JPS61207951A - 透明物体欠陥検査装置 - Google Patents
透明物体欠陥検査装置Info
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- JPS61207951A JPS61207951A JP4736585A JP4736585A JPS61207951A JP S61207951 A JPS61207951 A JP S61207951A JP 4736585 A JP4736585 A JP 4736585A JP 4736585 A JP4736585 A JP 4736585A JP S61207951 A JPS61207951 A JP S61207951A
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 9
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- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
陥を検出する透明物体欠陥検査装置に関する。
ガラス等の透明物体は、製造時に傷あるいは気泡、異物
の混入等の欠陥を生じる。この欠陥は強度を弱め、また
美観を損ねるので、製造時（＝透明物体に生じこ全欠陥
数を検査してこれを取除かなければならない。ところで
、一般にこの種の検査は目視によって行なわれているが
。
の混入等の欠陥を生じる。この欠陥は強度を弱め、また
美観を損ねるので、製造時（＝透明物体に生じこ全欠陥
数を検査してこれを取除かなければならない。ところで
、一般にこの種の検査は目視によって行なわれているが
。
検査の効率化、均一化、精度向上環の要求から。
検査の自動化が必要とされていた。
そこで、従来、透明な被検査物体にレーザ光を照射し、
その透過光あるいは反射光の光量を測定する透明物体検
査装置により、正常部では受光器に対し一定の光量の入
力があるが、欠陥部では散乱が生じ受光器に達する光量
が減少することから、欠陥の有無を検査している。
その透過光あるいは反射光の光量を測定する透明物体検
査装置により、正常部では受光器に対し一定の光量の入
力があるが、欠陥部では散乱が生じ受光器に達する光量
が減少することから、欠陥の有無を検査している。
しかしながら、このような従来の透明物体検査装置では
、受光器で常に強度の強い一定光量の光を受光し、欠陥
で散乱が生じることによる受光量の微小な減少を検出し
ているので、信号対雑音化が非常に悪く、精度上問題が
あった。
、受光器で常に強度の強い一定光量の光を受光し、欠陥
で散乱が生じることによる受光量の微小な減少を検出し
ているので、信号対雑音化が非常に悪く、精度上問題が
あった。
本発明による透明物体欠陥検査装置は、透明な被検査物
体を所定の位置に保持する手段と。
体を所定の位置に保持する手段と。
該被検査物体にビーム状の光線を照査する手段と、該被
検査物体中に存在する欠陥により散乱する光を検出する
ように配置したセンサ部とからなり、該センサ部を、前
記被検査物体中に存在する欠陥により散乱した光のうち
、全反射のくり返しにより前記被検査物体の内部を伝播
し該被検査物体の側面から該被検査物体の外部へ出 出る散乱光を検゛巖゛するように配置したことを特徴と
する。
検査物体中に存在する欠陥により散乱する光を検出する
ように配置したセンサ部とからなり、該センサ部を、前
記被検査物体中に存在する欠陥により散乱した光のうち
、全反射のくり返しにより前記被検査物体の内部を伝播
し該被検査物体の側面から該被検査物体の外部へ出 出る散乱光を検゛巖゛するように配置したことを特徴と
する。
透明物体１ニビーム光の光線を照射した時、該透明物体
中に存在する欠陥により散乱した光のうち、該透明物体
内から該透明物体表面に臨界角以下で入射した光は、該
透明物体内で全反射をくり返しながら伝播し、該透明物
体の側面から外部へ放出される。本発明では、この透明
物体の側面から外部へ放出される散乱光を検出すること
により、該透明物体中に存在する欠陥を検出する。
中に存在する欠陥により散乱した光のうち、該透明物体
内から該透明物体表面に臨界角以下で入射した光は、該
透明物体内で全反射をくり返しながら伝播し、該透明物
体の側面から外部へ放出される。本発明では、この透明
物体の側面から外部へ放出される散乱光を検出すること
により、該透明物体中に存在する欠陥を検出する。
以下９本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の詳細な説明するための配置図である。
第１図において、透明な被検査物体１を側面散乱光を効
果的に受光できる位置に保持機構２で固定し、照射機構
４から発せられたビーム状の光線３が該被検査物体１を
照射した時生ずる散乱光のうち、該被検査物体１の側面
から外部に出る側面散乱光６を検出するようにセンサ部
７を配置する。このとき該被検査物体１中に欠陥５が存
在しない場合には該光線３は散乱することなく透過し、
該センサ部７は該側面散乱光６を受光しない。一方、被
検査物体１中に欠陥５が存在する場合は、該欠陥５で散
乱した散乱光のうち、該被検査物体１の表面で全反射す
る光は該被検査物体１の内部を伝播し。
果的に受光できる位置に保持機構２で固定し、照射機構
４から発せられたビーム状の光線３が該被検査物体１を
照射した時生ずる散乱光のうち、該被検査物体１の側面
から外部に出る側面散乱光６を検出するようにセンサ部
７を配置する。このとき該被検査物体１中に欠陥５が存
在しない場合には該光線３は散乱することなく透過し、
該センサ部７は該側面散乱光６を受光しない。一方、被
検査物体１中に欠陥５が存在する場合は、該欠陥５で散
乱した散乱光のうち、該被検査物体１の表面で全反射す
る光は該被検査物体１の内部を伝播し。
該被検査物体１の側面から外部に出るので、この側面散
乱光６をセンサ部７で受光し、欠陥の有無を検出するこ
とができる。
乱光６をセンサ部７で受光し、欠陥の有無を検出するこ
とができる。
欠陥５の位置が、被検査物体１の側面から遠くなると、
散乱光の伝播時に損失が大きくなり光量が減少するが、
センサ部を７および７′の如（被検査物体１の両側面に
配することにより。
散乱光の伝播時に損失が大きくなり光量が減少するが、
センサ部を７および７′の如（被検査物体１の両側面に
配することにより。
少な（ともどちらか一方のセンサ部では十分な光量を受
光できる。ただし、被検査物体の形状に応じて、センサ
部を１つだけとした構成とすることもできる。
光できる。ただし、被検査物体の形状に応じて、センサ
部を１つだけとした構成とすることもできる。
第２図は照射機構の構成を説明するためのブロック図で
ある。第２図において、８はレーザ光源、９は被検査物
体１の表面および内部において所定のビーム径および焦
点深度を得るための集光レンズ、１０は該被検査物体１
の所定範囲を走査するための走査手段である。この走査
手段１０には振動鏡９回転多面鏡等を用いることができ
る。あるいは被検査物体１を動がしてもよい。被検査物
体の形状、大きさによってはこの集光レンズ９と走査手
段１ｏのない構成とすることもできる。
ある。第２図において、８はレーザ光源、９は被検査物
体１の表面および内部において所定のビーム径および焦
点深度を得るための集光レンズ、１０は該被検査物体１
の所定範囲を走査するための走査手段である。この走査
手段１０には振動鏡９回転多面鏡等を用いることができ
る。あるいは被検査物体１を動がしてもよい。被検査物
体の形状、大きさによってはこの集光レンズ９と走査手
段１ｏのない構成とすることもできる。
第６図はセンサ部の構成を説明するためのブロック図で
ある。第３図において、１１は被検査物体１の側面から
出る側面散乱光６を集光し。
ある。第３図において、１１は被検査物体１の側面から
出る側面散乱光６を集光し。
光センサ１２に導く集光手段である。このような集光手
段１１として、レンズ、光ファイバ等を用いることがで
きる。この集光手段１１のない構成とすることもできる
。光センサ１２は。
段１１として、レンズ、光ファイバ等を用いることがで
きる。この集光手段１１のない構成とすることもできる
。光センサ１２は。
側面散乱光６を受光し、出力信号１３を生ずる。
光センサ１２は必要に応じてスポット状の光センサある
いはリニア形状の光センサ、あるいはマトリクス状の光
センサを用いることができる。
いはリニア形状の光センサ、あるいはマトリクス状の光
センサを用いることができる。
このような光センサとして、フォトダイオード。
光電子増倍管、フォトダイオードアレイ、 ＣＩＣＤ等
を用いることができる。また、光センサ１２の前に、外
乱光除去用のフィルタを取付けてもよい。
を用いることができる。また、光センサ１２の前に、外
乱光除去用のフィルタを取付けてもよい。
第４図は本発明による一実施例を説明するための配置図
である。第４図において、レーザ光源８から発せられた
ビーム状光線６を集光レンズ９により被検査物体１面上
に集光し、走査手段１０により、該被検食物体１の面上
を２次元に走査する。該被検査物体１中に欠陥５が存在
する場合、光線３が該欠陥５により散乱し、該被検査物
体１内面を伝播して側面から出る側面ンサ部７の集光手
段１１に光フアイババンドル。
である。第４図において、レーザ光源８から発せられた
ビーム状光線６を集光レンズ９により被検査物体１面上
に集光し、走査手段１０により、該被検食物体１の面上
を２次元に走査する。該被検査物体１中に欠陥５が存在
する場合、光線３が該欠陥５により散乱し、該被検査物
体１内面を伝播して側面から出る側面ンサ部７の集光手
段１１に光フアイババンドル。
光センサ１２に光電子増倍管を使用した例であこの実施
例では、光源８としてＨθ−゛獅ガスレーザを用い、集
光レンズ９によりビーム直径０．５２Ｍに集光し、振動
鏡１０で走査を行ない。
例では、光源８としてＨθ−゛獅ガスレーザを用い、集
光レンズ９によりビーム直径０．５２Ｍに集光し、振動
鏡１０で走査を行ない。
被検査物体１なる透明ガラスパネルの副０．０１ｍｍの
クラックと、直径０．５朋程度の気泡および異物の混入
を検出した。
クラックと、直径０．５朋程度の気泡および異物の混入
を検出した。
以上説明したように２本発明によれば、被検査物体中に
欠陥が存在しない時には側面散乱光が生じないため光セ
ンサの受光量はゼロであり。
欠陥が存在しない時には側面散乱光が生じないため光セ
ンサの受光量はゼロであり。
被検査物体中に欠陥が存在するときの側面散乱光を受光
しているので、信号対雑音比の飛躍的に改善された透明
物体の高感度欠陥検査装置を提供できる。
しているので、信号対雑音比の飛躍的に改善された透明
物体の高感度欠陥検査装置を提供できる。
第１図は本発明の詳細な説明するための配置図、第２図
は照射機構の構成を説明するためのブロック図、第５図
はセンサ部の構成を説明するためのブロック図、第４図
は本発明の一実施例を説明するための配置図である。 図において、１・・・透明被検査物体、２・・・保持機
構、３・・・ビーム状光線、４・・・照射機構、５・・
・欠陥、６・・・側面散乱光、７・・・センサ部、８・
・・レーザ光源、９・・・集光レンズ、１０・・・走査
手段。 １１・・・集光手段、１２・・・光センサ、１３・・・
出力信号である。 第１図 第２図
は照射機構の構成を説明するためのブロック図、第５図
はセンサ部の構成を説明するためのブロック図、第４図
は本発明の一実施例を説明するための配置図である。 図において、１・・・透明被検査物体、２・・・保持機
構、３・・・ビーム状光線、４・・・照射機構、５・・
・欠陥、６・・・側面散乱光、７・・・センサ部、８・
・・レーザ光源、９・・・集光レンズ、１０・・・走査
手段。 １１・・・集光手段、１２・・・光センサ、１３・・・
出力信号である。 第１図 第２図
Claims (1)
- １、透明な被検査物体を所定の位置に保持する手段と、
該被検査物体にビーム状の光線を照査する手段と、該被
検査物体中に存在する欠陥により散乱する光を検出する
ように配置したセンサ部とからなる透明物体欠陥検査装
置において、前記センサ部を、前記被検査物体中に存在
する欠陥により散乱した光のうち、全反射のくり返しに
より前記被検査物体の内部を伝播し該被検査物体の側面
から該被検査物体の外部へ出る散乱光を検出するように
配置したことを特徴とする透明物体欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4736585A JPS61207951A (ja) | 1985-03-12 | 1985-03-12 | 透明物体欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4736585A JPS61207951A (ja) | 1985-03-12 | 1985-03-12 | 透明物体欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61207951A true JPS61207951A (ja) | 1986-09-16 |
Family
ID=12773080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4736585A Pending JPS61207951A (ja) | 1985-03-12 | 1985-03-12 | 透明物体欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61207951A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0480512A1 (en) * | 1990-10-11 | 1992-04-15 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Position-sensitive radiation detection system and optical scanning device provided with such a system |
| CN102288622A (zh) * | 2011-04-29 | 2011-12-21 | 浙江师范大学 | 光学元件内部缺陷的检测方法及装置 |
| JP2014517322A (ja) * | 2011-06-13 | 2014-07-17 | プレジデント アンド フェローズ オブ ハーバード カレッジ | 固体状態のスピン系における効率的な蛍光検出 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5860242A (ja) * | 1981-07-29 | 1983-04-09 | フエルトミユ−レ・アクチエンゲゼルシヤフト | 透明材料ウエブの検査方法及び装置 |
-
1985
- 1985-03-12 JP JP4736585A patent/JPS61207951A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5860242A (ja) * | 1981-07-29 | 1983-04-09 | フエルトミユ−レ・アクチエンゲゼルシヤフト | 透明材料ウエブの検査方法及び装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0480512A1 (en) * | 1990-10-11 | 1992-04-15 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Position-sensitive radiation detection system and optical scanning device provided with such a system |
| CN102288622A (zh) * | 2011-04-29 | 2011-12-21 | 浙江师范大学 | 光学元件内部缺陷的检测方法及装置 |
| JP2014517322A (ja) * | 2011-06-13 | 2014-07-17 | プレジデント アンド フェローズ オブ ハーバード カレッジ | 固体状態のスピン系における効率的な蛍光検出 |
| US9157859B2 (en) | 2011-06-13 | 2015-10-13 | President And Fellows Of Harvard College | Efficient fluorescence detection in solid state spin systems |
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