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KR101006781B1 - 액정표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

액정표시장치 및 그 제조방법 Download PDF

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KR101006781B1
KR101006781B1 KR1020030099986A KR20030099986A KR101006781B1 KR 101006781 B1 KR101006781 B1 KR 101006781B1 KR 1020030099986 A KR1020030099986 A KR 1020030099986A KR 20030099986 A KR20030099986 A KR 20030099986A KR 101006781 B1 KR101006781 B1 KR 101006781B1
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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 패드들과 TCP 단자들을 접착시키는 도전필름의 접착력을 향상시키기 위하여 패드 사이에 홀을 형성하거나, 패드 영역간의 단차를 줄인 액정표시장치 및 그 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명은 어레이 기판과 칼라 필터 기판이 구비된 액정표시장치에 있어서, 상기 어레이 기판 상의 라인 온 글라스(LOG) 패드부와 데이터 패드부에 각각 형성된 라인 온 글라스 패드들과 데이터 패드들 사이를 글라스 기판이 노출되도록 오픈하고, 그 오픈된 기판 영역을 포함하여 콘택 필름을 부착함으로써, 상기 라인 온 글라스 패드들, 데이터 패드들 및 콘택 필름의 접착력을 향상시킨 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 라인 온 글라스 패드들은 게이트 전극, 게이트 버스 라인과 동일 층에 형성되어 있고, 상기 라인 온 글라스 패드부와 상기 데이터 패드부는 동일한 높이를 갖으며, 상기 라인 온 글라스 패드들 상에 오믹 콘택층과 채널층으로된 엑티브 층을 형성함으로써, 상기 라인 온 글라스 패드부와 상기 데이터 패드부가 동일한 높이를 이루도록 한 것을 특징으로 한다.
액정표시장치, 단차, 패드, TCP, 엑티브

Description

액정표시장치 및 그 제조방법{LCD AND METHOD FOR MANUFACTURING LCD}
도 1은 일반적으로 LOG 패드를 갖는 액정표시장치를 도시한 도면.
도 2a 내지 도 2c는 상기 도 1의 LOG 패드를 갖는 액정표시장치의 제조 공정을 도시한 도면.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법을 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치를 도시한 도면.
도 5는 본 발명에 따른 또다른 실시예에 의한 액정표시장치의 LOG 영역을 확대한 도면.
도 6은 상기 도 5의 A-A' 영역을 절단한 단면도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
200: 글라스 기판 201: 게이트 전극
203: 게이트 절연막 204: 채널층
205: 오믹 콘택층 206a: 소오스 전극
206b: 드레인 전극 208: 데이트 패드
201a: LOG 패드 209: 보호막
210: 화소 전극 220, 230: 콘택 패드
본 발명은 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정표시장치의 패드들과 드라이브 IC로부터 신호를 전송하는 TCP 단자들과의 접착력을 강화시킨 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 현대 사회가 정보 사회화로 변해 감에 따라 정보표시장치의 하나인 액정표시장치 모듈의 중요성이 점차로 증가되어 가고있다. 지금까지 가장 널리 사용되고 있는 CRT(cathode ray tube)는 성능이나 가격적인 측면에서 많은 장점을 갖고 있지만, 소형화 또는 휴대성 측면에서 많은 단점을 갖고 있다.
반면에 액정표시장치는 가격 측면에서 다소 비싸지만 소형화, 경량화, 박형화, 저 전력, 소비화 등의 장점을 갖고 있어 CRT의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로 주목되고 있다.
상기 액정표시장치는 박막 트랜지스터가 배열된 어레이 기판과, 레드(Red), 그린(Green), 블루(Blue) 컬러 필터 층이 형성된 컬러 필터 기판이 액정을 사이에 두고 합착된 구조를 하고 있다.
상기와 같은 어레이 기판과 컬러 필터 기판은 여러 번의 마스크 공정에 따라 금속 막과 절연 막을 증착하고 패터닝하여 제조한다.
액정표시장치의 어레이 기판을 제조하는데는, 5, 6, 7, 8마스크 공정을 사용하였으나, 마스크 공정의 증가는 액정표시장치의 제조 단가를 상승 시키는 원인이 되므로, 최근에는 마스크 공정을 줄이는 연구가 활발히 진행되어 채널 층과 소오스/드레인 전극을 동시에 형성하는 4마스크 공정이 행해지는 추세이다.
상기 어레이 기판을 제조하는 공정에 대하여 설명해 보기로 한다.
먼저, 투명한 유리 기판 상에 금속막을 증착하고, 식각하여 게이트 버스 라인과 게이트 전극을 형성하는 제 1 마스크 공정, 계속해서 게이트 절연막, 비정질 실리콘막, 도핑된 비정질 실리콘막을 도포 하고, 계속해서 소오스/드레인 금속막을 증착한 다음, 연속적으로 식각하여 소오스/드레인 전극과 채널 층을 동시에 형성하는 제 2 마스크 공정, 상기 소오스/드레인 전극이 완성되면 소자 보호를 위하여 보호막을 도포한 다음 콘택홀을 형성하는 제 3 마스크 공정, 상기 보호막이 형성된 기판 상에 ITO 투명 금속막을 증착하고 식각하여 화소전극을 형성하는 4마스크 공정으로 제조된다.
상기와 같은, 4마스크 공정이 성공적으로 이루어지기 위하여, 소오스 드레인 전극형성과 액티브 층 영역의 형성을 동시에 하는 하프 톤 마스크를 사용하여, 포토레지스트막을 하프 톤으로 패터닝하여 식각하는 방법이 있고, 포토레지스트막을 노광할 때, 분해능 이하의 슬릿형 패턴을 삽입한 마스크를 사용하여 식각하는 방법을 사용한다.
도 1은 일반적으로 LOG 패드를 갖는 액정표시장치를 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, TFT가 형성된 어레이 기판과 칼라 필터 기판이 합착되어 액정 패널이 형성되었다. 그리고 라인 온 글라스(LOG: Line On Glass) 패드를 갖는 액정표시장치의 경우에는 데이터 패드(data pad)에서 게이트 패드(gate pad)로 신호가 넘어가는 배선(line)이 어레이 기판 외곽부 상에 형성되어 있다.
따라서, 상기 어레이 기판의 가장자리 영역에는 LOG 패드(gate metal)와 데이터 패드(active channel pad)가 일정한 간격을 유지하면서 형성되어 있다.
이와 같이 글라스 기판 상에 형성되는 LOG 패드는 일반적으로 저항이 낮은 게이트 금속(gate metal)을 사용한다.
도 2a 내지 도 2c는 상기 도 1의 LOG 패드를 갖는 액정표시장치의 제조 공정을 도시한 도면이다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 글라스 기판(100) 상에 게이트 금속을 기판의 전 영역 상에 증착하고, 포토 공정을 진행하여 게이트 전극(101), 게이트 버스 라인 및 LOG 패드(게이트 배선:101a)를 동시에 형성한다.
그런 다음, 상기 글라스 기판(100)의 전 영역 상에 게이트 절연막(103)을 도포하고, 계속해서 비정질 실리콘막과 도핑된 비정질 실리콘막 및 소오스/드레인 금속막을 차례대로 도포한다.
그리고 상기 소오스/드레인 금속막 상에 포토레지스트(photoresist)를 도포한 다음, 회절 노광에 의하여 하프톤 패턴(half tone pattern)을 형성한 다음, 식각하여 소오스 전극(106a), 드레인 전극(106b), 오믹 콘택층(105), 엑티브 채널층(104), 데이터 버스 라인, 데이터 패드(108)를 동시에 형성한다.
4마스크 공정에서는 소오스/드레인 전극(106a, 106b)과 채널층(104)이 동시에 형성되기 때문에 상기 엑티브 채널층(104)이 상기 데이터 버스 라인과 데이터 패드(108) 하측에 형성되어 있는 구조를 하고 있다.
그리고 상기 소오스/드레인 전극(106a, 106b) 및 데이터 패드(108)가 형성되면 도 2b에 도시된 바와 같이, 글라스 기판(100)의 전 영역 상에 보호막(109)을 도포한다.
상기 소오스/드레인 전극(106a, 106b) 및 데이터 패드(108) 상에 보호막(109)이 도포되면, TFT의 드레인 전극(106b) 상의 보호막(109)을 뚫어 이후 형성될 화소 전극과 전기적으로 콘택 시킨다.
상기 보호막(109)의 콘택홀 공정을 진행하면서, 상기 LOG 패드와 데이터 패드(108) 상의 보호막(109)도 오픈 시키는 패드 오픈을 진행한다.
따라서, 도시된 바와 같이 상기 TFT의 드레인 전극(106b) 상의 보호막(109)과 상기 LOG 패드(101a) 및 데이터 패드(108) 상의 보호막(109)이 오픈된 구조를 하고 있다.
상기에서와 같이 콘택홀 공정에서 패드 영역이 오픈되면, 도 2c에 도시된 바와 같이, 기판(100)의 전 영역 상에 ITO 금속막을 증착하고, 이를 식각하여 화소 전극(110) 및 상기 LOG 패드(게이트 배선)(101a), 데이터 패드(108)의 콘택 패드(contact pad 120, 130)를 형성한다.
상기 LOG 패드(101a)와 데이터 패드(108)는 이후 도전필름(ACF)가 도포되고, 드라이브 IC로부터 신호를 전송하는 TCP의 단자들과 전기적으로 콘택 되게 된다.
그러나, 상기에서와 같이 LOG 패드(게이트 배선)과 데이터 패드가 형성되어 있는 액정표시장치의 경우에는 공정 상의 특성 때문에 LOG 패드(Line On Gate)와 데이터 패드 영역에서 일정한 단차가 발생되는 문제가 있다.
상기와 같이 게이트 배선 영역과 데이터 패드 영역의 일정한 단차는 도전필름(ACF)을 도포한 후, TCP를 부착할 때 LOG 패드(게이트 배선) 영역에서의 들뜸 현상으로 나타나게 되는 문제가 있다.
따라서, 상기 TCP와 LOG 패드와의 전기적 연결 불량이 발생하게 된다.
본 발명은, LOG 패드 구조를 갖는 액정표시장치에서 LOG 패드(게이트 배선)와 데이터 패드 사이의 보호막과 게이트 절연막을 오픈시키고, LOG 패드와 데이터 패드들과의 단차를 제거함으로써 도전필름(ACF)을 도포한 후 TCP와의 접착력을 증대시킬 수 있는 액정표시장치 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 액정표시장치는,
어레이 기판과 칼라 필터 기판이 구비된 액정표시장치에 있어서,
상기 어레이 기판 상의 라인 온 글라스(LOG) 패드부와 데이터 패드부에 각각 형성된 라인 온 글라스 패드들과 데이터 패드들 사이를 글라스 기판이 노출되도록 오픈하고, 그 오픈된 기판 영역을 포함하여 콘택 필름을 부착함으로써, 상기 라인 온 글라스 패드들, 데이터 패드들 및 콘택 필름의 접착력을 향상시킨 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 라인 온 글라스 패드들은 게이트 전극, 게이트 버스 라인과 동일 층에 형성되어 있고, 상기 라인 온 글라스 패드부와 상기 데이터 패드부는 동일한 높이를 갖으며, 상기 라인 온 글라스 패드들 상에 오믹 콘택층과 채널층으로된 엑티브 층을 형성함으로써, 상기 라인 온 글라스 패드부와 상기 데이터 패드부가 동일한 높이를 이루도록 한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 액정표시장치 제조 방법은,
글라스 기판 상에 금속막을 증착하고, 이를 식각하여 게이트 버스 라인, 게이트 전극, 데이터 패드에서 게이트 패드로 신호를 전송하기 위한 라인 온 글라스 패드를 형성하는 단계;
상기 게이트 전극, 라인 온 글라스 패드가 형성된 기판 상에 게이트 절연막, 비정질 실리콘막, 도핑된 비정질 실리콘막 및 소오스/드레인 금속을 차례로 도포 및 증착한 다음 회절 노광 공정을 진행하여 오믹 콘택층, 채널층, 데이터 버스 라인 및 데이터 패드를 형성하는 단계;
상기 소오스/드레인 전극과 데이터 패드들이 형성된 기판 상에 보호막을 도포하는 단계;
상기 드레인 전극 상의 보호막을 오픈 시켜 콘택홀을 형성하며, 동시에 상기 라인 온 글라스 패드와 데이터 패드 상의 보호막과 상기 패드들 사이를 오픈시키는 단계; 및
상기 보호막 상에 콘택홀을 형성한 다음, 투명 금속막을 증착하여 화소 전극과 상기 라인 온 글라스 패드, 엑티브 채널 패드 상에 콘택 패드를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 라인 온 글라스 패드들과 데이터 패드들을 사이를 오픈 영역은 보호막과 게이트 절연막을 식각하여 글라스 기판이 노출되도록 형성하고, 상기 라 인 온 글라스 패드들과 데이터 패드들의 오픈 영역과 상기 패드들 사이의 오픈된 영역 상에는 티씨피(TCP) 단자와 전기적으로 콘택 시킬 콘택 필름이 접착되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 다른 실시 예에 의한 액정표시장치 제조방법은,
글라스 기판 상에 금속막을 증착하고, 이를 식각하여 게이트 버스 라인, 게이트 전극, 라인 온 글라스 패드, 및 데이터 패드가 형성될 영역 일부에 게이트 배선을 형성하는 단계;
상기 게이트 전극, 라인 온 글라스 패드가 형성된 기판 상에 회절 노광 공정에 따라 오믹 콘택층, 채널층, 소오스/드레인 전극, 데이터 패드를 형성하는 단계;
상기 소오스/드레인 전극과 데이터 패드들이 형성된 기판 상에 보호막을 도포하고, 식각하여 상기 드레인 전극 상에 콘택홀을 형성하고, 동시에 상기 라인 온 글라스 패드와, 상기 데이터 패드 영역에 형성된 게이트 배선과, 데이터 패드 상의 보호막을 오픈시키는 단계; 및
상기 보호막 상에 콘택홀을 형성한 다음, 투명 금속막을 증착하여 화소 전극과 상기 라인 온 글라스 패드, 데이터 패드 상에 상기 게이트 배선과 데이터 패드를 연결하는 콘택 패드를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 데이터 패드 영역에 형성된 게이트 배선의 길이는 TCP 단자가 전기적으로 콘택될 부분의 길이이고, 상기 라인 온 글라스 패드와 데이터 패드 영역의 게이트 배선에 부착되는 TCP의 접착력을 향상시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, LOG 패드 구조를 갖는 액정표시장치에서 LOG 패드들 간에 홀을 형성하거나, LOG 패드와 엑티브 채널 패드와의 단차를 제거함으로써 도전필름(ACF)을 도포한 후 TCP와의 접착력을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 자세히 설명하도록 한다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 글라스 기판(200) 상에 게이트 금속을 기판의 전 영역 상에 증착하고, 포토 공정을 진행하여 게이트 전극(201), 게이트 버스 라인 및 LOG 패드(201a)를 동시에 형성한다.
그런 다음 상기 글라스 기판(200)의 전 영역 상에 게이트 절연막(203)을 도포 하고, 계속해서 비정질 실리콘막과 도핑된 비정질 실리콘막 및 소오스/드레인 금속막을 차례대로 도포한다.
그리고 상기 소오스/드레인 금속막 상에 포토레지스트를 도포한 다음, 회절 노광에 의하여 하프톤 패턴을 형성한 다음, 식각하여 소오스 전극(206a), 드레인 전극(206b), 오믹 콘택층, 엑티브 채널층(204), 데이터 버스 라인 및 데이터 패드(208)를 동시에 형성한다.
4마스크 공정에서는 소오스/드레인 전극(206a, 206b)과 채널층(204)이 동시에 형성되기 때문에, 상기 데이터 패드(208)의 하측에 채널층(204)이 형성되어 있는 구조를 하고 있다.
그리고 상기 소오스/드레인 전극(206a, 206b) 및 데이터 패드(208)가 형성되 면 도 3b에 도시된 바와 같이, 글라스 기판(200)의 전 영역 상에 보호막(209)을 도포한다.
상기 소오스/드레인 전극(206a, 206b) 및 데이터 패드(208) 상에 보호막(209)이 도포되면, TFT의 드레인 전극(206b) 상의 보호막(209)을 뚫어 이후 형성될 화소 전극과 전기적으로 콘택 시킨다.
상기 보호막(209)의 콘택홀 공정을 진행하면서, 상기 LOG 패드(201a)와 데이터 패드(208) 상의 보호막(209)도 오픈 시키는 패드 오픈을 진행한다.
이때, 본 발명에서는 도전필름을 도포 할 때, 상기 LOG 패드(201a)와 데이터 패드(208)의 단차에 의하여 들뜸 현상이 발생하는 것을 방지하기 위하여 패드들 사이의 보호막(209)과 게이트 절연막(203)을 오픈 시킴으로써 도전필름(ACF)의 접착력을 강화시킨다.
즉, LOG와 데이터 패드들(201a, 208) 사이의 오픈된 영역에 도전필름이 도포되므로, 상기 도전필름(ACF)은 LOG 패드(201a)와 데이터 패드(208) 상에 도전필름이 부착될 뿐만 아니라, LOG 패드들(201a)과 데이터 패드들(20b) 사이의 오픈된 영역의 글라스 기판(200) 상에도 직접 접착되므로 도전필름의 접착력을 증대시킬 수 있다.
따라서, 도시된 바와 같이 상기 TFT의 드레인 전극(206b) 상의 보호막(209)과 상기 LOG 패드(201a), 데이터 패드(208) 상의 보호막(209) 및 패드들 사이가 오픈된 구조를 하고 있다.
상기에서와 같이 콘택홀 공정과 패드 오픈 공정 및 패드 사이의 오픈 공정이 진행되면, 도 3c에 도시된 바와 같이, 기판(200)의 전 영역 상에 ITO 금속막을 증 착하고 이를 식각하여 화소 전극(210) 및 상기 LOG 패드(201a), 데이터 패드(208)의 콘택 패드들(220, 230)을 형성한다.
이때, 상기 LOG, 데이터 패드들(201a, 208) 사이에 형성된 오픈 영역의 ITO 금속막도 식각하여 오픈 된 영역 상에 글라스 기판(200)이 노출 될 수 있도록 한다.
이후에 상기 LOG 패드(201a)와 데이터 패드(208)에는 도전필름(AFC)이 도포되는데, 상기 LOG 패드(201a), 데이터 패드들(208) 사이의 오픈 된 영역에도 도전필름을 도포한다.
따라서, 상기 LOG 패드(201a)와 데이터 패드(208)에는 TCP 단자를 부착하는데, 상기 패드 영역(201a, 208) 상에 부착되어 있는 도전필름(ACF)은 패드들(201a, 208) 사이의 글라스 기판(200)이 오픈 된 영역에도 부착되어 있으므로 도전필름(ACF)의 들뜸 현상이 발생하지 않게 된다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치를 도시한 도면이다.
상기 도 3a 내지 도 3c에서 설명한 것중 상이한 부분을 중심으로 설명한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 4마스크 공정에서 사용되는 회절 노광 방식을 적용하여 소오스/드레인 전극(206a, 206b)과 데이터 패드(208)를 형성할 때, LOG 패드(201a) 영역에도 포토레지스트의 하프톤 패턴을 형성함으로써, 상기 LOG 패드(201a)의 게이트 절연막(203) 상에 데이터 패드(208) 패턴들이 남아있도록 한다.
상기 LOG 패드(201a) 영역 상의 게이트 절연막(203) 상에 존재하는 데이터 패드(208) 패턴들(두께 1200~1800Å)은 상기 데이터 패드(208)와의 단차를 제거(단차 800Å이하)하는 역할을 하여 이후 도전필름(ACF)의 접착력을 증대시킬 수 있다.
그리고 보호막(209) 도포후, 콘택홀 공정을 진행하면서, 상기 LOG 패드(201a)와 데이터 패드(208) 상의 보호막(209)도 오픈 시키고, 아울러 도전필름의 접착력을 증대시키기 위하여 LOG 패드들(201a)과 데이터 패드(208)들 사이의 영역도 오픈 시킨다.
따라서, 상기 LOG 패드(201a)의 층은 게이트 절연막(203) 상에 데이터 패드(208) 패턴들과 보호막(209)이 존재하므로 상기 데이터 패드(208) 영역의 층의 높이와 거의 동일하므로, 두 영역의 단차도 800Å이하가 되어 도전필름(ACF)의 들뜸 현상을 최소화 하였다.
또한, 상기 LOG 패드들(201a)과 데이터 패드들(208) 사이 영역은 글라스 기판(200)이 노출된 오픈 영역이므로 도전필름의 접착력을 더욱 증대시켜, TCP의 컨택 불량을 제거할 수 있다.
특히, 상기 도 4에서는 4마스크 공정을 진행에 따른 단차 발생을 제거하였지만, 5마스크 공정을 진행할 경우에는 채널층 형성을 위한 마스크 공정을 진행할 때, LOG 패드 영역 상에 채널층이 존재하도록 함으로써 동일한 구조 층을 형성할 수 있다.
따라서, 본 발명에서는 LOG 패드들과 엑티브 채널 패드들 사이를 오픈 시키거나, LOG 패드 영역 상에 채널층이 존재하도록 공정을 진행함으로써, 상기 LOG 패드와 엑티브 채널 패드의 단차를 줄이고, 도전필름(ACF)의 접착력을 증대시킬 수 있는 이점이 잇다.
도 5는 본 발명에 따른 또다른 실시예에 의한 액정표시장치의 LOG 영역을 확대한 도면으로서, 도시된 바와 같이, 액정 패널은 하판에 게이트 패드, 데이터 패 드와 같은 패드 영역에 존재하므로 상판의 크기보다 크다.
따라서, 상기 하판에 형성된 게이트 패드(301b), 데이터 패드(304) 또는 LOG 패드(301a)는 상판의 합착에도 불구하고 외부로 노출되어 있고, 상기 노출된 영역중 TCP가 부착되는 영역은 상판의 가장자리부터 소정의 거리 영역까지 이다.
특히, 상기 데이터 패드(304)와 게이트 패드(301b)는 4마스크 또는 5마스크 공정에서 소정의 단차가 존재하므로, 콘택 패드가 형성되어도 게이트 패드 영역에 부착되는 TCP와 데이터 패드 영역에 부착되는 TCP는 단차가 발생된다.
특히 LOG 패드(301a)를 갖는 액정표시장치의 경우에는 데이터 패드들(304)과 LOG 패드들(301a)이 같은 영역에 배치하는데, 상기 LOG 패드들(301a)은 게이트 라인 형성 과정할 때 형성되고, 데이터 패드들(304)은 소스/드레인 전극 형성시에 형성되기 때문에 동일 영역에 서로 다른 단차를 갖는 패드들이 형성되는 구조가 된다.
그래서, 본 발명에서는 TCP가 부착되는 데이터 패드(304) 영역에 데이터 패드(304)를 LOG 패드들(301a)과 동일한 층에 독립적으로 형성한다. 이때 액정표시장치의 표시 영역에 형성되는 데이터 라인은 게이트 절연막 상에 형성되기 때문에 데이터 패드(304)와 데이터 라인은 전기적으로 서로 분리된 상태가 된다. 상기 데이터 라인과 데이터 패드(304)는 이후 콘택홀 형성 공정시 가장자리 일부를 오픈하고, 콘택 패드로 연결한다. 따라서, TCP가 부착되는 영역에서는 데이터 패드(304)와 LOG 패드(301a)의 높이가 동일하게 된다.
도면에 도시하였지만 설명하지 않은 309는 보호막을 나타낸다.
도 6은 상기 도 5의 A-A' 영역을 절단한 단면도로서, 액정 패널의 하판의 패드 영역중 TCP가 부착되는 영역을 수직 절단하였는데, LOG 패드(301a)가 형성되는 층과 데이터 패드(304)가 형성되는 층이 기판(300) 상에 동일하게 형성되어 있다. 이때 데이터 패드(304)는 TCP가 부착될 수 있는 영역과 대응되도록 짧게 독립적으로 형성된다.
상기 기판(300) 상에 게이트 버스 라인을 형성할 때, LOG 패드(301a)와 데이터 패드(304)가 형성되고, 데이터 패드(304)는 데이터 라인과 콘택 패드(330)을 통해 연결된다.
즉, 상기 게이트 버스 라인이 형성된 기판(300) 상에 게이트 절연막(303)과 보호막(309)이 형성되고, 계속해서 콘택홀을 형성할 때, 콘택 패드(320, 330)를 상기 LOG 패드(301a)와 데이터 패드(304) 및 데이터 라인에 중첩되도록 형성한다.
이때 데이터 패드 영역에서는 기판(300) 상에 형성된 데이터 패드(304)와 데이터 라인은 콘택 패드(330)에 의해 전기적으로 연결되고, 상기 데이터 패드(304)와 LOG 패드(301a) 상에는 동일하게 게이트 절연막(303)과 보호막(309) 만이 존재하여 동일한 높이가 된다.
따라서, LOG 패드 영역과 데이터 패드 영역중 TCP가 부착되는 영역은 패드들(301a, 304) 간의 단차가 발생하지 않아, 접착력을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명은 LOG 패드 구조를 갖는 액정표시장치에서 LOG 패드들 간에 홀을 형성하거나, LOG 패드와 엑티브 채널 패드와의 단차를 제거함으로써 도전필름(ACF)을 도포한 후 TCP와의 접착력을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 청구 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.

Claims (10)

  1. 어레이 기판과 칼라 필터 기판이 구비된 액정표시장치에 있어서,
    상기 어레이 기판 상의 라인 온 글라스(LOG) 패드부와 데이터 패드부에 각각 형성된 라인 온 글라스 패드들과 데이터 패드들의 각각의 사이를 글라스 기판이 노출되도록 오픈하고, 그 오픈된 기판 영역을 포함하여 도전필름을 부착하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 라인 온 글라스 패드들은 게이트 전극, 게이트 버스 라인과 동일 층에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 라인 온 글라스 패드부와 상기 데이터 패드부는 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 라인 온 글라스 패드들 상에는 게이트 절연막, 데이터 패드 패턴들 및 보호막이 형성되도록 하고, 데이터 패드부에는 게이트 절연막, 데이터 패드 및 보호막이 형성되도록 하여 상기 라인 온 글라스 패드부와 상기 데이터 패드부가 동일한 높이를 이루도록 한 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  5. 글라스 기판 상에 금속막을 증착하고, 이를 식각하여 게이트 버스 라인, 게이트 전극, 데이터 패드에서 게이트 패드로 신호를 전송하기 위한 라인 온 글라스 패드를 형성하는 단계;
    상기 게이트 전극, 라인 온 글라스 패드가 형성된 기판 상에 게이트 절연막, 비정질 실리콘막, 도핑된 비정질 실리콘막 및 소오스ㆍ드레인 금속을 차례로 도포 및 증착한 다음 회절 노광 공정을 진행하여 오믹 콘택층, 채널층, 데이터 버스 라인 및 데이터 패드를 형성하는 단계;
    상기 소오스ㆍ드레인 전극과 데이터 패드들이 형성된 기판 상에 보호막을 도포하는 단계;
    상기 드레인 전극 상의 보호막을 오픈 시켜 콘택홀을 형성하며, 동시에 상기 라인 온 글라스 패드와 데이터 패드 상의 보호막을 오픈시켜 콘택홀을 형성하고, 아울러 상기 패드들 사이의 보호막과 게이트 절연막을 제거하여 상기 패드들 사이에서는 글라스 기판이 노출되도록 하는 단계; 및
    상기 보호막 상에 콘택홀을 형성한 다음, 투명 금속막을 증착하여 화소 전극과 상기 라인 온 글라스 패드, 엑티브 채널 패드 상에 콘택 패드를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  6. 삭제
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 라인 온 글라스 패드들과 데이터 패드들의 오픈 영역과 상기 패드들 사이의 오픈된 영역 상에는 티씨피(TCP) 단자와 전기적으로 콘택 시킬 도전 필름이 접착되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  8. 글라스 기판 상에 금속막을 증착하고, 이를 식각하여 게이트 버스 라인, 게이트 전극, 라인 온 글라스 패드, 및 데이터 패드가 형성될 영역 일부에 게이트 배선과 라인 온 글라스 패드 및 데이터 패드를 동시에 형성하는 단계;
    상기 게이트 전극, 라인 온 글라스 패드 및 데이터 패드가 형성된 기판 상에 게이트 절연막을 형성하고, 이후 회절 노광 공정에 따라 오믹 콘택층, 채널층, 소오스ㆍ드레인 전극, 데이터 라인을 형성하는 단계;
    상기 소오스ㆍ드레인 전극과 데이터 라인들이 형성된 기판 상에 보호막을 형성하고, 식각하여 상기 드레인 전극 상에 콘택홀을 형성하고, 동시에 상기 라인 온 글라스 패드와 상기 데이터 패드 영역에 형성된 데이터 패드 상의 보호막 및 게이트 절연막을 오픈시키는 단계; 및
    상기 보호막 상에 콘택홀을 형성한 다음, 투명 금속막을 증착하여 화소 전극을 형성하고, 상기 라인 온 글라스 패드와 콘택되고, 데이터 패드와 데이터 라인을 연결하기 위한 콘택 패드들을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 데이터 패드 영역에 형성된 데이터 패드의 길이는 티씨피(TCP)가 부착되는 영역과 대응되는 길이인 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 라인 온 글라스 패드와 데이터 패드 영역에는 게이트 절연막과 보호막이 형성되어 있어, 상기 라인 온 글라스 패드와 데이터 패드는 서로 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
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