JP7581841B2 - Metal particle-containing composition, bonding paste, and bonded body - Google Patents
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Description
本発明は、金属粒子含有組成物、接合用ペースト及び接合体に関する。 The present invention relates to a metal particle-containing composition, a bonding paste, and a bonded body.
従来、金属部材同士、金属部材と半導体素子、金属部材と発光ダイオード(LED)素子等を接着するための接合材としては、はんだが使用されていた。近年、次世代パワーエレクトロニクスの技術分野では、高温動作可能なSiCなどのデバイスが求められている。このようなデバイスを製造するための接合材としては、高温駆動信頼性の観点で、はんだの代替材料が求められており、例えば、特許文献1ないし3に示すように、焼結性を有する金属粒子を用いた接合用ペースト等の接合材が提案されている。 Conventionally, solder has been used as a bonding material for bonding metal members together, between metal members and semiconductor elements, between metal members and light-emitting diode (LED) elements, etc. In recent years, in the field of next-generation power electronics technology, there has been a demand for devices such as SiC that can operate at high temperatures. As a bonding material for manufacturing such devices, there is a demand for alternative materials to solder from the viewpoint of high-temperature operating reliability. For example, as shown in Patent Documents 1 to 3, bonding materials such as bonding pastes using sinterable metal particles have been proposed.
特許文献1には、平均一次粒径0.5~3.0μmである金属サブミクロン粒子と、平均一次粒子径が1~200nmであって炭素数6~8の有機化合物で被覆された金属ナノ粒子とを含む接合材が開示されている。しかし、接合された箇所の接合強度に乏しく、冷熱サイクルに伴って接合強度が低下するという問題があった。 Patent Document 1 discloses a bonding material that contains metal submicron particles with an average primary particle size of 0.5 to 3.0 μm and metal nanoparticles with an average primary particle size of 1 to 200 nm that are coated with an organic compound with 6 to 8 carbon atoms. However, there is a problem in that the bonding strength at the bonded portion is poor, and the bonding strength decreases with thermal cycles.
特許文献2には、平均一次粒子径が1~200nmであって、炭素数8以下の有機物質で被覆されている銀ナノ粒子と、少なくともカルボキシル基を二つ有するフラックス成分を含む接合材が開示されている。また、特許文献3には、平均一次粒子径が130nm以下である銀微粒子と、銀微粒子同士の間隔を保持する架橋型粒子間距離保持剤とを含有する接合材が開示されている。 Patent Document 2 discloses a bonding material that contains silver nanoparticles with an average primary particle size of 1 to 200 nm that are coated with an organic substance having 8 or less carbon atoms, and a flux component that has at least two carboxyl groups. In addition, Patent Document 3 discloses a bonding material that contains silver fine particles with an average primary particle size of 130 nm or less, and a cross-linked interparticle distance maintaining agent that maintains the distance between the silver fine particles.
しかし、これらの接合材であっても、特許文献1に開示されている技術と同様に、接合された箇所の強度に乏しく、冷熱サイクルに伴って接合強度が低下するという問題があった。さらに、緻密で強固な接合を実現するべく、銀ナノ粒子を高濃度に含有する接合用ペーストを作成した場合、流動性が著しく乏しくなる欠点をも有していた。その結果、被接合体部に接合ペーストを印刷する工程において、印刷部分にかすれが生じたり、非塗工部が形成される問題があった。 However, even with these bonding materials, there was a problem that the strength of the bonded parts was poor, and the bonding strength decreased with thermal cycles, just like the technology disclosed in Patent Document 1. Furthermore, when a bonding paste containing a high concentration of silver nanoparticles was created to achieve a dense and strong bond, it had the disadvantage of significantly poor fluidity. As a result, there were problems with the printed parts being smudged and uncoated parts being formed in the process of printing the bonding paste on the parts to be bonded.
金属粒子を用いた接合用ペーストに求められる特性としては、被接合体部への印刷適性、十分な接合強度に加えて、冷熱サイクル等の信頼性試験後に接合強度ができるだけ低下しない事が挙げられる。 The properties required for a bonding paste using metal particles include suitability for printing on the parts to be bonded, sufficient bonding strength, and minimal loss of bonding strength after reliability tests such as thermal cycles.
したがって、本発明が解決しようとする課題は、接合された箇所の接合強度が高く、冷熱サイクルに伴う接合強度の低下が抑制された金属粒子含有組成物を提供することである。また、上記特性に加えて、高濃度に金属粒子を含有していても被接合体部への印刷適性に優れる接合用ペーストを提供することである。さらに、冷熱サイクルによって劣化しない接合体を提供することである。 Therefore, the problem that the present invention aims to solve is to provide a metal particle-containing composition that has high bonding strength at the bonded portion and suppresses the decrease in bonding strength due to thermal cycles. In addition to the above characteristics, the present invention also aims to provide a bonding paste that has excellent printability on the bonded parts even if it contains a high concentration of metal particles. Furthermore, the present invention also aims to provide a bonded body that does not deteriorate due to thermal cycles.
本発明者らは、上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明に至った。
すなわち、本発明は、平均粒子径が180nm~1000nmである金属粒子(A)と、水酸基、カルボキシ基およびアミノ基から選ばれるいずれか一種である官能基(b)を2つ以上有する炭素数20~80の化合物(B)とを含有してなる金属粒子含有組成物に関する。
The present inventors have conducted extensive research to solve the above problems and have arrived at the present invention.
That is, the present invention relates to a metal particle-containing composition comprising metal particles (A) having an average particle size of 180 nm to 1000 nm and a compound (B) having 20 to 80 carbon atoms and having two or more functional groups (b), which are any one type selected from a hydroxyl group, a carboxy group, and an amino group.
また、本発明は、上記官能基の数が、2または3である上記金属粒子含有組成物に関する。 The present invention also relates to the metal particle-containing composition in which the number of functional groups is 2 or 3.
また、本発明は、上記化合物(B)が、分岐および/または環状構造を有する上記金属粒子含有組成物に関する。 The present invention also relates to the metal particle-containing composition, in which the compound (B) has a branched and/or cyclic structure.
また、本発明は、上記官能基の数をnとした際、上記化合物(B)が、n価の炭化水素基を有する上記金属粒子含有組成物に関する。 The present invention also relates to the metal particle-containing composition, in which the compound (B) has an n-valent hydrocarbon group, where n is the number of functional groups.
また、本発明は、上記n価の炭化水素基の炭素数が、30~60である上記金属粒子含有組成物に関する。 The present invention also relates to the metal particle-containing composition, in which the n-valent hydrocarbon group has 30 to 60 carbon atoms.
また、本発明は、上記化合物(B)が、ダイマー酸、トリマー酸、ダイマージオール、トリマートリオール、ダイマージアミンおよびトリマートリアミンからなる群より選ばれる一種以上を含む上記金属粒子含有組成物に関する。 The present invention also relates to the metal particle-containing composition, in which the compound (B) contains one or more selected from the group consisting of dimer acid, trimer acid, dimer diol, trimer triol, dimer diamine, and trimer triamine.
また、本発明は、上記金属粒子(A)100質量部に対して、上記化合物(B)0.1質量部~3質量部を含有してなる上記金属粒子含有組成物に関する。 The present invention also relates to the metal particle-containing composition, which contains 0.1 to 3 parts by mass of the compound (B) per 100 parts by mass of the metal particles (A).
また、本発明は、上記金属粒子(A)100質量部に対して、上記化合物(B)0.3質量部~2.5質量部を含有してなる上記金属粒子含有組成物に関する。 The present invention also relates to the metal particle-containing composition, which contains 0.3 to 2.5 parts by mass of the compound (B) per 100 parts by mass of the metal particles (A).
また、本発明は、上記金属粒子(A)の平均粒子径が、200nm~400nmである上記金属粒子含有組成物に関する。 The present invention also relates to the metal particle-containing composition, in which the average particle size of the metal particles (A) is 200 nm to 400 nm.
また、本発明は、分散媒(C)と、上記金属粒子含有組成物とを含有する接合用ペーストに関する。 The present invention also relates to a bonding paste containing a dispersion medium (C) and the above-mentioned metal particle-containing composition.
また、本発明は、上記金属粒子(A)と上記化合物(B)と上記分散媒(C)との質量の和に占める金属粒子(A)の質量が、80質量%~95質量%である上記接合用ペーストに関する。 The present invention also relates to the above-mentioned joining paste, in which the mass of the metal particles (A) in the sum of the masses of the metal particles (A), the compound (B), and the dispersion medium (C) is 80% by mass to 95% by mass.
また、本発明は、上記接合用ペーストによって、第一の被接合部と第二の被接合部とが接合された接合体に関する。 The present invention also relates to a bonded body in which a first bonded part and a second bonded part are bonded with the bonding paste.
本発明により、接合された箇所の接合強度が高く、冷熱サイクルに伴って接合強度が低下しない金属粒子含有組成物を提供できるようになった。また、これらの効果に加えて印刷適性にも優れる接合用ペーストを提供できるようになった。更に、冷熱サイクルによって劣化しない接合体を提供できるようになった。 The present invention makes it possible to provide a metal particle-containing composition that provides high bonding strength at the bonded portion and that does not decrease with thermal cycles. It also makes it possible to provide a bonding paste that has these effects as well as excellent printability. It also makes it possible to provide a bonded body that does not deteriorate with thermal cycles.
本明細書では、「平均粒子径が180nm~1000nmである金属粒子(A)」を「金属粒子(A)」、「分子内に同一の官能基を複数個有する炭素数20~80の化合物(B)」を「化合物(B)」と略記することがある。 In this specification, "metal particles (A) having an average particle size of 180 nm to 1000 nm" may be abbreviated as "metal particles (A)," and "compound (B) having 20 to 80 carbon atoms and having multiple identical functional groups in the molecule" may be abbreviated as "compound (B)."
本発明の金属粒子含有組成物は、金属粒子(A)と、化合物(B)とを含有する。また、接合用ペーストは、上記金属粒子(A)と化合物(B)に加えて、分散媒(C)をも含有する。金属粒子含有組成物は、接合用ペーストから、接合のためのプロセス中に分散媒(C)の一部または全部が揮発することによって形成されてもよい。 The metal particle-containing composition of the present invention contains metal particles (A) and a compound (B). The joining paste also contains a dispersion medium (C) in addition to the metal particles (A) and the compound (B). The metal particle-containing composition may be formed by volatilizing a part or all of the dispersion medium (C) from the joining paste during the joining process.
(金属粒子(A))
金属粒子(A)中の金属としては、例えば、金、銀、銅、ニッケル、クロム、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、インジウム、ケイ素、アルミニウム、タングステン、モリブデン、白金およびこれらの合金が挙げられる。また、核体と、上記核体物質とは異なる物質で被覆した微粒子、具体的には、例えば、銅を核体とし、その表面を銀で被覆した銀コート銅粉等が挙げられる。また、酸化銀、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化ルテニウム、ITO(スズドープ酸化インジウム)、AZO(アルミドープ酸化亜鉛)、およびGZO(ガリウムドープ酸化亜鉛)等の金属酸化物の粉末、ならびにこれらの金属酸化物で表面被覆した粉末等も挙げられる。使用する金属の種類は1種でもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
(Metal Particles (A))
Examples of the metal in the metal particles (A) include gold, silver, copper, nickel, chromium, palladium, rhodium, ruthenium, indium, silicon, aluminum, tungsten, molybdenum, platinum, and alloys thereof.Furthermore, the core and the fine particles coated with a material different from the core material can be mentioned, specifically, for example, silver-coated copper powder, in which copper is used as the core and its surface is coated with silver.Furthermore, the powder can include metal oxide powders such as silver oxide, indium oxide, tin oxide, zinc oxide, ruthenium oxide, ITO (tin-doped indium oxide), AZO (aluminum-doped zinc oxide), and GZO (gallium-doped zinc oxide), as well as powders surface-coated with these metal oxides.The type of metal used can be one type, or two or more types can be used in combination.
特に優れた強度を有する接合体が得られる点で、金属粒子(A)は銅または銀から選ばれることが好ましい。さらに、幅広い焼成温度に対応することができ、大気圧下、窒素雰囲気、真空中、または還元雰囲気などの様々な焼成環境にも対応できる点で、金属粒子(A)は銀であることがより好ましい。 The metal particles (A) are preferably selected from copper or silver, since a bonded body having particularly excellent strength can be obtained. Furthermore, the metal particles (A) are more preferably silver, since they can be used at a wide range of firing temperatures and in various firing environments, such as under atmospheric pressure, in a nitrogen atmosphere, in a vacuum, or in a reducing atmosphere.
金属粒子(A)は、特定の平均粒子径の範囲にあることで、金属粒子含有組成物や接合ペーストが加熱および焼結される200℃から350℃の温度範囲で粒子同士が溶融または結着(以下、焼結ともいう)する機能を有し、バルクの金属に変化することが可能となっている。その結果、被接合体を接合するに至る。以下、被接合体の間に存在する金属粒子(A)が焼結することで形成される部位を接合層と呼ぶ。 The metal particles (A) are within a specific average particle size range, and therefore have the ability to melt or bond together (hereinafter also referred to as sintering) in the temperature range of 200°C to 350°C at which the metal particle-containing composition or bonding paste is heated and sintered, making it possible for the particles to change into bulk metal. As a result, the objects to be joined are joined. Hereinafter, the area formed by sintering the metal particles (A) present between the objects to be joined is referred to as the bonding layer.
本発明では、特定の平均粒子径を有する金属粒子(A)を用いることが重要である。本明細書でいう「平均粒子径」とは、実施例に記載した測定方法よって求められた体積基準の50%積算粒子径分布粒子径(d50)を意味する。金属粒子(A)のd50は180~1000nmであり、好ましくは200~400nm、より好ましくは、200~300nmである。 In the present invention, it is important to use metal particles (A) having a specific average particle size. In this specification, "average particle size" means the 50% cumulative particle size distribution particle size (d50) on a volume basis determined by the measurement method described in the Examples. The d50 of metal particles (A) is 180 to 1000 nm, preferably 200 to 400 nm, and more preferably 200 to 300 nm.
金属粒子(A)は表面を有機成分(a)で被覆されていることが好ましい。有機成分(a)で被覆されていると金属粒子含有組成物や接合用ペーストの保存安定性が増すことが期待できる。有機成分(a)としては、脂肪酸、脂肪族アミン、脂肪族アルコールなどが挙げられるが、飽和または不飽和の脂肪酸であることが好ましく、炭素数が3~18の飽和または不飽和の脂肪酸であることがより好ましく、炭素数が6~18の飽和または不飽和の脂肪酸であることがさらに好ましい。有機成分(a)は1種または2種以上含んでいても良い。 The metal particles (A) are preferably surface-coated with an organic component (a). Coating with the organic component (a) is expected to increase the storage stability of the metal particle-containing composition and the bonding paste. Examples of the organic component (a) include fatty acids, aliphatic amines, and aliphatic alcohols, and are preferably saturated or unsaturated fatty acids, more preferably saturated or unsaturated fatty acids having 3 to 18 carbon atoms, and even more preferably saturated or unsaturated fatty acids having 6 to 18 carbon atoms. The organic component (a) may contain one or more types.
金属粒子(A)は、単独で使用してもよいし、複数組み合わせて使用してもよい。また、必要に応じて、金属粒子(A)以外の金属粒子を併用してもよい。金属粒子(A)以外の金属粒子を併用する場合は、平均粒子径1000nmを超える粒子径の金属粒子を組み合わせて使用することが好ましい。 The metal particles (A) may be used alone or in combination. If necessary, metal particles other than the metal particles (A) may be used in combination. When metal particles other than the metal particles (A) are used in combination, it is preferable to use a combination of metal particles having an average particle size of more than 1000 nm.
<化合物(B)>
次に、化合物(B)について説明する。一般に、金属粒子は粉体であるから、化合物(B)を含まない場合、接合用ペースト中から分散媒が揮発するに伴い、被接合部との界面形成をしにくくなるが、本発明の化合物(B)が共存することで、分散媒(C)の一部または全部が揮発した後も、液状の金属粒子含有組成物として振る舞うことができるため、被接合部と一体となった良好な接合界面を形成しやすくなっている。
<Compound (B)>
Next, the compound (B) will be described. Generally, since metal particles are powder, when the compound (B) is not included, as the dispersion medium evaporates from the bonding paste, it becomes difficult to form an interface with the bonded part, but by coexisting with the compound (B) of the present invention, even after a part or all of the dispersion medium (C) evaporates, the composition can behave as a liquid metal particle-containing composition, so that it is easy to form a good bonded interface that is integrated with the bonded part.
化合物(B)は、分子内に水酸基、カルボキシ基またはアミノ基から選ばれるいずれか一種の官能基(以下、この官能基を「官能基(b)」と称することとする)を2つ以上有し、炭素数20~80からなる構造を有している。 Compound (B) has two or more functional groups in the molecule selected from hydroxyl groups, carboxy groups, and amino groups (hereinafter, these functional groups will be referred to as "functional groups (b)") and has a structure with 20 to 80 carbon atoms.
化合物(B)の炭素数は、官能基(b)中の炭素も含んだ数値を表す。したがって、化合物(B)中の官能基(b)が、カルボキシ基の場合、このカルボキシ基中の炭素も含めた炭素数を化合物(B)の炭素数とみなす。 The number of carbon atoms in compound (B) includes the number of carbon atoms in functional group (b). Therefore, if functional group (b) in compound (B) is a carboxy group, the number of carbon atoms including the carbon atom in the carboxy group is considered to be the number of carbon atoms in compound (B).
化合物(B)において、官能基(b)を除いた骨格(部分構造)は、有機残基であるが、炭化水素基または複数の炭化水素基がヘテロ原子を含む連結基で結合された基であることが好ましい。このようなヘテロ原子を含む連結基としては、-O-基(エーテル基)、-C(=O) -基(カルボニル基)、-C(=O)-O-基(エステル基、オキシカルボニル基ともいう)、-C(=O)-NH-基(アミド基、イミノカルボニル基ともいう)が挙げられる。化合物(B)は、官能基(b)以外の官能基を有さないことが好ましい。 In compound (B), the skeleton (partial structure) excluding functional group (b) is an organic residue, but is preferably a hydrocarbon group or a group in which multiple hydrocarbon groups are linked by a linking group containing a heteroatom. Examples of such linking groups containing a heteroatom include an -O- group (ether group), a -C(=O)- group (carbonyl group), a -C(=O)-O- group (also called an ester group or oxycarbonyl group), and a -C(=O)-NH- group (also called an amide group or iminocarbonyl group). It is preferable that compound (B) does not have any functional groups other than functional group (b).
化合物(B)の性状は、特に限定されないが、本発明の金属粒子含有組成物が焼成される温度領域である200℃~350℃において液状であることが好ましい。化合物(B)は、常温(25℃)で固体でも液状でもよいが、金属粒子含有組成物中に均一に分散して、効果的に作用しうる点で、常温で液状であることがより好ましい。 The properties of compound (B) are not particularly limited, but it is preferably liquid at 200°C to 350°C, which is the temperature range in which the metal particle-containing composition of the present invention is fired. Compound (B) may be solid or liquid at room temperature (25°C), but it is more preferably liquid at room temperature, so that it can be uniformly dispersed in the metal particle-containing composition and act effectively.
化合物(B)が上記温度領域で液状である性質を有する場合、被接合部との接合界面における濡れ性が増し、接触面積が増大することが期待できる。その結果、強固な接合界面を有する接合体を製造することが可能となる。また、焼結時の接合層中に空隙が形成された場合であっても、金属粒子含有組成物の流動性が増すため、空隙等の欠陥部に液状の化合物(B)が流入し、欠陥の少ない接合層および接合体を得ることが可能であると考えられる。 When compound (B) has the property of being liquid in the above temperature range, it is expected that the wettability at the bonding interface with the bonded parts will increase, and the contact area will increase. As a result, it is possible to manufacture a bonded body with a strong bonding interface. Furthermore, even if voids are formed in the bonding layer during sintering, it is believed that the increased fluidity of the metal particle-containing composition will allow liquid compound (B) to flow into defective parts such as voids, making it possible to obtain a bonding layer and bonded body with fewer defects.
化合物(B)中の官能基(b)の数は、2または3であることが好ましい。 The number of functional groups (b) in compound (B) is preferably 2 or 3.
化合物(B)は、直鎖構造でもよいし、分岐および/または環状構造を有していてもよいが、分岐および/または環状構造を有することが好ましい。分岐および/または環状構造を有する場合、結晶性が低く、良好な流動性を有する液状となりやすい点で、好ましい。 Compound (B) may have a linear structure or a branched and/or cyclic structure, but preferably has a branched and/or cyclic structure. When compound (B) has a branched and/or cyclic structure, it is preferable that compound (B) has a branched and/or cyclic structure, since it tends to be a liquid with low crystallinity and good fluidity.
化合物(B)の官能基(b)の数をnとした場合、化合物(B)はn価の炭化水素基を有することが好ましい。化合物(B)において、官能基(b)を除いた骨格は、強固な接合体が得られる点で、n価の炭化水素基のみからなることがより好ましい。 When the number of functional groups (b) in compound (B) is n, compound (B) preferably has an n-valent hydrocarbon group. In compound (B), the skeleton excluding functional groups (b) is more preferably composed only of n-valent hydrocarbon groups, in that a strong bonded body can be obtained.
上記の理由から、化合物(B)は、焼結を開始した時点では直ちに蒸発しないことが好ましいが、焼結が終了した時点では、形成された接合層中に必ずしも残存していなくてよい。n価の炭化水素基の炭素数が30~60である場合、焼結後の接合層中に残存する化合物(B)の量がより低減でき、より緻密な接合層が得られ易くなるため好ましい。その結果、初期の接合強度に優れ、冷熱サイクルに伴う接合強度の低下抑制が一層期待できる。 For the above reasons, it is preferable that compound (B) does not evaporate immediately when sintering begins, but it does not necessarily have to remain in the formed bonding layer when sintering is completed. When the carbon number of the n-valent hydrocarbon group is 30 to 60, the amount of compound (B) remaining in the bonding layer after sintering can be further reduced, which is preferable because it makes it easier to obtain a denser bonding layer. As a result, the initial bonding strength is excellent, and it can be expected that the decrease in bonding strength due to thermal cycles will be further suppressed.
化合物(B)の具体例としては、直鎖構造としては、エイコサン二酸、ヘネイコサン二酸、ドコサン二酸、テトラコサン二酸、トリアコンタン二酸、ドトリアコンタン二酸、テトラコンタン二酸、ペンタコンタン二酸、ヘキサコンタン二酸、バチルアルコール等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。 Specific examples of compound (B) having a linear structure include, but are not limited to, eicosane diacid, heneicosane diacid, docosane diacid, tetracosane diacid, triacontanedioic acid, dotriacontanedioic acid, tetracontanedioic acid, pentacontanedioic acid, hexacontanedioic acid, and batyl alcohol.
また、分岐および/または環状構造としては、ダイマー酸、トリマー酸、テトラマー酸、ダイマージオール、トリマートリオール、テトラマーテトラオール、ダイマージアミン、トリマートリアミン、テトラマーテトラミン、フィタントリオール等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。 In addition, examples of branched and/or cyclic structures include, but are not limited to, dimer acid, trimer acid, tetramer acid, dimer diol, trimer triol, tetramer tetraol, dimer diamine, trimer triamine, tetramer tetramine, phytantriol, etc.
これらの具体例の中で、化合物(B)としては、先に述べた理由から、ダイマー酸、トリマー酸、ダイマージオール、トリマートリオール、ダイマージアミン、トリマートリアミンから選ばれることが、より好ましい。 Among these specific examples, for the reasons described above, it is more preferable that compound (B) be selected from dimer acid, trimer acid, dimer diol, trimer triol, dimer diamine, and trimer triamine.
ダイマー酸、トリマー酸およびテトラマー酸は、不飽和脂肪酸の多量化反応で製造することができる。例えば、オレイン酸(炭素数18)とリノール酸(炭素数18)とのDiels-Alder反応や、ラジカル反応によって製造することができる。ダイマー酸、トリマー酸およびテトラマー酸は、炭素数がそれぞれ、36、54および72であることが好ましい。また、原料となる不飽和脂肪酸の炭素数を適宜変更することで、上記以外の炭素数を有する化合物(B)を製造することが可能である。尚、本明細書では、炭素数12以上の不飽和脂肪酸の二量体、三量体および四量体を、それぞれダイマー酸、トリマー酸およびテトラマー酸と呼称するものとする。 Dimer acid, trimer acid, and tetramer acid can be produced by a polymerization reaction of unsaturated fatty acids. For example, they can be produced by a Diels-Alder reaction between oleic acid (carbon number 18) and linoleic acid (carbon number 18) or a radical reaction. The carbon numbers of dimer acid, trimer acid, and tetramer acid are preferably 36, 54, and 72, respectively. In addition, by appropriately changing the carbon number of the raw material unsaturated fatty acid, it is possible to produce a compound (B) having a carbon number other than the above. In this specification, the dimer, trimer, and tetramer of unsaturated fatty acids having 12 or more carbon atoms are referred to as dimer acid, trimer acid, and tetramer acid, respectively.
ダイマージオールはダイマー酸のカルボキシ基を、トリマートリオールはトリマー酸のカルボキシ基を、テトラマーテトラオールはテトラマー酸のカルボキシ基を、それぞれ、水酸基に還元した構造を有している。ダイマージオール、トリマートリオールおよびテトラマーテトラオールは、炭素数がそれぞれ、36、54および72であることが好ましい。 Dimer diol, trimer triol, and tetramer tetraol each have a structure in which the carboxy group of the dimer acid has been reduced to a hydroxyl group. Trimer triol, trimer triol, and tetramer tetraol each have a carboxy group of the tetramer acid each reduced to a hydroxyl group. Dimer diol, trimer triol, and tetramer tetraol preferably have carbon numbers of 36, 54, and 72, respectively.
ダイマージアミンはダイマー酸のカルボキシ基を、トリマートリアミンはトリマー酸のカルボキシ基を、テトラマーテトラミンはテトラマー酸のカルボキシ基を、それぞれ、アミノ基に官能基変換した構造を有している。ダイマージアミン、トリマートリアミンおよびテトラマーテトラミンは、炭素数がそれぞれ、36、54および72であることが好ましい。 Dimer diamine has a structure in which the carboxy group of dimer acid has been functionally converted to an amino group, trimer triamine has a structure in which the carboxy group of trimer acid has been functionally converted to an amino group, and tetramer tetramine has a structure in which the carboxy group of tetramer acid has been functionally converted to an amino group. Dimer diamine, trimer triamine, and tetramer tetramine preferably have carbon numbers of 36, 54, and 72, respectively.
化合物(B)は、製法上、多量化度が異なる化合物の混合物である場合があるが、異なる多量体の混合物として使用してもよいし、特定の単一化合物を使用してもよい。 Due to the manufacturing process, compound (B) may be a mixture of compounds with different degrees of polymerization, but it may be used as a mixture of different polymerization products, or a specific single compound may be used.
本発明の金属粒子含有組成物において、化合物(B)は、金属粒子(A)100質量部に対して、0.1質量部~3質量部含有することが好ましく、0.3質量部~2.5質量部含有することがより好ましい。この範囲であれば、初期の接合強度に特に優れ、冷熱サイクルに伴う接合強度の低下を抑制された接合体を得ることが可能である。 In the metal particle-containing composition of the present invention, the compound (B) is preferably contained in an amount of 0.1 to 3 parts by mass, and more preferably 0.3 to 2.5 parts by mass, per 100 parts by mass of the metal particles (A). Within this range, it is possible to obtain a bonded body that is particularly excellent in initial bond strength and in which the decrease in bond strength due to thermal cycles is suppressed.
本発明の接合用ペーストは、分散媒(C)を含有する。分散媒(C)は、金属粒子(A)と化合物(B)を分散する機能を担う。 The bonding paste of the present invention contains a dispersion medium (C). The dispersion medium (C) serves to disperse the metal particles (A) and the compound (B).
分散媒(C)は、金属粒子(A)と化合物(B)とを均一に分散することできればよく、具体例としては、ターピネオール、ジヒドロターピネオール、ジヒドロターピニルアセテート、テルソルブMTPH(日本テルペン株式会社製)、テキサノール(2,2,4-トリメチルペンタン―1,3-ジオールモノイソブチラート)、カルビトール、カルビトールアセテート、ブチルカルビトール、イソホロン、γ-ブチルラクトン、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチル-n-プロピルエーテル、3-メトキシ-3-メチルブチルアセテート、エチレングリコール、ヘキサン酸、プロピレングリコールジアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、1,3-ブチレングリコール、炭化水素系溶剤に含まれるイソパラフィン系溶剤等が挙げられるが、これらに限定されない。 The dispersion medium (C) may be any medium capable of uniformly dispersing the metal particles (A) and the compound (B). Specific examples include, but are not limited to, terpineol, dihydroterpineol, dihydroterpinyl acetate, Tersorb MTPH (manufactured by Nippon Terpene Co., Ltd.), Texanol (2,2,4-trimethylpentane-1,3-diol monoisobutyrate), carbitol, carbitol acetate, butyl carbitol, isophorone, γ-butyrolactone, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol methyl-n-propyl ether, 3-methoxy-3-methylbutyl acetate, ethylene glycol, hexanoic acid, propylene glycol diacetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, 1,3-butylene glycol, and isoparaffin-based solvents contained in hydrocarbon-based solvents.
これら分散媒(C)の中で、ターピネオール、ジヒドロターピネオール、テルソルブMTPH、テキサノール、カルビトール、カルビトールアセテート、ブチルカルビトール、イソホロン、γ-ブチルラクトン、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、イソパラフィン系溶剤が、より好ましく用いられる。これら分散媒(C)は、単独または複数を組み合わせて用いることができる。 Of these dispersion media (C), terpineol, dihydroterpineol, tersolve MTPH, texanol, carbitol, carbitol acetate, butyl carbitol, isophorone, γ-butyrolactone, dipropylene glycol monomethyl ether, and isoparaffin-based solvents are more preferably used. These dispersion media (C) can be used alone or in combination.
接合用ペーストの焼結に際し、分散媒(C)の沸点が、化合物(B)の沸点より低い場合、焼結時の金属粒子含有組成物と共存する分散媒(C)の量を低減することができ、金属粒子(A)の含有率を高めることができるため好ましい。 When sintering the joining paste, if the boiling point of the dispersion medium (C) is lower than the boiling point of the compound (B), the amount of the dispersion medium (C) coexisting with the metal particle-containing composition during sintering can be reduced, and the content of the metal particles (A) can be increased, which is preferable.
本発明の接合用ペーストは、金属粒子(A)と化合物(B)とを組み合わせて用いることにより、金属粒子(A)を高濃度に含有しても、すなわち分散媒(C)の含有比率が少ない場合であっても、優れた流動性を有しているため、被接合体部への印刷適性に優れている。その結果、より欠陥の少ない強固な接合体を得ることが可能となっている。 The bonding paste of the present invention uses a combination of metal particles (A) and compound (B) to have excellent fluidity even when it contains a high concentration of metal particles (A), i.e., when the content ratio of dispersion medium (C) is low, and therefore has excellent printability on the bonded parts. As a result, it is possible to obtain a stronger bonded body with fewer defects.
接合用ペーストは、金属粒子(A)と化合物(B)と分散媒(C)との質量の和に占める金属粒子(A)の質量の割合が、80質量%~95質量%であることが好ましく、85質量%~94質量%であることがより好ましい。上記範囲で含むことにより、接合用ペーストとして良好な印刷適性を確保できるとともに、接合体中での分散媒(C)の残留を抑制し、分散媒(C)由来の空隙(ボイド)の発生を抑制し、良好な接合強度を発現できる。 In the bonding paste, the mass ratio of the metal particles (A) to the sum of the masses of the metal particles (A), the compound (B), and the dispersion medium (C) is preferably 80% by mass to 95% by mass, and more preferably 85% by mass to 94% by mass. By including the above range, it is possible to ensure good printability as a bonding paste, suppress the residue of the dispersion medium (C) in the bonded body, suppress the occurrence of voids originating from the dispersion medium (C), and achieve good bonding strength.
本発明の接合用ペーストは、添加剤を含むことができ、焼結促進剤やバインダー樹脂、または樹脂型分散剤などを添加することができる。 The joining paste of the present invention may contain additives, such as a sintering accelerator, binder resin, or resin-type dispersant.
金属粒子(A)、化合物(B)および分散媒(C)とから接合用ペーストを調製する装置としては、ディスパー、3本ロール、ビーズミル、超音波分散機、自公転式撹拌機等が挙げられる。 Examples of devices for preparing a joining paste from metal particles (A), compound (B) and dispersion medium (C) include a disperser, a three-roll mill, a bead mill, an ultrasonic disperser, a self-rotating mixer, etc.
本発明の接合用ペーストによって、第一の被接合部と第二の被接合部とを接合し、接合体を得ることができる。 The joining paste of the present invention can be used to join a first joining part and a second joining part to obtain a joined body.
接合用ペーストを被接合体に塗布する方法としては、部材上に均一に塗布できる方法であれば特に限定されるものではない。例えば、スクリーン印刷、フレキソ印刷、オフセット印刷、グラビア印刷、メタルマスク印刷、グラビアオフセット印刷等の各種印刷法、ディスペンサーを使用した吐出法等が挙げられ、本発明の接合用ペーストは、高濃度で金属粒子を含有していても流動性に優れているため、特にメタルマスク印刷と組み合わせて用いることが好ましい。 The method of applying the bonding paste to the objects to be bonded is not particularly limited as long as it can be applied uniformly to the members. Examples include various printing methods such as screen printing, flexographic printing, offset printing, gravure printing, metal mask printing, and gravure offset printing, and ejection methods using a dispenser. The bonding paste of the present invention has excellent fluidity even when it contains a high concentration of metal particles, so it is particularly preferable to use it in combination with metal mask printing.
本発明の接合用ペーストを塗布した第一の被接合部に第二の被接合部を載置させる際に、圧力をかけながら載置させる事もできる。圧力としては、接合用ペーストの粘度やペーストの乾燥状態により適宜設定されるが、好ましくは0.1~40MPa、更に好ましくは0.3~30MPaである。 When placing the second part to be joined on the first part to be joined coated with the joining paste of the present invention, pressure can be applied during the placement. The pressure is set appropriately depending on the viscosity of the joining paste and the drying state of the paste, but is preferably 0.1 to 40 MPa, and more preferably 0.3 to 30 MPa.
第一の被接合部に第二の被接合部を載置した積層体を接合するための焼結の条件は、適宜変更されるが、例えば、大気圧下、窒素雰囲気、真空中、または還元雰囲気で200~350℃等の条件を挙げることができる。焼成装置としては、熱風オーブン、赤外線オーブン、リフローオーブン、マイクロウエーブオーブン、ホットプレート、光焼成装置等が挙げられる。これら装置を適宜、単独でまたは複数用いることができる。また、焼結を行いながら圧力を加えてもよい。圧力としては、接合用ペーストの粘度やペーストの乾燥状態により適宜設定されるが、好ましくは0.1~40MPa、更に好ましくは0.3~30MPaである。 The sintering conditions for joining a laminate in which a second bonded portion is placed on a first bonded portion may be changed as appropriate, but may include, for example, conditions such as atmospheric pressure, a nitrogen atmosphere, a vacuum, or a reducing atmosphere at 200 to 350°C. As the sintering device, a hot air oven, an infrared oven, a reflow oven, a microwave oven, a hot plate, an optical sintering device, etc. may be used alone or in combination as appropriate. Pressure may also be applied during sintering. The pressure is set as appropriate depending on the viscosity of the bonding paste and the drying state of the paste, but is preferably 0.1 to 40 MPa, more preferably 0.3 to 30 MPa.
焼成工程の前に、接合塗膜中の有機成分を取り除く目的で、適宜予備乾燥工程を入れることもできる。例えば、焼成装置と同様な装置を用いて60~220℃の範囲での条件が挙げられる。 Before the firing process, a preliminary drying process can be carried out as appropriate to remove organic components from the bonded coating film. For example, a pre-drying process can be carried out using a device similar to the firing device under conditions ranging from 60 to 220°C.
2つの被接合部を接合する好ましい方法としては、本発明の接合用ペーストを、第一の被接合部に塗布した後、第二の被接合部を載置し、300℃程度まで、2℃/分程度の昇温速度で昇温し焼結を行う方法が挙げられる。昇温終了後、昇温終了時の温度よりも高い温度で10分間~2時間程度維持することが好ましい。 A preferred method for joining two parts to be joined is to apply the joining paste of the present invention to the first part to be joined, place the second part to be joined on it, and heat it up to about 300°C at a heating rate of about 2°C/min to perform sintering. After the heating is complete, it is preferable to maintain the temperature higher than the temperature at the end of the heating for about 10 minutes to 2 hours.
被接合部の種類は特に限定されず、金属材料、半導体材料、プラスチック材料、セラミック材料等を挙げることができる。また、電子素子を挙げることができる。 The type of the parts to be joined is not particularly limited, and examples include metal materials, semiconductor materials, plastic materials, ceramic materials, etc. Also included are electronic elements.
金属としては、例えば、銅、金、アルミニウム等を挙げることができる。
半導体材料としては、シリコン(ケイ素)、ゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化ガリウム、硫化カドミウム、窒化珪素、黒鉛、酸化イットリウム、酸化マグネシウム、炭化ケイ素、窒化ガリウム等を挙げることができる。
プラスチック材料としては、ポリイミド、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレンナフタレート等を挙げることができる。
セラミック材料としては、例えば、ガラス、シリコン等を挙げることができる。
Examples of the metal include copper, gold, and aluminum.
Examples of semiconductor materials include silicon, germanium, gallium arsenide, gallium phosphide, cadmium sulfide, silicon nitride, graphite, yttrium oxide, magnesium oxide, silicon carbide, and gallium nitride.
Examples of the plastic material include polyimide, polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, polycarbonate, and polyethylene naphthalate.
Examples of the ceramic material include glass and silicon.
また、電子素子としては、半導体素子、LED素子、パワーデバイス素子等を挙げることができる。 Examples of electronic elements include semiconductor elements, LED elements, and power device elements.
第一の被接合部及び第二の被接合部は、同じ種類だけではなく、異なる種類の部材であってもよい。被接合部は、接合された箇所の接合強度を大きくするため、被接合部の表面をコロナ処理、メッキ処理等で施されていてもよい。 The first and second joined parts may be of different types, not just the same type. The surfaces of the joined parts may be corona-treated, plated, or otherwise treated to increase the joining strength at the joined location.
本発明の金属粒子含有組成物や接合用ペーストで被接合部を接合した際に形成される接合層の膜厚に制限はないが、3μm~500μmが好ましく、10μm~200μmがより好ましく、20μm~100μmがさらに好ましい。 There is no limit to the thickness of the bonding layer formed when bonding parts using the metal particle-containing composition or bonding paste of the present invention, but it is preferably 3 μm to 500 μm, more preferably 10 μm to 200 μm, and even more preferably 20 μm to 100 μm.
以下、実施例及び比較例を用いて本発明を詳細に説明するが、本発明の技術的範囲はこれに限定されるものではない。尚、例中、特に断りがない限り「部」とは「質量部」を、「%」とは「質量%」をそれぞれ表し、表中の数値は、特に断りがない限り「部」を表す。 The present invention will be described in detail below using examples and comparative examples, but the technical scope of the present invention is not limited thereto. In the examples, unless otherwise specified, "parts" means "parts by mass" and "%" means "% by mass", and the numerical values in the tables mean "parts" unless otherwise specified.
(製造例1)金属粒子A1
窒素雰囲気下、25℃で攪拌しながらトルエン200部およびヘキサン酸銀22.3部を混合し、0.5Mの溶液とした後に、分散剤としてジエチルアミノエタノール1.6部、オレイン酸0.28部を添加し溶解させた。その後、還元剤として濃度20%のコハク酸ジヒドラジド(以下、SUDH)水溶液73.1部を滴下すると液色が淡黄色から濃茶色に変化した。さらに反応を促進させるために40℃に昇温し、反応を進行させた。静置、分離した後、水相を取り出すことで過剰の還元剤や不純物を除去し、さらにトルエン層に数回蒸留水を加え、洗浄、分離を繰り返した後、トルエンを加え遠心分離後に上澄み液を除去する工程を2回繰り返した。沈殿物を乾燥させて、銀粒子がヘキサン酸およびオレイン酸で被覆された金属粒子A1を得た。金属粒子A1の粒子径を後述する方法で求めたところ、d50は210nmであった。
(Production Example 1) Metal particles A1
Under a nitrogen atmosphere, 200 parts of toluene and 22.3 parts of silver hexanoate were mixed with stirring at 25° C. to obtain a 0.5 M solution, and then 1.6 parts of diethylaminoethanol and 0.28 parts of oleic acid were added as a dispersant. After that, 73.1 parts of a 20% aqueous solution of succinic dihydrazide (hereinafter, SUDH) was added dropwise as a reducing agent, and the color of the solution changed from light yellow to dark brown. The temperature was raised to 40° C. to allow the reaction to proceed. After leaving the mixture to stand and separating, the aqueous phase was removed to remove excess reducing agent and impurities. Distilled water was further added to the toluene layer several times to wash it, After repeating the separation, the process of adding toluene, centrifuging, and then removing the supernatant was repeated twice. The precipitate was dried to obtain metal particles A1 in which silver particles were coated with hexanoic acid and oleic acid. The particle size of the metal particles A1 was determined by the method described below, and d50 was 210 nm.
(製造例2)金属粒子A2
ジエチルアミノエタノール1.8部、オレイン酸の量を0.31部とした以外は、製造例1と同様にして、金属粒子A2を得た。d50は185nmであった。
(製造例3)金属粒子A3
ジエチルアミノエタノール1.2部、オレイン酸の量を0.18部とした以外は、製造例1と同様にして、金属粒子A3を得た。d50は290nmであった。
(製造例4)金属粒子A4
ジエチルアミノエタノール1.0部、オレイン酸の量を0.14部とした以外は、製造例1と同様にして、金属粒子A4を得た。d50は390nmであった。
(Production Example 2) Metal particles A2
Metal particles A2 were obtained in the same manner as in Production Example 1, except that the amount of diethylaminoethanol was 1.8 parts and the amount of oleic acid was 0.31 parts. The d50 was 185 nm.
(Production example 3) Metal particles A3
Metal particles A3 were obtained in the same manner as in Production Example 1, except that the amount of diethylaminoethanol was 1.2 parts and the amount of oleic acid was 0.18 parts. The d50 was 290 nm.
(Production Example 4) Metal particles A4
Metal particles A4 were obtained in the same manner as in Production Example 1, except that the amount of diethylaminoethanol was 1.0 part and the amount of oleic acid was 0.14 part. The d50 was 390 nm.
(製造例5)金属粒子A5
ジエチルアミノエタノール0.6部、オレイン酸の量を0.070部とした以外は、製造例1と同様にして、金属粒子A5を得た。d50は1100nmであった。
(製造例6)金属粒子A6
ジエチルアミノエタノール2.3部、オレイン酸の量を2.8部とした以外は、製造例1と同様にして、金属粒子A6を得た。d50は20nmであった。
(製造例7)金属粒子A7
ジエチルアミノエタノール2.1部、オレイン酸の量を0.71部とした以外は、製造例1と同様にして、金属粒子A7を得た。d50は85nmであった。上記の方法で製造された金属粒子の内、金属粒子A1~A4が金属粒子(A)に該当し、金属粒子A5~A7が金属粒子(A)ではない金属粒子に該当する。
(Production Example 5) Metal particles A5
Metal particles A5 were obtained in the same manner as in Production Example 1, except that the amount of diethylaminoethanol was 0.6 parts and the amount of oleic acid was 0.070 parts. The d50 was 1100 nm.
(Production Example 6) Metal particles A6
Metal particles A6 were obtained in the same manner as in Production Example 1, except that the amount of diethylaminoethanol was 2.3 parts and the amount of oleic acid was 2.8 parts. The d50 was 20 nm.
(Production Example 7) Metal particles A7
Metal particles A7 were obtained in the same manner as in Production Example 1, except that the amount of diethylaminoethanol was 2.1 parts and the amount of oleic acid was 0.71 parts. The d50 was 85 nm. Among the metal particles, metal particles A1 to A4 correspond to metal particles (A), and metal particles A5 to A7 correspond to metal particles other than metal particles (A).
(製造例8)トリマートリオール(化合物B4)
特開平10-67835号公報に記載の方法を参考に、以下のようにトリマートリオールを合成した。窒素雰囲気下、オレイン酸メチル75%、リノール酸メチル15%およびステアリン酸メチル9%を含有してなる不飽和脂肪酸エステル混合物1000gと、活性白土70gとを、230℃で5時間、オートクレーブで反応した。この反応液から触媒を濾別し、減圧蒸留を行うことで、トリマー酸トリメチルエステル115gを得た。
滴下ロート、冷却管、温度計と撹拌機とを備えたフラスコにて、窒素雰囲気下、水素化リチウムアルミニウム6.4gとジエチルエーテル240mlとを注意深く混合し、水素化リチウムアルミニウムの分散液を調製した。
窒素雰囲気下、上記分散液を撹拌しながら、トリマー酸トリメチルエステル50gを70mlのジエチルエーテルで希釈した溶液を120分かけて滴下し、温度を約30℃以下に保持しながら反応させた。滴下後、約40分間撹拌し、ついで、イオン交換水13gを冷却しながら注意深く滴下して、余剰の還元剤を不活性化した。この反応液を、70gの氷水が入ったにフラスコに慎重に移し、10%の硫酸水溶液50gを加えた。しばらく静置後、このフラスコにジエチルエーテルを適量加えて生成物を抽出した。エーテル層が中性になるまで水洗浄を繰り返し、ジエチルエーテルを留去することにより、3つの水酸基と、分岐および環状構造を有する三価の炭化水素基とからなる炭素数54のトリマートリオール31gを得た。得られたトリマートリオールは、25℃で粘稠な液状であった。
(Production Example 8) Trimer triol (Compound B4)
Trimer triol was synthesized as follows, with reference to the method described in JP-A-10-67835. Under a nitrogen atmosphere, 1000 g of an unsaturated fatty acid ester mixture containing 75% methyl oleate, 15% methyl linoleate, and 9% methyl stearate was reacted with 70 g of activated clay in an autoclave at 230° C. for 5 hours. The catalyst was filtered off from the reaction liquid, and 115 g of trimer acid trimethyl ester was obtained by distillation under reduced pressure.
In a flask equipped with a dropping funnel, a condenser, a thermometer and a stirrer, 6.4 g of lithium aluminum hydride and 240 ml of diethyl ether were carefully mixed under a nitrogen atmosphere to prepare a dispersion of lithium aluminum hydride.
Under a nitrogen atmosphere, while stirring the dispersion, a solution obtained by diluting 50 g of trimer acid trimethyl ester with 70 ml of diethyl ether was dropped over 120 minutes, and the temperature was kept below about 30° C. to cause a reaction. After dropping, the mixture was stirred for about 40 minutes, and then 13 g of ion-exchanged water was carefully dropped while cooling to inactivate the excess reducing agent. The reaction solution was carefully transferred to a flask containing 70 g of ice water, and 50 g of a 10% aqueous sulfuric acid solution was added. After standing for a while, an appropriate amount of diethyl ether was added to the flask to extract the product. The ether layer was repeatedly washed with water until it became neutral, and the diethyl ether was distilled off to obtain 31 g of a trimer triol having 54 carbon atoms and consisting of three hydroxyl groups and a trivalent hydrocarbon group having a branched and cyclic structure. The obtained trimer triol was a viscous liquid at 25° C.
[粒子径の測定]
各金属粒子(A)にイソプロピルアルコールを加え超音波分散機にて分散し、0.5質量%の分散液を得た。得られた分散液をナノトラックUPA-EX150(日機装社製)を用いて、分散液中の金属粒子(A)の粒子径を測定し、平均粒子径(d50)を求めた。
[Measurement of particle size]
Isopropyl alcohol was added to each metal particle (A) and dispersed in an ultrasonic disperser to obtain a 0.5% by mass dispersion. The particle size of the metal particle (A) in the obtained dispersion was measured using Nanotrac UPA-EX150 (manufactured by Nikkiso Co., Ltd.) to determine the average particle size (d50).
[化合物(B)]
上記化合物B4以外の化合物(B)は下記の材料を使用した。ただし、化合物B8および化合物B9は化合物(B)ではない化合物である。括弧内に、炭素数、材料名、25℃での性状を記載した。化合物B1~B3、B5およびB6は、クローダジャパン株式会社製、B7~B9は、Sigma-Aldrich社の試薬を使用した。なお、化合物B1~B7の沸点は、いずれも、350℃以上である。
[Compound (B)]
The following materials were used as compounds (B) other than compound B4. However, compounds B8 and B9 are not compounds (B). The carbon number, material name, and properties at 25°C are written in parentheses. Compounds B1 to B3, B5, and B6 were manufactured by Croda Japan Co., Ltd., and reagents from Sigma-Aldrich were used for compounds B7 to B9. The boiling points of compounds B1 to B7 are all 350°C or higher.
化合物B1:プリポール1009(炭素数36の水添ダイマー酸。2つのカルボキシ基と、分岐および環状構造を有する二価の炭化水素基とからなる。液状)
化合物B2:プリポール1040(炭素数54のトリマー酸。3つのカルボキシ基と、分岐および環状構造を有する三価の炭化水素基とからなる。液状)
化合物B3:プリポール2033(炭素数36のダイマージオール。2つの水酸基と、分岐および環状構造を有する二価の炭化水素基とからなる。液状)
化合物B5:プリアミン1071[炭素数36のダイマージアミン(2つのアミノ基と分岐および環状構造を有する二価の炭化水素基とからなる、液状)と炭素数54のトリマートリアミン(3つのアミノ基と分岐および環状構造を有する三価の炭化水素基とからなる、液状)との混合物]
化合物B6:プリアミン1075(炭素数36のダイマージアミン。2つのアミノ基と、分岐および環状構造を有する二価の炭化水素基とからなる。液状)
化合物B7:ドコサン二酸(炭素数22の直鎖二塩基酸。固体状)
化合物B8:オレイン酸(炭素数18の一価の直鎖脂肪酸。液状)
化合物B9:マロン酸(炭素数3の二価の直鎖脂肪酸。固体状)
Compound B1: Pripol 1009 (a hydrogenated dimer acid having 36 carbon atoms. It consists of two carboxyl groups and a divalent hydrocarbon group having a branched and cyclic structure. Liquid)
Compound B2: Pripol 1040 (a trimer acid having 54 carbon atoms. It consists of three carboxyl groups and a trivalent hydrocarbon group having a branched and cyclic structure. Liquid)
Compound B3: Pripol 2033 (a dimer diol having 36 carbon atoms. It consists of two hydroxyl groups and a divalent hydrocarbon group having a branched and cyclic structure. Liquid)
Compound B5: Priamine 1071 [a mixture of a dimer triamine having 36 carbon atoms (liquid, consisting of two amino groups and a divalent hydrocarbon group having a branched and cyclic structure) and a trimer triamine having 54 carbon atoms (liquid, consisting of three amino groups and a trivalent hydrocarbon group having a branched and cyclic structure)]
Compound B6: Priamine 1075 (a dimer diamine having 36 carbon atoms. It consists of two amino groups and a divalent hydrocarbon group having a branched and cyclic structure. Liquid)
Compound B7: Docosanedioic acid (a linear dibasic acid having 22 carbon atoms; solid state)
Compound B8: Oleic acid (a monovalent straight-chain fatty acid having 18 carbon atoms; liquid)
Compound B9: Malonic acid (a divalent straight-chain fatty acid having 3 carbon atoms; solid state)
[分散媒(C)]
分散媒(C)としては、下記の材料を使用した。括弧内に入手したメーカー名、補足情報と沸点を記載した。
分散媒C1:ジヒドロターピネオール(日本テルペン化学株式会社製、沸点207℃)
分散媒C2:イソボルニルシクロヘキサノール(日本テルペン化学株式会社製、沸点318℃)
分散媒C3:アイソパーL(安藤パラケミー株式会社製、沸点が185~198℃のイソパラフィン)
分散媒C4:テキサノール(東京化成工業株式会社製、試薬、沸点244℃)
[Dispersion medium (C)]
The following materials were used as the dispersion medium (C). The manufacturer's name, supplementary information, and boiling point are given in parentheses.
Dispersion medium C1: Dihydroterpineol (manufactured by Nippon Terpene Chemical Co., Ltd., boiling point 207°C)
Dispersion medium C2: Isobornylcyclohexanol (manufactured by Nippon Terpene Chemical Co., Ltd., boiling point 318° C.)
Dispersion medium C3: Isopar L (manufactured by Ando Parachemie Co., Ltd., isoparaffin with a boiling point of 185 to 198°C)
Dispersion medium C4: Texanol (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., reagent, boiling point 244° C.)
[実施例1]
金属粒子A1(92部)とジヒドロターピネオール(8部)と化合物B1(1部)を自公転式攪拌機を用いて混合し、接合用ペーストを調製した。その後、後述する方法で接合体を作製して評価した。結果を表1に示した。
[Example 1]
Metal particles A1 (92 parts), dihydroterpineol (8 parts) and compound B1 (1 part) were mixed using a rotary stirrer to prepare a bonding paste. Then, a bonded body was produced and evaluated by the method described below. The results are shown in Table 1.
[実施例2~32]、[比較例1~8]
表1に記載の組成に従い、材料の種類と配合量を変更した以外は、実施例1と同様にして接合用ペーストを得た後、評価した。結果を表1に示した。表1中、特に断りのない限り、数値は部を表し、空欄は配合していないことを表す。
[Examples 2 to 32], [Comparative Examples 1 to 8]
A joining paste was obtained in the same manner as in Example 1, except that the types and amounts of materials were changed according to the composition shown in Table 1, and then evaluated. The results are shown in Table 1. In Table 1, unless otherwise specified, the numerical values indicate parts, and blank spaces indicate that no compounding was performed.
[接合体の作製]
下記の被接合部1のメッキ処理された面に各接合用ペーストをそれぞれ、下記の印刷条件にて1回印刷した後、下記被接合部2(チップ)のメッキ処理面を接合ペースト面に向けて載置し、下記焼結条件にて加熱し、接合体をそれぞれ得た。
<被接合部1>
・金メッキ処理銅基材:20×20×3mm
<被接合部2>
・金メッキ処理SiCチップ:5×5×0.3mm
<印刷条件(メタルマスク印刷)>
・メタルマスク:開口部4mm角、板厚50μm(セリアコーポレーション社製)
・メタルスキージ:40mm×250mm、厚み1mm(セリアコーポレーション社製)
<焼結条件>
熱風オーブンに焼結前の接合体を入れ、25℃から300℃まで2℃/分の条件にて昇温し、300℃に達した後、300℃で2時間保持した。
[評価基準(印刷適性)]
○:被接合部1に印刷することができた。
×:被接合部1に印刷することができなかった。
[Preparation of Joint]
Each joining paste was printed once on the plated surface of the joining part 1 described below under the printing conditions described below, and then the plated surface of the joining part 2 (chip) described below was placed facing the joining paste surface and heated under the sintering conditions described below to obtain each joining body.
<Jointed part 1>
Gold-plated copper substrate: 20 x 20 x 3 mm
<Jointed part 2>
・Gold-plated SiC chip: 5 x 5 x 0.3 mm
<Printing conditions (metal mask printing)>
Metal mask: opening 4 mm square, plate thickness 50 μm (manufactured by Ceria Corporation)
Metal squeegee: 40 mm x 250 mm, thickness 1 mm (manufactured by Seria Corporation)
<Sintering conditions>
The unsintered bonded body was placed in a hot air oven, and the temperature was raised from 25° C. to 300° C. at a rate of 2° C./min. After reaching 300° C., the bonded body was held at 300° C. for 2 hours.
[Evaluation criteria (printability)]
◯: Printing was possible on the bonded portion 1.
×: Printing on the bonded portion 1 was not possible.
[接合強度(初期、冷熱サイクル試験後]
得られた接合体について、下記測定装置、試験条件にて接合強度(ダイシェア強度)を測定した。なお、表1中の※(米印)は、印刷することができなかったため、本評価を実施していないことを示す。
[Bonding strength (initial, after thermal cycle test)
The bond strength (die shear strength) of the obtained bonded body was measured using the following measuring device and test conditions. Note that an asterisk (*) in Table 1 indicates that this evaluation was not performed because printing was not possible.
測定装置:万能型ボンドテスタ( デイジ・ジャパン株式会社製、4000シリーズ)
<試験条件>
・測定高さ:100μm
・測定スピード:500μm/s
具体的には、接合体を被接合部1の部位で固定し、被接合部1と接合層との界面を起点として被接合部2に向かって高さ100μmの位置を、500μm/sの速度で押し、接合が破壊される接合強度を求めた。接合体を作製した直後の接合強度(初期強度)と下記サイクル試験後の接合強度について測定し、下記評価基準に基づいて評価した。接着強度の数値が大きいものほど良好であり、15MPa以上が実用範囲内である。評価基準の数値の大きいものほど良好であり、評価基準の数値が2以下のものは不良であることを示す。
Measurement equipment: Universal bond tester (4000 series, manufactured by Daisy Japan Co., Ltd.)
<Test conditions>
Measurement height: 100 μm
Measurement speed: 500 μm/s
Specifically, the bonded body was fixed at the site of the bonded part 1, and the bond was pushed from the interface between the bonded part 1 and the bonding layer toward the bonded part 2 at a height of 100 μm at a speed of 500 μm/s to determine the bond strength at which the bond was broken. The bond strength (initial strength) immediately after the bonded body was produced and the bond strength after the cycle test described below were measured and evaluated based on the following evaluation criteria. The larger the adhesive strength value, the better, and 15 MPa or more is within the practical range. The larger the evaluation criterion value, the better, and an evaluation criterion value of 2 or less indicates poor.
[評価基準]
5:30MPa以上
4:20MPa以上30MPa未満
3:15MPa以上20MPa未満
2:5MPa以上15MPa未満
1:5MPa未満
[Evaluation Criteria]
5: 30 MPa or more 4: 20 MPa or more but less than 30 MPa 3: 15 MPa or more but less than 20 MPa 2: 5 MPa or more but less than 15 MPa 1: Less than 5 MPa
<冷熱サイクル試験>
接合体を-40℃で30分間保持した後、25℃で15分間保持し、150℃で30分間保持する工程を1サイクルとし、500サイクルの保管を実施した。その後、前述の接合強度評価法と同一の手順および基準にて評価をした。
<Cold-heat cycle test>
The bonded body was stored for 500 cycles, with one cycle being a process of holding the bonded body at −40° C. for 30 minutes, then holding the bonded body at 25° C. for 15 minutes, and then holding the bonded body at 150° C. for 30 minutes. Thereafter, the bonded body was evaluated according to the same procedure and criteria as the above-mentioned bond strength evaluation method.
比較例の接合用ペーストを用いた場合では、接合強度が著しく低く、ダイシェア試験後に破壊されたサンプルを観察すると、金メッキ処理SiCチップと接合層との界面で破壊されていた。一方、実施例の接合用ペーストを用いた場合では、接合強度が非常に高かった。実施例の接合用ペーストを用いると、高濃度に金属粒子を含有する場合であっても印刷適性に優れ、接合強度が非常に高く、冷熱サイクル試験を実施した後も、接合強度の低下が抑止されていることが確認された。 When the bonding paste of the comparative example was used, the bonding strength was significantly low, and when the broken sample was observed after the die shear test, it was found to have broken at the interface between the gold-plated SiC chip and the bonding layer. On the other hand, when the bonding paste of the example was used, the bonding strength was very high. It was confirmed that when the bonding paste of the example was used, even when it contained a high concentration of metal particles, it had excellent printability, very high bonding strength, and the decrease in bonding strength was suppressed even after the thermal cycle test was performed.
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