JP7752362B2 - 搬送システム、搬送方法、経路情報作成システムならびに経路情報作成方法 - Google Patents

Description

本開示は、製造装置が設置されたフロアにおいて被搬送物を搬送する搬送システム、搬送方法、経路情報作成システムならびに経路情報作成方法に関する。

基板に部品を装着する部品装着装置に対して部品を供給する部品供給装置として、トレイに収容された部品を供給するトレイフィーダが広く用いられている。また、部品装着装置などの製造装置が設置されたフロアの省人化および無人化の取り組みとして、製造装置で使用される部材（被搬送物）を自動で搬送および供給する技術が開発されている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１には、部品を収容した複数のトレイを載置して保持するカートと無人搬送車とを連結し、無人搬送車でカートを製造装置の前まで移動させて、カートに保持されたトレイを製造装置に供給することが開示されている。

特開２０１９－９１７７０号公報

しかしながら、特許文献１を含む従来技術では、無人搬送車によって被搬送物を製造装置に供給することができるものの、フロアの状態に起因して、次のような問題点があった。すなわち、無人搬送車が走行する搬送経路が上下に波打つ地点を通過する、または、ネジおよびゴミなどの落下物またはフロアの継ぎ目を乗り越える際に、無人搬搬送車またはカートが跳ねて、トレイから部品がこぼれ落ちることがあり、さらなる改善の余地があった。

本開示は、製造装置が設置されたフロアにおいて、被搬送物を正常な状態で搬送することができる搬送システム、搬送方法、経路情報作成システムならびに経路情報作成方法を提供することを目的とする。

本開示の搬送システムは、パレットに装着されているトレイから部品を取り出して基板に装着する１以上の部品装着装置が設置されたフロアにおいて用いられ、前記トレイを装着した複数の前記パレットを収納したトレイマガジンを含む被搬送物を搬送する搬送装置と、搬送経路に関する経路情報に基づいて、前記搬送装置による搬送作業を制御する制御システムと、を備え、前記経路情報は、前記搬送装置の走行時に前記フロアの状態に起因して生じる加速度であって前記搬送装置が第１速度で走行した際に所定の閾値を超える加速度が計測された注意地点を含む区間の情報を有し、前記制御システムは、前記搬送装置が前記区間を走行するときは前記第１速度よりも遅い第２速度で走行させ、前記第２速度は、前記区間において前記搬送装置が走行した際に、前記加速度が前記所定の閾値を超えない速度であり、前記所定の閾値は、前記搬送装置による前記トレイマガジンの搬送時に、前記トレイから部品が飛び出す可能性のある加速度に基づいて設定されている。

本開示の搬送方法は、パレットに装着されているトレイから部品を取り出して基板に装着する１以上の部品装着装置が設置されたフロアにおいて、前記トレイを装着した複数の前記パレットを収納したトレイマガジンを含む被搬送物を搬送装置により搬送する搬送方法であって、前記搬送装置の走行時に前記フロアの状態に起因して生じる加速度であって前記搬送装置が第１速度で走行した際に所定の閾値を超える加速度が計測された注意地点を含む区間の情報を有する経路情報に基づいて前記搬送装置による搬送作業を制御し、前記搬送装置が前記区間を走行するときは前記第１速度よりも遅い第２速度で走行させ、前記第２速度は、前記区間において前記搬送装置が走行した際に、前記加速度が前記所定の閾値を超えない速度であり、前記所定の閾値は、前記搬送装置による前記トレイマガジンの搬送時に、前記トレイから部品が飛び出す可能性のある加速度に基づいて設定されている。

本開示の経路情報作成システムは、パレットに装着されているトレイから部品を取り出して基板に装着する１以上の部品装着装置が設置されたフロアにおいて用いられ、前記トレイを装着した複数の前記パレットを収納したトレイマガジンを含む被搬送物を搬送する搬送装置と、前記搬送装置または前記被搬送物に設置され、加速度を計測する加速度計と、前記加速度計を設置した状態で、前記搬送装置に前記フロアを第１速度で走行させることで取得された前記フロアにおける前記加速度に関する加速度情報に基づいて、前記トレイから部品が飛び出す可能性がある注意地点を抽出する注意地点抽出部と、前記注意地点を含む区間とその区間における前記搬送装置の走行速度に関する速度情報を含む経路情報を作成する経路情報作成部と、を備え、前記速度情報は前記第１速度よりも遅い第２速度であり、前記第２速度は、前記区間において前記搬送装置が走行した際に、前記加速度が所定の閾値を超えない速度であり、前記所定の閾値は、前記搬送装置による前記トレイマガジンの搬送時に、前記トレイから部品が飛び出す可能性のある加速度に基づいて設定されている。

本開示の経路情報作成方法は、パレットに装着されているトレイから部品を取り出して基板に装着する１以上の部品装着装置が設置されたフロアにおいて、前記トレイを装着した複数の前記パレットを収納したトレイマガジンを含む被搬送物を搬送する搬送装置の搬送経路に関する経路情報を作成する経路情報作成方法であって、加速度を計測する加速度計を前記搬送装置または前記被搬送物に設置した状態で、前記搬送装置に前記フロアを第１速度で走行させることで、前記フロアにおける前記加速度に関する加速度情報を取得し、前記加速度情報に基づいて、前記トレイから部品が飛び出す可能性がある注意地点を抽出し、前記抽出された注意地点の情報に基づいて、前記注意地点を含む区間とその区間における前記搬送経路における前記搬送装置の走行速度に関する速度情報を含む前記経路情報を作成し、前記速度情報は前記第１速度よりも遅い第２速度であり、前記第２速度は、前記区間において前記搬送装置が走行した際に、前記加速度が所定の閾値を超えない速度であり、前記所定の閾値は、前記搬送装置による前記トレイマガジンの搬送時に、前記トレイから部品が飛び出す可能性のある加速度に基づいて設定されている。

本開示によれば、製造装置が設置されたフロアにおいて、被搬送物を正常な状態で搬送することができる。

図１は、本開示の一実施の形態の部品装着システムを含むフロアの構成説明図である。 図２は、本開示の一実施の形態の部品装着システムが備える部品装着ラインを含むフロアの構成説明図である。 図３は、本開示の一実施の形態の部品供給装置と保管装置が装着された部品装着装置と搬送装置の構成説明図である。 図４Ａは、本開示の一実施の形態のトレイマガジンの構成説明図である。 図４Ｂは、本開示の一実施の形態の部品を収容するトレイの部分断面図である。 図４Ｃは、本開示の一実施の形態の部品を収容するトレイの部分断面図である。 図５Ａは、本開示の一実施の形態の搬送システムが備える管理コンピュータの構成を示すブロック図である。 図５Ｂは、本開示の一実施の形態の搬送システムが備える搬送装置の構成を示すブロック図である。 図６は、本開示の一実施の形態の経路情報作成を説明する図である。 図７は、本開示の一実施の形態の搬送システムで使用される被搬送物情報の例を示す図である。 図８Ａは、本開示の一実施の形態の搬送システムで使用される加速度情報の例を示す図である。 図８Ｂは、本開示の一実施の形態の搬送システムで使用される減速区間の例を示す図である。 図８Ｃは、本開示の一実施の形態の搬送システムで使用される減速区間の例を示す図である。 図９は、本開示の一実施の形態の部品装着ラインが設置されたフロアに設定された搬送経路の例を示す図である。 図１０Ａは、本開示の一実施の形態の搬送システムで使用される経路情報の例を示す図である。 図１０Ｂは、本開示の一実施の形態の搬送システムで使用される経路情報の例を示す図である。 図１１Ａは、本開示の一実施の形態の搬送システムで使用される経路情報の他の例を示す図である。 図１１Ｂは、本開示の一実施の形態の搬送システムで使用される経路情報の他の例を示す図である。 図１２は、本開示の一実施の形態の搬送方法のフロー図である。 図１３は、本開示の一実施の形態の経路情報作成方法のフロー図である。

以下に図面を用いて、本開示の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成および形状等は、説明のための例示であって、部品装着システム、管理コンピュータ、部品装着ライン、部品装着装置、部品供給装置、保管装置または搬送装置の仕様に応じ、適宜変更が可能である。

以下では、全ての図面において、対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図１、および後述する一部では、水平面内で互いに直交する２軸方向として、基板搬送方向のＸ軸（図１における左右方向）、基板搬送方向に直交するＹ軸（図１における左右方向）が示される。また、図２、および後述する一部では、水平面と直交する高さ方向としてＺ軸（図２における上下方向）が示される。

まず図１を参照して、部品装着システム１の構成を説明する。図１は、本実施の形態の部品装着システム１を含むフロアＦの構成説明図である。図２は、本実施の形態の部品装着システム１が備える部品装着ラインＬ１～Ｌ３を含むフロアＦの構成説明図である。

部品装着システム１は、フロアＦに設置された３本の部品装着ラインＬ１～Ｌ３が、有線または無線の通信ネットワーク２によって接続され、管理コンピュータ３によって管理される構成となっている。各部品装着ラインＬ１～Ｌ３は、後述するように、部品装着装置を含む複数の製造装置を連結して構成され、基板に部品を装着した実装基板を生産する機能を有している。なお、部品装着システム１が備える部品装着ラインＬ１～Ｌ３は、３本である必要はなく、１本、２本または４本以上でも良い。

フロアＦには、部品装着ラインＬ１～Ｌ３が備える部品装着装置に補給される部品および印刷装置に補給されるクリームはんだなどの部材が収納される収納棚４が設置されている。部品は、トレイの上に載置された状態またはキャリアテープに保持されてリールに巻回収納された状態などで、収納棚４の所定の保管棚に保管されている。収納棚４に収納されている部品の位置は、保管される部品名、トレイ番号またはリール番号などに紐付けられて、管理コンピュータ３によって管理されている。

図１および図２において、フロアＦの天井Ｆａには、複数（ここでは８台）の撮影装置Ｓ１～Ｓ８が設置されている。撮影装置Ｓ１～Ｓ８は、それぞれ通信ネットワーク２によって管理コンピュータ３と接続されている。撮影装置Ｓ１～Ｓ８は、カメラを有する撮影部を備えており、撮影部によってフロアＦで作業する作業者Ｗおよび搬送装置Ｑを撮影し、撮影データを管理コンピュータ３に送信する。撮影装置Ｓ１～Ｓ８は、いずれかの撮影装置Ｓ１～Ｓ８によって、フロアＦで作業する作業者Ｗおよび搬送装置Ｑが撮影できるように、台数および設置位置が設定される。

図１において、フロアＦで作業する作業者Ｗは、情報端末５を携帯している。情報端末５は、スマートフォンまたはタブレットＰＣ（パーソナルコンピュータ）などであり、管理コンピュータ３が備える管理側通信部３ａと無線で通信して情報の授受を行う端末側通信部６、および表示機能と入力機能とを有するタッチパネル７を備えている。情報端末５は、管理コンピュータ３から受信した各種情報を表示処理してタッチパネル７に表示する。また、情報端末５は、タッチパネル７から入力された各種情報などを管理コンピュータ３に送信する。

図１において、フロアＦには、部品（トレイおよびリール）ならびに部材などの被搬送物を搬送し、製造装置に補給する搬送装置Ｑ（搬送ロボット）が稼働している。

図３は、本実施の形態の部品供給装置２１と保管装置２２が装着された部品装着装置Ｍ５と搬送装置Ｑの構成説明図である。図１および図３に示す搬送装置Ｑは、被搬送物を搭載する被牽引車Ｃと、被牽引車Ｃを牽引する自動搬送車Ｖとを備えて構成されている。

被牽引車Ｃは、搬送する被搬送物に対応して異なる種類が用意されている。自動搬送車Ｖは、管理コンピュータ３から送信される情報に従って、被牽引車Ｃを牽引してフロアＦ内を移動する。

自動搬送車Ｖの先頭部には、距離計測装置Ｌが設置されている。距離計測装置Ｌは、ＬｉＤＡＲ（Ｌｉｇｈｔ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ Ａｎｄ Ｒａｎｇｉｎｇ）またはステレオカメラなど、物体までの距離を測定可能なセンサを備えている。また、被牽引車Ｃには、３軸方向（ＸＹＺ軸）の加速度を計測する加速度センサまたは６軸方向の加速度を計測するジャイロセンサなどを備える加速度計Ａが設置されている。なお、加速度計Ａは、被牽引車Ｃに搭載される被搬送物に設置するようにしてもよい。

距離計測装置Ｌと加速度計Ａとによる計測結果は、無線により管理コンピュータ３に送信される。なお、距離計測装置Ｌと加速度計Ａとによる計測結果を、計測時間と関連付けて、搬送装置Ｑが備える記憶装置（ロガー）に一時的に記憶し、計測後に管理コンピュータ３に計測結果を転送するようにしてもよい。

なお、図１および図３に示す搬送装置Ｑは、自動搬送車Ｖが被牽引車Ｃを牽引するトレーラタイプであったが、搬送装置Ｑは、自動搬送車Ｖと被牽引車Ｃとが一体構成されたトラックタイプであってもよい。このように、製造装置が設置されたフロアＦにおいて用いられる被搬送物を搬送する搬送装置Ｑには、物体までの距離を測定可能なセンサを備えた距離計測装置Ｌと、加速度を計測する加速度計Ａとが設置されている。

次に、図２を参照して、部品装着ラインＬ１～Ｌ３の詳細な構成を説明する。部品装着ラインＬ１～Ｌ３は、同様の構成をしており、以下、部品装着ラインＬ３について説明する。

図２は、部品装着ラインＬ３が設置されたフロアＦ内をフロント側（図１における下方側）から見た概略図である。部品装着ラインＬ３には、基板搬送方向（Ｘ軸）の上流（紙面左側）から下流（紙面右側）に向けて、基板供給装置Ｍ１、印刷装置Ｍ２、印刷検査装置Ｍ３、部品装着装置Ｍ４，Ｍ５、装着検査装置Ｍ６、リフロー装置Ｍ７、基板回収装置Ｍ８などの製造装置が直列に連結されている。

基板供給装置Ｍ１は、収納部に収納する複数の基板を下流の装置に供給する。印刷装置Ｍ２は、スクリーンマスクを介して基板にクリームはんだを印刷する。印刷検査装置Ｍ３は、基板に印刷されたクリームはんだの印刷状態を検査する。部品装着装置Ｍ４，Ｍ５は、基板に部品を装着する。装着検査装置Ｍ６は、基板に装着された部品の装着状態を検査する。リフロー装置Ｍ７は、基板を加熱して、基板の電極部と部品の端子とをはんだ接合させる。基板回収装置Ｍ８は、リフロー後の基板を収納部に回収する。このように、フロアＦには、基板に対して所定の作業を行う１以上の製造装置が設置されている。

次に、図３を参照して、部品装着装置Ｍ５の詳細について説明する。図３は、部品装着装置Ｍ５をリア側（図１における上方側）から見た概略図である。部品装着装置Ｍ５のフロント側とリア側の両側（Ｙ軸の前後方向）には、それぞれ部品供給部１１が設置されている。リア側の部品供給部１１には、複数のテープフィーダ１２がＸ軸に沿って並列に装着された台車１３が取り付けられている。

台車１３には、部品を格納したキャリアテープ１４を巻回状態で収納するリール１５が保持されている。キャリアテープ１４は、ベーステープに形成された複数のポケットにそれぞれ部品を格納し、カバーテープでポケットを封止した構成をしている。

リール１５から引き出されたキャリアテープ１４は、テープフィーダ１２に装着される。テープフィーダ１２は、装着されたキャリアテープ１４を内部でピッチ送りしながら、カバーテープを剥離して、ポケットに格納された部品を部品装着装置Ｍ５に供給する。部品補給の際には、テープフィーダ１２に新たなキャリアテープ１４が装着される、または、部品供給中のキャリアテープ１４の後端に新たなキャリアテープ１４が継合される。

補給される部品を格納したキャリアテープ１４（被搬送物）は、リール１５に収納された状態で、搬送装置Ｑによって搬送される。以下、リール１５に収納されたキャリアテープ１４に格納され、テープフィーダ１２によって部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に供給される部品を「テープ部品」と称する。

図３において、リア側の部品供給部１１には、パレット１６の上面に保持されたトレイ１７に収容された部品を部品装着装置Ｍ５に供給する部品供給装置２１が取り付けられている。また、部品供給装置２１のリア側には、部品供給装置２１へとパレット１６を供給する保管装置２２が取り付けられている。保管装置２２には、部品装着装置Ｍ５に供給する部品が収容されたトレイ１７を保持する複数のパレット１６が保管されている。

保管装置２２に保管されるパレット１６は、複数のパレット収容部１９（図４Ａ参照）を有するトレイマガジン２０に収納（保管）された状態で、保管装置２２に補給され、また回収される。保管装置２２のリア側には、トレイマガジン２０を交換するためのマガジン交換用窓２３が配置されている。

部品装着装置Ｍ５に部品を供給して空となったトレイ１７を保持するパレット１６を収容するトレイマガジン２０（以下、「回収マガジン」と称する）は、マガジン交換用窓２３から取り出される。そして、部品を収容するトレイ１７を保持するパレット１６を収容するトレイマガジン２０（以下、「補給マガジン」と称する）は、マガジン交換用窓２３から保管装置２２に補給される。補給マガジンは、搬送装置Ｑによって搬送される被搬送物である。

トレイマガジン２０の交換は、作業者Ｗにより、または、自動補給装置５６（図５Ｂ参照）を備えた搬送装置Ｑにより行われる。以下、パレット１６に保持されたトレイ１７に格納され、部品供給装置２１によって部品装着装置Ｍ４，Ｍ５に供給される部品を「トレイ部品」と称する。

図３において、保管装置２２のリア側には、ドッキング部２４が配置されている。補給マガジンに収容された状態で搬送されるパレット１６を保管装置２２に自動で補給する自動補給装置５６を有する搬送装置Ｑは、ドッキング部２４に結合された状態で、マガジン交換用窓２３を介して回収マガジンを回収し、補給マガジンを保管装置２２に補給する。このように、パレット１６は、トレイマガジン２０に保管された状態で搬送装置Ｑにより保管装置２２まで搬送される。

保管装置２２は、パレット１６を保管するトレイマガジン２０を収納する。そして、保管装置２２は、トレイ１７を保持するパレット１６を収納するパレット収納部１９を有し、部品供給装置２１へとパレット１６を供給する。

図４Ａは、本実施の形態のトレイマガジン２０の構成説明図である。図４Ｂおよび図４Ｃは、本実施の形態の部品を収容するトレイ１７の部分断面図である。図４Ａにおいて、トレイ１７の上面には、トレイ部品を収容する複数の収容部１８が形成されている。トレイ１７は、収容する部品のサイズおよび形状に対応して収容部１８が形成された複数の種類が用意されている。例えば、図４Ｂに示す、大型の部品Ｐ１を収容するトレイ１７Ａには、大きくて深い収容部１８Ａが形成されている。また、図４Ｃに示す、小型の部品Ｐ２を収容するトレイ１７Ｂには、小さくて浅い収容部１８Ｂが形成されている。

次に、図５Ａおよび図５Ｂを参照して、部品装着システム１（搬送システム）が備える管理コンピュータ３（制御システム）と搬送装置Ｑの制御系の構成のうち、フロアＦにおいて被搬送物を搬送する機能について説明する。図５Ａは、本実施の形態の搬送システムが備える管理コンピュータ３の構成を示すブロック図である。図５Ｂは、本実施の形態の搬送システムが備える搬送装置Ｑの構成を示すブロック図である。

図５Ａにおいて、管理コンピュータ３は、管理処理部３０、管理記憶部３６、入力部４３、表示部４４、通信部４５および管理側通信部３ａを備えている。管理処理部３０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などのデータ処理装置であり、情報取得部３１、注意地点抽出部３２、経路情報作成部３３、搬送制御部３４および画像解析部３５を備えている。管理記憶部３６は記憶装置であり、フロア情報３７、被搬送物情報３８、地図情報３９、加速度情報４０、注意地点情報４１および経路情報４２などが記憶されている。

入力部４３は、キーボード、タッチパネルまたはマウスなどの入力装置であり、操作コマンドおよびデータ入力時などに用いられる。表示部４４は、液晶パネルなどの表示装置であり、管理記憶部３６が記憶する各種データを表示する他、入力部４３による操作のための操作画面または入力画面などの各種情報を表示する。通信部４５は、通信インターフェースであり、通信ネットワーク２を介して部品装着ラインＬ１～Ｌ３を構成する製造装置との間でデータの送受信を行う。

管理側通信部３ａは、情報端末５の端末側通信部６および搬送装置Ｑの搬送側通信部５７と、無線で各種情報を送受信する。なお、管理コンピュータ３は、ひとつのコンピュータで構成する必要はなく、複数のデバイスで構成してもよい。例えば、記憶部および処理部の全てもしくは一部をサーバを介してクラウドに備えてもよい。

図５Ｂにおいて、搬送装置Ｑは、搬送制御装置５０、走行装置５５、自動補給装置５６、搬送側通信部５７、距離計測装置Ｌおよび加速度計Ａを備えている。搬送制御装置５０は、走行処理部５１、補給処理部５２および搬送記憶部５３を備えている。

搬送記憶部５３は、記憶装置であり、搬送経路情報５４などが記憶されている。搬送側通信部５７は、管理コンピュータ３の管理側通信部３ａと無線で各種情報を送受信する。搬送側通信部５７は、管理コンピュータ３から後述する経路情報４２を受信して、搬送経路情報５４として搬送記憶部５３に記憶させる。また、搬送側通信部５７は、距離計測装置Ｌおよび加速度計Ａの計測データを管理コンピュータ３に送信する。

走行装置５５は、自動搬送車Ｖの車輪を駆動するモータおよび車輪の方向を変更する機構などを備えている。走行処理部５１は、搬送記憶部５３に記憶された搬送経路情報５４または管理コンピュータ３からの指示に従い、走行装置５５を制御して、搬送装置ＱをフロアＦ内の指定された搬送経路を指定された速度（最大速度）で走行させる。

自動補給装置５６は、トレイマガジン２０を昇降させる機構ならびにトレイマガジン２０を保管装置２２に補給および回収する機構などを備えている。補給処理部５２は、管理コンピュータ３からの指示に従い、自動補給装置５６を制御して、搬送したトレイマガジン２０を保管装置２２に補給させる。

図６は、本実施の形態の経路情報作成を説明する図である。図５Ａにおいて、フロア情報３７には、フロアＦに配置された部品装着ラインＬ１～Ｌ３の製造装置の位置（座標）、フロアＦに設定されている搬送経路の情報（座標）および搬送経路に設けられた区間の最高速度などの情報が含まれている。情報取得部３１は、距離計測装置Ｌと加速度計Ａとを装着した搬送装置Ｑに、フロアＦ内に設定された搬送経路を周回する巡回経路Ｊ（図６参照）を走行させる。そして、情報取得部３１は、搬送装置Ｑが走行中に距離計測装置Ｌにより計測した周辺の物体までの距離の計測データを取得して、地図情報３９として管理記憶部３６に記憶させる。

また、情報取得部３１は、搬送装置Ｑが走行中に加速度計Ａにより計測した加速度の計測データを取得して、加速度情報４０として管理記憶部３６に記憶させる。情報取得部３１は、搬送装置Ｑの走行速度を変えながら、巡回経路Ｊを周回させ、地図情報３９と加速度情報４０とを取得する。なお、搬送装置Ｑを走行させての地図情報３９と加速度情報４０との取得作業は、製造作業の開始時、フロアＦの清掃後またはレイアウト変更後などに実行される。

図５Ａにおいて、被搬送物情報３８には、フロアＦに設置されている製造装置において用いられる部品またはクリームはんだなどの被搬送物を、搬送装置Ｑが搬送するための情報が含まれている。ここで、図７を参照して、部品を被搬送物とする被搬送物情報３８の一例について説明する。図７は、本実施の形態の搬送システムで使用される被搬送物情報３８の例を示す図である。

被搬送物情報３８には、部品名６０毎に、容器６１、クラス６２および最高速度６３などが含まれている。容器６１は、搬送装置Ｑに搭載される際の部品の保持形態を示している。図７において、「トレイ」は、トレイ１７に収容されたトレイ部品であることを示しており、「テープ」は、キャリアテープ１４に格納されてリールに収納されたテープ部品であることを示している。

クラス６２は、搬送装置Ｑによる搬送時に受ける振動により被搬送物の状態に異常が生じる感度（耐性）の区分けである。この例では、クラス６２は、「０」から「３」の４つに区分されており、数字が小さいほど振動に強く、数字が大きくなると振動に弱いことを示している。例えば、テープ部品である部品名６０が「Ｄ００６」と「Ｄ００７」とは、振動に起因する部品のずれは発生しないため、クラス６２が「０」となっている。

また、トレイ部品であっても、例えば、図４Ｂに示す大型で振動に対する耐性が高い部品Ｐ１は、クラス６２は「１」に区分される。また、図４Ｃに示す小型で振動に対する耐性が低い部品Ｐ２は、搬送中に受ける大きな振動でトレイ１７Ｂから飛び出す可能性があり、クラス６２は「２」または「３」に区分される。以下、クラス６２が「１」の部品を「クラス１の部品」などと称する。

図７において、最高速度６３は、その部品を搬送中に許される最高速度を示している。最高速度６３は、搬送中の部品が受ける可能性がある加速度の大きさで、複数に区分されている。この例では、Ｚ軸方向の加速度が「－０．８Ｇ以上」の第１速度６３ａと、Ｚ軸方向の加速度が「－０．８Ｇから－１．２Ｇ」の第２速度６３ｂと、Ｚ軸方向の加速度が「－１．２Ｇ以下」の第３速度６３ｃとの３つの区分に分かれている。

Ｇは重力加速度であり、－１．０Ｇは地球の重力と釣り合うだけのＺ軸方向の加速度が部品に加わっていることを示す。Ｚ軸方向にマイナスの加速度が加わると、トレイ１７の収容部１８内における部品の状態が不安定となる。この間にトレイ１７が水平方向に高速で移動すると、収容部１８から部品が飛び出す、または収容部１８内で部品が反転するなど、部品の収容状態に異常が発生することがある。

図７の例では、Ｚ軸方向の加速度には「－０．８Ｇ」と「－１．２Ｇ」との２つの閾値が設定されている。以下、Ｚ軸方向の加速度が「－０．８Ｇ」を「第１閾値」と称し、「－１．２Ｇ」を「第２閾値」と称する。

第１速度６３ａは、いずれの部品も「１．０ｍ／ｓ」に設定されている。クラス０の部品では、第２速度６３ｂと第３速度６３ｃとは、第１速度６３ａと同じ「１．０ｍ／ｓ」に設定されている。

一方、クラス１の部品では、第２速度６３ｂは第１速度６３ａと同じ「１．０ｍ／ｓ」に設定されているが、第３速度６３ｃは「０．８ｍ／ｓ」に設定されている。また、クラス２の部品では、第２速度６３ｂは「０．８ｍ／ｓ」に設定され、第３速度６３ｃは「０．５ｍ／ｓ」に設定されている。また、クラス３の部品では、第２速度６３ｂは「０．５ｍ／ｓ」に設定され、第３速度６３ｃは「０．３ｍ／ｓ」に設定されている。すなわち、振動に対する耐性が低い部品を搬送する際にマイナスの加速度を受ける可能性がある場合は、最高速度６３を低くする（遅くする）ように設定されている。

なお、図７に示す被搬送物情報３８において設定されるクラス６２の区分数、最高速度６３の区分数および閾値の値は一例であり、区分は３つであっても５つ以上であってもよい。また、Ｚ軸方向の加速度の閾値も、部品のサイズおよび重さ、ならびに、トレイ１７の収容部１８の形状に応じて、実験結果などに基づいて自由に設定される。例えば、所定の閾値は、被搬送物に対応して設定されてもよい。また、閾値となる加速度も、Ｚ軸方向の成分だけでなく、水平方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）の成分も考慮して決定されてもよい。このように、第１閾値および第２閾値（所定の閾値）は、搬送装置Ｑによるトレイマガジン２０またはパレット１６（被搬送物）の搬送時に、トレイ１７内の部品の収容状態（被搬送物の状態）に異常が生じる加速度に基づいて設定されている。

図５Ａにおいて、注意地点抽出部３２は、管理記憶部３６に記憶されている被搬送物情報３８および加速度情報４０に基づいて、フロアＦを搬送装置Ｑが走行中に、継ぎ目、床のうねりまたは落下物などに起因して被搬送物に振動を与える可能性がある注意地点Ｈを抽出する。

図８Ａは、本実施の形態の搬送システムで使用される加速度情報４０の例を示す図である。図８Ａに、搬送装置ＱがフロアＦの巡回経路Ｊを走行中に加速度計Ａが計測した、地点Ｂ１から地点Ｂ５の間の加速度情報４０の例を示している。

注意地点抽出部３２は、加速度情報４０から、加速度が第１閾値および第２閾値を超えた地点を抽出する。図８Ａの例では、注意地点抽出部３２によって、第１閾値（－０．８Ｇ）を超えた注意地点Ｈ１と、第２閾値（－１．２Ｇ）を超えた注意地点Ｈ２との２箇所の注意地点Ｈが抽出される。

このように、注意地点抽出部３２は、加速度計Ａを設置した状態で、搬送装置ＱにフロアＦを走行させることで取得されたフロアＦにおける加速度に関する加速度情報４０に基づいて、搬送装置Ｑの走行時にフロアＦの状態に起因して異常が生じる可能性がある注意地点Ｈを抽出する。抽出された注意地点Ｈの情報は、注意地点情報４１として管理記憶部３６に記憶される。

図５Ａにおいて、経路情報作成部３３は、フロア情報３７に含まれる搬送経路の情報、地図情報３９および注意地点情報４１に基づいて、搬送経路に迂回区間と減速区間とを設定する。経路情報作成部３３は、設定した迂回区間と減速区間との情報に基づいて、フロア情報３７を更新する。

経路情報作成部３３は、地図情報３９から、搬送経路中に搬送装置Ｑの走行の障害となる物体が認められる場合は、その障害を迂回する搬送経路（迂回区間）を設定する。経路情報作成部３３による注意地点Ｈを含む減速区間の設定方法には、複数の実施形態がある。

次に、図８Ｂおよび図８Ｃを参照しながら、いくつかの実施形態を説明する。図８Ｂおよび図８Ｃは、本実施の形態の搬送システムで使用される減速区間の例を示す図である。なお、経路情報作成部３３は、注意地点Ｈを迂回する搬送経路（迂回区間）を設定するようにしてもよい。

図８Ｂおよび図８Ｃは、図８Ａに示す搬送経路の地点Ｂ１から地点Ｂ５の間において抽出された注意地点Ｈ１，Ｈ２に基づいて、地点Ｂ１から地点Ｂ５の間に設定されたクラス２の部品の搬送に対応した減速区間の例を示している。

まず、図８Ｂを参照して、経路情報作成部３３による第１実施形態による減速区間の設定方法について説明する。第１実施形態では、搬送経路を複数の区間Ｅに区分けし、注意地点Ｈが含まれる区間Ｅを減速区間として設定する。区間Ｅは、所定の距離毎（例えば１ｍ毎）、または、搬送経路が分岐し、もしくは曲がる箇所で区分けされる。

図８Ｂでは、経路情報作成部３３は、地点Ｂ１から地点Ｂ５の間を等間隔に４つの区間Ｅ１～Ｅ４に区分けしている。すなわち、地点Ｂ１から地点Ｂ５の間が、地点Ｂ１から地点Ｂ２の間の区間Ｅ１、地点Ｂ２から地点Ｂ３の間の区間Ｅ２、地点Ｂ３から地点Ｂ４の間の区間Ｅ３、および、地点Ｂ４から地点Ｂ５の間の区間Ｅ４に区分けされている。経路情報作成部３３は、第１閾値を超えた注意地点Ｈ１を含む区間Ｅ２を、最高速度が０．８ｍ／ｓ（第２速度６３ｂ）の減速区間Ｅ２に設定する。同様に、経路情報作成部３３は、第２閾値を超えた注意地点Ｈ２を含む区間Ｅ３を、最高速度が０．５ｍ／ｓ（第３速度６３ｃ）の減速区間Ｅ３に設定する。

また、経路情報作成部３３は、注意地点Ｈを含まない区間Ｅ１と区間Ｅ４との最高速度を１．０ｍ／ｓ（第１速度６３ａ）に設定する。なお、クラス３の部品の場合、経路情報作成部３３は、減速区間Ｅ２の最高速度を０．５ｍ／ｓ（第２速度６３ｂ）に設定し、減速区間Ｅ３の最高速度を０．３ｍ／ｓ（第３速度６３ｂ）に設定する。また、クラス１の部品の場合、経路情報作成部３３は、注意地点Ｈ１を含む区間Ｅ２を減速区間には設定せず（最高速度は１．０ｍ／ｓ）、減速区間Ｅ３の最高速度を０．８ｍ／ｓ（第３速度６３ｂ）に設定する。このように、第１実施形態では、搬送装置Ｑが第１速度６３ａで走行した際に加速度が所定の閾値を超える注意地点Ｈを含む搬送経路の区間Ｅは、搬送経路を区分けした複数の区間Ｅ１～Ｅ４のうちの少なくとも１つ（区間Ｅ２または区間Ｅ３）である。

次に、図８Ｃを参照して、経路情報作成部３３による第２実施形態による減速区間の設定方法について説明する。第２の実施形態では、搬送経路において、注意地点Ｈから後方に後方余裕距離Ｋｂ（例えば０．５ｍ）、前方に前方余裕距離Ｋｆ（例えば０．５ｍ）だけ伸ばして減速区間Ｅを設定する。後方余裕距離Ｋｂと前方余裕距離Ｋｆとは、搬送装置Ｑの性能、フロアＦの状態などによって設定される。

図８Ｃでは、経路情報作成部３３は、注意地点Ｈ１から後方に後方余裕距離Ｋｂ、前方に前方余裕距離Ｋｆを伸ばして減速区間Ｅ１２を設定する。また、経路情報作成部３３は、注意地点Ｈ２から後方に後方余裕距離Ｋｂ、前方に前方余裕距離Ｋｆを伸ばして減速区間Ｅ１４を設定する。

また、経路情報作成部３３は、減速区間Ｅ１２の最高速度を０．８ｍ／ｓ（第２速度６３ｂ）に設定し、減速区間Ｅ１４の最高速度を０．５ｍ／ｓ（第３速度６３ｂ）に設定する。そして、経路情報作成部３３は、減速区間Ｅ１２および減速区間Ｅ１４以外の区間を、最高速度が１．０ｍ／ｓ（第１速度６３ａ）の区間として設定する。すなわち、地点Ｂ１から減速区間Ｅ１２までの区間Ｅ１１、減速区間Ｅ１２と減速区間Ｅ１４の間の区間Ｅ１３、および、減速区間Ｅ１４から地点Ｂ５までの区間Ｅ１５を、最高速度が１．０ｍ／ｓ（第１速度６３ａ）の区間として設定する。このように、第２実施形態では、搬送装置Ｑが第１速度６３ａで走行した際に加速度が所定の閾値を超える注意地点Ｈを含む搬送経路の区間Ｅは、注意地点Ｈ１，Ｈ２から前後に所定の距離（後方余裕距離Ｋｂ、前方余裕距離Ｋｆ）を延ばした区間Ｅ１２，Ｅ１４である。

次に、図９を参照して、経路情報作成部３３によってフロアＦ内の搬送経路に設定された減速区間の例について説明する。図９は、本実施の形態の部品装着ラインＬ１～Ｌ３が設置されたフロアＦに設定された搬送経路の例を示す図である。この例では、経路情報作成部３３は、上述の第１実施形態と第２実施形態とを合わせた第３実施形態によって、減速区間を設定している。すなわち、搬送経路を分岐または曲がり角の地点Ｂ１１～Ｂ２０と、収納棚４に保管されていた被搬送物を載置された搬送装置Ｑが製造装置に向けてスタートする地点Ｂ１０とを加えた地点の間で、複数の区間Ｅ２１～Ｅ３４に予め区分けするところは、第１実施形態と同様である。

図９の例では、注意地点抽出部３２によって、区間Ｅ２４、区間Ｅ３２および区間Ｅ３１において、注意地点ＨＹ１～ＨＹ３がそれぞれ抽出されている。

経路情報作成部３３は、第２実施形態と同様に、区間Ｅ２４の注意地点ＨＹ１を前後に延ばして減速区間ＥＹ１を設定している。また、経路情報作成部３３は、区間Ｅ２４における減速区間ＥＹ１以外の区間を区間Ｅ２４ａと区間Ｅ２４ｂとに設定している。同様に、区間Ｅ３２には、減速区間ＥＹ２、区間Ｅ３２ａおよび区間Ｅ３２ｂが設定されている。また、区間Ｅ３１には、減速区間ＥＹ３、区間Ｅ３１ａおよび区間Ｅ３１ｂが設定されている。減速区間ＥＹ１と減速区間ＥＹ３との最高速度は第２速度６３ｂに設定されており、減速区間ＥＹ２の最高速度は第３速度６３ｃに設定されている。その他の区間の最高速度は、第１速度６３ａに設定されている。

図５Ａおよび図５Ｂにおいて、経路情報作成部３３は、減速区間ＥＹ１～ＥＹ３が設定されたフロア情報３７および被搬送物情報３８に基づいて、フロアＦにおいて搬送装置Ｑが被搬送物を搬送する際に使用される経路情報４２を作成する。作成された経路情報４２は、管理記憶部３６に記憶される。経路情報４２は、被搬送物の種類または搬送先に対応して作成される。

次に、図９、図１０Ａおよび図１０Ｂを参照して、経路情報作成部３３によって作成された経路情報４２の例について説明する。図１０Ａおよび図１０Ｂは、本実施の形態の搬送システムで使用される経路情報４２の例を示す図である。図１０Ａおよび図１０Ｂは、図９に示す収納棚４の前のスタート地点Ｔ０から、部品装着ラインＬ１の部品装着装置Ｍ５のリア側の搬送先Ｔ１に、クラス２のトレイ部品を搬送する際の経路情報４２を示す。

図１０Ａは、搬送経路に注意地点Ｈが無くて、減速区間が設定されていないフロアＦにおけるスタート地点Ｔ０から搬送先Ｔ１にクラス２のトレイ部品を搬送する経路情報４２を示す。この場合、経路情報作成部３３は、スタート地点Ｔ０から区間Ｅ２１～Ｅ２６を最高速度が１．０ｍ／ｓ（第１速度６３ａ）で搬送先Ｔ１まで走行する経路情報４２を作成する。また、経路情報作成部３３は、被搬送物を降ろした後の帰路として、搬送先Ｔ１から区間Ｅ２６～Ｅ３１を最高速度が１．０ｍ／ｓ（第１速度６３ａ）で走行してスタート地点Ｔ０に戻る経路情報４２を作成する。

図１０Ｂは、図９に示す減速区間ＥＹ１～ＥＹ３が設定されているフロアＦの搬送経路において、スタート地点Ｔ０から搬送先Ｔ１にクラス２のトレイ部品を搬送する経路情報４２を示す。図９では、スタート地点Ｔ０から搬送先Ｔ１までの間には、最高速度が第２速度６３ｂの減速区間ＥＹ１が設定されている。そこで、経路情報作成部３３は、図１０Ｂに示すように、スタート地点Ｔ０から搬送先Ｔ１までの間に設定されている減速区間ＥＹ１の最高速度が０．８ｍ／ｓ（第２速度６３ｂ）となる経路情報４２を作成する。

図９では、搬送先Ｔ１からスタート地点Ｔ０に戻る帰路に減速区間ＥＹ３が設定されている。しかし、帰路では被搬送物を搬送していないため、被搬送物の収容状態に対する配慮は不要である。そこで、経路情報作成部３３は、搬送先Ｔ１からスタート地点Ｔ０に戻る帰路にある減速区間ＥＹ３での最高速度を１．０ｍ／ｓ（第１速度６３ａ）から変えない経路情報４２を作成する。

図１１Ａおよび図１１Ｂは、本実施の形態の搬送システムで使用される経路情報４２の他の例を示す図である。図１１Ａおよび図１１Ｂは、経路情報作成部３３によって作成された、フロアＦにおけるスタート地点Ｔ０から、部品装着ラインＬ２の部品装着装置Ｍ５のリア側の搬送先Ｔ２に、クラス２のトレイ部品を搬送する経路情報４２を示す。図１１Ａは、減速区間が設定されていないフロアＦの場合である。図１１Ｂは、図９に示す減速区間ＥＹ１～ＥＹ３が設定されているフロアＦの場合である。

図９では、スタート地点Ｔ０から搬送先Ｔ２までの間には、最高速度が第２速度６３ｂの減速区間ＥＹ１と、最高速度が第３速度６３ｂの減速区間ＥＹ２とが設定されている。そこで、経路情報作成部３３は、図１１Ｂに示すように、スタート地点Ｔ０から搬送先Ｔ２までの経路情報４２として、減速区間ＥＹ１の最高速度が０．８ｍ／ｓ（第２速度６３ｂ）となり、減速区間ＥＹ２の最高速度が０．５ｍ／ｓ（第３速度６３ｃ）となる経路情報４２を作成する。

このように、経路情報作成部３３は、注意地点抽出部３２によって抽出された注意地点ＨＹ１～ＨＹ３の情報に基づいて、搬送経路における搬送装置Ｑの走行速度（最高速度）に関する速度情報を含む経路情報４２を作成する。走行速度は、第１速度６３ａと、第１速度６３ａよりも遅い第２速度６３ｂ（第３速度６３ｃ）とを含んでいる。

また、経路情報作成部３３は、被搬送物のクラス６２に対応した経路情報４２を作成する。すなわち、経路情報作成部３３は、被搬送物のクラス６２に対応して、第２速度６３ｂ（第３速度６３ｃ）を変更する。

経路情報作成部３３は、搬送装置Ｑが第１速度６３ａで走行した際に加速度が所定の閾値（第１閾値）を超える注意地点ＨＹ１を含む搬送経路の減速区間ＥＹ１において、第２速度６３ｂを走行速度（最高速度）として設定した経路情報４２を作成する。すなわち、第２速度６３ｂは、減速区間ＥＹ１において搬送装置Ｑが走行した際に加速度が所定の閾値（第１閾値）を超えない速度である。同様に、経路情報作成部３３は、搬送装置Ｑが第１速度６３ａで走行した際に加速度が所定の閾値（第２閾値）を超える注意地点ＨＹ２を含む搬送経路の減速区間ＥＹ２において、第３速度６３ｃを走行速度（最高速度）として設定した経路情報４２を作成する。すなわち、第３速度６３ｃは、減速区間ＥＹ２において搬送装置Ｑが走行した際に加速度が所定の閾値（第２閾値）を超えない速度である。

図５Ａおよび図５Ｂにおいて、搬送制御部３４は、管理記憶部３６に記憶されている経路情報４２に基づいて、搬送装置Ｑによる搬送作業を制御する。すなわち、搬送制御部３４を備える管理コンピュータ３は、搬送装置Ｑの走行時にフロアＦの状態に起因して生じる、予め計測された加速度（加速度情報４０）に基づいて設定された搬送装置Ｑの走行速度（最高速度）に関する速度情報を含む搬送経路に関する経路情報４２に基づいて、搬送装置Ｑによる搬送作業を制御する制御システムを構成する。

制御システム（搬送制御部３４）が搬送装置Ｑによる搬送作業を制御する方法には、複数の実施形態がある。まず、図５Ａ、図５Ｂおよび図９を参照しながら、第１実施形態について説明する。

第１実施形態では、搬送制御部３４は、収納棚４の前のスタート地点Ｔ０に停止している搬送装置Ｑに対して、その搬送装置Ｑに搭載された被搬送物の種類と搬送先とに対応する経路情報４２を搬送装置Ｑに送信する。搬送装置Ｑは、受信した経路情報４２を搬送記憶部５３に搬送経路情報５４として記憶する。走行処理部５１は、記憶された搬送経路情報５４に基づいて走行装置５５を制御して、被搬送物を搬送する。これにより、製造装置が設置されたフロアＦにおいて、被搬送物を正常な状態で搬送することができる。

例えば、部品名６０が「Ｄ００２」のクラス２のトレイ部品を部品装着ラインＬ１の部品装着装置Ｍ５のリア側の搬送先Ｔ１に搬送する場合、搬送制御部３４は、図１０Ｂに示す経路情報４２を搬送装置Ｑに送信する。なお、被搬送物がトレイマガジン２０に収納された複数の種類のトレイ部品である場合、搬送制御部３４は、クラス６２が一番大きくて振動に弱い部品に対応する経路情報４２を搬送装置Ｑに送信する。例えば、トレイマガジン２０にクラス１のトレイ部品とクラス２のトレイ部品とを収納している場合、搬送制御部３４は、クラス２のトレイ部品に対応する経路情報４２を搬送装置Ｑに送信する。

次に図５Ａ、図５Ｂおよび図９を参照しながら、第２実施形態について説明する。第２実施形態では、搬送制御部３４は、経路情報４２を搬送装置Ｑに送信する代わりに、搬送装置Ｑに搭載された被搬送物の種類と搬送先とに対応して選択した経路情報４２に基づいて、搬送装置Ｑの位置に応じて走行指示を逐次送信する。例えば、図１０Ｂに示す経路情報４２に基づいて、搬送装置Ｑによる搬送作業を制御する場合、区間Ｅ２３を走行している搬送装置Ｑに対して、地点Ｂ１３から区間Ｅ２４ａを最高速度が１．０ｍ／ｓ（第１速度６３ａ）で走行するように指示する。さらに、搬送装置Ｑに対して、減速区間ＥＹ１では最高速度を０．８ｍ／ｓ（第２速度６３ｂ）で走行するように指示する。これにより、搬送中の被搬送物が受ける加速度を小さくすることができ、被搬送物を正常な状態で搬送できる。

図５Ａおよび図５Ｂにおいて、画像解析部３５は、撮影装置Ｓ１～Ｓ８が撮像したフロアＦ内を走行する搬送装置Ｑの映像を解析して、走行中の搬送装置Ｑの状態を検出する。例えば、搬送装置Ｑに設置された加速度計Ａが計測した加速度情報４０に基づいて注意地点抽出部３２が注意地点Ｈを抽出する代わりに、画像解析部３５が注意地点Ｈを抽出する場合、画像解析部３５は、走行中の搬送装置ＱのＺ軸方向の変化量を検出する。

そして、画像解析部３５は、検出したＺ軸方向の変化量が所定の閾値を超えた地点を、注意地点Ｈとして注意地点情報４１に記憶させる。経路情報作成部３３は、画像解析部３５が抽出した注意地点Ｈに基づいて、経路情報４２を作成する。これにより、搬送装置Ｑが加速度計Ａを備えていない場合であっても、製造装置が設置されたフロアＦにおいて、被搬送物を正常な状態で搬送することができる。

上記説明したように、加速度を計測する加速度計Ａが設置された搬送装置Ｑと、搬送装置ＱにフロアＦを走行させることで取得された加速度情報４０に基づいて、搬送装置Ｑの走行時にフロアＦの状態に起因して異常が生じる可能性がある注意地点Ｈを抽出する注意地点抽出部３２と、注意地点Ｈの情報（注意地点情報４１）に基づいて、搬送経路における搬送装置Ｑの走行速度（最高速度）に関する速度情報を含む経路情報４２を作成する経路情報作成部３３を備える管理コンピュータ３とは、経路情報作成システムを構成する。

また、フロアＦにおいて被搬送物を搬送する搬送装置Ｑと、搬送経路に関する経路情報４２に基づいて、搬送装置Ｑによる搬送作業を制御する搬送制御部３４を備える管理コンピュータ３（制御システム）とは、搬送システムを構成する。これによって、製造装置が設置されたフロアＦにおいて、被搬送物を正常な状態で搬送することができる。

次に、図１２のフローに沿って、基板に対して所定の作業を行う１以上の製造装置が設置されたフロアＦにおいて用いられる、被搬送物を搬送装置Ｑにより搬送する搬送方法について説明する。図１２は、本実施の形態の搬送方法のフロー図である。

まず、経路情報作成システム（搬送装置Ｑおよび管理コンピュータ３）によって、経路情報４２が作成される（ＳＴ１：経路情報作成工程）。すなわち、搬送装置Ｑの走行時にフロアＦの状態に起因して生じる、予め計測された加速度に基づいて設定された、搬送装置Ｑの走行速度（最高速度）に関する速度情報を含む搬送経路に関する経路情報４２が作成される。経路情報作成工程（ＳＴ１）では、被搬送物の種類と搬送先とに対応して、複数の経路情報４２が作成される。

次いで、制御システム（搬送制御部３４）は、作成された経路情報４２に基づいて、搬送装置Ｑによる搬送作業を制御する（ＳＴ２：搬送作業工程）。搬送作業工程（ＳＴ２）では、搬送装置Ｑが搬送する被搬送物の種類と搬送先とに対応する経路情報４２に基づいて、搬送作業が制御される。

例えば、被搬送物を搬送中の搬送装置Ｑが減速区間ＥＹ１を通過する際は、最高速度が被搬送物のクラス６２に対応する第２速度６３ｂとなるように、搬送作業が制御される（図９参照）。フロアＦでは、全ての被搬送物の搬送が終わるまで（ＳＴ３においてＮｏ）、搬送作業工程（ＳＴ２）が繰り返し実行される。なお、フロアＦに複数の搬送装置Ｑが稼働している場合は、複数の搬送装置Ｑに対して搬送作業工程（ＳＴ２）が並行して実行される。

次に、図１３のフローに沿って、図９を参照しながら、基板に対して所定の作業を行う１以上の製造装置が設けられたフロアＦにおいて用いられる、被搬送物を搬送する搬送装置Ｑの搬送経路に関する経路情報４２を作成する経路情報作成方法（経路情報作成工程：図１２のＳＴ１）について説明する。図１３は、本実施の形態の経路情報作成方法のフロー図である。

まず、情報取得部３１は、物体までの距離を測定可能なセンサ（距離計測装置Ｌ）と加速度を計測する加速度計Ａとを搬送装置Ｑまたは被搬送物に設置した状態で、搬送装置ＱにフロアＦを走行させることで、フロアＦに関する地図情報３９と加速度に関する加速度情報４０とを取得する（ＳＴ１１：情報取得工程）。

次いで、注意地点抽出部３２は、加速度情報４０に基づいて、搬送装置Ｑの走行時にフロアＦの状態に起因して異常が生じる可能性がある注意地点ＨＹ１～ＨＹ３を抽出する（ＳＴ１２：注意地点抽出工程）。

次いで、経路情報作成部３３は、抽出された注意地点ＨＹ１～ＨＹ３の情報（注意地点情報４１）に基づいて、搬送経路に減速区間ＥＹ１～ＥＹ３を設定する（ＳＴ１３：減速区間設定工程）。また、経路情報作成部３３は、地図情報３９から、搬送経路上の障害物を迂回する迂回区間を設定する。

次いで、経路情報作成部３３は、被搬送物の種類（クラス６２）と搬送先とに対応する経路情報４２を作成する（ＳＴ１４：経路情報作成工程）。経路情報作成工程（ＳＴ１４）は、被搬送物の種類と搬送先との組み合わせを変えて、全ての組み合わせで経路情報４２が作成されるまで（ＳＴ１５においてＮｏ）、繰り返し実行される。

すなわち、経路情報作成工程（ＳＴ１４）において、抽出された注意地点ＨＹ１～ＨＹ３の情報に基づいて、被搬送物の種類と搬送先とに対応して、搬送経路における搬送装置Ｑの走行速度（最大速度）に関する速度情報を含む経路情報４２が作成される。なお、経路情報４２は、予め全ての組み合わせを作成して管理記憶部３６に記憶させる他、搬送作業工程（ＳＴ２）において被搬送物の種類と搬送先とが決定された時点で、その組み合わせに対応する経路情報４２を作成するようにしてもよい。

なお、上記の実施例では、搬送システムとして基板に対して作業を行う製造装置が配置されたフロアＦにおいて、トレイマガジン２０などの被搬送物を搬送する搬送装置Ｑを例に説明したが、これに限定されない。例えば、製造装置は、半導体製品を製造する半導体製造ラインにおいてウェハ（ワーク）に対して生産作業を行う製造装置であり、被搬送物はウェハを収容したウェハキャリアであってもよい。また、製造装置は、電気機器を組立てる組立て生産ラインまたは食品加工製品を生産する食品加工ラインにおいて、生産作業を行う製造装置であり、被搬送物は実装基板もしくは筐体、または、食品材料もしくは容器であってもよい。

本開示の搬送システム、搬送方法、経路情報作成システムならびに経路情報作成方法は、製造装置が設置されたフロアにおいて、被搬送物を正常な状態で搬送することができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。

３ 管理コンピュータ（制御システム）
１５ リール（被搬送物）
１６ パレット（被搬送物）
１７、１７Ａ、１７Ｂ トレイ
１９ パレット収納部
２０ トレイマガジン（被搬送物）
Ａ 加速度計
Ｅ１～Ｅ４、Ｅ１１～Ｅ１５、Ｅ２１～Ｅ２３、Ｅ２５～Ｅ３０、Ｅ３３、Ｅ３４、Ｅ２４ａ、Ｅ２４ｂ、Ｅ３１ａ、Ｅ３１ｂ、Ｅ３２ａ、Ｅ３２ｂ、ＥＹ１～ＥＹ３ 区間
Ｆ フロア
Ｈ１、Ｈ２、ＨＹ１～ＨＹ３ 注意地点
Ｌ 距離計測装置
Ｍ１ 基板供給装置（製造装置）
Ｍ２ 印刷装置（製造装置）
Ｍ３ 印刷検査装置（製造装置）
Ｍ４、Ｍ５ 部品装着装置（製造装置）
Ｍ６ 装着検査装置（製造装置）
Ｍ７ リフロー装置（製造装置）
Ｍ８ 基板回収装置（製造装置）
Ｐ１、Ｐ２ 部品
Ｑ 搬送装置

Claims (7)

1. パレットに装着されているトレイから部品を取り出して基板に装着する１以上の部品装着装置が設置されたフロアにおいて用いられ、前記トレイを装着した複数の前記パレットを収納したトレイマガジンを含む被搬送物を搬送する搬送装置と、
   搬送経路に関する経路情報に基づいて、前記搬送装置による搬送作業を制御する制御システムと、を備え、
   前記経路情報は、前記搬送装置の走行時に前記フロアの状態に起因して生じる加速度であって前記搬送装置が第１速度で走行した際に所定の閾値を超える加速度が計測された注意地点を含む区間の情報を有し、
   前記制御システムは、前記搬送装置が前記区間を走行するときは前記第１速度よりも遅い第２速度で走行させ、
   前記第２速度は、前記区間において前記搬送装置が走行した際に、前記加速度が前記所定の閾値を超えない速度であり、
   前記所定の閾値は、前記搬送装置による前記トレイマガジンの搬送時に、前記トレイから部品が飛び出す可能性のある加速度に基づいて設定されている、搬送システム。
2. 前記区間は、前記搬送経路を区分けした複数の区間のうちの少なくとも１つである、請求項１に記載の搬送システム。
3. 前記区間は、前記注意地点から前後に所定の距離を延ばした区間である、請求項１に記載の搬送システム。
4. 前記経路情報は、加速度を計測する加速度計を前記搬送装置または前記被搬送物に設置した状態で、前記搬送装置に前記フロアを走行させて取得した加速度情報に基づいて作成される、請求項１に記載の搬送システム。
5. パレットに装着されているトレイから部品を取り出して基板に装着する１以上の部品装着装置が設置されたフロアにおいて、前記トレイを装着した複数の前記パレットを収納したトレイマガジンを含む被搬送物を搬送装置により搬送する搬送方法であって、
   前記搬送装置の走行時に前記フロアの状態に起因して生じる加速度であって前記搬送装置が第１速度で走行した際に所定の閾値を超える加速度が計測された注意地点を含む区間の情報を有する経路情報に基づいて前記搬送装置による搬送作業を制御し、前記搬送装置が前記区間を走行するときは前記第１速度よりも遅い第２速度で走行させ、
   前記第２速度は、前記区間において前記搬送装置が走行した際に、前記加速度が前記所定の閾値を超えない速度であり、
   前記所定の閾値は、前記搬送装置による前記トレイマガジンの搬送時に、前記トレイから部品が飛び出す可能性のある加速度に基づいて設定されている、搬送方法。
6. パレットに装着されているトレイから部品を取り出して基板に装着する１以上の部品装着装置が設置されたフロアにおいて用いられ、前記トレイを装着した複数の前記パレットを収納したトレイマガジンを含む被搬送物を搬送する搬送装置と、
   前記搬送装置または前記被搬送物に設置され、加速度を計測する加速度計と、
   前記加速度計を設置した状態で、前記搬送装置に前記フロアを第１速度で走行させることで取得された前記フロアにおける前記加速度に関する加速度情報に基づいて、前記トレイから部品が飛び出す可能性がある注意地点を抽出する注意地点抽出部と、
   前記注意地点を含む区間とその区間における前記搬送装置の走行速度に関する速度情報を含む経路情報を作成する経路情報作成部と、を備え、前記速度情報は前記第１速度よりも遅い第２速度であり、
   前記第２速度は、前記区間において前記搬送装置が走行した際に、前記加速度が所定の閾値を超えない速度であり、
   前記所定の閾値は、前記搬送装置による前記トレイマガジンの搬送時に、前記トレイから部品が飛び出す可能性のある加速度に基づいて設定されている、経路情報作成システム。
7. パレットに装着されているトレイから部品を取り出して基板に装着する１以上の部品装着装置が設置されたフロアにおいて、前記トレイを装着した複数の前記パレットを収納したトレイマガジンを含む被搬送物を搬送する搬送装置の搬送経路に関する経路情報を作成する経路情報作成方法であって、
   加速度を計測する加速度計を前記搬送装置または前記被搬送物に設置した状態で、前記搬送装置に前記フロアを第１速度で走行させることで、前記フロアにおける前記加速度に関する加速度情報を取得し、
   前記加速度情報に基づいて、前記トレイから部品が飛び出す可能性がある注意地点を抽出し、前記抽出された注意地点の情報に基づいて、前記注意地点を含む区間とその区間における前記搬送経路における前記搬送装置の走行速度に関する速度情報を含む前記経路情報を作成し、前記速度情報は前記第１速度よりも遅い第２速度であり、
   前記第２速度は、前記区間において前記搬送装置が走行した際に、前記加速度が所定の閾値を超えない速度であり、
   前記所定の閾値は、前記搬送装置による前記トレイマガジンの搬送時に、前記トレイから部品が飛び出す可能性のある加速度に基づいて設定されている、経路情報作成方法。