KR102198578B1

KR102198578B1 - Reflective active variable lens and method of facbricating the same

Info

Publication number: KR102198578B1
Application number: KR1020180069223A
Authority: KR
Inventors: 박선택; 박봉제; 경기욱; 박승구; 윤성률; 문성철; 임정묵
Original assignee: 한국전자통신연구원
Priority date: 2017-12-26
Filing date: 2018-06-15
Publication date: 2021-01-06
Anticipated expiration: 2038-06-15
Also published as: KR20190078464A

Abstract

반사형 능동 가변 렌즈는 상부 전극, 상부 전극과 평행하게 배치된 하부 전극, 상부 전극과 하부 전극 사이에 배치된 변형부, 상부 전극 상에 배치된 반사부, 및 변형부를 둘러싸는 지지부를 포함하되, 변형부와 지지부는 서로 연결되어, 단일 구조체를 제공하고, 변형부는 상부 전극 및 하부 전극 사이에 전기장이 형성된 때 초기 형상으로부터 팽창하고, 팽창된 변형부는 전기장이 제거된 때 수축되어, 초기 형상으로 복원된다.The reflective active variable lens includes an upper electrode, a lower electrode disposed parallel to the upper electrode, a deformation portion disposed between the upper electrode and the lower electrode, a reflective portion disposed on the upper electrode, and a support portion surrounding the deformation portion, The deformation part and the support part are connected to each other to provide a single structure, and the deformation part expands from its initial shape when an electric field is formed between the upper electrode and the lower electrode, and the expanded deformation part contracts when the electric field is removed and restores the initial shape do.

Description

Reflective active variable lens and its manufacturing method {REFLECTIVE ACTIVE VARIABLE LENS AND METHOD OF FACBRICATING THE SAME}

본 발명은 반사형 능동 가변 렌즈 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a reflective active variable lens and a method of manufacturing the same.

최근 디지털 기술을 바탕으로 하는 카메라, 휴대용 단말기, 프로젝터, TV등 디스플레이 기술의 발전으로 고해상도 화면 및 관련 광학계의 소형화가 요구되고 있다. 또한 고화질의 영상을 습득하기 위한 광학 렌즈 시스템의 소형화와 편리성이 강조되고 있으며 이를 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. With the recent development of display technologies such as cameras, portable terminals, projectors, and TVs based on digital technology, miniaturization of high-resolution screens and related optical systems is required. In addition, miniaturization and convenience of an optical lens system for acquiring high-definition images are emphasized, and research for this is actively being conducted.

특히 휴대용 단말기에 장착되는 카메라 모듈에 고화질 이미지 센서가 탑재되면서, 가변 초점 및 광학 줌 등의 기능과 소형화의 중요성이 더 부각되고 있다. 현재 휴대폰 카메라 모듈에서 가변 초점 및 광학 줌 기능을 구현하기 위해서 대부분 액츄에이터를 사용하고 있다. 자동 줌 액츄에이터는 렌즈의 위치를 조절하여 자동으로 초점을 맞춰주는 기능을 하며 주로 VCM(voice coil motor)와 피에조를 이용하는 방식이다. VCM 방식은 코일에 흐르는 전류와 자석에 의한 전자기력을 이용하여 구동하는 방식으로 전자파 발생 및 정밀도에 한계가 있으며 피에조 방식은 고정자와 회전좌와의 마찰에 의해 구동하는 방식으로 마모에 의해 수명이 짧고 가격이 높다. 또한 광학 줌 기능을 위한 방식으로 스텝 모터를 사용하는데 이 방식은 회전운동을 하는 구동기로 리드 스크류를 회전시켜 가동부를 선형적으로 이동시키기 때문에 복잡한 메커니즘과 기어부의 마찰 및 소음 등의 단점이 있다. 상기 예들과 같이 대부분의 기존 기술들은 복잡한 구조로 인하여 저가로 제작하는데 어려움이 있으며, 소형화하는데 있어서 크기의 제한이 있다.In particular, as a high-definition image sensor is mounted on a camera module mounted on a portable terminal, functions such as variable focus and optical zoom and the importance of miniaturization are becoming more prominent. Currently, most actuators are used in mobile phone camera modules to implement variable focus and optical zoom functions. The automatic zoom actuator functions to automatically focus by adjusting the position of the lens, and it is mainly a method using a VCM (voice coil motor) and piezo. The VCM method is a method that uses the current flowing through the coil and the electromagnetic force generated by the magnet to generate electromagnetic waves and has limitations in precision. The piezo method is a method driven by friction between the stator and the rotating seat. high. In addition, a step motor is used as a method for the optical zoom function. This method has disadvantages such as a complicated mechanism and friction and noise of the gear part because it moves the moving part linearly by rotating the lead screw with a rotating actuator. As in the above examples, most of the existing technologies are difficult to manufacture at low cost due to a complex structure, and there is a size limitation in miniaturization.

또한 반사형 초점 가변 렌즈의 종래 기술은 기체나 유체의 압력을 이용하거나 전자기력을 이용하는 것이 대부분이다. 기체나 유체의 압력을 이용하는 기술은 추가적으로 압력조절장치가 필요하여 소형화나 어레이화 하기가 매우 어렵고, 제작공정 및 구조가 복잡하여 제조단가가 높다는 단점이 있다.In addition, in the prior art of the reflective variable focus lens, most of the conventional techniques use gas or fluid pressure or electromagnetic force. The technology using the pressure of gas or fluid requires an additional pressure control device, making it very difficult to miniaturize or make an array, and has a disadvantage in that the manufacturing process and structure are complex and thus the manufacturing cost is high.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 반사형 능동 가변 렌즈의 성능을 개선하는 것에 있다.The problem to be solved by the present invention is to improve the performance of a reflective active variable lens.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 공정 효율이 개선된 반사형 능동 가변 렌즈의 제조 방법을 제공하는 것에 있다. The problem to be solved by the present invention is to provide a method of manufacturing a reflective active variable lens with improved process efficiency.

다만, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상기 개시에 한정되지 않는다.However, the problem to be solved by the present invention is not limited to the above disclosure.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈는 상부 전극; 상기 상부 전극과 평행하게 배치된 하부 전극; 상기 상부 전극과 상기 하부 전극 사이에 배치된 변형부; 상기 상부 전극 상에 배치된 반사부; 및 상기 변형부를 둘러싸는 지지부를 포함하되, 상기 변형부와 상기 지지부는 서로 연결되어, 단일 구조체를 제공하고, 상기 변형부는 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극 사이에 전기장이 형성된 때 초기 형상으로부터 팽창하고, 상기 팽창된 변형부는 상기 전기장이 제거된 때 수축되어, 상기 초기 형상으로 복원될 수 있다.A reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention for solving the above problem includes an upper electrode; A lower electrode disposed parallel to the upper electrode; A deformation portion disposed between the upper electrode and the lower electrode; A reflector disposed on the upper electrode; And a support part surrounding the deformation part, wherein the deformation part and the support part are connected to each other to provide a single structure, and the deformation part expands from an initial shape when an electric field is formed between the upper electrode and the lower electrode, The expanded deformable part may be contracted when the electric field is removed and restored to the initial shape.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 지지부는 상기 변형부의 테두리를 따라 연장하는 링 형상을 가질 수 있다.In example embodiments, the support portion may have a ring shape extending along an edge of the deformation portion.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 지지부는 상기 변형부의 바닥면으로부터 상기 바닥면에 수직한 방향으로 돌출될 수 있다.In example embodiments, the support portion may protrude from a bottom surface of the deformable portion in a direction perpendicular to the bottom surface.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 지지부의 하부에 제공된 하부 지지 트렌치; 및 상기 하부 지지 트렌치 내에 제공된 추가 지지부를 더 포함하되, 상기 하부 지지 트렌치는 상기 지지부의 바닥면이 리세스된 영역을 포함하고, 상기 추가 지지부는 상기 지지부의 연장 방향을 따라 연장하는 링 형상을 가질 수 있다.In example embodiments, a lower support trench provided under the support portion; And an additional support portion provided in the lower support trench, wherein the lower support trench includes a region in which a bottom surface of the support portion is recessed, and the additional support portion has a ring shape extending along an extension direction of the support portion. I can.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 지지부의 내측면 및 상기 하부 전극의 바닥면을 노출하는 중심 홀을 더 포함할 수 있다.In example embodiments, a center hole for exposing an inner surface of the support portion and a bottom surface of the lower electrode may be further included.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 중심 홀은 균일한 직경을 가질 수 있다.In example embodiments, the center hole may have a uniform diameter.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 중심 홀의 직경은 상기 변형부로부터 멀수록 클 수 있다.In example embodiments, the diameter of the center hole may be larger as the distance from the deformable portion is.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 지지부의 상기 내측면은 오목한 형상을 가질 수 있다.In example embodiments, the inner surface of the support may have a concave shape.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 하부 전극은 상기 지지부의 상기 내측면을 따라 지지부의 바닥면 상으로 연장할 수 있다.In example embodiments, the lower electrode may extend on the bottom surface of the support part along the inner surface of the support part.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 상부 전극 및 상기 반사부는 서로 연결되어, 상부 반사 전극을 형성할 수 있다.In example embodiments, the upper electrode and the reflective part may be connected to each other to form an upper reflective electrode.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 지지부의 상부에 제공된 상부 지지 트렌치를 더 포함하되, 상기 상부 지지 트렌치는 상기 지지부의 상면이 리세스된 영역을 포함하되, 상기 지지부의 연장 방향을 따라 연장할 수 있다.In example embodiments, further comprising an upper support trench provided on the upper portion of the support, wherein the upper support trench includes a region in which an upper surface of the support is recessed, and may extend along an extension direction of the support. have.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 지지부의 테두리를 따라 연장하여, 상기 테두리에 인접한 영역을 덮는 패키징 구조체를 더 포함할 수 있다.In example embodiments, it may further include a packaging structure extending along the edge of the support portion and covering an area adjacent to the edge.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 패키징 구조체는 상기 상부 지지 트렌치를 채우는 돌출부를 포함할 수 있다.In example embodiments, the packaging structure may include a protrusion filling the upper support trench.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 제조 방법은 변형부, 상기 변형부를 둘러싸는 지지부, 및 상기 변형부의 바닥면 및 상기 지지부의 내측면을 노출하는 중심 홀을 포함하는 몸체부를 형성하는 것; 상기 변형부의 상면 상에 상부 전극 및 반사부를 차례로 형성하는 것; 및 상기 중심 홀 내에 하부 전극을 형성하는 것을 포함하되, 상기 지지부는 상기 변형부의 테두리를 따라 연장하는 링 형상을 갖고, 상기 하부 전극은 상기 변형부의 바닥면 상에 배치되고, 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극은 상기 변형부의 상기 상면에 수직한 방향을 따라 서로 중첩될 수 있다.A method of manufacturing a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention for solving the above problem includes exposing a deformation portion, a support portion surrounding the deformation portion, and a bottom surface of the deformation portion and an inner surface of the support portion. Forming a body portion including a central hole; Sequentially forming an upper electrode and a reflector on the upper surface of the deformable part; And forming a lower electrode in the center hole, wherein the support portion has a ring shape extending along an edge of the deformation portion, and the lower electrode is disposed on a bottom surface of the deformation portion, and the upper electrode and the lower electrode The electrodes may overlap each other along a direction perpendicular to the upper surface of the deformable part.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 몸체부를 형성하는 것은: 몰드 구조체 상에 액상 폴리머 소재를 제공하는 것; 상기 액상 폴리머 소재를 경화시키는 것; 및 상기 몰드 구조체를 제거하는 것을 포함할 수 있다.In exemplary embodiments, forming the body portion may include: providing a liquid polymer material on a mold structure; Curing the liquid polymer material; And it may include removing the mold structure.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 상부 전극은 상기 변형부의 상기 상면으로부터 상기 지지부의 상면으로 연장될 수 있다.In example embodiments, the upper electrode may extend from the upper surface of the deformable part to the upper surface of the support part.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 지지부의 하부에 추가 지지부를 형성하는 것을 더 포함하되, 상기 추가 지지부는 상기 지지부의 연장 방향을 따라 연장하는 링 형상을 가질 수 있다.In example embodiments, further comprising forming an additional support portion under the support portion, the additional support portion may have a ring shape extending along the extension direction of the support portion.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 추가 지지부를 형성하는 것은: 상기 지지부의 하부에 상기 지지부의 바닥면이 리세스된 형상을 갖는 하부 지지 트렌치를 형성하는 것; 및 상기 하부 지지 트렌치 내에 상기 추가 지지부를 삽입하는 것을 포함할 수 있다.In example embodiments, forming the additional support may include: forming a lower support trench having a recessed bottom surface of the support under the support; And inserting the additional support portion into the lower support trench.

본 발명의 개념에 따르면, 반사형 능동 가변 렌즈의 성능이 개선될 수 있다. According to the concept of the present invention, the performance of the reflective active variable lens can be improved.

본 발명의 개념에 따르면, 반사형 능동 가변 렌즈를 제조하는 방법의 효율이 개선될 수 있다.According to the concept of the present invention, the efficiency of a method of manufacturing a reflective active variable lens can be improved.

다만, 본 발명의 효과는 상기 개시에 한정되지 않는다. However, the effect of the present invention is not limited to the above disclosure.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 평면 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 반사형 능동 가변 렌즈의 저면 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 반사형 능동 가변 렌즈의 분해 사시도이다.
도 4는 도 1의 I-I'선을 따른 단면도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 작동을 설명하기 위한 도 1의 I-I'선에 대응하는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 저면 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 반사형 능동 가변 렌즈의 분해 사시도이다.
도 9는 도 1의 I-I'선에 대응하는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 예시적인 실시예들에 다른 반사형 능동 가변 렌즈의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 11 내지 도 14는 본 발명의 예시적인 실시예들에 다른 반사형 능동 가변 렌즈의 제조 방법을 설명하기 위한 도 1의 I-I'선에 대응하는 단면도들이다.
도 15는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 도 1의 I-I'선에 대응하는 단면도이다.
도 16은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 저면 사시도이다.
도 17은 도 16에 도시된 반사형 능동 가변 렌즈의 분해 사시도이다.
도 18은 도 1의 I-I'선에 대응하는 단면도이다.
도 19는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 도 1의 I-I'선에 대응하는 단면도이다.
도 20은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 평면 사시도이다.
도 21은 도 20의 II-II'선을 따른 단면도이다.
도 22는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 도 20의 II-II'선에 대응하는 단면도이다.1 is a plan perspective view of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention.
2 is a bottom perspective view of the reflective active variable lens shown in FIG. 1.
3 is an exploded perspective view of the reflective active variable lens shown in FIG. 2.
4 is a cross-sectional view taken along line II′ of FIG. 1.
5 and 6 are cross-sectional views corresponding to line II′ of FIG. 1 for explaining the operation of the reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention.
7 is a bottom perspective view of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention.
8 is an exploded perspective view of the reflective active variable lens shown in FIG. 7.
9 is a cross-sectional view corresponding to the line II′ of FIG. 1.
10 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention.
11 to 14 are cross-sectional views corresponding to line II′ of FIG. 1 for explaining a method of manufacturing a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention.
15 is a cross-sectional view corresponding to line II′ of FIG. 1 of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention.
16 is a bottom perspective view of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention.
17 is an exploded perspective view of the reflective active variable lens shown in FIG. 16.
18 is a cross-sectional view corresponding to line II′ of FIG. 1.
19 is a cross-sectional view corresponding to line II′ of FIG. 1 of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention.
20 is a plan perspective view of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention.
21 is a cross-sectional view taken along line II-II' of FIG. 20.
22 is a cross-sectional view corresponding to line II-II' of FIG. 20 of the reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention.

본 발명의 기술적 사상의 구성 및 효과를 충분히 이해하기 위하여, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술적 사상의 바람직한 실시예들을 설명한다. 그러나 본 발명 기술적 사상은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라, 여러가지 형태로 구현될 수 있고 다양한 변경을 가할 수 있다. 단지, 본 실시예들의 설명을 통해 본 발명의 기술적 사상의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것이다. In order to fully understand the configuration and effect of the technical idea of the present invention, preferred embodiments of the technical idea of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the technical idea of the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms and various changes may be added. However, it is provided to completely disclose the technical idea of the present invention through the description of the present embodiments, and to completely inform the scope of the present invention to those of ordinary skill in the art.

명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분은 동일한 구성요소들을 나타낸다. 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 기술적 사상의 이상적인 예시도인 사시도, 정면도, 단면도 및/또는 개념도를 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서의 다양한 실시예들에서 다양한 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 여기에 설명되고 예시되는 실시예들은 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다. Parts indicated by the same reference numerals throughout the specification represent the same elements. Embodiments described in the present specification will be described with reference to a perspective view, a front view, a cross-sectional view and/or a conceptual diagram, which are ideal exemplary views of the technical idea of the present invention. In the drawings, the thickness of the regions is exaggerated for effective description of the technical content. Accordingly, the regions illustrated in the drawings have schematic properties, and the shapes of the regions illustrated in the drawings are intended to illustrate a specific shape of a device region and are not intended to limit the scope of the invention. In various embodiments of the present specification, various terms have been used to describe various components, but these components should not be limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another component. The embodiments described and illustrated herein also include complementary embodiments thereof.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소는 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terms used in the present specification are for describing exemplary embodiments and are not intended to limit the present invention. In this specification, the singular form also includes the plural form unless specifically stated in the phrase. As used in the specification, "comprises" and/or "comprising" does not exclude the presence or addition of one or more other elements.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술적 사상의 바람직한 실시예들을 설명함으로써 본 발명을 상세히 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail by describing preferred embodiments of the technical idea of the present invention with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 평면 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 반사형 능동 가변 렌즈의 저면 사시도이다. 도 3은 도 2에 도시된 반사형 능동 가변 렌즈의 분해 사시도이다. 도 4는 도 1의 I-I'선을 따른 단면도이다. 1 is a plan perspective view of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention. 2 is a bottom perspective view of the reflective active variable lens shown in FIG. 1. 3 is an exploded perspective view of the reflective active variable lens shown in FIG. 2. 4 is a cross-sectional view taken along line II′ of FIG. 1.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 몸체부(1), 상부 전극(210), 하부 전극(220), 및 반사부(300)를 포함하는 반사형 능동 가변 렌즈(10)가 제공될 수 있다. 몸체부(1)는 변형부(110) 및 지지부(120)를 포함할 수 있다. 변형부(110)는 변형부(110)를 관통하는 전기장에 의해 변형될 수 있다. 변형부(110)에 전기장이 인가된 때, 변형부(110)는 초기 상태로부터 상기 전기장에 수직한 방향으로 팽창할 수 있다. 상기 전기장이 변형부(110)로부터 제거된 때, 팽창된 변형부(110)는 수축하여, 초기 상태로 복원될 수 있다. 예를 들어, 변형부(110)는 전기 활성 고분자(Electro Active Polymer, EAP)를 포함할 수 있다. 1 to 4, a reflective active variable lens 10 including a body 1, an upper electrode 210, a lower electrode 220, and a reflective part 300 may be provided. The body portion 1 may include a deformable portion 110 and a support portion 120. The deformation portion 110 may be deformed by an electric field passing through the deformation portion 110. When an electric field is applied to the deformable part 110, the deformable part 110 may expand in a direction perpendicular to the electric field from an initial state. When the electric field is removed from the deformable portion 110, the expanded deformable portion 110 contracts and may be restored to an initial state. For example, the deformation unit 110 may include an electroactive polymer (EAP).

상부 전극(210)과 하부 전극(220)은 변형부(110)를 사이에 두고 서로 반대편에 배치될 수 있다. 상부 및 하부 전극들(210, 220)은 각각 변형부(110)의 상면(110u) 및 바닥면(110b) 상에 제공될 수 있다. 상부 전극(210), 변형부(110), 및 하부 전극(220)은 변형부(110)의 상면(110u)에 수직한 방향으로 중첩될 수 있다. 상부 전극(210) 및 하부 전극(220)은 변형부(110)에 직접 접할 수 있다. 상부 전극(210)과 하부 전극(220)은 서로 평행할 수 있다. 하부 전극(220)은 몸체부(1) 하부에 제공되는 중심홀(CH)에 의해 노출될 수 있다. 상부 전극(210)과 하부 전극(220)은 유연성을 갖는 도전 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상부 전극(210) 및 하부 전극(220)은 은 나노선, 그래핀, 탄소나노튜브, 유연성을 갖는 금속, 및 유연성을 갖는 전도성 고분자 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. The upper electrode 210 and the lower electrode 220 may be disposed opposite to each other with the deformation portion 110 interposed therebetween. The upper and lower electrodes 210 and 220 may be provided on the upper surface 110u and the bottom surface 110b of the deformable part 110, respectively. The upper electrode 210, the deformable part 110, and the lower electrode 220 may overlap in a direction perpendicular to the upper surface 110u of the deformable part 110. The upper electrode 210 and the lower electrode 220 may directly contact the deformable part 110. The upper electrode 210 and the lower electrode 220 may be parallel to each other. The lower electrode 220 may be exposed by a central hole CH provided under the body 1. The upper electrode 210 and the lower electrode 220 may include a flexible conductive material. For example, the upper electrode 210 and the lower electrode 220 may include at least one of silver nanowires, graphene, carbon nanotubes, a flexible metal, and a flexible conductive polymer.

상부 전극(210)과 하부 전극(220)에 서로 다른 전압들이 인가될 수 있다. 이에 따라, 상부 전극(210)과 하부 전극(220) 사이에 전기장이 형성될 수 있다. 상기 전기장은 변형부(110)를 관통하여, 변형부(110)를 팽창시킬 수 있다. Different voltages may be applied to the upper electrode 210 and the lower electrode 220. Accordingly, an electric field may be formed between the upper electrode 210 and the lower electrode 220. The electric field may penetrate the deformable part 110 to expand the deformable part 110.

반사부(300)는 상부 전극(210) 상에 제공될 수 있다. 반사부(300)는 상부 전극(210)과 변형부(110)의 상면(110u)에 수직한 방향으로 중첩될 수 있다. 반사부(300)는 상부 전극(210)의 상면에 직접 접할 수 있다. 반사부(300)는 유연할 수 있다. 이에 따라, 변형부(110)가 휘어진 때, 상부 전극(210)과 함께 변형될 수 있다. 반사부(300)는 반사부(300)로 입사하는 광을 반사할 수 있다. 예를 들어, 반사부(300)는 금속 또는 유전체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 반사부(300)는 금(Au)을 포함할 수 있다. The reflective part 300 may be provided on the upper electrode 210. The reflective part 300 may overlap the upper electrode 210 and the upper surface 110u of the deformable part 110 in a direction perpendicular to the upper electrode 210. The reflective part 300 may directly contact the upper surface of the upper electrode 210. The reflective part 300 may be flexible. Accordingly, when the deformation portion 110 is bent, it may be deformed together with the upper electrode 210. The reflector 300 may reflect light incident on the reflector 300. For example, the reflective part 300 may include a metal or a dielectric. For example, the reflector 300 may include gold (Au).

지지부(120)는 변형부(110)를 둘러쌀 수 있다. 지지부(120)는 변형부(110)의 단부를 따라 연장하는 고리 형상을 가질 수 있다. 지지부(120)는 변형부(110)와 연결되어, 단일 구조체를 제공할 수 있다. 즉, 지지부(120)와 변형부(110)는 경계없이 서로 연결될 수 있다. 지지부(120)는 변형부(110)의 수평적 크기를 제한할 수 있다. 변형부(110)의 수평적 크기는 지지부(120)의 상면(120u)에 평행한 방향을 따른 변형부(110)의 크기일 수 있다. 변형부(110)가 변형부(110)를 관통하는 전기장에 의해 팽창할 때, 변형부(110)는 지지부(120)에 의해 수평적으로 확장되지 못하고, 지지부(120)의 상면(120u)에 수직한 방향을 따라 휘어질 수 있다. 지지부(120)는 변형부(110)와 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 지지부(120)는 전기 활성 고분자(EAP)를 포함할 수 있다.The support part 120 may surround the deformable part 110. The support part 120 may have a ring shape extending along the end of the deformable part 110. The support part 120 may be connected to the deformation part 110 to provide a single structure. That is, the support part 120 and the deformation part 110 may be connected to each other without boundaries. The support part 120 may limit the horizontal size of the deformable part 110. The horizontal size of the deformable part 110 may be the size of the deformable part 110 along a direction parallel to the upper surface 120u of the support part 120. When the deformable part 110 expands by an electric field passing through the deformable part 110, the deformable part 110 cannot be horizontally expanded by the support part 120, and the upper surface 120u of the support part 120 It can be bent along a vertical direction. The support part 120 may include substantially the same material as the deformation part 110. For example, the support 120 may include an electroactive polymer (EAP).

지지부(120)의 두께는 변형부(110)의 두께보다 클 수 있다. 지지부(120)의 두께는 지지부(120)의 상면(120u)에 수직한 방향을 따른 지지부(120)의 크기일 수 있다. 변형부(110)의 두께는 변형부(110)의 상면(110u)을 따른 변형부(110)의 크기일 수 있다. 지지부(120)의 상면(120u)은 변형부(110)의 상면(110u)과 공면을 이룰 수 있다. 지지부(120)는 변형부(110)의 바닥면(120b)으로부터 돌출될 수 있다. The thickness of the support part 120 may be greater than the thickness of the deformable part 110. The thickness of the support part 120 may be the size of the support part 120 along a direction perpendicular to the upper surface 120u of the support part 120. The thickness of the deformable portion 110 may be the size of the deformable portion 110 along the upper surface 110u of the deformable portion 110. The upper surface 120u of the support part 120 may be coplanar with the upper surface 110u of the deformable part 110. The support part 120 may protrude from the bottom surface 120b of the deformable part 110.

지지부(120)는 내직경(122d)을 가질 수 있다. 지지부(120)의 내직경(122d)은 지지부(120)의 내측면(122)의 직경일 수 있다. 지지부(120)의 내측면(122)은 몸체부(1) 하부에 제공되는 중심홀(CH)에 의해 노출될 수 있다. 지지부(120)의 내직경(122d)은 일정할 수 있다. 예를 들어, 지지부(120)의 내직경(122d)은 변형부(110)의 바닥면(110b)과 지지부(120)의 바닥면(120b) 사이에서 일정할 수 있다. 지지부(120)의 내측면(122)은 지지부(120)의 상면(120u)에 수직한 방향으로 연장할 수 있다. 즉, 중심홀(CH)은 일정한 크기의 직경을 갖되, 지지부(120)의 상면(120u)에 수직한 방향으로 연장할 수 있다. The support portion 120 may have an inner diameter 122d. The inner diameter 122d of the support part 120 may be the diameter of the inner side surface 122 of the support part 120. The inner surface 122 of the support part 120 may be exposed by a central hole CH provided under the body part 1. The inner diameter 122d of the support part 120 may be constant. For example, the inner diameter 122d of the support portion 120 may be constant between the bottom surface 110b of the deformable portion 110 and the bottom surface 120b of the support portion 120. The inner surface 122 of the support part 120 may extend in a direction perpendicular to the upper surface 120u of the support part 120. That is, the center hole CH has a diameter of a certain size, but may extend in a direction perpendicular to the upper surface 120u of the support part 120.

일반적으로, 변형부와 지지부가 서로 독립적인 구조체들인 경우(즉, 변형부와 지지부 사이에 경계면이 존재할 경우), 변형부는 요구되는 형상을 갖도록 변형되지 않을 수 있다. 예를 들어, 변형부는 비대칭적으로 휘어질 수 있다. In general, when the deformation portion and the support portion are structures independent of each other (that is, when an interface exists between the deformation portion and the support portion), the deformation portion may not be deformed to have a required shape. For example, the deformation portion may be bent asymmetrically.

본 발명의 개념에 따른 변형부(110)와 지지부(120)는 경계없이 서로 연결되어, 단일 구조체를 형성할 수 있다. 이에 따라, 변형부(110)는 요구되는 형상을 갖도록 제어될 수 있다. 예를 들어, 변형부(110)는 대칭적인 형상을 갖도록 휘어질 수 있다. The deformation part 110 and the support part 120 according to the concept of the present invention may be connected to each other without boundaries, thereby forming a single structure. Accordingly, the deformation unit 110 may be controlled to have a required shape. For example, the deformation part 110 may be bent to have a symmetrical shape.

반사부(300)는 변형부(110) 상에 제공되어, 변형부(110)의 변형에 대응하여 변형될 수 있다. 변형부(110)의 형상이 조절되어, 반사부(300)를 요구되는 형상을 갖도록 제어할 수 있다. 결과적으로, 반사형 능동 가변 렌즈(10)의 초점 위치가 반사부(300)의 변형에 의해 능동적으로 조절될 수 있다.The reflective part 300 is provided on the deformation part 110 and may be deformed in response to the deformation of the deformation part 110. The shape of the deformable part 110 is adjusted, so that the reflective part 300 can be controlled to have a required shape. As a result, the focus position of the reflective active variable lens 10 can be actively adjusted by the deformation of the reflective unit 300.

도 5 및 도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 작동을 설명하기 위한 도 1의 I-I'선에 대응하는 단면도이다. 설명의 간결함을 위해, 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명된 것과 실질적으로 동일한 내용은 설명되지 않을 수 있다.5 and 6 are cross-sectional views corresponding to line II′ of FIG. 1 for explaining the operation of the reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention. For the sake of brevity, contents substantially the same as those described with reference to FIGS. 1 to 4 may not be described.

도 5를 참조하면, 상부 전극(210) 및 하부 전극(220)에 전압이 인가되지 않을 수 있다. 변형부(110) 및 반사부(300)는 지지부(120)의 상면(120u)에 평행한 방향으로 연장될 수 있다. 즉, 변형부(110) 및 반사부(300)는 휘어지지 않을 수 있다. 이에 따라, 입사광(L1)이 반사형 능동 가변 렌즈(10)의 광축(미도시)에 평행하게 입사한 경우, 반사광(L2)은 반사형 능동 가변 렌즈(10)의 광축에 평행하게 반사될 수 있다. Referring to FIG. 5, a voltage may not be applied to the upper electrode 210 and the lower electrode 220. The deformable part 110 and the reflective part 300 may extend in a direction parallel to the upper surface 120u of the support part 120. That is, the deformable portion 110 and the reflective portion 300 may not be bent. Accordingly, when the incident light L1 is incident parallel to the optical axis (not shown) of the reflective active variable lens 10, the reflected light L2 may be reflected parallel to the optical axis of the reflective active variable lens 10. have.

도 6을 참조하면, 상부 전극(210) 및 하부 전극(220)에 전압이 인가될 수 있다. 변형부(110) 내에 변형부(110)의 상면(110u)에 수직한 방향을 따르는 전기장(미도시)이 형성될 수 있다. 변형부(110)는 상기 전기장에 의해 변형부(110)의 상면(110u)에 평행한 방향으로 팽창할 수 있다. 변형부(110)의 수평적 크기는 지지부(120)에 의해 제한되므로, 변형부(110)는 지지부(120)의 상면(120u)에 수직한 방향을 따라 휘어질 수 있다. 상부 전극(210) 및 반사부(300)는 변형부(110)의 상면(110u)의 형상에 대응되게 휘어질 수 있다. 이에 따라, 입사광(L1)이 반사형 능동 가변 렌즈(10)의 광축(미도시)에 평행하게 입사한 경우, 반사광(L2)은 반사형 능동 가변 렌즈(10)의 초점에 집광될 수 있다. 변형부(110)의 변형 정도는 상부 전극(210) 및 하부 전극(220)에 인가되는 전압의 크기에 따라 조절될 수 있다. 결과적으로, 상부 전극(210) 및 하부 전극(220)에 인가되는 전압의 크기가 조절되어, 반사형 능동 가변 렌즈(10)의 초점을 제어할 수 있다. Referring to FIG. 6, a voltage may be applied to the upper electrode 210 and the lower electrode 220. An electric field (not shown) along a direction perpendicular to the upper surface 110u of the deformation portion 110 may be formed in the deformation portion 110. The deformable part 110 may expand in a direction parallel to the upper surface 110u of the deformable part 110 by the electric field. Since the horizontal size of the deformable part 110 is limited by the support part 120, the deformable part 110 may be bent along a direction perpendicular to the upper surface 120u of the support part 120. The upper electrode 210 and the reflective part 300 may be bent to correspond to the shape of the upper surface 110u of the deformable part 110. Accordingly, when the incident light L1 is incident parallel to the optical axis (not shown) of the reflective active variable lens 10, the reflected light L2 may be concentrated at the focus of the reflective active variable lens 10. The degree of deformation of the deformation portion 110 may be adjusted according to the magnitude of the voltage applied to the upper electrode 210 and the lower electrode 220. As a result, the magnitude of the voltage applied to the upper electrode 210 and the lower electrode 220 is adjusted, so that the focus of the reflective active variable lens 10 can be controlled.

도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 저면 사시도이다. 도 8은 도 7에 도시된 반사형 능동 가변 렌즈의 분해 사시도이다. 도 9는 도 1의 I-I'선에 대응하는 단면도이다. 설명의 간결함을 위해, 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명된 것과 실질적으로 동일한 내용은 설명되지 않을 수 있다.7 is a bottom perspective view of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention. 8 is an exploded perspective view of the reflective active variable lens shown in FIG. 7. 9 is a cross-sectional view corresponding to the line II′ of FIG. 1. For the sake of brevity, contents substantially the same as those described with reference to FIGS. 1 to 4 may not be described.

도 1 및 도 7 내지 도 9를 참조하면, 몸체부(2), 상부 전극(210), 하부 전극(220), 반사부(300), 및 추가 지지부(400)를 포함하는 반사형 능동 가변 렌즈(20)가 제공될 수 있다. 몸체부(2)는 변형부(110) 및 지지부(120)를 포함할 수 있다. 변형부(110), 상부 전극(210), 하부 전극(220), 및 반사부(300)는 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명된 변형부(110), 상부 전극(210), 하부 전극(220), 및 반사부(300)와 실질적으로 동일할 수 있다. 지지부(120) 하부에 하부 지지 트렌치(LST)가 제공될 수 있다. 하부 지지 트렌치(LST)는 지지부(120)의 바닥면(120b)이 리세스된 영역일 수 있다. 하부 지지 트렌치(LST)는 지지부(120)의 내측면(122)과 외측면(미표기) 사이에 제공될 수 있다. 하부 지지 트렌치(LST)는 지지부(120)의 연장 방향을 따라 연장할 수 있다. 하부 지지 트렌치(LST)는 고리 형상을 가질 수 있다. 하부 지지 트렌치(LST)는 지지부(120)와 중심축을 공유할 수 있다.1 and 7 to 9, a reflective active variable lens including a body part 2, an upper electrode 210, a lower electrode 220, a reflective part 300, and an additional support part 400 (20) can be provided. The body portion 2 may include a deformable portion 110 and a support portion 120. The deformable part 110, the upper electrode 210, the lower electrode 220, and the reflective part 300 are the deformable part 110, the upper electrode 210, and the lower electrode described with reference to FIGS. 1 to 4 220), and the reflective unit 300 may be substantially the same. A lower support trench LST may be provided under the support part 120. The lower support trench LST may be a region in which the bottom surface 120b of the support part 120 is recessed. The lower support trench LST may be provided between the inner side 122 and the outer side (not shown) of the support part 120. The lower support trench LST may extend along the extension direction of the support part 120. The lower support trench LST may have a ring shape. The lower support trench LST may share a central axis with the support part 120.

추가 지지부(400)는 하부 지지 트렌치(LST) 내에 제공될 수 있다. 추가 지지부(400)는 지지부(120)의 하부에 삽입될 수 있다. 추가 지지부(400)는 하부 지지 트렌치(LST)를 따라 연장할 수 있다. 추가 지지부(400)는 고리 형상을 가질 수 있다. 추가 지지부(400)는 지지부(120)와 중심축을 공유할 수 있다. 추가 지지부(400)는 변형부(110)의 수평적 크기를 제한할 수 있다. 추가 지지부(400)는 지지부의 내측면(122) 및 외측면 사이에 배치될 수 있다. 추가 지지부(400)의 측면 및 상면은 지지부(120)에 의해 덮힐 수 있다. 추가 지지부(400)의 바닥면(미표기)은 노출될 수 있다. 추가 지지부(400)의 바닥면은 지지부(120)의 바닥면(120b)과 공면을 이룰 수 있다. 추가 지지부(400)는 단단한(rigid) 재질을 가질 수 있다. 예를 들어, 추가 지지부(400)는 아크릴을 포함할 수 있다. 본 발명의 개념에 따른 추가 지지부(400)는 변형부(110)의 수평적 크기를 제한할 수 있다. 이에 따라, 상부 전극(210) 및 하부 전극(220)에 전압이 인가된 때, 변형부(110)는 요구되는 형상을 갖도록 변형될 수 있다. 이에 따라, 반사부(300)는 요구되는 형상을 갖도록 변형될 수 있다. 결과적으로, 반사형 능동 가변 렌즈(20)의 초점 위치는 능동적으로 조절될 수 있다.The additional support 400 may be provided in the lower support trench LST. The additional support part 400 may be inserted under the support part 120. The additional support part 400 may extend along the lower support trench LST. The additional support 400 may have a ring shape. The additional support 400 may share a central axis with the support 120. The additional support part 400 may limit the horizontal size of the deformable part 110. The additional support 400 may be disposed between the inner side 122 and the outer side of the support. The side and upper surfaces of the additional support part 400 may be covered by the support part 120. The bottom surface (not shown) of the additional support part 400 may be exposed. The bottom surface of the additional support part 400 may be coplanar with the bottom surface 120b of the support part 120. The additional support 400 may have a rigid material. For example, the additional support 400 may include acrylic. The additional support part 400 according to the concept of the present invention may limit the horizontal size of the deformable part 110. Accordingly, when voltage is applied to the upper electrode 210 and the lower electrode 220, the deformable portion 110 may be deformed to have a required shape. Accordingly, the reflective part 300 may be deformed to have a required shape. As a result, the focus position of the reflective active variable lens 20 can be actively adjusted.

도 10은 본 발명의 예시적인 실시예들에 다른 반사형 능동 가변 렌즈의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 11 내지 도 14는 본 발명의 예시적인 실시예들에 다른 반사형 능동 가변 렌즈의 제조 방법을 설명하기 위한 도 1의 I-I'선에 대응하는 단면도들이다. 10 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention. 11 to 14 are cross-sectional views corresponding to line II′ of FIG. 1 for explaining a method of manufacturing a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention.

도 10 및 도 11을 참조하면, 몰드 구조체(MS) 상에 몸체부(2)가 형성될 수 있다.(S10) 몸체부(2)는 변형부(110) 및 지지부(120)를 포함할 수 있다. 변형부(110) 및 지지부(120)는 각각 도 7 내지 도 9를 참조하여 설명된 변형부(110) 및 지지부(120)와 실질적으로 동일할 수 있다. 몰드 구조체(MS)는 몸체부(2) 하부에 중심 홀(CH) 및 하부 지지 트렌치(LST)를 형성하도록 요철 구조를 가질 수 있다. 몰드 구조체(MS)는 몰드 구조체(MS)는 단단한 재질을 가질 수 있다. 예를 들어, 몰드 구조체(MS)는 금속을 포함할 수 있다.10 and 11, the body portion 2 may be formed on the mold structure MS. (S10) The body portion 2 may include a deformation portion 110 and a support portion 120. have. The deformable part 110 and the support part 120 may be substantially the same as the deformable part 110 and the support part 120 described with reference to FIGS. 7 to 9, respectively. The mold structure MS may have an uneven structure to form a central hole CH and a lower support trench LST under the body 2. The mold structure MS may have a hard material. For example, the mold structure MS may include a metal.

몸체부(2)를 형성하는 것은 몰드 구조체(MS) 상에 액상 폴리머 소재(미도시)를 제공하는 것 및 상기 액상 폴리머 소재를 경화시키는 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 액상 폴리머 소재를 제공하는 공정은 액상 폴리머 소재를 몰드 구조체(MS) 상에 코팅하는 것을 포함할 수 있다. 액상 폴리머 소재를 제공하는 공정은 몰드 구조체(MS)의 상면이 액상 폴리머 소재에 의해 잠길때까지 수행될 수 있다. 몰드 구조체(MS) 상에 제공된 액상 폴리머 소재는 평평한 상면을 가질 수 있다. 액상 폴리머 소재를 경화시키는 것은 액상 폴리머 소재를 큐어링(curing)하는 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 큐어링 공정은 상기 액상 폴리머 소재를 약 70 도(℃) 내지 약 120도(℃)에서 가열하는 것을 포함할 수 있다. 몸체부(2)는 유연한 재질을 가질 수 있다. 따라서, 몸체부(2)는 휘어지거나 늘어날 수 있다. 예를 들어, 몸체부(2)는 전기 활성 폴리머를 포함할 수 있다. Forming the body portion 2 may include providing a liquid polymer material (not shown) on the mold structure MS and curing the liquid polymer material. For example, the process of providing the liquid polymer material may include coating the liquid polymer material on the mold structure MS. The process of providing the liquid polymer material may be performed until the upper surface of the mold structure MS is submerged by the liquid polymer material. The liquid polymer material provided on the mold structure MS may have a flat top surface. Curing the liquid polymer material may include curing the liquid polymer material. For example, the curing process may include heating the liquid polymer material at about 70 degrees (℃) to about 120 degrees (℃). The body portion 2 may have a flexible material. Thus, the body portion 2 can be bent or stretched. For example, the body portion 2 may contain an electroactive polymer.

도 10 및 도 12를 참조하면, 몰드 구조체(MS)가 몸체부(2)로부터 제거될 수 있다.(S20) 예를 들어, 몰드 구조체(MS) 및 몸체부(2)에 몰드 구조체(MS) 및 몸체부(2)를 서로 이격시키는 힘이 제공될 수 있다. 10 and 12, the mold structure MS may be removed from the body 2 (S20). For example, the mold structure MS and the mold structure MS on the body 2 And a force to space the body portion 2 from each other may be provided.

도 10 및 도 13을 참조하면, 변형부(110) 상에 상부 전극(210) 및 반사부(300)가 차례로 형성될 수 있다.(S30) 상부 전극(210)을 형성하는 것은 상기 변형부(110)의 상면(110u) 상에 도전 물질 막을 형성하는 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도전 물질 막은 스프레이(spary) 공정에 의해 변형부(110)의 상면(110u) 상에 형성될 수 있다. 예를 들어, 도전 물질 막은 은 나노선, 그래핀, 탄소나노튜브, 유연성을 갖는 금속, 및 유연성을 갖는 전도성 고분자를 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 10 and 13, the upper electrode 210 and the reflective part 300 may be sequentially formed on the deformable part 110 (S30) Forming the upper electrode 210 is the deformable part ( It may include forming a conductive material film on the upper surface 110u of 110). For example, the conductive material film may be formed on the upper surface 110u of the deformable portion 110 by a spray process. For example, the conductive material film may include silver nanowires, graphene, carbon nanotubes, metals having flexibility, and conductive polymers having flexibility.

상부 전극(210) 및 반사부(300)가 지지부(120) 상에 제공되지 않는 것으로 도시되었지만, 이는 예시적인 것이다. 다른 예시적인 실시예들에서, 상부 전극(210) 및 반사부(300)는 변형부(110)의 상면(110u)으로부터 지지부(120)의 상면(120u)까지 연장할 수 있다. 즉, 반사부(300)는 변형부(110)의 상면(110u)을 완전히 덮고, 지지부(120)의 상면(120u) 중 일부를 덮을 수 있다.Although it is shown that the upper electrode 210 and the reflective part 300 are not provided on the support part 120, this is exemplary. In other exemplary embodiments, the upper electrode 210 and the reflective part 300 may extend from the upper surface 110u of the deformable part 110 to the upper surface 120u of the support part 120. That is, the reflective part 300 may completely cover the upper surface 110u of the deformable part 110 and may cover a part of the upper surface 120u of the support part 120.

반사부(300)를 형성하는 것은 상부 전극(210)의 상면 상에 빛을 반사하는 금속막 또는 유전체막을 형성하는 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 금속막 또는 유전체막을 형성하는 것은 화학 기상 증착 공정(Chemical Vapor Deposition) 또는 물리 기상 증착 공정(Physical Vapor Deposition)을 수행하는 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 반사부(300)는 금(Au)을 포함할 수 있다.Forming the reflective part 300 may include forming a metal film or a dielectric film that reflects light on the upper surface of the upper electrode 210. For example, forming a metal film or a dielectric film may include performing a chemical vapor deposition process or a physical vapor deposition process. For example, the reflector 300 may include gold (Au).

도 10 및 도 14를 참조하면, 하부 지지 트렌치(LST) 내에 추가 지지부(400)가 형성될 수 있다.(S40) 추가 지지부(400)를 형성하는 것은 단단한 재질을 갖는 링을 하부 지지 트렌치(LST) 내에 삽입하는 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 추가 지지부(400)는 아크릴을 포함할 수 있다.10 and 14, an additional support part 400 may be formed in the lower support trench LST. (S40) To form the additional support part 400, a ring made of a hard material is used in the lower support trench LST. ) May include inserting within. For example, the additional support 400 may include acrylic.

도 9 및 도 10을 참조하면, 중심 홀(CH) 내에 하부 전극(220)이 형성될 수 있다.(S50) 하부 전극(220)을 형성하는 것은 상기 변형부(110)의 바닥면(110b) 상에 도전 물질 막을 형성하는 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도전 물질 막은 스프레이(spary) 공정에 의해 변형부(110)의 바닥면(110b) 상에 제공될 수 있다. 예를 들어, 도전 물질 막은 은 나노선, 그래핀, 탄소나노튜브, 유연성을 갖는 금속, 및 유연성을 갖는 전도성 고분자를 포함할 수 있다.9 and 10, the lower electrode 220 may be formed in the center hole CH. (S50) Forming the lower electrode 220 is the bottom surface 110b of the deformable part 110 It may include forming a conductive material film on the. For example, the conductive material film may be provided on the bottom surface 110b of the deformable part 110 by a spray process. For example, the conductive material film may include silver nanowires, graphene, carbon nanotubes, metals having flexibility, and conductive polymers having flexibility.

변형부를 요구되는 형태로 변형시키기 위해선 변형부 내에 균일한 크기를 갖는 전기장이 인가되어야 한다. 상기 전기장을 형성하기 위해선 하부 전극과 상부 전극이 얼라인되어야 한다. In order to deform the deformed portion into a desired shape, an electric field having a uniform size must be applied within the deformed portion. In order to form the electric field, the lower electrode and the upper electrode must be aligned.

본 발명의 개념에 따른 하부 전극(220)은 중심 홀(CH) 내에 형성되므로, 하부 전극(220)과 상부 전극(210)은 용이하게 얼라인될 수 있다. 상기 얼라인은 하부 전극(220)과 상부 전극(210)이 변형부(110)를 사이에 두고 서로 마주하도록 배치되는 것일 수 있다. 예를 들어, 상부 전극(210)이 변형부(110)의 상면을 넘어 지지부(120)의 상면까지 연장되게 형성되고, 하부 전극(220)이 변형부(110)의 바닥면(110b)을 넘어 지지부(120)의 내측면(122)까지 연장되게 형성되어도, 하부 전극(220)과 상부 전극(210)은 변형부(110)를 사이에 두고 서로 마주할 수 있다. 이에 따라, 변형부(110)는 요구되는 형태를 갖도록 제어될 수 있다. Since the lower electrode 220 according to the concept of the present invention is formed in the center hole CH, the lower electrode 220 and the upper electrode 210 can be easily aligned. The alignment may be that the lower electrode 220 and the upper electrode 210 are disposed to face each other with the deformable part 110 therebetween. For example, the upper electrode 210 is formed to extend beyond the upper surface of the deformable part 110 to the upper surface of the support part 120, and the lower electrode 220 crosses the bottom surface 110b of the deformable part 110 Even if formed to extend to the inner surface 122 of the support part 120, the lower electrode 220 and the upper electrode 210 may face each other with the deformable part 110 interposed therebetween. Accordingly, the deformation part 110 may be controlled to have a required shape.

도 15는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 도 1의 I-I'선에 대응하는 단면도이다. 설명의 간결함을 위해, 도 7 내지 도 9를 참조하여 설명된 것과 실질적으로 동일한 내용은 설명되지 않을 수 있다.15 is a cross-sectional view corresponding to line II′ of FIG. 1 of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention. For the sake of brevity, contents substantially the same as those described with reference to FIGS. 7 to 9 may not be described.

도 15를 참조하면, 몸체부(3), 상부 전극(210), 하부 전극(220), 반사부(300), 추가 지지부(400), 및 패키징 구조체(PS)를 포함하는 반사형 능동 가변 렌즈(30)가 제공될 수 있다. 몸체부(3)는 변형부(110) 및 지지부(120)를 포함할 수 있다. 변형부(110), 상부 전극(210), 하부 전극(220), 및 반사부(300)는 도 7 내지 도 9를 참조하여 설명된 변형부(110), 상부 전극(210), 하부 전극(220), 및 반사부(300)와 실질적으로 동일할 수 있다.Referring to FIG. 15, a reflective active variable lens including a body 3, an upper electrode 210, a lower electrode 220, a reflective part 300, an additional support 400, and a packaging structure PS (30) can be provided. The body part 3 may include a deformable part 110 and a support part 120. The deformable part 110, the upper electrode 210, the lower electrode 220, and the reflective part 300 are the deformable part 110, the upper electrode 210, and the lower electrode described with reference to FIGS. 7 to 9 220), and the reflective unit 300 may be substantially the same.

지지부(120)는 상부 지지 트렌치(UST)를 포함할 수 있다. 상부 지지 트렌치(UST)는 지지부(120)의 상면(120u)이 리세스된 영역일 수 있다. 상부 지지 트렌치(UST)는 고리 형상을 가질 수 있다. 상부 지지 트렌치(UST)는 지지부(120)와 중심축을 공유할 수 있다.The support 120 may include an upper support trench UST. The upper support trench UST may be a region in which the upper surface 120u of the support part 120 is recessed. The upper support trench UST may have a ring shape. The upper support trench UST may share a central axis with the support 120.

패키징 구조체(PS)는 몸체(3)의 가장자리를 감쌀 수 있다. 패키징 구조체(PS)는 몸체(3)의 테두리를 따라 연장할 수 있다. 패키징 구조체(PS)는 단단한 재질을 가질 수 있다. 패키징 구조체(PS)는 상부 지지 트렌치(UST)를 채우는 돌출부를 포함할 수 있다. 패키징 구조체(PS)는 돌출부에 의해 몸체(3)에 결합될 수 있다.The packaging structure PS may surround the edge of the body 3. The packaging structure PS may extend along the rim of the body 3. The packaging structure PS may have a hard material. The packaging structure PS may include a protrusion filling the upper support trench UST. The packaging structure PS may be coupled to the body 3 by a protrusion.

본 발명의 개념에 따른 패키징 구조체(PS)는 상부 지지 트렌치(UST)에 의해 몸체부(3)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 반사형 능동 가변 렌즈(30)의 구조적 안정성이 개선될 수 있다.The packaging structure PS according to the concept of the present invention may be coupled to the body portion 3 by an upper support trench UST. Accordingly, structural stability of the reflective active variable lens 30 may be improved.

도 16은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 저면 사시도이다. 도 17은 도 16에 도시된 반사형 능동 가변 렌즈의 분해 사시도이다. 도 18은 도 16에 도시된 반사형 능동 가변 렌즈의 도 1의 I-I'선에 대응하는 단면도이다. 설명의 간결함을 위해 도 7 내지 도 9를 참조하여 설명된 것과 실질적으로 동일한 내용은 설명되지 않을 수 있다.16 is a bottom perspective view of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention. 17 is an exploded perspective view of the reflective active variable lens shown in FIG. 16. 18 is a cross-sectional view corresponding to line II′ of FIG. 1 of the reflective active variable lens shown in FIG. 16. For the sake of brevity, the contents substantially the same as those described with reference to FIGS. 7 to 9 may not be described.

도 16 내지 도 18을 참조하면, 몸체부(4), 상부 전극(210), 하부 전극(220), 반사부(300), 및 추가 지지부(400)를 포함하는 반사형 능동 가변 렌즈(40)가 제공될 수 있다. 몸체부(4)는 변형부(110) 및 지지부(120)를 포함할 수 있다. 지지부(120)의 내측면(122)의 형상을 제외하면, 본 실시예의 반사형 능동 가변 렌즈(40)는 도 7 내지 도 9를 참조하여 설명된 반사형 능동 가변 렌즈(20)와 실질적으로 동일할 수 있다. 16 to 18, a reflective active variable lens 40 including a body part 4, an upper electrode 210, a lower electrode 220, a reflective part 300, and an additional support part 400 Can be provided. The body part 4 may include a deformation part 110 and a support part 120. Except for the shape of the inner side 122 of the support 120, the reflective active variable lens 40 of this embodiment is substantially the same as the reflective active variable lens 20 described with reference to FIGS. 7 to 9 can do.

도 9에 도시된 것과 달리, 지지부(120)의 두께는 변형부(110)에 인접할수록 작을 수 있다. 지지부(120)의 최소 두께는 변형부(110)의 두께와 실질적으로 동일할 수 있다. 지지부(120)의 내측면(122)은 오목한 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 지지부(120)의 내직경(122d)은 변형부(110)의 바닥면(110b)으로부터 지지부(120)의 바닥면(120b)에 가까워질수록 커질 수 있다. 지지부(120)의 내직경(122d)은 지지부(120)의 상면(120u)에 평행한 방향을 따르는 지지부(120)의 내측면(122)의 두 지점 사이의 최대 거리일 수 있다. 이에 따라, 상기 내직경(122d)은 변형부(110)의 바닥면(110b)과 동일한 레벨에서 가장 작고, 지지부(120)의 바닥면(120b)과 동일한 레벨에서 가장 클 수 있다. Unlike that shown in FIG. 9, the thickness of the support part 120 may be smaller as it is closer to the deformation part 110. The minimum thickness of the support part 120 may be substantially the same as the thickness of the deformation part 110. The inner surface 122 of the support part 120 may have a concave shape. Accordingly, the inner diameter 122d of the support part 120 may increase as it approaches the bottom surface 120b of the support part 120 from the bottom surface 110b of the deformable part 110. The inner diameter 122d of the support portion 120 may be a maximum distance between two points of the inner surface 122 of the support portion 120 along a direction parallel to the upper surface 120u of the support portion 120. Accordingly, the inner diameter 122d may be the smallest at the same level as the bottom surface 110b of the deformable portion 110, and may be largest at the same level as the bottom surface 120b of the support unit 120.

지지부(120)의 두께는 변형부(110)에 인접할수록 작을 수 있다. 변형부(110)가 확장될 때, 변형부(110)에 인접한 지지부(120)의 일부가 함께 확장될 수 있다. 이에 따라, 변형부(110)의 변형 속도가 도 7 내지 도 9 또는 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명된 변형부(110)의 변형 속도보다 느릴 수 있다. 변형부의 변형이 너무 빠르게 일어난 경우, 소자가 열화될 수 있다. 본 발명의 개념에 따른 변형부(110)의 변형은 천천히 일어나므로, 반사형 능동 가변 렌즈(30)의 내구성이 개선될 수 있다. 반사형 능동 가변 렌즈(30)의 초점 위치는 변형부(110) 및 반사부(300)의 변형에 의해 능동적으로 조절될 수 있다.The thickness of the support part 120 may be smaller as it is adjacent to the deformation part 110. When the deformable part 110 is expanded, a part of the support part 120 adjacent to the deformable part 110 may be expanded together. Accordingly, the deformation speed of the deformation portion 110 may be slower than the deformation speed of the deformation portion 110 described with reference to FIGS. 7 to 9 or 1 to 4. If the deformation of the deformation occurs too quickly, the device may deteriorate. Since the deformation of the deformable part 110 according to the concept of the present invention occurs slowly, the durability of the reflective active variable lens 30 may be improved. The focus position of the reflective active variable lens 30 may be actively adjusted by the deformation of the deformable part 110 and the reflective part 300.

도 19는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 도 1의 I-I'선에 대응하는 단면도이다. 설명의 간결함을 위해 도 16 내지 도 18을 참조하여 설명된 것과 실질적으로 동일한 내용은 설명되지 않을 수 있다.19 is a cross-sectional view corresponding to line II′ of FIG. 1 of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention. For the sake of brevity, the contents substantially the same as those described with reference to FIGS. 16 to 18 may not be described.

도 19를 참조하면, 몸체부(4), 상부 전극(210), 하부 전극(220), 반사부(300), 및 추가 지지부(400)를 포함하는 반사형 능동 가변 렌즈(50)가 제공될 수 있다. 몸체부(4)는 변형부(110) 및 지지부(120)를 포함할 수 있다. 하부 전극(220)을 제외하면, 본 실시예의 반사형 능동 가변 렌즈(50)는 도 7 내지 도 9를 참조하여 설명된 반사형 능동 가변 렌즈(40)와 실질적으로 동일할 수 있다.Referring to FIG. 19, a reflective active variable lens 50 including a body 4, an upper electrode 210, a lower electrode 220, a reflective part 300, and an additional support 400 will be provided. I can. The body part 4 may include a deformation part 110 and a support part 120. Except for the lower electrode 220, the reflective active variable lens 50 of the present embodiment may be substantially the same as the reflective active variable lens 40 described with reference to FIGS. 7 to 9.

도 18에 도시된 것과 달리, 하부 전극(220)은 변형부(110)의 바닥면(110b)으로부터 내측면(122)을 따라 지지부(1200의 바닥면(120b)까지 연장될 수 있다. 하부 전극(220)이 추가 지지부(400)를 덮지 않는 것으로 도시되었으나, 이는 예시적인 것이다. 다른 예시적인 실시예들에서, 하부 전극(220)은 추가 지지부(400)의 바닥면 상에 제공될 수 있다.Unlike shown in Fig. 18, the lower electrode 220 may extend from the bottom surface 110b of the deformable portion 110 to the bottom surface 120b of the support portion 1200 along the inner side surface 122. The lower electrode Although it is shown that the 220 does not cover the additional support 400, this is exemplary. In other exemplary embodiments, the lower electrode 220 may be provided on the bottom surface of the additional support 400.

도 20은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 평면 사시도이다. 도 21은 도 20의 II-II'선을 따른 단면도이다. 설명의 간결함을 위해 도 16 내지 도 18을 참조하여 설명된 것과 실질적으로 동일한 내용은 설명되지 않을 수 있다.20 is a plan perspective view of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention. 21 is a cross-sectional view taken along line II-II' of FIG. 20. For the sake of brevity, the contents substantially the same as those described with reference to FIGS. 16 to 18 may not be described.

도 20 및 도 21을 참조하면, 몸체부(4), 상부 반사 전극(212), 하부 전극(220), 반사부(300), 및 추가 지지부(400)를 포함하는 반사형 능동 가변 렌즈(60)가 제공될 수 있다. 몸체부(4)는 변형부(110) 및 지지부(120)를 포함할 수 있다. 상부 반사 전극(212)을 제외하면, 본 실시예의 반사형 능동 가변 렌즈(60)는 도 20 내지 도 21을 참조하여 설명된 반사형 능동 가변 렌즈(40)와 실질적으로 동일할 수 있다. 20 and 21, a reflective active variable lens 60 including a body 4, an upper reflective electrode 212, a lower electrode 220, a reflective part 300, and an additional support 400. ) Can be provided. The body part 4 may include a deformation part 110 and a support part 120. Except for the upper reflective electrode 212, the reflective active variable lens 60 according to the present embodiment may be substantially the same as the reflective active variable lens 40 described with reference to FIGS. 20 to 21.

도 18에 도시된 것과 달리, 상부 반사 전극(212)이 변형부(110) 상에 배치될 수 있다. 상부 반사 전극(212)은 도 16 내지 도 18을 참조하여 설명된 상부 전극(210)의 기능 및 반사부(300)의 기능을 가질 수 있다. 즉, 상부 반사 전극(212)은 전압은 인가받을 수 있고, 입사광을 반사시킬 수 있다. 상부 반사 전극(212)은 유연성을 갖는 금속 박막을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상부 반사 전극(212)은 금(Au)을 포함할 수 있다. Unlike shown in FIG. 18, the upper reflective electrode 212 may be disposed on the deformable part 110. The upper reflective electrode 212 may have a function of the upper electrode 210 and a function of the reflective unit 300 described with reference to FIGS. 16 to 18. That is, the upper reflective electrode 212 can receive voltage and reflect incident light. The upper reflective electrode 212 may include a flexible metal thin film. For example, the upper reflective electrode 212 may include gold (Au).

본 발명의 개념에 따른 반사형 능동 가변 렌즈(60)의 초점 위치는 변형부(110) 및 반사부(300)의 변형에 의해 능동적으로 조절될 수 있다.The focus position of the reflective active variable lens 60 according to the concept of the present invention may be actively adjusted by the deformation of the deformable part 110 and the reflective part 300.

도 22는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 반사형 능동 가변 렌즈의 도 20의 II-II'선에 대응하는 단면도이다. 설명의 간결함을 위해, 도 20 및 도 21을 참조하여 설명된 것과 실질적으로 동일한 내용은 설명되지 않을 수 있다.22 is a cross-sectional view corresponding to line II-II' of FIG. 20 of a reflective active variable lens according to exemplary embodiments of the present invention. For the sake of brevity, contents substantially the same as those described with reference to FIGS. 20 and 21 may not be described.

도 22를 참조하면, 몸체부(4), 상부 전극(210), 하부 전극(220), 반사부(300), 및 추가 지지부(400)를 포함하는 반사형 능동 가변 렌즈(70)가 제공될 수 있다. 몸체부(4)는 변형부(110) 및 지지부(120)를 포함할 수 있다. 하부 전극(220)을 제외하면, 본 실시예의 반사형 능동 가변 렌즈(70)는 도 20 및 도 21을 참조하여 설명된 반사형 능동 가변 렌즈(60)와 실질적으로 동일할 수 있다.Referring to FIG. 22, a reflective active variable lens 70 including a body 4, an upper electrode 210, a lower electrode 220, a reflective part 300, and an additional support 400 will be provided. I can. The body part 4 may include a deformation part 110 and a support part 120. Except for the lower electrode 220, the reflective active variable lens 70 of the present embodiment may be substantially the same as the reflective active variable lens 60 described with reference to FIGS. 20 and 21.

도 21에 도시된 것과 달리, 하부 전극(220)은 변형부(110)의 바닥면(110b)으로부터 내측면(122)을 따라 지지부(1200의 바닥면(120b)까지 연장될 수 있다. 하부 전극(220)이 추가 지지부(400)를 덮지 않는 것으로 도시되었으나, 이는 예시적인 것이다. 다른 예시적인 실시예들에서, 하부 전극(220)은 추가 지지부(400)의 바닥면 상에 제공될 수 있다.Unlike shown in FIG. 21, the lower electrode 220 may extend from the bottom surface 110b of the deformable portion 110 to the bottom surface 120b of the support portion 1200 along the inner surface 122. The lower electrode Although it is shown that the 220 does not cover the additional support 400, this is exemplary. In other exemplary embodiments, the lower electrode 220 may be provided on the bottom surface of the additional support 400.

본 발명의 기술적 사상의 실시예들에 대한 이상의 설명은 본 발명의 기술적 사상의 설명을 위한 예시를 제공한다. 따라서 본 발명의 기술적 사상은 이상의 실시예들에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 상기 실시예들을 조합하여 실시하는 등 여러 가지 많은 수정 및 변경이 가능함은 명백하다. The above description of the embodiments of the technical idea of the present invention provides an example for explaining the technical idea of the present invention. Therefore, the technical idea of the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications and changes such as a combination of the above embodiments by a person skilled in the art within the technical scope of the present invention It is clear that this is possible.

10, 20, 30, 40: 반사형 능동 가변 렌즈
110: 변형부
120: 지지부
122: 내측면
210: 상부 전극
212: 상부 반사 전극
220: 하부 전극
300: 반사부
400: 지지부10, 20, 30, 40: reflective active variable lens
110: deformation portion
120: support
122: inner side
210: upper electrode
212: upper reflective electrode
220: lower electrode
300: reflector
400: support

Claims

Upper electrode;
A lower electrode disposed parallel to the upper electrode;
A deformation portion disposed between the upper electrode and the lower electrode;
A reflector disposed on the upper electrode; And
Including a support portion surrounding the deformation portion,
The deformable part and the support part are connected to each other without an interface, providing a single structure of one body,
The deformation portion expands from an initial shape when an electric field is formed between the upper electrode and the lower electrode,
The expanded deformable portion is contracted when the electric field is removed, and is restored to the initial shape,
The deformable part and the support part reflective active variable lens comprising an electroactive polymer.

The method of claim 1,
The support portion is a reflective active variable lens having a ring shape extending along the edge of the deformation portion.

The method of claim 2,
The support portion is a reflective active variable lens protruding from the bottom surface of the deformation portion in a direction perpendicular to the bottom surface.

The method of claim 2,
A lower support trench provided under the support part; And
Further comprising an additional support provided in the lower support trench,
The lower support trench includes a region in which a bottom surface of the support portion is recessed,
The additional support portion is a reflective active variable lens having a ring shape extending along an extension direction of the support portion.

The method of claim 2,
A reflective active variable lens further comprising a center hole exposing an inner side surface of the support part and a bottom surface of the lower electrode.

The method of claim 5,
The central hole is a reflective active variable lens having a uniform diameter.

The method of claim 5,
A reflective active variable lens having a larger diameter of the center hole as it is further from the deformation portion.

The method of claim 7,
A reflective active variable lens having a concave shape on the inner side of the support.

The method of claim 7,
The lower electrode is a reflective active variable lens extending from the inner surface of the support to the bottom surface of the support.

The method of claim 1,
The upper electrode and the reflective part are connected to each other to form an upper reflective electrode.

The method of claim 1,
Further comprising an upper support trench provided on the upper portion of the support,
The upper support trench includes a region in which an upper surface of the support portion is recessed, and the reflective active variable lens extends along an extension direction of the support portion.

The method of claim 11,
A reflective active variable lens further comprising a packaging structure extending along an edge of the support and covering an area adjacent to the edge.

The method of claim 12,
The packaging structure includes a protrusion filling the upper support trench.

Forming a body portion including a deformation portion, a support portion surrounding the deformation portion, and a center hole exposing a bottom surface of the deformation portion and an inner surface of the support portion;
Sequentially forming an upper electrode and a reflector on the upper surface of the deformable part; And
Including forming a lower electrode in the center hole,
The support portion has a ring shape extending in one body along the edge of the deformation portion without an interface with the deformation portion,
The lower electrode is disposed on the bottom surface of the deformation part,
The upper electrode and the lower electrode overlap each other along a direction perpendicular to the upper surface of the deformable part,
A method of manufacturing a reflective active variable lens including an electroactive polymer in the deformable part and the support part.

The method of claim 14,
Forming the body portion:
Providing a liquid polymer material on the mold structure;
Curing the liquid polymer material; And
A method of manufacturing a reflective active variable lens comprising removing the mold structure.

The method of claim 14,
The upper electrode is a method of manufacturing a reflective active variable lens extending from the upper surface of the deformable part to the upper surface of the support part.

The method of claim 14,
Further comprising forming an additional support under the support,
The method of manufacturing a reflective active variable lens having a ring shape that extends along the extension direction of the support part.

The method of claim 17,
Forming the additional support is:
Forming a lower support trench having a recessed bottom surface of the support under the support; And
A method of manufacturing a reflective active variable lens comprising inserting the additional support portion into the lower support trench.