JP6510341B2 - 安全キャビネットおよび安全キャビネットの除染方法 - Google Patents

Description

本発明は、医療、再生医療、製薬などの産業分野において使用される安全キャビネットおよび安全キャビネットの除染方法に関する。

安全キャビネットは、その内部に作業用の開口部を除き準密閉状態の作業室を形成するとともに、当該作業室内で発生する汚染エアロゾルを吸引し、作業者側に流出させないようにする一方、吸引回収した汚染空気はＨＥＰＡフィルタで無菌・清浄化して排気する機能を備えており、取り扱える病原体のレベルによって、クラスＩ、ＩＩ、ＩＩＩに分類されている。

このような安全キャビネットの一例として特許文献１に記載のものが知られている。この安全キャビネットは、前面に開閉扉を有し、内部に作業室を形成するキャビネット本体と、前記作業室の一側に設けた給気用の高性能フィルタと、この給気用の高性能フィルタに空気を圧送する送風機と、前記作業室の他側に配置され、この作業室内の空気が通過する排気孔を有する作業台と、前記排気孔を通って前記作業室から流出した空気を前記送風機により吸引する連通路と、前記送風機の風下側に設けられ、排気用の高性能フィルタを介して前記キャビネット本体外に空気を排出する排出路とを備えている。
また、前記連通路にはオゾン発生器が設けられ、前記排出路にはオゾン除去部材が設けられ、前記開閉扉を閉じた状態でこのオゾン発生器を作動させ、かつ、前記送風機を定格回転数以下の低速で運転するとともに、前記オゾン発生器が停止した状態で前記送風機を定格回転数にて運転するようにしている。

このような安全キャビネットでは、作業終了後、開閉扉を閉じた状態でこのオゾン発生を作動させてオゾンガスを発生させると、この発生したオゾンガスは送風機により連通路内に循環されるので、これによって、作業室外の連通路の殺菌（除染）を行うことができる。特に、オゾン発生器の動作中、送風機は定格回転数以下の低速にて運転されるので、無駄なオゾンガス生成を抑制しつつ、比較的広い範囲の殺菌が可能となる。

また、オゾン発生器が停止してオゾンガスによる殺菌（除染）が終了した後は、送風機が定格回転数にて運転されるので、キャビネット本体内の空気に含まれるオゾンガスは排気用の高性能フィルタを介して排出されていくが、このときにも排出路にはオゾン除去部材が設けられているので、迅速にオゾンガスを除去することができ、排気とともにオゾンガスが外部に排出されることを未然に防止することができる。

このような安全キャビネットの作業室では、抗がん剤、ホルモン剤、抗生物質等の調整作業も行われる。そして調整作業が終了した後、作業室やその内壁面に、抗がん剤、ホルモン剤、抗生物質等が残留物として浮遊していたり、付着している虞があるため、残留物の再飛散防止のためにも、当該残留物を除染する必要がある。

特開平７−８８１１号公報

ところで、オゾンガスには、抗がん剤等の分解除去効果があることは知られおり、前記従来の安全キャビネットでは、オゾンガスによって作業室外の連通路の除染を行うことはできる。
しかし、オゾン発生器で発生したオゾンガスは作業室には供給されないので、作業室に浮遊している残留物や作業室の内壁面に付着している残留物を完全に除染するのは困難である。

そこで、上述した従来の安全キャビネットの作業室に、オゾンガスを導入すれば、作業室内の残留物を除染することができるが、この場合、除染中にオゾンガスが作業室（安全キャビネット）の外側に漏出しないように作業室を密閉するとともに、オゾンガスを作業室に循環させる必要がある。
しかし、従来の安全キャビネットでは、オゾンガスによる除染中に作業室からのオゾンガスの漏出を防止して、オゾンガスを作業室に循環させるのは困難であり、また、所定濃度のオゾンガスによって除染することも困難である。

本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、オゾンガス等のガス状除染剤による除染中に作業室からのガス状除染剤の漏出を防止して、ガス状除染剤を作業室に循環させて当該ガス状除染剤によって作業室を除染することができ、また、所定濃度のガス状除染剤によって作業室を除染することができる安全キャビネットを提供することを目的としている。

前記目的を達成するために、本発明に係る安全キャビネットは、内部に作業室を有するキャビネット本体と、このキャビネット本体の前面に設けられて、前記作業室に連通する開口部を開閉可能とする開閉部材と、前記作業室から気体を排気する排気路とを備え、前記作業室内の気体が内部循環可能となっている安全キャビネットにおいて、
前記排気路に設けられた排気弁と、
前記作業室に設けられた給気兼循環用ファンと、
前記作業室にガス状除染剤を導入する除染剤導入手段と、
前記排気弁、前記給気兼循環用ファンおよび前記除染剤導入手段を制御する制御部と、
前記開閉部材によって前記開口部を気密に閉鎖可能とする気密閉鎖手段とを備えたことを特徴とする。

本発明においては、ガス状除染剤によって作業室を除染する場合、制御部が排気弁を閉じるとともに、気密閉鎖手段によって、開閉部材で開口部を気密に閉鎖しておき、その後、制御部が除染剤導入手段を制御して、ガス状除染剤を作業室に導入するとともに、給気兼循環用ファンを駆動させると、作業室に導入されるガス状除染剤は、排気弁が閉じているとともに、開口部が気密に閉鎖されているので、作業室から漏出することなく、作業室を内部循環する。
したがって、ガス状除染剤による除染中に作業室からのガス状除染剤の漏出を防止して、ガス状除染剤を作業室に循環させて、当該ガス状除染剤によって作業室を除染することができる。

また、本発明の前記構成において、前記作業室のガス状除染剤の濃度を検出する濃度センサが前記制御部に接続されて設けられ、この濃度センサによって検出されたガス状除染剤の濃度に基づいて、前記制御部が前記除染剤導入手段を制御するのが好ましい。

このような構成によれば、濃度センサによって検出されたガス状除染剤の濃度に基づいて、制御部が除染剤導入手段を制御するので、所定濃度のガス状除染剤によって作業室を除染することができる。

また、本発明の前記構成において、前記制御部は、前記濃度センサによって検出されたガス状除染剤の濃度と除染時間との積であるＣＴ値に基づいて、前記除染剤導入手段を制御することが好ましい。

このような構成によれば、制御部が、濃度センサによって検出されたガス状除染剤の濃度と除染時間との積であるＣＴ値に基づいて、除染剤導入手段を制御するので、このＣＴ値が設定ＣＴ値以上のとき、制御部が除染剤導入手段を停止させることができる。したがって、ガス状除染剤によって適切な時間で作業室の除染を行うことができる。

また、本発明の前記構成において、前記気密閉鎖手段は、インフレートシールを有することが好ましい。

このような構成によれば、インフレートシールを膨張させることで、開閉部材によって、作業室に連通する開口部を気密に閉鎖でき、一方、インフレートシールを収縮させることで、開閉部材を開口部から容易に移動させて、開口部を開くことがきる。

また、本発明の前記構成において、前記除染剤導入手段は前記作業室に空気を導入可能に構成され、前記作業室の内圧を検出する圧力センサが前記制御部に接続されて設けられていることが好ましい。

このような構成によれば、ガス状除染剤によって作業室を除染する前に、制御部が排気弁を閉じるとともに除染剤導入手段によって作業室に空気を導入することで、作業室の内圧を上昇させ、この上昇した内圧を圧力センサによって検出する。そして、所定の内圧で所定時間だけ作業室の内圧が維持されていることを圧力センサが検出した場合に、制御部が、除染剤導入手段を始動させて作業室にガス状除染剤を導入することができる。したがって、ガス状除染剤の初期漏出を未然に防止できる。

また、本発明に係る安全キャビネットの除染方法は、前記安全キャビネットを除染する方法であって、
前記安全キャビネットの作業室の開口部を開閉部材によって気密閉鎖手段を用いて気密に密閉するとともに排気弁を閉じ、前記作業室の気密度が所定値以上になった後、前記作業室に除染剤導入手段によってガス状除染剤を導入し、
前記ガス状除染剤の濃度が所定値まで上昇した状態で、前記作業室を前記ガス状除染剤で除染することを特徴とする。

本発明においては、ガス状除染剤による除染中に作業室からのガス状除染剤の漏出を防止して、所定の濃度のガス状除染剤によって作業室を除染できる。

また、本発明の前記構成において、前記作業室のガス状除染剤のＣＴ値が所定値に到達したときに、前記ガス状除染剤の導入を停止することが好ましい。

このような構成によれば、作業室のガス状除染剤のＣＴ値が所定値に到達したときに、ガス状除染剤の導入を停止するので、ガス状除染剤によって適切な時間で作業室の除染を行うことができる。

また、本発明の前記構成において、前記作業室内の前記ガス状除染剤の濃度が所定値以上の場合、前記作業室に連通する開口部を開閉可能とする開閉部材を、インフレートシールを膨張させることによって開放不能に保持することが好ましい。

このような構成によれば、作業室内のガス状除染剤の濃度が所定値以上の場合に、開閉部材をインフレートシールによって開放不能に保持するので、作業者が開閉部材を不注意で開けることができず、安全面において優れたものとなる。

本発明によれば、ガス状除染剤による除染中に作業室からのガス状除染剤の漏出を防止して、ガス状除染剤を作業室に循環させて当該ガス状除染剤によって作業室を除染することができ、また、所定濃度のガス状除染剤によって作業室を除染することができる。

本発明に係る循環式の安全キャビネットの一例を示すもので、その概略構成を示すブロック図である。 同、作業室開口部の気密閉鎖手段の概略構成を示すもので、（ａ）はインフレートシールが収縮している状態を示す平断面図、（ｂ）はインフレートシールが膨張している状態を示す平断面図、（ｃ）はインフレートシールが膨張している状態を示す側断面図である。 本発明に係る安全キャビネットの運転フローを説明するためのフローチャートである。 本発明に係る安全キャビネットの停止フローを説明するためのフローチャートである。 本発明に係る安全キャビネットの除染運転フローを説明するためのフローチャートである。 本発明に係る安全キャビネットの除染自動停止フローを説明するためのフローチャートである。 本発明に係る安全キャビネットの除染強制停止フローを説明するためのフローチャートである。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は本実施の形態に係る安全キャビネットの概略構成示すブロック図である。

図１に示すように、安全キャビネットは、内部に作業室２を有するキャビネット本体１と、このキャビネット本体１の前面に設けられて、作業室２に連通する開口部３を開閉可能とするシャッター（開閉部材）４と、作業室２から気体を排気する排気路６とを備えている。
なお、図示は省略するがキャビネット本体１には、ＨＥＰＡフィルタ等のフィルタが設けられ、排気路６を通って作業室から外部に排気される気体は、前記フィルタによって清浄化されるようになっている。

また、排気路６には排気弁Ｂ２が設けられている。この排気弁Ｂ２は電磁弁で構成されており、制御部１０に電気的に接続され、この制御部１０によって制御されるようになっている。
また、キャビネット本体１には給気兼循環用ファンＰ１が設けられている。この給気兼循環用ファンＰ１は、開口部３から作業室２に空気を吸引して供給するとともに、作業室２の気体を排気路６を通して外部に排気する機能を有している。
また、給気兼循環用ファンＰ１は、作業室２内の気体を内部循環させるような循環気流ＳＡを発生させる機能も有している。

また、キャビネット本体１の内部には、隔壁１１が設けられ、この隔壁１１によってキャビネット本体１の内部は、作業室２と、設置室１２とに区画されている。本実施の形態では、ガス状除染剤としてオゾンガスを使用するため、この設置室１２にオゾン発生器（除染剤導入手段）１３が設けられている。
オゾン発生器１３は、酸素発生器１３ａとオゾナイザー１３ｂとを備えており、酸素発生器１３ａが外気を取り入れて酸素を発生させるとともに、この酸素をオゾナイザー１３ｂに供給して、オゾナイザー１３ｂによってオゾンガス（ガス状除染剤）を発生させるようになっている。
オゾナイザー１３ｂによって発生したオゾンガスは、オゾンガス供給路１３ｃを通って作業室２に導入されるようになっている。このオゾンガス供給路１３ｃには供給弁１３ｄが設けられ、この供給弁１３ｄの開閉によって作業室２へのオゾンガスの供給・停止を行うようになっている。なお、供給弁１３ｄは電磁弁によって構成されている。
また、酸素発生器１３ａ、オゾナイザー１３ｂおよび供給弁１３ｄは制御部１０に電気的に接続され、この制御部１０によって制御されるようになっている。
また、このような構成のオゾン発生器１３は、酸素発生器１３ａのコンプレッサを駆動させることで、作業室２に空気を導入可能な構成となっている。

また、キャビネット本体１には、作業室２のオゾンガスのオゾン濃度を検出する濃度センサ１５と作業室２の温湿度を検出する温湿度センサ１６が設けられ、これら濃度センサ１５および温湿度センサ１６は制御部１０に電気的に接続されている。さらに、作業室２には加湿器１７が設けられ、この加湿器１７は制御部１０に電気的に接続されている。
また、キャビネット本体１には、作業室２内の内圧を検出する圧力センサ２０が設けられている。この圧力センサ２０は作業室２から外部に作業室２と連通して延出する延出管２１内の内圧を測定することによって、作業室２内の内圧を検出するようになっており、当該圧力センサ２０は制御部１０に電気的に接続されている。
延出管２１には、圧力センサ２０より上流側において分解手段２２が設けられている。この分解手段２２はオゾンガス分解触媒を有するものであり、この分解手段２２によってオゾンガスを分解することで、オゾンガスが分解手段２２より下流側に流出しないようになっている。また、延出管２１には圧力センサ２０より下流側において、電磁弁で構成された開閉弁２３が設けられ、この開閉弁２３は制御部１０に電気的に接続されている。

また、キャビネット本体１の外側には、オゾン監視センサ２５が設けられ、このオゾン監視センサ２５は制御部１０に電気的に接続されている。
さらに、キャビネット本体１の外側には外部排気ファンＰ３が設けられており、この外部排気ファンＰ３は制御部１０に電気的に接続されている。そして、オゾン監視センサ２５によってキャビネット本体１の外側において、オゾンガスが検出された場合に、制御部１０が排気弁Ｂ２を開き、外部排気ファンＰ３を駆動して、当該オゾンガスを建屋外に排気するようになっている。

また、キャビネット本体１には、シャッター４によって開口部３を気密に開閉可能とする気密閉鎖手段３０が設けられている。
すなわち、図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、矩形状の開口部３の四周部のうち、左右辺に沿う側縁部と下辺に沿う下縁部には断面コ字形のシャッターレール３１が設けられ、上辺に沿う上縁部には、図２（ｃ）に示すように、シャッター４と平行離間する横桟３４が設けられ、この横桟３４には、押圧機構３５が設けられている。この押圧機構３５は横桟３４の下面に取り付けられた断面Ｌ形のフレーム３５ａと、このフレーム３５ａに設けられたねじ孔に螺合されている軸部３５ｂと、この軸部３５ｂの先端部に設けられた当接部３５ｃとを備え、軸部３５ｂを作業者が軸回りに回すことによって、当接部３５ｃがシャッター４に対して接離するようになっている。

そして、断面コ字形のシャッターレール３１に、矩形板状のシャッター４の左右辺部と下辺部が挿入され、シャッター４の上辺部が当接部３５ｃより内側に挿入されている。したがって、シャッター４は、左右側縁部に位置するシャッターレール３１に沿って上下にスライド可能なっているとともに、当接部３５ｃによってシャッター４の厚さ方向に当該シャッター４の下端部を支点として移動可能となっている。
そして、シャッター４の下辺部が下縁部に位置するシャッターレール３１に挿入された状態で開口部３がシャッター４によって塞がれ、一方、シャッター４が上方に所定距離だけスライドすることで、開口部３が開くようになっている。

また、左右に対向するシャッターレール３１，３１間で、かつ、下側のシャッターレール３１と上側の当接部３５ｃとの間で、かつ、シャッター４より内側には、断面コ字形に形成され、かつ矩形枠状の保持枠３２がその開口部をシャッター４側に向けて設けられている。この保持枠３２には、当該保持枠３２の周方向に延在するリング状のインフレートシール３３が挿入されている。
このインフレートシール３３はチューブ状のゴム製シールに低圧の空気を入れることにより膨張するものであり、膨張した状態では、図２（ｂ）および（ｃ）に示すように、インフレートシール３３がシャッター４の裏面外周部に密着するとともに、インフレートシール３３の膨張によって、シャッター４の表面外周部が断面コ字形のシャッターレール３１の外側の片と、押圧機構３５の当接部３５ｃに緊密に圧接することによって、シャッター４によって開口部３を気密に閉鎖するようになっている。
また、インフレートシール３３が膨張した際に、押圧機構３５の軸部３５ｂを回すことによって、当接部３５ｃがシャッター４を押圧して、てこの原理により、当該シャッター４がその下端部を支点として上側の保持枠３２に向けて移動して、シャッター４の裏面がインフレートシール３３に密着する。
このように、シャッター４を、インフレートシール３３を膨張させることによって、作業室２の開口部３が開放不能となるように保持することで、不意にシャッター４が開くのを防止することができる。
一方、インフレートシール３３から空気を抜くことによって、当該インフレートシール３３が収縮すると、図２（ａ）に示すように、インフレートシール３３がシャッター４の裏面外周部から離れて、当該シャッター４のシャッターレールへの圧接状態も解除されるので、シャッター４は上方にスライド可能となる。

次に、このような構成の安全キャビネット（以下、ＢＳＣと略称する。）の動作について説明する。
（１）ＢＳＣの運転フロー
図３は、ＢＳＣの運転フローを説明するためのフローチャートである。
まず、ステップＳ１で除染・ＢＳＣが停止状態となっている状態、つまり、オゾン発生器１３や給気兼循環用ファンＰ１が停止している状態となっている場合に、ステップＳ２で、シャッター開度を設定値にセットする。つまり、シャッター４を上昇させて、その下縁と開口部３の下縁との間の距離（シャッタ高さ）が所定の距離（設定距離）となるように、シャッター４を開く。
なお、シャッター開度が設定値を超えている場合、給気兼循環用ファンＰ１は始動しない。

次に、ステップＳ３で、運転スイッチを押す。すると、ステップＳ４で排気弁Ｂ２が開く。
次に、ステップＳ５で、排気弁Ｂ２が開いているかを制御部１０が判断し、排気弁Ｂ２、開いていなければ、内容の確認をした後、ステップＳ４に戻る。
一方、排気弁Ｂ２が開いていれば、ステップＳ６で制御部１０が給気兼循環用ファンＰ１および外部排気ファンＰ３を始動させる。この外部排気ファンＰ３を始動することで、安全キャビネットに吸引した周囲の空気を建屋外に排気する。

次に、ステップＳ７で、給気兼循環用ファンＰ１および外部排気ファンＰ３が駆動しているかを制御部１０が判断し、駆動していなければ、内容の確認をした後、ステップＳ４に戻る。
一方、給気兼循環用ファンＰ１および外部排気ファンＰ３が駆動していれば、ステップＳ８で１分程度、給気兼循環用ファンＰ１を駆動し続けて、１分程度クリーンアップ運転を行う。
その後、ステップＳ９で、作業室２での作業開始可能状態となるので、それ以降、作業室２で作業を行う。
このような、作業室２での作業は循環仕様となる。

（２）ＢＳＣの停止フロー
図４は、ＢＳＣの停止フローを説明するためのフローチャートである。
まず、ステップＳ１でＢＳＣが運転状態となっている場合に、ステップＳ２で、ファンスイッチを３秒間程度長押しする。
すると、ステップＳ３で、作業終了より１分程度、給気兼循環用ファンＰ１が駆動し続けてクリーンアップ運転を行う。
次に、ステップＳ４で、制御部１０によって給気兼循環用ファンＰ１が停止し、その後、ステップＳ５でシャッター４を閉じ、最後にステップＳ６でＢＳＣ停止状態となる。

（３）ＢＳＣの除染運転フロー
図５は、ＢＳＣの除染運転フローを説明するためのフローチャートである。
まずステップＳ１で、除染・ＢＳＣが停止状態となっている状態、つまり、オゾン発生器１３や給気兼循環用ファンＰ１および外部排気ファンＰ３が停止している状態となっている場合に、ステップＳ２で、シャッター４が閉じているかを判断する。シャッター４が開いていたら、ステップＳ３でシャッター４を閉じ、ステップＳ２に戻る。
ステップＳ２でシャッター４が閉じていれば（全閉状態となっていれば）、ステップＳ４で除染スイッチを押す。
除染スイッチを押すと、制御部１０が排気弁Ｂ２を閉じる。
また、インフレートシール３３に空気を導入して加圧することで、シャッター４によって開口部３を気密に閉鎖する。インフレートシール３３の加圧は、６０〜７０ＫＰａが目安であるので、ステップＳ５でインフレートシール３３の加圧状態を確認し、加圧が不十分であれば、即停止し、原因究明後、ステップＳ４に戻って、再び除染スイッチを押す。

ステップＳ５で、インフレートシール３３の加圧が十分であれば、排気弁Ｂ２が閉じているので、ステップＳ６で酸素発生器１３ａのコンプレッサーを始動する一方で、給気兼循環用ファンＰ１を停止した状態としておき、作業室２の気密度を測定する。すなわち、開閉弁２３を閉じたうえで、圧力センサ２０によって作業室２の気密度を測定する。この場合、前記コンプレッサーによって作業室２を３００〜５００Ｐａまで加圧し、維持する。
そして、ステップＳ７で作業室２の気密度が、１〜３０分間以内で、９０％以上所定の圧力を維持することができたかを確認し、気密度が不合格ならば、即停止し、原因究明後、ステップＳ４に戻って、再び除染スイッチを押す。

一方、ステップＳ７で作業室２の気密度が合格ならば、ステップＳ８で、供給弁１３ｄを開いたうえで、オゾン発生器１３を始動して、オゾンガスを作業室２に導入（供給）するとともに、加湿器１７を始動する。これによって、作業室２のオゾン濃度が上昇していくとともに、湿度も上昇していく。
次に、ステップＳ９で作業室２のオゾン濃度を濃度センサ１５によって測定する。オゾン濃度が２００ｐｐｍ等の最低設定値に達しない場合、即停止し、原因究明後、ステップＳ４に戻って、再び除染スイッチを押す。

一方、ステップＳ９でオゾン濃度が２００ｐｐｍ等の最低設定値であることを確認後、ステップＳ１０で作業室２の湿度を温湿度センサ１６によって測定する。作業室２の湿度が８０％に達していない場合、即停止し、原因究明後、ステップＳ４に戻って、再び除染スイッチを押す。
また、ステップＳ１０で作業室２の湿度が８０％以上であることを確認後、後述する除染のＣＴ値の累積計算を開始する。そして、ステップＳ１１でオゾン発生器１３が正常に駆動しているかを判断し、正常でない場合、即停止し、原因究明後、ステップＳ４に戻って、再び除染スイッチを押す。
一方、ステップＳ１１でオゾン発生器１３が正常に駆動していれば、ステップＳ１２でオゾンガスの漏出がないかを常時判断する。
この場合、オゾン監視センサ２５によって、ＢＳＣ外部のオゾン濃度を監視しておき、オゾン濃度が所定値を超えた場合、オゾン発生器１３を即停止し、外部排気ファンＰ３を始動し、排気弁Ｂ２を開いて、オゾンガスを排出する。そして、原因究明後、ステップＳ４に戻って、再び除染スイッチを押す。
一方、ステップＳ１２でオゾン濃度が所定値以上であり、オゾンガスの外部漏出が無いと判断した場合、ステップＳ１３で、「正常除染中」としてＢＳＣの作業室２の除染を行う。

（４）ＢＳＣの除染自動停止フロー
図６は、ＢＳＣの除染自動停止フローを説明するためのフローチャートである。
上述したように、「正常除染中」としてＢＳＣの作業室２の除染を行って、作業室２の除染が終了した場合、以下のようにしてＢＳＣの除染を自動停止する。

すなわち、制御部１０は、濃度センサ１５によって検出されたオゾンガスのオゾン濃度とＣＴ値に基づいて、オゾン発生器１３を自動停止するように制御する。
ここで、ＣＴ値について説明する。
ＣＴ値とは、作業室２内におけるオゾン濃度（ｐｐｍ）と除染時間（分）との積であり、一般にオゾンによる除染作用の目安とされるものである。
そして、予め目標とするＣＴ値を「設定ＣＴ値」として各薬剤や菌ごとに設定しておき、この設定ＣＴ値を、実際の除染処理における実測オゾン濃度と経過時間との積と比較し、除染処理の終了の判断に利用する。設定ＣＴ値は、除染処理の対象とする薬剤や菌等のオゾン耐性の程度に応じて決定され、さらに、オゾンガス以外のガス状除染剤を使用する場合、それに応じた設定ＣＴ値を使用する。

図６に示すように、ステップＳ１で、正常除染中に、制御部１０は、濃度センサ１５からのオゾン濃度出力をサンプリングし、以後、制御部１０は、サンプリングしたオゾン濃度からＣＴ値を積算し、ステップＳ２で、積算ＣＴ値が設定ＣＴ値に達したかどうかを判断する。
ここで、制御部１０が行うＣＴ値の積算について説明する。
制御部１０は、オゾン発生器１３を始動させると同時に、内部タイマーの値をリセットする。また、制御部１０は、図示しない記憶部に記憶領域が割り当てられたＣＴ値（Ｓｃｔ）をリセット（Ｓｃｔ＝０）する。

続いて、制御部１０は、オゾン濃度のサンプリング間隔を管理するためのサンプリングタイマーの値Ｔｓをリセット（Ｔｓ＝０）する。
この後、予めサンプリング間隔として設定された時間Ｔｅ（分）が経過する（Ｔｓ≧Ｔｅ）ごとに、制御部１０はオゾン濃度をサンプリングし、実際のサンプリング間隔Ｔｓ（分）とサンプリングされたオゾン濃度Ｃｏ（ｐｐｍ）との積をＣＴ値Ｓｃｔに加算する。
サンプリング間隔Ｔｅは、例えば０．５〜５秒に設定されるが、これに限ることはない。

制御部１０は、ＣＴ値Ｓｃｔにサンプリング間隔Ｔｓとサンプリングされたオゾン濃度Ｃｏとの積が加算されるごとに、更新されたＣＴ値Ｓｃｔと設定ＣＴ値Ｅｃｔとを比較する。この比較の結果、ＣＴ値Ｓｃｔが設定ＣＴ値Ｅｃｔ以下のとき、サンプリングタイマーの値Ｔｓをリセットして、オゾン濃度のサンプリング等を繰り返す。

そして、ステップＳ２で、比較の結果、ＣＴ値Ｓｃｔが設定ＣＴ値Ｅｃｔ以上のとき、例えばＣＴ値Ｓｃｔが、例えば設定ＣＴ値Ｅｃｔである１５０００に到達したら、ステップＳ３で、制御部１０は、オゾン発生器１３を停止させる。
その後、ステップＳ４で、給気兼循環用ファンＰ１によって、作業室２を循環気流によって分解する。または、酸素発生器１３ａのコンプレッサーのみを運転し、分解手段２２によってオゾンガスを分解し、この分解したガスを開閉弁２３を開いて排出継続することで、オゾンガス濃度を低減する。
そして、ステップＳ５で、作業室２内のオゾン濃度を濃度センサ１５によって測定し、例えば、オゾン濃度が１ｐｐｍ以上であったら、シャッター４を閉じた状態でステップＳ４に戻る。
一方、オゾン濃度が１ｐｐｍ未満になったら、手動でシャッター４を開放後、ステップＳ６で給気兼循環用ファンＰ１、外部排気ファンＰ３を駆動させ、排気弁Ｂ２を開いて、外部の空気を作業室２に取り入れ、ステップＳ７で、数分後に全てを停止する。

（５）ＢＳＣの除染強制停止フロー
図７は、ＢＳＣの除染強制停止フローを説明するためのフローチャートである。
上述したように、ステップＳ１で、「正常除染中」としてＢＳＣの作業室２を除染している最中に、除染を強制停止する必要が生じた場、ステップＳ２で除染スイッチを、例えば３秒間程度長押しする。
すると、ステップＳ３で、制御部１０は、オゾン発生器１３を停止させる。
その後、ステップＳ４で、給気兼循環用ファンＰ１によって、作業室２を循環気流によって分解する。または、酸素発生器１３ａのコンプレッサーのみを運転し、分解手段２２によってオゾンガスを分解し、この分解したガスを開閉弁２３を開いて排出継続することで、オゾンガス濃度を低減する。
そして、ステップＳ５で、作業室２内のオゾン濃度を濃度センサ１５によって測定し、例えば、オゾン濃度が１ｐｐｍ以上であったら、シャッター４を閉じた状態でステップＳ４に戻る。
一方、オゾン濃度が１ｐｐｍ未満になったら、手動でシャッター４を開放後、またはインフレートシール３３を減圧することで、開口部３に隙間を設けた後、ステップＳ６で給気兼循環用ファンＰ１、外部排気ファンＰ３を駆動させ、排気弁Ｂ２を開いて、外部の空気を作業室２に取り入れ、ステップＳ７で、数分後に全てを停止する。

以上のように、本実施の形態によれば、オゾンガスによって作業室２を除染する場合、制御部１０が排気弁Ｂ２を閉じるとともに、気密閉鎖手段３０によって、シャッター４で開口部３を気密に閉鎖しておき、その後、制御部１０がオゾン発生器１３を制御して、オゾンガスを作業室２に導入するとともに、給気兼循環用ファンＰ１を駆動させると、作業室２に導入されるオゾンガスは、排気弁Ｂ２が閉じているとともに、開口部３が気密に閉鎖されているので、作業室２から漏出することなく、作業室２を循環する。
したがって、オゾンガスによる除染中に作業室２からのオゾンガスの漏出を防止して、オゾンガスを作業室２に循環させて、当該オゾンガスによって作業室２を除染することができる。

また、作業室２のオゾン濃度を検出する濃度センサ１５が制御部１０に接続されて設けられ、この濃度センサ１５によって検出されたオゾン濃度に基づいて、制御部１０がオゾン発生器１３を制御するので、所定濃度のオゾンガスによって作業室２を除染することができる。
さらに、制御部１０が、濃度センサ１５によって検出されたオゾン濃度と除染時間との積であるＣＴ値に基づいて、オゾン発生器１３を制御するので、このＣＴ値が設定ＣＴ以上のとき、制御部１０がオゾン発生器１３を停止させることができる。したがって、オゾンガスによって適切な時間で作業室２の除染を行うことができる。

また、気密閉鎖手段３０がインフレートシール３３を有するので、このインフレートシール３３を膨張させることで、シャッター４によって、作業室２に連通する開口部３を気密に閉鎖でき、一方、インフレートシール３３を収縮させることで、シャッター４を開口部３から容易に上昇させて、開口部３を開くことがきる。
また、インフレートシール３３を膨張させることで、当該インフレートシール３３がシャッター４に密着するとともに、シャッター４の表面外周部がシャッターレール３１に気密に圧接されるので、開口部３を確実に気密に閉鎖できる。

また、作業室２の内圧を検出する圧力センサ２０が制御部１０に接続されて設けられているので、オゾンガスによって作業室２を除染する前に、制御部１０が排気弁Ｂ２を閉じるとともに、酸素発生器１３ａのコンプレッサーを駆動させることで、作業室２の内圧を上昇させ、この上昇した内圧を圧力センサ２０によって検出する。
そして、所定の内圧で所定時間だけ作業室２の内圧が維持されていることを圧力センサ２０が検出した場合に、制御部１０がオゾン発生器１３を始動させて作業室２にオゾンガスを導入することができる。したがって、オゾンガスの初期漏出を未然に防止できる。
また、作業室２の開口部３を開閉可能とするシャッター４を、インフレートシール３３を膨張させることによって開放不能に保持することができるので、作業室２内のオゾンガスの濃度が所定値以上の場合に、作業者がシャッター４を不注意で開けることができず、安全面において優れたものとなる。

なお、本実施の形態では、ガス状除染剤として、オゾンガスを使用した場合を例にとって説明したが、本発明は、オゾンガスに限らず、例えば除染作用のある過酸化水素ガス、二酸化塩素ガス等のその他のガス状除染剤を使用してもよい。

また、本実施の形態では、オゾン発生器１３をキャビネット本体１内に設けたが、オゾン発生器１３は、キャビネット本体１とは別体に設け、当該キャビネット本体１に着脱可能に接続できるようにしてもよい。

１ キャビネット本体
２ 作業室
３ 開口部
４ シャッター（開閉部材）
６ 排気路
１０ 制御部
１３ オゾン発生器（除染剤導入手段）
１５ 濃度センサ
２０ 圧力センサ
３０ 気密閉鎖手段
Ｂ２ 排気弁
Ｐ１ 給気兼循環用ファン
Ｐ３ 外部排気ファン

Claims (7)

1. 内部に作業室を有するキャビネット本体と、このキャビネット本体の前面に設けられて、前記作業室に連通する開口部を開閉可能とする開閉部材と、前記作業室から気体を排気する排気路とを備え、前記作業室内の気体が内部循環可能となっている安全キャビネットにおいて、
   前記排気路に設けられた排気弁と、
   前記作業室に設けられた給気兼循環用ファンと、
   前記作業室にガス状除染剤を導入し、かつ前記作業室に空気を導入可能に構成された除染剤導入手段と、
   前記排気弁、前記給気兼循環用ファンおよび前記除染剤導入手段を制御する制御部と、
   前記開閉部材によって前記開口部を気密に閉鎖可能とする気密閉鎖手段と、
   前記作業室から外部に延出する延出管と、
   前記延出管に設けられて前記作業室の内圧を検出するとともに前記制御部に接続された圧力センサと、
   前記延出管に前記圧力センサより上流側において設けられて前記ガス状除染剤を分解する分解手段とを備えことを特徴とする安全キャビネット。
2. 前記作業室のガス状除染剤の濃度を検出する濃度センサが前記制御部に接続されて設けられ、この濃度センサによって検出されたガス状除染剤の濃度に基づいて、前記制御部が前記除染剤導入手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の安全キャビネット。
3. 前記制御部は、前記濃度センサによって検出されたガス状除染剤の濃度と除染時間との積であるＣＴ値に基づいて、前記染剤導入手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の安全キャビネット。
4. 前記気密閉鎖手段は、インフレートシールを有し、当該インフレートシールはその膨張によって、前記開閉部材を、前記開口部の縁部に設けられて前記開閉部材がスライド可能なシャッターレールに緊密に圧接させることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の安全キャビネット。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の安全キャビネットを除染する方法であって、
   前記安全キャビネットの作業室の開口部を開閉部材によって気密閉鎖手段を用いて気密に密閉するとともに排気弁を閉じ、圧力センサによって前記作業室の気密度を測定し、前記作業室の気密度が所定値以上になった後、前記作業室に除染剤導入手段によってガス状除染剤を導入し、
   前記ガス状除染剤の濃度が所定値まで上昇した状態で、前記作業室を前記ガス状除染剤で除染し、除染後に分解手段によって前記ガス状除染剤を分解したうえで、延出管から外部に排出することを特徴とする安全キャビネットの除染方法。
6. 前記作業室のガス状除染剤のＣＴ値が所定値に到達したときに、前記ガス状除染剤の導入を停止することを特徴とする請求項５に記載の安全キャビネットの除染方法。
7. 前記作業室内の前記ガス状除染剤の濃度が所定値以上の場合、前記作業室に連通する開口部を開閉可能とする開閉部材を、インフレートシールを膨張させることによって開放不能に保持することを特徴とすることを特徴とする請求項５または６に記載の安全キャビネットの除染方法。

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