JPS62154246A - Production of optical recording medium - Google Patents
Production of optical recording mediumInfo
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- JPS62154246A JPS62154246A JP29291185A JP29291185A JPS62154246A JP S62154246 A JPS62154246 A JP S62154246A JP 29291185 A JP29291185 A JP 29291185A JP 29291185 A JP29291185 A JP 29291185A JP S62154246 A JPS62154246 A JP S62154246A
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- substrate
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、サブミクロン台の情報信号ビットが表面に形
成されている基板に、反射性を有する金属系の薄膜を蒸
着し、基板の一面から元を当て、その反射で情報信号ビ
ットを読取り、映像、音声、文字、図形等の情報を伝達
する光学式ビデオディスク、コンパクトディスク等の光
学式記録媒体の製造方法に関する。Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention involves depositing a reflective metallic thin film on a substrate on which submicron information signal bits are formed. The present invention relates to a method of manufacturing optical recording media such as optical video discs and compact discs, which transmit information such as video, audio, characters, and graphics by directing a source from a source and reading information signal bits by the reflection.
従来のこの種の光学式記録媒体である光学式ビデオディ
スクは、第1図、第2図のように構成されており、その
製造方法を次に説明する。An optical video disk, which is a conventional optical recording medium of this type, is constructed as shown in FIGS. 1 and 2, and a method for manufacturing the same will be described below.
アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の側鎖に極性基を有する
成分よりなる高分子化合物の基Fi1にはスタンバ等に
よって、その表面に情報信号ビ・ノド5が形成される。An information signal node 5 is formed on the surface of the group Fi1 of a polymer compound made of a component having a polar group in its side chain, such as an acrylic resin or an epoxy resin, using a stand bar or the like.
この基板1の情報信号ビット5が形成されている表面に
、10 ’ T o r rの高真空の下に、20オン
グストローム/秒以上の蒸着速度で、アルミニウム薄膜
2が形成される。An aluminum thin film 2 is formed on the surface of the substrate 1 on which the information signal bits 5 are formed under a high vacuum of 10' Torr at a deposition rate of 20 angstroms/sec or more.
この蒸着の真空度及び蒸着速度は、一般用途では美麗な
外観を得るものとして推奨されているものである。The degree of vacuum and deposition rate for this evaporation are recommended to obtain a beautiful appearance for general use.
このアルミニウム薄膜2上に保護膜3をコートし、この
面に接着剤4を塗布した基板lを2枚重合して接着し、
光学式ビデオディスクは完成する。A protective film 3 is coated on this aluminum thin film 2, and two substrates 1 coated with an adhesive 4 on this surface are polymerized and bonded.
The optical video disc is completed.
この光学式ビデオディスクは、基板1の表面からレーザ
ー光等の光線を1ミクロン位のスボノト径として照射し
、アルミニウム薄膜2によって反射された反射光によっ
て情報信号ビット5を読取り、情報を解析するものであ
る。In this optical video disc, a beam such as a laser beam is irradiated from the surface of a substrate 1 with a diameter of about 1 micron, and the information signal bit 5 is read by the reflected light reflected by the aluminum thin film 2 to analyze the information. It is.
〔発明が解決しようとする問題点]
前述のような高真空下において、前述のような高速でア
ルミニウムを蒸着して、アルミニウム薄膜2を形成する
と、その薄膜2の結晶粒径は普通500オングストロー
ム以上となってしまう。[Problems to be Solved by the Invention] When the aluminum thin film 2 is formed by vapor-depositing aluminum at a high speed as described above in a high vacuum as described above, the crystal grain size of the thin film 2 is usually 500 angstroms or more. It becomes.
そして、前述のようにして情報信号を読取る光学式記録
媒体においては、経時変化によってアルミニウム薄膜2
が基板1から剥離して、第3図のようなふくれ6を生じ
ることがある。In the optical recording medium that reads information signals as described above, the aluminum thin film 2 changes over time.
may peel off from the substrate 1, resulting in a bulge 6 as shown in FIG.
このふくれ6によって、情報信号ビット5と間違って読
取りが行われ、カラーフラッシュや読取り不良を発生す
る欠点があった。This bulge 6 causes the information signal bit 5 to be read incorrectly, resulting in color flash and poor reading.
本発明は、従来の光学式記録媒体の前述の欠点を除去す
るためのもので、アルミニウム等の金属系の反射性を有
する薄膜の結晶粒径を500オングストローム以下とし
て、経年変化や熱i!i撃で前記のふくれの発生を防止
し、カラーフラッシュや読取り不良の発生のおそれのな
い光学式記録媒体を提供することを目的とする。The present invention is intended to eliminate the above-mentioned drawbacks of conventional optical recording media, and the crystal grain size of the reflective thin film made of metal such as aluminum is set to 500 angstroms or less to prevent aging and thermal i. It is an object of the present invention to provide an optical recording medium that prevents the above-mentioned blistering from occurring due to i-blow and is free from the risk of color flash or reading failure.
本発明は前述の目的を達成するために、前記の反射性を
有する金属系の薄膜を、基板の情報ビット形成面に15
オングストローム/秒以下の速度で蒸着し、結晶粒径を
500オングストローム以下とすることを要旨とするも
のである。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention applies the above-mentioned reflective metallic thin film to the information bit forming surface of the substrate.
The gist is to deposit at a rate of angstroms/second or less and to have a crystal grain size of 500 angstroms or less.
本発明は、光学式記録媒体の読取りにおいて、カラーフ
ラッシュや読取り不良を発生するのは、前記のようなア
ルミニウム薄膜2のふくれ6によるものであることが確
認されたことに始まる。The present invention originates from the fact that it was confirmed that the bulge 6 of the aluminum thin film 2 as described above causes color flash and reading failures in reading optical recording media.
このふくれ6は、基板1上に形成された薄膜2の結晶粒
径と大きな関連性があることが見出された。It has been found that this bulge 6 has a large correlation with the crystal grain size of the thin film 2 formed on the substrate 1.
即ち、400〜800オングストロームの膜厚のアルミ
ニウム薄膜2において、結晶粒径が200〜300オン
グストローム以下のものと、500〜800オングスト
ローム以上のもの、2種数を作成した。That is, two kinds of aluminum thin films 2 having a thickness of 400 to 800 angstroms were prepared, one having a crystal grain size of 200 to 300 angstroms or less, and one having a crystal grain size of 500 to 800 angstroms or more.
これを長時間室内に放置し、成るものは加熱加湿して強
制劣化を行った処、結晶粒径の大きいものはふくれ6を
発生したが、結晶粒径の小さいものでは発生しなかった
。When this was left in a room for a long time and the resulting product was forced to deteriorate by heating and humidifying, the product with a large crystal grain size developed blistering 6, but the product with a small crystal grain size did not.
この現象は、アルミニウム薄膜2と、基板lの材質の違
いによる熱膨張係数の違いが、伸縮の差になって歪とし
て表われるが、結晶粒径が大きいとこの歪が分散されに
くく、この応力が基板lと薄膜2の結合力に打勝って剥
離し、ふくれ6となって表われるものと考えられる。This phenomenon occurs because the difference in thermal expansion coefficient due to the difference in the materials of the aluminum thin film 2 and the substrate 1 results in a difference in expansion and contraction, which appears as strain, but when the crystal grain size is large, this strain is difficult to disperse, and this stress It is thought that the thin film 2 overcomes the bonding force between the substrate 1 and the thin film 2 and peels off, resulting in the appearance of a bulge 6.
これに対し、結晶粒径の小さいものは、前記の歪は結晶
の滑り等で容易に分散され、基板1から薄膜2を剥離す
るような応力とはたらないものと考えられる。On the other hand, when the crystal grain size is small, the above-mentioned strain is easily dispersed due to crystal sliding, etc., and it is considered that the stress does not cause the thin film 2 to peel off from the substrate 1.
そして、このような小さな結晶粒径のアルミニウム薄膜
2を形成するには、その蒸着速度が15オングストロー
ム/秒以下で行われたときに形成され、又真空度は10
°’Torr台が望ましいことが判明した。In order to form the aluminum thin film 2 with such a small crystal grain size, it is formed when the deposition rate is 15 angstroms/second or less, and the degree of vacuum is 10 angstroms/second.
A °'Torr stand was found to be desirable.
このような条件で薄膜2が形成された光学式ビデオディ
スクは、加熱、加湿のような悪条件下においてもふくれ
6を発生せず、品質の良い画像が得られる。An optical video disc on which the thin film 2 is formed under such conditions does not generate blisters 6 even under adverse conditions such as heating and humidification, and can provide high-quality images.
従って、経年変化に対する信頼性が向上することとなる
。Therefore, reliability against changes over time is improved.
特に、アクリル樹脂やエポキシ樹脂の如<、側鎖に極性
基を有する成分よりなる高分子化合物で作られた基t&
1は、その極性基がアルミニウムと強い結合力をもつ
ので、ふくれ6を生じ易いが、これに対しても結晶粒径
を小さくすることはその防止に有効である。In particular, groups made from polymeric compounds such as acrylic resins and epoxy resins, which are made of components having polar groups in their side chains.
Since the polar group of No. 1 has a strong bonding force with aluminum, it tends to cause blistering 6, but reducing the crystal grain size is effective in preventing this as well.
上記の説明は、アルミニウム薄膜について行ったもので
あるが、同様な目的で使用されるアルミ合金、銀、金等
の反射性を有する金属系の薄膜の形成に対しても同様に
実施できる。Although the above description was made regarding an aluminum thin film, it can be similarly applied to the formation of a reflective metal thin film such as an aluminum alloy, silver, or gold used for the same purpose.
又、本発明は前記した光学式ビデオディスクの他にも、
コンパクトディスク、DRAWディスク、E−DRAW
ディスク等の光学式記録媒体の製造に際しても実施でき
る。In addition to the above-mentioned optical video disc, the present invention also provides
Compact disc, DRAW disc, E-DRAW
It can also be carried out when manufacturing optical recording media such as disks.
更に、側鎖に極性基を有する成分よりなる高分子化合物
、即ちアクリル樹脂、エポキシ樹脂等で形成された極性
基とアルミニウムの強い結合をもつ基板工の光学式記録
媒体の製造に際して、本発明を実施することは、前記の
劣化の防止に極めて有効である。Furthermore, the present invention can be applied to the production of an optical recording medium using a substrate having a strong bond between a polar group formed of a polymer compound having a polar group in a side chain, such as an acrylic resin or an epoxy resin, and aluminum. Implementing this method is extremely effective in preventing the aforementioned deterioration.
本発明の製造方法に拠る時は、反射性を有する金属基の
薄膜を蒸着するのに際して、その結晶粒径を500オン
グストローム以下とすることができる。When using the manufacturing method of the present invention, when depositing a reflective metal-based thin film, the crystal grain size can be set to 500 angstroms or less.
この結晶粒径の場合、経年変化や熱衝撃等による基板と
薄膜の伸縮の差が分散され、薄膜の剥離ふくれを生ずる
ことがな(なるため、これに起因するカラーフラッシュ
や情報信号の読取り不良を発生することがなく、その信
頼性が著るしく向上される。With this crystal grain size, the difference in expansion and contraction between the substrate and the thin film due to aging, thermal shock, etc. is dispersed, and peeling and blistering of the thin film does not occur. The reliability is significantly improved.
そして、この製造方法は、従来よりも薄膜を形成するた
めの蒸着速度を従来よりも遅くするだけであり、且つ低
真空で行うことも可能なので、その生産性は維持できる
。In this manufacturing method, the deposition rate for forming a thin film is made slower than in the past, and it can also be performed in a low vacuum, so the productivity can be maintained.
更に、従来は水分等の外的な条件の微妙なコントロール
によって、ふくれの発生を防止しようとしているが、こ
の製造方法によれば、その必要がなくなり、生産効率を
大1]に向上することができる。Furthermore, conventionally attempts have been made to prevent blistering by delicately controlling external conditions such as moisture, but with this manufacturing method, this is no longer necessary and production efficiency can be greatly improved. can.
第1図は光学式ビデオディスクの断面図、第2図はその
一部Aの拡大図、第3図は薄膜のふくれを示す拡大断面
図である。
■・・・基板、2・・・アルミニウム薄膜、3・・・保
護膜、4・・・接着剤、5・・・情報信号ビット、6・
・・ふくれ。FIG. 1 is a sectional view of an optical video disc, FIG. 2 is an enlarged view of part A thereof, and FIG. 3 is an enlarged sectional view showing the bulge of the thin film. ■... Substrate, 2... Aluminum thin film, 3... Protective film, 4... Adhesive, 5... Information signal bit, 6...
...Bulge.
Claims (1)
極性基を有する成分からなる高分子化合物の基板の前記
表面に、アルミニウム、或いはアルミ合金等の金属系の
反射性の薄膜を、15オングストローム/秒以下の速度
で蒸着することを特徴とする光学式記録媒体の製造方法
。A reflective thin film of metal such as aluminum or aluminum alloy is applied to the surface of a substrate made of a polymer compound made of a component having a polar group in a side chain such as acrylic on which information signal bits are formed. 1. A method for producing an optical recording medium, characterized in that deposition is performed at a rate of 1/2 or less.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29291185A JPS62154246A (en) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | Production of optical recording medium |
| US06/947,304 US4950520A (en) | 1985-12-27 | 1986-12-29 | Optical recording medium and method manufacturing thereof |
| US07/476,862 US5039558A (en) | 1985-12-27 | 1990-02-08 | Optical recording medium and method of manufacturing thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29291185A JPS62154246A (en) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | Production of optical recording medium |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62154246A true JPS62154246A (en) | 1987-07-09 |
| JPH0379775B2 JPH0379775B2 (en) | 1991-12-19 |
Family
ID=17787992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29291185A Granted JPS62154246A (en) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | Production of optical recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62154246A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110017202A1 (en) * | 2007-12-21 | 2011-01-27 | Agc Glass Europe | Solar energy reflector |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP29291185A patent/JPS62154246A/en active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110017202A1 (en) * | 2007-12-21 | 2011-01-27 | Agc Glass Europe | Solar energy reflector |
| US9322575B2 (en) * | 2007-12-21 | 2016-04-26 | Agc Glass Europe | Solar energy reflector |
| US9752799B2 (en) | 2007-12-21 | 2017-09-05 | Agc Glass Europe | Solar energy reflector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0379775B2 (en) | 1991-12-19 |
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