JP7551269B1

JP7551269B1 - 塗布装置

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Publication number: JP7551269B1
Application number: JP2023070774A
Authority: JP
Inventors: 慎也福井; 貞雄夏
Original assignee: Chugai Ro Co Ltd
Current assignee: Chugai Ro Co Ltd
Priority date: 2023-04-24
Filing date: 2023-04-24
Publication date: 2024-09-17
Anticipated expiration: 2043-04-24
Also published as: JP2024156370A

Abstract

【課題】スリット状吐出口の上でシャッター部材を回転させて、スリット状吐出口の開閉を行うにあたり、シャッター部材の外周面と塗液収容部の内面との隙間から塗液がスリット状吐出口に漏れ出すのを防止する。【解決手段】スリット状吐出口12の上でシャッター部材13を回転させて、スリット状吐出口の開閉を行うにあたり、シャッター部材と塗液収容部11との間に、スリット状吐出口に対応した塗液案内穴31を有する樹脂製シール部材30を設け、シャッター部材の外周面13aにより塗液案内穴を閉塞させて、塗液収容部内の塗液Pをスリット状吐出口に導かないようにする一方、シャッター部材の外周面に設けた塗液案内部13bを塗液案内穴に導いて、塗液収容部内の塗液を、塗液案内部と塗液案内穴を通してスリット状吐出口に導くようにした。【選択図】図３

Description

本発明は、塗布用ノズル内部の塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置に関するものである。特に、前記のスリット状吐出口の上に回転するシャッター部材を設け、前記のシャッター部材の外周面により前記のスリット状吐出口を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、前記のシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を前記のスリット状吐出口に導いて、塗液収容部内の塗液を前記の塗液案内部からスリット状吐出口に導いて、被塗布体の表面に塗液を塗布するようにした塗布装置において、塗液収容部内の塗液が、スリット状吐出口を閉塞させるシャッター部材の外周面と塗液収容部の内面との隙間からスリット状吐出口に漏れ出したり、シャッター部材を回転させてスリット状吐出口を開閉させる場合に、シャッター部材や塗液収容部の内面が磨耗したり、傷ついたりするのを簡単に防止できるようにした点に特徴を有するものである。

従来から、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置としては、塗布用ノズル内部の塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布するするようにしたものが使用されている。

また、近年においては、塗布装置によって、ウエハー等の被塗布体の表面に塗液を所定の形状に塗布することが行われている。

そして、例えば、ウエハー等の円形状の被塗布体の表面に塗液を円形状に塗布する塗布装置としては、特許文献１、２に示されるように、塗布用ノズルにおいて塗液を収容させた塗液収容部内において、所定のパターン形状になった塗液案内部が外周面に設けられた円柱状のシャッター部材を、塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口の上で回転させ、シャッター部材の外周面により前記のスリット状吐出口を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、シャッター部材の外周面に設けた前記の塗液案内部を前記のスリット状吐出口に導き、塗液収容部内における塗液をシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を通してスリット状吐出口に導いて、被塗布体の表面に塗液を所定のパターンになるようにして塗布させるものが示されている。

ここで、前記の特許文献１、２に示される塗布装置においては、前記のようにシャッター部材の外周面によりスリット状吐出口を閉塞させて、塗液収容部内の塗液がスリット状吐出口に導かないようにした場合においても、塗液収容部とシャッター部材の外周面とを密接させることは困難であり、液収容部とシャッター部材の外周面の間に僅かな隙間が生じ、塗液収容部内の塗液が、この隙間からスリット状吐出口に導かれて被塗布体の表面に付与され、塗液を塗布する塗布部以外に塗液が塗布されるという問題があった。

また、塗液収容部とシャッター部材の外周面との間に隙間が生じないようにするため、シャッター部材の外周面を塗液収容部に密接させると、シャッター部材や塗布用ノズルの塗液収容部は一般に金属材料で形成されているため、前記のようにシャッター部材をスリット状吐出口の上で回転させて、シャッター部材の外周面に設けた塗液案内部によって、スリット状吐出口を開閉させる場合に、シャッター部材や塗液収容部の内面が磨耗したり、傷ついたりするという問題があった。

特開２０２１－９８１５４号公報特許第６８４７５６６号公報

本発明は、スリット状吐出口の上に回転するシャッター部材を設け、前記のシャッター部材の外周面により前記のスリット状吐出口を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、前記のシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を前記のスリット状吐出口に導いて、塗液収容部内の塗液を前記の塗液案内部からスリット状吐出口に導いて、被塗布体の表面に塗液を塗布するようにした塗布装置における前記のような問題を解決することを課題とするものである。

すなわち、本発明においては、前記のような塗布装置において、塗液収容部内の塗液が、スリット状吐出口を閉塞させるシャッター部材の外周面と塗液収容部の内面との隙間からスリット状吐出口に漏れ出して、被塗布体の表面の不要な箇所に塗液が付与されたり、スリット状吐出口を開閉させる場合に、シャッター部材や塗液収容部の内面が磨耗したり、傷ついたりするのを簡単に防止できるようにすることを課題とするものである。

本発明に係る塗布装置においては、前記のような課題を解決するため、塗布用ノズル内部の塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの突出した先端部に長手方向に沿って設けられたスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記のスリット状吐出口の上で回転してスリット状吐出口の開閉を行うシャッター部材を設けるにあたり、前記のシャッター部材と前記の塗液収容部との間に、前記のスリット状吐出口に対応した塗液案内穴を有する樹脂製シール部材をスリット状吐出口の周囲に沿って設けると共に、前記の塗液収容部の底面に、前記の樹脂製シール部材と嵌めあい構造になるように凹状のくぼみを設け、前記のシャッター部材の外周面により前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、前記のシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を前記の樹脂製シール部材に設けた塗液案内穴に導いて、塗液収容部内の塗液を前記の塗液案内部と塗液案内穴を通して前記のスリット状吐出口に導くようにした。

本発明に係る塗布装置のように、スリット状吐出口の上で回転してスリット状吐出口の開閉を行うシャッター部材を設けるにあたり、シャッター部材と塗液収容部との間に、スリット状吐出口に対応した塗液案内穴を有する樹脂製シール部材を設けると、樹脂製シール部材とシャッター部材の外周面との間に隙間が生じないように、シャッター部材の外周面を樹脂製シール部材に密接させることができ、シャッター部材の外周面と樹脂製シール部材との間から、塗液収容部内の塗液がスリット状吐出口に導かれて、スリット状吐出口から漏れ出するのが防止されると共に、シャッター部材を樹脂製シール部材の上で回転させて、回転するシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部により、前記の樹脂製シール部材に設けた塗液案内穴を開閉させる場合に、従来のように、シャッター部材や塗液収容部の内面が磨耗したり、傷ついたりするということもなくなる。また、前記のようにスリット状吐出口に対応した塗液案内穴を有する樹脂製シール部材をスリット状吐出口の周囲に沿って設けると共に、前記の塗液収容部の底面に、前記の樹脂製シール部材を嵌め込む凹状のくぼみを設ける、樹脂製シール部材が凹状のくぼみ内に保持されて、シャッター部材の回転によって樹脂製シール部材の位置がずれるのが防止される。

ここで、本発明に係る塗布装置においては、前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴として、前記のスリット状吐出口に沿ったスリット状案内穴を設けたり、スリット状吐出口に沿って多数の整流案内穴を設けたりすることができる。

また、本発明に係る塗布装置においては、前記の樹脂製シール部材に柔軟性のあるフッ素系樹脂を用いることが好ましい。このように、樹脂製シール部材に柔軟性のあるフッ素系樹脂を用いると、前記のようにシャッター部材を樹脂製シール部材の上で回転させる場合における摩擦抵抗が少なくなり、シャッター部材をスムーズに回転させて、樹脂製シール部材に設けた塗液案内穴を開閉できるようになると共に、シャッター部材や樹脂製シール部材の磨耗もさらに抑制することができる。

また、本発明に係る塗布装置においては、塗布用ノズル内部の塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの突出した先端部に長手方向に沿って設けられたスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記のスリット状吐出口の上で回転してスリット状吐出口の開閉を行うシャッター部材を設けるにあたり、前記のシャッター部材と前記の塗液収容部との間に、前記のスリット状吐出口に対応した塗液案内穴を有する樹脂製シール部材をスリット状吐出口の周囲に沿って設け、前記のシャッター部材の外周面により前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、前記のシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を前記の樹脂製シール部材に設けた塗液案内穴に導いて、塗液収容部内の塗液を前記の塗液案内部と塗液案内穴を通して前記のスリット状吐出口に導くにあたり、前記の樹脂製シール部材に、前記のスリット状吐出口内に挿入させる挿入部を設け、前記の挿入部をスリット状吐出口の先端部まで挿入させて、樹脂製シール部材における前記の塗液案内穴を、スリット状吐出口の先端部まで導くようにすることができる。このようにすると、樹脂製シール部材に設けたスリット状案内穴や多数の整流案内穴からなる塗液案内穴を通して、塗液を被塗布体の表面に塗布させることができるようになる。

また、本発明に係る塗布装置において、樹脂製シール部材における塗液案内穴として、スリット状吐出口に沿って多数の整流案内穴を設けるようにした場合、樹脂製シール部材に設けられた多数の整流案内穴と、整流部材に設けられた多数の整流穴が連通するようにして、前記の整流部材を前記のスリット状吐出口の先端部まで挿入させることができる。このようにすると、樹脂製シール部材に設けられた多数の整流案内穴に導かれた塗液が、整流部材に設けられた多数の整流穴を通して被塗布体の表面に塗布されるようになり、塗液がスリット状吐出口を通過中にスリット状吐出口の幅方向に広がって被塗布体の塗工部分以外に塗布されるのをさらに防止できるようになる。

また、本発明に係る塗布装置において、塗液案内穴として、スリット状吐出口に沿って多数の整流案内穴を設けるようにした場合、前記の樹脂製シール部材に前記のスリット状吐出口内に挿入させる挿入部を設け、樹脂製シール部材における前記の挿入部をスリット状吐出口の途中まで挿入させると共に、前記の樹脂製シール部材に設けられた前記の多数の整流案内穴と、整流部材に設けた多数の整流穴が連通するようにして、前記の整流部材を前記のスリット状吐出口の先端部まで挿入させることができる。このようにした場合にも、樹脂製シール部材に設けられた多数の整流案内穴に導かれた塗液が、整流部材に設けられた多数の整流穴を通して被塗布体の表面に塗布されるようになり、塗液がスリット状吐出口を通過中にスリットの幅方向に広がって被塗布体の塗工部分以外に塗布されるのをさらに防止できるようになる。

本発明における塗布装置においては、前記のように塗布用ノズル内部の塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの突出した先端部に長手方向に沿って設けられたスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記のスリット状吐出口の上で回転してスリット状吐出口の開閉を行うシャッター部材を設けるにあたり、シャッター部材と塗液収容部との間に、スリット状吐出口に対応した塗液案内穴を有する樹脂製シール部材を設けるようにしたため、樹脂製シール部材とシャッター部材の外周面との間に隙間が生じないように、シャッター部材の外周面を樹脂製シール部材に密接させることができ、シャッター部材の外周面と樹脂製シール部材との間から、塗液収容部内の塗液がスリット状吐出口に導かれて、スリット状吐出口から漏れ出するのが防止されると共に、シャッター部材を樹脂製シール部材の上で回転させて、回転するシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部により、前記の樹脂製シール部材に設けた塗液案内穴を開閉させる場合に、従来のように、シャッター部材や塗液収容部の内面が磨耗したり、傷ついたりするということもなくなる。

本発明の実施形態１に係る塗布装置において、塗液を収容させた塗液収容部とシャッター部材との間に設ける樹脂製シール部材に、塗液案内穴としてスリット状吐出口に沿ったスリット状案内穴を設けた状態を示した概略斜視図及び概略側面図である。前記の実施形態１に係る塗布装置において、塗液を収容させた塗液収容部とシャッター部材との間に前記の樹脂製シール部材を設け、樹脂製シール部材における前記のスリット状案内穴を、シャッター部材の外周面により閉塞させて、塗液収容部内の塗液がスリット状吐出口に導かれないようにした状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。前記の実施形態１に係る塗布装置において、シャッター部材を回転させ、シャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を樹脂製シール部材に設けたスリット状案内穴の位置に導き、塗液収容部内の塗液を、前記の塗液案内部とスリット状案内穴を通して前記のスリット状吐出口に導いて、被塗布体の表面に塗液を塗布する状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。本発明の実施形態２に係る塗布装置において、塗液を収容させた塗液収容部とシャッター部材との間に設ける樹脂製シール部材に、塗液案内穴としてスリット状吐出口に沿って多数の整流案内穴を設けた状態を示した概略斜視図及び概略側面図である。前記の実施形態２に係る塗布装置において、多数の整流穴が設けられた整流部材の概略斜視図及び概略側面図である。前記の実施形態２に係る塗布装置において、塗液を収容させた塗液収容部とシャッター部材との間に前記の樹脂製シール部材を設け、樹脂製シール部材における多数の整流案内穴と前記の整流部材における多数の整流穴が連通するようにして整流部材をスリット状吐出口内に挿入させ、樹脂製シール部材における前記の多数の整流案内穴を、シャッター部材の外周面により閉塞させて、塗液収容部内の塗液がスリット状吐出口に導かれないようにした状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。前記の実施形態２に係る塗布装置において、シャッター部材を回転させ、シャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を樹脂製シール部材に設けた多数の整流案内穴の位置に導き、塗液収容部内の塗液を、樹脂製シール部材における多数の整流案内穴と整流部材における多数の整流穴を通してスリット状吐出口の先端に導いて、被塗布体の表面に塗液を塗布する状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。本発明の実施形態３に係る塗布装置において、塗液を収容させた塗液収容部とシャッター部材との間に設ける樹脂製シール部材に、スリット状吐出口内の途中の位置までに挿入させる挿入部を設け、塗液案内穴としてスリット状吐出口に沿って多数の整流案内穴を設けた樹脂製シール部材の概略斜視図及び概略側面図である。前記の実施形態３に係る塗布装置において、前記の樹脂製シール部材の挿入部における整流案内穴と整流穴が連通するようにしてスリット状吐出口内に挿入させる整流部材の概略斜視図及び概略側面図である。前記の実施形態３に係る塗布装置において、塗液を収容させた塗液収容部とシャッター部材との間に前記の樹脂製シール部材を設け、樹脂製シール部材における挿入部をスリット状吐出口内の途中の位置までに挿入させると共に、樹脂製シール部材における多数の整流案内穴と連通するようにして、多数の整流穴が設けられた整流部材をスリット状吐出口内に挿入させ、樹脂製シール部材における前記の多数の整流案内穴を、シャッター部材の外周面により閉塞させて、塗液収容部内の塗液がスリット状吐出口に導かれないようにした状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。前記の実施形態３に係る塗布装置において、シャッター部材を回転させ、シャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を樹脂製シール部材に設けた多数の整流案内穴の位置に導き、塗液収容部内の塗液を、樹脂製シール部材における多数の整流案内穴と整流部材における多数の整流穴を通してスリット状吐出口の先端に導いて、被塗布体の表面に塗液を塗布する状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。本発明の実施形態４に係る塗布装置において、塗液を収容させた塗液収容部とシャッター部材との間に設ける樹脂製シール部材に、スリット状吐出口内に挿入されてスリット状吐出口の先端に至る挿入部を設け、塗液案内穴としてスリット状吐出口に沿って多数の整流案内穴を設けた樹脂製シール部材の概略斜視図及び概略側面図である。前記の実施形態４に係る塗布装置において、塗液を収容させた塗液収容部とシャッター部材との間に前記の樹脂製シール部材を設け、樹脂製シール部材における挿入部をスリット状吐出口の先端までに挿入させ、樹脂製シール部材における前記の多数の整流案内穴を、シャッター部材の外周面により閉塞させて、塗液収容部内の塗液がスリット状吐出口に導かれないようにした状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。前記の実施形態４に係る塗布装置において、シャッター部材を回転させ、シャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を樹脂製シール部材に設けた多数の整流案内穴の位置に導き、塗液収容部内の塗液を、樹脂製シール部材における多数の整流案内穴を通してスリット状吐出口の先端に導いて、被塗布体の表面に塗液を塗布する状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。前記の実施形態４に係る塗布装置の変更例として使用する樹脂製シール部材を示し、塗液を収容させた塗液収容部とシャッター部材との間に設ける樹脂製シール部材に、スリット状吐出口内に挿入されてスリット状吐出口の先端に至る挿入部を設け、塗液案内穴としてスリット状吐出口に沿ったスリット状案内穴を設けた樹脂製シール部材の概略斜視図及び概略側面図である。

以下、本発明の実施形態に係る塗布装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明に係る塗布装置は、下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。

（実施形態１）
図１～図３に示す実施形態１における塗布装置においては、塗布用ノズル１０の内部に塗液Ｐを収容させる塗液収容部１１を設け、塗液供給パイプ２１に設けた塗液供給弁２２を開けて、塗液Ｐを塗液収容部１１内に供給させると共に、塗布用ノズル１０の突出した先端部に、前期の塗液収容部１１内に収容された塗液Ｐを吐出させるスリット状吐出口１２を設けている。

そして、実施形態１の塗布装置においては、前記の塗液収容部１１内に、前記のスリット状吐出口１２の上で回転してスリット状吐出口１２の開閉を行うシャッター部材１３を設けるようにし、このシャッター部材１３としては、棒状体の外周面１３ａに塗液収容部１１内の塗液Ｐを前記のスリット状吐出口１２に導く塗液案内部１３ｂを凹設させたものを用いている。

また、実施形態１の塗布装置においては、前記のシャッター部材１３と塗液収容部１１との間に、樹脂製シール部材３０をその双方に接触させて設けるようにし、この樹脂製シール部材３０においては、図１に示すように、前記の塗液収容部１１内の塗液Ｐを前記のスリット状吐出口１２に導く塗液案内穴３１として、前記のスリット状吐出口１２に沿ったスリット状案内穴３１ａを設けている。

そして、実施形態１の塗布装置においては、前記の樹脂製シール部材３０におけるスリット状案内穴３１ａが前記のスリット状吐出口１２の上に位置するようにして、樹脂製シール部材３０をシャッター部材１３と塗液収容部１１との間に配置させ、前記のシャッター部材１３を前記の樹脂製シール部材３０の上で回転させるようにしている。なお、以下の実施形態においては、前記のシャッター部材１３と接触する樹脂製シール部材３０の上面を平面状に形成しているが、樹脂製シール部材３０の上面を、シャッター部材１３の外周面１３ａに対応させて円弧状に形成することもできる。

ここで、図２に示すように、前記のシャッター部材１３に設けられた塗液案内部１３ｂが、樹脂製シール部材３０における前記のスリット状案内穴３１ａの位置に導かれていない状態では、シャッター部材１３の外周面１３ａが樹脂製シール部材３０の上に密接された状態で、樹脂製シール部材３０におけるスリット状案内穴３１ａがシャッター部材１３の外周面１３ａによって閉塞されるようになり、塗液収容部１１内の塗液Ｐが、スリット状案内穴３１ａから前記のスリット状吐出口１２に導かなれなくなると共に、シャッター部材１３の外周面１３ａと樹脂製シール部材３０との隙間から塗液Ｐがスリット状吐出口１２に導かれるのも確実に防止される。

この状態から、前記のシャッター部材１３が、樹脂製シール部材３０の上で回転されて、図３に示すように、シャッター部材１３に設けられた塗液案内部１３ｂが、樹脂製シール部材３０におけるスリット状案内穴３１ａの位置に導かれると、塗液収容部１１内の塗液Ｐが、シャッター部材１３における塗液案内部１３ｂから樹脂製シール部材３０におけるスリット状案内穴３１ａを通して前記のスリット状吐出口１２に導かれ、このスリット状吐出口１２から相対的に移動される被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐが塗布されるようになる。

そして、前記のようにシャッター部材１３を樹脂製シール部材３０の上で回転させて、シャッター部材１３の外周面１３ａと前記の塗液案内部１３ｂにより、樹脂製シール部材３０に設けたスリット状案内穴３１ａを開閉させるようにすると、シャッター部材１３の外周面１３ａにより樹脂製シール部材３０におけるスリット状案内穴３１ａを閉塞させた状態で、塗液収容部１１内の塗液Ｐがシャッター部材１３の外周面１３ａと樹脂製シール部材３０との隙間からスリット状吐出口１２に導かれるのが防止されて、塗液Ｐが漏れ出すのが確実に抑制される。

また、シャッター部材１３が樹脂製シール部材３０の上で回転されるため、従来のように、シャッター部材１３や塗液収容部１１の内面が磨耗したり、傷ついたりすることも防止される。特に、前記の樹脂製シール部材３０にフッ素系樹脂を用いると、シャッター部材１３を樹脂製シール部材３０の上で回転させる場合の摩擦抵抗が少なくなり、シャッター部材１３がスムーズに回転されて、樹脂製シール部材３０に設けたスリット状案内穴３１ａの開閉が円滑に行えると共に、シャッター部材１３や樹脂製シール部材３０が磨耗するのも抑制することができる。なお、この実施形態１においては、樹脂製シール部材３０がシャッター部材１３の回転によって位置がずれないよう、塗液収容部１１の底面に凹状のくぼみを設け、樹脂製シール部材３０と嵌めあい構造になるようにしている。

（実施形態２）
図４～図７に示す実施形態２における塗布装置においても、前記の実施形態１の塗布装置と同様に、塗布用ノズル１０の内部に塗液Ｐを収容させる塗液収容部１１を設け、塗液供給パイプ２１に設けた塗液供給弁２２を開けて、塗液Ｐを塗液収容部１１内に供給させると共に、塗布用ノズル１０の突出した先端部に、前期の塗液収容部１１内に収容された塗液Ｐを吐出させるスリット状吐出口１２を設け、前記の塗液収容部１１内に、前記のスリット状吐出口１２の上で回転してスリット状吐出口１２の開閉を行うシャッター部材１３を設け、このシャッター部材１３としては、棒状体の外周面１３ａに塗液収容部１１内の塗液Ｐを前記のスリット状吐出口１２に導く塗液案内部１３ｂを凹設させたものを用いている。

ここで、実施形態２の塗布装置においては、前記のシャッター部材１３と塗液収容部１１との間に設ける樹脂製シール部材３０として、図４に示すように、前記の塗液収容部１１内の塗液Ｐを前記のスリット状吐出口１２に導く塗液案内穴３１として、前記のスリット状吐出口１２に沿って多数の整流案内穴３１ｂを設けたものを用いている。

そして、実施形態２の塗布装置においては、前記の樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂが前記のスリット状吐出口１２の上に位置するようにして、樹脂製シール部材３０をシャッター部材１３と塗液収容部１１との間に配置させ、前記のシャッター部材１３を前記の樹脂製シール部材３０の上で回転させるようにしている。

また、実施形態２の塗布装置においては、図５に示すように、前記の樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂに対応するようにして、多数の整流穴４１が設けられた整流部材４０を用い、この整流部材４０における多数の整流穴４１を前記の樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂと連通させるようにして、前記の整流部材４０を前記のスリット状吐出口１２内に挿入させてスリット状吐出口１２の先端部に導くようにしている。なお、前記の整流部材４０として、この実施形態２においては、整流穴４１を構成する凹部が設けられた２枚の部材を接合させたものを用いるようにしたが、整流部材４０はこのようなものに限定されず、直方体状の部材に整流穴４１を貫通させるようにして設けたものであってもよい。

ここで、実施形態２の塗布装置において、図６に示すように、前記のシャッター部材１３に設けられた塗液案内部１３ｂが、樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂの位置に導かれていない状態では、シャッター部材１３の外周面１３ａが樹脂製シール部材３０の上に密接された状態で、樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂがシャッター部材１３の外周面１３ａによって閉塞され、塗液収容部１１内の塗液Ｐが、多数の整流案内穴３１ｂから前記のスリット状吐出口１２内に設けられた整流部材４０における多数の整流穴４１に導かなれなくなると共に、シャッター部材１３の外周面１３ａと樹脂製シール部材３０との隙間から塗液Ｐがスリット状吐出口１２に導かれるのも確実に防止される。

この状態から、前記のシャッター部材１３が、樹脂製シール部材３０の上で回転されて、図７に示すように、シャッター部材１３に設けられた塗液案内部１３ｂが、樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂの位置に導かれると、塗液収容部１１内の塗液Ｐが、シャッター部材１３の塗液案内部１３ｂから樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂを通して、スリット状吐出口１２内に設けた前記の整流部材４０における多数の整流穴４１に導かれ、多数の整流穴４１を通して塗液Ｐがスリット状吐出口１２の先端部に導かれて吐出され、相対的に移動される被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐが塗布されるようになる。

そして、前記のようにシャッター部材１３を樹脂製シール部材３０の上で回転させて、シャッター部材１３の外周面１３ａと前記の塗液案内部１３ｂにより、樹脂製シール部材３０に設けた多数の整流案内穴３１ｂを開閉させるようにすると、シャッター部材１３の外周面１３ａにより樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂを閉塞させた状態で、塗液収容部１１内の塗液Ｐがシャッター部材１３の外周面１３ａと樹脂製シール部材３０との隙間からスリット状吐出口１２に導かれるのが防止されて、塗液Ｐが漏れ出すのが確実に抑制されると共に、従来のように、シャッター部材１３や塗液収容部１１の内面が磨耗したり、傷ついたりすることも防止される。

また、実施形態２の塗布装置のように、塗液収容部１１内の塗液Ｐを、シャッター部材１３の塗液案内部１３ｂから樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂを通して、スリット状吐出口１２内に設けた前記の整流部材４０における多数の整流穴４１に導き、多数の整流穴４１を通してスリット状吐出口１２の先端部から塗液Ｐを被塗布体Ｗの表面に吐出させるようにすると、先の特許第６８４７５６６号公報等に示されているように、シャッター部材１３の外周面１３ａに凹設させる塗液案内部１３ｂの形状が、楕円形状等の様々な形状になっていても、塗液案内部１３ｂの形状に対応した部分に位置する樹脂製シール部材３０における整流案内穴３１ｂを通り、さらに整流部材４０における整流穴４１を通して塗液Ｐが被塗布体Ｗの表面に吐出されるようになり、塗液Ｐがスリット状吐出口１２の中を通る間に、スリット状吐出口１２の幅方向に広がってしまうことなく、被塗布体Ｗの表面に塗液案内部１３ｂの形状に応じた塗液Ｐの塗布が行えるようになる。

（実施形態３）
図８～図１１に示す実施形態３における塗布装置においても、前記の実施形態１、２の塗布装置と同様に、塗布用ノズル１０の内部に塗液Ｐを収容させる塗液収容部１１を設け、塗液供給パイプ２１に設けた塗液供給弁２２を開けて塗液Ｐを塗液収容部１１内に供給させると共に、塗布用ノズル１０の突出した先端部に、前期の塗液収容部１１内に収容された塗液Ｐを吐出させるスリット状吐出口１２を設け、前記の塗液収容部１１内に、前記のスリット状吐出口１２の上で回転してスリット状吐出口１２の開閉を行うシャッター部材１３を設け、またこのシャッター部材１３としては、棒状体の外周面１３ａに塗液収容部１１内の塗液Ｐを前記のスリット状吐出口１２に導く塗液案内部１３ｂを凹設させたものを用いている。

ここで、実施形態３の塗布装置においては、前記のシャッター部材１３と塗液収容部１１との間に設ける樹脂製シール部材３０として、図８に示すように、前記の塗液収容部１１内の塗液Ｐを前記のスリット状吐出口１２に導く塗液案内穴３１として、前記のスリット状吐出口１２に沿って多数の整流案内穴３１ｂを設けると共に、前記のスリット状吐出口１２内に挿入させる挿入部３２を設けたものを用いるようにしている。

そして、実施形態３の塗布装置においては、多数の整流案内穴３１ｂが設けられた前記の樹脂製シール部材３０における挿入部３２を、前記のスリット状吐出口１２内に挿入させて、樹脂製シール部材３０をシャッター部材１３と塗液収容部１１との間に配置させ、前記のシャッター部材１３を前記の樹脂製シール部材３０の上で回転させるようにしている。

また、実施形態３の塗布装置においては、図９に示すように、前記の樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂに対応するようにして、多数の整流穴４１が設けられた整流部材４０を用い、この整流部材４０における多数の整流穴４１を、前記の樹脂製シール部材３０の挿入部３２における多数の整流案内穴３１ｂに連通させるようにして、整流部材４０を前記のスリット状吐出口１２内に挿入させてスリット状吐出口１２の先端部に導くようにしている。

ここで、実施形態３の塗布装置において、図１０に示すように、前記のシャッター部材１３に設けられた塗液案内部１３ｂが、樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂの位置に導かれていない状態では、シャッター部材１３の外周面１３ａが樹脂製シール部材３０の上に密接された状態で、樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂがシャッター部材１３の外周面１３ａによって閉塞されるようになり、塗液収容部１１内の塗液Ｐが、多数の整流案内穴３１ｂから前記のスリット状吐出口１２内に設けられた整流部材４０における多数の整流穴４１に導かなれなくなると共に、シャッター部材１３の外周面１３ａと樹脂製シール部材３０との隙間から塗液Ｐがスリット状吐出口１２に導かれるのも確実に防止される。

この状態から、前記のシャッター部材１３が、樹脂製シール部材３０の上で回転されて、図１１に示すように、シャッター部材１３に設けられた塗液案内部１３ｂが、樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂの位置に導かれると、塗液収容部１１内の塗液Ｐが、シャッター部材１３の塗液案内部１３ｂから樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂに導かれると共に、この樹脂製シール部材３０の挿入部３２における多数の整流案内穴３１ｂからスリット状吐出口１２内に設けた前記の整流部材４０における多数の整流穴４１に導かれ、この塗液Ｐが多数の整流穴４１を通してスリット状吐出口１２の先端部に導かれて吐出されて、相対的に移動される被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐが塗布されるようになる。

また、実施形態３の塗布装置も、前記の実施形態２の塗布装置と同様に、塗液収容部１１内の塗液Ｐを、シャッター部材１３の塗液案内部１３ｂから樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂを通して、スリット状吐出口１２内に設けた前記の整流部材４０における多数の整流穴４１に導き、多数の整流穴４１を通してスリット状吐出口１２の先端部から塗液Ｐを被塗布体Ｗの表面に吐出させるようにしたため、塗液案内部１３ｂの形状に対応した部分に位置する樹脂製シール部材３０における整流案内穴３１ｂを通り、さらに整流部材４０における整流穴４１を通して塗液Ｐが被塗布体Ｗの表面に吐出されるようになり、塗液Ｐがスリット状吐出口１２の中を通る間に、スリット状吐出口１２の幅方向に広がってしまうことなく、被塗布体Ｗの表面に塗液案内部１３ｂの形状に応じた塗液Ｐの塗布が行えるようになる。

（実施形態４）
図１２～図１４に示す実施形態４における塗布装置においても、前記の実施形態１～３の塗布装置と同様に、塗布用ノズル１０の内部に塗液Ｐを収容させる塗液収容部１１を設け、塗液供給パイプ２１に設けた塗液供給弁２２を開けて塗液Ｐを塗液収容部１１内に供給させると共に、塗布用ノズル１０の突出した先端部に、前期の塗液収容部１１内に収容された塗液Ｐを吐出させるスリット状吐出口１２を設け、前記の塗液収容部１１内に、前記のスリット状吐出口１２の上で回転してスリット状吐出口１２の開閉を行うシャッター部材１３を設け、またこのシャッター部材１３としては、棒状体の外周面１３ａに塗液収容部１１内の塗液Ｐを前記のスリット状吐出口１２に導く塗液案内部１３ｂを凹設させたものを用いている。

ここで、実施形態４の塗布装置においては、前記のシャッター部材１３と塗液収容部１１との間に設ける樹脂製シール部材３０として、図１２に示すように、前記の塗液収容部１１内の塗液Ｐを前記のスリット状吐出口１２に導く塗液案内穴３１として、前記のスリット状吐出口１２に沿って多数の整流案内穴３１ｂを設けると共に、前記のスリット状吐出口１２の先端部まで挿入させる挿入部３２を設けたものを用いるようにしている。

そして、実施形態４の塗布装置においては、多数の整流案内穴３１ｂが設けられた前記の樹脂製シール部材３０における挿入部３２を、前記のスリット状吐出口１２の先端部まで挿入させて、樹脂製シール部材３０をシャッター部材１３と塗液収容部１１との間に配置させ、前記のシャッター部材１３を前記の樹脂製シール部材３０の上で回転させるようにしている。

ここで、実施形態４の塗布装置において、図１３に示すように、前記のシャッター部材１３に設けられた塗液案内部１３ｂが、樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂの位置に導かれていない状態では、シャッター部材１３の外周面１３ａが樹脂製シール部材３０の上に密接された状態で、樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂがシャッター部材１３の外周面１３ａによって閉塞されるようになり、塗液収容部１１内の塗液Ｐが、樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂに導かなれなくなると共に、シャッター部材１３の外周面１３ａと樹脂製シール部材３０との隙間から塗液Ｐがスリット状吐出口１２に導かれるのも確実に防止される。

この状態から、前記のシャッター部材１３が、樹脂製シール部材３０の上で回転されて、図１４に示すように、シャッター部材１３に設けられた塗液案内部１３ｂが、樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂの位置に導かれると、塗液収容部１１内の塗液Ｐが、シャッター部材１３の塗液案内部１３ｂから樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂに導かれ、この樹脂製シール部材３０の挿入部３２における多数の整流案内穴３１ｂを通してスリット状吐出口１２の先端部に導かれて吐出されて、相対的に移動される被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐが塗布されるようになる。

また、実施形態４の塗布装置も、前記の実施形態２、３の塗布装置と同様に、塗液収容部１１内の塗液Ｐを、シャッター部材１３の塗液案内部１３ｂから樹脂製シール部材３０における多数の整流案内穴３１ｂを通して、スリット状吐出口１２内に設けた前記の整流部材４０における多数の整流穴４１に導き、多数の整流穴４１を通してスリット状吐出口１２の先端部から塗液Ｐを被塗布体Ｗの表面に吐出させるようにしたため、塗液案内部１３ｂの形状に対応した部分に位置する樹脂製シール部材３０における整流案内穴３１ｂを通り、さらに整流部材４０における整流穴４１を通して塗液Ｐが被塗布体Ｗの表面に吐出されるようになり、塗液Ｐがスリット状吐出口１２の中を通る間に、スリット状吐出口１２の幅方向に広がってしまうことなく、被塗布体Ｗの表面に塗液案内部１３ｂの形状に応じた塗液Ｐの塗布が行えるようになる。

ここで、実施形態４の塗布装置においては、シャッター部材１３と塗液収容部１１との間に設ける樹脂製シール部材３０として、前記のように塗液収容部１１内の塗液Ｐを前記のスリット状吐出口１２に導く塗液案内穴３１として、前記のスリット状吐出口１２に沿って多数の整流案内穴３１ｂを設けると共に、前記のスリット状吐出口１２の先端部まで挿入させる挿入部３２を設けたものを用いるようにしたが、図１５に示すように、実施形態１に示した樹脂製シール部材３０のように、塗液収容部１１内の塗液Ｐを前記のスリット状吐出口１２に導く塗液案内穴３１として、スリット状吐出口１２に沿ったスリット状案内穴３１ａを設け、このようにスリット状案内穴３１ａを設けた樹脂製シール部材３０に、前記のようにスリット状吐出口１２の先端部まで挿入させる挿入部３２を設けたものを用いるようにすることもできる。

１０：塗布用ノズル
１１：塗液収容部
１２：スリット状吐出口
１３：シャッター部材
１３ａ：外周面
１３ｂ：塗液案内部
２１：塗液供給パイプ
２２：塗液供給弁
３０：樹脂製シール部材
３１：塗液案内穴
３１ａ：スリット状案内穴
３１ｂ：整流案内穴
３２：挿入部
４０：整流部材
４１：整流穴
Ｐ：塗液
Ｗ：被塗布体

Claims

塗布用ノズル内部の塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの突出した先端部に長手方向に沿って設けられたスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記のスリット状吐出口の上で回転してスリット状吐出口の開閉を行うシャッター部材を設けるにあたり、前記のシャッター部材と前記の塗液収容部との間に、前記のスリット状吐出口に対応した塗液案内穴を有する樹脂製シール部材をスリット状吐出口の周囲に沿って設けると共に、前記の塗液収容部の底面に、前記の樹脂製シール部材と嵌めあい構造になるように凹状のくぼみを設け、前記のシャッター部材の外周面により前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、前記のシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を前記の樹脂製シール部材に設けた塗液案内穴に導いて、塗液収容部内の塗液を前記の塗液案内部と塗液案内穴を通して前記のスリット状吐出口に導くことを特徴とする塗布装置。
塗布用ノズル内部の塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの突出した先端部に長手方向に沿って設けられたスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記のスリット状吐出口の上で回転してスリット状吐出口の開閉を行うシャッター部材を設けるにあたり、前記のシャッター部材と前記の塗液収容部との間に、前記のスリット状吐出口に対応した塗液案内穴を有する樹脂製シール部材をスリット状吐出口の周囲に沿って設け、前記のシャッター部材の外周面により前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、前記のシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を前記の樹脂製シール部材に設けた塗液案内穴に導いて、塗液収容部内の塗液を前記の塗液案内部と塗液案内穴を通して前記のスリット状吐出口に導くにあたり、前記の樹脂製シール部材に、前記のスリット状吐出口内に挿入させる挿入部を設け、前記の挿入部をスリット状吐出口の先端部まで挿入させて、樹脂製シール部材における前記の塗液案内穴を、スリット状吐出口の先端部まで導いたことを特徴とする塗布装置。
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置において、前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴として、前記のスリット状吐出口に沿ったスリット状案内穴を設けたことを特徴とする塗布装置。
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置において、前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴として、前記のスリット状吐出口に沿って多数の整流案内穴を設けたことを特徴とする塗布装置。
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置において、前記の樹脂製シール部材に、フッ素系樹脂を用いたことを特徴とする塗布装置。
請求項１に記載の塗布装置において、前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴として、前記のスリット状吐出口に沿って多数の整流案内穴を設け、前記の樹脂製シール部材に設けた前記の多数の整流案内穴と、整流部材に設けた多数の整流穴が連通するようにして、前記の整流部材を前記のスリット状吐出口の先端部まで挿入させたことを特徴とする塗布装置。
塗布用ノズル内部の塗液収容部内に収容させた塗液を、塗布用ノズルの突出した先端部に長手方向に沿って設けられたスリット状吐出口から被塗布体に吐出させると共に、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させて、被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記のスリット状吐出口の上で回転してスリット状吐出口の開閉を行うシャッター部材を設けるにあたり、前記のシャッター部材と前記の塗液収容部との間に、前記のスリット状吐出口に対応した塗液案内穴を有する樹脂製シール部材をスリット状吐出口の周囲に沿って設け、前記のシャッター部材の外周面により前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴を閉塞させて、塗液収容部内の塗液をスリット状吐出口に導かないようにする一方、前記のシャッター部材の外周面に設けた塗液案内部を前記の樹脂製シール部材に設けた塗液案内穴に導いて、塗液収容部内の塗液を前記の塗液案内部と塗液案内穴を通して前記のスリット状吐出口に導くにあたり、前記の樹脂製シール部材に前記のスリット状吐出口内に挿入させる挿入部を設け、樹脂製シール部材における前記の挿入部をスリット状吐出口の途中まで挿入させると共に、前記の樹脂製シール部材における塗液案内穴として、前記のスリット状吐出口に沿って多数の整流案内穴を設け、前記の樹脂製シール部材に設けられた前記の多数の整流案内穴と、整流部材に設けた多数の整流穴が連通するようにして、前記の整流部材を前記のスリット状吐出口の先端部まで挿入させたことを特徴とする塗布装置。