KR102729070B1 - 케미컬 샘플링 장치 - Google Patents

Abstract

실시예는, 용기의 뚜껑을 분리하는 뚜껑 착탈부; 및 상기 용기에 케미컬을 충전하는 케미컬 충전부를 포함하고, 상기 케미컬 충전부는, 복수 개의 샘플링 라인에 남아있는 잔류 케미컬이 배출되는 드레인 모듈; 및 상기 복수 개의 샘플링 라인을 각각 독립적으로 이동시키는 복수 개의 샘플링 구동 모듈을 포함하고, 상기 복수 개의 샘플링 구동 모듈은 상기 복수 개의 샘플링 라인을 상기 드레인 모듈 또는 상기 용기의 상부로 이동시키는 케미컬 샘플링 장치를 개시한다.

Description

케미컬 샘플링 장치{CHEMICAL SAMPLING APPARATUS}

실시예는 케미컬 샘플링 장치에 관한 것이다.

인체에 유해한 케미컬을 취급하는 회사, 예를 들어 반도체, LCD, OLED, 의약품 등을 제조하는 회사나 페인트 회사와 같이 케미컬을 제조하는 회사 등은 다양한 종류의 케미컬을 하나 또는 복수의 단위 공정에 사용하고 있다.

일반적으로, 케미컬은 탱크로리 등을 통해 메인 저장탱크에 공급되고, 메인 저장탱크에 저장된 케미컬 일부가 복수의 서브 저장탱크에 나누어 저장됨으로써, 하나의 단위 공정에 순차적으로 공급되거나 복수의 단위 공정에 개별적으로 공급될 수 있다.

다른 예로, 케미컬이 소량이거나 케미컬 자체 특성상 탱크로리를 사용할 수 없는 경우라면 드럼(drum), 용기(bottle) 등을 통해 서브 저장탱크에 직접 공급될 수도 있다.

만약 탱크로리, 드럼, 용기, 저장탱크, 배관 등에서 케미컬이 오염되면 이를 공급받는 단위 공정에서 불량이 야기될 수 있다.

따라서, 케미컬 오염도는 탱크로리, 드럼, 용기, 저장탱크, 배관 등 주요 위치마다 적정 수준으로 관리될 필요가 있고, 이에 따라 주요 위치의 케미컬을 샘플링 할 수 있는 샘플링 장치가 개발되었다.

종래의 샘플링 장치는 샘플링 부스, 복수의 주요 위치에 각각 연결되어 샘플링 부스에 수납된 샘플링 용기에 케미컬을 공급하는 복수의 샘플링 라인, 및 복수의 샘플링 라인에 각각 설치된 밸브를 포함하였다.

작업자는 종래의 샘플링 장치를 사용하여 다음과 같이 샘플링 작업을 수행할 수 있었다.

예를 들어, 작업자는 직접 샘플링 용기의 뚜껑을 열어 샘플링 용기를 샘플링 부스에 넣고, 샘플링 하고자 하는 주요 위치에 연결된 샘플링 라인의 밸브를 조작하여 샘플링 용기에 케미컬을 채우고, 케미컬이 채워진 샘플링 용기를 샘플링 부스에서 수거한 후에는 직접 샘플링 용기의 뚜껑을 닫아 케미컬 오염도 분석 장소로 운반하였다.

이와 같이, 샘플링 작업의 대부분은 작업자의 수작업에 의해 이루어지는 것이 일반적이었다.

따라서, 샘플링 작업 중 작업자의 부주의 등으로 인해 케미컬 오염이 발생할 가능성이 높은 문제가 있었고, 작업자가 케미컬에 노출될 가능성이 높은 문제도 있었다.

이러한 문제들은 작업자가 직접 샘플링 용기의 뚜껑을 열고 닫는 과정에서 발생할 가능성이 특히 높다.

한편, 샘플링 작업 중 케미컬 오염이 발생하는 경우, 케미컬 오염도 분석 작업의 결과에 대한 신뢰성을 떨어뜨릴 수 있다. 또한, 작업자 보호를 위해, 최고 보호 등급의 안전장구를 준비, 착용 및 탈의하여야 하는 번거로움이 발생할 수 있다.

실시예는 수작업으로 이루어지던 샘플링 공정을 자동화하는 케미컬 샘플링 장치를 제공한다.

실시예에서 해결하고자 하는 과제는 이에 한정되는 것은 아니며, 아래에서 설명하는 과제의 해결수단이나 실시 형태로부터 파악될 수 있는 목적이나 효과도 포함된다고 할 것이다.

본 발명의 일 특징에 따른 케미컬 샘플링 장치는, 용기의 뚜껑을 분리하는 뚜껑 착탈부; 및 상기 용기에 케미컬을 충전하는 케미컬 충전부를 포함하고, 상기 케미컬 충전부는, 복수 개의 샘플링 라인에 남아있는 잔류 케미컬이 배출되는 드레인 모듈; 및 상기 복수 개의 샘플링 라인을 각각 독립적으로 이동시키는 복수 개의 샘플링 구동 모듈을 포함하고, 상기 복수 개의 샘플링 구동 모듈은 상기 복수 개의 샘플링 라인을 상기 드레인 모듈 또는 상기 용기의 상부로 이동시킨다.

상기 복수 개의 샘플링 구동 모듈 중에서 샘플링 작업이 수행될 샘플링 라인에 결합된 샘플링 구동 모듈만이 선택적으로 구동하여 상기 샘플링 라인을 상기 드레인 모듈에서 상기 용기의 상부로 이동시키고, 나머지 샘플링 구동 모듈은 동작하지 않을 수 있다.

상기 복수 개의 샘플링 구동 모듈은, 상기 샘플링 라인을 상기 드레인 모듈의 상부에서 상기 용기의 상부로 수평 이동시키는 수평 이동 모듈을 포함할 수 있다.

상기 복수 개의 샘플링 구동 모듈은, 상기 샘플링 라인을 수직 이동시키는 수직 이동 모듈을 포함할 수 있다.

상기 드레인 모듈은 상기 복수 개의 샘플링 라인과 각각 대응되는 복수 개의 배출구를 포함할 수 있다.

상기 복수 개의 배출구는 상기 드레인 모듈에 형성된 차단벽에 의해 각각 독립적으로 구획될 수 있다.

상기 드레인 모듈은 상기 복수 개의 배출구에 개별적으로 연결되는 복수 개의 케미컬 배출 라인을 포함하고, 상기 복수 개의 배출구로 각각 배출된 케미컬은 상기 복수 개의 케미컬 배출 라인을 통해 각각 개별적으로 외부로 배출될 수 있다.

상기 드레인 모듈은 상기 복수 개의 배출구에 개별적으로 연결되는 복수 개의 세척수 공급 라인 및 가스 공급 라인을 포함하고, 상기 복수 개의 배출구 또는 상기 샘플링 라인은 각각 독립적으로 세척 및 건조될 수 있다.

상기 복수 개의 샘플링 라인은 샘플링이 수행될 케미컬이 저장된 약품 탱크의 배관과 각각 연결되고, 상기 약품 탱크의 배관과 상기 샘플링 라인 사이에는 상기 드레인 모듈을 우회하여 케미컬을 배출하는 바이패스 라인이 형성될 수 있다.

상기 샘플링 라인의 직경은 상기 바이패스 라인의 직경보다 작을 수 있다.

상기 케미컬 충전부는, 상기 용기를 이동시키는 운송부; 및 상기 운송부가 슬라이딩하는 레일부를 포함하고, 상기 운송부는 상기 복수 개의 샘플링 라인 중에서 샘플링이 수행될 샘플링 라인의 하부에 정지하고, 상기 샘플링이 수행될 샘플링 라인의 하부에 배치된 용기의 상단 높이는 상기 드레인의 상단 높이와 대응될 수 있다.

본 발명의 다른 특징에 따른 샘플링 장치는, 용기의 뚜껑을 분리하는 뚜껑 착탈부; 및 상기 용기에 케미컬을 충전하는 케미컬 충전부를 포함하고, 상기 케미컬 충전부는, 샘플링 라인에 남아있는 잔류 케미컬이 배출되는 드레인 모듈; 및 상기 샘플링 라인을 이동시키는 샘플링 구동 모듈을 포함하고, 상기 샘플링 구동 모듈은 상기 샘플링 라인을 상기 드레인 모듈 또는 상기 용기의 상부로 이동시킨다.

실시예에 따르면, 샘플링 공정의 대부분 작업을 자동화할 수 있어, 샘플링 작업 중 케미컬 오염을 방지할 수 있고, 작업자가 케미컬에 노출될 위험을 줄일 수 있다.

또한, 용기를 투입하는 공간과 용기를 수거하는 공간이 분리되어 있어 용기의 오염을 줄일 수 있으며, 작업자가 용기를 투입하거나 수거할 때 혼동을 줄일 수 있다.

또한, 드레인 모듈의 내부 구성이 분리되어 다른 케미컬에 의한 오염을 줄일 수 있다.

또한, 샘플링 용기와 뚜껑을 파지, 이송, 회전시키는 수단과, 노즐을 이송하는 수단을 구비함으로써 샘플링 용기로부터 뚜껑을 분리하거나 뚜껑을 용기에 재결합시키는 공정을 간편하게 자동화할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 저장 설비를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시에에 따른 케미컬 샘플링 장치를 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 투입 영역을 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 수납부를 보여주는 도면이다.
도 6은 도 5의 A-A 방향 단면도이다.
도 7은 제1 수납부의 용기가 고정된 상태를 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 픽업 모듈이 용기를 파지한 상태를 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 픽업 모듈의 구성을 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 픽업 모듈이 용기를 픽업한 상태를 보여주는 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업부의 구성을 보여주는 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업부에 용기가 거치된 상태를 보여주는 도면이다.
도 13은 용기를 센싱하는 과정을 보여주는 도면이다.
도 14a는 본 발명의 일 실시예에 따른 센싱부의 구성을 보여주는 도면이다.
도 14b는 라벨 출력 장치에 의해 라벨이 자동으로 용기에 부착되는 상태를 보여주는 도면이다.
도 14c는 라벨이 부착된 용기를 보여주는 도면이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 픽업 모듈이 회전한 상태를 보여주는 도면이다.
도 16a 내지 도 16c는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 개폐부에 의해 제1 도어가 개폐되는 상태를 보여주는 도면이다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 픽업 모듈이 용기를 작업 영역으로 전달한 상태를 보여주는 도면이다.
도 18은 도 17의 일부 확대도이다.
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 뚜껑 착탈부 및 케미컬 충전부를 보여주는 사시도이다.
도 20은 본 발명의 일 실시예에 따른 뚜껑 착탈부 및 케미컬 충전부를 보여주는 정면도이다.
도 21은 본 발명의 일 실시예에 따른 뚜껑 착탈부를 보여주는 도면이다.
도 22는 본 발명의 일 실시예에 따른 뚜껑 착탈부의 단면도이다.
도 23은 본 발명의 일 실시예에 따른 뚜껑 착탈부의 고정모듈이 용기의 측면을 고정한 상태를 보여주는 도면이다.
도 24는 본 발명의 일 실시예에 따른 뚜껑 착탈부가 용기의 뚜껑을 분리하는 상태를 보여주는 도면이다.
도 25는 뚜껑이 분리된 용기가 케미컬 충전부로 이동하는 상태를 보여주는 도면이다.
도 26은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 충전부의 사시도이다.
도 27은 도 26의 정면도이다.
도 28a 내지 도 28d는 샘플링 노즐에 잔류하는 케미컬을 배출한 후 용기에 케미컬을 충전하는 과정을 보여주는 도면이다.
도 29a는 본 발명의 일 실시예에 따른 드레인 모듈을 보여주는 도면이다.
도 29b는 샘플링 라인의 끝단이 세척되는 상태를 보여주는 도면이다.
도 30은 드레인 모듈과 연결된 배관 시스템을 보여주는 도면이다.
도 31은 용기에 케미컬이 충전된 상태를 보여주는 도면이다.
도 32는 용기가 뚜껑 착탈부의 하부로 다시 배치된 상태를 보여주는 도면이다.
도 33은 용기에 뚜껑이 결합되는 상태를 보여주는 도면이다.
도 34는 뚜껑이 결합된 용기가 작업 영역에서 이탈하는 상태를 보여주는 도면이다.
도 35는 본 발명의 일 실시예에 따른 배출 영역을 보여주는 도면이다.
도 36은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 픽업 모듈이 회전하여 작업 영역에 배치된 용기를 픽업하는 상태를 보여주는 도면이다.
도 37은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 픽업 모듈의 픽업부에 용기가 거치된 상태를 보여주는 도면이다.
도 38은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 픽업 모듈이 용기를 들어올려 운송부에서 분리한 상태를 보여주는 도면이다.
도 39는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 픽업 모듈이 제2 수납부를 향해 회전한 상태를 보여주는 도면이다.
도 40은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 픽업 모듈이 용기를 제2 수납부로 이동시킨 상태를 보여주는 도면이다.
도 41은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 픽업 모듈이 원위치로 복귀한 상태를 보여주는 도면이다.
도 42는 용기가 제2 수납부에 수납된 상태를 보여주는 도면이다.
도 43은 작업자가 용기를 수거할 수 있도록 상단 가이드가 상승하는 상태를 보여주는 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

다만, 본 발명의 기술사상은 설명되는 일부 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술사상 범위 내에서라면, 실시예들간 그 구성요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다.

또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 예를 들어, 실시예의 설명을 위해 사용된 “샘플링 용기”은 액상, 고상, 기상 등의 물질을 담아 보관하거나 이동하기 위한 용기를 의미할 수 있다. 따라서, 본 실시예에 기재된 용어에 의해 권리범위가 축소되어서는 안 된다.

본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, “A 및(와) B, C 중 적어도 하나(또는 한 개 이상)”로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예의 구성요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다.

이러한 용어는 그 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다.

그리고, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우뿐만 아니라, 그 구성요소와 그 다른 구성요소 사이에 있는 또 다른 구성요소로 인해 '연결', '결합' 또는 '접속' 되는 경우도 포함할 수 있다.

또한, 각 구성요소의 “상(위) 또는 하(아래)”에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두 개의 구성요소들이 서로 직접 접촉되는 경우뿐만 아니라 하나 이상의 또 다른 구성요소가 두 개의 구성요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한, “상(위) 또는 하(아래)”으로 표현되는 경우 하나의 구성요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 저장 설비를 보여주는 도면이다.

도 1을 참조하면, 케미컬 저장 설비(1)는 ACQC 유닛(2), 제1 케미컬 저장탱크(3), 케미컬 분배장치(4) 및 복수의 제2 케미컬 저장탱크(5, 6)를 포함할 수 있다.

ACQC 유닛(Automatic Clean Quick Coupler Unit)(2)은 탱크로리로부터 공급받은 케미컬을 제1 케미컬 저장탱크(3)에 전달할 수 있다. 케미컬 분배장치(4)는 제1 케미컬 저장탱크(3)에 저장된 케미컬 중 일부를 복수의 제2 케미컬 저장탱크(5, 6)에 나누어 공급할 수 있다.

케미컬 샘플링 장치(41)는 복수의 샘플링 라인(L1, L2, L3)을 통해 복수의 케미컬 저장탱크(3, 5, 6)에 연결될 수 있다.

본 실시예에서, 샘플링 라인(L1, L2, L3)은 케미컬 저장탱크에 연결되는 것으로 설명하고 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 탱크로리, 드럼, 용기, 저장탱크, 배관 등과 같이 케미컬을 공급, 저장 또는 이송하는 모든 종류의 케미컬 공급원에 연결될 수도 있다.

또한, 샘플링 라인(L1, L2, L3)은 3개로 도시되어 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 케미컬 저장탱크의 수에 따라 1개, 2개 또는 4개 이상일 수도 있다.

또한, 샘플링 라인(L1, L2, L3)은 서로 다른 탱크에 저장된 동일한 종류의 케미컬을 샘플링할 수도 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 서로 다른 종류의 다수의 약품을 샘플링할 수도 있다. 예시적으로 제1 샘플링 라인(L1)은 제1 케미컬을 샘플링하고, 제2 샘플링 라인(L2)은 제1 케미컬과 다른 종류의 케미컬을 샘플링할 수도 있다.

복수의 샘플링 라인(L1, L2, L3) 각각에는 개폐밸브(V) 및 펌프(P)가 설치될 수 있다.

펌프(P)는 샘플링 라인(L1, L2, L3)을 통해 케미컬을 이송하기 위한 것으로, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 케미컬 공급원에 기체, 예를 들어 질소 또는 공기를 공급함으로써 케미컬 공급원의 케미컬이 샘플링 라인(L1, L2, L3)을 통해 이송되게 하는 기체 공급장치를 포함할 수도 있다.

케미컬 샘플링 장치(41)를 구성하는 케이스(42)는 케미컬 분배장치(4)에 배치될 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 제어부(7)는 케미컬 샘플링 장치를 제어하는 하위 제어모듈일 수도 있고, 시스템 전체를 제어하는 통합 관제모듈일 수도 있다.

제어부(7)는 케미컬 샘플링 장치와 연결된 약품 탱크에 케미컬이 투입된다는 신호를 수신하면 케미컬 샘플링 장치(41)가 해당 약품 탱크에 투입되는 케미컬을 샘플링하도록 제어할 수 있다. 투입 신호는 각 탱크에 설치된 감지 센서 또는 ACQC를 통해 전달 받을 수 있다.

예시적으로 탱크로리 차량이 입차하여 제1 케미컬 저장탱크(3)에 약품이 주입되거나 복수의 제2 케미컬 저장탱크(5, 6)에 약품이 투입될 때마다 자동으로 샘플링을 수행하도록 제어할 수 있다. 또는 신규 탱크에 약품이 투입될 때마다 자동으로 샘플링을 수행할 수 있다. 이러한 구성에 의하면 이벤트가 발생할 때마다 샘플링을 수행함으로써 케미컬의 오염에 따른 위험을 사전에 차단할 수 있는 장점이 있다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 약품 저장 탱크에 케미컬을 투입하는 공정과 무관한 장비도 샘플링 장치와 연결되어 샘플링할 수도 있다. 예시적으로 약품 용기에서 사용처로 직접 약품을 이송하는 경우에도 샘플링 장치와 연결되어 사용처로 이송하는 약품을 샘플링할 수도 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시에에 따른 케미컬 샘플링 장치를 보여주는 도면이다. 도 3은 도 2의 평면도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 케미컬 샘플링 장치는 복수 개의 용기(10)가 투입되는 투입 영역(P1), 용기(10)에 케미컬이 충전되는 작업 영역(P2), 및 케미컬이 충전된 용기(10)가 수거되는 배출 영역(P3)을 포함할 수 있다.

또한, 케미컬 샘플링 장치는, 투입 영역(P1), 작업 영역(P2), 및 배출 영역(P3)을 수용하는 케이스(42), 케이스(42) 내부에 배치되어 투입 영역(P1)과 작업 영역(P2)을 구획하는 제1 격벽(43), 케이스(42) 내부에 배치되어 작업 영역(P2)과 배출 영역(P3)을 구획하는 제2 격벽(44)을 포함할 수 있다.

제1 개폐부(130)는 제1 격벽(43)에 배치되어 투입 영역(P1)과 작업 영역(P2)을 개방 또는 폐쇄할 수 있다. 또한, 제2 개폐부(430)는 제2 격벽(44)에 배치되어 배출 영역(P3)과 작업 영역(P2)을 개방 또는 폐쇄할 수 있다. 따라서, 제1 개폐부(130)와 제2 개폐부(430)에 의해 투입 영역(P1), 작업 영역(P2), 및 배출 영역(P3)은 선택적으로 개방 또는 폐쇄될 수 있다.

투입 영역(P1)은 케미컬을 샘플링할 빈 용기(10)가 수납되어 있는 영역으로, 제1 픽업 모듈(110)과 제1 수납부(120)가 배치될 수 있다. 제1 수납부(120)에는 복수 개의 용기(10)가 배치될 수 있으며, 제1 픽업 모듈(110)은 용기(10)를 픽업하여 작업 영역(P2)으로 전달할 수 있다. 작업자는 제1 윈도우(14)를 통해 용기(10)를 제1 수납부(120)에 투입할 수 있다.

작업 영역(P2)은 용기(10)에 케미컬을 충전하는 영역으로, 뚜껑 착탈부(200)와 케미컬 충전부(300)가 배치되어 있다. 작업 영역(P2)에서는 용기(10)에서 뚜껑(11)을 분리하는 공정, 샘플링 라인에 남아있는 케미컬을 미리 배출하는 공정, 용기(10)에 케미컬을 충전하는 공정, 및 용기(10)에 뚜껑(11)을 다시 체결하는 공정이 수행될 수 있다.

배출 영역(P3)은 케미컬이 충전된 용기(10)를 작업자가 수거할 수 있도록 보관하는 영역으로, 제2 픽업 모듈(410)과 제2 수납부(420)가 배치될 수 있다. 제2 수납부(420)에는 케미컬이 충전된 용기(10)가 배치될 수 있으며, 작업자는 제2 윈도우(15)를 통해 용기(10)를 수거할 수 있다.

케미컬은 유독성 화학 약품이므로 외부에 노출되는 경우 큰 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 투입 영역(P1), 작업 영역(P2), 및 배출 영역(P3)에는 각각 감지 센서(SA1, SA2, SA3)가 배치될 수 있다. 감지 센서(SA1, SA2, SA3)는 각 영역에서 케미컬 노출을 가장 먼저 센싱할 수 있는 지점에 배치될 수 있다. 예시적으로 감지 센서(SA1, SA2, SA3)는 바닥에 설치될 수 있으나 감지 센서의 설치 위치는 특별히 한정하지 않는다.

감지센서(SA1, SA2, SA3)는 케미컬을 감지 가능한 통상의 센서(예를 들어, 광센서, 적외선센서, 정전용량센서)가 사용될 수 있으며, 감지센서(SA1, SA2, SA3)의 종류 및 센싱 방식에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.

또한, 감지센서(SA1, SA2, SA3)에서 케미컬의 유출이 감지되면, 제어부(7)는 작업자에게 케미컬 유출 상황을 인지시킬 수 있는 경보신호를 발생시킬 수 있다.

여기서, 경보신호라 함은 통상의 음향수단에 의한 청각적 경보신호, 및 통상의 경고등에 의한 시각적 경보신호 중 적어도 하나를 포함할 수 있으며, 이외에도 작업자에게 케미컬 유출 상황을 인지시킬 수 있는 여타 다른 다양한 경보신호가 이용될 수 있다.

실시예에 따르면, 투입 영역(P1)과 배출 영역(P3)이 분리될 수 있다. 투입 위치와 배출 위치가 서로 다른 곳에 위치하므로 케미컬이 충전된 용기(10)에 의해 빈 용기(10)가 오염되는 문제를 개선할 수 있고, 작업자가 착오로 다른 용기(10)로 착각하는 위험도 줄일 수 있다.

또한, 작업자가 빈 용기의 수량을 한눈에 확인할 수 있으므로 용기를 미리 보충하기 용이하며, 작업자가 잔여 배출 공간을 한눈에 확인할 수 있어 샘플링이 완료된 용기를 빠르게 수거할 수 있는 장점이 있다.

또한, 작업 진행 및 배출 진행시 간섭 없이 빈 용기를 채우거나 수거할 수 있는 장점이 있다.

도면 상에서는 작업 영역(P2)을 사이에 두고 투입 영역(P1)과 배출 영역(P3)이 마주보게 배치된 것으로 도시하였으나 반드시 이에 한정하지 않는다. 작업 영역(P2)을 기준으로 투입 영역(P1)과 배출 영역(P3)은 마주보지 않게 배치될 수도 있다. 즉, 케미컬 샘플링 장치가 설치되는 환경에 따라 투입 영역(P1)과 배출 영역(P3)은 다양한 위치에 배치될 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 투입 영역을 보여주는 도면이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 수납부를 보여주는 도면이다. 도 6은 도 5의 A-A 방향 단면도이다.

도 4를 참조하면, 투입 영역(P1)은 복수 개의 용기(10)가 수납되는 제1 수납부(120), 및 복수 개의 용기(10) 중 어느 하나를 픽업하여 작업 영역(P2)으로 이송하는 제1 픽업 모듈(110)을 포함할 수 있다. 또한, 투입 영역(P1)은 작업 영역(P2)과 연결하는 제1 개폐부(130)를 포함할 수 있다.

제1 픽업 모듈(110)은 작업대(160) 상에 배치되어 제1 수납부(120)에 배치된 용기(10)를 픽업할 수 있다. 작업대(160)의 하부에는 용기의 식별 코드를 인식할 수 있는 센서(152)가 배치될 수 있다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 제1 수납부(120)는 복수 개의 용기(10)가 안착되는 이동부재(122), 이동부재(122)를 구동하는 제1 구동모듈(128), 용기(10)의 측면을 지지하는 한 쌍의 측면 지지부(123, 124), 및 용기(10)의 상면을 지지하는 상단 가이드부(125)를 포함할 수 있다.

이동부재(122)는 일 방향으로 연장된 컨베이어벨트일 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 복수 개의 용기(10)를 일 방향으로 이동시킬 수 있는 다양한 부재가 선택될 수 있다. 제1 구동모듈(128)은 컨베이어벨트를 회전시키는 모터를 포함할 수 있다.

한 쌍의 측면 지지부(123, 124)는 용기(10)의 측면을 안정적으로 지지할 수 있다. 이때, 제1 측면 가이드부(123)의 높이와 제2 측면 가이드부(124)의 높이는 서로 상이하게 형성될 수 있으나 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 동일 높이로 형성될 수도 있다.

실시예에 따르면, 제1 수납부(120)가 이동부재(122)를 따라 이동하는 용기(10)의 양 측면 및 상면을 안정적으로 지지하므로 용기(10)가 이동 중에 쓰러지거나 최초 위치에서 이탈하는 것을 방지할 수 있다.

도 7은 제1 수납부의 용기가 고정된 상태를 보여주는 도면이다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 픽업 모듈이 용기를 파지한 상태를 보여주는 도면이다. 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 픽업 모듈의 구성을 보여주는 도면이다. 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 픽업 모듈이 용기를 픽업한 상태를 보여주는 도면이다.

도 7을 참조하면, 복수 개의 이동부재(122) 중에서 제1 픽업 모듈(110)이 가장 가까이 배치된 용기(10)는 제1 그리퍼(127) 및 스토퍼(126)에 의해 고정될 수 있다. 이러한 구성에 의하면 제1 픽업 모듈(110)에 의해 용기(10)가 파지될 때 용기(10)가 넘어지거나 밀리는 것을 방지할 수 있다. 도 8을 참조하면, 제1 픽업 모듈(110)의 픽업부(112)가 연장되어 제1 그리퍼에 고정된 용기(10)를 파지할 수 있다.

도 9 및 도 10을 참조하면, 제1 픽업 모듈(110)은 몸체(111), 몸체(111)를 이동시키는 제1 구동부(114), 용기(10)를 픽업하는 픽업부(112), 및 픽업부(112)를 전후진시키는 제2 구동부(115)를 포함할 수 있다.

몸체(111)는 내부에 제2 구동부(115)가 삽입될 수 있는 크기를 가질 수 있다. 제2 구동부(115)는 연장부(117)의 길이를 조절하여 픽업부(112)를 전진 또는 후진시킬 수 있다. 제2 구동부(115) 및 연장부(117)는 길이 조절이 가능한 다양한 구조를 모두 포함할 수 있다.

이때, 몸체(111)의 외측으로 노출되는 연장부(117)는 커버(116)에 의해 외부와 차폐될 수 있다. 따라서, 케미컬의 흄이 연장부(117) 및 몸체(111)의 내부로 침투되는 것을 방지할 수 있다. 커버(116)는 직경이 상이한 복수 개의 원통형 부재를 포함할 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다. 커버(116)는 금속 성분을 차단할 수 있는 재질로 제작될 수 있다.

제1 구동부(114)는 투입 영역(P1)의 작업대(160)의 하부에 배치될 수 있다. 제1 구동부(114)는 몸체(111)에 연결된 회전축(113)을 승하강 및 회전시킬 수 있다. 제1 픽업 모듈(110)의 픽업부(112)는 제1 구동부(114)에 의해 축회전 및 승하강할 수 있고 제2 구동부(115)에 의해 전진 또는 후진할 수 있다.

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업부의 구성을 보여주는 도면이다. 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 픽업부에 용기가 거치된 상태를 보여주는 도면이다.

도 11 및 도 12를 참조하면, 픽업부(112)는 용기(10)가 삽입되는 한 쌍의 가이드부(112a, 112b), 및 한 쌍의 가이드부(112a, 112b)의 끝단과 연결된 라운드부(112c)를 포함할 수 있다.

한 쌍의 가이드부(112a, 112b)는 용기(10)가 삽입되는 방향으로 연장되어 용기(10)의 삽입을 가이드할 수 있으며 서로 마주보게 형성될 수 있다. 라운드부(112c)는 한 쌍의 가이드부(112a, 112b)의 일 끝단을 연결할 수 있다. 한 쌍의 가이드부(112a, 112b) 및 라운드부(112c)는 용기(10)가 거치되는 공간(112g)을 형성할 수 있다.

한 쌍의 가이드부(112a, 112b) 및 라운드부(112c)는 공간(112g)으로 돌출된 돌출부(112d) 및 돌출부(112d) 상에 형성된 안착홈(112e)을 포함할 수 있다. 용기(10)의 뚜껑(11)은 한 쌍의 가이드부(112a, 112b)에 형성된 돌출부(112d)를 따라 슬라이딩되다가 안착홈(112e)에 안착될 수 있다.

픽업부(112)는 용기(10)를 잡는 구조가 아니라 용기(10)가 끼워지는 구조이므로 안착홈(112e)이 없으면 제1 픽업 모듈(110)이 회전하는 과정에서 용기(10)가 픽업부(112)에서 떨어질 수 있다.

실시예에 따르면 용기(10)의 뚜껑(11)이 안착홈(112e)에 안정적으로 삽입되므로 제1 픽업 모듈(110)이 회전하여도 용기(10)를 안정적으로 파지할 수 있다. 그러나 픽업부(112)가 용기(10)의 양측면을 파지하는 로봇암 구조의 경우 안착홈(112e)과 같은 구성은 생략될 수도 있다.

픽업부(112)의 하부에는 용기(10)의 측면을 지지하는 측면 지지부(112f)가 형성될 수 있다. 측면 지지부(112f)는 용기(10)의 외주면과 동일한 곡률을 가짐으로써 용기(10)의 측면을 안정적으로 지지할 수 있다.

도 13은 용기를 센싱하는 과정을 보여주는 도면이다. 도 14a는 본 발명의 일 실시예에 따른 센싱부의 구성을 보여주는 도면이다.

도 13 및 도 14a를 참조하면, 제1 픽업 모듈(110)의 픽업부(112)는 용기(10)를 파지한 상태에서 승강하여 용기(10)를 작업대(160)의 상부로 이동시킬 수 있다. 작업대(160)에는 용기(10)의 식별 코드를 읽을 수 있는 센서(152)가 배치되고 센서(152)의 상부에는 투광기판이 배치될 수 있다.

센서(152)의 상부에는 광원(151)이 배치될 수 있다. 광원(151)은 용기(10)에 광을 조사하여 센서(152)가 용기(10)에 배치된 식별 정보를 획득할 수 있도록 할 수 있다. 광원은 LED일 수 있으나 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 다양한 광원이 적용될 수 있다. 또한, 용기의 재질 및 센서의 특징에 따라 광원의 위치를 변경될 수도 있다. 예시적으로 광원(151)은 용기의 하부에 배치될 수도 있다. 또는 필요에 따라 광원은 생략될 수도 있다

제1 픽업 모듈(110)은 복수 개의 용기(10) 중 어느 하나를 픽업하여 센서(152) 상에 위치시키고 용기의 하부에 형성된 식별 코드를 읽어 용기(10)의 정보를 획득할 수 있다. 이후 제1 픽업 모듈(110)은 작업 영역(P2)으로 용기(10)를 이송할 수 있다.

실시예에서는 용기(10)의 하부에 식별 코드가 배치된 것으로 설명하였으나 식별 코드의 위치는 특별히 한정하지 않는다. 식별 코드의 위치가 변경되면 센서(152) 역시 용기(10)의 식별 코드를 읽을 수 있는 적절한 위치에 배치될 수 있다.

식별 코드는 1차원 또는 2차원 코드일 수 있으나 특별히 한정하지 않는다. 예시적으로 식별 코드는 바코드 또는 QR 코드일 수 있다. 식별 코드에 저장된 정보는 용기의 고유 번호일 수 있다.

제어부는 용기의 고유 번호를 메모리에 저장하고 해당 용기에 충전되는 케미컬의 정보(약품명, 샘플링 일자, 작업자 고유 번호)를 작업 화면 상에 출력하거나 상위 PC로 전송할 수 있다.

도 14b는 라벨 출력 장치에 의해 라벨이 자동으로 용기에 부착되는 상태를 보여주는 도면이다. 도 14c는 라벨이 부착된 용기를 보여주는 도면이다.

도 14b를 참조하면, 작업자가 샘플링 장치와 연결된 인터페이스 장치(예: 컴퓨터, 작업 화면)를 통해 샘플링하고자 하는 케미컬을 선택하면 해당 정보가 라벨 출력 장치(50)로 전달될 수 있다. 따라서, 라벨 출력 장치(50)는 다양한 정보(용기의 고유 번호, 용기에 충전될 케미컬의 종류, 샘플링 일자, 및 샘플링을 신청한 작업자의 고유 번호)가 기입된 라벨지(51)를 출력할 수 있다.

출력된 라벨지(51)는 자동으로 용기(10)에 부착될 수 있다. 따라서 작업자는 샘플링 용기(10)에 대한 정보를 쉽게 확인할 수 있으므로 용기(10)를 혼동하는 위험이 방지될 수 있다.

라벨지(51)가 용기(10)에 부착되는 방법은 특별히 한정되지 않는다. 용기(10)가 이동하는 경로에 라벨지(51)가 출력되어 용기(10)에 부착될 수도 있고 별도의 로봇암이 설치되어 라벨지(51)를 용기(10)에 부착할 수도 있다. 또한, 라벨지를 부착하는 공지의 방법 및 구성이 제한 없이 적용될 수 있다.

라벨 출력 장치(50)는 투입 영역(P1)에 배치될 수도 있고 배출 영역(P3)에 배출될 수도 있다. 따라서, 투입 영역에서 라벨지(51)가 미리 부착되어 샘플링될 수도 있고, 샘플링이 완료된 후 배출 영역에서 라벨지(51)가 부착될 수도 있다.

도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 픽업 모듈이 회전한 상태를 보여주는 도면이다. 도 16a 내지 도 16c는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 개폐부에 의해 제1 도어가 개폐되는 상태를 보여주는 도면이다. 도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 픽업 모듈이 용기를 작업 영역으로 전달한 상태를 보여주는 도면이다. 도 18은 도 17의 일부 확대도이다.

도 15를 참조하면, 제1 픽업 모듈(110)은 회전하여 용기(10)를 작업 영역(P2) 방향으로 이동시키고, 제1 개폐부(130)는 제1 도어(131)를 개방할 수 있다. 따라서, 제1 픽업 모듈(110)은 제1 도어(131)를 통해 용기(10)를 작업 영역(P2)에 전달할 수 있다. 이때, 전술한 바와 같이 용기(10)는 픽업부(112)의 안착홈(112e)에 삽입되므로 안정적으로 지지될 수 있다.

도 16a 내지 도 16c를 참조하면, 제1 개폐부(130)는 제1 격벽(43)에 배치되는 제1 도어(131), 제1 도어(131)에 결합되는 제1 차단판(132), 및 제1 차단판(132)을 이동시키는 도어 구동부(133)를 포함할 수 있다.

제1 도어(131)는 제1 경사면(SF1)을 갖고, 제1 차단판(132)은 제1 경사면(SF1)과 결합하여 제1 도어(131)를 밀폐하는 제2 경사면(SF2)을 가질 수 있다. 제1 차단판(132)의 제2 경사면(SF2)에는 실링 패드(132a)가 배치될 수 있다. 따라서, 제1 차단판(132)이 슬라이딩되어 제1 도어(131)의 제1 경사면(SF1)과 밀착될 수 있다.

만약 제1 차단판(132)과 제1 도어(131)가 평면인 경우, 제1 차단판(132)이 슬라이딩되어도 제1 도어(131)와 사이에 틈이 발생될 수 있다. 그러나 실시예에 따르면, 제1 차단판(132)과 제1 도어(131)가 경사면을 가지므로 제1 차단판(132)이 제1 도어(131)를 향해 슬라이딩될수록 제1 도어(131)와 더욱 밀착될 수 있다. 따라서, 제1 차단판(132)과 제1 도어(131) 사이의 밀착력이 높아져 작업 영역(P2)의 흄(Fume)이 투입 영역(P1)으로 확산되는 것을 방지할 수 있다.

제1 개폐부(130)가 제1 도어(131)를 차폐하는 구성은 도 16c, 도 16b, 및 도 16a 순서로 진행되고, 제1 개폐부(130)가 도어를 개방하는 구성은 이의 역순으로 진행될 수 있다. 이때, 제어부는 투입 영역(P1) 및/또는 작업 영역(P2) 내의 흄 감지 결과 이상이 없는 경우에만 제1 도어(131)를 개방할 수 있다.

도 17 및 도 18을 참조하면, 제1 픽업 모듈(110)은 작업 영역(P2)의 내부에 배치된 운송부(20)에 용기(10)를 거치시킬 수 있다. 운송부(20)는 레일부 상에 배치되어 용기(10)를 작업 영역(P2) 내에서 이동시킬 수 있다.

도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 뚜껑 착탈부 및 케미컬 충전부를 보여주는 사시도이다. 도 20은 본 발명의 일 실시예에 따른 뚜껑 착탈부 및 케미컬 충전부를 보여주는 정면도이다. 도 21은 본 발명의 일 실시예에 따른 뚜껑 착탈부를 보여주는 도면이다.

도 19 및 도 20을 참조하면, 작업 영역(P2)은 뚜껑 착탈부(200), 케미컬 충전부(300), 및 운송부(20)를 이동시키는 레일부(30)를 포함할 수 있다. 용기(10)가 수납된 운송부(20)는 레일부(30)를 따라 뚜껑 착탈부(200)에서 케미컬 충전부(300) 방향 또는 그 역방향으로 이동할 수 있다.

뚜껑 착탈부(200)는 용기(10)에 결합된 뚜껑(11)을 분리하거나 다시 체결하는 역할을 수행할 수 있다. 케미컬 충전부(300)는 용기(10)에 케미컬을 충전하는 역할을 수행할 수 있다.

실시예에서는 뚜껑 착탈부(200)가 투입 영역(P1)에 더 가까이 배치된 것으로 도시되었으나 반드시 이에 한정하지 않는다. 예시적으로 케미컬 충전부(300)가 투입 영역(P1)에 더 가까이 배치될 수도 있다.

도 21을 참조하면, 뚜껑 착탈부(200)는 용기(10)의 상부에 배치되고, 용기(10)의 측면에는 제1, 제2 측면 지지부(280, 290)가 배치될 수 있다.

제1, 제2 측면 지지부(280, 290)는 뚜껑(11)을 용기(10)와 분리하기 위해 뚜껑 착탈부(200)가 뚜껑(11)을 회전시킬 때 용기(10)가 같이 회전하지 않도록 고정하는 역할을 수행할 수 있다. 제1, 제2 측면 지지부(280, 290)는 용기의 측면을 지지하는 지지부(281, 291) 및 지지부(281, 291)를 용기(10)에 가압하는 구동부(282, 292)를 포함할 수 있다.

뚜껑 착탈부(200)는 하강하여 뚜껑(11)을 회전시켜 용기(10)에서 분리하거나, 뚜껑(11)을 파지한 채로 하강하여 뚜껑(11)을 용기(10)에 결합시킬 수도 있다.

도 22는 본 발명의 일 실시예에 따른 뚜껑 착탈부의 단면도이다.

도 22를 참조하면, 뚜껑 착탈부(200)는 뚜껑에 결합하는 파지부(210), 파지부(210)를 회전시키는 회전부(220), 및 파지부(210)를 승강시키는 승강부(230)를 포함할 수 있다.

파지부(210)는 뚜껑을 파지할 수 있고, 이를 위해 복수의 그리퍼(212), 프레임(213), 및 플레이트부재(218)를 더 포함할 수도 있다.

복수의 그리퍼(212)는 뚜껑의 측면을 지지하도록 프레임(213)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.

프레임(213)은 피스톤(217)에 연결되어 상하 방향, 즉 Z 방향으로 이동할 수 있다. 프레임(213)과 복수의 그리퍼(212)는 연결 링크(미도시)에 의해 연결될 수 있다. 연결 링크(미도시)에 의해 프레임(213)의 상하 직선 운동은 그리퍼(212)의 회전 운동으로 변환될 수 있다.

따라서, 프레임(213)의 승강시 복수의 그리퍼(212)는 벌어져 뚜껑에서 분리되고 프레임(213)의 하강시에는 복수의 그리퍼(212)는 서로 가까워져 뚜껑을 파지할 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 프레임(213)의 하강시 복수의 그리퍼(212)는 서로 가까워지고, 프레임(213) 상승시 복수의 그리퍼(212)는 서로 멀어지도록 설계될 수도 있다.

플레이트부재(218)는 프레임(213)의 하부에 배치되어 상하 이동 가능하게 결합될 수 있다. 플레이트부재(218)는 탄성부재를 포함할 수 있다. 예를 들어, 탄성부재는 스프링일 수 있으나 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 마그네틱을 이용할 수도 있다.

플레이트부재(218)의 하면은 복수의 그리퍼(212)에 의해 파지된 뚜껑의 상면과 마주보게 배치될 수 있다. 따라서, 파지부(210)의 승강 시에 용기 또는 뚜껑과의 충돌에 따른 파손을 억제할 수 있을 뿐만 아니라, 용기가 일부 기울어진 상태에 있더라도 직립 상태로 변환시킬 수 있다.

프레임(213)을 승하강시키는 프레임 승강부는 실린더(216) 및 피스톤(217)을 포함할 수 있다. 피스톤(217)은 실린더(216)의 내부 공간(C1)에 배치되어 유체의 유입에 따라 상하로 이동할 수 있다.

피스톤(217)은 상부로 연장되어 유체가 주입되는 제1 로드(217a) 및 하부로 연장되어 프레임(213)과 연결되는 제2 로드(217b)를 포함할 수 있다.

실린더 홀더(240)는 실린더(216)의 내부 공간(C1)에 유체를 주입하는 유체 포트(241, 342)가 구비될 수 있다. 또한, 제1 로드(217a)에는 실린더 홀더(240)의 유체 포트(241, 342)와 연결되는 유체 통로(217a-1, 317a-2)가 형성될 수 있다.

예시적으로 제1 유체 통로(217a-1)로 유체가 주입되면 피스톤(217)의 하부 공간(R1)으로 유체가 토출되므로 피스톤(217)은 상승하게 된다. 이와 반대로 제2 유체 통로(217a-2)로 유체가 주입되면 피스톤(217)의 상부 공간(R2)에 유체가 주입되므로 피스톤(217)은 하강하게 된다. 이러한 구성에 의해 피스톤(217)을 승하강 시킴으로써 그리퍼(212)를 구동할 수 있다.

그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 피스톤(217)을 승하강시키는 구성은 다양하게 변형될 수 있다. 예시적으로 모터로 구성될 수도 있다. 또한, 그리퍼(212)를 이용하여 뚜껑을 파지하는 구조도 다양하게 변형될 수 있다.

실린더(216)는 회전부(220)의 회전축에 결합되어 회전할 수 있다. 실린더 홀더(240)는 회전하는 실린더(216)를 지지할 수 있다. 제1 체결부재(243)와 제2 체결부재(233)는 실린더 홀더(240)를 연결프레임(232)에 고정할 수 있다. 실린더(216)의 끝단은 실린더 홀더(240)에서 돌출되어 버퍼부(250)와 연결될 수 있다.

버퍼부(250)는, 일측에 공간부(C3)가 형성된 버퍼 하우징(251), 버퍼 하우징(251)의 일측을 덮는 버퍼 커버(254), 공간부(C3)의 내부에 배치되는 운동부재(252) 및 운동부재(252)와 버퍼 커버(254) 사이에 배치되는 탄성부재(253)를 포함할 수 있다.

버퍼 하우징(251)은 운동부재(252)가 삽입되는 공간부(C3)를 포함할 수 있다. 운동부재(252)는 버퍼 커버(254)에 의해 공간부(C3)의 내부에서 상하로 슬라이딩될 수 있다. 탄성부재(253)는 버퍼 커버(254)에 일단이 고정될 수 있다.

실린더(216)의 끝단이 운동부재(252)와 연결되므로 운동부재(252)는 파지부(210)의 무게에 의해 하강할 수 있다. 따라서, 탄성부재(253)는 운동부재(252)에 의해 가압되므로 상측으로 들어올리는 방향으로 탄성력을 가질 수 있다. 따라서, 탄성부재(253)에 의해 파지부(210)가 용기에 가하는 무게는 줄어들 수 있다. 그 결과 뚜껑이 용기에서 분리되면서 점차 상승할 때, 뚜껑의 상승력에 의해 파지부(210)가 상승할 수 있다.

또한, 뚜껑이 용기에 체결되면서 파지부(210)는 하강할 수 있다. 그러나, 버퍼부(250)의 구조는 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 파지부(210)의 무게를 제어할 수 있는 다양한 버퍼 구조가 적용될 수 있다.

버퍼 하우징(251)은 타측에 돌출되어 회전부(220)와 연결되는 돌출부(255)를 포함할 수 있다. 돌출부(255)는 연결모듈(221)에 의해 회전부(220)의 회전축과 연결될 수 있다.

파지부(210)의 실린더(216)는 운동부재(252)에 고정될 수 있다. 따라서, 회전부(220)의 회전시 버퍼부(250)와 파지부(210)는 함께 회전할 수 있다.

그러나, 뚜껑 착탈부의 구성은 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 용기의 뚜껑을 파지한 후 회전함으로써 뚜껑을 용기에서 분리할 수 있는 다양한 기구적 구조가 제한 없이 적용될 수 있다.

도 23은 본 발명의 일 실시예에 따른 뚜껑 착탈부의 고정모듈이 용기의 측면을 고정한 상태를 보여주는 도면이다. 도 24는 본 발명의 일 실시예에 따른 뚜껑 착탈부가 용기의 뚜껑을 분리하는 상태를 보여주는 도면이다. 도 25는 뚜껑이 분리된 용기가 케미컬 충전부로 이동하는 상태를 보여주는 도면이다.

도 23 및 도 24를 참조하면, 제1, 제2 측면 지지부(280, 290)가 용기(10)의 측면을 고정한 상태에서 뚜껑 착탈부(200)가 하강하여 파지부(210)가 뚜껑(11)을 파지할 수 있다. 이후 파지부(210)가 회전하면서 뚜껑(11)이 용기(10)에서 분리될 수 있다.

도 25를 참조하면, 뚜껑 착탈부(200)는 분리된 뚜껑(11)을 그대로 파지한 채로 상승하고 제1, 제2 측면 지지부(280, 290)는 측방으로 후퇴할 수 있다. 이후 운송부(20)는 레일부(30)를 따라 이동하여 케미컬 충전부(300)의 하부에 배치될 수 있다.

도 26은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 충전부(300)의 사시도이다. 도 27은 도 26의 정면도이다.

도 26 및 도 27을 참조하면, 케미컬 충전부(300)는 복수 개의 샘플링 라인(L1, L2)에 남아있는 잔류 케미컬이 배출되는 드레인 모듈(340), 및 복수 개의 샘플링 라인(L1, L2)을 이동시키는 복수 개의 샘플링 구동모듈(310)을 포함할 수 있다.

케미컬 충전부(300)는 용기(10)에 케미컬을 충전하기 전에 샘플링 라인(L1, L2)에 남아있는 잔류 케미컬을 배출할 수 있다. 샘플링 라인(L1, L2)에 잔존하는 케미컬은 일정 시간이 지나면 정체되어 침전물이 발생하거나 개방된 토출구를 통해 오염될 가능성이 높다. 또, 샘플링 라인(L1, L2)에 잔존하는 잔류 약품이 새로 샘플을 충전하는 약품에 대한 분석에 영향을 미칠 수 있다. 따라서, 배관 및 샘플링 라인(L1, L2)에 잔존하는 케미컬을 샘플링 전에 충분히 배출함으로써 탱크에 있는 케미컬의 오염도 및 성분을 정확하게 분석할 수 있다.

샘플링 라인(L1, L2)과 샘플링 구동모듈(310)의 개수는 특별히 한정하지 않는다. 샘플링 라인(L1, L2)과 샘플링 구동모듈(310)은 1개 또는 2개 이상일 수 있다. 이하에서는 예시적으로 샘플링 라인(L1, L2)과 샘플링 구동모듈(310)이 2개인 경우로 설명한다.

샘플링 구동모듈(310)은 샘플링 라인(L1, L2) 별로 각각 배치될 수 있으며, 각각의 샘플링 구동모듈(310)은 연결된 샘플링 라인(L1, L2)을 독립적으로 구동할 수 있다.

예시적으로 제1 샘플링 구동모듈(320)은 제1 샘플링 라인(L1, L2)을 독립적으로 이동시키고, 제2 샘플링 구동모듈(330)은 제2 샘플링 라인(L1, L2)을 독립적으로 이동시킬 수 있다.

어느 하나의 샘플링 라인에 잔존하는 케미컬을 배출하기 위해 모든 샘플링 라인이 드레인 모듈로 이동하는 구조의 경우, 배출되는 케미컬에 의해 나머지 샘플링 라인이 오염될 수 있다.

그러나, 실시예에 따르면 샘플링이 필요한 샘플링 라인만이 드레인 모듈(340)로 이동하여 잔류 케미컬을 배출하므로 나머지 샘플링 라인이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 만약 1개의 샘플링을 수행 중인 경우 1개의 샘플링 라인만이 잔류 케미컬을 배출할 수 있고, 3개의 샘플링을 수행 중이라면 3개의 샘플링 라인이 잔류 케미컬을 배출할 수 있다.

도 28a 내지 도 28d는 샘플링 노즐에 잔류하는 케미컬을 배출한 후 용기에 케미컬을 충전하는 과정을 보여주는 도면이다.

이하에서는 제2 샘플링 라인(L2) 및 제2 샘플링 구동 모듈(330)을 기준으로 설명하나 나머지 샘플링 라인 및 샘플링 구동 모듈도 동일한 구성을 가질 수 있다.

도 28a를 참조하면, 샘플링 구동 모듈(330)은 고정판(311) 상에 배치되는 수평 이동 모듈(331, 332) 및 수평 이동 모듈(331, 332) 상에 배치되는 수직 이동 모듈(333, 334)을 포함할 수 있다.

수평 이동 모듈(331, 332)은 고정판(311) 상에 배치되는 베이스부(331) 및 베이스부(331) 상에서 수평 방향으로 이동하는 제1 슬라이딩부(332)를 포함할 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 샘플링 라인을 수평 방향으로 이동시킬 수 있는 다양한 구조가 적용될 수 있다.

수직 이동 모듈(333, 334)은 제1 슬라이딩부(332) 상에 배치되는 지지 프레임(333), 및 지지 프레임(333)의 상하로 구동하는 제2 슬라이딩부(334)를 포함할 수 있다. 제2 슬라이딩부(334)에는 샘플링 라인을 고정하는 홀더(335)가 연결될 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 샘플링 라인을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 다양한 구조가 적용될 수 있다. 예시적으로 수직 방향과 수평 방향으로 동시에 이동할 수 있는 통합 구동 모듈도 가능하며 샘플링 라인을 기울일 수 있는 틸팅 모듈이 더 추가될 수도 있다.

샘플링 라인(L2)의 끝단에는 실링부(350)가 배치될 수 있다. 실링부(350)는 바닥면에 고무와 같은 탄성 재질로 구성된 탄성 부재(351)를 포함할 수 있다. 따라서, 샘플링 라인(L2)의 끝단부가 드레인 모듈(340)에 삽입될 때 실링부(350)는 드레인 모듈(340)에 밀착되어 잔류 케미컬이 비산되는 것을 방지할 수 있다. 탄성 부재(351)는 오링 또는 쿼드링(Quad Ring)일 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다.

도 28b를 참조하면, 잔류 케미컬의 배출이 완료되면 샘플링 구동 모듈의 수직 이동 모듈(333, 334)은 샘플링 라인(L2)을 상승시켜 샘플링 라인(L2)의 끝단부를 드레인 모듈(340)에서 이격시킬 수 있다.

도 28c를 참조하면, 샘플링 구동 모듈의 수평 이동 모듈(331, 332)은 드레인 모듈(340)에 인접 배치된 용기(10)의 상부로 샘플링 라인(L2)을 이동시킬 수 있다. 실시예에 따르면 레일부(30)를 따라 케미컬 충전부(300)로 이동한 운송부(20)는 드레인 모듈(340)과 인접 배치될 수 있다. 따라서, 샘플링 라인(L2)의 이동 거리가 최소화될 수 있다.

도 28d를 참조하면, 수직 이동 모듈(333, 334)은 샘플링 라인(L2)을 하강시켜 샘플링 라인(L2)을 용기(10)에 삽입할 수 있다. 이때, 실링부(350)가 용기(10)에 밀착되어 케미컬의 비산을 방지할 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 수직 이동 모듈(333, 334)은 샘플링 라인(L2)이 용기(10)에 삽입되기 전까지만 하강시킬 수도 있고, 샘플링 라인(L2)이 하강하는 대신 용기(10)가 상승할 수도 있다.

실시예에 따르면 용기(10)의 상단 높이와 드레인 모듈(340)의 상단 높이는 비슷(또는 동일)하게 배치될 수 있다. 따라서, 샘플링 라인(L2)의 수직 이동 거리가 최소화될 수 있다.

도 29a는 본 발명의 일 실시예에 따른 드레인 모듈을 보여주는 도면이다. 도 29a는 샘플링 라인의 끝단이 세척되는 상태를 보여주는 도면이다. 도 30은 드레인 모듈과 연결된 배관 시스템을 보여주는 도면이다. 도 31은 용기에 케미컬이 충전된 상태를 보여주는 도면이다.

도 29a 및 도 29b를 참조하면, 드레인 모듈(340)은 복수 개의 샘플링 라인(L2)에 대응되는 복수 개의 배출구(343)를 포함하고, 복수 개의 배출구(343)는 차단벽(345)에 의해 서로 분리될 수 있다. 따라서, 제1 샘플링 라인(L2)에서 배출되는 제1 케미컬은 제1 배출구(343a)로만 배출되고 제2 배출구(343b)는 제1 케미컬에 오염되지 않을 수 있다. 케미컬은 유독성 화학 약품이므로 소량에 노출되어도 주변이 쉽게 오염될 수 있다. 샘플링된 케미컬의 정확한 검사를 위해 샘플링 장치 내에서 최대한 오염을 방지하는 것이 중요할 수 있다.

실시예에 따르면, 제1 샘플링 라인(L1)에서 제1 케미컬을 배출하고 제2 샘플링 라인(L2)에서 제2 케미컬을 배출하여도 제1 배출구(343a)와 제2 배출구(343b)가 차단벽(345)에 의해 분리되어 있으므로 서로 다른 샘플링 라인에 영향을 주지 않을 수 있다.

드레인 모듈(340)의 배출구(343)에는 케미컬 배출 라인(351a, 351b), 세척수 공급 라인(354a, 354b) 및 질소 공급 라인(352a, 352b)이 각각 연결될 수 있다. 즉, 제1 배출구(343a)에는 제1 케미컬 배출 라인(351a), 제1 세척수 공급 라인(354a), 및 제1 질소 공급 라인(352a)이 각각 연결될 수 있고, 제2 배출구(343b)에는 제2 케미컬 배출 라인(351b), 제2 세척수 공급 라인(354b), 및 제2 질소 공급 라인(352b)이 각각 연결될 수 있다.

각각의 배출구(343a, 343b)와 케미컬 배출 라인(351a, 351b)은 케미컬이 배출된 후 세척수에 의해 세척되고 질소 가스에 의해 독립적으로 건조될 수 있다.

이때, 세척수 공급 라인(354a, 354b)은 샘플링 라인(L2)의 끝단(LEP1)이 드레인 모듈(340)에 삽입된 위치에 세척수를 분사할 수 있다. 따라서, 세척수에 의해 샘플링 라인(L2)의 끝단(LEP1)이 세척되는 동시에 드레인 모듈(340) 내부도 세척될 수 있다. 또한, 질소 가스에 의해 샘플링 라인(L2) 및 드레인 모듈(340)이 건조될 수 있다. 따라서, 케미컬 충전부의 오염을 최소화할 수 있다. 또한, 각각의 배출구(343)에 세척수 및 질소 가스가 분사되어도 격벽에 의해 서로 분리되어 있으므로 인접한 배출구(343)가 오염되는 것을 방지할 수 있다.

드레인 모듈(340)은 상부에 상판(341)이 배치될 수 있다. 따라서, 잔류 케미컬의 배출시 케미컬이 비산되어 주변이 오염되는 것을 방지할 수 있다.

상판(341)에는 샘플링 라인의 끝단이 삽입될 수 있는 주입홀(341a, 341b)이 형성될 수 있다. 주입홀(341a, 341b)은 샘플링 라인(L2)이 삽입되었을 때 샘플링 라인(L2)의 끝단(LEP1)이 세척수에 의해 세척될 수 있도록 세척수 공급 라인(354a, 354b)에 인접 배치될 수 있다.

실시예에 따른 드레인 모듈(340)은 샘플링 라인의 개수에 따라 배출구(343)가 독립적으로 구분되므로 샘플링 라인이 다른 케미컬에 의해 오염되는 것을 원천적으로 방지함으로써 케미컬 분석의 신뢰성을 높일 수 있다.

도 30을 참조하면, 드레인 모듈에는 복수 개의 샘플링 라인, 세척수 공급 라인, 및 질소 공급 라인이 연결될 수 있다. 전술한 바와 같이 여기서는 예시적으로 제2 샘플링 라인(L2)이 드레인 모듈(340)의 제2 배출구에 연결된 것으로 도시하였다.

샘플링 라인(L2)은 약품 탱크의 배관(L100)과 연결될 수 있다. 이때, 샘플링 라인(L2)과 배관(L100) 사이에는 바이패스 라인(L21)이 연결될 수 있다. 따라서 배관(L100) 및 샘플링 라인(L2)에 잔류되어 있는 케미컬을 배출하기 위해 약품 탱크의 배관(L100)에서 케미컬이 배출되면 일부는 샘플링 라인(L2)으로 배출되고 나머지는 바이패스 라인(L21)으로 배출될 수 있다.

바이패스 라인(L21)의 직경은 샘플링 라인(L2)의 직경보다 클 수 있다. 예시적으로 약품 탱크의 배관(L100)의 직경을 100%로 하였을 때, 샘플링 라인(L2)의 직경은 약품 탱크의 배관(L100)의 직경의 50%일 수 있고, 바이패스 라인(L21)의 직경은 약품 탱크의 배관(L100)과 동일할 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 샘플링 라인(L2)의 직경과 바이패스 라인(L21)의 직경은 이와 상이할 수도 있다. 예시적으로 샘플링 라인(L2)의 직경은 약품 탱크의 배관(L100)의 직경의 20% 또는 60%일 수도 있다.

샘플링 라인은 상대적으로 직경이 작을 수 있다. 샘플링 라인의 직경이 너무 커지면 케미컬의 토출량이 많아지므로 용기에 정량을 주입하기 어려울 수 있다. 또한, 케미컬의 토출량이 많아지므로 용기 주변으로 케미컬이 비산되어 주변이 쉽게 오염될 수 있다. 또한, 용기의 외면에 케미컬이 뭍을 수도 있다.

따라서, 샘플링 라인은 외부 영향을 최소화하기 위해 낮은 압력으로 케미컬을 용기로 배출할 필요가 있다. 제어부는 샘플링 라인(L2)의 레귤레이터(VB1)를 조절하여 용기로 배출되는 압력을 낮출 수 있다.

그러나 약품 탱크 내의 케미컬의 오염도를 정확하게 분석하기 위해서는 샘플링 전에 배관 내에 잔존하는 케미컬을 미리 외부로 배출할 필요가 있다. 그러나, 직경이 작은 샘플링 라인(L2)만으로 약품 탱크의 배관(L100) 내에 잔류하는 케미컬을 모두 배출하려면 배출 시간이 오래 걸리는 문제가 있다. 또한, 케미컬의 유속이 느리면 잔류 케미컬을 충분히 배출하지 못할 수도 있다.

따라서, 약품 탱크의 배관(L100)의 직경과 거의 동일한 바이패스 라인(L21)을 별도로 형성하여 대부분의 잔류 케미컬을 외부로 신속히 배출할 수 있다. 이때, 희석수 공급 라인(355)에서 배출된 희석수가 혼합되어 외부로 방출할 수 있다. 희석수는 중성수 일 수 있으나 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 세척수와 동일한 DI water 일 수도 있다.

배관(100) 및 샘플링 라인(L2)에 잔존하는 케미컬이 모두 방출되면 세척수 분사 라인(352b)으로 세척수가 분사되어 잔류 케미컬이 배출된 배출구를 세척할 수 있다. 이후, 질소 공급 라인(354b)을 통해 질소를 배출구에 분사하여 건조시킬 수 있다. 이후 샘플링 라인(L2)을 이동시켜 용기(10)에 케미컬을 충전할 수 있다.

도 31을 참조하면, 운송부(20)는 용기(10)를 고정하는 복수 개의 고정턱(23) 및 케미컬을 센싱하는 오염 감지부(22), 및 레일부(30)를 따라 이동하는 슬라이더(21)를 포함할 수 있다. 오염 감지부(22)는 띠 형상으로 제작되어 용기(10)의 외면에 케미컬(SC)이 노출된 경우 감지할 수 있는 다양한 센서가 포함될 수 있다.

예시적으로 용기(10)의 외면에 케미컬이 누출되어 오염 감지부(22)에 접촉된 경우 오염 감지부(22)의 감지 신호는 제어부로 전송할 수 있다. 이 경우 제어부는 샘플링 공정을 중단하고 외부에 경고 신호를 송출할 수 있다.

도 32는 용기가 뚜껑 착탈부의 하부로 다시 배치된 상태를 보여주는 도면이다. 도 33은 용기에 뚜껑이 결합되는 상태를 보여주는 도면이다. 도 34는 뚜껑이 결합된 용기가 작업 영역에서 이탈하는 상태를 보여주는 도면이다.

도 32를 참조하면, 운송부(20)는 케미컬이 충전된 용기(10)를 다시 뚜껑 착탈부(200)의 하부로 이송할 수 있다. 도 33을 참조하면, 뚜껑 착탈부(200)의 파지부는 뚜껑(11)을 파지한 상태에서 하강한 후 회전(또는 하강하면서 회전)함으로써 용기(10)에 뚜껑(11)을 다시 체결할 수 있다. 이후, 도 34와 같이 운송부(20)는 용기(10)를 배출 영역(P3)의 인접 영역으로 이송할 수 있다.

도 35는 본 발명의 일 실시예에 따른 배출 영역을 보여주는 도면이다. 도 36은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 픽업 모듈이 회전하여 작업 영역에 배치된 용기를 픽업하는 상태를 보여주는 도면이다. 도 37은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 픽업 모듈의 픽업부에 용기가 거치된 상태를 보여주는 도면이다. 도 38은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 픽업 모듈이 용기를 들어올려 운송부에서 분리한 상태를 보여주는 도면이다.

도 35를 참조하면, 배출 영역(P3)은 복수 개의 용기(10)가 수납되는 제2 수납부(420), 및 작업 영역(P2)에 배치된 용기(10)를 픽업하여 제2 수납부(420)로 이송하는 제2 픽업 모듈(410), 및 제2 개폐부(430)를 포함할 수 있다.

제2 픽업 모듈(410)은 제1 픽업 모듈(110)의 구조와 실질적으로 동일할 수 있다. 제2 픽업 모듈(410)은 도 9와 같이 몸체, 몸체를 회전시키는 제1 구동부, 용기를 픽업하는 픽업부, 및 픽업부를 이동시키는 제2 구동부를 포함할 수 있다.

제2 수납부(420)의 구조는 제1 수납부(120)와 동일할 수 있다. 제2 수납부(420)는 복수 개의 용기(10)가 안착되는 이동부재(422), 용기(10)의 측면을 지지하는 한 쌍의 측면 지지부, 용기(10)의 상면을 지지하는 상단 가이드부를 포함할 수 있다.

제2 개폐부(430)의 구조는 제1 개폐부(130)와 실질적으로 동일할 수 있다. 제2 개폐부(430)는 제2 격벽(44)에 배치되는 제2 도어(431), 제2 도어(431)에 결합되는 제2 차단판(432), 및 제2 차단판(432)을 이동시키는 도어 구동부를 포함할 수 있다. 이때, 제2 도어(431)와 제2 차단판(432)은 경사면을 가질 수 있다.

도 36 및 도 37을 참조하면, 제2 픽업 모듈(410)의 픽업부(412)는 제2 도어(431)를 향해 회전한 후 연장되어 제2 도어(431)를 통과할 수 있다. 제2 도어(431)를 통과한 픽업부(412)는 운송부(20) 상에 배치된 용기(10)를 파지할 수 있다. 이후 픽업부(412)는 상승하여 용기(10)를 운송부(20)에서 분리한 후 배출 영역(P3)으로 용기(10)를 이송할 수 있다.

이때, 제어부는 작업 영역(P2)과 배출 영역(P3) 내의 흄 감지 결과 이상이 없는 경우에만 제2 도어(431)를 개방할 수 있다.

도 39는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 픽업 모듈이 제2 수납부를 향해 회전한 상태를 보여주는 도면이다. 도 40은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 픽업 모듈이 용기를 제2 수납부로 이동시킨 상태를 보여주는 도면이다. 도 41은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 픽업 모듈이 원위치로 복귀한 상태를 보여주는 도면이다. 도 42는 용기가 제2 수납부에 수납된 상태를 보여주는 도면이다. 도 43은 작업자가 용기를 수거할 수 있도록 상단 가이드가 상승하는 상태를 보여주는 도면이다.

도 39 및 도 40을 참조하면, 제2 픽업 모듈(410)은 제2 수납부(420)를 향해 회전한 후 다시 픽업부(412)를 연장시켜 제2 수납부(420)의 이동부재(422)에 용기(10)를 내려 놓을 수 있다. 도 41을 참조하면, 픽업부(412)는 수축되어 제2 수납부(420) 상에서 이탈할 수 있다.

도 42를 참조하면 제2 수납부(420)에 수납된 용기(10)는 측면을 지지하는 한 쌍의 측면 지지부(423, 424) 및 용기(10)의 상면을 지지하는 상단 가이드부(425)에 의해 안전하게 수납될 수 있다.

도 43을 참조하면, 작업자가 용기(10)를 수거하기 전에 상단 가이드부(425)는 상승하여 용기(10)의 수거를 원활하게 할 수 있다. 작업자는 제2 윈도우를 열고 제2 수납부(420)에 수납된 용기(10)를 반출할 수 있다.

이상에서 실시 예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 예에 구체적으로 나타난 각 구성요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (12)

1. 용기의 뚜껑을 분리하는 뚜껑 착탈부; 및
   상기 용기에 케미컬을 충전하는 케미컬 충전부를 포함하고,
   상기 케미컬 충전부는,
   복수 개의 샘플링 라인에 남아있는 잔류 케미컬이 배출되는 드레인 모듈; 및
   상기 복수 개의 샘플링 라인을 각각 독립적으로 이동시키는 복수 개의 샘플링 구동 모듈을 포함하고,
   상기 복수 개의 샘플링 구동 모듈은 상기 복수 개의 샘플링 라인을 상기 드레인 모듈 또는 상기 용기의 상부로 이동시키고,
   상기 드레인 모듈은 상기 복수 개의 샘플링 라인과 각각 대응되는 복수 개의 배출구를 포함하고,
   상기 복수 개의 배출구는 상기 드레인 모듈에 형성된 차단벽에 의해 각각 독립적으로 구획되는 케미컬 샘플링 장치.
   
2. 제1 항에 있어서,
   상기 복수 개의 샘플링 구동 모듈 중에서 샘플링 작업이 수행될 샘플링 라인에 결합된 샘플링 구동 모듈만이 선택적으로 구동하여 상기 샘플링 라인을 상기 드레인 모듈에서 상기 용기의 상부로 이동시키고, 나머지 샘플링 구동 모듈은 동작하지 않는 케미컬 샘플링 장치.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 복수 개의 샘플링 구동 모듈은, 상기 샘플링 라인을 상기 드레인 모듈의 상부에서 상기 용기의 상부로 수평 이동시키는 수평 이동 모듈을 포함하는 케미컬 샘플링 장치.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 복수 개의 샘플링 구동 모듈은, 상기 샘플링 라인을 수직 이동시키는 수직 이동 모듈을 포함하는 케미컬 샘플링 장치.
   
5. 삭제
6. 삭제
7. 제1 항에 있어서,
   상기 드레인 모듈은 상기 복수 개의 배출구에 개별적으로 연결되는 복수 개의 케미컬 배출 라인을 포함하고,
   상기 복수 개의 배출구로 각각 배출된 케미컬은 상기 복수 개의 케미컬 배출 라인을 통해 각각 개별적으로 외부로 배출되는 케미컬 샘플링 장치.
   
8. 제7항에 있어서,
   상기 드레인 모듈은 상기 복수 개의 배출구에 개별적으로 연결되는 복수 개의 세척수 공급 라인 및 가스 공급 라인을 포함하고,
   상기 복수 개의 배출구 또는 상기 샘플링 라인은 각각 독립적으로 세척 및 건조되는 케미컬 샘플링 장치.
   
9. 제1항에 있어서,
   상기 복수 개의 샘플링 라인은 샘플링이 수행될 케미컬이 저장된 약품 탱크의 배관과 각각 연결되고,
   상기 약품 탱크의 배관과 상기 샘플링 라인 사이에는 상기 드레인 모듈을 우회하여 케미컬을 배출하는 바이패스 라인이 형성되는 케미컬 샘플링 장치.
   
10. 제9항에 있어서,
    상기 샘플링 라인의 직경은 상기 바이패스 라인의 직경보다 작은 케미컬 샘플링 장치.
    
11. 제1항에 있어서,
    상기 케미컬 충전부는,
    상기 용기를 이동시키는 운송부; 및
    상기 운송부가 슬라이딩하는 레일부를 포함하고,
    상기 운송부는 상기 복수 개의 샘플링 라인 중에서 샘플링이 수행될 샘플링 라인의 하부에 정지하고,
    상기 샘플링이 수행될 샘플링 라인의 하부에 배치된 용기의 상단 높이는 상기 드레인의 상단 높이와 대응되는 케미컬 샘플링 장치.
    
12. 삭제

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