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KR101773556B1 - The position alignment device and the method using the same - Google Patents

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KR101773556B1
KR101773556B1 KR1020170008747A KR20170008747A KR101773556B1 KR 101773556 B1 KR101773556 B1 KR 101773556B1 KR 1020170008747 A KR1020170008747 A KR 1020170008747A KR 20170008747 A KR20170008747 A KR 20170008747A KR 101773556 B1 KR101773556 B1 KR 101773556B1
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bellows
cylinder
piston
alignment object
alignment
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Inventor
나동화
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주식회사 디이엔티
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Abstract

본 발명에 따른 일 실시 예는, 얼라인 대상물이 안착되는 안착 플레이트, 안착 플레이트에 배치되며, 벨로우즈의 탄성 변형을 이용하여 얼라인 대상물의 위치를 정렬하는 벨로우즈 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.An embodiment according to the present invention is characterized by including a seating plate on which an alignment object is seated, and a bellows cylinder arranged on the seating plate, for aligning the position of the alignment object using the elastic deformation of the bellows.

Description

위치 정렬 장치 및 그 방법{The position alignment device and the method using the same}[0001] The present invention relates to a position alignment device and a method thereof,

본 발명은 위치 정렬 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 안착 플레이트 상에 안착되는 얼라인 대상물의 위치를 정렬하는 위치 정렬 장치 및 그 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a positioning apparatus and a method thereof, and more particularly, to a positioning apparatus and method for aligning a position of an alignment object placed on a seating plate.

산업에서 얼라인 대상물을 안착 플레이트 상에 정렬시켜야 하는 경우가 비일비재하다. 예컨대, 디스플레이 패널은 제조 과정 또는 품질 검사를 위해 안착 플레이트 상의 위치를 정밀하게 정렬하여야 한다. 디스플레이 패널의 위치가 정확하게 배치되어야, 제조 과정에서 불량률을 저감시킬 수 있다. 또한, 품질 검사에서 정확한 품질의 검사가 가능하다.It is common in industry to align the alignment object on the seating plate. For example, the display panel must precisely align the position on the seating plate for a manufacturing process or quality inspection. If the positions of the display panels are accurately arranged, the defective rate can be reduced in the manufacturing process. In addition, accurate quality inspection is possible in quality inspection.

종래 기술에 따르면, 안착 플레이트에 얼라인 대상물을 배치하여, 정렬하기 위해서 위치 정렬 핀과 실린더가 사용된다. 위치 정렬 핀은 얼라인 대상물의 가장자리에 배치된다. 위치 정렬 핀은 실린더에 의해 이동되어 얼라인 대상물의 측면에 접촉되면서, 얼라인 대상물의 위치를 정렬한다.According to the prior art, alignment pins and cylinders are used to align and align the alignment object on the seating plate. The alignment pin is disposed at the edge of the alignment object. The alignment pin is moved by the cylinder and contacts the side surface of the alignment object to align the alignment object.

이 경우, 위치 정렬 핀은 얼라인 대상물의 측면의 개수만큼 필요하다. 예컨대, 얼라인 대상물이 직육면체 형상을 가지면, 위치 정렬핀은 얼라인 대상물의 4개의 측변을 지지할 4개의 위치 정렬핀이 필요한 문제점이 있다. 즉, 간단하고 구조를 가지며, 정렬이 용이한 위치 정렬 장치가 필요하다.In this case, the positioning pins are needed as many as the number of side surfaces of the alignment object. For example, if the aligning object has a rectangular parallelepiped shape, there is a problem that the aligning pin requires four alignment pins for supporting the four sides of the aligning object. That is, there is a need for a positioning device that is simple, structured, and easy to align.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 간단한 구조를 가지며, 얼라인 대상물의 위치를 용이하고 정밀하게 정렬할 수 있는 위치 정렬 장치 및 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a positioning apparatus and a method therefor which are simple in structure and capable of easily and precisely aligning the position of an alignment object.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 위치 정렬 장치는, 얼라인 대상물이 안착되는 안착 플레이트, 안착 플레이트에 배치되며, 벨로우즈의 탄성 변형을 이용하여 얼라인 대상물의 위치를 정렬하는 벨로우즈 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a position alignment apparatus comprising: a positioning plate disposed on a seating plate and a seating plate on which an alignment object is seated; And a bellows cylinder for aligning the bellows cylinder.

또한, 얼라인 대상물은, 벨로우즈 실린더가 삽입되는 위치 조정용 홈을 가지는 것을 특징으로 한다.Further, the aligning object is characterized by having a position adjusting groove into which the bellows cylinder is inserted.

또한, 얼라인 대상물은 적어도 2개의 위치 조정용 홈을 가지며, 2개의 위치 조정용 홈은 평면상 얼라인 대상물의 중심을 기준으로 점 대칭되는 것을 특징으로 한다.Further, the alignment object has at least two positioning grooves, and the two positioning grooves are point-symmetric with respect to the center of the planar alignment object.

또한, 벨로우즈 실린더는 탄성을 가지는 벨로우즈와 벨로우즈에 연결된 피스톤을 포함하며, 피스톤이 안착 플레이트의 상부에서 하부를 향하여 이동할 때, 벨로우즈가 가압되어 탄성 변형되고, 피스톤이 안착 플레이트의 하부에서 상부를 향하여 이동할 때, 벨로우즈의 가압이 해제되는 것을 특징으로 한다.The bellows cylinder includes a resilient bellows and a piston connected to the bellows. When the piston moves downward from the top of the seating plate, the bellows is pressed and resiliently deformed, and the piston moves upward from the bottom of the seating plate , The pressure of the bellows is released.

또한, 벨로우즈 실린더는, 피스톤을 감싸는 실린더, 및 실린더에 연결되며, 피스톤을 구동하는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The bellows cylinder further includes a cylinder surrounding the piston and a driving unit connected to the cylinder and driving the piston.

또한, 피스톤은, 실린더의 내부에 배치된 피스톤 바디, 피스톤 바디에 연결되며, 벨로우즈를 관통하는 연결 로드, 및 연결 로드에 연결되며, 벨로우즈를 사이에 두고 피스톤 바디와 마주보는 피스톤 헤드를 포함하는 것을 특징으로 한다.The piston also includes a piston body disposed in the cylinder, a connecting rod connected to the piston body, a connecting rod penetrating the bellows, and a piston head connected to the connecting rod and opposed to the piston body with the bellows therebetween .

또한, 벨로우즈 실린더는 안착 플레이트를 관통하며, 벨로우즈는 안착 플레이트의 상부에서 위치 조정용 홈에 삽입되는 것을 특징으로 한다.Further, the bellows cylinder passes through the seating plate, and the bellows is inserted into the positioning groove in the upper part of the seating plate.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 위치 정렬 방법은, 안착 플레이트에 배치된 벨로우즈 실린더가 얼라인 대상물의 위치 조정용 홈에 삽입되게, 얼라인 대상물을 안착 플레이트에 안착시키는 단계, 벨로우즈 실린더의 벨로우즈를 탄성 변형시켜 얼라인 대상물의 위치를 정렬하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for aligning a bellows cylinder, comprising the steps of: placing a bellows cylinder placed on a seating plate on a seating plate so that the bellows cylinder is inserted into a positioning groove of an alignment object; And aligning the position of the alignment object by elastic deformation.

또한, 얼라인 대상물은 적어도 2개의 위치 조정용 홈을 가지며, 2개의 위치 조정용 홈은 평면상 얼라인 대상물의 중심을 기준으로 점 대칭되는 것을 특징으로 한다.Further, the alignment object has at least two positioning grooves, and the two positioning grooves are point-symmetric with respect to the center of the planar alignment object.

본 발명에 따른 위치 정렬 장치 및 그 방법에 따르면, 벨로우즈 실린더의 벨로우즈를 탄성 변형시켜, 얼라인 대상물을 안착 플레이트 상에 정밀하게 정렬시킬 수 있다.According to the aligning apparatus and method according to the present invention, the bellows of the bellows cylinder can be elastically deformed, and the aligning object can be precisely aligned on the seating plate.

또한, 얼라인 대상물은 벨로우즈 실린더의 직경 보다 상대적으로 큰 직경을 가지는 위치 조정용 홈을 가진다. 따라서, 벨로우즈 실린더를 위치 조정용 홈에 대응하여, 얼라인 대상물을 안착 플레이트에 안착 시키는 것이 용이하다.Further, the alignment object has a positioning groove having a diameter that is relatively larger than the diameter of the bellows cylinder. Therefore, it is easy to seat the alignment object on the seating plate in correspondence with the positioning groove for the bellows cylinder.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 위치 정렬 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 위치 정렬 장치를 개략적으로 도시한 분리도이다.
도 3은 도 1에 도시된 위치 정렬 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 벨로우즈 실린더를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 벨로우즈 실린더의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 위치 정렬 방법을 도시한 플로우 차트이다.
도 7은 도 5에 도시된 벨로우즈 실린더의 동작을 설명하는 도면이다.
도 8은 도 1에 도시된 위치 정렬 장치 및 그 방법에 의한 얼라인 실험 결과를 도시한 도면이다.1 is a perspective view schematically showing a positioning apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a sectional view schematically showing the alignment apparatus shown in Fig. 1. Fig.
3 is a plan view schematically showing the alignment apparatus shown in Fig.
4 is a perspective view schematically showing the bellows cylinder shown in Fig. 2. Fig.
5 is a cross-sectional view of the bellows cylinder shown in Fig.
6 is a flowchart illustrating a method of aligning according to an embodiment of the present invention.
7 is a view for explaining the operation of the bellows cylinder shown in Fig.
FIG. 8 is a view showing the aligning apparatus shown in FIG. 1 and the alignment test result by the method.

이하 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 위치 정렬 장치(10)를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, a position aligning apparatus 10 according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 위치 정렬 장치(10)를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 위치 정렬 장치(10)를 개략적으로 도시한 분리도이며, 도 3은 도 1에 도시된 위치 정렬 장치(10)를 개략적으로 도시한 평면도이다.Fig. 1 is a perspective view schematically showing a position alignment apparatus 10 according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a sectional view schematically showing the alignment apparatus 10 shown in Fig. 1, 1 is a plan view schematically showing the alignment apparatus 10 shown in Fig. 1. Fig.

도 1 내지 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 위치 정렬 장치(10)는 얼라인 대상물(11)이 안착되는 안착 플레이트(100) 및 벨로우즈 실린더(200)를 포함한다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 위치 정렬 장치(10)는 안착 플레이트(100)에 안착된 얼라인 대상물(11)의 위치를 벨로우즈 실린더(200)를 이용하여 정밀하게 정렬할 수 있다. 1 to 3, the aligning apparatus 10 according to an embodiment of the present invention includes a seating plate 100 on which the aligning object 11 is seated and a bellows cylinder 200. The alignment apparatus 10 according to an embodiment of the present invention can precisely align the position of the alignment object 11 seated on the seating plate 100 using the bellows cylinder 200. [

여기서, 얼라인 대상물(11)은 디스플레이 패널, PCB 기판 등의 캐리어 플레이트(carrier plate), 트레이(tray), 파렛트 등을 포함한다. 얼라인 대상물(11)은 벨로우즈 실린더(200)가 삽입되는 위치 조정용 홈(13)을 가진다. 얼라인 대상물(11)은 위치 조정용 홈(13)을 가지는 것으로 설명하나, 위치 조정용 홀(13)을 가질 수도 있다. Here, the aligning object 11 includes a carrier plate, a tray, a pallet, and the like, such as a display panel and a PCB substrate. The alignment object 11 has a positioning groove 13 into which the bellows cylinder 200 is inserted. The aligning object 11 is described as having the position adjusting groove 13, but it may have the position adjusting hole 13 as well.

도 3을 참조하면, 얼라인 대상물(11)은 다수의 위치 조정용 홈(13)을 가진다. 바람직하게 얼라인 대상물(11)은 2개의 위치 조정용 홈(13)을 가질 수 있다. 2개의 위치 조정용 홈(13)은 평면상 얼라인 대상물(11)의 중심(C)을 기준으로 점 대칭되게 배치된다. 이 경우, 2 개의 위치 조정용 홈(13) 중 어느 하나에 삽입된 벨로우즈 실린더(200)는 얼라인 대상물(11)의 일측의 위치를 정렬할 수 있다. 또한, 다른 하나의 위치 조정용 홈(13)에 삽입된 벨로우즈 실린더(200)는 얼라인 대상물(11)의 타측의 위치를 정렬할 수 있다. Referring to Fig. 3, the alignment object 11 has a plurality of positioning grooves 13. Preferably, the alignment object 11 may have two positioning grooves 13. The two positioning grooves 13 are arranged point-symmetrically with respect to the center C of the planar alignment object 11. In this case, the bellows cylinder 200 inserted into any one of the two positioning grooves 13 can align the position of one side of the alignment object 11. [ In addition, the bellows cylinder 200 inserted in the other positioning groove 13 can align the other side of the alignment object 11.

얼라인 대상물(11)의 중심(C)을 기준으로 점 대칭되는 얼라인 대상물(11)의 양 측을 위치 조정하므로, 3개 또는 4개 이상의 벨로우즈 실린더(200) 없이도, 얼라인 대상물(11)의 위치를 정밀하게 정렬할 수 있다. 즉, 2개의 벨로우즈 실린더(200)만 배치되므로, 제조 비용을 절감하고, 제조를 용이하게 할 수 있다.Alignment of both sides of the alignment object 11 point-symmetrical with respect to the center C of the alignment object 11 can be performed without aligning the alignment object 11 with three or four or more bellows cylinders 200. [ Can be precisely aligned. That is, since only two bellows cylinders 200 are disposed, manufacturing cost can be reduced and manufacturing can be facilitated.

한편, 얼라인 대상물(11)은 벨로우즈 실린더(200)의 직경 보다 더 큰 직경의 위치 조정용 홈(13)을 가질 수 있다. 즉, 얼라인 대상물(11)은 벨로우즈 실린더(200)의 직경 보다 상대적으로 큰 직경을 가지더라도, 얼라인 대상물(11)의 위치가 정밀하게 정렬될 수 있다. 또한, 벨로우즈 실린더(200)는 여유롭게 위치 조정용 홈(13)에 삽입될 수 있으므로, 얼라인 대상물(11)의 위치 조정이 용이한 효과가 있다.On the other hand, the alignment object 11 may have a position adjusting groove 13 having a diameter larger than the diameter of the bellows cylinder 200. That is, even if the alignment object 11 has a diameter relatively larger than the diameter of the bellows cylinder 200, the position of the alignment object 11 can be precisely aligned. In addition, since the bellows cylinder 200 can be easily inserted into the positioning groove 13, the position of the alignment object 11 can be easily adjusted.

도 4는 도 2에 도시된 벨로우즈 실린더(200)를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 벨로우즈 실린더(200)의 단면도이다.Fig. 4 is a perspective view schematically showing the bellows cylinder 200 shown in Fig. 2, and Fig. 5 is a sectional view of the bellows cylinder 200 shown in Fig.

도 2, 4 및 5를 참조하면, 벨로우즈 실린더(200)는 탄성을 가지는 벨로우즈(210)와 벨로우즈(210)에 연결된 피스톤(230)을 포함한다. 또한, 벨로우즈 실린더(200)는 안착 플레이트(100)를 관통할 수 있다. 이때, 벨로우즈(210)는 안착 플레이트(100)의 상부에서 위치 조정용 홈(13)에 삽입될 수 있다. 특히, 피스톤(230)이 안착 플레이트(100)의 상부에서 하부를 향하여 이동할 때, 벨로우즈(210)는 가압되어 탄성 변형된다. 벨로우즈(210)는 탄성 변형되어, 위치 조정용 홈(13)을 이루는 얼라인 대상물(11)의 내주면에 밀착된다. 이에 의해, 얼라인 대상물(11)은 안착 플레이트(100) 상에서 정위치로 정렬될 수 있다. 벨로우즈(210)는 피스톤(230)이 하 방향으로 이동될 때, 가압되어 탄성 변형되어야 한다. 만약, 벨로우즈(210)가 피스톤(230)이 상 방향으로 이동될 때, 가압되어 탄성 변형되면, 얼라인 대상물(11)이 안착 플레이트(100)로부터 들리는 문제가 발생될 수 있기 때문이다.2, 4 and 5, the bellows cylinder 200 includes a resilient bellows 210 and a piston 230 connected to the bellows 210. In addition, the bellows cylinder 200 can penetrate the seating plate 100. At this time, the bellows 210 can be inserted into the positioning groove 13 at the upper portion of the seating plate 100. Particularly, when the piston 230 moves downward from the top of the seating plate 100, the bellows 210 is pressed and elastically deformed. The bellows 210 is elastically deformed and brought into close contact with the inner peripheral surface of the alignment object 11 constituting the position adjusting groove 13. [ Thereby, the alignment object 11 can be aligned in position on the seating plate 100. The bellows 210 is pressed and resiliently deformed when the piston 230 is moved downward. This is because if the bellows 210 is pressed and elastically deformed when the piston 230 is moved upward, a problem that the alignment object 11 is lifted from the seating plate 100 may occur.

한편, 피스톤(230)이 안착 플레이트(100)의 하부에서 상부를 향하여 이동할 때, 벨로우즈(210)의 가압이 해제된다. 즉, 벨로우즈(210)는 원래 형태로 복원될 수 있다.On the other hand, when the piston 230 moves upward from the bottom of the seating plate 100, the pressing of the bellows 210 is released. That is, the bellows 210 can be restored to its original shape.

벨로우즈 실린더(200)는 실린더(250) 및 구동부(270)를 더 포함한다. 실린더(250)는 피스톤(230)을 감싼다. 구동부(270)는 실린더(250)에 연결되어 피스톤(230)을 구동한다. 일 실시 예로, 구동부(270)는 에어를 이용할 수 있다. 즉, 구동부(270)는 에어를 실린더(250)의 내부로 공급하거나, 실린더(250)의 내부로부터 에어를 흡입할 수 있다. 이에 의해, 피스톤(230)은 상부로 이동하거나, 하부로 이동될 수 있다.The bellows cylinder 200 further includes a cylinder 250 and a driving unit 270. The cylinder (250) surrounds the piston (230). The driving unit 270 is connected to the cylinder 250 to drive the piston 230. In one embodiment, the driver 270 may utilize air. That is, the driving unit 270 can supply air into the cylinder 250, or can suck air from the inside of the cylinder 250. Thereby, the piston 230 can be moved upward or downward.

피스톤(230)은 피스톤 바디(231), 연결 로드(233) 및 피스톤 헤드(235)를 포함할 수 있다. 피스톤 바디(231)는 실린더(250)의 내부에 배치된다. 구동부(270)는 실린더(250)의 내부로 에어를 공급하거나, 실린더(250)의 내부로부터 에어를 흡입하여 피스톤 바디(231)를 구동할 수 있다. 연결 로드(233)는 피스톤 바디(231)에 연결되며, 벨로우즈(210)를 관통할 수 있다. 피스톤 헤드(235)는 연결 로드(233)에 연결된다. 즉, 피스톤 헤드(235)는 원판 형상을 가질 수 있으며, 벨로우즈(210)를 사이에 두고 피스톤 바디(231)와 마주보게 배치된다.The piston 230 may include a piston body 231, a connecting rod 233, and a piston head 235. The piston body 231 is disposed inside the cylinder 250. The driving unit 270 may supply air to the inside of the cylinder 250 or may draw air from the inside of the cylinder 250 to drive the piston body 231. The connecting rod 233 is connected to the piston body 231 and can pass through the bellows 210. The piston head 235 is connected to the connecting rod 233. That is, the piston head 235 may have a disk shape and is arranged to face the piston body 231 with the bellows 210 interposed therebetween.

도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 위치 정렬 방법을 도시한 플로우 차트이고, 도 7은 도 5에 도시된 벨로우즈 실린더(200)의 동작을 설명하는 도면이다.FIG. 6 is a flowchart illustrating a method for aligning a position according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a view for explaining the operation of the bellows cylinder 200 shown in FIG.

도 2, 6 및 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 위치 정렬 방법은 얼라인 대상물(11)을 안착 플레이트(100)에 안착시키는 단계(S100), 및 벨로우즈 실린더(200)의 벨로우즈(210)를 탄성 변형시켜 얼라인 대상물(11)의 위치를 정렬하는 단계를 포함한다. 2, 6 and 7, an alignment method according to an embodiment of the present invention includes positioning an alignment object 11 on a seating plate 100 (S100), and aligning a bellows (not shown) of the bellows cylinder 200 And aligning the position of the alignment object (11) by elastically deforming the alignment member (210).

캐리어 기판 등을 포함하는 얼라인 대상물(11)은 안착 플레이트(100)에 안착시킨다. 안착 플레이트(100)에는 벨로우즈 실린더(200)가 배치되고, 얼라인 대상물(11)은 벨로우즈 실린더(200) 보다 비교적으로 큰 직경을 가지므로, 얼라인 대상물(11)의 안착이 용이하다.The alignment object 11 including the carrier substrate or the like is placed on the seating plate 100. The alignment plate 100 is provided with the bellows cylinder 200 and the alignment object 11 has a relatively larger diameter than the bellows cylinder 200 so that the alignment object 11 can be easily placed.

안착 플레이트(100)에 안착된 얼라인 대상물(11)은 벨로우즈 실린더(200)에 의해 정렬될 수 있다. 피스톤이 하강하면, 벨로우즈(210)는 가압되어 탄성 변형된다. 이때, 벨로우즈(210)는 위치 조정용 홈(13)을 이루는 얼라인 대상물(11)의 내주면에 밀착된다. 이에 의해, 얼라인 대상물(11)의 평면상 가로축(X축)과 세로축(Y축)을 기준으로 정 위치에 정밀하게 정렬될 수 있다.The alignment object 11 seated on the seating plate 100 can be aligned by the bellows cylinder 200. [ When the piston descends, the bellows 210 is pressed and elastically deformed. At this time, the bellows 210 is brought into close contact with the inner circumferential surface of the alignment object 11 constituting the position adjusting groove 13. Thereby, the alignment object 11 can be precisely aligned in the normal position with respect to the horizontal axis (X axis) and the vertical axis (Y axis) on the plane.

도 8은 도 1에 도시된 위치 정렬 장치(10) 및 그 방법에 의한 얼라인 실험 결과를 도시한 도면이다.FIG. 8 is a view showing the aligning apparatus 10 shown in FIG. 1 and the result of the alignment test by the method.

도 8을 참조하면, X축 및 Y축을 기준으로 얼라인 대상물(11)의 위치를 정렬하는 실험이 수행되었다. 얼라인 대상물(11)의 임의 점(A)의 위치 오차를 확인하면, 첫번째 실험에서 X 축으로 0.011 mm, Y 축으로 0.013 mm 의 오차를 확인할 수 있었다. 두번째 실험에서 X 축으로 0.005 mm, Y 축으로 0.013 mm 의 오차를 확인할 수 있었다. 세번째 실험에서 X 축으로 0.000 mm, Y 축으로 0.013 mm 의 오차를 확인할 수 있어다. 즉, 본 발명의 일 실시 예에 따른 위치 정렬 장치(10) 및 그 방법에 의하면, 오차는 약 10 ㅅm 이내에서 발생된다. 일반적으로 요구되는 정렬 오차가 20 ㅅm 이내인 점에 비추어, 매우 정밀한 위치 정렬 효과가 있다.Referring to FIG. 8, an experiment was performed to align the positions of the alignment object 11 with respect to the X-axis and the Y-axis. When the positional error of an arbitrary point A of the alignment object 11 was confirmed, an error of 0.011 mm on the X-axis and 0.013 mm on the Y-axis was confirmed in the first experiment. In the second experiment, we found an error of 0.005 mm on the X axis and 0.013 mm on the Y axis. In the third experiment, an error of 0.000 mm in the X axis and 0.013 mm in the Y axis can be confirmed. That is, according to the alignment apparatus 10 and the method thereof according to an embodiment of the present invention, an error occurs within about 10 mm. In general, there is a very precise alignment effect in view of the required misalignment within 20 millimeters.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.Although the invention made by the present inventors has been described concretely with the above embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and it goes without saying that various changes can be made without departing from the gist of the present invention.

10 : 위치 정렬 장치
11 : 얼라인 대상물
100 : 안착 플레이트
200 : 벨로우즈 실린더
210 : 벨로우즈
230 : 피스톤
231 : 피스톤 바디
233 : 연결 로드
235 : 피스톤 헤드
250 : 실린더
270 : 구동부10: Position alignment device
11: Alignment object
100: seating plate
200: Bellows cylinder
210: Bellows
230: piston
231: Piston body
233: Connection Load
235: Piston head
250: Cylinder
270:

Claims (9)

얼라인 대상물이 안착되는 안착 플레이트;
안착 플레이트에 배치되며, 벨로우즈의 탄성 변형을 이용하여 얼라인 대상물의 위치를 정렬하는 벨로우즈 실린더를 포함하되,
상기 벨로우즈 실린더는 탄성을 가지는 벨로우즈와 벨로우즈에 연결된 피스톤을 포함하며, 피스톤이 안착 플레이트의 상부에서 하부를 향하여 이동할 때, 벨로우즈가 가압되어 탄성 변형되고, 피스톤이 안착 플레이트의 하부에서 상부를 향하여 이동할 때, 벨로우즈의 가압이 해제되며,
상기 벨로우즈 실린더는 피스톤을 감싸는 실린더; 및 상기 실린더에 연결되며, 피스톤을 구동하는 구동부를 더 포함하는 위치 정렬 장치.A seating plate on which the alignment object is seated;
A bellows cylinder disposed in the seating plate for aligning the position of the alignment object using the elastic deformation of the bellows,
The bellows cylinder includes a resilient bellows and a piston connected to the bellows. When the piston moves downward from the top of the seating plate, the bellows is pressed and resiliently deformed. When the piston moves from the bottom to the top of the seating plate , The pressure of the bellows is released,
The bellows cylinder comprising: a cylinder surrounding the piston; And a driving unit connected to the cylinder and driving the piston. 제 1 항에 있어서,
얼라인 대상물은, 벨로우즈 실린더가 삽입되는 위치 조정용 홈을 가지는 위치 정렬 장치.The method according to claim 1,
Wherein the alignment object has a positioning groove into which a bellows cylinder is inserted. 제 2 항에 있어서,
얼라인 대상물은 적어도 2개의 위치 조정용 홈을 가지며,
2개의 위치 조정용 홈은 평면상 얼라인 대상물의 중심을 기준으로 점 대칭되는 위치 정렬 장치.3. The method of claim 2,
The alignment object has at least two positioning grooves,
Wherein the two positioning grooves are point-symmetric with respect to the center of the planar alignment object. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
피스톤은,
실린더의 내부에 배치된 피스톤 바디;
피스톤 바디에 연결되며, 벨로우즈를 관통하는 연결 로드; 및
연결 로드에 연결되며, 벨로우즈를 사이에 두고 피스톤 바디와 마주보는 피스톤 헤드를 포함하는 위치 정렬 장치.The method according to claim 1,
The piston,
A piston body disposed within the cylinder;
A connecting rod connected to the piston body and passing through the bellows; And
And a piston head connected to the connecting rod, the piston head facing the piston body with the bellows therebetween. 제 1 항에 있어서,
벨로우즈 실린더는 안착 플레이트를 관통하며,
벨로우즈는 안착 플레이트의 상부에서 위치 조정용 홈에 삽입되는 위치 정렬 장치.The method according to claim 1,
The bellows cylinder passes through the seating plate,
Wherein the bellows is inserted into the positioning groove in the upper portion of the seating plate. 안착 플레이트에 배치된 벨로우즈 실린더가 얼라인 대상물의 위치 조정용 홈에 삽입되게, 얼라인 대상물을 안착 플레이트에 안착시키는 단계;
벨로우즈 실린더의 벨로우즈를 탄성 변형시켜 얼라인 대상물의 위치를 정렬하는 단계를 포함하는 위치 정렬 방법.Placing the alignment object on the seating plate so that the bellows cylinder disposed on the seating plate is inserted into the alignment groove of the alignment object;
And elastically deforming the bellows of the bellows cylinder to align the position of the alignment object. 제 8 항에 있어서,
얼라인 대상물은 적어도 2개의 위치 조정용 홈을 가지며,
2개의 위치 조정용 홈은 평면상 얼라인 대상물의 중심을 기준으로 점 대칭되는 위치 정렬 방법.9. The method of claim 8,
The alignment object has at least two positioning grooves,
Wherein the two positioning grooves are point-symmetrical with respect to the center of the planar alignment object.
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