JPH0826815A - 希土類複合酸化物系焼結体及びその製造方法 - Google Patents
希土類複合酸化物系焼結体及びその製造方法Info
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- JPH0826815A JPH0826815A JP6169171A JP16917194A JPH0826815A JP H0826815 A JPH0826815 A JP H0826815A JP 6169171 A JP6169171 A JP 6169171A JP 16917194 A JP16917194 A JP 16917194A JP H0826815 A JPH0826815 A JP H0826815A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】高温での安定性に優れ、１４００℃の高温まで
塑性変形し難く、機械的強度の劣化が従来品よりはるか
に小さい希土類複合酸化物系焼結体及びその製造方法を
得る。 【構成】ダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）やモノシ
リケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）と、総量が酸化物換算で
０．１〜９５ｍｏｌ％の複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）
とから成る希土類複合酸化物系焼結体で、周期律表第３
ａ族元素の酸化物（ＲＥ2 Ｏ3 ）と二酸化珪素（ＳｉＯ
2 ）及びＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔ
ａの酸化物の一種以上、またはそれらの仮焼物から成る
粉体を用いた成形体を、１１００〜１８５０℃の温度で
焼成して緻密化することにより得られる。
塑性変形し難く、機械的強度の劣化が従来品よりはるか
に小さい希土類複合酸化物系焼結体及びその製造方法を
得る。 【構成】ダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）やモノシ
リケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）と、総量が酸化物換算で
０．１〜９５ｍｏｌ％の複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）
とから成る希土類複合酸化物系焼結体で、周期律表第３
ａ族元素の酸化物（ＲＥ2 Ｏ3 ）と二酸化珪素（ＳｉＯ
2 ）及びＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔ
ａの酸化物の一種以上、またはそれらの仮焼物から成る
粉体を用いた成形体を、１１００〜１８５０℃の温度で
焼成して緻密化することにより得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は航空宇宙産業や金属産
業、化学産業用をはじめ、発電用や自動車用セラミック
ガスタービン等に至る耐熱構造部材として、好適な高温
強度と優れた高温安定性及び耐酸化性を有する希土類複
合酸化物系焼結体及びその製造方法に関するものであ
る。
業、化学産業用をはじめ、発電用や自動車用セラミック
ガスタービン等に至る耐熱構造部材として、好適な高温
強度と優れた高温安定性及び耐酸化性を有する希土類複
合酸化物系焼結体及びその製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来から、耐熱構造部材として、ニッケ
ル（Ｎｉ）・コバルト（Ｃｏ）系合金等の各種耐熱合金
が用いられてきたが、使用環境がますます厳しくなり前
記耐熱合金ではその要求を満足することができなくなっ
ていた。
ル（Ｎｉ）・コバルト（Ｃｏ）系合金等の各種耐熱合金
が用いられてきたが、使用環境がますます厳しくなり前
記耐熱合金ではその要求を満足することができなくなっ
ていた。
【０００３】そこで、従来の金属材料よりはるかに熱膨
張係数が小さく、機械的強度や耐熱性、耐摩耗性に優
れ、かつ比重が小さく製品の軽量小型化が可能なセラミ
ックスが注目されるようになり、アルミナ（Ａｌ
2 Ｏ3 ）やジルコニア（ＺｒＯ2 ）、マグネシア（Ｍｇ
Ｏ）等の酸化物系セラミックスをはじめ、炭化珪素（Ｓ
ｉＣ）や窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）等の炭化物系や窒化物
系、あるいは硼化物系等の非酸化物系セラミックスが検
討されてきた。
張係数が小さく、機械的強度や耐熱性、耐摩耗性に優
れ、かつ比重が小さく製品の軽量小型化が可能なセラミ
ックスが注目されるようになり、アルミナ（Ａｌ
2 Ｏ3 ）やジルコニア（ＺｒＯ2 ）、マグネシア（Ｍｇ
Ｏ）等の酸化物系セラミックスをはじめ、炭化珪素（Ｓ
ｉＣ）や窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）等の炭化物系や窒化物
系、あるいは硼化物系等の非酸化物系セラミックスが検
討されてきた。
【０００４】その結果、前記酸化物系セラミックスや非
酸化物系セラミックスは、従来の他の材料に比べてはる
かに高温での機械的強度と耐酸化性が良好なため、該セ
ラミック焼結体を前記各種耐熱構造部材として利用する
ことが種々研究され提案されるようになってきた（特開
平６−１５７１２６号公報参照）。
酸化物系セラミックスは、従来の他の材料に比べてはる
かに高温での機械的強度と耐酸化性が良好なため、該セ
ラミック焼結体を前記各種耐熱構造部材として利用する
ことが種々研究され提案されるようになってきた（特開
平６−１５７１２６号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記セ
ラミック焼結体を耐熱構造部材として使用した場合、酸
化物系セラミック焼結体は、とりわけ酸化性雰囲気中で
は室温で安定した機械的特性を有するものであるが、高
温では転位の運動が発生し易いことから、軟化して塑性
変形し、一般的に９００℃付近の温度で機械的強度が急
激に低下するため、例えば断熱材等のように応力がさほ
ど加わらない部材としてならば実用可能ではあるもの
の、高温に曝され応力が作用する条件下では構造部材と
しては使用できず、信頼性に欠けるという課題があっ
た。
ラミック焼結体を耐熱構造部材として使用した場合、酸
化物系セラミック焼結体は、とりわけ酸化性雰囲気中で
は室温で安定した機械的特性を有するものであるが、高
温では転位の運動が発生し易いことから、軟化して塑性
変形し、一般的に９００℃付近の温度で機械的強度が急
激に低下するため、例えば断熱材等のように応力がさほ
ど加わらない部材としてならば実用可能ではあるもの
の、高温に曝され応力が作用する条件下では構造部材と
しては使用できず、信頼性に欠けるという課題があっ
た。
【０００６】一方、前記炭化物系や窒化物系、あるいは
硼化物系等の非酸化物系セラミック焼結体は、高温でも
優れた機械的特性を有する材料だが、雰囲気との相互作
用により酸化、もしくは分解が起こるため、常温からの
機械的強度の劣化が大きく、これまで、添加助剤の種類
や添加量および焼結条件を調整することが種々検討さ
れ、いくらか材料特性の向上は見られたものの、まだま
だ不十分であり、高温用の耐熱構造部材としては、常温
との機械的強度の劣化が小さいという特性を満足するこ
とが引き続き要求されている。
硼化物系等の非酸化物系セラミック焼結体は、高温でも
優れた機械的特性を有する材料だが、雰囲気との相互作
用により酸化、もしくは分解が起こるため、常温からの
機械的強度の劣化が大きく、これまで、添加助剤の種類
や添加量および焼結条件を調整することが種々検討さ
れ、いくらか材料特性の向上は見られたものの、まだま
だ不十分であり、高温用の耐熱構造部材としては、常温
との機械的強度の劣化が小さいという特性を満足するこ
とが引き続き要求されている。
【０００７】
【発明の目的】本発明は前記課題に鑑み成されたもの
で、その目的は、高温での耐酸化性に優れ、その上、室
温から１４００℃の高温まで機械的強度の劣化が従来の
セラミック焼結体よりはるかに小さい希土類複合酸化物
系焼結体及びその製造方法を提供することにある。
で、その目的は、高温での耐酸化性に優れ、その上、室
温から１４００℃の高温まで機械的強度の劣化が従来の
セラミック焼結体よりはるかに小さい希土類複合酸化物
系焼結体及びその製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、高温で長
期間使用しても酸化や分解が起こらず、耐酸化性に優れ
た酸化物を、９００℃を越える温度でも機械的強度を劣
化させないためには、高温での塑性変形抵抗を増すこと
が、高温でも高い機械的強度を維持する可能性があると
いう見地に基づき検討を重ねた結果、酸化物の中でも結
晶の対称性が低い周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）のダイ
シリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）とモノシリケート（Ｒ
Ｅ2 ＳｉＯ5 ）が有望であることを見い出した。
期間使用しても酸化や分解が起こらず、耐酸化性に優れ
た酸化物を、９００℃を越える温度でも機械的強度を劣
化させないためには、高温での塑性変形抵抗を増すこと
が、高温でも高い機械的強度を維持する可能性があると
いう見地に基づき検討を重ねた結果、酸化物の中でも結
晶の対称性が低い周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）のダイ
シリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）とモノシリケート（Ｒ
Ｅ2 ＳｉＯ5 ）が有望であることを見い出した。
【０００９】更に、前記ダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2
Ｏ7 ）、モノシリケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の一種以上
から成る結晶中に、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）とＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれ
かより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz 、ＭはＡｌ、Ｃ
ｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａ）である高融点
物質を主として分散させることにより、結晶の塑性変形
を更に抑制した希土類複合酸化物は、室温から１４００
℃の高温まで優れた機械的特性を示すことが明らかとな
った。
Ｏ7 ）、モノシリケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の一種以上
から成る結晶中に、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）とＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれ
かより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz 、ＭはＡｌ、Ｃ
ｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａ）である高融点
物質を主として分散させることにより、結晶の塑性変形
を更に抑制した希土類複合酸化物は、室温から１４００
℃の高温まで優れた機械的特性を示すことが明らかとな
った。
【００１０】即ち、本発明の希土類複合酸化物系焼結体
は、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）とＡｌ、Ｃｒ、Ｈ
ｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれかより成る複
合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）の一種以上から成る高融点
物質が、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）を含有するダイ
シリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）、モノシリケート（Ｒ
Ｅ2 ＳｉＯ5 ）の一種以上の結晶中に、酸化物換算で総
量０．１〜９５ｍｏｌ％の範囲で主に分散して存在し、
前記ダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）やモノシリケ
ート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の塑性変形を抑制していること
を特徴とするものである。
は、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）とＡｌ、Ｃｒ、Ｈ
ｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれかより成る複
合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）の一種以上から成る高融点
物質が、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）を含有するダイ
シリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）、モノシリケート（Ｒ
Ｅ2 ＳｉＯ5 ）の一種以上の結晶中に、酸化物換算で総
量０．１〜９５ｍｏｌ％の範囲で主に分散して存在し、
前記ダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）やモノシリケ
ート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の塑性変形を抑制していること
を特徴とするものである。
【００１１】また、係る希土類複合酸化物系焼結体の製
造方法は、周期律表第３ａ族元素の酸化物（ＲＥ
2 Ｏ3 ）と二酸化珪素（ＳｉＯ2 ）及びＡｌ、Ｃｒ、Ｈ
ｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａの酸化物の一種以上か
ら成る粉体を原料とし、該原料を混合して調製した成形
用材料により得られた成形体を、１１００〜１８５０℃
の温度で焼成するか、あるいはそれぞれ個別に仮焼して
合成した周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）を含有するダイ
シリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）及びモノシリケート
（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の一種以上と、周期律表第３ａ族元
素（ＲＥ）及びＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、
Ｖ、Ｔａのいずれかより成る複合酸化物（ＲＥxＭy Ｏ
z ）の一種以上を、粉砕、混合、成形の製造工程を経て
得られた成形体を、１１００〜１８５０℃の温度で焼成
することを特徴とするものである。
造方法は、周期律表第３ａ族元素の酸化物（ＲＥ
2 Ｏ3 ）と二酸化珪素（ＳｉＯ2 ）及びＡｌ、Ｃｒ、Ｈ
ｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａの酸化物の一種以上か
ら成る粉体を原料とし、該原料を混合して調製した成形
用材料により得られた成形体を、１１００〜１８５０℃
の温度で焼成するか、あるいはそれぞれ個別に仮焼して
合成した周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）を含有するダイ
シリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）及びモノシリケート
（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の一種以上と、周期律表第３ａ族元
素（ＲＥ）及びＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、
Ｖ、Ｔａのいずれかより成る複合酸化物（ＲＥxＭy Ｏ
z ）の一種以上を、粉砕、混合、成形の製造工程を経て
得られた成形体を、１１００〜１８５０℃の温度で焼成
することを特徴とするものである。
【００１２】とりわけ前記製造方法で得た希土類複合酸
化物系焼結体を、１０００℃以上それらの焼成温度以下
の温度で熱処理して過飽和の固溶原子を析出させること
が望ましいものである。
化物系焼結体を、１０００℃以上それらの焼成温度以下
の温度で熱処理して過飽和の固溶原子を析出させること
が望ましいものである。
【００１３】
【作用】本発明の希土類複合酸化物系焼結体及びその製
造方法によれば、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）を含有
するダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）及びモノシリ
ケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）は、主として単斜結晶構造を
有し、結晶構造の対称性が低いために塑性変形し難く、
１４００℃程度の高温でも機械的強度の低下は小さくな
る。
造方法によれば、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）を含有
するダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）及びモノシリ
ケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）は、主として単斜結晶構造を
有し、結晶構造の対称性が低いために塑性変形し難く、
１４００℃程度の高温でも機械的強度の低下は小さくな
る。
【００１４】更に、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）とＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれ
かより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）は融点が高
く、高温で安定であり、それらを前記ダイシリケート
（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）及びモノシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ
Ｏ5 ）中に分散させることにより、転位の運動による塑
性変形が抑制され、９００℃を越える高温での機械的強
度が著しく改善され、とりわけ１４００℃程度の高温下
での機械的強度の劣化がより小さくなり、劣化防止の効
果はより一層顕著となる。
ｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれ
かより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）は融点が高
く、高温で安定であり、それらを前記ダイシリケート
（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）及びモノシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ
Ｏ5 ）中に分散させることにより、転位の運動による塑
性変形が抑制され、９００℃を越える高温での機械的強
度が著しく改善され、とりわけ１４００℃程度の高温下
での機械的強度の劣化がより小さくなり、劣化防止の効
果はより一層顕著となる。
【００１５】また、耐酸化性もアルミナ（Ａｌ
2 Ｏ3 ）、ジルコニア（ＺｒＯ2 ）、マグネシア（Ｍｇ
Ｏ）等の酸化物系セラミックスと同等となる。
2 Ｏ3 ）、ジルコニア（ＺｒＯ2 ）、マグネシア（Ｍｇ
Ｏ）等の酸化物系セラミックスと同等となる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の希土類複合酸化物系焼結体及
びその製造方法を実施例に基づき詳述する。
びその製造方法を実施例に基づき詳述する。
【００１７】本発明の希土類複合酸化物系焼結体は、周
期律表第３ａ族元素（ＲＥ）を含有するダイシリケート
（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）及びモノシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ
Ｏ5）の一種類以上と、総量が酸化物換算で０．１〜９
５ｍｏｌ％である周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）及びＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれ
かより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）の一種以上と
から成るものであって、ダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2
Ｏ7 ）の結晶構造は三斜、単斜、斜方のα、β、γ、
δ、ｙ型のいずれでも良いが、とりわけ高温安定相であ
るβ、γ、δ相が好ましい。
期律表第３ａ族元素（ＲＥ）を含有するダイシリケート
（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）及びモノシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ
Ｏ5）の一種類以上と、総量が酸化物換算で０．１〜９
５ｍｏｌ％である周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）及びＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれ
かより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）の一種以上と
から成るものであって、ダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2
Ｏ7 ）の結晶構造は三斜、単斜、斜方のα、β、γ、
δ、ｙ型のいずれでも良いが、とりわけ高温安定相であ
るβ、γ、δ相が好ましい。
【００１８】また、前記周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）
及びＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａの
いずれかより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）は、１
７００℃以上の融点を有し、高温で安定な化合物である
ため、高温まで機械的強度を劣化させないものとして好
適であるが、とりわけＭはＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｚｒのい
ずれかが最も望ましい。
及びＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａの
いずれかより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）は、１
７００℃以上の融点を有し、高温で安定な化合物である
ため、高温まで機械的強度を劣化させないものとして好
適であるが、とりわけＭはＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｚｒのい
ずれかが最も望ましい。
【００１９】従って、前記複合酸化物の総量が、０．１
ｍｏｌ％未満では複合強化の効果がなく、逆に９５ｍｏ
ｌ％を越えるとダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）あ
るいはモノシリケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の優れた特性
が得られなくなるため、０．１〜９５ｍｏｌ％の範囲に
限定され、高温強度の改善効果の点からは、５〜８０ｍ
ｏｌ％がより望ましい。
ｍｏｌ％未満では複合強化の効果がなく、逆に９５ｍｏ
ｌ％を越えるとダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）あ
るいはモノシリケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の優れた特性
が得られなくなるため、０．１〜９５ｍｏｌ％の範囲に
限定され、高温強度の改善効果の点からは、５〜８０ｍ
ｏｌ％がより望ましい。
【００２０】尚、本発明に用いられる周期律表第３ａ族
元素（ＲＥ）としては、Ｓｃ、Ｙ及びランタノイド元素
が挙げられるが、特にＳｃ、Ｙ及びＤｙ、Ｅｒ、Ｈｏ、
Ｙｂ、Ｌｕなどの重希土類元素は、イオン半径が小さい
ために形成するシリケートと複合酸化物結晶の結合強度
が強く、従って高温での機械的特性に優れることから、
より好ましい。
元素（ＲＥ）としては、Ｓｃ、Ｙ及びランタノイド元素
が挙げられるが、特にＳｃ、Ｙ及びＤｙ、Ｅｒ、Ｈｏ、
Ｙｂ、Ｌｕなどの重希土類元素は、イオン半径が小さい
ために形成するシリケートと複合酸化物結晶の結合強度
が強く、従って高温での機械的特性に優れることから、
より好ましい。
【００２１】次に、本発明の希土類複合酸化物系焼結体
の製造方法について説明する。本発明によれば、出発原
料として主として周期律表第３ａ族元素である希土類元
素の酸化物（ＲＥ2 Ｏ3 ）と二酸化珪素（ＳｉＯ2 ）及
びＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのい
ずれかの酸化物の各粉末を用いる。
の製造方法について説明する。本発明によれば、出発原
料として主として周期律表第３ａ族元素である希土類元
素の酸化物（ＲＥ2 Ｏ3 ）と二酸化珪素（ＳｉＯ2 ）及
びＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのい
ずれかの酸化物の各粉末を用いる。
【００２２】尚、前記出発原料としては、金属元素粉末
を所定の比率に混合後、酸素雰囲気で酸化処理すること
もでき、それら原料粉末の粒子径は０．３〜２．０μm
が適当である。
を所定の比率に混合後、酸素雰囲気で酸化処理すること
もでき、それら原料粉末の粒子径は０．３〜２．０μm
が適当である。
【００２３】また、前記原料粉末を用いて製造した希土
類複合酸化物系焼結体は、周期律表第３ａ族元素のダイ
シリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）やモノシリケート（Ｒ
Ｅ2ＳｉＯ5 ）に換算した量に対して、周期律表第３ａ
族元素（ＲＥ）とＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔ
ｉ、Ｖ、Ｔａより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）に
換算した総量は、前述のように０．１〜９５ｍｏｌ％、
とりわけ５〜８０ｍｏｌ％であることが重要である。
類複合酸化物系焼結体は、周期律表第３ａ族元素のダイ
シリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）やモノシリケート（Ｒ
Ｅ2ＳｉＯ5 ）に換算した量に対して、周期律表第３ａ
族元素（ＲＥ）とＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔ
ｉ、Ｖ、Ｔａより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）に
換算した総量は、前述のように０．１〜９５ｍｏｌ％、
とりわけ５〜８０ｍｏｌ％であることが重要である。
【００２４】上記割合となるように混合した原料粉末を
所望の成形手段、例えば、金型プレス、鋳込み成形、押
し出し成形、射出成形、冷間静水圧プレス等により任意
の形状に成形する。
所望の成形手段、例えば、金型プレス、鋳込み成形、押
し出し成形、射出成形、冷間静水圧プレス等により任意
の形状に成形する。
【００２５】次に、この成形体を公知の焼結法、例え
ば、ホットプレス法、常圧焼成法、窒素ガス加圧焼成
法、更にはこれらの焼成後に熱間静水圧処理（ＨＩＰ）
を施したり、ガラスシール後、熱間静水圧処理（ＨＩ
Ｐ）を施したりして、対理論密度比９５％以上の緻密な
焼結体を得る。
ば、ホットプレス法、常圧焼成法、窒素ガス加圧焼成
法、更にはこれらの焼成後に熱間静水圧処理（ＨＩＰ）
を施したり、ガラスシール後、熱間静水圧処理（ＨＩ
Ｐ）を施したりして、対理論密度比９５％以上の緻密な
焼結体を得る。
【００２６】また、焼成温度は機械的強度が高く、緻密
な焼結体を得るためには、１１００〜１８５０℃の温度
で、特に１３００〜１７５０℃の温度で焼成することが
望ましい。
な焼結体を得るためには、１１００〜１８５０℃の温度
で、特に１３００〜１７５０℃の温度で焼成することが
望ましい。
【００２７】一方、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）を含
有するダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）及びモノシ
リケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の一種以上と、周期律表第
３ａ族元素（ＲＥ）及びＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚ
ｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれかより成る複合酸化物（Ｒ
Ｅx Ｍy Ｏz ）の一種以上をそれぞれ仮焼して粉砕混合
した後、該粉砕混合粉を前記同様にして成形して得られ
た成形体を、１１００〜１８５０℃の温度で焼成して希
土類複合酸化物系焼結体を製造することも可能である。
有するダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）及びモノシ
リケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の一種以上と、周期律表第
３ａ族元素（ＲＥ）及びＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚ
ｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれかより成る複合酸化物（Ｒ
Ｅx Ｍy Ｏz ）の一種以上をそれぞれ仮焼して粉砕混合
した後、該粉砕混合粉を前記同様にして成形して得られ
た成形体を、１１００〜１８５０℃の温度で焼成して希
土類複合酸化物系焼結体を製造することも可能である。
【００２８】尚、前記仮焼により得られた複合酸化物
（ＲＥx Ｍy Ｏz ）は、一般に該複合酸化物を構成する
原料酸化物粉末より安定で、反応性が低いため、焼成時
の異常粒成長や、ガラス相の生成を抑制し、材料の高温
強度特性が一層向上する。
（ＲＥx Ｍy Ｏz ）は、一般に該複合酸化物を構成する
原料酸化物粉末より安定で、反応性が低いため、焼成時
の異常粒成長や、ガラス相の生成を抑制し、材料の高温
強度特性が一層向上する。
【００２９】更に、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）を含
有するダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ 2 Ｏ7 ）やモノシリ
ケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）中のＳｉを、Ａｌ、Ｃｒ、Ｈ
ｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれかで一定量置
換することにより、固溶体型の複合酸化物が形成され
る。
有するダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ 2 Ｏ7 ）やモノシリ
ケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）中のＳｉを、Ａｌ、Ｃｒ、Ｈ
ｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれかで一定量置
換することにより、固溶体型の複合酸化物が形成され
る。
【００３０】即ち、前記製造方法により得られた希土類
複合酸化物系焼結体を、その焼成温度以下、１０００℃
以上の温度域で熱処理し、過飽和に固溶した原子をダイ
シリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）やモノシリケート（Ｒ
Ｅ2 ＳｉＯ5 ）の結晶粒内や結晶粒界に複合酸化物（Ｒ
Ｅx Ｍy Ｏz ）の形で微細に析出させることができ、該
析出処理により、ナノコンポジットが形成され、材料の
高温強度が向上するのみならず、破壊靱性の向上も実現
可能となる。
複合酸化物系焼結体を、その焼成温度以下、１０００℃
以上の温度域で熱処理し、過飽和に固溶した原子をダイ
シリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）やモノシリケート（Ｒ
Ｅ2 ＳｉＯ5 ）の結晶粒内や結晶粒界に複合酸化物（Ｒ
Ｅx Ｍy Ｏz ）の形で微細に析出させることができ、該
析出処理により、ナノコンポジットが形成され、材料の
高温強度が向上するのみならず、破壊靱性の向上も実現
可能となる。
【００３１】前記析出処理、即ち熱処理は、１０００℃
より低い温度では、原子の拡散速度の点から析出処理に
長時間を要するため実用的でなく、一方、焼成温度以上
で処理すると結晶粒の粒成長が起こり、材料の特性が低
下することから、熱処理温度は１０００℃以上、焼成温
度以下であることが重要である。
より低い温度では、原子の拡散速度の点から析出処理に
長時間を要するため実用的でなく、一方、焼成温度以上
で処理すると結晶粒の粒成長が起こり、材料の特性が低
下することから、熱処理温度は１０００℃以上、焼成温
度以下であることが重要である。
【００３２】以上のような製造方法により、均質で微粒
かつ緻密な希土類複合酸化物系焼結体が得られる。
かつ緻密な希土類複合酸化物系焼結体が得られる。
【００３３】本発明の希土類複合酸化物系焼結体及びそ
の製造方法を評価するために、原料粉末として希土類酸
化物（ＲＥ2 Ｏ3 ）とＳｉＯ2 及びＡｌ2 Ｏ3 、Ｃｒ2
Ｏ3、ＨｆＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｖ
2 Ｏ5 、Ｔａ2 Ｏ5 を用いて所定の組成比となるように
調合した各酸化物の粉末を、先ず１ｔ／ｃｍ2 の圧力で
プレス成形し、大気中焼成の試料には更に３ｔ／ｃｍ2
の圧力で静水圧処理をして成形体を作製するとともに、
併せて前記各酸化物を表１及び表２に示す組成比となる
ように調合して１３００℃の温度で１時間仮焼し、粉砕
した複合酸化物を用いて前記同様にして成形体を作製す
ることも併せて実施した 次に、前記成形体を表１及び表２に示すように、大気中
で常圧焼成する場合には各焼成温度に５時間保持して、
またホットプレス焼成する場合には常圧の窒素（Ｎ2 ）
雰囲気中、０．３ｔ／ｃｍ2 の圧力で各焼成温度に１時
間保持して焼成した。
の製造方法を評価するために、原料粉末として希土類酸
化物（ＲＥ2 Ｏ3 ）とＳｉＯ2 及びＡｌ2 Ｏ3 、Ｃｒ2
Ｏ3、ＨｆＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｖ
2 Ｏ5 、Ｔａ2 Ｏ5 を用いて所定の組成比となるように
調合した各酸化物の粉末を、先ず１ｔ／ｃｍ2 の圧力で
プレス成形し、大気中焼成の試料には更に３ｔ／ｃｍ2
の圧力で静水圧処理をして成形体を作製するとともに、
併せて前記各酸化物を表１及び表２に示す組成比となる
ように調合して１３００℃の温度で１時間仮焼し、粉砕
した複合酸化物を用いて前記同様にして成形体を作製す
ることも併せて実施した 次に、前記成形体を表１及び表２に示すように、大気中
で常圧焼成する場合には各焼成温度に５時間保持して、
またホットプレス焼成する場合には常圧の窒素（Ｎ2 ）
雰囲気中、０．３ｔ／ｃｍ2 の圧力で各焼成温度に１時
間保持して焼成した。
【００３４】更に、１４００℃と１５００℃の温度で１
０時間の熱処理を一部の試料に施した。
０時間の熱処理を一部の試料に施した。
【００３５】かくして得られた焼結体をＪＩＳ−Ｒ１６
０１の規格に準じた所定寸法に研磨して抗折試験片を作
製し、該抗折試験片について室温及び１４００℃での４
点曲げ抗折試験を実施した。
０１の規格に準じた所定寸法に研磨して抗折試験片を作
製し、該抗折試験片について室温及び１４００℃での４
点曲げ抗折試験を実施した。
【００３６】また、ＲＥ2 Ｏ3 ／ＳｉＯ2 ／Ｍm Ｏ
n （ＭはＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔ
ａ）の組成比、及び周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）とＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａの複合酸
化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）のモル％は、前記焼結体を粉砕
後、ＩＣＰ法によりＲＥとＳｉとＭの重量比を測定し、
酸化物換算で算出した。
n （ＭはＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔ
ａ）の組成比、及び周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）とＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａの複合酸
化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）のモル％は、前記焼結体を粉砕
後、ＩＣＰ法によりＲＥとＳｉとＭの重量比を測定し、
酸化物換算で算出した。
【００３７】更に、前記評価用の希土類複合酸化物系焼
結体をＸ線回折測定して結晶相を同定したところ、ダイ
シリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）やモノシリケート（Ｒ
Ｅ2ＳｉＯ5 ）と、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）とＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれ
かより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz 、ＭはＡｌ、Ｃ
ｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａ）から成ること
を確認した。以上の結果を表１乃至表４に示す。
結体をＸ線回折測定して結晶相を同定したところ、ダイ
シリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）やモノシリケート（Ｒ
Ｅ2ＳｉＯ5 ）と、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）とＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれ
かより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz 、ＭはＡｌ、Ｃ
ｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａ）から成ること
を確認した。以上の結果を表１乃至表４に示す。
【００３８】
【表１】
【００３９】
【表２】
【００４０】
【表３】
【００４１】
【表４】
【００４２】表１乃至表４の結果から明らかなように、
複合酸化物を含有しないか、所定量含有しない試料番号
１、７、１０、１６、２１、２７、２９、３２、３５、
４１、４９、６０、６４、６６、６９では、ＲＴでの抗
折強度が３９０ＭＰａ以下と低く、１４００℃での抗折
強度も最大１２０ＭＰａもの極めて大きな劣化を示すの
に対して、本願発明の希土類複合酸化物系焼結体は、い
ずれもＲＴでの抗折強度が４００ＭＰａ以上と高く、１
４００℃での抗折強度の劣化も３０ＭＰａ以下と大変小
さいことが分かる。
複合酸化物を含有しないか、所定量含有しない試料番号
１、７、１０、１６、２１、２７、２９、３２、３５、
４１、４９、６０、６４、６６、６９では、ＲＴでの抗
折強度が３９０ＭＰａ以下と低く、１４００℃での抗折
強度も最大１２０ＭＰａもの極めて大きな劣化を示すの
に対して、本願発明の希土類複合酸化物系焼結体は、い
ずれもＲＴでの抗折強度が４００ＭＰａ以上と高く、１
４００℃での抗折強度の劣化も３０ＭＰａ以下と大変小
さいことが分かる。
【００４３】
【発明の効果】叙上の如く、本発明の希土類複合酸化物
系焼結体及びその製造方法によれば、周期律表第３ａ族
元素（ＲＥ）を含有するダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2
Ｏ7 ）、モノシリケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の一種以上
に、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）とＡｌ、Ｃｒ、Ｈ
ｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれかの元素との
複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）を酸化物換算で総量０．
１〜９５ｍｏｌ％分散したものであり、また、周期律表
第３ａ族元素の酸化物（ＲＥ2 Ｏ3 ）と二酸化珪素（Ｓ
ｉＯ2 ）及び前記各元素の酸化物の一種以上から成る粉
体、あるいは、仮焼して合成した周期律表第３ａ族元素
（ＲＥ）を一種以上含有するダイシリケート（ＲＥ2 Ｓ
ｉ2 Ｏ7 ）やモノシリケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）と、周
期律表第３ａ族元素（ＲＥ）及び前記各元素の複合酸化
物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）の一種以上を用いた成形体を、１
１００〜１８５０℃の温度で焼成して緻密化することか
ら、転位の運動による塑性変形が抑制され、９００℃を
越える高温での機械的強度が著しく改善され、室温から
１４００℃の高温まで塑性変形し難く、機械的強度の劣
化が従来のセラミック焼結体よりはるかに小さく、高温
での安定性に優れた希土類複合酸化物系焼結体及びその
製造方法を得ることができる。
系焼結体及びその製造方法によれば、周期律表第３ａ族
元素（ＲＥ）を含有するダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2
Ｏ7 ）、モノシリケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の一種以上
に、周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）とＡｌ、Ｃｒ、Ｈ
ｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａのいずれかの元素との
複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）を酸化物換算で総量０．
１〜９５ｍｏｌ％分散したものであり、また、周期律表
第３ａ族元素の酸化物（ＲＥ2 Ｏ3 ）と二酸化珪素（Ｓ
ｉＯ2 ）及び前記各元素の酸化物の一種以上から成る粉
体、あるいは、仮焼して合成した周期律表第３ａ族元素
（ＲＥ）を一種以上含有するダイシリケート（ＲＥ2 Ｓ
ｉ2 Ｏ7 ）やモノシリケート（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）と、周
期律表第３ａ族元素（ＲＥ）及び前記各元素の複合酸化
物（ＲＥx Ｍy Ｏz ）の一種以上を用いた成形体を、１
１００〜１８５０℃の温度で焼成して緻密化することか
ら、転位の運動による塑性変形が抑制され、９００℃を
越える高温での機械的強度が著しく改善され、室温から
１４００℃の高温まで塑性変形し難く、機械的強度の劣
化が従来のセラミック焼結体よりはるかに小さく、高温
での安定性に優れた希土類複合酸化物系焼結体及びその
製造方法を得ることができる。
Claims (4)
- 【請求項１】周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）を含有する
ダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）、モノシリケート
（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の一種以上と、総量が酸化物換算で
０．１〜９５ｍｏｌ％である周期律表第３ａ族元素（Ｒ
Ｅ）とＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａ
のいずれかより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏz 、Ｍは
Ａｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａ）の一
種以上から成ることを特徴とする希土類複合酸化物系焼
結体。 - 【請求項２】周期律表第３ａ族元素の酸化物（ＲＥ2 Ｏ
3 ）と二酸化珪素（ＳｉＯ2 ）及びＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、
Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａの酸化物の一種以上から成
る粉体を混合した後、該混合粉を成形して得られた成形
体を焼成することを特徴とする希土類複合酸化物系焼結
体の製造方法。 - 【請求項３】周期律表第３ａ族元素（ＲＥ）を含有する
ダイシリケート（ＲＥ2 Ｓｉ2 Ｏ7 ）、モノシリケート
（ＲＥ2 ＳｉＯ5 ）の一種以上と、周期律表第３ａ族元
素（ＲＥ）及びＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、
Ｖ、Ｔａのいずれかより成る複合酸化物（ＲＥx Ｍy Ｏ
z 、ＭはＡｌ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、Ｔ
ａ）の一種以上をそれぞれ仮焼して粉砕混合した後、該
粉砕混合粉を成形して得られた成形体を焼成することを
特徴とする希土類複合酸化物系焼結体の製造方法。 - 【請求項４】前記希土類複合酸化物系焼結体をその焼成
温度以下、１０００℃以上の温度で熱処理して過飽和の
固溶原子を析出させることを特徴とする請求項２又は請
求項３記載の希土類複合酸化物系焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16917194A JP3273099B2 (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 希土類複合酸化物系焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16917194A JP3273099B2 (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 希土類複合酸化物系焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0826815A true JPH0826815A (ja) | 1996-01-30 |
| JP3273099B2 JP3273099B2 (ja) | 2002-04-08 |
Family
ID=15881575
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16917194A Expired - Fee Related JP3273099B2 (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 希土類複合酸化物系焼結体及びその製造方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3273099B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6093366A (en) * | 1997-11-06 | 2000-07-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing ceramic sintered bodies |
| JP2007254219A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Kyocera Corp | 耐食性セラミック部材 |
| JP2013063868A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 磁気光学素子用焼結体及び磁気光学デバイス |
| CN109467829A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-03-15 | 宋光明 | 一种隔热墙板材料及其制造方法 |
| CN114057203A (zh) * | 2021-09-10 | 2022-02-18 | 中国科学院金属研究所 | 一种等离子喷涂用六稀土主元双硅酸盐固溶体球形喂料及其制备方法 |
| CN114105672A (zh) * | 2020-08-31 | 2022-03-01 | 厦门稀土材料研究所 | 一种锆钽复合稀土基多孔高熵陶瓷及其制备方法 |
| CN117142854A (zh) * | 2023-08-22 | 2023-12-01 | 华南理工大学 | 一种高熵稀土硅酸盐陶瓷粉体及其制备方法和应用 |
| CN117964363A (zh) * | 2024-02-02 | 2024-05-03 | 北京工业大学 | 一种具有低热导率的中熵硅酸盐陶瓷及其制备方法与应用 |
| CN118005384A (zh) * | 2024-01-02 | 2024-05-10 | 华南理工大学 | 高熵稀土硅酸盐陶瓷纳米粉体及其制备方法与应用 |
-
1994
- 1994-07-21 JP JP16917194A patent/JP3273099B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6093366A (en) * | 1997-11-06 | 2000-07-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing ceramic sintered bodies |
| JP2007254219A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Kyocera Corp | 耐食性セラミック部材 |
| JP2013063868A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 磁気光学素子用焼結体及び磁気光学デバイス |
| CN109467829A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-03-15 | 宋光明 | 一种隔热墙板材料及其制造方法 |
| CN109467829B (zh) * | 2018-10-19 | 2020-11-24 | 宋光明 | 一种隔热墙板材料及其制造方法 |
| CN114105672A (zh) * | 2020-08-31 | 2022-03-01 | 厦门稀土材料研究所 | 一种锆钽复合稀土基多孔高熵陶瓷及其制备方法 |
| CN114057203A (zh) * | 2021-09-10 | 2022-02-18 | 中国科学院金属研究所 | 一种等离子喷涂用六稀土主元双硅酸盐固溶体球形喂料及其制备方法 |
| CN114057203B (zh) * | 2021-09-10 | 2023-02-17 | 中国科学院金属研究所 | 一种等离子喷涂用六稀土主元双硅酸盐固溶体球形喂料及其制备方法 |
| CN117142854A (zh) * | 2023-08-22 | 2023-12-01 | 华南理工大学 | 一种高熵稀土硅酸盐陶瓷粉体及其制备方法和应用 |
| CN118005384A (zh) * | 2024-01-02 | 2024-05-10 | 华南理工大学 | 高熵稀土硅酸盐陶瓷纳米粉体及其制备方法与应用 |
| CN117964363A (zh) * | 2024-02-02 | 2024-05-03 | 北京工业大学 | 一种具有低热导率的中熵硅酸盐陶瓷及其制备方法与应用 |
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| JP3273099B2 (ja) | 2002-04-08 |
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