KR19980068085A - Management Method of Equipment for Semiconductor Manufacturing - Google Patents
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Abstract
본 발명은 제품에 발생될 수 있는 불측의 공정사고를 미연에 방지할 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 관리방법에 관한 것으로, 호스트를 이용한 반도체 제조용 설비의 관리방법에 있어서, 상기 호스트에 소정의 데이터를 입력시킨 후 상기 호스트의 제어에 의해 소정의 공정조건을 상기 설비로 다운 로드 하는 단계와; 상기 설비에 소정의 로트를 로딩한 후 상기 로트에 셋팅된 소정의 데이터를 상기 호스트로 입력하는 단계와; 상기 설비로 다운 로드된 공정조건 및 상기 로트에 셋팅된 데이터를 상기 호스트를 통해 비교하는 단계와; 상기 비교결과, 다운 로드된 공정조건 및 셋팅된 데이터가 일치하는 경우, 소정의 공정을 유지하는 단계와; 상기 비교결과, 다운 로드된 공정조건 및 셋팅된 데이터가 일치하지 않는 경우, 상기 로트를 언로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for managing a semiconductor manufacturing facility that can prevent undesired process accidents that may occur in a product. In the method for managing a semiconductor manufacturing facility using a host, predetermined data is transmitted to the host. Downloading a predetermined process condition to the facility under control of the host after inputting; Loading a predetermined lot into the facility and inputting predetermined data set in the lot to the host; Comparing the process conditions downloaded to the facility and the data set in the lot through the host; Maintaining a predetermined process when the downloaded process condition and the set data coincide with each other as a result of the comparison; If the result of the comparison does not match the downloaded process conditions and the set data, characterized in that it comprises the step of unloading the lot.
이와 같은, 본 발명에서는 호스트에서 다운로드된 데이터가 당해 로트에 셋팅된 실 데이터와 서로 다를 경우, 당해 로트를 설비에서 언로딩시킴으로써, 발생할 수 있는 공정사고를 미연에 방지할 수 있다.In the present invention, when the data downloaded from the host is different from the actual data set in the lot, by unloading the lot in the facility, it is possible to prevent process accidents that may occur.
Description
본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 설비의 관리 방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 호스트(Host computer)에서 다운 로드된 소정의 데이터가 설비에 로딩된 공정부분품(WIP:Work In Process; 이하, WIP라 칭함)의 관련 데이터와 불일치할 경우, 당해 WIP를 설비에서 언로딩시킴으로써, 제품에 발생될 수 있는 불측의 공정사고를 미연에 방지할 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 관리방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of managing a facility used in a semiconductor manufacturing process, and more particularly, to a process part (WIP: Work In Process), in which predetermined data downloaded from a host computer is loaded in a facility. In the case of inconsistency with the relevant data, the method relates to a method for managing a semiconductor manufacturing facility that can prevent unforeseen process accidents that may occur in a product by unloading the WIP from the facility.
일반적인 반도체 소자는 고도의 정밀성을 필요로 하며, 이에 따라 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 소정의 설비, 예컨대, 스퍼터링 설비, 식각 설비, 측정설비 등을 배치하여 대부분의 제조공정을 수행하고 있다.A general semiconductor device requires a high degree of precision, and accordingly, in a conventional semiconductor production line, a predetermined facility capable of precision processing, for example, a sputtering facility, an etching facility, a measurement facility, and the like are disposed to perform most manufacturing processes. .
이때, 작업자는 각 설비의 동작상황을 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.At this time, the operator tries to improve the line work efficiency by closely monitoring the operation status of each facility.
도 1은 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조용 설비를 개략적으로 도시한 개념도이다.1 is a conceptual diagram schematically showing a conventional semiconductor manufacturing facility for performing such a function.
도시된 바와 같이, 생산라인내에는 각각의 설비(100)가 공정별로 배치된다.As shown, each facility 100 is arranged for each process in the production line.
이때, 소정의 WIP, 예컨대, 로트(Lot:101)는 설비(100)에 로딩된 후 소정의 가공과정을 거치게 된다.At this time, a predetermined WIP, for example, a lot (Lot) 101 is loaded into the facility 100 and then undergoes a predetermined processing process.
한편, 상술한 설비(100)는 제어기능을 갖춘 호스트(102)와 연결된다.On the other hand, the above-described facility 100 is connected to the host 102 having a control function.
이때, 작업자는 주기적으로 설비(100)의 동작상황을 호스트(102)에 입력하고, 이를 입력받은 호스트(102)는 그 데이터를 설비(100)로 다운 로드시킴으로써, 설비(100)의 공정 조건을 소정의 상태로 설정하고 있다.At this time, the worker periodically inputs the operation status of the facility 100 to the host 102, and the host 102 receives the input data to the facility 100, thereby to determine the process conditions of the facility 100 It is set to a predetermined state.
도 2는 이러한 종래의 반도체 제조용 설비의 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.2 is a flowchart sequentially illustrating a method of managing such a conventional semiconductor manufacturing facility.
도시된 바와 같이, 먼저, 호스트(102) 및 설비(100)가 온라인(On-Line)상태로 유지된 상태에서 작업자는 로트(101)와 관련된 데이터, 예컨대, 설비(100)에 로딩될 로트(101)의 식별 번호, 로트(101)에 요구되는 공정 항목 등을 검지한 후에 그 데이터를 호스트(102)에 입력한다.(S100)As shown, first, while the host 102 and the facility 100 remain on-line, the operator is responsible for the data associated with the lot 101, such as the lot to be loaded into the facility 100. After detecting the identification number 101, the process item required for the lot 101, and the like, the data is input to the host 102. (S100)
이어서, 호스트(102)는 입력된 데이터를 토대로, 소정의 공정조건을 설정하여, 그 데이터를 설비(100)로 다운 로드한다.(S110)Subsequently, the host 102 sets predetermined process conditions based on the input data, and downloads the data to the facility 100. (S110)
일례로, 식별 번호가 XXXX 이고 부여된 공정항목이 옥사이드(Oxide)공정인 로트라는 데이터가 작업자에 의해 입력되면, 호스트(102)는 이를 입력받아 기 입력된 여러정보를 종합적으로 연산·판단하여, 당해 로트(100)에 필요한 소정의 공정조건, 예컨대, 형성될 막의 두께, 공정 온도, 설비(100)의 가동시간 등을 설정하고, 이를 설비(100)로 다운로드한다.For example, when data including a lot number having an identification number of XXXX and a process item assigned as an oxide process is inputted by an operator, the host 102 receives the input and calculates and comprehensively calculates various pieces of information. Predetermined process conditions necessary for the lot 100, for example, the thickness of the film to be formed, the process temperature, the operating time of the equipment 100, and the like are set and downloaded to the equipment 100.
그 다음에, 작업자는 로봇(미도시) 등의 자동 이송 장치를 통해 당해 로트(101)를 설비(100)에 로딩한다.(S120)Next, the worker loads the lot 101 into the facility 100 through an automatic transfer device such as a robot (not shown). (S120)
그 후, 설비(100)는 호스트(102)로부터 입력된 공정조건에 따라, 로트(101)를 가공함으로써, 로트(101)에 요구되는 공정을 완료한다.(S130)After that, the facility 100 completes the process required for the lot 101 by processing the lot 101 according to the process conditions input from the host 102. (S130)
그러나, 이러한 종래의 반도체 제조용 설비의 관리방법에는 몇가지 중대한 문제점이 있다.However, there are some serious problems in the conventional method of managing a semiconductor manufacturing facility.
첫째, 작업자의 실수로 당해 로트의 식별번호 또는 공정항목이 호스트에 잘못 입력되는 경우, 차후에 이를 확인할 방법이 전무하여, 소정의 공정사고를 미연에 방지하지 못하는 문제점이 있다.First, when the identification number or the process item of the lot is incorrectly input to the host by mistake of the worker, there is no method to confirm this in the future, there is a problem that can not prevent a predetermined process accident in advance.
둘째, 상술한 작업자의 실수로 인해, 공정조건 데이터가 로트에 셋팅된 실 데이터와 일치하지 않는 경우, 당해 로트에는 심각한 공정사고가 야기되는 문제점이 있다.Secondly, if the process condition data does not match the actual data set in the lot due to the mistake of the operator described above, there is a problem that a serious process accident is caused in the lot.
따라서, 본 발명의 목적은 호스트로부터 다운로드된 데이터가 당해 로트의 실 데이터와 불일치할 경우, 당해 로트를 설비에서 언로딩시킴으로써, 발생할 수 있는 공정사고를 미연에 방지하는 반도체 제조용 설비의 관리방법을 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for managing a semiconductor manufacturing facility which prevents process accidents that may occur by unloading the lot from a facility when the data downloaded from the host is inconsistent with the actual data of the lot. Is in.
도 1은 종래의 반도체 제조용 설비를 개략적으로 도시한 개념도.1 is a conceptual diagram schematically showing a conventional semiconductor manufacturing equipment.
도 2는 종래의 반도체 제조용 설비의 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도.2 is a flowchart sequentially illustrating a method of managing a conventional semiconductor manufacturing facility.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도.3 is a flowchart sequentially illustrating a method of managing a semiconductor manufacturing facility according to the present invention.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 호스트를 이용한 반도체 제조용 설비의 관리방법에 있어서, 상기 호스트에 소정의 데이터를 입력시킨 후 상기 호스트의 제어에 의해 소정의 공정조건을 상기 설비로 다운 로드하는 단계와; 상기 설비에 소정의 로트를 로딩한 후 상기 로트에 셋팅된 소정의 데이터를 상기 호스트로 입력하는 단계와; 상기 설비로 다운 로드된 공정조건 및 상기 로트에 셋팅된 데이터를 상기 호스트를 통해 비교하는 단계와; 상기 비교결과, 상기 다운 로드된 공정조건 및 셋팅된 데이터가 일치하는 경우, 소정의 공정을 유지하는 단계와; 상기 비교결과, 상기 다운 로드된 공정조건 및 셋팅된 데이터가 일치하지 않는 경우, 상기 로트를 언로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In accordance with an aspect of the present invention, there is provided a method for managing a semiconductor manufacturing facility using a host, the method including downloading predetermined process conditions to the facility under control of the host after inputting predetermined data to the host. Steps; Loading a predetermined lot into the facility and inputting predetermined data set in the lot to the host; Comparing the process conditions downloaded to the facility and the data set in the lot through the host; Maintaining a predetermined process when the downloaded process condition and the set data coincide with each other as a result of the comparison; And comparing the downloaded process condition with the set data as a result of the comparison, unloading the lot.
바람직하게, 상기 호스트는 온라인 상태임을 특징으로 한다.Preferably, the host is online.
이에 따라, 본 발명에서는 로트에 발생될 수 있는 공정사고를 미연에 방지할 수 있다.Accordingly, in the present invention, process accidents that may occur in the lot can be prevented in advance.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 관리방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail the management method of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.3 is a flowchart sequentially illustrating a method of managing a semiconductor manufacturing facility according to the present invention.
도시된 바와 같이, 본 발명은 호스트(102)에 로트(101) 관련 데이터를 입력시킨 후에(S200) 호스트(102)의 제어에 의해 일정한 공정조건을 설비(100)로 다운로드 하는 단계(S210)와, 설비(100)에 로트(101)를 로딩한 후에(S220) 로트(101)에 셋팅된 데이터를 호스트(102)로 입력하는 단계(S230)와, 설비(100)로 다운 로드된 공정조건 및 로트(101)에 셋팅된 데이터를 호스트(102)를 통해 비교하는 단계(S240)와, 이러한 비교결과, 다운 로드된 공정조건 및 셋팅된 데이터가 일치하는 경우, 당해 공정을 유지하는 단계(S250)와, 이러한 비교결과, 다운 로드된 공정조건 및 셋팅된 데이터가 일치하지 않는 경우, 로트(100)를 언로딩하는 단계(S260)를 포함한다.As shown, the present invention is a step (S210) for downloading a certain process conditions to the facility 100 under the control of the host 102 after inputting the lot 101 related data to the host 102 (S200) and After inputting the lot 101 to the facility 100 (S220), inputting the data set in the lot 101 to the host 102 (S230), the process conditions downloaded to the facility 100, and Comparing the data set in the lot 101 through the host 102 (S240), and if the result of the comparison, the downloaded process conditions and the set data is consistent, maintaining the process (S250) And, as a result of the comparison, if the downloaded process conditions and the set data does not match, the step of unloading the lot 100 (S260).
이러한 본 발명을 좀더 상세히 설명한다.This invention is described in more detail.
먼저, 작업자는 공정을 진행시킬 로트(101)의 식별 번호 및 로트에 부여된 공정 항목을 검지한 후 그 데이터를 호스트(102)에 입력한다.(S200)First, the operator detects the identification number of the lot 101 to proceed with the process and the process item assigned to the lot, and inputs the data into the host 102 (S200).
이때, 본 발명의 특징에 따르면 호스트(102)는 설비(100)와 온라인 상태를 유지한다.At this time, according to the feature of the present invention, the host 102 maintains an online state with the facility 100.
따라서, 설비(100) 및 호스트(102)는 상호 데이터의 교환이 가능하다.Therefore, the facility 100 and the host 102 can exchange data with each other.
이어서, 호스트(102)는 이와 같이 입력된 데이터 및 기 입력된 여러 사항, 예컨대, 설비(100)의 가동 능력, 설비(100)의 보수 이력 등을 상호 조합한 후 그 산출 데이터를 설비(100)로 다운 로드한다.(S210)Subsequently, the host 102 combines the data input in this manner with various input items, for example, the operating capability of the facility 100, the maintenance history of the facility 100, and then calculates the calculated data. Download to (S210).
이에 따라, 설비(100)에는 로트(101)에 따른 소정의 공정조건이 설정된다.Accordingly, the facility 100 is set with predetermined process conditions according to the lot 101.
일례로, 작업자가 소정의 확산 설비에 식별 번호가 XXXX 이고 부여된 공정항목이 옥사이드 공정인 로트를 로딩시키고자 할 경우, 작업자는 이 데이터를 호스트(102)에 입력시키고, 호스트(102)는 상술한 사항을 고려하여, 막의 두께, 공정 온도, 설비(100) 가동 시간 등의 공정조건을 설정한 후 이를 당해 설비(100)로 다운로드 함으로써 설비(100)가 로트(101)에 요구되는 공정조건을 충족시킬 수 있도록 한다.For example, if a worker wants to load a lot with a identification number XXXX and an assigned process item is an oxide process to a given diffusion facility, the worker enters this data into the host 102 and the host 102 is described above. In consideration of one matter, the process conditions such as the film thickness, the process temperature, the operation time of the equipment 100, etc. are set and downloaded to the equipment 100 to determine the process conditions required for the lot 101. To meet.
이 후, 작업자는 수작업 또는 로봇 등을 이용하여 가공될 당해 로트(101)를 설비(100)에 로딩시킨다.(S220)Thereafter, the worker loads the lot 101 to the facility 100 by hand or by using a robot or the like (S220).
이에 따라, 설비(100)에는 로트(101)가 로딩되고 설비(100)는 공정진행을 위한 대기 상태를 유지한다.Accordingly, the lot 100 is loaded in the facility 100 and the facility 100 maintains a standby state for process progress.
이때, 호스트(102)는 소정의 제어신호를 설비(100)로 입력하여, 현재 설비(100)에 로딩된 로트(101)가 어떤 상태로 셋팅되어 있는지를 파악한다.(S230)At this time, the host 102 inputs a predetermined control signal to the facility 100 to determine the state in which the lot 101 currently loaded in the facility 100 is set (S230).
일례로, 호스트(102)가 당해 로트(101)에 셋팅된 식별 번호를 파악하고자 할 경우, 호스트(102)는 소정의 제어신호를 설비(100)로 입력하고 설비(100)는 구비된 스캔 장치(미도시)를 통해 로트(101)에 셋팅된 식별 번호를 스캔한 후에 그 결과를 호스트(102)로 재입력한다.For example, when the host 102 wants to know the identification number set in the lot 101, the host 102 inputs a predetermined control signal to the facility 100 and the facility 100 is provided with a scanning device. After scanning the identification number set in the lot 101 (not shown), the result is re-entered into the host 102.
이에 따라, 호스트(102)는 당해 로트(101)의 식별 번호를 정확히 검지한다.As a result, the host 102 accurately detects the identification number of the lot 101.
이 후, 호스트(102)는 설비(100)에 다운 로드된 데이터 및 현재 로딩된 로트(101)의 셋팅 데이터를 상호 비교한다.(S240)Thereafter, the host 102 compares the data downloaded to the facility 100 with the setting data of the currently loaded lot 101 (S240).
이러한 비교 결과, 다운 로드된 데이터 및 현재 설비(100)에 로딩된 로트(101)의 셋팅 데이터가 일치하는 경우, 호스트(102)는 설정된 공정 조건을 정상 상태로 판단하여, 공정을 진행·완료한다.(S250)As a result of the comparison, when the downloaded data and the setting data of the lot 101 loaded in the current facility 100 match, the host 102 determines the set process condition as a normal state and proceeds and completes the process. (S250)
그러나, 이러한 비교 결과, 다운 로드된 데이터 및 현재 설비(100)에 로딩된 로트(101)의 셋팅 데이터가 일치하지 않는 경우, 설정된 공정 조건을 비정상 상태로 판단한다.However, as a result of this comparison, when the downloaded data and the setting data of the lot 101 loaded in the current facility 100 do not match, it is determined that the set process conditions are abnormal.
일례로, 호스트(102)를 통해 다운 로드된 로트(101)의 식별 번호가 XXXX인데 반해, 현재 설비(100)에 로딩된 로트(101)의 식별 번호가 XXYY로 셋팅되어 있는 경우 호스트(102)는 이를 비정상 상태로 판단한다.For example, if the identification number of the lot 101 downloaded through the host 102 is XXXX, the identification number of the lot 101 currently loaded into the facility 100 is set to XXYY. Judges this to be an abnormal state.
이에 따라, 호스트(102)는 설비(100)에 구비된 소정의 표시장치(미도시)를 통해 소정의 경고 메시지를 외부로 출력시키고, 작업자는 이를 검지하여 로트(101)를 외부로 언로딩시킨다.(S260)Accordingly, the host 102 outputs a predetermined warning message to the outside through a predetermined display device (not shown) provided in the facility 100, and the worker detects this to unload the lot 101 to the outside. (S260)
바람직하게, 호스트(102)가 로봇을 제어하여 로트(101)를 자동으로 언로딩시킬 수도 있다.Preferably, the host 102 may control the robot to automatically unload the lot 101.
이에 따라, 본 발명에서는 당해 로트에 부여된 공정이 아닌 상이한 공정이 진행되는 공정사고를 미연에 방지할 수 있다.Accordingly, in the present invention, it is possible to prevent a process accident in which a process other than the process applied to the lot proceeds.
상술한 플로우(Flow)는 설비에 로딩되는 모든 로트에 반복·적용된다.The above-described flow is repeated and applied to all lots loaded in the facility.
그 결과, 설비는 로딩되는 모든 로트의 조건에 맞도록 공정을 적절히 조절할 수 있다.As a result, the facility can adjust the process appropriately to meet the conditions of all lots loaded.
이러한 본 발명은 반도체 제조라인에 배치되어 소정의 관리를 필요로 하는 모든 설비에 유용하게 적용된다.The present invention is usefully applied to all the facilities that are arranged in a semiconductor manufacturing line and require some management.
그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.And while certain embodiments of the invention have been described and illustrated, it will be apparent that the invention may be embodied in various modifications by those skilled in the art.
이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.Such modified embodiments should not be understood individually from the technical spirit or point of view of the present invention and such modified embodiments should fall within the scope of the appended claims of the present invention.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 관리방법에서는 호스트에서 다운로드된 데이터가 당해 로트에 셋팅된 실 데이터와 서로 다를 경우, 당해 로트를 설비에서 언로딩시킴으로써, 발생할 수 있는 공정사고를 미연에 방지할 수 있다.As described in detail above, in the method for managing a semiconductor manufacturing facility according to the present invention, if the data downloaded from the host is different from the actual data set in the lot, a process accident that may occur by unloading the lot from the facility Can be prevented in advance.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970004517A KR19980068085A (en) | 1997-02-14 | 1997-02-14 | Management Method of Equipment for Semiconductor Manufacturing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970004517A KR19980068085A (en) | 1997-02-14 | 1997-02-14 | Management Method of Equipment for Semiconductor Manufacturing |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980068085A true KR19980068085A (en) | 1998-10-15 |
Family
ID=65984012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970004517A Withdrawn KR19980068085A (en) | 1997-02-14 | 1997-02-14 | Management Method of Equipment for Semiconductor Manufacturing |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19980068085A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7496422B2 (en) | 2005-06-03 | 2009-02-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method for controlling a semiconductor processing apparatus |
-
1997
- 1997-02-14 KR KR1019970004517A patent/KR19980068085A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7496422B2 (en) | 2005-06-03 | 2009-02-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method for controlling a semiconductor processing apparatus |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 19970214 |
|
| PG1501 | Laying open of application | ||
| PC1203 | Withdrawal of no request for examination | ||
| WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |