JPH0651900U - 電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 窓箔冷却用空気が被照射フィルム搬送に影響
しないようにし、１次と２次窓箔部の組立てを容易に行
えるようにすること。 【構成】 １次窓箔３は電子線発生部における走査管１
に取付ける。搬送される被照射フィルム９の電子線入射
側上方に仕切体１４を設け、その開口部に２次窓箔６を
取り付ける。エアー反射板１６が１次窓箔と２次窓箔の
端部外方に設けられており、ノズル１５からの窓箔冷却
用空気は、１次窓箔を冷却し、反射板で反転、還流し、
２次窓箔を冷却する。空気流は２次窓箔と仕切体で遮蔽
され、被照射フィルムに影響を与えない。二つの窓箔部
を一体に組み立てなくともよいから、窓箔部の組立て、
窓箔取付部材の加工が容易になる。二つの窓箔の間隔に
応じてエアー反射板の寸法を決めればよく、同間隔を自
由に選べる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、窓箔の冷却用気体に空気を用い、空気流が被照射フィルムの搬送に 影響を与えないようにした電子線照射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

電子線照射装置では電子線発生部の端部に窓箔を設け、電子線発生部を真空封 止し、電子線は窓箔を透過して照射領域に導入される。かかる透過に際し窓箔は 電子線のエネルギーを一部吸収し、発熱する。そこで冷却用気体を窓箔面に通流 させて窓箔を冷却しているが、照射領域側から冷却用気体を窓箔に当てることに なるから、照射領域を搬送される被照射物が薄いフィルムの場合、気体流が被照 射フィルムに当り、フィルムの円滑な搬送を損なう。

【０００３】 そこで、窓箔の冷却気体が薄い被照射フィルムの搬送に影響を与えないように 、二つの窓箔を有する電子線照射装置が考案されており、図２はその構成図であ る。電子線発生部における走査管１のフランジ２に、１次窓箔３が１次窓押さえ 板４によって取り付けられている。１次窓押さえ板４には２次窓板５を取り付け 、この窓板に２次窓箔６が２次窓押さえ板７によって取り付けられている。この ２次窓押さえ板７に結合する形で照射容器８が設けられており、その中に被照射 フィルム９を搬送する。走査管１からの電子線ｅ^-は１次窓箔３と２次窓箔６を 透過し、被照射フィルム９に照射される。

【０００４】 １次窓押さえ板４には先端にノズル部を有する冷却気体の流通口１０が、そし て２次窓板５にも同じく流通口１１が形成されており、これら流通口は冷却用気 体の給気ダクト１２及び排気ダクト１３に連通する。給気ダクト１２によって供 給されて、１次窓押さえ板４の流通口１０の先端のノズル部から噴出した冷却用 気体は、１次窓箔３を冷却し、１次窓押さえ板４の内端部４₁及び２次窓板５の 内端部５₁によって２次窓箔６側に矢印で示すように反転、還流し、同窓箔を冷 却し流通口１１から排気ダクト１３を通して排出される。このように、窓箔冷却 用気体に対し、照射容器８内の照射領域は２次窓箔６によって遮断されており、 被照射フィルムはその搬送に際し冷却用気体流の影響を受けずに済む。

【０００５】 加速された電子線は空気中を通過するときオゾンを発生させる。窓箔冷却用気 体としては、電子線が当ってもオゾンを発生させずに済む窒素ガスを用い、排気 ダクト１３からのガスを給気ダクト１２に導入循環させることにより、窒素ガス を再利用し、ガスの消費量を低減させている。なお、照射容器８内の照射領域は 大気状態にあり、電子線が２次窓箔を透過して空気層を通過するときオゾンが発 生するが、照射容器の下部に排気口を設けて換気しており、通常、上述したとこ ろの電子線照射装置における構成部分は発生するＸ線を遮蔽するためにコンクリ ート製の建屋内に収容されている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

かかる従来の装置によれば、被照射フィルム９は窓箔冷却用気体流の影響を受 けることがないし、冷却用気体として窒素ガスを用いているから窓箔特に１次窓 箔３は完全にオゾンの影響を受けずに済むことになる。しかしながら、冷却用気 体を１次窓箔３と２次窓箔６間から外部に漏洩しないようにすることから、これ ら窓箔とその複数の取付部材、１次窓押さえ板４、２次窓板５、２次窓押さえ板 ７は走査管１のフランジ２と照射容器８との間に一体的に組立てることを要し、 この点、これら取付部材の加工、接合面の加工精度が問題になるし、組立自体も やりにくいものであり、さらに１次窓箔３と２次窓箔６との間隔は１次窓押さえ 板と２次窓板の厚さで制限され、あまり間隔を大きくすることができない。

【０００７】 本考案は、オゾン対策を必要としない窓箔を有する電子線照射装置に関するも のであり、窓箔冷却用気体として空気を用い、１次窓箔と２次窓箔との間隔を任 意に選定することができ、窓箔部の組立てが容易に行える電子線照射装置の提供 を目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

かかる目的を達成するために、本考案の電子線照射装置は、電子線発生部を真 空封止し電子線が透過する１次窓箔と、この１次窓箔を透過した電子線を照射領 域に透過させる２次窓箔と、この２次窓箔が取り付けられ、搬送される被照射フ ィルムの電子線入射側上方に設けられた仕切体と、１次窓箔を冷却する窓箔冷却 用空気流を２次窓箔面に反転させるエアー反射板とを備えてなることを特徴とす るものである。

【０００９】

【作用】

搬送される被照射フィルムの電子線入射側上方に設けられた仕切体によって、 窓箔冷却用空気流は遮蔽され、フィルムの搬送は空気流の影響を受けない。窓箔 冷却用空気は１次窓箔から２次窓箔面へエアー反射板によって反転、還流し、反 転、還流部から空気が流出しても２次窓箔及び仕切体の存在により被照射フィル ムには至らないから、１次窓箔部と２次窓箔部はそれぞれ独自に組み立てること ができ、エアー反射板は二つの窓箔の間隔に応じた寸法のものとすればよい。

【００１０】

【実施例】

本考案の一実施例について図１の構成図を参照して説明する。なお、図２と同 一符号は同等部分を示す。電子線発生部における走査管１のフランジ２に、１次 窓箔３を１次窓押さえ板４によって取り付ける。搬送される被照射フィルム９の 電子線入射側上方の位置に仕切体１４が設けられており、この仕切体の開口部に 取り付けた２次窓板５に２次窓箔６が２次窓押さえ板７によって取り付けられて いる。１次窓箔３及び２次窓箔６はオゾン対策を要しないように、オゾンに耐え る材質のもので形成されており、走査管１からの電子線ｅ^-は二つの窓箔を透過 し、被照射フィルム９に照射される。

【００１１】 １次窓箔３の端部近傍に冷却用気体を噴出するノズル１５が設けられており、 このノズルは冷却用気体として圧縮空気が供給される給気ダクト１２に接続され ている。１次窓箔３と２次窓箔６のそれぞれ端部外方にエアー反射板１６が設け られており、わん曲面状に形成されているエアー反射板の端部は例えば走査管１ のフランジ２の側面に取り付け、エアー反射板１６の寸法は二つの窓箔の間隔に 応じたものとする。ノズル１５から噴出した冷却用空気は１次窓箔を冷却し、エ アー反射板１６によって２次窓箔６の面に反転、還流し、２次窓箔を冷却する。 搬送される被照射フィルム９の上方部は、仕切体１４及び２次窓箔６で被われて いるから、窓箔冷却用空気流は被照射フィルムの搬送に影響を与えない。

【００１２】 上述の各構成部分は例えばコンクリート製の建屋内に収容されており、給気ダ クト１２への圧縮空気は建屋外から供給し、建屋内にはオゾンが発生するから窓 箔冷却用空気の排出を行うと共に換気する。

【００１３】

【考案の効果】

本考案は以上説明したように構成したので、窓箔冷却用空気流は仕切体及び２ 次窓箔によって遮蔽され、被照射フィルムの搬送に影響を与えることがない。

【００１４】 そして、１次窓箔は走査管に、２次窓箔は仕切体に、それぞれ独立して取り付 ければよく、各窓箔の取付けに係る部材はその取付以外の事項を考慮する必要が ないから、各部材はその形状、加工が簡単なものとなり、各窓箔部の組立て、及 び調整も容易になる。さらに、二つの窓箔の配置間隔に応じた寸法のエアー反射 板を用いればよいから、同間隔を自由に選定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の構成図である。

【図２】従来例の構成図である。

【符号の説明】

1 走査管 3 １次窓箔 6 ２次窓箔 9 被照射フィルム 14 仕切体 15 ノズル 16 エアー反射板

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子線発生部を真空封止し電子線が透過
   する１次窓箔と、この１次窓箔を透過した電子線を照射
   領域に透過させる２次窓箔と、この２次窓箔が取り付け
   られ、搬送される被照射フィルムの電子線入射側上方に
   設けられた仕切体と、１次窓箔を冷却する窓箔冷却用空
   気流を２次窓箔面に反転させるエアー反射板とを備えて
   なることを特徴とする電子線照射装置。