JP7419487B1 - ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】圧力室内のインクに対して効果的に弾性エネルギーを伝え、圧力室の発生圧力を向上させるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップは、液体が収容される圧力室が形成されたアクチュエータプレートと、圧力室に連通する噴射孔を有し、アクチュエータプレートに対してアクチュエータプレートの厚さ方向に重ね合わされた噴射孔プレートと、アクチュエータプレートに電界を生じさせることで、厚さ方向及び厚さ方向に交差する交差方向にアクチュエータプレートを変形させ、圧力室の容積を拡大又は縮小させる駆動電極と、を備えている。【選択図】図４

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置に関する。

インクジェットプリンタに搭載されるヘッドチップは、圧力室が形成された流路部材と、圧力室の一面を閉塞する圧電材料からなるアクチュエータプレートと、を備えている（例えば、下記特許文献１参照）。この種のヘッドチップでは、アクチュエータプレートに発生させた電界によってアクチュエータプレートを変形させることで、圧力室の容積を拡大又は縮小させる。これにより、圧力室内に圧力変動が生じることで、圧力室内のインクが、ノズル孔を通じて吐出される。

特開平１０－５８６７４号公報

近時では、ノズル密度の向上等を目的として、キャビティプレートのうち隣り合う圧力室間を仕切る部分（仕切壁）の幅が狭くなる傾向にある。仕切壁の幅が狭くなると、仕切壁の剛性が低下する。この場合、インク吐出時において、アクチュエータプレートの変形により発生する弾性エネルギーが、仕切壁の変形によって吸収されるおそれがあった。すなわち、従来のヘッドチップにあっては、圧力室内のインクに対して効果的に弾性エネルギーを伝えることが難しく、圧力室の発生圧力を向上させる点で改善の余地があった。

本開示は、圧力室内のインクに対して効果的に弾性エネルギーを伝え、圧力室の発生圧力を向上させるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。

上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、液体が収容される圧力室が形成されたアクチュエータプレートと、前記圧力室に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに対して前記アクチュエータプレートの厚さ方向に重ね合わされた噴射孔プレートと、前記アクチュエータプレートに電界を生じさせることで、前記厚さ方向及び前記厚さ方向に交差する交差方向に前記アクチュエータプレートを変形させ、前記圧力室の容積を拡大又は縮小させる駆動電極と、を備え、前記圧力室は、前記厚さ方向で前記噴射孔と向かい合うとともに、前記アクチュエータプレートによって形成された底面を有し、前記圧力室は、前記底面が残るように前記アクチュエータプレートに対して前記厚さ方向に切削加工を行うことによって形成されたものであり、前記アクチュエータプレートに電界を生じさせることで、前記底面が前記厚さ方向に変形する。
（２）上記（１）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記駆動電極は、前記厚さ方向及び前記交差方向に前記アクチュエータプレートを変形させ、前記圧力室の容積を拡大又は縮小させることによって、前記液体を噴射するための弾性エネルギーを前記圧力室内の前記液体に伝えることが好ましい。

本態様によれば、アクチュエータプレートによって圧力室を形成することで、例えばアクチュエータプレートとは別部材に圧力室を形成する場合に比べ、アクチュエータプレートの変形に伴う圧力室内の圧力変動時において、別部材の変形によって弾性エネルギーが吸収されることを抑制できる。これにより、圧力室内のインクに対して効果的に弾性エネルギーを伝え、圧力室の発生圧力を向上させることができる。また、別部材に圧力室を形成する場合に比べて、製造効率の向上や低コスト化を図ることができる。
その上で、本態様では、アクチュエータプレートが駆動電極によって厚さ方向及び交差方向に変形させられることで、例えばアクチュエータプレートが厚さ方向及び交差方向の何れかの方向のみに変形させられる構成に比べ、発生圧力を確保できる。

（３）本開示の一態様に係るヘッドチップは、液体が収容される圧力室が形成されたアクチュエータプレートと、前記圧力室に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに対して前記アクチュエータプレートの厚さ方向に重ね合わされた噴射孔プレートと、前記アクチュエータプレートに電界を生じさせることで、前記厚さ方向及び前記厚さ方向に交差する交差方向に前記アクチュエータプレートを変形させ、前記圧力室の容積を拡大又は縮小させる駆動電極と、を備え、前記駆動電極は、前記圧力室の内面に形成された第１電極と、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射孔プレート側を向く第１面において、前記第１電極に対して前記交差方向で隣り合うとともに、前記第１電極との間で電位差を発生させる第２電極と、前記アクチュエータプレートのうち前記噴射孔プレート側と反対側を向く第２面において、前記厚さ方向で前記第１電極に向かい合って設けられるとともに、前記第１電極との間で電位差を発生させる第１対向電極と、を備えていることが好ましい。
本態様によれば、第１電極及び第２電極間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレートの分極方向に交差する方向に電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレートをシェアモード（ルーフシュート型）で交差方向に変形させることで、圧力室の容積を変化させることができる。また、第１電極及び第１対向電極間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレートの分極方向にも電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレートをベンドモード（バイモルフ型）で厚さ方向に変形させることで、圧力室の容積を変化させることができる。すなわち、シェアモード及びベンドモードの双方でアクチュエータプレートを厚さ方向及び交差方向に変形させることで、液体噴射時における圧力室内の発生圧力を向上させることができる。

（４）上記（３）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記駆動電極は、前記第２面において前記第１対向電極と隣り合い、前記厚さ方向で前記第２電極に向かい合って設けられた第２対向電極を備え、前記第２対向電極は、前記第２電極との間で前記厚さ方向に電位差を生じさせるとともに、前記第１対向電極との間で前記交差方向に電位差を生じさせることが好ましい。
本態様によれば、アクチュエータプレートの第２面において、第１対向電極及び第２対向電極が隣り合って形成されるので、第１対向電極及び第２対向電極間に発生する電位差によってアクチュエータプレートをシェアモードにより変形させることができる。
また、第２電極及び第２対向電極間に発生する電位差によってアクチュエータプレートをベンドモードにより変形させることができる。その結果、発生圧力の更なる向上及び、省電力化を図ることができる。

（５）上記（３）又は（４）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートのうち、前記圧力室に対して前記交差方向の外側に位置する部分には、前記第２面に対して前記厚さ方向に窪む溝部が形成されていることが好ましい。
本態様によれば、駆動電極への電圧印加時において、溝部の容積が拡大又は縮小するようにアクチュエータプレートが変形するので、アクチュエータプレートの変形が阻害されることを抑制できる。これにより、アクチュエータプレートの変形量を確保し易くなり、圧力室の発生圧力を向上させることができる。

（６）上記（５）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記溝部は、前記アクチュエータプレートを前記厚さ方向に貫通していることが好ましい。
本態様によれば、溝部がアクチュエータプレートを貫通しているので、液体噴射時における仕切壁の変形を許容し易い。そのため、圧力室の発生圧力を向上させることができる。

（７）上記（５）又は（６）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記駆動電極は、前記溝部の内面に形成されるとともに、前記第１電極との間で電位差を発生させる溝内電極を備えていることが好ましい。
本態様によれば、第１電極と溝内電極との間に生じる電位差によって、アクチュエータプレートには分極方向に交差する方向に電界が生じる。その結果、仕切壁は、シェアモードにより厚さ方向の第２側に向かうに従い交差方向の外側に倒れ込むように厚み滑り変形する。これにより、液体噴射時において、溝部の容積が拡大又は縮小するように仕切壁が変形する。すなわち、溝部が仕切壁の変形を許容する逃げ部として機能することから、アクチュエータプレートの変形量を確保し易くなり、圧力室の発生圧力を向上させることができる。

（８）上記（５）から（７）の何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートの分極方向は、前記圧力室における前記厚さ方向の中央部に対して前記噴射孔プレート側と、前記厚さ方向の中央部に対して前記噴射孔プレートとは反対側とで異なる向きに設定され、前記駆動電極は、前記圧力室における前記厚さ方向の全体に亘って形成されていることが好ましい。
本態様によれば、第１電極と溝内電極との間に生じる電位差により、アクチュエータプレート（各圧電プレート）には分極方向（厚さ方向）に直交する方向に電界が生じる。その結果、アクチュエータプレートを構成する各圧電プレートが、シェアモードにより交差方向に厚み滑り変形することで、圧力室の厚さ方向の中央部を起点にして、仕切壁がＶ字状に屈曲変形する。すなわち、仕切壁は圧力室の容積が拡大するように変形する。これにより、電圧印加時における仕切壁の交差方向での変形量を確保し易くなり、アクチュエータプレートの弾性エネルギーを確保し易い。

（９）本開示の一態様に係るヘッドチップは、液体が収容される圧力室が形成されたアクチュエータプレートと、前記圧力室に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに対して前記アクチュエータプレートの厚さ方向に重ね合わされた噴射孔プレートと、前記アクチュエータプレートに電界を生じさせることで、前記厚さ方向及び前記厚さ方向に交差する交差方向に前記アクチュエータプレートを変形させ、前記圧力室の容積を拡大又は縮小させる駆動電極と、を備え、前記アクチュエータプレートの分極方向は、前記厚さ方向の全体に亘って一方向に設定されていることが好ましい。
本態様によれば、構成の簡素化や低コスト化を図ることができる。

（１０）本開示に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（９）の何れかの態様に係るヘッドチップを備えている。
本態様によれば、上記態様に係るヘッドチップを備えているので、所望の噴射性能が発揮できる高品質な液体噴射ヘッドを提供できる。

（１１）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（１０）の態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、上記態様に係る液体噴射ヘッドを備えているので、所望の噴射性能が発揮できる高品質な液体噴射記録装置を提供できる。

本開示の一態様によれば、圧力室内の液体に対して効果的に弾性エネルギーを伝え、圧力室の発生圧力を向上させる。

第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環機構の概略構成図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第１実施形態に係るアクチュエータプレートの底面図である。 第１実施形態に係るアクチュエータプレートの平面図である。 第１実施形態に係るカバープレートの平面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップについて、インク吐出時における変形の挙動を説明するための説明図である。 第２実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第３実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第４実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第４実施形態の変形例に係るヘッドチップの断面図である。 第４実施形態の変形例に係るヘッドチップの断面図である。 第５実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第６実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第６実施形態の変形例に係るヘッドチップの断面図である。

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

（第１実施形態）
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。

以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向は走査機構７の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本明細書において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。

搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インクタンク４には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。

図２は、インクジェットヘッド５及びインク循環機構６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。

加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。

図１に示すように、走査機構７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構７は、Ｙ方向に延びるガイドレール２８と、ガイドレール２８に移動可能に支持されたキャリッジ２９と、を備えている。

＜インクジェットヘッド５＞
インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。

＜ヘッドチップ５０＞
図３は、ヘッドチップ５０の断面図である。
図３に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する圧力室６１における延在方向（Ｙ方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆる循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１と、第１フィルム５２と、アクチュエータプレート５３と、第２フィルム５４と、カバープレート５５と、を備えている。以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート５１からカバープレート５５に向かう方向（＋Ｚ側）を上側とし、カバープレート５５からノズルプレート５１に向かう方向（－Ｚ側）を下側として説明する場合がある。

アクチュエータプレート５３は、Ｚ方向を厚さ方向として配置されている。アクチュエータプレート５３は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート５３は、分極方向が＋Ｚ側の一方向を向くように設定されている（いわゆる、モノポールタイプ）。アクチュエータプレート５３の両面には、駆動配線７５が形成されている。アクチュエータプレート５３は、駆動配線７５により印加される電圧によって電界が発生することで変形可能に構成されている。なお、駆動配線７５の構成については後述する。

アクチュエータプレート５３には、共通流路６０と、共通流路６０に連通する複数の圧力室６１と、が形成されている。共通流路６０や圧力室６１は、アクチュエータプレート５３に対してダイサー加工やサンドブラスト等を行うことで形成される。

各圧力室６１は、Ｘ方向に間隔をあけて並んでいる。各圧力室６１は、アクチュエータプレート５３の下面で開口するとともに、Ｙ方向に直線状に延びる溝状に形成されている。圧力室６１は、Ｙ方向から見て矩形状に形成されている。アクチュエータプレート５３のうち、隣り合う圧力室６１同士の間に位置する部分は、仕切壁６４ａ，６４ｂとして機能する。なお、圧力室６１は、Ｙ方向から見て台形状や三角形状、半円形状等であってもよい。また、第１実施形態では、圧力室６１の延在方向がＹ方向に一致する構成について説明するが、圧力室６１の延在方向がＹ方向に交差していてもよい。

共通流路６０は、入口側共通流路６０ａと、出口側共通流路６０ｂと、を含んでいる。
入口側共通流路６０ａは、アクチュエータプレート５３のうち各圧力室６１に対して＋Ｙ側に位置する部分をＸ方向に延びている。入口側共通流路６０ａは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。入口側共通流路６０ａには、各圧力室６１の＋Ｙ側端部が接続されている。これにより、入口側共通流路６０ａを流れるインクが各圧力室６１に分配される。入口側共通流路６０ａにおける－Ｘ側端部は、入口ポート（不図示）に接続される。インクタンク４内のインクは、入口ポートを通じて入口側共通流路６０ａに供給される。

出口側共通流路６０ｂは、アクチュエータプレート５３のうち、圧力室６１に対して－Ｙ側に位置する部分をＸ方向に延びている。出口側共通流路６０ｂは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。出口側共通流路６０ｂには、各圧力室６１の－Ｙ側端部が接続されている。これにより、各圧力室６１を通過したインクが出口側共通流路６０ｂに戻される。出口側共通流路６０ｂにおける＋Ｘ側端部は、出口ポート（不図示）に接続される。出口側共通流路６０ｂを流れるインクは、出口ポートを通じてインクタンク４内に戻される。

第１フィルム５２は、アクチュエータプレート５３に接着等によって固定されている。第１フィルム５２は、アクチュエータプレート５３の下面及び圧力室６１の内面に倣って配置されている。第１フィルム５３は、絶縁性及びインク耐性を有し、弾性変形可能な材料により形成されている。このような材料として、第１フィルム５３は、例えば樹脂材料（ポリイミド系やエポキシ系、ポリプロピレン系等）により形成されている。

ノズルプレート５１は、第１フィルム５２の下面に接着等によって固定されている。ノズルプレート５１は、流路６０や圧力室６１を下方から閉塞している。第１実施形態において、ノズルプレート５１は、ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等の金属材料により形成されている。但し、ノズルプレート５１は、金属材料の他、樹脂材料（例えば、ポリイミド等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。

ノズルプレート５１には、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数のノズル孔７１が形成されている。各ノズル孔７１は、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。各ノズル孔７１は、対応する圧力室６１それぞれに対し、Ｘ方向及びＹ方向の中央部で連通している。第１実施形態において、各ノズル孔７１は、例えば上方から下方に向かうに従い内径が漸次縮小するテーパ状に形成されている。

第２フィルム５４は、アクチュエータプレート５３の上面に接着等によって固定されている。第１実施形態において、第２フィルム５４は、アクチュエータプレート５３の上面全域を覆っている。第２フィルム５４は、絶縁性を有し、弾性変形可能な材料により形成されている。このような材料として、第１フィルム５３と同様の材料を採用することができる。なお、第２フィルム５４は、必須の構成ではない。例えばエポキシ系接着剤やアクリル系接着剤を含む接着剤層を介してアクチュエータプレート５３とカバープレート５５とが接合されていてもよい。

カバープレート５５は、Ｚ方向を厚さ方向として、第２フィルム５４の上面に接着等により固定されている。カバープレート５５におけるＺ方向の厚さは、アクチュエータプレート５３や各フィルム５２，５４よりも厚い。第１実施形態において、カバープレート５５は、絶縁性を有する材料（例えば、金属酸化物、ガラス、樹脂、セラミックス等）により形成されている。

続いて、駆動配線７５の構造について説明する。図４は、アクチュエータプレート５３の底面図である。図５は、アクチュエータプレート５３の平面図である。図６は、カバープレート５５の平面図である。駆動配線７５は、各圧力室６１に対応して設けられている。隣り合う圧力室６１に対応する駆動配線７５同士は、互いに同様の構成になっている。以下の説明では、複数の圧力室６１のうち一の圧力室６１に対応して設けられた駆動配線７５を例にして説明し、他の圧力室６１に対応する駆動配線７５については説明を適宜省略する。なお、駆動配線７５は、アクチュエータプレート５３の上下両側から電極材料を蒸着等することで形成される。

図３～図６に示すように、駆動配線７５は、共通配線８１と、個別電極８２と、を備えている。
共通配線８１は、第１共通電極８１ａと、第２共通電極８１ｂと、引き回し配線８１ｃと、共通パッド８１ｄと、貫通配線８１ｅと、を備えている。を備えている。
図３、図４に示すように、第１共通電極８１ａは、アクチュエータプレート５３の下面において、Ｚ方向から見て仕切壁６４と重なり合う位置にそれぞれ形成されている。具体的に、各第１共通電極８１ａのうち、＋Ｘ側に位置する第１共通電極８１ａ（以下、＋Ｘ側共通電極８１ａ１という。）は、仕切壁６４ａと重なり合っている。一方、各第１共通電極８１ａのうち－Ｘ側に位置する第１共通電極８１ａ（以下、－Ｘ側共通電極８１ａ２という。）は、仕切壁６４ｂと重なり合っている。各第１共通電極８１ａは、圧力室６１に沿ってＹ方向に直線状に延びている。本実施形態において、一の圧力室６１に対応する＋Ｘ側共通電極８１ａ１は、一の圧力室６１に対して＋Ｘ側に隣り合う他の圧力室６１の－Ｘ側共通電極８１ａ２と共用している。一方、一の圧力室６１に対応する－Ｘ側共通電極８１ａ２は、一の圧力室６１に対して－Ｘ側に隣り合う他の圧力室６１の＋Ｘ側共通電極８１ａ１と共用している。

図３、図５に示すように、第２共通電極８１ｂは、アクチュエータプレート５３の上面において、対応する圧力室６１とＺ方向から見て重なり合い、かつＺ方向から見て第１共通電極８１ａと重なり合わない位置に配置されている。図示の例において、第２共通電極８１ｂは、圧力室６１におけるＸ方向の中央部を含む領域に形成されている。第２共通電極８１ｂは、圧力室６１に沿ってＹ方向に直線状に延びている。なお、第２共通電極８１ｂは、圧力室６１とＺ方向から見て重なり合う位置に形成されていれば、Ｘ方向の幅等について適宜変更が可能である。

引き回し配線８１ｃは、アクチュエータプレート５３の上面において、第２共通電極８１ｂに接続されている。引き回し配線８１ｃは、第２共通電極８１ｂにおける－Ｙ側端部に接続された状態でＸ方向に延びている。第１実施形態において、引き回し配線８１ｃは、各駆動配線７５の第２共通電極８１ｂを一括して接続している。但し、引き回し配線８１ｃは、各駆動配線７５の第２共通電極８１ｂ同士を個別に接続していてもよい。

図６に示すように、共通パッド８１ｄは、カバープレート５５の上面に形成されている。共通パッド８１ｄは、カバープレート５５の上面のうち、Ｚ方向から見て圧力室６１と重なり合う部分をＹ方向に延びている。

図４～図６に示すように、貫通配線８１ｅは、第１共通電極８１ａ、第２共通電極８１ｂ、引き回し配線８１ｃ及び共通パッド８１ｄ間を接続している。貫通配線８１ｅは、アクチュエータプレート５３、第２フィルム５４及びカバープレート５５をＺ方向に貫通して設けられている。具体的に、アクチュエータプレート５３、第２フィルム５４及びカバープレート５５のうち共通電極８１ａ，８１ｂに対して－Ｙ側に位置する部分には、共通配線用孔９１が形成されている。共通配線用孔９１は、各圧力室６１に応じて個別に形成されている。第１共通電極８１ａ、引き回し配線８１ｃ及び共通パッド８１ｄにおける－Ｙ側端縁は、共通配線用孔９１の開口縁において、貫通配線８１ｅに接続されている。なお、貫通配線８１ｅ及び共通配線用孔９１は、各圧力室６１に対して一括で設けられていてもよい。この場合、共通配線用孔９１は、各圧力室６１を跨る長さでＸ方向に延びる。

図３～図６に示すように、個別電極８２は、第１個別電極８２ａと、第２個別電極８２ｂと、引き回し配線８２ｃと、個別パッド８２ｄと、貫通配線８２ｅと、を備えている。を備えている。

図３、図４に示すように、第１個別電極８２ａは、第１共通電極８１ａとの間で電位差を生じさせるとともに、第２共通電極８１ｂとの間で電位差を生じさせる。第１個別電極８２ａは、圧力室６１の内面に形成されている。第１個別電極８２ａの少なくとも一部は、第２共通電極８１ｂとＺ方向から見て重なり合っている。第１個別電極８２ａは、各第１共通電極８１ａに対してＸ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に延びている。

第１個別電極８２ａは、底面電極８２ａ１と、側面電極８２ａ２と、を備えている。
底面電極８２ａ１は、圧力室６１の底面６１ａ（下方を向く面）の全域に亘って形成されている。
側面電極８２ａ２は、圧力室６１の内面のうちＸ方向で向かい合う一対の内側面６１ｂそれぞれに、全域に亘って形成されている。側面電極８２ａ２の上端縁は、底面電極８２ａ１に接続されている。なお、第１個別電極８２ａは、圧力室６１の内面のうち少なくとも一部に形成されていればよい。また、第１個別電極８２ａは、圧力室６１の内面に加え、アクチュエータプレート５３（仕切壁６４）の下面のうち圧力室６１の周囲に位置する部分に連なっていてもよい。

図３、図５に示すように、第２個別電極８２ｂは、第２共通電極８１ｂとの間で電位差を生じさせるとともに、第１共通電極８１ａとの間で電位差を生じさせる。第２個別電極８２ｂは、アクチュエータプレート５３の上面において、第２共通電極８１ｂに対してＸ方向の両側に位置する部分にそれぞれ形成されている。各第２個別電極８２ｂは、第２共通電極８１ｂに対してＸ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に延びている。第２個別電極８２ｂにおけるＸ方向の幅は、第１共通電極８１ａにおけるＸ方向の幅よりも狭い。

各第２個別電極８２ｂのうち＋Ｘ側に位置する第２個別電極８２ｂ（以下、＋Ｘ側個別電極８２ｂ１という。）は、＋Ｘ側共通電極８１ａ１との間で電位差を生じさせる。＋Ｘ側個別電極８２ｂ１の一部は、Ｚ方向から見て仕切壁６４ａと重なり合っている。＋Ｘ側個別電極８２ｂ１は、仕切壁６４ａ上において＋Ｘ側共通電極８１ａ１とＺ方向で向かい合っている。

各第２個別電極８２ｂのうち－Ｘ側に位置する第２個別電極８２ｂ（以下、－Ｘ側個別電極８２ｂ２という。）は、－Ｘ側共通電極８１ａ２との間で電位差を生じさせる。－Ｘ側個別電極８２ｂ１の一部は、Ｚ方向から見て仕切壁６４ｂと重なり合っている。－Ｘ側個別電極８２ｂ２は、仕切壁６４ｂ上において－Ｘ側共通電極８１ａ２とＺ方向で向かい合っている。なお、隣り合う圧力室６１間において、一の圧力室６１における＋Ｘ側個別電極８２ｂ１と、他の圧力室６１における－Ｘ側個別電極８２ｂ２と、は側壁６２ａ，６２ｂ上においてＸ方向に離間している。

図５に示すように、引き回し配線８２ｃは、アクチュエータプレート５３の上面において、各圧力室６１において対応する第２個別電極８２ｂの＋Ｙ側端部同士を接続している。

図６に示すように、個別パッド８２ｄは、カバープレート５５の上面に形成されている。個別パッド８２ｄは、カバープレート５５の上面のうち、Ｚ方向から見て圧力室６１と重なり合う部分をＹ方向に延びている。

図４～図６に示すように、貫通配線８２ｅは、対応する第１個別電極８２ａ、第２個別電極８２ｂ、引き回し配線８２ｃ及び個別パッド８２ｄ間を接続している。貫通配線８２ｅは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通して設けられている。具体的に、アクチュエータプレート５３、第２フィルム５４及びカバープレート５５のうち第１個別電極８２ａに対して＋Ｙ側に位置する部分には、個別配線用孔９３が形成されている。個別配線用孔９３は、各圧力室６１に応じて個別に形成されている。対応する第１共通電極８１ａ、引き回し配線８２ｃ及び個別パッド８２ｄにおける＋Ｙ側端縁は、個別配線用孔９３の開口縁において、貫通配線８２ｅに接続されている。なお、個別配線用孔９３は、各圧力室６１に対して一括で設けられていてもよい。

図３に示すように、駆動配線７５のうち下方を向く部分は、第１フィルム５２に覆われている。具体的に、駆動配線７５のうち、第１共通電極８１ａ、第１個別電極８２ａ、引き回し配線８１ｃ，８２ｃ及び貫通配線８１ｅ，８２ｅは、第１フィルム５２に覆われている。第１フィルム５２は、共通配線用孔９１及び個別配線用孔９３の下端開口部を下方から閉塞している。これにより、圧力室６１内と各配線用孔９１，９３との連通が遮断されている。一方、駆動配線７５のうち上方を向く部分は、第２フィルム５４に覆われている。具体的に、駆動配線７５のうち、第２共通電極８１ｂ、第２個別電極８２ｂ及び貫通配線８１ｅ，８２ｅは、第２フィルム５４に覆われている。

カバープレート５５の上面には、フレキシブルプリント基板（不図示）が圧着されている。フレキシブルプリント基板は、カバープレート５５の上面において、共通パッド８１ｄ及び個別パッド８２ｄに実装されている。

［プリンタ１の動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時にキャリッジ２９がＹ方向に移動することで、キャリッジ２９に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
第１実施形態のような循環式サイドシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口側共通流路６０ａを通して各圧力室６１内に供給される。各圧力室６１内に供給されたインクは、各圧力室６１をＹ方向に流通する。その後、インクは、出口側共通流路６０ｂに排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。

そして、キャリッジ２９（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板を介して共通電極８１ａ，８１ｂ及び個別電極８２ａ，８２ｂ間に駆動電圧が印加される。この際、共通電極８１ａ，８１ｂを基準電位ＧＮＤとし、個別電極８２ａ，８２ｂを駆動電位Ｖｄｄとして駆動電圧を印加する。

図７は、ヘッドチップ５０について、インク吐出時における変形の挙動を説明するための説明図である。
図７に示すように、駆動電圧の印加により、第１共通電極８１ａ及び第１個別電極８２ａ間、並びに第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ間には、Ｘ方向で電位差が生じる。Ｘ方向に生じた電位差により、アクチュエータプレート５３は、シェアモードによりＺ方向に厚み滑り変形する。具体的に、第１共通電極８１ａ及び第１個別電極８２ａ間には、Ｘ方向で互いに離れる向きに電界が生じる（矢印Ｅ１参照）。また、アクチュエータプレート５３の上面において、第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ間には、Ｘ方向で互いに接近する向きに電界が生じる（矢印Ｅ２参照）。その結果、アクチュエータプレート５３のうち、各圧力室６１に対応する部分は、Ｘ方向の両端部から中央部に向かうに従い上方に向けてせん断変形する。特に、本実施形態では、圧力室６１の内側面６１ｂに側面電極８２ａ２が形成されているため、側面電極８２ａ２と第１共通電極８１ａとの間に発生する電位差によってＸ方向の外側に向かうに従い下方に向いた状態で電界が発生する。そのため、仕切壁６４ａ，６４ｂにＸ方向の外側かつ上方に変形し易い。

一方、第１共通電極８１ａ及び第２個別電極８２ｂ間、並びに第１個別電極８２ａ及び第２共通電極８１ｂ間には、Ｚ方向で電位差が生じる。Ｚ方向に生じた電位差により、アクチュエータプレート５３には分極方向（Ｚ方向）に平行な方向に電界が生じる（矢印Ｅ０参照）。その結果、アクチュエータプレート５３は、ベンドモードによりＺ方向に伸縮変形する。すなわち、第１実施形態のヘッドチップ５０では、アクチュエータプレート５３のシェアモード及びベンドモードに起因する変形が、何れもＺ方向に及ぶことになる。具体的に、駆動電圧の印加により、アクチュエータプレート５３は、圧力室６１から離間する向きに変形する。これにより、圧力室６１内の容積が拡大する。その後、駆動電圧をゼロにすると、アクチュエータプレート５３が復元することで、圧力室６１内の容積が元に戻ろうとする。アクチュエータプレート５３が復元する過程で、圧力室６１内の圧力が増加し、圧力室６１内のインクがノズル孔７１を通じて外部に吐出される。外部に吐出されたインクが被記録媒体Ｐに着弾することで、被記録媒体Ｐに印刷情報が記録される。

ここで、第１実施形態のヘッドチップ５０は、アクチュエータプレート５３に電界を生じさせることで、Ｚ方向（厚さ方向）及びＸ（交差方向）にアクチュエータプレート５３を変形させ、圧力室６１の容積を拡大又は縮小させる駆動電極（共通電極８１ａ，８１ｂ及び個別電極８２ａ，８２ｂ）を備える構成とした。
この構成によれば、アクチュエータプレート５３によって圧力室６１を形成することで、例えばアクチュエータプレート５３とは別部材に圧力室を形成する場合に比べ、アクチュエータプレート５３の変形に伴う圧力室６１内の圧力変動時において、別部材の変形によって弾性エネルギーが吸収されることを抑制できる。これにより、圧力室６１内のインクに対して効果的に弾性エネルギーを伝え、圧力室６１の発生圧力を向上させることができる。また、別部材に圧力室を形成する場合に比べて、製造効率の向上や低コスト化を図ることができる。
その上で、第１実施形態では、アクチュエータプレート５３が駆動電極によってＺ方向及びＸ方向に変形させられることで、例えばアクチュエータプレート５３がＺ方向及びＸ方向の何れかの方向のみに変形させられる構成に比べ、発生圧力を確保できる。

第１実施形態のヘッドチップ５０において、駆動電極は、圧力室６１の内面に形成された第１個別電極（第１電極）８７ａと、アクチュエータプレート５３の下面（第１面）に形成された第１共通電極（第２電極）８１ａと、アクチュエータプレート５３の上面（第２面）において第１個別電極８２ａと向かい合って設けられた第２共通電極（第２電極）８１ｂと、を備える構成とした。
この構成によれば、第１個別電極８７ａ及び第１共通電極８１ａ間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレート５３の分極方向に交差する方向に電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレート５３をシェアモード（ルーフシュート型）でＸ方向に変形させることで、圧力室６１の容積を変化させることができる。また、第１個別電極８７ａ及び第２共通電極８１ｂ間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレート５３の分極方向にも電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレート５３をベンドモード（バイモルフ型）でＺ方向に変形させることで、圧力室６１の容積を変化させることができる。すなわち、シェアモード及びベンドモードの双方でアクチュエータプレート５３をＺ方向及びＸ方向に変形させることで、インク吐出時における圧力室６１内の発生圧力を向上させることができる。

第１実施形態のヘッドチップ５０において、駆動電極は、アクチュエータプレート５３の上面において第１共通電極８１ａに向かい合って設けられた第２個別電極（第２対向電極）８２ｂを備える構成とした。
この構成によれば、アクチュエータプレート５３の上面において、第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂが隣り合って形成されるので、第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ間に発生する電位差によってアクチュエータプレート５３をシェアモードにより変形させることができる。
また、第１共通電極８１ａ及び第２個別電極８２ｂ間に発生する電位差によってアクチュエータプレート５３をベンドモードにより変形させることができる。その結果、発生圧力の更なる向上及び、省電力化を図ることができる。

第１実施形態のヘッドチップ５０において、アクチュエータプレート５３の分極方向は、Ｚ方向の全体に亘って一方向に設定されている構成とした。
この構成によれば、構成の簡素化や低コスト化を図ることができる。

第１実施形態のインクジェットヘッド５及びプリンタ１では、上述したヘッドチップ５０を備えているので、所望の吐出性能が発揮できる高品質なインクジェットヘッド５及びプリンタ１を提供できる。

（第２実施形態）
図８は、第２実施形態に係るヘッドチップ５０の断面図である。
図８に示すように、第２実施形態に係るヘッドチップ５０は、第１実施形態に係るヘッドチップ５０に対し、第２個別電極８２ｂ（図３参照）を除いた構成である。したがって、アクチュエータプレート５３の上面には、第２共通電極８１ｂのみしか形成されていない。

第２実施形態によれば、第２個別電極８２ｂを除くことで、電極の面積を削減でき、アクチュエータプレート５３の静電容量を小さくすることができる。そのため、アクチュエータプレート５３の応答性を向上させることができるとともに、アクチュエータプレート５３での発熱も抑制できる。

（第３実施形態）
図９は、第３実施形態に係るヘッドチップ５０の断面図である。
図９に示すヘッドチップ５０において、アクチュエータプレート５３の上面のうち、第１共通電極８１ａと向かい合う位置には、第３共通電極３００が形成されている。第３共通電極３００は、第２共通電極８１ｂに対してＸ方向の両側に位置する部分にそれぞれ形成されている。第３共通電極３００は、第２共通電極８１ｂに対してＸ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に延びている。

各第３共通電極３００のうち＋Ｘ側に位置する第３共通電極３００ａの一部は、Ｚ方向から見て仕切壁６４ａと重なり合っている。第３共通電極３００ａは、側壁６２ａ上において＋Ｘ側共通電極８１ａ１とＺ方向で向かい合っている。

各第３共通電極３００のうち－Ｘ側に位置する第３共通電極３００ｂの一部は、Ｚ方向から見て側壁６２ｂと重なり合っている。第３共通電極３００ｂは、仕切壁６４ｂ上において－Ｘ側共通電極８１ａ２とＺ方向で向かい合っている。なお、隣り合う圧力室６１間において、一の圧力室６１における第３共通電極３００ａと、他の圧力室６１における第３共通電極３００ｂと、は仕切壁６４ａ，６４ｂ上においてＸ方向に離間している。

第３実施形態のヘッドチップ５０では、アクチュエータプレート５３の上面に共通電極（第２共通電極８１ｂ及び第３共通電極３００）のみが配置されるので、アクチュエータプレート５３の上面での短絡のリスクを抑制できる。なお、第２共通電極８１ｂ及び第３共通電極３００を一体化してもよい。

（第４実施形態）
図１０は、第４実施形態に係るヘッドチップ５０の断面図である。
図１０に示すヘッドチップ５０において、アクチュエータプレート５３には、溝部４００が形成されている。溝部４００は、アクチュエータプレート５３の上面のうち、圧力室６１に対してＸ方向の両側に位置する部分が下方に窪んで形成されている。図示の例において、溝部４００は、アクチュエータプレート５３のうち、第２共通電極８１ｂに対してＸ方向の両側にそれぞれ設けられている。

溝部４００におけるＺ方向の深さは、圧力室６１におけるＺ方向の深さよりも深い。溝部４００におけるＸ方向の幅は、圧力室６１におけるＸ方向の幅よりも狭い。なお、溝部４００におけるＹ方向の長さは、圧力室６１におけるＹ方向の長さと同等になっている。但し、溝部４００の各種寸法は、適宜変更が可能である。

溝部４００の内面には、第３共通電極（溝内電極）４０１が形成されている。本実施形態において、第３共通電極４０１は、溝部４００の内面全域に亘って形成されている。但し、第３共通電極４０１は、溝部４００の内面のうち、少なくとも一部に形成されていればよい。

第４実施形態のヘッドチップ５０では、第１個別電極８２ａと第３共通電極４０１との間に生じる電位差によって、アクチュエータプレート５３には分極方向に交差する方向に電界が生じる。その結果、仕切壁６４ａ，６４ｂは、シェアモードにより上方に向かうに従いＸ方向の外側に倒れ込むように厚み滑り変形する。これにより、インク吐出時において、溝部４００の容積が拡大又は縮小するように仕切壁６４ａ，６４ｂが変形する。すなわち、溝部４００が仕切壁６４ａ，６４ｂの変形を許容する逃げ部として機能することから、アクチュエータプレート５３の変形量を確保し易くなり、圧力室６１の発生圧力を向上させることができる。

なお、第４実施形態では、アクチュエータプレート５３がモノポールタイプである構成について説明したが、この構成に限られない。図１１に示すように、アクチュエータプレート５３は、Ｚ方向における分極方向が異なる（向かい合う）２枚の圧電プレートが積層された構成（いわゆる、シェブロンタイプ）であってもよい。図示の例において、アクチュエータプレート５３は、圧力室６１におけるＺ方向の中央部を起点に分極方向が異なっている。

この構成によれば、第１個別電極８２ａと第３共通電極４０１との間に生じる電位差により、アクチュエータプレート５３（各圧電プレート）には分極方向（Ｚ方向）に直交する方向に電界が生じる。その結果、各圧電プレートが、シェアモードによりＸ方向に厚み滑り変形することで、圧力室６１のＺ方向の中央部を起点にして、仕切壁６４ａ，６４ｂがＶ字状に屈曲変形する。すなわち、仕切壁６４ａ，６４ｂは圧力室６１の容積が拡大するように変形する。これにより、電圧印加時における仕切壁６４ａ，６４ｂのＸ方向での変形量を確保し易くなり、アクチュエータプレート５３の弾性エネルギーを確保し易い。

また、第４実施形態では、溝部４００に第３共通電極４０１が形成された構成について説明したが、この構成に限られない。例えば図１２に示すように、アクチュエータプレート５３のうち圧力室６１に対してＸ方向の両側に溝部４００のみが設けられていてもよい。このような構成においても、仕切壁６４ａ，６４ｂが変形する際に、溝部４００が仕切壁６４ａ，６４ｂの変形を許容する逃げ部として機能する。これにより、アクチュエータプレート５３の変形量を確保し易くなる。

（第５実施形態）
図１３に示すヘッドチップ５０において、アクチュエータプレート５３の上面のうち、溝部４００に対してＸ方向の内側に位置する部分には、第２個別電極８２ｂが設けられている。第２個別電極８２ｂは、第２共通電極８１ｂと第３共通電極４０１との間に間隔をあけた状態でＹ方向に延びている。

第５実施形態において、インク吐出時には、第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ間に生じた電位差により、アクチュエータプレート５３をシェアモードによってＺ方向に厚み滑り変形させることができる。これにより、圧力室６１内の発生圧力を向上させることができる。

（第６実施形態）
図１４に示すヘッドチップ５０において、溝部４００はアクチュエータプレート５３を貫通している。図示の例において、第３共通電極４０１と第１共通電極８１ａとは一体に連なっている。但し、第３共通電極４０１と第１共通電極８１ａとは、離間していてもよい。

第６実施形態では、溝部４００がアクチュエータプレート５３を貫通しているので、インク吐出時における仕切壁６４ａ，６４ｂの変形を許容し易い。そのため、圧力室６１の発生圧力を向上させることができる。なお、第６実施形態のヘッドチップ５０についても、図１５に示すようにアクチュエータプレート５３にシェブロンタイプを用いてもよい。

（その他の変形例）
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。

上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。

上述した実施形態では、電圧の印加によって圧力室の容積が拡大する方向にアクチュエータプレートを変形させた後、アクチュエータプレートを復元させることで、インクを吐出させる構成（いわゆる、引き打ち）について説明したが、この構成に限られない。本開示に係るヘッドチップは、電圧の印加によって圧力室の容積が縮小する方向にアクチュエータプレートを変形させることで、インクを吐出させる構成（いわゆる、押し打ち）であってもよい。押し打ちを行う場合、駆動電圧の印加により、アクチュエータプレートは、圧力室内に向けて膨出するように変形する。これにより、圧力室内の容積が減少することで、圧力室内の圧力が増加し、圧力室内のインクがノズル孔を通じて外部に吐出される。駆動電圧をゼロにすると、アクチュエータプレートが復元する。その結果、圧力室内の容積が元に戻る。

上述した実施形態では、シェアモード及びベンドモードの双方の変形モードに起因してアクチュエータプレートを厚さ方向及び交差方向に変形させる構成について説明したが、この構成に限られない。本開示のヘッドチップは、アクチュエータプレートを厚さ方向及び交差方向に変形させる構成であれば、何れの変形モードで変形させてもよい。
上述した実施形態では、ノズルプレートがアクチュエータプレートに直接接合されている構成について説明したが、この構成に限られない。ノズルプレートは、中間プレート等を介してアクチュエータプレートに接合されていてもよい。

その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。

１：プリンタ（液体噴射記録装置）
５：インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０：ヘッドチップ
５１：ノズルプレート（噴射孔プレート）
５３：アクチュエータプレート
６１：圧力室
７１：ノズル孔（噴射孔）
８１ａ：第１共通電極（駆動電極、第２電極）
８１ｂ：第２共通電極（駆動電極、第１対向電極）
８２ａ：第１個別電極（駆動電極、第１電極）
８２ｂ：第２個別電極（駆動電極、第２対向電極）
４００：溝部
４０１：第３共通電極（溝内電極）
７５１：アクチュエータプレート
７５３：ノズルプレート（噴射孔プレート）
７６１：吐出チャネル（圧力室）
７７５：ノズル孔（噴射孔）

Claims (9)

1. 液体が収容される圧力室が形成されたアクチュエータプレートと、
   前記圧力室に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに対して前記アクチュエータプレートの厚さ方向に重ね合わされた噴射孔プレートと、
   前記アクチュエータプレートに電界を生じさせることで、前記厚さ方向及び前記厚さ方向に交差する交差方向に前記アクチュエータプレートを変形させ、前記圧力室の容積を拡大又は縮小させる駆動電極と、を備え、
   前記駆動電極は、
   前記圧力室の内面に形成された第１電極と、
   前記アクチュエータプレートのうち前記噴射孔プレート側を向く第１面において、前記第１電極に対して前記交差方向で隣り合うとともに、前記第１電極との間で電位差を発生させる第２電極と、
   前記アクチュエータプレートのうち前記噴射孔プレート側と反対側を向く第２面において、前記厚さ方向で前記第１電極に向かい合って設けられるとともに、前記第１電極との間で電位差を発生させる第１対向電極と、を備えているヘッドチップ。
2. 前記駆動電極は、前記第２面において前記第１対向電極と隣り合い、前記厚さ方向で前記第２電極に向かい合って設けられた第２対向電極を備え、
   前記第２対向電極は、前記第２電極との間で前記厚さ方向に電位差を生じさせるとともに、前記第１対向電極との間で前記交差方向に電位差を生じさせる請求項１に記載のヘッドチップ。
3. 前記アクチュエータプレートのうち、前記圧力室に対して前記交差方向の外側に位置する部分には、前記第２面に対して前記厚さ方向に窪む溝部が形成されている請求項１に記載のヘッドチップ。
4. 前記溝部は、前記アクチュエータプレートを前記厚さ方向に貫通している請求項３に記載のヘッドチップ。
5. 前記駆動電極は、前記溝部の内面に形成されるとともに、前記第１電極との間で電位差を発生させる溝内電極を備えている請求項３に記載のヘッドチップ。
6. 前記アクチュエータプレートの分極方向は、前記圧力室における前記厚さ方向の中央部に対して前記噴射孔プレート側と、前記厚さ方向の中央部に対して前記噴射孔プレートとは反対側とで異なる向きに設定され、
   前記駆動電極は、前記圧力室における前記厚さ方向の全体に亘って形成されている請求項３に記載のヘッドチップ。
7. 液体が収容される圧力室が形成されたアクチュエータプレートと、
   前記圧力室に連通する噴射孔を有し、前記アクチュエータプレートに対して前記アクチュエータプレートの厚さ方向に重ね合わされた噴射孔プレートと、
   前記アクチュエータプレートに電界を生じさせることで、前記厚さ方向及び前記厚さ方向に交差する交差方向に前記アクチュエータプレートを変形させ、前記圧力室の容積を拡大又は縮小させる駆動電極と、を備え、
   前記アクチュエータプレートの分極方向は、前記厚さ方向の全体に亘って一方向に設定されているヘッドチップ。
8. 請求項１から請求項７の何れか１項に記載のヘッドチップを備えている液体噴射ヘッド。
9. 請求項８に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。

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