JPS585997B2 - 電鋳装置 - Google Patents
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- JPS585997B2 JPS585997B2 JP54007897A JP789779A JPS585997B2 JP S585997 B2 JPS585997 B2 JP S585997B2 JP 54007897 A JP54007897 A JP 54007897A JP 789779 A JP789779 A JP 789779A JP S585997 B2 JPS585997 B2 JP S585997B2
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- 238000005323 electroforming Methods 0.000 title claims description 9
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 44
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 11
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000003014 ion exchange membrane Substances 0.000 claims description 4
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 11
- 239000003011 anion exchange membrane Substances 0.000 description 4
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 229910000366 copper(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005341 cation exchange Methods 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/16—Regeneration of process solutions
- C25D21/18—Regeneration of process solutions of electrolytes
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電鋳(電着)装置の改良に係る。
電着を安定に良好に行なうためには電着液の組成管理が
重要である。
重要である。
特に電鋳においては多量の金属を析出するので金属の減
少が大きく、常に電着液の検査及び補正が必要である。
少が大きく、常に電着液の検査及び補正が必要である。
従来は電着液中の金属が不足した場合、これは電着液の
分析によって検出するが、金属の不足の場合は金属塩を
補給する。
分析によって検出するが、金属の不足の場合は金属塩を
補給する。
しかし一般にこの補給する金属塩によって不純物が含ま
れることが多く、めっき面に障害を与えることになり電
着液管理上問題があった。
れることが多く、めっき面に障害を与えることになり電
着液管理上問題があった。
本発明はこの点を改善するためのもので、電着槽に電解
槽を付設して、電解槽において常に不足した金属分の電
解補充を行なうようにしたものである。
槽を付設して、電解槽において常に不足した金属分の電
解補充を行なうようにしたものである。
電解槽はイオン交換膜を介して陰陽極を対向して電解す
ることを特徴としたもので、極めて能率的に金属補充か
できる。
ることを特徴としたもので、極めて能率的に金属補充か
できる。
また前記電解を電着槽における電着電流を信号として関
連させて電解電流の制御を行なうようにしたことによっ
て常に必要充分の金属補充ができる。
連させて電解電流の制御を行なうようにしたことによっ
て常に必要充分の金属補充ができる。
以下図面の一実施例により説明すると、1は電着槽であ
り、加工台2上に型(母材)3を取付け、型面に沿って
複数個の電極41,42・・・・・・4nを対向配置す
る。
り、加工台2上に型(母材)3を取付け、型面に沿って
複数個の電極41,42・・・・・・4nを対向配置す
る。
5は電着電源で、陰極は型3に陽極は電極に接続する。
複数の各電極へはスイッチ6L62・・・・・・6nを
介して分配し、各スイッチをパルス発生回路Tの発振パ
ルスによって順次パルス的スイッチングを行なってパル
ス電流を通電する。
介して分配し、各スイッチをパルス発生回路Tの発振パ
ルスによって順次パルス的スイッチングを行なってパル
ス電流を通電する。
8は共通回路に設けたパルス電流の検出抵抗、9は型3
の電着面にCu、Ni等の電着液を供給するノズルで、
ポンプ10によって槽1内篭着液を汲み上げ噴流され、
供給電着液は電着面部分を流動しながら電着加工に供さ
れ、流下して槽底に貯蔵され、循環して利用される。
の電着面にCu、Ni等の電着液を供給するノズルで、
ポンプ10によって槽1内篭着液を汲み上げ噴流され、
供給電着液は電着面部分を流動しながら電着加工に供さ
れ、流下して槽底に貯蔵され、循環して利用される。
11は電解槽で、イオン交換膜12を介して陰極13、
陽極14が対向する。
陽極14が対向する。
膜12は陰イオン交換膜であるが、二重構造の場合陽イ
オン交換膜も用いられる。
オン交換膜も用いられる。
電着液にCuSO4を用いる場合、勿論他に添加剤が加
えられる。
えられる。
陽極室は電着槽1と連通しており、電着液CuSO4が
流入し、陰極室にはH2SO,が供給される。
流入し、陰極室にはH2SO,が供給される。
陽極14にはCuイオンを溶解するCu材が用いられ、
陰極13にはCu、その他の電極材が利用される。
陰極13にはCu、その他の電極材が利用される。
15は電解用電源で、陰陽極13.14間に接続され、
スイッチ16により通電が万ン・オフ制御される。
スイッチ16により通電が万ン・オフ制御される。
11は制御回路で、電着電流の検出抵抗8の信号に関連
制御してスイツチ16をオン・オフし、電着によって消
耗した金属分の電解補充を行なう。
制御してスイツチ16をオン・オフし、電着によって消
耗した金属分の電解補充を行なう。
電着加工はスイッチ61,62・・・・・・6nのオン
オフにより複数の各電極41.42・・・・・・4nに
順次にパルス的電流が供給され電着が行なわれ、パルス
電着により高能率で急速に厚い電鋳層を型3面に形成す
る。
オフにより複数の各電極41.42・・・・・・4nに
順次にパルス的電流が供給され電着が行なわれ、パルス
電着により高能率で急速に厚い電鋳層を型3面に形成す
る。
このCuの析出によって循環して利用される電着液中の
Cuイオン濃動が低下するが、電着液は一方の電解槽1
1の陽極室に流通する構成になっていて、電解により陽
極14から溶出したCuイオンが補充される。
Cuイオン濃動が低下するが、電着液は一方の電解槽1
1の陽極室に流通する構成になっていて、電解により陽
極14から溶出したCuイオンが補充される。
陰極13との間には陰イオン交換膜12が設けてあり、
陽極14から溶出したCu陽イオンは陰極13に析出す
ることなく陽極室の電着液中に混入され、Cuイオン濃
動を高める。
陽極14から溶出したCu陽イオンは陰極13に析出す
ることなく陽極室の電着液中に混入され、Cuイオン濃
動を高める。
即ち陽極14が溶出したCuイオンが全て電着液中に混
入されるので、電解に比例して電着液のCuイオン濃度
を高め、電解電流に応じたCuイオンの補充を行なうこ
とができる。
入されるので、電解に比例して電着液のCuイオン濃度
を高め、電解電流に応じたCuイオンの補充を行なうこ
とができる。
そしてこの電解電流は電着電流を信号として制御回路1
1がスイッチ16を制御し、電着電流と電解電流を関連
制御するようにしているから、この関係を電着によって
析出消耗したCuイオンを電解生成イオンで補充し、必
要にして充分なイオン生成ができるよう関連制御させて
おくことによって電着液の金属イオン濃度を常に一定に
保ち、一定に電着加工を行なうことができる。
1がスイッチ16を制御し、電着電流と電解電流を関連
制御するようにしているから、この関係を電着によって
析出消耗したCuイオンを電解生成イオンで補充し、必
要にして充分なイオン生成ができるよう関連制御させて
おくことによって電着液の金属イオン濃度を常に一定に
保ち、一定に電着加工を行なうことができる。
この電解による金属イオンの補給には不純物の混入を伴
なうことがなく、したがって型3面に厚く形成する電鋳
層は均質で高密度の良質の層を形成できる。
なうことがなく、したがって型3面に厚く形成する電鋳
層は均質で高密度の良質の層を形成できる。
実験によれば、CuSO4液を用いて電鋳するとき、電
解槽を0.1〜0.15mmの陰イオン交換膜をもって
構成し、Cu材の陰陽電極間に10v。
解槽を0.1〜0.15mmの陰イオン交換膜をもって
構成し、Cu材の陰陽電極間に10v。
0.04A/dの通電を行ない液温40℃以下で電解を
行ないながら使用したとき、3年間以上の利用ができた
。
行ないながら使用したとき、3年間以上の利用ができた
。
なお電鋳はCu、Niの他にも任意の金属、合金を用い
ることができ、電着液の濃度を二定に保って安定した良
質の電着、電鋳を行なうことができる。
ることができ、電着液の濃度を二定に保って安定した良
質の電着、電鋳を行なうことができる。
以上のように本発明によれば、従来の欠点、即ち金属塩
を補給してイオン濃度を制御するときの不純物の混入等
を防止し、また電着による金属消耗を分析検査する煩わ
しい操作を行なうことなく、金属イオンの補充ができ、
常に一定の濃度を保って安定した良好な電着を行なうこ
とができ、実用上極めて効果が大きい。
を補給してイオン濃度を制御するときの不純物の混入等
を防止し、また電着による金属消耗を分析検査する煩わ
しい操作を行なうことなく、金属イオンの補充ができ、
常に一定の濃度を保って安定した良好な電着を行なうこ
とができ、実用上極めて効果が大きい。
図面は本発明の一実施例の構成図である。
1は電着槽、3は型、41.42・・・・・・4nは電
極、5は電着電源、61.62・・・・・・6nはスイ
ッチ、7はパルス発生回路、8は電着電流検出抵抗、9
は電着液供給ノズル、10はポンプ、11は電解槽、1
2はイオン交換膜、13は陰極、14は陽極、15は電
解電源、16はスイッチ、17′は制御回路である。
極、5は電着電源、61.62・・・・・・6nはスイ
ッチ、7はパルス発生回路、8は電着電流検出抵抗、9
は電着液供給ノズル、10はポンプ、11は電解槽、1
2はイオン交換膜、13は陰極、14は陽極、15は電
解電源、16はスイッチ、17′は制御回路である。
Claims (1)
- 1型(母材)に電極を対向し、対向部分に電着液を循環
供給しながや電着電源によって前記型を陰極とする通電
を行なって電鋳する電着槽に、イオン交換膜の両側に陰
極及び陽極を設け、陽極に電着材金属を設けて電解電源
によって陽極溶解を行なう電解槽を付設し、前記電着槽
の電着液が前記電解槽の陽極室に流通するように設け、
且つ前記電着電源による通電に関連させて電解電源によ
る電解電流を制御する回路を設け、電鋳による電着液中
金属が電着材金属の電解によって補給され電着液の金属
イオン濃度を常に一定に保つようにしたことを特徴とす
る電鋳装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54007897A JPS585997B2 (ja) | 1979-01-25 | 1979-01-25 | 電鋳装置 |
| GB8002305A GB2041408B (en) | 1979-01-25 | 1980-01-23 | Electroforming system including an electrolyzer for maintaining the ionic concentration of metal in the electrolyte |
| US06/115,119 US4290856A (en) | 1979-01-25 | 1980-01-24 | Electroplating apparatus and method |
| DE19803002520 DE3002520A1 (de) | 1979-01-25 | 1980-01-24 | Galvanoplastikvorrichtung |
| FR8001692A FR2447409B1 (fr) | 1979-01-25 | 1980-01-25 | Installation d'electroformage par depot electrolytique |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54007897A JPS585997B2 (ja) | 1979-01-25 | 1979-01-25 | 電鋳装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55100990A JPS55100990A (en) | 1980-08-01 |
| JPS585997B2 true JPS585997B2 (ja) | 1983-02-02 |
Family
ID=11678364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54007897A Expired JPS585997B2 (ja) | 1979-01-25 | 1979-01-25 | 電鋳装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4290856A (ja) |
| JP (1) | JPS585997B2 (ja) |
| DE (1) | DE3002520A1 (ja) |
| FR (1) | FR2447409B1 (ja) |
| GB (1) | GB2041408B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20240037582A (ko) * | 2022-09-15 | 2024-03-22 | 주식회사 경신 | 통전성능 개선형 전원공급장치 |
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| JPS57160587A (en) * | 1981-03-30 | 1982-10-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Manufacture of rolled clad steel by diffusion welding |
| US4534831A (en) * | 1982-09-27 | 1985-08-13 | Inoue-Japax Research Incorporated | Method of and apparatus for forming a 3D article |
| DE3536224A1 (de) * | 1985-10-10 | 1987-04-16 | Chemal Gmbh & Co Kg | Verfahren zum automatischen konstanthalten der ionenkonzentration in einem bad zur elektrolytischen einfaerbung von eloxiertem aluminium bzw. aluminiumlegierungen |
| NL8602730A (nl) * | 1986-10-30 | 1988-05-16 | Hoogovens Groep Bv | Werkwijze voor het electrolytisch vertinnen van blik met behulp van een onoplosbare anode. |
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| US6878245B2 (en) * | 2002-02-27 | 2005-04-12 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for reducing organic depletion during non-processing time periods |
| CN106868577B (zh) * | 2015-05-12 | 2018-06-08 | 江苏理工学院 | 减少污染的超临界复合电铸体系回收利用装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| GB416527A (en) | 1933-06-22 | 1934-09-17 | Francis Lawrence Bosqui | Improvements in the production of cobalt |
| US2072811A (en) * | 1935-07-11 | 1937-03-02 | Ind Dev Corp | Electrolytic apparatus and method |
| NL71231C (ja) * | 1948-04-22 | |||
| NL279896A (ja) | 1961-06-19 | |||
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| GB1421818A (en) | 1972-05-08 | 1976-01-21 | Xerox Corp | Nickel electroforming process |
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-
1979
- 1979-01-25 JP JP54007897A patent/JPS585997B2/ja not_active Expired
-
1980
- 1980-01-23 GB GB8002305A patent/GB2041408B/en not_active Expired
- 1980-01-24 US US06/115,119 patent/US4290856A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-01-24 DE DE19803002520 patent/DE3002520A1/de active Granted
- 1980-01-25 FR FR8001692A patent/FR2447409B1/fr not_active Expired
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|---|---|---|---|---|
| KR20240037582A (ko) * | 2022-09-15 | 2024-03-22 | 주식회사 경신 | 통전성능 개선형 전원공급장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3002520A1 (de) | 1980-08-07 |
| FR2447409B1 (fr) | 1985-06-28 |
| JPS55100990A (en) | 1980-08-01 |
| GB2041408A (en) | 1980-09-10 |
| US4290856A (en) | 1981-09-22 |
| GB2041408B (en) | 1983-07-20 |
| FR2447409A1 (fr) | 1980-08-22 |
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