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JP6987011B2 - Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board - Google Patents

Curable resin composition, dry film, cured product and printed wiring board Download PDF

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JP6987011B2 JP2018070401A JP2018070401A JP6987011B2 JP 6987011 B2 JP6987011 B2 JP 6987011B2 JP 2018070401 A JP2018070401 A JP 2018070401A JP 2018070401 A JP2018070401 A JP 2018070401A JP 6987011 B2 JP6987011 B2 JP 6987011B2
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Description

本発明は硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板に関する。 The present invention relates to curable resin compositions, dry films, cured products and printed wiring boards.

従来、プリント配線板のソルダーレジスト、層間絶縁層、カバーレイ等の永久被膜を形成する材料として、特許文献1には、カルボキシル基含有ポリウレタンと、全塩素量が0.7質量%未満の多官能脂肪族グリシジルエーテル化合物とを含有する熱硬化性樹脂組成物が開示されている。 Conventionally, as a material for forming a permanent film such as a solder resist, an interlayer insulating layer, and a coverlay of a printed wiring board, Patent Document 1 describes a carboxyl group-containing polyurethane and a polyfunctional material having a total chlorine content of less than 0.7% by mass. A thermosetting resin composition containing an aliphatic glycidyl ether compound is disclosed.

近年、半導体部品の急速な進歩により、電子機器は軽薄短小化、高性能化、多機能化される傾向にある。この傾向に追従して半導体パッケージの小型化、多ピン化が実用化されている。
具体的には、QFP(クワッド・フラットパック・パッケージ)、SOP(スモール・アウトライン・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージに代わって、BGA(ボール・グリッド・アレイ)、CSP(チップ・スケール・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージが使用されている。また、近年では、さらに高密度化されたICパッケージとして、FC−BGA(フリップチップ・ボール・グリッド・アレイ)も実用化されている。
このようなICパッケージに用いられるプリント配線板(パッケージ基板ともいう。)においては、SRO(Solder Resist Opening)ピッチが狭く、互いに近接して形成されるため、SRO間でショートやクロストークノイズが生じたりするおそれが高くなる。また、SRO間に形成されるソルダーレジストは、細く薄くなるためクラックが生じやすくなる。そのため、パッケージ基板に用いられるソルダーレジスト等の永久被膜には、長期にわたる高度な信頼性、具体的には高絶縁信頼性が求められる。特に、今後のパッケージ基板の高密度化に伴い、信頼性の要求は一層高まると考えられる。
In recent years, due to the rapid progress of semiconductor parts, electronic devices tend to be lighter, thinner, shorter, smaller, have higher performance, and have more functions. Following this tendency, miniaturization and multi-pinning of semiconductor packages have been put into practical use.
Specifically, instead of IC packages called QFP (quad flat pack package), SOP (small outline package), etc., BGA (ball grid array), CSP (chip scale package), etc. An IC package called is used. In recent years, FC-BGA (flip chip ball grid array) has also been put into practical use as an IC package with a higher density.
In a printed wiring board (also referred to as a package substrate) used for such an IC package, the SRO (Solder Rest Opening) pitch is narrow and formed close to each other, so that short circuits and crosstalk noise occur between the SROs. There is a high risk of crosstalk. Further, the solder resist formed between the SROs is thin and thin, so that cracks are likely to occur. Therefore, a permanent coating such as a solder resist used for a package substrate is required to have high reliability over a long period of time, specifically, high insulation reliability. In particular, as the density of package substrates increases in the future, the demand for reliability is expected to increase further.

特許第5167113号明細書Japanese Patent No. 5167113 特開2010−54912号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-54912

しかしながら、この信頼性について、上述した特許文献1に記載の熱硬化性樹脂組成物は、近年では十分とはいえないようになってきている。
また、近年ではICのpin数の増加に伴い配線の引きまわし距離が急増しているため誘電特性を向上させるため可能な限り配線の粗化をしない傾向にある。そのような低粗化または未粗化の配線に対しては従来以上の密着性が求められている。
この密着性についても、上述した特許文献1に記載の熱硬化性樹脂組成物は、近年では十分とはいえないようになってきている。
However, regarding this reliability, the thermosetting resin composition described in Patent Document 1 described above has become insufficient in recent years.
Further, in recent years, as the number of pins of ICs has increased, the wiring distance has increased rapidly, so that the wiring tends not to be roughened as much as possible in order to improve the dielectric characteristics. For such low-roughened or unroughened wiring, higher adhesion than before is required.
Regarding this adhesion, the thermosetting resin composition described in Patent Document 1 described above has become insufficient in recent years.

また、着色感光性樹脂組成物に関し、耐熱性及び耐溶剤特性に優れる所定の化学式で表される化合物を含むものがある(特許文献2)。しかし特許文献2に記載の感光性樹脂組成物は、カラーフィルタ用の感光性樹脂組成物であり、プリント配線板に用いられたときに過酷な高温加湿条件で密着性を十分に維持できる特性は得られていなかった。 Further, some colored photosensitive resin compositions contain a compound represented by a predetermined chemical formula, which is excellent in heat resistance and solvent resistance (Patent Document 2). However, the photosensitive resin composition described in Patent Document 2 is a photosensitive resin composition for a color filter, and has a characteristic of being able to sufficiently maintain adhesion under severe high temperature and humidification conditions when used for a printed wiring board. Not obtained.

そこで本発明の目的は、プリント配線板等に用いられて好適な、信頼性及び密着性に優れた硬化性樹脂組成物、該組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルム、該組成物または該ドライフィルムの樹脂層の硬化物、および、該硬化物を有するプリント配線板を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is a curable resin composition having excellent reliability and adhesion, which is suitable for use in a printed wiring board or the like, a dry film having a resin layer obtained from the composition, the composition or the present invention. It is an object of the present invention to provide a cured product of a resin layer of a dry film and a printed wiring board having the cured product.

本発明者等は密着性及び信頼性に優れる硬化性樹脂組成物について鋭意研究開発を重ねた結果、特定のエポキシ樹脂と、特定の無機フィラーとを組み合わせて用いることにより、密着性及び信頼性の高い硬化物が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive research and development on a curable resin composition having excellent adhesion and reliability, the present inventors have obtained adhesiveness and reliability by using a specific epoxy resin and a specific inorganic filler in combination. We have found that a highly cured product can be obtained, and have completed the present invention.

本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有樹脂と、(B−1)光重合開始剤と、(C)次の構造式を有するエポキシ樹脂と、

Figure 0006987011
(D−1)光反応性の表面処理をされた無機フィラーと、を含有することを特徴とするものである。 The curable resin composition of the present invention comprises (A) a carboxyl group-containing resin, (B-1) a photopolymerization initiator, and (C) an epoxy resin having the following structural formula.
Figure 0006987011
(D-1) It is characterized by containing an inorganic filler which has been subjected to a photoreactive surface treatment.

また、本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有樹脂と、(B−2)光塩基発生剤と、(C)次の構造式を有するエポキシ樹脂と、

Figure 0006987011
(D−2)熱反応性の表面処理をされた無機フィラーと、を含有することを特徴とするものである。 Further, the curable resin composition of the present invention comprises (A) a carboxyl group-containing resin, (B-2) a photobase generator, and (C) an epoxy resin having the following structural formula.
Figure 0006987011
(D-2) It is characterized by containing an inorganic filler which has been subjected to a heat-reactive surface treatment.

本発明の硬化性樹脂組成物は、上記(D−1)又は(D−2)における表面処理をされた無機フィラーの平均粒径が1.0μm以下であり、かつ、最大粒径が4.0μm以下であることが好ましく、上記(D)無機フィラーの配合割合が、25〜80質量%であることが好ましい。 In the curable resin composition of the present invention, the average particle size of the surface-treated inorganic filler in (D-1) or (D-2) is 1.0 μm or less, and the maximum particle size is 4. It is preferably 0 μm or less, and the blending ratio of the above-mentioned (D) inorganic filler is preferably 25 to 80% by mass.

本発明のドライフィルムは、上記硬化性樹脂組成物を、フィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするものである。
また、本発明の硬化物は、上記硬化性樹脂組成物または前記ドライフィルムの樹脂層を、硬化して得られることを特徴とするものである。
さらに、本発明のプリント配線板は、上記硬化物を有することを特徴とするものである。
The dry film of the present invention is characterized by having a resin layer obtained by applying the curable resin composition to the film and drying the film.
Further, the cured product of the present invention is characterized in that it is obtained by curing the resin layer of the curable resin composition or the dry film.
Further, the printed wiring board of the present invention is characterized by having the above-mentioned cured product.

本発明によれば、密着性及び信頼性に優れた硬化物を得ることができる。 According to the present invention, a cured product having excellent adhesion and reliability can be obtained.

本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有樹脂と、(C)次の構造式を有するエポキシ樹脂と、

Figure 0006987011
を含むとともに、(B−1)光重合開始剤及び(B−2)光塩基発生剤のうちの少なくとも一方を含み、かつ、無機フィラーとして、当該(B−1)光重合開始剤を含むときは光反応性の表面処理をされた無機フィラーを、当該(B−2)光塩基発生材を含むときは、熱光反応性の表面処理をされた無機フィラーを、それぞれ含有するものである。 The curable resin composition of the present invention comprises (A) a carboxyl group-containing resin, (C) an epoxy resin having the following structural formula, and the like.
Figure 0006987011
When containing at least one of (B-1) photopolymerization initiator and (B-2) photobase generator, and containing the (B-1) photopolymerization initiator as an inorganic filler. Contains a photoreactive surface-treated inorganic filler, and when the (B-2) photobase generator is contained, each contains a thermophotoreactive surface-treated inorganic filler.

本発明の硬化性樹脂組成物は、上記の特定の構造式を有するエポキシ樹脂を含有する。このエポキシ樹脂は、ガードナー色相が低く、つまり光透過率が高いことから、硬化性樹脂組成物を塗布した被膜の深部にまで光が到達する。したがって、光反応性の表面処理された無機フィラーを含む組成物の場合には、その被膜の深部に存在する光反応性の表面処理された無機フィラーの表面処理剤と反応することができる。また、熱反応性の表面処理された無機フィラーを含む組成物の場合には、その深部に存在する光塩基発生剤により熱反応性の表面処理された無機フィラーの表面処理剤と反応することができる。したがって、深部においても硬化物を十分に硬化させることができ、耐湿性が向上し、信頼性、密着性に優れた硬化物を得ることができる。
また、上記の特定の構造式を有するエポキシ樹脂は、疎水性で耐熱性の骨格を有していることから、耐湿性に優れ、信頼性、密着性に優れた硬化物を得ることができる。
さらに、上記の特定の構造式を有するエポキシ樹脂は、疎水性で耐熱性の骨格を有していることからガラス転移温度(Tg)が高いことと、また、無機フィラーを含有していることから線膨張係数が低いこととが相俟って、優れたクラック耐性を有し、また低反り性を有している。
また、上記の特定の構造式を有するエポキシ樹脂が、ガードナー色相が低いことから、光反応性を阻害することがないので、本発明の樹脂組成物は高解像性を有している。
このような特性に基づき、本発明の硬化性樹脂組成物の硬化物、密着性及び信頼性の高いものと考えられる。
The curable resin composition of the present invention contains an epoxy resin having the above-mentioned specific structural formula. Since this epoxy resin has a low Gardner hue, that is, a high light transmittance, light reaches the deep part of the coating film coated with the curable resin composition. Therefore, in the case of a composition containing a photoreactive surface-treated inorganic filler, it can react with the surface treatment agent of the photoreactive surface-treated inorganic filler present in the deep part of the coating film. Further, in the case of a composition containing a heat-reactive surface-treated inorganic filler, the photobase generator present in the deep part thereof may react with the surface-treating agent of the heat-reactive surface-treated inorganic filler. can. Therefore, the cured product can be sufficiently cured even in a deep part, the moisture resistance is improved, and the cured product having excellent reliability and adhesion can be obtained.
Further, since the epoxy resin having the above-mentioned specific structural formula has a hydrophobic and heat-resistant skeleton, it is possible to obtain a cured product having excellent moisture resistance, reliability and adhesion.
Further, since the epoxy resin having the above-mentioned specific structural formula has a hydrophobic and heat-resistant skeleton, it has a high glass transition temperature (Tg), and also contains an inorganic filler. Combined with the low coefficient of linear expansion, it has excellent crack resistance and low warpage.
Further, since the epoxy resin having the above-mentioned specific structural formula has a low Gardner hue, it does not inhibit the photoreactivity, so that the resin composition of the present invention has high resolution.
Based on such characteristics, it is considered that the curable resin composition of the present invention has high adhesion, adhesion and reliability.

以下に、本発明の硬化性樹脂組成物の各成分について説明する。なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。 Hereinafter, each component of the curable resin composition of the present invention will be described. In addition, in this specification, (meth) acrylate is a generic term for acrylate, methacrylate and a mixture thereof, and the same applies to other similar expressions.

[(A)カルボキシル基含有樹脂]
カルボキシル基含有樹脂としては、分子中にカルボキシル基を有している従来公知の各種カルボキシル基含有樹脂を使用できる。特に、分子中にエチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂が、光硬化性や耐現像性の面から好ましい。エチレン性不飽和二重結合は、アクリル酸もしくはメタクリル酸又はそれらの誘導体由来であることが好ましい。エチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂のみを用いる場合、組成物を光硬化性とするためには、後述する分子中に複数のエチレン性不飽和基を有する化合物、即ち光反応性モノマーを併用する必要がある。
カルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下のような化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)を挙げることができる。
[(A) Carboxyl group-containing resin]
As the carboxyl group-containing resin, various conventionally known carboxyl group-containing resins having a carboxyl group in the molecule can be used. In particular, a carboxyl group-containing photosensitive resin having an ethylenically unsaturated double bond in the molecule is preferable from the viewpoint of photocurability and development resistance. The ethylenically unsaturated double bond is preferably derived from acrylic acid or methacrylic acid or a derivative thereof. When only a carboxyl group-containing resin having no ethylenically unsaturated double bond is used, in order to make the composition photocurable, a compound having a plurality of ethylenically unsaturated groups in the molecule described later, that is, light It is necessary to use a reactive monomer together.
Specific examples of the carboxyl group-containing resin include the following compounds (either oligomer or polymer).

(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。 (1) A carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid with an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene.

(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物及びポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates and aromatic diisocyanates, carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, polycarbonate-based polyols and polyether-based compounds. A carboxyl group-containing urethane resin obtained by a double addition reaction of a diol compound such as a polyol, a polyester-based polyol, a polyolefin-based polyol, an acrylic polyol, a bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group.

(3)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (3) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( Meta) A carboxyl group-containing photosensitive urethane resin obtained by a double addition reaction of an acrylate or a modified partial acid anhydride thereof, a carboxyl group-containing dialcohol compound and a diol compound.

(4)前記(2)又は(3)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子内に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (4) During the synthesis of the resin according to (2) or (3), a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate is added to the terminal (4). Meta) Acryloylated carboxyl group-containing photosensitive urethane resin.

(5)前記(2)又は(3)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子内に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (5) During the synthesis of the resin according to (2) or (3), one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups are formed in the molecule, such as an isophorone diisocyanate and a pentaerythritol triacrylate homomolar reaction product. Carboxyl group-containing photosensitive urethane resin that is terminal (meth) acrylicized by adding the compound to be possessed.

(6)2官能又はそれ以上の多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (6) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a bifunctional or higher polyfunctional (solid) epoxy resin with (meth) acrylic acid and adding a dibasic acid anhydride to a hydroxyl group existing in a side chain.

(7)2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (7) Carboxyl in which a (meth) acrylic acid is reacted with a polyfunctional epoxy resin obtained by further epoxidizing the hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin with epichlorohydrin, and a dibasic acid anhydride is added to the generated hydroxyl group. Group-containing photosensitive resin.

(8)2官能オキセタン樹脂にアジピン酸、フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸等のジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。 (8) A dicarboxylic acid such as adipic acid, phthalic acid, or hexahydrophthalic acid is reacted with a bifunctional oxetane resin, and the generated primary hydroxyl group is subjected to two bases such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, and hexahydrophthalic anhydride. Carboxyl group-containing polyester resin to which acid anhydride is added.

(9)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (9) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and (meth). Reacting with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid such as acrylic acid, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipine with respect to the alcoholic hydroxyl group of the obtained reaction product. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride such as an acid.

(10)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (10) A reaction product obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a substance with a polybasic acid anhydride.

(11)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (11) Obtained by reacting an unsaturated group-containing monocarboxylic acid with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a reaction product with a polybasic acid anhydride.

(12)前記(1)〜(11)の樹脂にさらに1分子内に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。
なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称する用語で、他の類似の表現についても同様である。
(12) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by further adding a compound having one epoxy group and one or more (meth) acryloyl groups in one molecule to the resins (1) to (11).
In addition, in this specification, (meth) acrylate is a generic term for acrylate, methacrylate and a mixture thereof, and the same applies to other similar expressions.

(A)カルボキシル基含有樹脂の酸価は、20〜200mgKOH/gであることが好ましい。(A)カルボキシル基含有樹脂の酸価が20〜200mgKOH/gであると、硬化物のパターンの形成が容易となる。より好ましくは、50〜130mgKOH/gである。 The acid value of the (A) carboxyl group-containing resin is preferably 20 to 200 mgKOH / g. (A) When the acid value of the carboxyl group-containing resin is 20 to 200 mgKOH / g, it becomes easy to form a pattern of the cured product. More preferably, it is 50 to 130 mgKOH / g.

また、前記カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000〜150,000、さらには5,000〜100,000の範囲にあるものが好ましい。重量平均分子量が2,000以上であると、露光部の被膜の耐現像性が向上し、解像性に優れる。一方、重量平均分子量が150,000以下であると、未露光部の溶解性が良好で解像性に優れるとともに、貯蔵安定性においても向上することがある。重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定することができる。 The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing resin varies depending on the resin skeleton, but is generally in the range of 2,000 to 150,000, more preferably 5,000 to 100,000. When the weight average molecular weight is 2,000 or more, the development resistance of the film of the exposed portion is improved, and the resolution is excellent. On the other hand, when the weight average molecular weight is 150,000 or less, the solubility of the unexposed portion is good, the resolution is excellent, and the storage stability may be improved. The weight average molecular weight can be measured by gel permeation chromatography.

(A)カルボキシル基含有樹脂の配合量は、溶剤を除いた硬化性樹脂組成物全量基準で、例えば、10〜60質量%であり、20〜60質量%であることが好ましい。10質量%以上、好ましくは20質量%以上とすることにより塗膜強度を向上させることができる。また60質量%以下とすることで粘性が適当となり加工性が向上する。
これらカルボキシル基含有樹脂は、前記列挙したものに限らず使用することができ、1種類を単独で用いてもよく、複数種を混合して用いてもよい。中でも、前記カルボキシル基含有樹脂(10)、(11)のごときフェノール化合物を出発原料と使用して合成されるカルボキシル基含有樹脂は高電圧下におけるHAST試験、すなわちB−HAST耐性や、PCT耐性に優れるため好適に用いることができる。
The blending amount of the (A) carboxyl group-containing resin is, for example, 10 to 60% by mass, preferably 20 to 60% by mass, based on the total amount of the curable resin composition excluding the solvent. The strength of the coating film can be improved by setting the content to 10% by mass or more, preferably 20% by mass or more. Further, when the content is 60% by mass or less, the viscosity becomes appropriate and the workability is improved.
These carboxyl group-containing resins can be used without being limited to those listed above, and one type may be used alone or a plurality of types may be mixed and used. Among them, the carboxyl group-containing resin synthesized by using the phenol compound such as the carboxyl group-containing resins (10) and (11) as a starting material is suitable for HAST test under high voltage, that is, B-HAST resistance and PCT resistance. Since it is excellent, it can be suitably used.

[(B−1)光重合開始剤又は(B−2)光塩基発生剤]
光重合開始剤としては、光重合開始剤や光ラジカル発生剤として公知の光重合開始剤であれば、いずれのものを用いることもできる。
[(B-1) Photopolymerization Initiator or (B-2) Photobase Generator]
As the photopolymerization initiator, any photopolymerization initiator known as a photopolymerization initiator or a photoradical generator can be used.

光重合開始剤としては、例えば、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(IGM Resins社製Omnirad(オムニラッド)819)等のビスアシルフォスフィンオキサイド類;2,6−ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,6−ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、2−メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(IGM Resins社製Omnirad(オムニラッド)TPO)等のモノアシルフォスフィンオキサイド類;1−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルケトン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン等のヒドロキシアセトフェノン類;ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインn−プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn−ブチルエーテル等のベンゾイン類;ベンゾインアルキルエーテル類;ベンゾフェノン、p−メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル)−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類;チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アントラキノン、クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p−ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル類;1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)フェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ビス[2,6−ジフルオロ−3−(2−(1−ピル−1−イル)エチル)フェニル]チタニウム等のチタノセン類;フェニルジスルフィド2−ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。光重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。中でもモノアシルフォスフィンオキサイド類、オキシムエステル類が好ましく、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)がより好ましい。 Examples of the photopolymerization initiator include bis- (2,6-dichlorobenzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphinoxide, and bis- (2,). 6-Dichlorobenzoyl) -4-propylphenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -1-naphthylphosphinoxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) phenylphosphin oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) 2,6-Dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphinoxide, bis- (2,4,6- Bisacylphosphinoxides such as trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide (IGM Resins Omnirad 819); 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichlorobenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphinic acid methyl ester, 2-methylbenzoyldiphenylphosphine oxide, pivaloylphenylphosphinic acid isopropyl ester, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide (IGM Resins) Monoacylphosphinoxides such as Omnirad TPO); 1-hydroxy-cyclohexylphenylketone, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane. -1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl} -2-methyl-propane-1-one, 2-hydroxy-2- Hydroxyacetophenones such as methyl-1-phenylpropane-1-one; benzoyls such as benzoin, benzyl, benzoinmethyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether; benzoin alkyl ether Kind: Benzoyls such as benzophenone, p-methylbenzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, etc. Ethyl; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1- [4- (Methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2- (dimethylamino) -2-[(4-4-) Methylphenyl) Methyl) -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, N, N-dimethylaminoacetophenone and other acetophenones; thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4 -Thioxanthons such as dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone; anthraquinone, chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1 -Anthraquinones such as chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone and 2-aminoanthraquinone; ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2- (dimethylamino) ethyl benzoate, p-dimethyl Ethyl benzoates such as ethyl benzoates; 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], etanone, 1- [9-ethyl-6- ( 2-Methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and other oxime esters; bis (η5-2,4-cyclopentadiene-1-yl) -bis (2, 6-Difluoro-3- (1H-pyrrole-1-yl) phenyl) titanium, bis (cyclopentadienyl) -bis [2,6-difluoro-3- (2- (1-pill-1-yl) ethyl) ) Phenyl] Titanosen such as titanium; phenyldisulfide 2-nitrofluorene, butyloin, anisoinethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethylthium disulfide and the like can be mentioned. As the photopolymerization initiator, one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. Of these, monoacylphosphine oxides and oxime esters are preferable, and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, etanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3. -Il]-, 1- (O-acetyloxime) is more preferable.

光重合開始剤の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して0.5〜20質量部であることが好ましい。0.5質量部以上の場合、表面硬化性が良好となり、20質量部以下の場合、ハレーションが生じにくく良好な解像性が得られる。 The blending amount of the photopolymerization initiator is preferably 0.5 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) carboxyl group-containing resin. When it is 0.5 parts by mass or more, the surface curability is good, and when it is 20 parts by mass or less, halation is less likely to occur and good resolution can be obtained.

光塩基発生剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、熱硬化反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質として、例えば2級アミン、3級アミンが挙げられる。 The photobase generator produces one or more basic substances that can function as a catalyst for a thermal curing reaction by changing the molecular structure by irradiation with light such as ultraviolet rays or visible light or by cleaving the molecules. It is a compound. Examples of the basic substance include secondary amines and tertiary amines.

光塩基発生剤として、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物、N−ホルミル化芳香族アミノ化合物、N−アシル化芳香族アミノ化合物、ニトロベンジルカーバメイト化合物、アルコオキシベンジルカーバメート化合物等が挙げられる。なかでも、オキシムエステル化合物、α−アミノアセトフェノン化合物が好ましく、オキシムエステル化合物がより好ましく、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)がより好ましい。α−アミノアセトフェノン化合物としては、特に、2つ以上の窒素原子を有するものが好ましい。光塩基発生剤は1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the photobase generator include α-aminoacetophenone compound, oxime ester compound, N-formylated aromatic amino compound, N-acylated aromatic amino compound, nitrobenzyl carbamate compound, alcooxybenzyl carbamate compound and the like. .. Of these, an oxime ester compound and an α-aminoacetophenone compound are preferable, and an oxime ester compound is more preferable. Etanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) is more preferable. As the α-aminoacetophenone compound, a compound having two or more nitrogen atoms is particularly preferable. One type of photobase generator may be used alone, or two or more types may be used in combination.

この他、光塩基発生剤としては、4級アンモニウム塩等が挙げられる。 In addition, examples of the photobase generator include quaternary ammonium salts.

その他の光塩基発生剤として、WPBG−018(商品名:9−anthrylmethyl N,N’−diethylcarbamate)、WPBG−027(商品名:(E)−1−[3−(2−hydroxyphenyl)−2−propenoyl]piperidine)、WPBG−082(商品名:guanidinium2−(3−benzoylphenyl)propionate)、WPBG−140(商品名:1−(anthraquinon−2−yl)ethyl imidazolecarboxylate)等を使用することもできる。 Other photobase generators include WPBG-018 (trade name: 9-anthrylmethyl N, N'-diethylcarbamate) and WPBG-027 (trade name: (E) -1- [3- (2-hydroxyphenyl) -2-). Propionic] piperidine), WPBG-082 (trade name: guanidinium2- (3-benzoylphenyl) propionate), WPBG-140 (trade name: 1- (anthraquinone-2-yl) ethylylate, etc. can also be used.

さらに、前述した光重合開始剤の一部の物質が光塩基発生剤としても機能する。光塩基発生剤としても機能する光重合開始剤としては、オキシムエステル系光重合開始剤およびα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤が好ましい。 Further, some substances of the above-mentioned photopolymerization initiator also function as a photobase generator. As the photopolymerization initiator that also functions as a photobase generator, an oxime ester-based photopolymerization initiator and an α-aminoacetophenone-based photopolymerization initiator are preferable.

光塩基発生剤の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して0.1〜20質量部であることが好ましい。0.1質量部以上の場合、表面硬化性が良好となり、20質量部以下の場合、ハレーションが生じにくく良好な解像性が得られる。 The blending amount of the photobase generator is preferably 0.1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) carboxyl group-containing resin. When it is 0.1 part by mass or more, the surface curability is good, and when it is 20 parts by mass or less, halation is less likely to occur and good resolution can be obtained.

[(C)特定構造式を有するエポキシ樹脂]
本発明の硬化性樹脂組成物は、次の構造式を有するエポキシ樹脂を含む。
ガードナー色相が低い上記エポキシ樹脂を含むことにより、被膜の深部まで光を到達させることができ、密着性、信頼性に優れた硬化物を得ることができる。したがって、本発明の硬化性樹脂組成物は、高温、多湿な環境での信頼性が要求されるようになっているプリント配線板、なかでもゲージ用絶縁材や半導体装置に用いられる積層体等に用いて好適であり半導体パッケージや車載用に好適である。
なお、硬化性樹脂組成物は、上記エポキシ化合物と、後述する特定の表面処理された無機フィラーとを必須成分として含有するものであり、これにより耐クラック性、高温高湿環境での優れた密着性等を有している。
[(C) Epoxy resin having a specific structural formula]
The curable resin composition of the present invention contains an epoxy resin having the following structural formula.
By containing the above epoxy resin having a low Gardner hue, light can reach the deep part of the coating film, and a cured product having excellent adhesion and reliability can be obtained. Therefore, the curable resin composition of the present invention is used for printed wiring boards that are required to be reliable in high temperature and high humidity environments, especially for gauge insulating materials and laminates used in semiconductor devices. It is suitable for use and suitable for semiconductor packages and in-vehicle use.
The curable resin composition contains the above-mentioned epoxy compound and a specific surface-treated inorganic filler described later as essential components, whereby crack resistance and excellent adhesion in a high-temperature and high-humidity environment are achieved. Has sex, etc.

本発明の硬化性樹脂組成物は、上記(C)特定構造式を有するエポキシ樹脂と共に、本発明特有の効果を損なわない範囲で、上記(C)特定構造式を有するエポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂を、含むことができる。かかる上記(C)特定構造式を有するエポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂は、エポキシ化植物油;ビスフェノールA型エポキシ樹脂;ハイドロキノン型エポキシ樹脂;ビスフェノール型エポキシ樹脂;チオエーテル型エポキシ樹脂;ブロム化エポキシ樹脂;ノボラック型エポキシ樹脂;ビフェノールノボラック型エポキシ樹脂;ビスフェノールF型エポキシ樹脂;水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;グリシジルアミン型エポキシ樹脂;ヒダントイン型エポキシ樹脂;脂環式エポキシ樹脂;トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;ビスフェノールS型エポキシ樹脂;ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;複素環式エポキシ樹脂;ジグリシジルフタレート樹脂;テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;ナフタレン基含有エポキシ樹脂;ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;エポキシ変性のポリブタジエンゴム誘導体;CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限られるものではない。 The curable resin composition of the present invention contains an epoxy resin having the specific structural formula (C) and an epoxy resin other than the epoxy resin having the specific structural formula (C) as long as the effects peculiar to the present invention are not impaired. , Can be included. Epoxy resins other than the epoxy resin having the specific structural formula (C) are epoxidized vegetable oil; bisphenol A type epoxy resin; hydroquinone type epoxy resin; bisphenol type epoxy resin; thioether type epoxy resin; brominated epoxy resin; novolak type. Epoxy resin; biphenol novolak type epoxy resin; bisphenol F type epoxy resin; hydrogenated bisphenol A type epoxy resin; glycidylamine type epoxy resin; hydantin type epoxy resin; alicyclic epoxy resin; trihydroxyphenylmethane type epoxy resin; bixirenol Mold or biphenol type epoxy resin or a mixture thereof; bisphenol S type epoxy resin; bisphenol A novolak type epoxy resin; tetraphenylol ethane type epoxy resin; heterocyclic epoxy resin; diglycidyl phthalate resin; tetraglycidyl xylenoyl ethane resin Naphthalene group-containing epoxy resin; epoxy resin having a dicyclopentadiene skeleton; glycidyl methacrylate copolymerized epoxy resin; cyclohexyl maleimide and glycidyl methacrylate copolymerized epoxy resin; epoxy-modified polybutadiene rubber derivative; CTBN-modified epoxy resin, etc. However, it is not limited to these.

(C)特定構造式を有するエポキシ樹脂の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対し、例えば、1〜100質量部であり、10〜80質量部が好ましく、20〜60質量部がより好ましい。(C)特定構造式を有するエポキシ樹脂の配合量が10質量部以上であると、クラック耐性および絶縁信頼性がより向上し、100質量部以下であると、保存安定性が向上する。 The blending amount of the epoxy resin having the specific structural formula (C) is, for example, 1 to 100 parts by mass, preferably 10 to 80 parts by mass, and 20 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) carboxyl group-containing resin. The unit is more preferable. (C) When the blending amount of the epoxy resin having the specific structural formula is 10 parts by mass or more, the crack resistance and the insulation reliability are further improved, and when it is 100 parts by mass or less, the storage stability is improved.

[(D−1)光反応性の表面処理をされた無機フィラー又は(D−2)熱反応性の表面処理をされた無機フィラー]
本発明の硬化性樹脂組成物は、(D−1)光反応性の表面処理をされた無機フィラー又は(D−2)熱反応性の表面処理をされた無機フィラーを含有する。無機フィラーを含むことにより、硬化物のクラック耐性がより向上する。
ここで、表面処理された無機フィラーであることにより、(A)カルボキシル基含有樹脂または(C)エポキシ樹脂との相溶性を向上させることができる。
また、(D−1)光反応性の表面処理をされた無機フィラーを含む本発明の硬化性樹脂組成物は、(B−1)光重合開始剤が、透過した光により開裂し、光反応性の表面処理をされた無機フィラーと反応することから、被膜の深部の硬化性を向上させることができる。
また、(D−2)熱反応性の表面処理をされた無機フィラーを含む本発明の硬化性樹脂組成物は、(B−2)光塩基発生剤が、透過した光により塩基を発生し、熱反応性の表面処理をされた無機フィラーと反応することから、被膜の深部の硬化性を向上させることができる。
したがって、本発明の硬化性樹脂組成物は、(D−1)光反応性の表面処理をされた無機フィラーを含むときには(B−1)光重合開始剤を含み、(D−2)熱反応性の表面処理をされた無機フィラーを含むときには、(B−2)光塩基発生剤を含む。なお、前述したように光重合開始剤の一部の物質は光塩基発生剤としても機能することから、光重合開始剤と光塩基発生剤とを峻別するものではない。
[(D-1) Photoreactive surface-treated inorganic filler or (D-2) Heat-reactive surface-treated inorganic filler]
The curable resin composition of the present invention contains (D-1) a photoreactive surface-treated inorganic filler or (D-2) a heat-reactive surface-treated inorganic filler. By including the inorganic filler, the crack resistance of the cured product is further improved.
Here, the surface-treated inorganic filler can improve the compatibility with (A) a carboxyl group-containing resin or (C) an epoxy resin.
Further, in the curable resin composition of the present invention containing (D-1) a photoreactive surface-treated inorganic filler, the (B-1) photopolymerization initiator is cleaved by the transmitted light and photoreacts. Since it reacts with an inorganic filler that has been subjected to a sexual surface treatment, it is possible to improve the curability of the deep part of the coating film.
Further, in the curable resin composition of the present invention containing the (D-2) heat-reactive surface-treated inorganic filler, the (B-2) photobase generator generates a base by the transmitted light. Since it reacts with the heat-reactive surface-treated inorganic filler, the curability of the deep part of the coating film can be improved.
Therefore, the curable resin composition of the present invention contains (B-1) a photopolymerization initiator when it contains (D-1) a photoreactive surface-treated inorganic filler, and (D-2) a thermal reaction. When the inorganic filler having a sex surface treatment is contained, the (B-2) photobase generator is contained. Since some substances of the photopolymerization initiator also function as a photobase generator as described above, the photopolymerization initiator and the photobase generator are not distinguished from each other.

表面処理がされる無機フィラーとしては、特に限定されず、公知慣用の充填剤、例えばシリカ、結晶性シリカ、ノイブルグ珪土、水酸化アルミニウム、ガラス粉末、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、天然マイカ、合成マイカ、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化鉄、非繊維状ガラス、ハイドロタルサイト、ミネラルウール、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、亜鉛華等の無機フィラーを用いることができる。中でも、シリカが好ましく、表面積が小さく、応力が全体に分散するためクラックの起点になりにくいことから球状シリカであることがより好ましい。 The surface-treated inorganic filler is not particularly limited, and known and commonly used fillers such as silica, crystalline silica, Neuburg silica soil, aluminum hydroxide, glass powder, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, and natural materials are used. Inorganic fillers such as mica, synthetic mica, aluminum hydroxide, barium sulfate, barium titanate, iron oxide, non-fibrous glass, hydrotalcite, mineral wool, aluminum silicate, calcium silicate, and zinc flower can be used. Of these, silica is preferable, and spherical silica is more preferable because it has a small surface area and stress is less likely to be the starting point of cracks because it is dispersed throughout.

ここで、表面処理された無機フィラーは、(D−1)の無機フィラーにおいては、(B−1)光重合開始剤と反応する硬化性反応基として、光硬化性反応基を無機フィラーの表面に導入可能な表面処理が施されたものであり、(D−2)の無機フィラーにおいては、(B−2)光塩基発生剤と反応する硬化性反応基として、熱硬化性反応基を無機フィラーの表面に導入可能な表面処理が施されたものである。
(D−1)光反応性の表面処理をされた無機フィラーの光硬化性反応基としては、ビニル基、スチリル基、メタクリル基、アクリル基等が挙げられる。なかでも、光硬化性反応基としては、メタクリル基、アクリル基、ビニル基が好ましい。
(D−2)熱反応性の表面処理をされた無機フィラーの熱硬化性反応基としては、水酸基、カルボキシル基、イソシアネート基、アミノ基、イミノ基、エポキシ基、オキセタニル基、メルカプト基、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、オキサゾリン基等が挙げられる。なかでも、アミノ基、エポキシ基が好ましい。
また、(D−1)の無機フィラー又は(D−2)の無機フィラーは2種以上の硬化性反応基を有していてもよい。(D)無機フィラーとしては、表面処理されたシリカが好ましい。表面処理されたシリカを含むことにより、CTEを低く、ガラス転移温度を高くさせることができる。
Here, the surface-treated inorganic filler has a photocurable reactive group as a curable reactive group that reacts with the (B-1) photopolymerization initiator in the inorganic filler of (D-1) on the surface of the inorganic filler. In the inorganic filler of (D-2), the thermosetting reactive group is inorganic as the curable reactant that reacts with the (B-2) photoinitiator. The surface of the filler is surface-treated so that it can be introduced.
(D-1) Examples of the photocurable reactive group of the photoreactive surface-treated inorganic filler include a vinyl group, a styryl group, a methacrylic group, an acrylic group and the like. Among them, as the photocurable reactive group, a methacrylic group, an acrylic group and a vinyl group are preferable.
(D-2) The heat-curable reactive groups of the heat-reactive surface-treated inorganic filler include hydroxyl groups, carboxyl groups, isocyanate groups, amino groups, imino groups, epoxy groups, oxetanyl groups, mercapto groups, and methoxymethyl. Examples thereof include a group, a methoxyethyl group, an ethoxymethyl group, an ethoxyethyl group, an oxazoline group and the like. Of these, amino groups and epoxy groups are preferable.
Further, the inorganic filler of (D-1) or the inorganic filler of (D-2) may have two or more kinds of curable reactive groups. As the inorganic filler (D), surface-treated silica is preferable. By including the surface-treated silica, the CTE can be lowered and the glass transition temperature can be raised.

(D)無機フィラーの表面に硬化性反応基の導入方法は特に限定されず、公知慣用の方法を用いて導入すればよく、硬化性反応基を有する表面処理剤、例えば、硬化性反応基を有するカップリング剤等で無機フィラーの表面を処理すればよい。 (D) The method for introducing the curable reactive group onto the surface of the inorganic filler is not particularly limited, and it may be introduced by using a known and commonly used method, and a surface treatment agent having a curable reactive group, for example, a curable reactive group may be introduced. The surface of the inorganic filler may be treated with a coupling agent or the like.

(D)無機フィラーの表面処理としては、カップリング剤による表面処理が好ましい。カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、ジルコニウムカップリング剤、アルミニウムカップリング剤等を用いることができる。中でも、シランカップリング剤が好ましい。 (D) As the surface treatment of the inorganic filler, surface treatment with a coupling agent is preferable. As the coupling agent, a silane coupling agent, a titanium coupling agent, a zirconium coupling agent, an aluminum coupling agent and the like can be used. Of these, a silane coupling agent is preferable.

シランカップリング剤としては、(D)無機フィラーに、硬化反応性基を導入可能なシランカップリング剤が好ましい。熱硬化反応性基を導入可能なシランカップリング剤としては、エポキシ基を有するシランカップリング剤、アミノ基を有するシランカップリング剤、メルカプト基を有するシランカップリング剤、イソシアネート基を有するシランカップリング剤が挙げられ、中でもエポキシ基を有するシランカップリング剤がより好ましい。光硬化反応性基を導入可能なシランカップリング剤としては、ビニル基を有するシランカップリング剤、スチリル基を有するシランカップリング剤、メタクリル基を有するシランカップリング剤、アクリル基を有するシランカップリング剤が好ましく、中でもメタクリル基を有するシランカップリング剤がより好ましい。 As the silane coupling agent, a silane coupling agent capable of introducing a curing reactive group into the (D) inorganic filler is preferable. Examples of the silane coupling agent into which a thermosetting reactive group can be introduced include a silane coupling agent having an epoxy group, a silane coupling agent having an amino group, a silane coupling agent having a mercapto group, and a silane coupling agent having an isocyanate group. Agents are mentioned, and among them, a silane coupling agent having an epoxy group is more preferable. Examples of the silane coupling agent into which a photocurable reactive group can be introduced include a silane coupling agent having a vinyl group, a silane coupling agent having a styryl group, a silane coupling agent having a methacrylic group, and a silane coupling agent having an acrylic group. Agents are preferred, with silane coupling agents having a methacryl group being more preferred.

(D−1)又は(D−2)の無機フィラーは、表面処理された状態で本発明の硬化性樹脂組成物に配合されていればよく、表面未処理の無機フィラーと表面処理剤とを別々に配合して組成物中で無機フィラーが表面処理されてもよいが、予め表面処理した無機フィラーを配合することが好ましい。予め表面処理した無機フィラーを配合することによって、別々に配合した場合に残存しうる表面処理で消費されなかった表面処理剤によるクラック耐性等の低下を防ぐことができる。予め表面処理する場合は、溶剤や樹脂成分に(D)無機フィラーを予備分散した予備分散液を配合することが好ましく、表面処理した無機フィラーを溶剤に予備分散し、該予備分散液を組成物に配合するか、表面未処理の無機フィラーを溶剤に予備分散する際に十分に表面処理した後、該予備分散液を組成物に配合することがより好ましい。 The inorganic filler (D-1) or (D-2) may be blended in the curable resin composition of the present invention in a surface-treated state, and the surface-untreated inorganic filler and the surface treatment agent may be mixed. The inorganic filler may be surface-treated in the composition by blending separately, but it is preferable to blend the inorganic filler which has been surface-treated in advance. By blending the inorganic fillers that have been surface-treated in advance, it is possible to prevent deterioration of crack resistance and the like due to the surface treatment agent that may remain in the surface treatment when they are blended separately. In the case of surface treatment in advance, it is preferable to mix a pre-dispersion liquid in which (D) an inorganic filler is pre-dispersed in a solvent or a resin component, and the surface-treated inorganic filler is pre-dispersed in a solvent, and the pre-dispersion liquid is used as a composition. It is more preferable to add the pre-dispersion liquid to the composition after sufficient surface treatment when pre-dispersing the surface-untreated inorganic filler in the solvent.

本発明の硬化性樹脂組成物において、(D−1)の無機フィラー又は(D−2)の無機フィラーは、平均粒径が1μm以下であることが、クラック耐性により優れることから好ましい。より好ましくは、0.8μm以下である。なお、本明細書において、平均粒径とはD50の値のことをいい、例えば日機装社製マイクロトラック粒度分析計を用いて測定した値である。 In the curable resin composition of the present invention, the inorganic filler of (D-1) or the inorganic filler of (D-2) preferably has an average particle size of 1 μm or less because it is excellent in crack resistance. More preferably, it is 0.8 μm or less. In the present specification, the average particle size refers to the value of D50, which is a value measured using, for example, a Microtrack particle size analyzer manufactured by Nikkiso Co., Ltd.

また、(D−1)の無機フィラー又は(D−2)の無機フィラーは、最大粒径が4.0μm以下であることが、効率よく反応させ、またクラック耐性、密着性により優れることから好ましい。より好ましくは3.0μm以下である。なお、本明細書において、最大粒径とはD100の値のことをいい、例えば日機装社製マイクロトラック粒度分析計を用いて測定した値である。 Further, the inorganic filler of (D-1) or the inorganic filler of (D-2) preferably has a maximum particle size of 4.0 μm or less because it reacts efficiently and is excellent in crack resistance and adhesion. .. It is more preferably 3.0 μm or less. In the present specification, the maximum particle size refers to the value of D100, which is a value measured using, for example, a Microtrack particle size analyzer manufactured by Nikkiso Co., Ltd.

無機フィラーの配合量は、硬化性樹脂組成物の固形分の全量あたり25〜85質量%であることが好ましく、30〜75質量%であることがより好ましく、35〜70質量%であることがさらに好ましい。 The blending amount of the inorganic filler is preferably 25 to 85% by mass, more preferably 30 to 75% by mass, and preferably 35 to 70% by mass based on the total solid content of the curable resin composition. More preferred.

光重合性オリゴマーとしては、不飽和ポリエステル系オリゴマー、(メタ)アクリレート系オリゴマー等が挙げられる。(メタ)アクリレート系オリゴマーとしては、フェノールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート等のエポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、エポキシウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ポリブタジエン変性(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of the photopolymerizable oligomer include unsaturated polyester-based oligomers and (meth) acrylate-based oligomers. Examples of the (meth) acrylate-based oligomer include epoxy (meth) acrylates such as phenol novolac epoxy (meth) acrylate, cresol novolac epoxy (meth) acrylate, and bisphenol type epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, and epoxy urethane (meth). ) Acrylate, polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, polybutadiene-modified (meth) acrylate and the like.

光重合性ビニルモノマーとしては、公知慣用のもの、例えば、スチレン、クロロスチレン、α−メチルスチレンなどのスチレン誘導体;酢酸ビニル、酪酸ビニルまたは安息香酸ビニルなどのビニルエステル類;ビニルイソブチルエーテル、ビニル−n−ブチルエーテル、ビニル−t−ブチルエーテル、ビニル−n−アミルエーテル、ビニルイソアミルエーテル、ビニル−n−オクタデシルエーテル、ビニルシクロヘキシルエーテル、エチレングリコールモノブチルビニルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルビニルエーテルなどのビニルエーテル類;アクリルアミド、メタクリルアミド、N−ヒドロキシメチルアクリルアミド、N−ヒドロキシメチルメタクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミド、N−ブトキシメチルアクリルアミドなどの(メタ)アクリルアミド類;トリアリルイソシアヌレート、フタル酸ジアリル、イソフタル酸ジアリルなどのアリル化合物;2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリール(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸のエステル類;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートなどのヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類;メトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレートなどのアルコキシアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート類;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート類、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどのアルキレンポリオールポリ(メタ)アクリレート;ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレートなどのポリオキシアルキレングリコールポリ(メタ)アクリレート類;ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエステルジ(メタ)アクリレートなどのポリ(メタ)アクリレート類;トリス[(メタ)アクリロキシエチル]イソシアヌレートなどのイソシアヌルレート型ポリ(メタ)アクリレート類などが挙げられる。これらは、要求特性に合わせて、単独で、または、2種以上を組み合わせて用いることができる。 As the photopolymerizable vinyl monomer, known and commonly used ones, for example, styrene derivatives such as styrene, chlorostyrene and α-methylstyrene; vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl butyrate or vinyl benzoate; vinyl isobutyl ether, vinyl- Vinyl ethers such as n-butyl ether, vinyl-t-butyl ether, vinyl-n-amyl ether, vinyl isoamyl ether, vinyl-n-octadecyl ether, vinyl cyclohexyl ether, ethylene glycol monobutyl vinyl ether, triethylene glycol monomethyl vinyl ether; acrylamide, (Meta) acrylamides such as methacrylicamide, N-hydroxymethylacrylamide, N-hydroxymethylmethacrylicamide, N-methoxymethylacrylamide, N-ethoxymethylacrylamide, N-butoxymethylacrylamide; triallyl isocyanurate, diallyl phthalate, Allyl compounds such as diallyl isophthalate; 2-ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, tetrahydroflufreel (meth) acrylate, isoboronyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, etc. (Meta) acrylic acid esters; hydroxyalkyl (meth) acrylates such as hydroxyethyl (meth) acrylates, hydroxypropyl (meth) acrylates, pentaerythritol tri (meth) acrylates; methoxyethyl (meth) acrylates, ethoxyethyl Alkoxyalkylene glycol mono (meth) acrylates such as (meth) acrylates; ethylene glycol di (meth) acrylates, butanediol di (meth) acrylates, neopentyl glycol di (meth) acrylates, 1,6-hexanediol di ( Alkylene polyol poly (meth) acrylates such as meth) acrylates, trimethylol propanetri (meth) acrylates, pentaerythritol tetra (meth) acrylates, dipentaerythritol hexa (meth) acrylates; diethylene glycol di (meth) acrylates, triethylene glycol di. Polyoxyalkylene glycol poly (meth) acrylates, ethoxylated trimethylol propane triacrylates, propoxylated trimethylol propanetri (meth) acrylates, etc. T) Acrylate; Poly (meth) acrylate such as neopentyl glycol ester di (meth) acrylate of hydroxypivalate; Isocyanulate type poly (meth) acrylate such as tris [(meth) acryloxyethyl] isocyanurate. Can be mentioned. These can be used alone or in combination of two or more according to the required characteristics.

エチレン性不飽和結合を有する化合物の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して3〜40質量部であることが好ましい。3質量部以上の場合、表面硬化性が向上し、40質量部以下の場合、ハレーションが抑制される。より好ましくは、5〜30質量部である。 The blending amount of the compound having an ethylenically unsaturated bond is preferably 3 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) carboxyl group-containing resin. When it is 3 parts by mass or more, the surface curability is improved, and when it is 40 parts by mass or less, halation is suppressed. More preferably, it is 5 to 30 parts by mass.

(熱硬化触媒)
本発明の硬化性樹脂組成物は、熱硬化触媒を含有することが好ましい。そのような熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物等が挙げられる。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を熱硬化触媒と併用する。
(Thermosetting catalyst)
The curable resin composition of the present invention preferably contains a thermosetting catalyst. Examples of such a thermosetting catalyst include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole. , 1- (2-Cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole and other imidazole derivatives; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N Examples thereof include amine compounds such as -dimethylbenzylamine, 4-methyl-N and N-dimethylbenzylamine, hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; and phosphorus compounds such as triphenylphosphine. In addition, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino S-triazine derivatives such as -S-triazine-isosianulic acid adduct and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine-isosianulic acid adduct can also be used, preferably as these adhesion-imparting agents. A compound that also functions is used in combination with a thermosetting catalyst.

熱硬化触媒の配合量は、(C)エポキシ樹脂100質量部に対して、好ましくは0.05〜40質量部、より好ましくは0.1〜30質量部である。 The blending amount of the thermosetting catalyst is preferably 0.05 to 40 parts by mass, and more preferably 0.1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (C) epoxy resin.

(硬化剤)
本発明の硬化性樹脂組成物は硬化剤を含有することができる。硬化剤としては、フェノール樹脂、ポリカルボン酸およびその酸無水物、シアネートエステル樹脂、活性エステル樹脂、マレイミド化合物、脂環式オレフィン重合体等が挙げられる。硬化剤は1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。
(Hardener)
The curable resin composition of the present invention can contain a curing agent. Examples of the curing agent include phenol resins, polycarboxylic acids and their acid anhydrides, cyanate ester resins, active ester resins, maleimide compounds, alicyclic olefin polymers and the like. The curing agent may be used alone or in combination of two or more.

硬化剤は、(C)エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂のエポキシ基等の熱硬化反応が可能な官能基と、その官能基と反応する硬化剤中の官能基との比率が、硬化剤の官能基/熱硬化反応が可能な官能基(当量比)=0.2〜3となるような割合で配合することが好ましい。上記範囲とすることにより、保存安定性と硬化性のバランスに優れる。 The curing agent has a ratio of (C) a functional group capable of a thermosetting reaction such as an epoxy group of a thermosetting resin such as an epoxy resin and a functional group in the curing agent that reacts with the functional group of the curing agent. It is preferable to blend in a ratio such that the functional group / the functional group capable of the thermosetting reaction (equivalent ratio) = 0.2 to 3. Within the above range, the balance between storage stability and curability is excellent.

(着色剤)
本発明の硬化性樹脂組成物には、着色剤が含まれていてもよい。着色剤としては、赤、青、緑、黄、黒、白等の公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しないことが好ましい。
(Colorant)
The curable resin composition of the present invention may contain a colorant. As the colorant, known colorants such as red, blue, green, yellow, black, and white can be used, and any of pigments, dyes, and pigments may be used. However, it is preferable not to contain halogen from the viewpoint of reducing the environmental load and affecting the human body.

着色剤の添加量は特に制限はないが、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、好ましくは10質量部以下、特に好ましくは0.1〜7質量部の割合で充分である。 The amount of the colorant added is not particularly limited, but is preferably 10 parts by mass or less, and particularly preferably 0.1 to 7 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) carboxyl group-containing resin.

(有機溶剤)
本発明の硬化性樹脂組成物には、組成物の調製や、基板やキャリアフィルムに塗布する際の粘度調整等の目的で、有機溶剤を含有させることができる。有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類;石油エーテル、石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤など、公知慣用の有機溶剤が使用できる。これらの有機溶剤は、単独で、または二種類以上組み合わせて用いることができる。
(Organic solvent)
The curable resin composition of the present invention may contain an organic solvent for the purpose of preparing the composition, adjusting the viscosity when applied to a substrate or a carrier film, and the like. Examples of the organic solvent include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethyl benzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol and propylene glycol monomethyl ether. , Dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, tripropylene glycol monomethyl ether and other glycol ethers; ethyl acetate, butyl acetate, butyl lactate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbi Esters such as tall acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene carbonate; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, and solvent naphtha are known. Conventional organic solvents can be used. These organic solvents can be used alone or in combination of two or more.

(その他の任意成分)
さらに、本発明の硬化性樹脂組成物には、電子材料の分野において公知慣用の他の添加剤を配合してもよい。他の添加剤としては、熱重合禁止剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤、可塑剤、難燃剤、帯電防止剤、老化防止剤、抗菌・防黴剤、消泡剤、レベリング剤、増粘剤、密着性付与剤、チキソ性付与剤、光開始助剤、増感剤、熱可塑性樹脂、有機フィラー、離型剤、表面処理剤、分散剤、分散助剤、表面改質剤、安定剤、蛍光体等が挙げられる。
(Other optional ingredients)
Further, the curable resin composition of the present invention may contain other additives known and commonly used in the field of electronic materials. Other additives include thermal polymerization inhibitors, UV absorbers, silane coupling agents, plasticizers, flame retardants, antistatic agents, antistatic agents, antibacterial / antifungal agents, antifoaming agents, leveling agents, and thickening agents. Agents, adhesion-imparting agents, thixo-imparting agents, photo-initiating aids, sensitizers, thermoplastic resins, organic fillers, mold release agents, surface treatment agents, dispersants, dispersion aids, surface modifiers, stabilizers , Fluorescent material and the like.

本発明の硬化性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で(C)エポキシ樹脂以外の熱硬化性樹脂を含有してもよい。熱硬化性樹脂としては、加熱により硬化して電気絶縁性を示す樹脂であればよく、例えば、(C)エポキシ樹脂以外のエポキシ化合物、オキセタン化合物、メラミン樹脂、シリコーン樹脂などが挙げることができ、これらは併用してもよい。 The curable resin composition of the present invention may contain a thermosetting resin other than the (C) epoxy resin as long as the effects of the present invention are not impaired. The thermosetting resin may be any resin that is cured by heating and exhibits electrical insulating properties, and examples thereof include epoxy compounds other than (C) epoxy resin, oxetane compounds, melamine resins, and silicone resins. These may be used together.

本発明の硬化性樹脂組成物は、ドライフィルム化して用いても液状として用いても良い。液状として用いる場合は、1液性でも2液性以上でもよい。 The curable resin composition of the present invention may be used as a dry film or may be used as a liquid. When used as a liquid, it may be one-component or two-component or more.

次に、本発明のドライフィルムは、キャリアフィルム上に、本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより得られる樹脂層を有する。ドライフィルムを形成する際には、まず、本発明の硬化性樹脂組成物を上記有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整した上で、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等により、キャリアフィルム上に均一な厚さに塗布する。その後、塗布された組成物を、通常、40〜130℃の温度で1〜30分間乾燥することで、樹脂層を形成することができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、3〜150μm、好ましくは5〜60μmの範囲で適宜選択される。 Next, the dry film of the present invention has a resin layer obtained by applying and drying the curable resin composition of the present invention on a carrier film. When forming a dry film, first, the curable resin composition of the present invention is diluted with the above organic solvent to adjust the viscosity to an appropriate level, and then a comma coater, a blade coater, a lip coater, a rod coater, and a squeeze coater. , Reverse coater, transfer coater, gravure coater, spray coater, etc., and apply to a uniform thickness on the carrier film. Then, the applied composition is usually dried at a temperature of 40 to 130 ° C. for 1 to 30 minutes to form a resin layer. The coating film thickness is not particularly limited, but is generally selected as appropriate in the range of 3 to 150 μm, preferably 5 to 60 μm after drying.

キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等を用いることができる。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。より好ましくは15〜130μmの範囲である。 As the carrier film, a plastic film is used, and for example, a polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), a polyimide film, a polyamide-imide film, a polypropylene film, a polystyrene film and the like can be used. The thickness of the carrier film is not particularly limited, but is generally selected as appropriate in the range of 10 to 150 μm. More preferably, it is in the range of 15 to 130 μm.

キャリアフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した後、樹脂層の表面に塵が付着することを防ぐ等の目的で、さらに、樹脂層の表面に、剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルムやポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができる。カバーフィルムとしては、カバーフィルムを剥離するときに、樹脂層とキャリアフィルムとの接着力よりも小さいものであればよい。 After forming the resin layer made of the curable resin composition of the present invention on the carrier film, a peelable cover is further applied to the surface of the resin layer for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the resin layer. It is preferable to stack the films. As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, a surface-treated paper, or the like can be used. The cover film may be one having a force smaller than the adhesive force between the resin layer and the carrier film when the cover film is peeled off.

なお、本発明においては、上記カバーフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより樹脂層を形成して、その表面にキャリアフィルムを積層するものであってもよい。すなわち、本発明においてドライフィルムを製造する際に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布するフィルムとしては、キャリアフィルムおよびカバーフィルムのいずれを用いてもよい。 In the present invention, the curable resin composition of the present invention may be applied onto the cover film and dried to form a resin layer, and a carrier film may be laminated on the surface thereof. That is, as the film to which the curable resin composition of the present invention is applied when producing the dry film in the present invention, either a carrier film or a cover film may be used.

本発明のプリント配線板は、本発明の硬化性樹脂組成物またはドライフィルムの樹脂層から得られる硬化物を有するものである。本発明のプリント配線板の製造方法としては、例えば、本発明の硬化性樹脂組成物を、上記有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整して、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布した後、60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることで、タックフリーの樹脂層を形成する。また、ドライフィルムの場合、ラミネーター等により樹脂層が基材と接触するように基材上に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、基材上に樹脂層を形成する。 The printed wiring board of the present invention has a cured product obtained from the curable resin composition of the present invention or the resin layer of a dry film. As a method for producing a printed wiring board of the present invention, for example, the curable resin composition of the present invention is adjusted to a viscosity suitable for the coating method using the above organic solvent, and a dip coating method is applied on the substrate. After coating by a flow coating method, a roll coating method, a bar coater method, a screen printing method, a curtain coating method, etc., the organic solvent contained in the composition is volatilized and dried (temporarily dried) at a temperature of 60 to 100 ° C. This forms a tack-free resin layer. Further, in the case of a dry film, a resin layer is formed on the base material by laminating the resin layer on the base material with a laminator or the like so as to be in contact with the base material and then peeling off the carrier film.

上記基材としては、あらかじめ銅等により回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので、全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。 The base material includes a printed wiring board and a flexible printed wiring board whose circuit is formed of copper or the like in advance, as well as paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth / non-woven cloth epoxy, and glass cloth / paper epoxy. , Synthetic fiber epoxy, fluororesin / polyethylene / polyimideene ether, polyphenylene oxide / cyanate, etc. are used for high frequency circuit copper-clad laminates, etc., and all grades (FR-4, etc.) of copper-clad laminates are used. Examples thereof include a plate, a metal substrate, a polyimide film, a PET film, a polyethylene naphthalate (PEN) film, a glass substrate, a ceramic substrate, a wafer plate, and the like.

本発明の硬化性樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。 The volatile drying performed after applying the curable resin composition of the present invention is carried out in a hot air circulation type drying oven, an IR furnace, a hot plate, a convection oven, etc. It can be performed by using a method of bringing hot air into countercurrent contact and a method of blowing hot air onto a support from a nozzle).

プリント配線板上に樹脂層を形成後、所定のパターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光し、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば、0.3〜3質量%炭酸ソーダ水溶液)により現像して硬化物のパターンを形成する。さらに、硬化物に活性エネルギー線を照射後加熱硬化(例えば、100〜220℃)、もしくは加熱硬化後活性エネルギー線を照射、または、加熱硬化のみで最終仕上げ硬化(本硬化)させることにより、密着性、硬度等の諸特性に優れた硬化膜を形成する。
なお、本発明の硬化性樹脂組成物が、光塩基発生剤を含む場合、露光後現像前に加熱することが好ましく、露光後現像前の加熱条件としては、例えば、60〜150℃で1〜60分加熱することが好ましい。
After forming a resin layer on the printed wiring board, it is selectively exposed to active energy rays through a photomask having a predetermined pattern, and the unexposed portion is exposed to a dilute alkaline aqueous solution (for example, 0.3 to 3 mass% sodium carbonate aqueous solution). ) To form a pattern of the cured product. Further, the cured product is adhered by irradiating the cured product with active energy rays and then heat-curing (for example, 100 to 220 ° C.), or by irradiating the cured product with active energy rays after heat curing, or by performing final finish curing (main curing) only by heat curing. It forms a cured film with excellent properties such as properties and hardness.
When the curable resin composition of the present invention contains a photobase generator, it is preferable to heat it after exposure and before development, and the heating conditions after exposure and before development are, for example, 1 to 1 at 60 to 150 ° C. It is preferable to heat for 60 minutes.

上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、350〜450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のランプ光源またはレーザー光源としては、最大波長が350〜450nmの範囲にあるものでよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には10〜1000mJ/cm、好ましくは20〜800mJ/cmの範囲内とすることができる。 The exposure machine used for the above-mentioned active energy ray irradiation may be a device equipped with a high-pressure mercury lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a mercury short arc lamp, etc., and irradiates ultraviolet rays in the range of 350 to 450 nm. Further, a direct drawing device (for example, a laser direct imaging device that directly draws an image with a laser based on CAD data from a computer) can also be used. The lamp light source or the laser light source of the direct drawing machine may have a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. The amount of exposure for image formation varies depending on the film thickness and the like, but is generally 10 to 1000 mJ / cm 2 , preferably 20 to 800 mJ / cm 2 .

上記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液が使用できる。 The development method can be a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, or the like, and the developers include potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, and the like. An alkaline aqueous solution such as ammonia or amines can be used.

本発明の硬化性樹脂組成物は、プリント配線板上に硬化膜を形成するために好適に使用され、より好適には、永久被膜を形成するために使用され、さらに好適には、ソルダーレジスト、層間絶縁層、カバーレイを形成するために使用される。また、本発明の硬化性樹脂組成物によれば、クラック耐性および絶縁信頼性に優れた硬化物を得ることができることから、高度な信頼性が求められるファインピッチの配線パターンを備えるプリント配線板、例えばパッケージ基板、特にFC−BGA用の永久被膜(特にソルダーレジスト)の形成に好適に用いることができる。 The curable resin composition of the present invention is suitably used for forming a cured film on a printed wiring board, more preferably used for forming a permanent film, and more preferably a solder resist. Used to form an interlayer insulating layer and a coverlay. Further, according to the curable resin composition of the present invention, a cured product having excellent crack resistance and insulation reliability can be obtained. Therefore, a printed wiring board having a fine pitch wiring pattern that requires high reliability. For example, it can be suitably used for forming a permanent coating (particularly a solder resist) for a package substrate, particularly FC-BGA.

以下、本発明を、実施例を用いてより詳細に説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。なお、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。
表1〜3に示す各成分を表1〜3に示す割合で配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練して実施例1〜20、比較例1〜5の硬化性樹脂組成物を調製した。得られた硬化性組成物について諸特性を評価し、その結果を表1〜3に併記した。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples. In the following, "part" and "%" are all based on mass unless otherwise specified.
The curable resins of Examples 1 to 20 and Comparative Examples 1 to 5 are blended in the ratios shown in Tables 1 to 3 and premixed with a stirrer and then kneaded with a three-roll mill. The composition was prepared. Various properties of the obtained curable composition were evaluated, and the results are also shown in Tables 1 to 3.

Figure 0006987011
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表1〜3におけるアルカリ現像性樹脂は、次のようにして調製した。
[(A−1) アルカリ現像性樹脂の合成]
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置および撹拌装置を備えたオートクレーブに、ノボラック型クレゾール樹脂(昭和電工社製ショウノールCRG951、OH当量:119.4)119.4部、水酸化カリウム1.19部およびトルエン119.4部を導入し、撹拌しつつ系内を窒素置換し、加熱昇温した。次に、プロピレンオキシド63.8部を徐々に滴下し、125〜132℃、0〜4.8kg/cmで16時間反応させた。その後、室温まで冷却し、この反応溶液に89%リン酸1.56部を添加混合して水酸化カリウムを中和し、不揮発分62.1%、水酸基価が182.2mgKOH/g(307.9g/eq.)であるノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りプロピレンオキシドが平均1.08モル付加したものであった。
得られたノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液293.0部、アクリル酸43.2部、メタンスルホン酸11.53部、メチルハイドロキノン0.18部およびトルエン252.9部を、撹拌機、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に導入し、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、110℃で12時間反応させた。反応により生成した水は、トルエンとの共沸混合物として、12.6部の水が留出した。その後、室温まで冷却し、得られた反応溶液を15%水酸化ナトリウム水溶液35.35部で中和し、次いで水洗した。その後、エバポレーターにてトルエンをジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート118.1部で置換しつつ留去し、ノボラック型アクリレート樹脂溶液を得た。次に、得られたノボラック型アクリレート樹脂溶液332.5部およびトリフェニルホスフィン1.22部を、撹拌器、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に導入し、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、テトラヒドロフタル酸無水物60.8部を徐々に加え、95〜101℃で6時間反応させ、冷却後、取り出した。このようにして、固形分65%、固形分の酸価87.7mgKOH/gの感光性のカルボキシル基含有樹脂A−1の溶液を得た。以下、このカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液を樹脂溶液A−1と称す。
The alkaline developable resins in Tables 1 to 3 were prepared as follows.
[(A-1) Synthesis of alkaline developable resin]
In an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introduction device and an alkylene oxide introduction device, and a stirring device, 119.4 parts of a novolak type cresol resin (Shonol CRG951, OH equivalent: 119.4 manufactured by Showa Denko Co., Ltd.), potassium hydroxide 1. 19 parts and 119.4 parts of toluene were introduced, the inside of the system was replaced with nitrogen while stirring, and the temperature was raised by heating. Next, 63.8 parts of propylene oxide was gradually added dropwise, and the mixture was reacted at 125-132 ° C. and 0 to 4.8 kg / cm 2 for 16 hours. Then, the mixture was cooled to room temperature, 1.56 parts of 89% phosphoric acid was added to and mixed with this reaction solution to neutralize potassium hydroxide, the non-volatile content was 62.1%, and the hydroxyl value was 182.2 mgKOH / g (307. A propylene oxide reaction solution of novolak-type cresol resin at 9 g / eq.) Was obtained. This had an average of 1.08 mol of propylene oxide added per equivalent amount of phenolic hydroxyl group.
293.0 parts of propylene oxide reaction solution of the obtained novolak type cresol resin, 43.2 parts of acrylic acid, 11.53 parts of methanesulfonic acid, 0.18 parts of methylhydroquinone and 252.9 parts of toluene were mixed with a stirrer and temperature. It was introduced into a reactor equipped with a meter and an air blow tube, and air was blown at a rate of 10 ml / min and reacted at 110 ° C. for 12 hours with stirring. As for the water produced by the reaction, 12.6 parts of water was distilled off as an azeotropic mixture with toluene. Then, the mixture was cooled to room temperature, the obtained reaction solution was neutralized with 35.35 parts of a 15% aqueous sodium hydroxide solution, and then washed with water. Then, toluene was distilled off while substituting 118.1 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate with an evaporator to obtain a novolak type acrylate resin solution. Next, 332.5 parts of the obtained novolak type acrylate resin solution and 1.22 parts of triphenylphosphine were introduced into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer and an air blow tube, and air was introduced at a rate of 10 ml / min. With stirring, 60.8 parts of tetrahydrophthalic anhydride was gradually added, reacted at 95 to 101 ° C. for 6 hours, cooled, and then taken out. In this way, a solution of the photosensitive carboxyl group-containing resin A-1 having a solid content of 65% and an acid value of 87.7 mgKOH / g as a solid content was obtained. Hereinafter, this solution of the carboxyl group-containing photosensitive resin is referred to as a resin solution A-1.

[(A−2) アルカリ現像性樹脂の合成]
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート600gにオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC社製EPICLON N−695、軟化点95℃、エポキシ当量214、平均官能基数7.6)1070g(グリシジル基数(芳香環総数):5.0モル)、アクリル酸360g(5.0モル)、およびハイドロキノン1.5gを仕込み、100℃に加熱攪拌し、均一溶解した。
次いで、トリフェニルホスフィン4.3gを仕込み、110℃に加熱して2時間反応後、120℃に昇温してさらに12時間反応を行った。得られた反応液に、芳香族系炭化水素(ソルベッソ150)415g、テトラヒドロ無水フタル酸456.0g(3.0モル)を仕込み、110℃で4時間反応を行い、冷却し、感光性のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。このようにして得られた樹脂溶液の固形分は65%、固形分の酸価は89mgKOH/gであった。以下、このカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液を樹脂溶液A−2と称す。
[(A-2) Synthesis of alkaline developable resin]
Diethylene glycol monoethyl ether acetate 600 g and orthocresol novolac type epoxy resin (EPICLON N-695 manufactured by DIC, softening point 95 ° C., epoxy equivalent 214, average number of functional groups 7.6) 1070 g (number of glycidyl groups (total number of aromatic rings): 5. 0 mol), 360 g (5.0 mol) of acrylic acid, and 1.5 g of hydroquinone were charged, heated and stirred at 100 ° C., and uniformly dissolved.
Then, 4.3 g of triphenylphosphine was charged, heated to 110 ° C. for 2 hours, then heated to 120 ° C. and further reacted for 12 hours. To the obtained reaction solution, 415 g of aromatic hydrocarbon (Solbesso 150) and 456.0 g (3.0 mol) of tetrahydrophthalic anhydride were charged, reacted at 110 ° C. for 4 hours, cooled, and subjected to photosensitive carboxyl. A group-containing resin solution was obtained. The solid content of the resin solution thus obtained was 65%, and the acid value of the solid content was 89 mgKOH / g. Hereinafter, this solution of the carboxyl group-containing photosensitive resin is referred to as a resin solution A-2.

[(A−3) アルカリ現像性樹脂の合成]
温度計、撹拌機、滴下ロート、および還流冷却器を備えたフラスコに、溶媒としてジプロピレングリコールモノメチルエーテル325.0部を110℃まで加熱し、メタクリル酸174.0部、ε−カプロラクトン変性メタクリル酸(平均分子量314)174.0部、メタクリル酸メチル77.0部、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル222.0部、および重合触媒としてt−ブチルパーオキシ2−エチルヘキサノエート(日油社製パーブチルO)12.0部の混合物を、3時間かけて滴下し、さらに110℃で3時間攪拌し、重合触媒を失活させて、樹脂溶液を得た。
この樹脂溶液を冷却後、ダイセル化学工業社製サイクロマーA200を289.0部、トリフェニルホスフィン3.0部、ハイドロキノンモノメチルエーテル1.3部を加え、100℃に昇温し、攪拌することによってエポキシ基の開環付加反応を行い、感光性のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。
このようにして得られた樹脂溶液は、重量平均分子量(Mw)が15,000で、かつ、固形分が57%、固形物の酸価が79.8mgKOH/gであった。以下、このカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液を樹脂溶液A−3と称す。
[(A-3) Synthesis of alkaline developable resin]
In a flask equipped with a thermometer, agitator, a dropping funnel, and a reflux cooler, 325.0 parts of dipropylene glycol monomethyl ether as a solvent was heated to 110 ° C., 174.0 parts of methacrylic acid, ε-caprolactone-modified methacrylic acid. (Average molecular weight 314) 174.0 parts, 77.0 parts of methyl methacrylate, 222.0 parts of dipropylene glycol monomethyl ether, and t-butylperoxy2-ethylhexanoate as a polymerization catalyst (Perbutyl O manufactured by Nichiyu Co., Ltd.) ) 12.0 parts of the mixture was added dropwise over 3 hours, and the mixture was further stirred at 110 ° C. for 3 hours to inactivate the polymerization catalyst to obtain a resin solution.
After cooling this resin solution, 289.0 parts of Cyclomer A200 manufactured by Daicel Chemical Industry Co., Ltd., 3.0 parts of triphenylphosphine and 1.3 parts of hydroquinone monomethyl ether are added, the temperature is raised to 100 ° C., and the mixture is stirred. A ring-opening addition reaction of an epoxy group was carried out to obtain a photosensitive carboxyl group-containing resin solution.
The resin solution thus obtained had a weight average molecular weight (Mw) of 15,000, a solid content of 57%, and an acid value of the solid material of 79.8 mgKOH / g. Hereinafter, this solution of the carboxyl group-containing photosensitive resin is referred to as a resin solution A-3.

表1〜3において、光重合開始剤は、次のものである。
(B−1.1):IGM Resins社製Omnirad(オムニラッド)TPO(2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド)
(B−1、B‐2.1):IGM Resins社製Omnirad(オムニラッド)907(2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン)
(B−1、B‐2.1):BASFジャパン社製イルガキュアOXE02(エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(o−アセチルオキシム)
(B−2.1):和光純薬社製WPBG−082(グアニジウム2−(3−ベンゾイルフェニル)プロピオネート)
In Tables 1 to 3, the photopolymerization initiators are as follows.
(B-1.1): Omnirad TPO (2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphinoxide) manufactured by IGM Resins.
(B-1, B-2.1): Omnirad 907 (2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropane-1-one) manufactured by IGM Resins.
(B-1, B-2.1): Irgacure OXE02 (Etanon, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl] -1- (o) manufactured by BASF Japan Ltd. -Acetyl oxime)
(B-2.1): WPBG-082 (guanidium 2- (3-benzoylphenyl) propionate) manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.

表1〜3において、本発明の(C)特定構造式を有するエポキシ樹脂である特殊エポキシ樹脂は、次のものである。
(C−1):下記の骨格を有するエポキシ樹脂(エポキシ当量210)

Figure 0006987011
(C−2):上記の骨格を有するエポキシ樹脂(エポキシ当量232) In Tables 1 to 3, the special epoxy resin which is the epoxy resin having the specific structural formula (C) of the present invention is as follows.
(C-1): Epoxy resin having the following skeleton (epoxy equivalent 210)
Figure 0006987011
(C-2): Epoxy resin having the above skeleton (epoxy equivalent 232)

また表1〜3の硬化樹脂組成物は、上記(C)特定構造式を含むエポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂として次のエポキシ樹脂(C−3)〜(C−6)を含むことがある。
(C−3)下記骨格を有する脂環式エポキシ樹脂(エポキシ当量96)

Figure 0006987011
(C−4)ダウケミカル社製DEN431(フェノールノボラックエポキシ樹脂)
(C−5)DIC社製N−870 75EA(ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂)
(C−6)DIC社製HP−7241(トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂) Further, the cured resin compositions in Tables 1 to 3 may contain the following epoxy resins (C-3) to (C-6) as epoxy resins other than the epoxy resin containing the above-mentioned specific structural formula (C).
(C-3) Alicyclic epoxy resin having the following skeleton (epoxy equivalent 96)
Figure 0006987011
(C-4) DEN431 (phenol novolac epoxy resin) manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.
(C-5) N-870 75EA manufactured by DIC (bisphenol A novolak type epoxy resin)
(C-6) HP-7241 (trisphenol methane type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation.

[(D−1.1) 無機処理→メタクリルシラン処理シリカスラリーの調整]
球状シリカ粒子(アドマテックス社製SO−C2、平均粒径:500nm)50gの水スラリーを70℃に昇温後、10%ケイ酸ナトリウム水溶液をシリカ粒子に対して、シリカ粒子換算で1%添加した。このスラリ−に塩酸を加えてpHを4とし、30分間熟成し、さらに、塩酸によりpHを7±1に維持しながら、20%アルミン酸ナトリウム(NaAlO)水溶液をシリカ粒子に対してアルミナ(Al)換算で5%添加した。この後、20%水酸化ナトリウム水浴液を加え、pHを7に調整し、30分間熟成した。この後、スラリーをフィルタープレスにてろ過水洗し、真空乾燥し、ケイ素の水和酸化物およびアルミニウムの水和酸化物で被覆されたシリカ粒子の固形物を得た。上記と同様にして得られたケイ素の水和酸化物で被覆されたシリカ粒子50gと、溶剤としてPMA48gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM−503)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-1.1) Inorganic treatment → Preparation of methacrylic acid treated silica slurry]
After raising the temperature of a water slurry of 50 g of spherical silica particles (SO-C2 manufactured by Admatex, average particle size: 500 nm) to 70 ° C., 1% of a 10% sodium silicate aqueous solution is added to the silica particles in terms of silica particles. did. Hydrochloric acid was added to this slurry to adjust the pH to 4, and the mixture was aged for 30 minutes. Further, while maintaining the pH at 7 ± 1 with hydrochloric acid, a 20% aqueous solution of sodium aluminate (NaAlO 2 ) was added to the silica particles with alumina (alumina (NaAlO 2). Al 2 O 3 ) 5% was added in terms of conversion. After that, a 20% sodium hydroxide water bath was added, the pH was adjusted to 7, and the mixture was aged for 30 minutes. Then, the slurry was filtered and washed with water using a filter press and vacuum dried to obtain solid silica particles coated with a hydrated oxide of silicon and a hydrated oxide of aluminum. 50 g of silica particles coated with a hydrated oxide of silicon obtained in the same manner as above, 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having a methacrylic group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) are uniformly mixed. A dispersed silica solvent-dispersed product was obtained.

[(D−1.2) 無機処理→メタクリルシラン処理硫酸バリウムスラリーの調整]
硫酸バリウム粒子(堺化学工業社製沈降性バリウム100)50gの水スラリーを70℃に昇温後、10%ケイ酸ナトリウム水溶液をシリカ粒子に対して、シリカ粒子換算で1%添加した。このスラリ−に塩酸を加えてpHを4とし、30分間熟成し、さらに、塩酸によりpHを7±1に維持しながら、20%アルミン酸ナトリウム(NaAlO)水溶液をシリカ粒子に対してアルミナ(Al)換算で5%添加した。この後、20%水酸化ナトリウム水浴液を加え、pHを7に調整し、30分間熟成した。この後、スラリーをフィルタープレスにてろ過水洗し、真空乾燥し、ケイ素の水和酸化物およびアルミニウムの水和酸化物で被覆された硫酸バリウム粒子の固形物を得た。上記と同様にして得られたケイ素の水和酸化物で被覆された硫酸バリウム粒子50gと、溶剤としてPMA48gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM−503)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-1.2) Inorganic treatment → Preparation of barium sulfate slurry treated with methacrylic silane]
A water slurry of 50 g of barium sulfate particles (precipitating barium 100 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.) was heated to 70 ° C., and then a 10% sodium silicate aqueous solution was added to the silica particles in an amount of 1% in terms of silica particles. Hydrochloric acid was added to this slurry to adjust the pH to 4, and the mixture was aged for 30 minutes. Further, while maintaining the pH at 7 ± 1 with hydrochloric acid, a 20% aqueous solution of sodium aluminate (NaAlO 2 ) was added to the silica particles with alumina (alumina (NaAlO 2). Al 2 O 3 ) 5% was added in terms of conversion. After that, a 20% sodium hydroxide water bath was added, the pH was adjusted to 7, and the mixture was aged for 30 minutes. Then, the slurry was filtered and washed with water using a filter press and vacuum dried to obtain a solid substance of barium sulfate particles coated with a hydrated oxide of silicon and a hydrated oxide of aluminum. 50 g of barium sulfate particles coated with a hydrated oxide of silicon obtained in the same manner as above, 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having a methacrylic group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) were added. A uniformly dispersed silica solvent-dispersed product was obtained.

[(D−1.3)メタクリルシラン処理シリカスラリーの調整]
球状シリカ粒子(アドマテックス社製SO−C2、平均粒径:500nm)50gと、溶剤としてPMA48gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM−503)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-1.3) Preparation of methacrylic silane treated silica slurry]
50 g of spherical silica particles (SO-C2 manufactured by Admatex, average particle size: 500 nm), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having a methacrylic group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) are uniformly dispersed. A silica solvent-dispersed product was obtained.

[(D−1.4)アクリルシラン処理シリカスラリーの調整]
球状シリカ粒子(アドマテックス社製SO−C2、平均粒径:500nm)50gと、溶剤としてPMA48gと、アクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM−5103)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-1.4) Preparation of Acrylic Silane Treated Silica Slurry]
50 g of spherical silica particles (SO-C2 manufactured by Admatex, average particle size: 500 nm), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having an acrylic group (KBM-5103 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) are uniformly dispersed. A silica solvent-dispersed product was obtained.

[(D−1.5)ビニルシラン処理シリカスラリーの調整]
球状シリカ粒子(アドマテックス社製SO−C2、平均粒径:500nm)50gと、溶剤としてPMA48gと、ビニル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM−1003)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-1.5) Preparation of Vinylsilane Treated Silica Slurry]
50 g of spherical silica particles (SO-C2 manufactured by Admatex, average particle size: 500 nm), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having a vinyl group (KBM-1003 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) are uniformly dispersed. A silica solvent-dispersed product was obtained.

[(D−1.6) 無機処理→メタクリルシラン処理シリカスラリーの調整]
球状シリカ粒子(デンカ社製SFP−20M、平均粒径:400nm)50gの水スラリーを70℃に昇温後、10%ケイ酸ナトリウム水溶液をシリカ粒子に対して、シリカ粒子換算で1%添加した。このスラリ−に塩酸を加えてpHを4とし、30分間熟成し、さらに、塩酸によりpHを7±1に維持しながら、20%アルミン酸ナトリウム(NaAlO)水溶液をシリカ粒子に対してアルミナ(Al)換算で5%添加した。この後、20%水酸化ナトリウム水浴液を加え、pHを7に調整し、30分間熟成した。この後、スラリーをフィルタープレスにてろ過水洗し、真空乾燥し、ケイ素の水和酸化物およびアルミニウムの水和酸化物で被覆されたシリカ粒子の固形物を得た。上記と同様にして得られたケイ素の水和酸化物で被覆されたシリカ粒子50gと、溶剤としてPMA48gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM−503)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-1.6) Inorganic treatment → Preparation of methacrylic acid treated silica slurry]
A water slurry of 50 g of spherical silica particles (SFP-20M manufactured by Denka Co., Ltd., average particle size: 400 nm) was heated to 70 ° C., and then 1% of a 10% sodium silicate aqueous solution was added to the silica particles in terms of silica particles. .. Hydrochloric acid was added to this slurry to adjust the pH to 4, and the mixture was aged for 30 minutes. Further, while maintaining the pH at 7 ± 1 with hydrochloric acid, a 20% aqueous solution of sodium aluminate (NaAlO 2 ) was added to the silica particles with alumina (alumina (NaAlO 2). Al 2 O 3 ) 5% was added in terms of conversion. After that, a 20% sodium hydroxide water bath was added, the pH was adjusted to 7, and the mixture was aged for 30 minutes. Then, the slurry was filtered and washed with water using a filter press and vacuum dried to obtain solid silica particles coated with a hydrated oxide of silicon and a hydrated oxide of aluminum. 50 g of silica particles coated with a hydrated oxide of silicon obtained in the same manner as above, 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having a methacrylic group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) are uniformly mixed. A dispersed silica solvent-dispersed product was obtained.

[(D−2.1) 無機処理→エポキシシラン処理シリカスラリーの調整]
球状シリカ粒子(アドマテックス社製SO−C2、平均粒径:500nm)50gの水スラリーを70℃に昇温後、10%ケイ酸ナトリウム水溶液をシリカ粒子に対して、シリカ粒子換算で1%添加した。このスラリ−に塩酸を加えてpHを4とし、30分間熟成し、さらに、塩酸によりpHを7±1に維持しながら、20%アルミン酸ナトリウム(NaAlO)水溶液をシリカ粒子に対してアルミナ(Al)換算で5%添加した。この後、20%水酸化ナトリウム水浴液を加え、pHを7に調整し、30分間熟成した。この後、スラリーをフィルタープレスにてろ過水洗し、真空乾燥し、ケイ素の水和酸化物およびアルミニウムの水和酸化物で被覆されたシリカ粒子の固形物を得た。上記と同様にして得られたケイ素の水和酸化物で被覆されたシリカ粒子50gと、溶剤としてPMA48gと、エポキシ基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM−403)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-2.1) Inorganic treatment → Preparation of epoxy silane treated silica slurry]
After raising the temperature of a water slurry of 50 g of spherical silica particles (SO-C2 manufactured by Admatex, average particle size: 500 nm) to 70 ° C., 1% of a 10% sodium silicate aqueous solution is added to the silica particles in terms of silica particles. did. Hydrochloric acid was added to this slurry to adjust the pH to 4, and the mixture was aged for 30 minutes. Further, while maintaining the pH at 7 ± 1 with hydrochloric acid, a 20% aqueous solution of sodium aluminate (NaAlO 2 ) was added to the silica particles with alumina (alumina (NaAlO 2). Al 2 O 3 ) 5% was added in terms of conversion. After that, a 20% sodium hydroxide water bath was added, the pH was adjusted to 7, and the mixture was aged for 30 minutes. Then, the slurry was filtered and washed with water using a filter press and vacuum dried to obtain solid silica particles coated with a hydrated oxide of silicon and a hydrated oxide of aluminum. 50 g of silica particles coated with a hydrated oxide of silicon obtained in the same manner as above, 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having an epoxy group (KBM-403 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) are uniformly mixed. A dispersed silica solvent-dispersed product was obtained.

[(D−2.2) 無機処理→エポキシシラン処理硫酸バリウムスラリーの調整]
硫酸バリウム粒子(堺化学工業社製沈降性バリウム100)50gの水スラリーを70℃に昇温後、10%ケイ酸ナトリウム水溶液をシリカ粒子に対して、シリカ粒子換算で1%添加した。このスラリ−に塩酸を加えてpHを4とし、30分間熟成し、さらに、塩酸によりpHを7±1に維持しながら、20%アルミン酸ナトリウム(NaAlO)水溶液をシリカ粒子に対してアルミナ(Al)換算で5%添加した。この後、20%水酸化ナトリウム水浴液を加え、pHを7に調整し、30分間熟成した。この後、スラリーをフィルタープレスにてろ過水洗し、真空乾燥し、ケイ素の水和酸化物およびアルミニウムの水和酸化物で被覆された硫酸バリウム粒子の固形物を得た。上記と同様にして得られたケイ素の水和酸化物で被覆された硫酸バリウム粒子50gと、溶剤としてPMA48gと、エポキシ基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM−403)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-2.2) Inorganic treatment → Preparation of barium sulfate slurry treated with epoxy silane]
A water slurry of 50 g of barium sulfate particles (precipitating barium 100 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.) was heated to 70 ° C., and then a 10% sodium silicate aqueous solution was added to the silica particles in an amount of 1% in terms of silica particles. Hydrochloric acid was added to this slurry to adjust the pH to 4, and the mixture was aged for 30 minutes. Further, while maintaining the pH at 7 ± 1 with hydrochloric acid, a 20% aqueous solution of sodium aluminate (NaAlO 2 ) was added to the silica particles with alumina (alumina (NaAlO 2). Al 2 O 3 ) 5% was added in terms of conversion. After that, a 20% sodium hydroxide water bath was added, the pH was adjusted to 7, and the mixture was aged for 30 minutes. Then, the slurry was filtered and washed with water using a filter press and vacuum dried to obtain a solid substance of barium sulfate particles coated with a hydrated oxide of silicon and a hydrated oxide of aluminum. 50 g of barium sulfate particles coated with a hydrated oxide of silicon obtained in the same manner as above, 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having an epoxy group (KBM-403 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) were added. A uniformly dispersed silica solvent-dispersed product was obtained.

[(D−2.3)エポキシシラン処理シリカスラリーの調整]
球状シリカ粒子(アドマテックス社製SO−C2、平均粒径:500nm)50gと、溶剤としてPMA48gと、エポキシ基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM−403)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-2.3) Preparation of Epoxy Silane Treated Silica Slurry]
50 g of spherical silica particles (SO-C2 manufactured by Admatex, average particle size: 500 nm), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having an epoxy group (KBM-403 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) are uniformly dispersed. A silica solvent-dispersed product was obtained.

[(D−2.4)アミノ処理シリカスラリーの調整]
球状シリカ粒子(アドマテックス社製SO−C2、平均粒径:500nm)50gと、溶剤としてPMA48gと、アクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM−573)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-2.4) Preparation of amino-treated silica slurry]
50 g of spherical silica particles (SO-C2 manufactured by Admatex, average particle size: 500 nm), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having an acrylic group (KBM-573 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) are uniformly dispersed. A silica solvent-dispersed product was obtained.

[(D−3)シリカスラリーの調整]
球状シリカ粒子(アドマテックス社製SO−C2、平均粒径:500nm)50gと、溶剤としてPMA48gと、分散剤(BYK−111)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-3) Preparation of silica slurry]
A silica solvent-dispersed product was obtained in which 50 g of spherical silica particles (SO-C2 manufactured by Admatex, average particle size: 500 nm), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a dispersant (BYK-111) were uniformly dispersed.

[(D−4) 無機処理硫酸バリウムスラリーの調整]
硫酸バリウム粒子(堺化学工業社製沈降性バリウム100)50gの水スラリーを70℃に昇温後、10%ケイ酸ナトリウム水溶液をシリカ粒子に対して、シリカ粒子換算で1%添加した。このスラリ−に塩酸を加えてpHを4とし、30分間熟成し、さらに、塩酸によりpHを7±1に維持しながら、20%アルミン酸ナトリウム(NaAlO)水溶液をシリカ粒子に対してアルミナ(Al)換算で5%添加した。この後、20%水酸化ナトリウム水浴液を加え、pHを7に調整し、30分間熟成した。この後、スラリーをフィルタープレスにてろ過水洗し、真空乾燥し、ケイ素の水和酸化物およびアルミニウムの水和酸化物で被覆された硫酸バリウム粒子の固形物を得た。上記と同様にして得られたケイ素の水和酸化物で被覆された硫酸バリウム粒子50gと、溶剤としてPMA48gと、分散剤(BYK−111)2gとを均一分散させたシリカ溶剤分散品を得た。
[(D-4) Preparation of Inorganic Treated Barium Sulfate Slurry]
A water slurry of 50 g of barium sulfate particles (precipitating barium 100 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.) was heated to 70 ° C., and then a 10% sodium silicate aqueous solution was added to the silica particles in an amount of 1% in terms of silica particles. Hydrochloric acid was added to this slurry to adjust the pH to 4, and the mixture was aged for 30 minutes. Further, while maintaining the pH at 7 ± 1 with hydrochloric acid, a 20% aqueous solution of sodium aluminate (NaAlO 2 ) was added to the silica particles with alumina (alumina (NaAlO 2). Al 2 O 3 ) 5% was added in terms of conversion. After that, a 20% sodium hydroxide water bath was added, the pH was adjusted to 7, and the mixture was aged for 30 minutes. Then, the slurry was filtered and washed with water using a filter press and vacuum dried to obtain a solid substance of barium sulfate particles coated with a hydrated oxide of silicon and a hydrated oxide of aluminum. A silica solvent-dispersed product obtained by uniformly dispersing 50 g of barium sulfate particles coated with a hydrated oxide of silicon obtained in the same manner as above, 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a dispersant (BYK-111) was obtained. ..

[(D−5)硫酸バリウムスラリーの調整]
硫酸バリウム粒子(堺化学工業社製沈降性バリウム100)50gと、溶剤としてPMA48gと、分散剤(BYK−111)2gとを均一分散させた硫酸バリウム溶剤分散品を得た。
[(D-5) Preparation of barium sulfate slurry]
A barium sulfate solvent-dispersed product was obtained in which 50 g of barium sulfate particles (precipitating barium 100 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a dispersant (BYK-111) were uniformly dispersed.

また表1〜3の硬化樹脂組成物は、以下の成分を含むことがある。
・日本化薬社製DPHA(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)
・日弘ビックス社製CZ−601D(青色着色剤)
・日弘ビックス社製CZ−309D(黄色着色剤)
・DICY(ジシアンジアミド)
Further, the cured resin compositions shown in Tables 1 to 3 may contain the following components.
・ DPHA (dipentaerythritol hexaacrylate) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
・ CZ-601D (blue colorant) manufactured by Nikko Bics Co., Ltd.
・ CZ-309D (yellow colorant) manufactured by Nikko Bics Co., Ltd.
・ DICY (dicyandiamide)

(ドライフィルムの作製)
表1〜3に示す各実施例、各比較例の硬化性樹脂組成物は、それぞれ実施例、比較例ごとに硬化性樹脂組成物を、ダイコーターを用いてPET上に10m/minで60〜120℃の乾燥炉を通過させ、溶剤を揮発させることによりドライフィルムを得た。
(Making a dry film)
The curable resin compositions of Examples and Comparative Examples shown in Tables 1 to 3 are such that the curable resin composition of each Example and Comparative Example is placed on PET at 10 m / min using a die coater from 60 to 60. A dry film was obtained by passing it through a drying oven at 120 ° C. and volatilizing the solvent.

(標準評価基板の作製)
上記の方法で得られたドライフィルムを真空ラミネーターCVP−300(ニッコーマテリアルズ社製)を用いて試験基板にラミネートし、感光性樹脂組成物の積層体を得た。この積層体にDXP−3580(ORC社製、超高圧水銀灯DI露光機)を用いてStouffer41段ステップタブレットで10段の硬化段数になるよう評価項目にあわせてパターン露光を実施した。露光後10分後にPETフィルムを剥離させ、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液でブレイクポイント(最短現像時間)の2倍の現像時間で現像を行った。その後UVコンベア(ORC社製、メタルハライドランプ)で積算露光量2000mJ/cmで露光、熱循環式Box炉で170℃60分硬化させることにより評価基板を得た。
(Preparation of standard evaluation board)
The dry film obtained by the above method was laminated on a test substrate using a vacuum laminator CVP-300 (manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.) to obtain a laminate of a photosensitive resin composition. A DXP-3580 (Ultra High Pressure Mercury Lamp DI Exposure Machine manufactured by ORC) was used on this laminate, and pattern exposure was performed according to the evaluation items so that the number of curing stages was 10 with a Stoffer 41-stage step tablet. Ten minutes after the exposure, the PET film was peeled off, and development was carried out with a 1% by mass sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. for a development time twice the breakpoint (shortest development time). Then, an evaluation substrate was obtained by exposing with a UV conveyor (made by ORC, metal halide lamp) at an integrated exposure amount of 2000 mJ / cm 2 and curing at 170 ° C. for 60 minutes in a heat circulation type Box furnace.

<ガラス転移温度Tg>
銅箔基板上に、各硬化性樹脂組成物が膜厚約40μmになるように形成し、50mm×3mmの短冊状のパターンで露光を行った。その後、上記標準評価基板の作製と同じ条件で現像、硬化を実施した。
上記により得られた評価基板の硬化被膜を銅箔より剥離し、評価を実施した。測定は、TMA測定装置 (島津製作所社製 機種名:TMA6000)を用いて行い、Tgの評価を行った。評価基準は以下の通りである。
◎…180℃以上
○…170℃以上180未満
△…160℃以上170未満
×…160℃未満
<Glass transition temperature Tg>
Each curable resin composition was formed on a copper foil substrate so as to have a film thickness of about 40 μm, and was exposed in a strip-shaped pattern of 50 mm × 3 mm. Then, development and curing were carried out under the same conditions as those for producing the standard evaluation substrate.
The cured film of the evaluation substrate obtained as described above was peeled off from the copper foil, and evaluation was carried out. The measurement was performed using a TMA measuring device (model name: TMA6000 manufactured by Shimadzu Corporation), and Tg was evaluated. The evaluation criteria are as follows.
◎… 180 ℃ or more ○… 170 ℃ or more and less than 180 △ …… 160 ℃ or more and less than 170 × …… less than 160 ℃

<強靭性評価(樹脂層を備える銅箔基板の作製)>
銅箔基板上に、硬化性樹脂組成物が膜厚約40μmになるように形成し、80mm×10mmの短冊状のパターンで露光を行った。その後、上記標準評価基板の作製と同じ条件で現像、硬化を実施した。
上記により得られた評価基板の硬化被膜を銅箔より剥離し、評価を実施した。測定は、引張試験機(島津製作所社製 機種名:AGS-G 100N)を用いて行い、最大点応力または破断点伸び率について評価を行った。評価基準は以下の通りである。
◎…最大点応力80MPa以上、または破断点伸び率6%以上
○…最大点応力70MPa以上80MPa未満、または破断点伸び率4%以上6%未満
△…最大点応力50MPa以上70MPa未満、破断点伸び率2%以上4%未満
×…最大点応力50MPa未満、または破断点伸び率2%未満
<Evaluation of toughness (manufacturing of copper foil substrate with resin layer)>
A curable resin composition was formed on a copper foil substrate so as to have a film thickness of about 40 μm, and was exposed in a strip-shaped pattern of 80 mm × 10 mm. Then, development and curing were carried out under the same conditions as those for producing the standard evaluation substrate.
The cured film of the evaluation substrate obtained as described above was peeled off from the copper foil, and evaluation was carried out. The measurement was performed using a tensile tester (model name: AGS-G 100N manufactured by Shimadzu Corporation), and the maximum point stress or the elongation at break was evaluated. The evaluation criteria are as follows.
◎… Maximum point stress 80 MPa or more, or breaking point elongation 6% or more ○… Maximum point stress 70 MPa or more and less than 80 MPa, or breaking point elongation 4% or more and less than 6% Δ… Maximum point stress 50 MPa or more and less than 70 MPa, breaking point elongation Rate 2% or more and less than 4% ×… Maximum point stress less than 50 MPa or breaking point elongation rate less than 2%

<反り>
CZ−8101Bでエッチングレート1.0μm/mの条件で処理された35μm銅箔基板上に、各硬化性樹脂組成物を膜厚約20μmになるように形成し、全面露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。
上記により得られた評価基板の硬化被膜を50mm×50mmに切り出し、硬化被膜面を下に向け水平な台に静置した。静置後、水平な台からCu箔までの距離を測定し反り量を測定した。
◎…10mm未満
○…10mm以上、15mm未満
△…15mm以上、20mm未満
×…20mm未満
<Warp>
Each curable resin composition was formed on a 35 μm copper foil substrate treated with CZ-8101B under the condition of an etching rate of 1.0 μm / m 2 so as to have a film thickness of about 20 μm, and the entire surface was exposed. After that, development and curing were carried out under the predetermined conditions.
The cured film of the evaluation substrate obtained as described above was cut out to a size of 50 mm × 50 mm and placed on a horizontal table with the cured film surface facing down. After standing still, the distance from the horizontal table to the Cu foil was measured and the amount of warpage was measured.
◎… Less than 10 mm ○… 10 mm or more, less than 15 mm △… 15 mm or more, less than 20 mm ×… Less than 20 mm

<Low−Profile密着性―初期密着>
CZ−8201Bでエッチングレート0.5μm/mの条件で処理された銅箔に硬化性樹脂組成物を膜厚約20μmになるように形成し、全面露光を行った。その後、既定の上記標準評価基板の作製と同じ条件で現像、硬化を実施した。その後、熱硬化性接着剤アラルダイト(ニチバン社製)を硬化性樹脂組成物表面に形成し、FR−4基材に接着させ80℃6h硬化させた。その後、評価基板を20mm間隔で裁断し、Cu箔幅が10mm幅になるよう両サイドを剥離させ、評価短冊を作製した。この評価短冊を引張試験機(島津製作所社製 機種名:AGS-G 100N)を用いて90°ピール試験を行い、密着性の評価を行った。評価基準は以下の通りである。
◎:6.0N/cm以上
○:5.0以上6.0N/cm未満
△:4.0以上5.0N/cm未満
×:4.0N/cm未満
<Low-Profile Adhesion-Initial Adhesion>
A curable resin composition was formed on a copper foil treated with CZ-8201B under a condition of an etching rate of 0.5 μm / m 2 so as to have a film thickness of about 20 μm, and the entire surface was exposed. Then, development and curing were carried out under the same conditions as those for producing the above-mentioned standard evaluation substrate. Then, a thermosetting adhesive Araldite (manufactured by Nichiban Co., Ltd.) was formed on the surface of the curable resin composition, adhered to a FR-4 substrate, and cured at 80 ° C. for 6 hours. Then, the evaluation substrate was cut at intervals of 20 mm, and both sides were peeled off so that the Cu foil width became 10 mm width to prepare an evaluation strip. This evaluation strip was subjected to a 90 ° peel test using a tensile tester (model name: AGS-G 100N manufactured by Shimadzu Corporation) to evaluate the adhesion. The evaluation criteria are as follows.
⊚: 6.0 N / cm or more ○: 5.0 or more and less than 6.0 N / cm Δ: 4.0 or more and less than 5.0 N / cm ×: 4.0 N / cm or less

<Low−Profile密着性―HAST50h後密着>
CZ−8201Bでエッチングレート0.5μm/mの条件で処理された銅箔に硬化性樹脂組成物を膜厚約20μmになるように形成し、全面露光を行った。その後、上記標準評価基板の作製と同じ条件で現像、硬化を実施した。その後、熱硬化性接着剤アラルダイト(ニチバン社製)を硬化性樹脂組成物表面に形成し、FR−4基材に接着させ80℃6h硬化させた。その後、評価基板を20mm間隔で裁断し、Cu箔幅が10mm幅になるよう両サイドを剥離させ、評価短冊を作製した。この評価短冊を130℃、85%で50h処理し、引張試験機(島津製作所社製 機種名:AGS-G 100N)を用いて90°ピール試験を行い、密着性の評価を行った。評価基準は以下の通りである。
◎:5.0N/cm以上
○:4.0以上5.0N/cm未満
△:3.0以上4.0N/cm未満
×:3.0N/cm未満
<Low-Profile Adhesion-Adhesion after HAST50h>
A curable resin composition was formed on a copper foil treated with CZ-8201B under a condition of an etching rate of 0.5 μm / m 2 so as to have a film thickness of about 20 μm, and the entire surface was exposed. Then, development and curing were carried out under the same conditions as those for producing the standard evaluation substrate. Then, a thermosetting adhesive Araldite (manufactured by Nichiban Co., Ltd.) was formed on the surface of the curable resin composition, adhered to a FR-4 substrate, and cured at 80 ° C. for 6 hours. Then, the evaluation substrate was cut at intervals of 20 mm, and both sides were peeled off so that the Cu foil width became 10 mm width to prepare an evaluation strip. This evaluation strip was treated at 130 ° C. and 85% for 50 hours, and a 90 ° peel test was performed using a tensile tester (model name: AGS-G 100N manufactured by Shimadzu Corporation) to evaluate the adhesion. The evaluation criteria are as follows.
⊚: 5.0 N / cm or more ○: 4.0 or more and less than 5.0 N / cm Δ: 3.0 or more and less than 4.0 N / cm ×: less than 3.0 N / cm

<解像性評価>
CZ−8101Bでエッチングレート1.0μm/mの条件で処理されためっき銅基板に、硬化性樹脂組成物を膜厚約20μmになるように形成し、各種開口パターンで露光を行った。その後、上記標準評価基板の作製と同じ条件で現像、評価条件で硬化を実施した。
上記により得られた評価基板の開口径を観測し、ハレーション、アンダーカットの発生がない確認し評価を行った。
◎…60μmにて良好な開口径
○…70μmにて良好な開口径
△…80μmにて良好な開口径
×…80μmにて良好な開口径がえられない、または現像不可
<Resolution evaluation>
A curable resin composition was formed on a plated copper substrate treated with CZ-8101B under a condition of an etching rate of 1.0 μm / m 2 so as to have a film thickness of about 20 μm, and exposure was performed with various aperture patterns. Then, development was carried out under the same conditions as those for producing the standard evaluation substrate, and curing was carried out under the evaluation conditions.
The opening diameter of the evaluation substrate obtained by the above was observed, and it was confirmed that no halation or undercut occurred and the evaluation was performed.
◎… Good opening diameter at 60 μm ○… Good opening diameter at 70 μm △… Good opening diameter at 80 μm ×… Good opening diameter at 80 μm cannot be obtained or development is not possible

<HAST耐性>
CZ−8101Bでエッチングレート1.0μm/mの条件で処理されたL/S=20/20μmの櫛形パターンが形成された基板に硬化性樹脂組成物を膜厚約20μmになるように形成し、全面露光を行った。その後、上記標準評価基板の作製と同じ条件で現像、硬化を実施した。
その後電極をつなぎ130℃、85%、5Vの条件でHAST試験を実施。
◎:400h pass
○:350h pass
△:300h pass
×:250h以内でNG
<HAST resistance>
A curable resin composition was formed so as to have a film thickness of about 20 μm on a substrate on which a comb-shaped pattern of L / S = 20/20 μm treated with CZ-8101B at an etching rate of 1.0 μm / m 2 was formed. , Full exposure was performed. Then, development and curing were carried out under the same conditions as those for producing the standard evaluation substrate.
After that, the electrodes were connected and the HAST test was conducted under the conditions of 130 ° C, 85%, and 5V.
⊚: 400h pass
◯: 350h pass
Δ: 300h pass
×: NG within 250 hours

<TCT耐性>
CZ−8101Bでエッチングレート1.0μm/mの条件で処理されたパッケージ基板上に、硬化性樹脂組成物をCu上膜厚約18μmになるように形成し、銅パッド上にSRO80μm露光を行った。その後、上記標準評価基板の作製と同じ条件で現像、硬化を実施した。その後、Auめっき処理、はんだバンプ形成、Siチップを実装し、評価基板を得た。
上記により得られた評価基板を、−65℃と150℃の間で温度サイクルが行われる冷熱サイクル機に入れ、TCT(Thermal Cycle Test)を行った。そして、600サイクル時、800サイクル時および1000サイクル時の硬化被膜の表面を観察した。判定基準は以下の通りである。
◎:1000サイクルで異常なし
○:800サイクルで異常なし、1000サイクルでクラック発生
△:600サイクルで異常なし、800サイクルでクラック発生
×:600サイクルでクラック発生
<TCT resistance>
A curable resin composition was formed on a package substrate treated with CZ-8101B at an etching rate of 1.0 μm / m 2 so as to have a Cu film thickness of about 18 μm, and SRO 80 μm was exposed on a copper pad. rice field. Then, development and curing were carried out under the same conditions as those for producing the standard evaluation substrate. Then, Au plating treatment, solder bump formation, and Si chip were mounted to obtain an evaluation substrate.
The evaluation substrate obtained as described above was placed in a thermal cycle machine in which a temperature cycle was performed between −65 ° C. and 150 ° C., and TCT (Thermal Cycle Test) was performed. Then, the surface of the cured film at 600 cycles, 800 cycles and 1000 cycles was observed. The judgment criteria are as follows.
⊚: No abnormality in 1000 cycles ○: No abnormality in 800 cycles, cracks in 1000 cycles △: No abnormality in 600 cycles, cracks in 800 cycles ×: Cracks in 600 cycles

表1〜3に示す結果から、本発明の実施例1〜20の硬化性樹脂組成物の硬化物は、クラック耐性および絶縁信頼性、密着性に優れることがわかる。これに対し、比較例1〜5の硬化性樹脂組成物を用いると、密着性が悪く絶縁信頼性を得ることが困難であった。 From the results shown in Tables 1 to 3, it can be seen that the cured product of the curable resin composition of Examples 1 to 20 of the present invention is excellent in crack resistance, insulation reliability, and adhesion. On the other hand, when the curable resin compositions of Comparative Examples 1 to 5 were used, the adhesiveness was poor and it was difficult to obtain insulation reliability.

Claims (6)

(A)カルボキシル基含有樹脂と、
(B−1)光重合開始剤と、
(C)次の構造式を有するエポキシ樹脂と、
Figure 0006987011
(D−1)光反応性の表面処理をされた無機フィラーと、
を含有することを特徴とする硬化性樹脂組成物。
(A) Carboxyl group-containing resin and
(B-1) Photopolymerization initiator and
(C) An epoxy resin having the following structural formula and
Figure 0006987011
(D-1) Photoreactive surface-treated inorganic filler and
A curable resin composition comprising.
前記表面処理をされた無機フィラーの平均粒径が1.0μm以下であり、かつ、最大粒径が4.0μm以下である請求項1記載の硬化性樹脂組成物。 The average particle diameter of the inorganic filler which has been surface-treated is at 1.0μm or less, and the curable resin composition according to claim 1 Symbol placement maximum particle size is less than 4.0 .mu.m. 前記表面処理をされた無機フィラーの配合割合が、25〜80質量%である請求項1又は2記載の硬化性樹脂組成物。 The curable resin composition according to claim 1 or 2 , wherein the blending ratio of the surface-treated inorganic filler is 25 to 80% by mass. 請求項1〜のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物をフィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。 A dry film having a resin layer obtained by applying the curable resin composition according to any one of claims 1 to 3 to a film and drying the film. 請求項1〜のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物、または、請求項記載のドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とする硬化物。 A cured product obtained by curing the curable resin composition according to any one of claims 1 to 3 or the resin layer of the dry film according to claim 4. 請求項記載の硬化物を有することを特徴とするプリント配線板。 A printed wiring board comprising the cured product according to claim 5.
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