JP6867297B2 - 構造化コンポジットの圧電特性向上のための形状制御されたセラミックフィラー - Google Patents
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Description
本出願は、2015年4月1日に出願された米国仮特許出願第62/141,513号の優先権の恩典を主張し、これは参照によりその全体が本明細書に組み入れられる。
本発明は概して、単結晶相を有する、リチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電粒子に関する。これらの単結晶相粒子を製造するための二段階か焼プロセスも開示する。
圧電材料は、医療診断ツール、産業オートメーションプロセス、ならびに防衛および通信システムのいくつかの部品において使用されている。そのような材料はまた、マイクロモーター、環境発電デバイス、磁電気センサーおよび高出力変圧器のような新興分野において使用される。
粉末形態でありかつ単結晶相を有する、リチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電セラミック材料。
[本発明1002]
xが0.05<x<0.07である式(K,N) x Li 1-x NbO 3 を有する、本発明1001のセラミック材料。
[本発明1003]
実質的に立方体の粒子モルフォロジーを有する、本発明1002のセラミック材料。
[本発明1004]
立方体粒子モルフォロジーが一軸性立方体粒子モルフォロジーである、本発明1003のセラミック材料。
[本発明1005]
1.5〜2のd 10 (μm)、3.5〜4のd 50 (μm)、および/または9〜10のd 90 (μm)の粒径分布を有する、本発明1004のセラミック材料。
[本発明1006]
図4(1000(3H)-950(10h)参照)に実質的に表されるような粉末X線回析パターンをさらに特徴とする、本発明1001のセラミック材料。
[本発明1007]
975℃〜1050℃の第1温度で2〜4時間および875℃以上975℃未満の第2温度で8〜12時間、か焼されている、本発明1001のセラミック材料。
[本発明1008]
約1000℃の第1温度で約3時間、および約900〜950℃、好ましくは約950℃の第2温度で約10時間、か焼されている、本発明1007のセラミック材料。
[本発明1009]
ペロブスカイト構造を有する、本発明1001のセラミック材料。
[本発明1010]
(a)本発明1001のリチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電セラミック材料のいずれか1つと、
(b)ポリマーマトリックスと
を含む無鉛圧電コンポジット材料であって、前記セラミック材料がポリマーマトリックス中に分散されている、無鉛圧電コンポジット材料。
[本発明1011]
前記セラミック材料を5体積%〜50体積%含む、本発明1010の無鉛圧電コンポジット材料。
[本発明1012]
ポリマーマトリックスが熱硬化性ポリマーマトリックスである、本発明1010の無鉛圧電コンポジット材料。
[本発明1013]
ポリマーマトリックスが熱可塑性ポリマーマトリックスである、本発明1010の無鉛圧電コンポジット材料。
[本発明1014]
(i)10〜14、好ましくは約12の圧電電荷定数(d 33 (pC/N));
(ii)13〜17、好ましくは約15の誘電率(ε33 (-) );および/または
(iii)90〜110、好ましくは約95〜100、またはより好ましくは約98の圧電電圧定数(g 33 (mV.m/N))
を有する、本発明1013の無鉛圧電コンポジット材料。
[本発明1015]
コンポジットが0-3コンポジットまたは1-3コンポジットである、本発明1010の無鉛圧電コンポジット材料。
[本発明1016]
(a)リチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電前駆体材料を得る工程;および
(b)(i)第1か焼材料を得るために、前記前駆体材料を975℃〜1050℃の温度で2〜4時間か焼することを含む、第1か焼ステップと、
(ii)リチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電セラミック材料を得るために、ステップ(i)からの第1か焼材料を875℃以上975℃未満の温度で8〜12時間か焼することを含む、第2か焼ステップと
を含むか焼手順へ前記前駆体材料を供する工程
を含む、本発明1001のリチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電セラミック材料のいずれか1つを製造する方法。
[本発明1017]
前記前駆体材料が、K 2 CO 3 粉末、Na 2 CO 3 粉末、Li 2 CO 3 粉末、およびNb 2 O 5 粉末の混合物を含む、本発明1016の方法。
[本発明1018]
第1か焼ステップが、第1か焼材料を得るために前記前駆体材料を約1000℃の温度で約3時間か焼することを含み、かつ第2か焼ステップが、ステップ(i)からの第1か焼材料を900℃〜950℃、好ましくは約950℃の温度で約10時間か焼することを含む、本発明1016の方法。
[本発明1019]
第2か焼ステップを実施する前に、ステップ(i)からの第1か焼材料を室温まで冷却することをさらに含む、本発明1018の方法。
[本発明1020]
本発明1001のリチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電セラミック材料または本発明1010の無鉛圧電コンポジット材料のいずれか1つを含む、圧電素子。
本発明の他の目的、特徴および利点は、以下の図、詳細な説明、および実施例から明らかとなるであろう。しかしながら、図、詳細な説明、および実施例は、本発明の具体的な態様を示すが、例として提供されるに過ぎず、限定的であるようには意図されないことが、理解されるべきである。さらに、本発明の精神および範囲内の変更および修飾は、この詳細な説明から当業者に明らかとなるであろうことが、意図される。さらなる態様において、具体的な態様からの特徴を、他の態様からの特徴と組み合わせてもよい。例えば、一方の態様からの特徴を、他方の態様のいずれかからの特徴と組み合わせてもよい。さらなる態様において、追加の特徴が、本明細書に記載される具体的な態様へ追加され得る。
単結晶相を有するリチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電粒子の生成を可能にする二段階か焼プロセスを本発明に関連して見出した。これらの生成された粒子は、無鉛であるという付加利益と共に、PZT系粒子に匹敵する圧電特性を有する。
本発明のセラミック圧電材料は、式(K,N)xLi1-xNbO3を有し得る。特に好ましい場合において、xは0.05<x<0.07であり得る。セラミック材料は、一軸性立方体粒子モルフォロジーを有する純粋な相の結晶であり得る。セラミック材料は、0.1ミクロン< d10 < 5ミクロン、1ミクロン< d50 < 10ミクロン、5ミクロン< d90 < 20ミクロンの粒径分布を有し得る。特定の態様において、セラミック材料は、1.5〜2のd10(μm)、3.5〜4のd50(μm)、および9〜10のd90(μm)を有する。結晶のd50粒径値についての非限定的な値は、1、1.1、1.2、1.3、1.4、1.5、1.6、1.7、1.8、1.9、2.0、2.1、2.2、2.3、2.4、2.5、2.6、2.7、2.8、2.9、3.0、3.1、3.2、.3.3、3.4、3.5、3.6、3.7、3.8、3.9、4.0、4.1、4.2、4.3、4.4、4.5、4.6、4.7、4.8、4.9、5.0、5.1、5.2、5.3、5.4、5.5、5.6、5.7、5.8、5.9、6.0、6.1、6.2、6.3、6.4、6.5、6.6、6.7、6.8、6.9、7.0、7.1.、7.2、7.3、7.4、7.6、7.8、7.9、8.0、8.1.、8.2、8.3、8.4、8.5、8.6、8.7、8.8、8.9、9.0、9.1、9.2、9.3、9.4、9.5、9.6、9.7、9.8、9.9、10ミクロン、またはその間の任意の範囲もしくは値であり、3.7〜4.1の範囲が好ましい。
本発明のセラミック圧電材料を製造する方法の一例は、二段階か焼ステップを組み込む、材料の固相合成を伴う。図1を参照すると(実施例も参照のこと)、ペロブスカイトを有する高結晶性セラミック(KNNまたは添加されたKNN)材料を製造する方法100のフローチャートが記載されている。ステップ102において、セラミック前駆体を得る。セラミック圧電前駆体は、炭酸カリウム、炭酸ナトリウム、酸化ニオブ、および炭酸リチウム粒子を含み得る。セラミック前駆体は、多くの化学物質供給業者、例えば、Sigma Aldrich(登録商標)から市販されている。ステップ104において、セラミック前駆体(例えば、Na,K,Li炭酸塩およびNb2O3)を、粉末の粒径を調整して凝集体フリーの均質な粉末を形成するのに十分な条件下で混合する。混合は、粉末の粒径を減らして、金属封じ込めフリーの均質な粉末を提供するために適した、任意の公知の混合ユニットを使用して行われ得る。混合ユニットの例としては、ボールミル、高速スターラー、超音波ミキサーまたはそれらの組み合わせが挙げられる。好ましい混合ユニットは、ジルコニアミリング媒体(例えば、ミリングボール)を含むボールミルである。ジルコニアボールの使用は、粉末の望まれない金属汚染を制限することができる。いくつかの局面において、ミリング媒体は、セラミック前駆体の粒径の調整を助けるために使用され得る。ミリング媒体の非限定的な例としては、有機溶媒(例えば、シクロヘキサン、グリコール、プロパノール、ヘキサンなど)、水、またはそれらの任意の組み合わせが挙げられる。セラミック前駆体は、所望の粒径を生じさせるために必要な時間の間、ミル粉砕され得る(例えば、0.5、1、2、3、4、5、6、7、8、9、10時間、またはそれ以上)。好ましい態様において、セラミック前駆体は、シクロヘキサン中のスラリーとして約3時間ミル粉砕される。粉末をミル粉砕するためにスラリーが使用される場合、液体媒体は、液体媒体を除去するのに十分であるが、か焼温度未満である条件(例えば、100℃〜160℃、または100℃、110℃、120℃、130℃、140℃、150℃もしくは160℃で1〜5時間、150℃で3時間が好ましい)下で除去され得る。
K2(CO3) + Na2(CO3) + Li2(CO3) + Nb2O3 → (K,Na,Li)NbO3
本発明のセラミック圧電材料は、様々な圧電コンポジットを作製するために使用され得る。圧電コンポジットは様々なタイプの連結性を有し得、コンポジットのジオメトリは連結性に基づく。例えば、二相コンポジット系については10タイプの連結性があり、三〜四相系については20〜35タイプの連結性があり得る。ジオメトリおよび連結性設計は、公知の圧電コンポジット方法を使用して行われ得る。図2Aおよび2Bは、二相コンポジット系についての2タイプの連結性を示す。図2Aは0-3型連結性の図である。図2Bは1-3型連結性の図である。図2Aを参照すると、0-3を有するコンポジット200は、ポリマーマトリックス202内に無作為に分散された圧電粒子204を有する。マトリックス202は3つの空間的方向の全てにおいて自己連結し得、一方、粒子204は接触を欠いている。そのため、有効媒質(EM)理論は、これらのコンポジットのハルク(hulk)または外見上の特性を等方性と表現する。
コンポジットは、本明細書の全体にわたって記載される本発明の圧電セラミック材料およびポリマーマトリックスを含み得る。ポリマーマトリックスは、熱硬化性または熱可塑性ポリマーを含み得る。いくつかの非限定的な例としては、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン、ベークライト、デュロプラスト、尿素ホルムアルデヒド、ジアリルフタレート、エポキシビニルエステル、ポリイミド、ポリシアヌレートのシアン酸エステル、ジシクロペンタジエン、フェノール類、ベンゾオキサジン、それらのコポリマー、またはそれらのブレンドが挙げられる。これらのポリマーは、多くの供給業者から市販されている。好ましい態様において、エポキシ樹脂を使用する。特定の態様において、二成分エポキシ系を使用し、ジグリシジルエーテルビスフェノール-Aおよびポリオキシプロピレンジアミンが好ましい。そのような二成分系および他のエポキシ樹脂は、Epoxy Technology, Inc. Billerica, MA USA)および/またはSABIC Innovative Plastics (USA)から市販されている。コンポジット材料は、特定の温度を超えると柔軟または成形可能となり、冷却されるとより強固な状態に戻ることができる、熱可塑性ポリマーを含み得る。本発明のコンポジット層または材料を作製するために使用することができる広範囲の様々な熱可塑性ポリマーおよびそれらのブレンドが存在する。いくつかの非限定的な例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(PC)ポリマーファミリー、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリ(1,4-シクロヘキシリデンシクロヘキサン-1,4-ジカルボキシレート)(PCCD)、グリコール修飾ポリシクロヘキシルテレフタレート(PCTG)、ポリ(フェニレンオキシド)(PPO)、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレン(PE)、ポリ塩化ビニル(PVC)、ポリスチレン(PS)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ポリエチレンイミンまたはポリエーテルイミド(PEI)およびそれらの誘導体、熱可塑性エラストマー(TPE)、テレフタル酸(TPA)エラストマー、ポリ(シクロヘキサンジメチレンテレフタレート)(PCT)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリアミド(PA)、ポリスルホンスルホネート(PSS)、ポリスルホンのスルホネート、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、アクリロニトリルブチルジエンスチレン(ABS)、ポリエーテルケトンケトン(PEKK)、ポリフェニレンスルフィド(PPS)、それらのコポリマー、またはそれらのブレンドが挙げられる。特定の態様において、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリアミド、ポリカーボネート(PC)ポリマーファミリー、それらのコポリマー、またはそれらのブレンドがある。熱可塑性ポリマーはSABIC Innovative Plastics (USA)から入手可能である。
コンポジットは、圧電コンポジットを作製するための公知の方法を使用して作製され得る。ポリマーマトリックスおよび圧電材料の量は、セラミックコンポジットの5体積%〜90体積%、10体積%〜80体積%、または20体積%〜50体積%が圧電材料となるように決定され得る。非限定的な例は、本発明のセラミック圧電材料と、上記および本明細書の全体にわたって記載されるポリマーマトリックスとを、高速(例えば、2500 rpm、3000 rpm、3500 rpmなど)で所望の時間にわたって混合することを含む。分散液は、熱硬化性または熱可塑性ポリマー系に適した薬剤および/または条件を使用することによって、成形の間に硬化(cure)され (例えば、硬化(harden)され)得る。硬化の非限定的な例は、分散液の冷却、UV硬化、熱促進硬化または圧縮硬化を含む。例えば、エポキシ樹脂およびセラミック粒子を、所望の時間にわたって一緒に混合し、硬化剤を加え、再び混合し、続いて10分間真空下で脱気し、0-3連結性を有する非構造化コンポジットを形成した。圧電コンポジットは、射出成形、押し出し、圧縮成形、ブロー成形、熱成形または他の公知の方法を使用して成形され得る。
本発明の圧電セラミック材料および本明細書の全体にわたって記載されるポリマーマトリックスを使用して作製された圧電セラミックコンポジットは、無鉛である。そのようなコンポジットは、圧電セラミック材料を5体積%〜50体積%含む。圧電セラミックについての電荷定数(d33(pC/N))は、10〜14の範囲、または10、11、12、13、14であり得、12が好ましい。コンポジットは、13〜17、または13、14、15、16、17の誘電率(ε33(-))を有し得、15が好ましい。コンポジットの圧電電圧定数(g33(mV.m/N))は、90〜110、もしくは95〜100の範囲、または90、91、92、93、94、95、96、97、98、99、100、101、102、103、104、105、106、107、108、109、110であり得、98が好ましい。本発明の圧電コンポジットは、従来の方法で処理されたコンポジットと比較して大幅に改善されており、鉛含有コンポジットに匹敵する特性を有する(例えば、表3中の値を参照のこと)。
(KNN圧電前駆体の調製)
(K,Na)xLi1-xNbO3。化学量論的割合のK2CO3、Na2CO3、Li2CO3、およびNb2O5(>99.9%純度)粉末を、3時間、ジルコニアボールを使用し、ポリプロピレンに覆われたミキサーを使用して、シクロヘキサン媒体中で混合した。結果として生じたスラリーを、熱風炉中において24時間乾燥させた。乾燥させた金属塩組成物を、6つのサンプル(表1中のサンプル1〜5)へ分割し、異なる温度でか焼した。
(LiKNN圧電前駆体のか焼手順)
第1か焼。乾燥させた金属塩組成物のか焼を、第1か焼温度に達するまで5℃/分の速度でサンプルを加熱することによって、第1か焼温度で閉じたアルミナるつぼ中において行い、第1か焼温度で3時間維持し、次いで周囲温度まで冷却した。第1か焼後、(K,Na)xLi1-xNbO3粉末を、3時間ボールミル粉砕し、粒径を調整した。か焼温度を表1に列挙する。
((K,Na)xLi1-xNbO3圧電セラミック材料の解析)
か焼された粉末の結晶構造および相純度を、X線回析(XRD)技術(CoKα1 x線を有するBrucker D8回折計(ドイツ))によって解析した。図4は、サンプル1〜4および6のXRDパターンである。データライン400はサンプル1であり、データライン402はサンプル2であり、データライン404はサンプル3であり、データライン406はサンプル4であり、データライン408はサンプル6である。XRDパターンから、サンプル3、4および6が定義された第2相(ピーク112および202)を示し、サンプル6が最も鋭いピークを有したことを除いては、サンプルは同様の回析パターンを有する。XRD解析によって、1000℃で6時間(サンプル4)、1100℃で3時間(サンプル3)か焼された粉末、および二重か焼されたサンプル(サンプル6)についてペロブスカイト相(第2相)の発生が確認された。(K,Na)xLi1-xNbO3粉末の粒径分布およびモルフォロジーを、粒径アナライザーおよび走査型電子顕微鏡(SEM, JEOL, JSM-7500F)を使用して解析した。図5は、サンプル1(データライン500)、2(データライン502)および6(データライン504)についての、マイクロメートルでの粒径対体積パーセントのグラフである。表2は、サンプル1〜3、5および6についての粒径分布を列挙する。粒径分布データから、サンプル1、3、5および6についての粒径分布は、比較的同じままであったと決定された。サンプル1、2、5および6とサンプル3とを比較して、か焼温度が1100℃であった場合、粒径は増加した(即ち、粒子は凝集した)。これは、SEMを使用して確認された。図6A〜Eは、サンプル1〜3、5および6のSEM顕微鏡写真である。図6Aはサンプル1のSEM顕微鏡写真であり、図6Bはサンプル2のSEM顕微鏡写真であり、図6Cはサンプル3のSEM顕微鏡写真であり、図6Dはサンプル5のSEM顕微鏡写真であり、図6Eはサンプル6のSEM顕微鏡写真である。XRDパターン、粒径分布データ、およびSEM顕微鏡写真から、第1高温か焼ステップが、第2相を有さない結晶構造を形成したと結論付けられた。より低い温度でのより長い時間の第2か焼ステップの間、サブミクロンサイズ粒子は、図6Dおよび6Eに示されるように、一緒に結晶化し、ミクロンサイズ立方体粒子を有する第2の結晶構造を形成する。
((K,Na)xLi1-xNbO3圧電セラミック材料とのコンポジットの調製)
ポリマーコンポジット。ジグリシジルエーテルビスフェノール-A(DGEBA)樹脂およびポリ(オキシプロピル)-ジアミン(POPD)多官能性脂肪族アミン硬化剤に基づく二成分エポキシ系(Epotek, 302-3M, Epoxy Technology, Inc. Billerica, MA, USA)を使用した。製造のデータシートの通りに、系は、混合後かつ室温(25℃)で、0.8〜1.6 PaSの粘度を示した。理論によって拘束されることを望まないが、マトリックスの比較的高い粘度は、電気泳動の間の密なセラミック粒子の速い沈降を妨げると考えられる。エポキシ樹脂および圧電セラミック粒子を、3000 rpmで3分間、高速ミキサー(Speed Mixer DAC 150 FVZ)を使用して一緒に混合し、その後、硬化剤を加え、コンポジット樹脂を3000 rpmで5分間再び混合し、続いて10分間真空下で脱気し、圧電セラミックサンプル1、2、3、5および6から非構造化0-3コンポジット1、2、3、5、および6を形成した。調製した非構造化コンポジット0-3サンプルを、円板状サンプルへ成形した。
(LiKNN-コンポジットの電気的特性)
手順。サンプル1〜3および5〜6の両側を、金のスパッタリングによって電極化した。サンプルを循環油浴中に80℃でポーリングした。圧電係数に対するポーリング電場の大きさおよびその期間の効果を分析した。1 Vおよび1 kHzでAgilent 4263B LCRメーターを使用する平行板コンデンサー法を使用して、コンポジットの誘電率を測定した。厚みモード圧電電荷定数d33を、110 Hzへ設定されたBerlincourt型d33メーター(PM300, PiezoTest)を使用して測定した。厚みモード圧電電圧定数g33を、以下の関係によって計算した。
Claims (18)
- (a)リチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電前駆体材料を得る工程;および
(b)(i)単結晶相を有する第1か焼材料を得るために、前記前駆体材料を975℃〜1050℃の温度で2〜4時間か焼することを含む、第1か焼ステップと;
(ii)ステップ(i)からの第1か焼材料をミル粉砕するステップと;
(iii)立方体粒子モルフォロジーを有する粉末形態のリチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電セラミック材料を得るために、ステップ(ii)からのミル粉砕された第1か焼材料を875℃以上975℃未満の温度で8〜12時間か焼することを含む、第2か焼ステップと
を含むか焼手順へ前記前駆体材料を供する工程
を含む、0.05<x<0.07である式(K,Na)1-xLixNbO3の粉末形態のリチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電セラミック材料を製造する方法。 - 前記前駆体材料が、K2CO3粉末、Na2CO3粉末、Li2CO3粉末、およびNb2O5粉末の混合物を含む、請求項1に記載の方法。
- 第1か焼ステップが、第1か焼材料を得るために前記前駆体材料を約1000℃の温度で約3時間か焼することを含み、かつ第2か焼ステップが、ステップ(ii)からのミル粉砕された第1か焼材料を900℃〜950℃の温度で約10時間か焼することを含む、請求項1に記載の方法。
- ミル粉砕するステップ(ii)を実施する前に、ステップ(i)からの第1か焼材料を室温まで冷却することをさらに含む、請求項3に記載の方法。
- 第2か焼ステップが、ステップ(ii)からのミル粉砕された第1か焼材料を950℃の温度でか焼することを含む、請求項2に記載の方法。
- 圧電セラミック材料が、一軸性立方体粒子モルフォロジーである立方体粒子モルフォロジーを有する、請求項1に記載の方法。
- 圧電セラミック材料が、1.5〜2のd10(μm)、3.5〜4のd50(μm)、および/または9〜10のd90(μm)の粒径分布を有する、請求項6に記載の方法。
- 圧電セラミック材料が、一軸性立方体粒子モルフォロジーである立方体粒子モルフォロジーを有する、請求項2に記載の方法。
- 第1か焼温度が、前記前駆体材料のアルカリ金属の焼結温度未満であるが、単結晶相を有する結晶性セラミック構造の形成を促進する、請求項2に記載の方法。
- か焼後に、セラミック材料がペロブスカイト構造を有する、請求項1に記載の方法。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法により製造される、0.05<x<0.07である式(K,Na) 1-x Li x NbO 3 の粉末形態のリチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電セラミック材料。
- (a)請求項11に記載のリチウム添加ニオブ酸カリウムナトリウム無鉛圧電セラミック材料と、
(b)ポリマーマトリックスと
を含む無鉛圧電コンポジット材料であって、
前記セラミック材料がポリマーマトリックス中に分散されており、
前記セラミック材料を5体積%〜50体積%含む、
無鉛圧電コンポジット材料。 - KのNaに対する比(K:Na)が約1:1である、請求項12に記載の無鉛圧電コンポジット材料。
- ポリマーマトリックスが熱硬化性ポリマーマトリックスである、請求項12に記載の無鉛圧電コンポジット材料。
- ポリマーマトリックスが熱可塑性ポリマーマトリックスである、請求項12に記載の無鉛圧電コンポジット材料。
- (i)10〜14、好ましくは約12の圧電電荷定数(d 33 (pC/N));
(ii)13〜17、好ましくは約15の誘電率(ε33 (-) );および/または
(iii)90〜110、好ましくは約95〜100、またはより好ましくは約98の圧電電圧定数(g 33 (mV.m/N))
を有し、前記セラミック材料が5体積%〜50体積%の、請求項12に記載の無鉛圧電コンポジット材料。 - コンポジットが0-3コンポジットまたは1-3コンポジットである、請求項12に記載の無鉛圧電コンポジット材料。
- 請求項12〜17のいずれか1項に記載の無鉛圧電コンポジット材料を含む、圧電素子。
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