JP6667525B2 - ニッケル層の無電解析出のためのめっき浴および方法 - Google Patents
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Description
本発明は、ニッケルおよびニッケル合金の無電解析出のための水性めっき浴組成物に関する。本発明は、さらにニッケルおよびニッケル合金を無電解で析出させるための水性めっき浴組成物を利用する方法に関する。水性めっき浴組成物は、望ましくない分解に対して高い安定性を有する。本発明によって得られるニッケルおよびニッケル合金コーティングは、高い耐食性および下地基材への付着性を示す。
バリア層は、半導体デバイス、プリント回路基板、IC基板などの電子デバイスにおいて、異なる組成の層、例えば、基材層および更なる層を分離するために使用され、それにより異なる組成のそのような層の間の望ましくない拡散を防止する。
本発明の課題は、望ましくない分解に対する高い安定性を有するニッケルおよびニッケル合金の析出のための無電解めっき浴を提供することである。本発明の更なる課題は、使用中および保管中に高い安定性を有する無電解ニッケルおよびニッケル合金めっき浴を提供することである。さらに、本発明の課題は、良好なめっき性能を有しかつ良好な品質のコーティングを生成するニッケルおよびニッケル合金の析出のための無電解めっき浴を提供することである。
この課題は、ニッケルおよびニッケル合金の無電解析出のための水性めっき浴組成物を提供することによって解決され、前記組成物は、
(i)ニッケルイオン源
を含み、
前記水性めっき浴組成物は、さらに、
(ii)a)インジウムイオンおよびガリウムイオンから選択される少なくとも1種の金属イオン、および、
b)単体のヨウ素、ヨウ化物イオン含有化合物、ヨウ素酸イオン含有化合物および過ヨウ素酸イオン含有化合物から選択される少なくとも1種
を含有する前記安定化剤の混合物
を含むことを特徴とする。
ニッケルコーティングを適用するための無電解ニッケルめっき組成物は、当該技術分野において周知であり、めっきプロセスおよび組成物は、米国特許第2,935,425号明細書(U.S. Patents Nos. 2,935,425);米国特許第3,338,726号明細書(U.S. Patents Nos. 3,338,726);米国特許第3,597,266号明細書(U.S. Patents Nos. 3,597,266);米国特許第3,915,716号明細書(U.S. Patents Nos. 3,915,716)および米国特許第4,780,342号明細書(U.S. Patents Nos. 4,780,342)などの多くの公開公報に記載されている。無電解めっきは一般的に、金属イオンの還元のために外部電流源を使用しない方法を記載する。外部電流源を使用するめっきプロセスは、一般的に電解めっき法またはガルバニめっき法として記載されている。無電解めっき溶液では、次亜リン酸塩、ボランまたはホルムアルデヒドのような化学還元剤を使用して、金属イオンをそれらの金属形態に還元し、それにより基材上に析出物を形成する。
a)インジウムイオンおよびガリウムイオンから選択される少なくとも1種の金属イオン、および
b)元素のヨウ素(I2)、ヨウ化物イオン含有化合物、ヨウ素酸イオン含有化合物(IO3 −)および過ヨウ素酸イオン含有化合物から選択される少なくとも1種
を含有する(ii)による安定化剤の混合物を含む。
(A)基材を準備する工程、
(B)前記基材を、上記のような本発明によるニッケルおよびニッケル合金の無電解析出のための水性めっき浴組成物と接触させる工程、
(C)それによってニッケルまたはニッケル合金を基材上に析出させる工程
を含む。
(D)ニッケルおよびニッケル合金の析出のための無電解めっき浴を準備する工程、および
(E)安定化剤の混合物を添加する工程、前記安定化剤は上記のような本発明による安定化剤である
を含む、前記方法に関する。
(ii)a)インジウムイオンおよびガリウムイオンから選択される少なくとも1種の金属イオン、および
(ii)b)元素のヨウ素、ヨウ素イオン含有化合物、ヨウ素酸イオン含有化合物および過ヨウ素酸イオン含有化合物から選択される少なくとも1種
を含む。
以下の非限定的な実施例は本発明をさらに説明する。
無電解ニッケルめっき浴の安定性の測定
安定性の測定には、以下を含む無電解ニッケルめっき浴の原液を使用した:
硫酸ニッケル六水和物 22.4g/l
オルト亜リン酸ナトリウム(予備老化塩) 60.0g/l
乳酸(90%)(錯化剤/キレート剤) 14.4g/l
リンゴ酸(錯化剤/キレート剤) 19.8g/l
コハク酸(錯化剤/キレート剤) 6.1g/l
次亜リン酸ナトリウム一水和物(還元剤) 24.0g/l。
試験しためっき浴100mlを、200mlのガラスビーカー中で撹拌しながら80±1℃に加熱した。次に、パラジウム試験溶液(脱イオン水中の塩化パラジウム125mg/l)0.2mlを60秒ごとにめっき浴に添加した。望ましくない分解、ひいてはめっき浴の不安定性を示す気泡に伴う灰色の沈殿物がめっき浴中に形成された時に試験が終了した。
別途めっき実験で安定性をさらに視覚的に評価した。めっき条件は下記の実施例2に記載した通りであった。実施例2とは対照的に、めっき時間は90分であった。試験の結果は、安定性の問題なしにめっきされた基材の総数である。ビーカーの加熱表面領域、即ち、ビーカーの底部における過度のめっきは、不安定性の兆候として観察された。めっきする前に、ビーカーとマグネチックスターラーを50%(v/v)硝酸で30分間ストリッピングした。
無電解ニッケルめっき浴からの析出
ニッケル−リン合金層の析出のための基材としてアルミニウム板を使用した。ニッケルを析出させる前に、基材の表面を清浄にして亜鉛酸塩を2倍にするために、基材を第1表にまとめたように前処理した。
応力の決定
ニッケル−リンコーティングの応力を、応力ストリップフィンガー(stress-strip finger)を用いて測定した。試験ストリップは銅製でスプリングのような特性を有していた。実施例2に記載されるようにめっきした後、試験ストリップを、めっき後に試験ストリップの脚が広がった距離を測定する試験台(Specialty Testing & Development Co.(米国、ペンシルベニア州、ヨーク)の析出応力分析器(Deposit stress analyzer)683型)に載せた。距離Uは、析出応力の計算を可能にする以下の式に含まれる。
応力=U/3*T*K
無電解ニッケルめっき浴の安定性
安定化剤の混合物としてIn(III)イオンおよびヨウ化物イオンを含有する無電解ニッケルめっき浴の安定性を、実施例1に記載したように安定数を決定することによって測定した。無電解ニッケルめっき浴中の安定剤の濃度と得られた安定数を第3表にまとめる。
無電解ニッケルめっき浴の安定性
安定化剤の混合物としてIn(III)イオンとヨウ素酸イオンを含有する無電解ニッケルめっき浴の安定性を、実施例1に記載したように安定数を決定することによって測定した。
析出速度、リン含有率、および内部応力の決定
本発明による無電解ニッケルめっき浴の析出速度とそれから析出したニッケル層のリン含有率を実施例2に記載されるように測定した。析出したニッケル層の内部応力を実施例3に記載されるように測定した。ガリウムイオンを硫酸ガリウム(III)の形で無電解ニッケルめっき浴の原液に添加した。ヨウ素酸イオンをヨウ素酸カリウムの形で添加し、ヨウ化物イオンをヨウ化カリウムの形で添加した。めっき浴中の安定化剤の濃度と結果を第5表にまとめる。
Claims (14)
- ニッケルおよびニッケル合金の無電解析出のための水性めっき浴組成物であって、
前記組成物は、
(i)ニッケルイオン源、
を含み、
前記水性めっき浴組成物はさらに
(ii)a)インジウムイオンおよびガリウムイオンから選択される少なくとも1種の金属イオン、および
b)単体のヨウ素、ヨウ化物イオン含有化合物、および過ヨウ素酸イオン含有化合物から選択される少なくとも1種
を含有する安定化剤の混合物
を含み、
前記(ii)a)による少なくとも1種の金属イオンの濃度が0.01〜0.5ミリモル/lの範囲にあることを特徴とする、前記水性めっき浴組成物。 - 前記インジウムイオンがインジウム(III)イオンである、請求項1記載の水性めっき浴組成物。
- 前記ガリウムイオンがガリウム(III)イオンである、請求項1または2記載の水性めっき浴組成物。
- 前記(ii)b)による安定化剤がヨウ化物イオン含有化合物である、請求項1から3までのいずれか1項記載の水性めっき浴組成物。
- 前記(ii)b)による安定化剤の濃度が0.05〜50.0ミリモル/lの範囲にある、請求項1から4までのいずれか1項記載の水性めっき浴組成物。
- 前記ニッケルイオン源が、硫酸ニッケル、塩化ニッケル、酢酸ニッケル、メチルスルホン酸ニッケル、スルファミン酸ニッケルおよびそれらの混合物から選択される、請求項1から5までのいずれか1項記載の水性めっき浴組成物。
- 前記ニッケルイオンの濃度が0.01〜1モル/lの範囲にある、請求項1から6までのいずれか1項記載の水性めっき浴組成物。
- 前記水性めっき浴組成物が更に少なくとも1種の錯化剤を含む、請求項1から7までのいずれか1項記載の水性めっき浴組成物。
- 前記少なくとも1種の錯化剤の濃度が0.01〜3.0モル/lの範囲にある、請求項1から8までのいずれか1項記載の水性めっき浴組成物。
- 前記水性めっき浴組成物が更に少なくとも1種の還元剤を含む、請求項1から9までのいずれか1項記載の水性めっき浴組成物。
- 前記少なくとも1種の還元剤の濃度が0.01〜3.0モル/lの範囲にある、請求項1から10までのいずれか1項記載の水性めっき浴組成物。
- 前記水性めっき浴組成物が少なくとも1種の合金化元素を更に含み、ここで、少なくとも1種の合金化元素は、リン、ホウ素、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、ハフニウム、タンタル、タングステン、銅、銀、金、アルミニウム、鉄、コバルト、パラジウム、ルテニウム、ロジウム、オスミウム、イリジウム、プラチナ、亜鉛、カドミウム、ガリウム、インジウム、スズ、アンチモン、タリウム、鉛、およびビスマスから選択される、請求項1から11までのいずれか1項記載の水性めっき浴組成物。
- ニッケルおよびニッケル合金の無電解析出方法であって、
(A)基材を準備する工程、
(B)前記基材を、請求項1から12までのいずれか1項記載の水性めっき浴組成物と接触させる工程、および
(C)それによってニッケルまたはニッケル合金を前記基材上に析出させる工程
を含む、前記無電解析出方法。 - ニッケルおよびニッケル合金の析出のための無電解めっき浴の安定化方法であって、
(D)ニッケルおよびニッケル合金の析出のための無電解めっき浴を準備する工程、ならびに
(E)安定化剤の混合物を添加する工程、ここで、前記安定化剤の混合物が
(ii)a)インジウムイオンおよびガリウムイオンから選択される少なくとも1種の金属イオン、および
(ii)b)単体のヨウ素、ヨウ化物イオン含有化合物、および過ヨウ素酸イオン含有化合物から選択される少なくとも1種
を含有する、
を含む、前記安定化方法。
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