KR19980042931A

KR19980042931A - 광모듈 및 그 제조방법과 광모듈의 광학적반사부재와 그 위치결정방법 및 위치결정장치

Info

Publication number: KR19980042931A
Application number: KR1019970064580A
Authority: KR
Inventors: 소사쿠 사와다
Original assignee: 쿠라우찌 노리타카; 스미도모덴기고오교오 가부시기가이샤
Priority date: 1996-11-29
Filing date: 1997-11-29
Publication date: 1998-08-17
Also published as: US6004046A

Abstract

본 발명은 광파이버와 반도체소자사이의 높은 광학적 결합효율을 유지하면서 종래보다 훨씬 조심조정이 용이한 구조를 구비하고, 부품점수의 저감화등이 실현가능한 광모듈 및 그 제조방법에 관한 것이다. 상기 광모듈은, 상기 광파이버와 반도체소자사이를 광학적으로 결합하는 부품으로서, 오목면현상이 반사면을 가진 광학적 반사부재를 구비하고 있다. 특히, 상기 광모듈의 이용이 상정되는 광통신분야에 있어서는 상기 반사부재를 고정밀도로 위치결정할 필요가 있기 때문에, 상기 반사부재는 위치결정용의 특수구조를 구비하고 있다.

Description

광모듈 및 그 제조방법과 광모듈의 광학적반사부재와 그 위치결정방법 및 위치결정장치

본 발명은, 광통신에 있어서 사용되는, 수광소자, 발광소자 등의 반도체소자가 내장된 광모듈에 관한 것으로서, 특히, 광파이버와 그 반도체소자사이를 광학적으로 또한 고정밀도로 결합시키는 구조를 구비한 광모듈 및 그 제조방법 등에 관한 것이다.

신호광의 전송매체인 광파이버와, 수광소자, 발광소자 등의 반도체소자가 광학적으로 결합된 종래의 광모듈에서는, 이러한 반도체소자와 함께, 상기 광파이버 단부면과 반도체소자사이의 광로속에 배치된 집광렌즈나 평면반사면까지도 투명수지로 일체적으로 봉하여 막으로써, 상기 광파이버와 반도체소자와의 광학적인 결합상태를 유지하는 구조가 일반적으로 채용되고 있다. 또한, 종래의 광모듈로서는, 예를 들면 일본국 특개소 63-090866호 공보에, 신호광의 전송매체인 광파이버단부면으로부터 출사되어 집광렌즈를 개재해서 도달한 광을 평면반사면에서 반사시켜서 수광소자의 수광면에 입사시키는 구조의 광수신모듈이 개시되어 있다.

발명자들은, 상기 수광모듈등을 포함한 광모듈을 검토한 결과, 이하와 같은 과제를 발견하였다.

즉, 종래의 광모듈에서는, 수광소자 등의 반도체소자와 함께 집광렌즈 및 평면반사경을 투명수지로 일체적으로 봉하여 막은 구조가 채용되고 있으나, 이와 같은 구조에서는 집광렌즈와 평면반사경 및 반도체소자의 광축맞춤을 실현할 필요가 있으며, 봉하여 막는 수지의 외형에 대해서 충분히 높은 정밀도로 반도체소자의 위치를 설정한 위에서 수지로 봉하여 막지 않으면 안된다. 그러나, 이와 같은 반도체소자의 위치결정정밀도의 향상을 도모하는 것은 매우 곤란하고, 광통신분야에 적용되는 광모듈의 제조에는 적합하지 않다고 하는 과제가 있었다.

이에 더하여, 종래의 광모듈에서는, 비교적 고정밀도가 요구되지 않는 분야, 예를 들면 수광소자에 입사하는 광속(光束)이 비교적 넓고 또한 수광소자의 수광면적이커서도 허용되는 분야에서는 적용가능하였으나, 광통신분야에서의 적용에 있어서는, 광파이버의 코어직경의 경우 수㎛정도밖에 안되고, 또한 수광소자의 수광면적도 수백㎛평방정도밖에 확보할 수 없기 때문에, 매우 높은 조심(調芯)정밀도가 요구된다. 따라서, 종래의 기술을 적용해서 광통신용의 광모듈을 제조했을 경우, 충분한 조심정밀도를 얻을 수 없기 때문에 광파이버와 반도체소자사이의 광결합효율이 저하하거나, 사방(仕方)부적합으로 되어서 생산성의 향상을 저해하는 등의 폐해를 야기할 가능성이 있었다.

또 최근, 광파이버통신의 통신속도는, 기가헤르쯔대의 통신속도에 도달하기에 이르렀으며, 보다 높은 조심정밀도를 얻을 수 있는 광모듈의 개발이 요청되고 있다.

본 발명은, 이상과 같은 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 광파이버와 반도체소자사이의 높은 광학적결합효율을 유지하면서 종래보다도 훨씬 조심조정이 용이한 구조를 구비하고, 부품점수의 저감화등을 실현가능한 광모듈 및 그 제조방법을 제공하는 동시에, 상기 광모듈에 적용되는 특수형상의 구성부품, 이 구성부품의 위치결정방법 및 위치결정장치를 각각 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

도 1은 본 발명에 관한 광모듈의 개략 구조를 설명하기 위한 조립공정도

도 2는 도 1의 조립공정도를 거쳐서 얻게된 본 발명에 관한 광모듈의 외관을 표시한 사시도

도 3은 도 2중의 I-I선을 따라서 표시된 본 발명에 관한 광모듈의 단면도

도 4는 도 2중의 II-II선을 따라서 표시된 본 발명에 관한 광모듈의 단면도

도 5는 도 2중의 III-III선을 따라서 표시된 본 발명에 관한 광모듈의 단면도

도 6은 본 발명에 관한 광학적 반사부재의 구조를 표시한 사시도

도 7은 본 발명에 관한 광모듈의 기능을 설명하기 위한 도면이며, 특히, 광파이버단부면의 형상을 설명하기 위한 도면

도 8은 본 발명에 관한 광모듈의 기능을 설명하기 위한 도면이며, 특히, 광파이버와 반도체소자사이의 조심(調芯)기능을 설명하기 위한 도면

도 9는 본 발명에 관한 광모듈에 적용되는 특수형상의 광학적반사부재를 소정위치에 설치하기 위한 위치결정장치의 구조를 표시한 평면도 및 측면도

도 10은 도 9에 표시한 위치결정장치의 지지대에의 당해 광모듈의 설치상태를 설명하기 위한 도면

도 11 및 도 12는 도 9에 표시한 위치결정장치에 있어서의 슬리브내의 페룰의 장착동작을 설명하기 위한 도면도

도 13 및 도 14는 도 9에 표시한 위치결정장치에 있어서의 광학적반사부재의 고정동작을 설명하기 위한 도면

도 15는 본 발명에 관한 광학적반사부재의 구조를 표시한 도면

도 16은 외팔보의 선단부분의 구조를 표시한 도면

도 17∼도 19는 페룰을 복수의 관통구멍이 형성된 슬리브에 장착하기 위한 각접착공정을 설명하기 위한 도면

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

2 : 하우징12 : 광학적반사부재

22 : 슬리브24 : 광파이버

26 : 페룰

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 관한 광모듈은, 반도체소자를 수납하는 동시에, 상기 반도체소자를 탑재하는 탑재면을 가진 하우징과, 하우징의 측벽으로부터 소정방향으로 뻗고, 광파이버의 선단부에 장착된 페룰을 수납한 상태에서 지지하는 슬리브와, 그리고, 하우징에 수납되는 동시에, 광파이버와 반도체소자를 광학적으로 결합하는 부재로서, 곡면형상의 반사면을 가진 광학적반사부재를 구비한다. 여기서, 상기 반도체소자에는, 적어도 발광소자와 수광소자가 포함된다. 따라서, 당해 광모듈에는, 발광소자가 탑재되고, 이 발광소자의 발광면과 광파이버의 광입사단부면이 광학적으로 결합된 광발신모듈과, 수광소자가 탑재되고, 이 수광소자의 수광면과 광파이버의 광출사단부면이 광학적으로 결합된 광수신모듈이 포함된다.

특히, 상기 광학적반사부재의 반사면은, 오목면형상이고, 가상적으로 정의되는 회전타원체의 측면의 일부형상에 일치하는 오목면형상일 것이 바람직하다. 또, 이와 같은 특수형상의 반사면을 가진 광학적반사부재는, 높은 조심정밀도를 얻기 위해, 상기 반사면에 일치한 측면을 가진 회전타원체의 제 1초점에 상기 반사면과 맞대향한 광파이버에 있어서의 코어단부면이 일치하는 동시에, 상기 회전타원체의 상기 제1 초점과는 다른 제 2 초점에 상기 반도체소자의 상기 반사면과 맞대향한 주면(主面)(발광소자에 있어서의 발광면 또는 수광소자에 있어서의 수광면)이 일치하도록, 하우징내의 소정위치에 설치된다.

이 구성에 의해, 당해 광모듈이 광수신모듈인 경우, 광파이버의 광출사단부면으로부터 신호광속이 소정의 퍼짐각으로 출사되어도, 상기 광출사단부면이 상기 제 1 초점에 일치해 있는 한, 상기 반사면의 어느부분에서 반사되어서항상 수광소자의 수광면에 도달해서 수광된다. 반대로, 당해 광모듈이 광발신모듈인 경우, 발광소자의 발광면으로부터 소정의 퍼짐각으로 출사된 광도 상기 반사면의 작용에 의해 광파이버의 광입사단부면에 도달한다. 또한, 상기 코어단부면을 포함한 광파이버의 단부면은, 상기 광파이버의 광축에 대해서 소정각도경사해 있다.

또, 상기 광학적 반사부재는, 수지성형부재, 유리성형부재, 금속재를 절삭가공함으로써, 형성된 금속부재의 어느것이어도 되나, 어느 경우도, 그 반사면은 금속재료에 의해 코팅된다.

또, 본 발명에 관한 광모듈은, 광통신분야에도 적용가능한 광학부품이기 때문에, 당해 광모듈에 적용되는 광학적반사부재에는, 고정밀도의 위치결정을 가능하게 하는 여러 가지의 구조를 구비하고 있다.

즉, 본 발명에 관한 광학적 반사부재는, 상기 하우징의 탑재면과 맞대향해야 할 하면과, 이 하면과 대향하는 상면과, 그리고, 상면으로부터 하면을 향해서 뻗은 1 또는 2 이상의 오목부(걸어맞춤홈)을 구비한다. 특히, 이 오목부는 당해 광학적 반사부재를 고정밀도로 위치결정하기 위하여 중요한 기능을 가지는 동시에, 이 오목부가 2개 형성되었을 경우에는 핀세트등으로 집을 수 있어, 당해 광학적 반사부재의 취급을 용이하게 한다고 하는 효과를 얻을 수 있다.

또, 상기 오목부의 형상은, 상기 오목부의 개구의 면적보다도 상기 오목부의 바닥면의 면적이 작아지도록 테이퍼형상의 측면에 의해서 정의된다. 또, 당해 광학적반사부재는, 하면이 하우징의 탑재면으로부터 소정거리 이간하도록, 상기 하면으로부터 상기 탑재면을 향해서 뻗은 복수의 돌기를 구비하는 것이 바람직하다. 이 구성에 의해 하우징의 탑재면과 하면과의 접착면을 감소시킬 수 있고, 당해 광학적반사부재와 하우징과의 상대적인 위치관계를 용이하게 조절할 수 있다(당해 광학적 반사부재의 위치결정공정).

당해 광학적 반사부재의 구체적인 위치결정은, 이하의 스텝을 순차 실행함으로써 행하여진다. 즉, 하우징(탑재면에는 이미 반도체소자가 탑재되어 있다)의 슬리브내에, 광파이버의 선단부에 장착된 페룰을 삽입하고, 광학적 반사부재를, 오목면형상의 반사면에 의해 반도체소자를 덮은 상태에서, 접착기능을 가진 수지가 부착된 상기 광학적반사부재의 소정부위가, 상기 수지를 개재해서 하우징의 탑재면과 당접하도록, 상기 하우징내에 설치하고, 그리고, 광파이버로부터 출력되는 신호 광강도를 모니터링하면서(광발신모듈의 경우), 또는 반도체소자로부터 출력되는 전기신호를 모니터링하면서(광수신모듈의 경우), 하우징과 광학적반사부재와의 상대적인 위치관계를 변화시킨다.

또한, 이와같이 위치결정된 광학적 반사부재와 하우징은, 상기 부재와 하우징의탑재면과의 사이에 있는 수지를 경화시킴으로써 접착된다. 또, 이 광학적반사부재의 위치결정공정에서는, 페룰의 위치결정은 행하여지지 않기 때문에, 상기 페룰은, 그 선단부에 소정의 보조부재가 장착된 상태에서, 슬리브내의 소정위치에 설치된다.

이상과 같은 광학적 반사부재의 위치결정을 행하는 위치결정장치는, 하우징을 소정위치에 설치하는 지지대와, 광파이버의 선단부에 장착된 페룰을 지지하는 지지기구와, 당해 광학적반사부재를 하우징의 탑재면에 억누르는 동시에, 상기 광학적 반사부재와의 상대적인 위치관계를 고정하는 구조를 가진 고정부재(외팔보)와, 하우징과 광학적반사부재와의 상대적인 위치관계를 조절하는 구동기구를, 적어도 구비한다.

여기서, 광학적반사부재는, 반사면에는 반도체소자를 덮은 상태에서, 접착기능을 가진 수지가 부착된 상기 광학적반수부재의 소정부위가, 상기 수지를 개재해서 상기하우지의 탑재면과 당접하도록, 상기 하우징내에 설치되어 있다. 또, 상기 구동기구는, 하우징이 설치된 지지대를, 제1 의 기준축(X축)을 따라서 이동시키는 X스테이지와, 상기 지지대를 제 1의 기준축과 직교하는 제 2의 기준축(Y축)을 따라서 이동시키는 Y스테이지와, 그리고,상기 지지대를 제 1 및 제 2 의 기준축과 직교하는 제 3 의 기준축(Z축)을 중심으로 회전시키는 θ스테이지를 구비한다.

또한, 상기 외팔보의 선단부에는, 광학적반사부재의 상면에 형성된 오목부에 삽입되어야 할 테이퍼 형상의 돌기가 형성되어 있으며, 이 돌기를 광학적반사부의 오목부에 걸어맞춤시킴으로써 상기 광학적반사부재를 고정하고 있다.

다음에, 본 발명에 관한 광모듈의 제조방법에 있어서, 페룰의 슬리브에의 장착은, 상기 광학적반사부재의 위치결정 및 접착고정작업이 완료한 후에, 이하와 같이 행하여진다. 먼저, 측면의 소정부위에 자외선경화수지가 도포된 페룰은, 복수의 관통구멍이 형성된 슬리브내에 삽입된 상태에서 조심작업이 행하여진다. 그후, 상기 페룰의 측면과 상기 슬리브의 내벽과의 틈새에 자외선을 조사함으로써, 상기 슬리브의 내벽과 상기 페룰의 측면이 접착된다(임시고정공정). 계속해서, 슬리브의 관통구멍중 일부의 관통구멍에 2액혼합형 에폭시수지를 주입하고, 나머지의 관통구멍에 1액형 애폭시수지를 주입하여, 상온에서 상기 2액혼합형 에폭시수지를 경화시킴으로써, 상기 일부의 관통구멍으로부터 노출해 있는 상기 페룰의 측면과 상기 슬리브가 접착된다. 마지막으로, 나머지의 관통구멍에 주입된 1액형 에폭시수지를 가열하여, 상기 1액형 에폭시수지를 경화시킴으로써, 상기 나머지의 관통구멍으로부터 노출해 있는 상기 페룰의 측면과 상기 슬리브가 접착된다.

이상의 공정을 거친 페룰과 슬리브는, 적어도 경화과정이 다른 3종류의 접착제에 의해서 고정되어 있으며, 당해 접착공정중의 위치어긋남을 효과적으로 억제하는 효과가 있다.

이하, 본 발명에 관한 광모듈 및 그 제조방법 등의 실시예를 도 1∼도 9를 참조하면서 설명한다. 또한 각 도면에 있어서, 동일부분에는 동일번호를 붙여서 중복하는 설명은 생략한다. 또, 당해 광모듈은, 반도체수광소자가 적용된 광수신모듈과 반도체발광소자가 적용된 광송신모듈을 포함하나, 이들 각 모듈은 적용되는 반도체소자의 종류를 제외하고 기본적인 구성은 동일하기 때문에, 이하 본명세서에서는 광수신모듈에 대해서만 설명한다.

도 1은, 본 발명에 관한 광수신모듈의 개략구조를 설명하기 위한 조립공정도이며, 도 2는, 도1의 조립공정을 거쳐서 얻게된, 본 발명에 관한 광수신모듈의 외관을 표시한 사시도이다.

본 발명에 관한 광수신모듈은, 도 1에 표시한 바와 같이, 반도체소자로서 수광소자를 수납하는 동시에, 상기 반도체소자를 탑재하는 탑재면을 가진 하우징(2)을 구비하고 있다.이 하우징(2)의 측벽에는, 페룰(26)을 수납한 상태에서 지지하는 슬리브(22)가 설치되어 있다. 또, 상기 하우징(22)의 바닥부에는 상기 절연부(31)에 의해서 복수의 리드단자를 구비하고 있다.

또, 상기 광학적 반사부재(12)와 하우징(2)의 바닥부(수광소자의 탑재면)는 소정의 접착제에 의해 접착되고, 하우징(2)의 개구부분과 덮개(20)도 소정의 접착제에 의해 접착된다. 또, 페룰(26)도 슬리브(22)내에 삽입된 상태에서 접착고정되어 있다. 또한, 슬리브(22)에는, 도1에 표시한 바와 같이, 페룰접착용의 복수의 관통구멍(220)이 상기 슬리브(22)가 뻗는 방향을 따라서 복수열 형성되어 있다.

다음에, 본 발명에 관한 광수신모듈의 내부구조에 대해서 설명한다. 도 3은, 도 2속의 I-I선을 따라서 표시한, 본 발명에 관한 광수신모듈의 단면도, 도 4는, 도 2속의 II-II선을 따라서 표시한, 본 발명에 관한 광수신모듈의 단면도, 도 5는 , 도 2속의 III-III선을 따라서 표시한, 본 발명에 관한 광수신모듈의 단면도, 그리고, 도 6은, 본 발명에 관한 광학적 반사부재의 구조를 표시한 사시도이다.

이들 도 2∼도 5에 표시한 각 단면도에서 있어서, 수지성형된 직사각형상의 하우징(2)의 안쪽바닥면(4a)에는, PIN포토다이오드 등의 수광소자(6)와 그 수광소자(6)로부터 출력되는 전기신호를 증폭하기 위한 전치증폭회로(8)가, 함께 반도체칩(베어칩)의 상태에서 굳게 붙어있다. 하우징(2)에는, 수광소자(6) 및 전치증폭회로(8)에 전원을 공급하기 위한 전원공급용 리드단자(10a),(10b), 전치증폭회로(8)의 출력신호를 외부에 출력하기 위한 신호출력용 리드단자, 접지용 리드단자(10c),(10d)등의 복수의 리드단자가 배설되고, 이들 리드단자와 수광소자(6) 및 전치증폭회로(8) 사이가 와이어본딩에 의해서 배선되어 있다. 복수의 리드단자중, 특히 전원공급용 리드단자(10a),(10b)나 접지용 리드단자(10c),(10d)는 폭넓게 형성되어 있으며, 임피던스 및 인덕턴스의 저감 등을 도모함으로써, 고주파특성의 열악화나 고주파발진등의 불안정동작의 발생을 미연에 방지하고 있다.

하우징(2)의 측벽에는 플랜지(231)에 의해서 정의되는 소정내경의 광입사창(窓)(16)이 형성되고, 하우징(2)의 안쪽단부면에 고착된 투명의 창부재(18)(예를 들면 사파이어창)에 의해서 광입사창(16)이 씌워져 있다. 또, 하우징(2)의 외부쪽단부면에는, 광입사창(16)에 대응한 통형상의 슬리브(22)가 장착되고, 이 슬리브(22)내에, 광파이버(24)의 선단부에 장착된 페룰(26)이 삽입되어 있다.

수광소자(6) 및 전치증폭회로(8)의 위쪽에는, 도 6에 표시한 바와 같이, 수지성형된 대략 직사각형상의 광학적반사부재(12)가 설치되고, 그 4구석에 형성된 하단부(12a), (12b), (12c), (12d)가 하우징(2)의 다른 내부쪽바닥면(4b)(탑재면에 포함됨)에 접착제등으로 굳게 붙어 있다. 또한,이 광학적반사부재(12)의 상면에는, 핀세트등에 의한 취급을 가능하게 하는 동시에, 상기 광학적반사부재(12)자체의 위치결정에 기여하는 2개의 걸어맞춤홈(120a), (120b)이 형성되어 있다. 또, 본 실시예에서는, 하우징(2)의 소자탑재면은, 상기 면(4a), (4b)을 포함한다.

광학적반사부재(12)의 수광소자(6)에 대향하는 면에는, 회전타원체의 측면의 일부형상에 일치한 오목면형상의 반사면(14)이 형성되어 있다. 그리고, 이 광학적반사부재12)는, 회전타원체의 한쪽의 초점A에 수광소자(6)의 수광면이 일치하고, 다른 초점B)에 페룰(26)에 수용된 광파이버(24)의 광출사단부면(코어단부면을 포함)이 일치하도록 배치된다(도 8참조).

그리고, 하우징(2)의 상단부개구는, 덮개(20)에 의해 폐색되고, 이에 의해, 상기 하우징(2)의 내부는 상기 광학적 반사부재(12)가 소정위치에 고정된 상태에서 기밀하게 봉하여 막게된다.

여기서, 광학적반사부재(12)의 반사면(14)과 수광소자(6) 및 광파이버(24)의 광출사단부면과의 위치결정은, 예를 들면, 다음과같이 해서 행하여지고 있다. 하우징(2)과는 별개로 형성된 광학적반사부재(12)를 상기 하우징(2)의 내부에 삽입하고, 회전타원체의 한쪽의 초점A에 수광소자(6)의 수광면을 일치시키는 동시에, 다른 초점B에 광파이버(24)에 있어서의 코어의 광출사단부면을 일치시키도록 해서, 상호의 위치를 조정한 다음에 광학적 반사부재(12)를 하우징(2)의 내부쪽바닥단부면(4b)에 접착제등으로 굳게 붙임으로써, 위치결정이 행하여지고 있다. 또한, 이 위치결정공정에서는, 광학적반사부재(12)를 하우징(2)내에 탑재한 후에 있어서도, 페룰(26)에 수납된 광파이버(24)의 광출사단부면의 위치를 광출P의 방향으로 미세조정함으로써, 광파이버(24)의 광출사단부면을 초점B와 일치시키는 일이 가능하게 되어 있다.

이러한 구조를 가진 광수신모듈에 있어서, 초점B에 일치한 광파이버(24)의 광출사단부면으로부터 소정의 퍼짐각으로 출사되는 신호광속(光束)hν는 광입사구멍(16) 및 창부재(18)를 통과해서 반사면(14)에 도달한다. 반사면(14)에서 반사된 신호광속hν는 집광되어 수광소자(6)의 수광면에 도달한다. 여기서, 수광소자(6)의 수광면이 초점 A에, 광파이버(24)의 출사단부면이 초점B에 일치해 있음으로, 광출사단부면으로부터 출사되는 신호광속hν의 출사방향이 여러가지로 달라져서 반사면(14)에서의 반사위치가 달라졌다해도, 항상 수광소자(6)의 수광면에 도달한다. 따라서,본질적으로 정밀도가 높은 조심기구가 실현되고, 또 광파이버(24)의 광출사단부면의 방향의 조정이 용이한 조심기구가 실현되고 있다.

또, 광파이버(24)의 광출사단부면은, 그 단부면에서의 반사광이 동일 광축위로 되돌아오지 않도록 하기 위하여, 도 7에 표시한 바와 같이, 광축p에 대해서 소정각도Ψ1(예를 들면, Ψ1=8°)만큼 경사연마되어 있으며, 이 경사연마된 광출사단부면으로부터 출사되는 신호광속hν는 광파이버(24)의 광축P에 대해서 연마각도Ψ1의 1/2의 각도Ψ2(예를 들면 Ψ2=4°)로 구부러지게 된다. 이 때문에, 광파이버(24)의 광출사단부면이 광축P에 대해서 회전했을 경우, 회전 의존성 때문에, 신호광속hν는 회전방향θ에 있어서의 어느 방향으로 출사하는 것인지가 불확정하게 된다. 이러한 경우에는, 종래의 평면반사경에 의해서 광속을 반사시키는 구조를 가진 광수신모듈에서는, 출사광속이 수광소자의 수광면으로부터 어긋나서 광결합효율의 저하를 초래하거나, 또 극히 고정밀도의 미세조정이 필요하게 되는 등의 문제를 초래하나, 본 실시예에 관한 광수신모듈은, 도 8에 표시한 바와 같이, 광파이버(24)의 광출사단부면이 초점B에 일치해 있는 한, 출사광속hν의 출사방향이 여러 가지로 달라졌다 해도, 반사면(14)의 어느 위치에서 반사되어서 항상 초점A에 위치하는 수광소자(6)의 수광면에 도달하므로, 상기한 회전의존성의 영향을 무시할 수 있고, 광파이버(24)의 회전방향θ의 조정이 불필요하게 된다.

또, 광학적 반사부재(12)는, 하우징(2)과는 별개로 형성되어 있기 때문에, 상기하우징(2)내의 소정위치에 설치된 후라도, 접착고정되지 않는 한 장착위치의 미세조정을 용이하게 행할 수 있다. 또, 이와 같은 구성에서는, 복수의 광학소자를 조합해서 정밀도 좋은 조심기구를 실현할 필요가 없고, 단일의 광학적 반사부재(12)에 의해 본질적으로 뛰어난 조심기구를 실현할 수 있기 때문에, 부품점수를 삭감할 수 있는 동시에, 조정개소의 저감화, 실장면적의 축소화, 실장코스트의 저감화, 조심코스트의 저감화 등을 실현할 수 있다.

또한, 도 6에 표시한 광학적반사부재(12)는,수광소자(6)와 반사면(14)과의 사이에 일정한 틈새를 형성하기 위하여, 4구석에 하단부(12a),(12b),(12c),(12d)가 형성되어 있으나, 이러한 구조에 한정되는 것은 아니다. 요는 광학적 반사부재(12)의 하단부가 수광소자(6) 및 전치증폭회로(8)에 충돌하지 않는 정도의 틈새를 얻을 수 있는 구조라면 된다. 예를 들면, 수광소자(6)와 전치증폭회로(8)를 굳게 붙이기 위한 내부쪽바닥면(4a)보다도 광학적반사부재(12)를 굳게 붙이기 위한 내부쪽바닥면(4b)을 높은 위치로하는 단차(段差)구조로 해서, 이 높은 위치의 내부쪽바닥면(4b)에 광학적반사부재(12)를 탑재하는 구조로 하면, 하단부부(12a),(12b),(12c),(12d)를 삭제할 수 있다.

또 본 실시예에서는, 수지성형에 의한 광학적반사부재(12)에 대해서 설명하였으나, 유리를 용융성형해서 이루어지는 유리성형부재에 의해서 실현하거나, 금속재를 절삭가공해서 형성해도 된다. 그리고, 유리성형부재나 금속재를 절삭가공해서 형성되는 광학적반사부재(12)는, 금속에 의한 경납땜등에 의해 하우징(2)의 내부쪽바닥단부에 굳게 붙여진다.

이에 더하여, 상기 수지성형된 광학적반사부재(12)의 반사면(14), 유리재를 용융성형해서 이루어진 광학적반사부재의 반사면, 금속재를 절삭가공해서 얻어지는 광학적반사부재의 반사면의 어느것도, 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al)등의 광을 반사하는 금속을 증착 또는 스퍼터링 등을 해서 코팅된다. 단, 현재 광통신에서 이용되고 있는 신호광파장대(1.3㎛내지 1.5㎛)에 대한 반사효율을 고려하면, 알루미늄(반사율 약 80%)보다도 금(반사율 약 98%) 또는 은(반사율 약 99%)을 사용하는 것이 바람직하다. 또, 상기 반사면의 부식등을 고려해서 장기안정성을 도모하는 경우에는, 은보다도 금 또는 알루미늄을 적용하는 것이 바람직하다. 또, 코팅에 의한 부착성을 고려하면, 알루미늄을 적용하는 것이 바람직하다.

다음에, 상기한 광학적반사부재(12)의 위치결정동작을 구체적으로 실현하는 위치결정장치에 대해서 설명한다.

도 9는, 상기 광학적반사부재(12)를 하우징(2)내의 소정위치에 설치하기 위한 위치결정장치의 구조를 표시한 평면도 및 측면도이다. 이 위치결정장치는, 1개의 기대(期台)(500)를 구비하고, 이 기대(500)위에, 광학적 반사부재(12)를 상기 기대(500)에 대해서 정지한 상태로 유지하기 위한 제 1의 기구와, 이 정지하고 있는 광학적 반사부재(12)에 대해서 상대적으로 하우징(2)(광파이버(24)의 선단부에 장착된 페룰(26)이 슬리브(22)내에 임시고정되어 있다)을 이동시키기 위한 제 2의 기구가 설치되어 있다.

제 1 의 기구는, 베이스(510), 베이스(510)위에 설치된 스테이지(511), 스테이지(511)위에 설치된 지지부(512) 및 지지부(512)에 의해 지지된 이동가능한 외팔보(514)를 구비하고 있다. 지지부(512)에는 리니어가이드(513)가 도면중의 Z축을 따라서 장착되어 있으며, 외팔보(514)는 이 리니어가이드(513)에 이동가능한 상태로 장착되어 있다. 또, 외팔보(514)의 선단부분에는, 광학적 반사부재(12)를 기대(500)에 대해서 상대적으로 정지시키기 위하여, 광학적반사부재(12)의 걸어맞춤 홈(120a), (120b) 에 각각 끼워지는 돌기(516a), (516b)를 구비하고 있다. 또한, 도면중의 (513)는, 외팔보(514)를 도면중의 화살표시S2로 표시된 방향을 따라서(리니어가이드(513)를 따라서)이동시키기 위한 제어용 핸들이다.

한편, 제 2의 기구는, 하우징(2)을 광학적반사부재(12)에 대해서 상대적으로 이동시키기 위한 구동기구(50), 이 구동기구(50)에 의해 구동되는 페룰(26)을 지지하는 상부스테이지(557)를 구비하고 있다. 이 상부스테이지(557)위에는, 고정볼트(556)에 의해 지지대(552)가 고정되어 있다. 지지대(552)는, 하우징(2)을 소정부위에 설치하기 위한 위치결정구조를 구비하고 있으며, 이 하우징(2)은 고정부재(553)에 의해서 지지대(552)에 억눌러져 있다. 또, 이 하우징(2)의 설치위치는, 위치조절볼트(555)에 의해서 도면중의 Y축방향으로 조절된다. 한편, 페룰(26)은 꽉잡는 부분(554)에 고정되어 있다. 이 꽉잡는 부분(554)은 상기 페룰(26)을 꽉잡은 상태에서, 위치조절기구(550)에 의해서 지지되어 있으며, 이 위치조절기구(550)는 위치조절볼트(551)의 제어에 의해 도면중의 Y축방향을 따라서 꽉잡는 부분(554)을 이동시킨다. 또한, 이 실시예에서는, 상기 꽉잡는 부분(554)과 위치조절기구(550)에 의해 페롤지지구가 구성되어 있다.

구동기구(50)는, 또 도면중의 X축방향을 따라서(리니어가이드(522)를 따라서)이동가능한 X스테이지(520), X스테이지(520)위에 탑재되어 도면중의 Y축방향을 따라서 이동가능한 Y 스테이지(530) 및 Y스테이지(503)위에 탑재되어 도면중의 Z축을 중심으로 회전가능한 θ스테이지(540)로 구성되어 있다. 또한, 이 θ스테이지(540)위에는 상부스테이지(557)가 설치되어 있으며, X스테이지(520), Y스테이지(530), θ스테이지(540)는, 각각 핸들(521),(531),(541)에 의해 제어된다.

도 10은, 도 9에 표시한 위치결정장치의 지지대(552)에의 하우징(2)의 설치상태를 설명하기 위한 도면이다. 지지대(552)는 지지판(552b)과 지지판(552b)위에 형성된, 잘린부분 및 하우징(2)으로부터 뻗는 각 리드단자와 전기적으로 접촉하기 위한 배선패턴(563)을 가진 프린트기판(552a)으로 구성되어있다. 그리고, 지지판(552b)의 주평면과 상기 프린트기판(552a)의 잘린부분에 의해 정의되는 단차부(561)에 상기 하우징(2)의 바닥부에 장착되어 있는 베이스부분(절연부재(31) 및 전극판(32)이 끼워넣어진다. 또 하우징(2)은, 리드단자(10c),(10d)에 의해 기준 기둥(562)을 사이에 끼운상태에서, 위치조절볼트(555)에 의해 베이스부분이 기준기둥(562)에 억눌려짐으로써, 위치결정된다. 또한, 도 10에는 표시되어 있지 않으나, 전기적인 접촉상태를 유지하기 위하여, 하우징(2)으로부터 뻗는 각 리드단자는 고정부재(553)에 의해, 프린트기판(552a)위의 대응하는 배선패턴(563)에 억눌려진다.

한편, 도 11에 표시한 바와 같이, 꽉잡는 부분(554)에 꽉잡힌 페룰(26)에는, 광파이버(24)의 광출사단부면이 슬리브(22)내의 소정위치에 설치되도록, 보조부재(260)가 장착되어 있다. 위치조절기구(550)와 상기 꽉잡는 부분(554)을 도면중의 화살표시S3으로 표시된 방향으로 이동시킴으로써, 보조부재(260)가 장착된 페룰(26)은 개구(230)로부터 슬리브(22)내에 삽입된다(도 12참조). 또한, 이 보조부재(260)는 소정강도를 얻을 수 있도록 원통형상의 금속관으로 구성되어 있다.

실제로 페룰(26)은, 도 12에 표시한 바와 같이, 광입사구멍(16)을 정의하는 플랜지(231)와 보조부재(260)의 단부면이 당접할때까지 슬리브(22)내에 삽입된다. 이 보조부재(260)의 선단부(단부면(262)을 포함)는 페룰(26)의 선단부보다도 앞쪽으로 뻗어있으며, 이 보조부재(260)의 단부면(262)이 플랜지(231)와 당접한 상태에서 상기 페룰(26)에 지지된 광파이버(24)의 광출사단부면과 광입사구멍(16)과의 사이에, 설계상 최적의 거리가 정의된다.

또, 광학적반사부재(12)는, 도 13에 표시한 바와 같이, 하단부부(12a),(12b),(12c),(12d)에 예를 들면 자외선경화수지, 열경화수지등의 접착기능을 가진 수지가 도포된 상태에서, 지지대(552)위의 하우징(2)내에 설치된다. 이때, 광학적반사부재(12)에는 걸어맞춤홈(120a),(120b)이 형성되어 있기 때문에, 핀세트에 의해 취급할 수 있어, 용이하게 하우징내에 설치할 수 있다.

계속해서, 하우징(2)는 위치조절볼트(5455)의 선단부가 도면속의 화살표시S4로 표시한 방향으로 이동함으로써 지지대(552)의 소정위치에 설치되고, 꽉잡는 부분(554)에 의해서 꽉잡아진 페룰(26)은 보조부재(260)와 함께, 위치조절기구(550)가 도면속의 화살표시S3으로 표시한 방향으로 상기 꽉잡은 부분(554)을 이동시킴으로써, 슬리브(22)내에 삽입된다. 또, 외팔보(514)가 도면속의 화살표시S2 로 표시한 방향으로 이동함으로써, 그 선단부분(515)의 돌기(516a),(516b)는, 광학적반사부재(12)의 걸어맞춤홈(120a),(120b)에 각각 끼워진다.

이상과 같은 설치공정을 거쳐서, 당해 위치결정장치가 도 14에 표시한 바와 같은 상태로 됨으로써, 광학적반사부재(12)는 기대(500)에 대해서 정지(靜止)한 상태가 된다. 또, 하우징(2)은 구동기구(50)에 의해 상기 광학적반사부재(12)에 대해서 상대적으로 이동가능하게 된다. 도 14에 표시한 상태에 있어서, 광학적반사부재(12)의 위치결정은, 광파이버(24)로부터 상기 광학적반사부재(12)의 반사면(14)을 개재해서 수광소자(6)(PD)의 수광면에 신호광을 출사시키고, 상기 수광소자(6)의 출력을 모니터링하면서 행하여진다. 즉, 구동기구(50)에 의해 하우징(2)의 위치를 바꾸면서(광학적반사부재(12)와 하우징(2)과의 상대적인 위치를 바꾸면서), 수광소자(6)로부터의 출력이 최대가 되는 광학적 반사부재(12)와 하우징(2)과의 상대적인 위치관계를 결정하는 것이다.

그리고, 상기 수광소자(6)로부터의 출력신호가 최대가 되는 위치에서 광학적 반사부재(12)의 하단부(12a),(12b),(12c),(12d)의 각각에 도포되어 있던 수지를 경화시킴으로써, 상기 광학적반사부재(12)의 위치결정이 완료된다.

여기서, 광학적반사부재(12)와 외팔보(514)의 선단부분의 구조에 대해서, 보다 상세히 설명한다. 도 15는, 광학적반사부재(12)의 구조를 표시한 도면이며, 도 16은, 외팔보(514)의 선단부분의 구조를 표시한 도면이다.

도 16으로부터도 알 수 있는 바와 같이 당해 광학적반사부재(12)에는 하우징(2)의 수광소자(6)의 탑재면(면(4a),(4b)를 포함)에 맞대향한 바닥면으로부터 상기 탑재면을 행해서 뻗은 하단부(12a),(12b),(12c),(12d)가 형성되어 있다. 또, 상기 바닥면과 대향하는 동시에 외팔보(514)의 선단부분과 맞대향한 상면에는, 이 상면으로부터 바닥면을 향해서 뻗는 걸어맞춤홈(120a),(120b)이 형성되어 있다. 이들 각 걸어맞춤홈(120a),(120b)은, 상면으로부터 바닥면을 향해서 서서히 그 개구면적이 작아진 형상이다.

한편, 도 17로부터도 알 수 있는 바와 같이, 외팔보(514)의 선단부분에는 광학적반사부재(12)를 향한 면(514)으로부터 수직방향으로 뻗은 테이퍼형상의 돌기(516a),(516b)가 형성되어 있다.

광학적 반사부재(12)에 형성된 걸어맞춤홈(120a),(120b)과, 외팔보(514)의 선단부분에 형성된 돌기(516a),(516b)를 이상과 같은 형상으로 함으로써, 상기 각 돌기(516a),(516b)의 각각이 대응하는 걸어맞춤홈(120a),(120b)에 끼워지기 쉽게 된다.

또한, 상기 광학적 반사부재(12)의 위치결정이 완료된 시점에서는, 페룰(26)과 슬리브(22)는 접착고정되어 있지 않다. 따라서, 다음에 페룰(26)과 슬리브(22)의 접착방법을 도 17∼도 19를 사용해서 설명한다. 도 17∼도 19는, 페룰을 복수의 관통구멍이 형성된 슬리브에 장착하기 위한 각 접착공정을 설명하기 위한 도면이다.

먼저, 도 17에 표시한 바와 같이, 페룰(26)의 측면에 자외선경화수지(261)가 도포된 상태에서, 상기 페룰(26)이 복수의 수지주입용 관통구멍(220)이 형성된 슬리브(22)내에 삽입된다. 또한, 자외선경화수지(261)는 페룰(26)의 긴쪽방향을 따라서 도포되어 있으며, 이 수지도포부분과 상기 복수의 관통구멍(220)이 어긋나도록, 상기페룰(26)이 슬리브(22)내에 삽입된다. 또, 슬리브(22)에 형성된 복수의 관통구멍(220)은, 상기슬리브(22)의 긴쪽방향을 따라서 각각 배열된 관통구멍(220a),(221a),(222a)의 짝과, 관통구멍(220b),(221b),(222b)의 짝과, 관통구멍(220c),(221c),(222c)의 짝으로 구성되어 있다.

계속해서, 광파이버(24)의 조심작업이 행하여지나, 이 조심작업은 소정의 장치를 이용해서 페룰(26)을 각각 직교하는 X축, Y축, Z축을 따라서 미세조정함으로써 행하여진다. 또한,이 작업에서는 페룰(26)의 회전조정(광파이버(24)의 광축을 중심으로 페룰을 회전시킴)을 행하여도 된다. 이것은 본 발명에 관한 광수신모듈(100)이 회전타원체형상의 일부에 일치한 반사면을 가진 광학적반사부재(12)를 구비하고 있으므로, 광파이버(24)의 단부면의 각도변화는, 이 광파이버(24)와 수광소자(6)와의 광결합효율에의 영향이 어렵기 때문이다.

이상과 같이 조심작업이 완료되면, 삽입된 페룰(26)과 슬리브(22)와의 틈새에 자외선을 조사해서, 페룰(26)의 측면과 슬리브(22)의 내벽에 존재하는 자외선경화수지(261)를 경화시킴으로써, 상기 페룰(26)과 슬리브(22)을 임시고정한다.

다음에, 도 18에 표시한 바와 같이, 슬리브(22)에 형성된 복수의 관통구멍 중 관통구멍(221a),(221b),(221c)의 각각에 2액혼합형(수지+경화재)의 에폭시수지(225)를 주입하고, 상온에서 상기 2액혼합형 에폭시수지(225)를 경화시킨다.

또, 도 19에 표시한 바와 같이, 슬리브(22)에 형성된 복수의 관통구멍중 관통구멍(220a),(220b),(220c)와, 관통구멍(222a),(222b).(222c)의 각각에 1액형의 에폭시수지(226)를 주입하고, 약 90°정도까지 가열함으로써 상기 1액형 에폭시수지(226)를 경화시킨다.

이상과 같이, 이 실시예에서는 3종류의 접착재료를 이용해서 페룰(26)과 슬리브(22)와의 접착을 행하고 있으나, 일반적으로, 1액형 에폭시수지쪽이 접착신뢰성은 높다. 그러나, 자외선경화수지와 1액형에폭시수지만으로는, 이 1액형 에폭시수지의 열경화시에, 임시고정을 위하여 먼저 경화된 자외선경화수지의 일부가 연화해버려, 이미 조심작업이 종료해있는 페롤(26)의 위치편차가 발생할 가능성이 있다. 따라서, 이 실시예에서는, 먼저 2액혼합형 에폭시수지를 상온경화시킴으로써 페룰(26)의 고정위치를 결정한 후에, 신뢰성이 있는 1액형 에폭시수지를 경화시킨다. 이에 의해, 임지고정용의 자외선 경화수지가 만약 연화했다해도, 2액혼합형 애폭시수지의 작용에 의해 페룰(26)의위치어긋남은 방지할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명의 광모듈은, 회전타원체의 형상에 맞춘 반사면을 가진 광학적 반사부재를 가지고, 한쪽의 초점에 광파이버의 광출사단부면을 일치시키고, 다른쪽의 초점에 수광소자의 수광면을 일치시키도록 상기 광학적반사부재를 설치함으로, 광파이버의 광출사단부면으로부터 출사하는 신호광속의 방향이 달라져도, 항상 수광소자의 수광면에 도달시킬 수 있다. 이 결과, 본질적으로 조심정밀도가 뛰어나 있고, 조심조정이 용이하고, 광파이버의 회전각의 조정이 불필요하고, 또한 부품점수를 저감할 수 있고, 실장코스트 및 조정코스트의 삭감을 도모할 수 있는 등 뛰어난 효과를 발휘하는 광모듈을 제공할 수 있다.

또, 상기 광학적반사부재에는, 1 또는 2 이상의 걸어맞춤홈이 형성되어 있으므로, 상기 광학적반사부재의 취급이 용이해지는 동시에, 상기 광학적반사부재의 위치결정도 고정밀도로 행할 수 있다.

또, 광파이버의 선단부에 장착된 페룰과 슬리브는, 서로 다른 3종류의 접착제를 이용해서 접착고정되므로, 접착작업중의 페룰의 위치어긋남을 효과적으로 방지할 수 있다.

Claims

반도체소자를 수납하는 동시에, 상기 반도체소자를 탑재하는 탑재면을 가진 하우징과,

상기 하우징의 측벽으로부터 소정방향으로 뻗고, 광파이버의 선단부에 장착된 페룰을 수납한 상태에서 지지하는 슬리브와,

상기 하우징에 수납되는 동시에, 곡면형상의 반사면을 가지고 상기 광파이버와 상기 반도체소자를 광학적으로 결합하는 광학적반사부재를 구비한 것을 특징으로 하는광모듈.
제 1 항에 있어서, 상기 광학적반사부재의 반사면은, 가상적으로 정의되는 회전타원체의 측면의 일부형상에 일치하는 오목면형상을 포함한 것을 특징으로 하는 광모듈.
제 2 항에 있어서, 상기 광학적반사부재는, 상기 반사면에 일치한 측면을 가진 회전타원체의 제 1 초점에 상기 반사면과 맞대향한 상기 광파이버에 있어서의 코어단부면이 일치하는 동시에, 상기 회전타원체의 상기 제 1 초점과는 다른 제 2 초점에 상기 반도체소자의 상기 반사면과 맞대향한 상면이 일치하도록, 상기 하우징내의 소정위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 광모듈.
제 3 항에 있어서, 상기 코어단부면을 포함한 상기 광파이버의 단부면은, 상기 광파이버의 광축에 대해서 소정각도경사해 있는 것을 특징으로 하는 광모듈.
제 1 항에 있어서, 상기 광학적반사부재는, 수지성형부재이고, 그리고, 상기 광학적반사부재의 반사면은, 금속재료에 의해 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 광모듈.
제 1 항에 있어서, 상기 광학적반사부재는, 유리성형부재이고, 그리고, 상기 광학적반사부재의 반사면은, 금속재료에 의해 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 광모듈.
제 1 항에 있어서, 상기 광학적반사부재는, 금속재를 절삭가공함으로써 형성된 금속부재인 것을 특징으로 하는 광모듈.
제 7 항에 있어서, 상기 광학적 반사부재의 반사면은, 금속재료에 의해 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 광모듈.
제 1 항에 있어서, 상기 하우징의 슬리브에는, 이 슬리브가 뻗는 방향을 따라서 복수의 관통구멍이 형성되어 있고, 그리고, 상기 관통구멍이 형성되어 있지 않는 상기 슬리브의 내벽과 상기 페룰의 측면이 자외선경화수지에 의해 접착되고, 상기 관통구멍중 일부의 관통구멍으로부터 노출되어 있는 상기 페룰의 측면과 상기 슬리브는 2액혼합형 에폭시수지에 의해 접착되고, 그리고, 상기 관통구멍중 나머지의 관통구멍으로부터 노출되어 있는 상기 페룰의 측면과 상기 슬리브는 1액형에폭시수지에 의해 접착된 상태에서, 상기 페룰은 상기 슬리브내에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 광모듈.
제 1 항 기재의 광모듈의 일부를 구성하는 동시에, 상기 곡면형상의 반사면을 가진 광학적반사부재가,

상기 하우징의 탑재면과 맞대향해야 할 하면과,

상기 하면과 대향하는 상면과,

상기 상면으로부터 상기 하면을 향해서 뻗은 오목부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 광학적 반사부재.
제 10항에 있어서, 상기 오목부는, 상기 상면과 일치하는 당해 오목부의 개구의 면적보다도 당해 오목부의 바닥면의 면적이 작아지도록 테이퍼형상의 측면에 의해서 정의되는 것을 특징으로 하는 광학적반사부재.
제 10항에 있어서, 상기 하면이 상기 하우징의 탑재면으로부터 소정거리간이 되도록, 상기 하면으로부터 상기 탑재면을 향해서 뻗은 복수의 돌기를 또 구비한 것을 특징으로 하는 광학적반사부재.
제 10항에 있어서, 상기 광학적반사부재의 반사면은, 가상적으로 정의되는 회전타원체의 측면의 일부형상에 일치하는 오목면형상을 포함한 것을 특징으로 하는 광학적반사부재.
제 10항에 있어서, 상기 광학적반사부재는, 수지부재를 포함하고, 그리고, 상기 광학적반수부재의 반사면은, 금속재료에 의해 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 광학적반사부재.
제 10항에 있어서, 상기 광학적반사부재는, 유리성형부재를 포함하고, 그리고, 상기 광학적반사부재의 반사면은, 금속재료에 의해 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는광학적반사부재.
제 10항에 있어서, 상기 광학적반사부재는, 금속재를 절삭가공함으로써 형성된 금속부재인 것을 특징으로 하는 광학적반사부재.
제 16항에 있어서, 상기 광학적반사부재의 반사면은, 금속재료에 의해 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 광학적반사부재.
제 10항 기재의 광학적반사부재의 위치결정방법이, 상기 하우징의 슬리브내에, 상기 광파이버의 선단부에 장착된 페룰을 삽입하는 스텝과,

상기 광학적반사부재를, 상기 반사면에 의해 상기 반도체소자를 씌운 상태에서, 접착기능을 가진 수지가 부착된 상기 광학적반사부재의 소정부위가, 상기 수지를 개재해서 상기 하우징의 탑재면과 당접하도록, 상기 하우징내에 설치하는 스텝과, 그리고,

상기 광파이버로부터 출력되는 신호광강도를 모니터링하면서, 또는 상기 반도체소자로부터 출력되는 전기신호를 모니터링하면서, 상기 하우징과 상기 광학적 반사부재와의 상대적인 위치관계를 조절하는 스텝을 구비한 것을 특징으로 하는 광학적반사부재의 위치결정방법.
제 18항에 있어서, 상기 페룰의 선단부에는, 상기 페룰을 상기 하우징의 슬리브내의 소정위치에 설치하기 위한 보조부재가 장착되는 것을 특징으로 하는 광학적반사부재의 위치결정방법.
제 10항 기재의 광학적반사부재의 위치결정장치가,

상기 하우징을 소정위치에 설치하는 지지대와,

상기 하우징의 슬리부내에 삽입되어야 할, 상기 광파이버의 선단부에 장착된 페룰을 지지하는 지지기구와,

상기 광학적반사부재를 상기 하우징의 탑재면 억누르는 동시에, 상기 광학적반사부재와의 상대적인 위치관계를 고정하는 구조를 가진 고정부재와,

상기 하우징과 상기 광학적부재와의 상대적인 위치관계를 조절하는 구동기구를구비하고, 그리고,

상기 광학적반사부재는, 상기반사면에 의해 상기 반도체소자를 씌운 상태에서, 접착기능을 가진 수지가 부착된 상기 광학적 반사부재의 소정부위가, 상기 수지를 개재해서 상기 하우징의 탑재면과 당접하도록, 상기 하우징내에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 광학적반사부재의 위치결정장치.
제 20항에 있어서, 상기 구동기구는, 상기 하우징이 탑재된 지지대를, 상기 광학적반사부재 및 상기 고정부재에 대해서 상기 하우징을 제 1의 기준축을 따라서 상대적으로 이동시키는 X스테이지와,

상기 하우징의 탑재된 지지대를, 상기 광학적 반사부재 및 상기 고정부재에 대해서, 상기 하우징을 상기 제 1의 기준축과 직교하는 제 2의 기준축을 따라서 상대적으로이동시키는 Y스테이지와,

상기 하우징이 탑재된 지지대를 상기 광학적반사부재 및 상기 고정부재에 대해서, 상기 하우징을 상기 제 1 및 제 2 의 기준축과 직교하는 제 3의 기준축을 중심으로 상대적으로 회전시키는 θ스테이지를 구비한 것을 특징으로 하는 광학적반사부재의 위치결정장치.
제 20항에 있어서, 상기 고정부재의 선단부에는, 상기 광학적반사부재의 상면에 형성된 오목부에 삽입되어야 할 돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광학적반사부재의 위치결정장치.
제 22항에 있어서, 상기 고정부재의 돌기는 테이퍼형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학적반사부재의 위치결정장치.
제 1항 기재의 광모듈의 제조방법이, 측면의 소정부위에 자외선경화수지가 도포된 상기 페룰을, 복수의 관통구멍이 형성된 상기 하우징의 슬리브내에 삽입하고, 상기 페룰의 측면과 상기 슬리브의 내벽과의 틈새에 자외선을 조사함으로서, 상기 관통구멍이 형성되어 있지 않는 상기 슬리브의 내벽과 상기 페룰의 측면을 접착하는 제1 공정과,

상기 슬리브의 관통구멍중 일부의 관통구멍에 2액혼합형 에폭시수지를 주입하는 동시에 상기 슬리브의 관통구멍중 나머지의 관통구멍에 1액형 에폭시수지를 주입하고, 상온에서 상기2액혼합형 에폭시수지를 경화시킴으로써, 상기 일부의 관통구멍으로부터 노출되어 있는 상기 페룰의 측면과 상기 슬리브를 접착하는 제 2 공정과 그리고,

상기 나머지의 관통구멍에 주입된 1액형 에폭시수지를 가열하여, 상기 1액형 에폭시수지를 경화시킴으로써, 상기 나머지의 관통구멍으로부터 노출되어 있는 상기 페룰의 측면과 상기 슬리브를 접착하는 제 3 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 광모듈의 제조방법.