KR100247137B1

KR100247137B1 - 멀티도메인 액정셀의 제조방법

Info

Publication number: KR100247137B1
Application number: KR1019960030940A
Authority: KR
Inventors: 권순범; 레즈니코프 유리; 야로쉬츄크 올레그; 김종현
Original assignee: 구본준; 엘지.필립스엘시디주식회사; 론 위라하디락사
Priority date: 1996-07-29
Filing date: 1996-07-29
Publication date: 2000-03-15
Anticipated expiration: 2016-07-29
Also published as: FR2751764A1; US5853818A; FR2751764B1; KR980010523A; JPH1078584A; US20030112395A1; US6593986B2; GB2315875B; DE19732683A1; DE19732683B4; GB2315875A; GB9714832D0; JP3934214B2

Abstract

본 발명은 액정표시장치, 특히 멀티도메인으로 배양된 액정셀의 제조방법에 관한 것으로, 액정의 배향방향이 자외선의 노출강도 및 노출시간의 변경에 따라서 배향막의 감광성 물질의 배향방향이 변경되며, 이로 인해서 액정의 배향방향도 달라지게 된다. 이러한 성질을 이용하여 멀티도메인 액정셀을 만드는 방법을 제공한다.

Description

멀티도메인 액정셀의 제조방법

본 발명은 멀티도메인 액정셀 제조방법에 있어서, 특히 광을 이용하여 멀티도메인을 형성하여 시야각을 보상하는 멀티도메인 액정셀 제조방법에 관한 것이다.

광학적 정보를 기록하고 영상화하는 액정표시장치의 기본적 구성요소는 두개의 기판과 그 사이에 주입되는 액정으로 이루어져 있다. 그 곳에 정보를 저장하고, 탐독하기 위해서는 액정표시소자의 균일한 밝기과 높은 콘트라스트비를 가진 액정셀을 만들어야 하고 이를 위해서, 가능한한 액정이 균일한 배향이 되도록 하여야만 한다.

기판 위에 액정의 배열을 균일하게 하기 위해서는 중합체 물질을 성막하여 특수한 처리를 실시하여야 한다. 이러한 방법으로 가장 흔하게 사용하는 방법 중에 하나는 기계적인 러빙법이다. 그러나, 러빙은 몇가지의 중대한 결점을 가지고 있다. 첫째로, 러빙시 배향막 위에 먼지와 정전기가 발생되고, 이로 인해서 박막트랜지스터에 손상을 입힐 우려가 있다. 둘째로, 러빙시 생기는 불규칙한 미세한 홈이 빛의 산란과 액정셀의 불규칙한 위상변이를 일으킬 수가 있다.

다른 배향처리법으로는, 편광된 자외선을 감광성 중합체(photosensitive polymer)에 조사하여 액정의 배열을 제어하는 방법도 알려져 있다(M. Schadt et al., Jpa. J. Appl. Phys., 31(1992), p2155; T. Marusii 및 Yu. Rezunikov, Mol. Master, 3(1993), p161). 감광성물질의 배향능력은 광조사에 의해 생성되는 이방성에 의해서 결정된다. 현재, 폴리비닐신나메이트(PVCN: polyvinyl-cinnamate, M.Schadt et al., Jpn.J.Appl.Phys., 31(1992), p2155). 폴리실록산(PS: polysiloxane, 한국특허출원 95-42222) 및 폴리이미드 등은 액정표시장치의 배향막을 이루는 광배향 물질로 널리 사용되고 있다. 광배향물질 중에서 배향축(easyaxis) 방향이 편광된 자외선의 편광방향에 수직하게 재배열하는 광배향물질을 배향막으로 사용하여 액정분자의 배향을 제어할 수가 있다.

이러한 광배향 처리는 러빙에 의한 배향처리보다 이점이 많다. 러빙법과는 달리, 러빙에 의해서 발생되는 배향막 표면에 정전기 및 먼지가 발생되지 않고, 광배향물질의 감광성 중합체는 배향축 방향과 방위각의 앵커링 에너지량을 조절하는 것이 가능하므로, 액정셀에서 액정의 방향자 분포를 임의로 조절하는 것이 가능하다. 본 발명에 따른 광배향 공정은 서로 수직한 2개의 가능한 배향축을 가진 멀티도메인을 만드는 것이 가능하다.

종래의 광배향법을 적용하여 만든 멀티도메인 액정셀을 얻기 위한 2가지 방법이 제안되고 있다. 깁븐 등에 따른 방법(W. Gibbon et al., Nature, 351(1991), p49)은 단일방향으로 감광성물질을 러빙후, 편광된 광선으로 마스크를 통해서 다시 자외선이 기판에 조사하여 초기의 러빙방향에 직각으로 배향된 배향축을 만든다. 트위스트 구조를 가진다. 상기한 방법으로 2도메인이 형성된 기판과 초기의 러빙방향으로 방향지워진 모노도메인이 형성된 기판과, 이들 사이에 주입되는 액정셀에서는, 상기한 광배향공정에서 투명부에 해당하는 영역에서 90°트위스트된 구조를 가진다. 그러나, 이 방법은 배향면 위에 미세홈을 만들어서 먼저, 정전기를 발생시키는 중합체의 러빙법을 사용하는 것이 필수적으므로, 러빙에 의해 발생되는 문제를 여전히 가지고 있다. 상기한 방법외에 세논등이 제안한 방법(P. Shenon et al., Nature, 386(1994), p532)에 의해서 만들어 졌다. 배향막 표면을 러빙하는 대신, 편광된 광을 조사하여 초기배향 하도록 조사하는 것이 상기한 방법과는 다르다. 이방법으로 상기한 단점은 극복되지만, 제조공정 중에 광학성질(배향축의 방향)을 도메인에 따라 달리 부여하기 위해서 편광방향이 다른 편광광선으로 2회 노출하는 것이 필수적이고, 이로 인해서, 조사장치를 재배열하여야 하는 단점이 있다.

그러므로, 본 발명의 목적은 상기한 종래의 방법이 가진 단점을 극복하기 위하여, 리빙법을 사용하지 않고 액정셀의 멀티도메인을 제조하는 방법을 제공하는 것이고, 공정 중에 광학적 성질을 다시 조정하는 일 없이, 동일한 광학장치의 배열로 멀티도메인을 형성하는 멀티도메인 액정셀 제조방법을 제공하는 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 자외선의 편광방향과 90°인 배향축 방향이 조사에너지 밀도가 중가함에 따라서 초기 배향축 방향과 수직하게 변하는 본 발명의 광배향물질의 특성을 이용한다. 상기한 광배향물질의 배향특성을 이용한 본 발명의 배향방법은, 기판에 감광성 중합체의 배향막을 성막하는 단계; 상기한 배향막의 일부에 제1에너지를 부여하는 제1배향축 방향을 결정하는 단계; 상기한 배향막의 다른 일부에 제2에너지를 부여하여 제1배향축 방향과 수직인 제2배향축 방향을 결정하는 단계로 구성된다.

또한, 상기한 자외선의 에너지 밀도에 의해서 배향축 방향이 결정된 배향막을 적용하여 멀티도메인 액정셀을 제조하는 방법은, 감광성 중합체의 제1배향막과 제2배향막이 각각 도포된 제1기판과 제2기판을 준비하는 단계; 상기한 제1배향막과 제2배향막이 각 영역에 자외선의 에너지 밀도가 다르게 부여되도록 자외선을 조사하는 단계; 상기한 배향막이 마주보도록 상기한 제1기판과 제2기판을 합착하는 단계; 및 상기한 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입하는 단계로 이루어진다. 이때, 각 영역마다 자외선의 에너지 밀도를 다르게 부여하는 것은 자외선의 조사시간이나 조사강도를 변경하는 것으로 가능하다.

제 1도는, 본 발명의 실시예에 적용된 광배향물질의 PSCN-1의 구조화학식을 나타내는 도면.

제 2도는, 본 발명의 실시예에 적용된 광배향물질인 PSCN-2의 구조화학식을 나타내는 도면.

제 3도는, 본 발명의 실시예에 적용된 광배향물질인 PSCN-3의 구조화학식을 나타내는 도면.

제 4도는, 본 발명의 실시예 적용된 광배향물질인 PSCN-4의 구조화학식을 나타내는 도면.

제 5도는, 본 발명의 배향공정를 실시하기 위한 광조사장치를 나타내는 도면.

제 6도는, 제 5의 부분 확대도.

제 7도는, 본 발명에 따라 제조된 TDTN 액정셀의 단면도.

제 8도는, 본 발명의 광배향물질에 흡수된 광에너지와 배향방향의 각도와의 관계를 나타내는 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : Hg램프 20 : 집광기

30 : 편광기 40 : 광마스크

50 : 배향막 60 : 기판

본 발명에 사용되는 배향막의 감광성 중합체로는 다음의 화학구조식을 예로 가지는 폴리비닐신마이트(polyvinylcinnamate : PSCN)를 사용한다.

폴리비닐신나마이트 Ⅰ(polyvinyl cinnamate Ⅰ) :

폴리비닐신나마이트 Ⅱ(polyvinyl cinnamate Ⅱ) :

폴리비닐신나마이트 Ⅲ(polyvinyl cinnamate Ⅲ) :

폴리비닐신나마이트 Ⅳ(polyvinyl cinnamate Ⅳ) :

도 8은 상기한 감광성 중합체에 있어서, 자외선의 에너지 밀도와 배향축 방향(Φ)과의 관계를 나타내는 도면이다. 도면에서, 상기한 감광성 중합체로 이루어진 배향막의 배향축 방향은 조사되는 자외선의 편광방향에 따라 결정된 최초 방향을 0°라 한 경우, W범위 이하의 에너지 밀도에서 상기한 최초 배향축 방향을 유지하다가, W범위에서 불안정한 배향축 방향(Φ)이 되어 측정할 수가 없다. 그러나 상기한 W범위 이상의 자외선 에너지밀도를 부여하면, 상기한 최초의 배향축 방향과 수직한 방향(90°)으로 변경된 배향축 방향이 결정된다. 상기한 자외선의 에너지밀도(D)는 자외선의 조사강도(I_exp)와 자외선의 조사시간(t_exp)으로 결정된다(D=I_exp×t_exp).

예를 들면, PSCN-1물질(도 1)로 이루어진 배향막에 고압 수은램프로 250㎚의 파장을 가진 편광된 자외선을 2㎽/㎠의 강도로 5분간 조사하면(D=0.6J), 자외선의 편광방향에 수평한 배향축이 형성되고, 이 자외선을 10분 이상 더 조사하면(D=1.2J), 배향축의 방향은 상기한 편광방향에 수직하게 된다. 이 중간의 시간대에서는 안정한 배향축 방향이 설정되어 진다.

노출시간 대신 노출강도를 변경하여도 같은 배향축 변경효과를 얻을 수가 있다. 예를 들면, 동일한 PSCN-1의 배향막에 5분의 노출시간과 2㎽/㎠의 노출강도로 편광된 자외선(D=0.6J)에 노출된 영역의 배향축 방향은 상기한 자외선이 편광방향과 평행하지만, 같은 노출시간(5분)으로 4㎽/㎠의 노출강도로 노출(D=1.2J)된 영역의 배향축 방향은 상기한 자외선의 편광방향에 수직한 방향으로 결정된다.

또한, 수직으로 배향축 방향을 전환하는데 필요한 시간은, 편광방향의 수직인 배향축 방향만을 가지는 물질을 본 발명의 감광성 중합체의 배향막에 첨가하므로서 감소하는 것이 가능하다. 또한, 배향축 배향을 전환하는데 필요한 강도도 상기한 물질을 첨가하므로서 얻을 수가 있다. 예를 들면, 본 발명의 광감성 중합체인 PSCN-2(도 2)의 질량당 10%로 수직인 배향축 만을 유지하는 물질을 첨가하면, 1mw/㎠의 강도로 5분간 조사하여 편광방향에 평행한 배향축 방향을 얻고, 10분간 조사하여 편광방향에 수직한 배향축 방향을 얻는다. 같은 효과가 다른 감광성 중합체인 PSCN-3(도 3), PSCN-4(도 4)에서도 획득된다.

따라서, 각 영역마다 시야각의 방향이 다른 멀티도메인 액정셀을 얻는 새롭고, 간편한 방법을 제시하는 것이 가능하게 된다. 본 발명의 기본적인 이론은 배향막에 흡수 에너지 밀도를 변경하여 배향막의 배향축 방향을 조절하도록 하고 이것으로 액정셀에 주입되는 액정분자의 방향자의 방향을 제어하도록 하는 것이다.

본 발명에 의하면, 멀티도메인 액정셀의 제조시 광마스크의 사용횟수가 감소하고 광학장치를 다시 배열하지 않고도 광시야각 특성을 가진 멀티도메인 액정표시장치를 만드는 것이 가능하게 된다. 또한, 제시된 방법은 배향축의 2진법 정보의 암호화가 가능한 고빌도 광학정보저장을 위해서 적용되어질 수가 있다.

도 5는 본 발명에 따르는 한 실시예의 기본적인 장치를 보여주고 있다. 기판(60)은 감광성 물질(50)로 도포되어서 배향막에 흡수된 에너지 밀도(D)에 따라서 배향축의 방향이 결정되는 효과를 보이도록, 수은램프에서 나온 자외선이 편광판(30), 집광기(20)를 통해서 기판 위의 마스크(40)로 조사된다.

도 6은 상기한 도 5의 마스크(40) 기판(60)에 도포된 배향막(50)의 확대도면이다. 도면에서 마스크(40)는 광에 대해서 서로 다른 투광도(T₁, T₂)를 가진는 두가지의 영역으로 구성되어 있다. 이 각 투광도의 크기는 주어진 자외선의 노출시간과 노출강도의 조합에 따라서 달라진다. 상기한 마스크의 제1투과도(T₁)를 가지는 영역을 통과하여 배향막의 제1영역에 조사된 조사에너지 밀도는 문턱치(배향축이 수직으로 변경할 때의 에너지 밀도) 보다는 작어서 광선의 편광방향에 평행하도록 배향축 방향(E₁)을 결정하여지고, 마스크의 제2투과도(T₂)를 가지는 영역을 통과하여 배항먁의 제2영역에 조사된 에너지 밀도는 문턱치보다 크므로 자왼선의 편광방향과 수직이 되도록 배향축(E₂)을 만든다. 결과적으로, 배향막의 제1영역은 광선의 편광방향에 평행한 배향축이 부여되고, 제2영역은 광선의 광선의 편광방향과 수직인 배향축이 부여된다.

본 발명에 따르는 다른 배향방법은 노출시간을 제어하므로서 가능하다. 즉, 투명영역과 불투명영역을 가지는 마스크를 통해서 두단계로 기판에 광조사를 실시하므로서, 2도메인으로 분할된 기판을 얻을 수가 있다. 예를 들면, 제1단계는 일정시간동안 전체 기판에 대해서 광을 조사하여 배향축이 광선의 편광방향에 수평하게 결정이 되도록 하고, 제2단계는 도멘인에 따라서 광을 차폐 또는 투과할 수 있는 마스크를 배향막 위에 위치하여 투과부에 위치한 배향막의 영역은 배향축이 변경될 수 있는 역치의 광밀도(D_thr)이상이 되도록 하여 배향축이 광성의 편광방향에 수직이 되도록 한다.

본 발명은 따라서, 액정을 수직적으로 배열할 수 있으므로, 광학적 정보를 이진법코드로 기록하고 저장하기 위해 이용될 수 있다.

또한, 본 발명은 광시야 특성을 가진 멀티도메인 액정표시장치를 실현하는 것이 가능하다. 도 7은 기본적인 TN 액정표시장치에 있어서 하나의 픽셀에 대한 단면을 보여주고 있다. 이것은 이웃하는 도메인과 90°로 서로 직교하여 배향되고 마주보는 기판 사이에서 액정이 트위스트된 TN(twisted nematic) 멀티도메인 수조를 가지고 있다. 각 도메인은 이웃하는 도메인과 비대칭한 시야각 특성을 보이나, 이들을 합한 거시적인 특성은 균일한 시야각 특성을 가진다.

본 발명의 바람직한 예는 특정한 실시예를 참조로 하여 더 설명될 것이다. 이들 실시예가 본 발명을 설명하는 유일한 것은 아니고, 언급된 조건과 물질로만 한전되는 것은 아니다. 다양한 수정한이 이 기술의 종사자들에게서 쉽게 획득될 수 있을 것이다.

[실시예 1]

노출강도의 조절로 생성된 멀티도메인의 액정셀

1,2-디크로로에탄과 크로로벤젠을 1:1로 혼합하여 중합체 물질 PSCN-1을 용해하여 이 중합체의 농도를 10g/ℓ로 만든다. 회전속도를 2500rev./min.으로 스핀코팅하여 중합체를 성막한 후, 중합체로 성막한 기판을 200℃에서 2시간 동안 예비 건조한다.

도 5에서 설명된 형태로 기판이 준비되고, Hg 램프가 자외선의 에너지원으로 사용되고, 광마스크 면에서 자외선 총전력은 250㎚에서 2㎽이다. 광마스크 자체는 4×4㎟의 크기의 정사각형으로 각 영역마다 두가지의 다른 투광도를 가지고 있다. 광마스크의 조사된 전체 부위는 2×3㎠이다. "투명한" 픽셀의 투광도는 85%이고, "불투명한" 픽셀의 투광도는 30%이다. 기판에 자외선이 조사되는 시간은 총 10분이다. 기판에 광조사와 건조후에, 액정셀은 보통 센드위치법을 사용하여 합착된다. 셀갭은 50㎛가 되도록 조절하고 액정셀에 액정물질 ZLI4801-000을 실온에서 주입한다. 방향자가 서로 수직한 방향으로 배열된 것이 편광현미경으로 관찰되었다.

[실시예 2]

노출강도의 조절로 생성된 멀티도메인의 액정셀

PSCN-2 물질 20%와 PSCN-1물질 80%를 광배향조절물로 사용한 것 이외에는 제1실시예와 동일한 조건으로 실시하였다. 기판에 광조사는 5분동안 수행되었고, 제1실시예와 동일한 결과를 내었다.

[실시예 3]

노출강도의 조절로 생성된 멀티도메인의 액정셀

PSCN-3 물질을 광배향 조성물로 사용한 것 이외에는 제1실시예와 동일한 조건으로 실시하였다. 100℃에서 셀에 액정을 주입하였고, ZLI 4801 000은 등방상이다. 기판에 자외선의 조사는 16분동안 수행되었고, 제1실시예와 동일한 결과를 내었다.

[실시예 4]

노출강도의 조절로 생성된 멀티도메인의 액정셀

PSCN-4물질을 광배향 조성물로 사용한 것 이외에는 제1실시예와 동일한 조건으로 실시하였다. 100℃에서 셀에 액정을 주입하고 ZLI 4801 000은 등방상이다. 기판에 자외선의 조사는 20분 동안 수행되었고, 제1실시예와 동일한 결과를 내었다.

[실시예 5]

노출시간의 조절로 생성된 멀티도메인의 액정셀

제1실시예와 동일한 조건으로 기판을 준비하였다. 기판에 광마스크 없이 자외선의 조사를 5분동안 수행하였다. 즉, 기판 전지역에 균일하게 광에너지 밀도로 분포되어 있다. 그후, 기판은 광마스크를 통해서 자외선을 10분 동안 조사받았다. 광마스크는 4×4㎠ 크기의 정사각형 형태로 구성되고 두가지의 투광도를 가지고 있다. 광마스크의 조사되는 지역은 2×3㎠이다. 마스크의 "투명한" 영역의 투과도는 98%이고, "불투명한" 영역의 투과도는 1%이다. 그후, 광마스크는 제거되고, 액정셀이 조립된 후, 상기한 액정 ZLI 4801 000이 주입된다. 결과적으로, 제 1실시예와 유사한 멀티도메인의 액정셀이 생산되었다.

[실시예 6]

광시야각 특성을 가진 액정표시장치의 제조

상기한 투명전극 및 광배향 전극층으로 성막된 2개의 기판이 제1실시예에 따라서 준비된다. 기판은 3×3㎟ 크기의 "투명한(T=85%)" 및 "불투명부(T=30%)"의 정사각형으로 이루어진 체스판과 같은 배열로 이루어진 광마스크를 통해서 조사되었다. 조사는 15분 동안 수행되었다. 셀갭을 5㎛로 조정한 애정셀의 방향자 방향이 트위스트된 구조의 도메인을 만들도록 배치한다. 셀에 100℃의 온도에서 액정이 주입되고 주입된 액정. ZLI 4801 000은 등방상이다.

상기한 여러 실시예를 통해서 본 발명은 상기한 목적을 이룰 수가 있었다. 즉, 종래의 러빙법이 가진 단점을 극복하고, 액정셀의 멀티도메인을 제조하는 방법을 제공하였고, 공중 중에 광락적 성질을 다시 조정하는 일 없이, 동일한 광학장치로 멀티도메인을 가진 배향막을 얻을 수 있는 방법을 제공하였다. 이로 인하여, 기존의 러빙법에 의한 먼지나 정전기에 의한 기판의 손상을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 1회의 광조사로 멀티도메인을 형성하는 것이 가능하므로, 공정수를 줄이는 것이 가능하다. 이로 인해서, 간편하게 멀티도메인의 배향막을 얻는 것이 가능하게 되었다.

Claims

기판에 감광성 배향막을 도포하는 단계;

상기한 감광성 배향막의 제1영역에 제1에너지 밀도를 부여하여 제1배향축을 부여하는 단계; 및 상기한 감광성 배향막의 제2영역에 제2에너지 밀도를 부여하여 제2배향축을 부여하는 단계로 이루어진 배향축 결정방법.
제1항에 있어서, 상기한 제1에너지 밀도를 부여하는 단계가, 상기한 감광성 배향막의 제1영역이 제1기간동안 광에 노출되는 것으로 이루어지고;

상기한 제2에너지 밀도를 부여하는 단계가, 상기한 감광성 배향막의 제2영역의 제2기간동안 광에 노출되는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
제1항에 있어서, 상기한 제1에너지 밀도를 부여하는 단계가, 상기한 감광성 배향막의 제1영역이 제1강도로 광에 노출되는 것으로 이루어지고;

상기한 제2에너지 밀도를 부여하는 단계가, 상기한 감광성 배향막의 제2영역이 제2강도로 광에 노출되는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
제1항에 있어서, 상기한 배향막의 영역마다 투광도가 다른 마스크를 위치하는 단계가 추가로 구성되어 광의 에너지 밀도가 다르게 부여되는 것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
제1항에 있어서, 상기한 감광성 배향막이 PSCN-1, PSCN-2, PSCN-3, 및 PSCN-4로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
제1항에 있어서, 상기한 제2배향축이 상기한 제1배향축과 수직한 것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
제1기판에 제1감광성 배향막을 도포하는 단계;

상기한 제1감광성 배향막의 제1영역에 1에너지 밀도를 부여하여 제1배향축을 부여하는 단계;

상기한 감광성 배향막의 제2영역에 제2에너지 밀도를 부여하여 제2배향축을 부여하는 단계;

제2기판에 제2감광성 배향막을 도포하는 단계;

상기한 제2기판의 근방에 제2기판을 위치하는 단계; 및

상기한 제1기판 및 제2기판 사이에 액정을 주입하는 단계로 이루어진 멀티도메인 액정셀 제조방법.
제7항에 있어서, 상기한 제1에너지 밀도를 부여하는 단계가, 상기한 감광성 배향막의 제1영역이 제1기간동안 광에 노출되는 것으로 이루어지고;

상기한 제2에너지 밀도를 부여하는 단계가, 상기한 감광성 배향막의 제2영역이 제2기간동안 광에 노출되는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 멀티도메인 액정셀 제조방법.
제7항에 있어서, 상기한 제1에너지 밀도를 부여하는 단계가, 상기한 감광성 배향막의 제1영역이 제1강도로 광에 노출되는 것으로 이루어지고;

상기한 제2에너지 밀도를 부여하는 단계가, 상기한 감광성 배향막의 제2영역이 제2강도로 광에 노출되는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 멀티도메인 액정셀 제조방법.
제7항에 있어서, 상기한 제1배향막의 제2영역에 제1에너지 밀도를 부여하는 단계가,

제1배향막에 인접한 곳에 투광도가 영역마다 다른 마스크를 위치하는 단계;

광을 상기한 마스크를 통하여 제1배향막의 제1영역과 제2영역에 동시에 조사하는 단계로 이루어진 멀티도메인 액정셀 제조방법.
제7항에 있어서, 상기한 감광성 배향막이 PSCN-1, PSCN-2, PSCN-3, 및 PSCN-4로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 멀티도메인 액정셀 제조방법.
제7항에 있어서, 상기한 제2배향축이 상기한 제1배향축과 수직한 것을 특징으로 하는 멀티도메인 액정셀 제조방법.
제1항에 있어서, 제1에너지 밀도와 제2에너지 밀도가 다른 것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
제1항에 있어서, 상기한 제1에너지 밀도가 선형편광된 자외선으로 부여되는 것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
제1항에 있어서, 상기한 제2에너지 밀도가 선형편광된 자외선으로 부여되는 것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
제7항에 있어서, 제1에너지 밀도와 제2에너지 밀도가 다른 것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
제8항에 있어서,

상기한 제1배향막의 제1영역과 제2영역을 제1기간동안 일정한 에너지 밀도로 노출하는 단계'

상기한 제1배향막의 제1영역에 해당하는 위치에 제1투과도를 가지고, 상기한 제1배향막의 제2영역에 해당하는 위치에 상기한 제1투과도보다 작은 투과도인 제2투과도를 가지는 마스크를 상기한 제1배향막과 인접하게 위치하는 단계'

상기한 마스크가 덮힌 제1배향막에 상기한 제1기간과 합이 제2기간이 되는 제3기간동안 상기한 에너지 밀도로 노출하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 멀티도메인 액정셀 제조방법.
제9항에 있어서,

상기한 제1배향막의 제1영역에 해당하는 위치에 제1투과도를 가지고, 상기한 제1배향막의 제2영역에 해당하는 위치에 상기한 제1투과도보다 작은 제2투과도를 가지는 마스크를 상기한 제1배향막과 인접하게 위치하는 단계;

상기한 마스크가 덮힌 제1배향막에 일정한 에너지 밀도로 노출하여 제1배향막의 제1영역에는 제1에너지 밀도를 부여하고, 제1배향막의 제2영역에는 제2에너지밀도를 부여하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 멀티도메인 액정셀 제조방법.
제7항에 있어서, 상기한 제1에너지 밀도가 선형편광된 자외선으로 부여되는 것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
제7항에 있어서, 상기한 제2에너지 밀도가 선형편광된 자왼선으로 부여되는 것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
기판에 감광성 배향막을 도포하는 단계;

상기한 배향막에 제1에너지 밀도를 부여하여 제1배향축을 결정하는 단계; 및

상기한 제1배향축이 결정된 배향막에 제2에너지 밀도를 부여하여 상기한 제1배향축을 제2배향축으로 변경하는 단계로 구성되는 배향축 방향 제어방법.
제20항에 있어서, 상기한 제1에너지 밀도가 제2에너지 밀도와는 다른 것을 특징으로 하는 배향축 방향 제어방법.
제20항에 있어서, 상기한 제1배향축이 제2배향축과 수직한 것을 특징으로 하는 배향축 방향 제어방법.
제20항에 있어서, 상기한 제1에너지 밀도가 선형편광된 자외선으로 부여되는 것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
제20항에 있어서, 상기한 제2에너지 밀도가 선형편광된 자외선으로 부여되는것을 특징으로 하는 배향축 결정방법.
제20항에 있어서, 상기한 감광성 배향막이 PSCN-1, PSCN-2, PSCN-3, 및 PSCN-4로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 멀티도메인 액정셀 제조방법.