JP6583063B2 - アクチュエータ装置 - Google Patents
アクチュエータ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6583063B2 JP6583063B2 JP2016045921A JP2016045921A JP6583063B2 JP 6583063 B2 JP6583063 B2 JP 6583063B2 JP 2016045921 A JP2016045921 A JP 2016045921A JP 2016045921 A JP2016045921 A JP 2016045921A JP 6583063 B2 JP6583063 B2 JP 6583063B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- polymer fiber
- displacement
- sensor substrate
- axial direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 229920005594 polymer fiber Polymers 0.000 claims description 65
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 46
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 79
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 3
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Actuator (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
以下、アクチュエータ装置の第1実施形態について説明する。
図1に示されるように、本実施形態のアクチュエータ装置10は、変位対象としてのセンサ基板20を変位させる装置である。センサ基板20は、例えば矩形の薄板状の基板上にセンサ素子が実装された構造を有している。以下では、センサ基板20の長手方向をx軸方向と称し、センサ基板20の短手方向をy軸方向と称し、センサ基板20の厚さ方向をz軸方向と称する。本実施形態では、x軸方向が第1軸方向に相当し、y軸方向が第2軸方向に相当する。
制御部82は、加熱部81により例えばアクチュエータ部材31,32を加熱する。これにより、アクチュエータ部材31,32が回転方向r1に変位するため、センサ基板20に回転方向r1の力が作用する。また、センサ基板20に連結されたアクチュエータ部材41,42及び連結部材60にも回転方向r1の力が作用する。この際、連結部材60が支持片72に対して摺動することにより、アクチュエータ部材41,42及び連結部材60が回転方向r1に変位する。結果的に、センサ基板20の姿勢が、図1に示される基準姿勢から、回転方向r1に回転した傾斜姿勢へと変化する。
次に、第1実施形態のアクチュエータ装置10の変形例について説明する。
図5に示されるように、この変形例のアクチュエータ部材32は、加熱により温度上昇した際に、アクチュエータ部材31の回転方向r1とは逆の回転方向r3に変位するように構成されている。また、アクチュエータ部材42は、加熱により温度上昇した際に、アクチュエータ部材41の回転方向r2とは逆の回転方向r4に変位するように構成されている。このような構成によれば、加熱部81によりアクチュエータ部材32を加熱した際に、センサ基板20に対して回転方向r1とは逆の回転方向r3の力を作用させることができる。また、加熱部81によりアクチュエータ部材42を加熱した際に、センサ基板20に対して回転方向r2とは逆の回転方向r4の力を作用させることができる。よって、センサ基板20に対して付与される力の方向を増やすことができるため、センサ基板20の変位の自由度を更に向上させることができる。
次に、アクチュエータ装置の第2実施形態について説明する。以下、第1実施形態との相違点を中心に説明する。
制御部82は、加熱部81により例えばポリマー繊維アクチュエータ101を加熱する。これにより、ポリマー繊維アクチュエータ101が軸方向d1に延びるように変位するため、センサ基板20の一角部に軸方向d1の力が作用する。これにより、センサ基板20がピボット軸受150の支持部152を中心に揺動する。結果的に、センサ基板20の姿勢が、図6に示される基準姿勢から、一角部が軸方向d1に持ち上げられた傾斜姿勢へと変化する。
なお、各実施形態は、以下の形態にて実施することもできる。
・第1実施形態のポリマー繊維アクチュエータ30の軸方向であるx軸方向と、ポリマー繊維アクチュエータ40の軸方向であるy軸方向とは、互いに直交する方向に限らず、互いに交差する方向であればよい。
20:センサ基板(変位対象)
30,40,101,102,103,104:ポリマー繊維アクチュエータ
31,32,41,42:アクチュエータ部材
50,60:連結部材
70:支持部材
80:温度調整部
150:ピボット軸受(支持部材)
170:支持面
Claims (3)
- 変位対象(20)に対して互いに交差する複数の軸方向から連結される複数のポリマー繊維アクチュエータ(30,40,101,102,103,104)と、
複数の前記ポリマー繊維アクチュエータの温度を個別に調整する温度調整部(80)と、を備え、
複数の前記ポリマー繊維アクチュエータとして、前記変位対象から第1軸方向に延びるポリマー繊維アクチュエータ(30)と、前記変位対象から前記第1軸方向と交差する第2軸方向に延びるポリマー繊維アクチュエータ(40)と、を有し、
前記変位対象から前記第1軸方向に延びるポリマー繊維アクチュエータは、前記変位対象から前記第1軸方向に平行な方向に互いに逆方向に延びる第1アクチュエータ部材(31)及び第2アクチュエータ部材(32)からなり、
前記変位対象から前記第2軸方向に延びるポリマー繊維アクチュエータは、前記変位対象から前記第2軸方向に平行な方向に互いに逆方向に延びる第3アクチュエータ部材(41)及び第4アクチュエータ部材(42)からなり、
前記第1アクチュエータ部材と前記第2アクチュエータ部材とに連結される円弧状の第1連結部材(50)と、
前記第3アクチュエータ部材と前記第4アクチュエータ部材とに連結される円弧状の第2連結部材(60)と、
前記第1連結部材及び前記第2連結部材を支持する支持部材(70)と、を更に備え、
前記支持部材は、前記第1連結部材及び前記第2連結部材のそれぞれの中心を通る円弧曲線状の軸の方向である軸方向の変位を許容しつつ、前記軸方向を中心とする回転変位を規制する
アクチュエータ装置。 - 複数の前記ポリマー繊維アクチュエータ(30,40)は、温度変化に対して、主として軸方向を中心に回転変位する特性を有する
請求項1に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第1軸方向及び前記第2軸方向は、互いに直交する方向である
請求項1又は2に記載のアクチュエータ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016045921A JP6583063B2 (ja) | 2016-03-09 | 2016-03-09 | アクチュエータ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016045921A JP6583063B2 (ja) | 2016-03-09 | 2016-03-09 | アクチュエータ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017163704A JP2017163704A (ja) | 2017-09-14 |
| JP6583063B2 true JP6583063B2 (ja) | 2019-10-02 |
Family
ID=59854301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016045921A Expired - Fee Related JP6583063B2 (ja) | 2016-03-09 | 2016-03-09 | アクチュエータ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6583063B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6121821A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-30 | Kojima Press Co Ltd | 形状記憶合金を用いた車両用回転型オ−トレジスタ |
| JP2569278B2 (ja) * | 1994-06-29 | 1997-01-08 | 川崎重工業株式会社 | 空間3および4自由度の駆動装置 |
| JP2000296485A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-10-24 | Minolta Co Ltd | マイクロマニピュレータ |
| JP3782289B2 (ja) * | 2000-07-06 | 2006-06-07 | トキコーポレーション株式会社 | 形状記憶合金の処理方法および形状記憶合金 |
| JP2006024050A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Nsk Ltd | 微小位置決め装置 |
| JP2009265749A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Toki Corporation Kk | ステージ可動機構 |
| HK1210549A1 (en) * | 2012-08-01 | 2016-04-22 | The Board Of Regents, The University Of Texas System | Coiled and non-coiled twisted nanofiber yarn and polymer fiber torsional and tensile actuators |
| JP5745589B2 (ja) * | 2013-10-07 | 2015-07-08 | Towa株式会社 | 培養装置入り細胞培養プレート |
-
2016
- 2016-03-09 JP JP2016045921A patent/JP6583063B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2017163704A (ja) | 2017-09-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5701465B2 (ja) | フリップチップボンダ及びボンディングステージの平坦度並びに変形量補正方法 | |
| JP5421771B2 (ja) | ティルティング装置 | |
| JP6556697B2 (ja) | 広い剛性範囲を有する可変剛性アクチュエータ | |
| JP7455261B2 (ja) | リンク作動装置 | |
| JP6575607B2 (ja) | ロボットシステム及び制御方法 | |
| US20150234375A1 (en) | Tool coordinate system correcting method of robot system, and robot system | |
| CN107076351B (zh) | 安装件 | |
| US5473488A (en) | Static attitude adjustment via a solidified drop for a magnetic head suspension | |
| JP2017003717A (ja) | 可動反射装置およびこれを利用した反射面駆動システム | |
| JP6583063B2 (ja) | アクチュエータ装置 | |
| CN115715248A (zh) | 机器人手的控制装置及操作方法 | |
| WO2019244136A3 (de) | Stellantrieb für einen bondkopf | |
| CN109787507B (zh) | 压电驱动装置、电子元件输送装置以及机器人 | |
| JP2014181986A (ja) | 支持装置および計測装置 | |
| CN113169439B (zh) | 铰接机构和包括所述机构的铰接指向系统 | |
| JP6378403B2 (ja) | 基板支持構造 | |
| KR102182046B1 (ko) | 기판 지지구조체 | |
| JP5402119B2 (ja) | 組立装置 | |
| WO2018173743A1 (ja) | 可動装置、その製造方法、および、その制御方法 | |
| JPWO2019173603A5 (ja) | ||
| WO2021117647A1 (ja) | パラレルリンク装置 | |
| JP7098530B2 (ja) | ねじをねじ込む為のロボットマニピュレータの制御方法、コンピュータシステム、デジタルストレージ媒体、コンピュータプログラムプロダクト、コンピュータプログラム及びデバイス | |
| JP3113558U (ja) | 釣り竿 | |
| TWI664507B (zh) | 自動控制設備以及自動控制方法 | |
| JP7117760B2 (ja) | 6自由度関節 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180604 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190131 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190205 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190329 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190806 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190819 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6583063 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |