JP7350155B2 - 圧電同軸センサ及び圧電同軸センサの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、出力特性の悪化が抑制される圧電同軸センサ及び圧電同軸センサの製造方法に関する。

同軸ケーブルの中心導体と外部導体との間に圧電素子が配置された圧電同軸センサが知られている。圧電同軸センサは、当該センサの外周面から力が加わる場合に生じる圧電素子の電圧を中心導体と外部導体とを介して検知することで、当該力を検出する。この性質を利用して、圧電同軸センサが設けられる被測定物の変形や被測定物に加わる力、振動等を検出する。このような圧電同軸センサの圧電素子には、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）から成る高分子圧電体が用いられるものが知られている。

下記特許文献１には、このような圧電同軸センサが記載されている。この圧電同軸センサは、中心導体と、中心導体の外周面を被覆するＰＶＤＦから成る高分子圧電体層と、高分子圧電体層の外周面を囲う外部導体と、外部導体の外周面を被覆するジャケット層である絶縁層と、から構成される。このジャケット層は、押出成形で形成される。

特開２０１７－１８３５７０号公報

しかし、上記特許文献１に記載の圧電同軸センサは出力が小さい傾向にある。この原因は、ジャケット層を押出成形で形成する際に、ＰＶＤＦの分極が低下するためと考えられる。このため、ジャケット層をテープ巻きにより形成したいとの要請がある。テープ巻きの場合、少なくとも外部に露出するジャケットを構成するテープが接着により固定される必要がある。接着性を有するテープを用いる場合、製造上の問題から熱可塑性樹脂から成る接着剤を用いたいという要請があるが、このような接着剤を用いると、加熱時においてＰＶＤＦの分極が低下することによる出力特性の悪化の懸念がある。

そこで、本発明は、出力特性の悪化が抑制される圧電同軸センサ及び圧電同軸センサの製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の圧電同軸センサは、線状の中心導体、前記中心導体の外周面を被覆するポリフッ化ビニリデンを含む高分子圧電体層、及び前記高分子圧電体層の外周面を囲う第１外部導体を有するセンサ部と、前記センサ部の外周面を囲うように巻かれるテープ状のフィルムを有する少なくとも１つのジャケット層と、備え、前記ジャケット層のうち外部に露出する前記ジャケット層における前記フィルムは、１２０℃以下の融点の熱可塑性樹脂から成る接着層により当該接着層の接する部材に接着されていることを特徴とするものである。

また、上記課題を解決するため、本発明の圧電同軸センサの製造方法は、線状の中心導体と、前記中心導体の外周面を被覆するポリフッ化ビニリデンを含む高分子圧電体層と、前記高分子圧電体層の外周面を囲う第１外部導体と、を有するセンサ部を準備する準備工程と、前記センサ部の外周面を囲うように巻かれるテープ状のフィルムを有する少なくとも１つのジャケット層を形成するジャケット層形成工程と、を備え、前記ジャケット層形成工程は、前記ジャケット層のうち外部に露出する前記ジャケット層を形成する露出ジャケット形成工程を含み、前記露出ジャケット形成工程は、外部に露出する前記ジャケット層となる前記フィルムを前記センサ部の外周面を囲うように１２０℃以下の融点の熱可塑性樹脂から成る接着層を介して当該接着層が接する部材の外周面に巻く巻回工程と、外部に露出する前記ジャケット層となる前記フィルムが巻かれた前記センサ部を１２０℃以下で加熱して、前記接着層により当該フィルムを前記部材に接着する接着工程と、を含むことを特徴とするものである。

本発明者は、熱可塑性樹脂から成る接着層を接着剤として用いて、様々な温度でフィルムをセンサ部に固定した。その結果、圧電同軸センサの高分子圧電体層がＰＶＤＦを含む場合、１２０度以下で加熱すれば、出力特性の悪化が抑制されることを見出した。この原因は、このような条件の加熱であれば、ＰＶＤＦの分極の低下が抑制されるためと考えられる。従って、本発明の圧電同軸センサでは、１２０℃以下の加熱により外部に露出するジャケット層を形成することができるため、ＰＶＤＦの分極の低下を抑制し得る。従って、圧電同軸センサは、出力特性の悪化が抑制され得る。また、本発明の圧電同軸センサの製造方法は、１２０℃以下の加熱により外部に露出するジャケット層を形成するため、ＰＶＤＦの分極の低下を抑制し得、出力特性の悪化が抑制される圧電同軸センサを製造することができる。

また、前記熱可塑性樹脂は、エチレン酢酸ビニル共重合体を含んでもよい。

この場合、１２０度以下の融点の接着層とすることができる。

また、上記の圧電同軸センサは、１つ以上の前記ジャケット層を含み前記センサ部の外周面を被覆する第１ジャケット層と、前記第１ジャケット層の外周面を囲う第２外部導体と、１つ以上の前記ジャケット層を含み前記第２外部導体の外周面を被覆する第２ジャケット層と、を備え、前記第２ジャケット層の最も外側の前記ジャケット層は、外部に露出する前記ジャケット層であることが好ましい。

また、上記の圧電同軸センサの製造方法は、１つ以上の前記ジャケット層を含み前記センサ部の外周面を被覆する第１ジャケット層を形成する第１ジャケット層形成工程と、前記第１ジャケット層の外周面を囲う第２外部導体を形成する第２外部導体形成工程と、１つ以上の前記ジャケット層を含み前記第２外部導体の外周面を被覆する第２ジャケット層を形成する第２ジャケット層形成工程と、を備え、前記第２ジャケット層の最も外側の前記ジャケット層は、外部に露出する前記ジャケット層であることが好ましい。

このような圧電同軸センサ及び圧電同軸センサの製造方法では、第２外部導体がシールド層として作用し、外部の電磁場等の影響が中心導体や第１外部導体に届くことを抑制することができる。従って、外部の電磁場等により、中心導体や第１外部導体にノイズが重畳することを抑制することができる。このため、圧電同軸センサが優れた耐ノイズ特性を有することができる。なお、耐ノイズ特性は、外来ノイズを抑制する特性であり、耐ノイズ性が高い場合には、Ｓ／Ｎ比が高い。また、第２ジャケット層により、シールド層として作用する第２外部導体の外周面を外部と絶縁し得る。従って、第２外部導体を介して中心導体や第１外部導体にノイズが重畳することをより抑制することができる。

また、上記のように圧電同軸センサが第１ジャケット層と第２外部導体と第２ジャケット層とを備える場合において、前記第１ジャケット層は、前記センサ部の外周面を被覆し、前記フィルムが前記センサ部に非接着である内側第１ジャケット層と、前記内側第１ジャケット層の外周面を被覆し、前記接着層により前記フィルムが前記内側第１ジャケット層に接着される外側第１ジャケット層と、を有することが好ましい。

また、上記のように圧電同軸センサの製造方法が第１ジャケット層形成工程と第２外部導体形成工程と第２ジャケット層形成工程とを備える場合において、前記第１ジャケット層形成工程は、前記センサ部の外周面を被覆し、前記フィルムが前記センサ部に非接着である内側第１ジャケット層を形成する内側第１ジャケット層形成工程と、前記内側第１ジャケット層の外周面を被覆し、前記接着層により前記フィルムが前記内側第１ジャケット層に接着される外側第１ジャケット層を形成する外側第１ジャケット層形成工程と、を有し、前記外側第１ジャケット層形成工程は、前記外側第１ジャケット層となる前記フィルムを前記内側第１ジャケット層の外周面に前記接着層を介して巻く外側第１ジャケット層巻回工程と、前記外側第１ジャケット層巻回工程で前記外側第１ジャケット層となる前記フィルムが巻かれた前記内側第１ジャケット層及び前記センサ部を１２０℃以下で加熱して、前記接着層により前記外側第１ジャケット層となる前記フィルムを前記内側第１ジャケット層に接着する外側第１ジャケット層接着工程と、を含むことが好ましい。

このような圧電同軸センサ及び圧電同軸センサの製造方法によれば、内側第１ジャケット層がセンサ部に非接着であるため、センサ部を口出しすることが容易である。また、外側第１ジャケット層が内側第１ジャケット層に接着されるため、圧電同軸センサが屈曲される場合であっても第１ジャケット層が解けることが抑制される。また、このような圧電同軸センサによれば、１２０℃以下の加熱により第１ジャケット層を形成することができるため、ＰＶＤＦの分極の低下を抑制し得、出力特性の悪化が抑制され得る。また、このような圧電同軸センサの製造方法によれば、１２０℃以下の加熱により第１ジャケット層を形成するため、ＰＶＤＦの分極の低下を抑制し得る。

また、上記のように圧電同軸センサが第１ジャケット層と第２外部導体と第２ジャケット層とを備える場合において、前記第２ジャケット層は、前記第２外部導体の外周面を被覆し、前記フィルムが前記第２外部導体に非接着である内側第２ジャケット層と、前記第２ジャケット層の最も外側の前記ジャケット層であり、前記内側第２ジャケット層の外周面を被覆し、前記接着層により前記フィルムが前記内側第２ジャケット層に接着される外側第２ジャケット層と、を有することが好ましい。

また、上記のように圧電同軸センサの製造方法が第１ジャケット層形成工程と第２外部導体形成工程と第２ジャケット層形成工程とを備える場合において、前記第２ジャケット層形成工程は、前記第２外部導体の外周面を被覆し、前記フィルムが前記第２外部導体に非接着である内側第２ジャケット層を形成する内側第２ジャケット層形成工程と、前記第２ジャケット層の最も外側の前記ジャケット層であり、前記内側第２ジャケット層の外周面を被覆し、前記接着層により前記フィルムが前記内側第２ジャケット層に接着される外側第２ジャケット層を形成する外側第２ジャケット層形成工程と、を有し、前記外側第２ジャケット層形成工程は、前記露出ジャケット形成工程であることが好ましい。

このような圧電同軸センサ及び圧電同軸センサの製造方法によれば、内側第２ジャケット層が第２外部導体に非接着であるため、第２外部導体を口出しすることが容易である。また、外側第２ジャケット層が内側第２ジャケット層に接着されるため、圧電同軸センサが屈曲される場合であっても第２ジャケット層が解けることが抑制される。また、このような圧電同軸センサによれば、１２０℃以下の加熱により第２ジャケット層を形成することができるため、ＰＶＤＦの分極の低下を抑制し得、出力特性の悪化が抑制され得る。また、このような圧電同軸センサの製造方法によれば、１２０℃以下の加熱により第２ジャケット層を形成するため、ＰＶＤＦの分極の低下を抑制し得る。

以上のように、本発明によれば、出力特性の悪化が抑制される圧電同軸センサ及び圧電同軸センサの製造方法が提供される。

本発明の実施形態に係る圧電同軸センサを示す図である。 図１の圧電同軸センサの長手方向に垂直な断面における構造を示す図である。 図１の圧電同軸センサを製造する工程を示すフローチャートである。 準備工程後の様子を示す図である。 内側第１ジャケット層形成工程の様子を示す図である。 外側第１ジャケット層巻回工程の様子を示す図である。 外側第１ジャケット層接着工程の様子を示す図である。 第２外部導体形成工程後の様子を示す図である。 内側第２ジャケット層形成工程の様子を示す図である。 外側第２ジャケット層巻回工程の様子を示す図である。 加熱炉の設定温度と圧電同軸センサに生じる電圧の測定結果との関係を示す図である。

以下、本発明に係る圧電同軸センサを実施するための形態が添付図面とともに例示される。以下に例示する実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、以下の実施形態から変更、改良することができる。また、本明細書では、理解を容易にするために、各部材の寸法が誇張して示されている場合がある。

図１は、本実施形態に係る圧電同軸センサを示す図である。図１に示すように、本実施形態の圧電同軸センサ１は、中心導体１１と、高分子圧電体層１２と、第１外部導体１３と、第１ジャケット層１４と、第２外部導体１５と、第２ジャケット層１６と、を備える。

中心導体１１は、複数の導電性線材の撚り線から成る線状の導体である。この中心導体１１としては、導体であれば特に制限されないが、例えば、銅、アルミニウム、錫めっき軟銅合金等から成る導体が挙げられる。なお、図１では、中心導体１１が上述のように複数の導電性線材の撚り線から成る例が示されているが、中心導体１１は、導電性の単線から成る線状の導体であっても良い。

高分子圧電体層１２は、中心導体１１の外周面を被覆する層である。本実施形態では、高分子圧電体層１２は、中心導体１１の外周面に接している。高分子圧電体層１２は、圧電性を示し、ＰＶＤＦを含む高分子から成る。高分子圧電体層１２は、押し出し成形等により、断面の外形が略円形状に形成されている。なお、高分子圧電体層１２は、ＰＶＤＦを含む高分子圧電体から成るテープ状のフィルムが中心導体１１に巻かれることで構成されてもよい。この場合、当該フィルムは、螺旋巻きで巻かれても縦沿え巻きで巻かれてもよい。

第１外部導体１３は、高分子圧電体層１２の外周面を囲う導体である。本実施形態では、第１外部導体１３は、高分子圧電体層１２の外周面に接している。第１外部導体１３は、複数の導線が同一方向に螺旋状に巻かれた構成とされる。このような第１外部導体１３は、導体から成れば特に制限されないが、例えば、中心導体１１と同様の導体から成る。なお、図１では、第１外部導体１３として複数の導線が螺旋状に巻かれた例が示されるが、第１外部導体１３は、複数の導線が編まれた網線であってもよい。

以上の構成による中心導体１１と、高分子圧電体層１２と、第１外部導体１３とにより、センサ部Ｓが構成されている。なお、上記のように、高分子圧電体層１２は中心導体１１の外周面に接し、第１外部導体１３は高分子圧電体層１２の外周面に接している。このため、センサ部Ｓでは、圧電同軸センサ１に加わる外力が高分子圧電体層１２に伝達され当該高分子圧電体層１２に誘導電荷が生じる場合に、中心導体１１と第１外部導体１３との間には高分子圧電体層１２に生じる誘導電荷に基づいて電圧が生じる。このため、中心導体１１と第１外部導体１３との間の電圧を該圧電同軸センサ１の外側に誘引し計測することで、該圧電同軸センサ１に加わる力を計測することが可能となる。

図２は、図１の圧電同軸センサ１の長手方向に垂直な断面における構造を示す図である。第１ジャケット層１４は、第１外部導体１３の外周面を被覆する層である。従って、第１ジャケット層１４は、センサ部Ｓの外周面を被覆する。図１、図２に示すように、本実施形態では、第１ジャケット層１４は、内側第１ジャケット層１４ａ及び外側第１ジャケット層１４ｂの２つのジャケット層を有する。

内側第１ジャケット層１４ａは、樹脂から成るテープ状のフィルム１４ａｔから成り、フィルム１４ａｔは、第１外部導体１３の外周面上に螺旋状に巻かれている。フィルム１４ａｔのいずれの面にも接着層が設けられておらず、内側第１ジャケット層１４ａは、第１外部導体１３に非接着である。フィルム１４ａｔの材料としては、特に制限されないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミド、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリフェニレンサルファイド等の絶縁性の樹脂を挙げることができる。なお、フィルム１４ａｔの一方の面上に接着層が設けられてもよいが、この場合、第１外部導体１３を口出しする際に、内側第１ジャケット層１４ａと第１外部導体１３とが容易に剥離可能となる観点から、接着層は、内側第１ジャケット層１４ａの外側となるフィルム１４ａｔの面上に設けられることが好ましい。

外側第１ジャケット層１４ｂは、図２に示すように、第１ジャケット層１４の最も外側のジャケット層であり、樹脂から成るテープ状のフィルム１４ｂｔと、フィルム１４ｂｔの一方の面上に設けられる接着層１４ｂａとから成る。フィルム１４ｂｔは、接着層１４ｂａが内側第１ジャケット層１４ａ側を向き、内側第１ジャケット層１４ａの外周面上に螺旋状に巻かれている。従って、接着層１４ｂａは、内側第１ジャケット層１４ａに接しており、接着層１４ｂａによりフィルム１４ｂｔが内側第１ジャケット層１４ａに接着されている。なお、図１の例では、外側第１ジャケット層１４ｂのフィルム１４ｂｔは、内側第１ジャケット層１４ａのフィルム１４ａｔと同一方向に巻かれているが、外側第１ジャケット層１４ｂのフィルム１４ｂｔと内側第１ジャケット層１４ａのフィルム１４ａｔとが逆方向に巻かれてもよい。また、フィルム１４ａｔ及びフィルム１４ｂｔの少なくとも一方が縦沿え巻きに巻かれてもよい。フィルム１４ｂｔの材料としては、特に制限されないが、例えば、フィルム１４ａｔと同様の材料を挙げることができる。接着層１４ｂａに用いられる接着剤は、１２０℃以下の融点の熱可塑性樹脂から成る。このような樹脂としては、例えば、エチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）を挙げることができる。ＥＶＡを含むことで、熱可塑性樹脂の融点を１２０℃以下にすることができる。

なお、上記のように、接着層が内側第１ジャケット層１４ａの外側となるフィルム１４ａｔの面上に設けられる場合には、内側第１ジャケット層１４ａの外周面には接着層が露出するため、フィルム１４ｂｔのいずれの面にも接着層が設けられていなくてもよく、上記のようにフィルム１４ｂｔの内側第１ジャケット層１４ａ側の面に接着層１４ｂａが設けられていてもよい。また、上記のように、フィルム１４ａｔのいずれの面にも接着層が設けられていない場合であっても、接着層１４ｂａが設けられなくてもよいが、圧電同軸センサ１が繰り返し屈曲される場合におけるフィルム１４ｂｔが解けること抑制する観点から、上記のように接着層１４ｂａが設けられることが好ましい。

また、内側第１ジャケット層１４ａ及び外側第１ジャケット層１４ｂのいずれか一方が省略され、第１ジャケット層１４が内側第１ジャケット層１４ａ及び外側第１ジャケット層１４ｂの他方から構成されてもよい。ただし、第１ジャケット層１４と第１外部導体１３とが容易に剥離可能としつつ、第１ジャケット層１４が解けることを抑制する観点から、第１ジャケット層１４は、上記のように非接着の内側第１ジャケット層１４ａと、接着層１４ｂａを有する外側第１ジャケット層１４ｂとから構成されることが好ましい。

第２外部導体１５は、第１ジャケット層１４の外周面を囲う導体である。第２外部導体１５は、複数の導線が同一方向に螺旋状に巻かれた構成とされる。このような第２外部導体１５は、導体から成れば特に制限されないが、例えば、第１外部導体１３と同様の導体から成る。なお、図１では、第２外部導体１５として複数の導線が螺旋状に巻かれた例が示されるが、第２外部導体１５は、複数の導線が編まれた網線であってもよい。

第２ジャケット層１６は、第２外部導体１５の外周面を被覆する層である。本実施形態では、第２ジャケット層１６は、内側第２ジャケット層１６ａ及び外側第２ジャケット層１６ｂの２つのジャケット層を有する。

内側第２ジャケット層１６ａは、樹脂から成るテープ状のフィルム１６ａｔから成り、フィルム１６ａｔは、第２外部導体１５の外周面上に螺旋状に巻かれている。フィルム１６ａｔのいずれの面にも接着層が設けられておらず、内側第２ジャケット層１６ａは、第２外部導体１５に非接着である。フィルム１６ａｔの材料としては、特に制限されないが、例えば、フィルム１４ａｔと同様の材料を挙げることができる。なお、フィルム１６ａｔの一方の面上に接着層が設けられてもよいが、この場合、第２外部導体１５を口出しする際に、内側第２ジャケット層１６ａと第２外部導体１５とが容易に剥離可能となる観点から、接着層は、内側第２ジャケット層１６ａの外側となるフィルム１６ａｔの面上に設けられることが好ましい。

図１、図２に示すように、外側第２ジャケット層１６ｂは、第２ジャケット層１６の最も外側のジャケット層であり、外部に露出するジャケット層である。外側第２ジャケット層１６ｂは、樹脂から成るテープ状のフィルム１６ｂｔと、フィルム１６ｂｔの一方の面上に設けられる接着層１６ｂａとから成る。フィルム１６ｂｔは、接着層１６ｂａが内側第２ジャケット層１６ａ側を向き、内側第２ジャケット層１６ａの外周面上に螺旋状に巻かれている。従って、接着層１６ｂａは、内側第２ジャケット層１６ａに接しており、接着層１６ｂａによりフィルム１６ｂｔが内側第２ジャケット層１６ａに接着されている。なお、図１の例では、外側第２ジャケット層１６ｂのフィルム１６ｂｔは、内側第２ジャケット層１６ａのフィルム１６ａｔと同一方向に巻かれているが、外側第２ジャケット層１６ｂのフィルム１６ｂｔと内側第２ジャケット層１６ａのフィルム１６ａｔとが逆方向に巻かれてもよい。また、フィルム１６ａｔ及びフィルム１６ｂｔの少なくとも一方が縦沿え巻きに巻かれてもよい。フィルム１６ｂｔの材料としては、特に制限されないが、例えば、フィルム１６ａｔと同様の材料を挙げることができる。接着層１６ｂａに用いられる接着剤は、１２０℃以下の融点の熱可塑性樹脂から成る。従って、接着層１６ｂａに用いられる接着剤は、例えば、接着層１４ｂａに用いられる熱可塑性樹脂と同様の熱可塑性樹脂から成る。

なお、上記のように、接着層が内側第２ジャケット層１６ａの外側となるフィルム１６ａｔの面上に設けられる場合には、内側第２ジャケット層１６ａの外周面には接着層が露出するため、フィルム１６ｂｔのいずれの面にも接着層が設けられていなくてもよく、上記のようにフィルム１６ｂｔの内側第２ジャケット層１６ａ側の面に接着層１６ｂａが設けられていてもよい。

また、内側第２ジャケット層１６ａが省略され、第２ジャケット層１６が外側第２ジャケット層１６ｂから構成されてもよい。ただし、第２ジャケット層１６と第２外部導体１５とが容易に剥離可能としつつ、第２ジャケット層１６が解けることを抑制する観点から、第２ジャケット層１６は、上記のように非接着の内側第２ジャケット層１６ａと、接着層１６ｂａを有する外側第２ジャケット層１６ｂとから構成されることが好ましい。

以上説明したように、本実施形態の圧電同軸センサ１は、線状の中心導体１１、中心導体１１の外周面を被覆するＰＶＤＦを含む高分子圧電体層１２、及び高分子圧電体層１２の外周面を囲う第１外部導体１３を有するセンサ部Ｓと、センサ部Ｓの外周面を囲うように巻かれるテープ状のフィルムを有する少なくとも１つのジャケット層と、備え、ジャケット層のうち外部に露出する外側第２ジャケット層１６ｂにおけるフィルム１６ｂｔは、１２０℃以下の融点の熱可塑性樹脂から成る接着層１６ｂａにより接着層１６ｂａの接する内側第２ジャケット層１６ａに接着されている。

このような構成の圧電同軸センサ１では、１２０℃以下の加熱により外部に露出する外側第２ジャケット層１６ｂを形成することができる。従って、ＰＶＤＦの分極の低下を抑制し得る。従って、本実施形態の圧電同軸センサ１は、出力特性の悪化が抑制され得る。

また、接着層１６ｂａを構成する熱可塑性樹脂は、エチレン酢酸ビニル共重合体を含んでいるため、接着層１６ｂａの融点を１２０℃以下にすることができる。

また、本実施形態の圧電同軸センサ１は、１つ以上のジャケット層を含みセンサ部Ｓの外周面を被覆する第１ジャケット層１４と、第１ジャケット層１４の外周面を囲う第２外部導体１５と、１つ以上のジャケット層を含み第２外部導体１５の外周面を被覆する第２ジャケット層１６と、を備え、第２ジャケット層１６の最も外側のジャケット層である外側第２ジャケット層１６ｂは、外部に露出するジャケット層である。このような圧電同軸センサ１では、第２外部導体１５がシールド層として作用し、外部の電磁場等の影響が中心導体１１や第１外部導体１３に届くことを抑制することができる。従って、外部の電磁場等により、中心導体１１や第１外部導体１３にノイズが重畳することを抑制することができる。このため、圧電同軸センサ１が優れた耐ノイズ特性を有することができる。また、第２ジャケット層１６により、シールド層として作用する第２外部導体１５の外周面を外部と絶縁し得る。従って、第２外部導体１５を確実に接地することが出来るため第２外部導体１５はシールド層として作用し、中心導体１１や第１外部導体１３にノイズが重畳することをより抑制することができる。

また、本実施形態の圧電同軸センサ１では、第１ジャケット層１４は、センサ部Ｓの外周面を被覆し、フィルム１４ａｔがセンサ部Ｓに非接着である内側第１ジャケット層１４ａと、内側第１ジャケット層１４ａの外周面を被覆し、接着層１４ｂａによりフィルム１４ｂｔが内側第１ジャケット層１４ａに接着される外側第１ジャケット層１４ｂと、を有する。このような圧電同軸センサ１によれば、内側第１ジャケット層１４ａがセンサ部Ｓに非接着であるため、センサ部Ｓを口出しすることが容易である。従って、第１外部導体１３を他の部材に容易に接続することができる。また、外側第１ジャケット層１４ｂが内側第１ジャケット層１４ａに接着されるため、圧電同軸センサ１が屈曲される場合であっても第１ジャケット層１４が解けることが抑制される。また、このような圧電同軸センサ１によれば、１２０℃以下の加熱により第１ジャケット層１４を形成することができるため、ＰＶＤＦの分極の低下を抑制し得るので、出力特性の悪化が抑制され得る。

また、本実施形態の圧電同軸センサ１では、第２ジャケット層１６は、第２外部導体１５の外周面を被覆し、フィルム１６ａｔが第２外部導体１５に非接着である内側第２ジャケット層１６ａと、第２ジャケット層１６の最も外側のジャケット層であり、内側第２ジャケット層１６ａの外周面を被覆し、接着層１６ｂａによりフィルム１６ｂｔが内側第２ジャケット層１６ａに接着される外側第２ジャケット層１６ｂと、を有する。このような圧電同軸センサ１によれば、内側第２ジャケット層１６ａが第２外部導体１５に非接着であるため、第２外部導体１５を口出しすることが容易である。従って、第２外部導体１５をグランド等の他の部材に容易に接続することができる。また、外側第２ジャケット層１６ｂが内側第２ジャケット層１６ａに接着されるため、圧電同軸センサ１が屈曲される場合であっても第２ジャケット層１６が解けることが抑制される。また、このような圧電同軸センサ１によれば、１２０℃以下の加熱により第２ジャケット層１６を形成することができるため、ＰＶＤＦの分極の低下を抑制し得るので、出力特性の悪化が抑制され得る。

次に圧電同軸センサ１の製造方法について説明する。

図３は、図１の圧電同軸センサ１を製造する工程を示すフローチャートである。図３に示すように、本実施形態の圧電同軸センサ１の製造方法は、準備工程Ｐ１と、第１ジャケット層形成工程Ｐ２と、第２外部導体形成工程Ｐ３と、第２ジャケット層形成工程Ｐ４と、を備える。

＜準備工程Ｐ１＞
本工程は、センサ部Ｓを準備する工程である。上記のように、センサ部Ｓは、中心導体１１と、高分子圧電体層１２と、第１外部導体１３と、を有する。従って、まず線状の中心導体１１を準備する。そして、中心導体１１の外周面上にＰＶＤＦを含む高分子圧電体層１２を形成する。図１、図２に示す高分子圧電体層１２であれば、高分子圧電体層１２を押出成形により形成する。また、図１、図２と異なり、ＰＶＤＦを含む高分子圧電体から成るテープ状のフィルムが中心導体１１に巻かれることで高分子圧電体層１２が構成される場合には、当該フィルムを中心導体１１に螺旋巻きや縦沿え巻きで巻く。次に、中心導体１１の周りに形成された高分子圧電体層１２の外周面上に第１外部導体１３を形成する。図１に示す第１外部導体１３であれば、複数の導線を高分子圧電体層１２の外周面上に螺旋状に巻く。或いは、第１外部導体１３が複数の導線が編まれた網線である場合には、複数の導線を高分子圧電体層１２の外周面上編み込んで網線とする。こうして、図４に示すセンサ部Ｓが準備される。

なお、センサ部Ｓは、上記工程以外の方法で準備されてもよい。例えば、センサ部Ｓを外部から購入することで、センサ部Ｓを準備してもよい。

＜第１ジャケット層形成工程Ｐ２＞
本工程は、第１ジャケット層１４を形成する工程である。図３に示すように本工程は、内側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ａと外側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ｂとを有する。

≪内側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ａ≫
本工程は、センサ部Ｓの外周面を被覆し、フィルム１４ａｔがセンサ部Ｓに非接着である内側第１ジャケット層１４ａを形成する工程である。図５は、本工程の様子を示す図である。図５に示すように、本工程では、両面に接着層が非形成のフィルム１４ａｔを準備し、フィルム１４ａｔをセンサ部Ｓの外周面上に螺旋巻きで巻く。なお、図５と異なり、フィルム１４ａｔが縦沿え巻きで巻かれる場合には、フィルム１４ａｔをセンサ部Ｓの外周面上に縦沿え巻きで巻く。こうして、内側第１ジャケット層１４ａが形成される。

なお、上記のように、接着層がフィルム１４ａｔの面上に設けられる場合には、フィルム１４ａｔの接着層が設けられる面が外側となるように、フィルム１４ａｔをセンサ部Ｓの外周面上に巻く。この場合、フィルム１４ａｔは、接着層が接する部材である。

≪外側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ｂ≫
本工程は、内側第１ジャケット層１４ａの外周面を被覆し、接着層１４ｂａによりフィルム１４ｂｔが内側第１ジャケット層１４ａに接着されることで、外側第１ジャケット層１４ｂを形成する工程である。本工程は、外側第１ジャケット層巻回工程Ｐ２ｂｗと外側第１ジャケット層接着工程Ｐ２ｂａとを含む。

（外側第１ジャケット層巻回工程Ｐ２ｂｗ）
本工程は、外側第１ジャケット層１４ｂとなるフィルム１４ｂｔを内側第１ジャケット層１４ａの外周面に巻く工程である。図６は、本工程の様子を示す図である。図６に示すように、本工程では、接着層１４ｂａが設けられたフィルム１４ｂｔを準備して、接着層１４ｂａが内側第１ジャケット層１４ａと接するように、フィルム１４ｂｔを内側第１ジャケット層１４ａの外周面上に螺旋巻きで巻く。なお、図６と異なり、フィルム１４ｂｔが縦沿え巻きで巻かれる場合には、接着層１４ｂａが内側第１ジャケット層１４ａと接するように、フィルム１４ｂｔを内側第１ジャケット層１４ａの外周面上に縦沿え巻きで巻く。こうして、接着層１４ｂａが内側第１ジャケット層１４ａに接して、フィルム１４ｂｔが内側第１ジャケット層１４ａの外周面上に巻かれた状態となる。なお、本工程により、フィルム１４ｂｔは、内側第１ジャケット層１４ａを介して、センサ部Ｓの外周面を囲う。

なお、上記のように、接着層がフィルム１４ａｔの面上に設けられ、フィルム１４ａｔの接着層が設けられる面が外側となるように、フィルム１４ａｔがセンサ部Ｓの外周面上に巻かれる場合には、フィルム１４ａｔ上の接着層を介して、接着層１４ｂａが設けられないフィルム１４ｂｔを内側第１ジャケット層１４ａの外周面上に巻いてもよく、上記のように、接着層１４ｂａが設けられたフィルム１４ｂｔを内側第１ジャケット層１４ａの外周面上に巻いてもよい。

こうして、外側第１ジャケット層１４ｂとなるフィルム１４ｂｔが内側第１ジャケット層１４ａの外周面に接着層を介して巻かれる。

なお、上記のように、第１ジャケット層形成工程Ｐ２では、フィルム１４ａｔ及びフィルム１４ｂｔのいずれの面にも接着層が設けられなくともよい。

（外側第１ジャケット層接着工程Ｐ２ｂａ）
本工程は、接着層１４ｂａにより外側第１ジャケット層１４ｂのフィルム１４ｂｔを内側第１ジャケット層１４ａに接着する工程である。本工程では、フィルム１４ｂｔが巻かれた内側第１ジャケット層１４ａ及びセンサ部Ｓを１２０℃以下で加熱することで、接着層１４ｂａによりフィルム１４ｂｔを内側第１ジャケット層１４ａに接着する。図７は、本工程の様子を示す図である。本実施形態の本工程では、上記のようにフィルム１４ｂｔが巻かれた状態であり、フィルム１４ｂｔ、内側第１ジャケット層１４ａ、及びセンサ部Ｓから成る被加熱体１ａを加熱炉Ｈ内に通すことで、被加熱体１ａを加熱する。

このように加熱される被加熱体１ａは、加熱炉Ｈ内に通される前においてリールＲ１に巻かれている。リールＲ１から送り出される被加熱体１ａは、ガイドコロＧ１で向きが変えられて、加熱炉Ｈ内に通される。加熱炉Ｈ内の温度は、接着層１４ｂａの融点以上で１２０℃以下となるように調整される。上記のように接着層１４ｂａがＥＶＡを含むのであれば、加熱炉Ｈ内の温度は、例えば、１００℃以上１２０℃以下となるように調整される。なおＥＶＡの融点は１１０℃である。加熱炉Ｈの長さは、例えば、１ｍ以上２ｍ以下とされる。また、被加熱体１ａが移動する速度は、例えば、１ｍ／ｍｉｎ以上５ｍ／ｍｉｎ以下とされる。ただし、加熱炉Ｈ内の温度、加熱炉Ｈの長さ、及び被加熱体１ａが移動する速度は、加熱炉Ｈ内において、接着層１４ｂａが融点以上１２０℃以下に加熱されれば、特に限定されない。加熱炉Ｈ内を通された被加熱体１ａは、ガイドコロＧ２で向きが変えられて、リールＲ２に巻かれる。なお、加熱炉ＨからガイドコロＧ２までは、冷却区間である。冷却区間の長さは、接着層１４ｂａが凝固できる長さであれば特に限定されないが、例えば、３ｍ以上とされる。

こうして、接着層１４ｂａにより外側第１ジャケット層１４ｂのフィルム１４ｂｔが内側第１ジャケット層１４ａに接着され、第１ジャケット層１４が形成される。

なお、上記のように、接着層がフィルム１４ａｔの面上に設けられ、フィルム１４ｂｔ上に接着層１４ｂａが設けられない場合には、フィルム１４ａｔに設けられる接着層により外側第１ジャケット層１４ｂのフィルム１４ｂｔが内側第１ジャケット層１４ａに接着される。また、接着層がフィルム１４ａｔの面上に設けられ、フィルム１４ｂｔ上にも接着層１４ｂａが設けられる場合には、フィルム１４ａｔに設けられる接着層とフィルム１４ｂｔ上に設けられる接着層１４ｂａとにより外側第１ジャケット層１４ｂのフィルム１４ｂｔが内側第１ジャケット層１４ａに接着される。

＜第２外部導体形成工程Ｐ３＞
本工程は、第１ジャケット層１４の外周面を囲う第２外部導体１５を形成する工程である。図１に示す第２外部導体１５であれば、本工程において、複数の導線を第１ジャケット層１４の外周面上に螺旋状に巻く。或いは、第２外部導体１５が複数の導線が編まれた網線である場合には、複数の導線を第１ジャケット層１４の外周面上編み込んで網線とする。こうして、図８に示すように第２外部導体１５が形成された状態となる。

＜第２ジャケット層形成工程Ｐ４＞
本工程は、第２ジャケット層１６を形成する工程である。図３に示すように本工程は、内側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ａと外側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ｂとを有する。

≪内側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ａ≫
本工程は、第２外部導体１５の外周面を被覆し、フィルム１６ａｔが第２外部導体１５に非接着である内側第２ジャケット層１６ａを形成する工程である。図９は、本工程の様子を示す図である。図９に示すように、本工程では、両面に接着層が非形成のフィルム１６ａｔを準備し、フィルム１６ａｔを第２外部導体１５の外周面上に螺旋巻きで巻く。なお、図９と異なり、フィルム１６ａｔが縦沿え巻きで巻かれる場合には、フィルム１６ａｔを第２外部導体１５の外周面上に縦沿え巻きで巻く。こうして、内側第２ジャケット層１６ａが形成される。

なお、上記のように、接着層が内側第２ジャケット層１６ａのフィルム１６ａｔ上に設けられる場合には、フィルム１６ａｔの接着層が設けられる面が外側を向くようにフィルム１６ａｔを第２外部導体１５の外周面上に巻く。この場合、フィルム１６ａｔは、接着層が接する部材である。

≪外側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ｂ≫
本工程は、内側第２ジャケット層１６ａの外周面を被覆し、接着層によりフィルム１６ｂｔが内側第２ジャケット層１６ａに接着されることで、外側第２ジャケット層１６ｂを形成する工程である。上記のように外側第２ジャケット層１６ｂは、外部に露出するジャケット層であるため、本工程は、露出ジャケット形成工程と理解することができる。本工程は、外側第２ジャケット層巻回工程Ｐ４ｂｗと外側第２ジャケット層接着工程Ｐ４ｂａとを含む。

（外側第２ジャケット層巻回工程Ｐ４ｂｗ）
本工程は、接着層１６ｂａが設けられたフィルム１６ｂｔを内側第２ジャケット層１６ａの外周面に巻く工程である。図１０は、本工程の様子を示す図である。図１０に示すように、本工程では、接着層１６ｂａが設けられたフィルム１６ｂｔを準備して、接着層１６ｂａが内側第２ジャケット層１６ａと接するように、フィルム１６ｂｔを内側第２ジャケット層１６ａの外周面上に螺旋巻きで巻く。なお、図１０と異なり、フィルム１６ｂｔが縦沿え巻きで巻かれる場合には、接着層１６ｂａが内側第２ジャケット層１６ａと接するように、フィルム１６ｂｔを内側第２ジャケット層１６ａの外周面上に縦沿え巻きで巻く。こうして、接着層１６ｂａが内側第２ジャケット層１６ａに接して、フィルム１６ｂｔが内側第２ジャケット層１６ａの外周面上に巻かれた状態となる。なお、本工程により、フィルム１６ｂｔは、内側第２ジャケット層１６ａ、第２外部導体１５、第１ジャケット層１４を介して、センサ部Ｓの外周面を囲う。

なお、上記のように、接着層がフィルム１６ａｔの面上に設けられ、フィルム１６ａｔの接着層が設けられる面が外側となるように、フィルム１６ａｔが第２外部導体１５の外周面上に巻かれる場合には、フィルム１６ａｔ上の接着層を介して、接着層１６ｂａが設けられないフィルム１６ｂｔを内側第２ジャケット層１６ａの外周面上に巻いてもよく、上記のように、接着層１６ｂａが設けられたフィルム１６ｂｔを内側第２ジャケット層１６ａの外周面上に巻いてもよい。

こうして、外側第２ジャケット層１６ｂとなるフィルム１６ｂｔが内側第２ジャケット層１６ａの外周面に接着層を介して巻かれる。

（外側第２ジャケット層接着工程Ｐ４ｂａ）
本工程は、接着層１６ｂａにより外側第２ジャケット層１６ｂのフィルム１６ｂｔを内側第２ジャケット層１６ａに接着する工程である。本工程では、フィルム１６ｂｔが巻かれた内側第２ジャケット層１６ａ、第２外部導体１５、第１ジャケット層１４、及びセンサ部Ｓを１２０℃以下で加熱することで、接着層１６ｂａによりフィルム１６ｂｔを内側第２ジャケット層１６ａに接着する。本実施形態の本工程は、図７に示す外側第１ジャケット層接着工程Ｐ２ｂａを同様に行う。この場合、被加熱体１ａは、フィルム１６ｂｔが巻かれた内側第２ジャケット層１６ａ、第２外部導体１５、第１ジャケット層１４、及びセンサ部Ｓから成る。この被加熱体１ａが、加熱炉Ｈ内を通されることで、被加熱体１ａが加熱され、加熱炉Ｈ内を通された後の接着層１６ｂａが凝固することで、フィルム１６ｂｔは内側第２ジャケット層１６ａに接着される。

なお、本工程における加熱炉Ｈ内の温度、加熱炉Ｈの長さ、及び被加熱体１ａが移動する速度は、加熱炉Ｈ内において、接着層１６ｂａが融点以上１２０℃以下に加熱されれば、特に限定されず、外側第１ジャケット層接着工程Ｐ２ｂａにおける加熱炉Ｈ内の温度、加熱炉Ｈの長さ、及び被加熱体１ａが移動する速度と異なってもよい。

こうして、接着層１６ｂａにより外側第２ジャケット層１６ｂのフィルム１６ｂｔが内側第２ジャケット層１６ａに接着され、図１、図２に示す圧電同軸センサ１が製造される。

なお、上記のように、接着層がフィルム１６ａｔの面上に設けられ、フィルム１６ｂｔ上に接着層１６ｂａが設けられない場合には、フィルム１６ａｔに設けられる接着層により外側第２ジャケット層１６ｂのフィルム１６ｂｔが内側第２ジャケット層１６ａに接着される。また、接着層がフィルム１６ａｔの面上に設けられ、フィルム１６ｂｔ上にも接着層１６ｂａが設けられる場合には、フィルム１６ａｔに設けられる接着層とフィルム１６ｂｔ上に設けられる接着層１６ｂａとにより外側第２ジャケット層１６ｂのフィルム１６ｂｔが内側第２ジャケット層１６ａに接着される。

本製造方法は、複数のジャケット層を形成するジャケット層形成工程を備えている。すなわち、複数のジャケット層を形成するジャケット層形成工程は、内側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ａ、外側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ｂ、内側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ａ、及び外側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ｂを含む。

以上説明したように、本実施形態の圧電同軸センサ１の製造方法は、センサ部Ｓを準備する準備工程Ｐ１と、センサ部Ｓの外周面を囲うように巻かれるテープ状のフィルムを有する少なくとも１つのジャケット層を形成するジャケット層形成工程と、を備える。このジャケット層形成工程は、ジャケット層のうち外部に露出するジャケット層を形成する露出ジャケット形成工程である外側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ｂを含む。外側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ｂは、１２０℃以下の融点の熱可塑性樹脂から成る接着層１６ｂａが設けられたフィルム１６ｂｔをセンサ部Ｓの外周面を囲うように巻く外側第２ジャケット層巻回工程Ｐ４ｂｗと、フィルム１６ｂｔが巻かれたセンサ部Ｓを１２０℃以下で加熱して、接着層１６ｂａによりフィルム１６ｂｔを接着層１６ｂａの接する部材である内側第２ジャケット層１６ａに接着する外側第２ジャケット層接着工程Ｐ４ｂａと、を含む。

このような圧電同軸センサ１の製造方法によれば、１２０℃以下の加熱により外部に露出するジャケット層を形成するため、ＰＶＤＦの分極の低下を抑制し得、出力特性の悪化が抑制される圧電同軸センサ１を製造することができる。

また、本実施形態の圧電同軸センサ１の製造方法では、接着層１６ｂａの熱可塑性樹脂がエチレン酢酸ビニル共重合体を含んでいるため、１２０度以下の融点の接着層とすることができる。

また、本実施形態の圧電同軸センサ１の製造方法は、複数のジャケット層を含みセンサ部Ｓの外周面を被覆する第１ジャケット層１４を形成する第１ジャケット層形成工程Ｐ２と、第１ジャケット層１４の外周面を囲う第２外部導体１５を形成する第２外部導体形成工程Ｐ３と、複数のジャケット層を含み第２外部導体１５の外周面を被覆する第２ジャケット層１６を形成する第２ジャケット層形成工程Ｐ４と、を備えている。第２ジャケット層１６の最も外側のジャケット層である外側第２ジャケット層１６ｂは、外部に露出するジャケット層である。このような圧電同軸センサ１の製造方法では、第２外部導体１５がシールド層として作用し、優れた耐ノイズ特性を有し、第２ジャケット層１６により、シールド層として作用する第２外部導体１５の外周面を外部と絶縁し得る圧電同軸センサ１を製造することができる。

また、本実施形態の圧電同軸センサ１の製造方法では、第１ジャケット層形成工程Ｐ２は、センサ部Ｓの外周面を被覆し、フィルム１４ａｔがセンサ部Ｓに非接着である内側第１ジャケット層１４ａを形成する内側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ａと、内側第１ジャケット層１４ａの外周面を被覆し、接着層１４ｂａによりフィルム１４ｂｔが内側第１ジャケット層１４ａに接着される外側第１ジャケット層１４ｂを形成する外側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ｂと、を有し、外側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ｂは、接着層１４ｂａが設けられたフィルム１４ｂｔを内側第１ジャケット層１４ａの外周面に巻く外側第１ジャケット層巻回工程Ｐ２ｂｗと、外側第１ジャケット層巻回工程Ｐ２ｂｗでフィルム１４ｂｔが巻かれた内側第１ジャケット層１４ａ及びセンサ部Ｓを１２０℃以下で加熱して、接着層１４ｂａにより外側第１ジャケット層１４ｂのフィルム１４ｂｔを内側第１ジャケット層１４ａに接着する外側第１ジャケット層接着工程Ｐ２ｂａと、を含む。このような圧電同軸センサ１の製造方法によれば、内側第１ジャケット層１４ａがセンサ部Ｓに非接着であるため、センサ部Ｓの口出しが容易であり、外側第１ジャケット層１４ｂが内側第１ジャケット層１４ａに接着されるため、圧電同軸センサ１が屈曲される場合であっても第１ジャケット層１４が解けることが抑制される圧電同軸センサ１を製造することができる。また、本実施形態の圧電同軸センサ１の製造方法によれば、１２０℃以下の加熱により第１ジャケット層１４を形成するため、ＰＶＤＦの分極の低下を抑制し得る。

また、本実施形態の圧電同軸センサの製造方法では、第２ジャケット層形成工程Ｐ４は、第２外部導体１５の外周面を被覆し、フィルム１６ａｔが第２外部導体１５に非接着である内側第２ジャケット層１６ａを形成する内側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ａと、第２ジャケット層１６の最も外側のジャケット層であり、内側第２ジャケット層１６ａの外周面を被覆し、接着層１６ｂａによりフィルム１６ｂｔが内側第２ジャケット層１６ａに接着される外側第２ジャケット層１６ｂを形成する外側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ｂと、を有する。このような圧電同軸センサ１の製造方法によれば、内側第２ジャケット層１６ａが第２外部導体１５に非接着であるため、第２外部導体１５を口出しすることが容易であり、外側第２ジャケット層１６ｂが内側第２ジャケット層１６ａに接着されるため、圧電同軸センサ１が屈曲される場合であっても第２ジャケット層１６が解けることが抑制される圧電同軸センサ１を製造することができる。また、上記のように、本実施形態の圧電同軸センサ１の製造方法によれば、１２０℃以下の加熱により第２ジャケット層１６を形成するため、ＰＶＤＦの分極の低下を抑制し得る。

以上、本実施形態について実施形態を例に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。例えば、第２外部導体１５及び第２ジャケット層１６は、必須の構成ではない。圧電同軸センサ１が第２外部導体１５及び第２ジャケット層１６を備えない場合、第１ジャケット層１４の外側第１ジャケット層１４ｂが外部に露出するジャケット層である。従って、この場合、外側第１ジャケット層１４ｂは、接着層１４ｂａによりフィルム１４ｂｔが、接着層１４ｂａが接する部材に接着される。フィルム１４ｂｔは、接着層１４ｂａが接着層１４ｂａの融点以上１２０℃以下に加熱されて、接着層１４ｂａが接する部材に接着される。この部材は、上記例では、内側第１ジャケット層１４ａであるが、内側第１ジャケット層１４ａが省略される場合には、センサ部Ｓである。また、圧電同軸センサ１が第２外部導体１５及び第２ジャケット層１６を備えない場合、外側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ｂが、外部に露出するジャケット層を形成する露出ジャケット形成工程となる。

また、第１ジャケット層１４が内側第１ジャケット層１４ａを有さない場合、内側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ａは省略され、外側第１ジャケット層のフィルム１４ｂｔは、接着層１４ｂａにより、センサ部Ｓに接着される。また、第１ジャケット層１４が外側第１ジャケット層１４ｂを有さない場合、外側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ｂは省略される。なお、この場合は、第２ジャケット層１６は必須の構成となる。

また、第２ジャケット層１６が内側第２ジャケット層１６ａを有さない場合、内側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ａは省略され、外側第２ジャケット層のフィルム１６ｂｔは、接着層１６ｂａにより、第２外部導体１５に接着される。なお、圧電同軸センサ１が第２ジャケット層１６を備える場合、外側第２ジャケット層１６ｂは必須の構成である。

以下、実施例及び比較例を挙げて本発明の内容をより具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものでは無い。

（実施例１）
図１、図２に示す圧電同軸センサ１と概ね同様の構成で長さが１００ｃｍの圧電同軸センサを製造した。まず、上記準備工程Ｐ１と概ね同様にしてセンサ部Ｓを準備した。中心導体１１として、直径が概ね０．０５ｍｍの軟銅線７本から成り外径が概ね０．１５ｍｍである撚り線を用いた。高分子圧電体層１２は、図１、図２と異なり、ＰＶＤＦから成るテープ状のフィルムを中心導体１１の外周面上に螺旋状に巻き付ける構成とした。この際、フィルムの一部が２重に重なるように当該フィルムを巻いた。高分子圧電体層１２の外径は０．３ｍｍであった。第１外部導体１３は、直径が０．０３ｍｍの複数本の錫めっき軟銅合金線を高分子圧電体層１２の外周面上に螺旋状に巻き付ける構成とした。第１外部導体１３の外径は０．３６ｍｍであった。こうして、センサ部Ｓを準備した。

次に、上記第１ジャケット層形成工程Ｐ２と同様にして、第１ジャケット層１４を内側第１ジャケット層１４ａと外側第１ジャケット層１４ｂとで形成した。まず、内側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ａにおいて、内側第１ジャケット層１４ａを形成した。内側第１ジャケット層１４ａは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）から成るフィルム１４ａｔを第１外部導体１３の外周面上に螺旋状に巻き付けて形成した。この際、フィルム１４ａｔの一部が２重に重なるようにフィルム１４ａｔを巻いた。内側第１ジャケット層１４ａの外径は０．３８ｍｍであった。次に外側第１ジャケット層形成工程Ｐ２ｂと同様にして、外側第１ジャケット層１４ｂを形成した。外側第１ジャケット層１４ｂは、外側第１ジャケット層巻回工程Ｐ２ｂｗと同様にして、一方の面に接着層１４ｂａが設けられ、ＰＥＴから成るフィルム１４ｂｔを内側第１ジャケット層１４ａの外周面上に螺旋状に巻き付けて形成した。この際、フィルム１４ｂｔの一部が２重に重なるようにフィルム１４ｂｔを巻いた。外側第１ジャケット層１４ｂの外径は０．３９ｍｍであった。なお、接着層１４ｂａは、ＥＶＡを含む熱可塑性樹脂で構成した。その後、外側第１ジャケット層接着工程Ｐ２ｂａと同様にして、接着層１４ｂａにより外側第１ジャケット層１４ｂのフィルム１４ｂｔを内側第１ジャケット層１４ａに接着した。このとき、加熱炉Ｈの設定温度を１２０℃として、加熱炉の長さを１．１ｍとし、被加熱体１ａの線速を３ｍ／ｍｉｎとした。

次に、第２外部導体形成工程Ｐ３により第２外部導体１５を形成した。第２外部導体１５は、直径が０．０３ｍｍの複数本の錫めっき軟銅合金線を第１ジャケット層１４の外周面上に螺旋状に巻き付ける構成とした。第２外部導体１５の外径は０．４５ｍｍであった。

次に、上記第２ジャケット層形成工程Ｐ４と同様にして、内側第２ジャケット層１６ａと外側第２ジャケット層１６ｂとで形成した。まず、内側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ａにおいて、内側第２ジャケット層１６ａを形成した。内側第２ジャケット層１６ａは、ＰＥＴから成るフィルム１６ａｔを第２外部導体１５の外周面上に螺旋状に巻き付けて形成した。この際、フィルム１６ａｔの一部が２重に重なるようにフィルム１６ａｔを巻いた。内側第２ジャケット層１６ａの外径は０．４７ｍｍであった。次に外側第２ジャケット層形成工程Ｐ４ｂと同様にして、外側第２ジャケット層１６ｂを形成した。外側第２ジャケット層１６ｂは、外側第２ジャケット層巻回工程Ｐ４ｂｗと同様にして、一方の面に接着層１６ｂａが設けられ、ＰＥＴから成るフィルム１６ｂｔを内側第２ジャケット層１６ａの外周面上に螺旋状に巻き付けて形成した。この際、フィルム１６ｂｔの一部が２重に重なるようにフィルム１６ｂｔを巻いた。外側第２ジャケット層１６ｂの外径は０．５４ｍｍであった。なお、接着層１６ｂａは、ＥＶＡを含む熱可塑性樹脂で構成した。その後、外側第２ジャケット層接着工程Ｐ４ｂａと同様にして、接着層１６ｂａにより外側第２ジャケット層１６ｂのフィルム１６ｂｔを内側第２ジャケット層１６ａに接着した。このとき、加熱炉Ｈの設定温度を１２０℃として、加熱炉の長さを１．１ｍとし、被加熱体１ａの線速を３ｍ／ｍｉｎとした。

（比較例１）
外側第１ジャケット層１４ｂの接着層１４ｂａ及び外側第２ジャケット層１６ｂの接着層１６ｂａをアクリル系の熱可塑性樹脂で構成したこと以外は、実施例１と同様にして、圧電同軸センサを製造した。この熱可塑性樹脂の融点は、１３０℃であった。

（比較例２）
外側第１ジャケット層１４ｂの接着層１４ｂａ及び外側第２ジャケット層１６ｂの接着層１６ｂａをポリエステル系の熱可塑性樹脂で構成し、外側第１ジャケット層接着工程Ｐ２ｂａ及び外側第２ジャケット層接着工程Ｐ４ｂａにおける加熱炉Ｈの設定温度を１５０℃としたこと以外は、実施例１と同様にして、圧電同軸センサを製造した。この熱可塑性樹脂の融点は、１４０℃であった。

（比較例３）
外側第１ジャケット層１４ｂの接着層１４ｂａ及び外側第２ジャケット層１６ｂの接着層１６ｂａをポリアミド系の熱可塑性樹脂で構成し、外側第１ジャケット層接着工程Ｐ２ｂａ及び外側第２ジャケット層接着工程Ｐ４ｂａにおける加熱炉Ｈの設定温度を１６０℃としたこと以外は、実施例１と同様にして、圧電同軸センサを製造した。この熱可塑性樹脂の融点は、１５０℃であった。

実施例１の外側第２ジャケット層１６ｂは、十分な強度で接着され、外側第２ジャケット層１６ｂを簡単に剥がすことはできなかった。

比較例１の外側第２ジャケット層１６ｂは、十分な強度で接着されず、外側第２ジャケット層１６ｂが簡単に剥がれてしまった。なお、比較例１の外側第１ジャケット層接着工程Ｐ２ｂａ及び外側第２ジャケット層接着工程Ｐ４ｂａにおける加熱炉Ｈの設定温度を１７０℃まで上げても同様の結果であった。

比較例２の外側第２ジャケット層１６ｂは、十分な強度で接着され、外側第２ジャケット層１６ｂを簡単に剥がすことはできなかった。なお、比較例２の外側第１ジャケット層接着工程Ｐ２ｂａ及び外側第２ジャケット層接着工程Ｐ４ｂａにおける加熱炉Ｈの設定温度を１２０℃とした場合、フィルム１４ｂｔ，１６ｂｔは接着されなかった。

比較例３の外側第２ジャケット層１６ｂは、十分な強度で接着され、外側第２ジャケット層１６ｂを簡単に剥がすことはできなかった。なお、比較例３の外側第１ジャケット層接着工程Ｐ２ｂａ及び外側第２ジャケット層接着工程Ｐ４ｂａにおける加熱炉Ｈの設定温度を１２０℃とした場合、フィルム１４ｂｔ，１６ｂｔは接着されなかった。

次に、実施例１、比較例１～３のそれぞれの圧電同軸センサに長さ１０ｍｍに亘って側面から押し圧１０Ｎで外力を加えた。このとき中心導体１１と第１外部導体１３との間に生じた電圧を２０倍に増幅して測定した。その結果、実施例１、比較例１～３の圧電同軸センサで生じる電圧は、実施例１、比較例１が１８０ｍＶであり、比較例２が５０ｍＶであり、比較例３が１０ｍＶであった。

次に、外側第１ジャケット層接着工程Ｐ２ｂａ及び外側第２ジャケット層接着工程Ｐ４ｂａにおける加熱炉Ｈの設定温度を変えて、実施例１と同様の構成の圧電同軸センサを製造した。次に、製造されたそれぞれの圧電同軸センサに長さ１０ｍｍに亘って側面から押し圧１０Ｎで外力を加えて、中心導体１１と第１外部導体１３との間に生じた電圧を２０倍に増幅して測定した。その結果を図１１に示す。

図１１は、加熱炉Ｈの設定温度を１００℃、１１０℃、１２０℃、１３０℃、１４０℃に変化させたときに圧電同軸センサに生じる電圧の測定結果との関係を示す図である。図１１に示すように、加熱炉の設定温度が１２０℃以下であれば、十分に高い電圧となることが分かった。

以上より、本発明の圧電同軸センサの製造方法によれば、出力特性の悪化が抑制される圧電同軸センサを製造することができ、本発明の圧電同軸センサは１２０℃以下の加熱により製造することができるため、出力特性の悪化が抑制される圧電同軸センサとすることができる。

以上説明したように、本発明によれば、出力特性の悪化が抑制される圧電同軸センサ及び圧電同軸センサの製造方法が提供され、機器の測定等の分野で利用することが期待される。

Claims (8)

1. 線状の中心導体、前記中心導体の外周面を被覆するポリフッ化ビニリデンを含む高分子圧電体層、及び前記高分子圧電体層の外周面を囲う第１外部導体を有するセンサ部と、
   前記センサ部の外周面を囲うように巻かれるテープ状のフィルムを有する１つ以上のジャケット層を含み前記センサ部の外周面を被覆する第１ジャケット層と、
   前記第１ジャケット層の外周面を囲う第２外部導体と、
   １つ以上の前記ジャケット層を含み前記第２外部導体の外周面を被覆する第２ジャケット層と、
   を備え、
   前記第２ジャケット層の最も外側の前記ジャケット層は、外部に露出する前記ジャケット層であり、当該ジャケット層における前記フィルムは、１２０℃以下の融点の熱可塑性樹脂から成る接着層により当該接着層の接する部材に接着されている
   ことを特徴とする圧電同軸センサ。
2. 前記熱可塑性樹脂は、エチレン酢酸ビニル共重合体を含む
   ことを特徴とする請求項１に記載の圧電同軸センサ。
3. 前記第１ジャケット層は、前記センサ部の外周面を被覆し、前記フィルムが前記センサ部に非接着である内側第１ジャケット層と、前記内側第１ジャケット層の外周面を被覆し、前記接着層により前記フィルムが前記内側第１ジャケット層に接着される外側第１ジャケット層と、を有する
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電同軸センサ。
4. 前記第２ジャケット層は、前記第２外部導体の外周面を被覆し、前記フィルムが前記第２外部導体に非接着である内側第２ジャケット層と、前記第２ジャケット層の最も外側の前記ジャケット層であり、前記内側第２ジャケット層の外周面を被覆し、前記接着層により前記フィルムが前記内側第２ジャケット層に接着される外側第２ジャケット層と、を有する
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の圧電同軸センサ。
5. 線状の中心導体と、前記中心導体の外周面を被覆するポリフッ化ビニリデンを含む高分子圧電体層と、前記高分子圧電体層の外周面を囲う第１外部導体と、を有するセンサ部を準備する準備工程と、
   前記センサ部の外周面を囲うように巻かれるテープ状のフィルムを有する１つ以上のジャケット層を含み前記センサ部の外周面を被覆する第１ジャケット層を形成する第１ジャケット層形成工程と、
   前記第１ジャケット層の外周面を囲う第２外部導体を形成する第２外部導体形成工程と、
   １つ以上の前記ジャケット層を含み前記第２外部導体の外周面を被覆する第２ジャケット層を形成する第２ジャケット層形成工程と、
   を備え、
   前記第２ジャケット層の最も外側の前記ジャケット層は、外部に露出する前記ジャケット層であり、
   前記第２ジャケット層形成工程は、外部に露出する前記ジャケット層を形成する露出ジャケット形成工程を含み、
   前記露出ジャケット形成工程は、
   外部に露出する前記ジャケット層となる前記フィルムを前記センサ部の外周面を囲うように１２０℃以下の融点の熱可塑性樹脂から成る接着層を介して当該接着層が接する部材の外周面に巻く巻回工程と、
   外部に露出する前記ジャケット層となる前記フィルムが巻かれた前記センサ部を１２０℃以下で加熱して、前記接着層により当該フィルムを前記部材に接着する接着工程と、
   を含む
   ことを特徴とする圧電同軸センサの製造方法。
6. 前記熱可塑性樹脂は、エチレン酢酸ビニル共重合体を含む
   ことを特徴とする請求項５に記載の圧電同軸センサの製造方法。
7. 前記第１ジャケット層形成工程は、前記センサ部の外周面を被覆し、前記フィルムが前記センサ部に非接着である内側第１ジャケット層を形成する内側第１ジャケット層形成工程と、前記内側第１ジャケット層の外周面を被覆し、前記接着層により前記フィルムが前記内側第１ジャケット層に接着される外側第１ジャケット層を形成する外側第１ジャケット層形成工程と、を有し、
   前記外側第１ジャケット層形成工程は、
   前記外側第１ジャケット層となる前記フィルムを前記内側第１ジャケット層の外周面に前記接着層を介して巻く外側第１ジャケット層巻回工程と、
   前記外側第１ジャケット層巻回工程で前記外側第１ジャケット層となる前記フィルムが巻かれた前記内側第１ジャケット層及び前記センサ部を１２０℃以下で加熱して、前記接着層により前記外側第１ジャケット層となる前記フィルムを前記内側第１ジャケット層に接着する外側第１ジャケット層接着工程と、
   を含む
   ことを特徴とする請求項５または６に記載の圧電同軸センサの製造方法。
8. 前記第２ジャケット層形成工程は、前記第２外部導体の外周面を被覆し、前記フィルムが前記第２外部導体に非接着である内側第２ジャケット層を形成する内側第２ジャケット層形成工程と、前記第２ジャケット層の最も外側の前記ジャケット層であり、前記内側第２ジャケット層の外周面を被覆し、前記接着層により前記フィルムが前記内側第２ジャケット層に接着される外側第２ジャケット層を形成する外側第２ジャケット層形成工程と、を有し、
   前記外側第２ジャケット層形成工程は、前記露出ジャケット形成工程である
   ことを特徴とする請求項５から７のいずれか１項に記載の圧電同軸センサの製造方法。

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