KR19990072187A - 에어본섬유농도측정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 에어본 섬유의 농도를 측정하는 방법 및 장치(100)를 제공한다. 이 장치는 에어 샘플 내 섬유(20)의 일부에 층 흐름을 제공하는 흐름 장치(5,6) 및 산란광을 발생시키도록 층흐름 섬유(20)를 향하는 광 빔(12)을 생성하는 광원(9)을 포함한다. 본 발명에 따른 에어본 섬유 농도 측정 장치는 산란광의 일부를 감지하고 흡기성 섬유 농도를 측정할 수 있는 출력을 생성하기 위한 센서(14)를 포함한다.

Description

에어본 섬유 농도 측정 장치

현재 에어본 섬유의 농도를 모니터하는 두 가지 주요 방법이 있다. 첫번째 방법에 따르면, 에어본 섬유는 필터에 수집된다. 상기 필터는 존재하는 섬유의 종류를 결정하고 에어본 섬유의 농도를 측정하기 위해서 화학적 방법 또는 현미경 검사를 통하여 분석된다. 전술한 방법은, 정보의 지연, 불편리함, 각 샘플당 높은 비용 및 정확성의 부족이라는 단점을 가진다. 또, 종래 기술에 따르면 섬유를 식별하기 위해서 시각 조사를 실시하는데, 이것은 에어본 섬유의 종류를 불명확하게 구분한다.

두 번째 방법에서, 실시간(real-time) 에어본 섬유 농도는 광학 기술을 사용해 결정되는데, 여기에서 광원에 의해 통과하는 섬유에 의해 감쇠되는 빛이 분석된다. 그러나, 대부분의 장치는 에어본 섬유의 종류를 식별하지 못하고, 특히 흡기 섬유와 작은 유리 섬유를 정확하게 측정하지 못한다.

에어본 석면 섬유에 의해 제기되는 중요한 건강상의 문제점 때문에, 현재 이용되는 실시간 에어본 섬유 모니터는, 석면이나 그밖의 다른 섬유를 포함하는 에어 샘플에서 석면 섬유의 농도를 선별적으로 결정하는 것을 목표로 한다. 석면 섬유는 상자성을 띠기 때문에, 기존의 장치는 시간에 따라 변하는 전기장 4극자, 하이브리드 전기/자기장 등을 이용해 석면 섬유를 정렬하고 진동시킨다. 유도된 진동으로 충돌하여 발생하는 빛을 산란시켜서, 진동 섬유를 석면으로 식별한다. 정전기적 기술이 사용될 수도 있다. 에어본 입자 농도를 측정하는 장치와 방법의 예로는, Chubb가 1972년에 출원한 "서스펜션 입자 분석 장치"라는 제목의 미국 특허 출원 제 3,692,412; Lillienfeld가 1990년에 출원한 "실시간 석면 모니터 장치 및 방법"이라는 제목의 미국 특허 제 4,940,327 및; Lillienfeld가 1994년에 출원한 "에어본 입자 농도를 결정하는 장치 및 방법"이라는 제목의 미국 특허 제 5,319,575에서 찾아볼 수 있다.

그러나, 예를 들어 유리 섬유를 포함한 유독 흡기 섬유는 상자성을 나타내지 않기 때문에, 전술한 방법은 적절하지 못하다. 따라서 정전기, 자기 및 하이브리드 전자석 성분을 필요로 하지 않으면서 에어 샘플에 부유하는 흡기 섬유의 농도를 실시간에, 정확하게 결정할 수 있는 에어본 섬유 농도 측정 장치를 필요로 한다.

또, Lillienfeld의 장치는 보다 복잡하고, 주어진 샘플 내에서 섬유의 적은 양만 감지하고, 샘플 내에 섬유의 농도가 낮거나 기류 내 섬유 농도를 나타낼 수 없다면, 측정 에러가 발생할 수 있다. 그러므로 섬유체의 보다 중요한 샘플링을 할 수 있고 저농도 판독으로 정확하게 이루어지는 섬유 농도 측정 장치를 필요로한다.

본원은 1996년 11월 4일에 출원된 08/743,555와 1996년 11월 4일에 출원된 "에어본(airborne) 섬유의 치수 측정 장치"라는 제목의 미국 특허 출원 제 08/743,554의 연속 출원에 속하고, 상기 연속 출원은 동일 양수인에게 양도되고 본원에 참고로 실려있다.

본 발명은 에어본(airborne) 섬유의 농도를 측정하는 장치 및 방법에 관련되고, 특히 흡기 섬유와 비섬유성 흡기 섬유를 구분하는 장치에 관련된다.

하기 첨부 도면은 본 발명의 선호되는 실시예에 따른 장치를 나타내고, 상세한 설명과 함께 본 발명의 원리를 설명한다.

도 1 은 본 발명에 따른 에어본 섬유의 농도 측정 장치를 나타낸 도면.

도 2 는 본 발명의 선호되는 실시예에 따른 센서를 나타낸 도면.

도 3 은 본 발명의 선호되는 실시예에 따른 다른 센서를 나타낸 도면.

* 부호 설명

5,6 ... 흐름 장치 9 ... 광원

12 ... 광 빔 14 ... 센서

20 ... 섬유 100 ... 에어본 섬유 농도 측정 장치

본 발명은 섬유를 함유한 에어 샘플 내 에어본 섬유의 농도를 측정하는 장치 및 방법을 제공한다. 선호되는 장치는 에어 샘플 내 일부 섬유에 층흐름을 제공하는 흐름 장치를 포함한다. 그 후에 층흐름 섬유는 산란광을 발생하기 위해서 광원으로 조사된다. 산란광의 일부는 출력을 발생시키기 위해서 감지되는데, 상기 출력으로부터 섬유 농도가 측정될 수 있다. 또, 분리 장치는 흡기 섬유만 측정하도록, 특정 크기를 가지는 섬유를 선별하는데 사용될 수 있다. 본 발명은 일정한 작업 환경에서 흡기 섬유를 측정하는 경제적인 방법을 제공하는 것인데, 유리 절연성 및 매트-형성 용이성을 가진다.

본 발명의 실시예에 따르면, 흡기 섬유와, 비흡기 섬유 또는 비섬유성 물질을 가지는 에어를 분석하는 장치를 제공한다. 상기 장치는 정렬된 흡기 섬유를 함유한 여과된 에어 샘플을 생성하기 위해서 비흡기 섬유로부터 흡기 섬유를 선별적으로 분리하는 분리 장치를 포함한다. 그 후에 정렬된 섬유에 빛이 비추어져서 산란광을 형성하는데, 이것은 전기 출력을 생성하기 위해서 광 센서에 의해 수집된다. 또 본 발명에 따른 장치는 광 센서의 출력으로부터 흡기 섬유에 대한 농도를 측정하는 장치를 포함한다.

도 1은 본 발명의 원리에 따른 에어본 섬유 농도 측정 장치(100)의 실시예를 나타낸다. 장치(100)는 섬유 감지 센서(1)와 분리 장치, 예를 들어, 비흡기 섬유 및 비섬유성 특정 물질로부터 흡기 섬유를 분리하기 위한, 가상 임팩터(impactor)(2)를 포함한다. 본원에서 사용된 것처럼, "흡기 섬유"라는 것은 약 3μm 이하의 지름을 가지고, 길이 대비 지름의 비율이 약 5 : 1인 종횡비를 가지는 섬유를 의미한다. 또 "광"은 x-ray와 적외선을 포함하여, 볼 수 있는 전자파와 볼 수 없는 전자파를 나타낸다.

당해 분야에 숙련된 사람들은, 가상 임팩터(2)가 비흡기 입자로부터 흡기 입자를 분리하는 공지된 기술을 사용할 수 있다는 것을 이해하고 있으므로, 비흡기 섬유로부터 흡기 섬유를 분리하도록 다른 분리 장치를 이용할 수 있다. 적합한 가상 임팩터(2)의 예는 도 1에 나타나 있다. 이 장치는 섬유를 포함한 대기를 수용하여 벤투리의 구형부에서 횡방향으로 보다 작은 흡기 섬유(20)를 빼낸다. 약3μm 이상인, 보다 긴 섬유(41)는 가상 임팩터(2)의 중심관으로 끌어당겨진다.

일반적으로, 상기 장치로 유입되는 공기는 흡기 섬유, 비흡기 섬유 및, 이 섬유와 혼합된 다른 입자 물질을 포함할 수 있다. 센서(1)는 공기 내 정렬된 흡기 섬유를 감지하지만 다른 비섬유성 입자 물질은 감지하지 못한다. 작동할 때, 공기 내에 존재할 수 있는 흡기 섬유(20)는 가상 임팩터(2)로부터 호스(3)를 통하여 이동하는데, 상기 호스(3)는 가상 임팩터(2)를 센서(1)와 연결한다. 공기는 작은 진공 펌프(22)에 의해 상기 시스템을 통하여 하부 흐름 관(6)의 배출구(4)로 이동한다. 상하 흐름관(5,6)의 흐름율, 길이 및 지름은 관(5,6)을 통하여 공기의 층흐름을 발생시키도록 정해지는 것이 선호된다. 상기 층 기류는, 관(5,6) 내의 공기에서 섬유(20)가 기류 내에서 정렬되도록 하므로 흐름관(5,6)의 세로축(30)을 따라 정렬된다. 흐름관(5,6)은 센서(1) 내에 작은 틈(7)에 의해 분리되는 것이 선호된다. 또는, 축과 직각으로 뻗어있는 측벽을 관통하는 한 쌍의 슬롯을 가지는 단일 관이 작동할 수 있다. 이 틈(7)은 센서(1)의 축(8) 둘레에서 대칭으로 위치하는 것이 선호된다. 흐름관(5,6)과 틈(7)은 "흐름 채널"을 구성한다.

센서 내에 광원(9)이 배치되는데, 상기 광원은 다이오드 레이저와 같은 간섭성 광원이다. 광원(9)은 빔 경로를 따라 선택된 횡단면을 가지는, 빔(12)을 형성한다. 광원(9)은, 광 센서(14)를 향하여 타원형을 가지는, 빛의 평행 빔을 발생시킨다. 광 센서(14)는 광탐지기인 것이 선호된다. 빔(12)은 흐름 관(5,6) 사이의틈(8)과 평행한 광 축을 가지는 센서(1)의 축(8)을 따라 조사된다. 빔(12)의 너비는 반드시 흐름관(5,6)의 지름과 동일한 너비를 가질 필요는 없다.

본 발명의 실시예로 알맞은 광원은 아칸소, 리틀 록에 소재하는 파워 테크놀리지사에서 생산하는 모델 LPM 03(670-5)가 있다. 또, 적절한 광탐지기의 예로는 코네티컷, 브릿지 포트의 데바 모델 509-1이 있다. 당해업자들은 흡기 섬유의 존재를 나타내는 광 신호를 발생시키고 탐지하는 다른 알맞은 광원과 광 센서를 이용할 수 있다.

도 2는 기류와 직각으로 배치된, 센서(1)의 횡단면도이다. 틈(7)을 통과한 후에, 빔(12)은 광 렌즈 조립체(10)로 유입된다. 렌즈 조립체(10)는 한 쌍의 집광 렌즈일 수도 있다. 이 렌즈 결합체는 짧은 초점거리를 가지는 경향이 있는데, 빔(12)의 일부가 제 2 렌즈(25)의 뒷면(24)에 맺히도록 한다. 빔 블록(11)은 평행광(23)이 광탐지기(14)에 의해 감지되는 것을 막는데 사용될 수 있다. 빔 블록(11)은 광 탐지기(14)에 대해 차단하도록 배치되어서 빔 블록(11)이 감지된 섬유의 존재를 다시 나타내지 않도록 광이 광탐지기(14)에 도달하지 못하도록 배치되는 것이 선호된다.

도 2에 나타난 것처럼, 섬유(20)가 흐름 관(5,6) 사이에서 빔(12)을 통과할 때, 섬유(20)의 일부는 빛을 산란시킬 것이다. 유리 섬유와 같은 실린더가 광의 수직 입사로 비추어질 때, 이것은 흐름 채널에서 선택된 배향, 즉 실린더와 직각을 이루는 평면으로 빛을 산란시킨다. 섬유(20)는 층 기류에 의해 정렬되므로, 상기 섬유(20)는 빔(12)의 방향과 직각으로 정렬된다. 그러므로, 빔(12)은 흐름 관(5,6)의 단부에 의해 형성된 평면과 평행을 이루는 평면에서 산란될 수 있으므로, 산란광(26)이 흐름 관(5,6) 사이의 틈(7)을 통과할 수 있도록 허용한다.

본 발명에 따른 층 흐름을 위해 두 가지 조건이 충족되어야 한다는 것을 알아야 한다. 두 가지 조건은, 레이놀즈수가 약 2000 이하이어야 하고 층을 이루도록 흐름을 위한 거리가 충분해야 한다는 것이다. 본 발명에 따른 장치에서, 약 4 liter/min의 흐름과 0.44in(1.1cm)의 섬유 지름은 약 500의 레이놀즈 수를 생성하는데, 이것은 층흐름을 위해 알맞다. 섬유가 레이저 빔에 도달하기 전에 흐름 관의 길이는 약 5-50in.(12.7-127cm)이고, 선호적으로 섬유 지름의 22배 이상인 약 10in.(25.4cm)이다. 층 흐름은 관의 유입구로부터 지름 10인치 내에서 발생해야 하므로 상기 장치 내 흐름은 층 조건을 충족시키도록 충분한 시간을 가져야 한다.

난류와 층흐름 사이의 전이동안 섬유 정렬을 시각적으로 확인할 수 있어야 한다. 난류에서 유리 섬유인 경우에, 회절된 레이저 빔이 불규칙한 방향으로 빛의 분리된 스폿으로 분산된다는 것을 알 수 있다; 층 흐름에서 유리 섬유인 경우에, 회절된 레이저 빔은 한 방향으로 집중되므로 섬유는 흐름과 평행한 방향으로 정렬된다.

전진 방향(13)으로 산란되는 빛은 렌즈 조립체(10)에 의해 모여서 광 탐지기(14)에 집중될 수 있다. 빛이 렌즈 조립체(10)로 유입될 때 빛이 평행하지 않기 때문에, 그것은 렌즈 조립체(10) 너머로 약간 떨어진 위치에 집중되어서 빔 불록(11) 둘레로 통과한다. 그러므로, 빔(12)과 산란광(26)이 렌즈 조립체(10)로 유입되는 동안, 산란광(26)의 대부분이 광탐지기(14)에 집중될 때 빔(12)이 광탐지기(14)에 부딪치는 것을 막는다. 전체적으로, 산란광(26)의 일부분만 빔 블록(11)에 의해 차단된다.

광탐지기(14)는 산란광(26)을 수용하기에 충분히 넓은 한정 너비를 가지는 감지 영역을 포함한다. 이 너비 내에서, 흐름 관(5,6)의 축(30) 전후부에서 뿐만 아니라 각 측부에서 약간 떨어진 섬유(20)에 의해 산란된 광에 감응할 것이다. 그러므로, 섬유(20)는 축(30)과 일렬종대로 빔(12)을 통과할 필요는 없다. 빔(12)이 섬유(20)에 의해 산란될 때, 렌즈 조립체(10)를 통하여 집중되어서 광탐지기(14)에 부딪치므로, 짧은 전기 펄스를 생성한다. 일반적으로, 펄스의 진폭은 섬유에 의해 산란된 광 양과 비례하는 것이 선호된다. 결과적으로 펄스는, 펄스가 기록되는 알맞은 전자 측정 회로(31)에 전송될 수 있다. 센서(1)를 통과하는 공기의 흐름율과 같은, 다른 정량적 정보를 이용하고, 펄스가 수신되는 비율을 결정할 때, 공기 내 흡기성 섬유의 농도를 정할 수 있다.

센서(1)는 비섬유성 입자 물질에 감응하지 않는 것이 선호된다. 본 발명의 선호되는 실시예는 실린더형 흡기 섬유와 다른 모양을 가지는 입자 물질 사이의 광학적 차이를 분석함으로써 전술한 선택감도를 달성할 수 있다. 즉, 구형 또는 불규칙적인 모양의 먼지 입자가 센서(1)로 유입된다면, 입자 물질은 빔(12)으로부터 광을 산란시킬 수 있다. 그러나, 상기 입자는 특정 체적으로 빛을 산란시키는 경향이 있다. 산란광의 대부분은 부딪쳐서, 흐름관(5,6)의 벽에 의해 흡수될 것이다.

일반적으로, 입자에 의해 산란된 광의 일부만 관(5,6) 사이의 틈(7)을 통과하는 경향이 있다. 소량의 산란광은 광탐지기(14)에서 약한 신호만 발생시킨다. 광탐지기(14)로부터 펄스를 수용하는, 회로(31)는 입자 물질로부터 발생하는 낮은 진폭 펄스는 무시하도록 만들어질 수 있다. 그러므로, 장치(100)은 존재할 수 있는 다른 비섬유성 입자 물질을 무시하면서 흡기성 섬유에만 반응하도록 만들어질 수 있다. 종래 기술에 따른 장치와는 달리, 본 발명은 물질이 흡기성 섬유인지 아닌지 결정하기 위해서 공기 내에 부유하는 물질의 운동을 일으키도록 정전기 또는 전자기 성분을 사용할 필요가 없다.

실제로, 흡기성 섬유와 다른 입자 사이의 차이를 식별하는 장치(100)는 다음 원리를 사용할 수 있다. 첫째, 비흡기성 섬유는 공기가 센서(1)로 유입되기 전에, 분리 장치, 즉 가상 임팩터(2)에 의해 기류로부터 제거된다. 둘째, 잔류 섬유는 관(5,6)을 통과하는 층 기류에 의해 흐름 관 축(30)과 정렬되는 경향이 있다. 셋째, 빔(12)은 관(5,6)의 축과 수직으로 배향된다. 넷째, 섬유(20)에 의해 산란된 광은 관(5,6)의 단부 사이에서 통과하는 평면에서 산란되고, 산란광의 일부는 광탐지기(14)로 집중된다. 다섯째, 다른 입자에 의해 산란된 광은 실린더인 경우보다 많은 방향으로 산란되는 경향이 있다. 이 광의 대부분은 흐름 관(5,6)의 벽에 의해 흡수되고, 단지 소량의 빛만 광탐지기(14)에 집중된다. 여섯째, 광탐지기(14)로부터 수신된 신호의 진폭 차이를 구별함으로써, 장치(100)은 섬유와 다른 입자 사이의 차이를 구별할 수 있다.

도 1과 2에 나타난 것처럼, 렌즈 조립체(10)와 광탐지기(14)는 빔(12)과 직렬형으로 배치되거나 반대 방향으로 배치된다. 본 발명에 따르면, 당해업자들은 섬유(20)로부터 산란된 광의 평면에 유지되는 한, 흐름 관(5,6)의 축(30) 둘레 모든 곳에 렌즈 조립체(10)와 광탐지기(14)가 배치될 수 있다는 것을 알고 있다. 렌즈 조립체(10)에 의해 모인 광량은 렌즈 조립체(10)의 위치에 따라 달라질 수 있고, 센서(1)는 흡기성 섬유와 다른 구조를 가지는 다른 입자 사이의 차이를 식별할 수 있다.

도 3에서, 장치(100)의 성분은 렌즈 조립체(10)와 광 탐지기(14)가 90°의 각도로 회전할 수 있다는 점을 제외하고는 도 1과 2에 나타낸 것과 동일하다. 도 3에 나타난 것처럼, 빔 경로(12)는 광탐지기(14)와 직렬로 또는 대향하여 배치되지 않기 때문에 도 1과 2에 나타낸 빔 블록(11)은 제거될 수 있다.

본원에서 언급된 모든 공개물은, 본 발명이 관련된 기술 분야에 숙련된 사람들에게 알려져 있는 것이다. 공지된 모든 공개물은 참고로 본원에 실려 있다.

본 발명의 특정 실시예가 자세히 설명되었지만, 당해 분야에 숙련된 사람들은 본 발명의 견지에서 다양한 수정 및 변경이 가능하다는 것을 이해할 것이다. 본 발명은 에어본 흡기성 섬유의 농도를 결정하는데 적용될지라도, 본원에 기술된 장치 및 방법은 특정 광학적 특성을 가지는 여러가지 종류의 입자를 가시화하고, 특성화하며, 감지하는데 사용될 수 있다. 따라서, 기술된 장치 및 방법의 특별한 배치는 단지 예시에 불과한 것으로 본 발명의 범위를 제한하지 않는다. 본 발명은 하기 청구항과 모든 실시예의 범위 내에서 한정된다.

Claims (12)

1. 섬유를 함유한 에어(air) 샘플 내 흡기성 에어본 섬유의 농도를 측정하는 장치(100)에 있어서:

   a. 상기 에어 샘플 내에서 섬유의 일부분으로 층 흐름을 제공하는 흐름 장치를 포함하고;

   b. 다수의 층 흐름 섬유(20)를 수용하기 위한 흐름 채널(5,6)로 구성되며;

   c. 산란광을 형성하기 위해서 다수의 층 흐름 섬유(20)로 향하는 광 빔(12)을 생성하는 광원(9)을 포함하고;

   d. 에어 샘플 내 흡기성 섬유 농도를 측정할 수 있는 출력을 발생하고, 산란광의 일부만 감지하는 광 센서(14)로 구성되는 것을 특징으로 하는 에어본 섬유 농도 측정 장치(100).
2. 제 1 항에 있어서, 샘플로 취해진 에어는 비흡기성 섬유와 비섬유성 입자 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어본 섬유 농도 측정 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 에어본 섬유 농도 측정 장치는 광 센서로 산란광을 비추는, 슬롯이 있는 오우프닝을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어본 섬유 농도 측정 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 광원은 빔 경로를 따라 선택된 횡단면을 가지는 광 빔을 제공하기 위한 콜리메이션(collimation) 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어본 섬유 농도 측정 장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 흐름 채널은 빔 경로와 직각을 이루는 세로축을 가지는 것을 특징으로 하는 에어본 섬유 농도 측정 장치.
6. 제 3 항에 있어서, 상기 슬롯이 오우프닝은 광 센서와 정해진 배향을 가지지 않는 산란광을 차단하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 에어본 섬유 농도 측정 장치.
7. 제 6 항에 있어서, 선택된 배향을 가지는 산란광의 일부를 수용하고, 광 센서로 산란광의 일부를 비추기 위한 광 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어본 섬유 농도 측정 장치.
8. 제 7 항에 있어서, 광 빔 경로에 위치한 빔 블록을 포함하고, 상기 빔 블록은 광 센서에 대해 차단하도록 배치되며, 빔 블록은 광 센서로부터 광 빔을 차단하는 것을 특징으로 하는 에어본 섬유 농도 측정 장치.
9. 제 1 항에 있어서, 광 센서는 흡기성 섬유를 나타내는 제 1 진폭을 가지는 제 1 광 펄스를 발생시키고, 비흡기성 섬유인 입자를 나타내는 제 2 진폭을 가지는 제 2 펄스를 발생시키는 장치를 포함하며, 상기 장치는 흡기성 섬유를 위한 제 1 진폭과 입자를 위한 제 2 진폭 사이의 차이를 구분할 수 있고, 흡기성 섬유의 농도를 나타내는 신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 에어본 섬유 농도 측정 장치.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 입자는 비흡기성 섬유인 것을 특징으로 하는 에어본 섬유 농도 측정 장치.
11. 흡기성 섬유와 비흡기성 섬유를 포함한 섬유 함유 에어 샘플에서 에어본 섬유의 농도를 측정하는 방법에 있어서,

    a. 에어 샘플 내 섬유의 일부로 층 흐름을 제공하고, 섬유의 일부는 흡기성 섬유와 비흡기성 섬유를 포함하며;

    b. 산란광을 발생시키기 위해서 층 흐름 흡기성 섬유와 비흡기성 섬유에 광 빔을 비추고;

    c. 산란광의 일부를 감지하고 흡기성 섬유 농도를 구할 수 있는 출력을 발생시키는 것을 특징으로 하는 에어본 섬유 농도 측정 방법.
12. 제 11 항에 있어서, 상기 감지 단계는 흡기성 섬유와 비흡기성 섬유로부터 광 탐지에 따라 제 1, 제 2 펄스 신호를 발생시키는 것을 포함하고, 제 1, 제 2 펄스 신호는 제 1, 제 2 진폭을 가지며, 상기 방법은 에어 샘플 내 흡기성 섬유의 농도를 나타내는 신호를 발생시키도록 제 1 진폭과 제 2 진폭 사이의 차이를 구별하는 것을 특징으로 하는 에어본 섬유 농도 측정 방법.