1)으로 발산되고, 일부가 포물형의 광반사판(102b)의 표면에서 반사되어 평행 빔(PH2), 즉 직진성을 가지고 피조사면에 방사된다.As a result, as shown in FIG. 4, the light generated by the discharge of the discharge tube 103 due to the concentration of the microwave energy is provided in the light reflection plate 102b to reduce the size of the resonance cavity 102. Part of the light is immediately emitted by the beam PH1 spreading on the surface to be irradiated, and part of the light is reflected from the surface of the parabolic light reflecting plate 102b so as to be parallel to the surface to be irradiated. Radiated.
전술한 종래 기술에 따른 마이크로파 방전광원 장치는, 금속망을 광반사판의 내에 설치하여 공진공동의 크기를 작게 함으로써, 방전관구의 금속 증발도가 빠르고, 발광의 상승 시간이 짧아지며, 또한 금속망이 외력으로부터 보호됨을 알 수 있다.In the above-described conventional microwave discharge light source device, the metal mesh is installed in the light reflection plate to reduce the size of the resonance cavity, so that the metal tube has a high evaporation rate, shortens the rise time of the light emission, and the metal mesh is external force. It can be seen that it is protected from.
그러나, 이와 같은 마이크로파 방전광원 장치는, 광반사판의 표면에 반사되지 않는 일부의 빛은 피조사면으로 발산을 하고 일부의 빛은 광반사판의 표면에서 반사되어 직진을 함으로 결과적으로, 피조사면 측에서의 빛이 발산되는 결과를 초래하여 전력 대비 빛의 효율이 극히 저하되는 문제점을 내재하고 있다.However, in such a microwave discharge light source device, some of the light that is not reflected on the surface of the light reflector diverges to the surface to be irradiated, and some of the light is reflected off the surface of the light reflector to travel straight. It has a problem that the efficiency of light to power is extremely reduced due to the divergence.
또한, 상기와 같은 장치를 광안내 장치 등에 적용하거나 또는 서치라이트(Search Light) 등의 용도로 사용하기 위해서는 거의 완전한 평행 광선을 만들어 피조사면에 집중해 주어야 함으로 광반사판이 매우 커져야 하며, 이것에 의해 비용이 상승되고 부피가 커지게 되는 문제점을 내재하고 있다.In addition, in order to apply such a device to a light guide device or the like for a search light or the like, a light reflection plate must be made very large because it needs to make almost perfect parallel rays and concentrate them on the irradiated surface. The problem is that the cost is increased and the volume becomes large.
따라서, 상기와 같은 문제점을 치유하면서도 비용 면에서는 저가의 방전광원 장치를, 그리고 신뢰성 면에서는 보다 효율적이고 안정된 마이크로파 방전광원 장치를 제공하는 것이 바람직하다.Accordingly, it is desirable to provide a low-cost discharge light source device in terms of cost, and a more efficient and stable microwave discharge light source device in terms of reliability, while alleviating the above problems.
따라서, 본 발명의 목적은 광반사판에서 반사되지 않고 발산되는 빛을 평행 광으로 하여 피조사면에 방사하도록 하는 마이크로파 방전광원 장치를 제공하는 것이며, 그 장치의 크기가 작고 구조가 간단한 것을 특징으로 한다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a microwave discharge light source device which emits light, which is not reflected by a light reflection plate, to the irradiated surface as parallel light, characterized by a small size and simple structure of the device.
본 발명의 다른 목적은 공진공동의 내부 또는 외부에 반사부재를 설치하는 것이며, 상기 반사부재를 유전체 재질을 갖는 구면거울, 또는 금속재질을 갖는 구면거울로 하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a reflection member inside or outside the resonant cavity, and the reflection member may be a spherical mirror having a dielectric material or a spherical mirror having a metal material.
본 발명의 또다른 목적은 광반사판을 가능한 짧게 하면서도 빛의 효율은 상승시키는 저가의 마이크로파 방전광원 장치를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide a low cost microwave discharge light source device which makes the light reflector as short as possible while increasing the efficiency of light.
도 1은 일반적인 마이크로파 방전광원 장치의 일부를 절개하여 보인 개략적인 사시도이고,1 is a schematic perspective view showing a part of a general microwave discharge light source device,
도 2는 종래의 기술에 따른 마이크로파 방전광원 장치의 설명에 제공되는 개략적인 단면 구성도이고,2 is a schematic cross-sectional configuration diagram provided in the description of the microwave discharge light source device according to the prior art,
도 3a는 도 2의 마이크로파 공진공동의 모드패턴을 나타내는 종단면도이고,3A is a longitudinal sectional view showing a mode pattern of the microwave resonant cavity of FIG.
도 3b는 도 3a의 B-B선을 따라 본 횡단면도이고,3B is a cross sectional view along the line B-B in FIG. 3A,
도 4는 도 2에 따른 방전관구에서 발생되는 빛이 피조사면으로 발산되는 상태를 나타내는 단면 구성도이고,4 is a cross-sectional configuration diagram showing a state in which light generated in the discharge tube according to FIG. 2 is emitted to an irradiated surface;
도 5 내지 도 7은 본 발명에 따른 마이크로파 방전광원 장치의 설명에 제공되는 실시 예를 나타내는 구성도로서,5 to 7 is a configuration diagram showing an embodiment provided for the description of the microwave discharge light source device according to the present invention,
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 의한 마이크로파 방전광원 장치의 단면 구성도이고,5 is a cross-sectional configuration diagram of a microwave discharge light source device according to an embodiment of the present invention,
도 6은 도 5에 따른 공진공동에서 발생되는 빛이 반사부재에 의해 방전관구의 축과 평행하게 방사되는 상태를 보인 단면도이고,6 is a cross-sectional view showing a state in which light generated in the resonance cavity according to FIG. 5 is radiated in parallel with the axis of the discharge tube by the reflecting member,
도 7은 도 6의 공진공동측을 보다 상세하게 확대하여 보인 단면 구성도이고,FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating an enlarged detail of the resonance cavity side of FIG. 6;
도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 의한 마이크로파 방전광원 장치의 설명에 제공되는 단면 구성도이다.8 is a cross-sectional configuration diagram provided for explaining a microwave discharge light source device according to another embodiment of the present invention.
＜ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ＞<Description of the code | symbol about the principal part of drawing>
100 : 마그네트론 100a : 안테나100: magnetron 100a: antenna
101 : 도파관 101a : 환기공101: waveguide 101a: ventilator
102 : 공진공동 102a : 마이크로파 공급포트102: resonant cavity 102a: microwave supply port
102b : 광반사판 102c : 금속망102b: light reflection plate 102c: metal mesh
102d : 공동벽 103 : 방전관구102d: cavity wall 103: discharge tube
104 : 냉각팬 200 : 반사부재104: cooling fan 200: reflection member
201, 202 : 난 반사 영역선 203 : 광축201, 202: non-reflective region line 203: optical axis
상기와 같은 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 마이크로파 방전광원 장치는, 도파관으로부터 마이크로파 공급포트를 통해 마이크로파 에너지가 공급되는 공진공동과, 이 공진공동내에 배치되어 마이크로파 에너지를 빛의 에너지로 바꾸는 방전관구와, 상기 공진공동 밖에 설치되어 방전관구로부터의 빛을 반사시키는 광반사판과, 이 광반사판 내의 최소한의 벽면 일부에 설치되어 상기 공진공동을 형성하는 광투과성재질의 금속망으로 이루진 방전광원 장치에 있어서:Microwave discharge light source device according to an aspect of the present invention for achieving the above object, the resonant cavity is supplied microwave energy from the waveguide through the microwave supply port, and disposed in the resonant cavity to convert the microwave energy into the energy of light A discharge light source consisting of a discharging tube to be changed, a light reflecting plate which is provided outside the resonant cavity to reflect light from the discharging tube, and a light-transmitting metal network which is provided on at least part of the wall surface of the light reflecting plate to form the resonant cavity; In the device:
상기 공진공동에서 상기 방전관구의 초점과의 소정 각을 갖고 상기 방전관구와 상기 금속망 사이에 위치하여 상기 방전관구에서 발생되어 난 반사 영역을 지나는 빛을 상기 광반사판의 표면에 반사시키는 반사부재를 포함하며;A reflection member positioned between the discharge tube and the metal mesh at a predetermined angle with the focal point of the discharge tube in the resonance cavity and reflecting light passing through a reflection region generated in the discharge tube to the surface of the light reflecting plate; ;
상기 반사부재는 소정의 크기를 갖는 것을 특징으로 한다.The reflective member is characterized in that it has a predetermined size.
바람직하기로, 상기 반사부재의 크기는 상기 방전관구의 초점에서부터 상기 광반사판의 단부를 연결하는 각도에 의해 규정되어 상기 난 반사 영역을 지나는 빛을 반사시키는 것을 특징으로 한다.Preferably, the size of the reflecting member is defined by an angle connecting the end of the light reflecting plate from the focus of the discharge tube, characterized in that for reflecting light passing through the egg reflecting region.
선택적으로, 상기 반사부재는 유전체 재질의 구면거울로 이루어진 것을 특징으로 한다.Optionally, the reflecting member is made of a spherical mirror of the dielectric material.
바람직하기로, 상기 소정의 크기를 갖는 반사부재는 상기 금속망과 소정의 거리를 두고 상기 공진공동 외부에 설치되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the reflective member having a predetermined size is installed outside the resonance cavity at a predetermined distance from the metal mesh.
선택적으로, 상기 공진공동 외부에 설치되는 소정의 크기를 갖는 반사부재를 금속재질로 형성하는 것을 특징으로 한다.Optionally, a reflective member having a predetermined size installed outside the resonance cavity is formed of a metal material.
또한 본 발명에 의하면, 도파관으로부터 마이크로파 공급포트를 통해 마이크로파 에너지가 공급되는 공진공동과, 이 공진공동내에 배치되어 마이크로파 에너지를 빛의 에너지로 바꾸는 방전관구와, 상기 공진공동 밖에 설치되어 방전관구로부터의 빛을 반사시키는 광반사판과, 이 광반사판 내의 최소한의 벽면 일부에 설치되어 상기 공진공동을 형성하는 광투과성재질의 금속망으로 이루어진 방전광원 장치에 있어서:Further, according to the present invention, there is provided a resonant cavity in which microwave energy is supplied from a waveguide through a microwave supply port, a discharge tube disposed in the resonant cavity to convert microwave energy into energy of light, and light outside the resonant cavity installed in the discharge tube. In the discharge light source device consisting of a light reflecting plate for reflecting the light reflector, and a metal mesh of a light transmitting material provided on a part of the minimum wall surface in the light reflecting plate to form the resonance cavity:
상기 방전관구의 초점과 소정 각을 갖고 상기 방전관구의 빛의 진행방향에 대향인 상기 금속망의 전면에 일체로 형성되어 난 반사 영역을 지나는 빛을 상기 광반사판의 표면에 반사시키는 소정의 크기를 갖는 반사부재를 포함하며;A reflection having a predetermined size and a predetermined angle for reflecting light passing through a reflection region formed integrally with the front surface of the metal network opposite to a traveling direction of the light of the discharge tube to a surface of the light reflecting plate at a predetermined angle with the focal point of the discharge tube; A member;
상기 반사부재는 금속재질의 구면거울로 이루어진 것을 특징으로 한다.The reflective member is characterized in that the spherical mirror made of a metal material.
바람직하기로, 상기 금속망의 전면에 형성된 구면거울의 크기는 상기 방전관구의 초점에서부터 상기 광반사판의 단부를 연결하는 각도에 의해 규정되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the size of the spherical mirror formed on the front surface of the metal mesh is characterized by the angle connecting the end of the light reflecting plate from the focus of the discharge tube.
이와 같이하면, 방전관구로부터 발생된 빛 중에서 광반사판을 경유하지 않고 퍼져나가는 빛을 반사부재가 광반사판의 표면으로 다시 반사시켜 줌으로써, 난 반사 영역의 빛들이 평행광선으로 되어 피조사면에 방사됨을 알 수 있다.In this way, the reflecting member reflects the light from the discharge tube, which does not pass through the light reflecting plate, back to the surface of the light reflecting plate, so that the light in the reflective region becomes parallel light and is radiated to the irradiated surface. Can be.
그 결과, 공진공동 내에서 발산되어 난 반사 영역으로 통과되는 빛들이 완전한 평행광선으로 되어 피조사면에 방사됨으로써, 빛의 효율이 한층 더 좋아지며, 또한 금속망이 외부로부터 보호됨은 물론 광반사판의 크기를 축소시킬 수가 있는 이점이 있다.As a result, the light passing through the reflection region emitted in the resonant cavity becomes completely parallel light and is radiated to the irradiated surface, so that the light efficiency is further improved, and the metal network is protected from the outside, and the size of the light reflector There is an advantage that can be reduced.
그리고, 본 발명의 실시 예로는 다수개가 존재할 수 있으며, 이하에서는 가장 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하고자 한다.And, there may be a plurality of embodiments of the present invention, the following will be described in detail for the most preferred embodiment.
이 바람직한 실시 예를 통해 본 발명의 목적, 기타의 목적, 특징 및 이점은 예시할 목적으로 도시한 첨부 도면과 관련해서 본 발명에 의한 실시 예를 가지고 이하의 설명으로부터 보다 명백해질 것이다.Through this preferred embodiment, the objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following description with an embodiment according to the present invention in connection with the accompanying drawings shown for illustrative purposes.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 마이크로파 방전광원 장치의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of a microwave discharge light source device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
또한, 설명에 사용되는 각 도면에 있어서, 같은 구성성분에 관해서는 동일한 번호를 부여하여 표시하고 그 중복되는 설명을 생략하는 것도 있다.In addition, in each figure used for description, the same component may be attached | subjected, and may show the same number, and the overlapping description may be abbreviate | omitted.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 의한 마이크로파 방전광원 장치의 단면 구성도이고, 도 6은 도 5에 따른 방전관구에서 발생되는 빛이 반사부재에 의해 방전관구의 축과 평행하게 방사되는 상태를 보인 단면도이다.5 is a cross-sectional configuration diagram of a microwave discharge light source device according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a state in which light generated in the discharge tube according to Figure 5 is emitted in parallel with the axis of the discharge tube by the reflecting member It is a cross section.
본 실시 예에 따르면, 도면에 도시되지 않은 외부의 고압트랜스로부터의 가속용 고전압을 입력받아 발진하여 대략 2.45GHz의 마이크로파 에너지를 안테나(100a)를 통해 방사하는 마그네트론(100)과, 상기 방사된 마이크로파 에너지를 안내하는 환기공(101a)을 갖는 마이크로파 안내장치로서의 도파관(101)과, 도파관(101)의 단부에 설치되어 그 도파관(101)으로부터 마이크로파 공급포트(102a)를 통해 마이크로파 에너지를 공급받는 공진공동(102)과, 공진공동(102)내에 배치되며 플라즈마 발생매체가 그 속에 봉입되어 공진공동(102)에 공급된 마이크로파 에너지를 빛의 에너지로 바꾸는 구형의 방전관구(103)와, 이 방전관구(103)로부터 발산된 빛을 피조사면측으로 반사시키는 포물선 형상을 갖는 광반사판(102b)과, 광반사판(102b) 내의 최소한의 벽면 일부에 설치되어 공진공동(102)을 형성하는 공동벽(102d)을 갖는 광투과부재로서의 금속망(102c)과, 방전관구(103)를 광반사판(102b)에 고정나사(106)로 지지하여 주는 유전체 재질의 지지부재(103a)와, 공진공동(102) 내의 방전관구(103)의 초점과의 소정 각을 갖고 그 방전관구(103)와의 대략 근접한 거리(L1)를, 그리고 금속망(102c)과의 대략 근접한 거리(L2)를 두고 위치하여 방전관구(103)에서 발생되어 두개의 난 반사 영역선(201, 202)의 사이로 발산되는 빛을 광반사판(102b)의 표면에 반사시켜 광축(203)과 평행한 광선으로 피조사면에 방사되도록 하는 소정의 크기를 갖는 반사부재(200)를 포함하여 마이크로파 방전광원 장치를 구성한다.According to the present embodiment, the magnetron 100 receives and oscillates microwave energy of about 2.45 GHz through the antenna 100a by receiving and oscillating a high voltage for acceleration from an external high voltage transformer, which is not shown in the drawing, and the emitted microwaves. A resonance waveguide 101 as a microwave guide device having a ventilation hole 101a for guiding energy, and a resonance wave provided at an end of the waveguide 101 to receive microwave energy from the waveguide 101 through a microwave supply port 102a. A spherical discharge tube 103 disposed in the cavity 102 and the resonant cavity 102 for enclosing a plasma generating medium to convert microwave energy supplied to the resonant cavity 102 into energy of light; The light reflecting plate 102b having a parabolic shape for reflecting light emitted from the 103 to the irradiated surface side and a part of the minimum wall surface in the light reflecting plate 102b are used for the air. The metal mesh 102c serving as the light transmitting member having the cavity wall 102d forming the vacuum copper 102, and the dielectric tube for supporting the discharge tube 103 with the fixing screw 106 on the light reflecting plate 102b. A distance L1 of a predetermined angle between the support member 103a and the focal point of the discharge tube 103 in the resonant cavity 102 and the approximate distance L1 of the discharge tube 103 and the metal mesh 102c. Located at an adjacent distance (L2), the light emitted from the discharge tube 103 and emitted between the two egg reflection region lines 201 and 202 is reflected on the surface of the light reflection plate 102b to be parallel to the optical axis 203. A microwave discharge light source device is constituted by including a reflecting member 200 having a predetermined size so as to be radiated onto a surface to be irradiated with one ray.
상기에서, 금속망(102c)과 방전관구(103) 사이에 대략 근접한 거리(L1, L2)를 유지하면서 난 반사 영역선(201, 202) 내에 위치한 반사부재(200)는 비금속 유전체의 구면거울로 구성한다.In the above, the reflecting member 200 positioned in the egg reflecting region lines 201 and 202 while maintaining the distances L1 and L2 in close proximity between the metal mesh 102c and the discharge tube 103 is a spherical mirror of the nonmetal dielectric. Configure.
그리고 또한, 반사부재(200)의 크기는 방전관구(103)의 초점에서부터 광반사판(102b)의 단부를 연결하는 각도, 즉 방전관구(103)의 초점과 광반사판(102b)의 단부를 직선으로 연결하는 두 개의 난 반사 영역선(201, 202)에 의해 규정되어 난 반사 영역선(201, 202) 안으로 발산되는 빛을 광반사판(102b)의 표면에 반사시키도록 한다.In addition, the size of the reflective member 200 is an angle connecting the end of the light reflecting plate 102b from the focal point of the discharge tube 103, that is, the focus of the discharge tube 103 and the end of the light reflecting plate 102b in a straight line. The light emitted into the egg reflection region lines 201 and 202 defined by the two egg reflection region lines 201 and 202 to be connected is reflected to the surface of the light reflection plate 102b.
이와 같이 이루어진 본 발명의 실시 예에 따른 마이크로파 방전광원 장치를 도 6 및 도 7을 참조하여 이하를 통해 보다 구체적으로 설명한다.The microwave discharge light source device according to the embodiment of the present invention made as described above will be described in more detail with reference to FIGS. 6 and 7.
먼저, 외부의 고압트랜스로부터 가속용 고전압, 예컨대 4.2KV의 고전압이 고압트랜스로부터 입력되면 하우징(105) 내의 마그네트론(100)이 발진하여 그의 안테나(100a)를 통해 매우 높은 주파수, 예컨대 2.45GHz의 마이크로파 에너지를 환기공(101a)을 갖는 도파관(101) 및 공진공동(102)의 마이크로파 공급포트(102a)를 통해 공진공동(102) 내에 설치되고 플라즈마 발생매체가 봉입된 방전관구(103)에 전달한다. 이것에 수반하여 방전관구(103)는 마이크로파 에너지를 흡수하여 빛을 발생하게 된다.First, when an accelerating high voltage, eg, 4.2KV, is input from an external high voltage transformer, the magnetron 100 in the housing 105 oscillates, through its antenna 100a, at a very high frequency, for example, a microwave of 2.45 GHz. Energy is transmitted to the discharge tube 103 installed in the resonant cavity 102 and filled with the plasma generating medium through the waveguide 101 having the ventilation hole 101a and the microwave supply port 102a of the resonant cavity 102. . In conjunction with this, the discharge tube 103 absorbs microwave energy to generate light.
공진공동(102)에서의 금속망(102c)은 마이크로파 에너지에 대해서는 금속과 마찬가지로 반사하도록 작용하며, 빛은 금속망(102c)의 개구부에서 투과하도록 한다. 즉 마이크로파 에너지에는 불투명체로서, 빛에는 투명체로서 작용한다.The metal mesh 102c in the resonant cavity 102 acts to reflect microwave energy in the same manner as the metal, and light is transmitted through the opening of the metal mesh 102c. In other words, it acts as an opaque body for microwave energy and a transparent body for light.
이때, 방전관구(103)에서 발생된 빛 중에서 일부는 도 6에서와 같이, 금속망(102c)을 투과한 후에 공진공동(102)의 밖에 배치되어 있으며, 포물형상을 갖는 광반사판(102b)의 표면에서 반사되어 방전관구(103)의 광축(203)과 평행 하는 평행광선(PH11)으로 직진 방사된다.At this time, some of the light generated from the discharge tube 103 is disposed outside the resonant cavity 102 after passing through the metal network 102c, as shown in FIG. 6, the light reflecting plate 102b having a parabolic shape. It is reflected from the surface and is emitted straight into parallel light beam PH11 parallel to the optical axis 203 of the discharge tube 103.
그리고, 방전관구(103)에서 발생한 일부의 빛은 광반사판(102b)에서의 반사 없이 두 난반사 영역선(201, 202)을 사이에 두고, 즉 그 형상이 방전관구(103)의 초점으로부터 상기 피조사면 방향으로 대략 원뿔형상을 갖는 난 반사 영역으로 발산되어 피조사면에 방사되는데, 이때, 금속망(102c)과 방전관구(103) 사이에 대략 근접한 거리(L1, L2)를 두고 상기 난 반사영역에 위치하며 소정의 크기를 가지는 유전체 재질의 구면거울과 같은 반사부재(200)가 상기 난 반사 영역으로 발산되는 빛을 다시 광반사판(102b)의 표면으로 반사시켜 주게 된다.Then, some of the light generated in the discharge tube 103 is sandwiched between two diffuse reflection region lines 201 and 202 without reflection from the light reflecting plate 102b, that is, the shape is formed from the focal point of the discharge tube 103. It is radiated to an egg reflection area having a conical shape in a slope direction and radiated to the irradiated surface, wherein the egg reflection area is provided at a distance (L1, L2) that is substantially close between the metal mesh 102c and the discharge tube 103. The reflective member 200, such as a spherical mirror of a dielectric material having a predetermined size, reflects the light emitted to the egg reflection region back to the surface of the light reflection plate 102b.
여기서, 반사부재(200)와 방전관구(103)의 거리(L1)가 가까울 수록 방전관구(103)의 반사 빛을 보다 평행 빔으로 하여 주지만, 너무 가까우면 방전관구(103)의 높은 열에 의해 구면거울과 같은 반사부재(200)가 파손될 우려가 있으므로, 반사부재(200)와 방전관구(103)와의 거리(L1)를 적절하게 유지시켜 주어야 한다.Here, the closer the distance L1 between the reflective member 200 and the discharge tube 103 is to make the reflected light of the discharge tube 103 more parallel beam, but if it is too close, the spherical surface of the discharge tube 103 may be spherical due to the high heat. Since the reflective member 200 such as a mirror may be damaged, the distance L1 between the reflective member 200 and the discharge tube 103 should be properly maintained.
그리고, 반사부재(200)의 크기는 방전관구(103)의 초점에서부터 광반사판(102b)의 단부를 연결하는 각도에 의해 규정되며, 상기 난 반사 영역, 즉 두 난 반사 영역선(201, 202)의 사이로 발산되는 빛을 반사시켜 준다.In addition, the size of the reflective member 200 is defined by the angle connecting the end of the light reflecting plate 102b from the focal point of the discharge tube 103, the egg reflection area, that is, two egg reflection area line (201, 202) Reflects the light emitted from the.
반사부재(200)에서 반사된 빛은 다시 반대 방향으로 향하여 초점을 통과한 후 광반사판(102b)의 표면에서 반사되어 광축(203)과 평행한 평행광선(PH11)으로 피조사면에 방사된다.The light reflected by the reflecting member 200 passes through the focus in the opposite direction again and then is reflected on the surface of the light reflecting plate 102b and radiated to the irradiated surface with parallel rays PH11 parallel to the optical axis 203.
한편, 상기 반사부재(200)를 공진공동(102) 내의 방전관구(103)와 금속망(102c) 사이에 위치시키지 않고 공진공동(102)의 외부에 금속망(102c)과 근접하게 설치하여도 상기와 같은 효과를 얻을 수 있으며, 이때의 반사부재(200)는 공진공동(102)의 외부에 위치하여 마이크로파 에너지에 대해 영향을 받지 않으므로 유전체 재질 뿐만 아니라 금속재질의 구면거울로 하는 것도 가능하다.On the other hand, the reflective member 200 may be provided in close proximity to the metal mesh 102c outside the resonance cavity 102 without being located between the discharge tube 103 and the metal mesh 102c in the resonant cavity 102. The above-described effects can be obtained. In this case, since the reflection member 200 is located outside the resonance cavity 102 and is not affected by the microwave energy, it is also possible to make a spherical mirror of a metallic material as well as a dielectric material.
도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 의한 마이크로파 방전광원 장치의 설명에 제공되는 단면 구성도이다.8 is a cross-sectional configuration diagram provided for explaining a microwave discharge light source device according to another embodiment of the present invention.
이 실시 예에 있어서는, 방전관구(103)의 초점과의 소정의 각을 갖고 방전관구(103)의 빛의 진행방향에 대향인 금속망(102c)의 전면망에 구면거울과 같은 반사부재(200)를 일체로 형성하여 도 5와 같은 난 반사 영역선(201, 202) 내로 발산되는 빛을 광반사판(102b)의 표면에 반사시켜 동일한 효과를 얻는 것을 특징으로 하고 있으며, 이때의 반사부재(200)의 재질은 금속 재질인 것을 특징으로 하고 있다.In this embodiment, the reflection member 200, such as a spherical mirror, is provided on the front mesh of the metal mesh 102c having a predetermined angle with the focal point of the discharging tube 103 and opposing the traveling direction of the light of the discharging tube 103. ) Is integrally formed to reflect the light emitted into the egg reflection region lines 201 and 202 as shown in FIG. 5 on the surface of the light reflecting plate 102b, thereby obtaining the same effect. ) Is characterized in that the metal material.
또한, 반사부재(200)를 공진공동(102) 내에서 금속망(102c)의 전면망 내벽 또는 외벽에 접착하여 구성할 수도 있다.In addition, the reflective member 200 may be formed by adhering to the inner wall or outer wall of the front mesh of the metal mesh 102c in the resonant cavity 102.
즉 도 8에서, 방전관구(103)에서 발생되어 난 반사 영역선(201, 202) 사이로 발산되는 빛이 금속망(102c)의 전면을 투과하면서 반사부재(200)에 의해 반사된다.That is, in FIG. 8, light emitted between the reflective region lines 201 and 202 generated by the discharge tube 103 is reflected by the reflecting member 200 while passing through the front surface of the metal mesh 102c.
반사부재(200)에 반사된 빛은 다시 반대 방향으로 향하여 금속망(102c) 및 초점을 통과한 후 광반사판(102b)의 표면에서 반사되어 광축(203)과 평행한 평행광선(PH11)으로 피조사면에 방사된다.The light reflected by the reflecting member 200 passes through the metal net 102c and the focal point in the opposite direction again, and then is reflected on the surface of the light reflecting plate 102b and formed into parallel rays PH11 parallel to the optical axis 203. Radiated on all four sides
한편, 비교 예로서, 종래의 기술, 즉 다시 말해서, 금속망을 광반사판의 내에 설치하여 공진공동의 크기를 작게 하는 것과는 달리, 본 발명은 공진공동의 크기를 작게 함과 아울러 부가적으로 방전관구로부터 발생된 빛 중에서 광반사판을 경유하지 않고 퍼져나가는 빛을 반사부재가 광반사판의 표면으로 다시 반사시켜 난 반사 영역의 빛들을 평행광선으로 만들어 주게 됨을 알 수가 있다.On the other hand, as a comparative example, unlike the prior art, that is, the metal mesh is installed in the light reflection plate to reduce the size of the resonant cavity, the present invention further reduces the size of the resonant cavity and additionally serves as a discharge tube. It can be seen that the reflecting member reflects the light spreading without passing through the light reflecting plate to the surface of the light reflecting plate to make parallel light.
이 결과에서, 본 발명의 마이크로파 방전광원 장치에 의하면 공진공동 내에서 발산되어 난 반사 영역으로 통과되는 빛들이 완전한 평행광선으로 되어 피조사면에 방사됨으로써, 빛의 효율이 한층 더 좋아지며, 또한 금속망이 외부로부터 보호됨은 물론 광반사판의 크기를 축소시킬 수 있는 이점이 있다.As a result, according to the microwave discharge light source device of the present invention, the light passing through the reflection region emitted in the resonant cavity becomes completely parallel light and is radiated to the irradiated surface, whereby the light efficiency is further improved, and the metal network In addition to being protected from the outside, there is an advantage that can reduce the size of the light reflector.
이 적용례에 의하면, 비용 면에서는 저가의 마이크로파 방전광원 장치를, 신뢰성 면에서는 보다 효율적이고 부피가 작은 마이크로파 방전광원 장치를 제공하는 것이 가능하다.According to this application example, it is possible to provide an inexpensive microwave discharge light source device in terms of cost, and a microwave discharge light source device that is more efficient and smaller in terms of reliability.
그리고, 상기에서 본 발명의 특정한 실시 예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.In addition, although specific embodiments of the present invention have been described and illustrated above, it is obvious that the present invention may be variously modified and implemented by those skilled in the art.
이와 같은 변형된 실시 예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같은 변형된 실시 예들은 본 발명의 첨부된 특허청구범위 안에 속한다 해야 할 것이다.Such modified embodiments should not be individually understood from the technical spirit or the prospect of the present invention, and such modified embodiments should fall within the appended claims of the present invention.
상술한 설명으로부터 분명한 것은, 본 발명에 따른 마이크로파 방전광원 장치에 따르면, 방전관구에서 광반사판을 경유하지 않고 퍼져나가는 빛을 구면거울과 같은 반사부재가 광반사판의 표면으로 다시 반사시켜 평행 광으로 만들어줌으로써, 광안내장치, 서치라이트 등의 용도로 사용할 경우에 빛의 효율이 보다 향상되고, 또한, 금속망이 외력으로부터 보호됨은 물론 광반사판의 크기가 축소되어 전체적으로 부피가 작아지는 효과가 있다.It is clear from the above description that according to the microwave discharge light source device according to the present invention, a reflecting member, such as a spherical mirror, reflects the light spreading from the discharge tube without passing through the light reflecting plate to the surface of the light reflecting plate to make parallel light. In this case, when the light guide device, the search light, or the like is used, the light efficiency is further improved, and the metal net is protected from external force and the size of the light reflector is reduced, thereby reducing the overall volume.
Claims (13)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990000952A KR20000050828A (en) | 1999-01-15 | 1999-01-15 | Micro wave discharge light apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR1019990000952A KR20000050828A (en) | 1999-01-15 | 1999-01-15 | Micro wave discharge light apparatus |
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| KR20000050828A true KR20000050828A (en) | 2000-08-05 |
Family
ID=19571355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019990000952A Ceased KR20000050828A (en) | 1999-01-15 | 1999-01-15 | Micro wave discharge light apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20000050828A (en) |
-
1999
- 1999-01-15 KR KR1019990000952A patent/KR20000050828A/en not_active Ceased
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Legal Events
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| PE0601 | Decision on rejection of patent |
Patent event date: 20020207 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20001116 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |