KR100726436B1

KR100726436B1 - 정전기력 및 압전력에 의해 구동되는 멤스 스위치

Info

Publication number: KR100726436B1
Application number: KR1020050068648A
Authority: KR
Inventors: 권상욱; 김준오; 송인상; 이상훈; 김동균; 정희문; 홍영택; 김종석; 김재흥
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2005-07-27
Filing date: 2005-07-27
Publication date: 2007-06-11
Anticipated expiration: 2025-07-27
Also published as: US20070024403A1; JP2007035640A; KR20070013950A

Abstract

정전기력 및 압전력에 의해 구동되는 멤스 스위치가 개시된다. 본 멤스 스위치는, 기판, 기판 상부 표면 상의 소정의 제1 영역에 위치하는 제1 접점, 기판 상부 표면과 소정 거리 이격된 상태로 부유된 지지층, 지지층의 하부 표면에 제작된 제2 접점, 정전기력을 이용하여 지지층을 소정 방향으로 이동시키는 제1 엑츄에이터 및 압전력(Piezoelectric force)을 이용하여 지지층을 소정 방향으로 이동시키는 제2 엑츄에이터를 포함한다. 제1 엑츄에이터는 스위치 턴-온 과정에 사용된다. 제2 엑츄에이터는 제1 엑츄에이터와 함께 스위치 턴-온 과정에 사용될 수도 있고, 개별적으로 스위치 턴-오프 과정에 사용될 수도 있다. 이에 따라, 접점 간의 스틱션 현상을 방지할 수 있게 된다.

정전기력, 압전력, 멤스 스위치, 지지층, 스틱션

Description

정전기력 및 압전력에 의해 구동되는 멤스 스위치 { MEMS switch actuating by the electrostatic force and piezoelecric force }

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 멤스 스위치의 구성을 나타내는 수직 단면도,

도 2는 도 1의 멤스 스위치의 구성을 나타내는 수평 단면도,

도 3은 도 1의 멤스 스위치에 사용된 제2 엑츄에이터의 작동 원리를 설명하기 위한 모식도,

도 4는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 멤스 스위치의 구성을 나타내는 수직 단면도, 그리고,

도 5는 도 1의 멤스 스위치를 캔틸레버 형태로 구현한 구성을 나타내는 수직 단면도이다.

* 도면 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

110, 210 : 기판 120, 220 : 제1 접점

130, 230 : 지지층 140, 240 : 제2 접점

150, 250 : 제1 엑츄에이터 160, 260 : 제2 엑츄에이터

151, 251 : 제1 전극 152, 252 : 제2 전극

161, 261 : 압전층 162, 262 : 구동전극

본 발명은 멤스 스위치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 압전력 및 정전기력에 의해 구동되는 멤스 스위치에 관한 것이다.

통신 산업의 발달에 따라 휴대폰의 보급이 대중화되었다. 이에 따라, 다양한 종류의 휴대폰이 세계 각지에서 사용되고 있다. 한편, 휴대폰 내부에는 서로 다른 주파수 대역의 신호를 구분하기 위하여 RF 스위치가 사용된다. 종래에는 필터형 스위치가 사용되었으나, 송수신단 사이에서 누설신호가 발생할 수 있게 된다는 문제점이 있었다. 이에 따라, 멤스 기술을 이용하여 제작된 멤스 스위치를 사용하고자 하는 시도가 있었다. 멤스(Micro Electro Mechanical Systems : MEMS)란 반도체 공정기술을 응용하여 마이크로 단위의 구조물을 제작하는 기술을 의미한다.

멤스 스위치는 기존 반도체 스위치에 비하여 스위치 ON시 낮은 삽입 손실을 가지며, 스위치 OFF시 높은 감쇄 특성을 나타낸다. 또한, 스위치 구동전력도 반도체 스위치에 비하여 상당히 적게 사용되고, 적용 주파수 범위도 상당히 높아 대략 70GHz까지 적용할 수 있다는 장점이 있다.

한편, 휴대폰과 같은 소형 전자 기기는 배터리 용량이 제한적이다. 따라서, 소형 전자 기기에 사용되는 멤스 스위치는 저전압을 이용하여 정상적으로 온/오프 제어될 것이 요구된다. 이를 위해, 접점 간의 간극이 수 ㎛이하가 되어야 한다. 이 경우, 전원이 연결되면 정상적으로 온 되지만 전원이 끊어진 경우 접점 간에 스틱 션(stiction)이 발생하여 정상적으로 오프되지 않게 된다는 문제점이 있었다.

또한, 수 ㎛이하의 간극을 가지는 접점을 제작하는 데에도 어려움이 있었다. 즉, 접점을 서로 이격시키기 위해서는 희생층을 이용하는 데, 수 ㎛이하의 간극을 구현하기 위해서는 희생층의 두께를 수 ㎛이하로 하여야 한다. 이 경우, 희생층 제거 과정에서 접점간의 스틱션이 발생할 가능성이 커지게 된다. 결과적으로 제조 수율이 떨어지게 된다는 문제점이 있었다.

종래에는, 강성이 높은 물질을 이용하여 스위치 레버를 제작하거나, 스위치 레버 및 접점 간의 간극을 키우는 방식으로, 스틱션 현상을 방지하였다. 하지만, 이러한 방식에 따르면 스위치를 온 시키기 위한 구동전압의 크기가 커진다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 압전력 및 정전기력에 의해 구동되어 접점 간의 스틱션을 방지할 수 있는 멤스 스위치를 제공함에 있다.

이상과 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 멤스 스위치는, 기판, 상기 기판 상부 표면 상의 소정의 제1 영역에 위치하는 제1 접점, 상기 기판 상부 표면과 소정 거리 이격된 상태로 부유된 지지층, 상기 지지층의 하부 표면에 제작된 제2 접점, 정전기력을 이용하여 상기 지지층을 소정 방향으로 이동시키는 제1 엑츄에이터 및 압전력(Piezoelectric force)을 이용하여 상기 지지층을 소정 방향으로 이동시키는 제2 엑츄에이터를 포함한다.

바람직하게는, 상기 제1 엑츄에이터는 소정의 제1 전원이 연결되면 상기 제1 접점 및 제2 접점이 접촉되도록 상기 지지층을 상기 기판 방향으로 이동시키며, 상기 제2 엑츄에이터는 소정의 제2 전원이 연결되면 상기 제1 접점 및 제2 접점이 분리되도록 상기 지지층을 상기 기판 반대 방향으로 이동시킬 수 있다.

이 경우, 상기 제1 전원이 제1 엑츄에이터로 연결되는 동작 및 상기 제2 전원이 제2 엑츄에이터로 연결되는 동작은 교번적으로 수행되는 것이 바람직하다.

또한 바람직하게는, 상기 제1 엑츄에이터는, 상기 기판 상부 표면 상의 소정의 제2 영역에 위치하는 제1 전극 및 상기 지지층 하부 표면 상에서 상기 제1 전극과 마주 보는 영역에 위치하며, 상기 제1 전극과 소정 거리 이격된 제2 전극을 포함할 수 있다.

또한, 상기 제2 엑츄에이터는, 상기 지지층 상부 표면 상에 위치하는 압전층 및 상기 압전층 상부 표면 상에 위치하는 구동 전극을 포함할 수 있다.

이 경우, 상기 구동 전극은 콤 구조를 가지는 빗살형 전극(interdigitated electrode)으로 구현될 수 있다.

한편, 본 발명의 또 다른 실시 예에 따르면, 상기 제2 엑츄에이터는 소정의 제2 전원이 연결되면 상기 제1 접점 및 제2 접점이 접촉되도록 상기 지지층을 상기 기판 방향으로 이동시킬 수 있다.

이 경우, 상기 제1 전원 및 제2 전원은 동일 전원이 될 수 있다.

바람직하게는, 상기 제2 엑츄에이터는, 상기 지지층 하부 표면 상에 위치하 는 구동전극 및 상기 구동전극 상에 위치하는 압전층을 포함한다.

보다 바람직하게는, 상기 제1 엑츄에이터는, 상기 기판 상의 소정의 제2 영역에 위치하는 제1 전극 및 상기 압전층 상에서 상기 제1 전극과 마주보는 영역에 위치하며, 상기 제1 전극과 소정 거리 이격된 제2 전극을 포함할 수 있다.

한편, 이상과 같은 실시 예들에 있어서, 상기 지지층은 상기 기판 상부 표면에 접하는 지지부 및 상기 지지부로부터 돌출되어 상기 기판 상부 표면과 소정 거리 이격된 상태로 부유되는 돌출부로 이루어진 캔틸레버 구조로 구현되는 것이 바람직하다.

이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 자세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 멤스 스위치의 구성을 나타내는 수직 단면도이다. 도 1에 따른 멤스 스위치는 기판(110), 제1 접점(120), 지지층(130), 제2 접점(140), 제1 엑츄에이터(150) 및 제2 엑츄에이터(160)를 포함한다.

기판(110)은 통상의 실리콘 웨이퍼로 구현될 수 있다.

제1 접점(120)은 도전성 물질로 제작되며, 기판(110) 상의 소정의 제1 영역에 위치한다. 제1 접점(120)은 외부 신호 라인(미도시)과 연결되어, 스위치 온(ON)되어 제2 접점(140)과 접촉하면 신호를 전달하는 역할을 한다.

지지층(130)은 기판(110) 상부 표면과 소정 거리 이격되어 부유된 형태로 제작된다. 지지층(130)은 제1 및 제2 엑츄에이터(150, 160)에 의해 기판(110) 방향 또는 기판(110) 반대 방향으로 이동되어 제1 접점(120) 및 제2 접점(240)을 접촉 또는 분리시키는 역할을 한다. 지지층(130)의 이동이란, 기판(110) 상부 표면에 부유된 지지층(130) 영역이 기판(110) 방향 또는 기판(110) 반대 방향 측으로 휘어지는 것을 의미한다. 즉, 지지층(130)의 전체 영역 중 정전기력 또는 압전력이 작용하는 일부 영역의 이동을 의미한다. 도 1에서는 기판(110) 상부 표면에 부유된 지지층(130) 영역만을 도시하였으나, 기판(110)에 의해 지지되는 형태로 제작될 수 있다. 이러한 구조에 대해서는 본 명세서 후단에서 도 5와 함께 설명한다.

지지층(130) 상에서 기판(110)을 향하는 표면(이하, 하부 표면이라 한다)의 일 영역에는 제2 접점(140)이 위치한다. 제2 접점(140)은 제1 접점(120)과 접촉하여 신호를 전달하는 역할을 한다.

한편, 제1 엑츄에이터(150) 및 제2 엑츄에이터(160)는 각각 지지층(130)을 소정 방향으로 이동시키는 역할을 한다. 구체적으로는, 제1 엑츄에이터(150)는 본 멤스 스위치를 온 시키기 위해서 사용되며, 제2 엑츄에이터(160)는 오프 시키기 위해서 사용된다.

즉, 제1 엑츄에이터(150)는 제1 전원(V1)이 연결되면 제2 접점(140)이 제1 접점(120)에 접촉될 수 있도록 지지층(130)을 기판(110) 방향으로 이동시킨다. 이를 위해, 제1 엑츄에이터(150)는 제1 전극(151) 및 제2 전극(152)을 포함하는 형태로 구현된다. 제1 전극(151)은 기판(110) 상부 표면 상의 소정의 제2 영역에 위치한다. 제2 전극(152)은 지지층(130) 하부 표면 상에서 제1 전극(151)과 마주보는 영역에 위치한다. 제2 전극(152) 및 제1 전극(151)은 서로 소정 거리 이격된다. 이러한 상태에서 제1 전원(V1)이 연결되면 제1 전극(151) 및 제2 전극(152) 사이에 정전기력이 발생하여 지지층(130)을 기판(110) 방향으로 이동시키게 된다.

한편, 도 1에서 제2 엑츄에이터(160)는 제2 전원(V2)이 연결되면 지지층(130)을 기판(110) 반대 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 제1 접점(120) 및 제2 접점(140)이 접촉된 상태에서 제2 엑츄에이터(160)에 제2 전원(V2)이 연결되면 제1 접점(120) 및 제2 접점(140)을 분리시킨다.

이를 위해, 제2 엑츄에이터(160)는 압전층(161) 및 구동전극(162)을 포함하는 형태로 구현된다. 압전층(161)은 지지층(130)의 양 표면 중 기판(110) 반대 방향을 향하는 표면(이하, 상부 표면이라 한다) 상에 위치한다. 압전층(161)은 질화알루미늄(AlN), 산화아연(ZnO) 등과 같은 압전물질로 제작할 수 있다.

구동전극(162)은 압전층(161) 상에 위치하여, 제2 전원(V2)이 인가되면 압전층(161)의 압전 현상에 의해 기판 표면에 수평한 방향으로 진동하게 된다. 이에 따라, 지지층(130)을 기판(110) 반대 방향으로 들어 올리게 된다.

도 2는 도 1의 멤스 스위치에 대한 수평 단면도이다. 도 2에 따르면, 제2 엑츄에이터(160)는 압전층(161) 및 압전층(161) 상에 제작된 구동전극(162)을 포함한다. 구동전극(162)은 압전층(161) 상에 콤 구조로 제작된 제1 구동전극(162a) 및 제1 구동전극(162b)와 맞물린 콤 구조로 제작된 제2 구동전극(162b)를 포함하는 구조로 구현된다.

도 3은 도 1의 멤스 스위치에 적용된 제2 엑츄에이터(160)의 동작 원리를 설명하기 위한 모식도이다. 구동전극(162)은 맞물린 콤 형태로 제작되기 때문에 압전층(161) 상에 제1 구동전극(162a) 및 제2 구동전극(162b)이 교번적으로 배치되게 된다. 이러한 상태에서 제2 전원(V2)의 양 단자가 연결되면 제1 및 제2 구동전극(162a, 162b) 간에 전위차가 형성된다. 이에 따라, 압전층(161) 내에서 화살표와 같은 방향으로 전계(E field)가 형성되어, 제1 구동전극(162a)의 각 빗살이 제1 구동전극(162b)의 각 빗살 방향으로 힘을 받게 된다. 이에 따라, 압전층(161)이 수평 방향으로 수축된다. 압전층(161)은 지지층(130) 상부 표면에 접하기 때문에, 압전층(161)의 수축으로 인해 지지층(130)은 상측, 즉, 기판(110) 반대 방향으로 이동된다. 결과적으로, 제1 접점(130) 및 제2 접점(140)이 분리된다.

도 1의 멤스 스위치에서 제1 전원(V1) 및 제2 전원(V2)은 서로 상이한 전원을 사용한다. 이에 따라, 제1 전원(V1)을 제1 엑츄에이터(150)에 연결하는 동작 및 제2 전원(V2)을 제2 엑츄에이터(160)에 연결하는 동작을 교번적으로 수행하여 멤스 스위치를 온/오프시킬 수 있다. 즉, 온시킬 때는 제1 전원(V1)을 제1 엑츄에이터(150)에 연결하고, 오프시킬 때는 제1 전원(V1)을 차단하는 동시에 제2 전원(V2)을 제2 엑츄에이터(160)에 연결함으로써 스틱션이 일어나는 것을 방지할 수 있게 된다.

도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 멤스 스위치의 구성을 나타내는 수직 단면도이다. 도 4에 따른 멤스 스위치는 기판(210), 제1 접점(220), 지지층(230), 제2 접점(240), 제1 엑츄에이터(250) 및 제2 엑츄에이터(260)를 포함한다.

도 4의 멤스 스위치에서 제1 엑츄에이터(250)는 전원(V) 연결시 정전기력을 이용하여 지지층(230)을 기판(110) 방향으로 이동시킨다. 또한, 제2 엑츄에이터(260)도 전원(V) 연결시 압전력을 이용하여 지지층(230)을 기판(110) 방향으로 이동시킨다. 결과적으로, 전원(V) 연결시에는 압전력 및 정전기력이 동시에 작용하여 제1 접점(220) 및 제2 접점(240)이 접촉되도록 한다. 도 4에서 제1 및 제2 엑츄에이터(250, 260)에는 동일한 전원(V)가 연결되는 것으로 도시되어 있으나, 서로 상이한 크기의 전원이 연결될 수도 있다.

다만, 제1 및 제2 엑츄에이터(250, 260)에 대한 전원 연결 시점은 동일하게 일치시켜야 한다. 즉, 스위치를 턴-온시키고자 할 때는 제1 및 제2 엑츄에이터(250, 260)에 동시에 전원(V)을 연결하고, 턴-오프시키고자 할 때는 동시에 전원(V)를 차단한다.

한편, 도 4에서 제1 접점(220), 지지층(230) 및 제2 접점(240)의 구조 및 역할은 도 1과 동일하므로 중복 설명은 생략한다.

제2 엑츄에이터(260)는 압전층(261) 및 구동전극(262)을 포함한다. 도 4에 따르면, 구동전극(262)은 지지층(230) 하부 표면 상의 일 영역에 위치한다. 압전층(261)은 구동전극(262) 상에 위치한다.

제1 엑츄에이터(250)는 제1 전극(251) 및 제2 전극(252)을 포함한다. 제1 전극(251)은 기판(110) 상부 표면 상의 소정의 제2 영역에 위치한다. 제2 전극(252)은 압전층(261) 상에 위치하여, 제1 전극(251)과 소정 거리 이격된다.

제1 엑츄에이터(250)의 제1 전극(251) 및 제2 전극(252)과 제2 엑츄에이터(260)의 구동전극(262)에 각각 전원(V)이 연결되면, 제1 엑츄에이터(250)의 제1 및 2 전극(251, 252) 간에는 정전기력이 발생한다.

한편, 구동전극(262) 및 제2 전극(252)에 전원(V)이 연결됨에 따라, 압전층(261)에서는 압전 현상이 발생한다. 이에 따라, 기판(210) 표면에 수직한 방향으로 압전력이 작용한다. 이러한 압전력과 정전기력이 합쳐져서 지지층(230)을 기판(210) 방향으로 이동시킨다. 결과적으로 제1 접점(220) 및 제2 접점(240)이 접촉된다.

도 4의 멤스 스위치에 따르면 전원(V) 연결시에 정전기력 이외에 압전력도 지지층(130)에 작용하게 된다. 따라서, 지지층(130)의 이동거리가 커진다. 결과적으로, 제1 및 2 접점(220, 240) 간의 간극을 크게 하더라도 정상적으로 턴-온 될 수 있다. 간극이 커짐에 따라 복원력도 커지므로, 전원(V)을 차단하더라도 스틱션 현상이 발생하지 않고 정상적으로 턴-오프 될 수 있다. 또한, 제1 및 2 접점(220, 240) 간의 간극을 미세하게 할 필요가 없어, 멤스 스위치 제작이 용이해지고, 제조 수율이 향상된다.

한편, 도 1 및 도 4의 멤스 스위치에서 지지층(130, 230)은 기판(110)에 의해 지지될 수 있도록 캔틸레버 구조로 구현될 수 있다. 도 5는 도 1의 멤스 스위치에서 지지층(130)을 캔틸레버 구조로 구현한 경우를 나타내는 수직 단면도이다.

도 5에서 지지층(130)을 제외한 나머지 구성요소들은 도 1에 대한 설명 부분에서 이미 설명하였으므로, 더 이상의 설명은 생략한다.

도 5에 따르면, 지지층(130)은 지지부(130a) 및 돌출부(130b)를 포함하는 캔틸레버 구조로 제작된다. 지지부(130a)는 기판(110) 상부 표면에 접하여 전체 지지층(130)을 지지하는 역할을 한다. 돌출부(130b)는 지지부(130a)로부터 돌출되어 기판(110) 상부 표면과 소정 거리 이격되어 부유하는 형태로 제작된다. 이에 따라, 돌출부(130b) 하부 표면 상의 각 영역에 제2 전극(152) 및 제2 접점(140)이 위치할 수 있다. 또한, 돌출부(130b) 상부 표면에 압전층(161) 및 구동전극(162)이 순차적으로 적층된 구조로 제작될 수 있다.

이와 같이 지지층(130)이 캔틸레버 구조로 제작되면, 제1 전원(V1)이 차단되 는 경우에 지지부(130a) 및 돌출부(130b) 간의 접합 부분이 일종의 복원 스프링 역할을 하여 아래로 휘어져 있는 지지층(130)을 상측으로 복원시키기 위한 복원력까지 제공할 수 있게 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 멤스 스위치를 정전기력 및 압전력을 이용하여 온/오프시킬 수 있게 된다. 이에 따라, 접점 간의 스틱션 현상을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 한 실시 예에 따르면 동일한 크기의 전원으로 구동되는 종래 멤스 스위치에 비해 접점 간의 간극을 크게 할 수 있다. 이에 따라, 멤스 스위치 제작이 용이해지며, 제조 수율도 향상시킬 수 있게 된다.

또한, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.

Claims

기판;

상기 기판 상부 표면 상의 소정의 제1 영역에 위치하는 제1 접점;

상기 기판 상부 표면과 소정 거리 이격된 상태로 부유된 지지층;

상기 지지층의 하부 표면에 제작된 제2 접점;

제1 전원이 연결되면 상기 제1 접점 및 상기 제2 접점이 접촉되도록 정전기력을 이용하여 상기 지지층을 상기 기판 방향으로 이동시키는 제1 엑츄에이터; 및

압전력(Piezoelectric force)을 이용하여 상기 지지층을 상기 기판 방향 또는 상기 기판 반대 방향으로 이동시키는 제2 엑츄에이터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치.
삭제
제1항에 있어서,

상기 제2 엑츄에이터는 소정의 제2 전원이 연결되면 상기 제1 접점 및 제2 접점이 분리되도록 상기 지지층을 상기 기판 반대 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치.
제3항에 있어서,

상기 제1 전원이 제1 엑츄에이터로 연결되는 동작 및 상기 제2 전원이 제2 엑츄에이터로 연결되는 동작은 교번적으로 수행되는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치.
제1항에 있어서,

상기 제1 엑츄에이터는,

상기 기판 상부 표면 상의 소정의 제2 영역에 위치하는 제1 전극; 및

상기 지지층 하부 표면 상에서 상기 제1 전극과 마주 보는 영역에 위치하며, 상기 제1 전극과 소정 거리 이격된 제2 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치.
제5항에 있어서,

상기 제2 엑츄에이터는

상기 지지층 상부 표면 상에 위치하는 압전층; 및

상기 압전층 상부 표면 상에 위치하는 구동 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치.
제6항에 있어서,

상기 구동 전극은 빗살형 전극(interdigitated electrode)인 것을 특징으로 하는 멤스 스위치.
제1항에 있어서,

상기 제2 엑츄에이터는 소정의 제2 전원이 연결되면 상기 제1 접점 및 제2 접점이 접촉되도록 상기 지지층을 상기 기판 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치.
제8항에 있어서,

상기 제1 전원 및 제2 전원은 동일 전원인 것을 특징으로 하는 멤스 스위치.
제8항에 있어서,

상기 제2 엑츄에이터는,

상기 지지층 하부 표면 상에 위치하는 구동전극; 및

상기 구동전극 상에 위치하는 압전층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치.
제10항에 있어서,

상기 제1 엑츄에이터는,

상기 기판 상의 소정의 제2 영역에 위치하는 제1 전극; 및

상기 압전층 상에서 상기 제1 전극과 마주보는 영역에 위치하며, 상기 제1 전극과 소정 거리 이격된 제2 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치.
제1 또는 3 내지 11항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 지지층은,

상기 기판 상부 표면에 접하는 지지부 및 상기 지지부로부터 돌출되어 상기 기판 상부 표면과 소정 거리 이격된 상태로 부유되는 돌출부로 이루어진 캔틸레버 구조인 것을 특징으로 하는 멤스 스위치.