JPH05315666A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
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- JPH05315666A JPH05315666A JP4115605A JP11560592A JPH05315666A JP H05315666 A JPH05315666 A JP H05315666A JP 4115605 A JP4115605 A JP 4115605A JP 11560592 A JP11560592 A JP 11560592A JP H05315666 A JPH05315666 A JP H05315666A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ケースにキズを付けた結果リークに至るという
不都合をなくし、かつ装置への実装の融通性が大となり
取扱が容易となる電歪効果素子を提供することにある。 【構成】素子1を気密端子2、薄肉の金属ケース6およ
び金属部材7で囲うようにして組み立て、気密端子2と
薄肉の金属ケース6および薄肉の金属ケース6と金属部
材7を溶接で接合する。これをO−リング等の摺動材を
介して厚肉の金属ケース9に入れ、一実施例の電歪効果
素子を完成する。また、厚肉ケースの端面の側面上にネ
ジ溝を形成し装置への取扱いを容易にする。 【効果】取扱い時の不具合で打痕をつけたり、ケースに
キズを付けた結果リークに至るという不具合がなくな
り、また、装置等に取り付ける際にも従来端面方向から
しか押さえられなかったものが、ケースの側面でも押さ
えることができ、装置等への取付上取扱いがしやすくな
った。
不都合をなくし、かつ装置への実装の融通性が大となり
取扱が容易となる電歪効果素子を提供することにある。 【構成】素子1を気密端子2、薄肉の金属ケース6およ
び金属部材7で囲うようにして組み立て、気密端子2と
薄肉の金属ケース6および薄肉の金属ケース6と金属部
材7を溶接で接合する。これをO−リング等の摺動材を
介して厚肉の金属ケース9に入れ、一実施例の電歪効果
素子を完成する。また、厚肉ケースの端面の側面上にネ
ジ溝を形成し装置への取扱いを容易にする。 【効果】取扱い時の不具合で打痕をつけたり、ケースに
キズを付けた結果リークに至るという不具合がなくな
り、また、装置等に取り付ける際にも従来端面方向から
しか押さえられなかったものが、ケースの側面でも押さ
えることができ、装置等への取付上取扱いがしやすくな
った。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電歪効果素子に関し、
特にケーシングの構造に関する。
特にケーシングの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】図8は、従来の電歪効果素子を示す断面
図である。従来例の電歪効果素子は、低い電圧で大きい
機械エネルギーを発生できるように積層型の素子を用
い、また、耐湿性などの対環境性を高めるために素子を
金属ケース中に気密封止している。そして、金属ケース
の肉厚は、素子の変位を抑制しないようにするために極
めて薄くなっている。
図である。従来例の電歪効果素子は、低い電圧で大きい
機械エネルギーを発生できるように積層型の素子を用
い、また、耐湿性などの対環境性を高めるために素子を
金属ケース中に気密封止している。そして、金属ケース
の肉厚は、素子の変位を抑制しないようにするために極
めて薄くなっている。
【0003】図8において、前述のような積層型の電歪
効果素子1は、機密端子2および金属部材7に接着剤で
固定され、素子1の駆動用リード線3a,3bは、ハン
ダ5を介して気密端子2の駆動用リード4に接続されて
いる。
効果素子1は、機密端子2および金属部材7に接着剤で
固定され、素子1の駆動用リード線3a,3bは、ハン
ダ5を介して気密端子2の駆動用リード4に接続されて
いる。
【0004】薄肉の金属ケース6と気密端子2および金
属部材7は、それぞれの接合部で溶接され、この電歪効
果素子の構造は、全体として気密封止構造となってい
る。
属部材7は、それぞれの接合部で溶接され、この電歪効
果素子の構造は、全体として気密封止構造となってい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の電歪効
果素子は、素子の変位を抑制しないようにするため、気
密に用いている金属のケースの肉厚を極めて薄くしなけ
ればならない。その結果、素子の取扱いにおいて注意を
しないと、ケースに打痕等のキズをつけたり、これらの
キズにより気密が破れてしまう等の欠点がある。
果素子は、素子の変位を抑制しないようにするため、気
密に用いている金属のケースの肉厚を極めて薄くしなけ
ればならない。その結果、素子の取扱いにおいて注意を
しないと、ケースに打痕等のキズをつけたり、これらの
キズにより気密が破れてしまう等の欠点がある。
【0006】また、ケースの肉厚が極めて薄いことか
ら、素子を取り付ける際側面で押さえることができず素
子の上下面からの押さえとなるため、実際の装置に組み
込む際に非常に使いにくいという欠点がある。
ら、素子を取り付ける際側面で押さえることができず素
子の上下面からの押さえとなるため、実際の装置に組み
込む際に非常に使いにくいという欠点がある。
【0007】本発明の目的は、ケースに打痕等のキズを
つけたり、これらのキズにより気密が破られることを防
止でき、かつ実装する際に実装の融通性が大となる電歪
効果素子を提供することにある。
つけたり、これらのキズにより気密が破られることを防
止でき、かつ実装する際に実装の融通性が大となる電歪
効果素子を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の電歪効果素子
は、電歪セラミックス層と内部電極導体層とを交互に積
層した積層体を薄肉の金属ケースと金属部材により密封
してなる電歪効果素子において、前記薄肉の金属ケース
の回りに摺動材を介して、厚肉のケースを形成している
ことを特徴とする。
は、電歪セラミックス層と内部電極導体層とを交互に積
層した積層体を薄肉の金属ケースと金属部材により密封
してなる電歪効果素子において、前記薄肉の金属ケース
の回りに摺動材を介して、厚肉のケースを形成している
ことを特徴とする。
【0009】また、少くとも厚肉ケースの一端にネジ溝
を形成することにより実装を容易とでき、また厚肉ケー
スの側面上に相対する状態で少なくとも2面以上平らな
部分を形成することにより実装をより容易にしたことを
特徴として構成される。
を形成することにより実装を容易とでき、また厚肉ケー
スの側面上に相対する状態で少なくとも2面以上平らな
部分を形成することにより実装をより容易にしたことを
特徴として構成される。
【0010】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は、本発明の電歪効果素子の第1の実
施例の断面図である。
て説明する。図1は、本発明の電歪効果素子の第1の実
施例の断面図である。
【0011】本実施例の電歪効果素子は、以下に述べる
ようにして形成される。まず素子1の駆動用リード線3
a,3bを気密端子2の駆動用リード4に半田5を介し
て接続する。次に、素子1を気密端子2、薄肉の金属ケ
ース6および金属部材7で囲うようにして組み立てた
後、真空加熱乾燥用容器に製品を入れ、温度150℃の
条件で3時間真空加熱乾燥を行う。続いて、製品の内部
を窒素ガスで置換した後、装置内を窒素ガス雰囲気にし
てある炭酸ガスレーザを用いて、気密端子2と薄肉の金
属ケース6および薄肉の金属ケース6と金属部材7の接
合部を溶接する。
ようにして形成される。まず素子1の駆動用リード線3
a,3bを気密端子2の駆動用リード4に半田5を介し
て接続する。次に、素子1を気密端子2、薄肉の金属ケ
ース6および金属部材7で囲うようにして組み立てた
後、真空加熱乾燥用容器に製品を入れ、温度150℃の
条件で3時間真空加熱乾燥を行う。続いて、製品の内部
を窒素ガスで置換した後、装置内を窒素ガス雰囲気にし
てある炭酸ガスレーザを用いて、気密端子2と薄肉の金
属ケース6および薄肉の金属ケース6と金属部材7の接
合部を溶接する。
【0012】引き続いて、気密封止した素子の上下端面
近くの側面上にシリコーン製またはテフロン製のO−リ
ング8a,8bをはめ込み、これを上下面近くの外周面
上にネジ溝を形成した厚肉の金属ケース9に挿入する。
近くの側面上にシリコーン製またはテフロン製のO−リ
ング8a,8bをはめ込み、これを上下面近くの外周面
上にネジ溝を形成した厚肉の金属ケース9に挿入する。
【0013】出来上がった製品について、厚肉の金属ケ
ース9に形成したネジを用いて、装置に容易に組み込む
ことができ、駆動用リード4を介して電圧を印加するこ
とにより変位が得られた。
ース9に形成したネジを用いて、装置に容易に組み込む
ことができ、駆動用リード4を介して電圧を印加するこ
とにより変位が得られた。
【0014】図2は、第2の実施例の断面図である。第
2の実施例が第1の実施例と異なるのは、厚肉の金属ケ
ース9の上下端面近くに形成するネジ溝を内周面上に形
成している点である。
2の実施例が第1の実施例と異なるのは、厚肉の金属ケ
ース9の上下端面近くに形成するネジ溝を内周面上に形
成している点である。
【0015】図3は、第3の実施例の断面図である。第
3の実施例が第1の実施例と異なるのは、厚肉の金属ケ
ース9の上下端面近くに形成するネジ溝を上端面は外周
面上に、そして、下端面は内周面上に形成している点で
ある。
3の実施例が第1の実施例と異なるのは、厚肉の金属ケ
ース9の上下端面近くに形成するネジ溝を上端面は外周
面上に、そして、下端面は内周面上に形成している点で
ある。
【0016】図4は、第4の実施例の断面図である。第
4の実施例が第1の実施例と異なるのは、厚肉の金属ケ
ース9の上下端面近くに形成するネジ溝を上端面は内周
面上に、そして、下端面は外周面上に形成している点で
ある。
4の実施例が第1の実施例と異なるのは、厚肉の金属ケ
ース9の上下端面近くに形成するネジ溝を上端面は内周
面上に、そして、下端面は外周面上に形成している点で
ある。
【0017】図5は、第5の実施例の断面図である。第
5の実施例が第1の実施例と異なるのは、厚肉の金属ケ
ース9の下側に金属部材2の端面を受けるための底がつ
いており、上下端面近くに形成するネジ溝を外周面上に
形成している点である。
5の実施例が第1の実施例と異なるのは、厚肉の金属ケ
ース9の下側に金属部材2の端面を受けるための底がつ
いており、上下端面近くに形成するネジ溝を外周面上に
形成している点である。
【0018】図6は、第6の実施例の断面図である。第
6の実施例が第5の実施例と異なるのは、厚肉の金属ケ
ース9の下側に金属部材2の端面を受けるための底がつ
いており、上下端面近くに形成するネジ溝を上端面は内
周面上に形成し、下端面は外周面上に形成している点で
ある。以上第1より第6の実施例では装置に組み込むた
めのネジ溝の構成例をあげたが、これらの溝により容易
に装置7に組み込むことができる。従って組込む装置に
よりこれらの溝を選択することによりより効果的な組込
みが可能となる。
6の実施例が第5の実施例と異なるのは、厚肉の金属ケ
ース9の下側に金属部材2の端面を受けるための底がつ
いており、上下端面近くに形成するネジ溝を上端面は内
周面上に形成し、下端面は外周面上に形成している点で
ある。以上第1より第6の実施例では装置に組み込むた
めのネジ溝の構成例をあげたが、これらの溝により容易
に装置7に組み込むことができる。従って組込む装置に
よりこれらの溝を選択することによりより効果的な組込
みが可能となる。
【0019】図7は、第7の実施例の上面図である。第
7の実施例が第1〜6の実施例と異なるのは、厚肉の金
属ケース9の側面を押さえて固定できるように、側面上
に相対する平らな面を形成した点である。
7の実施例が第1〜6の実施例と異なるのは、厚肉の金
属ケース9の側面を押さえて固定できるように、側面上
に相対する平らな面を形成した点である。
【0020】次に、第8の実施例が第1〜7の実施例と
異なるのは、O−リングの替わりにシリコーン製または
テフロン製のグリースを用いている点である。第9の実
施例が第1〜8の実施例と異なるのは、厚肉の金属ケー
スに形成するネジを側面上ではなく、側面肉厚方向に形
成している点である。
異なるのは、O−リングの替わりにシリコーン製または
テフロン製のグリースを用いている点である。第9の実
施例が第1〜8の実施例と異なるのは、厚肉の金属ケー
スに形成するネジを側面上ではなく、側面肉厚方向に形
成している点である。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、薄肉の金
属ケースで密封してなる電歪効果素子において、薄肉の
金属ケースの回りに摺動材を介して厚肉の金属ケースを
形成することにより取扱い時の不具合で打痕を付けた
り、ケースにキズを付けた結果リークに至るという不具
合がなくなり、また、装置等に取り付ける際にも従来端
面方向からしか押さえられなかったものが、ケースの側
面でも押さえることができ、装置等への取付上取扱いが
しやすくなった。
属ケースで密封してなる電歪効果素子において、薄肉の
金属ケースの回りに摺動材を介して厚肉の金属ケースを
形成することにより取扱い時の不具合で打痕を付けた
り、ケースにキズを付けた結果リークに至るという不具
合がなくなり、また、装置等に取り付ける際にも従来端
面方向からしか押さえられなかったものが、ケースの側
面でも押さえることができ、装置等への取付上取扱いが
しやすくなった。
【図1】本発明の電歪効果素子の第一の実施例の断面図
である。
である。
【図2】本発明の電歪効果素子の第二の実施例の断面図
である。
である。
【図3】本発明の電歪効果素子の第三の実施例の断面図
である。
である。
【図4】本発明の電歪効果素子の第四の実施例の断面図
である。
である。
【図5】本発明の電歪効果素子の第五の実施例の断面図
である。
である。
【図6】本発明の電歪効果素子の第六の実施例の断面図
である。
である。
【図7】本発明の電歪効果素子の第七の実施例の上面図
である。
である。
【図8】従来の電歪効果素子の一例の断面図である。
1 素子 2 気密端子 3a,3b 駆動用リード線 4 駆動用リード 5 ハンダ 6 薄肉の金属ケース 7 金属部材 8a,8b O−リング 9 厚肉の金属ケース
Claims (6)
- 【請求項1】 電歪セラミックス層と内部電極導体層と
を交互に積層した積層体を薄肉の金属ケースと金属部材
により密閉してなる電歪効果素子において、前記薄肉の
金属ケースの回りに摺動材を介して、厚肉のケースを形
成したことを特徴とする電歪効果素子。 - 【請求項2】 前記摺動材が、塩化ビニル、シリコーン
またはテフロンのO−リングからなることを特徴とする
請求項1記載の電歪効果素子。 - 【請求項3】 前記摺動材が、シリコーンまたはテフロ
ンのグリースからなることを特徴とする請求項1記載の
電歪効果素子。 - 【請求項4】 前記厚肉ケースの少なくとも一端の側面
上にネジ溝を形成したことを特徴とする請求項1記載の
電歪効果素子。 - 【請求項5】 前記厚肉ケースの側面上に、相対する状
態で少なくとも2面以上平らな部分を形成したことを特
徴とする請求項1記載の電歪効果素子。 - 【請求項6】 前記厚肉ケースの側面上でケース厚み方
向に少なくとも1カ所以上ネジ溝を形成したことを特徴
とする請求項1記載の電歪効果素子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4115605A JPH05315666A (ja) | 1992-05-08 | 1992-05-08 | 電歪効果素子 |
| US08/058,941 US5334902A (en) | 1992-05-08 | 1993-05-07 | Electrostrictive effect device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4115605A JPH05315666A (ja) | 1992-05-08 | 1992-05-08 | 電歪効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05315666A true JPH05315666A (ja) | 1993-11-26 |
Family
ID=14666775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4115605A Withdrawn JPH05315666A (ja) | 1992-05-08 | 1992-05-08 | 電歪効果素子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5334902A (ja) |
| JP (1) | JPH05315666A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104380589B (zh) * | 2012-10-30 | 2017-06-23 | 京瓷株式会社 | 压电致动器以及具备该压电致动器的质量流控制器 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5455477A (en) * | 1993-09-13 | 1995-10-03 | Nec Corporation | Encased piezoelectric actuator |
| DE19650900A1 (de) * | 1996-12-07 | 1998-06-10 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktuator |
| DE19909450A1 (de) * | 1999-03-04 | 2000-09-07 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktor |
| JP4331594B2 (ja) * | 2001-08-17 | 2009-09-16 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | インジェクタのための駆動ユニットとしてのアクチュエータ |
| DE102005043622A1 (de) * | 2005-09-13 | 2007-03-22 | Siemens Ag | Piezoelektrische Aktoreinheit bzw. piezoelektrische Antriebsvorrichtung |
| US7429815B2 (en) * | 2006-06-23 | 2008-09-30 | Caterpillar Inc. | Fuel injector having encased piezo electric actuator |
| US7531944B2 (en) * | 2007-02-09 | 2009-05-12 | Delphi Technologies, Inc. | Piezoelectric actuator and enclosure therefor |
| US20090134240A1 (en) * | 2007-11-27 | 2009-05-28 | Caterpillar Inc. | Method of making piezoelectrically actuated device |
| JP5496341B2 (ja) * | 2010-08-26 | 2014-05-21 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータ |
| JP7394870B2 (ja) * | 2019-12-11 | 2023-12-08 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータ |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3039973A1 (de) * | 1980-10-23 | 1982-05-27 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Mechanisches stellglied |
| US4729459A (en) * | 1984-10-01 | 1988-03-08 | Nippon Soken, Inc. | Adjustable damping force type shock absorber |
| JPH01187363A (ja) * | 1988-01-21 | 1989-07-26 | Toyota Motor Corp | 内燃機関用燃料噴射弁 |
| US5113108A (en) * | 1988-11-04 | 1992-05-12 | Nec Corporation | Hermetically sealed electrostrictive actuator |
| JP2508321B2 (ja) * | 1989-12-04 | 1996-06-19 | 日本電気株式会社 | 圧電アクチュエ―タおよびその製造方法 |
| JPH04179286A (ja) * | 1990-11-14 | 1992-06-25 | Nec Corp | 積層圧電アクチュエータ |
| US5233258A (en) * | 1991-03-28 | 1993-08-03 | Nec Corporation | Ultrasonic sheet feeder, low-profile ultrasonic motor, and method of driving the same |
-
1992
- 1992-05-08 JP JP4115605A patent/JPH05315666A/ja not_active Withdrawn
-
1993
- 1993-05-07 US US08/058,941 patent/US5334902A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104380589B (zh) * | 2012-10-30 | 2017-06-23 | 京瓷株式会社 | 压电致动器以及具备该压电致动器的质量流控制器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5334902A (en) | 1994-08-02 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |