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JP7694361B2 - How to use the suction device - Google Patents

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JP7694361B2 JP2021193390A JP2021193390A JP7694361B2 JP 7694361 B2 JP7694361 B2 JP 7694361B2 JP 2021193390 A JP2021193390 A JP 2021193390A JP 2021193390 A JP2021193390 A JP 2021193390A JP 7694361 B2 JP7694361 B2 JP 7694361B2
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Description

本開示は、燃料電池の製造に使用されるシート材を取り扱う吸引装置および吸引装置の使用方法に関する。 This disclosure relates to a suction device for handling sheet materials used in the manufacture of fuel cells and a method for using the suction device.

従来、紙に接触することなく、紙を１枚ずつ持ち上げる吸引器が存在する。特許文献１の揚力吸引器は、２個の吸引器本体と、整流ガイドと、を備える。それぞれの吸引器本体は、紙と向かい合うように配されて空気を周囲に向かって放射状に吐出する、円形かつ凹状のテーパ部を備える。すなわち、この吸引器本体は、ベルヌーイ式の吸引器である。 Conventionally, there are aspirators that lift paper one sheet at a time without touching the paper. The lift aspirator of Patent Document 1 comprises two aspirator bodies and a flow straightening guide. Each aspirator body has a circular, concave tapered portion that is disposed to face the paper and expels air radially toward the surroundings. In other words, this aspirator body is a Bernoulli-type aspirator.

整流ガイドは、２個のテーパ部の周囲に配されている略Ｔ字状の形状を有する壁状の構造である。より具体的には、整流ガイドの一部は、２個の吸引器本体の配列方向と略平行に設けられている。整流ガイドの他の一部は、２個の吸引器本体の間に設けられている。整流ガイドは、それぞれのテーパ部に面する部位に、凹曲面状のガイド面を備える。吸引器本体のテーパ部から吐出された空気のうち整流ガイドが存在する方向に吐出される空気は、ガイド面に沿って向きを変えられ、整流ガイドが存在しない方向に、吹き出される。その結果、近接して配される２個の吸引器本体の間、および吸引器本体と他の構造物との間において、乱流の発生が防止され、揚力吸引器は安定して負圧を生じさせることができる。 The straightening guide is a wall-like structure having an approximately T-shape arranged around the two tapered parts. More specifically, a part of the straightening guide is arranged approximately parallel to the arrangement direction of the two aspirator bodies. The other part of the straightening guide is arranged between the two aspirator bodies. The straightening guide has a concave guide surface in the part facing each tapered part. The air discharged from the tapered part of the aspirator body in the direction where the straightening guide exists is redirected along the guide surface and blown out in the direction where the straightening guide does not exist. As a result, the generation of turbulence is prevented between the two aspirator bodies arranged close to each other, and between the aspirator body and other structures, and the lift aspirator can generate negative pressure stably.

特開２００４－３５９３６６号公報JP 2004-359366 A

一方、燃料電池の構成要素であるセルスタックは、膜電極ガス拡散層接合体（ＭＥＧＡ：Membrane Electrode Gas diffusion layer Assembly）シートと、セパレータとを積層することにより形成される。セパレータとＭＥＧＡシートとの間に汚れや異物が介在しないように、セパレータとＭＥＧＡシートは、クリーンルーム内で積層される。また、個々のセパレータは、積層に先立って、ＭＥＧＡシートと接合されシールされる面をレーザにより洗浄される。その後、複数のセパレータは、表面に汚れや異物が付着しないように、クリーンペーパーを挟んで積層される。クリーンペーパーは、表面に樹脂がコーティングされている紙である。 Meanwhile, a cell stack, which is a component of a fuel cell, is formed by stacking membrane electrode gas diffusion layer assembly (MEGA) sheets and separators. The separators and MEGA sheets are stacked in a clean room to prevent dirt or foreign matter from being present between the separators and the MEGA sheets. Prior to stacking, the surfaces of each separator that will be joined and sealed to the MEGA sheets are cleaned with a laser. After that, multiple separators are stacked with clean paper between them to prevent dirt or foreign matter from adhering to the surface. Clean paper is paper with a resin coating on its surface.

特許文献１に記載された吸引器本体は、ベルヌーイ式の吸引器である。ベルヌーイ式の吸引器においては、空気は、吸引器本体と紙の間において、吸引器本体から放射状に周囲に向かって吐き出される。このため、吸引器本体を中心として、広い領域に空気の流れが及ぶ。その結果、ベルヌーイ式の吸引器は、広い領域において、その領域内の構造物に付着している微細な埃を空気中に飛散させる。よって、特許文献１の技術は、燃料電池の製造工程において、クリーンペーパーを取り扱う吸引装置として用いるのには、適さない。このような問題は、燃料電池の製造工程においてクリーンペーパーを取り扱う吸引装置に限らず、環境の清浄度を維持しつつシート材を取り扱う装置について、存在する。 The suction device body described in Patent Document 1 is a Bernoulli type suction device. In a Bernoulli type suction device, air is discharged radially from the suction device body to the surroundings between the suction device body and the paper. For this reason, the air flow extends over a wide area with the suction device body as the center. As a result, the Bernoulli type suction device scatters fine dust attached to structures within a wide area into the air. Therefore, the technology of Patent Document 1 is not suitable for use as a suction device that handles clean paper in the fuel cell manufacturing process. Such problems are not limited to suction devices that handle clean paper in the fuel cell manufacturing process, but exist in devices that handle sheet materials while maintaining the cleanliness of the environment.

本開示は、以下の形態として実現することが可能である。 This disclosure can be realized in the following forms:

（１）本開示の一形態によれば、燃料電池の製造に使用される重ねて配置されている複数のシート材のうち１枚のシート材を吸引することにより保持するための吸引装置が提供される。この吸引装置は、前記１枚のシート材を吸引することにより保持する１以上のサイクロン式チャックであって、前記１枚のシート材と対向させる対向面に凹部を有し、前記凹部は、それぞれガスを吐出する複数のノズルを備え、ガスの旋回流を生成する、１以上のサイクロン式チャックと、前記１以上のサイクロン式チャックのうちの１個のサイクロン式チャックの前記対向面における前記複数のノズルの重心から、前記複数のノズルよりも離れた位置に配され、前記複数のノズルのうちの１以上のノズルから吐出されるガスの流れの向きを変える１以上の整流壁と、を備える。
サイクロン式チャックにおいて生成される旋回流が及ぶ範囲は、単位時間あたりに同じ量のガスを吹き出すベルヌーイ式チャックのガスの流れが及ぶ範囲に比べて、小さい。このため、上記の態様の吸引装置においては、広い範囲において埃を飛散させることなく、空気中の清浄度を維持しながら、燃料電池の製造に使用されるシート材を吸引して保持することができる。
（２）上記形態の吸引装置において、前記１以上のサイクロン式チャックとしての複数のサイクロン式チャックを備え、前記１個のサイクロン式チャックにおいて、前記１以上の整流壁は、前記複数のノズルから吐出されるガスの流れの向きを、前記複数のサイクロン式チャックのうちの他の１個のサイクロン式チャックの前記凹部に向かう向きとは異なる向きに変える整流壁を含む、態様とすることができる。
このような態様とすれば、一つのサイクロン式チャックのノズルから吐出されたガスが他のサイクロン式チャックのノズルから吐出されたガスの流れを乱す可能性を、低減できる。このため、吸引装置は、安定してシート材を保持することができる。
（３）上記形態の吸引装置において、前記１個のサイクロン式チャックの前記凹部を囲む位置に、前記１以上の整流壁としての複数の整流壁を備え、前記１個のサイクロン式チャックにおいて、前記複数の整流壁は、前記複数のノズルの重心を中心として、等しい角度間隔を有する複数の位置に配され、それぞれ前記ガスの流れの向きを、それぞれの整流壁に当たる前の前記ガスの流れの向きに対して、同じ方向に偏向させる、態様とすることができる。
このような態様とすれば、サイクロン式チャックの複数のノズルから吐出されるガスの流れを、複数のノズルの重心を中心として、均等に近い配置に配することができる。このため、サイクロン式チャックは、安定してシート材を保持することができる。
（４）本開示の他の形態によれば、上記形態の吸引装置の使用方法が提供される。この吸引装置の使用方法において、前記燃料電池の製造に使用される複数のシート材は、それぞれ角部を有し、前記角部の輪郭が一致するように重ねて配置されている。前記使用方法は、前記整流壁により向きを変えられた後の前記ガスの流れの向きが、前記角部に向かう向きとは異なる向きとなるように、前記サイクロン式チャックの向きが定められた状態で、前記吸引装置を配置する工程と、配置された前記吸引装置により前記１枚のシート材を吸引することにより保持する工程と、を含む。
このような態様によれば、吸引して保持する対象であるシート材の角部が、角部上を流れるガスの流れによって押さえられて、シート材が持ち上げにくくなる事態の発生を防止できる。
（５）上記形態の吸引装置の使用方法において、前記吸引装置を配置する工程は、前記整流壁により向きを変えられた後の前記ガスの流れの向きが、配置後の前記吸引装置の前記１以上のサイクロン式チャックに最も近い他の構造物に向かう向きとは異なる向きとなるように、前記１以上のサイクロン式チャックの向きが定められた状態で、前記吸引装置を配置する工程である、態様とすることができる。
このような態様とすることにより、サイクロン式チャックにより生成される旋回流が他の構造物にあたって乱流を生じさせ、複数のシート材の端部を持ち上げて、複数のシート材が吸引装置によって持ち上げられてしまう事態の発生を防止できる。
また、サイクロン式チャックから吹き出される旋回流が他の構造物にあたって埃を飛散させ、吸引装置の周囲の清浄度が低下する可能性を低減することができる。
（６）本開示のさらに他の形態によれば、上記形態の吸引装置の使用方法が提供される。この吸引装置の使用方法において、前記燃料電池の製造に使用される複数のシート材は、それぞれ角部を有し、前記角部の輪郭が一致するように重ねて配置されている。前記使用方法は、前記整流壁により向きを変えられた後の前記ガスの流れの向きが、配置後の前記吸引装置の前記１以上のサイクロン式チャックに最も近い他の構造物に向かう向きとは異なる向きとなるように、前記１以上のサイクロン式チャックの向きが定められた状態で、前記吸引装置を配置する工程と、配置された前記吸引装置により前記１枚のシート材を吸引することにより保持する工程と、を含む。
このような態様とすることにより、サイクロン式チャックにより生成される旋回流が他の構造物にあたって乱流を生じさせ、複数のシート材の端部を持ち上げて、複数のシート材が吸引装置によって持ち上げられてしまう事態の発生を防止できる。
また、サイクロン式チャックから吹き出される旋回流が他の構造物にあたって埃を飛散させ、吸引装置の周囲の清浄度が低下する可能性を低減することができる。
本開示は、吸引装置、および吸引装置の使用方法以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、吸引装置の製造方法や吸引装置の制御方法、その制御方法を実現するコンピュータプログラム、そのコンピュータプログラムを記録した一時的でない記録媒体等の形態で実現することができる。 (1) According to one aspect of the present disclosure, there is provided a suction device for holding, by suction, one of a plurality of overlapping sheet materials used in the manufacture of a fuel cell, the suction device comprising: one or more cyclone-type chucks for holding the one sheet material by suction, the one or more cyclone-type chucks having recesses on a facing surface facing the one sheet material, the recesses each including a plurality of nozzles for discharging gas, and generating a swirling flow of gas; and one or more straightening walls arranged at a position farther away from a center of gravity of the plurality of nozzles on the facing surface of one of the one or more cyclone-type chucks than the plurality of nozzles, the straightening walls changing the direction of a flow of gas discharged from one or more of the plurality of nozzles.
The range of the swirling flow generated in the cyclone chuck is smaller than the range of the gas flow generated by the Bernoulli chuck, which blows out the same amount of gas per unit time, and therefore the suction device of the above aspect can suck and hold the sheet material used in the manufacture of fuel cells while maintaining the cleanliness of the air without scattering dust over a wide area.
(2) In the suction device of the above form, the one or more cyclone type chucks may be provided with a plurality of cyclone type chucks, and in one of the cyclone type chucks, the one or more straightening walls may include a straightening wall that changes the direction of the gas flow discharged from the plurality of nozzles to a direction different from the direction toward the recess of another one of the plurality of cyclone type chucks.
In this manner, the possibility that gas discharged from the nozzle of one cyclone chuck will disturb the flow of gas discharged from the nozzle of another cyclone chuck can be reduced, and the suction device can stably hold the sheet material.
(3) In the suction device of the above aspect, a plurality of straightening walls as the one or more straightening walls may be provided at positions surrounding the recess of the one cyclone type chuck, and in the one cyclone type chuck, the plurality of straightening walls may be arranged at a plurality of positions having equal angular intervals around the center of gravity of the plurality of nozzles, and each of the straightening walls may deflect the direction of the gas flow in the same direction as the direction of the gas flow before the gas hits each of the straightening walls.
In this manner, the gas flows discharged from the multiple nozzles of the cyclone chuck can be arranged nearly uniformly around the center of gravity of the multiple nozzles, thereby enabling the cyclone chuck to stably hold the sheet material.
(4) According to another aspect of the present disclosure, there is provided a method of using the suction device of the above aspect. In this method of using the suction device, a plurality of sheet materials used in the manufacture of the fuel cell each have a corner, and are stacked and arranged so that the contours of the corners match. The method of use includes the steps of: arranging the suction device in a state in which the orientation of the cyclone chuck is determined so that the direction of the gas flow after being redirected by the flow straightening wall is different from the direction toward the corner; and holding one sheet material by sucking it with the arranged suction device.
According to this aspect, it is possible to prevent a situation in which the corners of the sheet material to be sucked and held are pressed down by the gas flow over the corners, making it difficult to lift the sheet material.
(5) In the method of using the suction device of the above-mentioned form, the step of positioning the suction device may be a step of positioning the suction device in a state in which the orientation of the one or more cyclone type chucks is determined so that the direction of the gas flow after being redirected by the straightening wall is different from the direction toward other structures closest to the one or more cyclone type chucks of the suction device after positioning.
By adopting this type of configuration, it is possible to prevent the swirling flow generated by the cyclone chuck from hitting other structures and causing turbulence, lifting the ends of multiple sheet materials, and causing the multiple sheet materials to be lifted up by the suction device.
In addition, the possibility that the swirling airflow blown out from the cyclone chuck will hit other structures and scatter dust, reducing the cleanliness around the suction device, can be reduced.
(6) According to yet another aspect of the present disclosure, there is provided a method of using the suction device of the above aspect. In this method of using the suction device, a plurality of sheet materials used in the manufacture of the fuel cell each have a corner, and are arranged in a stack so that the contours of the corners match. The method of use includes the steps of: arranging the suction device in a state in which the orientation of the one or more cyclone-type chucks is determined so that the direction of the gas flow after being redirected by the flow straightening wall is different from the direction toward another structure closest to the one or more cyclone-type chucks of the suction device after the arrangement; and holding the one sheet material by suction with the arranged suction device.
By adopting this type of configuration, it is possible to prevent the swirling flow generated by the cyclone chuck from hitting other structures and causing turbulence, lifting the ends of multiple sheet materials, and causing the multiple sheet materials to be lifted up by the suction device.
In addition, the possibility that the swirling airflow blown out from the cyclone chuck will hit other structures and scatter dust, reducing the cleanliness around the suction device, can be reduced.
The present disclosure may be realized in various forms other than the suction device and the method of using the suction device, for example, a method of manufacturing the suction device, a method of controlling the suction device, a computer program for implementing the control method, a non-transitory recording medium on which the computer program is recorded, etc.

本開示の第１実施形態の給紙装置１０の概略構成を示す説明図である。1 is an explanatory diagram illustrating a schematic configuration of a paper feed device 10 according to a first embodiment of the present disclosure. 給紙装置１０の概略構成を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of the sheet feeding device 10. サイクロン式チャック１００の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a cyclone chuck 100. サイクロン式チャック１００の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a cyclone chuck 100. テーブル３１０上に配されたクリーンペーパーＣＰと、サイクロン式チャック１００Ｌと、４個の整流壁１３０との関係を示す説明図である。1 is an explanatory diagram showing the relationship between the clean paper CP arranged on the table 310, the cyclone chuck 100L, and four straightening walls 130. FIG. 比較態様の吸引装置２００ｃにおけるテーブル３１０上に配されたクリーンペーパーＣＰと、サイクロン式チャック１００ｃと、の関係を示す説明図である。13 is an explanatory diagram showing the relationship between the clean paper CP placed on the table 310 and the cyclone chuck 100c in the suction device 200c of the comparative embodiment. FIG. クリーンペーパーＣＰを１枚ずつ搬送する際の給紙装置１０における処理を示すフローチャートである。10 is a flowchart showing a process in the paper feed device 10 when conveying clean paper CP one sheet at a time. ステップＳ２００の処理が完了した状態で、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌを作動させたときの空気の流れの速さの分布を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing the distribution of air flow speed when the cyclone chucks 100R and 100L are operated after the process of step S200 is completed. サイクロン式チャック１００Ｌの近傍における各整流壁１３０の背後と、隣り合う整流壁１３０の間の位置における、空気の流れの流速を示す図である。11 is a diagram showing the flow velocity of air behind each straightening wall 130 and at a position between adjacent straightening walls 130 in the vicinity of the cyclone chuck 100L. FIG. 比較例の吸引装置２００ｃにおける実験結果を表す表である。13 is a table showing experimental results for the suction device 200c of the comparative example. 本実施形態の吸引装置２００における実験結果を表す表である。11 is a table showing experimental results for the suction device 200 of the present embodiment. テーブル３１０上の複数のクリーンペーパーＣＰからクリーンペーパーＣＰを持ち上げることができない状態を説明する説明図である。13 is an explanatory diagram illustrating a state in which the clean paper CP cannot be lifted from a plurality of clean paper sheets CP on the table 310. FIG. サイクロン式チャック１００に２枚のクリーンペーパーＣＰが吸引され持ち上げられる状態を説明する説明図である。1 is an explanatory diagram illustrating a state in which two sheets of clean paper CP are sucked and lifted up by the cyclone chuck 100. FIG. サイクロン式チャック１００に１枚のクリーンペーパーＣＰが吸引され持ち上げられる状態を説明する説明図である。1 is an explanatory diagram illustrating a state in which a sheet of clean paper CP is sucked and lifted up by the cyclone chuck 100. FIG. 本実施形態の整流壁１３０の配置を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing the arrangement of the flow straightening walls 130 according to the present embodiment. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 整流壁の他の態様を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing another embodiment of the flow straightening wall. 給紙装置１０Ｂにおけるアーム２１０ＬＢとサイクロン式チャック１００Ｌ１，１００Ｌ２とを示す説明図である。10 is an explanatory diagram showing an arm 210LB and cyclone chucks 100L1 and 100L2 in a sheet feeding device 10B. FIG.

Ａ．第１実施形態：
Ａ１．給紙装置の構成：
図１は、本開示の第１実施形態の給紙装置１０の概略構成を示す説明図である。給紙装置１０は、吸引装置２００と、支持台３００と、を備える。 A. First embodiment:
A1. Configuration of the paper feeder:
1 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a sheet feeding device 10 according to a first embodiment of the present disclosure. The sheet feeding device 10 includes a suction device 200 and a support table 300.

支持台３００は、複数のクリーンペーパーＣＰを支持する。クリーンペーパーＣＰは、燃料電池用に製造される複数のセパレータをまとめて取り扱う際に、複数のセパレータの間に挟まれる。すなわち、クリーンペーパーＣＰは、燃料電池の製造に使用される。クリーンペーパーＣＰは、具体的には、表面に樹脂をコーティングされた長方形の紙である。支持台３００は、テーブル３１０と、２組のシートガイド３２０Ｒ，３３０Ｒ，３４０Ｒおよびシートガイド３２０Ｌ，３３０Ｌ，３４０Ｌと、を備える。 The support stand 300 supports multiple clean papers CP. The clean papers CP are sandwiched between multiple separators manufactured for fuel cells when the separators are handled together. In other words, the clean papers CP are used in the manufacture of fuel cells. Specifically, the clean papers CP are rectangular pieces of paper whose surfaces are coated with resin. The support stand 300 includes a table 310 and two sets of sheet guides 320R, 330R, and 340R and sheet guides 320L, 330L, and 340L.

図２は、給紙装置１０の概略構成を示す平面図である。テーブル３１０は、燃料電池の製造に使用される重ねて配置される複数のクリーンペーパーＣＰを支持する。テーブル３１０は、クリーンペーパーＣＰ略同一の形状に設けられている。テーブル３１０上において、複数のクリーンペーパーＣＰは、外輪郭が一致するように重ねられて、配置される。なお、技術の理解を容易にするために、図１および図２においてクリーンペーパーＣＰは、示されていない。クリーンペーパーＣＰが配される位置およびクリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃの位置を、図２において、破線の引き出し線と符号で示す。 Figure 2 is a plan view showing the schematic configuration of the paper feeder 10. The table 310 supports multiple clean papers CP that are stacked and used in the manufacture of fuel cells. The table 310 is provided with approximately the same shape for the clean papers CP. On the table 310, multiple clean papers CP are stacked and placed so that their outer contours match. To facilitate understanding of the technology, the clean papers CP are not shown in Figures 1 and 2. The positions where the clean papers CP are placed and the positions of the corners CPc of the clean papers CP are indicated in Figure 2 by dashed leading lines and symbols.

シートガイド３２０Ｒ，３３０Ｒ，３４０Ｒおよびシートガイド３２０Ｌ，３３０Ｌ，３４０Ｌは、テーブル３１０を囲むように配されている。シートガイド３２０Ｒ，３３０Ｒ，３４０Ｒおよびシートガイド３２０Ｌ，３３０Ｌ，３４０Ｌは、燃料電池の製造に使用される重ねて配置された複数のクリーンペーパーＣＰを、テーブル３１０上において整列させる機能を奏する。シートガイド３２０Ｒ，３３０Ｒ，３４０Ｒおよびシートガイド３２０Ｌ，３３０Ｌ，３４０Ｌは、左右対称の位置に配されている。シートガイド３２０Ｒ，３３０Ｒ，３４０Ｒおよびシートガイド３２０Ｌ，３３０Ｌ，３４０Ｌを区別せずに表記する際には、シートガイド３２０，３３０，３４０と表記する。 Sheet guides 320R, 330R, 340R and sheet guides 320L, 330L, 340L are arranged to surround table 310. Sheet guides 320R, 330R, 340R and sheet guides 320L, 330L, 340L function to align multiple clean papers CP, which are stacked and used in the manufacture of fuel cells, on table 310. Sheet guides 320R, 330R, 340R and sheet guides 320L, 330L, 340L are arranged in symmetrical positions. When sheet guides 320R, 330R, 340R and sheet guides 320L, 330L, 340L are not distinguished from one another, they are referred to as sheet guides 320, 330, 340.

シートガイド３２０Ｒ，３４０Ｒは、テーブル３１０上に配されるクリーンペーパーＣＰの長辺に接する。シートガイド３２０Ｒ，３４０Ｒは、クリーンペーパーＣＰを挟んで、クリーンペーパーＣＰの短辺に沿った方向に向かい合って配されている。シートガイド３２０Ｌ，３４０Ｌは、支持台３００においてシートガイド３２０Ｒ，３４０Ｒと対称の構成を備える。シートガイド３２０Ｌ，３４０Ｌは、シートガイド３２０Ｒ，３４０Ｒと同様の機能を奏する。 The sheet guides 320R and 340R contact the long side of the clean paper CP placed on the table 310. The sheet guides 320R and 340R are arranged facing each other in a direction along the short side of the clean paper CP, sandwiching the clean paper CP between them. The sheet guides 320L and 340L have a symmetrical configuration to the sheet guides 320R and 340R on the support base 300. The sheet guides 320L and 340L perform the same functions as the sheet guides 320R and 340R.

シートガイド３３０Ｒ，３３０Ｌは、テーブル３１０上に配されるクリーンペーパーＣＰの短辺に接する。シートガイド３３０Ｒ，３３０Ｌは、クリーンペーパーＣＰを挟んで、クリーンペーパーＣＰの長辺に沿った方向に向かい合って配されている。 The sheet guides 330R and 330L contact the short side of the clean paper CP placed on the table 310. The sheet guides 330R and 330L are arranged facing each other in the direction along the long side of the clean paper CP, sandwiching the clean paper CP between them.

シートガイド３２０Ｒは、クリーンペーパーＣＰを持ち上げる際の吸引装置２００の配置において、吸引装置２００のサイクロン式チャック１００Ｒに最も近い他の構造物である。シートガイド３２０Ｌは、クリーンペーパーＣＰを持ち上げる際の吸引装置２００の配置において、吸引装置２００のサイクロン式チャック１００Ｌに最も近い他の構造物である。サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌについては、後に説明する。 The sheet guide 320R is the other structure closest to the cyclone chuck 100R of the suction device 200 in terms of the arrangement of the suction device 200 when lifting the clean paper CP. The sheet guide 320L is the other structure closest to the cyclone chuck 100L of the suction device 200 in terms of the arrangement of the suction device 200 when lifting the clean paper CP. The cyclone chucks 100R and 100L will be described later.

吸引装置２００は、支持台３００上に重ねて配置されている複数のシート材のうち、１枚のシート材を吸引することにより保持する装置である。吸引装置２００は、２個のサイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌと、複数の整流壁１３０と、２個のアーム２１０Ｒ，２１０Ｌと、を備える。 The suction device 200 is a device that holds one of multiple sheet materials stacked on the support table 300 by suction. The suction device 200 includes two cyclone chucks 100R and 100L, multiple flow straightening walls 130, and two arms 210R and 210L.

サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌは、協働して、１枚のクリーンペーパーＣＰを吸引することにより保持する。より具体的には、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌは、周囲の環境よりも高い圧力を有する空気を背後から供給されて、その空気を複数のノズルから吐出し、旋回流を生成する。空気の旋回流の中心部分に生じる負圧により、クリーンペーパーＣＰが吸引され保持される。２個のサイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌを区別せずに表記する際には、サイクロン式チャック１００と表記する。なお、本明細書においては、流体が仮想円上を１周分以上移動する場合だけではなく、同一の仮想円の異なる部位において、流体が仮想円の一部に沿ってそれぞれ移動する場合も、それら全体を「旋回流」と呼ぶ。 The cyclone chucks 100R and 100L cooperate to suck and hold a sheet of clean paper CP. More specifically, the cyclone chucks 100R and 100L are supplied with air having a higher pressure than the surrounding environment from behind, and the air is discharged from multiple nozzles to generate a swirling flow. The clean paper CP is sucked and held by the negative pressure generated in the center of the swirling air flow. When the two cyclone chucks 100R and 100L are not to be distinguished from each other, they are referred to as cyclone chucks 100. In this specification, the term "swirling flow" refers not only to the case where a fluid moves around one revolution or more on an imaginary circle, but also to the case where a fluid moves along a part of the imaginary circle at different parts of the same imaginary circle.

アーム２１０Ｒは、サイクロン式チャック１００Ｒをテーブル３１０上に支持する。アーム２１０Ｒは、サイクロン式チャック１００Ｒを、テーブル３１０上の所定の範囲内において移動させることができる。アーム２１０Ｒは、サイクロン式チャック１００Ｒを、テーブル３１０の表面に対して垂直な方向に動かすことができる。アーム２１０Ｌは、サイクロン式チャック１００Ｌをテーブル３１０上に支持する。アーム２１０Ｌは、サイクロン式チャック１００Ｌを、テーブル３１０上の所定の範囲内において、移動させることができる。アーム２１０Ｌは、サイクロン式チャック１００Ｌを、テーブル３１０の表面に対して垂直な方向に動かすことができる。 The arm 210R supports the cyclone chuck 100R on the table 310. The arm 210R can move the cyclone chuck 100R within a predetermined range on the table 310. The arm 210R can move the cyclone chuck 100R in a direction perpendicular to the surface of the table 310. The arm 210L supports the cyclone chuck 100L on the table 310. The arm 210L can move the cyclone chuck 100L within a predetermined range on the table 310. The arm 210L can move the cyclone chuck 100L in a direction perpendicular to the surface of the table 310.

その結果、支持台３００上に重ねて配置されている複数のクリーンペーパーＣＰのうち、最も上にある１枚のクリーンペーパーＣＰは、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌによって吸引され保持されて、アーム２１０Ｒ，２１０Ｌによって移動されることができる。２個のアーム２１０Ｒ，２１０Ｌを区別しせずに表記する際には、アーム２１０と表記する。 As a result, of the multiple sheets of clean paper CP stacked on the support table 300, the topmost sheet of clean paper CP is sucked and held by the cyclone chucks 100R, 100L and can be moved by the arms 210R, 210L. When describing the two arms 210R, 210L without distinction, they are referred to as arm 210.

図３は、サイクロン式チャック１００の斜視図である。図４は、図３とは異なる向きから見たサイクロン式チャック１００の斜視図である。サイクロン式チャック１００は、１枚のクリーンペーパーＣＰを吸引することにより保持する。サイクロン式チャック１００は、１枚のクリーンペーパーＣＰと対向させる対向面１１０に、凹部１２０を有する。サイクロン式チャック１００の対向面１１０は、平面部分を有するとともに、凹凸を有する。 Figure 3 is a perspective view of the cyclone chuck 100. Figure 4 is a perspective view of the cyclone chuck 100 seen from a different direction than that of Figure 3. The cyclone chuck 100 holds a sheet of clean paper CP by suction. The cyclone chuck 100 has a recess 120 on an opposing surface 110 that faces the sheet of clean paper CP. The opposing surface 110 of the cyclone chuck 100 has a flat portion as well as irregularities.

凹部１２０は、底面１２１と、内周面１２２と、凸部１２３と、を有する。底面１２１は、円形の外形を有する平面である。内周面１２２は、底面１２１の外周から立ち上がっており、凹部１２０の開口端に向かって広がっているテーパ状の側面である。凸部１２３は、底面１２１の中央に配されている。凸部１２３は、円錐台状の外形を有する。 The recess 120 has a bottom surface 121, an inner peripheral surface 122, and a protruding portion 123. The bottom surface 121 is a flat surface having a circular outer shape. The inner peripheral surface 122 is a tapered side surface that rises from the outer periphery of the bottom surface 121 and widens toward the open end of the recess 120. The protruding portion 123 is disposed in the center of the bottom surface 121. The protruding portion 123 has a truncated cone-shaped outer shape.

凹部１２０は、底面１２１に２個のノズルＮＺを備える。２個のノズルＮＺは、凹部１２０の中心軸ＣＡに対して対称の位置にある。２個のノズルＮＺは、それぞれ空気を吐出する。凹部１２０は、底面１２１の２個のノズルＮＺから吐出される空気により、空気の旋回流を生成する。なお、技術の理解を容易にするために、図３および図４において、ノズルＮＺは示されていない。 The recess 120 has two nozzles NZ on the bottom surface 121. The two nozzles NZ are located symmetrically with respect to the central axis CA of the recess 120. Each of the two nozzles NZ ejects air. The recess 120 generates a swirling air flow by the air ejected from the two nozzles NZ on the bottom surface 121. Note that, in order to facilitate understanding of the technology, the nozzles NZ are not shown in Figures 3 and 4.

１個のサイクロン式チャック１００Ｌの周囲には、４個の整流壁１３０が配されている。各整流壁１３０は、対向面１１０から、円形である凹部１２０の中心軸方向に沿って、突出している。各整流壁１３０は、対向面１１０に対して垂直な向きでサイクロン式チャック１００Ｌを見たときに、円形である凹部１２０の中心軸を囲むように湾曲された、板状の形状を有する。すなわち、各整流壁１３０は、凹部１２０の中心軸を囲むような形状を有する凹曲面をそれぞれ有する。 Four straightening walls 130 are arranged around one cyclone chuck 100L. Each straightening wall 130 protrudes from the opposing surface 110 along the central axis of the circular recess 120. When the cyclone chuck 100L is viewed perpendicularly to the opposing surface 110, each straightening wall 130 has a plate-like shape curved to surround the central axis of the circular recess 120. In other words, each straightening wall 130 has a concave curved surface shaped to surround the central axis of the recess 120.

４個の整流壁１３０は、２個のサイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌのうちの１個のサイクロン式チャック１００Ｌの対向面１１０における２個のノズルＮＺの重心Ｇｎから、２個のノズルＮＺよりも離れた位置に配されている。ここで、複数のノズルＮＺの「重心Ｇｎ」とは、対向面１１０に対して垂直な向きで対向面１１０を見たときの、各ノズルＮＺの位置の重心を意味する。本実施形態において、２個のノズルＮＺの重心Ｇｎは、凹部１２０の中心軸ＣＡと一致する。 The four straightening walls 130 are arranged at positions farther away from the center of gravity Gn of the two nozzles NZ on the facing surface 110 of one of the two cyclone type chucks 100R, 100L than the two nozzles NZ. Here, the "center of gravity Gn" of the multiple nozzles NZ means the center of gravity of the position of each nozzle NZ when the facing surface 110 is viewed in a direction perpendicular to the facing surface 110. In this embodiment, the center of gravity Gn of the two nozzles NZ coincides with the central axis CA of the recess 120.

具体的には、４個の整流壁１３０は、サイクロン式チャック１００Ｌの外周面に沿って、対向面１１０から突出するように構成されている（図３および図４も参照）。１個のサイクロン式チャック１００Ｌにおいて、４個の整流壁１３０は、２個のノズルＮＺの重心Ｇｎを中心として、等しい角度間隔を有する複数の位置に配されている。各整流壁１３０は、２個のノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇの向きを変える。 Specifically, the four straightening walls 130 are configured to protrude from the opposing surface 110 along the outer circumferential surface of the cyclone chuck 100L (see also Figures 3 and 4). In one cyclone chuck 100L, the four straightening walls 130 are arranged at multiple positions with equal angular intervals centered on the center of gravity Gn of the two nozzles NZ. Each straightening wall 130 changes the direction of the air flow Fg discharged from the two nozzles NZ.

サイクロン式チャック１００Ｌにおいて生成される旋回流Ｆｇが及ぶ範囲は、単位時間あたりに同じ量のガスを吹き出すベルヌーイ式チャックのガスの流れが及ぶ範囲に比べて、小さい。このため、本実施形態においては、広い範囲において埃を飛散させることなく、空気中の清浄度を維持しながら、燃料電池の製造に使用されるクリーンペーパーＣＰを吸引して保持することができる。 The range of the swirling flow Fg generated in the cyclone chuck 100L is smaller than the range of the gas flow of a Bernoulli chuck that blows out the same amount of gas per unit time. Therefore, in this embodiment, the clean paper CP used in the manufacture of fuel cells can be sucked in and held while maintaining the cleanliness of the air without scattering dust over a wide area.

また、サイクロン式チャック１００Ｌによって生成される旋回流Ｆｇがあたって乱流を生じさせ得る構造物がサイクロン式チャック１００Ｌの周囲に存在する場合には、旋回流Ｆｇがその構造物にあたりにくくなる位置に整流壁１３０が配されるように、吸引装置２００を配することができる。その結果、空気中の清浄度をより高くすることができる。 In addition, if there is a structure around the cyclone chuck 100L that may cause turbulence when hit by the swirling flow Fg generated by the cyclone chuck 100L, the suction device 200 can be positioned so that the straightening wall 130 is located at a position where the swirling flow Fg is less likely to hit the structure. As a result, the cleanliness of the air can be further increased.

図５は、テーブル３１０上に配されたクリーンペーパーＣＰと、サイクロン式チャック１００Ｌと、４個の整流壁１３０との関係を示す説明図である。図５は、サイクロン式チャック１００Ｌの後方から、テーブル３１０上に配されたクリーンペーパーＣＰに垂直な方向に沿って、クリーンペーパーＣＰと、サイクロン式チャック１００Ｌと、４個の整流壁１３０と、を見た状態を示している。なお、図５は、給紙装置１０各部の各部の寸法を正確に反映しているものではない。 Figure 5 is an explanatory diagram showing the relationship between the clean paper CP arranged on the table 310, the cyclone chuck 100L, and the four straightening walls 130. Figure 5 shows the clean paper CP, the cyclone chuck 100L, and the four straightening walls 130 as viewed from behind the cyclone chuck 100L along a direction perpendicular to the clean paper CP arranged on the table 310. Note that Figure 5 does not accurately reflect the dimensions of each part of the paper feeder 10.

複数のクリーンペーパーＣＰは、テーブル３１０上において、重ね方向から見たときに、長方形の外形の角部ＣＰｃの輪郭が一致するように重ねて配置されている。しかし、技術の理解を容易にするために、図５においては、複数のクリーンペーパーＣＰのうちの最も上のクリーンペーパーＣＰの外形と、他のクリーンペーパーＣＰの外形とを、ずらして示している。 The multiple clean papers CP are stacked on the table 310 so that the outlines of the corners CPc of the rectangular outer shape match when viewed from the stacking direction. However, to facilitate understanding of the technology, in FIG. 5, the outer shape of the topmost clean paper CP among the multiple clean papers CP is shown offset from the outer shapes of the other clean papers CP.

図６は、比較態様の吸引装置２００ｃにおけるテーブル３１０上に配されたクリーンペーパーＣＰと、サイクロン式チャック１００Ｌｃと、の関係を示す説明図である。比較態様の吸引装置２００ｃは、整流壁１３０を備えていない。比較態様の吸引装置２００ｃの他の点は、第１実施形態の給紙装置１０の吸引装置２００と同じである。 Figure 6 is an explanatory diagram showing the relationship between the clean paper CP arranged on the table 310 and the cyclone chuck 100Lc in the suction device 200c of the comparative embodiment. The suction device 200c of the comparative embodiment does not have a straightening wall 130. In other respects, the suction device 200c of the comparative embodiment is the same as the suction device 200 of the paper feeder 10 of the first embodiment.

吸引装置２００ｃのサイクロン式チャック１００Ｌｃにおいて、凹部１２０は、底面１２１の２個のノズルＮＺから吐出される空気により、空気の旋回流Ｆｇｃを生成する。図６の例において、右のノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇｃは、クリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃに向かって流れている。また、ノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇｃが、シートガイド３２０Ｌに当たって反射することによって生じる空気の流れＦｇｒが生じている。空気の流れＦｇｒは乱流を含む。なお、技術の理解を容易にするために、空気の流れＦｇｒは、本来の位置から左にずらして表示している。 In the cyclone chuck 100Lc of the suction device 200c, the recess 120 generates a swirling air flow Fgc by air discharged from two nozzles NZ on the bottom surface 121. In the example of FIG. 6, the air flow Fgc discharged from the right nozzle NZ flows toward the corner CPc of the clean paper CP. In addition, the air flow Fgc discharged from the nozzle NZ hits the sheet guide 320L and is reflected, generating an air flow Fgr. The air flow Fgr includes turbulence. Note that the air flow Fgr is shown shifted to the left from its original position to make the technology easier to understand.

一方、図５に示す本実施形態の吸引装置２００においては、２個のノズルＮＺのうち右のノズルＮＺから吐出される空気の流れは、本来は、左下に向かうはずである（図６参照）。しかし、右のノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇの向きは、整流壁１３０に当たる前の空気の流れＦｇの向きに対して、左方向に偏向させられている。その結果、右のノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇの向きは、下方に変わっている。 On the other hand, in the suction device 200 of this embodiment shown in Figure 5, the air flow discharged from the right nozzle NZ of the two nozzles NZ should originally head downward and to the left (see Figure 6). However, the direction of the air flow Fg discharged from the right nozzle NZ is deflected to the left relative to the direction of the air flow Fg before it hits the straightening wall 130. As a result, the direction of the air flow Fg discharged from the right nozzle NZ has changed to a downward direction.

図５に示す本実施形態の吸引装置２００においては、２個のノズルＮＺのうち左のノズルＮＺから吐出される空気の流れは、本来は、右上に向かうはずである（図６参照）。しかし、左のノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇの向きは、整流壁１３０に当たる前の空気の流れＦｇの向きに対して、やはり左方向に偏向させられている。その結果、左のノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇの向きは、上方に変わっている。 In the suction device 200 of this embodiment shown in Figure 5, the air flow discharged from the left nozzle NZ of the two nozzles NZ should originally head toward the upper right (see Figure 6). However, the direction of the air flow Fg discharged from the left nozzle NZ is also deflected to the left relative to the direction of the air flow Fg before it hits the straightening wall 130. As a result, the direction of the air flow Fg discharged from the left nozzle NZ has changed to an upward direction.

すなわち、４個の整流壁１３０のうちの上下に位置する２個の整流壁１３０は、それぞれ空気の流れＦｇの向きを、それぞれの整流壁１３０に当たる前の空気の流れＦｇの向きに対して、同じ方向に偏向させている。 In other words, of the four straightening walls 130, the two straightening walls 130 located above and below each deflect the direction of the air flow Fg in the same direction relative to the direction of the air flow Fg before it hits each straightening wall 130.

このような構成とすることにより、サイクロン式チャック１００の２個のノズルＮＺから吐出されるガスの流れＦｇを、２個のノズルＮＺの重心Ｇｎを中心として、均等に近い配置に配することができる。このため、サイクロン式チャック１００Ｌは、安定してクリーンペーパーＣＰを保持することができる。 This configuration allows the gas flows Fg discharged from the two nozzles NZ of the cyclone chuck 100 to be arranged nearly evenly around the center of gravity Gn of the two nozzles NZ. This allows the cyclone chuck 100L to stably hold the clean paper CP.

以上では、２個のサイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌのうちのサイクロン式チャック１００Ｌを例に、その構成および効果を説明した。しかし、サイクロン式チャック１００Ｒも、サイクロン式チャック１００Ｌと同様の構成を有し、同様の効果を奏する。 The above describes the configuration and effects of the cyclone chuck 100L, out of the two cyclone chucks 100R and 100L. However, the cyclone chuck 100R has a similar configuration to the cyclone chuck 100L and provides similar effects.

図７は、クリーンペーパーＣＰをセパレータの間に配するために、クリーンペーパーＣＰを１枚ずつ搬送する際の、給紙装置１０における処理を示すフローチャートである。図７は、吸引装置２００の使用方法を示している。ステップＳ１００においては、複数のクリーンペーパーＣＰが準備され、テーブル３１０上に重ねて配置される。その際、シートガイド３２０，３３０，３４０に沿って上方からテーブル３１０上に複数のクリーンペーパーＣＰが配置されることにより、複数のクリーンペーパーＣＰは、角部を含む外輪郭が相互に一致するように、テーブル３１０上に積載される（図５参照）。このとき、吸引装置２００は、支持台３００のテーブル３１０上から退避している。 Figure 7 is a flow chart showing the process in the paper feeder 10 when conveying clean paper CP one sheet at a time to place the clean paper CP between the separators. Figure 7 shows how to use the suction device 200. In step S100, multiple clean papers CP are prepared and stacked on the table 310. At this time, the multiple clean papers CP are placed on the table 310 from above along the sheet guides 320, 330, 340, so that the multiple clean papers CP are stacked on the table 310 so that their outer contours, including their corners, match each other (see Figure 5). At this time, the suction device 200 is retracted from the table 310 of the support stand 300.

ステップＳ２００においては、テーブル３１０上の複数のクリーンペーパーＣＰの上に、吸引装置２００が配置される。その際、サイクロン式チャック１００Ｒは、長方形の外形を有するクリーンペーパーＣＰの一つの角部ＣＰｃの近傍に配される。サイクロン式チャック１００Ｌは、クリーンペーパーＣＰの他の一つの角部ＣＰｃの近傍に配される（図２参照）。ステップＳ２００の処理が実行された状態において、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌの対向面１１０は、テーブル３１０上の複数のクリーンペーパーＣＰのうち、最も上に配されているクリーンペーパーＣＰと対向する。 In step S200, the suction device 200 is placed on top of the multiple clean papers CP on the table 310. At this time, the cyclone chuck 100R is placed near one corner CPc of the clean paper CP having a rectangular outer shape. The cyclone chuck 100L is placed near the other corner CPc of the clean paper CP (see FIG. 2). When the process of step S200 is performed, the opposing surfaces 110 of the cyclone chucks 100R and 100L face the uppermost clean paper CP of the multiple clean papers CP on the table 310.

ステップＳ２００においては、サイクロン式チャック１００が作動された際に、整流壁１３０により向きを変えられた後の空気の流れＦｇの向きが、クリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃに向かう向きとは異なる向きとなるように、サイクロン式チャック１００の向きが定められた状態で、吸引装置２００が配置される。 In step S200, the suction device 200 is positioned with the orientation of the cyclone chuck 100 determined so that when the cyclone chuck 100 is activated, the direction of the air flow Fg after being redirected by the straightening wall 130 is different from the direction toward the corner CPc of the clean paper CP.

具体的には、吸引装置２００は、図２および図５に示すように配置される。たとえば、図５に示されるように、サイクロン式チャック１００Ｌの２個のノズルＮＺのうち右のノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇの向きは、整流壁１３０に当たることによって、下方に変わっている。その結果、その結果、整流壁１３０により向きを変えられた後の空気の流れＦｇの向きは、クリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃに向かう向きとは異なる向きとなっている。サイクロン式チャック１００Ｒから吐出される空気の流れＦｇの向きも同様である。 Specifically, the suction device 200 is disposed as shown in Fig. 2 and Fig. 5. For example, as shown in Fig. 5, the direction of the air flow Fg discharged from the right nozzle NZ of the two nozzles NZ of the cyclone chuck 100L is changed downward by hitting the straightening wall 130. As a result, the direction of the air flow Fg after being changed by the straightening wall 130 is different from the direction toward the corner CPc of the clean paper CP. The same applies to the direction of the air flow Fg discharged from the cyclone chuck 100R.

このような構成とすることにより、吸引して保持する対象であるクリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃが、角部ＣＰｃ上を流れるガスの流れＦｇによって押さえれて、クリーンペーパーＣＰを持ち上げにくくなる事態の発生を防止できる。この点については、後にさらに説明する。 This configuration can prevent the corner CPc of the clean paper CP, which is the object to be sucked and held, from being pressed down by the gas flow Fg flowing over the corner CPc, making it difficult to lift the clean paper CP. This point will be explained further below.

さらに、図７のステップＳ２００においてなされる吸引装置２００の配置は、以下の条件も満たす。すなわち、整流壁１３０により向きを変えられた後の空気の流れＦｇの向きが、配置後の吸引装置２００のサイクロン式チャック１００Ｌに最も近い他の構造物であるシートガイド３２０Ｌに向かう向きとは異なる向きとなるように、サイクロン式チャック１００Ｌの向きが定められた状態で、吸引装置２００が配置される。 Furthermore, the placement of the suction device 200 in step S200 of FIG. 7 also satisfies the following condition. That is, the suction device 200 is placed with the orientation of the cyclone chuck 100L determined so that the direction of the air flow Fg after being redirected by the straightening wall 130 is different from the direction toward the sheet guide 320L, which is the other structure closest to the cyclone chuck 100L of the suction device 200 after placement.

図５に示されるように、サイクロン式チャック１００Ｌの２個のノズルＮＺのうち右のノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇの向きは、整流壁１３０に当たることによって、下方に変わっている。その結果、その結果、整流壁１３０により向きを変えられた後の空気の流れＦｇの向きは、シートガイド３２０Ｌに向かう向きとは異なる向きとなっている。サイクロン式チャック１００Ｒから吐出される空気の流れＦｇの向きも、同様に、シートガイド３２０Ｒに向かう向きとは異なる向きとなる。 As shown in FIG. 5, the direction of the air flow Fg discharged from the right nozzle NZ of the two nozzles NZ of the cyclone chuck 100L is changed downward by hitting the straightening wall 130. As a result, the direction of the air flow Fg after being changed by the straightening wall 130 is different from the direction toward the sheet guide 320L. Similarly, the direction of the air flow Fg discharged from the cyclone chuck 100R is also different from the direction toward the sheet guide 320R.

このような構成とすることにより、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌから吹き出される旋回流がシートガイド３２０Ｌ，３２０Ｒにあたって乱流Ｆｇｒを生じさせ、複数のクリーンペーパーＣＰの端部を持ち上げて、複数のクリーンペーパーＣＰが吸引装置２００によって持ち上げられてしまう事態の発生を防止できる（図６参照）。この点については、後にさらに説明する。 By adopting such a configuration, the swirling flow blown out from the cyclone chucks 100R, 100L hits the sheet guides 320L, 320R and generates a turbulent flow Fgr, which lifts up the ends of the multiple clean papers CP, thereby preventing the multiple clean papers CP from being lifted up by the suction device 200 (see FIG. 6). This will be explained further below.

また、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌから吹き出される旋回流がシートガイド３２０にあたって埃を飛散させ、吸引装置２００の周囲の清浄度が低下する可能性を低減することができる。 In addition, the swirling airflow blown out from the cyclone chucks 100R and 100L hits the sheet guide 320 and scatters dust, reducing the possibility of a decrease in the cleanliness of the area around the suction device 200.

図７のステップＳ３００においては、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌが作動され、テーブル３１０上の複数のクリーンペーパーＣＰのうち、最も上に配されているクリーンペーパーＣＰを吸引して保持する。その後、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌに保持されているクリーンペーパーＣＰは、アーム２１０Ｒ，２１０Ｌにより、他の位置に搬送され、他の装置に渡される。以上の工程により、給紙装置１０における処理の各工程が終了する。 In step S300 in FIG. 7, the cyclone chucks 100R, 100L are operated to suck and hold the topmost clean paper CP among the multiple clean paper sheets CP on the table 310. The clean paper CP held by the cyclone chucks 100R, 100L is then transported by the arms 210R, 210L to another position and handed over to another device. With the above steps, each process in the paper feeder 10 is completed.

図８は、ステップＳ２００の処理が完了した状態で、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌを作動させたときの空気の流れの速さの分布を示す図である。図８は、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌの後方から、テーブル３１０上に配されたクリーンペーパーＣＰに垂直な方向に沿って、クリーンペーパーＣＰと、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌと、を見たときの、空気の流れの流速分布を示している。図８に示す流速分布は、シミュレーションによって得られた。 Figure 8 is a diagram showing the distribution of air flow speed when the cyclone chucks 100R, 100L are operated after the processing of step S200 is completed. Figure 8 shows the air flow velocity distribution when the clean paper CP and the cyclone chucks 100R, 100L are viewed from behind the cyclone chucks 100R, 100L along a direction perpendicular to the clean paper CP arranged on the table 310. The flow velocity distribution shown in Figure 8 was obtained by simulation.

図８から分かるように、サイクロン式チャック１００Ｌに対して上側においては、流速の高い領域は右に向かって伸びている。サイクロン式チャック１００Ｌに対して下側においては、流速の高い領域は左に向かって伸びている。サイクロン式チャック１００Ｌに対して左上に位置する、サイクロン式チャック１００Ｌに最も近い角部ＣＰｃにおいては、空気の流れの速さは十分に低い。同様に、サイクロン式チャック１００Ｒに対して右上に位置する、サイクロン式チャック１００Ｒに最も近い角部ＣＰｃにおいても、空気の流れの速さは十分に低い。 As can be seen from FIG. 8, the area of high flow velocity extends to the right above the cyclone chuck 100L. The area of high flow velocity extends to the left below the cyclone chuck 100L. At the corner CPc located at the upper left of the cyclone chuck 100L and closest to the cyclone chuck 100L, the air flow speed is sufficiently low. Similarly, at the corner CPc located at the upper right of the cyclone chuck 100R and closest to the cyclone chuck 100R, the air flow speed is also sufficiently low.

図９は、サイクロン式チャック１００Ｌの近傍における各整流壁１３０の背後と、隣り合う整流壁１３０の間の位置における、空気の流れの流速を示す図である。図９から分かるように、上の整流壁１３０と右の整流壁１３０との間、ならびに下の整流壁１３０と左の整流壁１３０との間においては、流速が１９ｍ／ｓより大きい。右の整流壁１３０の背後、および左の整流壁１３０の背後においては、流速が１３ｍ／ｓより大きい。これに対して、他の部位においては、流速は、１ｍ／ｓ未満である。
すなわち、サイクロン式チャック１００Ｌに最も近い角部ＣＰｃに向かう向きについては、空気の流れの速さは十分に低いことが分かる。 Fig. 9 is a diagram showing the flow velocity of the air flow at the rear of each straightening wall 130 and at the position between the adjacent straightening walls 130 in the vicinity of the cyclone type chuck 100L. As can be seen from Fig. 9, the flow velocity is greater than 19 m/s between the upper straightening wall 130 and the right straightening wall 130 and between the lower straightening wall 130 and the left straightening wall 130. The flow velocity is greater than 13 m/s behind the right straightening wall 130 and behind the left straightening wall 130. In contrast, the flow velocity is less than 1 m/s in other locations.
That is, it can be seen that the speed of the air flow toward the corner CPc closest to the cyclone chuck 100L is sufficiently low.

Ａ２．給紙装置の評価：
吸引装置２００において、サイクロン式チャック１００の対向面１１０と、テーブル３１０上の最も上のクリーンペーパーＣＰとの距離、およびサイクロン式チャック１００に供給する空気の圧力を様々に変えて、吸引装置２００の性能を検証した。各条件下で、３０回ずつ動作が実行された。サイクロン式チャック１００として、ＳＭＣ株式会社のＸＴ６６１、φ２０ｍｍを使用した。比較例とし、整流壁１３０を備えていない吸引装置２００ｃを使用した。吸引装置２００ｃは、整流壁１３０を備えていない点以外は、吸引装置２００と同じである。 A2. Evaluation of the paper feeder:
In the suction device 200, the distance between the facing surface 110 of the cyclone chuck 100 and the top clean paper CP on the table 310, and the pressure of the air supplied to the cyclone chuck 100 were variously changed to verify the performance of the suction device 200. Thirty operations were performed under each condition. As the cyclone chuck 100, SMC Corporation's XT661, φ20 mm was used. As a comparative example, a suction device 200c without a straightening wall 130 was used. The suction device 200c is the same as the suction device 200, except that it does not have a straightening wall 130.

図１０は、比較例の吸引装置２００ｃにおける実験結果を表す表である。図１１は、本実施形態の吸引装置２００における実験結果を表す表である。図１０、図１１において、Ａ～Ｅは、以下の結果を表している。
「Ａ」は、テーブル３１０上の複数のクリーンペーパーＣＰのうち１枚のクリーンペーパーＣＰを吸引して保持することに、３０回の動作中で３０回成功したことを表している。
「Ｂ」は、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌのうち一方で、２枚のクリーンペーパーＣＰを吸引して持ち上げたことが、３０回の動作中で１回以上あったことを表している。
「Ｃ」は、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌの両方で、２枚のクリーンペーパーＣＰを吸引して持ち上げたことが、３０回の動作中で１回以上あったことを表している。
「Ｄ」は、テーブル３１０上の複数のクリーンペーパーＣＰからクリーンペーパーＣＰを持ち上げることができなかったが、再度の試行により１枚のクリーンペーパーＣＰを吸引して保持できたことが、３０回の動作中で１回以上あったことを表している。
「Ｅ」は、テーブル３１０上の複数のクリーンペーパーＣＰからクリーンペーパーＣＰを持ち上げることができなかったことが、３０回の動作中で１回以上あったことを表している。 Fig. 10 is a table showing the experimental results for the suction device 200c of the comparative example. Fig. 11 is a table showing the experimental results for the suction device 200 of the present embodiment. In Figs. 10 and 11, A to E represent the following results.
"A" indicates that one piece of clean paper CP among the plurality of pieces of clean paper CP on the table 310 was successfully sucked and held 30 times out of 30 operations.
"B" indicates that one of the cyclone chucks 100R, 100L sucked and lifted up two sheets of clean paper CP at least once during the 30 operations.
"C" indicates that both the cyclone chucks 100R and 100L sucked and lifted up two sheets of clean paper CP at least once during the 30 operations.
"D" indicates that, although the cleaner was unable to lift a clean paper CP from multiple clean papers CP on the table 310, it was able to suck in and hold one clean paper CP after another attempt at least once during the 30 operations.
An "E" indicates that the clean paper CP could not be lifted from the plurality of clean paper sheets CP on the table 310 in one or more of the 30 operations.

なお、３０回の動作中に、上記で列挙した事象のうち複数の事象が生じた場合には、それらの事象に対応する複数のカテゴリーのうち、上記の記載順で最も下に記載されたカテゴリーに該当するものと評価した。 If multiple of the events listed above occurred during the 30 movements, the event was evaluated as falling into the category listed lowest in the order listed above.

なお、上記ＢやＤの結果が生じていることは、動作の成功を意味するＡの結果を得るためには、サイクロン式チャック１００に供給する空気の圧力および量、ならびにクリーンペーパーＣＰとサイクロン式チャック１００との間隔について、微妙な調整が必要であることを表している。これは、クリーンペーパーＣＰが通気性を有しているためであると考えられる。 The occurrence of results B and D above indicates that in order to obtain result A, which means the operation was successful, delicate adjustments are required for the pressure and amount of air supplied to the cyclone chuck 100, as well as the distance between the clean paper CP and the cyclone chuck 100. This is thought to be because the clean paper CP is breathable.

図１０から分かるように、比較例の吸引装置２００ｃにおいては、対向面１１０とクリーンペーパーＣＰとの距離が小さく、空気の供給圧力が低い、限られた範囲でのみ、１枚のクリーンペーパーＣＰを吸引して保持することに成功している（図１０のＡ参照）。これに対して、図１１から分かるように、本実施形態の吸引装置２００においては、対向面１１０とクリーンペーパーＣＰとの距離、および空気の供給圧力について、広い範囲で、１枚のクリーンペーパーＣＰを吸引して保持することに成功している（図１０のＡ参照）。 As can be seen from Figure 10, the suction device 200c of the comparative example is successful in sucking and holding one sheet of clean paper CP only in a limited range where the distance between the opposing surface 110 and the clean paper CP is small and the air supply pressure is low (see A in Figure 10). In contrast, as can be seen from Figure 11, the suction device 200 of this embodiment is successful in sucking and holding one sheet of clean paper CP in a wide range of distances between the opposing surface 110 and the clean paper CP and air supply pressures (see A in Figure 10).

図１２は、比較例の吸引装置２００ｃにおいて、テーブル３１０上の複数のクリーンペーパーＣＰから１枚以上のクリーンペーパーＣＰを持ち上げることができない状態を説明する説明図である。この場合（図１０のＤ参照）には、以下のような現象が生じていると推測される。すなわち、サイクロン式チャック１００のノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇｃは、クリーンペーパーＣＰを持ち上げる力Ｆｃを生じさせる。一方で、ノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇｃは、クリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃに向かって流れる（図６も参照）。その空気の流れＦｇｃがクリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃの上面に沿って流れることにより、クリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃを下方に押しつけていると考えられる。図１２において、空気の流れＦｇｃがクリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃを下方に押しつける力を、Ｆｐで示す。その結果、Ｆｐ＞Ｆｃである場合には、比較例の吸引装置２００ｃは、テーブル３１０上の複数のクリーンペーパーＣＰからクリーンペーパーＣＰを持ち上げることができない。 12 is an explanatory diagram illustrating a state in which the suction device 200c of the comparative example cannot lift one or more sheets of clean paper CP from the multiple sheets of clean paper CP on the table 310. In this case (see D in FIG. 10), it is presumed that the following phenomenon occurs. That is, the air flow Fgc discharged from the nozzle NZ of the cyclone chuck 100 generates a force Fc that lifts the clean paper CP. On the other hand, the air flow Fgc discharged from the nozzle NZ flows toward the corner CPc of the clean paper CP (see also FIG. 6). It is considered that the air flow Fgc flows along the upper surface of the corner CPc of the clean paper CP, thereby pressing the corner CPc of the clean paper CP downward. In FIG. 12, the force with which the air flow Fgc presses the corner CPc of the clean paper CP downward is indicated by Fp. As a result, when Fp>Fc, the suction device 200c of the comparative example cannot lift the clean paper CP from the multiple sheets of clean paper CP on the table 310.

図１３は、比較例の吸引装置２００ｃにおいて、サイクロン式チャック１００に２枚のクリーンペーパーＣＰが吸引され持ち上げられる状態を説明する説明図である。この場合（図１０のＢおよびＣ参照）には、以下のような現象が生じていると推測される。すなわち、サイクロン式チャック１００のノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇｃは、シートガイド３２０に当たって反射し、空気の流れＦｇｒを生じさせる（図６も参照）。反射した空気の流れＦｇｒは、重ねられている複数のクリーンペーパーＣＰの端面に向かって吹き付け、複数のクリーンペーパーＣＰの端を持ち上げる。その結果、比較例の吸引装置２００ｃは、テーブル３１０上の複数のクリーンペーパーＣＰから２枚のクリーンペーパーＣＰを持ち上げる。 Figure 13 is an explanatory diagram illustrating the state in which two sheets of clean paper CP are sucked and lifted by the cyclone chuck 100 in the suction device 200c of the comparative example. In this case (see B and C in Figure 10), it is assumed that the following phenomenon occurs. That is, the air flow Fgc discharged from the nozzle NZ of the cyclone chuck 100 hits the sheet guide 320 and is reflected, generating an air flow Fgr (see also Figure 6). The reflected air flow Fgr is blown toward the end faces of the multiple stacked clean papers CP, lifting the ends of the multiple clean papers CP. As a result, the suction device 200c of the comparative example lifts two sheets of clean paper CP from the multiple clean papers CP on the table 310.

図１４は、本実施形態の吸引装置２００において、サイクロン式チャック１００に１枚のクリーンペーパーＣＰが吸引され持ち上げられる状態を説明する説明図である。前述のように、本実施形態の吸引装置２００においては、サイクロン式チャック１００に整流壁１３０が設けられており、整流壁１３０により向きを変えられた後の空気の流れＦｇの向きが、クリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃに向かわない（図５参照）。その結果、空気の流れＦｇｃがクリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃの上面に沿って流れることにより、クリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃを下方に押しつけることがない。また、反射流である空気の流れＦｇｒが複数のクリーンペーパーＣＰの端を持ち上げることがない。その結果、吸引装置２００は、テーブル３１０上の複数のクリーンペーパーＣＰから１枚のクリーンペーパーＣＰを持ち上げることができる。 Figure 14 is an explanatory diagram illustrating a state in which one sheet of clean paper CP is sucked and lifted by the cyclone chuck 100 in the suction device 200 of this embodiment. As described above, in the suction device 200 of this embodiment, the cyclone chuck 100 is provided with a straightening wall 130, and the direction of the air flow Fg after being redirected by the straightening wall 130 does not face the corner CPc of the clean paper CP (see Figure 5). As a result, the air flow Fgc flows along the upper surface of the corner CPc of the clean paper CP, and does not press the corner CPc of the clean paper CP downward. In addition, the air flow Fgr, which is a reflected flow, does not lift the ends of multiple clean papers CP. As a result, the suction device 200 can lift one sheet of clean paper CP from multiple clean papers CP on the table 310.

本実施形態の給紙装置１０によれば、剛性が低く通気性を有するクリーンペーパーＣＰを、吸盤式の接触吸着機構を用いる給紙装置に対して、容易にかつ安定して、取り上げて搬送することができる。また、本実施形態の給紙装置１０によれば、クリーンペーパーＣＰを搬送するための装置の構造を、輪転機を用いる給紙装置に比べて、簡易なものにすることができる。また、本実施形態の給紙装置１０は、クリーンペーパーＣＰを非接触で搬送することから、輪転機を用いる給紙装置のようにクリーンペーパーＣＰを強くこすることがなく、粉塵を発生させにくい。よって、環境の高い清浄度を維持しつつクリーンペーパーＣＰを搬送できる。 According to the paper feeder 10 of this embodiment, clean paper CP, which has low rigidity and good breathability, can be easily and stably picked up and transported by a paper feeder using a suction cup-type contact suction mechanism. Furthermore, according to the paper feeder 10 of this embodiment, the structure of the device for transporting the clean paper CP can be made simpler than that of a paper feeder using a rotary press. Furthermore, since the paper feeder 10 of this embodiment transports the clean paper CP without contact, the clean paper CP is not rubbed hard as in a paper feeder using a rotary press, and dust is less likely to be generated. Therefore, the clean paper CP can be transported while maintaining a high level of environmental cleanliness.

さらに、本実施形態においては、ベルヌーイ式のチャックではなく、サイクロン式チャックを使用している。このため、吸引装置２００は、ベルヌーイ式のチャックを採用する態様に比べて、同じ重量の対象物を、より低い圧力および少ない供給量のガスで、持ち上げることができる。また、吸引装置２００が生成する旋回流の及ぶ範囲は、ベルヌーイ式のチャックを採用する態様が周囲に放射状に吹き出す空気の流れが及ぶ範囲に比べて小さい。このため、本実施形態においては、吸引装置２００が設置されている床面や周囲の構造物に乗っている埃が巻き上げられる可能性が小さい。よって、環境の高い清浄度を維持しつつクリーンペーパーＣＰを搬送できる。 Furthermore, in this embodiment, a cyclone chuck is used instead of a Bernoulli chuck. Therefore, the suction device 200 can lift an object of the same weight with lower pressure and less gas supply than an embodiment that uses a Bernoulli chuck. Also, the range of the swirling flow generated by the suction device 200 is smaller than the range of the air flow that is blown radially out to the surroundings in an embodiment that uses a Bernoulli chuck. Therefore, in this embodiment, there is little chance that dust on the floor surface on which the suction device 200 is installed or on surrounding structures will be stirred up. Therefore, the clean paper CP can be transported while maintaining a high level of environmental cleanliness.

Ａ３．整流壁の他の態様：
上記実施形態においては、一つのサイクロン式チャック１００に対して４個の整流壁１３０が設けられている（図３～図５参照）。そして、サイクロン式チャック１００の２個のノズルＮＺの位置と、４個の整流壁１３０のうちの２個の整流壁１３０の中心とが一致する配置に対して、４個の整流壁１３０は、約１０度ずれた位置に配されている（図５参照）。しかし、整流壁は、他の態様で配置されることもできる。以下で、整流壁の具体例を示す。 A3. Other aspects of the flow straightening wall:
In the above embodiment, four straightening walls 130 are provided for one cyclone chuck 100 (see FIGS. 3 to 5). The four straightening walls 130 are disposed at positions shifted by about 10 degrees from an arrangement in which the positions of the two nozzles NZ of the cyclone chuck 100 coincide with the centers of two of the four straightening walls 130 (see FIG. 5). However, the straightening walls may be disposed in other ways. Specific examples of the straightening walls are shown below.

（１）整流壁の他の態様１：
図１５は、本実施形態の整流壁１３０の配置を示す説明図である。図１６および図１７は、整流壁の他の態様を示す説明図である。図１５～図１７は、サイクロン式チャック１００および整流壁を、対向面１１０に垂直な方向に沿って見た状態を示している。図１８～図３１についても同様である。 (1) Another aspect of the flow straightening wall:
Fig. 15 is an explanatory diagram showing the arrangement of the flow straightening wall 130 in this embodiment. Figs. 16 and 17 are explanatory diagrams showing other aspects of the flow straightening wall. Figs. 15 to 17 show the cyclone type chuck 100 and the flow straightening wall as viewed in a direction perpendicular to the facing surface 110. The same applies to Figs. 18 to 31.

図１６および図１７の態様においても、一つのサイクロン式チャック１００に対して４個の整流壁１３０が、互いに等しい角度間隔をあけて設けられている。ただし、図１６の態様においては、２個のノズルＮＺの位置と２個の整流壁１３０の位置とが一致するように、４個の整流壁１３０が配されている。図１７の態様においては、２個のノズルＮＺの位置と２個の整流壁１３０の位置とが一致する配置に対して、時計回りに約４５度ずれた位置に、４個の整流壁１３０が配されている。 In the embodiments of Figs. 16 and 17, four straightening walls 130 are provided for one cyclone chuck 100 at equal angular intervals. However, in the embodiment of Fig. 16, the four straightening walls 130 are arranged so that the positions of the two nozzles NZ and the positions of the two straightening walls 130 coincide. In the embodiment of Fig. 17, the four straightening walls 130 are arranged at positions shifted about 45 degrees clockwise from the arrangement in which the positions of the two nozzles NZ and the positions of the two straightening walls 130 coincide.

（２）整流壁の他の態様２：
図１８～図２１は、整流壁の他の態様を示す説明図である。これらの態様においては、一つのサイクロン式チャック１００に対して１個の整流壁１３０ｂが設けられている。整流壁１３０ｂは、２個のノズルＮＺの重心Ｇｎを中心として約９０度の角度範囲をカバーする形状を備えている。 (2) Another aspect of the flow straightening wall:
18 to 21 are explanatory diagrams showing other aspects of the straightening wall. In these aspects, one straightening wall 130b is provided for one cyclone chuck 100. The straightening wall 130b has a shape that covers an angular range of about 90 degrees with the center of gravity Gn of the two nozzles NZ as the center.

図１８の態様においては、整流壁１３０ｂは、１個のノズルＮＺの位置と整流壁１３０ｂの中心の位置とが一致する位置に配されている。図１９の態様においては、１個のノズルＮＺの位置と整流壁１３０ｂの中心の位置とが一致する配置に対して、整流壁１３０ｂは、時計回りに約４５度ずれた位置に配されている。図２０の態様においては、１個のノズルＮＺの位置と整流壁１３０ｂの中心の位置とが一致する配置に対して、整流壁１３０ｂは、時計回りに約９０度ずれた位置に配されている。図１９の態様においては、１個のノズルＮＺの位置と整流壁１３０ｂの中心の位置とが一致する配置に対して、整流壁１３０ｂは、時計回りに約１３５度ずれた位置に配されている。 In the embodiment of FIG. 18, the straightening wall 130b is disposed at a position where the position of one nozzle NZ coincides with the center position of the straightening wall 130b. In the embodiment of FIG. 19, the straightening wall 130b is disposed at a position shifted about 45 degrees clockwise from the arrangement where the position of one nozzle NZ coincides with the center position of the straightening wall 130b. In the embodiment of FIG. 20, the straightening wall 130b is disposed at a position shifted about 90 degrees clockwise from the arrangement where the position of one nozzle NZ coincides with the center position of the straightening wall 130b. In the embodiment of FIG. 19, the straightening wall 130b is disposed at a position shifted about 135 degrees clockwise from the arrangement where the position of one nozzle NZ coincides with the center position of the straightening wall 130b.

（３）整流壁の他の態様３：
図２２～図２５は、整流壁の他の態様を示す説明図である。これらの態様においては、一つのサイクロン式チャック１００に対して１個の整流壁１３０ｃが設けられている。整流壁１３０ｃは、２個のノズルＮＺの重心Ｇｎを中心として約１８０度の角度範囲をカバーする形状を備えている。 (3) Other aspect 3 of the flow straightening wall:
22 to 25 are explanatory diagrams showing other aspects of the straightening wall. In these aspects, one straightening wall 130c is provided for one cyclone chuck 100. The straightening wall 130c has a shape that covers an angular range of about 180 degrees with the center of gravity Gn of the two nozzles NZ as the center.

図２２の態様においては、整流壁１３０ｃは、１個のノズルＮＺの位置と整流壁１３０ｂの中心の位置とが一致する位置に配されている。図２３の態様においては、１個のノズルＮＺの位置と整流壁１３０ｃの中心の位置とが一致する配置に対して、整流壁１３０ｃは、時計回りに約４５度ずれた位置に配されている。図２４の態様においては、１個のノズルＮＺの位置と整流壁１３０ｃの中心の位置とが一致する配置に対して、整流壁１３０ｃは、時計回りに約９０度ずれた位置に配されている。図２５の態様においては、１個のノズルＮＺの位置と整流壁１３０ｃの中心の位置とが一致する配置に対して、整流壁１３０ｃは、時計回りに約１３５度ずれた位置に配されている。 In the embodiment of FIG. 22, the straightening wall 130c is disposed at a position where the position of one nozzle NZ coincides with the center position of the straightening wall 130b. In the embodiment of FIG. 23, the straightening wall 130c is disposed at a position shifted about 45 degrees clockwise from the arrangement where the position of one nozzle NZ coincides with the center position of the straightening wall 130c. In the embodiment of FIG. 24, the straightening wall 130c is disposed at a position shifted about 90 degrees clockwise from the arrangement where the position of one nozzle NZ coincides with the center position of the straightening wall 130c. In the embodiment of FIG. 25, the straightening wall 130c is disposed at a position shifted about 135 degrees clockwise from the arrangement where the position of one nozzle NZ coincides with the center position of the straightening wall 130c.

（４）整流壁の他の態様４：
図２６～図２９は、整流壁の他の態様を示す説明図である。これらの態様においては、一つのサイクロン式チャック１００に対して１個の整流壁１３０ｄが設けられている。整流壁１３０ｄは、２個のノズルＮＺの重心Ｇｎを中心として約２７０度の角度範囲をカバーする形状を備えている。 (4) Another aspect 4 of the flow straightening wall:
26 to 29 are explanatory diagrams showing other aspects of the straightening wall. In these aspects, one straightening wall 130d is provided for one cyclone chuck 100. The straightening wall 130d has a shape that covers an angular range of about 270 degrees with the center of gravity Gn of the two nozzles NZ as the center.

図２６の態様においては、整流壁１３０ｄは、１個のノズルＮＺの位置と整流壁１３０ｄの中心の位置とが一致する位置に配されている。図２７の態様においては、１個のノズルＮＺの位置と整流壁１３０ｄの中心の位置とが一致する配置に対して、整流壁１３０ｄは、時計回りに約４５度ずれた位置に配されている。図２８の態様においては、１個のノズルＮＺの位置と整流壁１３０ｄの中心の位置とが一致する配置に対して、整流壁１３０ｄは、時計回りに約９０度ずれた位置に配されている。図２９の態様においては、１個のノズルＮＺの位置と整流壁１３０ｄの中心の位置とが一致する配置に対して、整流壁１３０ｄは、時計回りに約１３５度ずれた位置に配されている。 In the embodiment of FIG. 26, the straightening wall 130d is disposed at a position where the position of one nozzle NZ coincides with the center position of the straightening wall 130d. In the embodiment of FIG. 27, the straightening wall 130d is disposed at a position shifted about 45 degrees clockwise from the arrangement where the position of one nozzle NZ coincides with the center position of the straightening wall 130d. In the embodiment of FIG. 28, the straightening wall 130d is disposed at a position shifted about 90 degrees clockwise from the arrangement where the position of one nozzle NZ coincides with the center position of the straightening wall 130d. In the embodiment of FIG. 29, the straightening wall 130d is disposed at a position shifted about 135 degrees clockwise from the arrangement where the position of one nozzle NZ coincides with the center position of the straightening wall 130d.

（５）整流壁の他の態様５：
図３０～図３１は、整流壁の他の態様を示す説明図である。
これらの態様においては、一つのサイクロン式チャック１００に対して８個の整流壁１３０ｄが、互いに等しい角度間隔をあけて設けられている。整流壁１３０ｅは、２個のノズルＮＺの重心Ｇｎを中心として約２０度の角度範囲をカバーする形状を備えている。 (5) Another aspect of the flow straightening wall:
30 and 31 are explanatory diagrams showing other embodiments of the flow straightening wall.
In these embodiments, eight straightening walls 130d are provided at equal angular intervals for one cyclone chuck 100. The straightening walls 130e have a shape that covers an angular range of about 20 degrees centered on the center of gravity Gn of the two nozzles NZ.

図３０の態様においては、２個のノズルＮＺの位置と２個の整流壁１３０ｅの中心とが一致する配置に対して、反時計回りに約１０度ずれた位置に、８個の整流壁１３０が配されている。図３１の態様においては、２個のノズルＮＺの位置と２個の整流壁１３０ｅの中心とが一致する位置に、８個の整流壁１３０が配されている。 In the embodiment of FIG. 30, eight straightening walls 130 are arranged at positions offset about 10 degrees counterclockwise from an arrangement in which the positions of two nozzles NZ and the centers of two straightening walls 130e coincide. In the embodiment of FIG. 31, eight straightening walls 130 are arranged at positions in which the positions of two nozzles NZ and the centers of two straightening walls 130e coincide.

本実施形態のクリーンペーパーＣＰを「シート材」とも呼ぶ。 The clean paper CP of this embodiment is also called "sheet material."

Ｂ．第２実施形態：
第１実施形態の給紙装置１０においては、アーム２１０Ｒは、１個のサイクロン式チャック１００Ｒをテーブル３１０上に支持する。アーム２１０Ｌは、１個のサイクロン式チャック１００Ｌをテーブル３１０上に支持する（図２参照）。第２実施形態の給紙装置１０Ｂは、４個のサイクロン式チャック１００を備える。第２実施形態の給紙装置１０Ｂにおいては、吸引装置２００Ｂのアーム２１０ＲＢ，２１０ＬＢは、それぞれ２個のサイクロン式チャック１００をテーブル３１０上に支持する。給紙装置１０Ｂの他の点は、第１実施形態の給紙装置１０と同じである。 B. Second embodiment:
In the sheet feeding device 10 of the first embodiment, the arm 210R supports one cyclone type chuck 100R on the table 310. The arm 210L supports one cyclone type chuck 100L on the table 310 (see FIG. 2). The sheet feeding device 10B of the second embodiment has four cyclone type chucks 100. In the sheet feeding device 10B of the second embodiment, the arms 210RB and 210LB of the suction device 200B each support two cyclone type chucks 100 on the table 310. Other points of the sheet feeding device 10B are the same as those of the sheet feeding device 10 of the first embodiment.

図３２は、給紙装置１０Ｂにおける２個のアーム２１０ＲＢ，２１０ＬＢのうちのアーム２１０ＬＢとサイクロン式チャック１００Ｌ１，１００Ｌ２とを示す説明図である。サイクロン式チャック１００Ｌ１，１００Ｌ２の構成は、第１実施形態におけるサイクロン式チャック１００Ｌと同じである（図３～図５参照）。 Figure 32 is an explanatory diagram showing arm 210LB, one of the two arms 210RB, 210LB in sheet feeder 10B, and cyclone chucks 100L1, 100L2. The configuration of cyclone chucks 100L1, 100L2 is the same as that of cyclone chuck 100L in the first embodiment (see Figures 3 to 5).

サイクロン式チャック１００Ｌ１に設けられている整流壁１３０のうち、図３２においてノズルＮＺの重心Ｇｎに対して上に位置する整流壁１３０は、左のノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇの向きを、他方のサイクロン式チャック１００Ｌ２の凹部１２０に向かう向きとは異なる向きに変える。具体的には、ノズルＮＺから吐出されて右上に向かう空気の流れＦｇの向きが、上向きに変えられる。 Of the straightening walls 130 provided in the cyclone chuck 100L1, the straightening wall 130 located above the center of gravity Gn of the nozzle NZ in FIG. 32 changes the direction of the air flow Fg discharged from the left nozzle NZ to a direction different from the direction toward the recess 120 of the other cyclone chuck 100L2. Specifically, the direction of the air flow Fg discharged from the nozzle NZ toward the upper right is changed to an upward direction.

サイクロン式チャック１００Ｌ２に設けられている整流壁１３０のうち、図３２においてノズルＮＺの重心Ｇｎに対して下に位置する整流壁１３０は、右のノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇの向きを、他方のサイクロン式チャック１００Ｌ１の凹部１２０に向かう向きとは異なる上向きに変える。具体的には、ノズルＮＺから吐出されて左下に向かう空気の流れＦｇの向きが、下向きに変えられる。 Of the straightening walls 130 provided in the cyclone chuck 100L2, the straightening wall 130 located below the center of gravity Gn of the nozzle NZ in FIG. 32 changes the direction of the air flow Fg discharged from the right nozzle NZ to an upward direction different from the direction toward the recess 120 of the other cyclone chuck 100L1. Specifically, the direction of the air flow Fg discharged from the nozzle NZ and heading toward the lower left is changed to a downward direction.

このような構成とすることにより、一つのサイクロン式チャック１００のノズルＮＺから吐出されたガスが他のサイクロン式チャック１００のノズルＮＺから吐出されたガスの流れＦｇを乱す可能性を、低減できる。このため、吸引装置２００Ｂは、安定してクリーンペーパーＣＰを保持することができる。 This configuration reduces the possibility that gas discharged from the nozzle NZ of one cyclone chuck 100 will disturb the flow Fg of gas discharged from the nozzle NZ of another cyclone chuck 100. Therefore, the suction device 200B can stably hold the clean paper CP.

Ｃ．他の実施形態：
Ｃ１．他の実施形態１：
（１）上記実施形態においては、クリーンペーパーＣＰは、長方形の外形を有する（図２および図８参照）。しかし、シート材は、円形や楕円形など、長方形以外の外形を有していてもよい。すなわち、シート材の形状は、シート材を挟んで配置される製品の形状に応じて定められることができる。 C. Other embodiments:
C1. Other embodiment 1:
(1) In the above embodiment, the clean paper CP has a rectangular outer shape (see Figs. 2 and 8). However, the sheet material may have an outer shape other than a rectangle, such as a circle or an ellipse. In other words, the shape of the sheet material can be determined according to the shape of the product to be placed across the sheet material.

（２）上記第１実施形態においては、吸引装置２００が支持台３００のテーブル３１０上から退避している状態で、シートガイド３２０，３３０，３４０に沿って上方からテーブル３１０上に複数のクリーンペーパーＣＰが配置される（図２参照）。しかし、吸引装置２００が支持台３００のテーブル３１０上にある状態において、吸引装置２００よりも下方において横方向にクリーンペーパーＣＰが搬送されてテーブル３１０上に配置されてもよい。すなわち、クリーンペーパーＣＰは任意の方法で給紙装置１０に供給されることができる。 (2) In the first embodiment described above, with the suction device 200 retracted from the table 310 of the support base 300, multiple clean papers CP are placed on the table 310 from above along the sheet guides 320, 330, and 340 (see FIG. 2). However, with the suction device 200 on the table 310 of the support base 300, the clean papers CP may be transported laterally below the suction device 200 and placed on the table 310. In other words, the clean papers CP can be supplied to the paper feeder 10 in any manner.

（３）上記第１実施形態においては、サイクロン式チャック１００は、２個のノズルＮＺを備える（図５参照）。しかし、吸引装置に備えられるサイクロン式チャックが有するノズルの数は、１個や３個、４個、６個など、他の数であってもよい。 (3) In the first embodiment described above, the cyclone chuck 100 has two nozzles NZ (see FIG. 5). However, the number of nozzles of the cyclone chuck provided in the suction device may be other numbers, such as one, three, four, six, etc.

（４）上記第１実施形態においては、サイクロン式チャック１００は、凹部１２０の底面１２１にノズルＮＺを備える。しかし、サイクロン式チャックは、凹部の内周面や凸部にノズルを備えていてもよい。また、サイクロン式チャックは、凹部の底面と内周面の境界や、凹部の底面と凸部の境界にノズルを備えていてもよい。 (4) In the first embodiment, the cyclone chuck 100 has a nozzle NZ on the bottom surface 121 of the recess 120. However, the cyclone chuck may have a nozzle on the inner peripheral surface or the protruding portion of the recess. The cyclone chuck may also have a nozzle on the boundary between the bottom surface and the inner peripheral surface of the recess, or on the boundary between the bottom surface and the protruding portion of the recess.

（５）上記第１実施形態においては、各整流壁１３０は、対向面１１０に対して垂直な向きでサイクロン式チャック１００Ｌを見たときに、円形である凹部１２０の中心軸を囲むように湾曲された板状の形状を有する（図５参照）。しかし、整流壁は、平板状でもよく、１以上の部位で屈曲した形状であってもよい。すなわち、整流壁は、目的に応じて任意の形状とすることができる。 (5) In the first embodiment described above, when the cyclone chuck 100L is viewed perpendicularly to the opposing surface 110, each straightening wall 130 has a plate-like shape curved to surround the central axis of the circular recess 120 (see FIG. 5). However, the straightening wall may be flat or may be curved at one or more locations. In other words, the straightening wall may have any shape depending on the purpose.

（６）上記第１実施形態においては、吸引装置２００は、２個のサイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌを備える（図１および図２参照）。しかし、吸引装置が有するサイクロン式チャックの数は、第２実施形態の吸引装置２００Ｂのように、４個であってもよいし、６個、８個など他の数であってもよい。 (6) In the first embodiment, the suction device 200 is equipped with two cyclone chucks 100R, 100L (see Figures 1 and 2). However, the number of cyclone chucks that the suction device has may be four, as in the suction device 200B of the second embodiment, or may be another number, such as six or eight.

（７）上記第１実施形態においては、４個の整流壁１３０を構成する構造物は、サイクロン式チャック１００の対向面１１０とは逆の端において、４個の整流壁１３０を接続する部分を備える（図３および図４参照）。しかし、複数の整流壁は、対向面から突出した部分において接続されていてもよい。 (7) In the first embodiment described above, the structure constituting the four straightening walls 130 has a portion that connects the four straightening walls 130 at the end opposite the opposing surface 110 of the cyclone chuck 100 (see Figures 3 and 4). However, the multiple straightening walls may be connected at a portion that protrudes from the opposing surface.

（８）上記実施形態においては、ノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇの向きは、整流壁１３０に当たる前の空気の流れＦｇの向きに対して、左方向に偏向させられている（図５および図３２参照）。しかし、ノズルから吐出される空気の流れの向きは、整流壁に当たる前の空気の流れの向きに対して、右方向に偏向させられてもよい。 (8) In the above embodiment, the direction of the air flow Fg discharged from the nozzle NZ is deflected to the left relative to the direction of the air flow Fg before it hits the straightening wall 130 (see Figures 5 and 32). However, the direction of the air flow discharged from the nozzle may be deflected to the right relative to the direction of the air flow before it hits the straightening wall.

（９）上記第１実施形態においては、吸引装置２００は、長方形のクリーンペーパーＣＰの４個の角部のうち、長辺に沿って並ぶ２個の角部ＣＰｃの近傍を吸引して保持する（図１および図２参照）。しかし、吸引装置は、たとえば、長方形のシート材の４個の角部の近傍の４箇所を吸引して保持してもよい。さらに、吸引装置は、シート材の中央部近傍を吸引して保持してもよい。すなわち、吸引装置は、シート材の形状および搬送の態様に応じて、任意の箇所を吸引して保持することができる。ただし、シート材の形状が長方形である場合には、隣り合う２個の角部の近傍を吸引して保持することが好ましい。そのような態様とすることにより、安定してシート材を持ち上げることができる。 (9) In the first embodiment, the suction device 200 sucks and holds the vicinity of two of the four corners CPc of the rectangular clean paper CP that are aligned along the long side (see Figures 1 and 2). However, the suction device may, for example, suck and hold four points near the four corners of the rectangular sheet material. Furthermore, the suction device may suck and hold the vicinity of the center of the sheet material. In other words, the suction device can suck and hold any point depending on the shape of the sheet material and the mode of conveyance. However, when the shape of the sheet material is rectangular, it is preferable to suck and hold the vicinity of two adjacent corners. By adopting such a mode, the sheet material can be stably lifted.

（１０）上記第１実施形態においては、シートガイド３２０Ｒは、クリーンペーパーＣＰを持ち上げる際の吸引装置２００の配置にいて、サイクロン式チャック１００Ｒに最も近い他の構造物である（図２および図５参照）。しかし、シート材を持ち上げる際の吸引装置の配置において、サイクロン式チャックに最も近い他の構造物は、吸引装置および支持台を囲む保護ケースなど、他の構造物であり得る。 (10) In the first embodiment described above, the sheet guide 320R is the other structure closest to the cyclone chuck 100R in the arrangement of the suction device 200 when lifting the clean paper CP (see Figures 2 and 5). However, in the arrangement of the suction device when lifting the sheet material, the other structure closest to the cyclone chuck may be another structure, such as a protective case surrounding the suction device and the support stand.

（１１）上記第１実施形態においては、サイクロン式チャック１００Ｒ，１００Ｌは、周囲の環境よりも高い圧力を有する空気を供給されて、その空気を複数のノズルから吐出し、旋回流を生成する（図５参照）。しかし、サイクロン式チャックは、窒素や二酸化炭素など、空気以外のガスを供給されて、そのガスを複数のノズルから吐出し、そのガスの旋回流を生成してもよい。 (11) In the first embodiment described above, the cyclone chucks 100R and 100L are supplied with air having a higher pressure than the surrounding environment, and the air is discharged from multiple nozzles to generate a swirling flow (see FIG. 5). However, the cyclone chucks may also be supplied with a gas other than air, such as nitrogen or carbon dioxide, and the gas may be discharged from multiple nozzles to generate a swirling flow of the gas.

Ｃ２．他の実施形態２：
上記第２実施形態においては、サイクロン式チャック１００Ｌ１に設けられている整流壁１３０のうち、図３２においてノズルＮＺの重心に対して上に位置する整流壁１３０は、ノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇの向きを、サイクロン式チャック１００Ｌ２の凹部１２０に向かう向きとは異なる向きに変える。サイクロン式チャック１００Ｌ２に設けられている整流壁１３０の一つも同様である。しかし、吸引装置において、あるサイクロン式チャックに設けられている整流壁が、ノズルから吐出される空気の流れの向きを、他のサイクロン式チャックの凹部に向かう向きに変えてもよい。 C2. Other embodiment 2:
In the second embodiment, among the straightening walls 130 provided in the cyclone type chuck 100L1, the straightening wall 130 located above the center of gravity of the nozzle NZ in Fig. 32 changes the direction of the air flow Fg discharged from the nozzle NZ to a direction different from the direction toward the recess 120 of the cyclone type chuck 100L2. The same is true for one of the straightening walls 130 provided in the cyclone type chuck 100L2. However, in the suction device, a straightening wall provided in a certain cyclone type chuck may change the direction of the air flow discharged from the nozzle to a direction toward the recess of another cyclone type chuck.

Ｃ３．他の実施形態３：
上記第１実施形態において、４個の整流壁１３０は、２個のノズルＮＺの重心Ｇｎを中心として、等しい角度間隔を有する複数の位置に配されている。そして、４個の整流壁１３０のうちの２個の整流壁１３０は、ノズルＮＺから吐出される空気の流れＦｇの向きを、整流壁１３０に当たる前の空気の流れＦｇの向きに対して、左方向に偏向させる。しかし、サイクロン式チャックに設けられる複数の整流壁は、互いに等しくない角度間隔を有していてもよい。また、サイクロン式チャックの周囲に、互いに等しくない角度間隔を有している複数の整流壁と、それらに加えて、それらと等しくない角度間隔を有しているとはいえない１以上の整流壁とが、設けられていてもよい。また、複数の整流壁は、それぞれガスの流れの向きを、それぞれの整流壁に当たる前のガスの流れの向きに対して、異なる方向に偏向させてもよい。 C3. Other embodiment 3:
In the first embodiment, the four straightening walls 130 are arranged at a plurality of positions having equal angular intervals around the center of gravity Gn of the two nozzles NZ. Two of the four straightening walls 130 deflect the direction of the air flow Fg discharged from the nozzle NZ to the left with respect to the direction of the air flow Fg before hitting the straightening walls 130. However, the plurality of straightening walls provided in the cyclone type chuck may have unequal angular intervals. Also, a plurality of straightening walls having unequal angular intervals and, in addition, one or more straightening walls that cannot be said to have unequal angular intervals may be provided around the cyclone type chuck. Also, the plurality of straightening walls may deflect the direction of the gas flow in a different direction with respect to the direction of the gas flow before hitting the respective straightening walls.

Ｃ４．他の実施形態４：
上記第１実施形態のステップＳ２００においてなされる吸引装置２００の配置は、以下の条件を満たす。すなわち、サイクロン式チャック１００が作動された際に、整流壁１３０により向きを変えられた後の空気の流れＦｇの向きが、クリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃに向かう向きとは異なる向きとなるように、サイクロン式チャック１００の向きが定められた状態で、吸引装置２００が配置される。 C4. Other embodiment 4:
The positioning of the suction device 200 in step S200 of the first embodiment satisfies the following condition: That is, the suction device 200 is positioned in a state in which the orientation of the cyclone chuck 100 is determined so that, when the cyclone chuck 100 is operated, the direction of the air flow Fg after being redirected by the straightening wall 130 is different from the direction toward the corner CPc of the clean paper CP.

しかし、整流壁１３０により向きを変えられた後の空気の流れＦｇの向きが、クリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃに向かう向きとなるように、サイクロン式チャック１００の向きが定められた状態で、吸引装置２００が配置される。たとえば、サイクロン式チャックがクリーンペーパーＣＰを吸引する部位とクリーンペーパーＣＰの角部ＣＰｃとの距離が十分に離れている場合には、そのような態様としても、吸引装置は、十分に安定して、シート材を保持できる。 However, the suction device 200 is positioned with the orientation of the cyclone chuck 100 determined so that the direction of the air flow Fg after being redirected by the straightening wall 130 is directed toward the corner CPc of the clean paper CP. For example, if the distance between the part where the cyclone chuck sucks the clean paper CP and the corner CPc of the clean paper CP is sufficiently large, even in such an arrangement, the suction device can hold the sheet material sufficiently stably.

Ｃ５．他の実施形態５：
上記第１実施形態のステップＳ２００においてなされる吸引装置２００の配置は、以下の条件を満たす。すなわち、整流壁１３０により向きを変えられた後の空気の流れＦｇの向きが、配置後の吸引装置２００のサイクロン式チャック１００Ｌに最も近い他の構造物であるシートガイド３２０Ｌに向かう向きとは異なる向きとなるように、サイクロン式チャック１００Ｌの向きが定められた状態で、吸引装置２００が配置される。 C5. Other embodiment 5:
The arrangement of the suction device 200 in step S200 of the first embodiment satisfies the following condition: That is, the suction device 200 is arranged in a state in which the orientation of the cyclone chuck 100L is determined so that the direction of the air flow Fg after being redirected by the straightening wall 130 is different from the direction toward the sheet guide 320L, which is the other structure closest to the cyclone chuck 100L of the suction device 200 after the arrangement.

しかし、整流壁１３０により向きを変えられた後の空気の流れＦｇの向きが、サイクロン式チャックに最も近い他の構造物に向かう向きとなるように、サイクロン式チャック１００Ｌの向きが定められた状態で、吸引装置が配置されてもよい。たとえば、サイクロン式チャックに最も近い他の構造物とサイクロン式チャックとの距離が十分に離れている場合には、そのような態様としても、吸引装置は、十分に安定して、シート材を保持できる。 However, the suction device may be positioned with the orientation of the cyclone chuck 100L determined so that the air flow Fg after being redirected by the straightening wall 130 is directed toward another structure closest to the cyclone chuck. For example, if the distance between the other structure closest to the cyclone chuck and the cyclone chuck is sufficiently large, the suction device can hold the sheet material sufficiently stably even in such an arrangement.

本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。 The present disclosure is not limited to the above-described embodiments, and can be realized in various configurations without departing from the spirit of the present disclosure. For example, the technical features of the embodiments corresponding to the technical features in each form described in the Summary of the Invention column can be replaced or combined as appropriate to solve some or all of the above-described problems or to achieve some or all of the above-described effects. Furthermore, if a technical feature is not described as essential in this specification, it can be deleted as appropriate.

１０…給紙装置、１０Ｂ…給紙装置、１００…サイクロン式チャック、１００Ｌ…サイクロン式チャック、１００Ｌ１…サイクロン式チャック、１００Ｌ２…サイクロン式チャック、１００Ｒ…サイクロン式チャック、１００ｃ…サイクロン式チャック、１１０…対向面、１２０…凹部、１２１…底面、１２２…内周面、１２３…凸部、１３０…整流壁、１３０ｂ…整流壁、１３０ｃ…整流壁、１３０ｄ…整流壁、１３０ｅ…整流壁、２００…吸引装置、２００Ｂ…吸引装置、２００ｃ…吸引装置、２１０Ｌ…アーム、２１０ＬＢ…アーム、２１０Ｒ…アーム、３００…支持台、３１０…テーブル、３２０Ｌ…シートガイド、３２０Ｒ…シートガイド、３３０Ｌ…シートガイド、３３０Ｒ…シートガイド、３４０Ｌ…シートガイド、３４０Ｒ…シートガイド、ＣＡ…凹部の中心軸、ＣＰ…クリーンペーパー、ＣＰｃ…角部、Ｆｃ…クリーンペーパーＣＰを持ち上げる力、Ｆｇ…旋回流、Ｆｇｃ…旋回流、Ｆｇｒ…乱流、Ｆｐ…クリーンペーパーＣＰを押し下げる力、Ｇｎ…ノズルの位置の重心、ＮＺ…ノズル 10...paper feeder, 10B...paper feeder, 100...cyclone chuck, 100L...cyclone chuck, 100L1...cyclone chuck, 100L2...cyclone chuck, 100R...cyclone chuck, 100c...cyclone chuck, 110...opposing surface, 120...recess, 121...bottom surface, 122...inner surface, 123...protruding portion, 130...rectifying wall, 130b...rectifying wall, 130c...rectifying wall, 130d...rectifying wall, 130e...rectifying wall, 200...suction device, 200B...suction device, 200c...suction device, 210 L...arm, 210LB...arm, 210R...arm, 300...support stand, 310...table, 320L...sheet guide, 320R...sheet guide, 330L...sheet guide, 330R...sheet guide, 340L...sheet guide, 340R...sheet guide, CA...center axis of recess, CP...clean paper, CPc...corner, Fc...force lifting clean paper CP, Fg...swirling flow, Fgc...swirling flow, Fgr...turbulent flow, Fp...force pushing down clean paper CP, Gn...center of gravity of nozzle position, NZ...nozzle

Claims (1)

吸引装置の使用方法であって、
前記吸引装置は、
燃料電池の製造に使用される重ねて配置されている複数のシート材のうち１枚のシート材を吸引することにより保持するための吸引装置であって、
前記１枚のシート材を吸引することにより保持する１以上のサイクロン式チャックであって、前記１枚のシート材と対向させる対向面に凹部を有し、前記凹部は、それぞれガスを吐出する複数のノズルを備え、ガスの旋回流を生成する、１以上のサイクロン式チャックと、
前記１以上のサイクロン式チャックのうちの１個のサイクロン式チャックの前記対向面における前記複数のノズルの重心から、前記複数のノズルよりも離れた位置に配され、前記複数のノズルのうちの１以上のノズルから吐出されるガスの流れの向きを変える１以上の整流壁と、を備え、
前記燃料電池の製造に使用される複数のシート材は、それぞれ角部を有し、前記角部の輪郭が一致するように重ねて配置されており、
前記使用方法は、
前記整流壁により向きを変えられた後の前記ガスの流れの向きが、前記角部に向かう向きとは異なる向きとなるように、前記サイクロン式チャックの向きが定められた状態で、前記吸引装置を配置する工程と、
配置された前記吸引装置により前記１枚のシート材を吸引することにより保持する工程と、を含み、
前記吸引装置を配置する工程は、前記整流壁により向きを変えられた後の前記ガスの流れの向きが、配置後の前記吸引装置の前記１以上のサイクロン式チャックに最も近い他の構造物に向かう向きとは異なる向きとなるように、前記１以上のサイクロン式チャックの向きが定められた状態で、前記吸引装置を配置する工程である、使用方法。 1. A method of using a suction device, comprising:
The suction device is
1. A suction device for holding, by suction, one sheet material among a plurality of sheet materials arranged in a pile for use in the manufacture of a fuel cell, comprising:
one or more cyclone type chucks that hold the one sheet material by suction, the one or more cyclone type chucks having recesses on their opposing surfaces that face the one sheet material, the recesses each having a plurality of nozzles that eject gas, and generating a swirling flow of gas;
one or more straightening walls arranged at a position farther away from the center of gravity of the plurality of nozzles on the facing surface of one of the one or more cyclone type chucks than the plurality of nozzles, and changing the direction of a flow of gas discharged from one or more of the plurality of nozzles ;
The plurality of sheet materials used in the manufacture of the fuel cell each have a corner, and are stacked and arranged such that the contours of the corners match,
The method of use includes:
disposing the suction device in a state in which the direction of the cyclone chuck is determined so that the direction of the gas flow after being redirected by the flow straightening wall is different from the direction toward the corner portion;
and holding the one sheet material by sucking it with the suction device disposed thereon ;
The step of positioning the suction device is a step of positioning the suction device in a state in which the orientation of the one or more cyclone type chucks is determined so that the direction of the gas flow after being redirected by the straightening wall is different from the direction toward other structures closest to the one or more cyclone type chucks of the suction device after positioning.
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