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KR102181999B1 - 확장 시트, 확장 시트의 제조 방법 및 확장 시트의 확장 방법 - Google Patents

확장 시트, 확장 시트의 제조 방법 및 확장 시트의 확장 방법 Download PDF

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KR102181999B1
KR102181999B1 KR1020170065425A KR20170065425A KR102181999B1 KR 102181999 B1 KR102181999 B1 KR 102181999B1 KR 1020170065425 A KR1020170065425 A KR 1020170065425A KR 20170065425 A KR20170065425 A KR 20170065425A KR 102181999 B1 KR102181999 B1 KR 102181999B1
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신이치 후지사와
료지 다니모토
Original Assignee
가부시기가이샤 디스코
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Abstract

[과제] 확장 장치부터 용이하게 떼어낼 수 있는 확장 시트를 제공한다.
[해결수단] 판형의 피가공물(11)이 점착되어, 제1 방향(D1)에서 피가공물을 사이에 두고서 대면하며 또한 서로 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제1 협지 수단(4) 및 제2 협지 수단(6)과, 제1 방향에 수직인 제2 방향(D2)에서 피가공물을 사이에 두고서 대면하며 또한 서로 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제3 협지 수단(8) 및 제4 협지 수단(10)으로 피가공물 주변의 피협지 영역(A)이 협지되어 확장되는 확장 시트(1)로서, 기재(3)와, 기재 상에 형성되어, 자외선이 조사됨으로써 점착력이 저하하는 풀층(5)을 구비하고, 피협지 영역의 풀층의 점착력은 다른 영역(B)의 풀층의 점착력보다 낮다.

Description

확장 시트, 확장 시트의 제조 방법 및 확장 시트의 확장 방법{EXPANDED SHEET, PRODUCING METHOD FOR EXPANDED SHEET, AND EXPANDING METHOD FOR EXPANDED SHEET}
본 발명은, 판형의 피가공물에 접착한 상태로 확장되는 확장 시트(expand sheet), 이 확장 시트의 제조 방법 및 확장 시트의 확장 방법에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼로 대표되는 판형의 피가공물을 복수의 칩으로 분할하기 위해서, 피가공물의 내부에 레이저빔을 집광하여 분할의 기점이 되는 개질층(개질 영역)을 형성하고, 그 후, 분할에 필요한 힘을 가하는 가공 방법이 실용화되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 이 가공 방법에서는, 예컨대, 피가공물에 접착한 확장 시트를 확장함으로써, 피가공물에 힘을 가하여 복수의 칩으로 분할한다.
또한, 피가공물을 연삭 또는 연마할 때에 가해지는 힘을 이용하여, 개질층이 형성된 피가공물을 복수의 칩으로 분할하는 가공 방법도 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 2 참조). 이 가공 방법으로 피가공물을 복수의 칩으로 분할한 후에는, 피가공물에 접착한 확장 시트를 확장하여 인접하는 칩의 간격을 넓힌다. 이에 따라, 후에 칩을 취급할 때의 칩끼리의 접촉 등에 기인한 파손을 방지할 수 있다.
최근에는, 확장 시트를 원하는 방향으로 확장시킬 수 있는 확장 장치가 실용화되어 있다(예컨대, 특허문헌 3 참조). 이 확장 장치는, 확장 시트에 대략 평행한 제1 방향에서 피가공물을 사이에 두도록 배치되는 제1 협지 유닛(제1 협지 수단) 및 제2 협지 유닛(제2 협지 수단)과, 제1 방향에 수직인 제2 방향에서 피가공물을 사이에 두도록 배치되는 제3 협지 유닛(제3 협지 수단) 및 제4 협지 유닛(제4 협지 수단)을 구비하고 있다.
제1 협지 유닛과 제2 협지 유닛은 서로 멀어지는 방향으로 이동할 수 있게 구성되고, 제3 협지 유닛과 제4 협지 유닛은 서로 멀어지는 방향으로 이동할 수 있게 구성된다. 각 협지 유닛으로 확장 시트의 4개의 영역을 유지한 다음에, 제1 협지 유닛과 제2 협지 유닛을 서로 멀어지는 방향으로 이동시키고, 제3 협지 유닛과 제4 협지 유닛을 서로 멀어지는 방향으로 이동시키면, 확장 시트를 제1 방향 및 제2 방향으로 확장시킬 수 있다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개2002-192370호 공보 특허문헌 2:　국제공개　제2003/77295호 특허문헌　3: 일본 특허 공개 2014-22382호 공보
그런데, 전술한 확장 시트의 상면(또는 하면)에는 점착력(접착력)을 갖는 풀층(糊層)(접착층)이 형성되어 있다. 그 때문에, 각 협지 유닛으로 풀층을 포함하는 확장 시트를 위아래로 협지하면, 후에 각 협지 유닛으로부터 확장 시트를 떼어낼 수 없게 되는 경우가 있었다.
본 발명은 이러한 문제점에 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 확장 장치로부터 용이하게 떼어낼 수 있는 확장 시트, 이 확장 시트의 제조 방법 및 확장 시트의 확장 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 양태에 따르면, 판형의 피가공물이 점착되어, 제1 방향에서 상기 피가공물을 사이에 두고서 대면하며 또한 서로 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제1 협지 수단 및 제2 협지 수단과, 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에서 상기 피가공물을 사이에 두고서 대면하며 또한 서로 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제3 협지 수단 및 제4 협지 수단으로 상기 피가공물 주변의 피협지 영역이 협지되어 확장되는 확장 시트로서, 기재와, 이 기재 상에 형성되어, 자외선이 조사됨으로써 점착력이 저하하는 풀층을 구비하고, 상기 피협지 영역의 상기 풀층의 점착력은, 다른 영역의 상기 풀층의 점착력보다 낮은 확장 시트가 제공된다.
또한, 본 발명의 일 양태에 따르면, 롤 형상으로 권취되어 시트 롤을 구성하는 전술한 확장 시트로서, 상기 시트 롤의 권취 방향을 상기 제1 방향, 이 제1 방향에 수직인 방향을 상기 제2 방향으로 하여, 상기 시트 롤의 상기 제1 방향으로 미리 정해진 간격으로 배치되어 상기 제2 방향의 일단부에서부터 타단부에 이르는 복수의 제1 저점착 영역과, 상기 시트 롤의 상기 제2 방향의 상기 일단부 측과 상기 타단부 측에 있어서 각각 상기 제1 방향으로 신장하는 제2 저점착 영역을 상기 피협지 영역으로서 갖는 확장 시트가 제공된다.
또한, 본 발명의 일 양태에 따르면, 판형의 피가공물이 점착되어, 제1 방향에서 상기 피가공물을 사이에 두고서 대면하며 또한 서로 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제1 협지 수단 및 제2 협지 수단과, 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에서 상기 피가공물을 사이에 두고서 대면하며 또한 서로 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제3 협지 수단 및 제4 협지 수단으로 상기 피가공물 주변의 피협지 영역이 협지되어 확장되는 확장 시트의 제조 방법으로서, 기재와, 이 기재 상에 형성되어, 자외선이 조사됨으로써 점착력이 저하하는 풀층을 구비하는 확장 시트를 준비하는 준비 단계와, 상기 피협지 영역의 상기 풀층에 대하여 선택적으로 자외선을 조사함으로써, 상기 피협지 영역의 상기 풀층의 점착력을, 다른 영역의 상기 풀층의 점착력보다 저하시키는 자외선 조사 단계를 구비하는 확장 시트의 제조 방법이 제공된다.
또한, 본 발명의 일 양태에 따르면, 기재와, 이 기재 상에 형성되어, 자외선이 조사됨으로써 점착력이 저하하는 풀층을 구비하는 확장 시트를 판형의 피가공물에 점착하는 제1 점착 단계와, 이 제1 점착 단계를 실시하기 전 또는 실시한 후에, 제1 방향에서 상기 피가공물을 사이에 두고서 대면하는 제1 협지 수단과 제2 협지 수단으로 상기 확장 시트를 협지하고, 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에서 상기 피가공물을 사이에 두고서 대면하는 제3 협지 수단과 제4 협지 수단으로 상기 확장 시트를 협지하는 협지 단계와, 상기 점착 단계와 상기 협지 단계를 실시한 후, 상기 제1 협지 수단과 상기 제2 협지 수단을 상기 제1 방향에서 서로 멀어지는 방향으로 이동시키고, 상기 제3 협지 수단과 상기 제4 협지 수단을 상기 제2 방향에서 서로 멀어지는 방향으로 이동시키는 확장 단계와, 상기 확장 단계를 실시한 후, 상기 피가공물을 수용할 수 있는 개구를 갖춘 환형의 프레임을 상기 확장 시트의 상기 피가공물을 둘러싸는 영역에 점착하는 제2 점착 단계와, 이 제2 점착 단계를 실시한 후, 상기 확장 시트를 상기 프레임에 따라서 절단하는 절단 단계와, 상기 협지 단계를 실시하기 전에, 상기 제1 협지 수단과 상기 제2 협지 수단과 상기 제3 협지 수단과 상기 제4 협지 수단으로 협지되는 피협지 영역의 상기 풀층에 대하여 선택적으로 자외선을 조사함으로써, 상기 피협지 영역의 상기 풀층의 점착력을 다른 영역의 상기 풀층의 점착력보다 저하시키는 자외선 조사 단계를 구비하는 확장 시트의 확장 방법이 제공된다.
본 발명의 일 양태에 따른 확장 시트에서는, 제1 협지 수단, 제2 협지 수단, 제3 협지 수단 및 제4 협지 수단으로 협지되는 피협지 영역의 풀층의 점착력이, 다른 영역의 풀층의 점착력보다 낮게 되어 있기 때문에, 각 협지 수단으로부터 확장 시트를 용이하게 떼어낼 수 있다.
또한, 본 발명의 일 양태에 따른 확장 시트의 제조 방법에서는, 제1 협지 수단, 제2 협지 수단, 제3 협지 수단 및 제4 협지 수단으로 협지되는 피협지 영역의 풀층에 대하여 선택적으로 자외선을 조사함으로써, 피협지 영역의 풀층의 점착력을, 다른 영역의 풀층의 점착력보다 저하시키기 때문에, 전술한 확장 시트를 간단히 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 양태에 따른 확장 시트의 확장 방법에서는, 제1 협지 수단, 제2 협지 수단, 제3 협지 수단 및 제4 협지 수단으로 협지되는 피협지 영역의 풀층에 대하여 선택적으로 자외선을 조사함으로써, 피협지 영역의 풀층의 점착력을, 다른 영역의 풀층의 점착력보다 저하시키기 때문에, 확장 시트를 확장한 후에, 각 협지 수단으로부터 확장 시트를 용이하게 떼어낼 수 있다.
도 1의 (A)는 확장 시트의 구성예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 1의 (B)는 확장 시트의 구성예를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 2의 (A) 및 도 2의 (B)는 확장 시트의 제조 방법의 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 3은 확장 시트가 확장 장치에 의해서 협지된 모습을 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 4는 확장 시트에 피가공물이 접착된 모습을 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 5는 확장 시트가 확장 장치에 의해서 확장된 모습을 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 6은 확장 시트에 환형의 프레임이 접착되는 모습을 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 7은 환형의 프레임을 따라서 확장 시트가 절단된 상태를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 8은 확장 시트에 자외선이 조사되는 모습을 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 9는 확장 시트로부터 칩이 떼어내지는 모습을 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 10은 변형예에 따른 확장 시트의 구성예를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일 양태에 따른 실시형태에 관해서 설명한다. 도 1의 (A)는 본 실시형태에 따른 확장 시트의 구성예를 모식적으로 도시하는 사시도이고, 도 1의 (B)는 확장 시트의 구성예를 모식적으로 도시하는 단면도이다. 도 1의 (A) 및 도 1의 (B)에 도시한 것과 같이, 본 실시형태의 확장 시트(1)는, 시트형의 기재(3)와, 기재(3)의 제1 면(상면)(3a) 측에 형성된 점착력(접착력)이 있는 풀층(접착층)(5)을 포함한다.
기재(3)는, 예컨대, 폴리올레핀이나 염화비닐 등의 수지를 이용하여 평면에서 봤을 때 직사각형으로 형성된다. 단, 후술하는 확장 장치를 이용하여 적절히 확장시킬 수 있는 것이라면, 기재(3)의 형상, 재질 등에 제한은 없다. 한편, 풀층(5)은, 예컨대, 자외선(자외광)으로 경화하는 자외선 경화형의 수지 등을 이용하여, 확장 장치에 협지되는 피협지 영역의 점착력이 다른 영역의 점착력보다 낮게(약하게) 되도록 형성된다. 자외선 경화형의 수지로서는 예컨대 아크릴계나 고무계의 수지가 이용된다.
즉, 확장 장치에 의해서 협지되는 확장 시트(1)의 피협지 영역은, 풀층(5)의 점착력이 낮은 저점착 영역(A)이다. 한편, 저점착 영역(A)에 둘러싸이는 중앙의 영역은, 풀층(5)의 점착력이 높은(강한) 고점착 영역(B)이다. 예컨대, 풀층(5)을 구성하는 자외선 경화형의 수지에 자외선을 조사하면, 수지가 경화 또는 반경화하여 점착력도 저하된다. 따라서, 이 현상을 이용함으로써, 저점착 영역(A)과 고점착 영역(B)을 갖는 확장 시트(1)를 제조할 수 있다. 또, 풀층(5)의 점착력은 저점착 영역(A)에서 완전히 소실되어 있더라도 좋다.
도 2의 (A) 및 도 2의 (B)는 확장 시트(1)의 제조 방법의 예를 모식적으로 도시하는 단면도이다. 본 실시형태에 따른 확장 시트(1)를 제조할 때는, 우선, 도 2의 (A)에 도시한 것과 같이, 기재(3)의 제1 면(3a) 측에 풀층(5)을 갖춘 확장 시트(가공 전의 확장 시트)를 준비하는 준비 단계를 실시한다. 또, 이 단계에서는, 확장 시트 전체에서 풀층(5)의 점착력이 대략 같게 되어 있다.
준비 단계 후에는, 후의 저점착 영역(A)의 풀층(5)에 대하여 선택적으로 자외선을 조사하는 자외선 조사 단계를 실시한다. 자외선 조사 단계에서는, 우선, 자외선을 차단하는 마스크(7)를, 후의 고점착 영역(B)에 배치한다. 본 실시형태에서는, 도 2의 (B)에 도시한 것과 같이, 마스크(7)를 기재(3)의 제2 면(3b)에 배치하고 있다. 따라서, 마스크(7)가 풀층(5)에 접합되어 떼어내기 어렵게 되는 일은 없다.
마스크(7)를 배치한 후에는, 기재(3)의 제2 면(3b) 측의 광원(9)으로부터 풀층(5)으로 향해서 자외선을 조사한다. 본 실시형태에서는, 전술한 것과 같이, 후의 고점착 영역(B)에 마스크(7)를 배치하고 있다. 또한, 기재(3)는, 자외선을 투과할 수 있게 구성되어 있다. 따라서, 광원(9)으로부터 방사되는 자외선은, 후의 저점착 영역(A)(마스크(7)가 배치되어 있지 않은 영역)의 풀층(5)에 대하여 선택적으로 조사된다.
자외선에 의해서 풀층(5)을 경화 또는 반경화한 후에는, 기재(3)로부터 마스크(7)를 제거한다. 이에 따라, 풀층(5)의 점착력이 저하한 저점착 영역(A)과, 풀층(5)의 점착력이 저하하지 않은 고점착 영역(B)을 구비하는 확장 시트(1)가 완성된다. 또, 기재(3)가 자외선을 투과하지 않는 경우에는, 기재(3)의 제1 면(3a) 측(풀층(5) 측)에 마스크(7)를 배치하여, 제1 면(3a) 측의 광원으로부터 풀층(5)으로 향해서 자외선을 조사하여도 좋다. 이 경우에는, 풀층(5)에 마스크(7)가 접합되지 않게 마스크(7)의 표면을 불소 수지 등으로 처리해 두면 좋다.
이어서, 전술한 확장 시트(1)의 제조 방법을 일부에 포함하는 확장 시트의 확장 방법에 관해서 설명한다. 우선, 전술한 확장 시트(1)의 제조 방법에 따라서 준비 단계 및 자외선 조사 단계를 실시한다. 이에 따라, 피협지 영역(저점착 영역(A))의 점착력이 다른 영역(고점착 영역(B))의 점착력보다 낮은 풀층(5)을 구비하는 확장 시트(1)가 완성된다.
자외선 조사 단계 후에는, 확장 시트(1)를 확장 장치로 협지하는 협지 단계를 실시한다. 도 3은 확장 시트(1)가 확장 장치에 의해서 협지된 모습을 모식적으로 도시하는 사시도이다. 또, 도 3에서는, 후에 판형의 피가공물(11)(도 4 참조)이 접착되는 영역(C)을 아울러 나타내고 있다.
도 3에 도시한 것과 같이, 확장 장치(2)는, 확장 시트(1)에 대략 평행한 제1 방향(D1)에서 영역(C)(즉, 피가공물(11))을 사이에 두도록 배치되는 제1 협지 유닛(제1 협지 수단)(4)과 제2 협지 유닛(제2 협지 수단)(6)을 구비하고 있다. 또한, 확장 장치(2)는, 확장 시트(1)에 대략 평행하며 또한 제1 방향(D1)에 수직인 제2 방향(D2)에서 영역(C)을 사이에 두도록 배치되는 제3 협지 유닛(제3 협지 수단)(8)과 제4 협지 유닛(제4 협지 수단)(10)을 구비하고 있다.
제1 협지 유닛(4)과 제2 협지 유닛(6)은 각각 수평 이동 기구(도시되지 않음)에 의해서 지지되어 있고, 서로 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. 마찬가지로, 제3 협지 유닛(8)과 제4 협지 유닛(10)은 각각 수평 이동 기구(도시되지 않음)에 의해서 지지되어 있고, 서로 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다.
제1 협지 유닛(4), 제2 협지 유닛(6), 제3 협지 유닛(8) 및 제4 협지 유닛(10)은, 각각 확장 시트(1)의 위쪽(풀층(5) 측)에 배치되는 상측 지지 부재(12)와, 확장 시트(1)의 아래쪽(기재(3)의 제2 면(하면)(3b) 측)에 배치되는 하측 지지 부재(14)를 포함한다. 상측 지지 부재(12) 및 하측 지지 부재(14)는 모두 미리 정해진 방향으로 신장하는 막대 형상으로 형성되어 있다. 상측 지지 부재(12) 및 하측 지지 부재(14)의 신장 방향의 길이는 모두 영역(C)의 직경보다 길게 되어 있다.
제1 협지 유닛(4) 및 제2 협지 유닛(6)이 구비하는 상측 지지 부재(12) 및 하측 지지 부재(14)는 제2 방향(D2)으로 신장하고 있다. 한편, 제3 협지 유닛(8) 및 제4 협지 유닛(10)이 구비하는 상측 지지 부재(12) 및 하측 지지 부재(14)는 제1 방향(D1)으로 신장하고 있다.
각 상측 지지 부재(12)의 아래쪽 및 각 하측 지지 부재(14)의 위쪽에는, 복수의 접촉 부재(16)가 부착되어 있다. 복수의 접촉 부재(16)는 모두 원주형으로 형성되어 있고, 확장 시트(1)에 접촉한 상태로 회전할 수 있다. 제1 협지 유닛(4) 및 제2 협지 유닛(6)이 구비하는 복수의 접촉 부재(16)의 회전축은 모두 제1 방향(D1)에 평행하고, 제3 협지 유닛(8) 및 제4 협지 유닛(10)이 구비하는 복수의 접촉 부재(16)의 회전축은 모두 제2 방향(D2)에 평행하다.
확장 시트(1)를 유지할 때는, 도 3에 도시한 것과 같이, 각 협지 유닛의 상측 지지 부재(12)와 하측 지지 부재(14)로, 확장 시트(1)의 저점착 영역(A)을 위아래로 사이에 끼운다. 즉, 확장 시트(1)의 고점착 영역(B) 주변의 저점착 영역(A)을, 제1 협지 유닛(4), 제2 협지 유닛(6), 제3 협지 유닛(8) 및 제4 협지 유닛(10)으로 협지하여, 이 확장 시트(1)의 저점착 영역(A)에 복수의 접촉 부재(16)를 접촉시킨다.
협지 단계 후에는, 확장 시트(1)에 판형의 피가공물(11)을 접착하는 제1 점착 단계를 실시한다. 도 4는 확장 시트(1)에 피가공물(11)이 접착된 모습을 모식적으로 도시하는 사시도이다.
피가공물(11)은, 예컨대, 실리콘 등의 반도체로 이루어지는 원형의 웨이퍼이며, 그 제1 면(표면)(11a) 측은, 중앙의 디바이스 영역과, 디바이스 영역을 둘러싸는 외주 잉여 영역으로 나뉘어져 있다. 디바이스 영역은, 격자형으로 배열된 분할 예정 라인(스트리트)으로 또한 복수의 영역으로 구획되어 있고, 각 영역에는 IC, LSI 등의 디바이스(13)가 형성되어 있다.
피가공물(11)의 내부에는, 예컨대, 분할의 기점이 되는 개질층(도시되지 않음)이 분할 예정 라인을 따라서 형성되어 있다. 이 개질층은, 피가공물(11)에 흡수되기 어려운 파장의 레이저빔을 분할 예정 라인을 따라서 집광하는 방법으로 형성할 수 있다. 또, 개질층 대신에, 절삭이나 레이저 어블레이션 등의 방법으로 형성되는 홈 등을 분할의 기점으로서 이용할 수도 있다.
제1 점착 단계에서는, 예컨대, 이 피가공물(11)의 제2 면(이면)(11b)을 확장 시트(1)의 영역(C)에 맞춰 풀층(5)에 밀착시킨다. 또, 본 실시형태에서는, 실리콘 등의 반도체로 이루어지는 원형의 웨이퍼를 피가공물(11)로서 이용하지만, 피가공물(11)의 재질, 형상, 구조 등에 제한은 없다.
예컨대, 세라믹, 수지, 금속 등의 재료로 이루어지는 기판을 피가공물(11)로서 이용할 수도 있다. 또한, 복수의 칩으로 분할된 후의 웨이퍼나 기판 등을 피가공물(11)로서 이용하여도 좋다. 이 경우에는, 확장 시트(1)를 확장함으로써, 피가공물(11) 내에서 인접하는 칩 사이의 간격을 넓히는 가공이 실시된다.
제1 점착 단계 후에는 확장 시트(1)를 확장하는 확장 단계를 실시한다. 도 5는 확장 시트(1)가 확장 장치(2)에 의해서 확장된 모습을 모식적으로 도시하는 사시도이다. 확장 시트(1)를 확장시킬 때는, 제1 협지 유닛(4) 및 제2 협지 유닛(6)을 지지하는 수평 이동 기구를 작동시켜, 제1 협지 유닛(4)과 제2 협지 유닛(6)을 서로 멀어지는 방향으로 이동시킨다.
또한, 제3 협지 유닛(8) 및 제4 협지 유닛(10)을 지지하는 수평 이동 기구를 작동시켜, 제3 협지 유닛(8)과 제4 협지 유닛(10)을 서로 멀어지는 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 도 5에 도시한 것과 같이, 확장 시트(1)를 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 확장시켜, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)을 따르는 방향의 힘을 피가공물(11)에 부여할 수 있다.
전술된 것과 같이, 제1 방향(D1)에서 서로 멀어지는 방향으로 이동하는 제1 협지 유닛(4) 및 제2 협지 유닛(6)에는, 제1 방향(D1)에 평행한 회전축의 둘레로 회전하는 복수의 접촉 부재(16)가 마련되어 있다. 또한, 제2 방향(D2)에서 서로 멀어지는 방향으로 이동하는 제3 협지 유닛(8) 및 제4 협지 유닛(10)에는, 제2 방향(D2)에 평행한 회전축의 둘레로 회전하는 복수의 접촉 부재(16)가 마련되어 있다.
그 때문에, 확장 시트(1)는, 제1 협지 유닛(4) 및 제2 협지 유닛(6)에 의해서 제2 방향(D2)으로 이동할 수 있게 유지되고, 제3 협지 유닛(8) 및 제4 협지 유닛(10)에 의해서 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있게 유지된다. 즉, 제1 협지 유닛(4)과 제2 협지 유닛(6)에 의해 유지되는 영역을, 제2 방향(D2)에 있어서 적절히 확장시킬 수 있고, 제3 협지 유닛(8)과 제4 협지 유닛(10)에 의해 유지되는 영역을, 제1 방향(D1)에 있어서 적절히 확장시킬 수 있다.
확장 시트(1)의 확장에 의해서, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)을 따르는 방향의 힘이 피가공물(11)에 부여되면, 피가공물(11)은, 개질층이 형성된 분할 예정 라인을 따라서 복수의 칩으로 분할되고, 또한, 인접하는 칩끼리의 간격이 넓혀진다. 또, 피가공물(11)을 적절히 분할하여, 칩끼리의 간격을 충분히 넓히기 위해서는, 각 분할 예정 라인의 배열 방향(각 분할 예정 라인에 수직인 방향)을 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)에 일치시켜, 확장에 의해서 발생하는 힘을 효율적으로 이용하는 것이 바람직하다.
확장 단계 후에는, 확장 시트(1)에 환형의 프레임(21)을 접착하여 고정하는 제2 점착 단계를 실시한다. 도 6은 확장 시트(1)에 환형의 프레임(21)이 접착되는 모습을 모식적으로 도시하는 사시도이다. 제2 점착 단계에서는, 예컨대 도 6에 도시한 것과 같이, 피가공물(11)을 수용할 수 있는 개구를 갖춘 환형의 프레임(21)을, 확장 시트(1)의 영역(C)을 둘러싸는 영역에 맞춰 풀층(5)에 밀착시킨다.
이에 따라, 환형의 프레임(21)을 확장 시트(1)에 접착하여 고정할 수 있다. 본 실시형태에서는, 확장 시트(1)를 확장한 상태에서, 피가공물(11)을 둘러싸도록 환형의 프레임(21)을 고정하기 때문에, 확장 시트(1)의 확장을 해제한 후에도, 칩끼리의 간격은 넓어진 상태로 유지된다.
제2 점착 단계 후에는, 환형의 프레임(21)을 따라서 확장 시트(1)를 절단하는 절단 단계를 실시한다. 도 7은 환형의 프레임(21)을 따라서 확장 시트(1)가 절단된 상태를 모식적으로 도시하는 사시도이다. 확장 시트(1)는, 예컨대, 기재(3)의 제2 면(3b) 측으로부터 프레임(21)을 따라서 절단된다. 이에 따라, 피가공물(11),프레임(21) 및 절단된 확장 시트(23)로 이루어지는 프레임 유닛이 완성된다.
또, 프레임 유닛을 완성시킨 후에는, 확장 장치(2)로부터 확장 시트(1)가 떼어내어진다. 본 실시형태에서는, 피가공물(11)이나 프레임(21)을 접착하는 고점착 영역(B)에 비해서 풀층(5)의 점착력이 낮은 저점착 영역(A)을 각 협지 유닛으로 협지하고 있기 때문에, 확장 시트(1)를 확장 장치(2)로부터 용이하게 떼어낼 수 있다.
절단 단계 후에는, 프레임 유닛을 구성하는 확장 시트(23)에 자외선을 조사하여, 풀층(5)의 점착력을 저하시키는 점착력 저하 단계를 실시한다. 도 8은 확장 시트(23)에 자외선이 조사되는 모습을 모식적으로 도시하는 사시도이다. 이 점착력 저하 단계에서는, 도 8에 도시한 것과 같이, 예컨대, 확장 시트(23)의 기재(3)(제2 면(3b)) 측의 광원(9)으로부터 자외선을 조사한다.
전술된 것과 같이, 기재(3)는 자외선을 투과할 수 있게 구성되어 있다. 따라서, 광원(9)으로부터 방사되는 자외선은 기재(3)를 통하여 풀층(5)에 조사된다. 이에 따라, 확장 시트(23) 전체에서 풀층(5)의 점착력을 저하시켜, 확장 시트(23)로부터 칩을 용이하게 떼어낼 수 있게 된다.
점착력 저하 단계 후에는, 확장 시트(23)로부터 칩을 떼어내는(픽업하는) 제거 단계를 실시한다. 도 9는 확장 시트로부터 칩이 떼어내어지는 모습을 모식적으로 도시하는 단면도이다. 본 실시형태에서는, 전술한 점착력 저하 단계에서 풀층(5)의 점착력을 저하시키고 있다. 따라서, 도 9에 도시한 것과 같이, 확장 시트(23)로부터 칩(15)을 용이하게 떼어낼 수 있다. 확장 시트(23)로부터 떼어내어진 칩(15)은, 예컨대, 임의의 회로 기판 등에 실장하여 사용된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 따른 확장 시트에서는, 제1 협지 유닛(제1 협지 수단)(4), 제2 협지 유닛(제2 협지 수단)(6), 제3 협지 유닛(제3 협지 수단)(8) 및 제4 협지 유닛(제4 협지 수단)(10)으로 협지되는 피협지 영역(저점착 영역(A))의 풀층(5)의 점착력이, 다른 영역(고점착 영역(B))의 풀층(5)의 점착력보다 낮게 되어 있기 때문에, 각 협지 유닛으로부터 확장 시트를 용이하게 떼어낼 수 있다.
또한, 본 실시형태에 따른 확장 시트의 제조 방법에서는, 제1 협지 유닛(4), 제2 협지 유닛(6), 제3 협지 유닛(8) 및 제4 협지 유닛(10)으로 협지되는 피협지 영역의 풀층(5)에 대하여 선택적으로 자외선을 조사함으로써, 피협지 영역의 풀층(5)의 점착력을, 다른 영역의 풀층(5)의 점착력보다 저하시키기 때문에, 전술한 확장 시트를 간단히 제조할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 따른 확장 시트의 확장 방법에서는, 제1 협지 유닛(4), 제2 협지 유닛(6), 제3 협지 유닛(8) 및 제4 협지 유닛(10)으로 협지되는 피협지 영역의 풀층(5)에 대하여 선택적으로 자외선을 조사함으로써, 피협지 영역의 풀층(5)의 점착력을 다른 영역의 풀층(5)의 점착력보다 저하시키기 때문에, 확장 시트를 확장한 후에, 각 협지 유닛으로부터 용이하게 떼어낼 수 있다.
또, 본 발명은 상기 실시형태의 기재에 한정되지 않으며, 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. 예컨대, 상기 실시형태에 따른 확장 시트의 확장 방법에서는, 협지 단계 후에 점착 단계를 실시하고 있지만, 점착 단계 후에 협지 단계를 실시하여도 좋다. 또한, 이 경우에는, 점착 단계와 협지 단계 사이에 자외선 조사 단계를 실시할 수도 있다.
또한, 상기 실시형태에 따른 확장 시트(1)에서는, 평면에서 봤을 때 직사각형으로 형성된 기재(3)를 이용하고 있지만, 본 발명의 확장 시트에 이용되는 기재(3)의 형상에 제한은 없다. 도 10은 변형예에 따른 확장 시트의 구성예를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 10에 도시한 것과 같이, 변형예에 따른 확장 시트(31)는, 풀층(5) 측에 이형지 등으로 이루어지는 세퍼레이터 필름(33)이 접착된 상태로 롤 형상으로 권취되어 시트 롤(35)을 구성한다. 확장 시트(31)의 기본적인 구성은, 상기 실시형태에 따른 확장 시트(1)와 동일하므로, 공통의 구성 요소에는 동일한 부호를 붙이고 상세한 설명을 생략한다.
즉, 확장 시트(31)는, 시트형의 기재(3)와, 기재(3)의 제1 면(3a) 측에 형성된 점착력이 있는 풀층(5)을 포함하고 있다. 단, 확장 시트(31)를 구성하는 기재(3)는, 시트 롤(35)이 권취되는 제1 방향(D1)에 있어서, 확장 시트(1)를 구성하는 기재(3)보다 길게 되어 있다. 한편, 확장 시트(31)를 구성하는 기재(3)의 제2 방향(D2)의 길이는, 확장 시트(1)를 구성하는 기재(3)의 제2 방향(D2)의 길이와 같아도 좋다.
풀층(5)은, 확장 장치(2)에 협지되는 피협지 영역의 점착력이, 다른 영역의 점착력보다 낮게(약하게) 되도록 형성된다. 구체적으로는, 제2 방향(D2)의 일단부에서 타단부로 신장하고, 고점착 영역(B)에 비해서 풀층(5)의 점착력이 낮은 제1 저점착 영역(A1)이 제1 방향(D1)에 있어서 미리 정해진 간격으로 배치되어 있다.
또한, 제1 방향(D1)으로 신장하고, 고점착 영역(B)에 비해서 풀층(5)의 점착력이 낮은 제2 저점착 영역(A2)이 제2 방향(D2)의 일단부 측과 타단부 측에 배치되어 있다. 또, 이 확장 시트(31)를 사용할 때는, 확장 시트(31)를 시트 롤(35)로부터 풀어낸 후에, 세퍼레이터 필름(33)을 박리한다.
그 밖에 상기 실시형태에 따른 구조, 방법 등은, 본 발명의 원하는 범위를 일탈하지 않는 한 적절하게 변경하여 실시할 수 있다.
1: 확장 시트, 3: 기재, 3a: 제1 면(상면), 3b: 제2 면(하면), 5: 풀층(접착층), 7: 마스크, 9: 광원, 11: 피가공물, 11a: 제1 면(표면), 11b: 제2 면(이면), 13: 디바이스, 15: 칩, 21: 프레임, 23: 확장 시트, 31: 확장 시트, 33: 세퍼레이터 필름, 35: 시트 롤, 2:확장 장치, 4: 제1 협지 유닛(제1 협지 수단), 6: 제2 협지 유닛(제2 협지 수단), 8: 제3 협지 유닛(제3 협지 수단), 10: 제4 협지 유닛(제4 협지 수단), 12: 상측 지지 부재, 14: 하측 지지 부재, 16: 접촉 부재, A: 저점착 영역(피협지 영역), A1: 제1 저점착 영역(피협지 영역), A2: 제2 저점착 영역(피협지 영역), B: 고점착 영역(다른 영역), D1: 제1 방향, D2: 제2 방향

Claims (4)

  1. 판형의 피가공물이 점착되고, 제1 방향에서 상기 피가공물을 사이에 두고서 대면하며 또한 서로 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제1 협지 수단 및 제2 협지 수단과, 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에서 상기 피가공물을 사이에 두고서 대면하며 또한 서로 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제3 협지 수단 및 제4 협지 수단으로 상기 피가공물 주변의 피협지 영역이 협지되어 확장되는 확장 시트로서,
    기재(基材)와, 이 기재 상에 형성되어, 자외선이 조사됨으로써 점착력이 저하하는 풀층을 구비하고,
    상기 피협지 영역의 상기 풀층의 점착력은, 다른 영역의 상기 풀층의 점착력보다 낮은 것을 특징으로 하는 확장 시트.
  2. 롤 형상으로 권취되어 시트 롤을 구성하는 제1항에 기재된 확장 시트로서,
    상기 시트 롤의 권취 방향을 상기 제1 방향, 상기 제1 방향에 수직인 방향을 상기 제2 방향으로 하여, 상기 시트 롤의 상기 제1 방향으로 미리 정해진 간격으로 배치되어 상기 제2 방향의 일단부에서부터 타단부에 이르는 복수의 제1 저점착 영역과, 상기 시트 롤의 상기 제2 방향의 상기 일단부 측과 상기 타단부 측에 있어서 각각 상기 제1 방향으로 신장하는 제2 저점착 영역을 상기 피협지 영역으로서 갖는 것을 특징으로 하는 확장 시트.
  3. 판형의 피가공물이 점착되어, 제1 방향에서 상기 피가공물을 사이에 두고서 대면하며 또한 서로 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제1 협지 수단 및 제2 협지 수단과, 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에서 상기 피가공물을 사이에 두고서 대면하며 또한 서로 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제3 협지 수단 및 제4 협지 수단으로 상기 피가공물 주변의 피협지 영역이 협지되어 확장되는 확장 시트의 제조 방법으로서,
    기재와, 이 기재 상에 형성되고, 자외선이 조사됨으로써 점착력이 저하하는 풀층을 구비하는 확장 시트를 준비하는 준비 단계와,
    상기 피협지 영역의 상기 풀층에 대하여 선택적으로 자외선을 조사함으로써, 상기 피협지 영역의 상기 풀층의 점착력을, 다른 영역의 상기 풀층의 점착력보다 저하시키는 자외선 조사 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 확장 시트의 제조 방법.
  4. 기재와, 이 기재 상에 형성되고, 자외선이 조사됨으로써 점착력이 저하하는 풀층을 구비하는 확장 시트를 판형의 피가공물에 점착하는 제1 점착 단계와,
    상기 제1 점착 단계를 실시하기 전 또는 실시한 후에, 제1 방향에서 상기 피가공물을 사이에 두고서 대면하는 제1 협지 수단과 제2 협지 수단으로 상기 확장 시트를 협지하고, 상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에서 상기 피가공물을 사이에 두고서 대면하는 제3 협지 수단과 제4 협지 수단으로 상기 확장 시트를 협지하는 협지 단계와,
    상기 점착 단계와 상기 협지 단계를 실시한 후, 상기 제1 협지 수단과 상기 제2 협지 수단을 상기 제1 방향에서 서로 멀어지는 방향으로 이동시키고, 상기 제3 협지 수단과 상기 제4 협지 수단을 상기 제2 방향에서 서로 멀어지는 방향으로 이동시키는 확장 단계와,
    상기 확장 단계를 실시한 후, 상기 피가공물을 수용할 수 있는 개구를 갖춘 환형의 프레임을 상기 확장 시트의 상기 피가공물을 둘러싸는 영역에 점착하는 제2 점착 단계와,
    상기 제2 점착 단계를 실시한 후, 상기 확장 시트를 상기 프레임을 따라서 절단하는 절단 단계와,
    상기 협지 단계를 실시하기 전에, 상기 제1 협지 수단과 상기 제2 협지 수단과 상기 제3 협지 수단과 상기 제4 협지 수단으로 협지되는 피협지 영역의 상기 풀층에 대하여 선택적으로 자외선을 조사함으로써, 상기 피협지 영역의 상기 풀층의 점착력을 다른 영역의 상기 풀층의 점착력보다 저하시키는 자외선 조사 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 확장 시트의 확장 방법.
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