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JP7017032B2 - 蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、および有機ｅｌディスプレイの製造方法 - Google Patents

蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、および有機ｅｌディスプレイの製造方法 Download PDF

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Description

本開示の実施形態は、蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、および有機ＥＬディスプレイに関する。
蒸着マスクを用いた蒸着パターンの形成は、通常、蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させ、蒸着源から放出された蒸着材を、開口部を通して、蒸着対象物に付着させることにより行われる。
上記蒸着パターンの形成に用いられる蒸着マスクとしては、例えば、蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、金属マスク開口部（スリットと称される場合もある）を有する金属マスクとを積層してなる蒸着マスク（例えば、特許文献１）等が知られている。
特許第５２８８０７２号公報
本開示の実施形態は、樹脂マスクと金属マスクとが積層されてなる蒸着マスクにおいて、さらなる高精細な蒸着パターンの形成が可能となる蒸着マスクを提供すること、また有機半導体素子を精度よく製造することができる有機半導体素子の形成方法を提供すること、さらには、有機ＥＬディスプレイの製造方法を提供することを主たる課題とする。
本開示の一実施形態にかかる蒸着マスクは、蒸着作製するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、金属マスク開口部を有する金属マスクとが、前記樹脂マスク開口部と前記金属マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる蒸着マスクであって、前記金属マスクを平面視した際の前記金属マスク開口部の形状は、多角形を基本形状としつつ、当該多角形の全周の長さを延長する延長部を加えた形状である。
本開示の一実施形態にかかる蒸着マスクにあっては、前記金属マスクが、前記樹脂マスクの前記樹脂マスク開口部とは重ならない位置に、前記金属マスクの剛性を部分的に低下させる、１つまたは複数の剛性調整部を有していてもよい。
また、本開示の一実施形態にかかる蒸着マスクにあっては、前記剛性調整部が、前記金属マスクを貫通する貫通孔または金属マスクに設けられた凹部であってもよい。
また、本開示の別の一実施形態にかかる有機半導体素子の製造方法は、蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程を含み、前記蒸着パターン形成工程で用いられる前記蒸着マスクが上記本開示の一実施形態にかかる蒸着マスクである。
また、本開示の別の一実施形態にかかる有機ＥＬディスプレイの製造方法は、上記本開示の一実施形態にかかる有機半導体素子の製造方法によって製造された有機半導体素子が
用いられる。
本開示の蒸着マスクによれば、高精細な蒸着パターンを形成することができる。また、本開示の有機半導体素子の製造方法によれば、有機半導体素子を精度よく製造することができる。また、本開示の有機ＥＬディスプレイの製造方法によれば、有機ＥＬディスプレイを精度よく製造することができる。
（ａ）は、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクの一例を示す概略断面図であり、（ｂ）は、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの金属マスク開口部の形状の一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの金属マスク開口部の形状の一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの金属マスク開口部の形状の一例を示す正面図である。 本開示の他の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの金属マスク開口部の形状の一例を示す正面図である。 本開示のさらに他の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの金属マスク開口部の形状の一例を示す正面図である。 本開示のさらに他の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの金属マスク開口部の形状の一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図である。 図１（ｂ）の符号Ｘで示される領域の一例を示す拡大正面図である。 図１１（ａ）のＡ－Ａ概略断面図の一例である。 図１１（ｂ）のＡ－Ａ概略断面図の一例である。 図１１（ｃ）のＡ－Ａ概略断面図の一例である。 図１（ｂ）の符号Ｘで示される領域の一例を示す拡大正面図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図である。 剛性調整部の一例を示す図である。 剛性調整部の一例を示す図である。 有機ＥＬディスプレイが用いられたデバイスの一例を示す図である。
以下、本発明の実施の形態を、図面等を参照しながら説明する。なお、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、以下に例示する実施の形態の記載内容に限定し
て解釈されるものではない。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。また、説明の便宜上、上方または下方等という語句を用いて説明するが、上下方向が逆転してもよい。左右方向についても同様である。
＜＜蒸着マスク＞＞
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本開示の実施形態にかかる蒸着マスク１００（以下、本開示の蒸着マスクと言う場合がある。）は、蒸着作製するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０と、金属マスク開口部１５を有する金属マスク１０とが、樹脂マスク開口部２５と金属マスク開口部１５とが重なるようにして積層されてなる構成を呈している。なお、図１（ａ）は、本開示の蒸着マスク１００の一例を示す概略断面図であり、図１（ｂ）は、本開示の蒸着マスク１００を金属マスク側から平面視した正面図であり、図１に示す形態では、後述する延長部３５の記載を省略している。
このような蒸着マスク１００を用いて蒸着対象物に対して蒸着パターンを形成する場合にあっては、当該蒸着マスク１００は繰り返し使用されるのが通常であり、使用と使用との間においては、超音波などを用いた洗浄が行われている。例えば、超音波洗浄を行った場合にあっては、蒸着マスク１００に対して細かな振動が繰り返し与えられることとなり、この細かな振動で蒸着マスク１００を構成する金属マスク１０が共振した場合、当該金属マスク１０の金属マスク開口部１５近傍に位置する樹脂マスク２０の一部が破損してしまうことがあった。本願発明者はこの点に着目し鋭意研究した結果、金属マスク１０の金属マスク開口部１５の縁１５’と樹脂マスク２０とが接する部分（符号Ａ）において、前記金属マスク１０の共振による樹脂マスク２０の破損が発生する可能性が高いことを見出した。
本開示の実施形態にかかる蒸着マスク１００は、上記知見に基づきなされたものであり、図２～図４に示すように、金属マスク１０を平面視した際における当該金属マスク１０の金属マスク開口部１５の形状が、多角形（図２～図４にあっては、矩形）を基本形状としつつ、当該多角形の全周の長さを延長する延長部３５を加えた形状となっている。このような本開示の実施形態にかかる蒸着マスク１００によれば、金属マスク１０が共振した場合に樹脂マスク２０が破損する可能性が高い部分であるところの開口部の全周、つまり縁の部分に、その全周の長さを延長する延長部３５が加えられているので、この延長により金属マスク１０の共振周波数をずらすことにより当該部分にかかる応力を分散することができ、よって、樹脂マスク２０が破損する確率を低減することが可能となる。なお、図２～図４は、本開示の実施形態にかかる蒸着マスク１００を金属マスク１０側から平面視したときの金属マスク開口部１５の形状の一例を示す平面図である。
以下、本開示の蒸着マスク１００の各構成について一例を挙げて説明する。
＜樹脂マスク＞
図１（ｂ）に示すように、樹脂マスク２０には、複数の樹脂マスク開口部２５が設けられている。図示する形態では、樹脂マスク開口部２５の開口形状は、矩形状を呈しているが、樹脂マスク開口部２５の開口形状について特に限定はなく、蒸着作製するパターンに対応する形状であれば、いかなる形状であってもよい。例えば、樹脂マスク開口部２５の開口形状は、ひし形、多角形状であってもよく、円や、楕円等の曲率を有する形状であってもよい。なお、矩形や、多角形状の開口形状は、円や楕円等の曲率を有する開口形状と比較して発光面積を大きくとれる点で、好ましい樹脂マスク開口部２５の開口形状である
といえる。
樹脂マスク２０の材料について限定はなく、例えば、レーザー加工等によって高精細な樹脂マスク開口部２５の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン－ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン－メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、その熱膨張係数が１６ｐｐｍ／℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が１．０％以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。この樹脂材料を用いた樹脂マスク２０とすることで、樹脂マスク開口部２５の寸法精度を向上させることができ、かつ熱や経時での寸法変化率や吸湿率を小さくすることができる。
樹脂マスク２０の厚みについて特に限定はないが、シャドウの発生の抑制効果をさらに向上せしめる場合には、樹脂マスク２０の厚みは、２５μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ未満であることがより好ましい。下限値の好ましい範囲について特に限定はないが、樹脂マスク２０の厚みが３μｍ未満である場合には、ピンホール等の欠陥が生じやすく、また変形等のリスクが高まる。特に、樹脂マスク２０の厚みを、３μｍ以上１０μｍ未満、より好ましくは４μｍ以上８μｍ以下とすることで、４００ｐｐｉを超える高精細パターンを形成する際のシャドウの影響をより効果的に防止することができる。また、樹脂マスク２０と後述する金属マスク１０とは、直接的に接合されていてもよく、粘着剤層を介して接合されていてもよいが、粘着剤層を介して樹脂マスク２０と金属マスク１０とが接合される場合には、樹脂マスク２０と粘着剤層との合計の厚みが上記好ましい厚みの範囲内であることが好ましい。なお、シャドウとは、蒸着源から放出された蒸着材の一部が、金属マスクの金属マスク開口部や、樹脂マスクの樹脂マスク開口部の内壁面に衝突して蒸着対象物へ到達しないことにより、目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる未蒸着部分が生ずる現象のことをいう。
樹脂マスク開口部２５の断面形状についても特に限定はなく、樹脂マスク開口部２５を形成する樹脂マスクの向かいあう端面同士が略平行であってもよいが、図１（ａ）に示すように、樹脂マスク開口部２５はその断面形状が、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。換言すれば、金属マスク１０側に向かって広がりをもつテーパー面を有していることが好ましい。テーパー角については、樹脂マスク２０の厚み等を考慮して適宜設定することができるが、樹脂マスクの樹脂マスク開口部における下底先端と、同じく樹脂マスクの樹脂マスク開口部における上底先端とを結んだ直線と、樹脂マスクの底面とのなす角、換言すれば、樹脂マスク２０の樹脂マスク開口部２５を構成する内壁面の厚み方向断面において、樹脂マスク開口部２５の内壁面と樹脂マスク２０の金属マスク１０と接しない側の面（図示する形態では、樹脂マスクの上面）とのなす角度は、５°以上８５°以下の範囲内であることが好ましく、１５°以上７５°以下の範囲内であることがより好ましく、２５°以上６５°以下の範囲内であることがさらに好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。また、図示する形態では、樹脂マスク開口部２５を形成する端面は直線形状を呈しているが、これに限定されることはなく、外に凸の湾曲形状となっている、つまり樹脂マスク開口部２５の全体の形状がお椀形状となっていてもよい。また、その逆、つまり内に凸の湾曲形状となっていてもよい。
＜金属マスク＞
図１（ａ）に示すように、樹脂マスク２０の一方の面上には、金属マスク１０が積層されている。金属マスク１０は、金属から構成され、図１（ｂ）に示すように、縦方向或いは横方向に延びる金属マスク開口部１５が配置されている。金属マスク開口部１５の配置例について特に限定はなく、縦方向、及び横方向に延びる金属マスク開口部１５が、縦方向、及び横方向に複数列配置されていてもよく、縦方向に延びる金属マスク開口部１５が、横方向に複数列配置されていてもよく、横方向に延びる金属マスク開口部が縦方向に複数列配置されていてもよい。また、縦方向、或いは横方向に１列のみ配置されていてもよい。また、複数の金属マスク開口部１５は、ランダムに配置されていてもよい。また、金属マスク開口部１５は１つであってもよい。なお、本願明細書で言う「縦方向」、「横方向」とは、図面の上下方向、左右方向を意味し、蒸着マスク、樹脂マスク、金属マスクの長手方向、幅方向のいずれの方向であってもよい。例えば、蒸着マスク、樹脂マスク、金属マスクの長手方向を「縦方向」としてもよく、幅方向を「縦方向」としてもよい。
（延長部）
図２～図４に示すように、金属マスク１０を平面視した際に、当該金属マスク１０の金属マスク開口部１５の形状は、多角形の一形態である矩形を基本形状としつつ当該矩形の全周の長さを延長する延長部３５を加えた形状となっている。このような延長部３５を設けることで、当該延長部３５がなかった場合における金属マスク１０の共振周波数をずらすことができ、その結果、樹脂マスク２０が破損する確率を低減することが可能となる。
以下に、図２～図４を用いて、種々の延長部３５について具体的に説明する。
図２（ａ）は、延長部３５がない場合の金属マスク開口部１５の形状を示している。このように、本開示の実施形態にかかる蒸着マスク１００における金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としている。
図２（ｂ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の連続する円弧状の延長部３５を有している。
図２（ｃ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の内側に向かって突出する複数の連続する円弧状の延長部３５を有している。
図２（ｄ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側および内側の双方に向かって突出する複数の連続する円弧状の延長部３５を有している。
図２（ｂ）～（ｄ）に示すように、複数の連続する円弧状の延長部３５により金属マスク１０の共振周波数をずらしてもよい。
一方で、図２（ｅ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その一つの辺についてのみ、開口部１５の外側に向かって突出する複数の連続する円弧状の延長部３５を有している。
また、図２（ｆ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その４つの頂点についてのみ、開口部１５の外側に向かって突出する円弧状の延長部３５を有している。
図２（ｅ）および（ｆ）に示すように、延長部３５は、必ずしも金属マスク開口部１５
の全周にわたって設けられている必要はなく、破損する可能性が高い部分が予め分かっている場合などにあっては、その部分にのみ、連続して、または断続して設けられていてもよい。なおこの場合であっても、必ずしも外側に向かって突出している必要はなく、内側に向かって突出していてもよく、さらには外側と内側の双方に向かって突出していてもよい。
図３（ａ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の連続する三角形状の延長部３５を有している。
図３（ｂ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の断続する三角形状の延長部３５を有している。
図３（ｃ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の断続する大きさの異なる三角形状の延長部３５を有している。
図３（ａ）～（ｃ）に示すように、延長部３５の形状は円弧状に限定されることはなく、三角形状であっても金属マスク１０の共振周波数をずらすことができる。
図３（ｄ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の断続する正方形状の延長部３５を有している。
図３（ｅ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の断続する台形状の延長部３５を有している。
図３（ｆ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の断続する五角形状の延長部３５を有している。
図３（ｇ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の断続する十字形状の延長部３５を有している。
図３（ｄ）～（ｇ）に示すように、延長部３５の形状は円弧状や三角形状に限定されることはなく、種々の多角形状であっても応力を分散することができる。
図３（ｈ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の断続する、円弧状と四角形状とを合わせた形状の延長部３５を有している。
このように、複数の形状を合わせた形状であっても金属マスク１０の共振周波数をずらすことができる。
図３（ｉ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の断続する、三角形状と四角形状の延長部３５を有している。
このように、複数の形状を同時に含む場合であっても金属マスク１０の共振周波数をずらすことができる。
図４（ａ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その上辺と下辺においてサインカーブの延長部３５を有している。
図４（ｂ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その上辺にのみ周期の異なるサインカーブを合わせた延長部３５を有している。
図４（ａ）や（ｂ）に示すように、所望の位置にのみにサインカーブなどの波形状を設けることでも応力を分散することができる。
図４（ｃ）に示す金属マスク開口部１５は、矩形を基本形状としつつ、その上辺にのみ三角形状を単位形状とする、いわゆるフラクタルな延長部３５を有している。
このようなフラクタルな延長部３５によって金属マスク１０の共振周波数をずらすことも可能である。
上記図２～図４に示した延長部３５の形状は、あくまでも一例にすぎずこれら以外の形状であっても応力を分散可能な形状であればよく、またこれらを適宜組み合わせて形成することも可能である。
また、本開示の実施形態にかかる蒸着マスク１００にあっては、金属マスク１０におけるすべての金属マスク開口部１５において、延長部３５を形成する必要はなく、応力が集中する位置が特定できる場合には、その部分に存在する金属マスク開口部１５にのみ、延長部３５を形成してもよい。具体的には、金属マスク１０の中央部に位置する金属マスク開口部１５のみに延長部３５を形成してもよく、その逆、つまり金属マスク１０の外縁近傍に位置する金属マスク開口部１５のみに延長部３５を形成してもよい。
このような金属マスク１０の材料について特に限定はなく、蒸着マスクの分野で従来公知のものを適宜選択して用いることができ、例えば、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金、アルミニウム合金などの金属材料を挙げることができる。中でも、鉄ニッケル合金であるインバー材は熱による変形が少ないので好適に用いることができる。
金属マスク１０の厚みについても特に限定はないが、シャドウの発生をより効果的に防止するためには、１００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以下であることがより好ましく、３５μｍ以下であることが特に好ましい。なお、５μｍより薄くした場合、破断や変形のリスクが高まるとともにハンドリングが困難となる傾向にある。
金属マスク１０に形成される金属マスク開口部１５の断面形状についても特に限定されることはないが、図１（ａ）に示すように蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。より具体的には、金属マスク１０の金属マスク開口部１５における下底先端と、同じく金属マスク１０の金属マスク開口部１５における上底先端とを結んだ直線と、金属マスク１０の底面とのなす角度、換言すれば、金属マスク１０の金属マスク開口部１５を構成する内壁面の厚み方向断面において、金属マスク開口部１５の内壁面と金属マスク１０の樹脂マスク２０と接する側の面（図示する形態では、金属マスクの上面）とのなす角度は、５°～８５°の範囲内であることが好ましく、１５°～８０°の範囲内であることがより好ましく、２５°～６５°の範囲内であることがさらに好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ま
しい。
樹脂マスク上に金属マスク１０を積層する方法について特に限定はなく、樹脂マスク２０と金属マスク１０とを各種粘着剤を用いて貼り合わせてもよく、自己粘着性を有する樹脂マスクを用いてもよい。樹脂マスク２０と金属マスク１０の大きさは同一であってもよく、異なる大きさであってもよい。なお、この後に任意で行われるフレームへの固定を考慮して、樹脂マスク２０の大きさを金属マスク１０よりも小さくし、金属マスク１０の外周部分が露出された状態としておくと、金属マスク１０とフレームとの固定が容易となり好ましい。
（蒸着マスクを用いた蒸着方法）
本開示の蒸着マスクを用いた蒸着パターンの形成に用いられる蒸着方法については、特に限定はなく、例えば、反応性スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着法等の物理的気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、光ＣＶＤ法等の化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等を挙げることができる。また、蒸着パターンの形成は、従来公知の真空蒸着装置などを用いて行うことができる。
（蒸着マスクの他の実施形態）
上記で説明した本開示の一実施形態にかかる蒸着マスク１００にあっては、これを構成する金属マスク１０の金属マスク開口部１５が矩形を基本形状としていたが、これに限定されることはなく、三角形、五角形、六角形、・・・など、矩形以外の多角形を基本形状とし、当該多角形の全周の長さを延長する延長部を加えた形状となっていれば、上記の作用効果を奏することができる。
図５は、本開示の他の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの金属マスク開口部の形状の一例を示す正面図である。
図５（ａ）は、延長部３５がない場合の金属マスク開口部１５の形状を示している。このように、本開示の実施形態にかかる蒸着マスク１００における金属マスク開口部１５は、三角形を基本形状としてもよい。
図５（ｂ）に示す金属マスク開口部１５は、三角形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の連続する円弧状の延長部３５を有している。
図５（ｃ）に示す金属マスク開口部１５は、三角形を基本形状としつつ、その３つの頂点についてのみ、開口部１５の外側に向かって突出する円弧状の延長部３５を有している。
図５（ｄ）に示す金属マスク開口部１５は、三角形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部の外側および内側の双方に向かって突出する複数の連続する円弧状の延長部３５を有している。
図５（ｅ）に示す金属マスク開口部１５は、三角形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の連続する三角形状の延長部３５を有している。
図５（ｆ）に示す金属マスク開口部１５は、三角形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部の外側に向かって突出する複数の断続する正方形状の延長部３５を有して
いる。
図５（ｇ）に示す金属マスク開口部１５は、前述の図５（ｃ）と図５（ｆ）とを合わせた形状を有している。具体的には、三角形を基本形状としつつ、その３つの頂点について、開口部１５の外側に向かって突出する円弧状の延長部３５を有し、３つの辺について、開口部の外側に向かって突出する複数の断続する正方形状の延長部３５を有している。
図６は、本開示のさらに他の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの金属マスク開口部の形状の一例を示す正面図である。
図６（ａ）は、延長部３５がない場合の金属マスク開口部１５の形状を示している。このように、本開示の実施形態にかかる蒸着マスク１００における金属マスク開口部１５は、五角形を基本形状としてもよい。
図６（ｂ）に示す金属マスク開口部１５は、五角形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の連続する円弧状の延長部３５を有している。
図６（ｃ）に示す金属マスク開口部１５は、五角形を基本形状としつつ、その５つの頂点についてのみ、開口部１５の外側に向かって突出する円弧状の延長部３５を有している。
図６（ｄ）に示す金属マスク開口部１５は、五角形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部の外側および内側の双方に向かって突出する複数の連続する円弧状の延長部３５を有している。
図６（ｅ）に示す金属マスク開口部１５は、五角形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の連続する三角形状の延長部３５を有している。
図６（ｆ）に示す金属マスク開口部１５は、五角形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部の外側に向かって突出する複数の断続する正方形状の延長部３５を有している。
図６（ｇ）に示す金属マスク開口部１５は、前述の図６（ｃ）と図６（ｆ）とを合わせた形状を有している。具体的には、五角形を基本形状としつつ、その５つの頂点について、開口部１５の外側に向かって突出する円弧状の延長部３５を有し、５つの辺について、開口部の外側に向かって突出する複数の断続する正方形状の延長部３５を有している。
図７は、本開示のさらに他の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの金属マスク開口部の形状の一例を示す正面図である。
図７（ａ）は、延長部３５がない場合の金属マスク開口部１５の形状を示している。このように、本開示の実施形態にかかる蒸着マスク１００における金属マスク開口部１５は、六角形を基本形状としてもよい。
図７（ｂ）に示す金属マスク開口部１５は、六角形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の連続する円弧状の延長部３５を有している。
図７（ｃ）に示す金属マスク開口部１５は、六角形を基本形状としつつ、その５つの頂点についてのみ、開口部１５の外側に向かって突出する円弧状の延長部３５を有している。
図７（ｄ）に示す金属マスク開口部１５は、六角形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部の外側および内側の双方に向かって突出する複数の連続する円弧状の延長部３５を有している。
図７（ｅ）に示す金属マスク開口部１５は、六角形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部１５の外側に向かって突出する複数の連続する三角形状の延長部３５を有している。
図７（ｆ）に示す金属マスク開口部１５は、六角形を基本形状としつつ、その全周にわたって、開口部の外側に向かって突出する複数の断続する正方形状の延長部３５を有している。
図７（ｇ）に示す金属マスク開口部１５は、前述の図７（ｃ）と図７（ｆ）とを合わせた形状を有している。具体的には、六角形を基本形状としつつ、その６つの頂点について、開口部１５の外側に向かって突出する円弧状の延長部３５を有し、６つの辺について、開口部の外側に向かって突出する複数の断続する正方形状の延長部３５を有している。
以上、本開示の実施形態にかかる蒸着マスク１００における金属マスク開口部１５の基本形状が、矩形、三角形、五角形、および六角形の場合を例に挙げて説明したが、これらに限定されることはなく、多角形であればよく、また必ずしも正多角形である必要もない。
＜＜金属マスクに剛性調整部を有する蒸着マスク＞＞
上記で説明した本開示の実施形態にかかる蒸着マスクにあっては、これを構成する金属マスクが、樹脂マスクの樹脂マスク開口部とは重ならない位置に、金属マスクの剛性を部分的に低下させる、１つまたは複数の剛性調整部を有していてもよい。
金属マスクの所定の部分に、当該部分の剛性を低下させる剛性調整部を設けることにより、樹脂マスクの変形に対する金属マスクの追従性を向上せしめ、その結果、樹脂マスクが破損する確率を低減することができる。
このような、本開示の実施形態にかかる金属マスクに剛性調整部を有する蒸着マスクにおける剛性調整部について、以下に図面を用いて説明する。なお、以下の図面においては、上記で説明した、金属マスク開口部に設けられる延長部は省略する。
（剛性調整部）
図８～図１９に示すように、本開示の実施形態にかかる蒸着マスク１００における金属マスク１０は、樹脂マスク２０の樹脂マスク開口部２５と重ならない位置に、金属マスク１０の剛性を部分的に低下させる１つまたは複数の剛性調整部３６を有している。具体的には、図８～図１０、図１６～図１９で示される配置領域３０に、金属マスク１０の剛性を部分的に低下させるための１つまたは複数の剛性調整部３６が位置している。
なお、本願明細書で言う金属マスクの剛性とは、蒸着マスクに一定の荷重を加えた時に、当該荷重が加えられた領域における金属マスクの変形しやすさ（変位、或いは変位量と言う場合もある）の度合いを意味し、剛性が低くなるにつれ、換言すれば、変位量が大きくなるにつれ、金属マスクの剛性は低下していくこととなる。金属マスクの剛性は、下式
（１）により算出することができる。具体的には、蒸着マスク１００の所定の領域に垂直荷重（Ｆ）を加え、垂直荷重（Ｆ）が加えられた領域における金属マスクの変位量（δ）を測定することで、金属マスクの剛性（ｋ）を算出することができる。金属マスクの変位量（δ）の測定は、例えば、レーザー変位計等を用いて測定することができる。また、垂直荷重を加える方法としては、例えば、所定の質量を持つ錘を所定領域に載置する方法や、荷重を加える機器等を用いることができる。
ｋ＝Ｆ／δ・・・（１）
本開示の蒸着マスク１００では、配置領域３０に剛性調整部３６を位置させることで、当該配置領域３０における金属マスク１０の剛性を、剛性調整部３６が配置されていない領域の剛性よりも低下させることができる。つまり、剛性調整部３６を有する金属マスク１０とすることで、当該金属マスクに柔軟性を付与することができる。本開示の蒸着マスク１００によれば、金属マスク１０に付与された柔軟性によって、金属マスク１０の樹脂マスク２０への追従性を向上せしめることができ、その結果、樹脂マスク２０が破損する確率を低減することができる。
剛性調整部３６によって、金属マスク１０の剛性を部分的に低下させる方法について特に限定はなく、以下に例示するような種々の方法によって実現可能である。また、これ以外の方法により、金属マスクの剛性を部分的に低くすることもできる。
（ｉ）例えば、樹脂マスク開口部２５と厚み方向で重ならない金属マスクの所定の領域に、つまりは、剛性の低下を所望する領域に、金属マスク１０を貫通する１つまたは複数の剛性調整部３６としての貫通孔４０を設けることで、当該貫通孔４０を含む周辺領域の金属マスク１０の剛性を低下させることができる（図１１（ｂ）、（ｃ）、図１５（ｂ）参照）。
ここで言う貫通孔４０とは、金属マスク１０のみを貫通する孔を意味する。貫通孔４０の形成方法について特に限定はなく、エッチングや、切削加工等を適宜選択して行うことができる。
（ｉｉ）また、樹脂マスク開口部２５と厚み方向で重ならない金属マスクの所定の領域に、つまりは、剛性の低下を所望する領域に、金属マスク１０を貫通しない１つまたは複数の剛性調整部３６としての凹部４５を設けることで、当該凹部４５を含む周辺領域の金属マスク１０の剛性を低下させることもできる（図１１、図１５参照）。
凹部４５の形成方法について特に限定はなく、エッチングや、切削加工等を適宜選択して行うことができる。凹部４５の深さについて特に限定はなく、金属マスク１０の厚みや、剛性の低下の度合いを考慮して適宜設定することができる。一例としては、１μｍ以上１００μｍ以下の範囲内である。
以下、特に断りがある場合を除き、剛性調整部３６と言う場合には、剛性調整部３６としての貫通孔４０、凹部４５を含むものとする。
剛性調整部３６としての貫通孔４０や凹部４５の形状について特に限定はなく、例えば、蒸着マスク１００を金属マスク１０側から平面視したときの形状として、三角形状、矩形状、ひし形、台形、五角形、六角形等の多角形状、円形状、楕円形状、あるいは、多角形状の角が曲率を有する形状等を挙げることができる。また、これらを組合せた形状とすることもできる。
図２０、図２１は、「剛性調整部」の集合体を金属マスク１０側から平面視したときの一
例を示す図である。なお、図２０、図２１において、閉じられた領域を剛性調整部３６としてもよく、閉じられた領域を非貫通孔や、非凹部とすることもできる。また、図２１に示すように、複数の剛性調整部３６がある場合、そのそれぞれの大きさは必ずしも同一である必要ななく、異なる大きさの剛性調整部３６が混在してもよい。また、図２１に示すように、全体としていわゆるグラデーションとなっていてもよい。
剛性調整部３６としての貫通孔４０や、凹部４５の大きさについても特に限定はなく、剛性調整部３６を位置させる箇所に応じて適宜設定すればよい。例えば、金属マスク側から平面視したときの剛性調整部３６の開口領域の面積は、金属マスク開口部１５の開口領域の面積よりも大きくしてもよく、小さくしてもよく、同じにしてもよい。なお、金属マスク１０の剛性を調整するときの容易性を考慮すると、１つの剛性調整部３６の開口領域の面積を、金属マスク開口部１５の開口領域の面積よりも小さくすることが好ましい。一例としては、１つの剛性調整部３６の開口領域の面積、換言すれば、１つの貫通孔４０や、１つの凹部４５の開口領域の面積は１μｍ２以上１×１０１２μｍ２以下の範囲内である。
剛性調整部３６としての貫通孔４０や、凹部４５の開口幅についても特に限定はなく、例えば、金属マスク側から平面視したときの蒸着マスク長手方向、及び幅方向における剛性調整部３６のそれぞれの開口幅は、金属マスク開口部１５の蒸着マスク長手方向、及び幅方向のそれぞれの開口幅より大きくしてもよく、小さくしてもよく、同じ幅にしてもよい。なお、剛性調整部３６の開口幅は、貫通孔４０を位置させる箇所に応じて適宜設定すればよく、例えば、金属マスク１０が複数の金属マスク開口部１５を有しており、蒸着マスクの長手方向に隣接する金属マスク開口部１５間に剛性調整部３６を位置させる場合には、剛性調整部３６を金属マスク１０側から平面視したときの長手方向の開口幅は、隣接する金属マスク開口部１５の長手方向の間隔よりも小さくすればよい。蒸着マスクの幅方向に隣接する金属マスク開口部１５間に剛性調整部３６を位置させる場合についても同様である。
また、本開示の蒸着マスク１００を金属マスク１０側から平面視したときの剛性調整部３６としての貫通孔４０や、凹部４５の開口領域の面積の合計は、剛性調整部３６を有していないと仮定した金属マスク、つまりは金属マスク開口部１５のみを有する金属マスクを金属マスク側から平面視したときの金属マスク有効領域の面積を１００％としたときの３％以上であることが好ましく、１０％以上であることがより好ましく、３０％以上であることが特に好ましい。なお、ここで言う金属マスク有効領域の面積とは、蒸着マスクを金属マスク１０側から平面視したときに、金属部分が存在している部分の表面積を意味する。剛性調整部３６としての貫通孔４０や、凹部４５の開口領域の面積の割合を、上記好ましい範囲とすることで、金属マスク１０全体としての剛性を十分に保ちつつも、金属マスク１０に柔軟性を付与することができ、蒸着マスク１００の樹脂マスク２０と蒸着対象物との密着性の更なる向上を図ることができる。剛性調整部３６の開口領域の面積の合計の上限値について特に限定はないが、金属マスクの剛性を考慮すると、９５％以下であることが好ましく、９０％以下であることがより好ましく、７０％以下であることが特に好ましい。
上記で説明した剛性調整部３６、つまり剛性調整部としての貫通孔４０や凹部４５の配置する位置や、ピッチについても特に限定はなく、規則性を持って配置されていてもよく、ランダムに配置されていてもよい。また、隣接する剛性調整部３６間のピッチの一例としては、１μｍ以上２×１０６μｍ以下の範囲を挙げることができる。
また、金属マスク１０に、剛性調整部３６を複数設ける場合において、それぞれの剛性調整部３６の開口領域の面積は同じであってもよく、異なっていてもよい。ピッチについ
ても同様である。また、剛性調整部３６としての貫通孔４０と、凹部４５を組合せて用いることもできる。
（剛性調整部の配置領域）
剛性調整部３６が配置される配置領域について特に限定はなく、金属マスク１０の剛性の低下を所望する箇所、つまりは、樹脂マスク２０が破壊される可能性が高い位置、例えば、金属マスク開口部１５の周辺に適宜配置すればよい。好ましい形態の金属マスク１０は、図８～図１０、図１６～図１９に示すように、金属マスク開口部１５の周辺に配置領域３０が位置し、この配置領域３０に、１つまたは複数の剛性調整部３６が配置されている。好ましい形態の金属マスク１０を備える本開示の蒸着マスク１００によれば、樹脂マスクが破損する確率を低減することが可能となる。
図８、図９に示す形態の蒸着マスク１００は、金属マスク１０が複数の金属マスク開口部１５を有しており、金属マスク開口部１５を囲むように配置領域３０が位置している。なお、図２に示す形態では、金属マスク開口部１５を囲み、且つ金属マスク開口部１５の外縁と配置領域３０の外縁とが重なるようにして配置領域３０が位置している。また、図９に示す形態では、複数の金属マスク開口部１５の少なくとも１つの金属マスク開口部１５を囲み、且つ金属マスク開口部１５の外縁と配置領域３０の外縁とが重なるようにして配置領域３０が位置している。また、図１０に示す形態では、金属マスク開口部１５を囲み、且つ金属マスク開口部１５の外縁と配置領域３０の外縁とが重ならないようにして、換言すれば、金属マスク開口部１５の外縁から所定の間隔をあけて配置領域３０が位置している。
図１１、図１５は、配置領域３０に配置される剛性調整部３６の配置の例を示す拡大正面図（図１（ｂ）の符号Ｘで示される領域の一例を示す拡大正面図）であり、図１２は、図１１（ａ）のＡ－Ａ概略断面図の一例であり、図１３（ａ）、（ｂ）は、図１１（ｂ）のＡ－Ａ概略断面図の一例であり、図１４（ａ）、（ｂ）は、図１１（ｃ）のＡ－Ａ概略断面図の一例である。図１１（ａ）に示す形態では、金属マスク開口部１５の外縁と、剛性調整部３６の外縁とが重なるようにして、１つの金属マスク開口部１５を、連続する１つの剛性調整部３６としての凹部４５によって囲んでいる。また、図１１（ｂ）に示す形態では、金属マスク開口部１５の外縁と剛性調整部３６の外縁とが重ならないようにして、１つの金属マスク開口部１５を、複数の剛性調整部３６の集合体によって囲んでいる。図１１（ｂ）に示す形態の剛性調整部３６は、貫通孔４０、凹部４５の何れであってもよい。また、図１１（ｃ）に示す形態では、金属マスク開口部１５の外縁と剛性調整部３６の外縁とが重ならないようにして、１つの金属マスク開口部１５を、連続する１つの剛性調整部３６で囲んでいる。図１１（ｃ）で示される剛性調整部３６は、連続する１つの貫通孔４０であってもよく、連続する１つの凹部４５であってもよい。また、これらの形態を組合せた構成としてもよい。
また、各図に示される剛性調整部３６を分割し、複数の剛性調整部３６とすることもできる。図１５（ａ）は、図１１（ａ）に示される１つの剛性調整部３６を分割させ、複数の剛性調整部３６とした形態であり、図１５（ｂ）は、図１１（ｃ）に示される１つの剛性調整部３６を分割させ、複数の剛性調整部３６とした形態である。また、また、各図に示す形態を適宜組合せることもできる。
図１６（ａ）、（ｂ）、図１７（ａ）、（ｂ）に示す形態の蒸着マスク１００は、金属マスク１０が複数の金属マスク開口部１５を有しており、複数の金属マスク開口部１５を纏めて囲むように配置領域３０が位置している。なお、図１６に示す形態では、金属マスク開口部１５の外縁と配置領域３０の外縁とが重なっており、図１７に示す形態では、金属マスク開口部１５の外縁から所定の間隔をあけて、配置領域３０の外縁が位置している
。図１６、図１７に示す形態では、配置領域３０に複数の剛性調整部３６が配置されているが、図１６に示す形態において、配置領域３０全体を凹部４５としてもよい。また、図１７に示す形態において、配置領域３０全体を貫通孔４０、又は凹部４５としてもよい。
図１８に示す形態の蒸着マスク１００は、金属マスク１０が複数の金属マスク開口部１５を有しており、隣接する金属マスク開口部１５間の少なくとも一部に配置領域３０が位置している。図１８に示す形態では、配置領域３０に複数の剛性調整部３６が配置されているが、図１８に示す形態において、配置領域３０全体を貫通孔４０、又は凹部４５としてもよい。
図１９（ａ）、（ｂ）に示す形態の蒸着マスク１００は、金属マスク１０が１つの金属マスク開口部１５のみを有しており、当該１つの金属マスク開口部１５を囲むように配置領域３０が位置している。なお、図１９（ａ）に示す形態では、金属マスク開口部１５の外縁と配置領域３０の外縁とが重なっており、図１９（ｂ）に示す形態では、金属マスク開口部１５の外縁から所定の間隔をあけて、配置領域３０の外縁が位置している。なお、通常、フレームと蒸着マスクの固定は、蒸着マスクの外周において行われることから、この点を考慮すると、金属マスク１０の外縁は、配置領域３０の外縁と重ならないことが好ましい。つまりは、金属マスクの外縁と重なる部分に凹部４５が位置していないことが好ましい。図１９に示す形態では、配置領域３０に複数の剛性調整部３６が配置されているが、図１９（ａ）に示す形態において、配置領域３０全体を凹部４５としてもよく、図１９（ｂ）に示す形態において、配置領域３０全体を貫通孔４０、又は凹部４５としてもよい。つまりは、配置領域の全部を剛性調整部３６とする、つまりは、１つの連続する貫通孔４０や、凹部４５によって、１つの金属マスク開口部１５を囲んでもよい（図１１（ａ）、（ｃ）参照）。また、図示する形態にかえて、配置領域３０の一部、例えば、金属マスクの角近傍にのみ剛性調整部３６を配置してもよい（図示しない）。
＜＜蒸着マスク準備体＞＞
次に、蒸着マスク準備体について説明する。蒸着マスク準備体とは、上記で説明した蒸着マスク１００を製造するために準備される、いわば半製品である。具体的には、蒸着作製するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０と、金属マスク開口部１５を有する金属マスク１０とが、前記樹脂マスク開口部２５と前記金属マスク開口部１５とが重なるようにして積層されてなる蒸着マスク１００を製造するための蒸着マスク準備体であって、前記金属マスク１０と、当該金属マスクの一方の面に設けられた樹脂板と、から構成されており、かつ、前記金属マスク１０を平面視した際の前記金属マスク開口部１５の形状は、多角形を基本形状としつつ、当該多角形の全周の長さを延長する延長部３５を加えた形状となっている。このような蒸着マスク準備体を用いることにより、たとえば当該蒸着マスク準備体の金属マスク側から、金属マスク開口部を通してレーザーにより樹脂板に所望の形状の樹脂マスク開口部を形成することにより、簡便かつ精度よく、高密度高精細の蒸着マスクを製造することが可能となる。
なお、上記の蒸着マスク準備体にあっても、これを構成する金属マスク１０に上記で説明した剛性調整部３６が設けられていてもよい。
＜＜蒸着マスクの製造方法＞＞
上記で説明した本開示の実施形態にかかる蒸着マスク１００の製造方法については特に限定されず、種々の方法を適宜採用することができる。たとえば、金属マスク１０および樹脂マスク２０をそれぞれ別に製造し、その後に両マスクを接着剤などを用いて貼り合わせることで蒸着マスク１００としてもよい。一方で金属板と樹脂板とが積層された積層体を準備し、当該積層体を構成する金属板に金属マスク開口部１５を形成して金属マスク１０とすることで上記蒸着マスク準備体を製造し、次いで、蒸着マスク準備体を構成する樹
脂板に樹脂マスク開口部２５を形成して樹脂マスク２０とすることで、蒸着マスク１００としてもよい。
なお、金属マスク１０を製造する方法、換言すれば、金属マスク開口部１５、延長部３５、および剛性調整部３６を形成する方法については特に限定されることはなく、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の各種ＰＶＤ法、ＣＶＤ法、メッキ法などにより、金属を所望の領域に堆積させることにより金属マスク１０を製造してもよい。一方で、金属板に対してエッチング処理や掘削加工処理、さらにはレーザー加工処理などを施すことにより、所望の開口領域や凹部を有する金属マスク１０を製造してもよい。
また、樹脂マスク２０を製造する方法、換言すれば、樹脂マスク開口部２５を形成する方法についても特に限定されることはなく、樹脂板に対してエッチング処理や掘削加工処理、さらにはレーザー加工処理などを施すことにより、所望の開口領域を有する樹脂マスク２０を製造してもよい。
＜＜有機半導体素子の製造方法＞＞
次に、本開示の実施の形態にかかる有機半導体素子の製造方法（以下、本開示の有機半導体素子の製造方法と言う）について説明する。本開示の有機半導体素子の製造方法は、蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、蒸着パターンを形成する工程において、上記で説明した本開示の蒸着マスクが用いられることを特徴としている。
蒸着マスクを用いた蒸着法により蒸着パターンを形成する工程について特に限定はなく、基板上に電極を形成する電極形成工程、有機層形成工程、対向電極形成工程、封止層形成工程等を有し、各任意の工程において、上記で説明した本開示の蒸着パターン形成方法を用いて、蒸着パターンが形成される。例えば、有機ＥＬデバイスのＲ（レッド），Ｇ（グリーン），Ｂ（ブルー）各色の発光層形成工程に、上記で説明した本開示の蒸着パターン形成方法をそれぞれ適用する場合には、基板上に各色発光層の蒸着パターンが形成される。なお、本開示の有機半導体素子の製造方法は、これらの工程に限定されるものではなく、従来公知の有機半導体素子の製造における任意の工程に適用可能である。
以上説明した本開示の有機半導体素子の製造方法によれば、蒸着マスクと蒸着対象物とを隙間なく密着させた状態で、有機半導体素子を形成する蒸着を行うことができ、高精細な有機半導体素子を製造することができる。本開示の有機半導体素子の製造方法で製造される有機半導体素子としては、例えば、有機ＥＬ素子の有機層、発光層や、カソード電極等を挙げることができる。特に、本開示の有機半導体素子の製造方法は、高精細なパターン精度が要求される有機ＥＬ素子のＲ（レッド），Ｇ（グリーン），Ｂ（ブルー）発光層の製造に好適に用いることができる。
＜＜有機ＥＬディスプレイの製造方法＞＞
次に、本開示の実施の形態にかかる有機ＥＬディスプレイ（有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ）の製造方法（以下、本開示の有機ＥＬディスプレイの製造方法と言う）について説明する。本開示の有機ＥＬディスプレイの製造方法は、有機ＥＬディスプレイの製造工程において、上記で説明した本開示の有機半導体素子の製造方法により製造された有機半導体素子が用いられる。
上記本開示の有機半導体素子の製造方法により製造された有機半導体素子が用いられた有機ＥＬディスプレイとしては、例えば、ノートパソコン（図２２（ａ）参照）、タブレット端末（図２２（ｂ）参照）、携帯電話（図２２（ｃ）参照）、スマートフォン（図２
２（ｄ）参照）、ビデオカメラ（図２２（ｅ）参照）、デジタルカメラ（図２２（ｆ）参照）、スマートウォッチ（図２２（ｇ）参照）等に用いられる有機ＥＬディスプレイを挙げることができる。
１０…金属マスク
１５…金属マスク開口部
２０…樹脂マスク
２５…樹脂マスク開口部
３５…延長部
３６…剛性調整部
４０…貫通孔
４５…凹部
１００…蒸着マスク

Claims (5)

  1. 蒸着作製するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、金属マスク開口部を有する金属マスクとが、前記樹脂マスク開口部と前記金属マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる蒸着マスクであって、
    前記金属マスクを平面視した際の前記金属マスク開口部の形状は、多角形を基本形状としつつ、当該多角形の全周の長さを延長する延長部を加えた形状であって、前記基本形状とは異なる形状である、蒸着マスク。
  2. 前記金属マスクが、前記樹脂マスクの前記樹脂マスク開口部とは重ならない位置に、前記金属マスクの剛性を部分的に低下させる、１つまたは複数の剛性調整部を有している、請求項１に記載の蒸着マスク。
  3. 前記剛性調整部が、前記金属マスクを貫通する貫通孔または金属マスクに設けられた凹部である、請求項２に記載の蒸着マスク。
  4. 有機半導体素子の製造方法であって、
    蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程を含み、
    前記蒸着パターン形成工程で用いられる前記蒸着マスクが、前記請求項１～３の何れか一項に記載の蒸着マスクである、有機半導体素子の製造方法。
  5. 有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、
    請求項４に記載の有機半導体素子の製造方法によって製造された有機半導体素子が用いられる、有機ＥＬディスプレイの製造方法。
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