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KR19990027061A - Reflective exposure device for manufacturing cathode ray tube fluorescent surface - Google Patents

Reflective exposure device for manufacturing cathode ray tube fluorescent surface Download PDF

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KR19990027061A
KR19990027061A KR1019970049433A KR19970049433A KR19990027061A KR 19990027061 A KR19990027061 A KR 19990027061A KR 1019970049433 A KR1019970049433 A KR 1019970049433A KR 19970049433 A KR19970049433 A KR 19970049433A KR 19990027061 A KR19990027061 A KR 19990027061A
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light
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cathode ray
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최백영
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김영남
오리온전기 주식회사
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

본 발명은 음극선관 형광면 제조용 반사노광장치를 제공한다.The present invention provides a reflective exposure apparatus for producing a cathode ray tube fluorescent surface.

그 반사노광장치는, 내면에 형광면을 형성시키기 위해 음극선관의 판넬(12)의 내면을 노광시키도록 판넬(12)을 위치시키기 위한 판넬 안치대(13'); 소정의 광도로 광을 방사하기 위한 광원부(30); 그 광원부(30)의 광이 점광원 내지 선광원이 되도록 하는 쉴드플레이트(31); 그리고 그 쉴드플레이트(31)를 통해 직진하는 광원부(30)의 광을 위치에 따라 각각 소정의 반사각으로 반사시켜 상기 판넬 안치대(13')상의 판넬(12) 내면을 균일하게 노광시키기 위한 다수의 미러셀(41)을 지니는 미러 어레이(40)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The reflection exposure apparatus includes a panel support 13 'for positioning the panel 12 to expose the inner surface of the panel 12 of the cathode ray tube to form a fluorescent surface on the inner surface; A light source unit 30 for emitting light at a predetermined luminous intensity; A shield plate 31 for causing the light of the light source unit 30 to be a point light source or a linear light source; And a plurality of light for uniformly exposing the inner surface of the panel 12 on the panel support 13 'by reflecting the light of the light source unit 30 that proceeds straight through the shield plate 31 at a predetermined reflection angle, respectively, according to the position. It is characterized in that it comprises a mirror array 40 having a mirror cell (41).

이에 따라, 복잡한 연속곡면 내지 불연속곡면의 보정렌즈없이 판넬 전면적에 걸쳐 균일하게 노광할 수 있게 된다.Accordingly, it is possible to uniformly expose the entire surface of the panel without the correction lens of the complex continuous curved surface or discontinuous curved surface.

Description

음극선관 형광면 제조용 반사노광장치Reflective exposure device for manufacturing cathode ray tube fluorescent surface

본 발명은 음극선관 형광면 제조용 반사노광장치에 관한 것으로서, 더상세하게는 노광시 반사 미러(mirror)를 사용하여 광원의 광을 반사시켜 판넬(12) 내면에 형광면을 형성시키기 위한 음극선관 형광면 제조용 반사노광장치에 관한 것이다.The present invention relates to a reflective exposure apparatus for manufacturing a cathode ray tube fluorescent surface, and more particularly, a reflection for manufacturing a cathode ray tube fluorescent surface for reflecting light of a light source using a reflection mirror during exposure to form a fluorescent surface on the inner surface of the panel 12. It relates to an exposure apparatus.

도1a는 종래 칼라음극선관의 노광장치(10)의 개략적인 구성도로서, 노광장치(10)의 내부 저면에 광원부(18)가 설치되고, 그 상부에는 판넬(11)이 안치되는 판넬안치부(13)가 마련된다. 그리고, 광원부(18)와 판넬안치부(13) 사이의 노광장치(10) 내부에는 광원부(18)로 부터 입사되는 광을 보정하는 보정렌즈(15)와 필터(16)가 설치되며, 보정렌즈(15)의 상부에 광을 통과시키는 셔터(14)가 설치된다.FIG. 1A is a schematic configuration diagram of an exposure apparatus 10 of a conventional color cathode ray tube, in which a light source unit 18 is provided on an inner bottom surface of an exposure apparatus 10, and a panel mounting unit in which a panel 11 is placed. (13) is provided. In addition, a correction lens 15 and a filter 16 are installed inside the exposure apparatus 10 between the light source unit 18 and the panel settlement unit 13 to correct light incident from the light source unit 18. The shutter 14 which passes light through the upper part of 15 is provided.

이상과 같이 구성된 노광장치(10)를 이용한 종래의 노광방법은 우선, 노광장치(10)의 판넬안치부(13)에는 내면에 감광성수지막이 도포되고, 그 내측면에 새도우마스크(12)가 설치된 판넬(11)을 안치시킨 다음, 광원부(18)를 작동시키면, 그 광원부(18)의 선광원 또는 점광원으로부터 방사된 광이 B-G-R 순으로 보정필터(16)에 의해 광량이 보정된다.In the conventional exposure method using the exposure apparatus 10 configured as described above, first, the photosensitive resin film is coated on the inner surface of the panel settled portion 13 of the exposure apparatus 10, and the shadow mask 12 is provided on the inner surface thereof. When the panel 11 is placed and the light source unit 18 is operated, the amount of light emitted by the linear light source or the point light source of the light source unit 18 is corrected by the correction filter 16 in the order of BGR.

그리고, 광원부(18)로 부터 입사된 광의 궤도와 노광시의 광로가 보정렌즈(15)에 의해, 셔터(14)의 개구부(14a)와 새도우마스크(12)의 개공부(도시생략)를 통해 광이 입사되어 판넬(11) 내면에 도포된 감광성수지막을 노광하며, 이후 일련의 공정을 거침에 따라 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 형태의 형광막을 형성하게 되는데, 이때 제1도의 (나)에 도시된 바와 같이 종래의 보정렌즈(15)는 전자빔의 궤도와 노광 광선의 궤도를 일치시켜주어 칼라음극선관의 양호한 색순도(color purity) 특성을 재현토록 하는 일종의 광학렌즈로서, 유리재질을 소재로한 것이며, 상면(화면유리측)은 소정의 곡면 형태이고, 하면(광원부측)은 평면으로 가공되어 있는 노광장치(10)의 주요 부품이다.The trajectory of the light incident from the light source unit 18 and the optical path at the time of exposure are corrected by the correcting lens 15 through the opening 14a of the shutter 14 and the opening (not shown) of the shadow mask 12. The light is incident to expose the photosensitive resin film coated on the inner surface of the panel 11, and then a fluorescent film in the form of a stripe or a dot is formed through a series of processes, wherein (b) of FIG. As shown in FIG. 6, the conventional correction lens 15 is an optical lens that matches the trajectory of the electron beam with the trajectory of the exposure light to reproduce good color purity characteristics of the color cathode ray tube. The upper surface (the screen glass side) has a predetermined curved shape, and the lower surface (the light source portion side) is the main component of the exposure apparatus 10 which is processed in a plane.

여기서 노광시 판넬중심부에서 코너부에 이르기까지의 거리에 따른 빛의 투과율은 형광막을 형성하는데 중요한 요인이 됨에도 불구하고, 이 연속 보정렌즈의 곡면 형태로 인하여 그 곡률에 따라 그대로 투과되어 입사광이 원형으로 분포되기 때문에 판넬 중심에서의 거리 및 방향에 따른 광효율이 불균일하게 되어 형광막이 불균일하게 형성되고, 그 결과 칼라음극선관의 색의 균일성을 저하시켰으며, 이러한 문제점은 소형 판넬에서는 별로 문제시되지는 않지만, 판넬의 크기(대형 21인치 이상)가 커짐에 따라 새도우마스크가 커지게되고, 그 크기가 작은 관종에 비해 점파 평면화(flat)되므로 인해 판넬코너부로 갈수록 광효율이 감소되어 형광막이 불균일하게 형성되어, 칼라음극선관의 판넬 전체에서 균일한 색상을 얻기 어려워지는 문제점이 도출되었다.Although the light transmittance according to the distance from the center of the panel to the corner during exposure is an important factor in forming the fluorescent film, due to the curved shape of the continuous correcting lens, the incident light is transmitted as it is due to its curvature. Because of the distribution, the light efficiency is uneven according to the distance and direction at the center of the panel, resulting in uneven fluorescent film. As a result, the color uniformity of the color cathode ray tube is degraded. This problem is not a problem in a small panel. As the size of the panel (large 21 inches or more) increases, the shadow mask becomes larger, and the size of the shadow mask becomes flat compared to that of the small tubular tube, so that the light efficiency decreases toward the panel corner, resulting in uneven fluorescent film. The problem that it is difficult to obtain uniform color throughout the panel of the color cathode ray tube The.

이러한 문제점을 해소하기 위해 불연속 보정렌즈가 사용되었다. 이것은 특히 광원부로 부터 판넬코너부로 입사되는 광의 효율을 증대시키기 위해 보정렌즈의 외면을 상이한 소정의 곡률로 형성하여 외광의 굴절각을 향상시키는 불연속 렌즈를 이용한 것이다.In order to solve this problem, discontinuous correction lenses have been used. In particular, in order to increase the efficiency of light incident from the light source portion to the panel corner portion, a discontinuous lens is used to form an outer surface of the correction lens with a predetermined predetermined curvature to improve the refractive angle of the external light.

도2a 및 도2b에서 도1a 및 도1b에서와 같이 판넬(11) 내면에 형광막을 형성하기 위한 감광석수지막이 도포되고, 그 내측면에 새도우마스크(12)가 설치된 판넬(11)을 노광장치(10)의 판넬안치부(13)에 안치시킨 다음, 노광장치(10)의 내부의 하부에는 광원부(18)가 설치되며, 판넬(11)과 광원부(18) 사이에는 셔터(14)와 광원부(18)로 부터 입사되는 광을 보정하는 종래의 곡면형태의 연속 보정렌즈(15) 대신 불연속 보정렌즈(25)가 설치되며 그 하부에는 필터(16)가 설치된다.2A and 2B, as shown in FIGS. 1A and 1B, a photosensitive resin film for forming a fluorescent film is coated on an inner surface of the panel 11, and a panel 11 having a shadow mask 12 provided on an inner surface thereof is exposed to an exposure apparatus. After being placed in the panel settled portion 13 of 10, the light source portion 18 is installed in the lower portion of the exposure apparatus 10, and the shutter 14 and the light source portion between the panel 11 and the light source portion 18. Instead of the conventional curved continuous correction lens 15 for correcting the light incident from 18, a discontinuous correction lens 25 is provided, and a filter 16 is provided below.

그 불연속 보정렌즈(25)는 직사각형 구조이나, 원형일 수도 있다. 이러한 불연속 보정렌즈(25)에 의하면, 그 굴절률이 위치마다 다르기 때문에 광원부(18)의 광량이 판넬(12)의 위치에 따라 다르게 할 수 있게 된다. 즉, 주변부에서 중심부에 이르면서 소정의 비율로 축소되는 다수개의 렌즈면(25a)과 단부(25b)로 형성시킴으로써 위치마다 굴절각이 변화되어 입사광이 다수의 방향으로 투과되고 이에 따라 판넬 전면에 걸쳐 균일한 광량으로 노광시키는 것이 가능하게 된다.The discontinuous correction lens 25 may have a rectangular structure or a circular shape. According to the discontinuous correction lens 25, since the refractive index is different for each position, the amount of light of the light source unit 18 can be varied depending on the position of the panel 12. That is, by forming a plurality of lens surfaces 25a and end portions 25b that are reduced in a predetermined ratio from the periphery to the center, the angle of refraction is changed for each position so that incident light is transmitted in multiple directions and thus uniform across the entire panel. It becomes possible to expose by one light quantity.

그러나, 이러한 불연속 보정렌즈(25)의 경우 그 제조가 용이하지 아니하다. 즉, 렌즈제조용 금형의 구조도 그 제조가 불연속이어서 복잡할 뿐만 아니라, 유리로 형성된 렌즈를 연마하여 불연속 렌즈로 형성하는 작업 또한, 많은 시간과 비용이 소요된다는 문제가 있으며, 나아가 다수의 곡면을 불연속으로 제작하여야 하기 때문에 그 정밀도 역시 저하되어 화면 전체에 걸쳐 균일한 광량으로 노광되기 어려운 실정이다.However, the manufacturing of such discontinuous correction lens 25 is not easy. That is, the structure of the mold for manufacturing a lens is not only complicated because of its discontinuity, but also a problem of grinding a lens formed of glass into a discontinuous lens also requires a lot of time and cost, and further, discontinuously forming a plurality of curved surfaces. Since the precision is also reduced, it is difficult to expose a uniform amount of light over the entire screen.

따라서, 본 발명은, 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 보정렌즈를 사용함이 없이 다수의 반사 미러셀을 이용하여 판넬 내면의 전면적에 걸쳐 균일한 노광을 가능하게 하는 음극선관 형광면 제조용 반사노광장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a reflective exposure apparatus for manufacturing a cathode ray tube fluorescent surface that enables uniform exposure over the entire surface of a panel using a plurality of reflective mirror cells without using a correction lens. Its purpose is to.

도1a는 종래 칼라음극선관의 노광장치를 개략적인 구조를 나타내는 단면 구성도이고, 도1b는 종래의 연속보정렌즈의 개략 사시도,1A is a cross-sectional configuration diagram showing a schematic structure of an exposure apparatus of a conventional color cathode ray tube, and FIG. 1B is a schematic perspective view of a conventional continuous correction lens;

도2a는 종래 칼라음극선관의 노광장치를 개략적인 구조를 나타내는 단면 구성도이고, 도1b는 종래의 불연속보정렌즈의 개략 사시도,FIG. 2A is a cross-sectional configuration diagram showing a schematic structure of an exposure apparatus of a conventional color cathode ray tube, and FIG. 1B is a schematic perspective view of a conventional discontinuous correction lens;

도3은 본 발명에 의한 반사노광장치를 나타내는 단면 구성도.3 is a cross-sectional configuration diagram showing a reflection exposure apparatus according to the present invention.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

11 : 판넬 12 : 새도우마스크11 panel 12 shadow mask

14 : 셔터 15 : 연속형 보정렌즈14: shutter 15: continuous correction lens

16 : 필터 18 : 광원부16 filter 18 light source unit

19 : 발광부 25 : 불연속 보정렌즈19: light emitting portion 25: discontinuous correction lens

25a : 렌즈면 25b : 단부25a: lens surface 25b: end

30 : 광원부 31 : 쉴드플레이트30: light source unit 31: shield plate

40 : 미러 어레이 41 : 미러셀(mirror cell)40: mirror array 41: mirror cell

50 : 액튜에이터50: Actuator

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 음극선관 형광면 제조용 반사노광장치는, 내면에 형광면을 형성시키기 위해 음극선관의 판넬의 내면을 노광시키도록 판넬을 위치시키기 위한 판넬 안치대; 소정의 광도로 광을 방사하기 위한 광원부; 그 광원부의 광이 점광원 내지 선광원이 되도록 하는 쉴드플레이트; 그리고 그 쉴드플레이트를 통해 직진하는 광원부의 광을 위치에 따라 각각 소정의 반사각으로 반사시켜 상기 판넬 안치대상의 판넬 내면을 균일하게 노광시키기 위한 다수의 미러셀을 지니는 미러 어레이를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Reflective exposure apparatus for manufacturing a cathode ray tube fluorescent surface for achieving the above object of the present invention, the panel support for positioning the panel to expose the inner surface of the panel of the cathode ray tube to form a fluorescent surface on the inner surface; A light source unit for emitting light at a predetermined luminous intensity; A shield plate for causing the light of the light source portion to be a point light source or a linear light source; And a mirror array having a plurality of mirror cells for uniformly exposing the inner surface of the panel to be placed by reflecting the light of the light source unit going straight through the shield plate at predetermined reflection angles according to positions. do.

상기 다수의 미러셀에서 반사되는 광이 연속적이고도 균일한 광량으로 판넬의 내면으로 입사하도록 그 미러 어레이에 진동을 부여하는 액튜에이터를 추가로 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.It is preferable to further include an actuator for imparting vibration to the mirror array such that the light reflected from the plurality of mirror cells is incident on the inner surface of the panel with a continuous and uniform amount of light.

이에 따라, 복잡한 보정렌즈없이 판넬 전면적에 걸쳐 균일하게 노광할 수 있게 된다.Accordingly, it is possible to uniformly expose the entire panel without complicated correction lenses.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 또 실시예를 설명하기 위한 모든 도면에 있어서, 동일한 기능을 갖는 부분은 동일한 부호를 사용하고, 그 반복적인 설명은 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, in all the drawings for demonstrating an Example, the part which has the same function uses the same code | symbol, and the repeated description is abbreviate | omitted.

도3에는 본 발명에 의한 반사노광장치가 단면 구성도로서 도시된다.3 shows a reflection exposure apparatus according to the present invention as a cross-sectional configuration diagram.

도3에서 본 발명의 일실시예에 따른 음극선관 형광면 제조용 반사노광장치는 판넬 안치대(13'), 광원부(30), 쉴드플레이트(31), 다수의 미러셀(41)을 지니는 미러 어레이(40) 및 액튜에이터(50)을 포함하여 구성된다.In FIG. 3, a reflective exposure apparatus for manufacturing a cathode ray tube fluorescent surface according to an exemplary embodiment of the present invention includes a panel support 13 ′, a light source unit 30, a shield plate 31, and a mirror array 40 having a plurality of mirror cells 41. ) And the actuator 50.

상기 판넬 안치대(13')는 내면에 형광면을 형성시키기 위해 상기 다수의 미러셀(41)에 의해 반사되는 광에 의해 음극선관의 판넬(12)의 내면이 노광되도록 판넬(12)을 위치시킨다.The panel support 13 'positions the panel 12 such that the inner surface of the panel 12 of the cathode ray tube is exposed by the light reflected by the plurality of mirror cells 41 to form a fluorescent surface on the inner surface.

상기 광원부(30)는 소정의 광도의 점광원 내지 선광원광으로 광을 방사하기 위해 슬리트가 형성된 쉴드플레이트(31)로 주위가 둘러싸이며, 종래와 같이 아크광원일 수 있으며, 이 경우, 냉각수단을 구비할 수 있다.The light source unit 30 is surrounded by a shield plate 31 in which a slit is formed to emit light with a point light source or a linear light source of a predetermined light intensity, and may be an arc light source as in the prior art. In this case, cooling means It may be provided.

상기 미러 어레이(40)는 각각 반사각이 다른 다수의 미러셀(41)을 구비하여 그 쉴드플레이트(31)를 통해 직진하는 광원부(30)의 광을 위치에 따라 각각 소정의 반사각으로 반사시키게 된다.The mirror array 40 includes a plurality of mirror cells 41 having different reflection angles, respectively, to reflect the light of the light source unit 30 traveling straight through the shield plate 31 at predetermined reflection angles according to positions.

그 다수의 미러셀(41)의 수나 반사각은 상기 판넬 안치대(13') 상의 판넬(12) 내면을 균일하게 노광시키기 위해 적절하게 조정된다.The number or reflection angle of the plurality of mirror cells 41 is appropriately adjusted to uniformly expose the inner surface of the panel 12 on the panel mount 13 '.

또한, 상기 다수의 미러셀(41)에서 반사되는 광은 광로의 길이와 각 미러셀의 틈새에 따라 광량이 불연속적으로 판넬(12)에 입사될 것이기 때문에 더욱 균일한 광량이 판넬(12)의 전면적에 걸쳐 입사되도록 하기 위한 방향과 변위로 진동을 부여하는 액튜에이터(50)를 그 미러 어레이(40) 하부에 설치하여 구성할 수도 있다.In addition, since the light reflected from the plurality of mirror cells 41 will be incident on the panel 12 discontinuously according to the length of the optical path and the gap of each mirror cell, a more uniform amount of light will be applied to the entire area of the panel 12. An actuator 50 that imparts vibrations in a direction and a displacement so as to be incident thereon may be provided below the mirror array 40.

한편, 상기 광원부(30)로부터 방사되는 광이 다수의 미러셀(41)에서 반사되어 판넬(12)의 내면에 이르기까지의 광로와 각각 상이한 다수의 미러셀(41)의 반사각도에 따른 광량의 변화에 대응하여 각각 동일한 광량으로 판넬(12) 내면에 입사되도록 그 다수의 미러셀(41)을 각각 계단형으로 구성하는 것이 바람직하다.On the other hand, the light emitted from the light source unit 30 is reflected by the plurality of mirror cells 41 to the change in the amount of light according to the reflection angle of the plurality of mirror cells 41 respectively different from the optical path to the inner surface of the panel 12 Correspondingly, it is preferable that each of the plurality of mirror cells 41 is configured in a step shape so as to be incident on the inner surface of the panel 12 at the same amount of light.

이와 같이 다수의 반사 미러셀(41)의 반사각과 그 높이에 의해 광원부(30)로부터의 광을 반사시킴으로써 용이하게 판넬(12)의 내면 전면적에 걸쳐 균일한 광량으로 노광시킬 수 있게 되며, 그 다수의 미러셀(41)을 각각 평면으로 형성하는 경우 더욱 간편하고 미러 어레이(40)가 간단하게 제작되게 된다.Thus, by reflecting the light from the light source unit 30 by the reflection angles and the heights of the plurality of reflective mirror cells 41, it is possible to easily expose a uniform amount of light over the entire inner surface of the panel 12. In the case where the mirror cells 41 are each formed in a plane, the mirror array 40 is more simply manufactured.

이상에서 설명한 본 발명의 실시예에 따른 음극선관 형광면 제조용 반사노광장치의 구성과 작용에 의하면, 다수의 미러셀(41)을 각각 소정의 반사각으로 배치하고 이를 진동시키면서 광원부(30)의 광을 반사시켜 판넬 내면을 노광시킴으로써 판넬(12) 내면의 전면적에 걸쳐 간단하게 균일한 노광을 실시할 수 있게 되어 화질을 향상시킬 수 있는 등의 효과가 있다.According to the configuration and function of the reflective exposure apparatus for manufacturing a cathode ray tube fluorescent surface according to the embodiment of the present invention described above, by placing a plurality of mirror cells 41 at a predetermined reflection angle and reflecting the light of the light source unit 30 while vibrating them By exposing the inner surface of the panel, it is possible to easily perform uniform exposure over the entire surface of the inner surface of the panel 12, thereby improving the image quality.

본 발명은 특정의 바람직한 실시예에 대해서 설명하였지만, 이에 한정되지 아니하고 이하 본 발명의 정신이나 청구범위에 기재된 사항으로부터 이탈하지 않는 한도내에서 당업계의 통상의 지식을 가진자라면 여러 가지 응용과 변형이 가능할 것이다.Although the present invention has been described with respect to specific preferred embodiments, it is not limited thereto and various applications and modifications can be made by those of ordinary skill in the art without departing from the spirit or scope of the present invention. This will be possible.

Claims (2)

내면에 형광면을 형성시키기 위해 음극선관의 판넬(12)의 내면을 노광시키도록 판넬(12)을 위치시키기 위한 판넬 안치대(13'); 소정의 광도로 광을 방사하기 위한 광원부(30); 그 광원부(30)의 광이 점광원 내지 선광원이 되도록 하는 쉴드플레이트(31) ; 그리고 그 쉴드플레이트(31)를 통해 직진하는 광원부(30)의 광을 위치에 따라 각각 소정의 반사각으로 반사시켜 상기 판넬 안치대(13')상의 판넬(12) 내면을 균일하게 노광시키기 위한 다수의 미러셀(41)을 지니는 미러 어레이(40)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 음극선관 형광면 제조용 반사노광장치.A panel rest 13 'for positioning the panel 12 to expose the inner surface of the panel 12 of the cathode ray tube to form a fluorescent surface on the inner surface; A light source unit 30 for emitting light at a predetermined luminous intensity; A shield plate 31 for causing the light of the light source unit 30 to be a point light source or a linear light source; And a plurality of light for uniformly exposing the inner surface of the panel 12 on the panel support 13 'by reflecting the light of the light source unit 30 that proceeds straight through the shield plate 31 at a predetermined reflection angle, respectively, according to the position. Reflective exposure apparatus for manufacturing a cathode ray tube fluorescent surface characterized in that it comprises a mirror array (40) having a mirror cell (41). 제1항에 있어서, 상기 다수의 미러셀(41)에서 반사되는 광이 연속으로 균일한 광량으로 판넬(12)의 내면으로 입사되도록 그 미러 어레이(40)에 진동을 부여하는 액튜에이터(50)을 추가로 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 음극선관 형광면 제조용 반사노광장치.The actuator (50) of claim 1, further comprising an actuator (50) for imparting vibration to the mirror array (40) such that the light reflected from the plurality of mirror cells (41) is incident on the inner surface of the panel (12) with a uniform amount of light continuously. Reflective exposure apparatus for manufacturing a cathode ray tube fluorescent surface comprising a.
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Comment text: Patent Application

Patent event date: 19970927

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