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JP6846030B2 - Wire grid and wire grid manufacturing method - Google Patents

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JP6846030B2
JP6846030B2 JP2016169888A JP2016169888A JP6846030B2 JP 6846030 B2 JP6846030 B2 JP 6846030B2 JP 2016169888 A JP2016169888 A JP 2016169888A JP 2016169888 A JP2016169888 A JP 2016169888A JP 6846030 B2 JP6846030 B2 JP 6846030B2
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隆明 鎌森
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Description

本発明は、入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御するワイヤーグリッド、及びワイヤーグリッドの製造方法に関する。 The present invention relates to a wire grid that controls the polarization of a terahertz wave as an incident wave, and a method for manufacturing the wire grid.

特許文献1に記載された積層型ワイヤーグリッドは、第1ワイヤーグリッド部と、第1ワイヤーグリッド部に積層された第2ワイヤーグリッド部とを備える。第1ワイヤーグリッド部は、互いに平行に並んだ複数の第1ワイヤーを第1枠体に配置することによって形成される。一方、第2ワイヤーグリッド部は、互いに平行に並んだ複数の第2ワイヤーを第2枠体に配置することによって形成される。従って、第1ワイヤーグリッド部と第2ワイヤーグリッド部とは、別部材として形成される。そして、第1ワイヤーと第2ワイヤーとが接触することなく所定間隔を有するように、第1ワイヤーグリッド部と第2ワイヤーグリッド部とが位置決めされる。さらに、位置決め後に、第1ワイヤーグリッド部と第2ワイヤーグリッド部とが固定される。 The laminated wire grid described in Patent Document 1 includes a first wire grid portion and a second wire grid portion laminated on the first wire grid portion. The first wire grid portion is formed by arranging a plurality of first wires arranged parallel to each other in the first frame body. On the other hand, the second wire grid portion is formed by arranging a plurality of second wires arranged parallel to each other in the second frame. Therefore, the first wire grid portion and the second wire grid portion are formed as separate members. Then, the first wire grid portion and the second wire grid portion are positioned so that the first wire and the second wire do not come into contact with each other and have a predetermined interval. Further, after positioning, the first wire grid portion and the second wire grid portion are fixed.

特開2014−74824号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-74824

本発明の目的は、複数のワイヤーグリッド部を有するとともに、容易に製造できるワイヤーグリッド、及びワイヤーグリッドの製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a wire grid which has a plurality of wire grid portions and can be easily manufactured, and a method for manufacturing the wire grid.

本発明の一局面によれば、ワイヤーグリッドは、入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御する。ワイヤーグリッドは、第1ワイヤーグリッド部と、第2ワイヤーグリッド部と、一対のスペーサーとを備える。第1ワイヤーグリッド部は、複数の第1ワイヤーを含む。第2ワイヤーグリッド部は、複数の第2ワイヤーを含む。一対のスペーサーは、前記第1ワイヤーグリッド部と前記第2ワイヤーグリッド部との間に配置される。前記複数の第1ワイヤーは、前記テラヘルツ波の波長よりも短い所定間隔で一方向に沿って配列される。前記複数の第2ワイヤーは、前記所定間隔で前記一方向に沿って配列される。前記第1ワイヤーと前記第2ワイヤーとは交互に位置する。前記一対のスペーサーは、前記一方向に沿って延びており、前記一方向に交差する方向に沿って互いに間隔をあけて配置される。 According to one aspect of the invention, the wire grid controls the polarization of the terahertz wave as the incident wave. The wire grid includes a first wire grid portion, a second wire grid portion, and a pair of spacers. The first wire grid portion includes a plurality of first wires. The second wire grid portion includes a plurality of second wires. The pair of spacers are arranged between the first wire grid portion and the second wire grid portion. The plurality of first wires are arranged along one direction at predetermined intervals shorter than the wavelength of the terahertz wave. The plurality of second wires are arranged along the one direction at the predetermined intervals. The first wire and the second wire are alternately located. The pair of spacers extend along the one direction and are spaced apart from each other along the direction intersecting the one direction.

本発明のワイヤーグリッドにおいて、前記スペーサーの各々は、線状形状又は帯状形状を有することが好ましい。 In the wire grid of the present invention, each of the spacers preferably has a linear shape or a strip shape.

本発明のワイヤーグリッドにおいて、前記スペーサーの各々は、金属又は合成樹脂であることが好ましい。 In the wire grid of the present invention, each of the spacers is preferably a metal or a synthetic resin.

本発明のワイヤーグリッドにおいて、前記スペーサーの各々の厚みは、前記第1ワイヤーの直径の2倍以下であることが好ましい。 In the wire grid of the present invention, the thickness of each of the spacers is preferably 2 times or less the diameter of the first wire.

本発明の他の局面によれば、ワイヤーグリッドの製造方法は、入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御するワイヤーグリッドを製造する。ワイヤーグリッドの製造方法は、第1枠体を準備する第1準備工程と、複数の第1ワイヤーを含む第1ワイヤーグリッド部と複数の第2ワイヤーを含む第2ワイヤーグリッド部との間に、一対の第1スペーサーが配置されるように、前記第1ワイヤーグリッド部と前記第2ワイヤーグリッド部とを前記第1枠体に形成する形成工程とを含む。前記形成工程では、前記第1ワイヤーと前記第2ワイヤーとが交互に位置するように、前記複数の第1ワイヤーを、前記テラヘルツ波の波長よりも短い所定間隔で一方向に沿って配列するとともに、前記複数の第2ワイヤーを、前記所定間隔で前記一方向に沿って配列し、前記一対の第1スペーサーを、前記一方向に沿って延びるように、前記一方向に交差する方向に沿って互いに間隔をあけて配置する。 According to another aspect of the present invention, the method of manufacturing a wire grid manufactures a wire grid that controls the polarization of a terahertz wave as an incident wave. The method for manufacturing the wire grid is as follows: between the first preparation step of preparing the first frame, the first wire grid portion including the plurality of first wires, and the second wire grid portion including the plurality of second wires. A forming step of forming the first wire grid portion and the second wire grid portion in the first frame body is included so that the pair of first spacers are arranged. In the forming step, the plurality of first wires are arranged along one direction at predetermined intervals shorter than the wavelength of the terahertz wave so that the first wire and the second wire are alternately positioned. , The plurality of second wires are arranged along the one direction at the predetermined intervals, and the pair of first spacers are extended along the one direction along the direction intersecting the one direction. Place them at intervals from each other.

本発明のワイヤーグリッドの製造方法において、前記形成工程は、前記第1枠体にワイヤー材を複数回巻回して、前記第1ワイヤーグリッド部及び前記第2ワイヤーグリッド部を形成する巻回工程を含むことが好ましい。前記巻回工程では、前記ワイヤー材が、前記一対の第1スペーサーに交差し、前記ワイヤー材のうち前記一方向に沿って配列するワイヤー部分が前記一対の第1スペーサーに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合う前記ワイヤー部分の間に前記一対の第1スペーサーを通すことが好ましい。複数の前記ワイヤー部分のうち、前記一方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第1ワイヤーを構成することが好ましい。前記複数のワイヤー部分のうち、前記他方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第2ワイヤーを構成することが好ましい。 In the method for manufacturing a wire grid of the present invention, the forming step involves winding a wire material around the first frame body a plurality of times to form the first wire grid portion and the second wire grid portion. It is preferable to include it. In the winding step, the wire material intersects the pair of first spacers, and the wire portions of the wire material arranged along the one direction are on one side and the other side with respect to the pair of first spacers. It is preferable to pass the pair of first spacers between the wire portions adjacent to each other so as to be alternately positioned on the side. Of the plurality of wire portions, it is preferable that the plurality of wire portions located on one side of the plurality of wire portions each constitute the plurality of first wires. Of the plurality of wire portions, it is preferable that the plurality of wire portions located on the other side each form the plurality of second wires.

本発明のワイヤーグリッドの製造方法は、第2枠体を準備する第2準備工程と、前記第1枠体と前記第2枠体とを積層して、積層体を形成する積層工程とをさらに含むことが好ましい。前記形成工程は、前記積層体にワイヤー材を複数回巻回して、前記第1ワイヤーグリッド部及び前記第2ワイヤーグリッド部を前記第1枠体に形成するとともに、第3ワイヤーグリッド及び第4ワイヤーグリッドを前記第2枠体に形成する巻回工程を含むことが好ましい。前記巻回工程では、前記ワイヤー材が、前記第1枠体に配置される前記一対の第1スペーサーに交差し、前記ワイヤー材のうち前記一方向に沿って前記第1枠体に配列するワイヤー部分が前記一対の第1スペーサーに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合う前記ワイヤー部分の間に前記一対の第1スペーサーを通し、前記ワイヤー材が、前記第2枠体に配置される一対の第2スペーサーに交差し、前記ワイヤー材のうち前記一方向に沿って前記第2枠体に配列するワイヤー部分が前記一対の第2スペーサーに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合う前記ワイヤー部分の間に前記一対の第2スペーサーを通すことが好ましい。前記第1枠体に配列する複数の前記ワイヤー部分のうち、前記一方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第1ワイヤーを構成することが好ましい。前記第1枠体に配列する前記複数のワイヤー部分のうち、前記他方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第2ワイヤーを構成することが好ましい。 The method for manufacturing a wire grid of the present invention further comprises a second preparatory step of preparing a second frame body and a laminating step of laminating the first frame body and the second frame body to form a laminated body. It is preferable to include it. In the forming step, the wire material is wound around the laminated body a plurality of times to form the first wire grid portion and the second wire grid portion in the first frame body, and the third wire grid and the fourth wire. It is preferable to include a winding step of forming the grid on the second frame. In the winding step, the wire material intersects the pair of first spacers arranged in the first frame body, and the wire is arranged in the first frame body along the one direction of the wire material. The pair of first spacers is passed between the adjacent wire portions so that the portions are alternately located on one side and the other side with respect to the pair of first spacers, and the wire material is formed by the first wire material. A wire portion that intersects a pair of second spacers arranged in the two frames and is arranged in the second frame along the one direction of the wire material is on one side of the pair of second spacers. It is preferable to pass the pair of second spacers between the wire portions adjacent to each other so as to be alternately located on the other side. Of the plurality of wire portions arranged in the first frame, the plurality of wire portions located on one side preferably form the plurality of first wires, respectively. Of the plurality of wire portions arranged in the first frame, the plurality of wire portions located on the other side preferably form the plurality of second wires, respectively.

本発明のワイヤーグリッドの製造方法において、前記形成工程は、前記第1枠体に第1ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第1ワイヤーグリッド部を形成する第1巻回工程と、前記一対の第1スペーサーが前記第1ワイヤーグリッド部の一対の面のうち一方面に接触するように、前記一対の第1スペーサーを前記第1枠体に固定する固定工程と、第2ワイヤー材が前記一対の第1スペーサーに接触しつつ、前記第1ワイヤー材と前記第2ワイヤー材とが交互に位置するように、前記第1枠体に前記第2ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第2ワイヤーグリッド部を形成する第2巻回工程とを含むことが好ましい。前記第1ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第1ワイヤーを構成することが好ましい。前記第2ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第2ワイヤーを構成することが好ましい。 In the method for manufacturing a wire grid of the present invention, the forming step is a first winding step of forming the first wire grid portion by winding the first wire material around the first frame a plurality of times at the predetermined intervals. A fixing step of fixing the pair of first spacers to the first frame body so that the pair of first spacers come into contact with one of the pair of surfaces of the first wire grid portion, and a second. The second wire material is placed on the first frame at the predetermined intervals so that the first wire material and the second wire material are alternately positioned while the wire material is in contact with the pair of first spacers. It is preferable to include a second winding step of forming the second wire grid portion by winding a plurality of times. It is preferable that a plurality of wire portions of the first wire material, which are wound a plurality of times and arranged at a predetermined interval, form the plurality of first wires, respectively. It is preferable that a plurality of wire portions of the second wire material, which are wound a plurality of times and arranged at a predetermined interval, form the plurality of second wires, respectively.

本発明のワイヤーグリッドの製造方法は、第2枠体を準備する第2準備工程と、前記第1枠体と前記第2枠体とを積層して、積層体を形成する積層工程とをさらに含むことが好ましい。前記形成工程は、前記積層体に第1ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第1枠体に前記第1ワイヤーグリッド部を形成するとともに、前記第2枠体に第3ワイヤーグリッド部を形成する第1巻回工程と、前記一対の第1スペーサーが前記第1ワイヤーグリッド部の一対の面のうち一方面に接触するように、前記一対の第1スペーサーを前記第1枠体に固定するとともに、一対の第2スペーサーが前記第3ワイヤーグリッド部の一対の面のうち一方面に接触するように、前記一対の第2スペーサーを前記第2枠体に固定する固定工程と、第2ワイヤー材が前記一対の第1スペーサーと前記一対の第2スペーサーとに接触しつつ、前記第1ワイヤー材と前記第2ワイヤー材とが交互に位置するように、前記積層体に前記第2ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第1枠体に前記第2ワイヤーグリッド部を形成するとともに、前記第2枠体に第4ワイヤーグリッド部を形成する第2巻回工程とを含むことが好ましい。前記第1ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記第1枠体に前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第1ワイヤーを構成することが好ましい。前記第2ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記第1枠体に前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第2ワイヤーを構成することが好ましい。 The method for manufacturing a wire grid of the present invention further comprises a second preparatory step of preparing a second frame body and a laminating step of laminating the first frame body and the second frame body to form a laminated body. It is preferable to include it. In the forming step, the first wire material is wound around the laminated body a plurality of times at the predetermined intervals to form the first wire grid portion in the first frame body, and the third wire is formed in the second frame body. The first frame of the pair of first spacers so that the first winding step of forming the grid portion and the pair of first spacers come into contact with one of the pair of surfaces of the first wire grid portion. A fixing step of fixing the pair of second spacers to the second frame body so that the pair of second spacers come into contact with one of the pair of surfaces of the third wire grid portion while being fixed to the body. , The first wire material and the second wire material are alternately positioned on the laminate while the second wire material is in contact with the pair of first spacers and the pair of second spacers. The second wire material is wound a plurality of times at the predetermined interval to form the second wire grid portion in the first frame body and the fourth wire grid portion in the second frame body. It is preferable to include a step. It is preferable that a plurality of wire portions of the first wire material, which are wound a plurality of times and arranged in the first frame at predetermined intervals, form the plurality of first wires, respectively. It is preferable that the plurality of wire portions of the second wire material, which are wound a plurality of times and arranged in the first frame at the predetermined intervals, form the plurality of second wires, respectively.

本発明のワイヤーグリッドの製造方法において、前記第1スペーサーの各々は、線状形状又は帯状形状を有することが好ましい。 In the method for producing a wire grid of the present invention, it is preferable that each of the first spacers has a linear shape or a strip shape.

本発明のワイヤーグリッドの製造方法において、前記第1スペーサーの各々は、金属又は合成樹脂であることが好ましい。 In the method for producing a wire grid of the present invention, it is preferable that each of the first spacers is a metal or a synthetic resin.

本発明のワイヤーグリッドの製造方法において、前記第1スペーサーの各々の厚みは、前記第1ワイヤーの直径の2倍以下であることが好ましい。 In the method for manufacturing a wire grid of the present invention, the thickness of each of the first spacers is preferably twice or less the diameter of the first wire.

本発明によれば、複数のワイヤーグリッド部を有するワイヤーグリッドを容易に製造できる。 According to the present invention, a wire grid having a plurality of wire grid portions can be easily manufactured.

本発明の実施形態1に係るワイヤーグリッドを示す平面図である。It is a top view which shows the wire grid which concerns on Embodiment 1 of this invention. 実施形態1に係る第1ワイヤーグリッド部と第2ワイヤーグリッド部とスペーサーとを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the 1st wire grid part, the 2nd wire grid part, and a spacer which concerns on Embodiment 1. FIG. 図1のIII−III線に沿った断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 本発明の実施形態2に係るワイヤーグリッドの製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the wire grid which concerns on Embodiment 2 of this invention. (a)〜(c)本発明の実施形態3に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。(A)-(c) It is a figure which shows the manufacturing method of the wire grid which concerns on Embodiment 3 of this invention. (a)〜(c)実施形態3に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the wire grid which concerns on (a)-(c) Embodiment 3. (a)〜(c)本発明の実施形態4に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。(A)-(c) It is a figure which shows the manufacturing method of the wire grid which concerns on Embodiment 4 of this invention. (a)(b)実施形態4に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。(A) (b) It is a figure which shows the manufacturing method of the wire grid which concerns on Embodiment 4. (a)(b)実施形態4に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。(A) (b) It is a figure which shows the manufacturing method of the wire grid which concerns on Embodiment 4. (a)〜(c)本発明の実施形態5に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。(A)-(c) It is a figure which shows the manufacturing method of the wire grid which concerns on Embodiment 5 of this invention. (a)(b)実施形態5に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。(A) (b) It is a figure which shows the manufacturing method of the wire grid which concerns on Embodiment 5. (a)(b)本発明の実施形態6に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。(A) (b) It is a figure which shows the manufacturing method of the wire grid which concerns on Embodiment 6 of this invention. (a)(b)実施形態6に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。(A) (b) It is a figure which shows the manufacturing method of the wire grid which concerns on Embodiment 6. 本発明の実施形態7に係るワイヤーグリッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the wire grid which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施例1、本発明の実施例2、及び比較例に係るTE波の透過率と周波数との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the transmittance and the frequency of the TE wave which concerns on Example 1, Example 2 of this invention, and comparative example of this invention. 本発明の実施例1、本発明の実施例2、及び比較例に係るTM波の透過率と周波数との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the transmittance and the frequency of the TM wave which concerns on Example 1, Example 2 of this invention, and comparative example of this invention. 本発明の実施例3に係るワイヤーグリッドを示す写真である。It is a photograph which shows the wire grid which concerns on Example 3 of this invention. (a)本発明の実施例4に係るワイヤーグリッドを示す写真である。(b)実施例4に係るワイヤーグリッドを示す拡大写真である。(A) It is a photograph which shows the wire grid which concerns on Example 4 of this invention. (B) It is an enlarged photograph which shows the wire grid which concerns on Example 4. 実施例4に係るワイヤーグリッドの透過率と周波数との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the transmittance and the frequency of the wire grid which concerns on Example 4. FIG. 本発明の実施例5に係るワイヤーグリッドの消光比と周波数との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the extinction ratio and the frequency of the wire grid which concerns on Example 5 of this invention.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図中、同一または相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding parts are designated by the same reference numerals and the description is not repeated.

(実施形態1)
図1〜図3を参照して、本発明の実施形態1に係るワイヤーグリッド1について説明する。図1は、ワイヤーグリッド1を示す平面図である。図1に示すように、ワイヤーグリッド1は、入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御する。例えば、ワイヤーグリッド1は、テラヘルツ波領域の偏光成分を分離する。テラヘルツ波とは、例えば、0.1テラヘルツ(THz)以上10テラヘルツ(THz)以下の電磁波のことである。
(Embodiment 1)
The wire grid 1 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG. 1 is a plan view showing the wire grid 1. As shown in FIG. 1, the wire grid 1 controls the polarization of a terahertz wave as an incident wave. For example, the wire grid 1 separates polarized components in the terahertz wave region. The terahertz wave is, for example, an electromagnetic wave of 0.1 terahertz (THz) or more and 10 terahertz (THz) or less.

ワイヤーグリッド1は、第1ワイヤーグリッド部WG1と、第2ワイヤーグリッド部WG2と、枠体3と、一対のスペーサー9と、一対の第1固定具11と、一対の第2固定具12と、一対の固定具16とを備える。第1ワイヤーグリッド部WG1は、複数の第1ワイヤー5を含む。第2ワイヤーグリッド部WG2は、複数の第2ワイヤー7を含む。第1固定具11は、押え板11aと、2個のビス11bとを含む。第2固定具12は、押え板12aと、2個のビス12bとを含む。固定具16は、押え板17と、一対のビス19とを含む。 The wire grid 1 includes a first wire grid portion WG1, a second wire grid portion WG2, a frame body 3, a pair of spacers 9, a pair of first fixtures 11, a pair of second fixtures 12, and a pair of second fixtures 12. A pair of fixtures 16 are provided. The first wire grid portion WG1 includes a plurality of first wires 5. The second wire grid portion WG2 includes a plurality of second wires 7. The first fixture 11 includes a presser plate 11a and two screws 11b. The second fixture 12 includes a presser plate 12a and two screws 12b. The fixture 16 includes a presser plate 17 and a pair of screws 19.

複数の第1ワイヤー5は、第1方向D1(一方向に交差する方向)に沿って延びており、第2方向D2(一方向)に沿って配列される。複数の第1ワイヤー5は略平行に配列される。複数の第1ワイヤー5は、枠体3に張設される。第1ワイヤー5は、金属(例えば、タングステン)である。実施形態1では、第1方向D1は第2方向D2に直交する。 The plurality of first wires 5 extend along the first direction D1 (direction intersecting in one direction) and are arranged along the second direction D2 (one direction). The plurality of first wires 5 are arranged substantially in parallel. The plurality of first wires 5 are stretched on the frame body 3. The first wire 5 is a metal (for example, tungsten). In the first embodiment, the first direction D1 is orthogonal to the second direction D2.

複数の第2ワイヤー7は、第1方向D1に沿って延びており、第2方向D2に沿って配列される。複数の第2ワイヤー7は略平行に配列される。複数の第2ワイヤー7は、枠体3に張設される。第2ワイヤー7は、金属(例えば、タングステン)である。 The plurality of second wires 7 extend along the first direction D1 and are arranged along the second direction D2. The plurality of second wires 7 are arranged substantially in parallel. The plurality of second wires 7 are stretched over the frame body 3. The second wire 7 is a metal (for example, tungsten).

第1ワイヤー5と第2ワイヤー7とは交互に位置している。第1ワイヤー5と第2ワイヤー7とは略平行に配置される。 The first wire 5 and the second wire 7 are alternately located. The first wire 5 and the second wire 7 are arranged substantially in parallel.

なお、図面を見やすくするために、第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7の合計数を実際の数(例えば、数百)よりも少なくしてある。また、同様の理由により、第1ワイヤー5を黒色で示し、第2ワイヤー7をドットハッチングで示している。 In order to make the drawings easier to see, the total number of the first wire 5 and the second wire 7 is made smaller than the actual number (for example, several hundreds). Further, for the same reason, the first wire 5 is shown in black and the second wire 7 is shown by dot hatching.

枠体3は略矩形形状を有する。枠体3は、略矩形形状の開口4を有する。枠体3は、例えば、金属(例えば、アルミニウム)である。 The frame body 3 has a substantially rectangular shape. The frame body 3 has a substantially rectangular opening 4. The frame body 3 is, for example, a metal (for example, aluminum).

一対の固定具16のうちの一方の固定具16は、複数の第1ワイヤー5の一端と複数の第2ワイヤー7の一端とを、枠体3に固定する。具体的には、押え板17と枠体3とが、複数の第1ワイヤー5の一端と複数の第2ワイヤー7の一端と挟む。そして、押え板17を介して枠体3にビス19を捻じ込むことによって、押え板17が複数の第1ワイヤー5の一端と複数の第2ワイヤー7の一端とを押圧する。 One of the pair of fixtures 16, the fixture 16, fixes one end of the plurality of first wires 5 and one end of the plurality of second wires 7 to the frame body 3. Specifically, the pressing plate 17 and the frame body 3 sandwich the holding plate 17 with one end of the plurality of first wires 5 and one end of the plurality of second wires 7. Then, by screwing the screw 19 into the frame body 3 via the pressing plate 17, the pressing plate 17 presses one end of the plurality of first wires 5 and one end of the plurality of second wires 7.

一対の固定具16のうちの他方の固定具16は、一方の固定具16と同様にして、複数の第1ワイヤー5の他端と複数の第2ワイヤー7の他端とを、枠体3に固定する。 The other fixture 16 of the pair of fixtures 16 has the other end of the plurality of first wires 5 and the other end of the plurality of second wires 7 in the same manner as the one fixture 16. Fix to.

一対のスペーサー9は、第2方向D2に沿って延びており、第1方向D1に沿って互いに間隔をあけて配置される。従って、一対のスペーサー9は、テラヘルツ波THの光路に位置しない。一対のスペーサー9は略平行に配置される。一対のスペーサー9は、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2との間に配置される。一対のスペーサー9は、枠体3に張設される。 The pair of spacers 9 extend along the second direction D2 and are spaced apart from each other along the first direction D1. Therefore, the pair of spacers 9 are not located in the optical path of the terahertz wave TH. The pair of spacers 9 are arranged substantially in parallel. The pair of spacers 9 are arranged between the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2. The pair of spacers 9 are stretched on the frame body 3.

スペーサー9の各々は、例えば、略線状形状又は略帯状形状を有する。スペーサー9の各々は、例えば、金属、合成樹脂、又は糸である。金属は、例えば、タングステン又はアルミニウムである。合成樹脂は、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、又はポリメチルペンテンである。糸は、例えば、繊維(例えば、天然繊維又は化学繊維)により形成される。 Each of the spacers 9 has, for example, a substantially linear shape or a substantially strip shape. Each of the spacers 9 is, for example, metal, synthetic resin, or thread. The metal is, for example, tungsten or aluminum. The synthetic resin is, for example, polyethylene, polyvinylidene chloride, polyvinyl chloride, or polymethylpentene. The yarn is formed of, for example, fibers (eg, natural or chemical fibers).

例えば、スペーサー9は、略線状形状を有する場合、金属(例えば、タングステン)であることが好ましい。例えば、スペーサー9は、略線状形状を有する場合、ワイヤー(例えば、金属製ワイヤー)であることが好ましい。例えば、スペーサー9は、略帯状形状を有する場合、金属箔又は合成樹脂フィルムであることが好ましい。金属箔は、例えば、アルミ箔である。合成樹脂フィルムは、例えば、ラップフィルム(例えば、食品用ラップフィルム)である。 For example, when the spacer 9 has a substantially linear shape, it is preferably a metal (for example, tungsten). For example, when the spacer 9 has a substantially linear shape, it is preferably a wire (for example, a metal wire). For example, when the spacer 9 has a substantially strip shape, it is preferably a metal foil or a synthetic resin film. The metal foil is, for example, an aluminum foil. The synthetic resin film is, for example, a wrap film (for example, a food wrap film).

第1固定具11は、一対のスペーサー9の一端を枠体3に固定する。具体的には、押え板11aと枠体3とが、一対のスペーサー9の一端を挟む。そして、押え板11aを介して枠体3にビス11bを捻じ込むことによって、押え板11aが一対のスペーサー9の一端を押圧する。 The first fixture 11 fixes one end of the pair of spacers 9 to the frame body 3. Specifically, the pressing plate 11a and the frame body 3 sandwich one end of the pair of spacers 9. Then, by screwing the screw 11b into the frame body 3 via the pressing plate 11a, the pressing plate 11a presses one end of the pair of spacers 9.

第2固定具12は、一対のスペーサー9の他端を枠体3に固定する。具体的には、押え板12aと枠体3とが、一対のスペーサー9の他端を挟む。そして、押え板12aを介して枠体3にビス12bを捻じ込むことによって、押え板12aが一対のスペーサー9の他端を押圧する。 The second fixture 12 fixes the other ends of the pair of spacers 9 to the frame body 3. Specifically, the pressing plate 12a and the frame body 3 sandwich the other ends of the pair of spacers 9. Then, by screwing the screw 12b into the frame body 3 via the pressing plate 12a, the pressing plate 12a presses the other ends of the pair of spacers 9.

次に、図2を参照して、スペーサー9について説明する。図2は、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2とスペーサー9とを示す斜視図である。図2に示すように、スペーサー9は、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2との間に配置される。スペーサー9を配置することによって、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2との間の距離を一定に保つことができる。その結果、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7とが接触することを回避できる。 Next, the spacer 9 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a perspective view showing a first wire grid portion WG1, a second wire grid portion WG2, and a spacer 9. As shown in FIG. 2, the spacer 9 is arranged between the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2. By arranging the spacer 9, the distance between the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2 can be kept constant. As a result, it is possible to prevent the first wire 5 and the second wire 7 from coming into contact with each other.

次に、図3を参照して、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7とスペーサー9との関係について説明する。図3は、図1のIII−III線に沿った断面図である。図3に示すように、複数の第1ワイヤー5は、第1所定間隔d(所定間隔)で第2方向D2に沿って配列される。第1所定間隔dは第2方向D2に沿った間隔を示す。複数の第2ワイヤー7は、第1所定間隔dで第2方向D2に沿って配列される。 Next, the relationship between the first wire 5, the second wire 7, and the spacer 9 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. As shown in FIG. 3, the plurality of first wires 5 are arranged along the second direction D2 at the first predetermined interval d (predetermined interval). The first predetermined interval d indicates an interval along the second direction D2. The plurality of second wires 7 are arranged along the second direction D2 at the first predetermined interval d.

第1所定間隔dは、テラヘルツ波THの波長よりも短い。従って、ワイヤーグリッド1は、テラヘルツ波THのうち、第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7に垂直な偏光成分(以下、「TE波」と記載する。)を透過させる。つまり、TE波の電場は、第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7に垂直である。一方、ワイヤーグリッド1は、テラヘルツ波THのうち、第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7に平行な偏光成分(以下、「TM波」と記載する。)を透過させない。つまり、TM波の電場は、第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7に平行である。ワイヤーグリッド1は、金属(第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7)と自由空間(開口4)とで構成されるフリースタンド型であるため、基板材料による電磁波の多重反射及び吸収がほとんど無い。従って、ワイヤーグリッド1は、例えば、効率的な偏光子として機能する。 The first predetermined interval d is shorter than the wavelength of the terahertz wave TH. Therefore, the wire grid 1 transmits a polarization component (hereinafter, referred to as “TE wave”) perpendicular to the first wire 5 and the second wire 7 of the terahertz wave TH. That is, the electric field of the TE wave is perpendicular to the first wire 5 and the second wire 7. On the other hand, the wire grid 1 does not transmit the polarization component (hereinafter, referred to as “TM wave”) parallel to the first wire 5 and the second wire 7 of the terahertz wave TH. That is, the electric field of the TM wave is parallel to the first wire 5 and the second wire 7. Since the wire grid 1 is a free stand type composed of metal (first wire 5 and second wire 7) and a free space (opening 4), there is almost no multiple reflection and absorption of electromagnetic waves by the substrate material. Thus, the wire grid 1 functions, for example, as an efficient polarizer.

第2ワイヤー7は、第1ワイヤー5に対して、第2方向D2に沿ってシフト量pだけシフトしている。第1ワイヤー5と第2ワイヤー7とは、第2所定間隔Lをあけて配置される。第2所定間隔Lは、第3方向D3に沿った間隔を示す。第3方向D3は、第1方向D1と第2方向D2(図2)とに直交する。第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7の各々は直径Dを有する。スペーサー9は厚みtを有する。スペーサー9が略線状形状を有する場合は、厚みtは、スペーサー9の直径を示す。スペーサー9が略帯状形状を有する場合は、厚みtは、スペーサー9の一対の主面間の距離を示す。 The second wire 7 is shifted with respect to the first wire 5 by a shift amount p along the second direction D2. The first wire 5 and the second wire 7 are arranged with a second predetermined interval L. The second predetermined interval L indicates an interval along the third direction D3. The third direction D3 is orthogonal to the first direction D1 and the second direction D2 (FIG. 2). Each of the first wire 5 and the second wire 7 has a diameter D. The spacer 9 has a thickness t. When the spacer 9 has a substantially linear shape, the thickness t indicates the diameter of the spacer 9. When the spacer 9 has a substantially strip shape, the thickness t indicates the distance between the pair of main surfaces of the spacer 9.

スペーサー9の厚みt及び材質を調整することによって、シフト量pと、第1所定間隔dと、第2所定間隔Lとを容易に調整できる。 By adjusting the thickness t and the material of the spacer 9, the shift amount p, the first predetermined interval d, and the second predetermined interval L can be easily adjusted.

例えば、p=0.5×d、であることが好ましい。例えば、L=D、であることが好ましい。ただし、L<Dであってもよいし、L>Dであってもよい。例えば、D/d=0.5、であることが好ましい。例えば、厚みtは、第1ワイヤー5の直径Dの2倍以下であることが好ましい(t≦2×D)。例えば、厚みtは、第1ワイヤー5の直径Dの1倍以下であることが更に好ましい(t≦1×D)。例えば、厚みtは、第1ワイヤー5の直径Dよりも小さいことが更に好ましい(t<D)。例えば、厚みtは、第1ワイヤー5の直径Dの(√3−1)倍(=約0.7倍)以下であることが更に好ましい(t≦(√3−1)×D)。なぜなら、シミュレーションの結果、第2所定間隔Lが第1ワイヤー5の直径Dの√3倍以下で、偏光性能が飛躍的に向上するからである。例えば、厚みtは、第1ワイヤー5の直径Dの0.5倍以下であることが更に好ましい(t≦0.5×D)。例えば、p=100μm、d=200μm、L=100μm、D=100μm、t=50μm、である。 For example, it is preferable that p = 0.5 × d. For example, it is preferable that L = D. However, it may be L <D or L> D. For example, it is preferable that D / d = 0.5. For example, the thickness t is preferably not more than twice the diameter D of the first wire 5 (t ≦ 2 × D). For example, the thickness t is more preferably 1 times or less the diameter D of the first wire 5 (t ≦ 1 × D). For example, the thickness t is more preferably smaller than the diameter D of the first wire 5 (t <D). For example, the thickness t is more preferably (√3-1) times (= about 0.7 times) or less the diameter D of the first wire 5 (t ≦ (√3-1) × D). This is because, as a result of the simulation, the second predetermined interval L is √3 times or less the diameter D of the first wire 5, and the polarization performance is dramatically improved. For example, the thickness t is more preferably 0.5 times or less the diameter D of the first wire 5 (t ≦ 0.5 × D). For example, p = 100 μm, d = 200 μm, L = 100 μm, D = 100 μm, t = 50 μm.

図2及び図3の例では、スペーサー9が、略波状になって、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7との間に交互に配置されている。例えば、後記の実施形態3及び実施形態4では、スペーサー9が、略波状になって、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7との間に交互に配置される。ただし、スペーサー9が、略平坦状になって、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7との間に配置されていてもよい。例えば、後記の実施形態5及び実施形態6では、スペーサー9が、略平坦状になって、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7との間に配置される。 In the examples of FIGS. 2 and 3, the spacers 9 are arranged in a substantially wavy shape between the first wire 5 and the second wire 7. For example, in the third and fourth embodiments described later, the spacers 9 are arranged in a substantially wavy shape between the first wire 5 and the second wire 7. However, the spacer 9 may be substantially flat and may be arranged between the first wire 5 and the second wire 7. For example, in the fifth and sixth embodiments described later, the spacer 9 becomes substantially flat and is arranged between the first wire 5 and the second wire 7.

以上、図1〜図3を参照して説明したように、実施形態1によれば、スペーサー9を第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2との間に配置している。従って、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7とが接触することを回避できるため、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7とが接触しないような緻密なアライメントが緩和される。また、スペーサー9をガイドとしてワイヤー材を巻回できるため、シフト量p及び第2所定間隔Lを有する第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7を容易に形成できる。さらに、スペーサー9の厚みt及び材質を調整することによって、シフト量p及び第2所定間隔Lを容易に調整できる。その結果、スペーサー9を設けない場合と比較して、第1ワイヤー5に対する第2ワイヤー7の位置決めが容易になって、ワイヤーグリッド1を容易に製造できる。換言すれば、実施形態1に係るワイヤーグリッドは、複数のワイヤーグリッド部(第1ワイヤーグリッド部WG1及び第2ワイヤーグリッド部WG2)を有するとともに、容易に製造できる。 As described above with reference to FIGS. 1 to 3, according to the first embodiment, the spacer 9 is arranged between the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2. Therefore, since it is possible to prevent the first wire 5 and the second wire 7 from coming into contact with each other, a precise alignment that prevents the first wire 5 and the second wire 7 from coming into contact with each other is relaxed. Further, since the wire material can be wound around the spacer 9 as a guide, the first wire 5 and the second wire 7 having a shift amount p and a second predetermined interval L can be easily formed. Further, by adjusting the thickness t and the material of the spacer 9, the shift amount p and the second predetermined interval L can be easily adjusted. As a result, the positioning of the second wire 7 with respect to the first wire 5 becomes easier as compared with the case where the spacer 9 is not provided, and the wire grid 1 can be easily manufactured. In other words, the wire grid according to the first embodiment has a plurality of wire grid portions (first wire grid portion WG1 and second wire grid portion WG2) and can be easily manufactured.

また、実施形態1によれば、スペーサー9を設けることによって、1つの枠体3に、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2とを形成できる。つまり、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2と一体してワイヤーグリッド1を形成できる。従って、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2とが異なる枠体に形成されて別部材である場合と比較して、第1ワイヤーグリッド部WG1に対する第2ワイヤーグリッド部WG2の位置決めが容易になる。その結果、ワイヤーグリッド1を更に容易に製造できる。 Further, according to the first embodiment, by providing the spacer 9, the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2 can be formed on one frame body 3. That is, the wire grid 1 can be formed integrally with the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2. Therefore, the positioning of the second wire grid portion WG2 with respect to the first wire grid portion WG1 is higher than that in the case where the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2 are formed in different frames and are separate members. It will be easier. As a result, the wire grid 1 can be manufactured more easily.

さらに、実施形態1によれば、スペーサー9が略線状形状である場合、略帯状形状である場合と比較して、ワイヤーグリッド1の小型化を実現できる。一方、スペーサー9が略帯状形状である場合、合成樹脂のような比較的強度の低い材料を使用しても、ワイヤーグリッド1の耐久性を向上できる。 Further, according to the first embodiment, when the spacer 9 has a substantially linear shape, the wire grid 1 can be downsized as compared with the case where the spacer 9 has a substantially strip shape. On the other hand, when the spacer 9 has a substantially strip shape, the durability of the wire grid 1 can be improved even if a material having a relatively low strength such as a synthetic resin is used.

さらに、実施形態1によれば、スペーサー9が金属である場合、ワイヤーグリッド1の小型化を実現しつつ、ワイヤーグリッド1の耐久性を向上できる。一方、スペーサー9が合成樹脂である場合、金属よりも伸縮性があるため、耐久性確保のために厚みtを大きくしても、第2所定間隔Lを小さくできる。 Further, according to the first embodiment, when the spacer 9 is made of metal, the durability of the wire grid 1 can be improved while the wire grid 1 can be downsized. On the other hand, when the spacer 9 is made of synthetic resin, it has more elasticity than metal, so that the second predetermined interval L can be reduced even if the thickness t is increased to ensure durability.

さらに、実施形態1によれば、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2とを設け、2層構造を採用しつつ、第2ワイヤー7が第1ワイヤー5に対してシフト量pだけシフトしている。従って、1層構造の場合(1つのワイヤーグリッド部だけを有する場合)と比較して、TM波がワイヤーグリッド1を透過することを抑制できる。つまり、消光比を向上できる。消光比=(TM波の透過率Tm)/(TE波の透過率Te)、である。また、同様の理由により、Fabry−Perot共鳴(ファブリ・ペリー共鳴)が効果的に発現するため、1層構造を採用する場合と比較して、損失を低減できる。損失=1−Te、である。さらに、同様の理由により、ワイヤーグリッド1の広帯域化を実現できる。広帯域化は、消光比が一定値(例えば、10-4)以下になるときの周波数の帯域が広いことを示す。 Further, according to the first embodiment, the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2 are provided, and while adopting a two-layer structure, the second wire 7 shifts only the shift amount p with respect to the first wire 5. It's shifting. Therefore, as compared with the case of the one-layer structure (when having only one wire grid portion), it is possible to suppress the TM wave from passing through the wire grid 1. That is, the extinction ratio can be improved. Extinction ratio = (TM wave transmittance Tm) / (TE wave transmittance Te). Further, for the same reason, since Fabry-Perot resonance (Fabry-Pérot resonance) is effectively expressed, the loss can be reduced as compared with the case of adopting the one-layer structure. Loss = 1-Te. Further, for the same reason, it is possible to realize a wide band of the wire grid 1. Widening the bandwidth indicates that the frequency band is wide when the extinction ratio is below a certain value (for example, 10 -4).

消光比の向上と、損失の低減と、広帯域化とを効果的に実現するためには、例えば、L=D、であることが好ましい。L=Dを実現するためには、スペーサー9の厚みtを薄くすることが好ましい。例えば、t≦2×D、であることが好ましく、t≦1.5×D、であることが更に好ましく、t=D、であることが更に好ましく、t<D、であることが更に好ましい。 In order to effectively improve the extinction ratio, reduce the loss, and widen the bandwidth, for example, L = D is preferable. In order to realize L = D, it is preferable to reduce the thickness t of the spacer 9. For example, t ≦ 2 × D is preferable, t ≦ 1.5 × D is more preferable, t = D is more preferable, and t <D is more preferable. ..

実施形態1に係るワイヤーグリッド1は、例えば、偏光子又は偏光ビームスプリッターとして利用できる。 The wire grid 1 according to the first embodiment can be used as, for example, a polarizer or a polarizing beam splitter.

(実施形態2)
図1及び図4を参照して、本発明の実施形態2に係るワイヤーグリッドの製造方法について説明する。実施形態2に係る製造方法は、図1に示す実施形態1に係るワイヤーグリッド1の製造方法の一例である。
(Embodiment 2)
A method for manufacturing a wire grid according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 4. The manufacturing method according to the second embodiment is an example of the manufacturing method of the wire grid 1 according to the first embodiment shown in FIG.

図4は、実施形態2に係るワイヤーグリッド1の製造方法を示すフローチャートである。図4に示すように、製造方法は、準備工程S1(第1準備工程)と、形成工程S3とを含む。 FIG. 4 is a flowchart showing a method of manufacturing the wire grid 1 according to the second embodiment. As shown in FIG. 4, the manufacturing method includes a preparation step S1 (first preparation step) and a forming step S3.

図1及び図4に示すように、準備工程S1において、枠体3(第1枠体)を準備する。 As shown in FIGS. 1 and 4, the frame body 3 (first frame body) is prepared in the preparation step S1.

形成工程S3において、複数の第1ワイヤー5を含む第1ワイヤーグリッド部WG1と複数の第2ワイヤー7を含む第2ワイヤーグリッド部WG2との間に、一対のスペーサー9(一対の第1スペーサー)が配置されるように、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2とを枠体3に形成する。 In the forming step S3, a pair of spacers 9 (a pair of first spacers) are formed between the first wire grid portion WG1 including the plurality of first wires 5 and the second wire grid portion WG2 including the plurality of second wires 7. The first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2 are formed on the frame body 3 so that

具体的には、形成工程S3では、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7とが交互に位置するように、複数の第1ワイヤー5を、テラヘルツ波の波長よりも短い第1所定間隔d(所定間隔)で第2方向D2(一方向)に沿って配列するとともに、複数の第2ワイヤー7を、第1所定間隔dで第2方向D2に沿って配列する。また、一対のスペーサー9を、第2方向D2に沿って延びるように、第1方向D1(一方向に交差する方向)に沿って互いに間隔をあけて配置する。従って、一対のスペーサー9は、テラヘルツ波THの光路に位置しない。 Specifically, in the forming step S3, a plurality of first wires 5 are arranged at a first predetermined interval d (predetermined) shorter than the wavelength of the terahertz wave so that the first wire 5 and the second wire 7 are alternately positioned. (Interval) is arranged along the second direction D2 (one direction), and a plurality of second wires 7 are arranged along the second direction D2 at the first predetermined interval d. Further, the pair of spacers 9 are arranged at intervals from each other along the first direction D1 (direction intersecting in one direction) so as to extend along the second direction D2. Therefore, the pair of spacers 9 are not located in the optical path of the terahertz wave TH.

以上、図4を参照して説明したように、実施形態2によれば、スペーサー9を使用して、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2とを形成して、ワイヤーグリッド1を製造する。従って、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7とが接触することを回避できるため、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7とが接触しないような緻密なアライメントが緩和される。また、スペーサー9をガイドとしてワイヤー材を巻回できるため、シフト量p及び第2所定間隔Lを有する第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7を容易に形成できる。さらに、スペーサー9の厚みt及び材質を調整することによって、シフト量p及び第2所定間隔Lを容易に調整できる。その結果、スペーサー9を設けない場合と比較して、第1ワイヤー5に対する第2ワイヤー7の位置決めが容易になって、ワイヤーグリッド1を容易に製造できる。 As described above with reference to FIG. 4, according to the second embodiment, the spacer 9 is used to form the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2 to form the wire grid 1. To manufacture. Therefore, since it is possible to prevent the first wire 5 and the second wire 7 from coming into contact with each other, a precise alignment that prevents the first wire 5 and the second wire 7 from coming into contact with each other is relaxed. Further, since the wire material can be wound around the spacer 9 as a guide, the first wire 5 and the second wire 7 having a shift amount p and a second predetermined interval L can be easily formed. Further, by adjusting the thickness t and the material of the spacer 9, the shift amount p and the second predetermined interval L can be easily adjusted. As a result, the positioning of the second wire 7 with respect to the first wire 5 becomes easier as compared with the case where the spacer 9 is not provided, and the wire grid 1 can be easily manufactured.

また、実施形態1によれば、スペーサー9を設けることによって、1つの枠体3に、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2とを形成できる。つまり、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2と一体してワイヤーグリッド1を形成できる。従って、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2とが異なる枠体に形成されて別部材である場合と比較して、第1ワイヤーグリッド部WG1に対する第2ワイヤーグリッド部WG2の位置決めが容易になる。その結果、ワイヤーグリッド1を更に容易に製造できる。その他、実施形態2に係る製造方法によって製造されるワイヤーグリッド1は、実施形態1のワイヤーグリッド1と同様の効果を有する。 Further, according to the first embodiment, by providing the spacer 9, the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2 can be formed on one frame body 3. That is, the wire grid 1 can be formed integrally with the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2. Therefore, the positioning of the second wire grid portion WG2 with respect to the first wire grid portion WG1 is higher than that in the case where the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2 are formed in different frames and are separate members. It will be easier. As a result, the wire grid 1 can be manufactured more easily. In addition, the wire grid 1 manufactured by the manufacturing method according to the second embodiment has the same effect as the wire grid 1 of the first embodiment.

(実施形態3)
図5及び図6を参照して、本発明の実施形態3に係るワイヤーグリッドの製造方法について説明する。実施形態3に係る製造方法は、図1に示す実施形態1に係るワイヤーグリッド1の製造方法の一例である。また、実施形態3に係る製造方法は、略線状形状を有するスペーサー9を使用して、ワイヤーグリッド1を製造する。スペーサー9は例えば金属である。以下、実施形態3では、略線状形状を有するスペーサー9を「スペーサー9a」と記載する。
(Embodiment 3)
A method for manufacturing a wire grid according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6. The manufacturing method according to the third embodiment is an example of the manufacturing method of the wire grid 1 according to the first embodiment shown in FIG. Further, in the manufacturing method according to the third embodiment, the wire grid 1 is manufactured by using the spacer 9 having a substantially linear shape. The spacer 9 is, for example, metal. Hereinafter, in the third embodiment, the spacer 9 having a substantially linear shape will be referred to as “spacer 9a”.

図5(a)〜図5(c)及び図6(a)〜図6(c)は、実施形態3に係るワイヤーグリッド1の製造方法を示す図である。図5(a)〜図5(c)及び図6(a)〜図6(c)に示すように、製造方法は、準備工程S11(第1準備工程)と、第1固定工程S13と、巻回工程S15と、第2固定工程S17と、第3固定工程S19とを含む。第1固定工程S13と、巻回工程S15と、第2固定工程S17と、第3固定工程S19とは、形成工程を構成する。なお、図面を見やすくするために、第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7の合計数を実際の数(例えば、数百)よりも少なくしてある。また、同様の理由により、第1ワイヤー5を黒色で示し、第2ワイヤー7をドットハッチングで示している。 5 (a) to 5 (c) and 6 (a) to 6 (c) are views showing a method of manufacturing the wire grid 1 according to the third embodiment. As shown in FIGS. 5 (a) to 5 (c) and 6 (a) to 6 (c), the manufacturing method includes a preparation step S11 (first preparation step), a first fixing step S13, and the like. The winding step S15, the second fixing step S17, and the third fixing step S19 are included. The first fixing step S13, the winding step S15, the second fixing step S17, and the third fixing step S19 constitute a forming step. In order to make the drawings easier to see, the total number of the first wire 5 and the second wire 7 is made smaller than the actual number (for example, several hundreds). Further, for the same reason, the first wire 5 is shown in black and the second wire 7 is shown by dot hatching.

図5(a)に示すように、準備工程S11において、枠体3を準備する。 As shown in FIG. 5A, the frame body 3 is prepared in the preparation step S11.

図5(b)に示すように、第1固定工程S13において、一対のスペーサー9a(一対の第1スペーサー)の一端を、それぞれ、枠体3(第1枠体)の2箇所の起点位置に固定する。具体的には、一対のスペーサー9aの一端は、それぞれ、一対の第1固定具11によって、枠体3に固定される。 As shown in FIG. 5B, in the first fixing step S13, one ends of the pair of spacers 9a (pair of first spacers) are positioned at two starting points of the frame body 3 (first frame body), respectively. Fix it. Specifically, one end of each pair of spacers 9a is fixed to the frame body 3 by a pair of first fixtures 11.

図5(c)に示すように、巻回工程S15において、まず、一本のワイヤー材WRの一端を、枠体3の1箇所の起点位置に仮止めする。具体的には、ワイヤー材WRの一端は、仮止め部材21によって、枠体3に仮止めされる。仮止め部材21は、例えば、粘着テープである。 As shown in FIG. 5C, in the winding step S15, first, one end of one wire material WR is temporarily fixed at one starting point position of the frame body 3. Specifically, one end of the wire material WR is temporarily fixed to the frame body 3 by the temporary fixing member 21. The temporary fixing member 21 is, for example, an adhesive tape.

図5(c)、図6(a)、及び図6(b)に示すように、巻回工程S15において、次に、枠体3に一本のワイヤー材WRを複数回巻回して、第1ワイヤーグリッド部WG1及び第2ワイヤーグリッド部WG2を形成する。 As shown in FIGS. 5 (c), 6 (a), and 6 (b), in the winding step S15, one wire material WR is then wound around the frame 3 a plurality of times. 1 The wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2 are formed.

具体的には、巻回工程S15では、ワイヤー材WRが一対のスペーサー9aに交差する。そして、ワイヤー材WRのうち第2方向D2(一方向)に沿って配列するワイヤー部分WPが一対のスペーサー9aに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分WPの間に一対のスペーサー9aを通しながらワイヤー材WRを枠体3に巻回する。「一対のスペーサー9aに対して一方側と他方側」は、一対のスペーサー9aに対して枠体3の開口4に近い側と遠い側を示す。 Specifically, in the winding step S15, the wire material WR intersects the pair of spacers 9a. Then, the wire portions WP arranged along the second direction D2 (one direction) of the wire material WR are adjacent to each other so as to be alternately located on one side and the other side with respect to the pair of spacers 9a. The wire material WR is wound around the frame 3 while passing a pair of spacers 9a between the WPs. "One side and the other side with respect to the pair of spacers 9a" indicates the side closer to the opening 4 and the side farther from the opening 4 of the frame body 3 with respect to the pair of spacers 9a.

換言すれば、巻回工程S15では、複数のワイヤー部分WPが第2方向D2に沿ってシフト量pの間隔で形成されるように、ワイヤー材WRを枠体3に巻回しながら、一対のスペーサー9aを複数のワイヤー部分WPに織り込む。 In other words, in the winding step S15, the pair of spacers is wound around the frame 3 so that the plurality of wire portion WPs are formed at intervals of the shift amount p along the second direction D2. 9a is woven into a plurality of wire portions WP.

複数のワイヤー部分WPのうち、一対のスペーサー9aに対して一方側に位置する複数のワイヤー部分WPが、それぞれ、複数の第1ワイヤー5を構成する。複数のワイヤー部分WPのうち、一対のスペーサー9aに対して他方側に位置する複数のワイヤー部分WPが、それぞれ、複数の第2ワイヤー7を構成する。 Of the plurality of wire portion WPs, the plurality of wire portion WPs located on one side of the pair of spacers 9a each constitute a plurality of first wires 5. Of the plurality of wire portion WPs, the plurality of wire portion WPs located on the other side of the pair of spacers 9a each constitute a plurality of second wires 7.

例えば、巻回工程S15では、枠体3を軸線AXの回りに回転させながら、ワイヤー材WRが一対のスペーサー9aに交差するように、枠体3にワイヤー材WRをシフト量pの間隔で複数回巻回して、第1ワイヤーグリッド部WG1及び第2ワイヤーグリッド部WG2を形成する。 For example, in the winding step S15, while rotating the frame body 3 around the axis AX, a plurality of wire material WRs are applied to the frame body 3 at intervals of the shift amount p so that the wire material WR intersects the pair of spacers 9a. It is rotated to form the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2.

例えば、巻回工程S15では、枠体3が軸線AXの回りに半回転するたびに、ワイヤー材WRをシフト量pの1/2だけ第2方向D2に沿ってシフトする。更に、枠体3が軸線AXの回りに1回転するたびに、一対のスペーサー9aが第1位置と第2位置とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分WPの間に一対のスペーサー9aを通す。その結果、一対のスペーサー9aが複数のワイヤー部分WPに織り込まれる。「第1位置」は、ワイヤー部分WPに対して開口4よりも遠い位置を示し、「第2位置」は、ワイヤー部分WPに対して開口4よりも近い位置を示す。なお、半回転のたびにワイヤー材WRをシフト量pの1/2だけシフトすることによって、第2ワイヤー7を第1ワイヤー5に対してシフト量pだけシフトできる。 For example, in the winding step S15, each time the frame body 3 makes a half rotation around the axis AX, the wire material WR is shifted along the second direction D2 by 1/2 of the shift amount p. Further, each time the frame body 3 makes one rotation around the axis AX, the pair of spacers 9a are alternately positioned at the first position and the second position, and the pair of spacers are placed between the adjacent wire portions WP. Pass 9a. As a result, the pair of spacers 9a are woven into the plurality of wire portions WP. The "first position" indicates a position farther than the opening 4 with respect to the wire portion WP, and the "second position" indicates a position closer to the opening 4 with respect to the wire portion WP. By shifting the wire material WR by 1/2 of the shift amount p each half rotation, the second wire 7 can be shifted with respect to the first wire 5 by the shift amount p.

図6(b)に示すように、第2固定工程S17において、ワイヤー材WRを複数回巻回した後に、一対のスペーサー9aの他端を、それぞれ、枠体3の2箇所の終点位置に固定する。具体的には、一対のスペーサー9aの他端は、それぞれ、一対の第2固定具12によって、枠体3に固定される。 As shown in FIG. 6B, in the second fixing step S17, after winding the wire material WR a plurality of times, the other ends of the pair of spacers 9a are fixed to the two end positions of the frame body 3, respectively. To do. Specifically, the other ends of the pair of spacers 9a are fixed to the frame body 3 by the pair of second fixtures 12, respectively.

図6(c)に示すように、第3固定工程S19において、複数の第1ワイヤー5の一端と複数の第2ワイヤー7の一端とを、一対の固定具16のうちの一方の固定具16によって枠体3に固定するとともに、複数の第1ワイヤー5の他端と複数の第2ワイヤー7の他端とを、他方の固定具16によって枠体3に固定する。そして、枠体3の裏面に位置する複数のワイヤー部分を切断して枠体3から除去する。その結果、ワイヤーグリッド1が完成する。 As shown in FIG. 6C, in the third fixing step S19, one end of the plurality of first wires 5 and one end of the plurality of second wires 7 are fixed to one of the pair of fixing tools 16. The other ends of the plurality of first wires 5 and the other ends of the plurality of second wires 7 are fixed to the frame body 3 by the other fixing tool 16. Then, a plurality of wire portions located on the back surface of the frame body 3 are cut and removed from the frame body 3. As a result, the wire grid 1 is completed.

以上、図5及び図6を参照して説明したように、実施形態3によれば、スペーサー9aを使用するため、実施形態2と同様に、容易にワイヤーグリッド1を製造できる。その他、実施形態3では、実施形態1及び実施形態2と同様の効果を有する。 As described above with reference to FIGS. 5 and 6, according to the third embodiment, since the spacer 9a is used, the wire grid 1 can be easily manufactured as in the second embodiment. In addition, the third embodiment has the same effects as those of the first and second embodiments.

また、実施形態3によれば、ワイヤー部分WPが一対のスペーサー9aに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分WPの間に一対のスペーサー9aを通して、ワイヤーグリッド1を製造する。従って、一本のワイヤー材WRを用いて、シフト量pだけ間隔をあけて巻回することにより、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7とを一連の巻回作業で形成できる。その結果、ワイヤーグリッド1を更に容易に製造できる。 Further, according to the third embodiment, the wire is passed through the pair of spacers 9a between the adjacent wire portions WP so that the wire portions WP are alternately positioned on one side and the other side with respect to the pair of spacers 9a. Manufacture grid 1. Therefore, the first wire 5 and the second wire 7 can be formed by a series of winding operations by winding the first wire 5 and the second wire 7 at intervals of the shift amount p using one wire material WR. As a result, the wire grid 1 can be manufactured more easily.

さらに、実施形態3によれば、スペーサー9aは、略線状形状を有するため、略帯状形状を有する場合と比較して、互いに隣り合うワイヤー部分WPの間に一対のスペーサー9aを通す作業が容易である。その結果、ワイヤーグリッド1を更に容易に製造できる。 Further, according to the third embodiment, since the spacer 9a has a substantially linear shape, it is easier to pass the pair of spacers 9a between the wire portions WP adjacent to each other as compared with the case where the spacer 9a has a substantially strip shape. Is. As a result, the wire grid 1 can be manufactured more easily.

さらに、実施形態3によれば、スペーサー9aは金属である。従って、スペーサー9aは、略線状形状を有しつつ、強度及び耐久性を向上できる。 Further, according to the third embodiment, the spacer 9a is a metal. Therefore, the spacer 9a can improve the strength and durability while having a substantially linear shape.

なお、巻回工程S15では、ワイヤー材WRを複数回巻回して、全てのワイヤー部分WPを配列した後に、針等を使用して、複数のワイヤー部分WPにスペーサー9aを織り込むように通してもよい。 In the winding step S15, the wire material WR may be wound a plurality of times to arrange all the wire portion WPs, and then the spacer 9a may be woven into the plurality of wire portion WPs by using a needle or the like. Good.

(実施形態4)
図7〜図9を参照して、本発明の実施形態4に係るワイヤーグリッドの製造方法について説明する。実施形態4に係る製造方法は、図1に示す実施形態1に係るワイヤーグリッド1を2個同時に製造する。また、実施形態4に係る製造方法は、略線状形状を有するスペーサー9を使用して、ワイヤーグリッド1を製造する。スペーサー9は例えば金属である。
(Embodiment 4)
A method for manufacturing a wire grid according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 9. In the manufacturing method according to the fourth embodiment, two wire grids 1 according to the first embodiment shown in FIG. 1 are manufactured at the same time. Further, in the manufacturing method according to the fourth embodiment, the wire grid 1 is manufactured by using the spacer 9 having a substantially linear shape. The spacer 9 is, for example, metal.

以下、実施形態4では、説明の便宜のため、同時に製造される2個のワイヤーグリッド1のうちの一方のワイヤーグリッド1の枠体3及びスペーサー9を、それぞれ、第1枠体3A及び第1スペーサー9a1と記載する。一方のワイヤーグリッド1のその他の構成については、名称及び参照符号の変更はない。また、他方のワイヤーグリッド1の枠体3、スペーサー9、第1ワイヤーグリッド部WG1、第2ワイヤーグリッド部WG2、第1ワイヤー5、及び第2ワイヤー7を、それぞれ、第2枠体3B、第2スペーサー9a2、第3ワイヤーグリッド部WG3、第4ワイヤーグリッド部WG4、第3ワイヤー5B、及び第4ワイヤー7Bと記載する。他方のワイヤーグリッド1のその他の構成については、名称及び参照符号の変更はない。 Hereinafter, in the fourth embodiment, for convenience of explanation, the frame 3 and the spacer 9 of one of the two wire grids 1 manufactured at the same time are used as the first frame 3A and the first spacer 9, respectively. It is described as spacer 9a1. The names and reference numerals of the other configurations of the wire grid 1 on the other hand are unchanged. Further, the frame body 3, the spacer 9, the first wire grid portion WG1, the second wire grid portion WG2, the first wire 5, and the second wire 7 of the other wire grid 1, respectively, are the second frame body 3B and the second wire grid 1, respectively. 2 Spacer 9a2, 3rd wire grid portion WG3, 4th wire grid portion WG4, 3rd wire 5B, and 4th wire 7B. Regarding the other configuration of the other wire grid 1, the name and the reference code are not changed.

図7(a)〜図7(c)、図8(a)、図8(b)、図9(a)、及び図9(b)は、実施形態4に係るワイヤーグリッド1の製造方法を示す図である。図7(a)〜図7(c)、図8(a)、図8(b)、図9(a)、及び図9(b)に示すように、製造方法は、第1準備工程S31と、第2準備工程S33と、積層工程S35と、第1固定工程S37と、巻回工程S39と、第2固定工程S41と、第3固定工程S43とを含む。第1固定工程S37と、巻回工程S39と、第2固定工程S41と、第3固定工程S43とは、形成工程を構成する。なお、図面を見やすくするために、第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7の合計数を実際の数(例えば、数百)よりも少なくしてある。また、同様の理由により、第1ワイヤー5を黒色で示し、第2ワイヤー7をドットハッチングで示している。さらに、第2枠体3Bが図面の紙面奥側を向いているため、第2枠体3Bに形成される各構成は図面に現れていない。 7 (a) to 7 (c), 8 (a), 8 (b), 9 (a), and 9 (b) show the method for manufacturing the wire grid 1 according to the fourth embodiment. It is a figure which shows. As shown in FIGS. 7 (a) to 7 (c), 8 (a), 8 (b), 9 (a), and 9 (b), the manufacturing method is the first preparation step S31. The second preparatory step S33, the laminating step S35, the first fixing step S37, the winding step S39, the second fixing step S41, and the third fixing step S43 are included. The first fixing step S37, the winding step S39, the second fixing step S41, and the third fixing step S43 constitute a forming step. In order to make the drawings easier to see, the total number of the first wire 5 and the second wire 7 is made smaller than the actual number (for example, several hundreds). Further, for the same reason, the first wire 5 is shown in black and the second wire 7 is shown by dot hatching. Further, since the second frame body 3B faces the back side of the paper surface of the drawing, each configuration formed in the second frame body 3B does not appear in the drawing.

図7(a)に示すように、第1準備工程S31において、第1枠体3Aを準備する。 As shown in FIG. 7A, the first frame body 3A is prepared in the first preparation step S31.

図7(b)に示すように、第2準備工程S33において、第2枠体3Bを準備する。 As shown in FIG. 7B, the second frame body 3B is prepared in the second preparation step S33.

図7(c)に示すように、積層工程S35において、第1枠体3Aと第2枠体3Bとを積層して、積層体10を形成する。 As shown in FIG. 7C, in the laminating step S35, the first frame body 3A and the second frame body 3B are laminated to form the laminated body 10.

図8(a)に示すように、第1固定工程S37において、一対の第1スペーサー9a1の一端を、それぞれ、第1枠体3Aの2箇所の起点位置に固定する。また、第1固定工程S37では、一対の第2スペーサー9a2の一端を、それぞれ、第2枠体3Bの2箇所の起点位置に固定する。第1固定工程S37での具体的な固定方法は、第1固定工程S13(図5(b))と同様である。 As shown in FIG. 8A, in the first fixing step S37, one ends of the pair of first spacers 9a1 are fixed at two starting points of the first frame body 3A, respectively. Further, in the first fixing step S37, one ends of the pair of second spacers 9a2 are fixed at two starting points of the second frame body 3B, respectively. The specific fixing method in the first fixing step S37 is the same as that in the first fixing step S13 (FIG. 5B).

図8(b)に示すように、巻回工程S39において、まず、一本のワイヤー材WRの一端を、第1枠体3Aの1箇所の起点位置に仮止めする。具体的には、ワイヤー材WRは、仮止め部材21によって、第1枠体3Aに仮止めされる。仮止め部材21は、例えば、粘着テープである。 As shown in FIG. 8B, in the winding step S39, first, one end of one wire material WR is temporarily fixed at one starting point position of the first frame body 3A. Specifically, the wire material WR is temporarily fixed to the first frame body 3A by the temporary fixing member 21. The temporary fixing member 21 is, for example, an adhesive tape.

図8(b)及び図9(a)に示すように、巻回工程S39において、次に、積層体10に一本のワイヤー材WRを複数回巻回して、第1ワイヤーグリッド部WG1及び第2ワイヤーグリッド部WG2を第1枠体3Aに形成するとともに、第3ワイヤーグリッド部WG3及び第4ワイヤーグリッド部WG4を第2枠体3Bに形成する。 As shown in FIGS. 8 (b) and 9 (a), in the winding step S39, one wire material WR is then wound a plurality of times around the laminated body 10, and the first wire grid portion WG1 and the first wire grid portion WG1 and the first wire grid portion WG1 are wound. 2 The wire grid portion WG2 is formed in the first frame body 3A, and the third wire grid portion WG3 and the fourth wire grid portion WG4 are formed in the second frame body 3B.

具体的には、巻回工程S39では、ワイヤー材WRが、第1枠体3Aに配置される一対の第1スペーサー9a1に交差する。そして、ワイヤー材WRのうち第2方向(一方向)に沿って第1枠体3Aに配列するワイヤー部分WPが一対の第1スペーサー9a1に対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分WPの間に一対の第1スペーサー9a1を通しながらワイヤー材WRを積層体10に巻回する。「一対の第1スペーサー9a1に対して一方側と他方側」は、一対の第1スペーサー9a1に対して第1枠体3Aの開口4に近い側と遠い側を示す。 Specifically, in the winding step S39, the wire material WR intersects the pair of first spacers 9a1 arranged in the first frame body 3A. Then, the wire portion WPs arranged in the first frame 3A along the second direction (one direction) of the wire material WR are alternately located on one side and the other side with respect to the pair of first spacers 9a1. In addition, the wire material WR is wound around the laminate 10 while passing a pair of first spacers 9a1 between the wire portions WP adjacent to each other. "One side and the other side with respect to the pair of first spacers 9a1" indicates the side closer to the opening 4 and the side farther from the opening 4 of the first frame body 3A with respect to the pair of first spacers 9a1.

換言すれば、巻回工程S39では、第1枠体3Aにおいて複数のワイヤー部分WPが第2方向D2に沿ってシフト量pの間隔で形成されるように、ワイヤー材WRを積層体10に巻回しながら、第1枠体3Aにおいて一対の第1スペーサー9a1を複数のワイヤー部分WPに織り込む。 In other words, in the winding step S39, the wire material WR is wound around the laminated body 10 so that a plurality of wire portion WPs are formed at intervals of the shift amount p along the second direction D2 in the first frame body 3A. While rotating, the pair of first spacers 9a1 are woven into the plurality of wire portions WP in the first frame body 3A.

第1枠体3Aに配列する複数のワイヤー部分WPのうち、一対の第1スペーサー9a1に対して一方側に位置する複数のワイヤー部分WPが、それぞれ、複数の第1ワイヤー5を構成する。第1枠体3Aに配列する複数のワイヤー部分WPのうち、一対の第1スペーサー9a1に対して他方側に位置する複数のワイヤー部分WPが、それぞれ、複数の第2ワイヤー7を構成する。 Of the plurality of wire portion WPs arranged in the first frame body 3A, the plurality of wire portion WPs located on one side of the pair of first spacers 9a1 each constitute the plurality of first wires 5. Of the plurality of wire portion WPs arranged in the first frame body 3A, the plurality of wire portion WPs located on the opposite side of the pair of first spacers 9a1 each constitute the plurality of second wires 7.

また、巻回工程S39では、ワイヤー材WRが、第2枠体3Bに配置される一対の第2スペーサー9a2に交差する。そして、ワイヤー材WRのうち第2方向(一方向)に沿って第2枠体3Bに配列するワイヤー部分WPが一対の第2スペーサー9a2に対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分WPの間に一対の第2スペーサー9a2を通しながらワイヤー材WRを積層体10に巻回する。「一対の第2スペーサー9a2に対して一方側と他方側」は、一対の第2スペーサー9a2に対して第2枠体3Bの開口4に近い側と遠い側を示す。 Further, in the winding step S39, the wire material WR intersects the pair of second spacers 9a2 arranged in the second frame body 3B. Then, the wire portion WPs arranged in the second frame 3B along the second direction (one direction) of the wire material WR are alternately located on one side and the other side with respect to the pair of second spacers 9a2. In addition, the wire material WR is wound around the laminate 10 while passing a pair of second spacers 9a2 between the wire portions WP adjacent to each other. "One side and the other side with respect to the pair of second spacers 9a2" indicates the side closer to the opening 4 and the side farther from the opening 4 of the second frame body 3B with respect to the pair of second spacers 9a2.

換言すれば、巻回工程S39では、第2枠体3Bにおいて複数のワイヤー部分WPが第2方向D2に沿ってシフト量pの間隔で形成されるように、ワイヤー材WRを積層体10に巻回しながら、第2枠体3Bにおいて一対の第2スペーサー9a2を複数のワイヤー部分WPに織り込む。 In other words, in the winding step S39, the wire material WR is wound around the laminated body 10 so that a plurality of wire portion WPs are formed at intervals of the shift amount p along the second direction D2 in the second frame body 3B. While rotating, the pair of second spacers 9a2 are woven into the plurality of wire portions WP in the second frame body 3B.

第2枠体3Bに配列する複数のワイヤー部分WPのうち、一対の第2スペーサー9a2に対して一方側に位置する複数のワイヤー部分WPが、それぞれ、複数の第3ワイヤー5Bを構成する。第2枠体3Bに配列する複数のワイヤー部分WPのうち、一対の第2スペーサー9a2に対して他方側に位置する複数のワイヤー部分WPが、それぞれ、複数の第4ワイヤー7Bを構成する。 Of the plurality of wire portion WPs arranged in the second frame body 3B, the plurality of wire portion WPs located on one side of the pair of second spacers 9a2 each constitute the plurality of third wires 5B. Of the plurality of wire portion WPs arranged in the second frame body 3B, the plurality of wire portion WPs located on the opposite side of the pair of second spacers 9a2 each constitute the plurality of fourth wires 7B.

例えば、巻回工程S39では、積層体10を軸線AXの回りに回転させながら、ワイヤー材WRが一対の第1スペーサー9a1及び一対の第2スペーサー9a2に交差するように、積層体10にワイヤー材WRをシフト量pの間隔で複数回巻回して、第1ワイヤーグリッド部WG1及び第2ワイヤーグリッド部WG2を第1枠体3Aに形成するとともに、第3ワイヤーグリッド部WG3及び第4ワイヤーグリッド部WG4を第2枠体3Bに形成する。 For example, in the winding step S39, the wire material is formed on the laminate 10 so that the wire material WR intersects the pair of first spacers 9a1 and the pair of second spacers 9a2 while rotating the laminate 10 around the axis AX. The WR is wound a plurality of times at intervals of the shift amount p to form the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2 in the first frame body 3A, and the third wire grid portion WG3 and the fourth wire grid portion. The WG4 is formed in the second frame 3B.

例えば、巻回工程S39では、積層体10が軸線AXの回りに半回転するたびに、ワイヤー材WRをシフト量pの1/2だけ第2方向D2に沿ってシフトする。更に、積層体10が軸線AXの回りに1回転するたびに、一対の第1スペーサー9a1が第1位置と第2位置とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分WPの間に一対の第1スペーサー9a1を通すとともに、一対の第2スペーサー9a2が第1位置と第2位置とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分WPの間に一対の第2スペーサー9a2を通す。 For example, in the winding step S39, each time the laminated body 10 makes a half rotation around the axis AX, the wire material WR is shifted along the second direction D2 by 1/2 of the shift amount p. Further, each time the laminate 10 makes one rotation around the axis AX, a pair of first spacers 9a1 are paired between adjacent wire portions WP so that the pair of first spacers 9a1 are alternately positioned at the first position and the second position. Along with passing the first spacer 9a1 of the above, a pair of second spacers 9a2 are passed between the wire portion WPs adjacent to each other so that the pair of second spacers 9a2 are alternately positioned at the first position and the second position.

その結果、一対の第1スペーサー9a1が、第1枠体3Aにおいて複数のワイヤー部分WPに織り込まれるとともに、一対の第2スペーサー9a2が、第2枠体3Bにおいて複数のワイヤー部分WPに織り込まれる。「第1位置」は、ワイヤー部分WPに対して開口4よりも遠い位置を示し、「第2位置」は、ワイヤー部分WPに対して開口4よりも近い位置を示す。なお、半回転のたびにワイヤー材WRをシフト量pの1/2だけシフトすることによって、第1枠体3Aにおいて第2ワイヤー7を第1ワイヤー5に対してシフト量pだけシフトできるとともに、第2枠体3Bにおいて第4ワイヤー7Bを第3ワイヤー5Bに対してシフト量pだけシフトできる。 As a result, the pair of first spacers 9a1 are woven into the plurality of wire portions WP in the first frame body 3A, and the pair of second spacers 9a2 are woven into the plurality of wire portions WP in the second frame body 3B. The "first position" indicates a position farther than the opening 4 with respect to the wire portion WP, and the "second position" indicates a position closer to the opening 4 with respect to the wire portion WP. By shifting the wire material WR by 1/2 of the shift amount p each half turn, the second wire 7 can be shifted with respect to the first wire 5 by the shift amount p in the first frame body 3A, and In the second frame body 3B, the fourth wire 7B can be shifted with respect to the third wire 5B by the shift amount p.

図9(a)に示すように、第2固定工程S41において、ワイヤー材WRを複数回巻回した後に、一対の第1スペーサー9a1の他端を、それぞれ、第1枠体3Aの2箇所の終点位置に固定する。また、一対の第2スペーサー9a2の他端を、それぞれ、第2枠体3Bの2箇所の終点位置に固定する。第2固定工程S41での具体的な固定方法は、第2固定工程S17(図6(b))と同様である。 As shown in FIG. 9A, in the second fixing step S41, after the wire material WR is wound a plurality of times, the other ends of the pair of first spacers 9a1 are respectively placed at two positions of the first frame body 3A. Fix at the end point position. Further, the other ends of the pair of second spacers 9a2 are fixed at two end points of the second frame body 3B, respectively. The specific fixing method in the second fixing step S41 is the same as that in the second fixing step S17 (FIG. 6B).

図9(b)に示すように、第3固定工程S43において、複数の第1ワイヤー5の一端と複数の第2ワイヤー7の一端とを、第1枠体3Aに対応する一対の固定具16のうちの一方の固定具16によって第1枠体3Aに固定するとともに、複数の第1ワイヤー5の他端と複数の第2ワイヤー7の他端とを、一対の固定具16のうちの他方の固定具16によって第1枠体3Aに固定する。また、複数の第3ワイヤー5Bの一端と複数の第4ワイヤー7Bの一端とを、第2枠体3Bに対応する一対の固定具16のうちの一方の固定具16によって第2枠体3Bに固定するとともに、複数の第3ワイヤー5Bの他端と複数の第4ワイヤー7Bの他端とを、一対の固定具16のうちの他方の固定具16によって第2枠体3Bに固定する。そして、第1枠体3Aの固定具16と第2枠体3Bの固定具16との間において、ワイヤー材WRを切断して、2個のワイヤーグリッド1を分離する。 As shown in FIG. 9B, in the third fixing step S43, one end of the plurality of first wires 5 and one end of the plurality of second wires 7 are attached to a pair of fixing tools 16 corresponding to the first frame body 3A. The other end of the plurality of first wires 5 and the other end of the plurality of second wires 7 are fixed to the first frame body 3A by one of the fixtures 16 of the pair. It is fixed to the first frame body 3A by the fixing tool 16 of the above. Further, one end of the plurality of third wires 5B and one end of the plurality of fourth wires 7B are attached to the second frame 3B by one of the pair of fixtures 16 corresponding to the second frame 3B. At the same time, the other ends of the plurality of third wires 5B and the other ends of the plurality of fourth wires 7B are fixed to the second frame body 3B by the other fixing tool 16 of the pair of fixing tools 16. Then, the wire material WR is cut between the fixture 16 of the first frame 3A and the fixture 16 of the second frame 3B to separate the two wire grids 1.

以上、図7〜図9を参照して説明したように、実施形態4によれば、第1スペーサー9a1及び第2スペーサー9a2を使用するため、実施形態3と同様に、容易にワイヤーグリッド1を製造できる。その他、実施形態4では、実施形態3と同様の効果を有する。 As described above with reference to FIGS. 7 to 9, according to the fourth embodiment, since the first spacer 9a1 and the second spacer 9a2 are used, the wire grid 1 can be easily formed as in the third embodiment. Can be manufactured. In addition, the fourth embodiment has the same effect as that of the third embodiment.

また、実施形態4によれば、積層工程S35を設けることによって、2個のワイヤーグリッド1を同時に製造できる。その結果、単位時間当たりのワイヤーグリッド1の製造個数を増加できる。 Further, according to the fourth embodiment, two wire grids 1 can be manufactured at the same time by providing the laminating step S35. As a result, the number of wire grids 1 manufactured per unit time can be increased.

なお、巻回工程S39では、ワイヤー材WRを複数回巻回して、全てのワイヤー部分WPを配列した後に、針等を使用して、第1枠体3Aにおいて複数のワイヤー部分WPに第1スペーサー9a1を織り込むように通してもよい。同様に、ワイヤー材WRを複数回巻回して、全てのワイヤー部分WPを配列した後に、第2枠体3Bにおいて複数のワイヤー部分WPに第2スペーサー9a2を織り込むように通してもよい。 In the winding step S39, the wire material WR is wound a plurality of times to arrange all the wire portion WPs, and then a needle or the like is used to connect the first spacers to the plurality of wire portion WPs in the first frame body 3A. You may pass it so that 9a1 is woven. Similarly, after winding the wire material WR a plurality of times and arranging all the wire portion WPs, the second spacer 9a2 may be woven into the plurality of wire portion WPs in the second frame body 3B.

(実施形態5)
図10及び図11を参照して、本発明の実施形態5に係るワイヤーグリッドの製造方法について説明する。実施形態5に係る製造方法は、図1に示す実施形態1に係るワイヤーグリッド1の製造方法の一例である。また、実施形態5に係る製造方法は、略帯状形状を有するスペーサー9を使用して、ワイヤーグリッド1を製造する。スペーサー9は例えば合成樹脂フィルム又は金属箔である。以下、実施形態5では、略帯状形状を有するスペーサー9を「スペーサー9b」と記載する。
(Embodiment 5)
A method for manufacturing a wire grid according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 10 and 11. The manufacturing method according to the fifth embodiment is an example of the manufacturing method of the wire grid 1 according to the first embodiment shown in FIG. Further, in the manufacturing method according to the fifth embodiment, the wire grid 1 is manufactured by using the spacer 9 having a substantially band shape. The spacer 9 is, for example, a synthetic resin film or a metal leaf. Hereinafter, in the fifth embodiment, the spacer 9 having a substantially strip-shaped shape will be referred to as “spacer 9b”.

図10(a)〜図10(c)、図11(a)、及び図11(b)は、実施形態5に係るワイヤーグリッド1の製造方法を示す図である。図10(a)〜図10(c)、図11(a)、及び図11(b)に示すように、製造方法は、準備工程S51(第1準備工程)と、第1巻回工程S53と、第1固定工程S55(固定工程)と、第2巻回工程S57と、第2固定工程S59とを含む。第1巻回工程S53と、第1固定工程S55と、第2巻回工程S57と、第2固定工程S59とは、形成工程を構成する。なお、図面を見やすくするために、第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7の合計数を実際の数(例えば、数百)よりも少なくしてある。また、同様の理由により、第1ワイヤー5を黒色で示し、第2ワイヤー7をドットハッチングで示している。 10 (a) to 10 (c), 11 (a), and 11 (b) are diagrams showing a method of manufacturing the wire grid 1 according to the fifth embodiment. As shown in FIGS. 10 (a) to 10 (c), 11 (a), and 11 (b), the manufacturing methods include a preparation step S51 (first preparation step) and a first winding step S53. The first fixing step S55 (fixing step), the second winding step S57, and the second fixing step S59 are included. The first winding step S53, the first fixing step S55, the second winding step S57, and the second fixing step S59 constitute a forming step. In order to make the drawings easier to see, the total number of the first wire 5 and the second wire 7 is made smaller than the actual number (for example, several hundreds). Further, for the same reason, the first wire 5 is shown in black and the second wire 7 is shown by dot hatching.

図10(a)に示すように、準備工程S51において、枠体3を準備する。 As shown in FIG. 10A, the frame body 3 is prepared in the preparation step S51.

図10(b)に示すように、第1巻回工程S53において、まず、一本の第1ワイヤー材WR1の一端を、枠体3の1箇所の起点位置に仮止めする。具体的には、第1ワイヤー材WR1の一端は、仮止め部材23によって、枠体3に仮止めされる。仮止め部材23は、例えば、粘着テープである。 As shown in FIG. 10B, in the first winding step S53, first, one end of one first wire material WR1 is temporarily fixed at one starting point position of the frame body 3. Specifically, one end of the first wire material WR1 is temporarily fixed to the frame body 3 by the temporary fixing member 23. The temporary fixing member 23 is, for example, an adhesive tape.

次に、第1巻回工程S53では、枠体3(第1枠体)に第1ワイヤー材WR1を第1所定間隔d(所定間隔)で複数回巻回して、第1ワイヤーグリッド部WG1を形成する。第1ワイヤー材WR1のうち複数回巻回されて第1所定間隔dで並んだ複数のワイヤー部分WP1が、それぞれ、複数の第1ワイヤー5を構成する。 Next, in the first winding step S53, the first wire material WR1 is wound around the frame body 3 (first frame body) a plurality of times at the first predetermined interval d (predetermined interval) to form the first wire grid portion WG1. Form. A plurality of wire portions WP1 of the first wire material WR1 that are wound a plurality of times and arranged at a first predetermined interval d form a plurality of first wires 5, respectively.

例えば、第1巻回工程S53では、枠体3を軸線AXの回りに回転させながら、枠体3に第1ワイヤー材WR1を第1所定間隔dで複数回巻回して、第1ワイヤーグリッド部WG1を形成する。 For example, in the first winding step S53, the first wire material WR1 is wound around the frame body 3 a plurality of times at the first predetermined interval d while rotating the frame body 3 around the axis AX, and the first wire grid portion. Form WG1.

例えば、第1巻回工程S53では、枠体3が軸線AXの回りに半回転するたびに、ワイヤー材WRを第1所定間隔dの1/2だけ第2方向D2に沿ってシフトする。その結果、複数の第1ワイヤー5を第1所定間隔dで配列できる。 For example, in the first winding step S53, each time the frame body 3 makes a half rotation around the axis AX, the wire material WR is shifted along the second direction D2 by 1/2 of the first predetermined interval d. As a result, a plurality of first wires 5 can be arranged at the first predetermined interval d.

さらに、第1巻回工程S53では、第1ワイヤー材WR1の他端を、枠体3の1箇所の終点位置に仮止めする。具体的には、第1ワイヤー材WR1の他端は、仮止め部材24によって、枠体3に仮止めされる。仮止め部材24は、例えば、粘着テープである。 Further, in the first winding step S53, the other end of the first wire material WR1 is temporarily fixed at one end point position of the frame body 3. Specifically, the other end of the first wire material WR1 is temporarily fixed to the frame body 3 by the temporary fixing member 24. The temporary fixing member 24 is, for example, an adhesive tape.

図10(c)に示すように、第1固定工程S55において、一対のスペーサー9b(第1スペーサー)が第1ワイヤーグリッド部WG1の一対の面のうち一方面に接触するように、一対のスペーサー9bを枠体3に固定する。「一方面」とは、第1ワイヤーグリッド部WG1の一対の面のうち、開口4に対向している面の反対の面のことである。具体的には、一対のスペーサー9bの一端が第1固定具11によって枠体3に固定されるとともに、一対のスペーサー9bの他端が第2固定具12によって枠体3に固定される。 As shown in FIG. 10C, in the first fixing step S55, the pair of spacers 9b (first spacer) comes into contact with one of the pair of surfaces of the first wire grid portion WG1. 9b is fixed to the frame body 3. The “one surface” is a surface opposite to the surface facing the opening 4 among the pair of surfaces of the first wire grid portion WG1. Specifically, one end of the pair of spacers 9b is fixed to the frame 3 by the first fixture 11, and the other end of the pair of spacers 9b is fixed to the frame 3 by the second fixture 12.

図11(a)に示すように、第2巻回工程S57において、まず、一本の第2ワイヤー材WR2の一端を、枠体3の1箇所の起点位置に仮止めする。具体的には、第2ワイヤー材WR2の一端は、仮止め部材25によって、枠体3に仮止めされる。仮止め部材25は、例えば、粘着テープである。 As shown in FIG. 11A, in the second winding step S57, first, one end of one second wire material WR2 is temporarily fixed at one starting point position of the frame body 3. Specifically, one end of the second wire material WR2 is temporarily fixed to the frame body 3 by the temporary fixing member 25. The temporary fixing member 25 is, for example, an adhesive tape.

次に、第2巻回工程S57では、第2ワイヤー材WR2が一対のスペーサー9bに接触しつつ、第1ワイヤー材WR1と第2ワイヤー材WR2とが交互に位置するように、枠体3に第2ワイヤー材WR2を第1所定間隔dで複数回巻回して、第2ワイヤーグリッド部WG2を形成する。第2ワイヤー材WR2のうち複数回巻回されて第1所定間隔dで並んだ複数のワイヤー部分WP2が、それぞれ、複数の第2ワイヤー7を構成する。 Next, in the second winding step S57, the first wire material WR1 and the second wire material WR2 are alternately positioned on the frame body 3 while the second wire material WR2 is in contact with the pair of spacers 9b. The second wire material WR2 is wound a plurality of times at the first predetermined interval d to form the second wire grid portion WG2. A plurality of wire portions WP2 of the second wire material WR2, which are wound a plurality of times and arranged at a first predetermined interval d, each constitute a plurality of second wires 7.

例えば、第2巻回工程S57では、枠体3を軸線AXの回りに回転させながら、枠体3に第2ワイヤー材WR2を第1所定間隔dで複数回巻回して、第2ワイヤーグリッド部WG2を形成する。 For example, in the second winding step S57, while rotating the frame body 3 around the axis AX, the second wire material WR2 is wound around the frame body 3 a plurality of times at the first predetermined interval d, and the second wire grid portion is formed. Form WG2.

例えば、第2巻回工程S57では、枠体3が軸線AXの回りに半回転するたびに、第2ワイヤー材WR2を第1所定間隔dの1/2だけ第2方向D2に沿ってシフトする。その結果、複数の第2ワイヤー7を第1所定間隔dで配列できる。 For example, in the second winding step S57, each time the frame body 3 makes a half rotation around the axis AX, the second wire material WR2 is shifted along the second direction D2 by 1/2 of the first predetermined interval d. .. As a result, a plurality of second wires 7 can be arranged at the first predetermined interval d.

以上、図10及び図11を参照して説明したように、実施形態5によれば、スペーサー9bを使用するため、実施形態2と同様に、容易にワイヤーグリッド1を製造できる。その他、実施形態5では、実施形態1及び実施形態2と同様の効果を有する。 As described above with reference to FIGS. 10 and 11, according to the fifth embodiment, since the spacer 9b is used, the wire grid 1 can be easily manufactured as in the second embodiment. In addition, the fifth embodiment has the same effects as those of the first and second embodiments.

また、実施形態5によれば、第1巻回工程S53で第1ワイヤー5を形成し、第1固定工程S55でスペーサー9bを枠体3に固定し、第2巻回工程S57で第2ワイヤー7を形成して、ワイヤーグリッド1を製造する。従って、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2との間にスペーサー9bを配置する作業が容易である。その結果、ワイヤーグリッド1を更に容易に製造できる。 Further, according to the fifth embodiment, the first wire 5 is formed in the first winding step S53, the spacer 9b is fixed to the frame body 3 in the first fixing step S55, and the second wire is formed in the second winding step S57. 7 is formed to manufacture the wire grid 1. Therefore, it is easy to arrange the spacer 9b between the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2. As a result, the wire grid 1 can be manufactured more easily.

さらに、実施形態5によれば、第2巻回工程S57の後に、第1固定工程S55と同様の工程及び第1巻回工程S53と同様の工程、並びに、第1固定工程S55と同様の工程及び第2巻回工程S57と同様の工程を、交互に繰り返すことによって、3層構造以上のワイヤーグリッド(3個以上のワイヤーグリッド部を有するワイヤーグリッド)を容易に製造できる。 Further, according to the fifth embodiment, after the second winding step S57, the same steps as the first fixing step S55, the same steps as the first winding step S53, and the same steps as the first fixing step S55. By alternately repeating the same steps as in the second winding step S57, a wire grid having a three-layer structure or more (a wire grid having three or more wire grid portions) can be easily manufactured.

さらに、実施形態5によれば、スペーサー9bは、略帯状形状を有するため、互いに隣り合うワイヤー部分WP1の間に若干の鞍部が形成される。その結果、第2ワイヤー材WR2を巻回する際に、ワイヤー部分WP2が鞍部に入り込むため(自己組織化)、第2ワイヤー7を容易に形成できる。 Further, according to the fifth embodiment, since the spacer 9b has a substantially band shape, a slight saddle portion is formed between the wire portions WP1 adjacent to each other. As a result, when the second wire material WR2 is wound, the wire portion WP2 enters the saddle portion (self-organization), so that the second wire 7 can be easily formed.

さらに、実施形態5によれば、スペーサー9bが合成樹脂フィルムである場合は、適度な摩擦係数を有するため、第2ワイヤー材WR2がスペーサー9b上で滑ることを抑制でき、精度良く第2ワイヤー7を形成できる。また、スペーサー9bは、略帯状形状を有しているため、合成樹脂フィルムを使用しても強度及び耐久性を向上できる。 Further, according to the fifth embodiment, when the spacer 9b is a synthetic resin film, since it has an appropriate coefficient of friction, it is possible to prevent the second wire material WR2 from slipping on the spacer 9b, and the second wire 7 can be accurately performed. Can be formed. Further, since the spacer 9b has a substantially band shape, the strength and durability can be improved even if a synthetic resin film is used.

さらに、実施形態5によれば、スペーサー9bが金属箔である場合は、強度及び耐久性を向上できる。 Further, according to the fifth embodiment, when the spacer 9b is a metal foil, the strength and durability can be improved.

(実施形態6)
図7、図12、及び図13を参照して、本発明の実施形態6に係るワイヤーグリッドの製造方法について説明する。実施形態6に係る製造方法は、図1に示す実施形態1に係るワイヤーグリッド1を2個同時に製造する。また、実施形態6に係る製造方法は、略帯状形状を有するスペーサー9を使用して、ワイヤーグリッド1を製造する。スペーサー9は例えば合成樹脂フィルム又は金属箔である。
(Embodiment 6)
A method for manufacturing a wire grid according to a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7, 12, and 13. In the manufacturing method according to the sixth embodiment, two wire grids 1 according to the first embodiment shown in FIG. 1 are manufactured at the same time. Further, in the manufacturing method according to the sixth embodiment, the wire grid 1 is manufactured by using the spacer 9 having a substantially band shape. The spacer 9 is, for example, a synthetic resin film or a metal leaf.

以下、実施形態6では、説明の便宜のため、同時に製造される2個のワイヤーグリッド1のうちの一方のワイヤーグリッド1の枠体3及びスペーサー9を、それぞれ、第1枠体3A及び第1スペーサー9b1と記載する。一方のワイヤーグリッド1のその他の構成については、名称及び参照符号の変更はない。また、他方のワイヤーグリッド1の枠体3、スペーサー9、第1ワイヤーグリッド部WG1、第2ワイヤーグリッド部WG2、第1ワイヤー5、及び第2ワイヤー7を、それぞれ、第2枠体3B、第2スペーサー9b2、第3ワイヤーグリッド部WG3、第4ワイヤーグリッド部WG4、第3ワイヤー5B、及び第4ワイヤー7Bと記載する。他方のワイヤーグリッド1のその他の構成については、名称及び参照符号の変更はない。 Hereinafter, in the sixth embodiment, for convenience of explanation, the frame 3 and the spacer 9 of one of the two wire grids 1 manufactured at the same time are used as the first frame 3A and the first spacer 9, respectively. It is described as spacer 9b1. The names and reference numerals of the other configurations of the wire grid 1 on the other hand are unchanged. Further, the frame body 3, the spacer 9, the first wire grid portion WG1, the second wire grid portion WG2, the first wire 5, and the second wire 7 of the other wire grid 1, respectively, are the second frame body 3B and the second wire grid 1, respectively. 2 Spacer 9b2, 3rd wire grid portion WG3, 4th wire grid portion WG4, 3rd wire 5B, and 4th wire 7B. Regarding the other configuration of the other wire grid 1, the name and the reference code are not changed.

図12(a)、図12(b)、図13(a)、及び図13(b)は、実施形態6に係るワイヤーグリッド1の製造方法を示す図である。図7(a)〜図7(c)、図12(a)、図12(b)、図13(a)、及び図13(b)に示すように、製造方法は、第1準備工程S31と、第2準備工程S33と、積層工程S35と、第1巻回工程S71と、第1固定工程S73と、第2巻回工程S75と、第2固定工程S77とを含む。第1巻回工程S71と、第1固定工程S73と、第2巻回工程S75と、第2固定工程S77とは、形成工程を構成する。なお、図面を見やすくするために、第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7の合計数を実際の数(例えば、数百)よりも少なくしてある。また、同様の理由により、第1ワイヤー5を黒色で示し、第2ワイヤー7をドットハッチングで示している。さらに、第2枠体3Bが図面の紙面奥側を向いているため、第2枠体3Bに形成される各構成は図面に現れていない。 12 (a), 12 (b), 13 (a), and 13 (b) are diagrams showing a method of manufacturing the wire grid 1 according to the sixth embodiment. As shown in FIGS. 7 (a) to 7 (c), 12 (a), 12 (b), 13 (a), and 13 (b), the manufacturing method is the first preparation step S31. The second preparatory step S33, the laminating step S35, the first winding step S71, the first fixing step S73, the second winding step S75, and the second fixing step S77 are included. The first winding step S71, the first fixing step S73, the second winding step S75, and the second fixing step S77 constitute a forming step. In order to make the drawings easier to see, the total number of the first wire 5 and the second wire 7 is made smaller than the actual number (for example, several hundreds). Further, for the same reason, the first wire 5 is shown in black and the second wire 7 is shown by dot hatching. Further, since the second frame body 3B faces the back side of the paper surface of the drawing, each configuration formed in the second frame body 3B does not appear in the drawing.

図7(a)〜図7(c)に示すように、第1準備工程S31、第2準備工程S33、及び積層工程S35は、それぞれ、実施形態4に係る第1準備工程S31、第2準備工程S33、及び積層工程S35と同様であり、説明を省略する。 As shown in FIGS. 7A to 7C, the first preparation step S31, the second preparation step S33, and the laminating step S35 are the first preparation step S31 and the second preparation according to the fourth embodiment, respectively. It is the same as the step S33 and the laminating step S35, and the description thereof will be omitted.

図12(a)に示すように、第1巻回工程S71において、まず、一本の第1ワイヤー材WR1の一端を、枠体3の1箇所の起点位置に仮止めする。具体的には、第1ワイヤー材WR1の一端は、仮止め部材23によって、枠体3に仮止めされる。仮止め部材23は、例えば、粘着テープである。 As shown in FIG. 12A, in the first winding step S71, first, one end of one first wire material WR1 is temporarily fixed at one starting point position of the frame body 3. Specifically, one end of the first wire material WR1 is temporarily fixed to the frame body 3 by the temporary fixing member 23. The temporary fixing member 23 is, for example, an adhesive tape.

次に、第1巻回工程S71では、積層体10に第1ワイヤー材WR1を第1所定間隔d(所定間隔)で複数回巻回して、第1枠体3Aに第1ワイヤーグリッド部WG1を形成するとともに、第2枠体3Bに第3ワイヤーグリッド部WG3を形成する。第1ワイヤー材WR1のうち複数回巻回されて第1枠体3Aに第1所定間隔dで並んだ複数のワイヤー部分WP1が、それぞれ、複数の第1ワイヤー5を構成する。第1ワイヤー材WR1のうち複数回巻回されて第2枠体3Bに第1所定間隔dで並んだ複数のワイヤー部分WP1が、それぞれ、複数の第3ワイヤー5Bを構成する。 Next, in the first winding step S71, the first wire material WR1 is wound around the laminated body 10 a plurality of times at the first predetermined interval d (predetermined interval), and the first wire grid portion WG1 is wound around the first frame body 3A. At the same time, the third wire grid portion WG3 is formed in the second frame body 3B. A plurality of wire portions WP1 of the first wire material WR1 that are wound a plurality of times and arranged in the first frame body 3A at a first predetermined interval d form a plurality of first wires 5, respectively. A plurality of wire portions WP1 of the first wire material WR1 that are wound a plurality of times and arranged in the second frame body 3B at a first predetermined interval d form a plurality of third wires 5B, respectively.

例えば、第1巻回工程S71では、積層体10を軸線AXの回りに回転させながら、積層体10に第1ワイヤー材WR1を第1所定間隔dで複数回巻回して、第1枠体3Aに第1ワイヤーグリッド部WG1を形成するとともに、第2枠体3Bに第2ワイヤーグリッド部WG2を形成する。 For example, in the first winding step S71, the first wire material WR1 is wound around the laminated body 10 a plurality of times at the first predetermined interval d while rotating the laminated body 10 around the axis AX, and the first frame body 3A The first wire grid portion WG1 is formed in the second frame body 3B, and the second wire grid portion WG2 is formed in the second frame body 3B.

例えば、第1巻回工程S71では、積層体10が軸線AXの回りに半回転するたびに、第1ワイヤー材WR1を第1所定間隔dの1/2だけ第2方向D2に沿ってシフトする。その結果、第1枠体3Aに複数の第1ワイヤー5を第1所定間隔dで配列できるとともに、第2枠体3Bに複数の第3ワイヤー5Bを第1所定間隔dで配列できる。 For example, in the first winding step S71, each time the laminated body 10 makes a half rotation around the axis AX, the first wire material WR1 is shifted along the second direction D2 by 1/2 of the first predetermined interval d. .. As a result, a plurality of first wires 5 can be arranged in the first frame body 3A at a first predetermined interval d, and a plurality of third wires 5B can be arranged in the second frame body 3B at a first predetermined interval d.

さらに、第1巻回工程S71では、第1ワイヤー材WR1の他端を、第1枠体3Aの1箇所の終点位置に仮止めする。具体的には、第1ワイヤー材WR1の他端は、仮止め部材24によって、第1枠体3Aに仮止めされる。仮止め部材24は、例えば、粘着テープである。 Further, in the first winding step S71, the other end of the first wire material WR1 is temporarily fixed at one end point position of the first frame body 3A. Specifically, the other end of the first wire material WR1 is temporarily fixed to the first frame body 3A by the temporary fixing member 24. The temporary fixing member 24 is, for example, an adhesive tape.

図12(b)に示すように、第1固定工程S73において、一対の第1スペーサー9b1が第1ワイヤーグリッド部WG1の一対の面のうち一方面に接触するように、一対の第1スペーサー9b1を第1枠体3Aに固定する。「一方面」とは、第1ワイヤーグリッド部WG1の一対の面のうち、開口4に対向している面の反対の面のことである。また、第1固定工程S73では、一対の第2スペーサー9b2が第3ワイヤーグリッド部WG3の一対の面のうち一方面に接触するように、一対の第2スペーサー9b2を第2枠体3Bに固定する。「一方面」とは、第3ワイヤーグリッド部WG3の一対の面のうち、開口4に対向している面の反対の面のことである。第1固定工程S73での具体的な固定方法は、第1固定工程S55(図10(c))と同様である。 As shown in FIG. 12B, in the first fixing step S73, the pair of first spacers 9b1 are in contact with one of the pair of surfaces of the first wire grid portion WG1. Is fixed to the first frame body 3A. The “one surface” is a surface opposite to the surface facing the opening 4 among the pair of surfaces of the first wire grid portion WG1. Further, in the first fixing step S73, the pair of second spacers 9b2 are fixed to the second frame body 3B so that the pair of second spacers 9b2 come into contact with one of the pair of faces of the third wire grid portion WG3. To do. The “one surface” is a surface opposite to the surface facing the opening 4 among the pair of surfaces of the third wire grid portion WG3. The specific fixing method in the first fixing step S73 is the same as that in the first fixing step S55 (FIG. 10 (c)).

図13(a)に示すように、第2巻回工程S75において、まず、一本の第2ワイヤー材WR2の一端を、第1枠体3Aの1箇所の起点位置に仮止めする。具体的には、第2ワイヤー材WR2の一端は、仮止め部材25によって、第1枠体3Aに仮止めされる。仮止め部材25は、例えば、粘着テープである。 As shown in FIG. 13A, in the second winding step S75, first, one end of one second wire material WR2 is temporarily fixed at one starting point position of the first frame body 3A. Specifically, one end of the second wire material WR2 is temporarily fixed to the first frame body 3A by the temporary fixing member 25. The temporary fixing member 25 is, for example, an adhesive tape.

次に、第2巻回工程S75では、第2ワイヤー材WR2が一対の第1スペーサー9b1と一対の第2スペーサー9b2とに接触しつつ、第1ワイヤー材WR1と第2ワイヤー材WR2とが交互に位置するように、積層体10に第2ワイヤー材WR2を第1所定間隔dで複数回巻回して、第1枠体3Aに第2ワイヤーグリッド部WG2を形成するとともに、第2枠体3Bに第4ワイヤーグリッド部WG4を形成する。第2ワイヤー材WR2のうち複数回巻回されて第1枠体3Aに第1所定間隔dで並んだ複数のワイヤー部分WP2が、それぞれ、複数の第2ワイヤー7を構成する。第2ワイヤー材WR2のうち複数回巻回されて第2枠体3Bに第1所定間隔dで並んだ複数のワイヤー部分WP2が、それぞれ、複数の第4ワイヤー7Bを構成する。 Next, in the second winding step S75, the first wire material WR1 and the second wire material WR2 alternate while the second wire material WR2 is in contact with the pair of first spacers 9b1 and the pair of second spacers 9b2. The second wire material WR2 is wound around the laminated body 10 a plurality of times at the first predetermined interval d so as to be located in the first frame body 3A to form the second wire grid portion WG2 and the second frame body 3B. A fourth wire grid portion WG4 is formed on the surface. A plurality of wire portions WP2 of the second wire material WR2, which are wound a plurality of times and arranged in the first frame body 3A at a first predetermined interval d, each constitute a plurality of second wires 7. A plurality of wire portions WP2 wound a plurality of times in the second wire material WR2 and arranged in the second frame body 3B at a first predetermined interval d form a plurality of fourth wires 7B, respectively.

例えば、第2巻回工程S75では、積層体10を軸線AXの回りに回転させながら、積層体10に第2ワイヤー材WR2を第1所定間隔dで複数回巻回して、第1枠体3Aに第2ワイヤーグリッド部WG2を形成するとともに、第2枠体3Bに第4ワイヤーグリッド部WG4を形成する。 For example, in the second winding step S75, the second wire material WR2 is wound around the laminated body 10 a plurality of times at the first predetermined interval d while rotating the laminated body 10 around the axis AX, and the first frame body 3A The second wire grid portion WG2 is formed in the second frame body 3B, and the fourth wire grid portion WG4 is formed in the second frame body 3B.

例えば、第2巻回工程S75では、積層体10が軸線AXの回りに半回転するたびに、第2ワイヤー材WR2を第1所定間隔dの1/2だけ第2方向D2に沿ってシフトする。その結果、第1枠体3Aに複数の第2ワイヤー7を第1所定間隔dで配列できるとともに、第2枠体3Bに複数の第4ワイヤー7Bを第1所定間隔dで配列できる。 For example, in the second winding step S75, each time the laminate 10 makes a half rotation around the axis AX, the second wire material WR2 is shifted along the second direction D2 by 1/2 of the first predetermined interval d. .. As a result, a plurality of second wires 7 can be arranged in the first frame body 3A at the first predetermined interval d, and a plurality of fourth wires 7B can be arranged in the second frame body 3B at the first predetermined interval d.

図13(b)に示すように、第2固定工程S77は、図9(b)を参照して説明した第3固定工程S43と同様であり、説明を省略する。 As shown in FIG. 13B, the second fixing step S77 is the same as the third fixing step S43 described with reference to FIG. 9B, and the description thereof will be omitted.

以上、図12及び図13を参照して説明したように、実施形態6によれば、第1スペーサー9b1及び第2スペーサー9b2を使用するため、実施形態5と同様に、容易にワイヤーグリッド1を製造できる。その他、実施形態6では、実施形態5と同様の効果を有する。 As described above with reference to FIGS. 12 and 13, according to the sixth embodiment, since the first spacer 9b1 and the second spacer 9b2 are used, the wire grid 1 can be easily formed as in the fifth embodiment. Can be manufactured. In addition, the sixth embodiment has the same effect as that of the fifth embodiment.

また、実施形態6によれば、積層工程S35を設けることによって、2個のワイヤーグリッド1を同時に製造できる。その結果、単位時間当たりのワイヤーグリッド1の製造個数を増加できる。 Further, according to the sixth embodiment, two wire grids 1 can be manufactured at the same time by providing the laminating step S35. As a result, the number of wire grids 1 manufactured per unit time can be increased.

(実施形態7)
図14を参照して、本発明の実施形態7に係るワイヤーグリッド1について説明する。実施形態7に係るワイヤーグリッド1がN個以上のワイヤーグリッド部を備えている点で、2個のワイヤーグリッド部(第1ワイヤーグリッド部WG1及び第2ワイヤーグリッド部WG2)を備えている実施形態1に係るワイヤーグリッド1と異なる。「N」は、2以上の整数を示す。以下、実施形態7が実施形態1と異なる点を主に説明する。また、以下では、3個のワイヤーグリッド部を備えるワイヤーグリッド1について説明する(N=3)。
(Embodiment 7)
The wire grid 1 according to the seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The embodiment that includes two wire grid portions (first wire grid portion WG1 and second wire grid portion WG2) in that the wire grid 1 according to the seventh embodiment includes N or more wire grid portions. It is different from the wire grid 1 according to 1. "N" indicates an integer of 2 or more. Hereinafter, the points that the seventh embodiment is different from the first embodiment will be mainly described. Further, the wire grid 1 including the three wire grid portions will be described below (N = 3).

図14は、実施形態7に係るワイヤーグリッド1を示す断面図である。図14に示すように、ワイヤーグリッド1は、入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御する。具体的には、ワイヤーグリッド1は、第1ワイヤーグリッド部WG1、第2ワイヤーグリッド部WG2、及び一対のスペーサー9に加えて、第3ワイヤーグリッド部WG3及び一対のスペーサー91をさらに備える。第3ワイヤーグリッド部WG3は複数の第3ワイヤー8を含む。 FIG. 14 is a cross-sectional view showing the wire grid 1 according to the seventh embodiment. As shown in FIG. 14, the wire grid 1 controls the polarization of the terahertz wave as the incident wave. Specifically, the wire grid 1 further includes a third wire grid portion WG3 and a pair of spacers 91 in addition to the first wire grid portion WG1, the second wire grid portion WG2, and the pair of spacers 9. The third wire grid portion WG3 includes a plurality of third wires 8.

複数の第3ワイヤー8は、第1所定間隔d(所定間隔)で第2方向D2に沿って配列される。第3ワイヤー8は、第2ワイヤー7に対して、第2方向D2に沿ってシフト量pだけシフトしている。第2ワイヤー7と第3ワイヤー8とは、第2所定間隔Lをあけて配置される。第3ワイヤー8は直径Dを有する。スペーサー91は厚みtを有する。スペーサー91が略線状形状を有する場合は、厚みtは、スペーサー91の直径を示す。スペーサー91が略帯状形状を有する場合は、厚みtは、スペーサー91の一対の主面間の距離を示す。 The plurality of third wires 8 are arranged along the second direction D2 at the first predetermined interval d (predetermined interval). The third wire 8 shifts with respect to the second wire 7 by a shift amount p along the second direction D2. The second wire 7 and the third wire 8 are arranged with a second predetermined interval L. The third wire 8 has a diameter D. The spacer 91 has a thickness t. When the spacer 91 has a substantially linear shape, the thickness t indicates the diameter of the spacer 91. When the spacer 91 has a substantially strip shape, the thickness t indicates the distance between the pair of main surfaces of the spacer 91.

直径D、厚みt、第1所定間隔d、第2所定間隔L、及びシフト量pは、実施形態1と同様の条件を採用できる。また、第3ワイヤー8は、第1ワイヤー5と同様の条件を採用できる。さらに、スペーサー91は、スペーサー9と同様の条件を採用できる。実施形態7では、実施形態1と同様に、スペーサー9及びスペーサー91の厚みt及び材質を調整することによって、シフト量pと、第1所定間隔dと、第2所定間隔Lとを容易に調整できる。 The same conditions as those in the first embodiment can be adopted for the diameter D, the thickness t, the first predetermined interval d, the second predetermined interval L, and the shift amount p. Further, the third wire 8 can adopt the same conditions as the first wire 5. Further, the spacer 91 can adopt the same conditions as the spacer 9. In the seventh embodiment, the shift amount p, the first predetermined interval d, and the second predetermined interval L can be easily adjusted by adjusting the thickness t and the material of the spacer 9 and the spacer 91 as in the first embodiment. it can.

実施形態7によれば、スペーサー9及びスペーサー91を有するため、実施形態1と同様に、複数のワイヤーグリッド部(第1ワイヤーグリッド部WG1、第2ワイヤーグリッド部WG2、及び第3ワイヤーグリッド部WG3)を有するワイヤーグリッド1を容易に製造できる。また、2層構造の場合と比較して、消光比を更に向上できる。一方、1層構造の場合と同等に、損失を低減できる。 According to the seventh embodiment, since the spacer 9 and the spacer 91 are provided, a plurality of wire grid portions (first wire grid portion WG1, second wire grid portion WG2, and third wire grid portion WG3) are provided as in the first embodiment. ) Can be easily manufactured. Further, the extinction ratio can be further improved as compared with the case of the two-layer structure. On the other hand, the loss can be reduced as in the case of the one-layer structure.

例えば、図10及び図11を参照して説明した第2巻回工程S57の後に、第1固定工程S55と同様の工程及び第1巻回工程S53と同様の工程を実行することによって、第3ワイヤーグリッド部WG3を容易に形成できる。 For example, by executing the same process as the first fixing step S55 and the same process as the first winding step S53 after the second winding step S57 described with reference to FIGS. 10 and 11, the third winding step S57 is executed. The wire grid portion WG3 can be easily formed.

次に、N(Nは2以上の整数)個のワイヤーグリッド部を有するワイヤーグリッド1について説明する。N個のワイヤーグリッド部を、第1ワイヤーグリッド部WG1〜第Nワイヤーグリッド部WGNと記載する。また、第1ワイヤーグリッド部WG1〜第Nワイヤーグリッド部WGNを総称して、第nワイヤーグリッド部WGnと記載する場合がある。 Next, the wire grid 1 having N (N is an integer of 2 or more) wire grid portions will be described. The N wire grid portions are referred to as the first wire grid portion WG1 to the Nth wire grid portion WGN. Further, the first wire grid portion WG1 to the Nth wire grid portion WGN may be collectively referred to as the nth wire grid portion WGn.

ワイヤーグリッド1は、第1ワイヤーグリッド部WG1〜第Nワイヤーグリッド部WGNと、(N−1)個のスペーサーを備える。第1ワイヤーグリッド部WG1〜第Nワイヤーグリッド部WGNは、それぞれ、複数の第1ワイヤーWIR1〜複数の第NワイヤーWIRNを含む。 The wire grid 1 includes a first wire grid portion WG1 to an Nth wire grid portion WGN and (N-1) spacers. The first wire grid portion WG1 to the Nth wire grid portion WGN include a plurality of first wire WIR1 to a plurality of Nth wire WIRN, respectively.

第1ワイヤーWIR1〜第NワイヤーWIRNを総称して第nワイヤーWIRnと記載する場合がある。第nワイヤーWIRnの構成は、第1ワイヤー5の構成と同様である。(N−1)個のスペーサーを、第1スペーサーSP1〜第(N−1)スペーサーSP(N−1)と記載する。また、第1スペーサーSP1〜第(N−1)スペーサーSP(N−1)を総称して、第nスペーサーSPnと記載する場合がある。第nスペーサーSPnの構成は、スペーサー9の構成と同様である。 The first wire WIR1 to the Nth wire WIRN may be collectively referred to as the nth wire WIRN. The configuration of the n-th wire WIRn is the same as the configuration of the first wire 5. The (N-1) spacers are referred to as the first spacer SP1 to the (N-1) spacer SP (N-1). Further, the first spacer SP1 to the (N-1) spacer SP (N-1) may be generically referred to as the nth spacer SPn. The configuration of the nth spacer SPn is the same as the configuration of the spacer 9.

第nワイヤーグリッド部WGnと第(n+1)ワイヤーグリッド部WG(n+1)との間に、第nスペーサーSPnが配置される。複数の第nワイヤーWIRnは、第1所定間隔dで第2方向D2に沿って配列される。第(n+1)ワイヤーWIR(n+1)は、第nワイヤーWIRnに対して、第2方向D2に沿ってシフト量pだけシフトしている。第nワイヤーWIRnと第(n+1)ワイヤーWIR(n+1)とは、第2所定間隔Lをあけて配置される。第nワイヤーWIRnは直径Dを有する。第nスペーサーSPnは厚みtを有する。第nスペーサーSPnが略線状形状を有する場合は、厚みtは、第nスペーサーSPnの直径を示す。第nスペーサーSPnが略帯状形状を有する場合は、厚みtは、第nスペーサーSPnの一対の主面間の距離を示す。 The nth spacer SPn is arranged between the nth wire grid portion WGn and the (n + 1) th (n + 1) wire grid portion WG (n + 1). The plurality of n-th wire WIRn are arranged along the second direction D2 at the first predetermined interval d. The first (n + 1) wire WIR (n + 1) is shifted with respect to the nth wire WIRn by a shift amount p along the second direction D2. The nth wire WIRn and the (n + 1) th wire WIR (n + 1) are arranged with a second predetermined interval L. The nth wire WIRn has a diameter D. The nth spacer SPn has a thickness t. When the nth spacer SPn has a substantially linear shape, the thickness t indicates the diameter of the nth spacer SPn. When the nth spacer SPn has a substantially strip shape, the thickness t indicates the distance between the pair of main surfaces of the nth spacer SPn.

直径D、厚みt、第1所定間隔d、第2所定間隔L、及びシフト量pは、実施形態1と同様の条件を採用できる。N個のワイヤーグリッド部(第1ワイヤーグリッド部WG1〜第Nワイヤーグリッド部WGN)を有する場合でも、実施形態1と同様に、第nスペーサーSPnの厚みt及び材質を調整することによって、シフト量pと、第1所定間隔dと、第2所定間隔Lとを容易に調整できる。 The same conditions as those in the first embodiment can be adopted for the diameter D, the thickness t, the first predetermined interval d, the second predetermined interval L, and the shift amount p. Even when having N wire grid portions (first wire grid portion WG1 to Nth wire grid portion WGN), the shift amount is adjusted by adjusting the thickness t and the material of the nth spacer SPn as in the first embodiment. The p, the first predetermined interval d, and the second predetermined interval L can be easily adjusted.

実施形態7によれば、第1スペーサーSP1〜第(N−1)スペーサーSP(N−1)を有するため、実施形態1と同様に、複数のワイヤーグリッド部(第1ワイヤーグリッド部WG1〜第Nワイヤーグリッド部WGN)を有するワイヤーグリッド1を容易に製造できる。また、Nが大きくなればなるほど、消光比を更に向上できる。一方、1層構造の場合と同等に、損失を低減できる。 According to the seventh embodiment, since the first spacer SP1 to the (N-1) spacer SP (N-1) is provided, a plurality of wire grid portions (first wire grid portions WG1 to 1st) are provided as in the first embodiment. The wire grid 1 having the N wire grid portion WGN) can be easily manufactured. Further, as N becomes larger, the extinction ratio can be further improved. On the other hand, the loss can be reduced as in the case of the one-layer structure.

例えば、図10及び図11を参照して説明した第2巻回工程S57の後に、第1固定工程S55と同様の工程及び第1巻回工程S53と同様の工程、並びに、第1固定工程S55と同様の工程及び第2巻回工程S57と同様の工程を、交互に繰り返すことによって、第1ワイヤーグリッド部WG1〜第Nワイヤーグリッド部WGNを有するワイヤーグリッド1を容易に製造できる。 For example, after the second winding step S57 described with reference to FIGS. 10 and 11, a process similar to the first fixing step S55, a process similar to the first winding step S53, and a first fixing step S55 By alternately repeating the same steps as in the second winding step S57 and the same steps as in the second winding step S57, the wire grid 1 having the first wire grid portion WG1 to the Nth wire grid portion WGN can be easily manufactured.

例えば、図12及び図13を参照して説明した第2巻回工程S75の後に、第1固定工程S73と同様の工程及び第1巻回工程S71と同様の工程、並びに、第1固定工程S73と同様の工程及び第2巻回工程S75と同様の工程を、交互に繰り返すことによって、第1ワイヤーグリッド部WG1〜第Nワイヤーグリッド部WGNを有するワイヤーグリッド1を2個同時に容易に製造できる。 For example, after the second winding step S75 described with reference to FIGS. 12 and 13, a process similar to the first fixing step S73, a process similar to the first winding step S71, and a first fixing step S73. By alternately repeating the same process as in and the same process as in the second winding step S75, two wire grids 1 having the first wire grid portion WG1 to the Nth wire grid portion WGN can be easily manufactured at the same time.

なお、第1スペーサーSP1〜第(N−1)スペーサーSP(N−1)が、略波状になって配置されてもよいし、略平坦状になって配置されてもよい。 The first spacers SP1 to (N-1) spacers SP (N-1) may be arranged in a substantially wavy shape or may be arranged in a substantially flat shape.

次に、本発明が実施例に基づき具体的に説明されるが、本発明は以下の実施例によって限定されない。 Next, the present invention will be specifically described based on examples, but the present invention is not limited to the following examples.

(実施例1、実施例2)
本発明の実施例1として、図1を参照して説明した実施形態1に係る二層のワイヤーグリッド1を採用した。本発明の実施例2として、図14を参照して説明した実施形態7に係る三層のワイヤーグリッド1を採用した。比較例として、1個のワイヤーグリッド部だけを有する一層のワイヤーグリッドを採用した。
(Example 1, Example 2)
As Example 1 of the present invention, the two-layer wire grid 1 according to the first embodiment described with reference to FIG. 1 was adopted. As Example 2 of the present invention, the three-layer wire grid 1 according to the seventh embodiment described with reference to FIG. 14 was adopted. As a comparative example, a single-layer wire grid having only one wire grid portion was adopted.

そして、以下の条件で、時間領域差分法(Finite Difference Time Domain Method)に基づく電磁界シミュレーションを実行し、実施例1、実施例2、及び比較例の透過特性を求めた。 Then, under the following conditions, an electromagnetic field simulation based on the time domain difference method (Finite Difference Time Domain Method) was executed, and the transmission characteristics of Examples 1, 2, and Comparative Examples were obtained.

ワイヤーの直径D=10μmと直径D=100μmとの各々について電磁界シミュレーションを実行した。シフト量p=Dであり、第1所定間隔d=2×Dであり、第2所定間隔L=Dであった。 Electromagnetic field simulations were performed for each of the wire diameter D = 10 μm and diameter D = 100 μm. The shift amount p = D, the first predetermined interval d = 2 × D, and the second predetermined interval L = D.

図15は、実施例1、実施例2、及び比較例に係るTE波の透過率Teと周波数との関係を示す図である。横軸は周波数を示し、縦軸は透過率Teを示す。横軸の上段は、D=100μmのときのスケールを示し、横軸の下段は、D=10μmのときのスケールを示す。また、比較例の透過率Teを曲線51で示し、実施例1の透過率Teを曲線52で示し、実施例2の透過率Teを曲線53で示す。 FIG. 15 is a diagram showing the relationship between the transmittance Te and the frequency of the TE wave according to the first example, the second embodiment, and the comparative example. The horizontal axis shows the frequency, and the vertical axis shows the transmittance Te. The upper part of the horizontal axis shows the scale when D = 100 μm, and the lower part of the horizontal axis shows the scale when D = 10 μm. Further, the transmittance Te of Comparative Example is shown by a curve 51, the transmittance Te of Example 1 is shown by a curve 52, and the transmittance Te of Example 2 is shown by a curve 53.

図16は、実施例1、実施例2、及び比較例に係るTM波の透過率Tmと周波数との関係を示す図である。図16では、横軸は周波数を示し、縦軸は透過率Tmを示す。横軸の上段は、D=100μmのときのスケールを示し、横軸の下段は、D=10μmのときのスケールを示す。また、比較例の透過率Tmを曲線61で示し、実施例1の透過率Tmを曲線62で示し、実施例2の透過率Tmを曲線63で示す。 FIG. 16 is a diagram showing the relationship between the transmittance Tm of the TM wave and the frequency according to the first example, the second embodiment, and the comparative example. In FIG. 16, the horizontal axis represents the frequency and the vertical axis represents the transmittance Tm. The upper part of the horizontal axis shows the scale when D = 100 μm, and the lower part of the horizontal axis shows the scale when D = 10 μm. Further, the transmittance Tm of Comparative Example is shown by a curve 61, the transmittance Tm of Example 1 is shown by a curve 62, and the transmittance Tm of Example 2 is shown by a curve 63.

図15に示すように、多層の実施例1(曲線52)及び実施例2(曲線53)のTE波の透過率Teは、一層の比較例(曲線51)と比較して、減少しておらず、比較的高い透過率Teが得られた。つまり、ワイヤーグリッド部の増加は、透過率Teにほとんど影響を与えなかった。また、実施例1(曲線52)と実施例2(曲線53)とを比較すると、ワイヤーグリッド部の個数の増加、つまり、積層数の増加は、透過率Teにほとんど影響を与えなかった。 As shown in FIG. 15, the transmittance Te of the TE wave of the multilayer Example 1 (curve 52) and Example 2 (curve 53) is reduced as compared with the one-layer comparative example (curve 51). However, a relatively high transmittance Te was obtained. That is, the increase in the wire grid portion had almost no effect on the transmittance Te. Further, comparing Example 1 (curve 52) and Example 2 (curve 53), an increase in the number of wire grid portions, that is, an increase in the number of layers, had almost no effect on the transmittance Te.

これに対して、図16に示すように、多層の実施例1(曲線62)及び実施例2(曲線63)のTE波の透過率Tmは、一層の比較例(曲線61)と比較して、大きく減少した。具体的には、ワイヤーグリッド部の個数の増加、つまり、積層数の増加に伴って、透過率Tmが、指数関数的に減少した。 On the other hand, as shown in FIG. 16, the transmittance Tm of the TE wave of the multilayer Example 1 (curve 62) and Example 2 (curve 63) is higher than that of the single layer Comparative Example (curve 61). , Decreased significantly. Specifically, the transmittance Tm decreased exponentially as the number of wire grid portions increased, that is, as the number of layers increased.

ワイヤーグリッド1を偏光子として使用する場合には、TE波に対して高い透過率Teを示し、TM波に対して低い透過率Tmを示すことが好ましい。実施例1及び実施例2では、図14及び図15に示す電磁界シミュレーションの結果から、偏光性能が飛躍的に拡大することが期待される。 When the wire grid 1 is used as a polarizer, it is preferable to show a high transmittance Te for TE waves and a low transmittance Tm for TM waves. In the first and second embodiments, it is expected that the polarization performance will be dramatically expanded from the results of the electromagnetic field simulations shown in FIGS. 14 and 15.

(実施例3)
本発明の実施例3として、図5及び図6を参照して説明した実施形態3に係る製造方法によって、ワイヤーグリッド1を製造した。ワイヤーの直径D=100μmであり、スペーサー9aの厚みt(スペーサー9aの直径)=100μmであり、第1ワイヤー5と第2ワイヤー7との合計数は、約500であった。第1ワイヤー5、第2ワイヤー7、及びスペーサー9aは、タングステンであった。
(Example 3)
As Example 3 of the present invention, the wire grid 1 was manufactured by the manufacturing method according to the third embodiment described with reference to FIGS. 5 and 6. The wire diameter D = 100 μm, the thickness t of the spacer 9a (diameter of the spacer 9a) = 100 μm, and the total number of the first wire 5 and the second wire 7 was about 500. The first wire 5, the second wire 7, and the spacer 9a were tungsten.

図17は、実施例3に係るワイヤーグリッド1を示す写真である。図17に示すように、ワイヤーグリッド1は、略線状形状の一対のスペーサー9aを利用して製造された。第1ワイヤーグリッド部WG1の第1所定間隔d=208μm、第2ワイヤーグリッド部WG2の第1所定間隔d=208μm、第2所定間隔L=237μm、シフト量p=100μmであった。 FIG. 17 is a photograph showing the wire grid 1 according to the third embodiment. As shown in FIG. 17, the wire grid 1 was manufactured using a pair of substantially linear spacers 9a. The first predetermined interval d = 208 μm of the first wire grid portion WG1, the first predetermined interval d = 208 μm of the second wire grid portion WG2, the second predetermined interval L = 237 μm, and the shift amount p = 100 μm.

(実施例4)
本発明の実施例4として、図12及び図13を参照して説明した実施形態6に係る製造方法によって、ワイヤーグリッド1を製造した。ワイヤーの直径D=10μmであり、スペーサー9bの厚みt=13μmであった。スペーサー9bは、食品用ラップフィルムであった(クレハ社製)。第1ワイヤー5及び第2ワイヤー7は、タングステンであった。
(Example 4)
As Example 4 of the present invention, the wire grid 1 was manufactured by the manufacturing method according to the sixth embodiment described with reference to FIGS. 12 and 13. The diameter D of the wire was 10 μm, and the thickness of the spacer 9b was t = 13 μm. The spacer 9b was a food wrap film (manufactured by Kureha Corporation). The first wire 5 and the second wire 7 were tungsten.

図18(a)は、実施例4に係るワイヤーグリッド1を示す写真である。図18(b)は、実施例4に係るワイヤーグリッド1を示す拡大写真である。図18(b)では、レーザー顕微鏡により、ワイヤーグリッド1を観察した結果を示している。 FIG. 18A is a photograph showing the wire grid 1 according to the fourth embodiment. FIG. 18B is an enlarged photograph showing the wire grid 1 according to the fourth embodiment. FIG. 18B shows the result of observing the wire grid 1 with a laser microscope.

図18(a)及び図18(b)に示すように、ワイヤーグリッド1は、略帯状形状の一対のスペーサー9bを利用して製造された。第1ワイヤーグリッド部WG1の第1所定間隔d=19.93μm、第2ワイヤーグリッド部WG2の第1所定間隔d=19.98μm、第2所定間隔L=28.27μmであった。 As shown in FIGS. 18A and 18B, the wire grid 1 was manufactured using a pair of substantially strip-shaped spacers 9b. The first predetermined interval d of the first wire grid portion WG1 was 19.93 μm, the first predetermined interval d of the second wire grid portion WG2 was 19.98 μm, and the second predetermined interval L = 28.27 μm.

次に、実施例4に係るワイヤーグリッド1の消光比を計測し、比較例1に係るワイヤーグリッドの消光比と比較した。消光比=(TM波の透過率Tm)/(TE波の透過率Te)、であった。比較例1に係るワイヤーグリッドは、1個のワイヤーグリッド部だけを有する一層のワイヤーグリッドであった。また、比較例1では、ワイヤーの直径D=10μm、第1所定間隔d=25μmであった。 Next, the extinction ratio of the wire grid 1 according to Example 4 was measured and compared with the extinction ratio of the wire grid according to Comparative Example 1. The extinction ratio = (TM wave transmittance Tm) / (TE wave transmittance Te). The wire grid according to Comparative Example 1 was a single-layer wire grid having only one wire grid portion. Further, in Comparative Example 1, the wire diameter D = 10 μm and the first predetermined interval d = 25 μm.

比較例1では、1THzにおける消光比は、4.6×10-4、であり、2THzにおける消光比は、2.2×10-3、であった。 In Comparative Example 1, the extinction ratio at 1 THz was 4.6 × 10 -4 , and the extinction ratio at 2 THz was 2.2 × 10 -3 .

これに対して、実施例4では、1THzにおける消光比は、3.8×10-8、であり、2THzにおける消光比は、4.7×10-7、であった。 On the other hand, in Example 4, the extinction ratio at 1 THz was 3.8 × 10 -8 , and the extinction ratio at 2 THz was 4.7 × 10 -7 .

実施例4の消光比は、比較例1と比較して、10000倍に向上し、消光性能が飛躍的に向上した。 The quenching ratio of Example 4 was improved 10,000 times as compared with Comparative Example 1, and the quenching performance was dramatically improved.

次に、テラヘルツ時間領域分光法(THz Domain Spectroscopy)を利用して、製造したワイヤーグリッド1の透過率を計測した。 Next, the transmittance of the manufactured wire grid 1 was measured using terahertz time region spectroscopy (THz Domine Spectroscopy).

図19は、実施例4に係るワイヤーグリッド1の透過率を示す図である。図19の上段は、TE波の透過率Teと周波数との関係を示すグラフであり、下段は、TM波の透過率Tmと周波数との関係を示すグラフである。実施例4の透過率TeはドットM1で示され、比較例2の透過率Teは破線SM1で示される。また、実施例4の透過率TmはドットM2で示され、比較例2の透過率Tmは破線SM2で示される。比較例2は、ワイヤーの直径D=10μm、第1所定間隔d=20μmであるとき、1個のワイヤーグリッド部だけを有する一層のワイヤーグリッドのシミュレーション結果であった。 FIG. 19 is a diagram showing the transmittance of the wire grid 1 according to the fourth embodiment. The upper part of FIG. 19 is a graph showing the relationship between the TE wave transmittance Te and the frequency, and the lower part is a graph showing the relationship between the TM wave transmittance Tm and the frequency. The transmittance Te of Example 4 is indicated by a dot M1, and the transmittance Te of Comparative Example 2 is indicated by a broken line SM1. Further, the transmittance Tm of Example 4 is indicated by a dot M2, and the transmittance Tm of Comparative Example 2 is indicated by a broken line SM2. Comparative Example 2 was a simulation result of a single-layer wire grid having only one wire grid portion when the wire diameter D = 10 μm and the first predetermined interval d = 20 μm.

図19に示すように、実施例4のTE波では、2THz〜3THzにおいて、第1ワイヤーグリッド部WG1と第2ワイヤーグリッド部WG2との間のFabry−Perot共鳴(ファブリ・ペリー共鳴)の効果により、比較例2よりも損失が低かった。損失=1−Te、であった。 As shown in FIG. 19, in the TE wave of Example 4, at 2 THz to 3 THz, due to the effect of Fabry-Perot resonance (Fabry-Pérot resonance) between the first wire grid portion WG1 and the second wire grid portion WG2. , The loss was lower than that of Comparative Example 2. The loss was 1-Te.

一方、実施例4のTM波では、1THzの透過率Tmは、10-8台となり、比較例2よりも、実施例4の性能が10000倍向上した。 On the other hand, in the TM wave of Example 4, the transmittance Tm of 1 THz was 10 to 8 units, and the performance of Example 4 was improved by 10,000 times as compared with Comparative Example 2.

(実施例5)
本発明の実施例5では、図10及び図11を参照して説明した実施形態5に係る製造方法で製造したワイヤーグリッド1を採用した。そして、テラヘルツ時間領域分光法では測定が難しい高周波数側の消光性能を評価するため、フーリエ変換赤外分光法(JASCO社製、FT/IR−660+)による測定を行った。光源は無偏光で緩やかに集光されていた。
(Example 5)
In Example 5 of the present invention, the wire grid 1 manufactured by the manufacturing method according to the fifth embodiment described with reference to FIGS. 10 and 11 was adopted. Then, in order to evaluate the quenching performance on the high frequency side, which is difficult to measure by terahertz time region spectroscopy, measurement was performed by Fourier transform infrared spectroscopy (FT / IR-660 + manufactured by JASCO). The light source was unpolarized and gently focused.

スペーサー9bとしてアルミ箔を用いて製造したワイヤーグリッド1と、スペーサー9bとして食品用ラップフィルムを用いて製造したワイヤーグリッド1とをクロスニコルに配置して得られたスペクトルを透過スペクトルとして計測した。また、サンプルを何も置かないときのスペクトルをバックグラウンド(参照スペクトル)として計測した。入射波の偏光が無偏光であるため、計測した透過スペクトルに基づく透過率は、2つのワイヤーグリッド1の消光比を平均した結果を示した。 A spectrum obtained by arranging a wire grid 1 manufactured by using aluminum foil as the spacer 9b and a wire grid 1 manufactured by using a food wrap film as the spacer 9b on a cross Nicol was measured as a transmission spectrum. In addition, the spectrum when no sample was placed was measured as the background (reference spectrum). Since the polarized wave of the incident wave is unpolarized, the transmittance based on the measured transmission spectrum shows the result of averaging the extinction ratios of the two wire grids 1.

図20は、実施例5に係るワイヤーグリッド1の消光比と周波数との関係を示す図である。図20では、横軸は周波数を示し、縦軸は消光比(透過率)を示す。ドットM3は、実施例4に係るワイヤーグリッド1の消光比を示す。破線SM3は、シミュレーションによって得られた消光比を示す。 FIG. 20 is a diagram showing the relationship between the extinction ratio and the frequency of the wire grid 1 according to the fifth embodiment. In FIG. 20, the horizontal axis represents the frequency and the vertical axis represents the extinction ratio (transmittance). Dot M3 indicates the extinction ratio of the wire grid 1 according to the fourth embodiment. The dashed line SM3 indicates the extinction ratio obtained by simulation.

実施例4に係るワイヤーグリッド1の消光比は、シミュレーションによって得られた消光比と良い一致を示した。従って、0〜5THzの領域でも、ワイヤーグリッド1の消光比が、破線SM3上にプロットされることが予測できた。 The extinguishing ratio of the wire grid 1 according to Example 4 showed a good agreement with the extinguishing ratio obtained by the simulation. Therefore, it could be predicted that the extinction ratio of the wire grid 1 would be plotted on the broken line SM3 even in the region of 0 to 5 THz.

消光比が10-4であるときの実施例4と比較例とを比較した。比較例に係るワイヤーグリッドは、1個のワイヤーグリッド部だけを有する一層のワイヤーグリッドであった。比較例では、ワイヤーの直径D=10μm、第1所定間隔d=25μmであった。 Example 4 and Comparative Example when the extinction ratio was 10 -4 were compared. The wire grid according to the comparative example was a single-layer wire grid having only one wire grid portion. In the comparative example, the wire diameter D = 10 μm and the first predetermined interval d = 25 μm.

図20に示すように、実施例4では、消光比が10-4の場合、周波数は4THzであった。これに対して、比較例に係るワイヤーグリッドでは、消光比が10-4の場合、周波数は0.77THzであった。その結果、実施例4では、比較例よりも、5.2倍の広帯域化を実現できたことを確認できた。 As shown in FIG. 20, in Example 4, when the extinction ratio was 10 -4 , the frequency was 4 THz. On the other hand, in the wire grid according to the comparative example, when the extinction ratio was 10-4 , the frequency was 0.77 THz. As a result, it was confirmed that in Example 4, a broadband width of 5.2 times was realized as compared with the comparative example.

以上、図面を参照しながら本発明の実施形態及び実施例について説明した。但し、本発明は、上記の実施形態及び実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施することが可能である(例えば、下記に示す(1)〜(3))。また、上記の実施形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることによって、種々の発明の形成が可能である。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。図面は、理解しやすくするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の厚み、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の材質、形状、寸法等は一例であって、特に限定されるものではなく、本発明の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。 The embodiments and examples of the present invention have been described above with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and can be implemented in various embodiments without departing from the gist thereof (for example, (1) to (3) shown below. )). In addition, various inventions can be formed by appropriately combining the plurality of components disclosed in the above embodiments. For example, some components may be removed from all the components shown in the embodiments. In addition, components across different embodiments may be combined as appropriate. In order to make the drawings easier to understand, each component is schematically shown, and the thickness, length, number, spacing, etc. of each component shown are actual for the convenience of drawing creation. May be different. Further, the material, shape, dimensions, etc. of each component shown in the above embodiment are merely examples, and are not particularly limited, and various changes can be made without substantially deviating from the effects of the present invention. is there.

(1)実施形態1では、一対のスペーサー9を備えた。ただし、一対のスペーサー9を複数備えていてもよい。実施形態2〜実施形態7でも同様である。 (1) In the first embodiment, a pair of spacers 9 are provided. However, a plurality of a pair of spacers 9 may be provided. The same applies to Embodiments 2 to 7.

(2)実施形態1では、第1ワイヤー5の直径及び材質は、それぞれ、第2ワイヤー7の直径及び材質と同じであった。ただし、第1ワイヤー5の直径及び/又は材質は、第2ワイヤー7の直径及び/又は材質と異なっていてもよい。実施形態2〜実施形態7でも同様である。 (2) In the first embodiment, the diameter and material of the first wire 5 are the same as the diameter and material of the second wire 7, respectively. However, the diameter and / or material of the first wire 5 may be different from the diameter and / or material of the second wire 7. The same applies to Embodiments 2 to 7.

(3)実施形態3及び実施形態4において、略帯状形状のスペーサー9を使用してもよい。また、実施形態5及び実施形態6において、略線状形状のスペーサー9を使用してもよい。すなわち、実施形態2〜実施形態6では、実施形態1のスペーサー9を使用して、ワイヤーグリッド1を製造できる。なお、実施形態3及び4では、例えば、厚みtは、第1ワイヤー5の直径Dの1倍以下であることが好ましい。また、実施形態5及び6では、例えば、厚みtは、第1ワイヤー5の直径Dの(√3−1)倍(=約0.7倍)以下であることが好ましい。 (3) In the third and fourth embodiments, the spacer 9 having a substantially strip shape may be used. Further, in the fifth and sixth embodiments, the spacer 9 having a substantially linear shape may be used. That is, in the second to sixth embodiments, the wire grid 1 can be manufactured by using the spacer 9 of the first embodiment. In the third and fourth embodiments, for example, the thickness t is preferably 1 times or less the diameter D of the first wire 5. Further, in the fifth and sixth embodiments, for example, the thickness t is preferably (√3-1) times (= about 0.7 times) or less the diameter D of the first wire 5.

本発明は、ワイヤーグリッド、及びワイヤーグリッドの製造方法に関するものであり、産業上の利用可能性を有する。 The present invention relates to a wire grid and a method for manufacturing the wire grid, and has industrial applicability.

1 ワイヤーグリッド
3 枠体
3A 第1枠体
3B 第2枠体
5 第1ワイヤー
5B 第3ワイヤー
7 第2ワイヤー
7B 第4ワイヤー
9、9a、9b、91 スペーサー
9a1、9b1 第1スペーサー
9a2、9b2 第2スペーサー
WG1 第1ワイヤーグリッド
WG2 第2ワイヤーグリッド
WG3 第3ワイヤーグリッド
WG4 第4ワイヤーグリッド
WR ワイヤー材
WR1 第1ワイヤー材
WR2 第2ワイヤー材
WP、WP1、WP2 ワイヤー部分
1 Wire grid 3 Frame 3A 1st frame 3B 2nd frame 5 1st wire 5B 3rd wire 7 2nd wire 7B 4th wire 9, 9a, 9b, 91 Spacer 9a1, 9b1 1st spacer 9a2, 9b2 1st 2 Spacer WG1 1st wire grid WG2 2nd wire grid WG3 3rd wire grid WG4 4th wire grid WR wire material WR1 1st wire material WR2 2nd wire material WP, WP1, WP2 Wire part

Claims (11)

入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御するワイヤーグリッドであって、
複数の第1ワイヤーを含む第1ワイヤーグリッド部と、
複数の第2ワイヤーを含む第2ワイヤーグリッド部と、
複数の第3ワイヤーを含む第3ワイヤーグリッド部と、
前記第1ワイヤーグリッド部と前記第2ワイヤーグリッド部との間に配置される一対の第1スペーサーと、
前記第2ワイヤーグリッド部と前記第3ワイヤーグリッド部との間に配置される一対の第2スペーサーと
を備え、
前記複数の第1ワイヤーは、前記テラヘルツ波の波長よりも短い所定間隔で一方向に沿って配列され、
前記複数の第2ワイヤーは、前記所定間隔で前記一方向に沿って配列され、
前記複数の第3ワイヤーは、前記所定間隔で前記一方向に沿って配列され、
前記第1ワイヤーと前記第2ワイヤーとは交互に位置し、
前記第3ワイヤーは、前記第2ワイヤーに対して、前記一方向に沿ってシフト量だけシフトし、
前記一対の第1スペーサーは、前記一方向に沿って延びており、前記一方向に交差する方向に沿って互いに間隔をあけて配置され
前記一対の第2スペーサーは、前記一方向に沿って延びており、前記一方向に交差する方向に沿って互いに間隔をあけて配置される、ワイヤーグリッド。
A wire grid that controls the polarization of terahertz waves as incident waves.
The first wire grid part including a plurality of first wires, and
A second wire grid section that includes a plurality of second wires,
A third wire grid section that includes a plurality of third wires,
A pair of first spacers arranged between the first wire grid portion and the second wire grid portion,
A pair of second spacers arranged between the second wire grid portion and the third wire grid portion are provided.
The plurality of first wires are arranged along one direction at predetermined intervals shorter than the wavelength of the terahertz wave.
The plurality of second wires are arranged along the one direction at the predetermined intervals.
The plurality of third wires are arranged along the one direction at the predetermined intervals.
The first wire and the second wire are alternately located,
The third wire shifts with respect to the second wire by the amount of shift along the one direction.
The pair of first spacers extend along the one direction and are spaced apart from each other along the direction of intersection in the one direction .
The pair of second spacers extend along said one direction, along a direction crossing the one direction Ru are spaced apart from one another, the wire grid.
前記第1スペーサーの各々は、線状形状又は帯状形状を有する、請求項1に記載のワイヤーグリッド。 The wire grid according to claim 1, wherein each of the first spacers has a linear shape or a strip shape. 前記第1スペーサーの各々は、金属又は合成樹脂である、請求項1又は請求項2に記載のワイヤーグリッド。 The wire grid according to claim 1 or 2, wherein each of the first spacers is a metal or a synthetic resin. 前記第1スペーサーの各々の厚みは、前記第1ワイヤーの直径の2倍以下である、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のワイヤーグリッド。 The wire grid according to any one of claims 1 to 3, wherein the thickness of each of the first spacers is not more than twice the diameter of the first wire. 入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御するワイヤーグリッドの製造方法であって、
第1枠体を準備する第1準備工程と、
複数の第1ワイヤーを含む第1ワイヤーグリッド部と複数の第2ワイヤーを含む第2ワイヤーグリッド部との間に、一対の第1スペーサーが配置されるように、前記第1ワイヤーグリッド部と前記第2ワイヤーグリッド部とを前記第1枠体に形成する形成工程と、
第2枠体を準備する第2準備工程と、
前記第1枠体と前記第2枠体とを積層して、積層体を形成する積層工程と
を含み、
前記形成工程では、
前記第1ワイヤーと前記第2ワイヤーとが交互に位置するように、前記複数の第1ワイヤーを、前記テラヘルツ波の波長よりも短い所定間隔で一方向に沿って配列するとともに、前記複数の第2ワイヤーを、前記所定間隔で前記一方向に沿って配列し、
前記一対の第1スペーサーを、前記一方向に沿って延びるように、前記一方向に交差する方向に沿って互いに間隔をあけて配置
前記形成工程は、
前記積層体に第1ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第1枠体に前記第1ワイヤーグリッド部を形成するとともに、前記第2枠体に第3ワイヤーグリッド部を形成する第1巻回工程と、
前記一対の第1スペーサーが前記第1ワイヤーグリッド部の一対の面のうち一方面に接触するように、前記一対の第1スペーサーを前記第1枠体に固定するとともに、一対の第2スペーサーが前記第3ワイヤーグリッド部の一対の面のうち一方面に接触するように、前記一対の第2スペーサーを前記第2枠体に固定する固定工程と、
第2ワイヤー材が前記一対の第1スペーサーと前記一対の第2スペーサーとに接触しつつ、前記第1ワイヤー材と前記第2ワイヤー材とが交互に位置するように、前記積層体に前記第2ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第1枠体に前記第2ワイヤーグリッド部を形成するとともに、前記第2枠体に第4ワイヤーグリッド部を形成する第2巻回工程と
を含み、
前記第1ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記第1枠体に前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第1ワイヤーを構成し、
前記第2ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記第1枠体に前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第2ワイヤーを構成する、ワイヤーグリッドの製造方法。
A method for manufacturing a wire grid that controls the polarization of terahertz waves as incident waves.
The first preparation process to prepare the first frame and
The first wire grid portion and the said so that a pair of first spacers are arranged between the first wire grid portion including the plurality of first wires and the second wire grid portion including the plurality of second wires. A forming step of forming the second wire grid portion in the first frame body, and
The second preparation process to prepare the second frame and
Including a laminating step of laminating the first frame body and the second frame body to form a laminated body.
In the forming step,
The plurality of first wires are arranged along one direction at predetermined intervals shorter than the wavelength of the terahertz wave so that the first wire and the second wire are alternately positioned, and the plurality of first wires are arranged. The two wires are arranged along the one direction at the predetermined intervals,
The pair of first spacers are arranged at intervals from each other along the direction intersecting the one direction so as to extend along the one direction.
The forming step is
The first wire material is wound around the laminated body a plurality of times at the predetermined intervals to form the first wire grid portion in the first frame body and the third wire grid portion in the second frame body. Volume 1 process and
The pair of first spacers is fixed to the first frame body so that the pair of first spacers come into contact with one of the pair of surfaces of the first wire grid portion, and the pair of second spacers A fixing step of fixing the pair of second spacers to the second frame so as to contact one of the pair of surfaces of the third wire grid portion.
The first wire material is placed on the laminate so that the first wire material and the second wire material are alternately positioned while the second wire material is in contact with the pair of first spacers and the pair of second spacers. The second winding step of forming the second wire grid portion in the first frame body and forming the fourth wire grid portion in the second frame body by winding the two wire materials a plurality of times at the predetermined interval. When
Including
A plurality of wire portions of the first wire material, which are wound a plurality of times and arranged in the first frame at predetermined intervals, form the plurality of first wires, respectively.
Wherein the plurality of wires portion arranged at a plurality of times wound the predetermined interval in the first frame body of the second wire material, respectively, that make up the plurality of second wires, the manufacturing method of the wire grid.
入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御するワイヤーグリッドの製造方法であって、
第1枠体を準備する第1準備工程と、
複数の第1ワイヤーを含む第1ワイヤーグリッド部と複数の第2ワイヤーを含む第2ワイヤーグリッド部との間に、一対の第1スペーサーが配置されるように、前記第1ワイヤーグリッド部と前記第2ワイヤーグリッド部とを前記第1枠体に形成する形成工程と、
を含み、
前記形成工程では、
前記第1ワイヤーと前記第2ワイヤーとが交互に位置するように、前記複数の第1ワイヤーを、前記テラヘルツ波の波長よりも短い所定間隔で一方向に沿って配列するとともに、前記複数の第2ワイヤーを、前記所定間隔で前記一方向に沿って配列し、
前記一対の第1スペーサーを、前記一方向に沿って延びるように、前記一方向に交差する方向に沿って互いに間隔をあけて配置し、
前記形成工程は、
前記第1枠体にワイヤー材を複数回巻回して、前記第1ワイヤーグリッド部及び前記第2ワイヤーグリッド部を形成する巻回工程を含み、
前記巻回工程では、
前記ワイヤー材が、前記一対の第1スペーサーに交差し、
前記ワイヤー材のうち前記一方向に沿って配列するワイヤー部分が前記一対の第1スペーサーに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合う前記ワイヤー部分の間に前記一対の第1スペーサーを通し、
複数の前記ワイヤー部分のうち、前記一方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第1ワイヤーを構成し、
前記複数のワイヤー部分のうち、前記他方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第2ワイヤーを構成する、ワイヤーグリッドの製造方法。
A method for manufacturing a wire grid that controls the polarization of terahertz waves as incident waves.
The first preparation process to prepare the first frame and
The first wire grid portion and the said so that a pair of first spacers are arranged between the first wire grid portion including the plurality of first wires and the second wire grid portion including the plurality of second wires. A forming step of forming the second wire grid portion in the first frame body, and
Including
In the forming step,
The plurality of first wires are arranged along one direction at predetermined intervals shorter than the wavelength of the terahertz wave so that the first wire and the second wire are alternately positioned, and the plurality of first wires are arranged. The two wires are arranged along the one direction at the predetermined intervals,
The pair of first spacers are arranged at intervals from each other along the direction intersecting the one direction so as to extend along the one direction.
The forming step is
A winding step of winding the wire material a plurality of times around the first frame body to form the first wire grid portion and the second wire grid portion is included.
In the winding process,
The wire material intersects the pair of first spacers and
The pair of wire parts adjacent to each other so that the wire portions arranged along the one direction of the wire material are alternately located on one side and the other side with respect to the pair of first spacers. Through the first spacer of
Of the plurality of wire portions, the plurality of wire portions located on one side of the plurality of wire portions each constitute the plurality of first wires.
Wherein the plurality of wire portions, a plurality of wires portion located on the other side, respectively, constituting the plurality of second wires, the manufacturing method of the word ear grid.
入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御するワイヤーグリッドの製造方法であって、
第1枠体を準備する第1準備工程と、
複数の第1ワイヤーを含む第1ワイヤーグリッド部と複数の第2ワイヤーを含む第2ワイヤーグリッド部との間に、一対の第1スペーサーが配置されるように、前記第1ワイヤーグリッド部と前記第2ワイヤーグリッド部とを前記第1枠体に形成する形成工程と、
第2枠体を準備する第2準備工程と、
前記第1枠体と前記第2枠体とを積層して、積層体を形成する積層工程と
を含み、
前記形成工程では、
前記第1ワイヤーと前記第2ワイヤーとが交互に位置するように、前記複数の第1ワイヤーを、前記テラヘルツ波の波長よりも短い所定間隔で一方向に沿って配列するとともに、前記複数の第2ワイヤーを、前記所定間隔で前記一方向に沿って配列し、
前記一対の第1スペーサーを、前記一方向に沿って延びるように、前記一方向に交差する方向に沿って互いに間隔をあけて配置し、
前記形成工程は、
前記積層体にワイヤー材を複数回巻回して、前記第1ワイヤーグリッド部及び前記第2ワイヤーグリッド部を前記第1枠体に形成するとともに、第3ワイヤーグリッド及び第4ワイヤーグリッドを前記第2枠体に形成する巻回工程を含み、
前記巻回工程では、
前記ワイヤー材が、前記第1枠体に配置される前記一対の第1スペーサーに交差し、
前記ワイヤー材のうち前記一方向に沿って前記第1枠体に配列するワイヤー部分が前記一対の第1スペーサーに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合う前記ワイヤー部分の間に前記一対の第1スペーサーを通し、
前記ワイヤー材が、前記第2枠体に配置される一対の第2スペーサーに交差し、
前記ワイヤー材のうち前記一方向に沿って前記第2枠体に配列するワイヤー部分が前記一対の第2スペーサーに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合う前記ワイヤー部分の間に前記一対の第2スペーサーを通し、
前記第1枠体に配列する複数の前記ワイヤー部分のうち、前記一方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第1ワイヤーを構成し、
前記第1枠体に配列する前記複数のワイヤー部分のうち、前記他方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第2ワイヤーを構成する、ワイヤーグリッドの製造方法。
A method for manufacturing a wire grid that controls the polarization of terahertz waves as incident waves.
The first preparation process to prepare the first frame and
The first wire grid portion and the said so that a pair of first spacers are arranged between the first wire grid portion including the plurality of first wires and the second wire grid portion including the plurality of second wires. A forming step of forming the second wire grid portion in the first frame body, and
The second preparation process to prepare the second frame and
A laminating step of laminating the first frame body and the second frame body to form a laminated body.
Only including,
In the forming step,
The plurality of first wires are arranged along one direction at predetermined intervals shorter than the wavelength of the terahertz wave so that the first wire and the second wire are alternately positioned, and the plurality of first wires are arranged. The two wires are arranged along the one direction at the predetermined intervals,
The pair of first spacers are arranged at intervals from each other along the direction intersecting the one direction so as to extend along the one direction.
The forming step is
The wire material is wound around the laminate a plurality of times to form the first wire grid portion and the second wire grid portion in the first frame body, and the third wire grid and the fourth wire grid are formed in the second frame body. Including the winding process to form on the frame
In the winding process,
The wire material intersects the pair of first spacers arranged in the first frame body, and the wire material intersects the pair of first spacers.
The wires adjacent to each other so that the wire portions arranged in the first frame along the one direction of the wire material are alternately located on one side and the other side with respect to the pair of first spacers. Pass the pair of first spacers between the portions,
The wire material intersects a pair of second spacers arranged in the second frame body,
The wires adjacent to each other so that the wire portions arranged in the second frame along the one direction of the wire material are alternately located on one side and the other side with respect to the pair of second spacers. Pass the pair of second spacers between the portions,
Of the plurality of wire portions arranged in the first frame body, the plurality of wire portions located on one side of the wire portions each constitute the plurality of first wires.
Wherein the plurality of wire portions, a plurality of wires portion located on the other side, respectively, constituting the plurality of second wires, the manufacturing method of the word ear grid arranged in the first frame.
入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御するワイヤーグリッドの製造方法であって、
第1枠体を準備する第1準備工程と、
複数の第1ワイヤーを含む第1ワイヤーグリッド部と複数の第2ワイヤーを含む第2ワイヤーグリッド部との間に、一対の第1スペーサーが配置されるように、前記第1ワイヤーグリッド部と前記第2ワイヤーグリッド部とを前記第1枠体に形成する形成工程と、
を含み、
前記形成工程では、
前記第1ワイヤーと前記第2ワイヤーとが交互に位置するように、前記複数の第1ワイヤーを、前記テラヘルツ波の波長よりも短い所定間隔で一方向に沿って配列するとともに、前記複数の第2ワイヤーを、前記所定間隔で前記一方向に沿って配列し、
前記一対の第1スペーサーを、前記一方向に沿って延びるように、前記一方向に交差する方向に沿って互いに間隔をあけて配置し、
前記形成工程は、
前記第1枠体に第1ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第1ワイヤーグリッド部を形成する第1巻回工程と、
前記一対の第1スペーサーが前記第1ワイヤーグリッド部の一対の面のうち一方面に接触するように、前記一対の第1スペーサーを前記第1枠体に固定する固定工程と、
第2ワイヤー材が前記一対の第1スペーサーに接触しつつ、前記第1ワイヤー材と前記第2ワイヤー材とが交互に位置するように、前記第1枠体に前記第2ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第2ワイヤーグリッド部を形成する第2巻回工程と
を含み、
前記第1ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第1ワイヤーを構成し、
前記第2ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第2ワイヤーを構成する、ワイヤーグリッドの製造方法。
A method for manufacturing a wire grid that controls the polarization of terahertz waves as incident waves.
The first preparation process to prepare the first frame and
The first wire grid portion and the said so that a pair of first spacers are arranged between the first wire grid portion including the plurality of first wires and the second wire grid portion including the plurality of second wires. A forming step of forming the second wire grid portion in the first frame body, and
Including
In the forming step,
The plurality of first wires are arranged along one direction at predetermined intervals shorter than the wavelength of the terahertz wave so that the first wire and the second wire are alternately positioned, and the plurality of first wires are arranged. The two wires are arranged along the one direction at the predetermined intervals,
The pair of first spacers are arranged at intervals from each other along the direction intersecting the one direction so as to extend along the one direction.
The forming step is
The first winding step of forming the first wire grid portion by winding the first wire material around the first frame body a plurality of times at the predetermined intervals.
A fixing step of fixing the pair of first spacers to the first frame body so that the pair of first spacers come into contact with one of the pair of surfaces of the first wire grid portion.
The second wire material is placed on the first frame so that the first wire material and the second wire material are alternately positioned while the second wire material is in contact with the pair of first spacers. Including the second winding step of forming the second wire grid portion by winding a plurality of times at intervals.
A plurality of wire portions of the first wire material, which are wound a plurality of times and arranged at a predetermined interval, form the plurality of first wires, respectively.
Wherein the plurality of times wound a plurality of wire segment aligned at the predetermined intervals of the second wire material, respectively, constituting the plurality of second wires, the manufacturing method of the word ear grid.
前記第1スペーサーの各々は、線状形状又は帯状形状を有する、請求項5から請求項のいずれか1項に記載のワイヤーグリッドの製造方法。 The method for manufacturing a wire grid according to any one of claims 5 to 8 , wherein each of the first spacers has a linear shape or a strip shape. 前記第1スペーサーの各々は、金属又は合成樹脂である、請求項5から請求項のいずれか1項に記載のワイヤーグリッドの製造方法。 The method for manufacturing a wire grid according to any one of claims 5 to 9 , wherein each of the first spacers is a metal or a synthetic resin. 前記第1スペーサーの各々の厚みは、前記第1ワイヤーの直径の2倍以下である、請求項5から請求項10のいずれか1項に記載のワイヤーグリッドの製造方法。 The method for manufacturing a wire grid according to any one of claims 5 to 10 , wherein the thickness of each of the first spacers is not more than twice the diameter of the first wire.
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