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JP7769114B2 - Multilayer polyimide film and its manufacturing method - Google Patents

Multilayer polyimide film and its manufacturing method

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JP7769114B2
JP7769114B2 JP2024531726A JP2024531726A JP7769114B2 JP 7769114 B2 JP7769114 B2 JP 7769114B2 JP 2024531726 A JP2024531726 A JP 2024531726A JP 2024531726 A JP2024531726 A JP 2024531726A JP 7769114 B2 JP7769114 B2 JP 7769114B2
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dianhydride
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Description

本発明は、寸法安定性に優れていながらも接着力に優れた多層ポリイミドフィルムに関し、より詳しくは、熱的寸法安定性と水分に対する寸法安定性がすべて高く、接着力に優れた多層ポリイミドフィルムおよびその製造方法に関する。 The present invention relates to a multilayer polyimide film that has excellent dimensional stability and adhesive strength, and more specifically to a multilayer polyimide film that has high dimensional stability against both heat and moisture and excellent adhesive strength, and a method for producing the same.

ポリイミド(polyimide、PI)は、剛直な芳香族主鎖と共に化学的安定性が非常に優れたイミド環をベースとして、有機材料の中でも最高水準の耐熱性、耐薬品性、電気絶縁性、耐化学性、耐候性を有する高分子材料である。
ポリイミドフィルムは、前述した特性が要求される多様な電子デバイスの素材として注目されている。
ポリイミドフィルムが適用される微小電子部品の例としては、電子製品の軽量化と小型化に対応可能に回路集積度が高く柔軟な薄型回路基板が挙げられ、ポリイミドフィルムは、特に、薄型回路基板の絶縁フィルムとして広く用いられている。
前記薄型回路基板は、絶縁フィルム上に金属箔を含む回路が形成されている構造が一般的であり、このような薄型回路基板を広い意味としてフレキシブル金属箔積層板(Flexible Metal Foil Clad Laminate)と称し、金属箔として薄い銅板を用いる時には、より狭い意味でフレキシブル銅箔積層板(Flexible Copper Clad Laminate;FCCL)と称したりする。
Polyimide (PI) is a polymeric material based on imide rings, which have excellent chemical stability along with a rigid aromatic main chain, and has the highest levels of heat resistance, chemical resistance, electrical insulation, chemical resistance, and weather resistance among organic materials.
Polyimide films have been attracting attention as materials for a variety of electronic devices that require the above-mentioned properties.
Examples of microelectronic components to which polyimide films are applied include thin circuit boards that are flexible and have a high degree of circuit integration, allowing for the reduction in the weight and size of electronic products. Polyimide films are particularly widely used as insulating films for thin circuit boards.
The thin circuit board generally has a structure in which a circuit including a metal foil is formed on an insulating film, and such a thin circuit board is broadly called a flexible metal foil clad laminate (FMC), and when a thin copper foil is used as the metal foil, it is more narrowly called a flexible copper clad laminate (FCCL).

フレキシブル金属箔積層板の製造方法としては、例えば、(i)金属箔上にポリイミドの前駆体であるポリアミック酸を流延(casting)、または塗布した後、イミド化するキャスティング法、(ii)スパッタリング(Sputtering)によってポリイミドフィルム上に直接金属層を設けるメタライジング法、および(iii)熱可塑性ポリイミドを介してポリイミドフィルムと金属箔とを熱と圧力で接合させるラミネート法が挙げられる。
特に、メタライジング法は、例えば、20~38μmの厚さのポリイミドフィルム上に銅などの金属をスパッタリングして、タイ(Tie)層、シード(Seed)層を順次に蒸着することにより、フレキシブル金属箔積層板を生産する方法であり、回路パターンのピッチ(pitch)が35μm以下の超微細回路を形成させるのに有利な点があり、COF(chip on film)用フレキシブル金属箔積層板を製造するのに広く使用されている。
メタライジング法によるフレキシブル金属箔積層板に使用されるポリイミドフィルムは、高い寸法安定性を有しなければならない。通常、熱膨張係数で表す熱的寸法安定性で寸法安定性が測定されているが、熱的寸法安定性に劣らず、吸湿膨張係数で表す水分に対する寸法安定性の重要性も次第に大きくなっている。
すなわち、熱的寸法安定性と水分に対する寸法安定性がすべて優れたポリイミドフィルムに対する要求が増加しているが、実際に熱膨張係数が低い熱的寸法安定性が高い構造のポリイミドフィルムを設計する場合、水分に対する寸法安定性が低くなる問題点が浮上している。
また、寸法限定性が高いポリイミドフィルムは、通常、スパッタ金属メッキとの接着力が低下する問題点がある。
したがって、高い熱的寸法安定性と水分に対する高い寸法安定性を有するだけでなく、優れた接着力を有するポリイミドフィルムが切実に要求されている。
以上の背景技術に記載された事項は発明の背景に対する理解のためのものであって、この技術の属する分野における通常の知識を有する者にすでに知られた従来技術でない事項を含むことができる。
Examples of methods for producing flexible metal foil laminates include (i) a casting method in which polyamic acid, a precursor of polyimide, is cast or coated onto a metal foil and then imidized; (ii) a metallizing method in which a metal layer is formed directly on a polyimide film by sputtering; and (iii) a lamination method in which a polyimide film and a metal foil are bonded together by heat and pressure via a thermoplastic polyimide.
In particular, the metallizing method is a method for producing flexible metal foil laminates by sputtering a metal such as copper on a polyimide film having a thickness of, for example, 20 to 38 μm, and sequentially depositing a tie layer and a seed layer. This method is advantageous for forming ultra-fine circuits with a circuit pattern pitch of 35 μm or less, and is widely used to produce flexible metal foil laminates for COF (chip on film).
Polyimide films used in metallizing flexible metal foil laminates must have high dimensional stability. Dimensional stability is usually measured by the thermal expansion coefficient, but dimensional stability against moisture, measured by the hygroscopic expansion coefficient, is becoming increasingly important.
That is, there is an increasing demand for polyimide films that have excellent thermal dimensional stability and moisture dimensional stability. However, when a polyimide film is actually designed to have a structure with a low thermal expansion coefficient and high thermal dimensional stability, a problem arises in that the dimensional stability against moisture is low.
Furthermore, polyimide films, which have a high degree of dimensional restriction, usually have the problem of reduced adhesive strength with sputtered metal plating.
Therefore, there is a strong demand for polyimide films that not only have high thermal dimensional stability and high dimensional stability against moisture, but also have excellent adhesive strength.
The matters described in the above background art are intended to help understand the background of the invention, and may include matters that are not prior art already known to those with ordinary skill in the field to which this technology belongs.

大韓民国公開特許公報第10-2012-0133807号Republic of Korea Patent Publication No. 10-2012-0133807

そこで、本発明は、高い熱的寸法安定性と水分に対する高い寸法安定性とともに、優れた接着力を同時に有するポリイミド多層フィルムを提供することを目的とする。
しかし、本発明が解決しようとする課題は以上に言及した課題に制限されず、言及されていない他の課題は以下の記載から当業者に明確に理解されるであろう。
SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a polyimide multilayer film that has high dimensional stability against heat and moisture, as well as excellent adhesive strength.
However, the problems to be solved by the present invention are not limited to those mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

上記の目的を達成するための、本発明の一態様は、コア層の一外側面および前記外側面の反対面にそれぞれ形成された第1スキン層および第2スキン層を含み、
銅箔との接着力が0.8kgf/cm以上である、
多層ポリイミドフィルムを提供する。
In order to achieve the above object, one aspect of the present invention includes a first skin layer and a second skin layer formed on one outer surface of a core layer and on an opposite surface of the outer surface, respectively;
The adhesive strength to copper foil is 0.8 kgf/cm or more.
A multilayer polyimide film is provided.

本発明の他の態様は、前記多層ポリイミドフィルムと、電気伝導性の金属箔とを含む、
フレキシブル金属箔積層板を提供する。
Another aspect of the present invention is a multilayer polyimide film comprising the multilayer polyimide film and an electrically conductive metal foil.
A flexible metal foil laminate is provided.

本発明のさらに他の態様は、前記フレキシブル金属箔積層板を含む、
電子部品を提供する。
Yet another aspect of the present invention includes the flexible metal foil laminate,
Provides electronic components.

本発明は、二無水物酸およびジアミン成分の組成比、反応比などが調整されたポリイミドフィルムを提供することにより、熱的寸法安定性と水分に対する寸法安定性だけでなく、接着力がすべて優れたポリイミドフィルムを提供する。
このようなポリイミドフィルムは、優れた寸法安定性と接着力のポリイミドフィルムが要求される多様な分野、例えば、メタライジング法により製造されるフレキシブル金属箔積層板またはこのようなフレキシブル金属箔積層板を含む電子部品に適用可能である。
The present invention provides a polyimide film in which the composition ratio and reaction ratio of the dianhydride and diamine components are adjusted, thereby providing a polyimide film that has excellent thermal dimensional stability, moisture dimensional stability, and adhesive strength.
Such polyimide films are applicable to various fields requiring polyimide films with excellent dimensional stability and adhesive strength, such as flexible metal foil laminates manufactured by a metallizing method or electronic components including such flexible metal foil laminates.

本明細書および特許請求の範囲に使用された用語や単語は通常または辞書的な意味に限定して解釈されてはならず、発明者は自らの発明を最も最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義できるという原則に則り、本発明の技術的思想に符合する意味と概念で解釈されなければならない。
したがって、本明細書に記載された実施例の構成は本発明の最も好ましい一つの実施例に過ぎず、本発明の技術的思想をすべて代弁するものではないので、本出願時点においてこれらを代替可能な多様な均等物と変形例が存在できることを理解しなければならない。
The terms and words used in this specification and claims should not be interpreted in a limited way to their ordinary or dictionary meanings, but should be interpreted in a way that is consistent with the technical idea of the present invention, in accordance with the principle that the inventor can appropriately define the concept of the term in order to best describe his or her invention.
Therefore, it should be understood that the configuration of the embodiment described in this specification is merely one of the most preferred embodiments of the present invention and does not represent the entire technical idea of the present invention, and that there may be various equivalents and modifications that can replace them at the time of this application.

本明細書において、単数の表現は、文脈上明らかに異なって意味しない限り、複数の表現を含む。本明細書において、「含む」、「備える」または「有する」などの用語は、実施された特徴、数字、段階、構成要素、またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとするものであって、1つまたはそれ以上の他の特徴や、数字、段階、構成要素、またはこれらを組み合わせたものの存在または付加の可能性を予め排除しないことが理解されなければならない。 In this specification, the singular includes the plural unless the context clearly dictates otherwise. It should be understood that in this specification, the terms "comprise," "include," "comprise," or "have" are intended to specify the presence of embodied features, numbers, steps, components, or combinations thereof, but do not preclude the possibility of the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, components, or combinations thereof.

本明細書において、「二無水物酸」は、その前駆体または誘導体を含むことが意図されるが、これらは技術的には二無水物酸でないかも知れないが、それにもかかわらず、ジアミ
ンと反応してポリアミック酸を形成するはずであり、このポリアミック酸は再度ポリイミドに変換される。
As used herein, "dianhydride acid" is intended to include precursors or derivatives thereof, which may not technically be dianhydrides, but which nevertheless must react with diamines to form polyamic acids, which are then converted back to polyimides.

本明細書において、「ジアミン」は、その前駆体または誘導体を含むことが意図されるが、これらは技術的にはジアミンでないかも知れないが、それにもかかわらず、ジアンハイドライドと反応してポリアミック酸を形成するはずであり、このポリアミック酸は再度ポリイミドに変換される。 As used herein, "diamine" is intended to include precursors or derivatives thereof, which may not technically be diamines, but which nonetheless must react with dianhydrides to form polyamic acids, which are then converted back to polyimides.

本明細書において、量、濃度、または他の値またはパラメータが範囲、好ましい範囲または好ましい上限値および好ましい下限値の列挙として与えられる場合、範囲が別途に開示されるかに関係なく、任意の一対の任意の上方範囲の限界値または好ましい値、および任意の下方範囲の限界値または好ましい値で形成されたすべての範囲を具体的に開示すると理解されなければならない。 Whenever an amount, concentration, or other value or parameter is given herein as a range, a preferred range, or a list of upper and lower preferred values, it should be understood to specifically disclose all ranges formed by any pair of any upper range limit or preferred value, and any lower range limit or preferred value, regardless of whether ranges are otherwise disclosed.

数値の範囲が本明細書で言及される場合、他に記述されなければ、その範囲はその終点およびその範囲内のすべての整数と分数を含むことが意図される。本発明の範疇は、範囲を定義する時に言及される特定の値に限定されないことが意図される。 When a range of numerical values is recited herein, unless otherwise stated, the range is intended to include the endpoints thereof, and all integers and fractions within the range. It is not intended that the scope of the invention be limited to the specific values recited when defining the range.

本発明の一実施形態による多層ポリイミドフィルムは、コア層の一外側面および前記外側面の反対面にそれぞれ形成された第1スキン層および第2スキン層を含み、銅箔との接着力が0.8kgf/cm以上であってもよい。 A multilayer polyimide film according to one embodiment of the present invention may include a first skin layer and a second skin layer formed on one outer surface of the core layer and the opposite surface of the outer surface, respectively, and may have an adhesive strength to copper foil of 0.8 kgf/cm or more.

すなわち、前記多層ポリイミドフィルムは、コア層を中心にコア層の一外側面および前記外側面の反対面にそれぞれ第1スキン層と第2スキン層が形成された3層構造の多層ポリイミドフィルムであってもよい。 In other words, the multilayer polyimide film may be a three-layer polyimide film having a core layer at the center, with a first skin layer and a second skin layer formed on one outer surface of the core layer and on the opposite surface of the outer surface, respectively.

一方、前記第1スキン層および第2スキン層の成分および組成比は、同一または異なっていてもよい。
また、前記第1スキン層および第2スキン層の厚さは、同一または異なっていてもよい。前記銅箔は、本願の多層ポリイミドフィルムの一面以上にスパッタ(sputter)-電気メッキ方式により形成される。
On the other hand, the components and composition ratios of the first skin layer and the second skin layer may be the same or different.
The first and second skin layers may have the same or different thicknesses. The copper foil is formed on at least one surface of the multilayer polyimide film by a sputter-electroplating method.

一実施形態において、前記多層ポリイミドフィルムの幅方向(Traverse direction、TD)の熱膨張係数が2.0ppm/℃以上であり、6.0ppm/℃以下であり、幅方向(Traverse direction、TD)の吸湿膨張係数が3.0ppm/RH%以上であり、6.0ppm/RH%以下であってもよい。 In one embodiment, the multilayer polyimide film may have a thermal expansion coefficient in the transverse direction (TD) of 2.0 ppm/°C or more and 6.0 ppm/°C or less, and a moisture expansion coefficient in the transverse direction (TD) of 3.0 ppm/RH% or more and 6.0 ppm/RH% or less.

前記幅方向(Traverse direction、TD)の熱膨張係数は、例えば、2.5ppm/℃以上であり、6.0ppm/℃以下であってもよい。 The thermal expansion coefficient in the transverse direction (TD) may be, for example, 2.5 ppm/°C or more and 6.0 ppm/°C or less.

また、前記幅方向(Traverse direction、TD)の吸湿膨張係数は、例えば、4.5ppm/RH%以上であり、6.0ppm/RH%以下であってもよい。 Furthermore, the moisture absorption expansion coefficient in the transverse direction (TD) may be, for example, 4.5 ppm/RH% or more and 6.0 ppm/RH% or less.

一実施形態において、前記多層ポリイミドフィルムの前記コア層は、ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド(BPDA)およびピロメリティックジアンハイドライド(PMDA)を含む二無水物酸成分と、パラフェニレンジアミン(PPD)およびm-トリジン(m-tolidine)を含むジアミン成分とを含むポリアミック酸溶液をイミド化反応させて得られる。 In one embodiment, the core layer of the multilayer polyimide film is obtained by imidizing a polyamic acid solution containing a dianhydride acid component including biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and pyromellitic dianhydride (PMDA) and a diamine component including paraphenylenediamine (PPD) and m-tolidine.

一方、前記第1スキン層および前記第2スキン層のいずれか1つ以上は、ビフェニルテト
ラカルボキシリックジアンハイドライド、ピロメリティックジアンハイドライド、オキシジフタリックアンハイドライド(ODPA)およびベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハイドライド(BTDA)からなるグループより選択された2種以上を含む二無水物酸成分と、オキシジアニリン(ODA)および1,3-ビスアミノフェノキシベンゼン(TPE-R)からなるグループより選択されたいずれか1つ以上を含むジアミン成分とを含むポリアミック酸溶液をイミド化反応させて得られる。
Meanwhile, at least one of the first skin layer and the second skin layer is obtained by an imidization reaction of a polyamic acid solution containing a dianhydride acid component including two or more selected from the group consisting of biphenyltetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, oxydiphthalic anhydride (ODPA), and benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA), and a diamine component including one or more selected from the group consisting of oxydianiline (ODA) and 1,3-bisaminophenoxybenzene (TPE-R).

例えば、前記第1スキン層および前記第2スキン層のいずれか1つ以上は、二無水物酸成分として、ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライドとピロメリティックジアンハイドライドを一緒に使用するか、ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド、ピロメリティックジアンハイドライドおよびオキシジフタリックアンハイドライドを一緒に使用するか、ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド、ピロメリティックジアンハイドライドおよびベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハイドライドを一緒に使用することができる。
また、例えば、前記第1スキン層および前記第2スキン層のいずれか1つ以上は、ジアミン成分として、オキシジアニリンのみを使用するか、オキシジアニリンと1,3-ビスアミノフェノキシベンゼンを一緒に使用することができる。
For example, any one or more of the first skin layer and the second skin layer may use, as the dianhydride acid component, biphenyltetracarboxylic dianhydride and pyromelic dianhydride together, biphenyltetracarboxylic dianhydride, pyromelic dianhydride and oxydiphthalic anhydride together, or biphenyltetracarboxylic dianhydride, pyromelic dianhydride and benzophenonetetracarboxylic dianhydride together.
Also, for example, at least one of the first skin layer and the second skin layer may use only oxydianiline as the diamine component, or may use oxydianiline and 1,3-bisaminophenoxybenzene together.

一実施形態において、前記コア層は、前記二無水物酸成分の総含有量100モル%を基準として、前記ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライドの含有量が40モル%以上60モル%以下であり、前記ピロメリティックジアンハイドライドの含有量が40モル%以上60モル%以下であり、前記ジアミン成分の総含有量100モル%を基準として、前記パラフェニレンジアミンの含有量が50モル%以上70モル%以下であり、前記m-トリジンの含有量が30モル%以上50モル%以下であってもよい。 In one embodiment, the core layer may have a biphenyltetracarboxylic dianhydride content of 40 mol% or more and 60 mol% or less, a pyromellitic dianhydride content of 40 mol% or more and 60 mol% or less, and a paraphenylenediamine content of 50 mol% or more and 70 mol% or less, and an m-tolidine content of 30 mol% or more and 50 mol% or less, based on a total content of 100 mol% of the dianhydride acid components.

一実施形態において、前記第1スキン層および前記第2スキン層のいずれか1つ以上は、前記二無水物酸成分の総含有量100モル%を基準として、前記ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライドの含有量が15モル%以上85モル%以下であり、前記ピロメリティックジアンハイドライドの含有量が15モル%以上60モル%以下であり、前記オキシジフタリックアンハイドライドの含有量が35モル%以下であり、前記ベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハイドライドの含有量が35モル%以下であり、前記ジアミン成分の総含有量100モル%を基準として、前記オキシジアニリンの含有量が20モル%以上100モル%以下であり、および1,3-ビスアミノフェノキシベンゼンの含有量が80モル%以下であってもよい。 In one embodiment, one or more of the first skin layer and the second skin layer may have, based on 100 mol% of the total content of the dianhydride acid components, a biphenyltetracarboxylic dianhydride content of 15 mol% or more and 85 mol% or less, a pyromellitic dianhydride content of 15 mol% or more and 60 mol% or less, an oxydiphthalic anhydride content of 35 mol% or less, and a benzophenonetetracarboxylic dianhydride content of 35 mol% or less, based on 100 mol% of the total content of the diamine components, an oxydianiline content of 20 mol% or more and 100 mol% or less, and a 1,3-bisaminophenoxybenzene content of 80 mol% or less.

本発明のパラフェニレンジアミンは、剛直なモノマーでパラフェニレンジアミンの含有量が増加することにより、合成されるポリイミドはさらなる線状の構造を有し、ポリイミドの機械的特性の向上に寄与する。 The paraphenylenediamine of the present invention is a rigid monomer, and by increasing the content of paraphenylenediamine, the synthesized polyimide has a more linear structure, which contributes to improving the mechanical properties of the polyimide.

また、m-トリジンは、特に疎水性を呈するメチル基を有していて、ポリイミドフィルムの水分に対する寸法安定性に関連する低吸湿特性に寄与する。 In addition, m-tolidine contains a methyl group that is particularly hydrophobic, contributing to the low moisture absorption properties related to the dimensional stability of polyimide film against moisture.

本発明のビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライドに由来するポリイミド鎖は、電荷移動錯体(CTC:Charge transfer complex)と名付けられた構造、すなわち、電子供与体(electron donnor)と電子受容体(electron acceptor)とが互いに近接して位置する規則的な直線構造を有し、分子間相互作用(intermolecular interaction)が強化される。 The polyimide chains derived from the biphenyltetracarboxylic dianhydride of the present invention have a structure known as a charge transfer complex (CTC), i.e., a regular linear structure in which the electron donor and electron acceptor are located close to each other, strengthening intermolecular interaction.

このような構造は、水分との水素結合を防止する効果があるので、吸湿率を低下させるの
に影響を与えて水分に対する寸法安定性に影響を及ぼすポリイミドフィルムの吸湿性を低下させる効果を極大化することができる。
Such a structure has the effect of preventing hydrogen bonding with moisture, thereby reducing the moisture absorption rate and maximizing the effect of reducing the moisture absorption of the polyimide film, which affects the dimensional stability against moisture.

また、ピロメリティックジアンハイドライドは、相対的に剛直な構造を有する二無水物酸成分でポリイミドフィルムに適切な弾性を付与できるという点で好ましい。 Furthermore, pyromellitic dianhydrides are preferred in that they are dianhydride acid components with a relatively rigid structure, which can impart appropriate elasticity to the polyimide film.

ポリイミドフィルムが優れた寸法安定性を有するためには、二無水物酸の含有量比が重要である。例えば、ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライドの含有量比が減少するほど、前記CTC構造による低い吸湿率を期待しにくくなり、水分に対する寸法安定性も低下する。 The dianhydride acid content ratio is important for polyimide film to have excellent dimensional stability. For example, the lower the biphenyltetracarboxylic dianhydride content ratio, the less likely it is that the low moisture absorption rate achieved by the CTC structure will be achieved, and dimensional stability against moisture will also decrease.

また、ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライドは、芳香族部分に相当するベンゼン環を2個含むのに対し、ピロメリティックジアンハイドライドは、芳香族部分に相当するベンゼン環を1個含む。 Furthermore, biphenyltetracarboxylic dianhydride contains two benzene rings corresponding to the aromatic portion, while pyromelitic dianhydride contains one benzene ring corresponding to the aromatic portion.

二無水物酸成分においてピロメリティックジアンハイドライドの含有量の増加は、同一の分子量を基準とした時、分子内のイミド基が増加すると理解することができ、これは、ポリイミド高分子鎖に、前記ピロメリティックジアンハイドライドに由来するイミド基の比率が、ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライドに由来するイミド基に比べて相対的に増加すると理解することができる。 An increase in the content of pyromellitic dianhydride in the dianhydride acid component can be understood as an increase in the number of imide groups in the molecule when the same molecular weight is used as the basis. This can be understood as a relative increase in the proportion of imide groups derived from the pyromellitic dianhydride in the polyimide polymer chain compared to the imide groups derived from biphenyltetracarboxylic dianhydride.

すなわち、ピロメリティックジアンハイドライドの含有量の増加は、ポリイミドフィルム全体に対しても、イミド基の相対的増加と見られ、これによって低い吸湿率による水分に対する高い寸法安定性は期待しにくくなる。 In other words, an increase in the pyromellitic dianhydride content is seen as a relative increase in imide groups in the polyimide film as a whole, making it difficult to expect high dimensional stability against moisture due to a low moisture absorption rate.

逆に、ピロメリティックジアンハイドライドの含有量比が減少すれば、相対的に剛直な構造の成分が減少して、ポリイミドフィルムの弾性が所望の水準以下に低下しうる。 Conversely, if the content ratio of pyromellitic dianhydride decreases, the relatively rigid structural components decrease, and the elasticity of the polyimide film may fall below the desired level.

この理由により、前記ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライドの含有量が前記範囲を上回ったり、ピロメリティックジアンハイドライドの含有量が前記範囲を下回る場合、ポリイミドフィルムの寸法安定性が低下しうる。 For this reason, if the content of biphenyltetracarboxylic dianhydride exceeds the above range or the content of pyromellitic dianhydride falls below the above range, the dimensional stability of the polyimide film may decrease.

逆に、前記ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライドの含有量が前記範囲を下回ったり、ピロメリティックジアンハイドライドの含有量が前記範囲を上回る場合にも、ポリイミドフィルムの寸法安定性に悪影響を及ぼすことがある。 Conversely, if the content of the biphenyltetracarboxylic dianhydride is below the above range or the content of the pyromellitic dianhydride is above the above range, this may have an adverse effect on the dimensional stability of the polyimide film.

本発明において、ポリアミック酸の製造は、例えば、
(1)ジアミン成分の全量を溶媒中に入れて、その後、二無水物酸成分をジアミン成分と実質的に等モルとなるように添加して重合する方法;
(2)二無水物酸成分の全量を溶媒中に入れて、その後、ジアミン成分を二無水物酸成分と実質的に等モルとなるように添加して重合する方法;
(3)ジアミン成分中の一部の成分を溶媒中に入れた後、反応成分に対して二無水物酸成分中の一部の成分を約95~105モル%の比率で混合した後、残りのジアミン成分を添加し、これに連続して残りの二無水物酸成分を添加して、ジアミン成分および二無水物酸成分が実質的に等モルとなるようにして重合する方法;
(4)二無水物酸成分を溶媒中に入れた後、反応成分に対してジアミン化合物中の一部の成分を95~105モル%の比率で混合した後、他の二無水物酸成分を添加し、続いて残りのジアミン成分を添加して、ジアミン成分および二無水物酸成分が実質的に等モルとなるようにして重合する方法;
(5)溶媒中において一部のジアミン成分と一部の二無水物酸成分とをいずれか1つが過
剰となるように反応させて、第1組成物を形成し、他の溶媒中において一部のジアミン成分と一部の二無水物酸成分とをいずれか1つが過剰となるように反応させて第2組成物を形成した後、第1、第2組成物を混合し、重合を完了する方法であって、この時、第1組成物を形成する時、ジアミン成分が過剰の場合、第2組成物では二無水物酸成分を過剰にし、第1組成物で二無水物酸成分が過剰の場合、第2組成物ではジアミン成分を過剰にして、第1、第2組成物を混合してこれらの反応に使用される全体のジアミン成分と二無水物酸成分とが実質的に等モルとなるようにして重合する方法、などが挙げられる。
In the present invention, the polyamic acid can be produced, for example, by
(1) A method in which the entire amount of the diamine component is placed in a solvent, and then the dianhydride acid component is added in an amount substantially equimolar to the diamine component to polymerize it;
(2) A method in which the entire amount of the dianhydride acid component is placed in a solvent, and then the diamine component is added in an amount substantially equimolar to the dianhydride acid component to polymerize the resulting mixture;
(3) A method in which a part of the diamine component is placed in a solvent, and then a part of the dianhydride acid component is mixed with the reaction components in a ratio of about 95 to 105 mol %, and the remaining diamine component is added, and then the remaining dianhydride acid component is added successively to this, so that the diamine component and the dianhydride acid component are substantially equimolar, thereby polymerizing;
(4) A method in which a dianhydride acid component is placed in a solvent, and then a portion of the components in the diamine compound is mixed in a ratio of 95 to 105 mol % relative to the reaction components, and then another dianhydride acid component is added, followed by the addition of the remaining diamine component, so that the diamine component and the dianhydride acid component are substantially equimolar, thereby polymerizing the mixture;
(5) A method of forming a first composition by reacting some diamine components and some dianhydride acid components in a solvent so that one of them is in excess, and then forming a second composition by reacting some diamine components and some dianhydride acid components in another solvent so that one of them is in excess, and then mixing the first and second compositions to complete polymerization, in which if the diamine component is in excess when forming the first composition, the dianhydride acid component is made in excess in the second composition, and if the dianhydride acid component is in excess in the first composition, the diamine component is made in excess in the second composition, and the first and second compositions are mixed to polymerize the diamine components and dianhydride acid components used in the reactions in total so that they are substantially equimolar.

本発明では、前記のようなポリアミック酸の重合方法をランダム(random)重合方式と定義することができ、前記のような過程で製造された本発明のポリアミック酸から製造されたポリイミドフィルムは、寸法安定性および耐化学性を高める本発明の効果を極大化させるという面で好ましく適用可能である。 In the present invention, the above-described polyamic acid polymerization method can be defined as a random polymerization method, and polyimide films produced from the polyamic acid of the present invention produced by the above-described process are preferably applicable in that they maximize the effects of the present invention, which are to improve dimensional stability and chemical resistance.

ただし、前記重合方法は、先に説明した高分子鎖内の繰り返し単位の長さが相対的に短く製造されるので、二無水物酸成分に由来するポリイミド鎖が有するそれぞれの優れた特性を発揮するには限界がありうる。したがって、本発明において特に好ましく利用可能なポリアミック酸の重合方法は、ブロック重合方式である。 However, this polymerization method produces polymers with relatively short repeating units in the polymer chains described above, which may limit the ability of the polyimide chains derived from the dianhydride acid component to exhibit their excellent properties. Therefore, the polyamic acid polymerization method that is particularly suitable for use in the present invention is block polymerization.

一方、ポリアミック酸を合成するための溶媒は特に限定されるものではなく、ポリアミック酸を溶解させる溶媒であればいかなる溶媒も使用可能であるが、アミド系溶媒であることが好ましい。
具体的には、前記有機溶媒は、有機極性溶媒であってもよく、詳しくは、非プロトン性極性溶媒(aprotic polar solvent)であってもよいし、例えば、N,N-ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-ピロリドン(NMP)、ガンマブチロラクトン(GBL)、ジグリム(Diglyme)からなる群より選択された1つ以上であってもよいが、これに限定されるものではなく、必要に応じて、単独でまたは2種以上組み合わせて使用可能である。
On the other hand, the solvent for synthesizing the polyamic acid is not particularly limited, and any solvent that can dissolve the polyamic acid can be used, but an amide-based solvent is preferred.
Specifically, the organic solvent may be an organic polar solvent, and more specifically, may be an aprotic polar solvent, and may be, for example, one or more selected from the group consisting of N,N-dimethylformamide (DMF), N,N-dimethylacetamide, N-methyl-pyrrolidone (NMP), gamma-butyrolactone (GBL), and diglyme, but is not limited thereto, and may be used alone or in combination of two or more kinds as needed.

一つの例において、前記有機溶媒は、N,N-ジメチルホルムアミドおよびN,N-ジメチルアセトアミドが特に好ましく使用可能である。 In one example, N,N-dimethylformamide and N,N-dimethylacetamide are particularly preferred organic solvents.

また、ポリアミック酸の製造工程では、摺動性、熱伝導性、コロナ耐性、ループ硬さなどのフィルムの様々な特性を改善する目的で、充填材を添加してもよい。添加される充填材は特に限定されるものではないが、好ましい例としては、シリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化ケイ素、窒化ホウ素、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、雲母などが挙げられる。 Furthermore, in the polyamic acid manufacturing process, fillers may be added to improve various film properties such as sliding properties, thermal conductivity, corona resistance, and loop hardness. There are no particular limitations on the fillers added, but preferred examples include silica, titanium oxide, alumina, silicon nitride, boron nitride, calcium hydrogen phosphate, calcium phosphate, and mica.

充填材の粒径は特に限定されるものではなく、改質すべきフィルム特性と添加する充填材の種類によって決定すれば良い。一般的には、平均粒径が0.05~100μm、好ましくは0.1~75μm、さらに好ましくは0.1~50μm、特に好ましくは0.1~25μmである。 The particle size of the filler is not particularly limited and can be determined based on the film properties to be modified and the type of filler to be added. Generally, the average particle size is 0.05 to 100 μm, preferably 0.1 to 75 μm, more preferably 0.1 to 50 μm, and especially preferably 0.1 to 25 μm.

粒径がこの範囲を下回ると、改質効果が現れにくくなり、この範囲を上回ると、表面性を大きく損傷させたり、機械的特性が大きく低下する場合がある。 If the particle size is below this range, the modifying effect will be difficult to achieve, and if it exceeds this range, the surface properties may be significantly damaged or the mechanical properties may be significantly reduced.

また、充填材の添加量に対しても特に限定されるものではなく、改質すべきフィルム特性や充填材の粒径などによって決定すれば良い。一般的に、充填材の添加量は、ポリイミド100重量部に対して、0.01~100重量部、好ましくは0.01~90重量部、さらに好ましくは0.02~80重量部である。 Furthermore, there are no particular restrictions on the amount of filler added, and it can be determined based on the film properties to be modified and the particle size of the filler. Generally, the amount of filler added is 0.01 to 100 parts by weight, preferably 0.01 to 90 parts by weight, and more preferably 0.02 to 80 parts by weight, per 100 parts by weight of polyimide.

充填材の添加量がこの範囲を下回ると、充填材による改質効果が現れにくく、この範囲を上回ると、フィルムの機械的特性が大きく損傷する可能性がある。充填材の添加方法は特に限定されるものではなく、公知のいかなる方法を用いてもよい。 If the amount of filler added is below this range, the modifying effect of the filler will be difficult to achieve, and if it exceeds this range, the mechanical properties of the film may be significantly damaged. There are no particular restrictions on the method of adding the filler, and any known method may be used.

本発明の製造方法において、ポリイミドフィルムは、熱イミド化法および化学的イミド化法により製造される。 In the manufacturing method of the present invention, polyimide films are produced by thermal imidization and chemical imidization.

また、熱イミド化法および化学的イミド化法が並行される複合イミド化法により製造されてもよい。 It may also be produced using a hybrid imidization method in which thermal imidization and chemical imidization are performed in parallel.

前記熱イミド化法とは、化学的触媒を排除し、熱風や赤外線乾燥機などの熱源でイミド化反応を誘導する方法である。
前記熱イミド化法は、前記ゲルフィルムを100~600℃の範囲の可変的な温度で熱処理して、ゲルフィルムに存在するアミック酸基をイミド化することができ、詳しくは、200~500℃、さらに詳しくは、300~500℃で熱処理して、ゲルフィルムに存在するアミック酸基をイミド化することができる。
ただし、ゲルフィルムを形成する過程でもアミック酸中の一部(約0.1モル%~10モル%)がイミド化され、このために、50℃~200℃の範囲の可変的な温度でポリアミック酸組成物を乾燥することができ、これも前記熱イミド化法の範疇に含まれる。
The thermal imidization method is a method in which a chemical catalyst is not used and the imidization reaction is induced by a heat source such as hot air or an infrared dryer.
The thermal imidization method may involve heat-treating the gel film at a variable temperature in the range of 100 to 600°C to imidize the amic acid groups present in the gel film, specifically at 200 to 500°C, and more specifically at 300 to 500°C to imidize the amic acid groups present in the gel film.
However, even during the process of forming the gel film, a portion of the amic acid (approximately 0.1 mol % to 10 mol %) is imidized. For this reason, the polyamic acid composition can be dried at a variable temperature ranging from 50°C to 200°C, which also falls within the category of the thermal imidization method.

化学的イミド化法の場合、当業界における公知の方法により、脱水剤およびイミド化剤を用いて、ポリイミドフィルムを製造することができる。 In the case of chemical imidization, polyimide films can be produced using dehydrating agents and imidizing agents by methods known in the industry.

複合イミド化法の一例として、ポリアミック酸溶液に脱水剤およびイミド化剤を投入した後、80~200℃、好ましくは100~180℃で加熱して、部分的に硬化および乾燥した後に、200~400℃で5~400秒間加熱することにより、ポリイミドフィルムを製造することができる。 As an example of the composite imidization method, a polyimide film can be produced by adding a dehydrating agent and an imidization agent to a polyamic acid solution, heating it at 80 to 200°C, preferably 100 to 180°C, partially curing and drying it, and then heating it at 200 to 400°C for 5 to 400 seconds.

一方、これまで説明した本発明の多層ポリイミドフィルムは、共押出またはコーティングのいずれか1つ以上の方式を用いて製造される。 Meanwhile, the multilayer polyimide film of the present invention described above is manufactured using one or more of the following methods: coextrusion or coating.

共押出方式は、ポリアミック酸溶液またはこれをイミド化して製造したポリイミド樹脂を貯留槽に充填した後、共押出ダイを用いてキャスティングベルト上に多層押出した後、硬化して多層構造のポリイミドフィルムを製造する方式で、生産性が高く、界面間の異なる種類のポリイミド樹脂が混和されて高い界面接着信頼性を確保することができる。
例えば、本発明の多層ポリイミドフィルムの製造方法は、第1ポリアミック酸溶液または第1ポリアミック酸溶液をイミド化して製造される第1ポリイミド樹脂である第1溶液を第1貯留槽に充填する第1充填ステップと、第2ポリアミック酸溶液または第2ポリアミック酸溶液をイミド化して製造される第2ポリイミド樹脂である第2溶液を第2貯留槽に充填する第2充填ステップと、第1貯留槽に連結された第1流路、第2貯留槽にそれぞれ連結された第2流路および第3流路が、内部にそれぞれ形成された共押出ダイを介して第1溶液と第2溶液とを共押出する共押出ステップと、共押出されて出た第1溶液および第2溶液を硬化する硬化ステップとを含んで行われる。
The co-extrusion method involves filling a reservoir with a polyamic acid solution or a polyimide resin produced by imidizing the polyamic acid solution, extruding the solution in multiple layers onto a casting belt using a co-extrusion die, and then curing the extrusion to produce a multi-layer polyimide film. This method is highly productive and ensures high interfacial adhesion reliability by blending different types of polyimide resins at the interfaces.
For example, a method for producing a multilayer polyimide film of the present invention includes a first filling step of filling a first storage tank with a first solution, which is a first polyamic acid solution or a first polyimide resin produced by imidizing the first polyamic acid solution; a second filling step of filling a second storage tank with a second solution, which is a second polyamic acid solution or a second polyimide resin produced by imidizing the second polyamic acid solution; a co-extrusion step of co-extruding the first and second solutions through a co-extrusion die having a first flow path connected to the first storage tank, a second flow path connected to the second storage tank, and a third flow path connected to the second storage tank, respectively; and a curing step of curing the co-extruded first and second solutions.

第1ポリアミック酸溶液は、コア層を形成するためのもので、ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド(BPDA)およびピロメリティックジアンハイドライド(PMDA)を含む二無水物酸成分と、パラフェニレンジアミン(PPD)およびm-トリジン(m-tolidine)を含むジアミン成分とを重合して製造されることが好ましい。 The first polyamic acid solution is used to form the core layer and is preferably produced by polymerizing a dianhydride acid component containing biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and pyromellitic dianhydride (PMDA) with a diamine component containing paraphenylenediamine (PPD) and m-tolidine.

第2ポリアミック酸溶液は、第1スキン層と第2スキン層を形成するためのもので、ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド、ピロメリティックジアンハイドライド、オキシジフタリックアンハイドライド(ODPA)およびベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハイドライド(BTDA)からなるグループより選択された2種以上を含む二無水物酸成分と、オキシジアニリン(ODA)および1,3-ビスアミノフェノキシベンゼン(TPE-R)からなるグループより選択されたいずれか1つ以上を含むジアミン成分とを重合して製造されることが好ましい。 The second polyamic acid solution is used to form the first and second skin layers, and is preferably produced by polymerizing a dianhydride acid component containing two or more selected from the group consisting of biphenyltetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, oxydiphthalic anhydride (ODPA), and benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA), and a diamine component containing one or more selected from the group consisting of oxydianiline (ODA) and 1,3-bisaminophenoxybenzene (TPE-R).

一方、第1溶液として前記第1ポリアミック酸溶液を使用し、第2溶液として前記第2ポリアミック酸溶液を使用する場合、硬化ステップの前に共押出されて出た第1溶液および第2溶液をイミド化するイミド化ステップをさらに含んで行われることが好ましい。 On the other hand, when the first polyamic acid solution is used as the first solution and the second polyamic acid solution is used as the second solution, it is preferable to further include an imidization step of imidizing the first and second solutions co-extruded before the curing step.

本発明は、上述した多層ポリイミドフィルムと、電気伝導性の金属箔とを含むフレキシブル金属箔積層板を提供する。 The present invention provides a flexible metal foil laminate comprising the above-mentioned multilayer polyimide film and an electrically conductive metal foil.

使用する金属箔としては特に限定されるものではないが、電子機器または電気機器の用途に本発明のフレキシブル金属箔積層板を用いる場合には、例えば、銅または銅合金、ステンレス鋼またはその合金、ニッケルまたはニッケル合金(42合金も含む)、アルミニウムまたはアルミニウム合金を含む金属箔であってもよい。 There are no particular limitations on the metal foil used, but when the flexible metal foil laminate of the present invention is used for electronic or electrical equipment, the metal foil may contain, for example, copper or copper alloy, stainless steel or its alloy, nickel or nickel alloy (including 42 alloy), aluminum or aluminum alloy.

一般的なフレキシブル金属箔積層板では、圧延銅箔、電解銅箔という銅箔が多く使用され、本発明でも好ましく使用可能である。また、これら金属箔の表面には、防錆層、耐熱層または接着層が塗布されていてもよい。 In general, flexible metal foil laminates often use copper foils such as rolled copper foil and electrolytic copper foil, and these can also be preferably used in the present invention. Furthermore, the surface of these metal foils may be coated with an anti-rust layer, a heat-resistant layer, or an adhesive layer.

本発明において、前記金属箔の厚さについては特に限定されるものではなく、その用途に応じて十分な機能を発揮できる厚さであれば良い。 In the present invention, there are no particular limitations on the thickness of the metal foil, as long as it is thick enough to perform its function adequately depending on the application.

本発明によるフレキシブル金属箔積層板は、前記多層ポリイミドフィルムの少なくとも一面に金属箔がラミネートされた構造であってもよい。 The flexible metal foil laminate according to the present invention may have a structure in which metal foil is laminated on at least one surface of the multilayer polyimide film.

以下、発明の具体的な製造例および実施例を通じて、発明の作用および効果をより詳述する。ただし、このような製造例および実施例は発明の例として提示されたものに過ぎず、これによって発明の権利範囲が限定されるのではない。 The functions and effects of the invention will be described in more detail below through specific manufacturing examples and examples of the invention. However, these manufacturing examples and examples are presented merely as examples of the invention and do not limit the scope of the invention.

製造例:多層ポリイミドフィルムの製造
ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド(BPDA)、ピロメリティックジアンハイドライド(PMDA)、オキシジフタリックアンハイドライド(ODPA)、ベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハイドライド(BTDA)、パラフェニレンジアミン(PPD)、m-トリジン(m-tolidine、MTD)、1,3-ビスアミノフェノキシベンゼン(TPE-R)およびオキシジアニリン(ODA)のうち二無水物酸とジアミン成分とを選択して重合反応させて、コア層の製造に使用される第1ポリアミック酸溶液を製造した。
ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド、ピロメリティックジアンハイドライド、オキシジフタリックアンハイドライド、ベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハイドライド、パラフェニレンジアミン、m-トリジン、1,3-ビスアミノフェノキシベンゼンおよびオキシジアニリンのうち二無水物酸とジアミン成分とを選択して重合反応させて、第1および第2スキン層の製造に使用される第2ポリアミック酸溶液を製造した。
共押出方式により、前記製造した第1ポリアミック酸溶液および第2ポリアミック酸溶液
を共押出し、イミド化した後、硬化させることにより、コア層を中心に第1スキン層および第2スキン層が形成された多層ポリイミドフィルムを製造した。
ただし、ここで、コア層は、第1ポリアミック酸溶液を共押出して製造し、第1スキン層および第2スキン層は、第2ポリアミック酸溶液を共押出して製造した。
前記ポリアミック酸の製造時、溶媒は、一般的に、アミド系溶媒として非プロトン性極性溶媒(Aprotic solvent)、例えば、N,N’-ジメチルホルムアミド、N,N’-ジメチルアセトアミド、N-メチル-ピロリドン、またはこれらの組み合わせを使用することができる。
前記二無水物酸とジアミン成分の投入形態は、粉末、塊および溶液形態で投入することができ、反応初期には粉末形態で投入して反応を進行させた後、以後には、重合粘度調整のために溶液形態で投入することが好ましい。
得られたポリアミック酸溶液は、イミド化触媒および脱水剤と混合されて支持体に塗布される。
使用される触媒の例としては3級アミン類(例えば、イソキノリン、β-ピコリン、ピリジンなど)があり、脱水剤の例としては無水酸があるが、これに限定されない。
Manufacturing Example: Manufacturing of Multilayer Polyimide Film <br/> A dianhydride acid and a diamine component were selected from biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), pyromellitic dianhydride (PMDA), oxydiphthalic anhydride (ODPA), benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA), paraphenylenediamine (PPD), m-tolidine (MTD), 1,3-bisaminophenoxybenzene (TPE-R), and oxydianiline (ODA), and were polymerized to prepare a first polyamic acid solution used to manufacture the core layer.
A dianhydride acid and a diamine component were selected from biphenyltetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, oxydiphthalic anhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, paraphenylenediamine, m-tolidine, 1,3-bisaminophenoxybenzene, and oxydianiline, and polymerized to produce a second polyamic acid solution to be used in the production of the first and second skin layers.
The first polyamic acid solution and the second polyamic acid solution prepared above were co-extruded by a co-extrusion method, imidized, and then cured to produce a multilayer polyimide film having a core layer and a first skin layer and a second skin layer formed therearound.
Here, however, the core layer was produced by co-extruding a first polyamic acid solution, and the first and second skin layers were produced by co-extruding a second polyamic acid solution.
In preparing the polyamic acid, the solvent may be an aprotic polar solvent, typically an amide-based solvent, such as N,N'-dimethylformamide, N,N'-dimethylacetamide, N-methyl-pyrrolidone, or a combination thereof.
The dianhydride acid and diamine components may be added in the form of powder, lump, or solution. It is preferred that they are added in the form of powder at the beginning of the reaction to allow the reaction to proceed, and then added in the form of a solution to adjust the polymerization viscosity.
The resulting polyamic acid solution is mixed with an imidization catalyst and a dehydrating agent and then applied to a support.
Examples of catalysts that can be used include tertiary amines (for example, isoquinoline, β-picoline, pyridine, etc.), and examples of dehydrating agents include, but are not limited to, acid anhydrides.

実施例および比較例
下記表1(コア層の成分および組成比)および下記表2(スキン層の成分および組成比)に示しているように、実施例1~6および比較例1~9におけるコア層およびスキン層の二無水物酸成分および前記ジアミン成分の含有量を調整して、製造例により多層ポリイミドフィルムを製造した。
実施例1~6および比較例9の第1スキン層および第2スキン層の組成および成分比は同一にし、厚さも同一に製造した。
ただし、比較例1~8は、単一層ポリイミドフィルムに相当し、コア層のみを製造した。
Examples and Comparative Examples As shown in Table 1 (core layer components and composition ratios) and Table 2 (skin layer components and composition ratios), the contents of the dianhydride acid component and the diamine component in the core layer and skin layer in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 9 were adjusted to produce multilayer polyimide films according to the production examples.
The first and second skin layers of Examples 1 to 6 and Comparative Example 9 were manufactured to have the same composition and component ratio, and also to the same thickness.
However, Comparative Examples 1 to 8 correspond to single-layer polyimide films, and only the core layer was produced.

製造されたポリイミドフィルムの幅方向の熱膨張係数(coefficient of thermal expansion、CTE)、幅方向の吸湿膨張係数(coefficient of hydroscopic expansion、CHE)および接着力を測定して、下記表3に示した。 The coefficient of thermal expansion (CTE), coefficient of hydroscopic expansion (CHE), and adhesive strength of the produced polyimide film in the width direction were measured and are shown in Table 3 below.

(1)熱膨張係数の測定
熱膨張係数(CTE)は、TA社の熱機械分析機(thermomechanical analyzer)Q400モデルを用い、製造された多層ポリイミドフィルムを幅4mm、長さ20mmに切断した後、窒素雰囲気下、0.05Nの張力を加えながら、10℃/minの速度で30℃から400℃まで昇温後、再度10℃/minの速度で冷却しながら50℃から200℃の区間の傾きを測定した。
(1) Measurement of the coefficient of thermal expansion The coefficient of thermal expansion (CTE) was measured using a TA Thermomechanical Analyzer (Model Q400). The manufactured multilayer polyimide film was cut into a width of 4 mm and a length of 20 mm. Under a nitrogen atmosphere, the film was heated from 30°C to 400°C at a rate of 10°C/min while applying a tension of 0.05 N. Then, the film was cooled again at a rate of 10°C/min, and the slope of the curve from 50°C to 200°C was measured.

(2)吸湿膨張係数の測定
吸湿膨張係数(CHE)は、製造された多層ポリイミドフィルムが緩くならないように最低限の加重をかけた状態(25mm×150mmのサンプルに対して、約1g)で、25℃で湿度を3%RHに調整し、完全に飽和するまで吸湿させて寸法を計測し、その後、90%RHに湿度を調整して、同じく飽和吸湿させた後、寸法を計測し、両者の結果から寸法変化率を測定した。
(2) Measurement of the coefficient of moisture expansion (CHE). The coefficient of moisture expansion (CHE) was measured by adjusting the humidity to 3% RH at 25°C under a minimal load (approximately 1 g for a 25 mm x 150 mm sample) to prevent the multilayer polyimide film from becoming loose. The film was then allowed to absorb moisture until it was fully saturated, and the dimensions were measured. The humidity was then adjusted to 90% RH, and the film was allowed to absorb moisture until it was fully saturated. The dimensions were then measured, and the dimensional change rate was calculated from both results.

(3)接着力の測定
製造された多層ポリイミドフィルムにスパッタにより電気メッキ電極用銅シード(seed)層として約80-300nmの厚さを有する銅薄膜層を蒸着し、電気メッキにより約8-9μmの厚さの銅導電層を形成して、COF用フレキシブル金属箔積層板を作製した。
前記フレキシブル金属箔積層板を湿式エッチング工法で2mmの幅のロッド状にエッチング後、Universal Testing Machineで90゜剥離試験を実施して、20mm/minの速度で引くことで接着力を測定した。
(3) Adhesion Measurement <br/> A copper thin film layer with a thickness of approximately 80-300 nm was deposited on the prepared multilayer polyimide film by sputtering as a copper seed layer for electroplating electrodes, and a copper conductive layer with a thickness of approximately 8-9 μm was formed by electroplating to prepare a flexible metal foil laminate for COF.
The flexible metal foil laminate was etched into a rod shape with a width of 2 mm by wet etching, and then subjected to a 90° peel test using a Universal Testing Machine to measure adhesive strength by pulling at a speed of 20 mm/min.

測定の結果、実施例1~6の多層ポリイミドフィルムは、幅方向の熱膨張係数が2.0ppm/℃以上であり、6.0ppm/℃以下であり、幅方向の吸湿膨張係数が3.0ppm/RH%以上であり、6.0ppm/RH%以下であり、銅箔との接着力が0.8kgf/cm以上である特性を示した。
これに対し、実施例と成分および/または組成比を異ならせ、1層のみからなる比較例1~8のポリイミドフィルムおよび比較例9の多層ポリイミドフィルムは、熱膨張係数、吸湿膨張係数および銅箔との接着力のいずれか1つの特性以上で、本願の多層ポリイミドフィルムが要求する特性を満足させることができなかった。
したがって、本願の適切な範囲内で製造された実施例1~6の多層ポリイミドフィルムは、熱的寸法安定性、水分に対する寸法安定性および銅箔との接着力がすべて優れていたが、本願の適切な範囲を超える場合、本願の多層ポリイミドフィルムの熱的寸法安定性、水分に対する寸法安定性および銅箔との接着力をすべて満足させにくいことを確認することができた。
すなわち、優れた寸法安定性および銅箔との接着力を有しながらも、応用分野に適用可能な多様な条件をすべて満足させる多層ポリイミドフィルムは、本願の適切な範囲内で製造された多層ポリイミドフィルムであることを確認することができた。
As a result of the measurements, the multilayer polyimide films of Examples 1 to 6 exhibited the following properties: a thermal expansion coefficient in the width direction of 2.0 ppm/°C or more and 6.0 ppm/°C or less, a hygroscopic expansion coefficient in the width direction of 3.0 ppm/RH% or more and 6.0 ppm/RH% or less, and an adhesive strength to copper foil of 0.8 kgf/cm or more.
In contrast, the polyimide films of Comparative Examples 1 to 8 and the multilayer polyimide film of Comparative Example 9, which were composed of only one layer and had different components and/or composition ratios from those of the Examples, were unable to satisfy the properties required of the multilayer polyimide film of the present invention in at least one of the thermal expansion coefficient, hygroscopic expansion coefficient, and adhesive strength to copper foil.
Therefore, the multilayer polyimide films of Examples 1 to 6, which were produced within the appropriate range of the present invention, were all excellent in thermal dimensional stability, dimensional stability against moisture, and adhesive strength to copper foil. However, it was confirmed that when the appropriate range of the present invention is exceeded, it is difficult for the multilayer polyimide films of the present invention to satisfy all of the thermal dimensional stability, dimensional stability against moisture, and adhesive strength to copper foil.
In other words, it was confirmed that the multilayer polyimide film that has excellent dimensional stability and adhesion to copper foil and satisfies all of the various conditions applicable to various fields of application is the multilayer polyimide film manufactured within the appropriate range of the present invention.

本発明である多層ポリイミドフィルムおよび多層ポリイミドフィルムの製造方法の実施例は、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する当業者が本発明を容易に実施できるようにする好ましい実施例に過ぎず、上述した実施例に限定されるものではないので、これによって本発明の権利範囲が限定されるのではない。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、添付した特許請求の範囲の技術的思想によって定められなければならない。また、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で様々な置換、変形および変更が可能であることが当業者にとって明らかであり、当業者によって容易に変更可能な部分も本発明の権利範囲に含まれることは自明である。 The examples of the multilayer polyimide film and method for manufacturing a multilayer polyimide film of the present invention are merely preferred examples that will enable those skilled in the art with ordinary skill in the art to easily practice the present invention. The present invention is not limited to the above-mentioned examples, and the scope of the present invention is not limited thereby. Therefore, the true technical scope of protection of the present invention must be determined by the technical spirit of the appended claims. Furthermore, it is obvious to those skilled in the art that various substitutions, modifications, and alterations are possible within the scope of the present invention, and it is self-evident that parts that can be easily modified by those skilled in the art are also included in the scope of the present invention.

本発明は、二無水物酸およびジアミン成分の組成比、反応比などが調整されたポリイミドフィルムを提供することにより、熱的寸法安定性と水分に対する寸法安定性だけでなく、接着力がすべて優れたポリイミドフィルムを提供する。
このようなポリイミドフィルムは、優れた寸法安定性と接着力のポリイミドフィルムが要求される多様な分野、例えば、メタライジング法により製造されるフレキシブル金属箔積層板またはこのようなフレキシブル金属箔積層板を含む電子部品に適用可能である。
The present invention provides a polyimide film in which the composition ratio and reaction ratio of the dianhydride and diamine components are adjusted, thereby providing a polyimide film that has excellent thermal dimensional stability, moisture dimensional stability, and adhesive strength.
Such polyimide films are applicable to various fields requiring polyimide films with excellent dimensional stability and adhesive strength, such as flexible metal foil laminates manufactured by a metallizing method or electronic components including such flexible metal foil laminates.

Claims (4)

コア層の一外側面および前記外側面の反対面にそれぞれ形成された第1スキン層および第2スキン層を含み、
前記コア層は、ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド(BPDA)およびピロメリティックジアンハイドライド(PMDA)を含む二無水物酸成分と、
パラフェニレンジアミン(PPD)およびm-トリジン(m-tolidine)を含むジアミン成分とを含むポリアミック酸溶液をイミド化反応させて得られ、
前記コア層は、前記二無水物酸成分の総含有量100モル%を基準として、前記ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライドの含有量が40モル%以上60モル%以下であり、前記ピロメリティックジアンハイドライドの含有量が40モル%以上60モル%以下であり、前記ジアミン成分の総含有量100モル%を基準として、前記パラフェニレンジアミンの含有量が50モル%以上70モル%以下であり、前記m-トリジンの含有量が30モル%以上50モル%以下であり、
前記第1スキン層および前記第2スキン層からなるグループより選択されたいずれか1つ以上は、ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド、ピロメリティックジアンハイドライド、オキシジフタリックアンハイドライド(ODPA)およびベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハイドライド(BTDA)からなるグループより選択された2種以上を含む二無水物酸成分と、
オキシジアニリン(ODA)および1,3-ビスアミノフェノキシベンゼン(TPE-R)からなるグループより選択されたいずれか1つ以上を含むジアミン成分とを含むポリアミック酸溶液をイミド化反応させて得られ、
前記第1スキン層および前記第2スキン層のいずれか1つ以上は、前記二無水物酸成分の総含有量100モル%を基準として、前記ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライドの含有量が15モル%以上85モル%以下であり、前記ピロメリティックジアンハイドライドの含有量が15モル%以上60モル%以下であり、前記オキシジフタリックアンハイドライドの含有量が35モル%以下であり、前記ベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハイドライドの含有量が35モル%以下であり、前記ジアミン成分の総含
有量100モル%を基準として、前記オキシジアニリンの含有量が20モル%以上100モル%以下であり、および1,3-ビスアミノフェノキシベンゼンの含有量が80モル%以下であり、
銅箔との接着力が0.8kgf/cm以上である、
多層ポリイミドフィルム。
a first skin layer and a second skin layer formed on one outer surface of the core layer and on the opposite surface of the outer surface, respectively;
The core layer comprises a dianhydride acid component including biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) and pyromellitic dianhydride (PMDA);
It is obtained by subjecting a polyamic acid solution containing a diamine component including paraphenylenediamine (PPD) and m-tolidine to an imidization reaction,
the core layer has, based on 100 mol% of the total content of the dianhydride acid components, a content of the biphenyltetracarboxylic dianhydride of 40 mol% or more and 60 mol% or less, a content of the pyromellitic dianhydride of 40 mol% or more and 60 mol% or less, based on 100 mol% of the total content of the diamine components, a content of the paraphenylenediamine of 50 mol% or more and 70 mol% or less, and a content of the m-tolidine of 30 mol% or more and 50 mol% or less,
At least one selected from the group consisting of the first skin layer and the second skin layer comprises a dianhydride acid component including at least two selected from the group consisting of biphenyltetracarboxylic dianhydride, pyromelic dianhydride, oxydiphthalic anhydride (ODPA), and benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA);
and a diamine component including at least one selected from the group consisting of oxydianiline (ODA) and 1,3-bisaminophenoxybenzene (TPE-R), and
In one or more of the first skin layer and the second skin layer, the content of the biphenyltetracarboxylic dianhydride is 15 mol% or more and 85 mol% or less, the content of the pyromellitic dianhydride is 15 mol% or more and 60 mol% or less, the content of the oxydiphthalic anhydride is 35 mol% or less, and the content of the benzophenonetetracarboxylic dianhydride is 35 mol% or less, based on 100 mol% of the total content of the dianhydride acid components.
the content of the oxydianiline is 20 mol % or more and 100 mol % or less, and the content of the 1,3-bisaminophenoxybenzene is 80 mol % or less, based on 100 mol % of the total content;
The adhesive strength to copper foil is 0.8 kgf/cm or more.
Multilayer polyimide film.
幅方向(Traverse direction、TD)の熱膨張係数が2.0ppm/℃以上であり、6.0ppm/℃以下であり、
幅方向(Traverse direction、TD)の吸湿膨張係数が3.0ppm/RH%以上であり、6.0ppm/RH%以下である、
請求項1に記載の多層ポリイミドフィルム。
a thermal expansion coefficient in the transverse direction (TD) of 2.0 ppm/°C or more and 6.0 ppm/°C or less;
The moisture expansion coefficient in the transverse direction (TD) is 3.0 ppm/RH% or more and 6.0 ppm/RH% or less.
The multilayer polyimide film according to claim 1 .
請求項1又は2に記載の多層ポリイミドフィルムと、電気伝導性の金属箔とを含む、
フレキシブル金属箔積層板。
A multilayer polyimide film comprising the multilayer polyimide film according to claim 1 or 2 and an electrically conductive metal foil.
Flexible metal foil laminate.
請求項に記載のフレキシブル金属箔積層板を含む、
電子部品。
The flexible metal foil laminate of claim 3 .
Electronic components.
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