KR101175165B1 - 증발장치, 증착장치 및 증착장치에 있어서의 증발장치의전환방법 - Google Patents

Abstract

소정의 진공도하에서 소정의 재료를 증발시키는 증발장치(4)로서, 진공펌프(12)에 접속됨과 아울러 상벽부(11c)에 증발된 증발재료(B)를 방출할 수 있는 재료 방출구멍(17)이 형성된 증발용 용기(11)와, 이 증발용 용기(11) 내에 승강용 실린더 장치(13)에 의해 승강 가능하게 설치됨과 아울러 증착재료(A)를 수납한 재료 수납용기(14)를 적재할 수 있는 적재대(15)를 구비하고, 상기 증발용 용기(14)의 재료 방출구멍(17)의 주위에, 재료 수납용기(14)가 적재대(15)를 통해서 상승되었을 때에 그 외주를 덮음으로써 증발재료의 상기 증발용 용기(11) 내로의 방출을 억제하는 통형상의 격벽부재(19)를 설치하고, 또한 상기 적재대(15) 및 격벽부재(19)에 재료 수납용기(14)를 가열하는 가열장치(21)를 설치한 것이다.

Description

증발장치, 증착장치 및 증착장치에 있어서의 증발장치의 전환방법{EVAPORATOR, VAPOR DEPOSITION APPARATUS, AND METHOD OF SWITCHING EVAPORATOR IN VAPOR DEPOSITION APPARATUS}

본 발명은 진공용기 내에 배치된 기판에 소정의 재료를 증착시키는 증착장치 및 소정의 재료를 증발시키는 증발장치, 및 증착장치에서 사용하는 증발장치의 전환방법에 관한 것이다.

진공하에 놓여진 기판의 표면에 소정의 재료를 증착시켜서 박막을 형성하는 증착장치에 있어서는, 진공하에 배치된 재료의 증발원을 가열해서 재료를 증발킴과 아울러, 이 증발된 증발재료를 마찬가지로 진공하에 놓여진 기판의 표면에 부착시킴으로써 박막이 형성되어 있다.

그런데 진공하 즉 진공용기 내에 기판 및 증발원이 배치된 증착장치에 있어서, 증발원을 추가하거나 또는 교환할 때에 진공용기 내를 대기로 되돌린 후, 다시 진공용기 내를 진공으로 할 필요가 있어 시간의 손실이 발생한다.

이 시간의 손실을 해소하는 증착장치가 이미 제안되어 있다(예를 들면, 일본 특허공개 2003-297565호 공보 참조).

이 증착장치는 진공용기의 하부에 진공밸브가 각각 설치된 유기 EL 재료의 재료방출구가 2개 배치됨과 아울러, 이들 각 방출구에 재료의 증발원이 배치된 증발실이 접속된 것이다.

이 구성에 의해, 예를 들면 한쪽의 증발실로부터의 증발재료에 의해 박막의 형성이 행해지고 있다. 예를 들면 재료를 교환할 경우에는, 다른 쪽의 증발실에 재료가 들어간 증발원을 배치해서 가열하고 그리고 상기 증발실을 진공으로 한 상태에서 대기시켜 두며, 그 교환시에 한쪽의 증발실측의 진공밸브를 닫은 후, 다른 쪽의 증발실측의 진공밸브를 열어 증발재료를 진공용기 내에 도입함으로써 재료교환시에 있어서의 작업시간의 손실이 발생하지 않도록 되어 있었다.

그런데 이러한 증착장치의 구성에 의하면, 증발원이 2개(2회분)까지는 문제는 없지만, 더욱 연속해서 증착을 행할 경우에는 하기와 같은 구성으로 할 필요가 있다.

즉, 2개의 증발원을 설치함과 아울러, 이들 각 증발원에서 증발된 증발재료를 증착실에 도입하는 도입로를 각각 형성하고, 또한 각 도입로의 도중에 개폐밸브를 설치해 두며, 한쪽의 증발원으로부터 증발재료를 도입하고 있는 동안에 다른 쪽 도입로의 개폐밸브를 닫아 두고, 이 상태에서 다른 쪽의 증발원을 교환할 필요가 있다(예를 들면, 일본 특허 제2912756호에 따른 특허명세서 참조).

그러나 상술한 바와 같이 2개의 증발원을 설치한 경우에는, 1개의 진공용기에 대해서 증발실이 2개 접속되어 있는 것으로 되고, 즉 증발재료의 방출관이 2계통 설치됨과 아울러 진공용기 내에서의 접속위치가 다르므로, 예를 들면 재료(증발원)를 교환한 경우, 특히 성막 도중에 재료부족으로 되어 다른 쪽의 증발실로부터의 증발재료를 도입해서 증착을 재개할 경우에는, 앞의 증착조건과 현재의 증착조건이 달라 기판표면에 형성된 박막의 품질에 편차가 생긴다는 문제가 있다.

또한, 이러한 높은 진공도를 필요로 하는 계에 있어서는 완전한 밀봉을 얻는 것이 곤란하게 되어, 어떻게 하더라도 약간이기는 하지만 외기가 침입해서 소정의 진공도를 유지할 수 없는 것, 및 용기 등의 가열에 의해 그 구성재료 내부로부터 불순성분 가스가 발생한다는 것으로부터 진공펌프를 항상 작동시킬 필요가 있고, 예를 들면 상기 특허명세서에 개시된 구성에 있어서는 증발재료의 일부가 증발실에 도입되기 전에 진공펌프에 의해 외부로 배출되어 버릴 가능성이 있어 재료의 사용효율이 저하된다는 문제가 있다.

또한, 일부를 회수할 수 있는 트랩이 설치되어 있지만, 한번 가열?냉각된 재료의 재이용에 대해서는 처음에 가열?증발시키는 재료와 반드시 같은 품질이라고는 말할 수 없으므로 사용할 때의 재료가 한정되는 경우도 있고, 또 트랩에는 가열장치를 필요로 하는 등 부대설비도 늘어나게 된다.

그래서 본 발명은 증착해야 할 재료의 사용효율의 저하를 방지할 수 있는 증발장치 및 이 증발장치를 사용함과 아울러 복수 개소로부터 증발재료를 증착실에 도입할 때에 증착조건을 변화시키는 일이 없는 증착장치, 및 증착장치에 있어서의 증발장치의 전환방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 증발장치는 소정의 진공도하에서 소정의 재료를 증발시키는 증발장치로서, 배기장치에 접속됨과 아울러 상부에 증발된 증발재료를 방출할 수 있는 재료 방출구멍이 형성된 증발용 용기와, 이 증발용 용기 내에 승강장치에 의해 승강 가능하게 설치됨과 아울러 재료를 수납한 재료 수납용기를 적재할 수 있는 적재대가 구비되고, 상기 증발용 용기의 재료 방출구멍의 주위에, 상기 재료 수납용기가 적재대를 통해서 상승되었을 때에 그 외주를 덮음으로써 증발재료의 상기 증발용 용기 내로의 방출을 억제하는 통형상의 격벽부재가 설치되며, 상기 적재대 및 격벽부재에 상기 재료 수납용기를 가열하는 가열장치가 구비된 것이고, 또한 상기 적재대측에 상기 적재대가 승강장치에 의해 상승되었을 때에 격벽부재의 하단부에 접촉해서 상기 격벽부재 내의 증발재료의 배출을 저지할 수 있는 접촉부가 설치된 것이다.

또한, 본 발명의 증착장치는 적어도 2대의 상기 발명에 따른 증발장치와, 소정의 진공도하에서 피증착부재에 증발재료를 증착시키는 1개의 증착용 용기와, 이 증착용 용기와 상기 각 증발장치의 재료 방출구멍 사이에 걸쳐서 형성된 재료 이송통로가 구비된 증착장치로서, 상기 재료 이송통로의 일단측이 상기 증착용 용기측에 접속되고 또한 타단측이 분기되어서 각각 상기 각 증발장치의 재료 방출구멍에 접속되며, 또 이들 분기된 각 재료 이송통로의 도중에 개폐밸브가 각각 배치된 것이다.

또한, 본 발명의 증착장치에 있어서의 증발장치의 전환방법은, 적어도 2대의 증발장치를 이용하여 1개의 증착용 용기에 증발재료를 공급해서 증착을 행하도록 한 상기 발명에 따른 증착장치에 있어서 사용하는 증발장치를 전환하는 방법으로서, 한쪽의 증발장치에 있어서 재료가 부족상태로 되기 전에 다른 쪽의 증발장치의 재료 수납용기를 격벽부재 내에 상승시켜서, 가열장치에서 재료의 증발온도보다 낮은 소정온도로 가열하는 예비 가열스텝과, 소정온도로 가열된 재료 수납용기를 격벽부재로부터 하강시켜서, 상기 재료 수납용기 내에서 기화된 불순물을 배기장치에 의해 외부로 배출하는 불순물 배출스텝과, 불순물의 배출 후에 다시 격벽부재 내에 재료 수납용기를 상승시켜 재료의 증발온도로 가열하는 본 가열스텝과, 상기 한쪽의 증발장치의 재료 이송통로에 설치된 개폐밸브를 폐쇄함과 아울러 다른 쪽의 증발장치의 재료 이송통로에 설치된 개폐밸브를 개방하는 스텝을 구비한 전환방법이다.

<발명의 효과>

상기 증발장치에 의하면, 배기장치에 의해 증발용 용기 내를 청정하게 유지하면서, 재료 방출구멍에 연통된 격벽부재 내에 재료 수납용기를 상승시켜서 가열장치로 가열하도록 하고 있으므로, 증발재료의 대부분을 재료 방출구멍에 도입할 수 있고, 따라서 배기장치에 의한 증발재료의 배출을 최대한 적게 할 수 있으므로 재료를 유효하게 이용할 수 있다. 즉, 재료의 사용효율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상기 증착장치에 의하면, 적어도 2대의 증발장치를 교대로 사용하여 연속해서 증착을 행하게 할 때에 각 증발장치로부터 증착용 용기에 증발재료를 도입하는 재료 이송통로의 증착실측의 접속개소가 1개소로 되어 있으므로 증착조건이 변화될 일이 없고, 따라서 피증착부재에 형성되는 박막의 품질에 편차가 생기는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상기 전환방법에 의하면, 예비 가열의 단계에서 재료 수납용기 및 재료에 함유되어 있는 불순물을 기화시킴과 아울러, 격벽부재로부터 재료 수납용기를 일단 하강시켜서 배기장치에 의해 그 불순물을 외부로 배출하도록 했으므로, 연속증착시에 사용하는 적어도 2대의 증발장치를 전환할 때에, 피증착부재에 형성되는 박막의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 증착장치의 개략구성을 나타내는 단면도이다.

도 2는 동 증착장치에 있어서의 증발장치의 주요부 단면도이다.

도 3은 동 증착장치에 있어서의 증착동작을 설명하는 단면도이다.

도 4는 동 증착장치에 있어서의 증착동작을 설명하는 단면도이다.

도 5는 동 증착장치에 있어서의 증착동작을 설명하는 단면도이다.

도 6은 동 증착장치에 있어서의 증착동작을 설명하는 단면도이다.

도 7은 동 증착장치에 있어서의 증발장치의 변형예를 나타내는 주요부 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 증발장치 및 이 증발장치를 사용한 증착장치 및 이 증착장치에 있어서의 증발장치의 전환방법을 도 1~도 6에 기초하여 설명한다.

우선, 전체 구성인 증착장치에 대해서 설명한다.

이 증착장치는 도 1에 나타내는 바와 같이 크게 나누어서, 피증착부재인 유리기판(1)이 그 증착면이 하방으로 되도록 수평방향에서 삽입됨과 아울러 유지구(2)에 의해 유지되도록 구성된 증착용 용기(용기 내를 증착실(3a)이라고 하고, 또 도시하지 않지만, 용기의 측벽부에는 유리기판의 반입/반출용 개구부가 형성됨과 아울러 그 외에 진공펌프 등의 배기장치가 구비되어 있음)(3)와, 이 증착용 용기(3)의 하방에 배치되어서 소정의 재료(유기 EL 화면용의 경우에는 유기재료가 사용됨)의 증발(이하, 소정의 재료(원료)를 증착재료(A)라고 하고, 증발된 재료를 증발재료(B)라고 함)이 행해지는 2대의 증발장치(4)(4A,4B)와, 이들 각 증발장치(4)와 상기 증착용 용기(3)를 접속해서 증발재료를 증착실(3a)에 이송하기 위한 재료 이송통로인 재료이송관(5)으로 구성되어 있다.

상기 각 증발장치(4)는 내부에 증발실(11a)을 갖는 증발용 용기(11)와, 이 증발용 용기(11)의 벽부에 접속되어서 상기 증발실(11a) 내를 소정의 진공도(예를 들면, 1×10^-4㎩정도)로 함과 아울러 그 진공도를 유지하기 위한 배기장치로서의 진공펌프(12)와, 마찬가지로 증발실(11a) 내에 승강장치로서의 승강용 실린더 장치(13)에 연결되어서 승강 가능하게 설치됨과 아울러 증착재료를 수납하고 또 상면이 개방된 원통형상의 재료 수납용기(도가니라고도 함)(14)를 적재할 수 있는 원판형상의 적재대(15)로 구성되어 있다.

상기 증발용 용기(11)의 측면에는 재료 수납용기(14)를 반입/반출하기 위한 반입/반출용 개구부(11b) 및 상기 반입/반출용 개구부(11b)를 개폐하는 개폐문(16) 이 설치되어 있다.

또한, 상기 각 증발용 용기(11)의 상벽부(11c)에는 증발재료를 방출하기 위한 재료 방출구멍(17)이 형성됨과 아울러, 이 재료 방출구멍(17)의 도중에는 상기 방출구멍(17)을 개폐 또는 그 개구면적을 조절할 수 있는 개폐밸브로서의 니들밸브(18)가 설치되어 있다.

또한, 도 2에 나타내는 바와 같이 증발용 용기(11)의 상벽부(11c)의 재료 방출구멍(17)의 주위 하면에는, 적재대(15)를 통해서 상승된 재료 수납용기(14)의 주위를 덮음으로써 상기 재료 수납용기(14)로부터 방출되는 증발재료가 증발실(11a)측으로 이동하는 것을 최대한 적게(억제) 하기 위한 통형상의 격벽부재(19)가 수직하강해서 설치됨과 아울러, 적재대(15)가 상승했을 때에 적어도 그 상면의 둘레 가장자리부가 격벽부재(19)의 하단부에 접촉해서 간극이 생기지 않는 환형상의 접촉부(밀착부)(15a)로 되어 있다. 또, 치수적으로는 격벽부재(19)와 재료 수납용기(14)의 간극이 가능한 한 작게 된다.

그리고 증발용 용기(11) 내의 증착재료(A)를 소정의 증발온도로 가열하기 위해, 적재대(15)의 내부 및 격벽부재(19)의 외주면에는 전기 히터 등의 가열장치(20,21)가 설치되어 있다.

또한, 상기 재료이송관(5)은 1개의 증착용 용기(3)에 2대의 증발장치(4)를 접속하기 위한 것으로, 그 상단부(5a)가 증착용 용기(3)의 저벽부(3b)에 1개소에서 접속(연통)되고, 또 그 하단측은 2개로 분기되어서 Y자형상의 통로로 됨과 아울러 각 분기 하단부(5b,5c)는 각각의 증발용 용기(11)의 재료 방출구멍(17)에 접속(연 통)되어 있다.

또한, 도시생략했지만, 증발재료가 이동하는 경로에 대해서는 모두 전열 히터 등의 가열장치가 설치되어서 그 증발온도가 유지되어 있다. 또 재료이송관(5) 및 증발용 용기(11)측에 형성된 재료 방출구멍(17)에 의해 재료 이송통로가 구성된다.

다음에 상기 증착장치에서의 증착방법에 대하여, 특히 증발장치에 있어서의 증발동작으로서 더욱이 2대의 증발장치를 전환할 때의 동작에 착안하여 설명한다.

우선, 1대(한쪽)의 증발장치(4A)에 의해, 증착용 용기(3)에 유지된 유리기판(1)의 표면에 증발재료를 증착시킬 경우에 대해서 간단히 설명해 둔다.

도 1에 나타내는 바와 같이 증발용 용기(11) 내의 적재대(15)에 증착재료(A)가 수납된 재료 수납용기(14)를 적재한 후, 진공펌프(12)를 작동시켜서 소정의 진공도로 함과 아울러 그 진공도를 유지한다. 또, 증착이 행해지고 있는 동안은, 예를 들면 증발장치(4A)의 각 구성기기에 있어서의 접속부로부터 침입하는 공기, 구성기기 자체로부터 방출되는 불순물(불순가스 성분임) 등을 배출하기 위해 진공펌프(12)가 연속 운전되고 있다.

다음에 도 3에 나타내는 바와 같이, 재료 수납용기(14)를 격벽부재(19) 내에 상승(이동)시킨 상태에서 각각의 가열장치(20,21)에 의해 상기 재료 수납용기(14)를 소정의 증발온도까지 가열하여, 재료 수납용기(14) 내의 증착재료(A)의 증발을 개시시킨다. 그리고 니들밸브(18)를 개방하면, 증발된 증발재료(B)는 재료 방출구멍(17)으로부터 재료이송관(5)을 통해서 증착용 용기(3)의 증착실(3a)에 도입되고, 유리기판(1)의 표면에 부착되어서 박막이 형성된다. 물론, 증발재료의 방출이 행해지고 있는 동안은 그 재료 이송통로가 가열되어서 증발재료가 그 표면에 부착되지 않도록 배려되어 있다.

그리고 한쪽의 증발장치(4A)에 있어서의 재료 수납용기(14) 내의 증착재료가 줄어들면, 다른 쪽의 증착장치(4B)로부터의 증발재료의 공급(도입)으로 전환하기 위한 준비가 개시된다.

이 전환시에 다른 쪽의 증발장치(4B)에 있어서는 예비 가열이 행해짐과 아울러 수분 등의 불순물(가스성분으로서)을 배출한 후, 본래의 증발온도에서의 가열(이하, 본 가열이라고도 함)이 행해진다. 예를 들면 증발온도(본 가열에서의 온도)가 200℃일 경우에는 재료가 증발하지 않는 온도인 예비 가열온도는 그보다 낮은 예를 들면 150℃의 온도로 되는 등, 본 가열보다 수도~십수도정도가 낮은 범위에서 임의로 설정할 수 있다. 또, 예비 가열온도가 재료의 증발온도에 가까운 쪽이 증발까지의 이행시간을 짧게 할 수 있다.

이하, 증발장치(4)의 전환방법에 대해서 상세하게 설명한다.

즉, 도 3에 나타내는 바와 같이 한쪽의 증발장치(4A)에 의해 증발재료(B)의 공급이 행해지고 있는 동안에, 다른 쪽의 증발장치(4B)의 적재대(15)에 적재된 재료 수납용기(14)는 승강용 실린더 장치(13)에 의해 격벽부재(19) 내에 상승됨과 아울러, 적재대(15) 및 격벽부재(19)의 외주에 설치된 가열장치(20,21)에 의해 증착재료의 증발온도보다 낮은 소정온도로 가열된다. 당연히 이 예비 가열시에 있어서도 진공펌프(12)에 의해 배기가 행해지고 있다(예비 가열스텝).

그리고 소정온도로 가열되면, 도 4에 나타내는 바와 같이 일단, 승강용 실린더 장치(13)에 의해 적재대(15)를 하강시켜서 재료 수납용기(14)를 격벽부재(19)로부터 빼낸다.

그러면, 격벽부재(19) 내에 존재하는 수분 등의 불순물이 진공펌프(12)에 의해 증발실(11a)을 거쳐서 외부로 배출된다(불순물 배출스텝).

이 불순물의 배출이 끝나면, 도 5에 나타내는 바와 같이 다시 적재대(15)를 상승시켜서 재료 수납용기(14)를 격벽부재(19) 내의 가열위치에 상승(이동)시킨다. 이때, 적재대(15)측에 설치된 환형상의 접촉부(15a)가 격벽부재(19)의 하단부에 접촉되므로 격벽부재(19) 내에서 증발된 증발재료(B)가 끌어내어져서 외부로 배출되는 일은 없다. 즉, 불순물을 배출하기 위해 항상 운전되고 있는 진공펌프(12)에 의한, 증발재료의 외부로의 배출이 방지되므로 증착재료의 사용효율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

다음에 가열장치(20,21)에 의해, 재료 수납용기(14)를 증발온도로 가열해서 증발을 행함(본 가열스텝)과 아울러, 도 6에 나타내는 바와 같이 한쪽의 증발장치(4A)에 설치된 니들밸브(18)를 폐쇄하고 또한 다른 쪽의 증발장치(4B)에 설치된 다른 쪽 니들밸브(18)를 개방하면, 다른 쪽의 증발장치(4B)에서 증발된 증발재료(B)가 재료이송관(5)을 통해 증착실(3a) 내에 도입되어서 유리기판(1)으로의 부착이 계속 행해진다. 또, 이 후, 한쪽의 증발장치(4A)의 재료 수납용기(14)를 하강시키고, 개폐문(16)을 열어서 꺼내어 새 것과 교환하면 된다. 또한, 다른 쪽의 증발장치(4B)에서의 본 가열은 증발장치(4A)의 재료사용 상황으로부터 적절한 시기에 개시함으로써 이 교환시간을 수분 레벨로 단축할 수 있다.

여기서 상기 증발장치의 전환방법을 스텝으로 나타내면 하기와 같이 된다.

즉, 이 전환방법에는 적어도 2대의 증발장치를 이용하여 1개의 증착용 용기에 증발재료를 공급해서 증착을 행할 때에 사용하는 증발장치를 전환하는 방법으로서, 한쪽의 증발장치에 있어서 재료가 부족상태로 되기 전에 다른 쪽의 증발장치의 재료 수납용기를 격벽부재 내에 상승시켜서, 가열장치에서 재료의 증발온도보다 낮은 소정온도로 가열하는 예비 가열스텝과, 소정온도로 가열된 재료 수납용기를 격벽부재로부터 하강시켜서, 상기 재료 수납용기 내에서 기화된 불순물을 진공펌프에 의해 외부로 배출하는 불순물 배출스텝과, 불순물의 배출 후에 다시 격벽부재 내에 재료 수납용기를 상승시켜서 재료의 증발온도로 가열하는 본 가열스텝과, 상기 한쪽의 증발장치의 재료 방출구멍의 도중에 설치된 니들밸브를 폐쇄함과 아울러 다른 쪽의 증발장치의 재료 방출구멍의 도중에 설치된 니들밸브를 개방하는 재료 이송통로 전환 스텝이 구비되어 있다.

상술한 바와 같이, 증착용 용기(3)에 재료이송관(5)을 통해서 2대의 증발장치(4)를 접속함과 아울러, 니들밸브(18)의 개폐로 증착에 사용되는 증발장치(4)를 전환하도록 했으므로 연속해서 증착을 행할 수 있음과 아울러, 증착실(3a)로의 공급개소(도입개소)가 1개소이므로, 예를 들면 2대의 증발장치를 별개의 재료이송관을 이용하여 증착용 용기에 각각 접속한(공급개소가 다름) 것에 비해서, 증발장치를 전환했을 때에 증착조건이 변화되지 않으므로 유리기판(1)에 형성되는 박막의 품질이 차이나는 것을 방지할 수 있다.

또한, 예비 가열의 단계에서 재료 수납용기(14)에 부착되어 있는 불순물 및 증착재료에 함유되어 있는 불순물을 기화시킴과 아울러, 재료 수납용기(14)를 격벽부재(19)로부터 일단 외측으로 빼내서 그 불순물을 진공펌프(12)에 의해 외부로 배출하도록 했으므로, 연속증착시에 사용하는 2대의 증발장치를 전환했을 때에 유리기판(1)의 표면에 형성되는 박막의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 가열시의 단계에서는 재료 수납용기(14)는 격벽부재(19) 내에 상승됨과 아울러 적재대(15)에 의해 거의 밀폐상태로 되어 있으므로, 증발장치(4)의 구성기기계로부터 침입하는 공기, 불순물 등을 배출하기 위해 진공펌프(12)를 구동하고 있는 경우라도, 재료 수납용기(14)로부터 방출되는 증발재료가 외부로 배출되는 것을 방지(억제)할 수 있고, 따라서 증발재료의 사용효율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

그런데 상기 실시형태에 있어서는, 적재대(15)의 외주에 재료 수납용기(14)의 위치규제부를 겸한 환형상의 접촉부(15a)를 설치했지만, 예를 들면 도 7에 나타내는 바와 같이 적재대(15)의 접촉부(15a)의 격벽부재(19)의 내측 위치에 격벽부재(19)에 대하여 정확하게 이동(안내)할 수 있도록 환형상의 돌출형상부(위치규제부의 다른 예)(15b)를 형성해도 된다. 이 경우도 격벽부재(19)와 재료 수납용기(14)의 간극이 가능한 한 작게 된다.

또한, 니들밸브(18)에 의한 폐쇄가 불충분할 경우에는 재료이송관(5)의 분기 하단부(5b,5c)에 추가로 니들밸브 등의 개폐밸브를 형성해도 된다.

또한, 상기 실시형태에 있어서는 증발장치를 2대 구비한 것으로서 설명했지 만, 3대이상 구비한 것이어도 된다.

본 발명은 상술한 바와 같이, 복수의 증발장치가 설치됨과 아울러 이들 증발장치에서 증발된 증발재료를 연속적으로 또는 그 종류를 바꾸어서 증착실로 도입할 때에, 재료 이송통로에 설치된 개폐밸브를 조작함으로써 증발재료를 쓸모없이 또한 증착조건을 변화시키는 일 없이 증착할 수 있으므로, 예를 들면 유기 EL 재료를 기판에 증착시킬 때에 이용하는데 최적이다. 물론, 이 외에 각종 증착재료의 증착에도 유효하게 이용할 수 있다.

Claims (4)

1. 삭제
2. 진공하에서 소정의 재료를 증발시키는 증발장치로서,

   배기장치에 접속됨과 아울러 상부에 증발된 증발재료를 방출할 수 있는 재료 방출구멍이 형성된 증발용 용기와, 이 증발용 용기 내에 승강장치에 의해 승강 가능하게 설치됨과 아울러 재료를 수납한 재료 수납용기를 적재할 수 있는 적재대가 구비되고,

   상기 증발용 용기의 재료 방출구멍의 주위에, 상기 재료 수납용기가 적재대를 통해서 상승되었을 때에 그 외주를 덮음으로써 증발재료의 상기 증발용 용기 내로의 방출을 억제하는 통형상의 격벽부재가 설치되고,

   상기 적재대 및 격벽부재에 상기 재료 수납용기를 가열하는 가열장치가 설치되며,

   또 상기 적재대측에, 상기 적재대가 승강장치에 의해 상승되었을 때에 격벽부재의 하단부에 접촉해서 상기 격벽부재 내의 증발재료의 배출을 저지할 수 있는 접촉부가 설치된 것을 특징으로 하는 증발장치.
3. 제2항에 기재된 2대 이상의 증발장치와, 진공하에서 피증착부재에 증발재료를 증착시키는 1개의 증착용 용기와, 이 증착용 용기와 상기 각 증발장치의 재료 방출구멍 사이에 걸쳐서 형성된 재료 이송통로가 구비된 증착장치로서,

   상기 재료 이송통로의 일단측이 상기 증착용 용기측에 접속되고 또한 타단측이 분기되어서 각각 상기 각 증발장치의 재료 방출구멍에 접속되고,

   또한 이들 분기된 재료 이송통로의 도중에 개폐밸브가 각각 배치된 것을 특징으로 하는 증착장치.
4. 2대이상의 증발장치를 이용하여 1개의 증착용 용기에 증발재료를 공급해서 증착을 행하도록 한 제3항에 기재된 증착장치에 있어서 사용되는 증발장치를 전환하는 방법으로서:

   한쪽의 증발장치에 있어서 재료가 부족상태로 되기 전에, 다른 쪽의 증발장치의 재료 수납용기를 격벽부재 내에 상승시켜서, 가열장치에서 재료의 증발온도보다 낮은 소정온도로 가열하는 예비 가열스텝;

   낮은 온도로 가열된 재료 수납용기를 격벽부재로부터 하강시켜서, 상기 재료 수납용기 내에서 기화된 불순물을 배기장치에 의해 외부로 배출하는 불순물 배출스텝;

   불순물의 배출 후에 다시 격벽부재 내에 재료 수납용기를 상승시켜서 재료의 증발온도로 가열하는 본 가열스텝; 및

   상기 한쪽의 증발장치의 재료 이송통로에 설치된 개폐밸브를 폐쇄함과 아울러 다른 쪽의 증발장치의 재료 이송통로에 설치된 개폐밸브를 개방하는 스텝이 구비된 것을 특징으로 하는 증착장치에 있어서의 증발장치의 전환방법.

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